TW202344407A - 薄膜剝離模組（一） - Google Patents

Abstract

一種薄膜剝離模組，其包括至少一前薄膜剝離單元以及一上剝膜單元，其中之至少一前薄膜剝離單元係定位於一前輸送段之後端，任一前薄膜剝離單元包括一下勾部以及一上驅動件，上驅動件帶動下勾部以向下抵壓一基板之上表面，藉以在薄板移動時以剝離一上薄膜之前端緣；而上剝膜單元係定位於至少一前薄膜剝離單元之後端，上剝膜單元包括橫向設置並平行薄板前端緣之一上滾筒，上滾筒之筒身具有複數個第一吸氣孔，複數個第一吸氣孔連通一吸氣裝置，藉以在上滾筒轉動時，逐漸吸附上薄膜於上滾筒之筒身上，並讓基板經由一後輸送段向後輸出。

Description

薄膜剝離模組　(一)

本創作係有關一種薄膜剝離模組，尤指一種可將薄膜有效且全面性剝離者。

在印刷電路板的製造過程中，基板在曝光之前，皆會在基板之上、下表面分別形成光阻層及黏附於光阻層表面之薄膜，在曝光之後，再將薄膜剝離以使光阻層外露，以進行後續之顯影及蝕刻程序。而現有剝膜機剝離薄膜之方式，主要是藉由一前輸送段以輸送上述印刷電路板之類的薄板，使沿著由前朝後的輸送方向移動，薄板經由一阻擋單元之阻擋定位，再經由一組壓花輪在薄膜之前端緣表面上滾壓之後，即會讓薄板繼續延著一後輸送段向後輸送，並以一組黏輪將產生皺摺之薄膜逐步剝離。

藉由上述剝膜機結構，確實可以提升剝離薄膜之效率。惟在實際剝離薄膜的過程中發現，當基板本身之厚度不大，尤其是對於厚度在0.1mm以下，甚至於0.04mm的薄板或是軟板而言，其容易會有彎曲不平的現象。當外徑一致的長直筒形黏輪黏著薄膜之前端緣時，由於各個黏著位置之黏著力不會完全相同，即無法先讓薄膜之前端緣與基板分離，再順暢且有效的讓薄膜全面性的剝離；且由於薄膜之厚度很薄且脆弱，在薄膜剝離之後，仍舊會有部份的薄膜脆片黏附於光阻層之表面上，並由於薄膜脆片之面積太小而無法被偵測到，此種現象在整個印刷電路板的製造過程中，將會讓基板面臨報廢的結果，甚至於讓剝膜機之機件損壞。

有鑑於此，為了提供一種有別於習用技術之結構，並改善上述之缺點，創作人積多年的經驗及不斷的研發改進，遂有本創作之產生。

本創作之一目的在提供一種薄膜剝離模組，俾能解決習用剝膜機無法有效的讓薄膜之前端緣與基板分離、容易黏附薄膜脆片，且無法順暢的讓薄膜全面性剝離的問題，而能讓薄膜之前端緣與基板有效的分離，以利於後續之整體薄膜剝離作業，讓薄膜能順暢且全面性的與基板分離，並可避免在基板上殘留薄膜脆片以提高作業品質。

為達上述創作之目的，本創作所設之薄膜剝離模組係連接於一機架上，機架之前端具有一前輸送段，供輸送一薄板使沿著由前端朝向後端之輸送方向移動，並在該薄板之一基板上表面之一上薄膜剝離之後，讓基板經由一後輸送段向後輸送，其主要之技術特點在於：薄膜剝離模組包括至少一前薄膜剝離單元以及一上剝膜單元，其中之至少一前薄膜剝離單元係定位於前輸送段之後端，前薄膜剝離單元包括一下勾部以及一上驅動件，上驅動件連接下勾部，上驅動件帶動下勾部以向下抵壓基板之上表面，供薄板移動時以剝離上薄膜之前端緣；而上剝膜單元係定位於至少一前薄膜剝離單元之後端，上剝膜單元包括橫向設置並平行薄板前端緣之一上滾筒，上滾筒之筒身具有複數個第一吸氣孔，複數個第一吸氣孔連通一吸氣裝置，藉以在上滾筒轉動時，逐漸吸附以完全剝離上薄膜。

實施時，本創作更包括一上吹氣單元，上吹氣單元連接機架，供朝向下勾部之方向吹出空氣。

實施時，本創作更包括一上勾部以及一下驅動件，下驅動件連接上勾部，下驅動件帶動上勾部以向上抵壓基板之下表面，供薄板移動時以剝離基板下表面之一下薄膜之前端緣。

實施時，本創作更包括一下吹氣單元，下吹氣單元連接機架，供以朝向上勾部之方向吹出空氣。

實施時，本創作更包括一下剝膜單元，下剝膜單元具有一下滾筒，下滾筒對應定位於上滾筒之下方，下滾筒橫向設置並平行薄板之前端緣，下滾筒之筒身具有複數個第二吸氣孔，複數個第二吸氣孔連通吸氣裝置，藉以在下滾筒轉動時，逐漸吸附基板下表面之一下薄膜於下滾筒之筒身上。

為進一步了解本創作，以下舉較佳之實施例，配合圖式、圖號，將本創作之具體構成內容及其所達成的功效詳細說明如下：

請參閱圖1~圖5所示，其為本創作薄膜剝離模組1之較佳實施例，係供連接於一機架11上。機架11輸入薄板12之一端界定為機架11之前端，輸出薄板12之一端界定為機架11之後端，機架11之前端具有一前輸送段13，機架11之後端具有一後輸送段14，前輸送段13與後輸送段14分別由複數水平間隔排列之滾筒所組成，供輸送薄板12使沿著機架11之前端朝向後端之方向移動。實施時，該薄板12為印刷電路板之類的平板，主要包括一基板121，基板121之上表面具有一上薄膜122，基板121之下表面具有一下薄膜123。

本創作之薄膜剝離模組1主要包括一前薄膜剝離單元2、一上剝膜單元3以及一下剝膜單元4。實施時，前薄膜剝離單元2亦可設有複數個，複數個前薄膜剝離單元2在同一水平面上橫向間隔排列，且複數個前薄膜剝離單元2之排列方向垂直薄板12之輸送方向。

前薄膜剝離單元2包括一上驅動件20、一下勾部221、一下驅動件20’ 以及一上勾部262。其中之上驅動件20包括一上支軸21、一上懸臂22、一第一驅動件23以及一上吹氣單元24。上支軸21連接機架11；上懸臂22之一端樞接上支軸21，上懸臂22之另一端具有一下勾部221，下勾部221之一尖角以遠離上懸臂22之方向向下凸出；第一驅動件23為一活塞組，第一驅動件23之下端連接上懸臂22之中段位置，藉以上、下移動上懸臂22之下勾部221；而上吹氣單元24係連接機架11，且上吹氣單元24之吹氣口朝向下勾部221之方向。藉此，當下勾部221向下抵壓基板121之上表面，薄板12向後移動，且上吹氣單元24朝向下勾部221吹出空氣時，即可剝離上薄膜122之前端緣。實施時，上驅動件20亦可為一氣壓缸或是一油壓缸，並在活塞桿之一端連接下勾部221，同樣可以帶動下勾部221以向下抵壓基板121之上表面，在薄板12向後移動時，剝離上薄膜122之前端緣。

下驅動件20’ 包括一下支軸25、一下懸臂26、一第二驅動件27以及一下吹氣單元28。下支軸25連接機架11，並對應設置於上支軸21之下方；下懸臂26之一端樞接下支軸25，下懸臂26之中段位置具有一凸塊，凸塊具有底部開放之一凹槽，該凸塊做為限位部261，供定位一壓縮彈簧之頂端，該壓縮彈簧做為彈性件29；下懸臂26之另一端具有一上勾部262，上勾部262之一尖角以遠離下懸臂26之方向向上凸出；第二驅動件27為一活塞組， 第二驅動件27之上端具有一推壓部271，推壓部271向上連接彈性件29之底端，藉以向上推壓移動下懸臂26之上勾部262；而下吹氣單元28係連接於機架11上，且下吹氣單元28之吹氣口朝向上勾部262之方向。藉此，當上勾部262之尖角向上抵壓基板121之下表面，且下吹氣單元28朝向上勾部262吹出空氣時，即可剝離下薄膜123之前端緣。實施時，下驅動件20’亦可為一氣壓缸或是一油壓缸，並在活塞桿之一端連接上勾部262，同樣可以帶動上勾部262以向上抵壓基板121之下表面，在薄板12向後移動時，剝離下薄膜123之前端緣。

上剝膜單元3係定位於前薄膜剝離單元2之後端，上剝膜單元3包括橫向設置並平行薄板12前端緣之一上滾筒31，上滾筒31之筒身上具有複數個陣列狀排列之第一吸氣孔311，且複數個第一吸氣孔311連通一鼓風機，該鼓風機做為吸氣裝置32。藉以在鼓風機吸氣時，能經由複數個第一吸氣孔311，將上滾筒31外部之空氣吸入筒身之內部以形成負壓狀態；並經由一驅動裝置33之驅動，在上滾筒31轉動時，由上薄膜122之前端緣開始以逐漸吸起整片上薄膜122於上滾筒31之筒身上，進而讓上薄膜122與基板121之上表面完全分離。

而下剝膜單元4具有一下滾筒41，下滾筒41對應定位於上滾筒3之下方，且下滾筒3橫向設置並平行薄板12之前端緣。下滾筒41之筒身具有複數個陣列狀排列之第二吸氣孔411，複數個第二吸氣孔411連通吸氣裝置32，藉以在經由一驅動裝置之驅動而讓下滾筒41原地轉動時，能逐漸吸起基板121下表面之下薄膜123於下滾筒41之筒身上，讓下薄膜123與基板121之下表面完全分離。

藉此，當一薄板12由前輸送段13朝向後輸送段14向後輸送，在經由下勾部221之尖角剝離上薄膜122之前端緣，同時上勾部262之尖角剝離下薄膜123之前端緣之後，薄板12會繼續向後移動。而當上剝膜單元3與下剝膜單元4分別形成負壓狀態以分別吸附上薄膜122與下薄膜123時，則可以逐漸的將上薄膜122與下薄膜123完全剝離，並讓基板121經由後輸送段14向後輸出。

綜上所述，本創作能經由下勾部與上勾部分別剝離上薄膜與下薄膜之前端緣，以利於後續之整體薄膜剝離作業；並能經由上剝膜單元與下剝膜單元之同時作動，讓上薄膜與下薄膜能夠更順暢且全面性的與基板分離，而不會殘留薄膜脆片，不但可以有效提高作業品質，且能避免機件損壞。

本創作雖為實現上述目的而揭露了較佳的具體實施例，惟其並非用以限制本創作之構造特徵，任何該技術領域之通常知識者應知，在本創作的技術精神下，任何輕易思及之變化或修飾皆是可能的，且皆為本創作之申請專利範圍所涵蓋。

1:薄膜剝離模組 11:機架 12:薄板 121:基板 122:上薄膜 123:下薄膜 13:前輸送段 14:後輸送段 2:前薄膜剝離單元 20:上驅動件 20’:下驅動件 21:上支軸 22:上懸臂 221:下勾部 23:第一驅動件 24:上吹氣單元 25:下支軸 26:下懸臂 261:限位部 262:上勾部 27:第二驅動件 271:推壓部 28:下吹氣單元 29:彈性件 3:上剝膜單元 31:上滾筒 311:第一吸氣孔 32:吸氣裝置 33:驅動裝置 4:下剝膜單元 41:下滾筒 411:第二吸氣孔

﹝圖1﹞為本創作之較佳實施例安裝於機架上之立體外觀示意圖。 ﹝圖2﹞為圖1之A-A’剖面圖。 ﹝圖3﹞為本創作之較佳實施例之前薄膜剝離單元之立體外觀圖。 ﹝圖4﹞為本創作之較佳實施例之前薄膜剝離單元之使用狀態示意圖。 ﹝圖5﹞為本創作之較佳實施例之上剝膜單元與下剝膜單元之使用狀態示意圖。

1:薄膜剝離模組

11:機架

13:前輸送段

14:後輸送段

2:前薄膜剝離單元

20:上驅動件

20’:下驅動件

21:上支軸

22:上懸臂

23:第一驅動件

24:上吹氣單元

25:下支軸

26:下懸臂

27:第二驅動件

28:下吹氣單元

3:上剝膜單元

31:上滾筒

311:第一吸氣孔

4:下剝膜單元

41:下滾筒

411:第二吸氣孔

Claims (5)

1. 一種薄膜剝離模組，其連接於一機架上，該機架之前端具有一前輸送段，供輸送一薄板使沿著由前端朝向後端之輸送方向移動，並在該薄板之一基板上表面之一上薄膜剝離之後，讓該基板經由一後輸送段向後輸送，其特徵在於，該薄膜剝離模組包括： 至少一前薄膜剝離單元，其定位於該前輸送段之後端，該前薄膜剝離單元包括一下勾部以及一上驅動件，該上驅動件連接該下勾部，且該上驅動件帶動該下勾部以向下抵壓該基板之上表面，供該薄板移動時以剝離該上薄膜之前端緣；以及 一上剝膜單元，其定位於該至少一前薄膜剝離單元之後端，該上剝膜單元包括橫向設置並平行該薄板前端緣之一上滾筒，該上滾筒之筒身具有複數個第一吸氣孔，該複數個第一吸氣孔連通一吸氣裝置，供該上滾筒轉動時，逐漸吸附以完全剝離該上薄膜。
2. 如請求項1之薄膜剝離模組，其更包括一上吹氣單元，該上吹氣單元連接該機架，供朝向該下勾部之方向吹出空氣。
3. 如請求項1或2之薄膜剝離模組，其更包括一上勾部以及一下驅動件，該下驅動件連接該上勾部，且該下驅動件帶動該上勾部以向上抵壓該基板之下表面，供該薄板移動時以剝離該基板下表面之一下薄膜之前端緣。
4. 如請求項3之薄膜剝離模組，其更包括一下吹氣單元，該下吹氣單元連接該機架，供以朝向該上勾部之方向吹出空氣。
5. 如請求項1之薄膜剝離模組，其更包括一下剝膜單元，該下剝膜單元具有一下滾筒，該下滾筒對應定位於該上滾筒之下方，該下滾筒橫向設置並平行該薄板之前端緣，該下滾筒之筒身具有複數個第二吸氣孔，該複數個第二吸氣孔連通該吸氣裝置，供該下滾筒轉動時，逐漸吸附該基板下表面之一下薄膜於該下滾筒之筒身上。

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