JPH11208708A - クリーンルーム内への搬入物の梱包方法および梱包材 - Google Patents
クリーンルーム内への搬入物の梱包方法および梱包材Info
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- JPH11208708A JPH11208708A JP10019317A JP1931798A JPH11208708A JP H11208708 A JPH11208708 A JP H11208708A JP 10019317 A JP10019317 A JP 10019317A JP 1931798 A JP1931798 A JP 1931798A JP H11208708 A JPH11208708 A JP H11208708A
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65D—CONTAINERS FOR STORAGE OR TRANSPORT OF ARTICLES OR MATERIALS, e.g. BAGS, BARRELS, BOTTLES, BOXES, CANS, CARTONS, CRATES, DRUMS, JARS, TANKS, HOPPERS, FORWARDING CONTAINERS; ACCESSORIES, CLOSURES, OR FITTINGS THEREFOR; PACKAGING ELEMENTS; PACKAGES
- B65D65/00—Wrappers or flexible covers; Packaging materials of special type or form
- B65D65/02—Wrappers or flexible covers
- B65D65/04—Wrappers or flexible covers non-rectangular
- B65D65/08—Wrappers or flexible covers non-rectangular with fastening elements, e.g. slide fasteners
Abstract
(57)【要約】
【課題】 ゴミの発生量を従来に比べて大幅に低減する
ことができ、省資源化を図ることのできるクリーンルー
ム内への搬入物の梱包方法および梱包材を提供する。 【解決手段】 搬入物１を包む梱包材２は、低発塵性で
かつクリーニング可能な材質物から構成されている。
ことができ、省資源化を図ることのできるクリーンルー
ム内への搬入物の梱包方法および梱包材を提供する。 【解決手段】 搬入物１を包む梱包材２は、低発塵性で
かつクリーニング可能な材質物から構成されている。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、クリーンルーム内
への搬入物の梱包方法および梱包材に関する。
への搬入物の梱包方法および梱包材に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来から、内部が清浄雰囲気とされたク
リーンルームは、半導体デバイス等の製造に用いられて
いる。
リーンルームは、半導体デバイス等の製造に用いられて
いる。
【０００３】このようなクリーンルーム内へ、搬入物、
例えば半導体デバイスの製造装置等を搬入する場合、搬
入するクリーンルーム内に外部からできるだけ塵埃が持
ち込まれないようにする必要がある。このため、従来
は、クリーンルーム内で製造されたクリーンな状態の半
導体デバイスの製造装置を、ポリエチレン、ポリプロピ
レン、ポリエチレンテレフタレート等のプラスチック類
からなるフィルム状（薄膜状）の梱包材で全体を包むよ
うに梱包し、この状態で、トラック等で輸送することに
より、外部環境中の塵埃が装置に付着することを防止す
るようにしている。 なお、上記フィルム状の梱包材と
しては、多数の気泡を内包することによって衝撃吸収性
を有する梱包材、所謂エアキャップ等も用いられてい
る。
例えば半導体デバイスの製造装置等を搬入する場合、搬
入するクリーンルーム内に外部からできるだけ塵埃が持
ち込まれないようにする必要がある。このため、従来
は、クリーンルーム内で製造されたクリーンな状態の半
導体デバイスの製造装置を、ポリエチレン、ポリプロピ
レン、ポリエチレンテレフタレート等のプラスチック類
からなるフィルム状（薄膜状）の梱包材で全体を包むよ
うに梱包し、この状態で、トラック等で輸送することに
より、外部環境中の塵埃が装置に付着することを防止す
るようにしている。 なお、上記フィルム状の梱包材と
しては、多数の気泡を内包することによって衝撃吸収性
を有する梱包材、所謂エアキャップ等も用いられてい
る。
【０００４】そして、この装置を搬入するクリーンルー
ムの前室等で、上記梱包材を取り除き、クリーンな状態
に保たれた装置をクリーンルーム内に搬入するという手
順で、クリーンルーム内への搬入が行われている。
ムの前室等で、上記梱包材を取り除き、クリーンな状態
に保たれた装置をクリーンルーム内に搬入するという手
順で、クリーンルーム内への搬入が行われている。
【０００５】すなわち、クリーンルーム内で製造された
クリーンな状態の装置を、上記梱包材で梱包し、外部の
塵埃が付着しないような状態としてトラック等による輸
送を行い、この梱包材を、装置を搬入するクリーンルー
ムの前室等で開梱することによって、搬入する装置およ
びこの装置が搬入されるクリーンルーム内がクリーンな
状態に保たれるようにしている。
クリーンな状態の装置を、上記梱包材で梱包し、外部の
塵埃が付着しないような状態としてトラック等による輸
送を行い、この梱包材を、装置を搬入するクリーンルー
ムの前室等で開梱することによって、搬入する装置およ
びこの装置が搬入されるクリーンルーム内がクリーンな
状態に保たれるようにしている。
【０００６】なお、より厳重にクリーンルーム内への塵
埃の持ち込みを防止するためには、上記したような梱包
を２重とすることも行われている。
埃の持ち込みを防止するためには、上記したような梱包
を２重とすることも行われている。
【０００７】すなわち、例えば、粘着性を有するプラス
チック類からなるフィルムによって、装置の周囲を覆っ
た後、上記したエアキャップ等でさらにその周囲を覆う
ようにして２重に梱包するとともに、この装置を搬入す
るクリーンルームの２段階に別けて設けられた前室にお
いて、まず、１段階めの前室に装置を搬入してここで外
側の梱包を開梱し、次に２段階めの前室に装置を搬入し
てここで内側の梱包を開梱し、しかる後、装置をクリー
ンルーム内に搬入することにより、装置の搬入に伴って
クリーンルーム内へ塵埃が持ち込まれることを防止して
いる。
チック類からなるフィルムによって、装置の周囲を覆っ
た後、上記したエアキャップ等でさらにその周囲を覆う
ようにして２重に梱包するとともに、この装置を搬入す
るクリーンルームの２段階に別けて設けられた前室にお
いて、まず、１段階めの前室に装置を搬入してここで外
側の梱包を開梱し、次に２段階めの前室に装置を搬入し
てここで内側の梱包を開梱し、しかる後、装置をクリー
ンルーム内に搬入することにより、装置の搬入に伴って
クリーンルーム内へ塵埃が持ち込まれることを防止して
いる。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
た従来の技術においては、上記フィルム状等の梱包材
は、一般的にロール状の状態で供給され、これを半導体
デバイスの製造装置等の回りに巻回するようにして梱包
し、梱包を取り除く場合は、カッター等で適宜切断しな
がら剥ぐようにしているため、梱包材の再使用（リユー
ス）が困難であり、また、取り除いた梱包材がゴミとし
て処分されることとなるため、発生するゴミの量の増加
を招き、省資源化という社会的な要請にも反することと
なるという問題があった。
た従来の技術においては、上記フィルム状等の梱包材
は、一般的にロール状の状態で供給され、これを半導体
デバイスの製造装置等の回りに巻回するようにして梱包
し、梱包を取り除く場合は、カッター等で適宜切断しな
がら剥ぐようにしているため、梱包材の再使用（リユー
ス）が困難であり、また、取り除いた梱包材がゴミとし
て処分されることとなるため、発生するゴミの量の増加
を招き、省資源化という社会的な要請にも反することと
なるという問題があった。
【０００９】本発明はかかる従来の事情に対処してなさ
れたもので、ゴミの発生量を従来に比べて大幅に低減す
ることができ、省資源化を図ることのできるクリーンル
ーム内への搬入物の梱包方法および梱包材を提供するこ
とを目的とする。
れたもので、ゴミの発生量を従来に比べて大幅に低減す
ることができ、省資源化を図ることのできるクリーンル
ーム内への搬入物の梱包方法および梱包材を提供するこ
とを目的とする。
【００１０】
【課題を解決するための手段】請求項１記載の発明は、
清浄雰囲気とされたクリーンルーム内へ搬入物を搬入す
るにあたり、前記搬入物を、低発塵性でかつクリーニン
グ可能な材質物からなる梱包材を用いて梱包することを
特徴とする。
清浄雰囲気とされたクリーンルーム内へ搬入物を搬入す
るにあたり、前記搬入物を、低発塵性でかつクリーニン
グ可能な材質物からなる梱包材を用いて梱包することを
特徴とする。
【００１１】請求項２の発明は、請求項１記載のクリー
ンルーム内への搬入物の梱包方法において、低発塵性で
かつクリーニング可能な材質物からなる梱包材を複数繋
げて前記搬入物の周囲を包むように梱包することを特徴
とする。
ンルーム内への搬入物の梱包方法において、低発塵性で
かつクリーニング可能な材質物からなる梱包材を複数繋
げて前記搬入物の周囲を包むように梱包することを特徴
とする。
【００１２】請求項３の発明は、請求項１又は２記載の
クリーンルーム内への搬入物の梱包方法において、前記
搬入物を、多重に梱包することを特徴とする。
クリーンルーム内への搬入物の梱包方法において、前記
搬入物を、多重に梱包することを特徴とする。
【００１３】請求項４の発明は、請求項１〜３いずれか
１項記載のクリーンルーム内への搬入物の梱包方法にお
いて、前記搬入物を、前記低発塵性でかつクリーニング
可能な材質物からなる梱包材と、プラスチック類からな
るフィルム状の梱包材とを用いて梱包することを特徴と
する。
１項記載のクリーンルーム内への搬入物の梱包方法にお
いて、前記搬入物を、前記低発塵性でかつクリーニング
可能な材質物からなる梱包材と、プラスチック類からな
るフィルム状の梱包材とを用いて梱包することを特徴と
する。
【００１４】請求項５の発明は、請求項１〜４いずれか
１項記載のクリーンルーム内への搬入物の梱包方法にお
いて、前記低発塵性でかつクリーニング可能な材質物
が、ポリエステル系繊維、ポリアミド系繊維、ポリオレ
フィン系繊維、ポリアクリル系繊維のうちの少なくとも
いずれか１種を含むことを特徴とする。
１項記載のクリーンルーム内への搬入物の梱包方法にお
いて、前記低発塵性でかつクリーニング可能な材質物
が、ポリエステル系繊維、ポリアミド系繊維、ポリオレ
フィン系繊維、ポリアクリル系繊維のうちの少なくとも
いずれか１種を含むことを特徴とする。
【００１５】請求項６の発明は、請求項１〜５いずれか
１項記載のクリーンルーム内への搬入物の梱包方法にお
いて、前記低発塵性でかつクリーニング可能な材質物
が、繊維の間に導電性の繊維を混在させたものであるこ
とを特徴とする。
１項記載のクリーンルーム内への搬入物の梱包方法にお
いて、前記低発塵性でかつクリーニング可能な材質物
が、繊維の間に導電性の繊維を混在させたものであるこ
とを特徴とする。
【００１６】請求項７の発明は、請求項１〜６いずれか
１項記載のクリーンルーム内への搬入物の梱包方法にお
いて、前記低発塵性でかつクリーニング可能な材質物か
らなる梱包材を、クリーニングして再使用することを特
徴とする。
１項記載のクリーンルーム内への搬入物の梱包方法にお
いて、前記低発塵性でかつクリーニング可能な材質物か
らなる梱包材を、クリーニングして再使用することを特
徴とする。
【００１７】請求項８の発明は、請求項１〜７いずれか
１項記載のクリーンルーム内への搬入物の梱包方法に使
用する梱包材であって、前記搬入物の周囲を包むように
配設される所定形状とされた低発塵性でかつクリーニン
グ可能な材質物と、この材質物の周縁部に沿って設けら
れ、互いに係止可能な係止部材とを具備したことを特徴
とする。
１項記載のクリーンルーム内への搬入物の梱包方法に使
用する梱包材であって、前記搬入物の周囲を包むように
配設される所定形状とされた低発塵性でかつクリーニン
グ可能な材質物と、この材質物の周縁部に沿って設けら
れ、互いに係止可能な係止部材とを具備したことを特徴
とする。
【００１８】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を、図
面を参照して、詳細に説明する。
面を参照して、詳細に説明する。
【００１９】図１は、本発明の一つの実施の形態を示す
もので、同図において１は、クリーンルーム１０から搬
出され、搬入先のクリーンルーム３０内へ搬入される搬
入物、例えば、クリーンルーム１０内で製造され、クリ
ーンルーム３０内へ搬入される半導体デバイスの製造装
置を示している。
もので、同図において１は、クリーンルーム１０から搬
出され、搬入先のクリーンルーム３０内へ搬入される搬
入物、例えば、クリーンルーム１０内で製造され、クリ
ーンルーム３０内へ搬入される半導体デバイスの製造装
置を示している。
【００２０】なお、上記半導体デバイスの製造装置と
は、例えば、ウエハ等の洗浄を行う洗浄装置、レジスト
の塗布及び現像等を行うレジスト処理装置、露光装置、
エッチング装置、アッシング装置、イオン注入装置、Ｃ
ＶＤ装置やスパッタ装置等の成膜装置、熱処理装置、ウ
エハプローバ等の検査装置、その他の半導体デバイスの
一連の製造工程に使用される各種の装置のことを示して
いる。
は、例えば、ウエハ等の洗浄を行う洗浄装置、レジスト
の塗布及び現像等を行うレジスト処理装置、露光装置、
エッチング装置、アッシング装置、イオン注入装置、Ｃ
ＶＤ装置やスパッタ装置等の成膜装置、熱処理装置、ウ
エハプローバ等の検査装置、その他の半導体デバイスの
一連の製造工程に使用される各種の装置のことを示して
いる。
【００２１】また、同図において、２はクリーンルーム
３０内への搬入物１を包む梱包材を示しており、この梱
包材２は、低発塵性でかつクリーニング可能な布状の材
質物から構成されている。このように低発塵性でかつク
リーニング可能な材質物としては、一般的なクリーンル
ーム内で作業を行う作業員が着用する所謂防塵服の材料
等として使用されている布が好適に使用できる。
３０内への搬入物１を包む梱包材を示しており、この梱
包材２は、低発塵性でかつクリーニング可能な布状の材
質物から構成されている。このように低発塵性でかつク
リーニング可能な材質物としては、一般的なクリーンル
ーム内で作業を行う作業員が着用する所謂防塵服の材料
等として使用されている布が好適に使用できる。
【００２２】このような布としては、例えば、ポリエチ
レンテレフタレート、ポリブチレンテレフタレート等の
ポリエステル系繊維、ナイロン−６、ナイロン−６６、
芳香族ポリアミド等のポリアミド系繊維、ポリエチレ
ン、ポリプロピレン等のポリオレフィン系繊維、ポリア
クリル系繊維等を主としたもの、およびこれら繊維の間
に導電性の物質（繊維）を混在させる等して帯電防止機
能を持たせることにより静電気による塵埃の付着を防止
したもの等があり、より具体的には、ベルトロン（商品
名、カネボウ社製）、アンゼルス（商品名、カネボウ社
製）、ウェルキィ（商品名、帝人社製）、テイジンレク
セ（商品名、帝人社製）、セルガードＴ７００（商品
名、帝人社製）等が挙げられる。また、フッ素樹脂ポリ
テトラフロロエテレン（ＰＴＦＥ）の多孔質膜からなる
ＧＯＲＥ−ＴＥＸ（商品名、日本ゴアテックス社製）等
用いることができる。
レンテレフタレート、ポリブチレンテレフタレート等の
ポリエステル系繊維、ナイロン−６、ナイロン−６６、
芳香族ポリアミド等のポリアミド系繊維、ポリエチレ
ン、ポリプロピレン等のポリオレフィン系繊維、ポリア
クリル系繊維等を主としたもの、およびこれら繊維の間
に導電性の物質（繊維）を混在させる等して帯電防止機
能を持たせることにより静電気による塵埃の付着を防止
したもの等があり、より具体的には、ベルトロン（商品
名、カネボウ社製）、アンゼルス（商品名、カネボウ社
製）、ウェルキィ（商品名、帝人社製）、テイジンレク
セ（商品名、帝人社製）、セルガードＴ７００（商品
名、帝人社製）等が挙げられる。また、フッ素樹脂ポリ
テトラフロロエテレン（ＰＴＦＥ）の多孔質膜からなる
ＧＯＲＥ−ＴＥＸ（商品名、日本ゴアテックス社製）等
用いることができる。
【００２３】ところで、上記した防塵服の材料等として
使用されている布においては、作業者の快適性等を確保
するため、一定の通気性を有するよう加工等が行われて
いるが、本発明においては、通気性については特に必要
とされないため、かかる加工等を省いた布を用いること
も可能である。
使用されている布においては、作業者の快適性等を確保
するため、一定の通気性を有するよう加工等が行われて
いるが、本発明においては、通気性については特に必要
とされないため、かかる加工等を省いた布を用いること
も可能である。
【００２４】上記梱包材２は、所定の形状及び寸法とさ
れており、その端部には、例えば、所謂マジックテープ
あるいはファスナ等から構成された係止部材２ａが設け
られている。そして、搬入物１の大きさに応じて、１ま
たは複数の梱包材２によって搬入物１の周囲を覆い、梱
包材２の端部を係止部材２ａによって係止して、搬入物
１を梱包するようになっている。
れており、その端部には、例えば、所謂マジックテープ
あるいはファスナ等から構成された係止部材２ａが設け
られている。そして、搬入物１の大きさに応じて、１ま
たは複数の梱包材２によって搬入物１の周囲を覆い、梱
包材２の端部を係止部材２ａによって係止して、搬入物
１を梱包するようになっている。
【００２５】なお、梱包材２の形状及び寸法は、搬入物
１の形状及び寸法に合わせた特定のもの、あるいは、各
種の搬入物１に対応可能な如く例えば、方形状、袋状等
としたもの等を適宜選択して使用する。
１の形状及び寸法に合わせた特定のもの、あるいは、各
種の搬入物１に対応可能な如く例えば、方形状、袋状等
としたもの等を適宜選択して使用する。
【００２６】また、図１に示す例においては、梱包材２
の周囲に、外側梱包材３が設けられている。この外側梱
包材３は、例えば、前述したプラスチック類からなるフ
ィルム状（薄膜状）の梱包材、例えばエアキャップ等か
らなる従来と同様な梱包材で構成されており、その端部
は、例えば梱包用の粘着性テープ３ａ等で封止されてい
る。
の周囲に、外側梱包材３が設けられている。この外側梱
包材３は、例えば、前述したプラスチック類からなるフ
ィルム状（薄膜状）の梱包材、例えばエアキャップ等か
らなる従来と同様な梱包材で構成されており、その端部
は、例えば梱包用の粘着性テープ３ａ等で封止されてい
る。
【００２７】そして、上記搬入物１は、クリーンルーム
１０内において、クリーンな状態で梱包材２及び外側梱
包材３により２重に梱包され、この後クリーンルーム１
０から搬出されて、トラック２０等により搬入先のクリ
ーンルーム３０の搬入口の近傍にまで搬送される。
１０内において、クリーンな状態で梱包材２及び外側梱
包材３により２重に梱包され、この後クリーンルーム１
０から搬出されて、トラック２０等により搬入先のクリ
ーンルーム３０の搬入口の近傍にまで搬送される。
【００２８】この後、梱包材２及び外側梱包材３により
２重に梱包された搬入物１は、この状態のまま、まず、
クリーンルーム３０の第１の前室３０ａ内に搬入され、
ここで外側梱包材３のみが取外され、この状態で次に第
２の前室３０ｂ内に搬入される。
２重に梱包された搬入物１は、この状態のまま、まず、
クリーンルーム３０の第１の前室３０ａ内に搬入され、
ここで外側梱包材３のみが取外され、この状態で次に第
２の前室３０ｂ内に搬入される。
【００２９】そして、第２の前室３０ｂ内において、梱
包材２が取外され、この状態で搬入物１はクリーンルー
ム３０内に搬入される。
包材２が取外され、この状態で搬入物１はクリーンルー
ム３０内に搬入される。
【００３０】なお、第１の前室３０ａ、第２の前室３０
ｂは、クリーンルーム３０内に搬入物１等を搬入する際
に、外部から塵埃等がクリーンルーム３０内に侵入する
ことを防止するために設けられているものであり、第１
の前室３０ａは比較的クリーン度の低い環境とされ、第
２の前室３０ｂはクリーンルーム３０に近い高いクリー
ン度の環境とされており、一般的に、塵埃を除去するた
めのエアシャワー等が設けられている。
ｂは、クリーンルーム３０内に搬入物１等を搬入する際
に、外部から塵埃等がクリーンルーム３０内に侵入する
ことを防止するために設けられているものであり、第１
の前室３０ａは比較的クリーン度の低い環境とされ、第
２の前室３０ｂはクリーンルーム３０に近い高いクリー
ン度の環境とされており、一般的に、塵埃を除去するた
めのエアシャワー等が設けられている。
【００３１】一方、第２の前室３０ｂ内において、搬入
物１から取外された梱包材２は、第１の前室３０ａを介
して外部に搬出され、トラック２０等によってクリーニ
ング工場に搬送され、通常の防塵服等と同様にしてクリ
ーニング（例えばドライクリーニング）され、クリーン
な状態とされて、梱包材として再使用される。
物１から取外された梱包材２は、第１の前室３０ａを介
して外部に搬出され、トラック２０等によってクリーニ
ング工場に搬送され、通常の防塵服等と同様にしてクリ
ーニング（例えばドライクリーニング）され、クリーン
な状態とされて、梱包材として再使用される。
【００３２】以上のように、この実施の形態において
は、梱包材２をクリーニングすることによって、梱包材
２を何回も繰り返して使用できるので、従来に比べてゴ
ミの発生量を大幅に低減することができ、省資源化を図
ることができる。
は、梱包材２をクリーニングすることによって、梱包材
２を何回も繰り返して使用できるので、従来に比べてゴ
ミの発生量を大幅に低減することができ、省資源化を図
ることができる。
【００３３】また、クリーニングによって、所望のクリ
ーン度とした梱包材２を用いて搬入物１を梱包できるの
で、梱包材２から搬入物１に塵埃が付着して、搬入物１
が汚染されることも容易に防止することができる。
ーン度とした梱包材２を用いて搬入物１を梱包できるの
で、梱包材２から搬入物１に塵埃が付着して、搬入物１
が汚染されることも容易に防止することができる。
【００３４】なお、上記説明では、低発塵性でかつクリ
ーニング可能な材質物からなる梱包材２と、プラスチッ
ク類からなるフィルム状の外側梱包材３とによって２重
に梱包した場合について説明したが、例えば、低発塵性
でかつクリーニング可能な材質物からなる梱包材２のみ
によって、１あるいは多重（例えば２〜３重）に梱包す
ることもできる。また、上述した説明とは逆に、内側を
プラスチック類からなるフィルム状の梱包材、外側を低
発塵性でかつクリーニング可能な材質物からなる梱包材
で梱包することもできる。
ーニング可能な材質物からなる梱包材２と、プラスチッ
ク類からなるフィルム状の外側梱包材３とによって２重
に梱包した場合について説明したが、例えば、低発塵性
でかつクリーニング可能な材質物からなる梱包材２のみ
によって、１あるいは多重（例えば２〜３重）に梱包す
ることもできる。また、上述した説明とは逆に、内側を
プラスチック類からなるフィルム状の梱包材、外側を低
発塵性でかつクリーニング可能な材質物からなる梱包材
で梱包することもできる。
【００３５】さらに、例えば、図２に示すように、低発
塵性でかつクリーニング可能な材質物からなる梱包材２
と、他の梱包材４（例えばプラスチック類からなるフィ
ルム状の梱包材等）とを混在させて梱包を行うこともで
きる。
塵性でかつクリーニング可能な材質物からなる梱包材２
と、他の梱包材４（例えばプラスチック類からなるフィ
ルム状の梱包材等）とを混在させて梱包を行うこともで
きる。
【００３６】さらにまた、上記例では、クリーンルーム
３０に、第１の前室３０ａ、第２の前室３０ｂが設けら
れている場合について説明したが、前室が１つだけの場
合や、実質的に前室が設けられていないような場合であ
っても、本願発明を同様にして適用できる。
３０に、第１の前室３０ａ、第２の前室３０ｂが設けら
れている場合について説明したが、前室が１つだけの場
合や、実質的に前室が設けられていないような場合であ
っても、本願発明を同様にして適用できる。
【００３７】
【発明の効果】以上説明したとおり、本発明によれば、
ゴミの発生量を従来に比べて大幅に低減することがで
き、且つ再利用を可能として省資源化を図ることのでき
るクリーンルーム内への搬入物の梱包方法および梱包材
を提供することができる。
ゴミの発生量を従来に比べて大幅に低減することがで
き、且つ再利用を可能として省資源化を図ることのでき
るクリーンルーム内への搬入物の梱包方法および梱包材
を提供することができる。
【図１】本発明の実施の形態を説明するための図。
【図２】本発明の他の実施の形態を説明するための図。
１……搬入物 ２……梱包材 ２ａ…係止部材 ３……外側梱包材 ３ａ……粘着性テープ １０……クリーンルーム（搬出側） ２０……トラック ３０……クリーンルーム（搬入側）
Claims (8)
- 【請求項１】 清浄雰囲気とされたクリーンルーム内へ
搬入物を搬入するにあたり、 前記搬入物を、低発塵性でかつクリーニング可能な材質
物からなる梱包材を用いて梱包することを特徴とするク
リーンルーム内への搬入物の梱包方法。 - 【請求項２】 請求項１記載のクリーンルーム内への搬
入物の梱包方法において、 低発塵性でかつクリーニング可能な材質物からなる梱包
材を複数繋げて前記搬入物の周囲を包むように梱包する
ことを特徴とするクリーンルーム内への搬入物の梱包方
法。 - 【請求項３】 請求項１又は２記載のクリーンルーム内
への搬入物の梱包方法において、 前記搬入物を、多重に梱包することを特徴とするクリー
ンルーム内への搬入物の梱包方法。 - 【請求項４】 請求項１〜３いずれか１項記載のクリー
ンルーム内への搬入物の梱包方法において、 前記搬入物を、前記低発塵性でかつクリーニング可能な
材質物からなる梱包材と、プラスチック類からなるフィ
ルム状の梱包材とを用いて梱包することを特徴とするク
リーンルーム内への搬入物の梱包方法。 - 【請求項５】 請求項１〜４いずれか１項記載のクリー
ンルーム内への搬入物の梱包方法において、 前記低発塵性でかつクリーニング可能な材質物が、ポリ
エステル系繊維、ポリアミド系繊維、ポリオレフィン系
繊維、ポリアクリル系繊維のうちの少なくともいずれか
１種を含むことを特徴とするクリーンルーム内への搬入
物の梱包方法。 - 【請求項６】請求項１〜５いずれか１項記載のクリーン
ルーム内への搬入物の梱包方法において、 前記低発塵性でかつクリーニング可能な材質物が、繊維
の間に導電性の繊維を混在させたものであることを特徴
とするクリーンルーム内への搬入物の梱包方法。 - 【請求項７】請求項１〜６いずれか１項記載のクリーン
ルーム内への搬入物の梱包方法において、 前記低発塵性でかつクリーニング可能な材質物からなる
梱包材を、クリーニングして再使用することを特徴とす
るクリーンルーム内への搬入物の梱包方法。 - 【請求項８】 請求項１〜７いずれか１項記載のクリー
ンルーム内への搬入物の梱包方法に使用する梱包材であ
って、 前記搬入物の周囲を包むように配設される所定形状とさ
れた低発塵性でかつクリーニング可能な材質物と、この
材質物の周縁部に沿って設けられ、互いに係止可能な係
止部材とを具備したことを特徴とする梱包材。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10019317A JPH11208708A (ja) | 1998-01-30 | 1998-01-30 | クリーンルーム内への搬入物の梱包方法および梱包材 |
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Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10019317A JPH11208708A (ja) | 1998-01-30 | 1998-01-30 | クリーンルーム内への搬入物の梱包方法および梱包材 |
Publications (1)
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|---|---|
| JPH11208708A true JPH11208708A (ja) | 1999-08-03 |
Family
ID=11996041
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10019317A Withdrawn JPH11208708A (ja) | 1998-01-30 | 1998-01-30 | クリーンルーム内への搬入物の梱包方法および梱包材 |
Country Status (2)
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| US (1) | US6351925B2 (ja) |
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1999
- 1999-01-29 US US09/239,790 patent/US6351925B2/en not_active Expired - Fee Related
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