TW202422030A - 用於測量空氣分子污染的站和方法 - Google Patents

Abstract

用於測量空氣分子污染的站和方法 本發明關於一種用於測量空氣分子污染的站(1)，包括： -至少一氣體分析儀(3)，配置為測量至少一種污染物的濃度； -多個進氣口(5)，配置為與該氣體分析儀(3)流體連通且被配置為連接到對應的多個取樣管線(7)； -多個第一可控隔離閥(11)，插置在且多個進氣口(5)和且氣體分析儀(3)之間； -控制單元(15)，配置為控制該第一可控隔離閥(11)的開啟或關閉，以便將該氣體分析儀(3)置於與至少一取樣管線(7)流體連通； 其中，該控制單元(15)也被配置為當該分析儀(3)檢測到大於預定臨限值的污染物的濃度時，命令該分析儀(3)的精確度的驗證。

Description

用於測量空氣分子污染的站和方法

本發明關於一種用於測量空氣分子污染的站，特別是意圖用於監測無塵室(例如半導體製造工廠的無塵室)的大氣中的分子污染。本發明也關於一種用於透過這種測量站之裝置檢測空氣分子污染的方法。

在半導體製造業中，必須保護半導體晶圓或光遮罩等基板免受空氣分子污染(或AMC)的影響，以防止後者損壞基板的晶片或電子電路。為此，晶圓被放置在運輸和儲存箱中，允許晶圓從一項設備運輸到另一項設備或在兩個製造步驟之間儲存。此外，運輸箱和設備項佈置在無塵室內，無塵室內的污染受到控制，溫度、濕度和壓力保持在精確和穩定的水準。

在無塵室中，空氣中的氣態物質可能有不同的來源和不同的性質，例如酸、鹼、醇、可冷凝元素、摻雜元素等。這些分子可能源自半導體製造工廠內的空氣，也可能來自於製造作業之後晶圓的出氣。

無塵室內的氣體分析儀可即時評估空氣中氣態物質的濃度，特別是濕度的濃度。測量的濃度有時非常低，約為ppm或低至亞ppb(sub-ppb)水準。

由於這些氣體分析儀測量周圍的氣體大氣，因此有必要在無塵室的每個待測試區域提供氣體分析儀。

需要增加測量的氣體種類的數量和測試區域的數量，以減少基板污染的風險。然而，增加每個區域的分析儀數量以及待測試的這些區域的數量快速使得解決方案成本非常高。

為降低成本，提出一個結合不同分析儀的測量單元。該單元設有多個入口端口，每個入口端口經由取樣管線針對無塵室的特定測試區域。

然而，由於取樣管線的長度不同且污染物濃度可能非常低，因此可能會發生錯誤測量，特別是可能檢測到誤報。這些誤報可能導致半導體製造的停止以及操作員對檢測到污染的區域的干預。這會帶來巨大的成本。

因此，有必要找到一種能夠減少或避免誤報且能夠提高污染檢測的可靠性的解決方案。

本發明的一個目的是提出一種至少部分解決上述缺點之一的測量站和方法。

為此，本發明的一個主題是一種用來測量空氣分子污染的站，包括： -至少一個氣體分析儀，配置為測量至少一種污染物的濃度， -多個進氣口，配置為與氣體分析儀流體連通且配置為連接到一個或多個取樣管線， -多個第一可控隔離閥，插置在多個進氣口和氣體分析儀之間， -控制單元，配置為控制第一可控隔離閥的開啟和關閉，以便將氣體分析儀設定為與至少一個取樣管線流體連通， 其中，控制單元也被配置成當透過分析儀檢測到大於預定臨限值的污染物濃度時命令分析儀的精確度的驗證。

當測量到的污染物濃度大於預定臨限值時，對分析儀的精確度進行驗證可以限制錯誤污染檢測的次數，從而簡化對無塵室污染的管理。

根據本發明的另一態樣，測量站還包括：儲存器，包含具有預定濃度的一種或多種待監測污染物的參考流體；及附加閥，設置在儲存器和氣體分析儀之間，控制器單元被配置為在驗證分析儀的精確度期間控制附加閥的開啟並命令儲存器中的一種或多種污染物的濃度的測量。

精確度的驗證可以透過注入清潔的流體或氣體(不含污染物)或具有受控(已知)濃度的一種或多種污染物的參考流體或氣體來實現(參考氣體可能含有一種或更多種化合物)。參考流體或氣體可以來自滲透管，其可以加熱或不加熱。測量站還可以包括用於稀釋參考流體或氣體的裝置，其被配置為從儲存器17中的參考氣體獲得包括不同對應的濃度的一種或多種污染物的參考流體或氣體。

根據本發明的另一態樣，測量站還包括： -第一儲存器，包括：具有預定濃度的一種或多種待監測污染物的流體；第一附加閥，與用於控制該第一儲存器和該分析儀之間流體連通的建立的第一質量流量計相關聯； -第二儲存器，包含不含待監測污染物的流體；第二附加閥，與用於控制該第二儲存器和該分析儀之間流體連通的建立的第二質量流量計相關聯； 該控制單元被配置成以在該分析儀的該精確度的驗證期間控制該第一或第二附加閥中的一者的開啟， 命令透過該分析儀該第一或第二儲存器中的一者中的該污染物的該濃度的測量，控制該第一或第二附加閥中該者的關閉，控制該第一或第二附加閥中另一者的開啟，命令透過該分析儀該第一或第二儲存器中該另一者的該污染物的該濃度的測量，將該測量值與該預定濃度進行比較以驗證該測量值與該預定濃度之間的差異是否低於預定最大差值。

根據本發明的另一態樣，該控制單元(15)可以被配置為在該第二儲存器(19)中的該濃度的該測量之前，命令該第一儲存器(17)中的該濃度的該測量。透過用第二個儲存器的氣體稀釋第一個儲存器的污染物，也可以用兩個儲存器來獲得其他濃度；與第一和第二儲存器相關聯的質量流量計可用於進行所需的稀釋。

根據本發明的另一態樣，控制單元被配置為在透過分析儀檢測到污染物的濃度大於預定臨限值的情況下發出及/或發送警告信號，其精確度已驗證。警告信號例如被發送到諸如客戶端伺服器之類的遠端伺服器。

根據本發明的另一態樣，測量站可以包括：多個分析儀，並聯設置；及多個第二可控隔離閥，插置在該多個進氣口以及該對應的多個分析儀之間，以控制該分析儀與該進氣口之間流體連通的建立。

根據本發明的另一態樣，該控制單元被配置成控制該第一及第二可控隔離閥的開啟和關閉，以便根據預定順序依續地及/或同時地建立流體在該取樣管線和該分析儀之間的流體連通。

根據本發明的另一態樣，該控制單元被配置為當僅針對某些分析儀透過該分析儀檢測到污染物的濃度大於預定臨限值時，命令該分析儀的該精確度的驗證。

根據本發明的另一態樣，該控制單元被配置為當檢測到污染物的濃度大於預定臨限值時發出及/或發送警告信號並啟動該精確度的驗證。警告信號例如被發送到諸如客戶端伺服器之類的遠端伺服器。

根據本發明的另一態樣，該進氣口包括：裝置，用於調節空氣流速，使通過不同取樣管線到達其所連接的該進氣口的輸送，無論其長度及/或直徑都是相同的。

根據本發明的另一態樣，用於調節該空氣流速的該裝置是具有微洩漏的閥，也就是說，允許以精確的方式調節流速的閥門。

根據本發明的另一態樣，如果所測量的濃度值與該預定濃度之間的差值大於預定最大差值，則該控制單元被配置為命令該分析儀的重新校準。

本發明也關於一種使用測量站(1)檢測空氣分子污染的方法，該測量站包括：氣體分析儀；及多個進氣口，被配置為與該氣體分析儀流體連通且被配置為連接至一個或多個取樣管線，該方法包括以下步驟： -在與該進氣口相關聯的取樣管線和分析儀之間建立流體連通，然後測量在該取樣管線中待監測的一種或多種污染物的濃度，連續地將採樣管線設定與分析儀流體連通以便測量不同採樣管線中的污染物濃度， -當污染物的該濃度的該測量值超過預定臨限值時，驗證該分析儀的該精確度。

根據本發明的另一態樣，當已驗證該氣體分析儀的精確度時，測量站發出警告信號或將警告信號發送到遠端伺服器。

根據本發明的另一態樣，該測量站包括：允許測量一污染物或一組污染物的多個分析儀，且分析儀被設定為同時與取樣管線流體連通。

根據本發明的另一態樣，驗證分析儀的精確度的步驟包括：在分析儀和第一儲存器之間建立流體連通，第一儲存器包括具有預定濃度的待監測污染物的流體，並透過分析儀的方式測量濃度，然後在分析儀和第二儲存器之間建立流體連通，第二儲存器包括不含待監測污染物的流體，並透過分析儀的方式測量濃度。

本發明關於一種用於測量空氣分子污染的站。圖1示出這種測量站1的圖。測量站1包括多個氣體分析儀3，在本例中為三個。每個分析儀3可以被配置為測量一預定污染物或一組預定污染物的濃度。測量站1還包括多個進氣口5，在本例中為四個，其配置為置於與氣體分析儀3流體連通。進氣口5和氣體分析儀3之間的流體連通例如透過管道實現。進氣口5被配置為連接到一個或多個取樣管線7，特別是如圖1的範例中每個進氣口5一個取樣管線7(但是一個進氣口5可以連接到多個取樣管線7)。取樣管線的位於進氣口5的相對側的端部構成取樣點9。取樣點9例如分佈在無塵室的不同區域。

為限制取樣管線7的長度對分析儀3的測量的影響，進氣口5可以包括用於調節空氣流速的裝置。這些用於調節空氣流速的裝置被配置成使得通過不同取樣管線7的輸送是相同的，而不管它們的長度如何。這些用於調節空氣流速的裝置例如是具有微洩漏的閥，其使得可以確保所有取樣管線具有相同的流速，而不管它們的長度及/或它們的直徑。

測量站1還包括多個第一可控隔離閥11，其分別插置在多個進氣口5和氣體分析儀3之間，以允許或阻止在進氣口5和氣體分析儀3之間建立流體連通。第一可控隔離閥11可以透過復用閥來實現，復用閥允許或阻止在一個或多個進氣口5與一個或多個氣體分析儀3之間建立流體連通。測量站1還包括調節泵13，配置成從取樣管線7抽吸空氣的到氣體分析儀3。調節泵13例如經由管道連接至進氣口5。作為替代方案，調節泵13可放置在第一可控隔離閥11的下游，如圖2所示。在本實施例中，可能需要開啟至少一個可控隔離閥11以確保調節泵13適當的作業。作為進一步的替代方案，如圖3所示，可以在每個分析儀3的入口處設置多個第二可控隔離閥11’，以便選擇與進氣口5連接的分析儀3。當調節泵13如圖1的實施例那樣定位時，也可以使用這些第二可控隔離閥11’。分析儀3也可以包括它們自己的抽吸裝置，例如內部取樣泵。在這種情況下，不需要使用調節泵13。

測量站1也包括控制單元15。控制單元15包括例如微控制器或微處理器。控制單元15用於控制第一隔離閥11及/或第二隔離閥11’的開啟或關閉，以建立或不建立氣體分析儀3與取樣管線7之間的流體連通，從而使得可以分析來自不同取樣點9的空氣。取樣管線7可以依照預定順序一個接一個地流體連通。某些取樣管線7還可以同時與氣體分析儀3流體連通，以便同時分析來自多個取樣點9的空氣。

控制單元15也連接到調節泵13和分析儀3。控制單元15也配置成當透過分析儀3檢測到污染物濃度大於預定臨限值時命令驗證氣體分析儀3的精確度，以避免污染物的錯誤檢測。

為進行驗證，如圖4a所示，測量站1還包括與分析儀3相關聯的第一儲存器17、第一附加閥21和第一流量計24(第一附加閥21和第一流量計24可以組合在對應於質量流速控制器的單一裝置中)，其設置在第一儲存器17和分析儀3之間、與分析儀3相關聯的第二儲存器19、第二附加閥23和第二流量計26(第二附加閥23和第二流量計26可以組合在對應於質量流速控制器的單一裝置中)，其設置在第二儲存器19和分析儀3之間。第一儲存器17和第二儲存器19例如是包含加壓氣體的汽缸。根據圖4b所示的替代實施例，儲存器17、19不流體連通至包括隔離閥11的管路，以避免取樣管線被第一儲存器17所包含的污染物污染。

第一儲存器17包括具有第一預定濃度的一種或多種待監測污染物(例如苯)的流體，其預定濃度可以在1和100ppb之間。第二儲存器19包括具有第二預定濃度的待監測污染物的流體，具體地，該第二預定濃度可以為零，使得第二儲存器19中的流體不含污染物且包含例如清潔的空氣。然後，第二儲存器19的內容物可用於稀釋第一儲存器17中所含的污染物，並因此僅用兩個儲存器獲得大於兩個的多個不同的預定濃度。也可以使用包含不同預定濃度的污染物的多個儲存器。

實際上，第一儲存器17和第二儲存器19與每個分析儀3相關聯。多於兩個的多個儲存器17、19可以與一個分析儀3相關聯，不同的儲存器17、19具有不同的預定濃度。

作為替代方案，測量站1還可以包括：單一儲存器17，包含具有預定濃度的一種或多種待監測污染物的參考流體；和附加閥21，設置在儲存器17與氣體分析儀3之間，控制單元15被配置成以在驗證分析儀3的精確度期間控制附加閥21的開啟並命令測量儲存器17中的一種或多種污染物的濃度。測量站1還可以包括用於稀釋參考流體或氣體的裝置，其被配置為從儲存器17中的參考氣體獲得包括不同對應的濃度的一種或多種污染物的參考流體或氣體。

精確度的驗證可以透過注入清潔的流體或氣體(不含污染物)或具有受控(已知)濃度的一種或多種污染物的參考流體或氣體來實現(參考氣體可能含有一種或多種化合物)。參考流體或氣體也可以來自滲透管，其可以加熱或不加熱。

因此，當透過分析儀3檢測到大於預定臨限值的濃度時，控制單元15指令執行分析儀3的精確度的驗證。實際上，可以針對某些分析儀3執行該自動驗證。此外，可以重複濃度測量，以便在開始分析儀3的精確度的驗證之前驗證是否已經超過預定臨限值。

此驗證包括，作為第一步，透過分析儀3的方式經由第一附加閥21的開啟和位於連接到分析儀3的管道上的其他閥11、23的關閉來測量包含在第一儲存器17中的流體的濃度，且作為第二步驟，透過分析儀3的方式經由第二附加閥23的開啟和位於連接至分析儀3的管道上的其他閥門11、21的關閉來測量包含在第二儲存器19中的流體的濃度。控制單元15也被配置為將透過分析儀3測量的值與預定濃度進行比較。如果測量值與預定濃度之間的差值低於預定的最大差值，則分析儀3被認為是可靠的，也就是說，精確度已驗證，且污染物的檢測被確認。預先定義的最大差可以由使用者選擇並輸入，例如經由連結到控制單元15的介面(例如觸控螢幕或控制按鈕)。第二儲存器也可用於稀釋第一儲存器的濃度(例如，當第二儲存器是清潔的空氣時，第二儲存器用於稀釋第一儲存器)。然後，兩個附加閥21和23可以同時開啟，以便能夠輸送不同的濃度。然後可以將不同的預定濃度依續傳送至分析儀3以驗證其精確度。

然後，控制單元15被配置為發出警告信號，例如視覺及/或聽覺信號，或發送警告信號，例如到遠端伺服器。

另外，可以在分析儀3的驗證之前發出第一警告信號，以指示透過分析儀3已經檢測到大於預定臨限值的污染物濃度且分析儀3的驗證將被啟動。

相較之下，如果在驗證分析儀3的精確度期間在測量值與預定濃度之間的差值大於預定最大差值，則分析儀3被認為是不可靠的，使得污染物的檢測尚未證實。然後控制單元15被配置為啟動分析儀3的重新校準。作為替代，控制單元15可以發出警告訊號，以便指示驗證結果並允許操作員決定要採取的措施。此外，作為第二步驟，位於第二儲存器19中且不含污染物的流體的測量使得可以不扭曲由分析儀3執行的後續測量。事實上，使用不含污染物的氣體使得可以淨化分析儀3，甚至淨化分析儀3附近的管道。

本發明也關於一種使用如上所述的測量站1來檢測空氣分子污染的方法。

圖5顯示此方法的步驟的流程圖。步驟或子步驟的順序可以與所呈現的順序不同，且某些步驟或子步驟可以同時執行。

第一步驟101關於在與不同進氣口5相關聯的一個或多個取樣管線7和一個或多個分析儀3之間建立流體連通。流體連通由控制單元15通過控制測量站1的不同閥門11、11’的開啟或關閉。

第二步驟102關於透過一個或多個分析儀3測量與一個或多個分析儀3流體連通的一個或多個取樣管線7中待監測的一種或多種污染物的濃度。如果使用多個分析儀3，則每個分析儀3可配置為測量與其他分析儀3不同的一污染物或一組污染物的濃度。

第三步驟103關於將分析儀3測量的污染物的濃度值與使用者設定的預定義臨限值進行比較。可以定義與不同行動或不同警告相關聯的不同臨限值，以便更好地評估污染的規模。

根據預定義的順序重複步驟101至103，以便將不同的進氣口5(以及因此不同的取樣管線7)依續地與一個或多個分析儀3流體連通，可以有多個進氣口5被放置為同時與一個或多個分析儀3流體連通。在傳遞到閥11、11’的下一個配置之前，測量污染物濃度並與閥11、11’的每種配置的預定臨限值進行比較。

當污染物濃度的測量值超過預定臨限值時，控制單元15啟動用於驗證分析儀3的精確度的程序，對應於步驟104。

此步驟104包括第一子步驟1041，此第一子步驟1041關於關閉與正在驗證其精確度的分析儀3連接的管道的閥門11、11’，以及開啟與分析儀3相關的第一附加閥門21。第二子步驟1042關於透過分析儀3測量第一儲存器17中污染物的濃度。第三子步驟1043關於第一附加閥21的關閉和第二附加閥23的開啟。第四子步驟1044關於透過分析儀3測量在第二儲存器19中污染物或在第一儲存器17和第二儲存器19之間以預定稀釋比例的混合物中的濃度。第五子步驟1045關於將分析儀3測量的值與第一儲存器17和第二儲存器19中或來自兩個儲存器17和19的氣體混合物中的預期污染物濃度(第一儲存器17與第二儲存器19的預定稀釋度)進行比較，及這些差異與預定允許最大差異的比較。如果差值低於允許的最大差值，則可以認為分析儀3的測量是可靠的，且確認在步驟102中測量到的污染物的濃度值大於預定臨限值，且該方法繼續到步驟105，其中可以發出指示該污染物濃度的警告。

還可以對取樣管線7進行一個或多個新的測量，以執行確認第一個測量，其中已經測量到大於預定臨限值的濃度。這些新的測量也可以在與已檢測到污染的區域相鄰的區域中進行。如果在多個分析的取樣管線7中同時檢測到污染，則可以在這些取樣管線7之一上執行新的測量，以改善對污染區域範圍的確定。

作為替代方案，也可以從第二儲存器19(或兩個儲存器17、19的混合物)中污染物的濃度測量開始，然後測量第一儲存器17中的濃度。也可使用包含不同污染物或不同濃度污染物的儲存器17。

如果測量值和預定義濃度之間的差異大於允許的最大差，則分析儀3的測量可以被認為是不可靠的，且該方法繼續到步驟106，其中可以請求分析儀3的重新校準且可以發出指示分析儀3不可靠性的警告。

當分析儀3測量到的污染物濃度大於預定臨限值時，對分析儀3的精確度進行驗證，使得可以減少錯誤檢測的情況數量，而無需驗證分析儀3每次測量的的精確度。具體地，測量需要幾分鐘，例如五分鐘，而精確度的驗證可能需要幾十分鐘，例如20分鐘。因此，無塵室污染的管理較不受限制(由於錯誤檢測實例數量的減少)，因為污染的檢測通常導致操作員的干預來分析污染的來源並補救這種污染。

1:測量站 3:氣體分析儀 5:進氣口 7:取樣管線 9:取樣點 11:閥 13:調節泵 15:控制單元 17:第一儲存器 19:第二儲存器 21:第一附加閥 23:第二附加閥 24:第一流量計 26:第二流量計 101:步驟 102:步驟 103:步驟 11’:閥 1041:子步驟 1042:子步驟 1043:子步驟 1044:子步驟 1045:子步驟 105:步驟 106:步驟

透過閱讀以說明性和非限制性範例的方式給出的以下描述以及附圖，本發明的其他特徵和優點將變得更加清楚，其中：

[圖1]是根據第一實施例的測量站和相關取樣管線的圖；

[圖2]是根據第二實施例的測量站和相關取樣管線的圖；

[圖3]是根據第三實施例的測量站和相關取樣管線的圖；

[圖4a]是與第一實施方式的分析儀關聯的儲存器的圖；

[圖4b]是與第二實施方式的分析儀關聯的儲存器的圖；

[圖5]是使用測量站檢測空氣分子污染的方法的步驟的流程圖。

在這些圖中，相同的元件具有相同的符號。

以下實施例為範例。儘管描述關於一個或多個實施例，但這並不一定意味著每個所提及者關於相同的實施例或這些特徵適用於單一實施例。不同實施例的各個特徵也可以組合或互換以提供其他實施例。

1:測量站

3:氣體分析儀

5:進氣口

7:取樣管線

9:取樣點

11:閥

13:調節泵

15:控制單元

Claims (16)

1. 一種用於測量空氣分子污染的站(1)，包括： -至少一氣體分析儀(3)，配置為測量至少一種污染物的濃度； -多個進氣口(5)，配置為與該氣體分析儀(3)流體連通且被配置為連接到一個或多個取樣管線(7)； -多個第一可控隔離閥(11)，插置在該多個進氣口(5)和該氣體分析儀(3)之間； -控制單元(15)，配置為控制該第一可控隔離閥(11)的開啟和關閉，以便將該氣體分析儀(3)置於與至少一取樣管線(7)流體連通； 其特徵在於，該控制單元(15)也被配置為當透過該分析儀(3)檢測到大於預定臨限值的污染物的濃度時，命令該分析儀(3)的精確度的驗證。
2. 根據請求項1所述的測量站，還包括：儲存器(17)，包括具有預定濃度的一種或多種待監測污染物的參考流體；及附加閥(21)，設置在該儲存器(17)和該氣體分析儀(3)之間，該控制單元(15)被配置為在該分析儀(3)的該精確度的該驗證期間控制該附加閥(21)的開啟並命令該儲存器(17)中的一種或多種污染物的該濃度的測量。
3. 根據請求項1或2所述的測量站(1)，還包括：第一儲存器(17)，包括具有預定濃度的一種或多種待監測污染物的流體；第一附加閥(21)，與用於控制該第一儲存器(17)和該分析儀(3)之間流體連通的建立的第一質量流量計(24)相關聯；第二儲存器(19)，包含不含待監測污染物的流體；第二附加閥(23)，與用於控制該第二儲存器(19)和該分析儀(3)之間流體連通的建立的第二質量流量計(26)相關聯；該控制單元(15)被配置以在該分析儀(3)的該精確度的該驗證期間控制該第一或第二附加閥(21、23)中一者的開啟，命令透過該分析儀(3)該第一或第二儲存器(17、19)中的該者中的該污染物的該濃度的測量，控制該第一或第二附加閥(21、23)中一者的關閉，控制該第一或第二附加閥(21、23)中另一者的開啟，命令透過該分析儀(3)該第一或第二儲存器(17、19)中該另一者的該污染物的該濃度的測量，將該測量值與該預定濃度進行比較以驗證該測量值與該預定濃度之間的差異是否低於預定最大差值。
4. 根據請求項3所述的測量站(1)，其中，該控制單元(15)被配置為在該第二儲存器(19)中的該濃度的該測量之前，命令該第一儲存器(17)中的該濃度的該測量。
5. 根據前述請求項中任一項所述的測量站(1)，其中，該控制單元(15)被配置為在透過該分析儀(3)檢測到污染物的濃度大於預定臨限值的情況下發出警告訊號，其精確度已驗證。
6. 根據前述請求項中任一項所述的測量站(1)，包括：多個分析儀(3)，並聯設置；及多個第二可控隔離閥(11’)，插置在該多個進氣口(5)以及該對應的多個分析儀(3)之間，以控制該分析儀(3)與該進氣口(5)之間流體連通的建立。
7. 根據前述請求項所述的測量站(1)，其中，該控制單元(15)被配置成控制該第一及第二可控隔離閥(11、11’)的該開啟和該關閉，以便根據預定順序依續地及/或同時地建立流體在該取樣管線(7)和該分析儀(3)之間的流體連通。
8. 根據請求項6或7所述的測量站(1)，其中，該控制單元(15)被配置為當僅針對某些分析儀(3)透過該分析儀(3)檢測到污染物的濃度大於預定臨限值時，命令該分析儀(3)的該精確度的驗證。
9. 根據前述請求項中任一項所述的測量站(1)，其中，該控制單元(15)被配置為當檢測到污染物的濃度大於預定臨限值時發出警告信號並啟動該精確度的驗證。
10. 根據前述請求項中任一項所述的測量站(1)，其中，該進氣口(5)包括：裝置，用於調節空氣流速，使通過不同取樣管線(7)到達其所連接的該進氣口(5)的輸送，無論其長度及/或直徑都是相同的。
11. 根據前述請求項所述的測量站(1)，其中，用於調節該空氣流速的該裝置是具有微洩漏的閥。
12. 根據前述請求項中任一項所述的測量站(1)，其中，如果該測量的濃度值與該預定濃度之間的差值大於預定最大差值，則該控制單元(15)被配置為命令該分析儀(3)的重新校準。
13. 一種使用測量站(1)檢測空氣分子污染的方法，該測量站包括：氣體分析儀(3)；及多個進氣口(5)，被配置為與該氣體分析儀(3)流體連通且被配置為連接至一個或多個取樣管線(7)，該方法包括以下步驟： -在與該進氣口(5)相關聯的取樣管線(7)和該分析儀(3)之間依序建立流體連通，並測量在該取樣管線(7)中待監測的一種或多種污染物的濃度， -當污染物的該濃度的該測量值超過預定臨限值時，驗證該氣體分析儀(3)的精確度。
14. 根據前項請求項所述的檢測方法，其中，當已驗證該氣體分析儀(3)的該精確度時，發出警告信號及/或發送警告信號到遠端伺服器。
15. 根據請求項13或14所述的檢測方法，其中，該測量站(1)包括：多個氣體分析儀(3)，其與一種污染物或一組污染物相關，且其中，該氣體分析儀(3)被放置在同時與該取樣管線(7)流體連通。
16. 根據請求項13至15中任一項所述的檢測方法，其中，驗證該氣體分析儀(3)的該精確度的步驟包括：在該氣體分析儀(3)和第一儲存器(17)之間建立流體連通，該第一儲存器(17)包括具有預定濃度的待監測污染物的流體並透過該分析儀(3)的方式測量該濃度，然後在該分析儀(3)和第二儲存器(19)之間建立流體連通，該第二儲存器(19)包括不含待監測的該污染物的流體，並透過該分析儀(3)的方式測量該濃度。

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