TW202337549A - 具有擴展的可用收集區域的反應副產物捕獲裝置 - Google Patents
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Abstract
本發明涉及一種具有擴展的可用收集區域的反應副產物捕獲裝置，內部捕獲塔包括：上段捕獲部，用於將氣體的主氣流誘導到中央部並使其下降的同時執行捕獲反應；中段捕獲部，用於對流入的氣體進行收容並對反應副產物進行捕獲而利用倒梯形空間部形成內側區域；下段捕獲部，用於在從通過側面流入的氣體中對反應副產物進行多段捕獲的同時防止已捕獲的反應副產物流出到外殼的氣體排出口；以及捕獲罩，用於對在所述中段捕獲部的內側以及外側區域捕獲到的多孔性粉末形態的反應副產物進行收集而防止其流出到外部，從而在不同的高度上對反應副產物進行多段捕獲，藉此，在使用週期的前半段和後半段將氣流誘導到內側區域和外側區域，從而高效率地執行捕獲反應。
Description
本發明涉及一種具有擴展的可用收集區域的反應副產物捕獲裝置，尤其涉及一種配備有可以在內部捕獲塔的內外部對從半導體製程中的製程腔體排出的氣體中所包含的反應副產物進行高效捕獲的結構，以及可以防止所捕獲的多孔性粉末（Porous Powder）形態的反應副產物流出到外部的捕獲裝置。
通常來講，半導體製程大體上包括前製程（Fabrication製程）以及後製程（Assembly製程），前製程是指通過在各種製程腔體（Chamber）內重複執行在晶圓（Wafer）上沉積形成薄膜之後對沉積形成的薄膜進行選擇性蝕刻的過程而加工出特定圖案並藉此製造出半導體晶片（Chip）的製程，而後製程是指通過將在所述前製程中製造出的晶片單獨分離之後與導線架進行結合而組裝出成品的製程。
此時，上述在晶圓上沉積形成薄膜或對在晶圓上沉積形成的薄膜進行蝕刻的製程是通過氣體注入系統向製程腔體的內部注入例如用於執行薄膜沉積的前驅體氣體等所需要的氣體並在高溫條件下執行。此時，在製程腔體的內部將產生大量含有在沉積過程中沒有使用到的各種反應副產物、未反應的易燃氣體和腐蝕性異物以及有毒成分的有害氣體等並作為排放氣體進行排出。
為此，在半導體製造裝置中為了對從製程腔體排出的排放氣體中所包含的反應副產物進行捕獲而安裝反應副產物捕獲裝置，從而在對排放氣體中所包含的反應副產物進行捕獲之後在位於排氣管路上的洗滌器（Scrubber）中對未反應氣體進行最終淨化並排放到大氣中。
此外，在所述反應副產物捕獲裝置使用週期內在內部捕獲塔中對反應副產物進行捕獲的過程中，反應副產物將主要附著或堆積在外殼與內部捕獲塔的捕獲板外側之間，從而導致捕獲效率急劇下降的現象發生。
在如上所述的捕獲裝置的反應副產物捕獲效率下降的情況下，為了可以順利地執行半導體製程，需要更換新的反應副產物捕獲裝置，或對反應副產物捕獲裝置的內部捕獲塔以及外殼內部進行洗滌，從而更換成經過再生的捕獲裝置。
但是，在如上所述的捕獲裝置的捕獲效率下降的情況下，在內部捕獲塔的內側仍然會有可執行追加捕獲的區域存在，而因為在沒有充分利用如上所述的捕獲可用區域的情況下更換捕獲裝置，會導致使用週期變短以及半導體製造單價變高的問題。
為了解決如上所述問題的習知技術，包括本申請人已經註冊的韓國專利第10-2036273號（半導體工程副產物捕獲裝置）。
在所述技術中，配備等邊梯形形狀的複數個垂直板，該等垂直板水平及垂直方向呈格柵形態組裝，只在彼此結合時將裸露在外部的部位穿孔以形成複數個垂直方向的通氣孔，從而形成四面傾斜的金字塔形態。由於只在相互結合的底部的一部分保留的連接片維持彼此沿90度方向交叉的格柵形態，而且在中央上部形成有貫通形態的排放氣體穿過空間部，因此在安裝於第二上部水平支架與下部水平支架之間的狀態下，使得通過所述第二上部水平支架流入的排放氣體通過所述排放氣體穿過空間部，同時使得剩餘的排放氣體沿著等邊梯形形態的複數個水平以及垂直方向的垂直板向下流動，並以副產物捕獲塔將一部分副產物以粉末形態進行捕獲。通過配備如上所述的結構，可以達成反應副產物不僅通過捕獲塔的外側區域，還通過內側區域被捕獲的目的。
但是，在如上所述的本案申請人所屬的習知技術中，因為捕獲塔的內側區域空間採用上部以及下部的寬度相同的結構，因此在對反應副產物進行捕獲的過程中可能會導致上部首先被堵塞的傾向，從而具有無法充分利用內側區域的下部的問題。亦即，因為水平以及垂直方向的垂直板的內側切開部形狀為垂直形狀（亦即上部空間部的寬度與下部空間部的寬度相同的形狀），因此其整體的內側區域為類似於矩形筒體的空間結構，而在採用如上所述的結構時，從上部流入的氣體首先會在上部發生捕獲反應，從而造成上部逐漸變窄且移動到下部的體量變少的結構性問題。
此外，因為由等邊梯形形狀的垂直板以水平及垂直方向呈格柵形態結合而成的表面所形成的複數個垂直方向的通氣孔並不能在捕獲塔外側與外殼之間的空間內有效地形成渦流，因此導致捕獲效率降低，而且反而會因為複數個垂直方向的通氣孔而導致向捕獲裝置內側空間下降的氣流遲滯，從而在流入到所述下部空間之前首先在上部對反應副產物進行捕獲並造成下部空間中的捕獲效率進一步下降的結構性問題。
此外，在如上所述的本案申請人所屬的反應副產物捕獲裝置中，因為複數個垂直方向的通氣孔會導致水平以及垂直方向的垂直板表面的反應副產物捕獲區域減小，從而造成整體捕獲裝置的外側區域中的反應副產物捕獲量減少的結構性問題。
此外，在如上所述的本案申請人所屬的反應副產物捕獲裝置中，因為沒有可以對在使用週期內通過捕獲裝置捕獲到的反應副產物進行儲藏的適當儲藏結構，因此在氣體量伴隨沉積工程的執行而急劇增加並造成氣流速度加快時，所形成的多孔性粉末（Porous Powder）將增加且粉末（Powder）將發生飛揚，從而造成反應副產物通過外殼的氣體排出口流出的結構性問題。亦即，在發生所捕獲到的粉末狀態的顆粒狀反應副產物通過排氣管路流出到外部的現象時可能會造成誘發洗滌器故障的問題。
此外，在如上所述的本案申請人所屬的反應副產物捕獲裝置中，揭露了一種可以防止穿過副產物捕獲塔以及下部水平支架或通過外殼的內部空間而從側面方向流入並轉換成粉末形態的副產物直接流入到氣體捕獲排出口一側，並僅將排放氣體誘導到氣體捕獲排出口一側的窗口結構，但是只通過由如上所述的單一結構構成的窗口結構會造成防止氣體中所包含的顆粒狀粉末形態的反應副產物通過外殼的氣體排出口流出到外部排氣管路的效果不充分的結構性問題。
因此，需要一種可以藉助於可充分利用捕獲裝置的可使用捕獲區域的技術以延長捕獲裝置的使用週期，但是目前為止並沒有與其相關的技術。
《先行技術文獻》
＜專利文獻＞
專利文獻1：韓國專利第10-2036273號（2019.10.18.註冊）
專利文獻2：韓國專利第10-0862684號（2008.10.02.註冊）
專利文獻3：韓國專利第10-1447629號（2014.09.29.註冊）
專利文獻4：韓國專利第10-1806480號（2017.12.01.註冊）
《技術問題》
為了解決如上所述的問題，本發明的目的在於提供一種捕獲裝置，用於對從半導體製程中的製程腔體排出的氣體中所包含的反應副產物進行捕獲，所述捕獲裝置將複數個平面狀的垂直板沿著外周方向相距一定間隔進行排列，從而通過在使用週期的前半段以及後半段根據捕獲量對氣流進行變更誘導，並藉此在內側區域以及外側區域均勻地進行捕獲而對可用捕獲區域進行擴展，其中，通過在內側區域形成下部較窄而上部較寬的倒梯形的捕獲空間結構，對反應副產物進行捕獲時防止上部阻塞的現象並藉此增加可用捕獲空間，並通過形成的捕獲罩用於對多段構成的內部捕獲裝置中的中段捕獲部的內側以及外側區域捕獲到的粉末形態反應副產物進行收集而防止流出到外部。
本發明的另一目的在於提供一種捕獲裝置，通過將所流入的氣流沿著平面狀十字形垂直板的平面進行誘導而使其無阻力地快速向下部方向流動，從而在使用週期的前半段在平面狀十字形垂直板內側面中執行捕獲反應之後堆積在內側區域空間，而在使用週期的後半段使得氣流從平面狀十字形垂直板的內側區域上部流動到外側區域之後沿著外側面下降並執行追加捕獲反應，從而可以擴大可用捕獲區域並執行捕獲反應。
本發明的另一目的在於提供一種捕獲裝置，通過配備沿著多段構成的內部捕獲塔的中段捕獲部的外側下部外周安裝的渦流板，可以在使用週期內減小下降的氣體流速並形成渦流，從而在增加捕獲反應時間的同時誘導塊狀形態的反應副產物的形成，並通過使得所生成的反應副產物堆積或跌落堆積到安裝在其下部的捕獲罩中而防止向外部流出。
《解決問題的手段》
為了達成如上所述的目的並解決習知技術中存在的問題，本發明提供一種具有擴展的可用收集區域的反應副產物捕獲裝置，用於將在半導體製程中執行沉積工程之後排出的氣體收容到外殼內部，並利用加熱器進行加熱的同時利用內部捕獲塔對所述氣體中所包含的反應副產物進行捕獲並僅排出氣體，其中，所述內部捕獲塔包括：上段捕獲部，用於將氣體的主氣流誘導到中央部並使其下降的同時執行捕獲反應；中段捕獲部，為對流入的氣體進行收容並對所述反應副產物進行捕獲而採用利用倒梯形空間部形成內側區域的結構；下段捕獲部，用於在從通過側面流入的氣體中對所述反應副產物進行多段捕獲的同時防止已捕獲的所述反應副產物流出所述外殼的氣體排出口，從而在不同高度上對所述反應副產物進行多段捕獲；以及捕獲罩，用於對在所述中段捕獲部的內側以及外側區域捕獲到的多孔性粉末形態的所述反應副產物進行收集而防止其流出到外部，其中，所述中段捕獲部根據不同使用週期的捕獲量變化，在使用週期的前半段，誘導所述氣體的主氣流下降到構成外周的平面狀十字形垂直板的內側區域並向外側區域流動，而在所述內側區域堆積一定捕獲量的使用週期的後半段，誘導其從所述平面狀十字形垂直板的內側區域上部流動到外側區域之後下降，從而執行追加捕獲反應。
作為較佳的實施例，所述上段捕獲部將從所述加熱器分配到所述外殼的內部外圍方向並下降的所述氣體通過中心部的主氣孔以及圓形排列在所述主氣孔周邊的相對較小的輔助氣孔誘導到在下部相距一定間隔的所述中段捕獲部，並在安裝有雙十字形板的上面以及安裝有矩形板的下面對所述氣體中的所述反應副產物進行捕獲。
作為較佳的實施例，複數個所述平面狀十字形垂直板結合到所述上段捕獲部的下部且與所述上段捕獲部相距一定間隔，所述中段捕獲部的外周由複數個所述平面狀十字形垂直板相距一定間隙地排列構成， 並且構成所述平面狀十字形垂直板的單獨垂直板是形成為其朝向內側方向的垂直板的面積從上部側向下部側逐漸變大的梯形形狀，從而提供所述中段捕獲部的內側區域上部空間大於下部空間的捕獲空間。
作為較佳的實施例，本發明還包括：渦流板，沿著所述中段捕獲部的外周安裝，在外側沿著長度方向形成有一個以上的氣縫，在內側形成有氣口。
作為較佳的實施例，本發明的特徵在於：所述渦流板是以外側較高的傾斜形態安裝。
作為較佳的實施例，所述捕獲罩形成為在平面上排列有複數個氣孔的筒狀體結構，並且與所述中段捕獲部的下部相距一定間隔地沿著外周在所述下段捕獲部的上部沿著垂直方向安裝。
作為較佳的實施例，所述捕獲罩是以傾斜形態的渦流板對其上部進行覆蓋的方式安裝。
作為較佳的實施例，所述下段捕獲部結合到所述中段捕獲部的下部並且由在表面形成有複數個氣孔的外圍捕獲板部以及內側捕獲板部多重構成，從而阻擋在所述中段捕獲部的內側區域以及外側區域執行捕獲反應之後的氣體直接下降並流入到形成於所述外殼的下板中的所述氣體排出口，並在將氣體從外圍誘導到內側並執行最終捕獲反應之後使其流入到從所述外殼的下板的中央部向上部凸出的所述氣體排出口的上部並下降。
作為較佳的實施例，所述外圍捕獲板部以下部開放的結構構成，在其上側面捕獲板以及各個側面捕獲板中形成所述複數個氣孔，通過利用上部一定區域沒有形成所述氣孔的阻擋部構成各個側面捕獲板而對氣流進行阻隔，從而防止從中段捕獲部通過上側面捕獲板跌落的反應副產物向側面方向流出。
作為較佳的實施例，所述內側捕獲板部以下部開放的結構構成，而上側面捕獲板以封閉結構構成並通過間隔材料與所述外圍捕獲板部的上側面捕獲板相距一定間隔地安裝，在各個側面捕獲板形成有複數個氣孔。
《技術效果》
如上所述特徵之適用本發明的具有擴展的可用收集區域的反應副產物捕獲裝置，可以在對從半導體製程中的製程腔體排出的氣體中所包含的反應副產物進行捕獲的內部捕獲裝置中，將複數個平面狀的垂直板沿著外周方向相距一定間隔進行排列，從而通過在使用週期的前半段以及後半段根據捕獲量對氣流進行變更誘導並藉此在內側區域以及外側區域均勻地進行捕獲而對可用捕獲區域進行擴展。
此外，本發明可以通過分成上段捕獲部、中段捕獲部以及下段捕獲部的多段結構而執行多段捕獲反應，而且通過以將複數個平面狀十字形垂直板沿著外周方向相距一定間隔排列成四邊形的方式構成中段捕獲部結構，使得所流入的氣流可以沿著平面狀十字形垂直板的平面無阻力地快速向下部方向流動，並在從上部區域到下部區域均勻地執行捕獲反應，從而在使用週期的前半段在平面狀十字形垂直板的內側區域均勻地執行捕獲反應並堆積在整個內側區域空間中，而在使用週期的後半段使得氣體沿著平面狀十字形垂直板的外側面下降並執行追加捕獲反應，從而對可用捕獲區域進行擴展。
此外，本發明可以通過在內部捕獲裝置的內側區域形成下部較窄而上部較寬的倒梯形的捕獲空間結構而在對反應副產物進行捕獲時防止上部阻塞的現象，並藉此增加可用捕獲空間。
此外，本發明可以通過將在構成反應副產物捕獲裝置的內部捕獲塔的中段捕獲部的內側區域以及外側區域捕獲到的反應副產物堆積儲藏在捕獲罩中，使得剩餘的氣體通過多段構成的下端捕獲部再次執行捕獲反應之後通過氣體排出口排出，從而多重防止反應副產物流出。
此外，本發明可以通過配備沿著多段構成的內部捕獲塔的中段捕獲部的外側下部外周安裝的渦流板，可以在使用週期內減小下降的氣體流速並形成渦流，從而在增加捕獲反應時間的同時誘導塊狀形態的反應副產物的形成，並通過使得所生成的反應副產物堆積或跌落堆積到安裝在其下部的捕獲罩中而防止向外部流出。
如上所述，本發明是具有多種效果的有用發明，具有良好的產業應用前景。
接下來，將結合附圖對適用本發明的實施例的結構及其作用進行詳細說明如下。此外，在對本發明進行說明的過程中，當判定對相關的公知功能或結構的具體說明可能會導致本發明的要旨變得不清晰時，將省略與其相關的詳細說明。
圖1是顯示適用本發明一實施例的反應副產物捕獲裝置的內部結構的截面示意圖；圖2是顯示適用本發明一實施例的內部捕獲塔的立體圖；圖3是顯示適用本發明一實施例的內部捕獲塔的部分分解立體圖；圖4是顯示適用本發明一實施例的內部捕獲塔組裝時的整體結構的前視圖；圖5是顯示適用本發明一實施例的內部捕獲塔的平面圖；圖6是顯示適用本發明一實施例的中段捕獲部的立體圖；圖7是顯示適用本發明一實施例的中段捕獲部的底面圖；圖8是顯示適用本發明一實施例的下段捕獲部的立體圖；以及圖9是顯示適用本發明一實施例的下段捕獲部的底面圖。
如圖所示，適用本發明的可通過誘導氣流而擴展捕獲可用區域的反應副產物捕獲裝置是一種用於對在製程腔體（未圖示）中執行薄膜沉積工程之後排出的未反應氣體中所包含的反應副產物進行捕獲之後僅將剩餘的氣體排出到捕獲裝置的後端的裝置。
所述反應副產物捕獲裝置，包括：外殼1，用於對在半導體製造工程中執行沉積工程之後排出的氣體進行收容和排出；加熱器2，用於對收容於外殼內部的氣體進行加熱；內部捕獲塔3，分成：上段捕獲部31，用以在將氣體的主氣流誘導到中央部並使其下降的同時執行捕獲反應；中段捕獲部32，為對所流入的氣體進行收容並對反應副產物進行捕獲而採用利用倒梯形空間部形成內側區域的結構；下段捕獲部33，用以在從通過側面流入的氣體中對反應副產物進行多段捕獲的同時防止已捕獲的反應副產物流出；以及捕獲罩34，用以對在所述中段捕獲部的內側以及外側區域捕獲到的多孔性粉末（Porous Powder）形態的反應副產物進行收集而防止其流出到外部，從而在不同的高度上對反應副產物進行多段捕獲。
作為所述沉積工程的一實施例，可以是為了製造出非揮發性快閃記憶體（NAND FLASH）而向製程腔體內部投入工程氣體的沉積工程。但是，本發明並不是只限於製造非揮發性快閃記憶體（NAND FLASH）的沉積工程的捕獲裝置，也可以適用於對在多種半導體製程中供應到製程腔體之後排出的多種氣體中所包含的反應副產物進行捕獲的工程。
接下來，將所述各個結構進行詳細說明。
外殼1採用可供從半導體製程中的製程腔體排出的氣體從上部流入並對其進行收容之後向下部排出的垂直型結構，包括：外殼主體11，對所流入的氣體進行收容；上板12，形成有向上側方向凸出的氣體流入口12a；以及下板13，形成有向上部以及下部兩側方向凸出的氣體排出口13a。
此外，如附圖中所示的實施例，外殼還可以根據需要在下板下部包括用於進行移動的支撐腿以及滾輪。
所述外殼主體11的形狀，在適用本發明的一實施例中，根據內部捕獲塔的形狀以四邊筒形形狀為基準進行說明，但是本發明並不限定於如上所述的形狀，也可以以例如圓筒形以及多邊筒形等所需要的形狀構成。
在外殼主體11的各個內壁中，沿著垂直方向以一定的間隔排列有沿著水平方向安裝的複數個壁面板10a。所述壁面板10a可以在通過外殼1內部的氣體中形成渦流並藉此增加停留在外殼內部空間的時間的同時對反應副產物進行捕獲。
所述壁面板10a的截面形狀，在一實施例中可以形成為具有水平形狀的平板形狀。但是，除了如上所述的形狀之外，也可以形成為朝向內部一側的末端向上部或下部折曲並形成傾斜面或形成圓角的方式。如上所述形狀的壁面板可以對下降的氣流造成阻力作用，因此會與不受到阻力作用的相鄰的流動氣體形成方向以及速度上的相對差異並藉此形成渦流，從而在增加滯留於外殼的內部空間的時間並延長捕獲反應時間的同時對反應副產物進行捕獲。
所述氣體排出口13a向下板13上部凸出，使得堆積在下板13上的反應副產物或穿過下端捕獲部的氣體無法直接流入到氣體排出口內側，而是在上升之後排出，從而防止已捕獲的反應副產物與氣體混合並一起流出。
所述加熱器2是用於安裝在外殼主體11的上部一側（亦即上板12下面）的裝置，通過對經由氣體流入口12a流入的氣體進行加熱而在外殼上端部的一部分形成無法執行捕獲的溫度區域，並防止在使用初期因為副產物堆積在外殼上端部以及氣體流入口12a而發生堵塞的情況，同時通過將經過加熱的氣體均勻地分配到外殼主體11內部空間並藉此確保順利地完成捕獲反應，其在上側以放射狀形成有擴散器2a，從而可以均勻地對經過加熱的氣體進行分配。
此外，在外殼的上板12上安裝有用於向加熱器2供應電源並根據外殼內部溫度對電源供應進行控制的加熱器電源供應部21。
所述內部捕獲塔3的捕獲區域根據高度分成上段捕獲部31、中段捕獲部32、下段捕獲部33以及捕獲罩34，所述捕獲罩34通過對在所述中段捕獲部32的內側以及外側區域捕獲到的多孔性粉末（Porous Powder）形態的反應副產物進行收集而防止其流出到外部，從而可以對流入到外殼內部的氣體進行多段捕獲。
尤其是，內部捕獲塔3的中段捕獲部32根據不同使用週期的捕獲量變化，在使用週期的前半段，誘導氣體的主氣流下降到構成外周的平面狀十字形垂直板321的內側區域（亦即倒梯形空間部）並對反應副產物進行捕獲的同時向捕獲罩34的外側區域流動，而在使用週期的後半段，誘導其從對既有反應副產物的內側區域上部流動到平面狀十字形垂直板321的外側區域之後下降並執行追加捕獲反應，從而對可用捕獲區域進行擴展並將整體捕獲效率極大化。
此外，通過配備捕獲罩34，可以在阻隔多孔性粉末（Porous Powder）形態的反應副產物伴隨氣體的流動而移動的同時產生可供氣體穿過的過濾器作用，從而首次阻隔其通過氣體排出口排出。
接下來，在對穿過捕獲罩34的氣體進行過濾的同時最終對反應副產物進行捕獲的下段捕獲部33將產生第二次阻隔作用，因為在所述捕獲罩34中收集有大量的反應副產物，因此可以具備更加精密的過濾作用。
接下來，將對內部捕獲塔3的各個構成進行詳細的說明。
上段捕獲部31可以將從加熱器分配到外殼的內部外圍方向並下降的氣體通過中心部的主氣孔311以及圓形排列從而對主氣孔周邊的相對較小的輔助氣孔312誘導到在下部相距一定間隔的中段捕獲部32，並通過嵌入方式或焊接等結合方式分別安裝在上面和下面的捕獲板對氣體中所包含的反應副產物進行捕獲。
具體來講，所述上段捕獲部31由四邊形形態的平板構成，並形成為略小於外殼主體的上端部內部的大小，從而通過最大限度地遮擋內部空間而防止從位於上部的加熱器2分配到外殼內部空間的外圍並下降的氣體直接下降到下部，進而通過誘導到中央部的主氣孔311而形成主氣流，同時通過將一部分氣體分配誘導到在主氣孔311的周邊多重圓形排列的相對較小的複數個輔助氣孔312而形成輔助氣流，從而執行捕獲反應。
在所述上段捕獲部31的上面以放射狀排列有橫穿多重圓形排列的複數個輔助氣孔312並垂直凸出的雙十字形板313，從而在對氣流進行誘導的同時形成渦流並藉此提升捕獲效率，而在下面以放射狀排列有橫穿輔助氣孔312並向下部垂直凸出安裝的矩形板314，從而在誘導通過主氣孔311以及輔助氣孔312下降的排放氣體均勻下降的同時執行捕獲作用。
此外，所述雙十字形板313是由兩個較小的矩形板與放射狀排列的具有長度的材料（亦即矩形板）以相距一定間隔地交叉形成，可以同時產生將氣流均勻且穩定地從外圍誘導到主氣孔一側的作用，以及通過形成渦流而延長捕獲反應時間的作用。
此外，上段捕獲部31在下部一側配備有以所需要的一定長度支撐的間隔材料315以及支撐部316，從而與所述中間捕獲部32相距一定高度地安裝。作為一實施例，為了對至少四個以上的間隔材料進行固定，所述支撐部316可以沿著中段捕獲部32的上端形狀以一定寬度的帶狀形態的板構成且形成有複數個孔，從而對兩側進行螺栓結合或焊接固定。
中段捕獲部32構成為對從上段捕獲部31流入到中央部的氣體進行收容並向外側排出而在內側區域以及外側區域均勻地對氣體中所包含的顆粒狀反應副產物進行捕獲的方式，尤其是為了提升在內側區域的上下部之間的捕獲空間利用率而將內側區域形成為倒梯形空間結構。
因此，中段捕獲部32由複數個平面狀十字形垂直板321相隔一定間隙排列而構成四邊形的外周，並且以相距一定間隔地結合到上段捕獲部31的下部。
平面狀十字形垂直板321以將兩個單獨垂直板321a交叉嵌入或焊接的方式構成十字形平截面即可。
此時，關於構成所述平面狀十字形垂直板321的單獨垂直板321a的形狀，其中沿著外周方向配置的垂直板形成為平板形狀，而與其交叉的朝向內側方向的垂直板形成為以其面積從上部側向下部側逐漸變大的梯形形狀，從而提供內側區域的上部空間大於下部空間的捕獲空間。
此外，單獨垂直板321a也可以構成為其下面通過下端板321b與相向的對面單獨垂直板321a相連並連接成一體的結構。
因為以如上所述方式形成的平面狀十字形垂直板321的上部內側空間與上部在相同情況下相比於下部空間相對較大，因此可以避免在氣體流入時因為首先在上部區域進行捕獲而發生堵塞的情況，而是可以有效地利用從下部到上部的所有空間，從而在整個使用週期內持續地進行捕獲。
此外，為了確保氣體可以無阻力地進行移動，所述平面狀十字形垂直板321中的梯形形狀的單獨垂直板只由沒有形成氣孔等的平面狀構成。通過採用如上所述的只由平面狀構成的方式，與習知技術中所揭露之形成有複數個相同或不同大小的氣孔的垂直板不同，因而可以確保氣流可以沿著平面無阻力且快速地向下部方向流動。通過如上所述的以平面狀梯形結構形成的垂直板，可以通過向下部一側快速流入的氣體而執行更多的捕獲反應，從而防止上部因為在流入初期執行捕獲反應而發生堵塞，而且可以從上部到下部的整個垂直板持續性地執行捕獲反應。
此外，在構成所述中段捕獲部32的平面狀十字形垂直板321所構成的外周下部一側安裝有向外側方向凸出的渦流板322。如上所述的渦流板322可以減小下降氣體的流速並形成渦流，從而增加捕獲反應時間並誘導形成塊狀形態的反應副產物。
渦流板322可以沿著中段捕獲部32的周圍形成一個，也可以連續安裝複數個，在本發明的一實施例中，可以根據中段捕獲部32的一實施例的形狀在其整體上由四個塊形成四邊形形態。但是，本發明的渦流板的形狀並不限於如上所述的形態，由多種形狀以及一個以上構成即可。
在渦流板322的外側面一側沿著長度方向形成有氣縫322a，且形成複數個為宜。
此外，與形成有氣縫322a的外側面不同，在內側面一側形成有開口面積較大的氣口322b。如上所述，通過在外側方向形成一個以上的氣縫322a並在內側方向形成氣口322b，可以使得氣流更多地流向氣口322b一側並更少地流向氣縫322a一側，從而使得氣體向渦流板322內側流動而不是向外側流動，並藉此提升渦流板322的利用率。
此外，因為如上所述的結構，在渦流板322的平面上生成並堆積的反應副產物伴隨氣流向氣口322b一側跌落的可能性將增加，從而可以使其更有效地向位於下部的捕獲罩34一側跌落，並藉此防止反應副產物流出。
尤其是，因為渦流板322是以外側較高的傾斜形態安裝，因此在捕獲裝置的使用週期的後半段，氣體的主氣流將通過中段捕獲部32的外側區域下降並與渦流板322碰撞形成渦流，而且氣體流動方向也會沿著傾斜角誘導到內側方向流動，從而增加氣體的反應時間並誘導以塊狀形態對反應副產物進行捕獲。
此外，傾斜結構的渦流板322可以使得所捕獲到的反應副產物自然地堆積在內側並防止其伴隨氣體流出到外部。
此外，傾斜結構的渦流板322可以誘導所捕獲到的反應副產物更有效地向位於下部的捕獲罩34一側跌落，從而防止反應副產物流出。
所述渦流板322可以通過在十字形垂直板321的面上形成凹槽之後嵌入或通過焊接的方式安裝。
捕獲罩34構成為在平面上排列有複數個氣孔341的筒狀體結構，而且與所述中段捕獲部32的下部相距一定間隔地沿著外周在下段捕獲部33的上部沿著垂直方向安裝。
所述捕獲罩34形成為上下開放的筒狀體結構，筒狀形狀可以根據本發明一實施例的中段捕獲部的形狀構成四邊形筒狀體，也可以構成不同外周形狀的筒狀體。此外，筒狀體可以構成單一主體的筒狀體，也可以根據外周形狀分別構成各個面之後進行組裝。
在本發明的一實施例中，所述氣孔341是形成為六角槽形狀，但是本發明並不限定於如上所述的形狀，也可以形成為例如正圓、橢圓、三角槽、狹槽或各種多邊形槽。
此外，捕獲罩34為了確保具有可以收集足夠的反應副產物的儲存空間而沿著相距一定間隔的位置進行安裝，並以形成為具有可以確保在使用週期內對足夠的反應副產物進行捕獲並防止其流出的足夠容積的高度。
作為一實施例，捕獲罩的高度形成為小於中段捕獲部32的中間高度的程度時，既可以不對流入到中段捕獲部的氣體的流動造成阻礙，也可以具有在捕獲裝置的使用週期內對足夠的反應副產物進行堆積並避免其流出的的容積。
此外，所述間隔距離為可以安裝在位於下部的下段捕獲部33的上部的程度即可。
作為一實施例，本發明的捕獲罩34是形成為與下段捕獲部幾乎相同的寬度。通過以所述寬度相距一定間隔安裝，當在上段捕獲部31、中段捕獲部32以及外殼主體內壁的壁面板10a等中捕獲到的反應副產物伴隨氣體流動並跌落時，可以藉由流入到下段捕獲部33的氣流最大限度地確保反應副產物跌落到捕獲罩的內側空間。
但是，如上所述的安裝例並不是為了對本發明的捕獲罩34的安裝形態或大小進行限定，而是可以根據在捕獲裝置的使用週期內始終產生的反應副產物的量進行變更。
以如上所述的結構安裝的捕獲罩34可以產生對在中段捕獲部的平面狀十字形垂直板321的內側和外側區域以及渦流板322中捕獲到的多孔性粉末（Porous Powder）形態的反應副產物進行收集並防止其流出到外部的作用。此外，捕獲罩34也可以通過平面狀對氣體中的反應副產物進行捕獲。
此外，捕獲罩34可以具有使得氣體通過在平面上形成的氣孔341自然排出的作用。但是，當反應副產物以收集到捕獲罩34中的狀態堆積在內側空間時，氣流將被聚集到捕獲罩34中並藉此增加氣體的反應性且形成塊狀形態，因此在表面形成有氣孔341的捕獲罩也可以充分地具有阻隔壁的作用。藉此，與沒有捕獲罩時相同，反應副產物不會伴隨氣流輕易地向外部流出。
堆積到捕獲罩34中的反應副產物將被堆積在與捕獲罩34的下部相鄰配置的下段捕獲部的外圍捕獲板部331的上面，而一部分可以通過氣孔堆積在下部內側捕獲板部332的上面。此時，因為所述外圍捕獲板部331的側面是上部一定區域沒有形成氣孔的封閉結構且下部內側捕獲板部332的上面為封閉結構，因此一部分氣流將形成沿著外圍捕獲板部331與下部內側捕獲板部332之間的未封閉的空間部流動的流路結構。
此外，沿著所述中段捕獲部32的外周安裝的渦流板322可以對捕獲罩34的上部進行覆蓋。此時，渦流板322比捕獲罩34更加凸出將有利於在下降氣流中形成渦流。在如上所述的渦流板322位於捕獲罩34上部的情況下，可以對跌落到渦流板322下部的反應副產物進行收集，而且還可以防止堆積在捕獲罩34中的反應副產物通過上部開口向外部流出。
藉由如上所述構成的中段捕獲部32以及捕獲罩34，可以在使用週期的前半段使得氣體的主氣流被收容到構成外周的平面狀十字形垂直板321的內側區域下部並流動之後向外側區域方向排出，從而在平面狀十字形垂直板321的內側區域對氣體中所包含的反應副產物進行捕獲並均勻地堆積在倒梯形空間結構的內側區域空間部的整個上部和下部，同時還會堆積在捕獲罩34的內部以及下段捕獲部33的上部區域。
接下來，在因為反應副產物被堆積在中段捕獲部32的內側區域空間部而導致捕獲空間減少的使用週期的後半段，因為所流入的氣體難以下降並排出，因此氣體的主氣流將通過相距一定間隔地安裝並構成外周的平面狀十字形垂直板321之間的空間誘導到外側區域，從而在平面狀十字形垂直板321的外側區域對反應副產物進行捕獲。亦即，在反應副產物的捕獲量增加時，可以在十字形捕獲板321的上部一側通過間隔空間流動到外側之後下降，從而在平面狀十字形垂直板321的外側區域執行追加捕獲反應。
此時，下降氣體中的一部分將通過沿著平面狀十字形垂直板321所構成的外周下部一側向外側方向凸出安裝的渦流板322形成渦流並導向到內側，從而以塊狀形態對反應副產物進行捕獲，而一部分將持續地堆積在位於下部的捕獲罩34的內部以及下段捕獲部33的上部區域。
如上所述，通過在使用週期的前半段以及使用週期的後半段對主氣流進行改變，可以在捕獲過程中在使用週期的前半段均勻地堆積到倒梯形空間結構的內側區域空間部的整個上部和下部，而在使用週期的後半段可以向外側區域的下部下降並藉此實現更多的捕獲量。
此外，通過在構成外周的複數個平面狀十字形垂直板321的外側區域下部沿著外周安裝的捕獲罩34以及形成有複數個孔的渦流板322，可以在使用週期的後半段降低向下部下降的氣體的流速的同時形成渦流並藉此增加捕獲反應時間，而且還可以防止捕獲並堆積的反應副產物跌落並通過氣體排出口排出。
下段捕獲部33結合到所述中段捕獲部32的下部並由在表面形成有複數個氣孔的外圍捕獲板部331以及內側捕獲板部332多重構成，從而阻擋在中段捕獲部的32內側區域以及外側區域執行捕獲反應之後的氣體直接下降並流入到形成於外殼的下板中的氣體排出口13a，並在將氣體從外圍誘導到內側並執行最終捕獲反應並防止反應副產物流出之後，誘導氣流流入到從外殼的下板的中央部向上部凸出的氣體排出口13a的上部並下降。
此外，下段捕獲部33藉由安裝在外殼的下板上並與外圍捕獲板部331結合的支撐部件333以與下板相距一定間隔的狀態安裝，從而對位於上部的中段捕獲部32的整體荷重進行支撐，並藉此確保氣體順利流入。
由所述外圍捕獲板部331以及內側捕獲板部332多重構成的下段捕獲部33，是形成為內側捕獲板部331與外圍捕獲板部331相比更加接近外殼的下板，從而構成為可供所流入的氣體依次流入的形狀。
接下來，將對一實施例的下段捕獲部33進行更為詳細的說明。
外圍捕獲板部331可以形成為下部開放的四邊筒形結構（也可以是圓筒形或多邊筒形），在上側面捕獲板以及各個側面捕獲板中可以形成複數個氣孔331a。
此外，所述各個側面捕獲板形成為上部的一定區域沒有形成氣孔331a的阻擋部331b，從而對氣體的流動進行阻擋，藉此可以防止在中段捕獲部中通過上側面捕獲板跌落的反應副產物向側面方向流出。
內側捕獲板部332形成為下部開放的四邊筒形結構（或圓筒形或多邊筒形），而上側面捕獲板形成為封閉結構，並通過間隔材料332a與所述外圍捕獲板部331的上側面捕獲板相距一定間隔地構成，而且在各個側面捕獲板上形成有複數個氣孔332b。
如上所述構成的適用本發明的內部捕獲塔3，可以在將流入到外殼內部的氣體的主氣流從內部捕獲塔3的上段捕獲部31聚集到中央部並傳遞到中段捕獲部32時，在中段捕獲部32中由倒梯形空間結構的內側區域空間部構成內側區域，可以使得氣體的主氣流沿著構成四邊形外周的平面狀十字形垂直板321的內側區域快速地向下部方向下降並在平面狀十字形垂直板321中執行捕獲反應並形成反應副產物，從而形成通過位於下部的捕獲罩34內部以及下段捕獲部33的上部區域排出到外側區域的主氣流。
因為如上所述的使用週期前半段的氣流，反應副產物將均勻地堆積在倒梯形空間結構的內側區域空間部的整個上部以及下部，同時還會堆積在捕獲罩34的內部以及下段捕獲部33的上部區域。
此外，捕獲罩34可以具有通過持續性地對堆積在內部的反應副產物進行過濾而防止其流出的作用。
接下來，在因為捕獲並堆積到倒梯形空間結構的中段捕獲部32的內側區域的反應副產物而導致捕獲空間減少的使用週期的後半段，氣流將在平面狀十字形垂直板的上部誘導到外側區域並向下部下降，從而對反應副產物進行追加捕獲。
此外，下降氣體中的一部分將通過沿著平面狀十字形垂直板321所構成的外周下部一側向外側方向凸出安裝的渦流板322形成渦流並導向到內側，從而以塊狀形態對反應副產物進行捕獲，而一部分將持續地堆積在位於下部的捕獲罩34的內部以及下段捕獲部33的上部區域。
在使用週期的後半段，捕獲罩34同樣可以具有通過持續性地對堆積在內部的反應副產物進行過濾而防止其流出的作用。
此外，在使用週期內通過中段捕獲部32的外側下降的氣體，將在下部通過下段捕獲部33的外圍捕獲板部331以及內側捕獲板部332防止反應副產物的流出的同時最終對氣體中所包含的反應副產物進行捕獲，接下來在流入到外殼的下板的中央部向上部凸出的氣體排出口13a的上部之後下降並排出。
圖10是顯示適用本發明一實施例的捕獲裝置內部的使用週期的前半段的氣流的示意圖；以及圖11是顯示適用本發明一實施例的捕獲裝置內部的使用週期的前半段的捕獲傾向的示意圖。在下述內容中對附圖進行說明的元件符號可以參閱上述說明。
如圖所示，使用週期的前半段的氣流以及反應副產物捕獲傾向如下所述。
通過在構成外殼1的上板12上形成的氣體流入口12a流入的氣體將被加熱器2加熱，並通過位於上部的擴散器2a以放射狀分配流動到外殼主體11的外圍之後下降。
接下來，氣體的主氣流將藉由內部捕獲塔3的上段捕獲部31從外圍誘導到中央部的主氣孔311並下降，從而在上側面和下側面以及安裝在上側面的雙十字形板313以及矩形板314中執行捕獲反應。
下降到主氣孔311的氣體的主氣流將在流入到中段捕獲部32的內部（亦即倒梯形空間）結構的內側區域並向下部流動之後，形成向安裝有捕獲罩34的外側區域排出的氣流。
此時，平面狀十字形垂直板321將對氣體中的反應副產物進行凝聚和捕獲，並持續地堆積在內側區域和捕獲罩34的內部以及下段捕獲部33的上部區域。
尤其是，因為構成平面狀十字形垂直板321的各個垂直板為立體型結構，因此在執行捕獲反應時可以避免內側區域的上部發生堵塞並將反應副產物堆積在整個空間中。
接下來，在下部通過捕獲罩34排出到外側區域的氣體將通過分成多段的下段捕獲部33流入氣體排出口13a的上部之後下降並排出，所述流入氣體排出口13a位於下段捕獲部33內側的外殼的下板的中央部向上部凸出。
圖12是顯示適用本發明一實施例的捕獲裝置內部的使用週期的後半段的氣流的示意圖；以及圖13是顯示適用本發明一實施例的捕獲裝置內部中使用週期的後半段的氣流的示意圖。
如圖所示，使用週期的後半段的氣流以及反應副產物捕獲傾向如下所述。
通過在構成外殼1的上板12上形成的氣體流入口12a流入的氣體將被加熱器2加熱，並通過位於上部的擴散器2a以放射狀分配流動到外殼主體11的外圍之後下降。
接下來，氣體的主氣流將藉由內部捕獲塔3的上段捕獲部31從外圍誘導到中央部的主氣孔311並下降，從而在上側面和下側面以及安裝在上側面的雙十字形板313以及矩形板314中執行捕獲反應。
下降到主氣孔311的氣體的主氣流將因為捕獲並堆積到平面狀十字形垂直板內側區域的反應副產物所造成的捕獲空間的減少而無法繼續下降，其氣流將在平面狀十字形垂直板的上部誘導到外側區域並向下部下降，從而在還沒有大量用於捕獲反應的平面狀十字形垂直板的外側區域對反應副產物進行追加捕獲。
尤其是，因為構成平面狀十字形垂直板321的各個垂直板為立體型結構，因此在執行捕獲反應時在使用週期的後半段可以在外側區域的下部有效地執行捕獲反應，從而持續地堆積在捕獲罩34的內部以及下段捕獲部33的上部區域。
此外，通過安裝於捕獲罩34的上部並在所述平面狀十字形垂直板321的外側區域下部沿著外周安裝的渦流板322，可以在降低向下部下降的氣體的流速的同時形成渦流並藉此增加捕獲反應時間，而且還可以防止捕獲並堆積的反應副產物跌落並通過氣體排出口排出。
接下來，通過下段捕獲部33流入到從位於其內側的外殼的下板的中央部向上部凸出的氣體排出口13a的上部之後下降並排出。
本發明並不限定於如上所述的特定較佳實施例，在不脫離申請專利範圍中所主張的本發明範圍內，具有本發明所屬技術領域之一般知識的人員可以進行各種變化實施，且所述變化包含在申請專利範圍中所記載的範圍之內。
1:外殼
10a:壁面板
11:外殼主體
12:上板
12a:氣體流入口
13:下板
13a:氣體排出口
2:加熱器
2a:擴散器
21:加熱器電源供應部
3:內部捕獲塔
31:上段捕獲部
311:主氣孔
312:輔助氣孔
313:雙十字形板
314:矩形板
315:間隔材料
316:支撐部
32:中段捕獲部
321:平面狀十字形垂直板
321a:單獨垂直板
321b:下端板
322:渦流板
322a:氣縫
322b:氣口
33:下段捕獲部
331:外圍捕獲板部
331a:氣孔
331b:阻擋部
332:內側捕獲板部
332a:間隔材料
332b:氣孔
333:支撐部件
34:捕獲罩
341:氣孔
圖1是顯示適用本發明一實施例的反應副產物捕獲裝置的內部結構的截面示意圖；
圖2是顯示適用本發明一實施例的內部捕獲塔的立體圖；
圖3是顯示適用本發明一實施例的內部捕獲塔的部分分解立體圖；
圖4是顯示適用本發明一實施例的內部捕獲塔組裝時的整體結構的前視圖；
圖5是顯示適用本發明一實施例的內部捕獲塔的平面圖；
圖6是顯示適用本發明一實施例的中段捕獲部的立體圖；
圖7是顯示適用本發明一實施例的中段捕獲部的底面圖；
圖8是顯示適用本發明一實施例的下段捕獲部的立體圖；
圖9是顯示適用本發明一實施例的下段捕獲部的底面圖；
圖10是顯示適用本發明一實施例的捕獲裝置內部的使用週期的前半段的氣流的示意圖；
圖11是顯示適用本發明一實施例的捕獲裝置內部的使用週期的前半段的捕獲傾向的示意圖；
圖12是顯示適用本發明一實施例的捕獲裝置內部的使用週期的後半段的氣流的示意圖；以及
圖13是顯示適用本發明一實施例的捕獲裝置內部中使用週期的後半段的氣流的示意圖。
1:外殼
10a:壁面板
11:外殼主體
12:上板
12a:氣體流入口
13:下板
13a:氣體排出口
2:加熱器
2a:擴散器
21:加熱器電源供應部
3:內部捕獲塔
31:上段捕獲部
311:主氣孔
312:輔助氣孔
313:雙十字形板
314:矩形板
315:間隔材料
316:支撐部
32:中段捕獲部
321:平面狀十字形垂直板
321a:單獨垂直板
322:渦流板
322a:氣縫
322b:氣口
33:下段捕獲部
331:外圍捕獲板部
331a:氣孔
331b:阻擋部
332:內側捕獲板部
333:支撐部件
332a:間隔材料
332b:氣孔
34:捕獲罩
Claims (10)
- 一種具有擴展的可用收集區域的反應副產物捕獲裝置，用於將在半導體製程中執行沉積工程之後排出的氣體收容到外殼（1）內部，並利用加熱器（2）進行加熱的同時利用內部捕獲塔（3）對所述氣體中所包含的反應副產物進行捕獲並僅排出氣體，其中，所述內部捕獲塔（3）包括： 上段捕獲部（31），用於將氣體的主氣流誘導到中央部並使其下降的同時執行捕獲反應； 中段捕獲部（32），為對流入的氣體進行收容並對所述反應副產物進行捕獲而採用利用倒梯形空間部形成內側區域的結構； 下段捕獲部（33），用於在從通過側面流入的氣體中對所述反應副產物進行多段捕獲的同時防止已捕獲的所述反應副產物流出所述外殼的氣體排出口（13a），從而在不同高度上對所述反應副產物進行多段捕獲；以及 捕獲罩（34），用於對在所述中段捕獲部的內側以及外側區域捕獲到的多孔性粉末形態的所述反應副產物進行收集而防止其流出到外部， 其中，所述中段捕獲部（32）根據不同使用週期的捕獲量變化，在使用週期的前半段，誘導所述氣體的主氣流下降到構成外周的平面狀十字形垂直板（321）的內側區域並向外側區域流動，而在所述內側區域堆積一定捕獲量的使用週期的後半段，誘導其從所述平面狀十字形垂直板（321）的內側區域上部流動到外側區域之後下降，從而執行追加捕獲反應。
- 根據請求項1所述之具有擴展的可用收集區域的反應副產物捕獲裝置，其中，所述上段捕獲部（31）將從所述加熱器（2）分配到所述外殼（1）的內部外圍方向並下降的所述氣體通過中心部的主氣孔（311）以及圓形排列在所述主氣孔周邊的相對較小的輔助氣孔（312）誘導到在下部相距一定間隔的所述中段捕獲部（32），並在安裝有雙十字形板（314）的上面以及安裝有矩形板（314）的下面對所述氣體中的所述反應副產物進行捕獲。
- 根據請求項1所述之具有擴展的可用收集區域的反應副產物捕獲裝置，其中，複數個所述平面狀十字形垂直板（321）結合到所述上段捕獲部（31）的下部且與所述上段捕獲部（31）相距一定間隔，所述中段捕獲部（32）的外周由複數個所述平面狀十字形垂直板（321）相距一定間隙地排列構成， 並且構成所述平面狀十字形垂直板（321）的單獨垂直板（321a）是形成為其朝向內側方向的垂直板的面積從上部側向下部側逐漸變大的梯形形狀，從而提供所述中段捕獲部（32）的內側區域上部空間大於下部空間的捕獲空間。
- 根據請求項1所述之具有擴展的可用收集區域的反應副產物捕獲裝置，還包括： 渦流板（322），沿著所述中段捕獲部（32）的外周安裝，在外側沿著長度方向形成有一個以上的氣縫（322a），在內側形成有氣口（322b）。
- 根據請求項4所述之具有擴展的可用收集區域的反應副產物捕獲裝置，其中，所述渦流板（322）是以外側較高的傾斜形態安裝。
- 根據請求項1所述之具有擴展的可用收集區域的反應副產物捕獲裝置，其中，所述捕獲罩（34）形成為在平面上排列有複數個氣孔（341）的筒狀體結構，並且與所述中段捕獲部（32）的下部相距一定間隔地沿著外周在所述下段捕獲部（33）的上部沿著垂直方向安裝。
- 根據請求項6所述之具有擴展的可用收集區域的反應副產物捕獲裝置，其中，所述捕獲罩（34）是以傾斜形態的渦流板（322）對其上部進行覆蓋的方式安裝。
- 根據請求項1所述之具有擴展的可用收集區域的反應副產物捕獲裝置，其中，所述下段捕獲部（33）結合到所述中段捕獲部（32）的下部並且由在表面形成有複數個氣孔（331a）的外圍捕獲板部（331）以及內側捕獲板部（332）多重構成，從而阻擋在所述中段捕獲部（32）的內側區域以及外側區域執行捕獲反應之後的氣體直接下降並流入到形成於所述外殼的下板中的所述氣體排出口（13a），並在將氣體從外圍誘導到內側並執行最終捕獲反應之後使其流入到從所述外殼的下板的中央部向上部凸出的所述氣體排出口（13a）的上部並下降。
- 根據請求項8所述之具有擴展的可用收集區域的反應副產物捕獲裝置，其中，所述外圍捕獲板部（331）以下部開放的結構構成，在其上側面捕獲板以及各個側面捕獲板中形成所述複數個氣孔（331a），通過利用上部一定區域沒有形成所述氣孔（331a）的阻擋部（331b）構成各個側面捕獲板而對氣流進行阻隔，從而防止從中段捕獲部通過上側面捕獲板跌落的反應副產物向側面方向流出。
- 根據請求項8所述之具有擴展的可用收集區域的反應副產物捕獲裝置，其中，所述內側捕獲板部（332）以下部開放的結構構成，而上側面捕獲板以封閉結構構成並通過間隔材料（332a)與所述外圍捕獲板部（331）的上側面捕獲板相距一定間隔地安裝，在各個側面捕獲板形成有複數個氣孔（332b）。
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