TW202316850A - 固態攝像元件及電子機器 - Google Patents

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粕川周平
西田翔
坂本美智子
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日商索尼半導體解決方案公司
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Abstract

本發明係關於一種能獲得更均一之感度特性之固態攝像元件及電子機器。 本發明之固態攝像元件係於將接收同一顏色之光之像素以4×4排列配置而成之同色像素群中,針對每2×2排列之像素設置晶載透鏡而構成。而且,於同色像素群之特定像素的半導體基板之光入射面側設置有各種形狀之像素內槽,而構成感度調整構造,該像素內槽係較用以針對每個像素將光電轉換部分離之元件分離部淺性掘入而形成。本技術例如可應用於CMOS(Complementary Metal Oxide Semiconductor,互補金氧半導體)影像感測器。

Description

固態攝像元件及電子機器
本發明係關於一種固態攝像元件及電子機器,尤其係關於一種能獲得更均一之感度特性之固態攝像元件及電子機器。
先前,CMOS(Complementary Metal Oxide Semiconductor,互補金氧半導體)影像感測器等固態攝像元件例如拜耳排列有接收紅色光之像素、接收綠色光之像素及接收藍色光之像素,從而能拍攝出彩色圖像。又,近年來,開發出了拜耳排列有將接收同一顏色之光之像素以4×4方式排列而成之像素群之構造之固態攝像元件。
例如,專利文獻1中揭示有將接收同一顏色之光之像素以4×4方式排列,對於該等像素,針對每1個像素配置晶載透鏡之構成;針對每2×2排列之像素配置晶載透鏡之構成;及針對每4×4排列之像素配置晶載透鏡之構成。 先前技術文獻 專利文獻
專利文獻1:美國專利申請公開第2021/0144315號說明書
[發明所欲解決之問題]
但於拜耳排列有將接收同一顏色之光之像素以4×4方式排列而成之像素群之構造之固態攝像元件中,有各個像素群內每個像素之間產生感度差之虞。因此,希望開發出能抑制此種感度差,而具備更均一之感度特性之固態攝像元件。
本發明即係鑒於此種狀況而完成,其能獲得更均一之感度特性。 [解決問題之技術手段]
本發明之一態樣之固態攝像元件具備:同色像素群,其係將接收同一顏色之光之像素以n×n排列(n係2以上之整數)配置而成;晶載透鏡,其係於上述同色像素群中針對每m×m排列(m係n以下之整數)之上述像素而設置;及感度調整構造,其係於上述同色像素群之特定之上述像素的半導體基板之光入射面側設置有掘入部之構成,該掘入部較用以針對每個上述像素將光電轉換部分離之元件分離部淺。
本發明之一態樣之電子機器具備固態攝像元件,該固態攝像元件具有:同色像素群,其係將接收同一顏色之光之像素以n×n排列(n係2以上之整數)配置而成;晶載透鏡,其係於上述同色像素群中針對每m×m排列(m係n以下之整數)之上述像素而設置;及感度調整構造,其係於上述同色像素群之特定之上述像素的半導體基板之光入射面側設置有掘入部之構成,該掘入部較用以針對每個上述像素將光電轉換部分離之元件分離部淺。
本發明之一態樣中,於將接收同一顏色之光之像素以n×n排列(n係2以上之整數)配置而成之同色像素群中,針對每m×m排列(m係n以下之整數)之像素設置晶載透鏡。而且,於同色像素群之特定像素的半導體基板之光入射面側,設置有較用以針對每個像素將光電轉換部分離之元件分離部淺之掘入部,而構成感度調整構造。
以下,參照圖式,對應用了本技術之具體實施方式詳細地進行說明。
<攝像元件之基本構成> 參照圖1,對應用了本技術之攝像元件之基本構成進行說明。
攝像元件11係將複數個像素12呈矩陣狀配置而構成,於圖1中以8×8排列圖示之各個矩形形狀表示像素12。又,於本實施方式中,將接收同一顏色之光之像素12之群組稱為同色像素群13。而且,攝像元件11為拜耳排列有紅色之同色像素群13R、綠色之同色像素群13Gr、綠色之同色像素群13Gb、藍色之同色像素群13B之構成。
例如,於圖1所示之攝像元件11中,由4×4排列之像素12構成同色像素群13。而且,於如圖所示之像素12之8×8排列中,紅色之同色像素群13R配置於左上方,綠色之同色像素群13Gr配置於右上方,綠色之同色像素群13Gb配置於左下方,藍色之同色像素群13B配置於右下方。
紅色之同色像素群13R係將接收紅色光之16個像素12-R1至12-R16以4×4排列配置而構成。綠色之同色像素群13Gr係將接收綠色光之16個像素12-Gr1至12-Gr16以4×4排列配置而構成。綠色之同色像素群13Gb係將接收綠色光之16個像素12-Gb1至12-Gb16以4×4排列配置而構成。藍色之同色像素群13B係將接收藍色光之16個像素12-B1至12-B16以4×4排列配置而構成。
又,於攝像元件11之受光面,針對每2×2排列之像素12配置晶載透鏡14。因此,對如圖所示之像素12之8×8排列,以4×4排列配置有16個晶載透鏡14-1至14-16。
於如此構成之攝像元件11中,已知每個同色像素群13內均會產生如圖2所示之感度差。於圖2中,對有高感度傾向之像素12標記「Hi」,對有低感度傾向之像素12標記「Lo」,對感度處於上述兩者中間之像素12標記「Mid」。
如圖2之A所示,於紅色之同色像素群13R中,配置於4個角部之像素12-R1、像素12-R4、像素12-R13及像素12-R16有感度變高之傾向。又,配置於中央部之2×2排列之4處之像素12-R6、像素12-R7、像素12-R10及像素12-R11有感度變低之傾向。又,配置於上邊之中央2處之像素12-R2及像素12-R3、配置於左邊之中央2處之像素12-R5及像素12-R9、配置於右邊之中央2處之像素12-R8及像素12-R12、以及配置於下邊之中央2處之像素12-R14及像素12-R15呈中間感度。
如圖2之B所示,於綠色之同色像素群13Gr中,配置於上邊4處之像素12-Gr1、像素12-Gr2、像素12-Gr3及像素12-Gr4、以及配置於下邊4處之像素12-Gr13、像素12-Gr14、像素12-Gr15及像素12-Gr16有感度變低之傾向。又,配置於左邊之中央2處之像素12-Gr5及像素12-Gr9、以及配置於右邊之中央2處之像素12-Gr8及像素12-Gr12有感度變高之傾向。又,配置於中央部之2×2排列之4處之像素12-Gr6、像素12-Gr7、像素12-Gr10及像素12-Gr11呈中間感度。
如圖2之C所示,於綠色之同色像素群13Gb中,配置於左邊4處之像素12-Gb1、像素12-Gb5、像素12-Gb9及像素12-Gb13、以及配置於右邊4處之像素12-Gb4、像素12-Gb8、像素12-Gb12及像素12-Gb16有感度變低之傾向。又,配置於上邊之中央2處之像素12-Gb2及像素12-Gb3、以及配置於下邊之中央2處之像素12-Gb14及像素12-Gb15有感度變高之傾向。又,配置於中央部之2×2排列之4處之像素12-Gb6、像素12-Gb7、像素12-Gb10及像素12-Gb11呈中間感度。
如圖2之D所示,於藍色之同色像素群13B中,配置於4個角部之像素12-B1、像素12-B4、像素12-B13及像素12-B16有感度變高之傾向。又,配置於中央部之2×2排列之4處之像素12-B6、像素12-B7、像素12-B10及像素12-B11有感度變低之傾向。又,配置於上邊之中央2處之像素12-B2及像素12-B3、配置於左邊之中央2處之像素12-B5及像素12-B9、配置於右邊之中央2處之像素12-B8及像素12-B12、以及配置於下邊之中央2處之像素12-B14及像素12-B15呈中間感度。
因此,攝像元件11例如係設置有用以調整各個像素12之感度之感度調整構造而構成,以抑制同色像素群13中產生感度差。例如,如後文中參照圖3至圖65所述般,感度調整構造21以設置有各種形狀之像素內槽22之配置圖案構成,由此能提高有低感度傾向之像素12之感度。
<感度調整構造之構成例> 參照圖3至圖65,對感度調整構造之構成例進行說明。
圖3係表示第1感度調整構造21_1之構成例之圖。圖3之A中示出了俯視構成同色像素群13之16個像素12-1至12-16所見之第1感度調整構造21_1之構成例。圖3之B中示出了圖3之A所圖示之A1-A2剖面上的第1感度調整構造21_1之構成例。
如圖3之A所示,於第1感度調整構造21_1中,利用了沿著像素12之縱向及橫向延伸之線彼此於中央部交叉之十字形狀之像素內槽22a。例如,十字形狀之像素內槽22a對設置有十字形狀之像素內槽22a之像素12,具備能較線形狀之像素內槽更強烈地使光散射而擴大光程長度,從而大幅度地提高該像素12之感度之功能。又,十字形狀之像素內槽22a對與設置有十字形狀之像素內槽22a之像素12上下或左右鄰接之其他像素12,具備使散射之光入射,從而提高該等其他像素12之感度之功能。
第1感度調整構造21_1以如下配置圖案構成,即:對4×4排列之16個像素12-1至12-16中配置於中央部之2×2排列之4處之像素12設置有十字形狀之像素內槽22a。即,於第1感度調整構造21_1中,十字形狀之像素內槽22a-1設置於像素12-6,十字形狀之像素內槽22a-2設置於像素12-7,十字形狀之像素內槽22a-3設置於像素12-10,十字形狀之像素內槽22a-4設置於像素12-11。
如圖3之B所示,攝像元件11係將半導體層31、濾光層32、晶載透鏡層33積層而構成。
於半導體層31,設置有對光進行光電轉換之光電轉換部41,且設置有用以針對每個像素12將光電轉換部41分離之元件分離部42。於濾光層32,設置有分別透過對應顏色之光之彩色濾光片43,且設置有用以遮蔽來自彩色濾光片43之側面之漏光之遮光部44。於晶載透鏡層33,設置有聚集光之晶載透鏡14。
元件分離部42例如係藉由向較深地(或以貫通半導體層31之方式)掘入半導體層31所得之溝槽中埋入矽氧化物而形成。而且,像素內槽22係藉由向以較元件分離部42淺之深度掘入半導體層31之光入射面側所得之掘入部中埋入矽氧化物而形成。
因此,藉由對紅色之同色像素群13R及藍色之同色像素群13B應用第1感度調整構造21_1,在配置於中央部之2×2排列之4處且有低感度傾向之像素12中,十字形狀之像素內槽22a會使光強烈地散射,隨之光程長度擴大,藉此能大幅度地提高感度。又,對配置於中央部之2×2排列之上下方向及左右方向之像素12,亦會使於十字形狀之像素內槽22a中散射之光入射,藉此能略微提高感度。由此,攝像元件11能抑制紅色之同色像素群13R及藍色之同色像素群13B中之每個像素12之感度差,從而獲得更均一之感度特性。
圖4係表示第2感度調整構造21_2之構成例之圖。
如圖4所示,於第2感度調整構造21_2中,利用了沿著像素12之縱向及橫向延伸之線彼此於中央部交叉之十字形狀之像素內槽22a。
第2感度調整構造21_2以對4×4排列之16個像素12-1至12-16全部設置有十字形狀之像素內槽22a之配置圖案構成。即,於第2感度調整構造21_2中,十字形狀之像素內槽22a-1至22a-16分別設置於像素12-1至12-16。
因此,藉由對同色像素群13應用第2感度調整構造21_2,能提高同色像素群13之整體感度。例如,於希望避免感度隨著像素12之微細化而下降之情形時,應用第2感度調整構造21_2較佳。尤其係藉由對紅色之同色像素群13R應用第2感度調整構造21_2,能助力於光電轉換部41中之光程長度之擴大,因此能獲得較大之感度提高效果。
圖5係表示第3感度調整構造21_3之構成例之圖。
如圖5所示,於第3感度調整構造21_3中,利用了沿著像素12之傾斜方向延伸之斜線形狀之像素內槽22b。例如,斜線形狀之像素內槽22b對設置有斜線形狀之像素內槽22b之像素12,具備能使光散射而擴大光程長度,從而提高該像素12之感度之功能。又,斜線形狀之像素內槽22b對與斜線形狀之像素內槽22b之長度方向垂直的方向上之其他像素12,具備使藉由斜線形狀之像素內槽22b而散射之光入射,從而一定程度地提高該方向上之其他像素12之感度之功能。另一方面,斜線形狀之像素內槽22b對沿著斜線形狀之像素內槽22b之長度方向的方向上之其他像素12,能抑制藉由斜線形狀之像素內槽22b而散射之光入射,從而抑制混色之發生。
第3感度調整構造21_3以如下配置圖案構成,即:對4×4排列之16個像素12-1至12-16中配置於4個角部之像素12設置有斜線形狀之像素內槽22b。斜線形狀之像素內槽22b係以沿著長度方向之側面朝向4×4排列之中央之方式形成。
即,於第3感度調整構造21_3中,長度方向自右上方朝向左下方之斜線形狀之像素內槽22b-1設置於像素12-1,長度方向自左上方朝向右下方之斜線形狀之像素內槽22b-2設置於像素12-4,長度方向自左上方朝向右下方之斜線形狀之像素內槽22b-3設置於像素12-13,長度方向自右上方朝向左下方之斜線形狀之像素內槽22b-4設置於像素12-16。
因此,藉由對紅色之同色像素群13R及藍色之同色像素群13B應用第3感度調整構造21_3,能提高配置於中央部之2×2排列之4處且有低感度傾向之像素12之感度。即,斜線形狀之像素內槽22b會使光向垂直於長度方向之方向散射,並讓該散射之光向中央部之像素12入射,結果配置於中央部之2×2排列之4處的像素12之感度提高。藉此,攝像元件11能抑制紅色之同色像素群13R及藍色之同色像素群13B中之每個像素12之感度差,從而獲得更均一之感度特性。
圖6係表示第4感度調整構造21_4之構成例之圖。
如圖6所示,於第4感度調整構造21_4中,利用了沿著像素12之縱向及橫向延伸之線彼此於中央部交叉之十字形狀之像素內槽22a、及沿著像素12之傾斜方向延伸之斜線形狀之像素內槽22b。
第4感度調整構造21_4以如下配置圖案構成,即:對4×4排列之16個像素12-1至12-16中配置於中央部之2×2排列之4處之像素12設置有十字形狀之像素內槽22a,對配置於4個角部之像素12設置有斜線形狀之像素內槽22b。即,於第4感度調整構造21_4中,與圖3之第1感度調整構造21_1同樣地設置有十字形狀之像素內槽22a-1至22a-4,與圖5之第3感度調整構造21_3同樣地設置有斜線形狀之像素內槽22b-1至22b-4。
因此,藉由對紅色之同色像素群13R及藍色之同色像素群13B應用第4感度調整構造21_4,能獲得使第1感度調整構造21_1與第3感度調整構造21_3組合所得之效果。即,攝像元件11能抑制紅色之同色像素群13R及藍色之同色像素群13B中之每個像素12之感度差,從而獲得更均一之感度特性。
圖7係表示第5感度調整構造21_5之構成例之圖。
如圖7所示,於第5感度調整構造21_5中,利用了沿著像素12之傾斜方向延伸之斜線形狀之像素內槽22b、沿著像素12之橫向延伸之橫線形狀之像素內槽22c、及沿著像素12之縱向延伸之縱線形狀之像素內槽22d。
例如,橫線形狀之像素內槽22c對設置有橫線形狀之像素內槽22c之像素12,具備能使光散射而擴大光程長度,從而提高該像素12之感度之功能。又,橫線形狀之像素內槽22c對與設置有橫線形狀之像素內槽22c之像素12上下鄰接之其他像素12,具備使藉由橫線形狀之像素內槽22c而散射之光入射,從而一定程度地提高該等其他像素12之感度之功能。另一方面,橫線形狀之像素內槽22c對與設置有橫線形狀之像素內槽22c之像素12左右鄰接之其他像素12,能抑制藉由橫線形狀之像素內槽22c而散射之光入射,從而抑制混色之發生。
例如,縱線形狀之像素內槽22d對設置有縱線形狀之像素內槽22d之像素12,具備能使光散射而擴大光程長度,從而提高該像素12之感度之功能。又,縱線形狀之像素內槽22d對與設置有縱線形狀之像素內槽22d之像素12左右鄰接之其他像素12,具備使藉由縱線形狀之像素內槽22d而散射之光入射,從而一定程度地提高該等其他像素12之感度之功能。另一方面,縱線形狀之像素內槽22d對與設置有縱線形狀之像素內槽22d之像素12上下鄰接之其他像素12,能抑制藉由縱線形狀之像素內槽22d而散射之光入射,從而抑制混色之發生。
第5感度調整構造21_5以如下配置圖案構成,即:對4×4排列之16個像素12-1至12-16中配置於4個角部之像素12設置有斜線形狀之像素內槽22b,對配置於上邊之中央2處之像素12及配置於下邊之中央2處之像素12設置有橫線形狀之像素內槽22c,對配置於右邊之中央2處之像素12及配置於左邊之中央2處之像素12設置有縱線形狀之像素內槽22d。斜線形狀之像素內槽22b係以沿著長度方向之側面朝向4×4排列之中央之方式形成。
即,於第5感度調整構造21_5中,長度方向自右上方朝向左下方之斜線形狀之像素內槽22b-1設置於像素12-1,長度方向自左上方朝向右下方之斜線形狀之像素內槽22b-2設置於像素12-4,長度方向自左上方朝向右下方之斜線形狀之像素內槽22b-3設置於像素12-13,長度方向自右上方朝向左下方之斜線形狀之像素內槽22b-4設置於像素12-16。進而,橫線形狀之像素內槽22c-1設置於像素12-2,橫線形狀之像素內槽22c-2設置於像素12-3,橫線形狀之像素內槽22c-3設置於像素12-14,橫線形狀之像素內槽22c-4設置於像素12-15。進而,縱線形狀之像素內槽22d-1設置於像素12-5,縱線形狀之像素內槽22d-2設置於像素12-8,縱線形狀之像素內槽22d-3設置於像素12-9,縱線形狀之像素內槽22d-4設置於像素12-12。
因此,藉由對紅色之同色像素群13R及藍色之同色像素群13B應用第5感度調整構造21_5,能提高配置於中央部之2×2排列之4處且有低感度傾向之像素12之感度。即,斜線形狀之像素內槽22b、橫線形狀之像素內槽22c及縱線形狀之像素內槽22d分別使光向垂直於長度方向之方向散射,並讓該散射之光向中央部之像素12入射,結果配置於中央部之2×2排列之4處的像素12之感度提高。藉此,攝像元件11能抑制紅色之同色像素群13R及藍色之同色像素群13B中之每個像素12之感度差,從而獲得更均一之感度特性。
圖8係表示第6感度調整構造21_6之構成例之圖。
如圖8所示,於第6感度調整構造21_6中,利用了沿著像素12之縱向及橫向延伸之線彼此於中央部交叉之十字形狀之像素內槽22a、沿著像素12之傾斜方向延伸之斜線形狀之像素內槽22b、沿著像素12之橫向延伸之橫線形狀之像素內槽22c、及沿著像素12之縱向延伸之縱線形狀之像素內槽22d。
第6感度調整構造21_6以如下配置圖案構成,即:對4×4排列之16個像素12-1至12-16中配置於中央部之2×2排列之4處之像素12設置有十字形狀之像素內槽22a,對配置於4個角部之像素12設置有斜線形狀之像素內槽22b,對配置於上邊之中央2處之像素12及配置於下邊之中央2處之像素12設置有橫線形狀之像素內槽22c,對配置於右邊之中央2處之像素12及配置於左邊之中央2處之像素12設置有縱線形狀之像素內槽22d。
即,於第6感度調整構造21_6中,與圖3之第1感度調整構造21_1同樣地設置有十字形狀之像素內槽22a-1至22a-4,與圖7之第5感度調整構造21_5同樣地設置有斜線形狀之像素內槽22b-1至22b-4、橫線形狀之像素內槽22c-1至22c-4及縱線形狀之像素內槽22d-1至22d-4。
因此,藉由對紅色之同色像素群13R及藍色之同色像素群13B應用第6感度調整構造21_6,能獲得使第1感度調整構造21_1與第5感度調整構造21_5組合所得之效果。即,攝像元件11能抑制紅色之同色像素群13R及藍色之同色像素群13B中之每個像素12之感度差,從而獲得更均一之感度特性。
圖9係表示第7感度調整構造21_7之構成例之圖。
如圖9所示,於第7感度調整構造21_7中,利用了沿著像素12之縱向及橫向延伸之線彼此於端部接合之L字形狀之像素內槽22e。例如,L字形狀之像素內槽22e對設置有L字形狀之像素內槽22e之像素12,具備能使光散射而擴大光程長度,從而提高該像素12之感度之功能。
又,L字形狀之像素內槽22e對與設置有L字形狀之像素內槽22e之像素12鄰接之其他像素12中鄰接於附近配置有縱向之線之側之其他像素12、及鄰接於附近配置有橫向之線之側之其他像素12,具備使藉由L字形狀之像素內槽22e而散射之光變得容易入射,從而一定程度地提高該等其他像素12之感度之功能。另一方面,L字形狀之像素內槽22e對與設置有L字形狀之像素內槽22e之像素12鄰接之其他像素12中鄰接於附近配置有縱向之線之側的相反側之其他像素12、及鄰接於附近配置有橫向之線之側的相反側之其他像素12,能使藉由L字形狀之像素內槽22e而散射之光變得不易入射,從而抑制混色之發生。
第7感度調整構造21_7以如下配置圖案構成,即:對4×4排列之16個像素12-1至12-16中配置於4個角部之像素12設置有L字形狀之像素內槽22e。L字形狀之像素內槽22e係以沿著縱向及橫向延伸之線之接合部配置於4×4排列之中央側之方式形成。
即,於第7感度調整構造21_7中,右邊附近配置有縱向之線且下邊附近配置有橫向之線之L字形狀之像素內槽22e-1設置於像素12-1,左邊附近配置有縱向之線且下邊附近配置有橫向之線之L字形狀之像素內槽22e-2設置於像素12-4,右邊附近配置有縱向之線且上邊附近配置有橫向之線之L字形狀之像素內槽22e-3設置於像素12-13,左邊附近配置有縱向之線且上邊附近配置有橫向之線之L字形狀之像素內槽22e-4設置於像素12-16。
例如,於L字形狀之像素內槽22e-1中,光向與縱向及橫向之線之長度方向垂直之方向散射,且該散射之光向像素12-2、像素12-5及像素12-6入射。同樣地,於L字形狀之像素內槽22e-2中散射之光向像素12-3、像素12-7及像素12-8入射,於L字形狀之像素內槽22e-3中散射之光向像素12-9、像素12-10及像素12-14入射,於L字形狀之像素內槽22e-4中散射之光向像素12-11、像素12-12及像素12-15入射。光如此散射之結果,於第7感度調整構造21_7中,能抑制紅色之同色像素群13R及藍色之同色像素群13B中之每個像素12之感度差。
因此,藉由對紅色之同色像素群13R及藍色之同色像素群13B應用第7感度調整構造21_7,能獲得更均一之感度特性。
圖10係表示第8感度調整構造21_8之構成例之圖。
如圖10所示,於第8感度調整構造21_8中,利用了沿著像素12之橫向延伸之橫線形狀之像素內槽22c、沿著像素12之縱向延伸之縱線形狀之像素內槽22d、以及沿著像素12之縱向及橫向延伸之線彼此於端部接合之L字形狀之像素內槽22e。
第8感度調整構造21_8以如下配置圖案構成,即:對4×4排列之16個像素12-1至12-16中配置於上邊之中央2處之像素12及配置於下邊之中央2處之像素12設置有橫線形狀之像素內槽22c,對配置於右邊之中央2處之像素12及配置於左邊之中央2處之像素12設置有縱線形狀之像素內槽22d,對配置於4個角部之像素12設置有L字形狀之像素內槽22e。L字形狀之像素內槽22e係以沿著縱向及橫向延伸之線之接合部配置於4×4排列之中央側之方式形成。
即,於第8感度調整構造21_8中,橫線形狀之像素內槽22c-1設置於像素12-2,橫線形狀之像素內槽22c-2設置於像素12-3,橫線形狀之像素內槽22c-3設置於像素12-14,橫線形狀之像素內槽22c-4設置於像素12-15。進而,縱線形狀之像素內槽22d-1設置於像素12-5,縱線形狀之像素內槽22d-2設置於像素12-8,縱線形狀之像素內槽22d-3設置於像素12-9,縱線形狀之像素內槽22d-4設置於像素12-12。進而,右邊附近配置有縱向之線且下邊附近配置有橫向之線之L字形狀之像素內槽22e-1設置於像素12-1,左邊附近配置有縱向之線且下邊附近配置有橫向之線之L字形狀之像素內槽22e-2設置於像素12-4,右邊附近配置有縱向之線且上邊附近配置有橫向之線之L字形狀之像素內槽22e-3設置於像素12-13,左邊附近配置有縱向之線且上邊附近配置有橫向之線之L字形狀之像素內槽22e-4設置於像素12-16。
因此,藉由對紅色之同色像素群13R及藍色之同色像素群13B應用第8感度調整構造21_8,能提高配置於中央部之2×2排列之4處且有低感度傾向之像素12之感度。即,藉由橫線形狀之像素內槽22c、縱線形狀之像素內槽22d及L字形狀之像素內槽22e而散射之光向中央部之像素12入射,結果配置於中央部之2×2排列之4處的像素12之感度提高。藉此,攝像元件11能抑制紅色之同色像素群13R及藍色之同色像素群13B中之每個像素12之感度差,從而獲得更均一之感度特性。
圖11係表示第9感度調整構造21_9之構成例之圖。
如圖11所示,於第9感度調整構造21_9中,利用了沿著像素12之縱向及橫向延伸之線彼此於中央部交叉之十字形狀之像素內槽22a、以及沿著像素12之縱向及橫向延伸之線彼此於端部接合之L字形狀之像素內槽22e。
第9感度調整構造21_9以如下配置圖案構成,即:對4×4排列之16個像素12-1至12-16中配置於中央部之2×2排列之4處之像素12設置有十字形狀之像素內槽22a,對配置於4個角部之像素12設置有L字形狀之像素內槽22e。即,於第9感度調整構造21_9中,與圖3之第1感度調整構造21_1同樣地設置有十字形狀之像素內槽22a-1至22a-4,與圖9之第7感度調整構造21_7同樣地設置有L字形狀之像素內槽22e-1至22e-4。
因此,藉由對紅色之同色像素群13R及藍色之同色像素群13B應用第9感度調整構造21_9,能獲得使第1感度調整構造21_1與第7感度調整構造21_7組合所得之效果。即,攝像元件11能抑制紅色之同色像素群13R及藍色之同色像素群13B中之每個像素12之感度差,從而獲得更均一之感度特性。
圖12係表示第10感度調整構造21_10之構成例之圖。
如圖12所示,於第10感度調整構造21_10中,利用了沿著像素12之縱向及橫向延伸之線彼此於中央部交叉之十字形狀之像素內槽22a、沿著像素12之橫向延伸之橫線形狀之像素內槽22c、沿著像素12之縱向延伸之縱線形狀之像素內槽22d、以及沿著縱向及橫向延伸之線彼此於端部接合之L字形狀之像素內槽22e。
第10感度調整構造21_10以如下配置圖案構成,即:對4×4排列之16個像素12-1至12-16中配置於中央部之2×2排列之4處之像素12設置有十字形狀之像素內槽22a,對配置於上邊之中央2處之像素12及配置於下邊之中央2處之像素12設置有橫線形狀之像素內槽22c,對配置於右邊之中央2處之像素12及配置於左邊之中央2處之像素12設置有縱線形狀之像素內槽22d,對配置於4個角部之像素12設置有L字形狀之像素內槽22e。
即,於第10感度調整構造21_10中,與圖3之第1感度調整構造21_1同樣地設置有十字形狀之像素內槽22a-1至22a-4,與圖10之第8感度調整構造21_8同樣地設置有橫線形狀之像素內槽22c-1至22c-4、縱線形狀之像素內槽22d-1至22d-4及L字形狀之像素內槽22e-1至22e-4。
因此,藉由對紅色之同色像素群13R及藍色之同色像素群13B應用第10感度調整構造21_10,能獲得使第1感度調整構造21_1與第8感度調整構造21_8組合所得之效果。即,攝像元件11能抑制紅色之同色像素群13R及藍色之同色像素群13B中之每個像素12之感度差,從而獲得更均一之感度特性。
此處,圖3至圖12所示之像素內槽22(十字形狀之像素內槽22a、斜線形狀之像素內槽22b、橫線形狀之像素內槽22c、縱線形狀之像素內槽22d、L字形狀之像素內槽22e)形成為以其端部遠離元件分離部42之狀態而設置於像素12之中央一之部分之尺寸。相對於此,像素內槽22亦可形成為以其端部不遠離元件分離部42之狀態,橫跨像素12之寬度而設置。即,亦可採用像素內槽22之尺寸擴大至像素內槽22之兩端部與元件分離部42連結之構造(以下,稱為擴大構造)。
例如,十字形狀之像素內槽22a、斜線形狀之像素內槽22b、橫線形狀之像素內槽22c、縱線形狀之像素內槽22d及L字形狀之像素內槽22e之受光面積相應於遠離元件分離部42之程度而增加,藉此能提高其等可儲存之電荷量Qs。相對於此,藉由將像素內槽22設定為擴大構造,能使光散射所帶來之效果增強,從而助力於感度提高。
圖13係表示第11感度調整構造21_11之構成例之圖。
如圖13所示,於第11感度調整構造21_11中,利用了呈沿著像素12之縱向及橫向延伸之線彼此於中央部交叉之十字形狀且為擴大構造之像素內槽22f。呈十字形狀且為擴大構造之像素內槽22f與十字形狀之像素內槽22a同樣地,對設置有呈十字形狀且為擴大構造之像素內槽22f之像素12,及對與設置有十字形狀之像素內槽22a之像素12上下或左右鄰接之其他像素12,具備更強勁地提高感度之功能。
而且,第11感度調整構造21_11與圖3之第1感度調整構造21_1同樣地,以如下配置圖案構成,即:對4×4排列之16個像素12-1至12-16中配置於中央部之2×2排列之4處之像素12設置有呈十字形狀且為擴大構造之像素內槽22f。
因此,藉由對紅色之同色像素群13R及藍色之同色像素群13B應用第11感度調整構造21_11,與第1感度調整構造21_1同樣地,能獲得更均一之感度特性。進而,第11感度調整構造21_11能藉由呈十字形狀且為擴大構造之像素內槽22f,更強勁地助力於感度提高。
圖14係表示第12感度調整構造21_12之構成例之圖。
如圖14所示,於第12感度調整構造21_12中,利用了呈沿著像素12之縱向及橫向延伸之線彼此於中央部交叉之十字形狀且為擴大構造之像素內槽22f。
而且,第12感度調整構造21_12與圖4之第2感度調整構造21_2同樣地,以如下配置圖案構成,即:對4×4排列之16個像素12-1至12-16全部設置有呈十字形狀且為擴大構造之像素內槽22f。
因此,第12感度調整構造21_12與第2感度調整構造21_2同樣地,能提高同色像素群13之整體感度。進而,第12感度調整構造21_12能藉由呈十字形狀且為擴大構造之像素內槽22f,更強勁地助力於感度提高。
圖15係表示第13感度調整構造21_13之構成例之圖。
如圖15所示,於第13感度調整構造21_13中,利用了呈沿著像素12之傾斜方向延伸之斜線形狀且為擴大構造之像素內槽22g。呈斜線形狀且為擴大構造之像素內槽22g與斜線形狀之像素內槽22b同樣地,對設置有呈斜線形狀且為擴大構造之像素內槽22g之像素12,及對與呈斜線形狀且為擴大構造之像素內槽22g之長度方向垂直的方向上之其他像素12,具備更強勁地提高感度之功能。
而且,第13感度調整構造21_13與圖5之第3感度調整構造21_3同樣地,以如下配置圖案構成,即:對4×4排列之16個像素12-1至12-16中配置於4個角部之像素12設置有呈斜線形狀且為擴大構造之像素內槽22g。
因此,藉由對紅色之同色像素群13R及藍色之同色像素群13B應用第13感度調整構造21_13,與第3感度調整構造21_3同樣地,能獲得更均一之感度特性。進而,第13感度調整構造21_13能藉由呈斜線形狀且為擴大構造之像素內槽22g,更強勁地助力於感度提高。
圖16係表示第14感度調整構造21_14之構成例之圖。
如圖16所示,於第14感度調整構造21_14中,利用了呈沿著像素12之縱向及橫向延伸之線彼此於中央部交叉之十字形狀且為擴大構造之像素內槽22f、及呈沿著像素12之傾斜方向延伸之斜線形狀且為擴大構造之像素內槽22g。
而且,第14感度調整構造21_14與圖6之第4感度調整構造21_4同樣地,以如下配置圖案構成,即:對4×4排列之16個像素12-1至12-16中配置於中央部之2×2排列之4處之像素12設置有呈十字形狀且為擴大構造之像素內槽22f,對配置於4個角部之像素12設置有呈斜線形狀且為擴大構造之像素內槽22g。
因此,藉由對紅色之同色像素群13R及藍色之同色像素群13B應用第14感度調整構造21_14,與第4感度調整構造21_4同樣地,能獲得更均一之感度特性。進而,第14感度調整構造21_14能藉由呈十字形狀且為擴大構造之像素內槽22f及呈斜線形狀且為擴大構造之像素內槽22g,更強勁地助力於感度提高。
圖17係表示第15感度調整構造21_15之構成例之圖。
如圖17所示,於第15感度調整構造21_15中,利用了呈沿著像素12之傾斜方向延伸之斜線形狀且為擴大構造之像素內槽22g、呈沿著像素12之橫向延伸之橫線形狀且為擴大構造之像素內槽22h、及呈沿著像素12之縱向延伸之縱線形狀且為擴大構造之像素內槽22i。
例如,呈橫線形狀且為擴大構造之像素內槽22h與橫線形狀之像素內槽22c同樣地,對設置有呈橫線形狀且為擴大構造之像素內槽22h之像素12,及對與設置有呈橫線形狀且為擴大構造之像素內槽22h之像素12上下鄰接之其他像素12,具備更強勁地提高感度之功能。例如,呈縱線形狀且為擴大構造之像素內槽22i與縱線形狀之像素內槽22d同樣地,對設置有呈縱線形狀且為擴大構造之像素內槽22i之像素12,及對與設置有呈縱線形狀且為擴大構造之像素內槽22i之像素12左右鄰接之其他像素12,具備更強勁地提高感度之功能。
而且,第15感度調整構造21_15與圖7之第5感度調整構造21_5同樣地,以如下配置圖案構成,即:對4×4排列之16個像素12-1至12-16中配置於4個角部之像素12設置有呈斜線形狀且為擴大構造之像素內槽22g,對配置於上邊之中央2處之像素12及配置於下邊之中央2處之像素12設置有呈橫線形狀且為擴大構造之像素內槽22h,對配置於右邊之中央2處之像素12及配置於左邊之中央2處之像素12設置有呈縱線形狀且為擴大構造之像素內槽22i。
因此,藉由對紅色之同色像素群13R及藍色之同色像素群13B應用第15感度調整構造21_15,與第5感度調整構造21_5同樣地,能獲得更均一之感度特性。進而,第15感度調整構造21_15能藉由呈斜線形狀且為擴大構造之像素內槽22g、呈橫線形狀且為擴大構造之像素內槽22h及呈縱線形狀且為擴大構造之像素內槽22i,更強勁地助力於感度提高。
圖18係表示第16感度調整構造21_16之構成例之圖。
如圖18所示,於第16感度調整構造21_16中,利用了呈沿著像素12之縱向及橫向延伸之線彼此於中央部交叉之十字形狀且為擴大構造之像素內槽22f、呈沿著像素12之傾斜方向延伸之斜線形狀且為擴大構造之像素內槽22g、呈沿著像素12之橫向延伸之橫線形狀且為擴大構造之像素內槽22h、及呈沿著像素12之縱向延伸之縱線形狀且為擴大構造之像素內槽22i。
而且,第16感度調整構造21_16與圖8之第6感度調整構造21_6同樣地,以如下配置圖案構成,即:對4×4排列之16個像素12-1至12-16中配置於中央部之2×2排列之4處之像素12設置有呈十字形狀且為擴大構造之像素內槽22f,對配置於4個角部之像素12設置有呈斜線形狀且為擴大構造之像素內槽22g,對配置於上邊之中央2處之像素12及配置於下邊之中央2處之像素12設置有呈橫線形狀且為擴大構造之像素內槽22h,對配置於右邊之中央2處之像素12及配置於左邊之中央2處之像素12設置有呈縱線形狀且為擴大構造之像素內槽22i。
因此,藉由對紅色之同色像素群13R及藍色之同色像素群13B應用第16感度調整構造21_16,與第6感度調整構造21_6同樣地,能獲得更均一之感度特性。進而,第16感度調整構造21_16能藉由呈十字形狀且為擴大構造之像素內槽22f、呈斜線形狀且為擴大構造之像素內槽22g、呈橫線形狀且為擴大構造之像素內槽22h及呈縱線形狀且為擴大構造之像素內槽22i,更強勁地助力於感度提高。
圖19係表示第17感度調整構造21_17之構成例之圖。
如圖19所示,於第17感度調整構造21_17中,利用了呈沿著L字形狀之像素內槽22e之縱向及橫向延伸之線擴大至像素端部之L字形狀且為擴大構造之像素內槽22j。再者,呈L字形狀且為擴大構造之像素內槽22j其實並非形成L字之形狀,而是沿著縱向及橫向延伸之線於偏離兩者中心之位置交叉之形狀。例如,呈L字形狀且為擴大構造之像素內槽22j與L字形狀之像素內槽22e同樣地,對設置有呈L字形狀且為擴大構造之像素內槽22j之像素12,以及對與設置有L字形狀之像素內槽22e之像素12鄰接之其他像素12中鄰接於附近配置有縱向之線之側之其他像素12、及鄰接於附近配置有橫向之線之側之其他像素12,具備更強勁地提高感度之功能。
而且,第17感度調整構造21_17與圖9之第7感度調整構造21_7同樣地,以如下配置圖案構成,即:對4×4排列之16個像素12-1至12-16中配置於4個角部之像素12設置有呈L字形狀且為擴大構造之像素內槽22j。
因此,藉由對紅色之同色像素群13R及藍色之同色像素群13B應用第17感度調整構造21_17,與第7感度調整構造21_7同樣地,能獲得更均一之感度特性。進而,第17感度調整構造21_17能藉由呈L字形狀且為擴大構造之像素內槽22j,更強勁地助力於感度提高。
圖20係表示第18感度調整構造21_18之構成例之圖。
如圖20所示,於第18感度調整構造21_18中,利用了呈沿著像素12之橫向延伸之橫線形狀且為擴大構造之像素內槽22h、呈沿著像素12之縱向延伸之縱線形狀且為擴大構造之像素內槽22i、以及呈沿著L字形狀之像素內槽22e之縱向及橫向延伸之線擴大至像素端部之L字形狀且為擴大構造之像素內槽22j。
而且,第18感度調整構造21_18與圖10之第8感度調整構造21_8同樣地,以如下配置圖案構成,即:對4×4排列之16個像素12-1至12-16中配置於上邊之中央2處之像素12及配置於下邊之中央2處之像素12設置有呈橫線形狀且為擴大構造之像素內槽22h,對配置於右邊之中央2處之像素12及配置於左邊之中央2處之像素12設置有呈縱線形狀且為擴大構造之像素內槽22i,對配置於4個角部之像素12設置有呈L字形狀且為擴大構造之像素內槽22j。
因此,藉由對紅色之同色像素群13R及藍色之同色像素群13B應用第18感度調整構造21_18,與第8感度調整構造21_8同樣地,能獲得更均一之感度特性。進而,第18感度調整構造21_18能藉由呈橫線形狀且為擴大構造之像素內槽22h、呈縱線形狀且為擴大構造之像素內槽22i及呈L字形狀且為擴大構造之像素內槽22j,更強勁地助力於感度提高。
圖21係表示第19感度調整構造21_19之構成例之圖。
如圖21所示,於第19感度調整構造21_19中,利用了呈沿著像素12之縱向及橫向延伸之線彼此於中央部交叉之十字形狀且為擴大構造之像素內槽22f、以及呈沿著L字形狀之像素內槽22e之縱向及橫向延伸之線擴大至像素端部之L字形狀且為擴大構造之像素內槽22j。
而且,第19感度調整構造21_19與圖11之第9感度調整構造21_9同樣地,以如下配置圖案構成,即:對4×4排列之16個像素12-1至12-16中配置於中央部之2×2排列之4處之像素12設置有呈十字形狀且為擴大構造之像素內槽22f,對配置於4個角部之像素12設置有呈L字形狀且為擴大構造之像素內槽22j。
因此,藉由對紅色之同色像素群13R及藍色之同色像素群13B應用第19感度調整構造21_19,與第9感度調整構造21_9同樣地,能獲得更均一之感度特性。進而,第19感度調整構造21_19能藉由呈十字形狀且為擴大構造之像素內槽22f及呈L字形狀且為擴大構造之像素內槽22j,更強勁地助力於感度提高。
圖22係表示第20感度調整構造21_20之構成例之圖。
如圖22所示,於第20感度調整構造21_20中,利用了呈沿著像素12之縱向及橫向延伸之線彼此於中央部交叉之十字形狀且為擴大構造之像素內槽22f、呈沿著像素12之橫向延伸之橫線形狀且為擴大構造之像素內槽22h、呈沿著像素12之縱向延伸之縱線形狀且為擴大構造之像素內槽22i、以及呈沿著L字形狀之像素內槽22e之縱向及橫向延伸之線擴大至像素端部之L字形狀且為擴大構造之像素內槽22j。
而且,第20感度調整構造21_20與圖12之第10感度調整構造21_10同樣地,以如下配置圖案構成,即:對4×4排列之16個像素12-1至12-16中配置於中央部之2×2排列之4處之像素12設置有呈十字形狀且為擴大構造之像素內槽22f,對配置於上邊之中央2處之像素12及配置於下邊之中央2處之像素12設置有呈橫線形狀且為擴大構造之像素內槽22h,對配置於右邊之中央2處之像素12及配置於左邊之中央2處之像素12設置有呈縱線形狀且為擴大構造之像素內槽22i,對配置於4個角部之像素12設置有呈L字形狀且為擴大構造之像素內槽22j。
因此,藉由對紅色之同色像素群13R及藍色之同色像素群13B應用第20感度調整構造21_20,與第10感度調整構造21_10同樣地,能獲得更均一之感度特性。進而,第20感度調整構造21_20能藉由呈十字形狀且為擴大構造之像素內槽22f、呈橫線形狀且為擴大構造之像素內槽22h、呈縱線形狀且為擴大構造之像素內槽22i及呈L字形狀且為擴大構造之像素內槽22j,更強勁地助力於感度提高。
圖23係表示第21感度調整構造21_21之構成例之圖。
如圖23所示,於第21感度調整構造21_21中,利用了沿著像素12之縱向及橫向延伸之線彼此於中央部交叉之十字形狀之像素內槽22a。
第21感度調整構造21_21以如下配置圖案構成,即:對4×4排列之16個像素12-1至12-16中配置於上邊4處之像素12及配置於下邊4處之像素12設置有十字形狀之像素內槽22a。即,於第21感度調整構造21_21中,十字形狀之像素內槽22a-1至22a-4分別設置於像素12-1至12-4,十字形狀之像素內槽22a-5至22a-8分別設置於像素12-13至12-16。
因此,藉由對綠色之同色像素群13Gr應用第21感度調整構造21_21,在配置於上邊4處且有低感度傾向之像素12及配置於下邊4處且有低感度傾向之像素12中,十字形狀之像素內槽22a會使光強烈地散射,隨之光程長度擴大,藉此能大幅度地提高感度。由此,攝像元件11能抑制綠色之同色像素群13Gr中之每個像素12之感度差,從而獲得更均一之感度特性。
圖24係表示第22感度調整構造21_22之構成例之圖。
如圖24所示,於第22感度調整構造21_22中,利用了沿著像素12之縱向及橫向延伸之線彼此於中央部交叉之十字形狀之像素內槽22a。
第22感度調整構造21_22以如下配置圖案構成,即:對4×4排列之16個像素12-1至12-16中配置於左邊4處之像素12及配置於右邊4處之像素12設置有十字形狀之像素內槽22a。即,於第22感度調整構造21_22中,十字形狀之像素內槽22a-1設置於像素12-1,十字形狀之像素內槽22a-2設置於像素12-4,十字形狀之像素內槽22a-3設置於像素12-5,十字形狀之像素內槽22a-4設置於像素12-8。進而,十字形狀之像素內槽22a-5設置於像素12-9,十字形狀之像素內槽22a-6設置於像素12-12,十字形狀之像素內槽22a-7設置於像素12-13,十字形狀之像素內槽22a-8設置於像素12-16。
因此,藉由對綠色之同色像素群13Gb應用第22感度調整構造21_22,在配置於左邊4處且有低感度傾向之像素12及配置於右邊4處且有低感度傾向之像素12中,十字形狀之像素內槽22a會使光強烈地散射,隨之光程長度擴大,藉此能大幅度地提高感度。由此,攝像元件11能抑制綠色之同色像素群13Gb中之每個像素12之感度差,從而獲得更均一之感度特性。
圖25係表示第23感度調整構造21_23之構成例之圖。
如圖25所示,於第23感度調整構造21_23中,利用了沿著像素12之橫向延伸之橫線形狀之像素內槽22c。
第23感度調整構造21_23以如下配置圖案構成,即:對4×4排列之16個像素12-1至12-16中配置於中央2列之8處之像素12設置有橫線形狀之像素內槽22c。即,於第23感度調整構造21_23中,橫線形狀之像素內槽22c-1至22c-4分別設置於像素12-5至12-8,橫線形狀之像素內槽22c-5至22c-8分別設置於像素12-9至12-12。
因此,藉由對綠色之同色像素群13Gr應用第23感度調整構造21_23,能提高配置於上邊4處且有低感度傾向之像素12及配置於下邊4處且有低感度傾向之像素12之感度。即,橫線形狀之像素內槽22c會使光向垂直於長度方向之方向散射,並讓該散射之光向上邊及下邊之像素12入射,結果配置於上邊4處之像素12及配置於下邊4處之像素12之感度提高。藉此,攝像元件11能抑制綠色之同色像素群13Gr中之每個像素12之感度差,從而獲得更均一之感度特性。
圖26係表示第24感度調整構造21_24之構成例之圖。
如圖26所示,於第24感度調整構造21_24中,利用了沿著像素12之縱向延伸之縱線形狀之像素內槽22d。
第24感度調整構造21_24以如下配置圖案構成,即:對4×4排列之16個像素12-1至12-16中配置於中央2行之8處之像素12設置有縱線形狀之像素內槽22d。即,於第24感度調整構造21_24中,縱線形狀之像素內槽22d-1設置於像素12-2,縱線形狀之像素內槽22d-2設置於像素12-3,縱線形狀之像素內槽22d-3設置於像素12-6,縱線形狀之像素內槽22d-4設置於像素12-7。進而,縱線形狀之像素內槽22d-5設置於像素12-10,縱線形狀之像素內槽22d-6設置於像素12-11,縱線形狀之像素內槽22d-7設置於像素12-14,縱線形狀之像素內槽22d-8設置於像素12-15。
因此,藉由對綠色之同色像素群13Gb應用第24感度調整構造21_24,能提高配置於左邊4處且有低感度傾向之像素12及配置於右邊4處且有低感度傾向之像素12之感度。即,縱線形狀之像素內槽22d會使光向垂直於長度方向之方向散射,並讓該散射之光向左邊及右邊之像素12入射,結果配置於左邊4處之像素12及配置於右邊4處之像素12之感度提高。藉此,攝像元件11能抑制綠色之同色像素群13Gb中之每個像素12之感度差,從而獲得更均一之感度特性。
圖27係表示第25感度調整構造21_25之構成例之圖。
如圖27所示,於第25感度調整構造21_25中,利用了沿著像素12之縱向及橫向延伸之線彼此於中央部交叉之十字形狀之像素內槽22a、及沿著像素12之橫向延伸之橫線形狀之像素內槽22c。
第25感度調整構造21_25以如下配置圖案構成,即:對4×4排列之16個像素12-1至12-16中配置於上邊4處之像素12及配置於下邊4處之像素12設置有十字形狀之像素內槽22a,對配置於中央2列之8處之像素12設置有橫線形狀之像素內槽22c。即,於第25感度調整構造21_25中,十字形狀之像素內槽22a-1至22a-8與圖23之第21感度調整構造21_21同樣地設置,橫線形狀之像素內槽22c-1至22c-8與圖25之第23感度調整構造21_23同樣地設置。
因此,藉由對綠色之同色像素群13Gr應用第21感度調整構造21_21,能獲得使第21感度調整構造21_21與第23感度調整構造21_23組合所得之效果。即,攝像元件11能抑制綠色之同色像素群13Gr中之每個像素12之感度差,從而獲得更均一之感度特性。
圖28係表示第26感度調整構造21_26之構成例之圖。
如圖28所示,於第26感度調整構造21_26中,利用了沿著像素12之縱向及橫向延伸之線彼此於中央部交叉之十字形狀之像素內槽22a、及沿著像素12之縱向延伸之縱線形狀之像素內槽22d。
第26感度調整構造21_26以如下配置圖案構成,即:對4×4排列之16個像素12-1至12-16中配置於左邊4處之像素12及配置於右邊4處之像素12設置有十字形狀之像素內槽22a,對配置於中央2行之8處之像素12設置有縱線形狀之像素內槽22d。即,於第26感度調整構造21_26中,十字形狀之像素內槽22a-1至22a-8與圖24之第22感度調整構造21_22同樣地設置,縱線形狀之像素內槽22d-1至22d-8與圖26之第24感度調整構造21_24同樣地設置。
因此,藉由對綠色之同色像素群13Gb應用第22感度調整構造21_22,能獲得使第22感度調整構造21_22與第24感度調整構造21_24組合所得之效果。即,攝像元件11能抑制綠色之同色像素群13Gb中之每個像素12之感度差,從而獲得更均一之感度特性。
圖29係表示第27感度調整構造21_27之構成例之圖。
如圖29所示,於第27感度調整構造21_27中,利用了呈沿著像素12之縱向及橫向延伸之線彼此於中央部交叉之十字形狀且為擴大構造之像素內槽22f。
而且,第27感度調整構造21_27與圖23之第21感度調整構造21_21同樣地,以如下配置圖案構成,即:對4×4排列之16個像素12-1至12-16中配置於上邊4處之像素12及配置於下邊4處之像素12設置有呈十字形狀且為擴大構造之像素內槽22f。
因此,藉由對綠色之同色像素群13Gr應用第27感度調整構造21_27,與第21感度調整構造21_21同樣地,能獲得更均一之感度特性。進而,第27感度調整構造21_27能藉由呈十字形狀且為擴大構造之像素內槽22f,更強勁地助力於感度提高。
圖30係表示第28感度調整構造21_28之構成例之圖。
如圖30所示,於第28感度調整構造21_28中,利用了呈沿著像素12之縱向及橫向延伸之線彼此於中央部交叉之十字形狀且為擴大構造之像素內槽22f。
而且,第28感度調整構造21_28與圖24之第22感度調整構造21_22同樣地,以如下配置圖案構成,即:對4×4排列之16個像素12-1至12-16中配置於左邊4處之像素12及配置於右邊4處之像素12設置有呈十字形狀且為擴大構造之像素內槽22f。
因此,藉由對綠色之同色像素群13Gb應用第28感度調整構造21_28,與第22感度調整構造21_22同樣地,能獲得更均一之感度特性。進而,第28感度調整構造21_28能藉由呈十字形狀且為擴大構造之像素內槽22f,更強勁地助力於感度提高。
圖31係表示第29感度調整構造21_29之構成例之圖。
如圖31所示,於第29感度調整構造21_29中,利用了呈沿著像素12之橫向延伸之橫線形狀且為擴大構造之像素內槽22h。
而且,第29感度調整構造21_29與圖25之第23感度調整構造21_23同樣地,以如下配置圖案構成,即:對4×4排列之16個像素12-1至12-16中配置於中央2列之8處之像素12設置有呈橫線形狀且為擴大構造之像素內槽22h。
因此,藉由對綠色之同色像素群13Gr應用第29感度調整構造21_29,與第23感度調整構造21_23同樣地,能獲得更均一之感度特性。進而,第29感度調整構造21_29能藉由呈橫線形狀且為擴大構造之像素內槽22h,更強勁地助力於感度提高。
圖32係表示第30感度調整構造21_30之構成例之圖。
如圖32所示,於第30感度調整構造21_30中,利用了呈沿著像素12之縱向延伸之縱線形狀且為擴大構造之像素內槽22i。
而且,第30感度調整構造21_30與圖26之第24感度調整構造21_24同樣地,以如下配置圖案構成,即:對4×4排列之16個像素12-1至12-16中配置於中央2行之8處之像素12設置有呈縱線形狀且為擴大構造之像素內槽22i。
因此,藉由對綠色之同色像素群13Gb應用第30感度調整構造21_30,與第24感度調整構造21_24同樣地,能獲得更均一之感度特性。進而,第30感度調整構造21_30能藉由呈橫線形狀且為擴大構造之像素內槽22h,更強勁地助力於感度提高。
圖33係表示第31感度調整構造21_31之構成例之圖。
如圖33所示,於第31感度調整構造21_31中,利用了呈沿著像素12之縱向及橫向延伸之線彼此於中央部交叉之十字形狀且為擴大構造之像素內槽22f、及呈沿著像素12之橫向延伸之橫線形狀且為擴大構造之像素內槽22h。
而且,第31感度調整構造21_31與圖27之第25感度調整構造21_25同樣地,以如下配置圖案構成,即:對4×4排列之16個像素12-1至12-16中配置於上邊4處之像素12及配置於下邊4處之像素12設置有呈十字形狀且為擴大構造之像素內槽22f,對配置於中央2列之8處之像素12設置有呈橫線形狀且為擴大構造之像素內槽22h。
因此,藉由對綠色之同色像素群13Gr應用第31感度調整構造21_31,與第25感度調整構造21_25同樣地,能獲得更均一之感度特性。進而,第31感度調整構造21_31能藉由呈十字形狀且為擴大構造之像素內槽22f及呈橫線形狀且為擴大構造之像素內槽22h,助力於感度提高。
圖34係表示第32感度調整構造21_32之構成例之圖。
如圖34所示,於第32感度調整構造21_32中,利用了呈沿著像素12之縱向及橫向延伸之線彼此於中央部交叉之十字形狀且為擴大構造之像素內槽22f、及呈沿著像素12之縱向延伸之縱線形狀且為擴大構造之像素內槽22i。
而且,第32感度調整構造21_32與圖28之第26感度調整構造21_26同樣地,以如下配置圖案構成,即:對4×4排列之16個像素12-1至12-16中配置於左邊4處之像素12及配置於右邊4處之像素12設置有呈十字形狀且為擴大構造之像素內槽22f,對配置於中央2行之8處之像素12設置有呈縱線形狀且為擴大構造之像素內槽22i。
因此,藉由對綠色之同色像素群13Gb應用第32感度調整構造21_32,與第26感度調整構造21_26同樣地,能獲得更均一之感度特性。進而,第32感度調整構造21_32能藉由呈十字形狀且為擴大構造之像素內槽22f及呈縱線形狀且為擴大構造之像素內槽22i,助力於感度提高。
圖35係表示第33感度調整構造21_33之構成例之圖。
如圖35所示,於第33感度調整構造21_33中,利用了大致圓點形狀之像素內槽22k。例如,點形狀之像素內槽22k對設置有點形狀之像素內槽22k之像素12,具備能使光更強烈地散射而擴大光程長度,從而大幅度地提高該像素12之感度之功能。又,點形狀之像素內槽22k對與設置有點形狀之像素內槽22k之像素12上下、左右及斜向鄰接之其他像素12,具備使散射之光入射,從而提高該等其他像素12之感度之功能,藉此能消除與該等鄰接之其他像素12之間之感度階差。
第33感度調整構造21_33以如下配置圖案構成,即:對4×4排列之16個像素12-1至12-16,全部於像素12之大致中央之位置設置有點形狀之像素內槽22k。即,於第33感度調整構造21_33中,點形狀之像素內槽22k-1至22k-16設置於像素12-1至12-16各自之大致中央之位置。
因此,藉由對同色像素群13應用第33感度調整構造21_33,能提高同色像素群13之整體感度。
圖36係表示第34感度調整構造21_34之構成例之圖。
如圖36所示,於第34感度調整構造21_34中,利用了大致圓點形狀之像素內槽22k。
第34感度調整構造21_34以如下配置圖案構成,即:對4×4排列之16個像素12-1至12-16,全部於從像素12之中央往朝向晶載透鏡14之中心軸之方向偏移的位置設置有點形狀之像素內槽22k。即,於第34感度調整構造21_34中,點形狀之像素內槽22k-1至22k-16設置於從像素12-1至12-16各自之中央往朝向各自所對應之晶載透鏡14之中心軸之方向偏移的位置。
例如,在配置於晶載透鏡14之左上側之像素21-1中,點形狀之像素內槽22k-1設置於從像素21-1之中央往朝向晶載透鏡14之中心軸之右下方向偏移的位置。同樣地,在配置於晶載透鏡14之右上側之像素21-2中,點形狀之像素內槽22k-2設置於從像素21-2之中央往朝向晶載透鏡14之中心軸之左下方向偏移的位置。又,在配置於晶載透鏡14之左下側之像素21-5中,點形狀之像素內槽22k-5設置於從像素21-5之中央往朝向晶載透鏡14之中心軸之右上方向偏移的位置。同樣地,在配置於晶載透鏡14之右下側之像素21-6中,點形狀之像素內槽22k-6設置於從像素21-6之中央往朝向晶載透鏡14之中心軸之左上方向偏移的位置。
因此,藉由對同色像素群13應用第34感度調整構造21_34,能提高同色像素群13之整體感度。尤其係第34感度調整構造21_34藉由在從像素21之中央往朝向晶載透鏡14之中心軸之方向偏移的位置配置點形狀之像素內槽22k,能使光高效地散射,從而提高感度。
圖37係表示第35感度調整構造21_35之構成例之圖。
如圖37所示,於第35感度調整構造21_35中,利用了大致圓點形狀之像素內槽22k。
第35感度調整構造21_35以如下配置圖案構成,即:對4×4排列之16個像素12-1至12-16中配置於中央部之2×2排列之4處之像素12,於從像素12之中央往朝向晶載透鏡14之中心軸之方向偏移的位置設置有點形狀之像素內槽22k。
即,於第35感度調整構造21_35中,點形狀之像素內槽22k-1設置於從像素21-6之中央往朝向晶載透鏡14之中心軸之左上方向偏移的位置,點形狀之像素內槽22k-2設置於從像素12-7之中央往朝向晶載透鏡14之中心軸之右上方向偏移的位置。進而,點形狀之像素內槽22k-3設置於從像素12-10之中央往朝向晶載透鏡14之中心軸之左下方向偏移的位置,點形狀之像素內槽22k-4設置於從像素12-11之中央往朝向晶載透鏡14之中心軸之右下方向偏移的位置。
因此,藉由對紅色之同色像素群13R及藍色之同色像素群13B應用第35感度調整構造21_35,能提高配置於中央部之2×2排列之4處且有低感度傾向之像素12之感度。藉此,攝像元件11能抑制紅色之同色像素群13R及藍色之同色像素群13B中之每個像素12之感度差,從而獲得更均一之感度特性。
圖38係表示第36感度調整構造21_36之構成例之圖。
如圖38所示,於第36感度調整構造21_36中,利用了大致圓點形狀之像素內槽22k。
第36感度調整構造21_36以如下配置圖案構成,即:對4×4排列之16個像素12-1至12-16中配置於中央部之2×2排列之4處之像素12,於像素12之大致中央之位置設置有點形狀之像素內槽22k。即,於第36感度調整構造21_36中,點形狀之像素內槽22k-1設置於像素21-6之大致中央之位置,點形狀之像素內槽22k-2設置於像素12-7之大致中央之位置,點形狀之像素內槽22k-3設置於像素12-10之大致中央之位置,點形狀之像素內槽22k-4設置於像素12-11之大致中央之位置。
因此,藉由對紅色之同色像素群13R及藍色之同色像素群13B應用第36感度調整構造21_36,能提高配置於中央部之2×2排列之4處且有低感度傾向之像素12之感度。藉此,攝像元件11能抑制紅色之同色像素群13R及藍色之同色像素群13B中之每個像素12之感度差,從而獲得更均一之感度特性。
圖39係表示第37感度調整構造21_37之構成例之圖。
如圖39所示,於第37感度調整構造21_37中,利用了大致圓點形狀之像素內槽22k。
第37感度調整構造21_37以如下配置圖案構成,即:對4×4排列之16個像素12-1至12-16中配置於上邊4處之像素12及配置於下邊4處之像素12,於從像素12之中央往朝向晶載透鏡14之中心軸之方向偏移的位置設置有點形狀之像素內槽22k。
即,於第37感度調整構造21_37中,點形狀之像素內槽22k-1設置於從像素21-1之中央往朝向晶載透鏡14之中心軸之右下方向偏移的位置,點形狀之像素內槽22k-2設置於從像素21-2之中央往朝向晶載透鏡14之中心軸之左下方向偏移的位置。進而,點形狀之像素內槽22k-3設置於從像素21-3之中央往朝向晶載透鏡14之中心軸之右下方向偏移的位置,點形狀之像素內槽22k-4設置於從像素21-4之中央往朝向晶載透鏡14之中心軸之左下方向偏移的位置。進而,點形狀之像素內槽22k-5設置於從像素21-13之中央往朝向晶載透鏡14之中心軸之右上方向偏移的位置,點形狀之像素內槽22k-6設置於從像素21-14之中央往朝向晶載透鏡14之中心軸之左上方向偏移的位置。進而,點形狀之像素內槽22k-7設置於從像素21-15之中央往朝向晶載透鏡14之中心軸之右上方向偏移的位置,點形狀之像素內槽22k-8設置於從像素21-16之中央往朝向晶載透鏡14之中心軸之左上方向偏移的位置。
因此,藉由對綠色之同色像素群13Gr應用第37感度調整構造21_37,能提高配置於上邊4處且有低感度傾向之像素12及配置於下邊4處且有低感度傾向之像素12之感度。藉此,攝像元件11能抑制綠色之同色像素群13Gr中之每個像素12之感度差,從而獲得更均一之感度特性。
圖40係表示第38感度調整構造21_38之構成例之圖。
如圖40所示,於第38感度調整構造21_38中,利用了大致圓點形狀之像素內槽22k。
第38感度調整構造21_38以如下配置圖案構成,即:對4×4排列之16個像素12-1至12-16中配置於左邊4處之像素12及配置於右邊4處之像素12,於從像素12之中央往朝向晶載透鏡14之中心軸之方向偏移的位置設置有點形狀之像素內槽22k。
即,於第38感度調整構造21_38中,點形狀之像素內槽22k-1設置於從像素21-1之中央往朝向晶載透鏡14之中心軸之右下方向偏移的位置,點形狀之像素內槽22k-2設置於從像素21-4之中央往朝向晶載透鏡14之中心軸之左下方向偏移的位置。進而,點形狀之像素內槽22k-3設置於從像素21-5之中央往朝向晶載透鏡14之中心軸之右上方向偏移的位置,點形狀之像素內槽22k-4設置於從像素21-8之中央往朝向晶載透鏡14之中心軸之左上方向偏移的位置。進而,點形狀之像素內槽22k-5設置於從像素21-9之中央往朝向晶載透鏡14之中心軸之右下方向偏移的位置,點形狀之像素內槽22k-6設置於從像素21-12之中央往朝向晶載透鏡14之中心軸之左下方向偏移的位置。進而,點形狀之像素內槽22k-7設置於從像素21-13之中央往朝向晶載透鏡14之中心軸之右上方向偏移的位置,點形狀之像素內槽22k-8設置於從像素21-16之中央往朝向晶載透鏡14之中心軸之左上方向偏移的位置。
因此,藉由對綠色之同色像素群13Gb應用第38感度調整構造21_38,能提高配置於左邊4處且有低感度傾向之像素12及配置於右邊4處且有低感度傾向之像素12之感度。藉此,攝像元件11能抑制綠色之同色像素群13Gb中之每個像素12之感度差,從而獲得更均一之感度特性。
圖41係表示第39感度調整構造21_39之構成例之圖。
如圖41所示,於第39感度調整構造21_39中,利用了大致圓點形狀之像素內槽22k。
第39感度調整構造21_39以如下配置圖案構成,即:對4×4排列之16個像素12-1至12-16中配置於左邊4處之像素12及配置於右邊4處之像素12,於像素12之大致中央之位置設置有點形狀之像素內槽22k。
即,於第39感度調整構造21_39中,點形狀之像素內槽22k-1設置於像素21-1之大致中央之位置,點形狀之像素內槽22k-2設置於像素21-4之大致中央之位置。進而,點形狀之像素內槽22k-3設置於像素21-5之大致中央之位置,點形狀之像素內槽22k-4設置於像素21-8之大致中央之位置。進而,點形狀之像素內槽22k-5設置於像素21-9之大致中央之位置,點形狀之像素內槽22k-6設置於像素21-12之大致中央之位置。進而,點形狀之像素內槽22k-7設置於像素21-13之大致中央之位置,點形狀之像素內槽22k-8設置於像素21-16之大致中央之位置。
因此,藉由對綠色之同色像素群13Gb應用第39感度調整構造21_39,能提高配置於左邊4處且有低感度傾向之像素12及配置於右邊4處且有低感度傾向之像素12之感度。藉此,攝像元件11能抑制綠色之同色像素群13Gb中之每個像素12之感度差,從而獲得更均一之感度特性。
圖42係表示第40感度調整構造21_40之構成例之圖。
如圖42所示,於第40感度調整構造21_40中,利用了大致圓點形狀之像素內槽22k。
第40感度調整構造21_40以如下配置圖案構成,即:對4×4排列之16個像素12-1至12-16中配置於上邊4處之像素12及配置於下邊4處之像素12,於像素12之大致中央之位置設置有點形狀之像素內槽22k。即,於第40感度調整構造21_40中,點形狀之像素內槽22k-1至22k-4分別設置於像素12-1至12-4,點形狀之像素內槽22k-5至22k-8分別設置於像素12-13至12-16。
因此,藉由對綠色之同色像素群13Gr應用第40感度調整構造21_40,能提高配置於上邊4處且有低感度傾向之像素12及配置於下邊4處且有低感度傾向之像素12之感度。藉此,攝像元件11能抑制綠色之同色像素群13Gr中之每個像素12之感度差,從而獲得更均一之感度特性。
圖43係表示第41感度調整構造21_41之構成例之圖。
如圖43所示,於第41感度調整構造21_41中,利用了沿著像素12之傾斜方向延伸之斜線形狀之像素內槽22b。
第41感度調整構造21_41對4×4排列之16個像素12-1至12-16全部設置有長度方向自右上方朝向左下方之斜線形狀之像素內槽22b-1至22b-16。
因此,藉由對同色像素群13應用第41感度調整構造21_41,斜線形狀之像素內槽22b-1至22b-16會使光向垂直於長度方向之方向散射,並讓該散射之光向配置於左上側或右下側之像素12入射。其結果,例如,如參照下述圖47所說明般,能抑制感測面51之整體感度之不均。
圖44係表示第42感度調整構造21_42之構成例之圖。
如圖44所示,於第42感度調整構造21_42中,利用了沿著像素12之傾斜方向延伸之斜線形狀之像素內槽22b。
第42感度調整構造21_42對4×4排列之16個像素12-1至12-16全部設置有長度方向自左上方朝向右下方之斜線形狀之像素內槽22b-1至22b-16。
因此,藉由對同色像素群13應用第42感度調整構造21_42,斜線形狀之像素內槽22b-1至22b-16會使光向垂直於長度方向之方向散射,並讓該散射之光向配置於右上側或左下側之像素12入射。其結果,例如,如參照下述圖47所說明般,能抑制感測面51之整體感度之不均。
圖45係表示第43感度調整構造21_43之構成例之圖。
如圖45所示,於第43感度調整構造21_43中,利用了呈沿著像素12之傾斜方向延伸之斜線形狀且為擴大構造之像素內槽22g。
第43感度調整構造21_43對4×4排列之16個像素12-1至12-16全部設置有呈長度方向自右上方朝向左下方之斜線形狀且為擴大構造之像素內槽22g-1至22g-16。
因此,藉由對同色像素群13應用第43感度調整構造21_43,呈斜線形狀且為擴大構造之像素內槽22g-1至22g-16會使光向垂直於長度方向之方向散射,並讓該散射之光向配置於左上側或右下側之像素12入射。其結果,例如,如參照下述圖47所說明般,能抑制感測面51之整體感度之不均。
圖46係表示第44感度調整構造21_44之構成例之圖。
如圖46所示,於第44感度調整構造21_44中,利用了呈沿著像素12之傾斜方向延伸之斜線形狀且為擴大構造之像素內槽22g。
第44感度調整構造21_44對4×4排列之16個像素12-1至12-16全部設置有呈長度方向自左上方朝向右下方之斜線形狀且為擴大構造之像素內槽22g-1至22g-16。
因此,藉由對同色像素群13應用第44感度調整構造21_44,呈斜線形狀且為擴大構造之像素內槽22g-1至22g-16會使光向垂直於長度方向之方向散射,並讓該散射之光向配置於右上側或左下側之像素12入射。其結果,例如,如參照下述圖47所說明般,能抑制感測面51之整體感度之不均。
此處,參照圖47,對第43感度調整構造21_43及第44感度調整構造21_44之配置例進行說明。再者,第41感度調整構造21_41及第42感度調整構造21_42亦同樣如此配置。
於如圖47所示之感測面51上,第43感度調整構造21_43配置於左上角區域及右下角區域,第44感度調整構造21_44配置於右上角區域及左下角區域。
又,於感測面51之上邊之中央附近區域,配置如下配置圖案之感度調整構造21,即:對4×4排列之16個像素12-1至12-16全部設置有呈沿著像素12之橫向延伸之橫線形狀且為擴大構造之像素內槽22h-1至22h-16。然後,配置像素內槽22之線之斜率以如下方式加以調整後之感度調整構造21,即:隨著自感測面51之上邊之中央附近區域向左上角區域移動,像素內槽22之線緩慢地如第43感度調整構造21_43般自右上方朝左下方傾斜。同樣地,配置像素內槽22之線之斜率以如下方式加以調整後之感度調整構造21,即:隨著自感測面51之上邊之中央附近區域向右上角區域移動,像素內槽22之線緩慢地如第44感度調整構造21_44般自左上方朝右下方傾斜。再者,感測面51之下邊亦與感測面51之上邊同樣地,配置設置有線之斜率加以調整後之像素內槽22之感度調整構造21。
又,於感測面51之左邊之中央附近區域,配置如下配置圖案之同色像素群13,即:對4×4排列之16個像素12-1至12-16全部設置有呈沿著像素12之縱向延伸之縱線形狀且為擴大構造之像素內槽22i-1至22i-16。然後,配置像素內槽22之線之斜率以如下方式加以調整後之感度調整構造21,即:隨著自感測面51之左邊之中央附近區域向左上角區域移動,像素內槽22之線緩慢地如第43感度調整構造21_43般自右上方朝左下方傾斜。同樣地,配置像素內槽22之線之斜率以如下方式加以調整後之感度調整構造21,即:隨著自感測面51之左邊之中央附近區域向左下角區域移動,像素內槽22之線緩慢地如第44感度調整構造21_44般自左上方朝右下方傾斜。再者,感測面51之右邊亦與感測面51之左邊同樣地,配置設置有線之斜率加以調整後之像素內槽22之感度調整構造21。
藉由如此般根據感測面51之像高來調整像素內槽22之線之斜率,能使向感測面51入射之入射光無論以何種視角進入,所得投影之方向性皆一樣。其結果,能抑制自感測面51之整體觀察時散射不均衡,從而能抑制自感測面51之整體觀察時感度不均。
圖48係表示第45感度調整構造21_45之構成例之圖。圖48之A中示出了俯視構成同色像素群13之16個像素12-1至12-16所見之第45感度調整構造21_45之構成例。圖48之B中示出了圖48之A所圖示之A1-A2剖面上的第45感度調整構造21_45之構成例。
如圖48之A所示,於第45感度調整構造21_45中,利用了以寬間距設置有沿著像素12之縱向及橫向延伸之複數個線之格子形狀之像素內槽22m、以及以窄間距設置有沿著像素12之縱向及橫向延伸之複數個線之格子形狀之像素內槽22n。
例如,寬間距之格子形狀之像素內槽22m及窄間距之格子形狀之像素內槽22n對設置有寬間距之格子形狀之像素內槽22m及窄間距之格子形狀之像素內槽22n之像素12,具備能使光更強烈地散射而擴大光程長度,從而大幅度地提高該像素12之感度之功能。又,寬間距之格子形狀之像素內槽22m及窄間距之格子形狀之像素內槽22n對與設置有寬間距之格子形狀之像素內槽22m及窄間距之格子形狀之像素內槽22n之像素12上下及左右鄰接之其他像素12,具備使藉由寬間距之格子形狀之像素內槽22m及窄間距之格子形狀之像素內槽22n而散射之光入射,從而提高該等其他像素12之感度之功能。
又,入射至寬間距之格子形狀之像素內槽22m之光的散射角度θ、及入射至窄間距之格子形狀之像素內槽22n之光的散射角度θ係使用格子之間距d、光之波長λ及整數m,以sinθ=mλ/d來表達。因此,如圖48之B中之空心箭頭所示,入射至寬間距之格子形狀之像素內槽22m之光的散射角度θ小於入射至窄間距之格子形狀之像素內槽22n之光的散射角度θ。
第45感度調整構造21_45以如下配置圖案構成,即:對4×4排列之16個像素12-1至12-16中配置於周圍部之12處之像素12配置有寬間距之格子形狀之像素內槽22m,對配置於中央部之2×2排列之4處之像素12設置有窄間距之格子形狀之像素內槽22n。
即,於第45感度調整構造21_45中,寬間距之格子形狀之像素內槽22m-1至22m-5分別設置於像素12-1至12-5,寬間距之格子形狀之像素內槽22m-6設置於像素12-8,寬間距之格子形狀之像素內槽22m-7設置於像素12-9,寬間距之格子形狀之像素內槽22m-8至22m-12分別設置於像素12-12至12-16。進而,窄間距之格子形狀之像素內槽22n-1設置於像素12-6,窄間距之格子形狀之像素內槽22n-2設置於像素12-7,窄間距之格子形狀之像素內槽22n-3設置於像素12-10,窄間距之格子形狀之像素內槽22n-4設置於像素12-11。
因此,藉由對紅色之同色像素群13R及藍色之同色像素群13B應用第45感度調整構造21_45,能提高配置於中央部之2×2排列之4處且有低感度傾向之像素12之感度。即,窄間距之格子形狀之像素內槽22n能使入射至配置於中央部之2×2排列之4處的像素12之光散射,讓該光之光程長度擴大,藉此提高感度。由此,攝像元件11能抑制紅色之同色像素群13R及藍色之同色像素群13B中之每個像素12之感度差,從而獲得更均一之感度特性。再者,藉由在周圍部設置光之散射角度θ較小的寬間距之格子形狀之像素內槽22m,能抑制混色。
圖49係表示第46感度調整構造21_46之構成例之圖。
如圖49所示,於第46感度調整構造21_46中,利用了窄間距之格子形狀之像素內槽22n。
第46感度調整構造21_46以對4×4排列之16個像素12-1至12-16全部設置有窄間距之格子形狀之像素內槽22n之配置圖案構成。即,於第46感度調整構造21_46中,窄間距之格子形狀之像素內槽22n-1至22n-16分別設置於像素12-1至12-16。
因此,藉由對同色像素群13應用第46感度調整構造21_46,能提高同色像素群13之整體感度。
如圖50所示,於第47感度調整構造21_47中,利用了窄間距之格子形狀之像素內槽22n。
第47感度調整構造21_47以如下配置圖案構成,即:對4×4排列之16個像素12-1至12-16中配置於中央部之2×2排列之4處之像素12設置有窄間距之格子形狀之像素內槽22n。即,於第47感度調整構造21_47中,窄間距之格子形狀之像素內槽22n-1設置於像素12-6,窄間距之格子形狀之像素內槽22n-2設置於像素12-7,窄間距之格子形狀之像素內槽22n-3設置於像素12-10,窄間距之格子形狀之像素內槽22n-4設置於像素12-11。
因此,藉由對紅色之同色像素群13R及藍色之同色像素群13B應用第47感度調整構造21_47,能提高配置於中央部之2×2排列之4處且有低感度傾向之像素12之感度。即,窄間距之格子形狀之像素內槽22n能使入射至配置於中央部之2×2排列之4處的像素12之光散射,讓該光之光程長度擴大,藉此提高感度。由此,攝像元件11能抑制紅色之同色像素群13R及藍色之同色像素群13B中之每個像素12之感度差,從而獲得更均一之感度特性。
圖51係表示第48感度調整構造21_48之構成例之圖。
如圖51所示,於第48感度調整構造21_48中,利用了設置有沿著像素12之橫向延伸之複數個線之橫條紋狀之像素內槽22p。例如,橫條紋狀之像素內槽22p對設置有橫條紋狀之像素內槽22p之像素12,具備能使光更強烈地散射而擴大光程長度,從而提高該像素12之感度之功能。又,橫條紋狀之像素內槽22p對與設置有橫條紋狀之像素內槽22p之像素12上下鄰接之其他像素12,具備使藉由橫條紋狀之像素內槽22p而散射之光入射,從而一定程度地提高該等其他像素12之感度之功能。
第48感度調整構造21_48以如下配置圖案構成,即:對4×4排列之16個像素12-1至12-16中配置於中央2列之8處之像素12設置有橫條紋狀之像素內槽22p。即,於第48感度調整構造21_48中,橫條紋狀之像素內槽22p-1至22p-4分別設置於像素12-5至12-8,橫條紋狀之像素內槽22p-5至22p-8分別設置於像素12-9至12-12。
因此,藉由對綠色之同色像素群13Gr應用第48感度調整構造21_48,能提高配置於上邊4處且有低感度傾向之像素12及配置於下邊4處且有低感度傾向之像素12之感度。即,橫條紋狀之像素內槽22p能使入射至配置於中央2列之8處之像素12之光向上下方向散射,讓該光向配置於上邊4處之像素12及配置於下邊4處之像素12入射,藉此提高感度。由此,攝像元件11能抑制綠色之同色像素群13Gr中之每個像素12之感度差,從而獲得更均一之感度特性。
圖52係表示第49感度調整構造21_49之構成例之圖。
如圖52所示,於第49感度調整構造21_49中,利用了設置有沿著像素12之縱向延伸之複數個線之縱條紋狀之像素內槽22q。例如,縱條紋狀之像素內槽22q對設置有縱條紋狀之像素內槽22q之像素12,具備能使光散射而擴大光程長度,從而提高該像素12之感度之功能。又,縱條紋狀之像素內槽22q對與設置有縱條紋狀之像素內槽22q之像素12左右鄰接之其他像素12,具備使藉由縱條紋狀之像素內槽22q而散射之光入射,從而一定程度地提高該等其他像素12之感度之功能。
第49感度調整構造21_49以如下配置圖案構成,即:對4×4排列之16個像素12-1至12-16中配置於中央2行之8處之像素12設置有縱條紋狀之像素內槽22q。即,於第49感度調整構造21_49中,縱條紋狀之像素內槽22q-1設置於像素12-2,縱條紋狀之像素內槽22q-2設置於像素12-3,縱條紋狀之像素內槽22q-3設置於像素12-6,縱條紋狀之像素內槽22q-4設置於像素12-7。進而,縱條紋狀之像素內槽22q-5設置於像素12-10,縱條紋狀之像素內槽22q-6設置於像素12-11,縱條紋狀之像素內槽22q-7設置於像素12-14,縱條紋狀之像素內槽22q-8設置於像素12-15。
因此,藉由對綠色之同色像素群13Gb應用第49感度調整構造21_49,能提高配置於左邊4處且有低感度傾向之像素12及配置於右邊4處且有低感度傾向之像素12之感度。即,縱條紋狀之像素內槽22q能使入射至配置於中央2行之8處之像素12之光向左右方向散射,讓該光向配置於左邊4處之像素12及配置於右邊4處之像素12入射,藉此提高感度。由此,攝像元件11能抑制綠色之同色像素群13Gb中之每個像素12之感度差,從而獲得更均一之感度特性。
圖53係表示第50感度調整構造21_50之構成例之圖。
如圖53所示,於第50感度調整構造21_50中,利用了以窄間距設置有沿著像素12之縱向及橫向延伸之複數個線之格子形狀之像素內槽22n、及設置有沿著像素12之縱向延伸之複數個線之縱條紋狀之像素內槽22q。
第50感度調整構造21_50以如下配置圖案構成,即:對4×4排列之16個像素12-1至12-16中配置於左邊4處之像素12及配置於右邊4處之像素12設置有窄間距之格子形狀之像素內槽22n,對配置於中央2行之8處之像素12設置有縱條紋狀之像素內槽22q。
即,於第50感度調整構造21_50中,窄間距之格子形狀之像素內槽22n-1設置於像素21-1,窄間距之格子形狀之像素內槽22n-2設置於像素21-4,窄間距之格子形狀之像素內槽22n-3設置於像素21-5,窄間距之格子形狀之像素內槽22n-4設置於像素21-8。進而,窄間距之格子形狀之像素內槽22n-5設置於像素21-9,窄間距之格子形狀之像素內槽22n-6設置於像素21-12,窄間距之格子形狀之像素內槽22n-7設置於像素21-13,窄間距之格子形狀之像素內槽22n-8設置於像素21-16。進而,縱條紋狀之像素內槽22q-1設置於像素12-2,縱條紋狀之像素內槽22q-2設置於像素12-3,縱條紋狀之像素內槽22q-3設置於像素12-6,縱條紋狀之像素內槽22q-4設置於像素12-7。進而,縱條紋狀之像素內槽22q-5設置於像素12-10,縱條紋狀之像素內槽22q-6設置於像素12-11,縱條紋狀之像素內槽22q-7設置於像素12-14,縱條紋狀之像素內槽22q-8設置於像素12-15。
因此,藉由對綠色之同色像素群13Gb應用第50感度調整構造21_50,能提高配置於左邊4處且有低感度傾向之像素12及配置於右邊4處且有低感度傾向之像素12之感度。即,縱條紋狀之像素內槽22q能使入射至配置於中央2行之8處之像素12之光向左右方向散射,讓該光向配置於左邊4處之像素12及配置於右邊4處之像素12入射,藉此提高感度。進而,窄間距之格子形狀之像素內槽22n能使入射至配置於左邊4處之像素12及配置於右邊4處之像素12之光散射,讓該光之光程長度擴大,藉此提高感度。由此,攝像元件11能抑制綠色之同色像素群13Gb中之每個像素12之感度差,從而獲得更均一之感度特性。
圖54係表示第51感度調整構造21_51之構成例之圖。
如圖54所示,於第51感度調整構造21_51中,利用了以窄間距設置有沿著像素12之縱向及橫向延伸之複數個線之格子形狀之像素內槽22n、及設置有沿著像素12之橫向延伸之複數個線之橫條紋狀之像素內槽22p。
第51感度調整構造21_51以如下配置圖案構成,即:對4×4排列之16個像素12-1至12-16中配置於上邊4處之像素12及配置於下邊4處之像素12設置有窄間距之格子形狀之像素內槽22n,對配置於中央2列之8處之像素12設置有橫條紋狀之像素內槽22p。
即,於第51感度調整構造21_51中,窄間距之格子形狀之像素內槽22n-1至22n-4分別設置於像素12-1至12-4,窄間距之格子形狀之像素內槽22n-5至22n-8分別設置於像素12-13至12-16。進而,橫條紋狀之像素內槽22p-1至22p-4分別設置於像素12-5至12-8,橫條紋狀之像素內槽22p-5至22p-8分別設置於像素12-9至12-12。
因此,藉由對綠色之同色像素群13Gr應用第51感度調整構造21_51,能提高配置於上邊4處且有低感度傾向之像素12及配置於下邊4處且有低感度傾向之像素12之感度。即,橫條紋狀之像素內槽22p能使入射至配置於中央2列之8處之像素12之光向上下方向散射,讓該光向配置於上邊4處之像素12及配置於下邊4處之像素12入射,藉此提高感度。進而,窄間距之格子形狀之像素內槽22n能使入射至配置於上邊4處之像素12及配置於下邊4處之像素12之光散射,讓該光之光程長度擴大,藉此提高感度。由此,攝像元件11能抑制綠色之同色像素群13Gr中之每個像素12之感度差,從而獲得更均一之感度特性。
圖55係表示第52感度調整構造21_52之構成例之圖。
如圖55所示,於第52感度調整構造21_52中,利用了以窄間距設置有沿著像素12之縱向及橫向延伸之複數個線之格子形狀之像素內槽22n。
第52感度調整構造21_52以如下配置圖案構成,即:對4×4排列之16個像素12-1至12-16中配置於上邊4處之像素12及配置於下邊4處之像素12設置有窄間距之格子形狀之像素內槽22n。
即,於第52感度調整構造21_52中,窄間距之格子形狀之像素內槽22n-1至22n-4分別設置於像素12-1至12-4,窄間距之格子形狀之像素內槽22n-5至22n-8分別設置於像素12-13至12-16。
因此,藉由對綠色之同色像素群13Gr應用第52感度調整構造21_52,能提高配置於上邊4處且有低感度傾向之像素12及配置於下邊4處且有低感度傾向之像素12之感度。即,窄間距之格子形狀之像素內槽22n能使入射至配置於上邊4處之像素12及配置於下邊4處之像素12之光散射,讓該光之光程長度擴大,藉此提高感度。由此,攝像元件11能抑制綠色之同色像素群13Gr中之每個像素12之感度差,從而獲得更均一之感度特性。
圖56係表示第53感度調整構造21_53之構成例之圖。
如圖56所示,於第53感度調整構造21_53中,利用了以窄間距設置有沿著像素12之縱向及橫向延伸之複數個線之格子形狀之像素內槽22n。
第53感度調整構造21_53以如下配置圖案構成,即:對4×4排列之16個像素12-1至12-16中配置於左邊4處之像素12及配置於右邊4處之像素12設置有窄間距之格子形狀之像素內槽22n。
即,於第53感度調整構造21_53中,窄間距之格子形狀之像素內槽22n-1設置於像素21-1,窄間距之格子形狀之像素內槽22n-2設置於像素21-4,窄間距之格子形狀之像素內槽22n-3設置於像素21-5,窄間距之格子形狀之像素內槽22n-4設置於像素21-8。進而,窄間距之格子形狀之像素內槽22n-5設置於像素21-10,窄間距之格子形狀之像素內槽22n-6設置於像素21-12,窄間距之格子形狀之像素內槽22n-7設置於像素21-13,窄間距之格子形狀之像素內槽22n-8設置於像素21-16。
因此,藉由對綠色之同色像素群13Gb應用第50感度調整構造21_50,能提高配置於左邊4處且有低感度傾向之像素12及配置於右邊4處且有低感度傾向之像素12之感度。即,窄間距之格子形狀之像素內槽22n能使入射至配置於左邊4處之像素12及配置於右邊4處之像素12之光散射,讓該光之光程長度擴大,藉此提高感度。由此,攝像元件11能抑制綠色之同色像素群13Gb中之每個像素12之感度差,從而獲得更均一之感度特性。
圖57係表示第54感度調整構造21_54之構成例之圖。
如圖57所示,於第54感度調整構造21_54中,利用了以寬間距設置有沿著像素12之縱向及橫向延伸之複數個線之格子形狀之像素內槽22m、以及以窄間距設置有沿著像素12之縱向及橫向延伸之複數個線之格子形狀之像素內槽22n。
第54感度調整構造21_54以如下配置圖案構成,即:對4×4排列之16個像素12-1至12-16中配置於左邊4處之像素12及配置於右邊4處之像素12設置有窄間距之格子形狀之像素內槽22n,對配置於中央2行之8處之像素12設置有寬間距之格子形狀之像素內槽22m。
即,於第54感度調整構造21_54中,窄間距之格子形狀之像素內槽22n-1設置於像素21-1,窄間距之格子形狀之像素內槽22n-2設置於像素21-4,窄間距之格子形狀之像素內槽22n-3設置於像素21-5,窄間距之格子形狀之像素內槽22n-4設置於像素21-8。進而,窄間距之格子形狀之像素內槽22n-5設置於像素21-9,窄間距之格子形狀之像素內槽22n-6設置於像素21-12,窄間距之格子形狀之像素內槽22n-7設置於像素21-13,窄間距之格子形狀之像素內槽22n-8設置於像素21-16。進而,寬間距之格子形狀之像素內槽22m-1設置於像素12-2,寬間距之格子形狀之像素內槽22m-2設置於像素12-3,寬間距之格子形狀之像素內槽22m-3設置於像素12-6,寬間距之格子形狀之像素內槽22m-4設置於像素12-7。進而,寬間距之格子形狀之像素內槽22m-5設置於像素12-10,寬間距之格子形狀之像素內槽22m-6設置於像素12-11,寬間距之格子形狀之像素內槽22m-7設置於像素12-14,寬間距之格子形狀之像素內槽22m-8設置於像素12-15。
因此,藉由對綠色之同色像素群13Gb應用第54感度調整構造21_54,能提高配置於左邊4處且有低感度傾向之像素12及配置於右邊4處且有低感度傾向之像素12之感度。即,藉由窄間距之格子形狀之像素內槽22n,能大幅度地提高配置於左邊4處之像素12及配置於右邊4處之像素12之感度,藉由寬間距之格子形狀之像素內槽22m,能中等程度地提高配置於中央2行之8處的像素12之感度。藉此,攝像元件11能抑制綠色之同色像素群13Gb中之每個像素12之感度差,從而獲得更均一之感度特性。
圖58係表示第55感度調整構造21_55之構成例之圖。
如圖58所示,於第55感度調整構造21_55中,利用了以寬間距設置有沿著像素12之縱向及橫向延伸之複數個線之格子形狀之像素內槽22m、以及以窄間距設置有沿著像素12之縱向及橫向延伸之複數個線之格子形狀之像素內槽22n。
第55感度調整構造21_55以如下配置圖案構成,即:對4×4排列之16個像素12-1至12-16中配置於上邊4處之像素12及配置於下邊4處之像素12設置有窄間距之格子形狀之像素內槽22n,對配置於中央2列之8處之像素12設置有寬間距之格子形狀之像素內槽22m。
即,於第55感度調整構造21_55中,窄間距之格子形狀之像素內槽22n-1至22n-4分別設置於像素12-1至12-4,窄間距之格子形狀之像素內槽22n-5至22n-8分別設置於像素12-13至12-16。進而,寬間距之格子形狀之像素內槽22m-1至22m-4分別設置於像素12-5至12-8,寬間距之格子形狀之像素內槽22m-5至22m-8分別設置於像素12-9至12-12。
因此,藉由對綠色之同色像素群13Gr應用第55感度調整構造21_55,能提高配置於上邊4處且有低感度傾向之像素12及配置於下邊4處且有低感度傾向之像素12之感度。即,藉由窄間距之格子形狀之像素內槽22n,能大幅度地提高配置於上邊4處之像素12及配置於下邊4處之像素12之感度,藉由寬間距之格子形狀之像素內槽22m,能中等程度地提高配置於中央2列之8處的像素12之感度。藉此,攝像元件11能抑制綠色之同色像素群13Gr中之每個像素12之感度差,從而獲得更均一之感度特性。
圖59係表示第56感度調整構造21_56之構成例之圖。圖59之A中示出了俯視構成同色像素群13之16個像素12-1至12-16所見之第56感度調整構造21_56之構成例。圖59之B中示出了圖59之A所圖示之A1-A2剖面上的第56感度調整構造21_56之構成例,圖59之C中示出了圖59之A所圖示之B1-B2剖面上的第56感度調整構造21_56之構成例。
如圖59所示,於第56感度調整構造21_56中,利用了以窄間距設置有複數個凹部之多凹部形狀之像素內槽22r、及以寬間距設置有複數個凹部之多凹部形狀之像素內槽22s。例如,藉由對單晶矽加以異方性蝕刻,能利用晶體之規則性形成複數個倒稜錐形狀之凹部。
例如,窄間距之多凹部形狀之像素內槽22r及寬間距之多凹部形狀之像素內槽22s對設置有窄間距之多凹部形狀之像素內槽22r及寬間距之多凹部形狀之像素內槽22s之像素12,具備能使光散射而擴大光程長度,從而大幅度地提高該像素12之感度之功能。又,窄間距之多凹部形狀之像素內槽22r及寬間距之多凹部形狀之像素內槽22s對與設置有窄間距之多凹部形狀之像素內槽22r及寬間距之多凹部形狀之像素內槽22s之像素12上下及左右鄰接之其他像素12,具備使藉由窄間距之多凹部形狀之像素內槽22r及寬間距之多凹部形狀之像素內槽22s而散射之光入射,從而提高該等其他像素12之感度之功能。
第56感度調整構造21_56以如下配置圖案構成,即:對4×4排列之16個像素12-1至12-16中配置於周圍部之12處之像素12配置有窄間距之多凹部形狀之像素內槽22r,對配置於中央部之2×2排列之4處之像素12設置有寬間距之多凹部形狀之像素內槽22s。
即,於第56感度調整構造21_56中,窄間距之多凹部形狀之像素內槽22r-1至22r-5分別設置於像素12-1至12-5,窄間距之多凹部形狀之像素內槽22r-6設置於像素12-8,窄間距之多凹部形狀之像素內槽22r-7設置於像素12-9,窄間距之多凹部形狀之像素內槽22r-8至22r-12分別設置於像素12-12至12-16。進而,寬間距之多凹部形狀之像素內槽22s-1設置於像素12-6,寬間距之多凹部形狀之像素內槽22s-2設置於像素12-7,寬間距之多凹部形狀之像素內槽22s-3設置於像素12-10,寬間距之多凹部形狀之像素內槽22s-4設置於像素12-11。
因此,藉由對紅色之同色像素群13R及藍色之同色像素群13B應用第56感度調整構造21_56,能提高配置於中央部之2×2排列之4處且有低感度傾向之像素12之感度。即,寬間距之多凹部形狀之像素內槽22s能大幅度地提高配置於中央部之2×2排列之4處的像素12之感度,藉由窄間距之多凹部形狀之像素內槽22r,能中等程度地提高配置於周圍部之12處之像素12之感度。藉此,攝像元件11能抑制紅色之同色像素群13R及藍色之同色像素群13B中之每個像素12之感度差,從而獲得更均一之感度特性。
圖60係表示第57感度調整構造21_57之構成例之圖。
如圖60所示,於第57感度調整構造21_57中,利用了以寬間距設置有複數個凹部之多凹部形狀之像素內槽22s。
第57感度調整構造21_57以如下配置圖案構成,即:對4×4排列之16個像素12-1至12-16中配置於中央部之2×2排列之4處之像素12設置有寬間距之多凹部形狀之像素內槽22s。即,於第57感度調整構造21_57中,寬間距之多凹部形狀之像素內槽22s-1設置於像素12-6,寬間距之多凹部形狀之像素內槽22s-2設置於像素12-7,寬間距之多凹部形狀之像素內槽22s-3設置於像素12-10,寬間距之多凹部形狀之像素內槽22s-4設置於像素12-11。
因此,藉由對紅色之同色像素群13R及藍色之同色像素群13B應用第57感度調整構造21_57,能提高配置於中央部之2×2排列之4處且有低感度傾向之像素12之感度。即,寬間距之多凹部形狀之像素內槽22s能大幅度地提高配置於中央部之2×2排列之4處的像素12之感度。藉此,攝像元件11能抑制紅色之同色像素群13R及藍色之同色像素群13B中之每個像素12之感度差,從而獲得更均一之感度特性。
圖61係表示第58感度調整構造21_58之構成例之圖。
如圖61所示,於第58感度調整構造21_58中,利用了以寬間距設置有複數個凹部之多凹部形狀之像素內槽22s。
第58感度調整構造21_58以對4×4排列之16個像素12-1至12-16全部設置有寬間距之多凹部形狀之像素內槽22s之配置圖案構成。即,於第2感度調整構造21_2中,寬間距之多凹部形狀之像素內槽22s-1至22s-16分別設置於像素12-1至12-16。
因此,藉由對同色像素群13應用第58感度調整構造21_58,能提高同色像素群13之整體感度。
圖62係表示第59感度調整構造21_59之構成例之圖。
如圖62所示,於第59感度調整構造21_59中,利用了以寬間距設置有複數個凹部之多凹部形狀之像素內槽22s。
第59感度調整構造21_59以如下配置圖案構成,即:對4×4排列之16個像素12-1至12-16中配置於上邊4處之像素12及配置於下邊4處之像素12設置有寬間距之多凹部形狀之像素內槽22s。
即,於第59感度調整構造21_59中,寬間距之多凹部形狀之像素內槽22s-1至22s-4分別設置於像素12-1至12-4,寬間距之多凹部形狀之像素內槽22s-5至22s-8分別設置於像素12-13至12-16。
因此,藉由對綠色之同色像素群13Gr應用第59感度調整構造21_59,能提高配置於上邊4處且有低感度傾向之像素12及配置於下邊4處且有低感度傾向之像素12之感度。即,寬間距之多凹部形狀之像素內槽22s能使入射至配置於上邊4處之像素12及配置於下邊4處之像素12之光散射,讓該光之光程長度擴大,藉此提高感度。由此,攝像元件11能抑制綠色之同色像素群13Gr中之每個像素12之感度差,從而獲得更均一之感度特性。
圖63係表示第60感度調整構造21_60之構成例之圖。
如圖63所示,於第60感度調整構造21_60中,利用了以窄間距設置有複數個凹部之多凹部形狀之像素內槽22r、及以寬間距設置有複數個凹部之多凹部形狀之像素內槽22s。
第60感度調整構造21_60以如下配置圖案構成,即:對4×4排列之16個像素12-1至12-16中配置於上邊4處之像素12及配置於下邊4處之像素12設置有窄間距之多凹部形狀之像素內槽22r,對配置於中央2列之8處之像素12設置有寬間距之多凹部形狀之像素內槽22s。
即,於第60感度調整構造21_60中,窄間距之多凹部形狀之像素內槽22r-1至22r-4分別設置於像素12-1至12-4,窄間距之多凹部形狀之像素內槽22r-5至22r-8分別設置於像素12-13至12-16。進而,寬間距之多凹部形狀之像素內槽22s-1至22s-4分別設置於像素12-5至12-8,寬間距之多凹部形狀之像素內槽22s-5至22s-8分別設置於像素12-9至12-12。
因此,藉由對綠色之同色像素群13Gr應用第60感度調整構造21_60,能提高配置於上邊4處且有低感度傾向之像素12及配置於下邊4處且有低感度傾向之像素12之感度。即,藉由窄間距之多凹部形狀之像素內槽22r,能大幅度地提高配置於上邊4處之像素12及配置於下邊4處之像素12之感度,藉由寬間距之多凹部形狀之像素內槽22s,能中等程度地提高配置於中央2列之8處的像素12之感度。藉此,攝像元件11能抑制綠色之同色像素群13Gr中之每個像素12之感度差,從而獲得更均一之感度特性。
如圖64所示,於第61感度調整構造21_61中,利用了以寬間距設置有複數個凹部之多凹部形狀之像素內槽22s。
第61感度調整構造21_61以如下配置圖案構成,即:對4×4排列之16個像素12-1至12-16中配置於左邊4處之像素12及配置於右邊4處之像素12設置有寬間距之多凹部形狀之像素內槽22s。
即,於第61感度調整構造21_61中,寬間距之多凹部形狀之像素內槽22s-1設置於像素21-1,寬間距之多凹部形狀之像素內槽22s-2設置於像素21-4,寬間距之多凹部形狀之像素內槽22s-3設置於像素21-5,寬間距之多凹部形狀之像素內槽22s-4設置於像素21-8。進而,寬間距之多凹部形狀之像素內槽22s-5設置於像素21-10,寬間距之多凹部形狀之像素內槽22s-6設置於像素21-12,寬間距之多凹部形狀之像素內槽22s-7設置於像素21-13,寬間距之多凹部形狀之像素內槽22s-8設置於像素21-16。
因此,藉由對綠色之同色像素群13Gb應用第61感度調整構造21_61,能提高配置於左邊4處且有低感度傾向之像素12及配置於右邊4處且有低感度傾向之像素12之感度。即,寬間距之多凹部形狀之像素內槽22s能使入射至配置於左邊4處之像素12及配置於右邊4處之像素12之光散射,讓該光之光程長度擴大,藉此提高感度。由此,攝像元件11能抑制綠色之同色像素群13Gb中之每個像素12之感度差,從而獲得更均一之感度特性。
圖65係表示第62感度調整構造21_62之構成例之圖。
如圖65所示,於第62感度調整構造21_62中,利用了以窄間距設置有複數個凹部之多凹部形狀之像素內槽22r、及以寬間距設置有複數個凹部之多凹部形狀之像素內槽22s。
第62感度調整構造21_62以如下配置圖案構成,即:對4×4排列之16個像素12-1至12-16中配置於左邊4處之像素12及配置於右邊4處之像素12設置有窄間距之多凹部形狀之像素內槽22r,對配置於中央2行之8處之像素12設置有寬間距之多凹部形狀之像素內槽22s。
即,於第62感度調整構造21_62中,窄間距之多凹部形狀之像素內槽22r-1設置於像素21-1,窄間距之多凹部形狀之像素內槽22r-2設置於像素21-4,窄間距之多凹部形狀之像素內槽22r-3設置於像素21-5,窄間距之多凹部形狀之像素內槽22r-4設置於像素21-8。進而,窄間距之多凹部形狀之像素內槽22r-5設置於像素21-9,窄間距之多凹部形狀之像素內槽22r-6設置於像素21-12,窄間距之多凹部形狀之像素內槽22r-7設置於像素21-13,窄間距之多凹部形狀之像素內槽22r-8設置於像素21-16。進而,寬間距之多凹部形狀之像素內槽22s-1設置於像素12-2,寬間距之多凹部形狀之像素內槽22s-2設置於像素12-3,寬間距之多凹部形狀之像素內槽22s-3設置於像素12-6,寬間距之多凹部形狀之像素內槽22s-4設置於像素12-7。進而,寬間距之多凹部形狀之像素內槽22s-5設置於像素12-10,寬間距之多凹部形狀之像素內槽22s-6設置於像素12-11,寬間距之多凹部形狀之像素內槽22s-7設置於像素12-14,寬間距之多凹部形狀之像素內槽22s-8設置於像素12-15。
因此,藉由對綠色之同色像素群13Gb應用第62感度調整構造21_62,能提高配置於左邊4處且有低感度傾向之像素12及配置於右邊4處且有低感度傾向之像素12之感度。即,藉由窄間距之多凹部形狀之像素內槽22r,能大幅度地提高配置於左邊4處之像素12及配置於右邊4處之像素12之感度,藉由寬間距之多凹部形狀之像素內槽22s,能中等程度地提高配置於中央2行之8處的像素12之感度。藉此,攝像元件11能抑制綠色之同色像素群13Gb中之每個像素12之感度差,從而獲得更均一之感度特性。
再者,並不限定於採用如上所述之各種形狀之像素內槽22之配置圖案的感度調整構造21之構成例,而可採用各種配置圖案之感度調整構造21,只要能助力於同色像素群13中之像素12之感度差之抑制即可。
<感度調整構造之組合例> 參照圖66至圖85,對感度調整構造之組合例進行說明。
圖66及圖67係表示第1組合佈局61_1之構成例之圖。圖66中示出了俯視紅色之同色像素群13R、綠色之同色像素群13Gr、綠色之同色像素群13Gb及藍色之同色像素群13B所見之第1組合佈局61_1之構成例。圖67之A中示出了圖66所圖示之A1-A2剖面上之第1組合佈局61_1之構成例,圖67之B中示出了圖66所圖示之B1-B2剖面上之第1組合佈局61_1之構成例,圖67之C中示出了圖66所圖示之C1-C2剖面上之第1組合佈局61_1之構成例。
如圖66所示,就第1組合佈局61_1而言,於紅色之同色像素群13R中,與圖3之第1感度調整構造21_1同樣地,對配置於中央部之2×2排列之4處且有低感度傾向之像素12設置有十字形狀之像素內槽22a-1至22a-4,藉此能提高感度。進而,於綠色之同色像素群13Gr中,與圖23之第21感度調整構造21_21同樣地,對配置於上邊4處且有低感度傾向之像素12及配置於下邊4處且有低感度傾向之像素12設置有十字形狀之像素內槽22a-5至22a-12,藉此能提高感度。
進而,於綠色之同色像素群13Gb中,與圖24之第22感度調整構造21_22同樣地,對配置於左邊4處且有低感度傾向之像素12及配置於右邊4處且有低感度傾向之像素12設置有十字形狀之像素內槽22a-13至22a-20,藉此能提高感度。進而,於藍色之同色像素群13B中,與圖3之第1感度調整構造21_1同樣地,對配置於中央部之2×2排列之4處且有低感度傾向之像素12設置有十字形狀之像素內槽22a-21至22a-24,藉此能提高感度。
因此,第1組合佈局61_1藉由組合使用此種感度調整構造21,能抑制每個像素12之感度差,從而獲得更均一之感度特性。
圖68及圖69係表示第2組合佈局61_2之構成例之圖。圖68中示出了俯視紅色之同色像素群13R、綠色之同色像素群13Gr、綠色之同色像素群13Gb及藍色之同色像素群13B所見之第2組合佈局61_2之構成例。圖69之A中示出了圖68所圖示之A1-A2剖面上之第2組合佈局61_2之構成例,圖69之B中示出了圖68所圖示之B1-B2剖面上之第2組合佈局61_2之構成例,圖69之C中示出了圖68所圖示之C1-C2剖面上之第2組合佈局61_2之構成例。
如圖68所示,就第2組合佈局61_2而言,於紅色之同色像素群13R中,與圖13之第11感度調整構造21_11同樣地,對配置於中央部之2×2排列之4處且有低感度傾向之像素12設置有呈十字形狀且為擴大構造之像素內槽22f-1至22f-4,藉此能更強勁地提高感度。進而,於綠色之同色像素群13Gr中,與圖29之第27感度調整構造21_27同樣地,對配置於上邊4處且有低感度傾向之像素12及配置於下邊4處且有低感度傾向之像素12設置有呈十字形狀且為擴大構造之像素內槽22f-5至22f-12,藉此能更強勁地提高感度。
進而,於綠色之同色像素群13Gb中,與圖30之第28感度調整構造21_28同樣地,對配置於左邊4處且有低感度傾向之像素12及配置於右邊4處且有低感度傾向之像素12設置有呈十字形狀且為擴大構造之像素內槽22f-13至22f-20,藉此能更強勁地提高感度。進而,於藍色之同色像素群13B中,與圖13之第11感度調整構造21_11同樣地,對配置於中央部之2×2排列之4處且有低感度傾向之像素12設置有呈十字形狀且為擴大構造之像素內槽22f-21至22f-24,藉此能更強勁地提高感度。
因此,第2組合佈局61_2藉由組合使用此種感度調整構造21,能抑制每個像素12之感度差,從而獲得更均一之感度特性。
圖70及圖71係表示第3組合佈局61_3之構成例之圖。圖70中示出了俯視紅色之同色像素群13R、綠色之同色像素群13Gr、綠色之同色像素群13Gb及藍色之同色像素群13B所見之第3組合佈局61_3之構成例。圖71之A中示出了圖70所圖示之A1-A2剖面上之第3組合佈局61_3之構成例,圖71之B中示出了圖70所圖示之B1-B2剖面上之第3組合佈局61_3之構成例。
如圖70所示,就第3組合佈局61_3而言,於紅色之同色像素群13R中,與圖3之第1感度調整構造21_1同樣地,對配置於中央部之2×2排列之4處且有低感度傾向之像素12設置有十字形狀之像素內槽22a-1至22a-4,藉此能提高感度。進而,於綠色之同色像素群13Gr中,與圖25之第23感度調整構造21_23同樣地,對配置於中央2列之8處之像素12設置有橫線形狀之像素內槽22c-1至22c-8,藉此能使光向垂直於長度方向之方向散射,從而提高配置於上邊4處且有低感度傾向之像素12及配置於下邊4處且有低感度傾向之像素12之感度。
進而,於綠色之同色像素群13Gb中,與圖26之第24感度調整構造21_24同樣地,對配置於中央2行之8處之像素12設置有縱線形狀之像素內槽22d-1至22d-8,藉此能使光向垂直於長度方向之方向散射,從而提高配置於左邊4處且有低感度傾向之像素12及配置於右邊4處且有低感度傾向之像素12之感度。進而,於藍色之同色像素群13B中,與圖3之第1感度調整構造21_1同樣地,對配置於中央部之2×2排列之4處且有低感度傾向之像素12設置有十字形狀之像素內槽22a-5至22a-8,藉此能提高感度。
因此,第3組合佈局61_3藉由組合使用此種感度調整構造21,能抑制每個像素12之感度差,從而獲得更均一之感度特性。
圖72及圖73係表示第4組合佈局61_4之構成例之圖。圖72中示出了俯視紅色之同色像素群13R、綠色之同色像素群13Gr、綠色之同色像素群13Gb及藍色之同色像素群13B所見之第4組合佈局61_4之構成例。圖73之A中示出了圖72所圖示之A1-A2剖面上之第4組合佈局61_4之構成例,圖73之B中示出了圖72所圖示之B1-B2剖面上之第4組合佈局61_4之構成例。
如圖72所示,就第4組合佈局61_4而言,於紅色之同色像素群13R中,與圖13之第11感度調整構造21_11同樣地,對配置於中央部之2×2排列之4處且有低感度傾向之像素12設置有呈十字形狀且為擴大構造之像素內槽22f-1至22f-4,藉此能更強勁地提高感度。進而,於綠色之同色像素群13Gr中,與圖31之第29感度調整構造21_29同樣地,對配置於中央2列之8處之像素12設置有呈橫線形狀且為擴大構造之像素內槽22h-1至22h-8,藉此能使光向垂直於長度方向之方向散射,從而更強勁地提高配置於上邊4處且有低感度傾向之像素12及配置於下邊4處且有低感度傾向之像素12之感度。
進而,於綠色之同色像素群13Gb中,與圖32之第30感度調整構造21_30同樣地,對配置於中央2行之8處之像素12設置有呈縱線形狀且為擴大構造之像素內槽22i-1至22i-8,藉此能使光向垂直於長度方向之方向散射,從而更強勁地提高配置於左邊4處且有低感度傾向之像素12及配置於右邊4處且有低感度傾向之像素12之感度。進而,於藍色之同色像素群13B中,與圖13之第11感度調整構造21_11同樣地,對配置於中央部之2×2排列之4處且有低感度傾向之像素12設置有呈十字形狀且為擴大構造之像素內槽22f-5至22f-8,藉此能更強勁地提高感度。
因此,第4組合佈局61_4藉由組合使用此種感度調整構造21,能抑制每個像素12之感度差,從而獲得更均一之感度特性。
圖74及圖75係表示第5組合佈局61_5之構成例之圖。圖74中示出了俯視紅色之同色像素群13R、綠色之同色像素群13Gr、綠色之同色像素群13Gb及藍色之同色像素群13B所見之第5組合佈局61_5之構成例。圖75之A中示出了圖74所圖示之A1-A2剖面上之第5組合佈局61_5之構成例,圖75之B中示出了圖74所圖示之B1-B2剖面上之第5組合佈局61_5之構成例。
如圖74所示,就第5組合佈局61_5而言,於紅色之同色像素群13R、綠色之同色像素群13Gr及綠色之同色像素群13Gb中,與圖70之第3組合佈局61_3同樣地,能提高像素12之感度。
進而,於藍色之同色像素群13B中,與圖4之第2感度調整構造21_2同樣地,對4×4排列之16個像素12全部設置有十字形狀之像素內槽22a-1至22a-16,藉此能提高整體感度。進而,對配置於藍色之同色像素群13B之上側的綠色之同色像素群13Gr中配置於下邊4處且有低感度傾向之像素12、及配置於藍色之同色像素群13B之下側的綠色之同色像素群13Gr中配置於上邊4處且有低感度傾向之像素12,能使藉由十字形狀之像素內槽22a而散射之光入射,從而提高感度。同樣地,對配置於藍色之同色像素群13B之左側的綠色之同色像素群13Gb中配置於右邊4處且有低感度傾向之像素12、及配置於藍色之同色像素群13B之右側的綠色之同色像素群13Gb中配置於左邊4處且有低感度傾向之像素12,能使藉由十字形狀之像素內槽22a而散射之光入射,從而提高感度。
因此,第5組合佈局61_5藉由組合使用此種感度調整構造21,能抑制每個像素12之感度差,從而獲得更均一之感度特性。
圖76及圖77係表示第6組合佈局61_6之構成例之圖。圖76中示出了俯視紅色之同色像素群13R、綠色之同色像素群13Gr、綠色之同色像素群13Gb及藍色之同色像素群13B所見之第6組合佈局61_6之構成例。圖77之A中示出了圖76所圖示之A1-A2剖面上之第6組合佈局61_6之構成例,圖77之B中示出了圖76所圖示之B1-B2剖面上之第6組合佈局61_6之構成例。
如圖76所示,就第6組合佈局61_6而言,於紅色之同色像素群13R、綠色之同色像素群13Gr及綠色之同色像素群13Gb中,與圖72之第4組合佈局61_4同樣地,能提高像素12之感度。
進而,於藍色之同色像素群13B中,與圖14之第12感度調整構造21_12同樣地,對4×4排列之16個像素12全部設置有呈十字形狀且為擴大構造之像素內槽22f-1至22f-16,藉此能提高整體感度。進而,對配置於藍色之同色像素群13B之上側的綠色之同色像素群13Gr中配置於下邊4處且有低感度傾向之像素12、及配置於藍色之同色像素群13B之下側的綠色之同色像素群13Gr中配置於上邊4處且有低感度傾向之像素12,能使藉由呈十字形狀且為擴大構造之像素內槽22f而散射之光入射,從而提高感度。同樣地,對配置於藍色之同色像素群13B之左側的綠色之同色像素群13Gb中配置於右邊4處且有低感度傾向之像素12、及配置於藍色之同色像素群13B之右側的綠色之同色像素群13Gb中配置於左邊4處且有低感度傾向之像素12,能使藉由呈十字形狀且為擴大構造之像素內槽22f而散射之光入射,從而提高感度。
因此,第6組合佈局61_6藉由組合使用此種感度調整構造21,能抑制每個像素12之感度差,從而獲得更均一之感度特性。
圖78及圖79係表示第7組合佈局61_7之構成例之圖。圖78中示出了俯視紅色之同色像素群13R、綠色之同色像素群13Gr、綠色之同色像素群13Gb及藍色之同色像素群13B所見之第7組合佈局61_7之構成例。圖79之A中示出了圖78所圖示之A1-A2剖面上之第7組合佈局61_7之構成例,圖79之B中示出了圖78所圖示之B1-B2剖面上之第7組合佈局61_7之構成例。
如圖78所示,就第7組合佈局61_7而言,於紅色之同色像素群13R、綠色之同色像素群13Gr及綠色之同色像素群13Gb中,與圖72之第4組合佈局61_4同樣地,能提高像素12之感度。
進而,於藍色之同色像素群13B中,對配置於中央部之2×2排列之4處且有低感度傾向之像素12設置有呈十字形狀且為擴大構造之像素內槽22f-5至22f-8,藉此能更強勁地提高感度。進而,於藍色之同色像素群13B中,對配置於周圍部之12處之像素12設置有十字形狀之像素內槽22a-1至22a-12,藉此能以較中央部低之程度提高感度。
又,對配置於藍色之同色像素群13B之上側的綠色之同色像素群13Gr中配置於下邊4處且有低感度傾向之像素12、及配置於藍色之同色像素群13B之下側的綠色之同色像素群13Gr中配置於上邊4處且有低感度傾向之像素12,能使藉由十字形狀之像素內槽22a而散射之光入射,從而提高感度。同樣地,對配置於藍色之同色像素群13B之左側的綠色之同色像素群13Gb中配置於右邊4處且有低感度傾向之像素12、及配置於藍色之同色像素群13B之右側的綠色之同色像素群13Gb中配置於左邊4處且有低感度傾向之像素12,能使藉由十字形狀之像素內槽22a而散射之光入射,從而提高感度。
因此,第7組合佈局61_7藉由組合使用此種感度調整構造21,能抑制每個像素12之感度差,從而獲得更均一之感度特性。
圖80係表示第8組合佈局61_8之構成例之圖。
如圖80所示,就第8組合佈局61_8而言,於紅色之同色像素群13R中,與圖3之第1感度調整構造21_1同樣地,對配置於中央部之2×2排列之4處且有低感度傾向之像素12設置有十字形狀之像素內槽22a-1至22a-4,藉此能提高感度。
進而,於綠色之同色像素群13Gr中,與圖27之第25感度調整構造21_25同樣地,對配置於上邊4處且有低感度傾向之像素12及配置於下邊4處且有低感度傾向之像素12設置有十字形狀之像素內槽22a-5至22a-12,並且對配置於中央2列之8處之像素12設置有橫線形狀之像素內槽22c-1至22c-8,藉此能提高配置於上邊4處且有低感度傾向之像素12及配置於下邊4處且有低感度傾向之像素12之感度。進而,於綠色之同色像素群13Gb中,與圖28之第26感度調整構造21_26同樣地,對配置於左邊4處且有低感度傾向之像素12及配置於右邊4處且有低感度傾向之像素12設置有十字形狀之像素內槽22a-13至22a-20,並且對配置於中央2行之8處之像素12設置有縱線形狀之像素內槽22d-1至22d-8,藉此能提高配置於左邊4處且有低感度傾向之像素12及配置於右邊4處且有低感度傾向之像素12之感度。
進而,於藍色之同色像素群13B中,與圖4之第2感度調整構造21_2同樣地,對4×4排列之16個像素12全部設置有十字形狀之像素內槽22a-1至22a-16,藉此能提高整體感度,並且能抑制配置於上側及下側之綠色之同色像素群13Gr、以及配置於左側及右側之綠色之同色像素群13Gb之感度差。
因此,第7組合佈局61_7藉由組合使用此種感度調整構造21,能抑制每個像素12之感度差,從而獲得更均一之感度特性。
圖81係表示第9組合佈局61_9之構成例之圖。
如圖81所示,就第9組合佈局61_9而言,於紅色之同色像素群13R中,與圖13之第11感度調整構造21_11同樣地,對配置於中央部之2×2排列之4處且有低感度傾向之像素12設置有呈十字形狀且為擴大構造之像素內槽22f-1至22f-4,藉此能更強勁地提高感度。
進而,於綠色之同色像素群13Gr中,與圖33之第31感度調整構造21_31同樣地,對配置於上邊4處且有低感度傾向之像素12及配置於下邊4處且有低感度傾向之像素12設置有呈十字形狀且為擴大構造之像素內槽22f-5至22f-12,並且對配置於中央2列之8處之像素12設置有呈橫線形狀且為擴大構造之像素內槽22h-1至22h-8,藉此能提高配置於上邊4處且有低感度傾向之像素12及配置於下邊4處且有低感度傾向之像素12之感度。進而,於綠色之同色像素群13Gb中,與圖34之第32感度調整構造21_32同樣地,對配置於左邊4處且有低感度傾向之像素12及配置於右邊4處且有低感度傾向之像素12設置有呈十字形狀且為擴大構造之像素內槽22f-13至22f-20,並且對配置於中央2行之8處之像素12設置有呈縱線形狀且為擴大構造之像素內槽22i-1至22i-8,藉此能提高配置於左邊4處且有低感度傾向之像素12及配置於右邊4處且有低感度傾向之像素12之感度。
進而,於藍色之同色像素群13B中,與圖14之第12感度調整構造21_12同樣地,對4×4排列之16個像素12全部設置有呈十字形狀且為擴大構造之像素內槽22f-21至22f-36,藉此能提高整體感度,並且能抑制配置於上側及下側之綠色之同色像素群13Gr、以及配置於左側及右側之綠色之同色像素群13Gb之感度差。
因此,第9組合佈局61_9藉由組合使用此種感度調整構造21,能抑制每個像素12之感度差,從而獲得更均一之感度特性。
圖82係表示第10組合佈局61_10之構成例之圖。
如圖82所示,就第10組合佈局61_10而言,於紅色之同色像素群13R、綠色之同色像素群13Gr及綠色之同色像素群13Gb中,與圖81之第9組合佈局61_9同樣地,能提高像素12之感度。
進而,於藍色之同色像素群13B中,對配置於中央部之2×2排列之4處且有低感度傾向之像素12設置有呈十字形狀且為擴大構造之像素內槽22f-5至22f-8,藉此能更強勁地提高感度。進而,於藍色之同色像素群13B中,對配置於周圍部之12處之像素12設置有十字形狀之像素內槽22a-1至22a-12,藉此能以較中央部低之程度提高感度。進而,能抑制配置於藍色之同色像素群13B之上側及下側的綠色之同色像素群13Gr、以及配置於藍色之同色像素群13B之左側及右側的綠色之同色像素群13Gb之感度差。
因此,第10組合佈局61_10藉由組合使用此種感度調整構造21,能抑制每個像素12之感度差,從而獲得更均一之感度特性。
圖83係表示第11組合佈局61_11之構成例之圖。
如圖83所示,就第11組合佈局61_11而言,於綠色之同色像素群13Gr、綠色之同色像素群13Gb及藍色之同色像素群13B中,與圖74之第5組合佈局61_5同樣地,能提高像素12之感度。再者,對於紅色之同色像素群13R,為了避免使光散射時與異色之混色加劇,並未設置像素內槽22。
因此,第11組合佈局61_11藉由組合使用此種感度調整構造21,於綠色之同色像素群13Gr、綠色之同色像素群13Gb及藍色之同色像素群13B中,能獲得更均一之感度特性。
圖84係表示第12組合佈局61_12之構成例之圖。
如圖84所示,就第12組合佈局61_12而言,於綠色之同色像素群13Gr、綠色之同色像素群13Gb及藍色之同色像素群13B中,與圖76之第6組合佈局61_6同樣地,能提高像素12之感度。再者,對於紅色之同色像素群13R,為了避免使光散射時與異色之混色加劇,並未設置像素內槽22。
因此,第12組合佈局61_12藉由組合使用此種感度調整構造21,於綠色之同色像素群13Gr、綠色之同色像素群13Gb及藍色之同色像素群13B中,能獲得更均一之感度特性。
圖85係表示第13組合佈局61_13之構成例之圖。
如圖85所示,就第13組合佈局61_13而言,於綠色之同色像素群13Gr、綠色之同色像素群13Gb及藍色之同色像素群13B中,與圖78之第7組合佈局61_7同樣地,能提高像素12之感度。再者,對於紅色之同色像素群13R,為了避免使光散射時與異色之混色加劇,並未設置像素內槽22。
因此,第13組合佈局61_13藉由組合使用此種感度調整構造21,於綠色之同色像素群13Gr、綠色之同色像素群13Gb及藍色之同色像素群13B中,能獲得更均一之感度特性。
再者,並不限定於如上所述之組合佈局61之構成例,而可對紅色之同色像素群13R、綠色之同色像素群13Gr、綠色之同色像素群13Gb及藍色之同色像素群13B應用各種組合之感度調整構造21,只要能獲得更均一之感度特性即可。
<2×1OCL配置圖案之構成例> 參照圖86至圖125,對2×1OCL配置圖案之構成例進行說明。
於上述實施方式中,說明了針對每2×2排列之像素12配置晶載透鏡14之構成,但其實例如還有針對為了檢測像面相位差而左右或上下鄰接之2個像素12配置1個晶載透鏡之構成。將如此針對2個像素12而配置之晶載透鏡稱為2×1OCL15。
例如,2×1OCL15有針對綠色之像素12-Gr或像素12-Gb而配置之傾向。其原因在於,於拜耳排列中,綠色之像素12-Gr或像素12-Gb多於紅色之像素12-R及藍色之像素12-B,即便利用一部分綠色之像素12-Gr或像素12-Gb來檢測像面相位差,尚有大量綠色之像素12-Gr或像素12-Gb留存以供構建圖像使用。又,於設置有大量2×1OCL15之構成中,能提高相位差之檢測精度或檢測速度。又,於設置有少許2×1OCL15之構成中,能提高用以構建圖像之普通之像素12之感度。
圖86係表示第1 2×1OCL配置圖案71_1之一例之圖。圖87之A中示出了圖86所示之A1-A2剖面上之第1 2×1OCL配置圖案71_1之構成例,圖87之B中示出了圖86所示之B1-B2剖面上之第1 2×1OCL配置圖案71_1之構成例。
如圖86所示,於第1 2×1OCL配置圖案71_1中,2×1OCL15-1係針對像素12-Gr3及12-Gr4而配置,2×1OCL15-2係針對像素12-Gr7及12-Gr8而配置。
而且,形成為於設置有2×1OCL15之像素12未設置像素內槽22之構成。即,像素內槽22係針對設置有2×1OCL15之像素12以外之像素12而設置。其原因在於,於用以獲取像面相位差之像素12中,2×1OCL15之下側設置有像素間遮光膜,假如設置像素內槽22,則光會撞上像素間遮光膜而發生散射。其結果,相位差檢測用之2個像素12之分離比會降低,從而導致相位差之檢測精度下降。因此,採用於設置有2×1OCL15之像素12,即於相位差檢測用之2個像素12未設置像素內槽22之構成較佳。
再者,以下所說明之2×1OCL配置圖案71中,對於設置有2×1OCL15之像素12以外之像素12,可針對每1個像素12設置晶載透鏡14,亦可針對每2×2排列之4個像素12設置晶載透鏡14。
圖88係表示第2 2×1OCL配置圖案71_2之一例之圖。
如圖88所示,於第2 2×1OCL配置圖案71_2中,2×1OCL15-1係針對像素12-Gb3及12-Gb4而配置,2×1OCL15-2係針對像素12-Gb7及12-Gb8而配置,2×1OCL15-3係針對像素12-Gb9及12-Gb10而配置,2×1OCL15-4係針對像素12-Gb13及12-Gb14而配置。
圖89係表示第3 2×1OCL配置圖案71_3之一例之圖。
如圖89所示,於第3 2×1OCL配置圖案71_3中,2×1OCL15-1係針對像素12-Gr1及12-Gr2而配置,2×1OCL15-2係針對像素12-Gr5及12-Gr6而配置,2×1OCL15-3係針對像素12-Gr11及12-Gr12而配置,2×1OCL15-4係針對像素12-Gr15及12-Gr16而配置。進而,2×1OCL15-5係針對像素12-Gb3及12-Gb4而配置,2×1OCL15-6係針對像素12-Gb7及12-Gb8而配置,2×1OCL15-7係針對像素12-Gb9及12-Gb10而配置,2×1OCL15-8係針對像素12-Gb13及12-Gb14而配置。
圖90係表示第4 2×1OCL配置圖案71_4之一例之圖。
如圖90所示,於第4 2×1OCL配置圖案71_4中,2×1OCL15-1係針對像素12-Gr3及12-Gr4而配置,2×1OCL15-2係針對像素12-Gr7及12-Gr8而配置,2×1OCL15-3係針對像素12-Gr9及12-Gr10而配置,2×1OCL15-4係針對像素12-Gr13及12-Gr14而配置。進而,2×1OCL15-5係針對像素12-Gb3及12-Gb4而配置,2×1OCL15-6係針對像素12-Gb7及12-Gb8而配置,2×1OCL15-7係針對像素12-Gb9及12-Gb10而配置,2×1OCL15-8係針對像素12-Gb13及12-Gb14而配置。
圖91係表示第5 2×1OCL配置圖案71_5之一例之圖。
如圖91所示,於第5 2×1OCL配置圖案71_5中,2×1OCL15-1係針對像素12-Gr3及12-Gr4而配置,2×1OCL15-2係針對像素12-Gr7及12-Gr8而配置,2×1OCL15-3係針對像素12-Gr11及12-Gr12而配置,2×1OCL15-4係針對像素12-Gr15及12-Gr16而配置。進而,2×1OCL15-5係針對像素12-Gb1及12-Gb2而配置,2×1OCL15-6係針對像素12-Gb5及12-Gb6而配置,2×1OCL15-7係針對像素12-Gb9及12-Gb10而配置,2×1OCL15-8係針對像素12-Gb13及12-Gb14而配置。
圖92係表示第6 2×1OCL配置圖案71_6之一例之圖。
如圖92所示,於第6 2×1OCL配置圖案71_6中,2×1OCL15-1係針對像素12-Gr1及12-Gr2而配置,2×1OCL15-2係針對像素12-Gr5及12-Gr6而配置,2×1OCL15-3係針對像素12-Gr9及12-Gr10而配置,2×1OCL15-4係針對像素12-Gr13及12-Gr14而配置。進而,2×1OCL15-5係針對像素12-Gb3及12-Gb4而配置,2×1OCL15-6係針對像素12-Gb7及12-Gb8而配置,2×1OCL15-7係針對像素12-Gb11及12-Gb12而配置,2×1OCL15-8係針對像素12-Gb15及12-Gb16而配置。
圖93係表示第7 2×1OCL配置圖案71_7之一例之圖。
如圖93所示,於第7 2×1OCL配置圖案71_7中,2×1OCL15-1係針對像素12-Gr3及12-Gr4而配置,2×1OCL15-2係針對像素12-Gr7及12-Gr8而配置,2×1OCL15-3係針對像素12-Gr11及12-Gr12而配置,2×1OCL15-4係針對像素12-Gr15及12-Gr16而配置。進而,2×1OCL15-5係針對像素12-Gb3及12-Gb4而配置,2×1OCL15-6係針對像素12-Gb7及12-Gb8而配置,2×1OCL15-7係針對像素12-Gb11及12-Gb12而配置,2×1OCL15-8係針對像素12-Gb15及12-Gb16而配置。
圖94係表示第8 2×1OCL配置圖案71_8之一例之圖。
如圖94所示,於第8 2×1OCL配置圖案71_8中,2×1OCL15-1係針對像素12-Gr1及12-Gr2而配置,2×1OCL15-2係針對像素12-Gr5及12-Gr6而配置,2×1OCL15-3係針對像素12-Gr9及12-Gr10而配置,2×1OCL15-4係針對像素12-Gr13及12-Gr14而配置。進而,2×1OCL15-5係針對像素12-Gb1及12-Gb2而配置,2×1OCL15-6係針對像素12-Gb5及12-Gb6而配置,2×1OCL15-7係針對像素12-Gb9及12-Gb10而配置,2×1OCL15-8係針對像素12-Gb13及12-Gb14而配置。
圖95係表示第9 2×1OCL配置圖案71_9之一例之圖。
如圖95所示,於第9 2×1OCL配置圖案71_9中,2×1OCL15-1係針對像素12-Gr1及12-Gr2而配置,2×1OCL15-2係針對像素12-Gr3及12-Gr4而配置,2×1OCL15-3係針對像素12-Gr5及12-Gr6而配置,2×1OCL15-4係針對像素12-Gr7及12-Gr8而配置。進而,2×1OCL15-5係針對像素12-Gb1及12-Gb2而配置,2×1OCL15-6係針對像素12-Gb3及12-Gb4而配置,2×1OCL15-7係針對像素12-Gb5及12-Gb6而配置,2×1OCL15-8係針對像素12-Gb7及12-Gb8而配置。
圖96係表示第10 2×1OCL配置圖案71_10之一例之圖。
如圖96所示,於第10 2×1OCL配置圖案71_10中,2×1OCL15-1係針對像素12-Gr1及12-Gr2而配置,2×1OCL15-2係針對像素12-Gr3及12-Gr4而配置,2×1OCL15-3係針對像素12-Gr5及12-Gr6而配置,2×1OCL15-4係針對像素12-Gr7及12-Gr8而配置。進而,2×1OCL15-5係針對像素12-Gb9及12-Gb10而配置,2×1OCL15-6係針對像素12-Gb11及12-Gb12而配置,2×1OCL15-7係針對像素12-Gb13及12-Gb14而配置,2×1OCL15-8係針對像素12-Gb15及12-Gb16而配置。
圖97係表示第11 2×1OCL配置圖案71_11之一例之圖。
如圖97所示,於第11 2×1OCL配置圖案71_11中,2×1OCL15-1係針對像素12-Gr9及12-Gr10而配置,2×1OCL15-2係針對像素12-Gr11及12-Gr12而配置,2×1OCL15-3係針對像素12-Gr13及12-Gr14而配置,2×1OCL15-4係針對像素12-Gr15及12-Gr16而配置。進而,2×1OCL15-5係針對像素12-Gb9及12-Gb10而配置,2×1OCL15-6係針對像素12-Gb11及12-Gb12而配置,2×1OCL15-7係針對像素12-Gb13及12-Gb14而配置,2×1OCL15-8係針對像素12-Gb15及12-Gb16而配置。
圖98係表示第12 2×1OCL配置圖案71_12之一例之圖。
此處,於第12 2×1OCL配置圖案71_12中,將藍色之像素12-B12替換成綠色之像素12-Gb17,將藍色之像素12-B16替換成綠色之像素12-Gb18。即,綠色之同色像素群13Gb之一部分形成為如相對於藍色之同色像素群13B而突出之彩色濾光片43之配置。
而且,於第12 2×1OCL配置圖案71_12中,2×1OCL15-1係針對像素12-Gb9及12-Gb17而配置,2×1OCL15-2係針對像素12-Gb13及12-Gb18而配置。
圖99係表示第13 2×1OCL配置圖案71_13之一例之圖。
此處,於第13 2×1OCL配置圖案71_13中,將紅色之像素12-R1替換成綠色之像素12-Gr17,將紅色之像素12-R5替換成綠色之像素12-Gr18。即,綠色之同色像素群13Gr之一部分形成為如相對於紅色之同色像素群13R而突出之彩色濾光片43之配置。
而且,於第13 2×1OCL配置圖案71_13中,2×1OCL15-1係針對像素12-Gr4及12-Gr17而配置,2×1OCL15-2係針對像素12-Gr8及12-Gr18而配置。
圖100係表示第14 2×1OCL配置圖案71_14之一例之圖。
此處,於第14 2×1OCL配置圖案71_14中,將紅色之像素12-R9替換成綠色之像素12-Gr17,將紅色之像素12-R13替換成綠色之像素12-Gr18。即,綠色之同色像素群13Gr之一部分形成為如相對於紅色之同色像素群13R而突出之彩色濾光片43之配置。
而且,於第14 2×1OCL配置圖案71_14中,2×1OCL15-1係針對像素12-Gr12及12-Gr17而配置,2×1OCL15-2係針對像素12-Gr16及12-Gr18而配置。
圖101係表示第15 2×1OCL配置圖案71_15之一例之圖。
此處,於第15 2×1OCL配置圖案71_15中,將藍色之像素12-B4替換成綠色之像素12-Gb17,將藍色之像素12-B8替換成綠色之像素12-Gb18。即,綠色之同色像素群13Gb之一部分形成為如相對於藍色之同色像素群13B而突出之彩色濾光片43之配置。
而且,於第15 2×1OCL配置圖案71_15中,2×1OCL15-1係針對像素12-Gb1及12-Gb17而配置,2×1OCL15-2係針對像素12-Gb5及12-Gb18而配置。
圖102係表示第16 2×1OCL配置圖案71_16之一例之圖。
此處,於第16 2×1OCL配置圖案71_16中,將紅色之像素12-R9替換成綠色之像素12-Gr17,將紅色之像素12-R13替換成綠色之像素12-Gr18。即,綠色之同色像素群13Gr之一部分形成為如相對於紅色之同色像素群13R而突出之彩色濾光片43之配置。進而,將藍色之像素12-B12替換成綠色之像素12-Gb17,將藍色之像素12-B16替換成綠色之像素12-Gb18。即,綠色之同色像素群13Gb之一部分形成為如相對於藍色之同色像素群13B而突出之彩色濾光片43之配置。
而且,於第16 2×1OCL配置圖案71_16中,2×1OCL15-1係針對像素12-Gr12及12-Gr17而配置,2×1OCL15-2係針對像素12-Gr16及12-Gr18而配置。進而,2×1OCL15-3係針對像素12-Gb9及12-Gb17而配置,2×1OCL15-4係針對像素12-Gb13及12-Gb18而配置。
此處,於圖100至圖102中,亦以虛線例示出了2×1OCL15以外之晶載透鏡14,但並不限定於此種晶載透鏡14之配置。例如,亦可對配置有2×1OCL15之像素12以外之所有像素12採用針對每1個像素12配置晶載透鏡14之構成。
圖103係表示第17 2×1OCL配置圖案71_17之一例之圖。
如圖103所示,於第17 2×1OCL配置圖案71_17中,2×1OCL15-1係針對像素12-Gr2及12-Gr3而配置,2×1OCL15-2係針對像素12-Gr6及12-Gr7而配置。
圖104係表示第18 2×1OCL配置圖案71_18之一例之圖。
如圖104所示,於第18 2×1OCL配置圖案71_18中,2×1OCL15-1係針對像素12-Gr2及12-Gr3而配置,2×1OCL15-2係針對像素12-Gr6及12-Gr7而配置,2×1OCL15-3係針對像素12-Gb2及12-Gb3而配置,2×1OCL15-4係針對像素12-Gb6及12-Gb7而配置。
圖105係表示第19 2×1OCL配置圖案71_19之一例之圖。
如圖105所示,於第19 2×1OCL配置圖案71_19中,2×1OCL15-1係針對像素12-Gr2及12-Gr3而配置,2×1OCL15-2係針對像素12-Gr6及12-Gr7而配置,2×1OCL15-3係針對像素12-Gb10及12-Gb11而配置,2×1OCL15-4係針對像素12-Gb14及12-Gb15而配置。
圖106係表示第20 2×1OCL配置圖案71_20之一例之圖。
如圖106所示,於第20 2×1OCL配置圖案71_20中,2×1OCL15-1係針對像素12-Gr2及12-Gr3而配置,2×1OCL15-2係針對像素12-Gr6及12-Gr7而配置,2×1OCL15-3係針對像素12-Gr10及12-Gr11而配置,2×1OCL15-4係針對像素12-Gr14及12-Gr15而配置。
圖107係表示第21 2×1OCL配置圖案71_21之一例之圖。
如圖107所示,於第21 2×1OCL配置圖案71_21中,2×1OCL15-1係針對像素12-Gr2及12-Gr3而配置,2×1OCL15-2係針對像素12-Gr6及12-Gr7而配置,2×1OCL15-3係針對像素12-Gr10及12-Gr11而配置,2×1OCL15-4係針對像素12-Gr14及12-Gr15而配置。進而,2×1OCL15-5係針對像素12-Gb2及12-Gb3而配置,2×1OCL15-6係針對像素12-Gb6及12-Gb7而配置,2×1OCL15-7係針對像素12-Gb10及12-Gb11而配置,2×1OCL15-8係針對像素12-Gb14及12-Gb15而配置。
圖108係表示第22 2×1OCL配置圖案71_22之一例之圖。
如圖108所示,於第22 2×1OCL配置圖案71_22中,2×1OCL15-1係針對像素12-Gr6及12-Gr7而配置,2×1OCL15-2係針對像素12-Gr10及12-Gr11而配置。
圖109係表示第23 2×1OCL配置圖案71_23之一例之圖。
如圖109所示,於第23 2×1OCL配置圖案71_23中,2×1OCL15-1係針對像素12-Gr6及12-Gr7而配置,2×1OCL15-2係針對像素12-Gr10及12-Gr11而配置,2×1OCL15-3係針對像素12-Gb6及12-Gb7而配置,2×1OCL15-4係針對像素12-Gb10及12-Gb11而配置。
如此將2×1OCL15配置於4×4排列之中央2行較佳。例如,2×1OCL15有於長邊方向上混色之傾向,藉由將2×1OCL15配置於4×4排列之中央2行,能抑制異色間發生混色。當然,亦可如以下圖110所示,使將2×1OCL15配置於4×4排列之中央2行之構成與將2×1OCL15配置於4×4排列之端部2行之構成組合。
圖110係表示第24 2×1OCL配置圖案71_24之一例之圖。
如圖110所示,於第24 2×1OCL配置圖案71_24中,2×1OCL15-1係針對像素12-Gr2及12-Gr3而配置,2×1OCL15-2係針對像素12-Gr6及12-Gr7而配置,2×1OCL15-3係針對像素12-Gb11及12-Gb12而配置,2×1OCL15-4係針對像素12-Gb15及12-Gb16而配置。
圖111係表示第25 2×1OCL配置圖案71_25之一例之圖。
如圖111所示,於第25 2×1OCL配置圖案71_25中,2×1OCL15-1係針對像素12-Gr1及12-Gr2而配置,2×1OCL15-2係針對像素12-Gr3及12-Gr4而配置,2×1OCL15-3係針對像素12-Gr5及12-Gr6而配置,2×1OCL15-4係針對像素12-Gr7及12-Gr8而配置。進而,2×1OCL15-5係針對像素12-Gr9及12-Gr10而配置,2×1OCL15-6係針對像素12-Gr11及12-Gr12而配置,2×1OCL15-7係針對像素12-Gr13及12-Gr14而配置,2×1OCL15-8係針對像素12-Gr15及12-Gr16而配置。
進而,2×1OCL15-9係針對像素12-Gb1及12-Gb2而配置,2×1OCL15-10係針對像素12-Gb3及12-Gb4而配置,2×1OCL15-11係針對像素12-Gb5及12-Gb6而配置,2×1OCL15-12係針對像素12-Gb7及12-Gb8而配置。進而,2×1OCL15-13係針對像素12-Gb9及12-Gb10而配置,2×1OCL15-14係針對像素12-Gb11及12-Gb12而配置,2×1OCL15-15係針對像素12-Gb13及12-Gb14而配置,2×1OCL15-16係針對像素12-Gb15及12-Gb16而配置。
圖112係表示第26 2×1OCL配置圖案71_26之一例之圖。
如圖112所示,於第26 2×1OCL配置圖案71_26中,2×1OCL15-1係針對像素12-Gr1及12-Gr2而配置,2×1OCL15-2係針對像素12-Gr3及12-Gr4而配置,2×1OCL15-3係針對像素12-Gr5及12-Gr6而配置,2×1OCL15-4係針對像素12-Gr7及12-Gr8而配置。進而,2×1OCL15-5係針對像素12-Gr9及12-Gr10而配置,2×1OCL15-6係針對像素12-Gr11及12-Gr12而配置,2×1OCL15-7係針對像素12-Gr13及12-Gr14而配置,2×1OCL15-8係針對像素12-Gr15及12-Gr16而配置。進而,2×1OCL15-9係針對像素12-R1及12-R2而配置,2×1OCL15-10係針對像素12-R3及12-R4而配置,2×1OCL15-11係針對像素12-R5及12-R6而配置,2×1OCL15-12係針對像素12-R7及12-R8而配置。進而,2×1OCL15-13係針對像素12-R9及12-R10而配置,2×1OCL15-14係針對像素12-R11及12-R12而配置,2×1OCL15-15係針對像素12-R13及12-R14而配置,2×1OCL15-16係針對像素12-R15及12-R16而配置。
進而,2×1OCL15-17係針對像素12-B1及12-B2而配置,2×1OCL15-18係針對像素12-B3及12-B4而配置,2×1OCL15-19係針對像素12-B5及12-B6而配置,2×1OCL15-20係針對像素12-B7及12-B8而配置。進而,2×1OCL15-21係針對像素12-B9及12-B10而配置,2×1OCL15-22係針對像素12-B11及12-B12而配置,2×1OCL15-23係針對像素12-B13及12-B14而配置,2×1OCL15-24係針對像素12-B15及12-B16而配置。進而,2×1OCL15-25係針對像素12-Gb1及12-Gb2而配置,2×1OCL15-26係針對像素12-Gb3及12-Gb4而配置,2×1OCL15-27係針對像素12-Gb5及12-Gb6而配置,2×1OCL15-28係針對像素12-Gb7及12-Gb8而配置。進而,2×1OCL15-29係針對像素12-Gb9及12-Gb10而配置,2×1OCL15-30係針對像素12-Gb11及12-Gb12而配置,2×1OCL15-31係針對像素12-Gb13及12-Gb14而配置,2×1OCL15-32係針對像素12-Gb15及12-Gb16而配置。
圖113係表示第27 2×1OCL配置圖案71_27之一例之圖。
如圖113所示,於第27 2×1OCL配置圖案71_27中,2×1OCL15-1至15-24與圖112之第26 2×1OCL配置圖案71_26同樣地配置。進而,2×1OCL15-25係針對像素12-Gb1及12-Gb5而配置,2×1OCL15-26係針對像素12-Gb2及12-Gb6而配置,2×1OCL15-27係針對像素12-Gb3及12-Gb7而配置,2×1OCL15-28係針對像素12-Gb4及12-Gb8而配置,2×1OCL15-29係針對像素12-Gb9及12-Gb13而配置,2×1OCL15-30係針對像素12-Gb10及12-Gb14而配置,2×1OCL15-31係針對像素12-Gb11及12-Gb15而配置,2×1OCL15-32係針對像素12-Gb12及12-Gb16而配置。
如圖112及圖113所示,可採用2×1OCL15針對全部像素12而配置之構成。或如圖111所示,可採用針對綠色之像素12-Gr或像素12-Gb之全部而配置之構成。又,藉由在左右鄰接之像素12配置2×1OCL15,並且在上下鄰接之像素12配置2×1OCL15,能提高左右方向及上下方向之自動調焦性能。
圖114係表示第28 2×1OCL配置圖案71_28之一例之圖。
如圖114所示,於第28 2×1OCL配置圖案71_28中,2×1OCL15-1係針對像素12-Gb3及12-Gb4而配置,2×1OCL15-2係針對像素12-Gb9及12-Gb10而配置。
圖115係表示第29 2×1OCL配置圖案71_29之一例之圖。
如圖115所示,於第29 2×1OCL配置圖案71_29中,2×1OCL15-1係針對像素12-Gb7及12-Gb8而配置,2×1OCL15-2係針對像素12-Gb13及12-Gb14而配置。
圖116係表示第30 2×1OCL配置圖案71_30之一例之圖。
如圖116所示,於第30 2×1OCL配置圖案71_30中,2×1OCL15-1係針對像素12-Gb3及12-Gb4而配置,2×1OCL15-2係針對像素12-Gb13及12-Gb14而配置。
圖117係表示第31 2×1OCL配置圖案71_31之一例之圖。
如圖117所示,於第31 2×1OCL配置圖案71_31中,2×1OCL15-1係針對像素12-Gr1及12-Gr5而配置,2×1OCL15-2係針對像素12-Gr11及12-Gr15而配置。
圖118係表示第32 2×1OCL配置圖案71_32之一例之圖。
如圖118所示,於第32 2×1OCL配置圖案71_32中,2×1OCL15-1係針對像素12-Gr2及12-Gr6而配置,2×1OCL15-2係針對像素12-Gr12及12-Gr16而配置。
圖119係表示第33 2×1OCL配置圖案71_33之一例之圖。
如圖119所示,於第33 2×1OCL配置圖案71_33中,2×1OCL15-1係針對像素12-Gr6及12-Gr7而配置,2×1OCL15-2係針對像素12-Gb6及12-Gb10而配置。
圖120係表示第34 2×1OCL配置圖案71_34之一例之圖。
如圖120所示,於第34 2×1OCL配置圖案71_34中,2×1OCL15-1係針對像素12-Gr10及12-Gr11而配置,2×1OCL15-2係針對像素12-Gb7及12-Gb11而配置。
圖121係表示第35 2×1OCL配置圖案71_35之一例之圖。
如圖121所示,於第35 2×1OCL配置圖案71_35中,2×1OCL15-1係針對像素12-Gr6及12-Gr7而配置,2×1OCL15-2係針對像素12-Gr14及12-Gr15而配置。
圖122係表示第36 2×1OCL配置圖案71_36之一例之圖。
如圖122所示,於第36 2×1OCL配置圖案71_36中,2×1OCL15-1係針對像素12-Gr5及12-Gr9而配置,2×1OCL15-2係針對像素12-Gr7及12-Gr11而配置。
圖123係表示第37 2×1OCL配置圖案71_37之一例之圖。
如圖123所示,於第37 2×1OCL配置圖案71_37中,2×1OCL15-1係針對像素12-Gr6及12-Gr7而配置。
圖124係表示第38 2×1OCL配置圖案71_38之一例之圖。
此處,於第38 2×1OCL配置圖案71_38中,將藍色之像素12-B16替換成綠色之像素12-Gb17。即,綠色之同色像素群13Gb之一部分形成為如相對於藍色之同色像素群13B而突出之彩色濾光片43之配置。
而且,於第38 2×1OCL配置圖案71_38中,2×1OCL15-1係針對像素12-Gb13及12-Gb17而配置。
圖125係表示第39 2×1OCL配置圖案71_39之一例之圖。
此處,於第39 2×1OCL配置圖案71_39中,將紅色之像素12-R1替換成綠色之像素12-Gr17。即,綠色之同色像素群13Gr之一部分形成為如相對於紅色之同色像素群13R而突出之彩色濾光片43之配置。
而且,於第39 2×1OCL配置圖案71_39中,2×1OCL15-1係針對像素12-Gr4及12-Gr17而配置。
再者,並不限定於如上所述之2×1OCL配置圖案71之配置例,而能以各種配置圖案配置2×1OCL15。
<5×5排列之感度調整構造之構成例> 參照圖126至圖159,對5×5排列之感度調整構造之構成例進行說明。
於上述實施方式中,說明了針對由4×4排列之16個像素12-1至12-16構成之同色像素群13之感度調整構造21,但其實亦可對4×4排列以外之同色像素群13應用感度調整構造。以下,說明對5×5排列之同色像素群13應用之感度調整構造81,當然亦可對較5×5排列大之同色像素群13應用感度調整構造。
圖126係表示5×5排列之第1感度調整構造81_1之構成例之圖。
如圖126所示,5×5排列之第1感度調整構造81_1利用了沿著像素12之傾斜方向延伸之斜線形狀之像素內槽22b。
5×5排列之第1感度調整構造81_1以如下配置圖案構成,即:對5×5排列之25個像素12-1至12-25中配置於4個角部之像素12設置有斜線形狀之像素內槽22b。斜線形狀之像素內槽22b係以沿著長度方向之側面朝向5×5排列之中央之方式形成,以下所說明之5×5排列之感度調整構造81亦同樣如此形成。
即,於5×5排列之第1感度調整構造81_1中,長度方向自右上方朝向左下方之斜線形狀之像素內槽22b-1設置於像素12-1,長度方向自左上方朝向右下方之斜線形狀之像素內槽22b-2設置於像素12-5,長度方向自左上方朝向右下方之斜線形狀之像素內槽22b-3設置於像素12-21,長度方向自右上方朝向左下方之斜線形狀之像素內槽22b-4設置於像素12-25。
圖127係表示5×5排列之第2感度調整構造81_2之構成例之圖。
如圖127所示,5×5排列之第2感度調整構造81_2利用了沿著像素12之傾斜方向延伸之斜線形狀之像素內槽22b。
5×5排列之第2感度調整構造81_2以如下配置圖案構成,即:對5×5排列之25個像素12-1至12-25中配置於4個角部之像素12設置有斜線形狀之像素內槽22b,對配置於中央3×3排列之4個角部之像素12設置有斜線形狀之像素內槽22b。
即,於5×5排列之第2感度調整構造81_2中,長度方向自右上方朝向左下方之斜線形狀之像素內槽22b-1設置於像素12-1,長度方向自左上方朝向右下方之斜線形狀之像素內槽22b-2設置於像素12-5,長度方向自右上方朝向左下方之斜線形狀之像素內槽22b-3設置於像素12-7,長度方向自左上方朝向右下方之斜線形狀之像素內槽22b-4設置於像素12-9。進而,長度方向自左上方朝向右下方之斜線形狀之像素內槽22b-5設置於像素12-17,長度方向自右上方朝向左下方之斜線形狀之像素內槽22b-6設置於像素12-19,長度方向自左上方朝向右下方之斜線形狀之像素內槽22b-7設置於像素12-21,長度方向自右上方朝向左下方之斜線形狀之像素內槽22b-8設置於像素12-25。
圖128係表示5×5排列之第3感度調整構造81_3之構成例之圖。
如圖128所示,5×5排列之第3感度調整構造81_3利用了沿著像素12之傾斜方向延伸之斜線形狀之像素內槽22b、沿著像素12之橫向延伸之橫線形狀之像素內槽22c、及沿著像素12之縱向延伸之縱線形狀之像素內槽22d。
5×5排列之第3感度調整構造81_3以如下配置圖案構成,即:對5×5排列之25個像素12-1至12-25中配置於4個角部之像素12設置有斜線形狀之像素內槽22b,對配置於上邊之中央3處之像素12及配置於下邊之中央3處之像素12設置有橫線形狀之像素內槽22c,對配置於右邊之中央3處之像素12及配置於左邊之中央3處之像素12設置有縱線形狀之像素內槽22d。
即,於5×5排列之第3感度調整構造81_3中,長度方向自右上方朝向左下方之斜線形狀之像素內槽22b-1設置於像素12-1,長度方向自左上方朝向右下方之斜線形狀之像素內槽22b-2設置於像素12-5,長度方向自左上方朝向右下方之斜線形狀之像素內槽22b-3設置於像素12-21,長度方向自右上方朝向左下方之斜線形狀之像素內槽22b-4設置於像素12-25。進而,橫線形狀之像素內槽22c-1設置於像素12-2,橫線形狀之像素內槽22c-2設置於像素12-3,橫線形狀之像素內槽22c-3設置於像素12-4,橫線形狀之像素內槽22c-4設置於像素12-22,橫線形狀之像素內槽22c-5設置於像素12-23,橫線形狀之像素內槽22c-6設置於像素12-24。進而,縱線形狀之像素內槽22d-1設置於像素12-6,縱線形狀之像素內槽22d-2設置於像素12-10,縱線形狀之像素內槽22d-3設置於像素12-11,縱線形狀之像素內槽22d-4設置於像素12-15,縱線形狀之像素內槽22d-5設置於像素12-16,縱線形狀之像素內槽22d-6設置於像素12-20。
圖129係表示5×5排列之第4感度調整構造81_4之構成例之圖。
如圖129所示,5×5排列之第4感度調整構造81_4利用了沿著像素12之傾斜方向延伸之斜線形狀之像素內槽22b、沿著像素12之橫向延伸之橫線形狀之像素內槽22c、及沿著像素12之縱向延伸之縱線形狀之像素內槽22d。
5×5排列之第4感度調整構造81_4以如下配置圖案構成,即:對5×5排列之25個像素12-1至12-25中配置於4個角部之像素12設置有斜線形狀之像素內槽22b,對配置於上邊之中央3處之像素12及配置於下邊之中央3處之像素12設置有橫線形狀之像素內槽22c,對配置於右邊之中央3處之像素12及配置於左邊之中央3處之像素12設置有縱線形狀之像素內槽22d。進而,以如下配置圖案構成,即:對配置於中央3×3排列之4個角部之像素12設置有斜線形狀之像素內槽22b,對配置於中央3×3排列之上邊之中央1處之像素12及配置於下邊之中央1處之像素12設置有橫線形狀之像素內槽22c,對配置於中央3×3排列之右邊之中央1處之像素12及配置於左邊之中央1處之像素12設置有縱線形狀之像素內槽22d。
即,於5×5排列之第4感度調整構造81_4中,長度方向自右上方朝向左下方之斜線形狀之像素內槽22b-1設置於像素12-1,長度方向自左上方朝向右下方之斜線形狀之像素內槽22b-2設置於像素12-5,長度方向自右上方朝向左下方之斜線形狀之像素內槽22b-3設置於像素12-7,長度方向自左上方朝向右下方之斜線形狀之像素內槽22b-4設置於像素12-9。進而,長度方向自左上方朝向右下方之斜線形狀之像素內槽22b-5設置於像素12-17,長度方向自右上方朝向左下方之斜線形狀之像素內槽22b-6設置於像素12-19,長度方向自左上方朝向右下方之斜線形狀之像素內槽22b-7設置於像素12-21,長度方向自右上方朝向左下方之斜線形狀之像素內槽22b-8設置於像素12-25。
進而,橫線形狀之像素內槽22c-1設置於像素12-2,橫線形狀之像素內槽22c-2設置於像素12-3,橫線形狀之像素內槽22c-3設置於像素12-4,橫線形狀之像素內槽22c-4設置於像素12-8。進而,橫線形狀之像素內槽22c-5設置於像素12-18,橫線形狀之像素內槽22c-6設置於像素12-22,橫線形狀之像素內槽22c-7設置於像素12-23,橫線形狀之像素內槽22c-8設置於像素12-24。
進而,縱線形狀之像素內槽22d-1設置於像素12-6,縱線形狀之像素內槽22d-2設置於像素12-10,縱線形狀之像素內槽22d-3設置於像素12-11,縱線形狀之像素內槽22d-4設置於像素12-12。進而,縱線形狀之像素內槽22d-5設置於像素12-14,縱線形狀之像素內槽22d-6設置於像素12-15,縱線形狀之像素內槽22d-7設置於像素12-16,縱線形狀之像素內槽22d-8設置於像素12-20。
圖130係表示5×5排列之第5感度調整構造81_5之構成例之圖。
如圖130所示,5×5排列之第5感度調整構造81_5利用了沿著像素12之縱向及橫向延伸之線彼此於中央部交叉之十字形狀之像素內槽22a、沿著像素12之傾斜方向延伸之斜線形狀之像素內槽22b、沿著像素12之橫向延伸之橫線形狀之像素內槽22c、及沿著像素12之縱向延伸之縱線形狀之像素內槽22d。
5×5排列之第5感度調整構造81_5以如下配置圖案構成,即:對5×5排列之25個像素12-1至12-25中配置於中央之像素12設置有十字形狀之像素內槽22a。進而,以如下配置圖案構成,即:對配置於4個角部之像素12設置有斜線形狀之像素內槽22b,對配置於上邊之中央3處之像素12及配置於下邊之中央3處之像素12設置有橫線形狀之像素內槽22c,對配置於右邊之中央3處之像素12及配置於左邊之中央3處之像素12設置有縱線形狀之像素內槽22d。進而,以如下配置圖案構成,即:對配置於中央3×3排列之4個角部之像素12設置有斜線形狀之像素內槽22b,對配置於中央3×3排列之上邊之中央1處之像素12及配置於下邊之中央1處之像素12設置有橫線形狀之像素內槽22c,對配置於中央3×3排列之右邊之中央1處之像素12及配置於左邊之中央1處之像素12設置有縱線形狀之像素內槽22d。
即,於5×5排列之第5感度調整構造81_5中,十字形狀之像素內槽22a設置於像素12-13。進而,與圖129之5×5排列之第4感度調整構造81_4同樣地設置斜線形狀之像素內槽22b-1至22b-4、橫線形狀之像素內槽22c-1至22c-4、及縱線形狀之像素內槽22d-1至22d-4。
圖131係表示5×5排列之第6感度調整構造81_6之構成例之圖。
如圖131所示,5×5排列之第6感度調整構造81_6利用了呈沿著像素12之傾斜方向延伸之斜線形狀且為擴大構造之像素內槽22g。
5×5排列之第6感度調整構造81_6與圖126之5×5排列之第1感度調整構造81_1同樣地,以如下配置圖案構成,即:對5×5排列之25個像素12-1至12-25中配置於4個角部之像素12設置有呈斜線形狀且為擴大構造之像素內槽22g。
圖132係表示5×5排列之第7感度調整構造81_7之構成例之圖。
如圖132所示,5×5排列之第7感度調整構造81_7利用了呈沿著像素12之傾斜方向延伸之斜線形狀且為擴大構造之像素內槽22g。
5×5排列之第7感度調整構造81_7與圖127之5×5排列之第2感度調整構造81_2同樣地,以如下配置圖案構成,即:對5×5排列之25個像素12-1至12-25中配置於4個角部之像素12設置有呈斜線形狀且為擴大構造之像素內槽22g,對配置於中央3×3排列之4個角部之像素12設置有呈斜線形狀且為擴大構造之像素內槽22g。
圖133係表示5×5排列之第8感度調整構造81_8之構成例之圖。
如圖133所示,5×5排列之第8感度調整構造81_8利用了呈沿著像素12之傾斜方向延伸之斜線形狀且為擴大構造之像素內槽22g、呈沿著像素12之橫向延伸之橫線形狀且為擴大構造之像素內槽22h、及呈沿著像素12之縱向延伸之縱線形狀且為擴大構造之像素內槽22i。
5×5排列之第8感度調整構造81_8與圖128之5×5排列之第3感度調整構造81_3同樣地,以如下配置圖案構成,即:對5×5排列之25個像素12-1至12-25中配置於4個角部之像素12設置有呈斜線形狀且為擴大構造之像素內槽22g,對配置於上邊之中央3處之像素12及配置於下邊之中央3處之像素12設置有呈橫線形狀且為擴大構造之像素內槽22h,對配置於右邊之中央3處之像素12及配置於左邊之中央3處之像素12設置有呈縱線形狀且為擴大構造之像素內槽22i。
圖134係表示5×5排列之第9感度調整構造81_9之構成例之圖。
如圖134所示,5×5排列之第9感度調整構造81_9利用了呈沿著像素12之傾斜方向延伸之斜線形狀且為擴大構造之像素內槽22g、呈沿著像素12之橫向延伸之橫線形狀且為擴大構造之像素內槽22h、及呈沿著像素12之縱向延伸之縱線形狀且為擴大構造之像素內槽22i。
5×5排列之第9感度調整構造81_9與圖129之5×5排列之第4感度調整構造81_4同樣地,以如下配置圖案構成,即:對5×5排列之25個像素12-1至12-25中配置於4個角部之像素12設置有呈斜線形狀且為擴大構造之像素內槽22g,對配置於上邊之中央3處之像素12及配置於下邊之中央3處之像素12設置有呈橫線形狀且為擴大構造之像素內槽22h,對配置於右邊之中央3處之像素12及配置於左邊之中央3處之像素12設置有呈縱線形狀且為擴大構造之像素內槽22i。進而,以如下配置圖案構成,即:對配置於中央3×3排列之4個角部之像素12設置有呈斜線形狀且為擴大構造之像素內槽22g,對配置於中央3×3排列之上邊之中央1處之像素12及配置於下邊之中央1處之像素12設置有呈橫線形狀且為擴大構造之像素內槽22h,對配置於中央3×3排列之右邊之中央1處之像素12及配置於左邊之中央1處之像素12設置有呈縱線形狀且為擴大構造之像素內槽22i。
圖135係表示5×5排列之第10感度調整構造81_10之構成例之圖。
如圖135所示,5×5排列之第10感度調整構造81_10利用了呈沿著像素12之縱向及橫向延伸之線彼此於中央部交叉之十字形狀且為擴大構造之像素內槽22f、呈沿著像素12之傾斜方向延伸之斜線形狀且為擴大構造之像素內槽22g、呈沿著像素12之橫向延伸之橫線形狀且為擴大構造之像素內槽22h、及呈沿著像素12之縱向延伸之縱線形狀且為擴大構造之像素內槽22i。
5×5排列之第10感度調整構造81_10與圖130之5×5排列之第5感度調整構造81_5同樣地,以如下配置圖案構成,即:對5×5排列之25個像素12-1至12-25中配置於中央之像素12設置有呈十字形狀且為擴大構造之像素內槽22f。進而,以如下配置圖案構成,即:對配置於4個角部之像素12設置有呈斜線形狀且為擴大構造之像素內槽22g,對配置於上邊之中央3處之像素12及配置於下邊之中央3處之像素12設置有呈橫線形狀且為擴大構造之像素內槽22h,對配置於右邊之中央3處之像素12及配置於左邊之中央3處之像素12設置有呈縱線形狀且為擴大構造之像素內槽22i。進而,以如下配置圖案構成,即:對配置於中央3×3排列之4個角部之像素12設置有呈斜線形狀且為擴大構造之像素內槽22g,對配置於中央3×3排列之上邊之中央1處之像素12及配置於下邊之中央1處之像素12設置有呈橫線形狀且為擴大構造之像素內槽22h,對配置於中央3×3排列之右邊之中央1處之像素12及配置於左邊之中央1處之像素12設置有呈縱線形狀且為擴大構造之像素內槽22i。
圖136係表示5×5排列之第11感度調整構造81_11之構成例之圖。
如圖136所示,5×5排列之第11感度調整構造81_11利用了沿著像素12之縱向及橫向延伸之線彼此於中央部交叉之十字形狀之像素內槽22a。
5×5排列之第11感度調整構造81_11以如下配置圖案構成,即:對5×5排列之25個像素12-1至12-25中配置於中央之像素12設置有十字形狀之像素內槽22a。即,於5×5排列之第11感度調整構造81_11中,十字形狀之像素內槽22a-1設置於像素12-13。
圖137係表示5×5排列之第12感度調整構造81_12之構成例之圖。
如圖137所示,5×5排列之第12感度調整構造81_12利用了沿著像素12之縱向及橫向延伸之線彼此於中央部交叉之十字形狀之像素內槽22a。
5×5排列之第12感度調整構造81_12以如下配置圖案構成,即:對5×5排列之25個像素12-1至12-25中配置於中央3×3排列之9處之像素12設置有十字形狀之像素內槽22a。
即,於5×5排列之第12感度調整構造81_12中,十字形狀之像素內槽22a-1至22a-3設置於像素12-7至12-9,十字形狀之像素內槽22a-4至22a-6設置於像素12-12至12-14,十字形狀之像素內槽22a-7至22a-9設置於像素12-17至12-19。
圖138係表示5×5排列之第13感度調整構造81_13之構成例之圖。
如圖138所示,5×5排列之第13感度調整構造81_13利用了沿著像素12之縱向及橫向延伸之線彼此於中央部交叉之十字形狀之像素內槽22a、及沿著像素12之傾斜方向延伸之斜線形狀之像素內槽22b。
5×5排列之第13感度調整構造81_13與圖126之5×5排列之第1感度調整構造81_1同樣地,以如下配置圖案構成,即:對5×5排列之25個像素12-1至12-25中配置於4個角部之像素12設置有斜線形狀之像素內槽22b。進而,與圖137之5×5排列之第12感度調整構造81_12同樣地,對配置於中央3×3排列之9處之像素12設置有十字形狀之像素內槽22a。
圖139係表示5×5排列之第14感度調整構造81_14之構成例之圖。
如圖139所示,5×5排列之第14感度調整構造81_14利用了沿著像素12之縱向及橫向延伸之線彼此於中央部交叉之十字形狀之像素內槽22a。
5×5排列之第14感度調整構造81_14以對5×5排列之25個像素12-1至12-25全部設置有十字形狀之像素內槽22a之配置圖案構成。即,於5×5排列之第14感度調整構造81_14中,十字形狀之像素內槽22a-1至22a-25分別設置於像素12-1至12-25。
圖140係表示5×5排列之第15感度調整構造81_15之構成例之圖。
如圖140所示,5×5排列之第15感度調整構造81_15利用了沿著像素12之縱向及橫向延伸之線彼此於中央部交叉之十字形狀之像素內槽22a、沿著像素12之傾斜方向延伸之斜線形狀之像素內槽22b、沿著像素12之橫向延伸之橫線形狀之像素內槽22c、及沿著像素12之縱向延伸之縱線形狀之像素內槽22d。
5×5排列之第15感度調整構造81_15與圖128之5×5排列之第3感度調整構造81_3同樣地,以如下配置圖案構成,即:對5×5排列之25個像素12-1至12-25中配置於4個角部之像素12設置有斜線形狀之像素內槽22b,對配置於上邊之中央3處之像素12及配置於下邊之中央3處之像素12設置有橫線形狀之像素內槽22c,對配置於右邊之中央3處之像素12及配置於左邊之中央3處之像素12設置有縱線形狀之像素內槽22d。進而,與圖137之5×5排列之第12感度調整構造81_12同樣地,以如下配置圖案構成,即:對配置於中央3×3排列之9處之像素12設置有十字形狀之像素內槽22a。
圖141係表示5×5排列之第16感度調整構造81_16之構成例之圖。
如圖141所示,5×5排列之第16感度調整構造81_16利用了呈沿著像素12之縱向及橫向延伸之線彼此於中央部交叉之十字形狀且為擴大構造之像素內槽22f。
5×5排列之第16感度調整構造81_16與圖136之5×5排列之第11感度調整構造81_11同樣地,以如下配置圖案構成,即:對5×5排列之25個像素12-1至12-25中配置於中央之像素12設置有呈十字形狀且為擴大構造之像素內槽22f。
圖142係表示5×5排列之第17感度調整構造81_17之構成例之圖。
如圖142所示,5×5排列之第17感度調整構造81_17利用了呈沿著像素12之縱向及橫向延伸之線彼此於中央部交叉之十字形狀且為擴大構造之像素內槽22f。
5×5排列之第17感度調整構造81_17與圖137之5×5排列之第12感度調整構造81_12同樣地,以如下配置圖案構成,即:對5×5排列之25個像素12-1至12-25中配置於中央3×3排列之9處之像素12設置有呈十字形狀且為擴大構造之像素內槽22f。
圖143係表示5×5排列之第18感度調整構造81_18之構成例之圖。
如圖143所示,5×5排列之第18感度調整構造81_18利用了呈沿著像素12之縱向及橫向延伸之線彼此於中央部交叉之十字形狀且為擴大構造之像素內槽22f、及呈沿著像素12之傾斜方向延伸之斜線形狀且為擴大構造之像素內槽22g。
5×5排列之第18感度調整構造81_18與圖138之5×5排列之第13感度調整構造81_13同樣地,以如下配置圖案構成,即:對5×5排列之25個像素12-1至12-25中配置於中央3×3排列之9處之像素12設置有呈十字形狀且為擴大構造之像素內槽22f,對配置於4個角部之像素12設置有呈斜線形狀且為擴大構造之像素內槽22g。
圖144係表示5×5排列之第19感度調整構造81_19之構成例之圖。
如圖144所示,5×5排列之第19感度調整構造81_19利用了呈沿著像素12之縱向及橫向延伸之線彼此於中央部交叉之十字形狀且為擴大構造之像素內槽22f。
5×5排列之第19感度調整構造81_19與圖139之5×5排列之第14感度調整構造81_14同樣地,以如下配置圖案構成,即:對5×5排列之25個像素12-1至12-25全部設置有呈十字形狀且為擴大構造之像素內槽22f。
圖145係表示5×5排列之第20感度調整構造81_20之構成例之圖。
如圖145所示,5×5排列之第20感度調整構造81_20利用了呈沿著像素12之縱向及橫向延伸之線彼此於中央部交叉之十字形狀且為擴大構造之像素內槽22f、呈沿著像素12之傾斜方向延伸之斜線形狀且為擴大構造之像素內槽22g、呈沿著像素12之橫向延伸之橫線形狀且為擴大構造之像素內槽22h、及呈沿著像素12之縱向延伸之縱線形狀且為擴大構造之像素內槽22i。
5×5排列之第20感度調整構造81_20與圖140之5×5排列之第15感度調整構造81_15同樣地,以如下配置圖案構成,即:對5×5排列之25個像素12-1至12-25中配置於中央3×3排列之9處之像素12設置有呈十字形狀且為擴大構造之像素內槽22f,對配置於4個角部之像素12設置有呈斜線形狀且為擴大構造之像素內槽22g,對配置於上邊之中央3處之像素12及配置於下邊之中央3處之像素12設置有呈橫線形狀且為擴大構造之像素內槽22h,對配置於右邊之中央3處之像素12及配置於左邊之中央3處之像素12設置有呈縱線形狀且為擴大構造之像素內槽22i。
圖146係表示5×5排列之第21感度調整構造81_21之構成例之圖。
如圖146所示,5×5排列之第21感度調整構造81_21利用了沿著像素12之縱向及橫向延伸之線彼此於端部接合之L字形狀之像素內槽22e。
5×5排列之第21感度調整構造81_21以如下配置圖案構成,即:對5×5排列之25個像素12-1至12-25中配置於4個角部之像素12設置有L字形狀之像素內槽22e。L字形狀之像素內槽22e係以沿著縱向及橫向延伸之線之接合部配置於5×5排列之中央側之方式形成,以下所說明之5×5排列之感度調整構造81亦同樣如此形成。
即,於5×5排列之第21感度調整構造81_21中,右邊附近配置有縱向之線且下邊附近配置有橫向之線之L字形狀之像素內槽22e-1設置於像素12-1,左邊附近配置有縱向之線且下邊附近配置有橫向之線之L字形狀之像素內槽22e-2設置於像素12-5。進而,右邊附近配置有縱向之線且上邊附近配置有橫向之線之L字形狀之像素內槽22e-3設置於像素12-21,左邊附近配置有縱向之線且上邊附近配置有橫向之線之L字形狀之像素內槽22e-4設置於像素12-25。
圖147係表示5×5排列之第22感度調整構造81_22之構成例之圖。
如圖147所示,5×5排列之第22感度調整構造81_22利用了沿著像素12之橫向延伸之橫線形狀之像素內槽22c、沿著像素12之縱向延伸之縱線形狀之像素內槽22d、以及沿著像素12之縱向及橫向延伸之線彼此於端部接合之L字形狀之像素內槽22e。
5×5排列之第22感度調整構造81_22以如下配置圖案構成,即:對5×5排列之25個像素12-1至12-25中配置於上邊之中央3處之像素12及配置於下邊之中央3處之像素12設置有橫線形狀之像素內槽22c,對配置於右邊之中央3處之像素12及配置於左邊之中央3處之像素12設置有縱線形狀之像素內槽22d,對配置於4個角部之像素12設置有L字形狀之像素內槽22e。
即,於5×5排列之第22感度調整構造81_22中,橫線形狀之像素內槽22c-1設置於像素12-2,橫線形狀之像素內槽22c-2設置於像素12-3,橫線形狀之像素內槽22c-3設置於像素12-4,橫線形狀之像素內槽22c-4設置於像素12-22,橫線形狀之像素內槽22c-5設置於像素12-23,橫線形狀之像素內槽22c-6設置於像素12-24。進而,縱線形狀之像素內槽22d-1設置於像素12-6,縱線形狀之像素內槽22d-2設置於像素12-10,縱線形狀之像素內槽22d-3設置於像素12-11,縱線形狀之像素內槽22d-4設置於像素12-15,縱線形狀之像素內槽22d-5設置於像素12-16,縱線形狀之像素內槽22d-6設置於像素12-20。
進而,右邊附近配置有縱向之線且下邊附近配置有橫向之線之L字形狀之像素內槽22e-1設置於像素12-1,左邊附近配置有縱向之線且下邊附近配置有橫向之線之L字形狀之像素內槽22e-2設置於像素12-5。進而,右邊附近配置有縱向之線且上邊附近配置有橫向之線之L字形狀之像素內槽22e-3設置於像素12-21,左邊附近配置有縱向之線且上邊附近配置有橫向之線之L字形狀之像素內槽22e-4設置於像素12-25。
圖148係表示5×5排列之第23感度調整構造81_23之構成例之圖。
如圖148所示,5×5排列之第23感度調整構造81_23利用了沿著像素12之縱向及橫向延伸之線彼此於中央部交叉之十字形狀之像素內槽22a、沿著像素12之橫向延伸之橫線形狀之像素內槽22c、沿著像素12之縱向延伸之縱線形狀之像素內槽22d、以及沿著像素12之縱向及橫向延伸之線彼此於端部接合之L字形狀之像素內槽22e。
5×5排列之第23感度調整構造81_23與圖147之5×5排列之第22感度調整構造81_22同樣地,以如下配置圖案構成,即:對5×5排列之25個像素12-1至12-25中配置於4個角部之像素12設置有L字形狀之像素內槽22e,對配置於上邊之中央3處之像素12及配置於下邊之中央3處之像素12設置有橫線形狀之像素內槽22c,對配置於右邊之中央3處之像素12及配置於左邊之中央3處之像素12設置有縱線形狀之像素內槽22d。進而,與圖137之5×5排列之第12感度調整構造81_12同樣地,以如下配置圖案構成,即:對配置於中央3×3排列之9處之像素12設置有十字形狀之像素內槽22a。
圖149係表示5×5排列之第24感度調整構造81_24之構成例之圖。
如圖149所示,5×5排列之第24感度調整構造81_24利用了呈沿著L字形狀之像素內槽22e之縱向及橫向延伸之線擴大至像素端部之L字形狀且為擴大構造之像素內槽22j。
5×5排列之第24感度調整構造81_24與圖146之5×5排列之第21感度調整構造81_21同樣地,以如下配置圖案構成,即:對5×5排列之25個像素12-1至12-25中配置於4個角部之像素12設置有呈L字形狀且為擴大構造之像素內槽22j。
圖150係表示5×5排列之第25感度調整構造81_25之構成例之圖。
如圖150所示,5×5排列之第25感度調整構造81_25利用了呈沿著像素12之橫向延伸之橫線形狀且為擴大構造之像素內槽22h、呈沿著像素12之縱向延伸之縱線形狀且為擴大構造之像素內槽22i、以及呈沿著L字形狀之像素內槽22e之縱向及橫向延伸之線擴大至像素端部之L字形狀且為擴大構造之像素內槽22j。
5×5排列之第25感度調整構造81_25與圖147之5×5排列之第22感度調整構造81_22同樣地,以如下配置圖案構成,即:對5×5排列之25個像素12-1至12-25中配置於上邊之中央3處之像素12及配置於下邊之中央3處之像素12設置有呈橫線形狀且為擴大構造之像素內槽22h,對配置於右邊之中央3處之像素12及配置於左邊之中央3處之像素12設置有呈縱線形狀且為擴大構造之像素內槽22i,對配置於4個角部之像素12設置有呈L字形狀且為擴大構造之像素內槽22j。
圖151係表示5×5排列之第26感度調整構造81_26之構成例之圖。
如圖151所示,5×5排列之第26感度調整構造81_26利用了呈沿著像素12之縱向及橫向延伸之線彼此於中央部交叉之十字形狀且為擴大構造之像素內槽22f、呈沿著像素12之橫向延伸之橫線形狀且為擴大構造之像素內槽22h、呈沿著像素12之縱向延伸之縱線形狀且為擴大構造之像素內槽22i、以及呈沿著L字形狀之像素內槽22e之縱向及橫向延伸之線擴大至像素端部之L字形狀且為擴大構造之像素內槽22j。
5×5排列之第26感度調整構造81_26與圖148之5×5排列之第23感度調整構造81_23同樣地,以如下配置圖案構成,即:對5×5排列之25個像素12-1至12-25中配置於中央3×3排列之9處之像素12設置有呈十字形狀且為擴大構造之像素內槽22f,對配置於上邊之中央3處之像素12及配置於下邊之中央3處之像素12設置有呈橫線形狀且為擴大構造之像素內槽22h,對配置於右邊之中央3處之像素12及配置於左邊之中央3處之像素12設置有呈縱線形狀且為擴大構造之像素內槽22i,對配置於4個角部之像素12設置有呈L字形狀且為擴大構造之像素內槽22j。
圖152係表示5×5排列之第27感度調整構造81_27之構成例之圖。
如圖152所示,5×5排列之第27感度調整構造81_27利用了沿著像素12之橫向延伸之橫線形狀之像素內槽22c。
5×5排列之第27感度調整構造81_27以如下配置圖案構成,即:對5×5排列之25個像素12-1至12-25中配置於中央1列之5處之像素12設置有橫線形狀之像素內槽22c。即,於5×5排列之第27感度調整構造81_27中,橫線形狀之像素內槽22c-1至22c-5分別設置於像素12-11至12-15。
圖153係表示5×5排列之第28感度調整構造81_28之構成例之圖。
如圖153所示,5×5排列之第28感度調整構造81_28利用了沿著像素12之橫向延伸之橫線形狀之像素內槽22c。
5×5排列之第28感度調整構造81_28以如下配置圖案構成,即:對5×5排列之25個像素12-1至12-25中配置於中央3列之15處之像素12設置有橫線形狀之像素內槽22c。即,於5×5排列之第28感度調整構造81_28中,橫線形狀之像素內槽22c-1至22c-15分別設置於像素12-6至12-20。
圖154係表示5×5排列之第29感度調整構造81_29之構成例之圖。
如圖154所示,5×5排列之第29感度調整構造81_29利用了呈沿著像素12之橫向延伸之橫線形狀且為擴大構造之像素內槽22h。
5×5排列之第29感度調整構造81_29與圖152之5×5排列之第27感度調整構造81_27同樣地,以如下配置圖案構成,即:對5×5排列之25個像素12-1至12-25中配置於中央1列之5處之像素12設置有呈橫線形狀且為擴大構造之像素內槽22h。
圖155係表示5×5排列之第30感度調整構造81_30之構成例之圖。
如圖155所示,5×5排列之第30感度調整構造81_30利用了呈沿著像素12之橫向延伸之橫線形狀且為擴大構造之像素內槽22h。
5×5排列之第30感度調整構造81_30與圖153之5×5排列之第28感度調整構造81_28同樣地,以如下配置圖案構成,即:對5×5排列之25個像素12-1至12-25中配置於中央3列之15處之像素12設置有呈橫線形狀且為擴大構造之像素內槽22h。
圖156係表示5×5排列之第31感度調整構造81_31之構成例之圖。
如圖156所示,5×5排列之第31感度調整構造81_31利用了沿著像素12之縱向延伸之縱線形狀之像素內槽22d。
5×5排列之第31感度調整構造81_31以如下配置圖案構成,即:對5×5排列之25個像素12-1至12-25中配置於中央1行之5處之像素12設置有縱線形狀之像素內槽22d。即,於5×5排列之第31感度調整構造81_31中,縱線形狀之像素內槽22d-1設置於像素12-3,縱線形狀之像素內槽22d-2設置於像素12-8,縱線形狀之像素內槽22d-3設置於像素12-13,縱線形狀之像素內槽22d-4設置於像素12-18,縱線形狀之像素內槽22d-5設置於像素12-23。
圖157係表示5×5排列之第32感度調整構造81_32之構成例之圖。
如圖157所示,5×5排列之第32感度調整構造81_32利用了沿著像素12之縱向延伸之縱線形狀之像素內槽22d。
5×5排列之第32感度調整構造81_32以如下配置圖案構成,即:對5×5排列之25個像素12-1至12-25中配置於中央3行之15處之像素12設置有縱線形狀之像素內槽22d。即,於5×5排列之第32感度調整構造81_32中,縱線形狀之像素內槽22d-1至22d-3設置於像素12-2至12-4,縱線形狀之像素內槽22d-4至22d-6設置於像素12-7至12-9,縱線形狀之像素內槽22d-7至22d-9設置於像素12-12至12-14,縱線形狀之像素內槽22d-10至22d-12設置於像素12-17至12-19,縱線形狀之像素內槽22d-13至22d-15設置於像素12-22至12-24。
圖158係表示5×5排列之第33感度調整構造81_33之構成例之圖。
如圖158所示,5×5排列之第33感度調整構造81_33利用了呈沿著像素12之縱向延伸之縱線形狀且為擴大構造之像素內槽22i。
5×5排列之第33感度調整構造81_33與圖156之5×5排列之第31感度調整構造81_31同樣地,以如下配置圖案構成,即:對5×5排列之25個像素12-1至12-25中配置於中央1行之5處之像素12設置有呈縱線形狀且為擴大構造之像素內槽22i。
圖159係表示5×5排列之第34感度調整構造81_34之構成例之圖。
如圖159所示,5×5排列之第34感度調整構造81_34利用了呈沿著像素12之縱向延伸之縱線形狀且為擴大構造之像素內槽22i。
5×5排列之第34感度調整構造81_34與圖157之5×5排列之第32感度調整構造81_32同樣地,以如下配置圖案構成,即:對5×5排列之25個像素12-1至12-25中配置於中央3行之15處之像素12設置有呈縱線形狀且為擴大構造之像素內槽22i。
藉由對同色像素群13應用如上所述之5×5排列之感度調整構造81,與上述4×4排列同樣地,能抑制同色像素群13中之像素12之感度差,從而獲得更均一之感度特性。
再者,並不限定於採用如上所述之像素內槽22之配置圖案的感度調整構造81之構成例,而可採用各種像素內槽22之配置圖案,只要能助力於同色像素群13中之像素12之感度差之抑制即可。
<電子機器之構成例> 如上所述之攝像元件11可應用於各種電子機器,例如數位靜態相機或數位攝錄影機等攝像系統、具備攝像功能之便攜式電話機、或具備攝像功能之其他機器。
圖160係表示搭載於電子機器之攝像裝置之構成例之方塊圖。
如圖160所示,攝像裝置101係具備光學系統102、攝像元件103、信號處理電路104、監視器105及記憶體106而構成,可拍攝靜止圖像及動態圖像。
光學系統102係具有1片或複數片透鏡而構成,將來自被攝體之像光(入射光)引導至攝像元件103,使其成像於攝像元件103之受光面(感測部)。
應用上述攝像元件11作為攝像元件103。根據要經由光學系統102成像於受光面之像,使電子持續一定期間地儲存於攝像元件103。然後,根據攝像元件103中儲存之電子,向信號處理電路104供給信號。
信號處理電路104對自攝像元件103輸出之像素信號實施各種信號處理。藉由信號處理電路104實施信號處理而獲得之圖像(圖像資料)被供給至監視器105而顯示,或被供給至記憶體106而記憶(記錄)。
於如此構成之攝像裝置101中,藉由應用上述攝像元件11,例如能拍攝出更高畫質之圖像。
<影像感測器之使用例> 圖161係表示使用上述影像感測器(攝像元件)之使用例之圖。
上述影像感測器可用於各種情景,例如,如下所述,感測可見光、紅外光、紫外光、X射線等光。
・拍攝觀看用圖像之裝置,如數位相機或帶相機功能之便攜式機器等 ・供交通之用之裝置,如為了實現自動停止等安全駕駛功能、或識別駕駛員之狀態等目的,而拍攝汽車之前方、後方、周圍、車內等之車載用感測器;監視行駛車輛或道路之監視相機;進行車輛間等之測距之測距感測器等 ・供TV、冰箱、空調等家電使用之裝置,以拍攝使用者之手勢,並按照該手勢進行機器操作 ・供醫療或健康護理之用之裝置,如內視鏡、藉由接收紅外光而拍攝血管之裝置等 ・供安全之用之裝置,如防盜用途之監視相機、人物認證用途之相機等 ・供美容之用之裝置,如拍攝皮膚之肌膚測定器、拍攝頭皮之顯微鏡等 ・供運動之用之裝置,如面向運動用途等之運動相機、可穿戴式相機等 ・供農業之用之裝置,如用以監視農田、農作物之狀態之相機等
<構成之組合例> 再者,本技術亦可採用如下構成。 (1) 一種固態攝像元件,其具備: 同色像素群,其係將接收同一顏色之光之像素以n×n排列(n係2以上之整數)配置而成; 晶載透鏡,其係於上述同色像素群中針對每m×m排列(m係n以下之整數)之上述像素而設置;及 感度調整構造,其係於上述同色像素群之特定之上述像素的半導體基板之光入射面側設置有掘入部之構成,該掘入部較用以針對每個上述像素將光電轉換部分離之元件分離部淺。 (2) 如上述(1)之固態攝像元件,其中上述同色像素群由4×4排列之上述像素構成,且 針對每2×2排列之上述像素設置上述晶載透鏡。 (3) 如上述(1)或(2)之固態攝像元件,其中於俯視上述像素時,上述掘入部為沿著上述像素之縱向及橫向延伸之線彼此於中央部交叉之十字形狀、線沿著上述像素之傾斜方向延伸之斜線形狀、線沿著上述像素之橫向延伸之橫線形狀、線沿著上述像素之縱向延伸之縱線形狀、或沿著上述像素之縱向及橫向延伸之線彼此於端部接合之L字形狀。 (4) 如上述(3)之固態攝像元件,其中於俯視上述像素時,上述掘入部為上述線設置於上述像素之中央之一部分之構造、或以上述線之兩端部與上述元件分離部連結之方式設置之構造。 (5) 如上述(1)至(4)中任一項之固態攝像元件,其中對4×4排列之16個上述像素中配置於中央部之2×2排列之4處之上述像素設置有上述十字形狀之上述掘入部。 (6) 如上述(1)至(5)中任一項之固態攝像元件,其中對4×4排列之16個上述像素中配置於4個角部之上述像素設置有上述斜線形狀之上述掘入部,且 上述斜線形狀之上述掘入部各自之沿著長度方向之側面朝向4×4排列之中央。 (7) 如上述(1)至(5)中任一項之固態攝像元件,其中對4×4排列之16個上述像素中配置於4個角部之上述像素設置有上述L字形狀之上述掘入部,且 上述L字形狀之上述掘入部中沿著縱向及橫向延伸之線之接合部配置於4×4排列之中央側。 (8) 如上述(1)至(4)中任一項之固態攝像元件,其中對4×4排列之16個上述像素中配置於上邊4處之上述像素及配置於下邊4處之上述像素設置有上述十字形狀之上述掘入部。 (9) 如上述(1)至(4)或(8)中任一項之固態攝像元件,其中對4×4排列之16個上述像素中配置於中央2列之8處之上述像素設置有上述橫線形狀之上述掘入部。 (10) 如上述(1)至(4)中任一項之固態攝像元件,其中對4×4排列之16個上述像素中配置於左邊4處之上述像素及配置於右邊4處之上述像素設置有上述十字形狀之上述掘入部。 (11) 如上述(1)至(4)或(10)中任一項之固態攝像元件,其中對4×4排列之16個上述像素中配置於中央2行之8處之上述像素設置有上述縱線形狀之上述掘入部。 (12) 如上述(1)或(2)之固態攝像元件,其中於俯視上述像素時,上述掘入部為大致圓點形狀、以特定間距設置有沿著上述像素之縱向及橫向延伸之複數個線之格子形狀、設置有沿著上述像素之橫向延伸之複數個線之橫條紋狀、設置有沿著上述像素之縱向延伸之複數個線之縱條紋狀、或以特定間距設置有複數個凹部之多凹部形狀。 (13) 如上述(12)之固態攝像元件,其中對4×4排列之16個上述像素中配置於中央部之2×2排列之4處之上述像素設置有上述點形狀或多凹部形狀之上述掘入部。 (14) 如上述(12)之固態攝像元件,其中對4×4排列之16個上述像素中配置於上邊4處之上述像素及配置於下邊4處之上述像素設置有上述格子形狀或多凹部形狀之上述掘入部。 (15) 如上述(12)或(14)之固態攝像元件,其中對4×4排列之16個上述像素中配置於中央2列之8處之上述像素設置有上述橫條紋狀之上述掘入部。 (16) 如上述(12)之固態攝像元件,其中對4×4排列之16個上述像素中配置於左邊4處之上述像素及配置於右邊4處之上述像素設置有上述格子形狀或多凹部形狀之上述掘入部。 (17) 如上述(12)或(16)中任一項之固態攝像元件,其中對4×4排列之16個上述像素中配置於中央2行之8處之上述像素設置有上述縱條紋狀之上述掘入部。 (18) 如上述(1)至(17)中任一項之固態攝像元件,其進而具備針對左右或上下鄰接之2個上述像素而配置之第2晶載透鏡,且 對配置有上述第2晶載透鏡之上述像素以外之上述像素設置有上述掘入部。 (19) 如上述(1)之固態攝像元件,其中上述同色像素群由5×5排列之上述像素構成。 (20) 一種電子機器,其具備固態攝像元件,該固態攝像元件具有: 同色像素群,其係將接收同一顏色之光之像素以n×n排列(n係2以上之整數)配置而成; 晶載透鏡,其係於上述同色像素群中針對每m×m排列(m係n以下之整數)之上述像素而設置;及 感度調整構造,其係於上述同色像素群之特定之上述像素的半導體基板之光入射面側設置有掘入部之構成,該掘入部較用以針對每個上述像素將光電轉換部分離之元件分離部淺。
再者,本實施方式並不限定於上述實施方式,而可於不脫離本發明之主旨之範圍內實施各種變更。又,本說明書中所記載之效果終歸僅為例示,而非予以限定者,亦可為其他效果。
11:攝像元件 12:像素 12-1~12-16:像素 13:同色像素群 14:晶載透鏡 15:2×1OCL 21:感度調整構造 21-1:像素 22:像素內槽 22a-1~22a-4:像素內槽 31:半導體層 32:濾光層 33:晶載透鏡層 41:光電轉換部 41-5~41-8:光電轉換部 42:元件分離部 43:彩色濾光片 44:遮光部 51:感測面 61:組合佈局 71:2×1OCL配置圖案 81:5×5排列之感度調整構造
圖1係對應用了本技術之攝像元件之基本構成進行說明之圖。 圖2係對每個同色像素群之感度差進行說明之圖。 圖3係表示第1感度調整構造之構成例之圖。 圖4係表示第2感度調整構造之構成例之圖。 圖5係表示第3感度調整構造之構成例之圖。 圖6係表示第4感度調整構造之構成例之圖。 圖7係表示第5感度調整構造之構成例之圖。 圖8係表示第6感度調整構造之構成例之圖。 圖9係表示第7感度調整構造之構成例之圖。 圖10係表示第8感度調整構造之構成例之圖。 圖11係表示第9感度調整構造之構成例之圖。 圖12係表示第10感度調整構造之構成例之圖。 圖13係表示第11感度調整構造之構成例之圖。 圖14係表示第12感度調整構造之構成例之圖。 圖15係表示第13感度調整構造之構成例之圖。 圖16係表示第14感度調整構造之構成例之圖。 圖17係表示第15感度調整構造之構成例之圖。 圖18係表示第16感度調整構造之構成例之圖。 圖19係表示第17感度調整構造之構成例之圖。 圖20係表示第18感度調整構造之構成例之圖。 圖21係表示第19感度調整構造之構成例之圖。 圖22係表示第20感度調整構造之構成例之圖。 圖23係表示第21感度調整構造之構成例之圖。 圖24係表示第22感度調整構造之構成例之圖。 圖25係表示第23感度調整構造之構成例之圖。 圖26係表示第24感度調整構造之構成例之圖。 圖27係表示第25感度調整構造之構成例之圖。 圖28係表示第26感度調整構造之構成例之圖。 圖29係表示第27感度調整構造之構成例之圖。 圖30係表示第28感度調整構造之構成例之圖。 圖31係表示第29感度調整構造之構成例之圖。 圖32係表示第30感度調整構造之構成例之圖。 圖33係表示第31感度調整構造之構成例之圖。 圖34係表示第32感度調整構造之構成例之圖。 圖35係表示第33感度調整構造之構成例之圖。 圖36係表示第34感度調整構造之構成例之圖。 圖37係表示第35感度調整構造之構成例之圖。 圖38係表示第36感度調整構造之構成例之圖。 圖39係表示第37感度調整構造之構成例之圖。 圖40係表示第38感度調整構造之構成例之圖。 圖41係表示第39感度調整構造之構成例之圖。 圖42係表示第40感度調整構造之構成例之圖。 圖43係表示第41感度調整構造之構成例之圖。 圖44係表示第42感度調整構造之構成例之圖。 圖45係表示第43感度調整構造之構成例之圖。 圖46係表示第44感度調整構造之構成例之圖。 圖47係對第43感度調整構造及第44感度調整構造之配置例進行說明之圖。 圖48係表示第45感度調整構造之構成例之圖。 圖49係表示第46感度調整構造之構成例之圖。 圖50係表示第47感度調整構造之構成例之圖。 圖51係表示第48感度調整構造之構成例之圖。 圖52係表示第49感度調整構造之構成例之圖。 圖53係表示第50感度調整構造之構成例之圖。 圖54係表示第51感度調整構造之構成例之圖。 圖55係表示第52感度調整構造之構成例之圖。 圖56係表示第53感度調整構造之構成例之圖。 圖57係表示第54感度調整構造之構成例之圖。 圖58係表示第55感度調整構造之構成例之圖。 圖59係表示第56感度調整構造之構成例之圖。 圖60係表示第57感度調整構造之構成例之圖。 圖61係表示第58感度調整構造之構成例之圖。 圖62係表示第59感度調整構造之構成例之圖。 圖63係表示第60感度調整構造之構成例之圖。 圖64係表示第61感度調整構造之構成例之圖。 圖65係表示第62感度調整構造之構成例之圖。 圖66係表示第1組合佈局之構成例之圖。 圖67係第1組合佈局之剖視圖。 圖68係表示第2組合佈局之構成例之圖。 圖69係第2組合佈局之剖視圖。 圖70係表示第3組合佈局之構成例之圖。 圖71係第3組合佈局之剖視圖。 圖72係表示第4組合佈局之構成例之圖。 圖73係第4組合佈局之剖視圖。 圖74係表示第5組合佈局之構成例之圖。 圖75係第5組合佈局之剖視圖。 圖76係表示第6組合佈局之構成例之圖。 圖77係第6組合佈局之剖視圖。 圖78係表示第7組合佈局之構成例之圖。 圖79係第7組合佈局之剖視圖。 圖80係表示第8組合佈局之構成例之圖。 圖81係表示第9組合佈局之構成例之圖。 圖82係表示第10組合佈局之構成例之圖。 圖83係表示第11組合佈局之構成例之圖。 圖84係表示第12組合佈局之構成例之圖。 圖85係表示第13組合佈局之構成例之圖。 圖86係表示第1 2×1OCL(On-Chip Lens,晶載透鏡)配置圖案之一例之圖。 圖87係第1 2×1OCL配置圖案之剖視圖。 圖88係表示第2 2×1OCL配置圖案之一例之圖。 圖89係表示第3 2×1OCL配置圖案之一例之圖。 圖90係表示第4 2×1OCL配置圖案之一例之圖。 圖91係表示第5 2×1OCL配置圖案之一例之圖。 圖92係表示第6 2×1OCL配置圖案之一例之圖。 圖93係表示第7 2×1OCL配置圖案之一例之圖。 圖94係表示第8 2×1OCL配置圖案之一例之圖。 圖95係表示第9 2×1OCL配置圖案之一例之圖。 圖96係表示第10 2×1OCL配置圖案之一例之圖。 圖97係表示第11 2×1OCL配置圖案之一例之圖。 圖98係表示第12 2×1OCL配置圖案之一例之圖。 圖99係表示第13 2×1OCL配置圖案之一例之圖。 圖100係表示第14 2×1OCL配置圖案之一例之圖。 圖101係表示第15 2×1OCL配置圖案之一例之圖。 圖102係表示第16 2×1OCL配置圖案之一例之圖。 圖103係表示第17 2×1OCL配置圖案之一例之圖。 圖104係表示第18 2×1OCL配置圖案之一例之圖。 圖105係表示第19 2×1OCL配置圖案之一例之圖。 圖106係表示第20 2×1OCL配置圖案之一例之圖。 圖107係表示第21 2×1OCL配置圖案之一例之圖。 圖108係表示第22 2×1OCL配置圖案之一例之圖。 圖109係表示第23 2×1OCL配置圖案之一例之圖。 圖110係表示第24 2×1OCL配置圖案之一例之圖。 圖111係表示第25 2×1OCL配置圖案之一例之圖。 圖112係表示第26 2×1OCL配置圖案之一例之圖。 圖113係表示第27 2×1OCL配置圖案之一例之圖。 圖114係表示第28 2×1OCL配置圖案之一例之圖。 圖115係表示第29 2×1OCL配置圖案之一例之圖。 圖116係表示第30 2×1OCL配置圖案之一例之圖。 圖117係表示第31 2×1OCL配置圖案之一例之圖。 圖118係表示第32 2×1OCL配置圖案之一例之圖。 圖119係表示第33 2×1OCL配置圖案之一例之圖。 圖120係表示第34 2×1OCL配置圖案之一例之圖。 圖121係表示第35 2×1OCL配置圖案之一例之圖。 圖122係表示第36 2×1OCL配置圖案之一例之圖。 圖123係表示第37 2×1OCL配置圖案之一例之圖。 圖124係表示第38 2×1OCL配置圖案之一例之圖。 圖125係表示第39 2×1OCL配置圖案之一例之圖。 圖126係表示5×5排列之第1感度調整構造之構成例之圖。 圖127係表示5×5排列之第2感度調整構造之構成例之圖。 圖128係表示5×5排列之第3感度調整構造之構成例之圖。 圖129係表示5×5排列之第4感度調整構造之構成例之圖。 圖130係表示5×5排列之第5感度調整構造之構成例之圖。 圖131係表示5×5排列之第6感度調整構造之構成例之圖。 圖132係表示5×5排列之第7感度調整構造之構成例之圖。 圖133係表示5×5排列之第8感度調整構造之構成例之圖。 圖134係表示5×5排列之第9感度調整構造之構成例之圖。 圖135係表示5×5排列之第10感度調整構造之構成例之圖。 圖136係表示5×5排列之第11感度調整構造之構成例之圖。 圖137係表示5×5排列之第12感度調整構造之構成例之圖。 圖138係表示5×5排列之第13感度調整構造之構成例之圖。 圖139係表示5×5排列之第14感度調整構造之構成例之圖。 圖140係表示5×5排列之第15感度調整構造之構成例之圖。 圖141係表示5×5排列之第16感度調整構造之構成例之圖。 圖142係表示5×5排列之第17感度調整構造之構成例之圖。 圖143係表示5×5排列之第18感度調整構造之構成例之圖。 圖144係表示5×5排列之第19感度調整構造之構成例之圖。 圖145係表示5×5排列之第20感度調整構造之構成例之圖。 圖146係表示5×5排列之第21感度調整構造之構成例之圖。 圖147係表示5×5排列之第22感度調整構造之構成例之圖。 圖148係表示5×5排列之第23感度調整構造之構成例之圖。 圖149係表示5×5排列之第24感度調整構造之構成例之圖。 圖150係表示5×5排列之第25感度調整構造之構成例之圖。 圖151係表示5×5排列之第26感度調整構造之構成例之圖。 圖152係表示5×5排列之第27感度調整構造之構成例之圖。 圖153係表示5×5排列之第28感度調整構造之構成例之圖。 圖154係表示5×5排列之第29感度調整構造之構成例之圖。 圖155係表示5×5排列之第30感度調整構造之構成例之圖。 圖156係表示5×5排列之第31感度調整構造之構成例之圖。 圖157係表示5×5排列之第32感度調整構造之構成例之圖。 圖158係表示5×5排列之第33感度調整構造之構成例之圖。 圖159係表示5×5排列之第34感度調整構造之構成例之圖。 圖160係表示攝像裝置之構成例之方塊圖。 圖161係表示使用影像感測器之使用例之圖。
12-1~12-16:像素
14:晶載透鏡
21_1:第1感度調整構造
22a-1~22a-4:像素內槽
31:半導體層
32:濾光層
33:晶載透鏡層
41-5~41-8:光電轉換部
42:元件分離部
43:彩色濾光片
44:遮光部

Claims (20)

  1. 一種固態攝像元件,其具備: 同色像素群,其係將接收同一顏色之光之像素以n×n排列(n係2以上之整數)配置而成; 晶載透鏡,其係於上述同色像素群中針對每m×m排列(m係n以下之整數)之上述像素而設置;及 感度調整構造,其係於上述同色像素群之特定之上述像素的半導體基板之光入射面側設置有掘入部之構成,該掘入部較用以針對每個上述像素將光電轉換部分離之元件分離部淺。
  2. 如請求項1之固態攝像元件,其中 上述同色像素群由4×4排列之上述像素構成,且 針對每2×2排列之上述像素設置上述晶載透鏡。
  3. 如請求項2之固態攝像元件,其中 於俯視上述像素時,上述掘入部為沿著上述像素之縱向及橫向延伸之線彼此於中央部交叉之十字形狀、線沿著上述像素之傾斜方向延伸之斜線形狀、線沿著上述像素之橫向延伸之橫線形狀、線沿著上述像素之縱向延伸之縱線形狀、或沿著上述像素之縱向及橫向延伸之線彼此於端部接合之L字形狀。
  4. 如請求項3之固態攝像元件,其中 於俯視上述像素時,上述掘入部為上述線設置於上述像素之中央之一部分之構造、或以上述線之兩端部與上述元件分離部連結之方式設置之構造。
  5. 如請求項4之固態攝像元件,其中 對4×4排列之16個上述像素中配置於中央部之2×2排列之4處之上述像素設置有上述十字形狀之上述掘入部。
  6. 如請求項4之固態攝像元件,其中 對4×4排列之16個上述像素中配置於4個角部之上述像素設置有上述斜線形狀之上述掘入部,且 上述斜線形狀之上述掘入部各自之沿著長度方向之側面朝向4×4排列之中央。
  7. 如請求項4之固態攝像元件,其中 對4×4排列之16個上述像素中配置於4個角部之上述像素設置有上述L字形狀之上述掘入部,且 上述L字形狀之上述掘入部中沿著縱向及橫向延伸之線之接合部配置於4×4排列之中央側。
  8. 如請求項4之固態攝像元件,其中 對4×4排列之16個上述像素中配置於上邊4處之上述像素及配置於下邊4處之上述像素設置有上述十字形狀之上述掘入部。
  9. 如請求項4之固態攝像元件,其中 對4×4排列之16個上述像素中配置於中央2列之8處之上述像素設置有上述橫線形狀之上述掘入部。
  10. 如請求項4之固態攝像元件,其中 對4×4排列之16個上述像素中配置於左邊4處之上述像素及配置於右邊4處之上述像素設置有上述十字形狀之上述掘入部。
  11. 如請求項4之固態攝像元件,其中 對4×4排列之16個上述像素中配置於中央2行之8處之上述像素設置有上述縱線形狀之上述掘入部。
  12. 如請求項2之固態攝像元件,其中 於俯視上述像素時,上述掘入部為大致圓點形狀、以特定間距設置有沿著上述像素之縱向及橫向延伸之複數個線之格子形狀、設置有沿著上述像素之橫向延伸之複數個線之橫條紋狀、設置有沿著上述像素之縱向延伸之複數個線之縱條紋狀、或以特定間距設置有複數個凹部之多凹部形狀。
  13. 如請求項12之固態攝像元件,其中 對4×4排列之16個上述像素中配置於中央部之2×2排列之4處之上述像素設置有上述點形狀或多凹部形狀之上述掘入部。
  14. 如請求項12之固態攝像元件,其中 對4×4排列之16個上述像素中配置於上邊4處之上述像素及配置於下邊4處之上述像素設置有上述格子形狀或多凹部形狀之上述掘入部。
  15. 如請求項12之固態攝像元件,其中 對4×4排列之16個上述像素中配置於中央2列之8處之上述像素設置有上述橫條紋狀之上述掘入部。
  16. 如請求項12之固態攝像元件,其中 對4×4排列之16個上述像素中配置於左邊4處之上述像素及配置於右邊4處之上述像素設置有上述格子形狀或多凹部形狀之上述掘入部。
  17. 如請求項12之固態攝像元件,其中 對4×4排列之16個上述像素中配置於中央2行之8處之上述像素設置有上述縱條紋狀之上述掘入部。
  18. 如請求項1之固態攝像元件,其 進而具備針對左右或上下鄰接之2個上述像素而配置之第2晶載透鏡,且 對配置有上述第2晶載透鏡之上述像素以外之上述像素設置有上述掘入部。
  19. 如請求項1之固態攝像元件,其中 上述同色像素群由5×5排列之上述像素構成。
  20. 一種電子機器,其具備固態攝像元件,該固態攝像元件具有: 同色像素群,其係將接收同一顏色之光之像素以n×n排列(n係2以上之整數)配置而成; 晶載透鏡,其係於上述同色像素群中針對每m×m排列(m係n以下之整數)之上述像素而設置;及 感度調整構造,其係於上述同色像素群之特定之上述像素的半導體基板之光入射面側設置有掘入部之構成,該掘入部較用以針對每個上述像素將光電轉換部分離之元件分離部淺。
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