TW202400926A - 流體控制閥、流體控制裝置以及孔口板的製造方法 - Google Patents

Abstract

本發明的流體控制閥在不將孔口板或致動器大型化的情況下實現流體控制閥的大流量化，且包括：孔口板31，具有閥座面31s；以及閥體32，具有落座於閥座面31s的落座面32s，孔口板31在閥座面31s上具有沿著第一方向而開口的多個流入口31i及多個流出口31o，多個流入口31i及多個流出口31o在與第一方向交叉的第二方向上排列而配置。

Description

流體控制閥、流體控制裝置以及孔口板的製造方法

本發明是有關於一種流體控制閥、使用流體控制閥的流體控制裝置以及流體控制閥中所使用的孔口板的製造方法。

先前，期望流體控制閥的大流量化，例如如專利文獻1所示，在具有閥座面的閥座構件（孔口板）的結構方面下工夫。

具體而言，在閥座構件的閥座面上，將形成有多個流入口的圓環狀凹槽、及形成有多個流出口的圓環狀凹槽交替地形成為同心圓狀。在所述流體控制閥中，在閥座構件上形成多個流入口及多個流出口，並且將形成有流入口的凹槽與形成有流出口的凹槽交替地形成，可降低自多個流入口向多個流出口的壓力損失並使大流量的流體流動。 [現有技術文獻] [專利文獻]

[專利文獻1]日本專利特開2010-230159號公報

[發明所欲解決之課題]

然而，在尺寸有限的閥座面上形成圓環狀的多個凹槽，在該些凹槽內形成多個流入口及多個流出口，謀求進一步的大流量化是有限度的。因此，為了使用先前的孔口板來謀求大流量化，需要將孔口板自身大型化的結構、或為了增大閥體的行程（stroke）量而將致動器大型化的結構。

因此，本發明是鑒於如上所述的問題而成，其主要課題在於：在不將孔口板或致動器大型化的情況下將流體控制閥大流量化。 [解決課題之手段]

即，本發明的流體控制閥的特徵在於包括：孔口板，具有閥座面；以及閥體，具有落座於所述閥座面的落座面，且所述孔口板在所述閥座面上具有沿著第一方向而開口的多個流入口及多個流出口，所述多個流入口及所述多個流出口在與所述第一方向交叉的第二方向上排列而配置。

若為此種流體控制閥，則由於將沿著第一方向而開口的多個流入口及多個流出口在與第一方向交叉的第二方向上排列而配置，因此與先前的具有同心圓狀凹槽的孔口板相比，可延長流入口與流出口之間的邊界面，而可降低壓力損失並使大流量的流體流動。其結果，可在不將孔口板或致動器大型化的情況下將流體控制閥大流量化。

為了更進一步延長流入口與流出口之間的邊界面，理想的是所述多個流入口及所述多個流出口在所述第二方向上交替地排列而配置。

另外，為了更進一步延長流入口與流出口之間的邊界面，理想的是所述多個流入口及所述多個流出口沿著所述第一方向自所述閥座面的外周部的一端部形成至另一端部。

作為孔口板的具體的實施形態，理想的是所述孔口板包括：第一內部流路，在所述閥座面及與所述閥座面相向的相向面開口；以及第二內部流路，在所述閥座面以及所述閥座面與所述相向面之間的外側周面開口，所述第一內部流路與所述流入口或所述流出口中的一者連通，所述第二內部流路與所述流入口或所述流出口中的另一者連通。

理想的是，所述第二內部流路與所述多個流入口或所述多個流出口中的另一者分別對應而形成多個。藉由所述結構，可將第二內部流路設為沿著第一方向的形狀，即設為沿單軸方向延伸的形狀。例如在將第二內部流路設為流出側（下游側）的流路的情況下，可決定流體的流出方向，且可降低壓力損失。

作為第二內部流路的具體的實施形態，理想的是沿著所述第一方向貫穿所述孔口板而形成。

作為第一內部流路的具體的實施形態，理想的是所述第一內部流路包括：合流流路，在所述相向面開口；以及多個分支流路，自所述合流流路分支且在所述閥座面開口，所述多個分支流路分別與所述多個流入口或所述多個流出口中的一者的各個連通。 若為所述結構，則由於第一內部流路具有合流流路，因此可降低流過大流量時的壓力損失。

理想的是，在分別形成所述多個分支流路的側壁內，形成所述第二內部流路。 若為所述結構，則由於第一內部流路的合流流路不因第二內部流路而受到制約，因此可增大合流流路的流路容積，從而可降低流過大流量時的壓力損失。

在使閥體相對於孔口板的閥座面相對移動的結構中，有時在閥座面的周圍形成無效空間（dead space）。為了使流入所述無效空間的流體不滯留地流出，理想的是所述孔口板包括一個或多個外側內部流路，所述外側內部流路的一端在所述閥座面的周圍開口，另一端在所述外側周面或所述相向面開口。

另外，本發明的流體控制裝置的特徵在於包括：上文所述的流體控制閥；流量感測器，測定所述流路的流量；以及控制部，基於所述流量感測器的測定值來控制所述流體控制閥。

進而，本發明的孔口板的製造方法是具有供流體控制閥的閥體落座的閥座面的孔口板的製造方法，其特徵在於：在所述孔口板的所述閥座面上形成沿著第一方向而開口的多個流入口及多個流出口，並且將所述多個流入口及所述多個流出口在與所述第一方向交叉的第二方向上交替地排列而形成。 [發明的效果]

根據以上所述的本發明，可在不將孔口板或致動器大型化的情況下將流體控制閥大流量化。

以下，參照圖式對本發明的一實施方式的流體控制裝置進行說明。再者，在以下所示的任一圖中，皆為了便於理解而適當省略或誇張地示意性描述。對於同一構成元件標註同一符號並適當省略說明。

＜裝置結構＞ 本實施方式的流體控制裝置100是所謂質流控制器（mass flow controller），例如用於對供給至進行半導體製造製程的腔室（chamber）的氣體的流量進行控制。再者，流體控制裝置100不僅可控制氣體，亦可控制液體。

具體而言，如圖1所示，流體控制裝置100包括：流路區塊2，在內部形成流路R；流體控制閥3，用於控制流路R的氣體；流量感測器4，測定流路R的流量；以及控制部5，基於由流量感測器4測定出的測定值來控制流體控制閥3。

流路區塊2形成有供安裝流體控制閥3的收容凹部21。所述收容凹部21形成於流路區塊2的一面（圖1中為上表面）。另外，在收容凹部21的底面連接有上游側流路R1，在收容凹部21的內側周面連接有下游側流路R2。即，形成於流路區塊2的流路R被收容凹部21分斷成上游側流路R1及下游側流路R2。

再者，在上游側流路R1的上游端設置氣體的導入端口（未圖示），在下游側流路R2的下游端設置氣體的導出端口（未圖示）。

流體控制閥3是所謂的常開閥（normal open valve），藉由被施加的電壓而控制其開度。再者，流體控制閥3亦可為所謂的常閉（normal close）閥。

具體而言，如圖1及圖2所示，流體控制閥3包括：孔口板（閥座構件）31，具有閥座面31s；閥體32，具有落座於閥座面31s的落座面32s；以及驅動部33，對閥體32進行驅動。

孔口板31收容於收容凹部21。此處，孔口板31在上表面形成閥座面31s，以所述閥座面31s朝向收容凹部21的上部開口側的方式收容於收容凹部21。

如圖2所示，在所述孔口板31中，在閥座面31s上形成有流入口31i及流出口31o，並且形成有與所述流入口31i及流出口31o連通的第一內部流路311及第二內部流路312。

而且，孔口板31在收容於收容凹部21的狀態下，第一內部流路311以包圍收容凹部21的底面開口的方式設置，孔口板31的下表面經由金屬O形環等密封構件而液密地設置於收容凹部21的底面（參照圖1）。即，在上游側流路R1中流通的流體全部流入孔口板31的第一內部流路311。孔口板31的其他詳細情況將於後述。

閥體32與以將流路區塊2的收容凹部21的開口予以封堵的方式而設置的隔膜（diaphragm）構件34一體地形成。隔膜構件34的側周緣經由金屬O形環等密封構件而液密地固定於收容凹部21的上部開口的周緣部。

另外，如圖2所示，隔膜構件34的中央部（即閥體32的下表面）具有落座面32s，所述落座面32s藉由驅動部33而相對於孔口板31進行進退移動，落座於孔口板31的閥座面31s或自其離開。

驅動部33例如包括壓電致動器（piezo actuator）331，所述壓電致動器331是將在施加有電壓的狀態下膨脹變形的壓電元件積層多個而形成。壓電致動器331收容於殼體（casing）332內，在其前端部設置有例如圓球等中間構件333，所述中間構件333按壓閥體32的上表面。

而且，當對壓電致動器331施加規定的電壓時，壓電致動器331伸長，將閥體32向閉閥方向施力，落座面32s以與被施加的電壓相應的距離向閥座面31s接近而成為規定的開度，當落座面32s與閥座面31s接觸時成為全閉狀態。另一方面，在不對壓電致動器331施加電壓的常態下，閥體32藉由隔膜構件34的彈性恢復力，而閥體32成為全開狀態。

流量感測器4例如為熱式流量感測器，包括：分流元件（流體阻力）41，設置於流路R；細管42，自分流元件41的上游側分支，且在所述分流元件41的下游側合流；兩個電熱線圈43，捲繞於細管42，被施加電壓以分別保持為固定溫度；以及流量算出部44，對施加於各電熱線圈43的電壓差進行檢測並算出在流路R中流動的氣體的流量。所述流量感測器4在流路R內設置於流體控制閥3的上游側或下游側。

控制部5基於由流量感測器4測定出的測定值（測定流量）來控制流體控制閥3。所述控制部5是包括中央處理單元（central processing unit，CPU）、記憶體、類比/數位轉換器（Analog/Digital converter，A/D converter）、數位/類比轉換器（Digital/Analog converter，D/A converter）、各種輸入輸出部件的電腦，執行保存於記憶體的流體控制程式，藉由CPU及外圍設備的協作來控制流體控制閥3。

控制部5基於自外部輸入的指令流量、及由流量感測器4測定出的測定流量來控制流體控制閥3的開度。具體而言，控制部5以指令流量與測定流量的偏差變小的方式對流體控制閥3的開度進行控制。本實施方式的控制部5對指令流量與測定流量的偏差進行比例積分微分（Proportional Integral Differential，PID）演算，且將與其結果相應的指令電壓輸出至驅動部33的驅動電路。驅動電路將與被輸入的指令電壓對應的電壓施加至壓電致動器331。

＜孔口板31的具體的結構＞ 而且，如圖3～圖6的（c）所示，本實施方式的孔口板31形成大致圓盤狀，在形成於其上表面且外形輪廓為圓形形狀的閥座面31s上，具有沿著第一方向而開口的多個流入口31i及多個流出口31o。再者，在圖3～圖6的（c）中，第一方向是X方向，將與第一方向交叉（此處為正交，但亦可為正交以外）的第二方向設為Y方向，將與X方向及Y方向正交的方向設為Z方向。

多個流入口31i及多個流出口31o具有沿著第一方向（X方向）延伸的直線狀的細長的開口形狀。此處，多個流入口31i及多個流出口31o沿著第一方向自閥座面31s的外周部的一端部形成至另一端部。在本實施方式中，各流入口31i的第二方向（Y方向）上的開口寬度（第二方向（Y方向）的尺寸）在整個第一方向（X方向）上為固定。另外，多個流入口31i的開口寬度彼此相同。同樣地，各流出口31o的第二方向（Y方向）上的開口寬度在整個第一方向（X方向）上為固定。另外，多個流出口31o的開口寬度彼此相同。

多個流入口31i及多個流出口31o在與第一方向（X方向）交叉的第二方向（Y方向）上交替地排列而配置。另外，多個流入口31i及多個流出口31o在第二方向（Y方向）上等間隔地配置。如此般在孔口板31的閥座面31s上，條紋狀地形成多個流入口31i及多個流出口31o。另外，在沿第二方向（Y方向）彼此相鄰的流入口31i與流出口31o之間，形成沿著第一方向延伸的直線狀的閥座面31s。

具體而言，孔口板31包括：第一內部流路311，在閥座面31s及與閥座面31s相向的相向面31t開口；以及第二內部流路312，在閥座面31s以及閥座面31s與相向面31t之間的外側周面31u開口。

第一內部流路311沿Z方向延伸而形成，且與多個流入口31i連通，包括：合流流路311a，在相向面31t開口；以及多個分支流路311b，自合流流路311a分支且在閥座面31s開口。再者，如圖5所示，第一內部流路311的沿著YZ平面的縱剖面形狀形成梳狀。

合流流路311a是供流體自向收容凹部21的底面開口的上游側流路R1流入的流路。所述合流流路311a例如是形成剖面為圓形形狀的流路。

另外，多個分支流路311b分別與多個流入口31i的各個連通，使來自合流流路311a的流體分支且向各流入口31i導入。多個分支流路311b在第二方向上等間隔地形成，各分支流路311b的橫剖面形狀（沿著XY平面的剖面形狀）與所連通的流入口31i的開口形狀實質上相同。

第二內部流路312與多個流出口31o連通，分別與多個流出口31o對應而形成多個。具體而言，第二內部流路312沿著流出口31o的長度方向即第一方向（X方向）貫穿孔口板31而形成。即，第二內部流路312與流出口31o連通，並且在所述流出口31o的長度方向兩側處的孔口板31的外側周面31u開口，在本實施方式中以兩個部位在孔口板31的外側周面31u開口。再者，第二內部流路312在外側周面31u的開口形狀形成矩形形狀，但亦可為其他形狀。

另外，第二內部流路312在孔口板31中在分別形成多個分支流路311b的第二方向（Y方向）的側壁部313內沿著第一方向（X方向）而形成（參照圖5）。即，多個第二內部流路312及多個分支流路311b與多個流入口31i及多個流出口31o同樣地，在第二方向（Y方向）上交替地排列而形成。此處，針對側壁部313的結構而言，在側壁部313形成有在閥座面31s開口的凹槽313m，所述凹槽313m的上部開口成為流出口31o，側壁部313的上表面成為閥座面31s的一部分。

藉由上文所述的孔口板結構，直線狀的細長形狀的流入口31i（參照圖6的（b））與直線狀的細長形狀的流出口31o（參照圖6的（c））彼此鄰接，流入口31i與流出口31o之間的邊界面（閥座面31s的一部分）成為直線狀延伸的面（參照圖6的（a）），可延長閥座面31s的每單位面積的邊界面。此處，藉由增加流入口31i及流出口31o的數量、減小流入口31i及流出口31o的間距（寬度），而可增加邊界面的條數，另外，可減小邊界面的寬度。藉此，可降低孔口板31中的壓力損失並使大流量的流體流動。

此處，圖7中示出邊界面長度不同的孔口板31（本實施例（1）～本實施例（5））、及先前結構的孔口板（先前例）的邊界面長度-流量的模擬結果。此處，將閥座面31s與落座面32s的距離（開度）設為30 μm。再者，圖中「條紋型」表示本實施例，「既有」表示先前例，本實施例（2）～本實施例（4）的邊界面長度在本實施例（1）的邊界面長度與本實施例（5）的邊界面長度之間，以本實施例（2）、本實施例（3）、本實施例（4）的順序逐漸變大。如根據圖7可知般，在本實施例中，越減小多個流入口31i及多個流出口31o的開口寬度，增加該些流入口及流出口的條數，且延長邊界面長度，則越可使大流量的流體流動。

此外，在孔口板31的外側周面31u亦遍及全周地形成凹部31N（參照圖3、圖5）。藉由所述凹部31N，其與收容凹部21之間的流路變大，能夠降低壓力損失並實現大流量化。

再者，關於所述孔口板31，可對母材施加切削加工等機械加工而形成，亦可在將母材分割成多個，藉由蝕刻（etching）等將該些分割要素加工成規定形狀之後，將加工後的分割要素進行接合而形成。

接下來，對流體控制閥3的開閥狀態下的流體的流動簡單地進行說明。 在落座面32s已離開閥座面31s的狀態（開閥狀態）下，流體自流路區塊2的上游側流路R1向孔口板31的合流流路311a流動，且自多個分支流路311b經由多個流入口31i，流體流入閥座面31s與落座面32s之間。然後，所述流體流入多個流出口31o，經由第二內部流路312，流入孔口板31的外側周面31u與收容凹部21的內側周面之間。其後，自流路區塊2的下游側流路R2流出。

藉由將孔口板31設為上述結構而可使大流量的流體流動，但藉由收容凹部21中的孔口板31的配置角度亦可進一步使大流量的流體流動。

因此，對收容凹部21中的孔口板31的配置角度進行說明。此處，如圖8的（a）所示，將在收容凹部21的內側周面開口的下游側流路R2的流出方向、與孔口板31的流出口31o的長度方向（第二內部流路312的長度方向）為一致的狀態設為0度，將流出方向與流出口31o的長度方向所成的角度設為配置角度θ。

圖8的（b）中示出伴隨著孔口板31的配置角度θ而產生的流量變化。此處，示出將閥座面31s與落座面32s的距離（開度）設為20 μm、且將閥座面31s的外徑（Φ）設為9.9 mm、及將閥座面31s的外徑（Φ）設為15 mm時的流量變化。

基於該些結果可知，藉由將孔口板31的配置角度θ設為15度以上且75度以下，而可增大流動的流量。進而可知，藉由將孔口板31的配置角度θ設為30度以上且60度以下，可更進一步增大流動的流量。

＜本實施方式的效果＞ 若為如此般構成的本實施方式的流體控制裝置100，由於將沿著第一方向而開口的多個流入口31i及多個流出口31o在與第一方向交叉的第二方向上交替地排列而配置，因此與先前的具有同心圓狀凹槽的孔口板相比，可延長流入口31i與流出口31o之間的邊界面，而可降低壓力損失並使大流量的流體流動。其結果，可在不將孔口板31或壓電致動器331大型化的情況下將流體控制閥3大流量化。

另外，由於第二內部流路312分別與多個流出口31o對應而形成多個，並且設為沿著第一方向的形狀，即設為沿單軸方向延伸的形狀，因此可決定流體的流出方向，且可降低壓力損失。

進而，由於第一內部流路311具有合流流路311a，因此可降低流過大流量時的壓力損失。

而且，由於在分別形成多個分支流路311b的側壁部313內形成第二內部流路312，因此第一內部流路311的合流流路311a不因第二內部流路312而受到制約，而可增大合流流路311a的流路容積，從而可降低流過大流量時的壓力損失。

＜其他實施方式＞ 例如，如圖9～圖11所示，孔口板31亦可設為包括一個或多個外側內部流路314的結構，所述外側內部流路314的一端在閥座面31s的周圍開口，另一端在外側周面31u或相向面31t開口。

具體而言，所述孔口板31具有在俯視下具有圓形形狀的外形的閥座面31s，在形成有所述閥座面31s的上表面上，在閥座面31s的周圍形成圓環狀的凹槽31M。外側內部流路314的一端在所述凹槽31M的底面開口。

另外，外側內部流路314的另一端在孔口板31的外側周面31u、此處為在形成於外側周面31u的凹部31N開口。若為所述結構，則可使流動至在閥座面31s的周圍形成的無效空間的流體流出。

此處，圖12中示出圖9～圖11所示的孔口板31（本實施例）、及先前結構的孔口板（先前例）的開度-流量特性的模擬結果。再者，圖中「條紋型」表示本實施例，「既有」表示先前例。如根據圖12可知般，在本實施例中，流入口與流出口的邊界面變長。而且，在本實施例中，可使60 L/min的流量控制所需的開度與先前例相比減少約30%。藉此，無需為了擴大開度而將壓電致動器331大型化、或將孔口板31大型化。

另外，所述實施方式的多個流入口31i的開口寬度（第二方向的尺寸）彼此相同，但該些開口寬度亦可互不相同。另外，多個流出口31o的開口寬度亦可互不相同。進而，流入口31i及流出口31o的開口寬度可彼此相同，亦可互不相同。另外，流入口31i或流出口31o的開口寬度可在第一方向上開口寬度發生變化。此外，多個流入口31i彼此或多個流出口31o彼此可非為相互平行，流入口31i及流出口31o可非為相互平行。

進而，所述實施方式的流入口31i及流出口31o形成沿第一方向延伸的直線狀，但亦可形成沿著第一方向延伸的彎曲的形狀或波浪形狀等。

另外，所述實施方式中，多個流入口31i及多個流出口31o交替地配置，但亦可未必交替。例如，可設為將兩個流入口31i與兩個流出口31o交替地配置的結構、在兩個流入口31i的兩側分別配置兩個流出口31o的結構等各種配置。

另外，在所述實施方式中，流入口31i與第一內部流路311連通，流出口31o與第二內部流路312連通，但亦可設為相反的結構，即設為流入口31i與第二內部流路312連通、流出口31o與第一內部流路311連通的結構。

此外，所述實施方式的第一內部流路311及第二內部流路312的開口部分並不限於所述實施方式，第一內部流路311亦可在孔口板31的外側周面31u開口，第二內部流路312亦可在孔口板31的相向面31t開口。

此外，所述實施方式的流量感測器4是熱式流量感測器，但亦可為壓力式流量感測器。

具體而言，如圖13所示，壓力式流量感測器4包括：層流元件45，設置於流路R；第一壓力感測器46，測定層流元件45的上游側的壓力；第二壓力感測器47，測定層流元件45的下游側的壓力；以及流量算出部48，基於由第一壓力感測器46測定出的第一壓力、及由第二壓力感測器47測定出的第二壓力而算出在流路R中流動的流體的流量。所述流量感測器4在流路R內設置於流體控制閥3的上游側或下遊側。再者，亦可使用音速噴嘴等其他流體阻力來代替層流元件45。

此外，只要不違反本發明的主旨，則可進行各種實施方式的變形或組合。 [產業上之可利用性]

藉由本發明，可在不將孔口板或致動器大型化的情況下實現流體控制閥的大流量化。

2:流路區塊 3:流體控制閥 4:流量感測器 5:控制部 21:收容凹部 31:孔口板（閥座構件） 31i:流入口 31M:凹槽 31N:凹部 31o:流出口 31s:閥座面 31t:相向面 31u:外側周面 32:閥體 32s:落座面 33:驅動部 34:隔膜構件 41:分流元件（流體阻力） 42:細管 43:電熱線圈 44:流量算出部 45:層流元件 46:第一壓力感測器 47:第二壓力感測器 48:流量算出部 100:流體控制裝置 311:第一內部流路 311a:合流流路 311b:分支流路 312:第二內部流路 313:側壁部 313M:凹槽 314:外側內部流路 331:壓電致動器 332:殼體 333:中間構件 A-A、B-B:線 R:流路 R1:上游側流路 R2:下游側流路 X、Y、Z:方向 θ:配置角度

圖1是示意性地表示本發明的一實施方式的流體控制裝置的結構的圖。 圖2是表示該實施方式的流體控制閥的孔口板及閥體的局部放大剖面圖。 圖3是該實施方式的孔口板的立體圖。 圖4是該實施方式的孔口板的平面圖。 圖5是該實施方式的孔口板的A-A線剖面圖。 圖6的（a）是表示該實施方式的孔口板的閥座面的示意圖，圖6的（b）是表示該實施方式的孔口板的流入口的示意圖，圖6的（c）是表示該實施方式的孔口板的流出口的示意圖。 圖7是表示該實施方式的孔口板（本實施例）及先前的孔口板（先前例）的邊界面長度-流量的模擬結果。 圖8的（a）是表示該實施方式的孔口板的配置角度的圖，圖8的（b）是表示基於配置角度的流量的模擬結果。 圖9是變形實施方式的孔口板的立體圖。 圖10是變形實施方式的孔口板的平面圖。 圖11是變形實施方式的孔口板的B-B線剖面圖。 圖12是表示變形實施方式的孔口板（本實施例）及先前的孔口板（先前例）的開度-流量特性的模擬結果。 圖13是示意性地表示變形實施方式的流體控制裝置的結構的圖。

31:孔口板

31i:流入口

31o:流出口

31s:閥座面

311:第一內部流路

311a:合流流路

311b:分支流路

312:第二內部流路

A-A:線

X、Y、Z:方向

Claims (11)

1. 一種流體控制閥，包括：孔口板，具有閥座面；以及 閥體，具有落座於所述閥座面的落座面， 所述孔口板在所述閥座面上具有沿著第一方向而開口的多個流入口及多個流出口， 所述多個流入口及所述多個流出口在與所述第一方向交叉的第二方向上排列而配置。
2. 如請求項1所述的流體控制閥，其中，所述多個流入口及所述多個流出口在所述第二方向上交替地排列而配置。
3. 如請求項1或2所述的流體控制閥，其中，所述多個流入口及所述多個流出口沿著所述第一方向自所述閥座面的外周部的一端部形成至另一端部。
4. 如請求項1至3中任一項所述的流體控制閥，其中，所述孔口板包括： 第一內部流路，在所述閥座面及與所述閥座面相向的相向面開口；以及 第二內部流路，在所述閥座面以及所述閥座面與所述相向面之間的外側周面開口， 所述第一內部流路與所述多個流入口或所述多個流出口中的一者連通， 所述第二內部流路與所述多個流入口或所述多個流出口中的另一者連通。
5. 如請求項4所述的流體控制閥，其中，所述第二內部流路與所述多個流入口或所述多個流出口中的另一者分別對應而形成多個。
6. 如請求項3至5中任一項所述的流體控制閥，其中，所述第二內部流路沿著所述第一方向貫穿所述孔口板而形成。
7. 如請求項3至6中任一項所述的流體控制閥，其中，所述第一內部流路包括： 合流流路，在所述相向面開口；以及 多個分支流路，自所述合流流路分支且在所述閥座面開口， 所述多個分支流路分別與所述多個流入口或所述多個流出口中的一者的各個連通。
8. 如請求項7所述的流體控制閥，其中，在分別形成所述多個分支流路的側壁內，形成所述第二內部流路。
9. 如請求項1至8中任一項所述的流體控制閥，其中，所述孔口板包括一個或多個外側內部流路，所述外側內部流路的一端在所述閥座面的周圍開口，另一端在所述外側周面或所述相向面開口。
10. 一種流體控制裝置，包括：如請求項1至9中任一項所述的流體控制閥； 流量感測器，測定所述流路的流量；以及 控制部，基於所述流量感測器的測定值來控制所述流體控制閥。
11. 一種孔口板的製造方法，是具有供流體控制閥的閥體落座的閥座面的孔口板的製造方法， 所述孔口板的製造方法在所述孔口板的所述閥座面上形成沿著第一方向而開口的多個流入口及多個流出口，並且將所述多個流入口及所述多個流出口在與所述第一方向交叉的第二方向上排列而形成。