TW202317454A - 無塵室間的搬送物捆包用的捆包材料、捆包方法及搬送方法 - Google Patents

Abstract

本發明是一種無塵室間的搬送物捆包用的捆包材料，在半導體工廠的作成潔淨氣氛的無塵室間，當搬送FOUP或FOSB也就是搬送物的時候，用於捆包前述搬送物，該捆包材料的特徵在於：包含具有防塵性和防濕性的無塵布。藉此，能夠在保持FOUP或FOSB也就是搬送物的高潔淨度的狀態下，以低成本的方式在無塵室間將搬送物搬送。

Description

無塵室間的搬送物捆包用的捆包材料、捆包方法及搬送方法

本發明有關一種捆包材料(外罩)、捆包方法及搬送方法，該捆包材料將在無塵室間進行搬送的FOUP(晶圓傳送盒)或FOSB(晶圓運輸盒)加以捆包。

在半導體的製造工廠內，例如在製造半導體晶圓的步驟中，對於微粒等的塵埃對策、還有金屬不純物的污染，嚴格地進行管控。因此，在最終的檢查和即將出貨之前的包裝、捆包步驟，必須在受到嚴格地管控微粒和金屬污染等的無塵室內實行。

這些無塵室，微粒和金屬污染等受到嚴格地管控，在無塵室內進行作業的作業員，穿著由特別的無塵布製作而成之無塵衣(清潔服)，以口罩覆蓋口、鼻且手戴上樹脂製的手套，實行將來自人體的發塵抑制在最小限度內的對策，而在最嚴格的作業區域中，限制、管控進入無塵室內的人數，對於作業區域，限制進入人數，藉此來實行微粒、金屬污染的管控。又，帶進無塵室內的物品(筆和紙等)也使用專用品，關於電腦和列印機等也實行管控發塵的對策。

在半導體工廠內，步驟與步驟之間未必是以無塵室來連結，由於區域不同而跨越房間(無塵室)之間、由於樓層不同而跨越各樓層(無塵室)之間、或是跨越建築物(無塵室)之間來實行各種物品的搬送。例如，在半導體晶圓的情況，是將半導體晶圓收納在FOUP(晶圓傳送盒，Front Opening Unified Pod)內，在步驟之間實行搬送，FOUP的尺寸和材質等是根據SEMI(國際半導體設備與材料產業協會，Semiconductor Equipment and Materials International)規格來詳細地規定。又，在從半導體材料製造廠將作為材料的半導體晶圓出貨、輸送至半導體元件製造廠的情況，是將半導體晶圓收納在FOSB(晶圓運輸盒，Front Shipping Box)內來實行搬送、輸送。FOSB的詳細內容也是根據SEMI(國際半導體設備與材料產業協會，Semiconductor Equipment and Materials International)規格來詳細地規定。

在半導體工廠內的無塵室間搬送FOUP和FOSB等的情況，雖然在有潔淨隧道和潔淨電梯等的情況下沒有特別的問題，但是在沒有潔淨隧道和潔淨電梯等的情況下、和在建築物(無塵室)之間移動的情況，需要將FOUP和FOSB等包裝在樹脂製的袋子內。

專利文獻1中，記載一種要搬入無塵室內之搬入物，具體而言，記載有關一種半導體元件的製造裝置的捆包方法及捆包材料。

專利文獻2中，記載一種無塵衣，其在無塵室內進行作業時穿著。

專利文獻3中，記載一種當在無塵室內實行配管、配線工程時所使用的臨時防塵帳篷和工程方法。

專利文獻4中，記載一種在無塵室內將搬送物進行搬送時的雙重清潔搬送載具。

專利文獻5中，記載一種纖維及無塵衣的製造方法，該纖維用於在無塵室內穿著的無塵衣。 [先前技術文獻] (專利文獻)

專利文獻1：日本特開平11-208708號公報 專利文獻2：日本特開2001-303314號公報 專利文獻3：日本特開2003-004274號公報 專利文獻4：日本特開2004-150674號公報 專利文獻5：日本特開2014-070305號公報

[發明所欲解決之問題]

在半導體工廠中的無塵室間的FOUP或FOSB也就是搬送物的搬送，直到目前為止，是以樹脂製的袋子等加以包裝，然後從無塵室經由一般外氣的環境而實行搬送、輸送至無塵室內。這些樹脂製的袋子，是在無塵室內將不會發塵的樹脂材料加工成片狀，然後成形為袋型而成，並藉由熱封機將袋子的開口部密封而將搬送物密閉，來作成包裝用的袋子。即便是在無塵室外的一般的外氣的環境中，FOUP或FOSB也就是搬送物被密閉包裝在樹脂製的袋子中，藉此可在隔絕外氣所包含的微粒(粉塵)和金屬不純物等的塵埃的狀態下進行搬送。又，在進一步地實行嚴格地管控的情況，實行下述方法：以這些樹脂製的袋子進行雙重包裝，在與無塵室鄰接的無塵(潔淨)度比無塵室低的房間(緩衝室)內，破開雙重包裝的第一重(外側的包裝)，然後將被內側的一重包裝的搬送物，攜入無塵室，在此無塵室內將搬送物從樹脂製的袋子取出。此情況，需要下述作業：在搬送前的無塵室內，實行一重以上的包裝，然後在搬送後的無塵室內破開這些包裝將搬送物取出。又，作為包裝材料，需要一重以上的樹脂製的袋子，由於要攜入無塵室內，必須設為發塵量低的材料和不會受到外氣的溼度的影響之防止透濕和吸濕雙方的防濕性材料、或者使用一種以可發揮低發塵性和防濕性的方式而經實行塗佈和積層等的特殊加工的材料，但是這些材料是非常高價的材料。此處所使用的材料，不僅價格非常高昂而且由於當如上述般地取出搬送物的時候要破開，所以在使用後要加以廢棄。又，在將搬送物放入這些樹脂製的袋子內之後，將袋子的開口部加熱密封之裝置和確保將這些進行密封的作業區域等，會成為高費用化的問題。進一步，為了連繫無塵室間，也能夠設置潔淨隧道和潔淨電梯等，但是會有進一步花費高昂的設備投資的問題。

本發明是為了解決上述問題而開發出來，其目的在於提供一種捆包材料、捆包方法及搬送方法，可在將FOUP或FOSB也就是搬送物保持於高潔淨度的狀態下，在無塵室間將搬送物進行搬送。 [用以解決問題之手段]

為了解決上述問題，本發明提供一種無塵室間的搬送物捆包用的捆包材料，在半導體工廠的作成潔淨氣氛的無塵室間，當搬送FOUP或FOSB也就是搬送物的時候，用於捆包前述搬送物，該捆包材料的特徵在於：包含具有防塵性和防濕性的無塵布。

以具有防塵性和防濕性的無塵布所製作出來的本發明的捆包材料，成為一種捆包材料(外罩)，能夠使FOUP或FOSB也就是搬送物隔絕發塵和在外氣中所包含的微粒(粉塵)和金屬污染物等的塵埃和水分等。藉此，藉由將本發明的捆包材料作為在無塵室間的搬送物捆包用的捆包材料來使用，可在將FOUP或FOSB也就是搬送物保持在高潔淨度的狀態下，在無塵室間搬送FOUP或FOSB。

又，以無塵布所製作出來的本發明的捆包材料可以洗淨，在被塵埃污染的情況下加以洗淨，可以反覆使用。藉此，目前為止要以在使用後加以廢棄的樹脂製的包裝用的袋子進行包裝之資材和作業等的成本，變成可以削減，根據情況，有關無塵室和空氣淋浴等的設備也變成可以削減。

也就是說，若是本發明的捆包材料，能夠作成在保持FOUP或FOSB也就是搬送物的高潔淨度的狀態下，以低成本的方式在無塵室間將搬送物搬送。

又，本發明提供一種無塵室間的搬送物的捆包方法，其特徵在於：在半導體工廠的作成潔淨氣氛的無塵室間，當搬送FOUP或FOSB也就是搬送物的時候，使用一種包含具有防塵性和防濕性的無塵布之捆包材料來捆包前述搬送物。

本發明的捆包方法，使用一種由具有防塵性和防濕性的無塵布製作出來之捆包材料來捆包FOUP或FOSB也就是搬送物，藉此，能夠使FOUP或FOSB也就是搬送物隔絕發塵和金屬污染物等的塵埃和水分等。藉由如此地搬送捆包後的搬送物，可在將FOUP或FOSB也就是搬送物保持在高潔淨度的狀態下，在無塵室間搬送FOUP或FOSB。進一步，以無塵布所製作出來的本發明的捆包材料可以洗淨，在被塵埃污染的情況下加以洗淨，可以反覆使用。

也就是說，若藉由本發明的捆包方法將搬送物加以捆包來進行搬送，能夠作成在保持FOUP或FOSB也就是搬送物的高潔淨度的狀態下，以低成本的方式在無塵室間將搬送物搬送。

又，本發明提供一種無塵室間的搬送物的搬送方法，在半導體工廠的作成潔淨氣氛的無塵室間，將搬送物搬送，該搬送方法的特徵在於：藉由本發明的捆包方法將前述搬送物捆包，並將該捆包後的搬送物在無塵室間進行搬送。

本發明的搬送方法，藉由本發明的捆包方法將FOUP或FOSB也就是搬送物捆包，並將該捆包後的搬送物在無塵室間進行搬送，因此能夠在保持FOUP或FOSB也就是搬送物的高潔淨度的狀態下，以低成本的方式在無塵室間將FOUP或FOSB搬送。 [功效]

如以上所述，根據本發明，可以提供一種捆包材料(外罩)、使用此種捆包材料之捆包方法以及搬送方法，即便沒有使用目前為止所使用的拋棄式的高價的樹脂製的包裝材料和包裝裝置、將包裝和包裝袋破開之作業者、作業區域或高價的潔淨隧道和潔淨電梯等的設備，也能夠在無塵室間，將FOUP或FOSB也就是搬送物捆包，隔絕外氣中所包含的微粒和包含金屬不純物之塵埃、水分等，在將搬送物保持在高潔淨度的狀態下，以低成本的方式進行搬送。

如以上所述，關於FOUP或FOSB也就是搬送物，當在無塵室間搬送的情況，需要將搬送物個別地包裝、或是設置潔淨隧道和潔淨電梯等的潔淨的空間，但是成本高昂且費工，因而期望能夠在保持搬送物的高潔淨度的狀態下，以簡易且低成本的方式將搬送物搬送。

於是，本發明人關於上述所欲解決的問題反覆深入檢討的結果，發現下述事實而完成本發明：作為用於將FOUP或FOSB也就是搬送物加以捆包之捆包材料，使用一種包含具有防塵性和防濕性的無塵布之捆包材料，藉此能夠在保持搬送物的高潔淨度的狀態下，以簡易且低成本的方式在無塵室間將搬送物搬送。

亦即，本發明是一種無塵室間的搬送物捆包用的捆包材料，在半導體工廠的作成潔淨氣氛的無塵室間，當搬送FOUP或FOSB也就是搬送物的時候，用於捆包前述搬送物，該捆包材料的特徵在於：包含具有防塵性和防濕性的無塵布。

又，本發明是一種無塵室間的搬送物的捆包方法，其特徵在於：在半導體工廠的作成潔淨氣氛的無塵室間，當搬送FOUP或FOSB也就是搬送物的時候，使用一種包含具有防塵性和防濕性的無塵布之捆包材料來捆包前述搬送物。

又，本發明是一種無塵室間的搬送物的搬送方法，在半導體工廠的作成潔淨氣氛的無塵室間，將搬送物搬送，該搬送方法的特徵在於：藉由本發明的捆包方法將前述搬送物捆包，並將該捆包後的搬送物在前述無塵室間進行搬送。

以下，一邊參照圖式一邊詳細地說明有關本發明的實施，但是本發明並未被限定於這些。

[捆包材料] 首先，一邊參照圖1一邊說明本發明的捆包材料的一例。

圖1中，FOSB3是在以本發明的捆包材料1捆包後的狀態下，被裝載於附有捆包材料(外罩)之搬送台車4上。

本發明的捆包材料1是包含具有防塵性和防濕性的無塵布之捆包材料。圖1所示的捆包材料1是由主要部份的無塵布與卡止構件2構成。

當人員在無塵室內進行作業的情況，作業者穿著由無塵布製作而成的無塵作業衣來極力地降低發塵。又，在作業者流出的汗中含有氯化鈉和氯化鎂等，這些汗水會成為水蒸氣，而為了使水蒸氣不會放出至無塵作業衣的外側，用於無塵作業衣的無塵布是為了防止透濕和吸濕雙方而經防濕加工的防塵布。例如，無塵作業衣是在防塵作業衣的內側塗覆或積層加工有用於防止吸濕和透濕的防濕材料。藉由這些的作用，即便人員在無塵室內進行作業，也能夠將微粒和金屬不純物的發塵抑制在最低程度。

當將FOUP或FOSB也就是搬送物3在半導體工廠的作成潔淨氣氛的無塵室間搬送的時候，將由在無塵作業衣中所使用的無塵布所製作出來的本發明的捆包材料(外罩)1，作為使搬送物3隔絕發塵和金屬不純物等的塵埃和水分等之捆包材料(外罩)，藉此可在將FOUP或FOSB也就是搬送物3保持在高潔淨度的狀態下，在無塵室間搬送。

作為無塵布，例如能夠設為由聚酯系纖維、聚醯胺系纖維、聚烯烴系纖維、聚丙烯腈系纖維加工成布而成者。進一步，藉由將包含具有抗靜電效果的物質之纖維混入這些纖維中，能夠防止捆包材料(外罩)1整體帶靜電，並能夠防止由於靜電而導致的塵埃的附著。

將捆包材料(外罩)1開閉之卡止構件2沒有特別限定，若是緊固件(Fastener)，則能夠防止黏著力降低且密閉性和防塵性等優異，所以相較於黏著帶和隱形膠帶(登錄商標)能夠更適合地使用。從半導體製造步驟的金屬汙染的觀點來看，樹脂製的緊固件是最適合的。

[捆包方法和搬送方法] 接著，一邊參照圖2一邊分別說明本發明的捆包方法和搬送方法的例子。

如圖2所示，出貨容器FOSB，以FOSB接納步驟、FOSB洗淨步驟、FOSB組裝步驟、FOSB檢查步驟及FOSB出貨步驟的順序進行處理。這些的從FOSB的接納到出貨為止的步驟是在無塵室A內實行，然後將在晶圓檢查步驟中判定為合格的晶圓往要收納於FOSB中的出貨編組步驟搬送。當出貨編組步驟位於無塵室A的情況，由於是在無塵室A內將FOSB從FOSB出貨步驟搬送至出貨編組步驟為止，所以沒有問題。但是，當出貨編組步驟位於與無塵室A相異之無塵室B的情況，必須將FOSB暫時在不是無塵室之外氣環境中搬送。

以往，在從無塵室A出貨之前，將每個FOSB包裝在每個樹脂製的袋子內(FOSB包裝步驟)，裝載於搬送用台車上而搬送至無塵室B之後，當要放入無塵室B的時候，破開樹脂製的袋子將FOSB取出而放入無塵室B(FOSB包裝去除步驟)。將此流程示於圖6。在圖6的流程中，與運送距離無關，對於一個FOSB需要一個樹脂製的袋子，在無塵室B內使用後會加以廢棄處理。因此，必須花費高昂的成本且費工。又，當無塵室A與無塵室B靠近的情況、或是上下樓等的情況，能以潔淨隧道和潔淨電梯等來連繫，但是潔淨度高的無塵空間與不會發塵的FOSB自動搬送設備等是必要的，而需要花費龐大的費用。

另一方面，在圖2所示的本發明的捆包方法的例子中，在FOSB出貨步驟中，將在FOSB檢查步驟中判定為合格的FOSB，使用一種包含具有防塵性和防濕性的無塵布之捆包材料來進行捆包。然後，在圖2所示的本發明的搬送方法的例子中，將以如此地捆包後的FOSB在無塵室A和無塵室B間進行搬送。

藉由捆包材料(外罩)來實行的搬送方法沒有特別限定，例如能夠使用圖1所示的附有捆包材料(外罩)之搬送台車4，在無塵室間搬送FOSB3。附有捆包材料(外罩)之搬送台車4，例如是在4根支柱上配置頂板、底板及位於之間的1片以上的板而成之棚狀的台上，架設有腳輪等移動手段之搬送台車。在圖1的例子中，搬送台車4的頂面和底面與四個側面，在以捆包材料(外罩)1包覆的狀態下被捆包。捆包材料1，具備可卡止在長邊方向的側面的周邊上之緊固件2。解開此緊固件2，將FOSB3載置在搬送台車4的棚內，並在將緊固件2閉合的狀態下在無塵室A和無塵室B間進行搬送。

此種本發明的捆包方法和搬送方法，以包含具有防塵性和防濕性的無塵布之捆包材料1將FOSB3加以捆包，並將如此地捆包後的FOSB3在無塵室間進行搬送，不需要使用作業區域或是高價的潔淨隧道和潔淨電梯等的高價的設備，便可在保持高潔淨度的狀態下，將FOSB3在無塵室A和無塵室B間進行搬送。

又，以無塵布製作而成之本發明的捆包材料1是可以洗淨的，當被塵埃污染的情況，加以洗淨便可反覆使用。也就是說，不需要在使用捆包材料1後加以拋棄，節省以往為了廢棄而花費的成本和作業員的人工，能以低成本來搬送FOSB3。

又，圖1中，將一個FOSB3載置在搬送台車4上，也能夠載置複數個FOSB3。本發明中，即便沒有將FOSB3個別地包裝，也能夠在將各FOSB3保持高潔淨度的狀態下進行搬送，所以可進一步低成本化。

被搬送至無塵室B內的FOSB3，在此無塵室內，被搬送至先前說明的出貨編組步驟，然後依序往出貨包裝步驟和出貨步驟搬送。

出貨包裝步驟是下述步驟：對於在前段的出貨編組步驟中被編組的FOSB3，基於顧客包裝規格，實行FOSB附屬零件的貼附、標籤貼附、包裝，最終實行標籤的張數和位置等以及包裝的狀態例如一重、雙重、材質等地確認檢查。

出貨步驟是下述步驟：將在出貨包裝步驟中經包裝、檢查後的FOSB3，基於顧客出貨規格，以捆包型態(瓦楞紙、容器、捆包FOSB個數等)為依據進行捆包，並將捆包後的FOSB3移載至卡車，將收容有晶圓之FOSB3加以出貨。 [實施例]

以下，使用實施例和比較例來具體地說明本發明，但是本發明並未被限定於這些例子。

(實施例) 基於圖2的流程推進步驟。圖3中表示使用了本發明的捆包材料(外罩)之搬送方法的一例的一部分。

圖3中表示無塵室A10、緩衝室20及一般作業室30。無塵室A10與緩衝室20是將第1空氣淋浴室40夾在中間來連繫。又，緩衝室20與一般作業室30是將第2空氣淋浴室50夾在中間來連繫。

依照圖2的流程，在FOSB洗淨步驟中實行洗淨，在FOSB組裝步驟中實行組裝，在FOSB檢查步驟中檢查完成的FOSB，被準備於無塵室A10內。

將這些FOSB載置於無塵室A10內搬送台車(與圖4所示的無捆包材料之搬送台車5同樣)上。打開第1空氣淋浴室40的無塵室側的門11和門12，無塵室內搬送台車5從無塵室A10往第1空氣淋浴室40移動。第1空氣淋浴室40的門，有無塵室A10側的門11和門12與緩衝室20側的門21和門22，但是這些門設定為不會同時打開。又，當無塵室A10側的門11和門12打開的情況，第1空氣淋浴室40的空氣淋浴設為不作動作，而當緩衝室20側的門21和門22打開的情況，空氣淋浴設為作動。

然後，在與無塵室A10連繫之一般作業室30內，準備附有捆包材料(外罩)之搬送台車4，該搬送台車4安裝有圖1所示的由聚酯製的無塵布所製作成的捆包材料1。捆包材料1具備可卡止在長邊方向的側面的周邊上之緊固件2。準備好的附有捆包材料(外罩)之搬送台車4，其中沒有載置任何東西。當第2空氣淋浴室50的一般作業室30側的門31和門32打開的狀態下，使附有捆包材料(外罩)之搬送台車4，從第2空氣淋浴室50的一般作業室30側的門31和門32移動至第2空氣淋浴室50。一旦一般作業室30側的門31和門32關閉，則第2空氣淋浴室50的空氣淋浴作動。一旦空氣淋浴的作動結束，則第2空氣淋浴室50的緩衝室側的門23和門24打開。然後，使附有捆包材料(外罩)之搬送台車4，從第2空氣淋浴室50往緩衝室20移動。然後，一旦移動結束，則第2空氣淋浴室50的緩衝室側的門23和門24關閉。然後，從緩衝室20側，打開第1空氣淋浴室40的緩衝室20側的門11和門12。如圖3所示，使移動至緩衝室20內之附有捆包材料(外罩)之搬送台車4，橫靠並密接在第1空氣淋浴室40的緩衝室側的門21和門22的開放部上。在此狀態下，第1空氣淋浴室40的緩衝室20側的門21和門22的開放的面，成為與附有捆包材料(外罩)之搬送台車4的捆包材料1的具有緊固件2之面密接的狀態。在此狀態下，解開附有捆包材料(外罩)之搬送台車4的緊固件2，將已準備好的FOSB出貨步驟的已被載置於無塵室內搬送台車5上的FOSB，移載至附有捆包材料(外罩)之搬送台車4上。

移載結束之後，將附有捆包材料(外罩)之搬送台車4的緊固件2閉合，並使附有捆包材料(外罩)之搬送台車4，從第1空氣淋浴室40的緩衝室側的門21和門22附近退避至緩衝室20的中央附近。

然後，將第1空氣淋浴室40的緩衝室20側的已開放的門21和門22關閉。在第1空氣淋浴室40內，僅存在移載後的無塵室內搬送台車5，門21和門22關閉的同時，空氣淋浴作動，第1空氣淋浴室40內被置換成與無塵室A10同等的潔淨度的空氣。

空氣淋浴的作動結束後，由於第1空氣淋浴室40的無塵室側的門11和門12打開，使無塵室內搬送台車5從第1空氣淋浴室40往無塵室A10內移動，然後第1空氣淋浴室40的無塵室側的門11和門12關閉。

藉此，FOSB的往附有捆包材料(外罩)之搬送台車4的移載作業結束。在緩衝室20內具有如圖1所示的附有捆包材料(外罩)之搬送台車4，該搬送台車4載置並收納有FOSB3。

然後，以與目前為止相反的順序，將載置並收納有FOSB3之附有捆包材料(外罩)之搬送台車4，往第2空氣淋浴室50和一般作業室30移動。

從一般作業室30經過走廊，往與具有出貨編組步驟之無塵室B連繫之一般作業室和緩衝室搬送。在實施例中，無塵室B以及與其連繫之一般作業室和緩衝室，設為與圖3所示的配置相同。以下，一邊再度參照圖3一邊說明。

在無塵室B10中，準備空的無塵室內搬送台車(與圖4所示的無捆包材料之搬送台車5同樣)，打開第1空氣淋浴室40的無塵室側的門11和門12，並使無塵室內搬送台車5從無塵室B10往第1空氣淋浴室40移動，空的無塵室內搬送台車5在第1空氣淋浴室40內待機，並將第1空氣淋浴室40的無塵室側的門11和門12關閉。

然後，為了搬送來自無塵室A的FOSB，在無塵室B側的第2空氣淋浴室50的一般作業室30側的門31和門32打開的狀態下，將來自無塵室A的載置並收納有FOSB3之附有捆包材料(外罩)之搬送台車4，從一般作業室側的門31和門32移動至第2空氣淋浴室50。一旦一般作業室側的門31和門32關閉，則第2空氣淋浴室50的空氣淋浴作動。一旦空氣淋浴的作動結束，則第2空氣淋浴室50的緩衝室側的門23和門24打開。然後，使附有捆包材料(外罩)之搬送台車4，從第2空氣淋浴室50往緩衝室20移動。然後，一旦移動結束，則第2空氣淋浴室50的緩衝室側的門23和門24關閉。

然後，從緩衝室20側，打開第1空氣淋浴室40的緩衝室20側的門11和門12。如圖3所示，使移動至緩衝室20內之附有捆包材料(外罩)之搬送台車4，橫靠並密接在第1空氣淋浴室40的緩衝室側的門21和門22的開放部上。在此狀態下，第1空氣淋浴室40的緩衝室20側的門21和門22的開放的面，成為與附有捆包材料(外罩)之搬送台車4的捆包材料1的具有緊固件2之面密接的狀態。在此狀態下，解開附有捆包材料(外罩)之搬送台車4的緊固件2，將FOSB3移載至在無塵室B10內已準備好的無塵室內搬送台車5上。若這些FOSB3的移載結束，則將附有捆包材料(外罩)之搬送台車4的緊固件2閉合，並使附有捆包材料(外罩)之搬送台車4，從第1空氣淋浴室40的緩衝室側的門21和門22附近退避至緩衝室20的中央附近。

然後，將第1空氣淋浴室40的緩衝室20側的已開放的門21和門22關閉。在第1空氣淋浴室40內，僅存在移載後的無塵室內搬送台車5，門21和門22關閉的同時，空氣淋浴作動，第1空氣淋浴室40內被置換成與無塵室B10同等的潔淨度的空氣。

空氣淋浴的作動結束後，由於第1空氣淋浴室40的無塵室側的門11和門12打開，使無塵室內搬送台車5從第1空氣淋浴室40往無塵室A10內移動，然後第1空氣淋浴室40的無塵室側的門11和門12關閉。

藉此，FOSB的往無塵室內搬送台車5的移載作業結束。在緩衝室20內具有已移送FOSB而變空的附有捆包材料(外罩)之搬送台車4，由於要再度搬送FOSB，將該附有捆包材料(外罩)之搬送台車4往無塵室A移動。

(比較例) 基於圖6的流程推進步驟。在圖6的FOSB包裝步驟中，如圖4所示，以聚乙烯製的袋子6將FOSB雙重包裝，作為FOSB包裝去除步驟，在圖3的緩衝室20內將外側的包裝破開並去除，然後在無塵室B10內將內側的包裝破開並去除，而在無塵室A和B間的搬送是使用圖4的無捆包材料(外罩)之搬送台車5，除此以外，以與實施例相同的流程來實行搬送。

(結果) 基於以上所說明的實施例與比較例的搬送方法，分別準備25片300mmφ的拋光晶圓，用於搬送評價，並將搬送前後的微粒等級，使用科磊(KLA)公司製的微粒計數器S2，算出每一片晶圓的46nm尺寸以上個數的平均值後，將搬送前後的微粒個數的差異標準化，來比較實施例與比較例。圖5表示在將比較例中的微粒增加個數設為1的情況下，實施例和比較例中微粒增加個數。如圖5所示，實施例，與比較例作比較，是同等的結果且為無問題的等級。又，如以下的表1，對於晶圓表面，實行有關污垢、霧斑、霞靄的面檢查，確認了實施例與比較例都沒有伴隨外氣環境的溫度、濕度的變化而導致的晶圓表面的污垢、霧斑和霞靄等的異常。

[表1]

	實施例	比較例
污垢	無	無
霧斑	無	無
霞靄	無	無

根據以上的結果，可知在使用了本發明的捆包材料來實行捆包和搬送的實施例中，即便沒有進一步設置用於連繫無塵室A和無塵室B之間的高潔淨空間，也能夠在保持與先前的捆包和搬送方法也就是比較例同樣高潔淨度的狀態下搬送FOSB。又，在比較例中，由於使用雙重的聚乙烯製的袋子來搬送FOSB，且在搬送後必須將袋子破開並加以廢棄，所以花費的成本比實施例高。

又， 除了取代FOSB而將搬送物替換成FOUP以外，與上述實施例同樣地實行捆包和搬送。其結果，即便搬送物為FOUP，藉由使用本發明的捆包材料來實行捆包和搬送，也能夠在保持高潔淨度的狀態下搬送FOUP。

根據這些事實可知，藉由使用本發明的捆包材料來實行捆包和搬送FOUP或FOSB，能夠在保持FOUP或FOSB的高潔淨度的狀態下，以簡單且低成本的方式在無塵室間搬送FOUP或FOSB。

再者，本發明並未被限定於上述實施形態。上述實施形態為例示，具有與本發明的申請專利範圍所記載的技術思想實質上相同的構成並發揮同樣的作用效果者，不論為何種形態，皆包含在本發明的範圍內。

1:捆包材料(外罩) 2:卡止構件(緊固件) 3:搬送物(FOUP、FOSB) 4,5:搬送台車 6:袋子 11,12,21,22,23,24,31,32:門 A,B,10(A10,B10):無塵室 20:緩衝室 30:一般作業室 40:第1空氣淋浴室 50:第2空氣淋浴室

圖1表示本發明的捆包材料的一例及其使用例的概略圖。 圖2表示晶圓的出貨準備的流程圖，該流程圖包含本發明的搬送方法的一例。 圖3是說明本發明的搬送方法的一例的一部分的概略圖。 圖4是表示無捆包材料之搬送台車的一例的概略圖。 圖5是表示實施例和比較例中的搬送前後的微粒個數的差異的圖表。 圖6是以往的晶圓的出貨準備的流程圖

國內寄存資訊(請依寄存機構、日期、號碼順序註記) 無 國外寄存資訊(請依寄存國家、機構、日期、號碼順序註記) 無

1:捆包材料(外罩)

2:卡止構件(緊固件)

3:搬送物(FOUP、FOSB)

4:搬送台車

Claims (3)

1. 一種無塵室間的搬送物捆包用的捆包材料，在半導體工廠的作成潔淨氣氛的無塵室間，當搬送FOUP或FOSB也就是搬送物的時候，用於捆包前述搬送物，該捆包材料的特徵在於：包含具有防塵性和防濕性的無塵布。
2. 一種無塵室間的搬送物的捆包方法，其特徵在於：在半導體工廠的作成潔淨氣氛的無塵室間，當搬送FOUP或FOSB也就是搬送物的時候，使用一種包含具有防塵性和防濕性的無塵布之捆包材料來捆包前述搬送物。
3. 一種無塵室間的搬送物的搬送方法，在半導體工廠的作成潔淨氣氛的無塵室間，將搬送物搬送，該搬送方法的特徵在於：藉由請求項2所述的捆包方法將前述搬送物捆包，並將該捆包後的搬送物在前述無塵室間進行搬送。

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