TW202314423A - 可攜式偵測裝置及應用其之環境監控方法 - Google Patents

Abstract

可攜式偵測裝置包括攝像器、偵測器、處理器及顯示器。攝像器用以擷取條碼之條碼影像。偵測器用以偵測條碼之所在位置之環境資訊。處理器用以分析條碼影像，以取得條碼之所在位置。顯示器用以顯示條碼之所在位置的環境資訊。

Description

可攜式偵測裝置及應用其之環境監控方法

本發明實施例有關於一種可攜式偵測裝置及應用其之環境監控方法。

無塵室配置有多種機台，為了確保機台正常運作或找出機台失效的原因，需要監控無塵室的環境資訊。目前的偵測方式是，偵測器於無塵室內偵測環境資訊，並由人員記錄偵測位置。然而，人工紀錄偵測位置的方式常發生人為誤記及不同人員所記錄位置不一致(或偏差)等問題，導致所偵測之環境資訊並不客觀。因此，提出一種新的無塵室環境監控機制是本技術領域業者努力目標之一。

本發明實施例有關於一種可攜式偵測裝置及應用其之環境監控方法，可改善前述習知問題。

根據本發明之一實施例，提出一種應用於無塵室環境監控之可攜式偵測裝置。可攜式偵測裝置包括一攝像器、一偵測器、一處理器及一顯示器。攝像器用以擷取一條碼之一條碼影像。偵測器用以偵測條碼之一所在位置之一環境資訊。處理器用以分析條碼影像，以取得條碼之所在位置。顯示器用以顯示條碼之所在位置的環境資訊。

根據本發明之一實施例，提出一種應用於無塵室之環境監控方法。環境監控方法包括以下步驟。擷取一條碼之一條碼影像；分析條碼影像，以取得條碼之一所在位置；偵測條碼之所在位置之一環境資訊；以及，顯示條碼之所在位置環境資訊。

為了對本發明之上述及其他方面有更佳的瞭解，下文特舉實施例，並配合所附圖式詳細說明如下：

在附圖中，為了清楚起見，放大了層、膜、面板、區域等的厚度。在整個說明書中，相同的附圖標記表示相同的元件。應當理解，當諸如層、膜、區域或基板的元件被稱為在另一元件”上”或”連接到”另一元件時，其可以直接在另一元件上或與另一元件連接，或者中間元件可以也存在。相反，當元件被稱為”直接在另一元件上”或”直接連接到”另一元件時，不存在中間元件。如本文所使用的，”連接”可以指物理及/或電性連接。再者，”電性連接”或”耦合”係可為二元件間存在其它元件。

這裡使用的術語僅僅是為了描述特定實施例的目的，而不是限制性的。如本文所使用的，除非內容清楚地指示，否則單數形式”一”、”一個”和”該”旨在包括複數形式，包括”至少一個”。”或”表示”及/或”。如本文所使用的，術語”及/或”包括一個或多個相關所列項目的任何和所有組合。還應當理解，當在本說明書中使用時，術語”包括”及/或”包括”指定所述特徵、區域、整體、步驟、操作、元件的存在及/或部件，但不排除一個或多個其它特徵、區域整體、步驟、操作、元件、部件及/或其組合的存在或添加。

此外，諸如”下”或”底部”和”上”或”頂部”的相對術語可在本文中用於描述一個元件與另一元件的關係，如圖所示。應當理解，相對術語旨在包括除了圖中所示的方位之外的裝置的不同方位。例如，如果一個附圖中的裝置翻轉，則被描述為在其他元件的”下”側的元件將被定向在其他元件的”上”側。因此，示例性術語”下”可以包括”下”和”上”的取向，取決於附圖的特定取向。類似地，如果一個附圖中的裝置翻轉，則被描述為在其它元件”下方”或”下方”的元件將被定向為在其它元件”上方”。因此，示例性術語”下面”或”下面”可以包括上方和下方的取向。

本文使用的”約”、”近似”、或”實質上”包括所述值和在本領域普通技術人員確定的特定值的可接受的偏差範圍內的平均值，考慮到所討論的測量和與測量相關的誤差的特定數量(即，測量系統的限制)。例如，”約”可以表示在所述值的一個或多個標準偏差內，或±30％、±20％、±10％、±5％內。再者，本文使用的“約”、”近似”或“實質上”可依光學性質、蝕刻性質或其它性質，來選擇較可接受的偏差範圍或標準偏差，而可不用一個標準偏差適用全部性質。

除非另有定義，本文使用的所有術語(包括技術和科學術語)具有與本發明所屬領域的普通技術人員通常理解的相同的含義。將進一步理解的是，諸如在通常使用的字典中定義的那些術語應當被解釋為具有與它們在相關技術和本發明的上下文中的含義一致的含義，並且將不被解釋為理想化的或過度正式的意義，除非本文中明確地這樣定義。

請參照第1及2圖，第1圖繪示依照本發明一實施例之無塵室10之數個機台11的相對配置圖，而第2圖繪示依照本發明一實施例之應用於無塵室環境監控之可攜式偵測裝置100的功能方塊圖。可攜式偵測裝置100包括攝像器110、偵測器120、處理器130、顯示器140、無線通訊器150及警示器160。

偵測器120、處理器130及無線通訊器150可以是由半導體製程所形成之電路(circuit)結構。處理器130可電性連接於攝像器110、偵測器120、顯示器140及/或無線通訊器150，以傳送控制訊號給此些元件及/或接收此些元件之訊號，以控制此些元件的運作。

如第1圖所示，數台機台11配置於無塵室10。機台11例如是包括量測儀器、烘烤機、乾蝕刻機、曝光顯影機、塗佈機、成膜機及/或其它半導體製程所需要的處理機台。此些條碼12之至少一者可配置在此些機台11之至少一者上。例如，至少一機台11之各者上可配置有三個條碼12。在一機台11中，至少一條碼12可配置機台11的至少一側面，例如，三個條碼12可配置在機台11的三個不同側面。此外，條碼12例如是二維條碼或三維條碼。

如第2圖所示，攝像器110用以擷取條碼12之條碼影像。偵測器120用以偵測條碼12之所在位置P1之環境資訊E1。處理器130用以分析條碼影像M1，以取得條碼12之所在位置P1。顯示器140用以顯示條碼12之所在位置P1的環境資訊E1。如此，偵測器120所偵測之環境資訊E1與其所在位置P1產生(或具有)對應關係，使所偵測之環境資訊E1更為客觀。詳言之，本發明實施例之環境資訊E1對應特定之所在位置P1，此所在位置P1由掃描條碼12取得，因此不會發生人為誤記位置等問題。且，條碼12與機台11的相對位置係固定，使所偵測之環境資訊E1有很高的明確性(對應之所在位置P1是明確的)，不會發生人為誤差或誤記等問題。

環境資訊E1為無塵室10之空間中機台11之外的資訊，例如可包含空間中溫度、濕度、風速、懸浮微粒濃度、懸浮微粒顆數及/或其它發生在無塵室10的環境資訊。

如第2圖所示，攝像器110更用以：當環境資訊E1發生異常時，擷取條碼12之周圍影像M2。處理器130更用以：依據周圍影像M2及環境資訊E1，判斷異常之原因。詳言之，當環境資訊E1發生異常時，處理器130判斷周圍影像M2內是否有異常(如，人為干擾)；當周圍影像M2有異常時，表示此異常之環境資訊E1可能是人為干擾所致(非環境資訊E1本身所造成之異常)，因此處理器130可忽略此異常之環境資訊E1。在本實施例中，攝像器110例如是可拆離式，其可自可攜式偵測裝置100之機殼拆離，以單獨放置於無塵室10的特定位置，持續擷取(攝影)條碼12附近或條碼12所配置的機台11之周圍影像M2。此外，拆離之攝像器110與可攜式偵測裝置100可採用無線通訊技術互通訊。

此外，偵測器120的數量為至少一個，其可偵測前述環境資訊E1的種類，例如是溫度感知器、濕度感知器、風速感知器及/或懸浮微粒濃度感知器等。如此，可攜式偵測裝置100可實現一機多偵測的技術功效。

如第1圖所示，顯示器140用以顯示數個機台11之相對配置圖，以及顯示此些條碼12之相對配置圖。此外，顯示器140可標記環境資訊E1所對應之條碼12及/或機台11，例如，在顯示器140所顯示之相對配置圖中，環境資訊E1所對應之條碼12或機台11的影像可反白或閃爍，可讓監控人員了解目前偵測之環境資訊E1所對應之條碼12及/或機台11。

如第2圖所示，無線通訊器150用以傳輸環境資訊E1至一外部電子裝置，如伺服器。外部電子裝置可收集至少一可攜式電子裝置100的環境資訊E1，並加以處理，如儲存、分析等。

如第2圖所示，警示器160可發出警示訊號S1。當環境資訊E1發生異常時，警示器160發出警示訊號S1。在一例子中，警示器160例如是聲音產生器，警示訊號S1為警示聲。在另一例子中，警示器160例如是光發射器，警示訊號S1為警示光。在其它例子中，警示器160例如是振動器，警示訊號S1為振動訊號。此外，警示訊號S1可以是警示文字，其可由顯示器140顯示，在此例子中，可選擇性省略警示器160。此外，處理器130可判斷環境資訊E1是否等於或高於門檻值T1 (門檻值T1繪示於第3圖)；當環境資訊E1等於或高於門檻值T1，處理器130控制警示器160發出警示訊號S1。

請參照第3圖，其繪示第1圖之顯示器140顯示環境資訊E1的示意圖。顯示器140更用以顯示環境資訊E1與時間之對應關係，例如是關係曲線。偵測器120可持續偵測一段時間之環境資訊E1，顯示器140可顯示該段時間內的環境資訊E1的變化趨勢。該段時間例如是數秒鐘、數分鐘、數小時、數天等，該段時間的長度視實際需求而定，本發明實施例並不限定。在另一實施例中，顯示器140可顯示環境資訊E1與時間之關係也可以用表格表示，不限於曲線。在其它實施例中，顯示器140可只顯示環境資訊E1，而不顯示時間。或者，顯示器140可只顯示異常之環境資訊E1，但不顯示正常之環境資訊E1。

請參照第4圖，其繪示應用第2圖之可攜式偵測裝置100之環境監控方法的流程圖。

在步驟S110中，攝像器110擷取條碼12之條碼影像M1。在步驟S120中，處理器130分析條碼影像M1，以取得條碼12之所在位置P1。在步驟S130中，偵測器120偵測條碼12之所在位置P1之環境資訊E1。在步驟S140中，顯示器140顯示條碼12之所在位置P1之環境資訊E1。環境監控方法的其餘實施例已於前述，於此不再贅述。

綜上，本發明實施例提出一種可攜式偵測裝置及應用其之環境監控方法，其所偵測之環境資訊對應於一明確之所在位置(例如是掃描條碼取得)，因此所偵測之環境資訊較為客觀(相較於偵測所在位置不確定時)。

綜上所述，雖然本發明已以實施例揭露如上，然其並非用以限定本發明。本發明所屬技術領域中具有通常知識者，在不脫離本發明之精神和範圍內，當可作各種之更動與潤飾。因此，本發明之保護範圍當視後附之申請專利範圍所界定者為準。

10:無塵室 11:機台 12:條碼 100:可攜式偵測裝置 110:攝像器 120:偵測器 130:處理器 140:顯示器 150:無線通訊器 160:警示器 E1:環境資訊 M1:條碼影像 M2:周圍影像 P1:所在位置 S1:警示訊號 S110~S140:步驟

第1圖繪示依照本發明一實施例之無塵室之數個機台的相對配置圖。 第2圖繪示依照本發明一實施例之應用於無塵室環境監控之可攜式偵測裝置的功能方塊圖。 第3圖繪示第1圖之顯示器顯示環境資訊的示意圖。 第4圖繪示應用第2圖之可攜式偵測裝置之環境監控方法的流程圖。

100:可攜式偵測裝置

110:攝像器

120:偵測器

130:處理器

140:顯示器

150:無線通訊器

160:警示器

E1:環境資訊

M1:條碼影像

M2:周圍影像

P1:所在位置

S1:警示訊號

Claims (12)

1. 一種應用於無塵室環境監控之可攜式偵測裝置，包括： 一攝像器，用以擷取一條碼之一條碼影像； 一處理器，用以分析該條碼影像，以取得該條碼之一所在位置； 一偵測器，用以偵測該條碼之該所在位置之一環境資訊；以及 一顯示器，用以顯示該條碼之該所在位置的該環境資訊。
2. 如請求項1所述之可攜式偵測裝置，其中該攝像器更用以： 當該環境資訊發生異常時，擷取該條碼之一周圍影像； 其中，該處理器更用以： 依據該周圍影像及該環境資訊，判斷該異常之原因。
3. 如請求項1所述之可攜式偵測裝置，其中該環境資訊包含溫度、濕度、風速、懸浮微粒濃度及/或懸浮微粒顆數。
4. 如請求項1所述之可攜式偵測裝置，其中該顯示器更用以： 顯示複數個機台之相對配置圖，其中該條碼配置在該些機台之一者；以及 顯示該些條碼之相對配置圖。
5. 如請求項1所述之可攜式偵測裝置，其中該顯示器更用以： 顯示該環境資訊與時間之一對應關係。
6. 如請求項1所述之可攜式偵測裝置，更包括： 一警示器，用以： 當該環境資訊發生異常時，發出一警示訊號。
7. 一種應用於無塵室之環境監控方法，包括： 擷取一條碼之一條碼影像； 分析該條碼影像，以取得該條碼之一所在位置； 偵測該條碼之該所在位置之一環境資訊；以及 顯示該條碼之該所在位置之該環境資訊。
8. 如請求項7所述之環境監控方法，更包括： 當該環境資訊發生異常時，擷取該條碼之一周圍影像；以及 依據該周圍影像及該環境資訊，判斷該異常之原因。
9. 如請求項7所述之環境監控方法，其中該環境資訊包含溫度、濕度、風速、懸浮微粒濃度及/或懸浮微粒顆數。
10. 如請求項7所述之環境監控方法，更包括： 顯示複數個機台之相對配置圖，其中該條碼配置在該些機台之一者；以及 顯示該些條碼之相對配置圖。
11. 如請求項7所述之環境監控方法，更包括： 顯示該環境資訊與時間之一對應關係。
12. 如請求項7所述之環境監控方法，更包括： 當該環境資訊發生異常時，發出一警示訊號。

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