TW202316218A - 通信系統、光傳輸設備和通信方法 - Google Patents

Abstract

一種用於在自動導引車輛與基板處理設備的裝載埠之間發送和接收信號的通信系統，包括：第一通信單元，該第一通信單元具有被配置為與自動導引車輛執行光通信並且經由第一通信線路彼此連接的多個第一通信部分；以及第二通信單元，該第二通信單元具有分別連接到多個裝載埠並且經由第二通信線路彼此連接的多個第二通信部分。多個第一通信部分中的每個第一通信部分與多個第二通信部分中的預定一個第二通信部分構成一對。而且，多個對中的一個對被設置為通信對，並且經由該通信對在多個第一通信部分與多個第二通信部分之間發送和接收信號。

Description

通信系統、光傳輸設備和通信方法

發明領域

本發明涉及通信系統、光傳輸設備和通信方法。

發明背景

在半導體製造工廠中，利用自動運輸系統來運輸半導體晶片。在該自動運輸系統中，自動導引車輛執行例如容納半導體晶片的載體(例如，FOUP(Front Opening Unified Pod)：前開口統一吊艙)的運輸、以及載體到基板處理設備(例如，半導體製造設備)的裝載埠的遞送(裝載和接收)。

自動導引車輛在向裝載埠遞送載體的同時與基板處理設備進行通信。例如，在將載體從自動導引車輛裝載到裝載埠上時，自動導引車輛移動到預定位置，然後開始與裝載埠進行通信並且確認裝載埠是否準備好接收載體。在確認裝載埠準備好接收載體之後，自動導引車輛將載體裝載到裝載埠上。

傳統上，在如上所述的自動運輸系統中，利用光通信來執行自動導引車輛與裝載埠之間的通信。例如，在JP2016-118845A中公開的製造系統包括空中行駛車輛(自動導引車輛)和多個製造設備。每個製造設備包括多個裝載埠。空中行駛車輛包括光IO(以下稱為車輛側光IO)。每個裝載埠連接有光IO(以下稱為埠側光IO)。為每個裝載埠設置埠側光IO。

在JP2016-118845A的製造系統中，空中行駛車輛能夠通過經由車輛側光IO和埠側光IO與裝載埠進行通信來確認每個裝載埠是否準備好接收載體。 先行技術文獻 專利文獻

專利文獻：日本特開2016-118845號公報 發明概要 發明欲解決之課題

順便提及，在JP2016-118845A的製造系統中，埠側光IO和裝載埠通過電纜連線。而且，如上所述，在JP2016-118845A的製造系統中，需要為每個裝載埠設置埠側光IO。因此，在JP2016-118845A的製造系統中，裝載埠和埠側光IO需要分別單獨地連接，並且這項任務需要時間。而且，在分別連接裝載埠和埠側光IO的通信線路之間可能發生由雜訊引起的干擾。

鑒於此，本發明的示例性目的是提供能夠簡化自動導引車輛與基板處理設備的裝載埠之間的佈線的通信系統、光傳輸設備和通信方法。

用以解決課題之手段

(1)為了實現上述目的，根據本發明的一個方面的通信系統是用於在自動導引車輛與基板處理設備的裝載埠之間發送和接收信號的通信系統，其包括：第一通信單元，該第一通信單元具有被配置為與自動導引車輛執行光通信並且經由第一通信線路彼此連接的多個第一通信部分；以及第二通信單元，該第二通信單元具有分別連接到多個裝載埠並且經由第二通信線路彼此連接的多個第二通信部分。多個第一通信部分中的每個第一通信部分與多個第二通信部分中的預定一個第二通信部分構成一對。而且，多個對中的一個對被設置為通信對，並且經由該通信對在多個第一通信部分與多個第二通信部分之間發送和接收信號。

在具有上述配置的通信系統中，第一通信單元的多個第一通信部分和第二通信單元的多個第二通信部分可以通過將一個對設置為通信對而連接在一條線路中以進行通信。由此，可以簡化自動導引車輛與多個裝載埠之間的佈線。具體地，多個第一通信部分和多個第二通信部分不需要分別單獨地連接。因此，連接第一通信單元和第二通信單元的任務變得容易，並且可以防止在第一通信單元與第二通信單元之間發送和接收信號時發生由雜訊引起的干擾。

注意，通常，相鄰裝載埠之間的間隔充分地小於通常彼此分開安裝的第一通信部分和第二通信部分之間的間隔。而且，通常，第一通信部分和第二通信部分對應於裝載埠設置，因此，相鄰的第一通信部分之間的間隔和相鄰的第二通信部分之間的間隔也充分地小於彼此分開安裝的第一通信部分和第二通信部分之間的間隔。在這點上，在本發明中，將需要連接多個第一通信部分的第一通信線路和連接多個第二通信部分的第二通信線路，但是如上所述，多個第一通信部分和多個第二通信部分不需要分別單獨地連接。例如，與鋪設長通信線路以分別單獨地連接多個第一通信部分和多個第二通信部分的情況相比，可以消除多條長通信線路的鋪設，因此，可以縮短通信系統整體中的通信線路的總長度。由此，可以降低通信系統的安裝成本。

而且，需要確保第一通信單元與第二通信單元之間供自動導引車輛移動的空間。在這點上，在本發明中，如上所述，多個第一通信部分和多個第二通信部分不需要分別單獨地連接。在這種情況下，與多個第一通信部分和多個第二通信部分分別單獨地連接的情況相比，通信系統佈局的自由度增加。由此，可以容易地確保第一通信單元與第二通信單元之間供自動導引車輛移動的空間。結果，安裝通信系統的任務變得容易。

(2)在上述(1)的通信系統中，自動導引車輛可以是被配置為沿著設置在多個裝載埠上方的位置處的軌道移動的空中走行式無人運輸車(Overhead Hoist Transport)，並且多個第一通信部分可以沿著軌道設置在多個裝載埠上方的位置處並且彼此分離。在使用空中走行式無人運輸車的情況下，自動導引車輛的軌道與裝載埠之間的間隔通常較大。在這種情況下，設置在裝載埠上方的高位置處的第一通信單元與第二通信單元之間的間隔也較大。然而，如上所述，在本發明中，多個第一通信部分和多個第二通信部分不需要分別單獨地連接。換句話說，不需要鋪設多條長通信線路來單獨地連接多個第一通信部分和多個第二通信部分。因此，與多個第一通信部分和多個第二通信部分分別單獨地連接的情況相比，即使彼此分開安裝的第一通信單元和第二通信單元之間的間隔增加，也可以容易地連接第一通信單元和第二通信單元。而且，可以充分地縮短通信系統整體中的通信線路的總長度。

(3)在上述(1)或(2)的通信系統中，多個第一通信部分中的每個第一通信部分可以將從自動導引車輛接收的信號發送到與其構成一對的第二通信部分，並且多個第二通信部分中的每個第二通信部分可以將從裝載埠輸入的信號發送到與其構成一對的第一通信部分。在本發明中，多個第一通信部分和多個第二通信部分可以連接在一條線路中。因此，在除了通信對之外的每個對中，可以在構成該對的第一通信部分和第二通信部分之間適當地發送和接收信號，而無需通過通信線路等直接連接第一通信部分和第二通信部分。

(4)在上述(1)至(3)中任一項的通信系統中，多個第一通信部分和多個第二通信部分中的一個通信部分可以被設置為主通信部分，並且除了主通信部分之外的所有第一通信部分和第二通信部分可以各自被設置為從通信部分，主通信部分可以通過輪詢通信順序地與多個從通信部分確認是否存在傳輸請求，並且從通信部分可以各自回應於輪詢通信，向與其構成一對的第一通信部分或第二通信部分發送預定信號。在這種情況下，可以防止從多個第一通信部分和多個第二通信部分同時發送信號。由此，即使在多個第一通信部分和多個第二通信部分連接在一條線路中的情況下，也可以更適當地防止干擾的發生。

(5)上述(1)至(3)中任一項的通信系統可以包括主通信部分，多個第一通信部分和多個第二通信部分可以各自被設置為從通信部分，主通信部分可以通過輪詢通信順序地與多個從通信部分確認是否存在傳輸請求，並且從通信部分可以各自回應於輪詢通信，向與其構成一對的第一通信部分或第二通信部分發送預定信號。在這種情況下，可以防止從多個第一通信部分和多個第二通信部分同時發送信號。由此，即使在多個第一通信部分和多個第二通信部分連接在一條線路中的情況下，也可以更適當地防止干擾的發生。

(6)在上述(4)或(5)的通信系統中，主通信部分可以存儲多個第一通信部分的通信歷史。在這種情況下，對第一通信部分的通信歷史的管理變得容易。

(7)在上述(1)至(3)中任一項的通信系統中，多個第一通信部分和多個第二通信部分可以被逐一依次設置為主通信部分，被設置為主通信部分的第一通信部分或第二通信部分可以向從通信部分發送用於確認是否存在傳輸請求的信號，多個第一通信部分和多個第二通信部分中的預定一個通信部分作為從通信部分，並且從通信部分可以回應於來自主通信部分的信號，向與其構成一對的第一通信部分或第二通信部分發送預定信號。在這種情況下，可以防止從多個第一通信部分和多個第二通信部分同時發送信號。由此，即使在多個第一通信部分和多個第二通信部分連接在一條線路中的情況下，也可以更適當地防止干擾的發生。

(8)上述(1)至(7)中任一項的通信系統可以包括連接第一通信單元和第二通信單元的第三通信線路，並且第一通信線路、第二通信線路和第三通信線路可以各自是串列通信線路。在這種情況下，可以充分地簡化通信系統的佈線。

(9)為了實現上述目的，根據本發明的一個方面的光傳輸設備是用作上述(1)至(8)中任一項的通信系統中的第一通信部分的光傳輸設備，其包括：收發器部分，該收發器部分被配置為發送和接收光信號；第一連接部分，該第一連接部分連接有用於向第一外部設備發送信號和從第一外部設備接收信號的通信線路；以及第二連接部分，該第二連接部分連接有用於向第二外部設備發送信號和從第二外部設備接收信號的通信線路。

在具有上述配置的光傳輸設備被用作上述通信系統的第一通信部分的情況下，可以通過使用第一連接部分和第二連接部分容易地將多個第一通信部分連接在一條線路中。

(10)上述(9)的光傳輸設備可以包括被配置為設置標識資訊的標識資訊設置部分。在這種情況下，對多個第一通信部分的標識資訊(用於指定對的標識資訊)的設置變得容易。

(11)為了實現上述目的，根據本發明的一個方面的通信方法是製造系統中的通信方法，該製造系統包括：自動導引車輛；基板處理設備；第一通信單元，該第一通信單元具有被配置為與自動導引車輛執行光通信並且經由第一通信線路彼此連接的多個第一通信部分；以及第二通信單元，該第二通信單元具有分別連接到基板處理設備的多個裝載埠並且經由第二通信線路彼此連接的多個第二通信部分，並且多個第一通信部分中的每個第一通信部分與多個第二通信部分中的預定一個第二通信部分構成一對，該方法包括：將多個對中的一個對設置為通信對；以及經由該通信對在多個第一通信部分與多個第二通信部分之間發送和接收信號。

利用上述通信方法，在第一通信單元的多個第一通信部分和第二通信單元的多個第二通信部分連接在一條線路中的狀態下，可以在自動導引車輛與多個裝載埠之間發送和接收信號。 發明效果

根據本發明，能夠簡化自動導引車輛與基板處理設備的裝載埠之間的佈線。

較佳實施例之詳細說明

在下文中，將使用附圖描述根據本發明的一個實施例的通信系統和通信方法。

製造系統概述 圖1是示出利用根據本發明的一個實施例的通信系統的製造系統的示意圖。如圖1所示，製造系統1包括通信系統10、基板處理設備100和運輸設施200。可以將各種已知的基板處理設備和運輸設施用作基板處理設備100和運輸設施200，因此，將首先簡要地描述基板處理設備100和運輸設施200。

基板處理設備100是對半導體產品的基板執行諸如表面處理之類的預定處理的設備。基板處理設備100包括多個裝載埠102a、102b、102c和102d。將容納多個基板的載體(未示出；例如，FOUP)裝載到每個裝載埠102a、102b、102c和102d上。在製造系統1中，經由裝載到裝載埠102a、102b、102c和102d上的載體將基板送入基板處理設備100和從基板處理設備100中取出基板。

運輸設施200包括軌道202和沿著軌道202行駛的自動導引車輛204。軌道202設置在多個裝載埠102a、102b、102c和102d上方的位置處。在本實施例中，軌道202例如是安裝在工廠的天花板上的導軌，並且自動導引車輛204例如是空中走行式無人運輸車(Overhead Hoist Transport：OHT)。自動導引車輛204例如具有走行式機構(hoist mechanism)。自動導引車輛204沿著軌道202運輸載體(未示出)，並且使用走行式機構將載體遞送到裝載埠102a、102b、102c和102d中的任何一個。

自動導引車輛204包括光傳輸設備204a，其與稍後描述的第一通信部分12a、12b、12c和12d執行光無線通信。而且，自動導引車輛204經由有線或無線網路(未示出)連接到主機電腦(未示出)，並且由主機電腦來管理自動導引車輛204的操作。自動導引車輛204基於主機電腦給出的指令執行載體的運輸和載體到裝載埠102a、102b、102c和102d的遞送。注意，由主機電腦進行的對自動導引車輛204的操作管理類似於在現有基板處理設施中執行的自動導引車輛的操作管理，因此將省略其詳細描述。

通信系統的配置 接下來，將詳細地描述通信系統10。通信系統10包括第一通信單元12、第二通信單元14、以及連接第一通信單元12和第二通信單元14的通信線路16。在本實施例中，通信線路16對應於第三通信線路。例如，通信線路16是串列通信線路，並且連接第一通信單元12和第二通信單元14以便彼此能夠執行串列通信。注意，例如，各種已知類型的能夠進行串列通信的通信線路(例如模組化電纜)可以用作通信線路16。

第一通信單元12包括多個第一通信部分12a、12b、12c和12d。第一通信部分12a、12b、12c和12d是各自被配置為能夠與自動導引車輛204的光傳輸設備204a進行光通信的光傳輸設備。在本實施例中，第一通信部分12a、12b、12c和12d與自動導引車輛204執行並行通信。

第一通信部分12a、12b、12c和12d沿著軌道202設置在裝載埠102a、102b、102c和102d上方的位置處並且彼此分離。更具體地，第一通信部分12a、12b、12c和12d分別位於裝載埠102a、102b、102c和102d的上方。

第一通信部分12a、12b、12c和12d通過多條通信線路50a、50b和50c彼此連接。在本實施例中，通信線路50a、50b和50c各自對應於第一通信線路。例如，通信線路50a，50b和50c是串列通信線路，並且連接第一通信部分12a、12b、12c和12d以便彼此能夠執行串列通信。注意，各種已知類型的能夠進行串列通信的通信線路(例如模組化電纜)可以用作通信線路50a、50b和50c。

圖2是示出第一通信部分(光傳輸設備)12a的示例配置的示意性框圖。如圖2所示，第一通信部分12a包括收發器部分20、控制部分22、一對連接部分24和標識資訊設置部分26。在本實施例中，一對連接部分24中的一個連接部分24對應於第一連接部分，另一個連接部分24對應於第二連接部分。

收發器部分20向自動導引車輛204的光傳輸設備204a(參見圖1)發送光信號和從光傳輸設備204a接收光信號。在本實施例中，例如，收發器部分20包括光發射元件(例如，LED)、光接收元件(例如，光電二極體)和收發器電路，將電信號轉換為光信號並且將光信號發送到自動導引車輛204，並將從自動導引車輛204接收的光信號轉換為電信號。已知光傳輸設備的配置可以用作收發器部分20的配置。

控制部分22包括CPU、存儲部分(RAM、ROM)和驅動器，並且控制信號的發送和接收。在本實施例中，控制部分22將從收發器部分20輸入的並行信號轉換為串列信號，並且將從連接部分24輸入的串列信號轉換為並行信號。而且，控制部分22設置第一通信部分12a的標識資訊。在本實施例中，控制部分22根據使用者對標識資訊設置部分26的操作來設置第一通信部分12a的標識資訊。例如，雙列直插式開關可以用作標識資訊設置部分26。注意，已知光傳輸設備的配置可以用作控制部分22的配置。

雖然省略了詳細描述，但是可以在第一通信部分(光傳輸設備)12a中預先設置標識資訊。例如，標識資訊可以預先存儲在設置在第一通信部分(光傳輸設備)12a中的存儲部分(例如，ROM)中。在這種情況下，不需要提供標識資訊設置部分。這類似地適用於第一通信部分12b、12c和12d以及第二通信部分14a、14b、14c和14d。

一對連接部分24被配置為能夠連接用於向外部設備發送信號和從外部設備接收信號的通信線路。在本實施例中，通信線路16連接到一對連接部分24中的一個連接部分24，通信線路50a連接到另一個連接部分24。在本實施例中，一個連接部分24經由通信線路16連接到用作第一外部設備的第二通信部分14a(參見圖1)，另一個連接部分24經由通信線路50a連接到用作第二外部設備的第一通信部分12b(參見圖1)。

注意，雖然省略了詳細描述，但是與第一通信部分12a類似，第一通信部分12b、12c和12d各自包括收發器部分20、控制部分22、一對連接部分24和標識資訊設置部分26。通信線路50a連接到第一通信部分12b的一個連接部分24，通信線路50b連接到其另一個連接部分24。通信線路50b連接到第一通信部分12c的一個連接部分24，通信線路50c連接到其另一個連接部分24。通信線路50c連接到第一通信部分12d的一個連接部分24。

如上所述，在本實施例中，第一通信部分12a、12b、12c和12d可以通過第一通信部分12a的一個連接部分24、通信線路50a、第一通信部分12b的一對連接部分24、通信線路50b、第一通信部分12c的一對連接部分24、通信線路50c和第一通信部分12d的一個連接部分24而連接在一條線路中。

如圖1所示，第二通信單元14具有多個第二通信部分14a、14b、14c和14d。多個第二通信部分14a、14b、14c和14d向裝載埠102a、102b、102c和102d發送信號和從裝載埠102a、102b、102c和102d接收信號。

第一通信單元12的第一通信部分12a、12b、12c和12d中的每個第一通信部分與第二通信部分14a、14b、14c和14d中的預定一個第二通信部分構成一對。在本實施例中，第一通信部分12a和第二通信部分14a構成一對30a，第一通信部分12b和第二通信部分14b構成一對30b，第一通信部分12c和第二通信部分14c構成一對30c，第一通信部分12d和第二通信部分14d構成一對30d。在本實施例中，對30a用作通信對。

第二通信部分14a、14b、14c和14d通過多條通信線路52a、52b和52c彼此連接。在本實施例中，通信線路52a、52b和52c各自對應於第二通信線路。例如，通信線路52a、52b和52c是串列通信線路，並且連接第二通信部分14a、14b、14c和14d以便彼此能夠執行串列通信。注意，例如，各種已知類型的能夠進行串列通信的通信線路(例如模組化電纜)可以用作通信線路52a、52b和52c。

圖3是示出第二通信部分14a的示例配置的示意性框圖。如圖3所示，第二通信部分14a包括一對連接部分40、控制部分42、連接部分44和標識資訊設置部分46。

一對連接部分40被配置為能夠連接用於向外部設備發送信號和從外部設備接收信號的通信線路。在本實施例中，通信線路16連接到一對連接部分40中的一個連接部分40，通信線路52a連接到另一個連接部分40。在本實施例中，一個連接部分40經由通信線路16連接到用作第一外部設備的第一通信部分12a(參見圖1)，另一個連接部分40經由通信線路52a連接到用作第二外部設備的第二通信部分14b(參見圖1)。

控制部分42包括CPU、存儲部分(RAM、ROM)和驅動器，並且控制信號的發送和接收。在本實施例中，控制部分42將從連接部分40輸入的串列信號轉換為並行信號，並且將從連接部分44輸入的並行信號轉換為串列信號。而且，控制部分42設置第二通信部分14a的標識資訊。在本實施例中，控制部分42根據使用者對標識資訊設置部分46的操作來設置第二通信部分14a的標識資訊。例如，雙列直插式開關可以用作標識資訊設置部分46。

連接部分44連接到裝載埠102a。在本實施例中，連接部分44與裝載埠102a執行並行通信。

注意，雖然省略了詳細描述，但是與第二通信部分14a類似，第二通信部分14b、14c和14d各自具有一對連接部分40、控制部分42、連接部分44和標識資訊設置部分46。通信線路52a連接到第二通信部分14b的一個連接部分40，通信線路52b連接到其另一個連接部分40。第二通信部分14b的連接部分44連接到裝載埠102b。通信線路52b連接到第二通信部分14c的一個連接部分40，通信線路52c連接到其另一個連接部分40。第二通信部分14c的連接部分44連接到裝載埠102c。通信線路52c連接到第二通信部分14d的一個連接部分40。第二通信部分14d的連接部分44連接到裝載埠102d。

如上所述，在本實施例中，第二通信部分14a、14b、14c和14d可以通過第二通信部分14a的一個連接部分40、通信線路52a，第二通信部分14b的一對連接部分40、通信線路52b、第二通信部分14c的一對連接部分40、通信線路52c和第二通信部分14d的一個連接部分40而連接在一條線路中。

參考圖1，自動導引車輛204在向裝載埠102a、102b、102c和102d遞送載體的同時經由裝載埠102a、102b、102c和102d與設置在基板處理設備100中的控制設備(未示出)進行通信。例如，在向基板處理設備100運輸載體時，基於主機電腦(未示出)的指令，自動導引車輛204移動到要將載體運輸到的裝載埠的上方。然後，自動導引車輛204遞送載體，同時向該裝載埠發送和從該裝載埠接收遞送載體所需的信號。

在本實施例中，例如，自動導引車輛204經由多個對30a至30d中與要將載體運輸到的裝載埠相對應的對向該裝載埠發送信號和從該裝載埠接收信號。例如，在向裝載埠102a運輸載體時，自動導引車輛204經由與裝載埠102a相對應的對30a向裝載埠102a發送信號和從裝載埠102a接收信號。雖然省略了詳細描述，但是例如，自動導引車輛204與裝載埠(基板處理設備100)之間的通信根據如SEMI(Semiconductor Equipment and Materials International：國際半導體設備與材料協會)標準的E84所定義的聯鎖順序來執行。

注意，在本實施例中，如上所述，第一通信部分12a、12b、12c和12d通過多條通信線路50a、50b和50c而連接在一條線路中，第二通信部分14a、14b、14c和14d通過多條通信線路52a、52b和52c而連接在一條線路中。而且，構成對30a的第一通信部分12a和第二通信部分14a通過通信線路16可通信地連接。即，在本實施例中，多個第一通信部分12a、12b、12c和12d以及多個第二通信部分14a、14b、14c和14d通過通信線路16、50a、50b、50c、52a、52b和52c而連接在一條線路中。

利用上述配置，不僅從自動導引車輛204提供給第一通信部分12a的信號和從裝載埠102a提供給第二通信部分14a的信號，而且從自動導引車輛204提供給第一通信部分12b、12c和12d的信號和從裝載埠102b、102c和102d提供給第二通信部分14b、14c和14d的信號都可以經由對30a和通信線路16發送和接收。

例如，當向裝載埠102b運輸載體時，自動導引車輛204移動到裝載埠102b的上方，然後經由對30b(通信部分12b和14b)和對30a(通信部分12a和14a)向裝載埠102b發送預定信號和從裝載埠102b接收預定信號。具體地，第一通信部分12b經由通信線路50a、第一通信部分12a、通信線路16、第二通信部分14a、通信線路52a和第二通信部分14b將從自動導引車輛204通過光通信提供的信號發送到裝載埠102b。而且，第二通信部分14b經由通信線路52a、第二通信部分14a、通信線路16、第一通信部分12a、通信線路50a和第一通信部分12b將從裝載埠102b提供的信號發送到自動導引車輛204。

以此方式，在本實施例中，代替將第一通信部分12b和第二通信部分14b、第一通信部分12c和第二通信部分14c以及第一通信部分12d和第二通信部分14d設置為可通過通信線路等直接通信，可以經由第一通信部分12a和第二通信部分14a在第一通信部分12b、12c和12d與第二通信部分14b、14c和14d之間發送和接收信號。換句話說，在本實施例中，在多個對30a、30b、30c和30d中，通過將構成一個對(在本實施例中，對30a)的第一通信部分和第二通信部分配置為可直接通信，可以允許構成其他對的第一通信部分和第二通信部分之間進行通信。由此，可以簡化自動導引車輛204與裝載埠102a、102b、102c和102d之間的佈線。在這種情況下，連接第一通信單元12和第二通信單元14的任務變得容易，並且可以防止在第一通信單元12與第二通信單元14之間發送和接收信號時發生由雜訊引起的干擾。

注意，在本實施例中，與第一通信部分12a至12d和第二通信部分14a至14d之間的間隔相比，相鄰的第一通信部分之間的間隔和相鄰的第二通信部分之間的間隔充分地小。在這點上，在本實施例中，連接第一通信部分12a至12d的通信線路50a至50c和連接第二通信部分14a至14d的通信線路52a至52c是必要的，但是如上所述，不需要鋪設長通信線路來分別單獨地連接第一通信部分12a至12d和第二通信部分14a至14d。在這種情況下，與第一通信部分12a至12d和第二通信部分14a至14d分別單獨地連接的情況相比，可以消除多條長通信線路的鋪設，因此，可以縮短通信系統10整體中的通信線路的總長度。由此，可以降低通信系統10的安裝成本。

而且，在本實施例中，需要確保第一通信單元12與第二通信單元14之間供自動導引車輛204移動的空間。在這點上，在本實施例中，如上所述，第一通信部分12a至12d和第二通信部分14a至14d不需要分別單獨地連接。在這種情況下，與第一通信部分12a至12d和第二通信部分14a至14d分別單獨地連接的情況相比，通信系統10佈局的自由度增加。由此，可以容易地確保第一通信單元12與第二通信單元14之間供自動導引車輛204移動的空間。結果，安裝通信系統10的任務變得容易。

而且，在本實施例中，使用空中走行式無人運輸車204。因此，自動導引車輛204的軌道與裝載埠102a、102b、102c和102d之間的間隔較大。在這種情況下，第一通信單元12與第二通信單元14之間的間隔也較大。然而，如上所述，在本實施例中，第一通信部分12a至12d和第二通信部分14a至14d不需要分別單獨地連接。換句話說，不需要鋪設多條長通信線路來單獨地連接多個第一通信部分12a至12d和多個第二通信部分14a至14d。因此，即使第一通信單元12和第二通信單元14之間的間隔增大，也可以容易地連接第一通信單元12和第二通信單元14。而且，可以充分地縮短通信系統10整體中的通信線路的總長度。由此，可以降低通信系統10的安裝成本。

由通信系統進行的通信的示例 注意，在運輸設施包括多個自動導引車輛的情況下，可能存在多個自動導引車輛同時或在短時間跨度內向多個第一通信部分發送信號的時候。而且，可能存在多個裝載埠同時或在短時間跨度內向多個第二通信部分發送信號的時候。在這樣的情況下，可能會由於多個第一通信部分同時輸出信號或者多個第二通信部分同時輸出信號而發生干擾。鑒於此，在根據本實施例的通信系統10中，依次地向多個第一通信部分12a、12b、12c和12d以及多個第二通信部分14a、14b、14c和14d提供發送信號的機會，以便防止這種干擾的發生。

具體地，在根據本實施例的通信系統10中，多個第一通信部分和多個第二通信部分中的一個被設置為主通信部分，而所有其他第一通信部分和第二通信部分被設置為從通信部分。然後，主通信部分通過輪詢通信順序地與多個從通信部分確認是否存在傳輸請求，並且從通信部分回應於輪詢通信，各自向與其構成一對的第一通信部分或第二通信部分發送預定信號。在下文中，將描述通信系統10的利用輪詢通信的通信方法的示例。

圖4是用於描述利用輪詢通信的通信示例的圖。注意，圖4示出了在第二通信部分14a被設置為主通信部分，而第一通信部分12a、12b、12c和12d以及第二通信部分14b、14c和14d被設置為從通信部分的情況下的通信示例。而且，圖4示出了在自動導引車輛204(參見圖1)向裝載埠102b(參見圖1)發送信號和從裝載埠102b接收信號的情況下的通信示例。注意，在以下所示的通信示例中，假設首先，經由第一通信部分12b從自動導引車輛204向裝載埠102b發送信號，並且回應於從自動導引車輛204發送的信號，裝載埠102b經由第二通信部分14b向自動導引車輛204發送信號。

在圖4所示的通信示例中，第二通信部分(主通信部分)14a的控制部分42(參見圖3)發送信號(圖4中編號為1、2、5、6、7、10和11的確認信號)，以與第一通信部分12a、第一通信部分12b、第一通信部分12c、第一通信部分12d、第二通信部分14b、第二通信部分14c和第二通信部分14d(按此順序發送信號)確認是否存在傳輸請求。注意，主通信部分可以每隔預定時間段向從通信部分發送確認信號，或者可以在從從通信部分接收到回應信號或指示沒有要發送的信號的信號的情況下向下一個從通信部分發送確認信號。

這裡，在圖4所示的示例中，如上所述，從自動導引車輛204(參見圖1)向第一通信部分12b發送信號。因此，回應於來自第二通信部分14a的確認信號(圖4中編號為2的確認信號)，第一通信部分12b向與其構成一對的第二通信部分14b發送信號(圖4中編號為3和4的回應信號)。第二通信部分14b將輸入的回應信號發送給裝載埠102b(參見圖1)。

注意，在本實施例中，主通信部分(圖4中的第二通信部分14a)的標識資訊和用作傳輸目標的第二通信部分(圖4中的第二通信部分14b)的標識資訊被附加到從第一通信部分(圖4中的第一通信部分12b)發送的回應信號中。基於該標識資訊，從第一通信部分發送的回應信號被發送給主通信部分，並且然後從主通信部分發送給第二通信部分。注意，雖然省略了詳細描述，但是可以直接從第一通信部分向用作傳輸目標的第二通信部分發送信號。

而且，在圖4所示的示例中，如上所述，響應於來自自動導引車輛204的信號，裝載埠102b(參見圖1)向第二通信部分14b發送信號。因此，回應於來自第二通信部分14a的確認信號(圖4中編號為7的確認信號)，第二通信部分14b向與其構成一對的第一通信部分12b發送信號(圖4中編號為8和9的回應信號)。第一通信部分12b將輸入的回應信號發送給自動導引車輛204。

注意，在本實施例中，主通信部分(圖4中的第二通信部分14a)的標識資訊和用作傳輸目標的第一通信部分(圖4中的第一通信部分12b)的標識資訊被附加到從第二通信部分(圖4中的第二通信部分14b)發送的回應信號中。基於該標識資訊，從第二通信部分發送的回應信號被發送給主通信部分，並且然後從主通信部分發送給第一通信部分。注意，雖然省略了詳細描述，但是可以直接從第二通信部分向用作傳輸目標的第一通信部分發送信號。

在本實施例中，通過如上所述利用輪詢通信，可以防止從多個第一通信部分12a、12b、12c和12d以及多個第二通信部分14a、14b、14c和14d同時發送信號。由此，即使當多個第一通信部分12a、12b、12c和12d以及多個第二通信部分14a、14b、14c和14d連接在一條線路中時，也可以防止發生干擾。

注意，在根據本實施例的通信系統10中，第一通信單元12和第二通信單元14連接在一條線路中，因此，在如上所述利用輪詢通信的情況下，可以將多個第一通信部分和多個第二通信部分的通信歷史存儲在主通信部分的存儲部分中。在這種情況下，對多個第一通信部分和多個第二通信部分的通信歷史的管理變得容易。

在圖4所示的示例中，描述了將第二通信部分14a設置為主通信部分的情況，但是可以將第一通信部分12a、12b、12c和12d以及第二通信部分14b、14c和14d中的任何一個設置為主通信部分。而且，主通信部分與從通信部分確認傳輸請求的順序不限於上述示例。例如，用作主通信部分的第二通信部分14a可以按照第一通信部分12a、第二通信部分14b、第一通信部分12b、第二通信部分14c，第一通信部分12c、第二通信部分14d和第一通信部分12d的順序來確認傳輸請求。

雖然在圖4中未示出，但是當從自動導引車輛或裝載埠向主通信部分發送信號時，主通信部分在與向其他通信部分發送確認信號的定時不同的定時，將從自動導引車輛或裝載埠輸入的信號發送給用作傳輸目標的通信部分。

注意，在上述示例中，對30a的第一通信部分12a和第二通信部分14a通過通信線路16連接，但是代替第一通信部分12a和第二通信部分14a，其他對30b、30c和30d中的任何一個的第一通信部分和第二通信部分可以通過通信線路16連接。在這種情況下，通過通信線路16連接的第一通信部分和第二通信部分將作為通信對。

變型 在上述示例實施例中，描述了將多個第一通信部分12a、12b、12c和12d以及多個第二通信部分14a、14b、14c和14d中的一個設置為主通信部分的情況，但是可以將多個第一通信部分12a、12b、12c和12d以及多個第二通信部分14a、14b、14c和14d被逐一依次設置為主通信部分。圖5是用於描述在第一通信部分12a、12b、12c和12d以及第二通信部分14a、14b、14c和14d被逐一依次設置為主通信部分的情況下的通信示例的圖。

注意，圖5示出了在第一通信部分12a、第二通信部分14a、第一通信部分12b、第二通信部分14b、第一通信部分12c、第二通信部分14c、第一通信部分12d和第二通信部分14d以此順序被設置為主通信部分的情況下的通信示例。注意，在以下所示的通信示例中，假設首先，經由第一通信部分12b從自動導引車輛204向裝載埠102b發送信號，並且裝載埠102b回應於從自動導引車輛204發送的信號，經由第二通信部分14b向自動導引車輛204發送信號。

在圖5所示的通信示例中，首先，第一通信部分12a被設置為主通信部分，並且從第一通信部分12a向第二通信部分14a發送用於確認是否存在傳輸請求的信號(確認信號)。而且，第一通信部分12a向第二通信部分14a發送指示要轉移主通信部分的位置的信號(轉移信號)。在從第一通信部分12a接收到確認信號和轉移信號之後，第二通信部分14a在沒有要發送的信號的情況下作為主通信部分向第一通信部分12a發送確認信號，並且將轉移信號發送給第一通信部分12b。

以此方式，在該通信示例中，確認信號和轉移信號根據預設順序被發送到多個第一通信部分12a、12b、12c和12d以及多個第二通信部分14a、14b、14c和14d。

這裡，在圖5所示的示例中，如上所述，從自動導引車輛204(參見圖1)向第一通信部分12b發送信號。因此，回應於來自用作主通信部分的第二通信部分14b的確認信號，第一通信部分12b向與其構成一對的第二通信部分14b發送回應信號。第二通信部分14b將輸入的回應信號發送給裝載埠102b(參見圖1)。

而且，在圖5所示的示例中，如上所述，響應於來自自動導引車輛204的信號，裝載埠102b(參見圖1)向第二通信部分14b發送信號。當從用作主通信部分的第一通信部分12b接收到確認信號時，在已經從裝載埠102b輸入信號的狀態下，第二通信部分14b回應於該確認信號向第一通信部分12b發送回應信號。第一通信部分12b將輸入的回應信號發送給自動導引車輛204。

注意，主通信部分可以將確認信號和轉移信號作為單獨的信號發送，或者可以將確認信號和轉移信號作為一系列信號發送。而且，主通信部分可以每隔預定時間段重複地向從通信部分發送確認信號。而且，主通信部分可以在將確認信號發送到從通信部分之後經過預設時間段時將轉移信號按順序發送給下一個通信部分，或者可以在從從通信部分接收到回應信號或指示沒有要發送的信號的信號的情況下將轉移信號按順序發送給下一個從通信部分。

在如圖5所示將多個通信部分依次地設置為主通信部分的情況下，可以防止從多個通信部分同時發送信號。由此，即使當多個第一通信部分12a、12b、12c和12d以及多個第二通信部分14a、14b、14c和14d連接在一條線路中時，也可以防止發生干擾。

注意，雖然省略了詳細描述，但是可以採用這樣的配置，即其中以預設順序從多個第一通信部分12a、12b、12c和12d以及多個第二通信部分14a、14b、14c和14d順序地輸出信號，而無需設置主通信部分。然而，從充分地避免雜訊、干擾等的影響的觀點來看，宜為執行其中設置主通信部分的通信，如圖4和圖5所示。

圖6是示出通信系統的變型的圖。在圖6所示的通信系統10a中，第一通信部分12a和第二通信部分14a被配置為能夠進行無線通信。

在通信系統10a中，第一通信部分12a和第二通信部分14a各自具有無線通信功能，並且第一通信部分12a和第二通信部分14a被配置為彼此能夠進行無線通信。即，在通信系統10a中，與上述通信系統10類似，第一通信單元12和第二通信單元14連接在一條線路中。由此，利用通信系統10a所獲得的作用和效果與通信系統10類似。而且，通信系統10a不需要連接第一通信單元12和第二通信單元14的通信線路，因此，通信系統10a的安裝變得更加容易。

注意，在通信系統10a中，代替對30a，對30b、對30c或對30d的第一通信部分和第二通信部分可以被配置為能夠進行無線通信。而且，可以採用這樣的配置，即其中設置無線通信設備作為與第一通信部分12a、12b、12c和12d以及第二通信部分14a、14b、14c和14d不同的單獨設備，並且對30a、30b、30c和30d中的任何一個都能夠進行無線通信。

圖7是示出通信系統的另一變型的圖。在上述通信系統10中，第一通信部分12a、12b、12c和12d以及第二通信部分14a、14b、14c和14d中的一個被設置為主通信部分，但是在圖7所示的通信系統10b中，主通信部分18獨立於第一通信部分12a、12b、12c和12d以及第二通信部分14a、14b、14c和14d提供。主通信部分18和第一通信部分12a通過通信線路16a連接，並且主通信部分18和第二通信部分14a通過通信線路16b連接。通信線路16a和16b是與上述通信線路16類似的通信線路。

在通信系統10b中，第一通信部分12a和第二通信部分14a經由通信線路16a、主通信部分18和通信線路16b連接。即，在通信系統10b中，與上述通信系統10類似，第一通信單元12和第二通信單元14連接在一條線路中。由此，利用通信系統10b所獲得的作用和效果與通信系統10類似。

注意，在通信系統10b中利用輪詢通信的情況下，第一通信部分12a、12b、12c和12d以及第二通信部分14a、14b、14c和14d被設置為從通信部分。主通信部分18的控制部分通過輪詢通信順序地與多個從通信部分確認是否存在傳輸請求，並且從通信部分各自回應於輪詢通信，向與其構成一對的第一通信部分或第二通信部分發送預定信號。

注意，上面描述了將本發明應用於基板處理設備100的四個裝載埠102a、102b、102c和102d的情況，但是應用本發明的裝載埠的數量不限於四個，並且可以是兩個、三個、五個或更多。第一通信部分和第二通信部分對應於裝載埠設置，因此，第一通信部分和第二通信部分的數量也可以是兩個、三個、五個或更多。本發明還可以應用於多個基板處理設備的多個裝載埠。

1:製造系統 10,10a,10b:通信系統 12:第一通信單元 12a,12b,12c,12d:第一通信部分 14:第二通信單元 14a,14b,14c,14d:第二通信部分 16,16a,16b:通信線路 18:主通信部分 20:收發器部分 22:控制部分 24:連接部分 26:標識資訊設置部分 30a,30b,30c,30d:對 40:連接部分 42:控制部分 44:連接部分 46:標識資訊設置部分 100:基板處理設備 102a,102b,102c,102d:裝載埠 200:運輸設施 202:軌道 204:自動導引車輛 204a:光傳輸設備

圖1是示出利用根據本發明的一個實施例的通信系統的製造系統的示意圖。 圖2是示出第一通信部分(光傳輸設備)的示例配置的示意性框圖。 圖3是示出第二通信部分的示例配置的示意性框圖。 圖4是用於描述使用輪詢通信的通信示例的圖。 圖5是用於描述在多個第一通信部分和多個第二通信部分被逐一依次設置為主通信部分的情況下的通信示例的圖。 圖6是示出通信系統的變型的圖。 圖7是示出通信系統的另一變型的圖。

1:製造系統

10:通信系統

12:第一通信單元

12a,12b,12c,12d:第一通信部分

14:第二通信單元

14a,14b,14c,14d:第二通信部分

16,50a,50b,50c,52a,52b,52c:通信線路

30a,30b,30c,30d:對

100:基板處理設備

102a,102b,102c,102d:裝載埠

200:運輸設施

202:軌道

204:自動導引車輛

204a:光傳輸設備

Claims (11)

1. 一種用於在自動導引車輛與基板處理設備的裝載埠之間發送和接收信號的通信系統，前述通信系統包括： 第一通信單元，前述第一通信單元具有被配置為與前述自動導引車輛執行光通信並且經由第一通信線路彼此連接的多個第一通信部分；以及 第二通信單元，前述第二通信單元具有分別連接到多個裝載埠並且經由第二通信線路彼此連接的多個第二通信部分， 其中，前述多個第一通信部分中的每個第一通信部分與前述多個第二通信部分中的預定一個第二通信部分構成一對，並且 多個前述對中的一個對被設置為通信對，並且經由前述通信對在前述多個第一通信部分與前述多個第二通信部分之間發送和接收信號。
2. 如請求項1之通信系統， 其中，前述自動導引車輛是被配置為沿著設置在前述多個裝載埠上方的位置處的軌道移動的空中走行式無人運輸車，並且 前述多個第一通信部分沿著前述軌道設置在前述多個裝載埠上方的位置處並且彼此分離。
3. 如請求項1或2之通信系統， 其中，前述多個第一通信部分中的每個第一通信部分將從前述自動導引車輛接收的信號發送到與其構成一對的第二通信部分，並且前述多個第二通信部分中的每個第二通信部分將從前述裝載埠輸入的信號發送到與其構成一對的第一通信部分。
4. 如請求項1之通信系統， 其中，前述多個第一通信部分和前述多個第二通信部分中的一個通信部分被設置為主通信部分，並且除了前述主通信部分之外的所有第一通信部分和第二通信部分各自被設置為從通信部分， 前述主通信部分通過輪詢通信順序地與多個前述從通信部分確認是否存在傳輸請求，並且 前述從通信部分各自回應於前述輪詢通信，向與其構成一對的第一通信部分或第二通信部分發送預定信號。
5. 如請求項1之通信系統，包括： 主通信部分， 其中，前述多個第一通信部分和前述多個第二通信部分各自被設置為從通信部分， 前述主通信部分通過輪詢通信順序地與多個前述從通信部分確認是否存在傳輸請求，並且 前述從通信部分各自回應於前述輪詢通信，向與其構成一對的第一通信部分或第二通信部分發送預定信號。
6. 如請求項4或5之通信系統， 其中，前述主通信部分存儲前述多個第一通信部分的通信歷史。
7. 如請求項1或2之通信系統， 其中，前述多個第一通信部分和前述多個第二通信部分被逐一依次設置為主通信部分， 被設置為前述主通信部分的第一通信部分或第二通信部分向從通信部分發送用於確認是否存在傳輸請求的信號，前述多個第一通信部分和前述多個第二通信部分中的預定一個通信部分作為前述從通信部分，並且 前述從通信部分回應於來自前述主通信部分的信號，向與其構成一對的第一通信部分或第二通信部分發送預定信號。
8. 如請求項1或2之通信系統，其包括： 連接前述第一通信單元和前述第二通信單元的第三通信線路， 其中，前述第一通信線路、前述第二通信線路和前述第三通信線路各自是串列通信線路。
9. 一種光傳輸設備，用作如請求項1至8中任一項之通信系統中的第一通信部分，前述光傳輸設備包括： 收發器部分，前述收發器部分被配置為發送和接收光信號； 第一連接部分，前述第一連接部分連接有用於向第一外部設備發送信號和從第一外部設備接收信號的通信線路；以及 第二連接部分，前述第二連接部分連接有用於向第二外部設備發送信號和從第二外部設備接收信號的通信線路。
10. 如請求項9之光傳輸設備，其包括： 被配置為設置標識資訊的標識資訊設置部分。
11. 一種通信方法，是製造系統中的通信方法，前述製造系統包括：自動導引車輛；基板處理設備；第一通信單元，前述第一通信單元具有被配置為與前述自動導引車輛執行光通信並且經由第一通信線路彼此連接的多個第一通信部分；以及第二通信單元，前述第二通信單元具有分別連接到前述基板處理設備的多個裝載埠並且經由第二通信線路彼此連接的多個第二通信部分，並且前述多個第一通信部分中的每個第一通信部分與前述多個第二通信部分中的預定一個第二通信部分構成一對，前述通信方法包括： 將多個前述對中的一個對設置為通信對；以及 經由前述通信對在前述多個第一通信部分與前述多個第二通信部分之間發送和接收信號。

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