TW202409485A - 調溫系統及調溫裝置 - Google Patents

Abstract

[課題] 本發明的課題為提供一種如下調溫系統及調溫裝置，在向具備與外部空間分隔之內部空間之小室本體供給調溫空氣之調溫系統及調溫裝置中，不依賴於冷媒的種類而能夠實現作為起居室的安全運用，並且適當地維持小室本體中的環境條件。 [解決手段] 為了解決上述課題，提供如下調溫系統，其具備：小室本體，係具備與外部空間分隔之內部空間；調溫裝置，係向小室本體的內部空間供給調溫空氣；及氣體檢測手段，係進行在調溫裝置中使用之冷媒氣體的檢測。 依本發明，能夠準確地掌握冷媒氣體的洩漏，不依賴於冷媒的種類而能夠實現作為小室本體的起居室的安全運用，且適當地維持環境條件。尤其，在使用GWP低但具有微燃性或臭氣等由洩漏引起之影響大的特性之冷媒時，能夠發揮顯著的效果。

Description

調溫系統及調溫裝置

本發明係關於一種調溫系統及調溫裝置。尤其，本發明係關於一種配置於工場或建築物內並且用於在預定的環境條件下進行各種作業等之調溫系統及調溫裝置。

為了進行電子零件、精密零件的組裝或實驗等各種作業、製程(process)裝置、精密機械的運轉等，在工場或建築物內設置形成與外部空間隔離之局部空間之小室(booth)是廣為人知的。在這樣的小室中，利用分隔構件(牆壁、頂棚等)從外部空間隔離內部空間，以保持溫度或濕度、潔淨度等環境條件。

例如，在專利文獻1中記載有潔淨小室裝置，其具備：潔淨小室，係為了將小室內的溫度或濕度維持在預定值而具有風扇過濾器單元；及空調機，係向該潔淨小室的風扇過濾器單元供給經調整之空氣。 [先前技術文獻] [專利文獻]

[專利文獻1] 日本特開2016-196985號公報

[發明所欲解決之問題]

一般而言，在產生溫度或濕度等經調整之空氣(以下，亦稱為「調溫空氣」)之空調機中，利用用於進行空氣的熱移動(熱搬送)之冷媒。 另一方面，近年來，作為溫室效應氣體的排出抑制對策之一，針對被用作空調機的冷媒之氫氟碳類，計劃減少以二氧化碳換算的排出量。 因此，在進行調溫空氣的產生和供給時，要求使用全球暖化潛勢係數(GWP)低的冷媒。

在此，如專利文獻1中所記載之潔淨小室裝置，對形成與外部空間隔離之空間之小室供給調溫空氣時，為了保持小室內的預定的環境條件而所需要的冷媒的總量比所謂的家庭用空調機多。因此，當由以往的冷媒變更為GWP低的冷媒時，需考慮由冷媒的變更引起之影響。 尤其，關於作為GWP低的冷媒而今後的應用備受期待之R32，具有微燃性且在特定範圍的濃度燃燒是廣為人知的。亦即，為了不因冷媒的變更而對運用的安全性產生影響，要求準確地掌握冷媒從空調機等的洩漏，進而進行適當的對應。

本發明的課題為提供一種如下調溫系統及調溫裝置，在向具備與外部空間分隔之內部空間之小室本體供給調溫空氣之調溫系統及調溫裝置中，不依賴於冷媒的種類而能夠實現作為起居室的安全運用，並且適當地維持小室本體中的環境條件。 [解決問題之技術手段]

本發明人對上述課題進行了苦心探討的結果，發現如下，並完成了本發明：在向具備與外部空間分隔之內部空間之小室本體供給調溫空氣之調溫系統及調溫裝置中，藉由設置進行在供給調溫空氣之調溫裝置中使用之冷媒氣體的檢測之手段，能夠準確地掌握冷媒氣體的洩漏，不依賴於冷媒的種類而能夠實現作為起居室的安全運用，且適當地維持小室本體中的環境條件。 亦即，本發明為以下的調溫系統及調溫裝置。

用於解決上述課題之本發明的調溫系統的特徵為，具備：小室本體，係具備與外部空間分隔之內部空間；調溫裝置，係向小室本體的內部空間供給調溫空氣；以及氣體檢測手段，係進行在調溫裝置中使用之冷媒氣體的檢測。 以往，在進行調溫空氣的產生和供給之調溫裝置中使用之冷媒，一直使用不燃性且對人體的影響少的物質，因此並沒有考慮到進行與冷媒的洩漏有關的迅速檢測。 另一方面，依本發明的調溫系統，藉由設置進行冷媒氣體的檢測之氣體檢測手段，能夠準確地掌握冷媒氣體的洩漏，不依賴於冷媒的種類而能夠實現作為小室本體的起居室的安全運用，並且適當地維持環境條件。尤其，在使用GWP低但具有微燃性或臭氣等由洩漏引起之影響大的特性之冷媒時，能夠發揮顯著的效果。

又，作為本發明的調溫系統的一實施方式，氣體檢測手段設置於調溫空氣所通過之路徑上。 依該特徵，能夠確實地檢測冷媒氣體洩漏到調溫空氣內，能夠進行更進一步安全的運用。

又，作為本發明的調溫系統的一實施方式，具備通知手段，該通知手段依據由氣體檢測手段檢測出的冷媒氣體濃度來進行異常狀態的判別及通知。 依該特徵，能夠更進一步準確地掌握由冷媒氣體的洩漏引起之系統的異常狀態，並且容易迅速地進行由操作員作出的適當的對應，從而能夠實現更進一步安全的運用。

又，作為本發明的調溫系統的一實施方式，通知手段具有顯示部，該顯示部與異常狀態的通知一同顯示異常履歷。 依該特徵，操作員容易掌握由冷媒氣體的洩漏等引起之系統的異常狀態及與異常狀態有關的履歷，並且更進一步容易迅速地進行由操作員作出的適當的對應。又，藉由還顯示與由冷媒氣體的洩漏引起之系統的異常狀態以外有關的異常狀態及異常履歷，能夠迅速地掌握操作員應進行之對應，並適當地實施為了系統的穩定運用所需要的作業。

又，作為本發明的調溫系統的一實施方式具備進行小室本體的內部空間中的冷媒氣體濃度的上升抑制之故障安全(fail safe)機構，故障安全機構依據基於氣體檢測手段之冷媒氣體的檢測結果發揮作用。 依該特徵，即使在發生了冷媒氣體的洩漏這一不良狀況之情況下，亦能夠使系統全體安全地動作。

用於解決上述課題之本發明的調溫裝置進行具備與外部空間分隔之內部空間之小室本體的調溫，前述調溫裝置的特徵為，具備：調溫部，係進行空氣的調溫；供給部，係與小室本體連接，將來自調溫部之調溫空氣供給到小室本體的內部空間；以及氣體檢測手段，係進行在調溫部中使用之冷媒氣體的檢測。 依本發明的調溫裝置，藉由設置進行冷媒氣體的檢測之氣體檢測手段，能夠準確地掌握冷媒氣體的洩漏，不依賴於冷媒的種類而能夠實現作為供給調溫空氣之小室本體的起居室之安全運用，並且適當地維持環境條件。尤其，在使用GWP低但具有微燃性或臭氣等由洩漏引起之影響大的特性之冷媒時，能夠發揮顯著的效果。 [發明之效果]

依本發明，能夠提供一種如下調溫系統及調溫裝置，在向具備與外部空間分隔之內部空間之小室本體供給調溫空氣之調溫系統及調溫裝置中，不依賴於冷媒的種類而能夠實現作為起居室的安全運用，並且適當地維持小室本體中的環境條件。

以下，參照圖式對本發明之調溫系統及調溫裝置進行詳細說明。 另外，關於實施方式中所記載之調溫系統及調溫裝置，只不過是為了說明本發明之調溫系統及調溫裝置而例示，並不限於此。

[第1實施方式] 圖1係表示本發明的第1實施方式之調溫系統1A的結構之概略說明圖(立體圖)。又，圖2係表示本發明的第1實施方式之調溫系統1A的結構之概略說明圖(側視圖)。 如圖1及圖2所示，本實施方式中的調溫系統1A係具備如下者：具備與外部空間分隔之內部空間S之小室本體2、向小室本體2的內部空間S供給調溫空氣之調溫裝置3及進行在調溫裝置3中使用之冷媒氣體的檢測之氣體檢測手段4。 另外，在圖2中，鏈線箭頭表示調溫空氣的流動。

本實施方式中的調溫系統1A例如配置於工場或建築物內，藉由對小室本體2的內部空間S供給來自調溫裝置3之調溫空氣而在與外部空間隔離之局部的區隔區內形成和維持預定的環境條件。又，本實施方式中的調溫系統1A藉由具備進行在產生和供給調溫空氣時使用之冷媒氣體的檢測之氣體檢測手段4而能夠準確地掌握冷媒氣體的洩漏。

本實施方式中的小室本體2具備與外部空間分隔之內部空間S，被供給來自調溫裝置3之調溫空氣。 作為本實施方式中的小室本體2，例如，如圖1所示，可以舉出如下者：藉由組裝配設於地板面上之4根支柱21a～21d和頂棚部22及分隔構件23a～23d而形成與外部空間分隔之內部空間S。

在此，內部空間S為能夠藉由來自調溫裝置3之調溫空氣的供給在預定的環境條件下進行作業之作業空間，內部空間S的尺寸並不限於特定的值，例如可以設為深度方向3～20m、寬度方向3～20m、高度方向2～5m左右。 又，關於在內部空間S進行之作業內容，並無特別限定，例如可以舉出電子零件·精密零件的組裝、實驗等各種作業、製程裝置、精密機械的運轉等要求經調溫之氛圍下的作業或機器的運轉者。

頂棚部22及分隔構件23a～23d可以適當地使用被用作乙烯基窗簾、隔熱不燃板、玻璃、壓克力板、金屬板等、牆壁材料或頂棚材料之公知材料。 又，如圖1所示，為了保持小室本體2的結構強度，使用支柱21a～21d來組裝頂棚部22及分隔構件23a～23d為較佳，但當由頂棚部22及分隔構件23a～23d的材質和大小等充分維持小室本體2的結構的強度時，可以省略支柱21a～21d。又，亦可以代替圖1所示之4根支柱21a～21d而使用框架(框體)、樑等來組裝頂棚部22及分隔構件23a～23d。

在本實施方式的小室本體2中的頂棚部22側設置有被供給來自調溫裝置3之調溫空氣之導入口24。又，在小室本體2的分隔構件23(分隔構件23a)下側設置有將內部空間S內的調溫空氣返送到調溫裝置3之導出口25。

在此，如圖2所示，本實施方式中的小室本體2具有設置有導入口24之頂棚部22沿水平方向擴展之空間，進而在內部空間S側形成有複數個導入孔24a為較佳。藉此，從導入口24供給之調溫空氣在頂棚部22的空間內沿水平方向擴散，並從各導入孔24a供給到內部空間S。亦即，能夠將均勻地整流之狀態的調溫空氣供給到內部空間S全體。 又，可以在頂棚部22的空間內設置ULPA過濾器等空氣過濾器單元，從調溫空氣中去除塵埃或浮游微生物等並供給到內部空間S。

在本實施方式的小室本體2中的分隔構件23的一部分設置有能夠從外部空間進出內部空間S之出入口26。另外，關於出入口26的具體結構，只要操作員及/或機器能夠進出內部空間S且能夠維持外部空間與內部空間S的隔離狀態，則無特別限定。例如，如圖1所示，可以由分隔構件23(分隔構件23b)形成能夠開閉之門扇狀結構，亦可以在分隔構件23的一部分設置開口部且額外設置氣簾(air curtain)或與開口部有關的開閉機構。

又，如圖1所示，本實施方式中的小室本體2可以在支柱21a～21d的底部具備調節器(adjuster)27及腳輪(caster)28。 安裝於支柱21a～21d之調節器27固定調溫系統1A的位置並個別地調整各支柱的高度。又，腳輪28使調溫系統1A的移動變得容易。藉此，能夠簡便且自由自在地進行調溫系統1A的移動和固定。

本實施方式中的調溫裝置3用於向小室本體2的內部空間S供給調溫空氣。 另外，從本實施方式中的調溫裝置3供給之調溫空氣主要係指經溫度調整之空氣，但並不限於此。作為調溫空氣，例如亦可以為進行了濕度調整或潔淨度調整之空氣。

作為本實施方式的調溫裝置3，如圖2所示，可以舉出具備如下者：調溫部31，係經由與小室本體2的導出口25連接之配管L1及吸入口34被導入來自內部空間S之空氣(調溫空氣)並將該空氣調整(調溫)為滿足預定的條件(溫度、濕度、潔淨度等)；供給部32，係與小室本體2連接，將來自調溫部31之調溫空氣從小室本體2的導入口24供給到內部空間S；及送風風扇33，係從調溫部31向供給部32輸送調溫空氣。又，調溫裝置3可以舉出如下者：具備框體35，該框體35具有吸入口34，容納調溫部31及送風風扇33，且形成以記載順序使調溫空氣連通之流路35a。 藉此，來自小室本體2的導出口25之調溫空氣在沿著流路35a在框體35內流通之過程中調溫為滿足預定條件，並經由供給部32從小室本體2的導入口24再度供給到內部空間S。亦即，調溫空氣適當地進行調溫之同時在調溫系統1A內循環，因此能夠將內部空間S中的環境條件維持為預定的狀態。

調溫部31只要能夠調整滿足預定的條件之調溫空氣即可，例如可以舉出具有與冷却·加熱、除濕·加濕有關的功能者。尤其，作為本實施方式的調溫部31，可以舉出利用冷媒氣體進行調溫者。 作為本實施方式中的調溫部31的具體例，例如可以舉出由具備公知的壓縮機、冷凝器、膨脹閥、蒸發器等之冷凍電路構成之具備製冷功能者。又，亦可以設置利用在冷凍電路中流通之冷媒氣體的溫熱來加熱調溫空氣之再熱器。

作為在調溫部31中使用之冷媒氣體，只要能夠進行空氣的調溫即可，使用GWP低的冷媒為特佳。作為這樣的冷媒氣體，例如可以舉出如R32、R1234yf、R1234ze那樣的A2L(微燃性)冷媒或氨等。該等冷媒氣體的GWP的值低，可期待作為可能成為溫暖化對策之一的下一代冷媒。 本實施方式中使用之冷媒氣體亦可以使用關注除GWP以外的物性者。又，亦可以鑑於對環境的影響或成本等而選擇冷媒氣體的種類。 另外，在本實施方式的調溫系統1A中，為了不依賴於冷媒的種類而能夠適當地維持小室本體2中的環境條件，並且實現作為起居室之安全運用，作為準確地掌握冷媒氣體的洩漏之手段，設置氣體檢測手段4。

供給部32用於使來自調溫部31之調溫空氣藉由使用送風風扇33之送風向小室本體2的導入口24流通並供給到內部空間S。 作為供給部32的具體例，如圖1及圖2所示，可以舉出如下者：設置用於移送在容納有調溫部31及送風風扇33之框體35內流通之調溫空氣之供給管32a，並將該供給管32a連接於小室本體2的導入口24。

在圖1及圖2中示出設置單個供給管32a作為供給部32者，但並不限於此。作為供給部32，亦可以設置複數個供給管。 又，如圖1及圖2所示，作為本實施方式的供給部32，在導入口24附近的供給管32a上設置流量調整閥MD1為較佳。再者，能夠控制供給到小室本體2的內部空間S之調溫空氣的供給量且以內部空間S成為正壓之方式控制調溫空氣的供給量為較佳。藉此，外部空間的空氣難以流入到內部空間S，容易適當地維持內部空間S中的環境條件。

氣體檢測手段4用於進行在調溫裝置3中使用之冷媒氣體的檢測。藉此，能夠準確地掌握調溫系統1A中的冷媒氣體的洩漏。尤其，在使用GWP低但具有微燃性或臭氣等由洩漏引起之影響大的特性之冷媒時，藉由準確地掌握冷媒氣體的洩漏，能夠發揮顯著的效果，例如能夠迅速地進行所需要的對應等。

作為氣體檢測手段4，只要能夠進行冷媒氣體的檢測即可，根據在調溫裝置3中使用之冷媒氣體可以使用公知的氣體檢測器、氣體感測器。 又，作為氣體檢測手段4，可以始終或定期地進行冷媒氣體濃度的測定，亦可以僅在冷媒氣體濃度超過預定濃度時進行檢測。

設置氣體檢測手段4之部位並無特別限定，如圖1及圖2所示，可以舉出設置於調溫裝置3內。此時，從調溫部31洩漏之冷媒氣體藉由使用送風風扇33之送風而與調溫空氣一同在框體35(流路35a)及供給部32內流通。因此，如圖2所示，在調溫空氣通過之路徑上(流路35a或供給部32)設置氣體檢測手段4為較佳。藉此，能夠確實地檢測冷媒氣體洩漏到調溫空氣內，從而能夠進行更進一步安全的運用。又，在調溫裝置3的流路35a上設置氣體檢測手段4為特佳。藉此，能夠在靠近可能發生冷媒氣體的洩漏之部位(調溫部31)之處進行檢測，因此能夠迅速且確實地檢測冷媒氣體洩漏到調溫空氣內，從而能夠進行更進一步安全的運用。 另外，作為設置氣體檢測手段4之部位，並不限於調溫裝置3內。例如，亦可以在小室本體2側設置氣體檢測手段4。

如此，在本實施方式的調溫系統1A中，藉由由調溫裝置3調溫之調溫空氣進行循環，小室本體2的內部空間S被控制為滿足預定的環境條件。又，本實施方式的調溫系統1A藉由具備氣體檢測手段4，能夠準確地掌握來自調溫裝置3之冷媒氣體的洩漏，不依賴於冷媒的種類而能夠實現作為小室本體2的起居室之安全運用，並且適當地維持環境條件。尤其，在使用GWP低的觀點上有用但具有微燃性或臭氣等由洩漏引起之影響大的特性之冷媒時，能夠發揮顯著的效果。

另外，在本實施方式中，與具備氣體檢測手段4之調溫裝置3有關的構成可以獨立地作為本發明之調溫裝置。又，藉由將該調溫裝置與已設置之小室本體進行連接，能夠以簡單的安裝作業提供本發明的調溫系統。

以下，作為本發明的調溫系統及調溫裝置的另一方式，對具備用於操作員依據基於氣體檢測手段4之檢測結果準確地掌握冷媒氣體的洩漏而進行對應之具體手段或用於實現安全運用之具體手段者進行說明。

[第2實施方式] 圖3係表示本發明的第2實施方式之調溫系統1B的構成之概略說明圖。又，圖4係表示在本發明的第2實施方式之調溫系統1B中尤其通知手段的一例之概略說明圖。 如圖3及圖4所示，第2實施方式的調溫系統1B在第1實施方式的調溫系統1A中進一步具備依據由氣體檢測手段4檢測之冷媒氣體濃度進行異常狀態的判別及通知之通知手段5。另外，關於與第1實施方式相同的構成，省略說明。又，圖3中的實線箭頭表示以能夠進行資訊(資料)的輸出入之方式連接。

本實施方式中的通知手段5為用於操作員準確地掌握冷媒氣體的洩漏而進行對應之具體手段之一，依據氣體檢測手段4的檢測結果(冷媒氣體濃度)進行異常狀態的判別及通知。 藉此，操作員能夠迅速地掌握調溫系統1B是否處於基於冷媒氣體的洩漏之異常狀態，並能夠根據由通知手段5通知之內容來迅速地進行所需要的對應。

作為通知手段5的具體例，例如，如圖3所示，可以舉出具備判別部51和通知部52者，該判別部51依據由氣體檢測手段4檢測之冷媒氣體濃度來判別是否處於異常狀態，該通知部52輸出判別部51中的判別結果而進行通知。又，作為通知手段5，進一步具備與由通知部52通知之內容一併顯示異常履歷之顯示部53為較佳。

判別部51使用氣體檢測手段4的檢測結果針對調溫系統1B判別是否處於需要進行基於冷媒氣體的洩漏之對應之狀況(異常狀態)。更具體而言，判別部51可以舉出如下者：與氣體檢測手段4可輸出入地連接，取得與由氣體檢測手段4檢測之冷媒氣體濃度有關的資訊，並且依據該資訊進行判別是否處於異常狀態之運算。

由判別部51取得之來自氣體檢測手段4之資訊可以為與由氣體檢測手段4始終或定期地取得之冷媒氣體濃度有關的資訊，亦可以為與僅在冷媒氣體濃度超過閾值或進入預定範圍內時由氣體檢測手段4檢測之結果有關的資訊。 例如，當判別部51連續地或定期地取得來自氣體檢測手段4之資訊時，事先設定判別基準值，當超過該判別基準值或進入判別基準值內時，判斷為冷媒氣體發生了洩漏，並將處於異常狀態這一判別結果傳送到通知部52。 又，當判別部51取得閾值或預定範圍內等以一定的基準為基礎而檢測之結果作為來自氣體檢測手段4之資訊時，判斷為在取得了該檢測結果之時點冷媒氣體發生了洩漏，並將處於異常狀態這一判別結果傳送到通知部52。

在此，可以階段地進行基於判別部51之異常狀態的判別。例如，當在調溫裝置3中使用之冷媒氣體為A2L冷媒時，可以舉出如下：將洩漏的程度小於A2L冷媒的爆炸極限(explosion limit)的值(例如，爆炸極限的1/20～1/50)設為「冷媒洩漏等級1(第1階段)」，將接近A2L冷媒的爆炸極限的值(例如，爆炸極限的1/10～1/2)設為「冷媒洩漏等級2(第2階段)」等，並將異常狀態的每個等級的判別結果傳送到通知部52，或者，如圖4所示，在顯示部53進行顯示。藉此，無論在緩慢地產生冷媒氣體的洩漏之情況下，還是在急劇產生之情況下，均能夠準確地掌握基於冷媒氣體的洩漏之異常狀態，從而能夠迅速地進行適當的對應。

通知部52用於通知從判別部51傳送之判別結果，主要對操作員進行通知。另外，基於通知部52之通知可以用作用於使後述之故障安全機構6發揮作用之指示訊號。 與基於通知部52之通知有關的輸出手段只要能夠使操作員掌握通知內容，則無特別限定。例如，可以舉出將通知內容以文章、用語、記號方式進行輸出，或者輸出與通知內容相對應之聲音、光等。又，通知部52中的輸出手段亦可以組合複數個。

尤其，作為基於通知部52之通知，將通知內容以文章·用語·記號方式進行輸出為較佳，因為能夠準確且容易地理解通知內容。又，如圖4所示，藉由設置與基於通知部52之通知內容一併顯示異常履歷之顯示部53，容易與通知內容的理解及回顧一併掌握發生了異常狀態之時序，能夠迅速地掌握操作員應進行之對應，並實施所需要的作業。另外，在圖4的下部示出「異常名稱」、「發生日期時間」、「恢復」這樣的項目作為在顯示部53顯示之異常履歷的顯示例，但並不限於此。

如圖4所示，通知部52及顯示部53可以一體地直接設置於調溫裝置3(框體35)的外裝上，亦可以在PC或平板終端等通信終端具備通知部52及顯示部53的功能。另外，如圖4所示，當將通知部52及顯示部53直接設置於調溫裝置3時，使用基於觸控面板之顯示及輸入方式，使得能夠進行與異常狀態相關的詳細資訊或異常履歷的確認和呼叫有關的操作，進而能夠輸入對應完畢為較佳。藉此，能夠提高操作員的作業效率。

又，在顯示部53，不僅可以顯示基於氣體檢測手段4的檢測結果之異常狀態及異常履歷，還可以顯示與調溫系統1B全體有關的異常狀態及異常履歷。藉此，能夠迅速地掌握操作員應進行之對應，從而適當地實施為了系統的穩定運用而所需要的作業。 作為在顯示部53顯示之內容的一例，例如除了與冷媒氣體的洩漏有關的異常以外，還可以舉出作為氣體檢測手段4之氣體檢測器本身的異常(故障)、送風風扇33的異常、調溫部31的異常等。

本實施方式中的調溫系統1B藉由具備依據由氣體檢測手段檢測之冷媒氣體濃度進行異常狀態的判別及通知之通知手段，能夠更進一步準確地掌握由冷媒氣體的洩漏引起之系統的異常狀態，並且容易迅速地進行由操作員作出的適當的對應，從而能夠實現更進一步安全的運用。

另外，在本實施方式中，與具備氣體檢測手段4及通知手段5之調溫裝置3有關的構成可以獨立地作為本發明之調溫裝置。又，藉由將該調溫裝置與已設置之小室本體進行連接，能夠以簡單的安裝作業提供本發明的調溫系統。

[第3實施方式] 圖5～圖7係表示本發明的第3實施方式之調溫系統1C的構成之概略說明圖。另外，在圖5中，上圖為調溫系統1C的側視圖，下圖為從頂棚部22觀察調溫系統1C之平面圖。 如圖5～圖7所示，第3實施方式的調溫系統1C在第1實施方式的調溫系統1A中進一步具備進行小室本體2的內部空間S中的冷媒氣體濃度的上升抑制之故障安全機構6，該故障安全機構6依據基於氣體檢測手段4之冷媒氣體的檢測結果發揮作用。另外，關於與第1實施方式相同的構成，省略說明。

本實施方式中的故障安全機構6為用於實現安全運用之具體手段之一，依據基於氣體檢測手段4之冷媒氣體的檢測結果進行小室本體2的內部空間S中的冷媒氣體濃度的上升抑制。

在此，故障安全一般係指在裝置中發生了某種異常時均使裝置全體向安全側動作，當本實施方式中的故障安全機構6依據基於氣體檢測手段4之冷媒氣體的檢測結果觀察到冷媒氣體的洩漏這一異常狀態時，藉由進行小室本體2的內部空間S中的冷媒氣體濃度的上升抑制而能夠實現提高了作為尤其操作員進出之內部空間S的起居室之安全性之運用。

關於為了使本實施方式中的故障安全機構6適當地發揮作用而使用之、取得基於氣體檢測手段4之冷媒氣體的檢測結果之手段，並無特別限定，例如可以舉出使用上述之通知手段5。更具體而言，可以舉出將從判別部51傳送之判別結果直接輸入到故障安全機構6中，或者由操作員基於通知部52的通知結果手動輸入，或者，將通知部52的通知結果作為指示訊號而輸入到故障安全機構6中等。

以下，對本實施方式中的故障安全機構6的具體例進行說明。 作為故障安全機構6的一例，如圖5所示，可以舉出作為調溫裝置3的供給部32而具備至少兩根與小室本體2的導入口24連接之供給管(供給管32a及32b)，在供給管32a及32b的導入口24附近分別設置流量調整閥MD1及MD2，進而，在供給管32a及32b的框體35附近分別設置流量調整閥VD1及VD2。 又，關於流量調整閥VD1及VD2的開閉操作以及流量調整閥MD1及MD2的開閉操作，設置能夠個別地控制之控制部61a，並且依據基於氣體檢測手段4之冷媒氣體的檢測結果來實施基於控制部61a之各流量調整閥的開閉操作。 再者，在供給管32b與框體35之間配設能夠進行冷媒氣體的吸附或去除之化學過濾器CF。

對控制部61a中的與流量調整閥的開閉操作有關的控制的一例進行說明。 首先，作為基於氣體檢測手段4之冷媒氣體的檢測結果，未發生與冷媒氣體的洩漏有關的異常狀態時，打開供給管32a的流量調整閥VD1及MD1，而關閉供給管32b的流量調整閥VD2及MD2。另外，此時，供給管32a的流量調整閥MD1可以為了調整向內部空間S之調溫空氣的供給量而調整開度。

另一方面，作為基於氣體檢測手段4之冷媒氣體的檢測結果，發生了與冷媒氣體的洩漏有關的異常狀態時，關閉供給管32a的流量調整閥VD1及/或MD1，而打開供給管32b的流量調整閥VD2及MD2。藉此，混合有洩漏之冷媒氣體之調溫空氣(以下，稱為「冷媒氣體混合調溫空氣」)在通過化學過濾器CF之後，經由供給管32b供給到內部空間S。因此，即使發生冷媒氣體的洩漏，在小室本體2的內部空間S中，冷媒氣體的濃度上升亦得到抑制，能夠進行安全運用。又，由於僅在冷媒氣體發生了洩漏之情況下使調溫空氣向化學過濾器CF流通，因此亦能夠降低化學過濾器CF的劣化速度。

又，作為基於氣體檢測手段4之冷媒氣體的檢測結果，當冷媒氣體的洩漏程度大時，關閉供給管32a的流量調整閥VD1及/或MD1，而打開供給管32b的流量調整閥VD2，並關閉流量調整閥MD2。藉此，冷媒氣體混合調溫空氣在通過化學過濾器CF之後，儲存在供給管32b內。因此，在冷媒氣體的洩漏程度大的情況下，冷媒氣體混合調溫空氣不會供給到小室本體2的內部空間S，因此冷媒氣體的濃度上升得到抑制，能夠進行安全運用。 另外，此時，為了降低冷媒氣體濃度，對儲存在供給管32b內之冷媒氣體混合調溫空氣進行稀釋為較佳。關於稀釋手段，例如可以舉出如下：將供給管32b的流量調整閥MD2設為三通閥，將供給管32b內的冷媒氣體混合調溫空氣開放在大氣中；解決調溫裝置3中的冷媒氣體的洩漏之後，藉由打開供給管32a的流量調整閥VD1及MD1以及供給管32b的流量調整閥MD2而利用不含冷媒氣體之調溫空氣稀釋儲存在供給管32b內之冷媒氣體混合調溫空氣等。

又，作為本實施方式中的故障安全機構6的另一方式，如圖6所示，可以舉出如下：在調溫裝置3的框體35上方，除了設置與小室本體2的導入口24連接之供給管32c以外，還設置使調溫空氣向配管L1側旁通之配管36，在供給管32c及配管36的框體35附近分別設置流量調整閥VD3及VD4。 又，設置能夠個別地控制流量調整閥VD3及VD4的開閉操作之控制部61b，並且依據基於氣體檢測手段4之冷媒氣體的檢測結果實施基於控制部61b之各流量調整閥的開閉操作。

對控制部61b中的與流量調整閥的開閉操作有關的控制的一例進行說明。 首先，作為基於氣體檢測手段4之冷媒氣體的檢測結果，未發生與冷媒氣體的洩漏有關的異常狀態時，打開供給管32c的流量調整閥VD3，而關閉配管36的流量調整閥VD4。另外，此時，針對供給管32c，可以在導入口24附近設置流量調整閥(未圖示)，為了調整向內部空間S之調溫空氣的供給量而調整開度。

另一方面，作為基於氣體檢測手段4之冷媒氣體的檢測結果，發生了與冷媒氣體的洩漏有關的異常狀態時，關閉供給管32c的流量調整閥VD3，而打開配管36的流量調整閥VD4。藉此，冷媒氣體混合調溫空氣儲存在配管36內。因此，冷媒氣體混合調溫空氣不會供給到小室本體2的內部空間S，因此冷媒氣體的濃度上升得到抑制，能夠進行安全運用。 另外，此時，為了降低冷媒氣體濃度，對儲存在配管36內之冷媒氣體混合調溫空氣進行稀釋為較佳。關於稀釋手段，如上所述，可以舉出開放在大氣中或進行基於不含冷媒氣體之調溫空氣之稀釋。

再者，作為本實施方式中的故障安全機構6的另一方式，如圖7所示，可以舉出如下：在調溫裝置3的框體35上方，除了設置與小室本體2的導入口24連接之供給管32d以外，還設置將調溫空氣開放在大氣中之配管37，在供給管32d及配管37的框體35附近分別設置流量調整閥VD5及VD6。 又，設置能夠個別地控制流量調整閥VD5及VD6的開閉操作之控制部61c，並且依據基於氣體檢測手段4之冷媒氣體的檢測結果來實施基於控制部61c之各流量調整閥的開閉操作。

對控制部61c中的與流量調整閥的開閉操作有關的控制的一例進行說明。 首先，作為基於氣體檢測手段4之冷媒氣體的檢測結果，未發生與冷媒氣體的洩漏有關的異常狀態時，打開供給管32d的流量調整閥VD5，而關閉配管37的流量調整閥VD6。另外，此時，針對供給管32d，可以在導入口24附近設置流量調整閥(未圖示)，為了調整向內部空間S之調溫空氣的供給量而調整開度。

另一方面，作為基於氣體檢測手段4之冷媒氣體的檢測結果，未發生與冷媒氣體的洩漏有關的異常狀態時，關閉供給管32d的流量調整閥VD5，而打開配管37的流量調整閥VD6。藉此，冷媒氣體混合調溫空氣被開放在大氣中。因此，冷媒氣體混合調溫空氣不會供給到小室本體2的內部空間S，因此冷媒氣體的濃度上升得到抑制，能夠進行安全運用。 此時，為了使框體35內的冷媒氣體混合調溫空氣有效地開放在大氣中，可以藉由控制部61c增加送風風扇33的旋轉速度。尤其，當冷媒氣體為比重比空氣重的氣體時，進行送風風扇33的旋轉控制為較佳。 又，在上述之控制部61a及61b中，亦可以進行送風風扇33的旋轉控制，以免冷媒氣體停滯在框體35的底部。

本實施方式中的調溫系統1C藉由具備依據基於氣體檢測手段之冷媒氣體的檢測結果進行小室本體的內部空間中的冷媒氣體濃度的上升抑制之故障安全機構，即使在發生了冷媒氣體的洩漏這一不良狀況之情況下，亦能夠使系統全體安全地動作。

另外，在本實施方式中，與具備氣體檢測手段4及故障安全機構6之調溫裝置3有關的構成可以獨立地作為本發明之調溫裝置。又，藉由將該調溫裝置與已設置之小室本體進行連接，能夠以簡單的安裝作業提供本發明的調溫系統。

另外，上述之實施方式表示調溫系統及調溫裝置的一例。本發明之調溫系統及調溫裝置並不限於上述之實施方式，可以在不變更請求項中所記載之技術思想之範圍內對上述之實施方式之調溫系統及調溫裝置進行變形。 [產業上之可利用性]

本發明的調溫系統及調溫裝置適合用作提供在預定的環境下進行電子零件或半導體、電池、醫藥品、塗料等產品的製造中的製造步驟或機械的運轉之作業的作業空間者。

1A~1C:調溫系統 2:小室本體 21a~21d:支柱 22:頂棚部 23a~23d:分隔構件 24:導入口 24a:導入孔 25:導出口 26:出入口 27:調節器 28:腳輪 3:調溫裝置 31:調溫部 32:供給部 32a~32:供給管 33:送風風扇 34:吸入口 35:框體 35a:流路 36:旁通用配管 37:配管 4:氣體檢測手段 5:通知手段 51:判別部 52:通知部 53:顯示部 6:故障安全機構 61a~61c:控制部 CF:化學過濾器 L1:配管 MD1,MD2:流量調整閥 S:內部空間 VD1~VD6:流量調整閥

[圖1]係表示本發明的第1實施方式之調溫系統之概略說明圖(立體圖)。 [圖2]係表示本發明的第1實施方式之調溫系統之概略說明圖(側視圖)。 [圖3]係表示本發明的第2實施方式之調溫系統之概略說明圖。 [圖4]係表示本發明的第2實施方式之調溫系統中的通知手段的一例之概略說明圖。 [圖5]係表示本發明的第3實施方式之調溫系統之概略說明圖。 [圖6]係表示本發明的第3實施方式之調溫系統的另一方式之概略說明圖。 [圖7]係表示本發明的第3實施方式之調溫系統的另一方式之概略說明圖。

1A:調溫系統

2:小室本體

3:調溫裝置

4:氣體檢測手段

21a,21b,21c,21d:支柱

22:頂棚部

23a,23b,23c,23d:分隔構件

24:導入口

26:出入口

27:調節器

28:腳輪

32:供給部

32a:供給管

34:吸入口

S:內部空間

MD1:流量調整閥

Claims (6)

1. 一種調溫系統，其特徵為，具備： 小室本體，係具備與外部空間分隔之內部空間； 調溫裝置，係向前述小室本體的內部空間供給調溫空氣；以及 氣體檢測手段，係進行在前述調溫裝置中使用之冷媒氣體的檢測。
2. 如請求項1的調溫系統，其中， 前述氣體檢測手段設置於前述調溫空氣通過之路徑上。
3. 如請求項1或2的調溫系統，其中，具備通知手段，前述通知手段依據由前述氣體檢測手段檢測之冷媒氣體濃度來進行異常狀態的判別及通知。
4. 如請求項3的調溫系統，其中， 前述通知手段具有與前述異常狀態的通知一併顯示異常履歷之顯示部。
5. 如請求項1或2的調溫系統，其中，具備進行前述小室本體的內部空間中的前述冷媒氣體濃度的上升抑制之故障安全機構， 前述故障安全機構依據基於前述氣體檢測手段之冷媒氣體的檢測結果發揮作用。
6. 一種調溫裝置，係進行具備與外部空間分隔之內部空間之小室本體的調溫，前述調溫裝置，其特徵為，具備： 調溫部，係進行空氣的調溫； 供給部，係與前述小室本體連接，將來自前述調溫部之調溫空氣供給到前述小室本體的內部空間；以及 氣體檢測手段，係進行在前述調溫部中使用之冷媒氣體的檢測。