TW202309141A - 樹脂組成物、樹脂組成物膜、硬化膜、以及半導體裝置 - Google Patents

樹脂組成物、樹脂組成物膜、硬化膜、以及半導體裝置 Download PDF

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Abstract

本發明提供一種圖案加工時的感度優異，且與無機材料的密接性優異的樹脂組成物、樹脂組成物膜以及使用該些的半導體裝置。一種樹脂組成物，含有作為（A）成分的高分子化合物、作為（B）成分的陽離子聚合性化合物、作為（C）成分的陽離子聚合起始劑、以及作為（D）成分的矽烷偶合劑，所述樹脂組成物的特徵在於，所述（D）成分具有羧基及/或酸酐基。

Description

樹脂組成物、樹脂組成物膜、硬化膜、以及半導體裝置
本發明是有關於一種樹脂組成物、樹脂組成物膜、硬化膜、以及半導體裝置。更詳細而言，本發明是有關於一種適宜用於半導體元件或電感裝置的表面保護膜、層間絕緣膜、微機電系統（Micro Electro Mechanical Systems，MEMS）的結構體等的樹脂組成物。
以往，半導體元件的表面保護膜及層間絕緣膜廣泛使用耐熱性、電絕緣性及機械特性優異的聚醯亞胺系材料或聚苯並噁唑系材料。隨著近年來半導體元件的高密度化和高性能化要求，自生產效率的觀點出發，表面保護膜及層間絕緣膜要求具有感光性的材料。
另一方面，為適應近年來半導體元件的各種封裝結構或MEMS，對感光性材料要求高長寬比的加工。為了應對此種要求，揭示了一種化學增幅型的光陽離子聚合系的感光性材料（例如專利文獻1）。另外，揭示了一種光陽離子聚合系材料，其藉由在化學增幅型的光陽離子聚合系中含有特定結構的環氧樹脂，而意圖提高機械特性或熱特性（例如，專利文獻2）。進而，揭示了一種藉由含有聚醯亞胺等高分子化合物及具有特定結構的環氧化合物而耐熱性與拉伸伸長率優異的光陽離子聚合系材料（例如，專利文獻3）。 [現有技術文獻] [專利文獻]
[專利文獻1]國際公開第2008/007764號 [專利文獻2]日本專利特開2019-38964號公報 [專利文獻3]日本專利特開2021-55055號公報
[發明所欲解決之課題]
但是，在如所述般的光陽離子聚合系材料中，難以兼顧對無機基材的充分的密接性與圖案加工時的感度。一般而言，已知藉由含有具有適合於樹脂組成物的官能基的矽烷偶合劑，樹脂組成物對無機基材的密接性提高。已知特別是在含有環氧化合物的樹脂組成物中，具有胺基的矽烷偶合劑是有效的。但是，在光陽離子聚合系材料中，若含有具有胺基的矽烷偶合劑，則由陽離子聚合起始劑產生的陽離子種被胺基捕獲，因此存在圖案加工時的感度顯著降低的問題。因此，難以在光陽離子聚合系材料中使用具有胺基的矽烷偶合劑，所述專利文獻2或專利文獻3中記載的方法中，無法獲得兼顧了充分的密接性與圖案加工時的感度的光陽離子聚合系材料。
鑒於此種狀況，筆者等人進行了努力研究，結果發現，藉由製成使用了具有羧基及/或酸酐基的矽烷偶合劑的光陽離子聚合系材料，顯示出對無機基材的充分的密接性與圖案加工時的感度。 [解決課題之手段]
用以解決所述課題的本發明為以下所述。
一種樹脂組成物，含有作為（A）成分的高分子化合物、作為（B）成分的陽離子聚合性化合物、作為（C）成分的陽離子聚合起始劑、以及作為（D）成分的矽烷偶合劑，所述樹脂組成物的特徵在於，所述（D）成分具有羧基及/或酸酐基。 [發明的效果]
本發明的樹脂組成物提供顯示出對無機基材的充分的密接性與圖案加工時的感度的樹脂組成物、樹脂組成物膜、硬化膜、以及半導體裝置。
本發明是一種樹脂組成物，含有作為（A）成分的高分子化合物、作為（B）成分的陽離子聚合性化合物、作為（C）成分的陽離子聚合起始劑、以及作為（D）成分的矽烷偶合劑，所述樹脂組成物的特徵在於，所述（D）成分具有羧基及/或酸酐基。
（A）成分 本發明的樹脂組成物藉由含有作為（A）成分的高分子化合物，製成膜狀時的製膜性優異。（A）成分只要是高分子化合物，則其重量平均分子量並無特別限定，較佳為重量平均分子量為1,000以上200,000以下。另外（A）成分可單獨使用，亦可併用兩種以上。再者，本發明中的（A）成分的重量平均分子量是藉由凝膠滲透層析法（gel permeation chromatography，GPC法）來進行測定，並藉由聚苯乙烯換算而算出。
本發明的樹脂組成物中，較佳為（A）成分為選自由聚醯胺、聚醯亞胺、以及聚醯胺醯亞胺所組成的群組中的至少一種化合物。作為（A）成分只要包含選自由聚醯胺、聚醯亞胺、以及聚醯胺醯亞胺所組成的群組中的至少一種化合物，則（A）成分亦能夠包含聚醯胺、聚醯亞胺、以及聚醯胺醯亞胺以外的高分子化合物。再者，聚醯亞胺前驅物以及聚苯並噁唑前驅物分別相當於所述聚醯胺。
（A）成分較佳為分子鏈末端為羧酸殘基。藉由（A）成分的分子鏈末端為羧酸殘基，所述分子鏈末端可形成不具有可成為陽離子聚合的抑制官能基的胺末端結構的分子結構，結果，可表現出充分的陽離子聚合性，因此較佳。此處，所謂（A）成分的分子鏈末端為羧酸殘基是指（A）成分的分子鏈末端為可構成聚醯胺、聚醯亞胺或聚醯胺醯亞胺的源自羧酸殘基的有機基。因此，所謂（A）成分的分子鏈末端為羧酸殘基具體而言是指（A）成分的分子鏈末端為源自單羧酸、二羧酸、單醯氯化合物、二醯氯化合物、四羧酸或酸酐、酸二酐等的有機基。
作為用於使（A）成分的分子鏈末端成為羧酸殘基的較佳的羧酸，可列舉芳香族二羧酸、芳香族酸二酐、脂環式二羧酸、脂環式酸二酐、脂肪族二羧酸、脂肪族酸二酐等，但不限定於該些。另外，該些單獨使用或組合兩種以上而使用。
在本發明中，所述（A）成分較佳為具有選自通式（1）及通式（2）所表示的結構中的至少一種以上結構的化合物。
[化1]
Figure 02_image001
（通式（1）及通式（2）中，X 1及X 2獨立，X 1表示2價～10價的有機基，X 2表示4價～10價的有機基，Y 1及Y 2分別獨立地表示2價～4價的有機基，R表示氫原子或碳數1～20的有機基；q是0～2的整數，r、s、t、u分別獨立地為0～4的整數） 通式（1）及通式（2）中的Y 1及Y 2表示2價～4價的有機基，表示源自二胺的有機基。
所述（A）成分的通式（1）及通式（2）中的Y 1及Y 2較佳為含有具有酚性羥基的二胺殘基。藉由（A）成分中含有具有酚性羥基的二胺殘基，可獲得樹脂在鹼顯影液中的適度溶解性，因此可獲得曝光部與未曝光部的高對比度，可形成所希望的圖案。
作為具有酚性羥基的二胺的具體例子，例如可列舉：雙(3-胺基-4-羥基苯基)六氟丙烷、雙(3-胺基-4-羥基苯基)碸、雙(3-胺基-4-羥基苯基)丙烷、雙(3-胺基-4-羥基苯基)亞甲基、雙(3-胺基-4-羥基苯基)醚、雙(3-胺基-4-羥基)聯苯、2,2'-二-三氟甲基-5,5'-二羥基-4,4'-二胺基聯苯、雙(3-胺基-4-羥基苯基)芴、2,2'-雙(三氟甲基)-5,5'-二羥基聯苯胺等芳香族二胺、或將該些芳香族環或烴的氫原子的一部分用碳數1～10的烷基、氟烷基、鹵素原子等取代而得的化合物、另外可列舉具有下述所示結構的二胺等，但並不限定於該些。共聚的其他二胺可直接或作為對應的二異氰酸酯化合物、三甲基矽烷基化二胺使用。另外，亦可將該些兩種以上的二胺成分組合使用。
[化2]
Figure 02_image003
[化3]
Figure 02_image005
通式（1）及通式（2）中的Y 1及Y 2亦可含有上述以外的具有芳香族的二胺殘基。藉由將該些共聚，可提高耐熱性。作為具有芳香族的二胺殘基的具體例，可列舉：3,4'-二胺基二苯醚、4,4'-二胺基二苯醚、3,4'-二胺基二苯基甲烷、4,4'-二胺基二苯基甲烷、3,4'-二胺基二苯基碸、4,4'-二胺基二苯基碸、3,4'-二胺基二苯硫醚、4,4'-二胺基二苯硫醚、1,4-雙(4-胺基苯氧基)苯、石油醚（benzine）、間苯二胺、對苯二胺、1,5-萘二胺、2,6-萘二胺、雙(4-胺基苯氧基苯基)碸、雙(3-胺基苯氧基苯基)碸、雙(4-胺基苯氧基)聯苯、雙{4-(4-胺基苯氧基)苯基}醚、1,4-雙(4-胺基苯氧基)苯、2,2'-二甲基-4,4'-二胺基聯苯、2,2'-二乙基-4,4'-二胺基聯苯、3,3'-二甲基-4,4'-二胺基聯苯、3,3'-二乙基-4,4'-二胺基聯苯、2,2',3,3'-四甲基-4,4'-二胺基聯苯、3,3',4,4'-四甲基-4,4'-二胺基聯苯、2,2'-雙(三氟甲基)-4,4'-二胺基聯苯等芳香族二胺，或該些芳香族環或烴的氫原子的一部分經碳數1～10的烷基或氟烷基、鹵素原子等取代的化合物等，但並不限定於該些。共聚的其他二胺可直接或作為對應的二異氰酸酯化合物、三甲基矽烷基化二胺使用。另外，亦可將該些兩種以上的二胺成分組合使用。
另外，本發明中的所述通式（1）或所述通式（2）中，X 1及X 2獨立，X 1及X 2較佳為羧酸殘基，X 1較佳為2價～10價的有機基團，X 2較佳為4價～10價的有機基。
作為所述羧酸殘基，較佳為具有源自脂環式四羧酸二酐的結構。也就是說，（A）高分子化合物是選自由聚醯胺、聚醯亞胺及聚醯胺醯亞胺所組成的群組中的至少一種化合物，進一步較佳為具有源自脂環式四羧酸二酐的結構。藉由羧酸殘基具有源自脂環式四羧酸二酐的結構，樹脂組成物對曝光波長的透光率變高，20 μm以上的厚膜的加工變得容易。進而，雖然理由還不確定，但藉由（A）高分子化合物具有源自脂環式四羧酸二酐的結構，與芳香族酸二酐相比，陽離子聚合的反應性變高，硬化膜的耐化學藥品性提高，因此較佳。
進而，在脂環式四羧酸二酐中，自製成硬化物時的耐化學藥品性提高、離子遷移耐性提高的觀點出發，較佳為具有多環結構的脂環式四羧酸二酐。
另外，作為源自具有多環結構的脂環式四羧酸二酐的有機基的具體例，可列舉：4-（2,5-二氧代四氫呋喃-3-基）-1,2,3,4-四氫萘-1,2-二羧酸二酐、4-（2,5-二氧代四氫呋喃-3-基）-4甲基-1,2,3,4-四氫萘-1,2-二羧酸二酐、4-（2,5-二氧代四氫呋喃-3-基）-7甲基-1,2,3,4-四氫萘-1,2-二羧酸二酐；降冰片烷-2-螺-2'-環戊酮-5'-螺-2''-降冰片烷-5,5'',6,6''-四羧酸二酐、降冰片烷-2-螺-2'-環己酮-6'-螺-2''-降冰片烷-5,5'',6,6''-四羧酸二酐。
本發明的通式（1）及通式（2）所表示的結構的莫耳比可在根據聚合時使用的單體的莫耳比計算的方法、或使用核磁共振裝置（nuclear magnetic resonance，NMR）檢測所獲得的樹脂、樹脂組成物、硬化膜中的聚醯胺結構、醯亞胺前驅物結構、醯亞胺結構的峰的方法中來確認。
分子鏈末端為羧酸殘基的（A）成分在為例如分子鏈末端為羧酸殘基的聚醯亞胺的情況下，可藉由相對於聚合時使用的二胺增加酸酐的含量來獲得，作為獲得分子鏈末端為羧酸殘基的（A）成分的其他方法，可亦藉由使用一般用作末端密封劑的化合物中特定的化合物，具體而言，使用酸酐、單羧酸、單醯氯化合物、單活性酯化合物而獲得。
藉由利用具有羥基、羧基、磺酸基、硫醇基、乙烯基、乙炔基或烯丙基的羧酸或酸酐的末端密封劑密封（A）成分的分子鏈末端，可容易地將所述（A）成分在鹼水溶液中的溶解速度或所獲得的硬化膜的機械特性調整至較佳的範圍。另外，亦可使多種末端密封劑反應，來導入多種不同的末端基。
就較佳作為末端密封劑的酸酐、單羧酸、單醯氯化合物、單活性酯化合物而言，較佳的是鄰苯二甲酸酐、馬來酸酐、耐地酸酐、環己二羧酸酐、3-羥基鄰苯二甲酸酐等酸酐，3-羧基苯酚、4-羧基苯酚、3-羧基苯硫酚、4-羧基苯硫酚、1-羥基-7-羧基萘、1-羥基-6-羧基萘、1-羥基-5-羧基萘、1-巰基-7-羧基萘、1-巰基-6-羧基萘、1-巰基-5-羧基萘、3-羧基苯磺酸、4-羧基苯磺酸等單羧酸類及該些的羧基進行醯氯化而成的單醯氯化合物，對苯二甲酸、鄰苯二甲酸、馬來酸、環己二羧酸、1,5-二羧基萘、1,6-二羧基萘、1,7-二羧基萘、2,6-二羧基萘等二羧酸類的僅僅其中一個羧基進行醯氯化而成的單醯氯化合物、藉由單醯氯化合物與N-羥基苯並三唑或咪唑、N-羥基-5-降冰片烯-2,3-二羧基醯亞胺的反應而所得的活性酯化合物等。亦可使用該些中的兩種以上。
導入有該些末端密封劑的高分子化合物成為分子鏈末端為源自羧酸殘基的結構的（A）成分。而且，可用於獲得分子鏈末端為源自羧酸殘基的結構的（A）成分的末端密封劑可藉由以下的方法容易地檢測出。例如，將導入有末端密封劑的（A）成分溶解於酸性溶液中，分解為作為構成單元的胺成分與酸酐成分，針對其，藉由氣相層析法（Gas Chromatography，GC）或核磁共振（Nuclear Magnetic Resonance，NMR），可容易地檢測在本發明中使用的末端密封劑。與其不同地直接藉由熱裂解氣相層析儀（pyrolysis gas chromatograph，PGC）或紅外線光譜及13C-NMR光譜對導入有末端密封劑的樹脂成分進行測定，藉此亦可容易地檢測。
本發明中，（A）成分例如藉由如下的方法來合成，但不限定於此。聚醯亞胺結構將二胺的一部分替換為作為末端密封劑的一級單胺，或者將四羧酸二酐替換為作為末端密封劑的二羧酸酐，利用公知的方法進行合成。例如利用以下方法獲得聚醯亞胺前驅物：在低溫中使四羧酸二酐、二胺化合物以及單胺反應的方法；在低溫中使四羧酸二酐、二羧酸酐以及二胺化合物反應的方法；藉由四羧酸二酐與醇獲得二酯，然後在二胺、單胺以及縮合劑的存在下進行反應的方法等。然後，可利用公知的醯亞胺化反應法合成聚醯亞胺。
本發明中，（A）成分較佳為由上述方法聚合後，投入至大量的水或甲醇及水的混合液等中，使其沈澱並進行過濾分離、乾燥，加以分離。乾燥溫度較佳為40℃～100℃，更佳為50℃～80℃。藉由該操作，未反應的單體或者二聚物或三聚物等寡聚物成分被去除，可提高熱硬化後的膜特性。
較佳用作（A）成分的聚醯亞胺的醯亞胺化率例如可藉由以下方法而容易地求出。首先，測定聚合物的紅外吸收光譜，確認因聚醯亞胺引起的醯亞胺結構的吸收峰值（1780 cm -1左右、1377 cm -1左右）的存在。其次，將在350℃下對所述聚合物進行1小時熱處理而得者的醯亞胺化率作為100%的樣品，測定紅外吸收光譜，將熱處理前後的樹脂的1377 cm -1左右的峰值強度加以比較，藉此算出熱處理前樹脂中的醯亞胺基的含量，求出醯亞胺率。為了抑制熱硬化時的閉環率的變化，獲得低應力化的效果，醯亞胺化率較佳為50%以上，進而佳為80%以上。
（B）成分 本發明的樹脂組成物含有作為（B）成分的陽離子聚合性化合物。（B）成分較佳為環氧化合物或氧雜環丁烷化合物。較佳為可列舉：環氧化合物或氧雜環丁烷化合物等環狀醚化合物、乙烯基醚及苯乙烯類等乙烯性不飽和化合物、雙環原酸酯、螺環原碳酸酯、以及及螺環原酸酯等。
作為環氧化合物，可使用公知者，包含芳香族環氧化合物、脂環式環氧化合物及脂肪族環氧化合物。
作為芳香族環氧化合物，可列舉：具有至少一個芳香環的1價或多價的苯酚（苯酚、雙酚A、苯酚酚醛清漆及該些的環氧烷加成物的化合物）的縮水甘油醚等。
作為脂環式環氧化合物，可列舉：藉由用氧化劑將具有至少一個環己烯或環戊烯環的化合物環氧化而獲得的化合物（3,4-環氧環己基甲基-3,4-環氧環己烷羧酸酯等）。
作為脂肪族環氧化合物，可列舉：脂肪族多元醇或所述環氧烷加成物的聚縮水甘油醚（1,4-丁二醇二縮水甘油醚、1,6-己二醇二縮水甘油醚等）、脂肪族多元酸的聚縮水甘油醚（四氫鄰苯二甲酸二縮水甘油酯等）、長鏈不飽和化合物的環氧化物（環氧化大豆油及環氧化聚丁二烯等）。
作為氧雜環丁烷化合物，可使用公知的化合物等，例如可列舉：3-乙基-3-羥基甲基氧雜環丁烷、2-乙基己基(3-乙基-3-氧雜環丁基甲基)醚、2-羥乙基(3-乙基-3-氧雜環丁基甲基)醚、2-羥丙基(3-乙基-3-氧雜環丁基甲基)醚、1,4-聯[(3-乙基-3-氧雜環丁基甲氧基)甲基]苯、氧雜環丁基倍半氧雜環丁烷以及苯酚酚醛清漆氧雜環丁烷等。
作為乙烯性不飽和化合物，可使用公知的陽離子聚合性單體等，包括脂肪族單乙烯基醚、芳香族單乙烯基醚、多官能乙烯基醚、苯乙烯以及陽離子聚合性含氮單體。
作為脂肪族單乙烯基醚，可列舉甲基乙烯基醚、乙基乙烯基醚、丁基乙烯基醚以及環己基乙烯基醚等。
作為芳香族單乙烯基醚，可列舉2-苯氧基乙基乙烯基醚、苯基乙烯基醚以及對甲氧基苯基乙烯基醚等。
作為多官能乙烯基醚，可列舉：丁二醇-1,4-二乙烯基醚以及三乙二醇二乙烯基醚等。
作為苯乙烯類，可列舉：苯乙烯、a-甲基本乙烯、對甲氧基苯乙烯以及對第三丁氧基苯乙烯等。
作為陽離子聚合性含氮單體，可列舉：N-乙烯基咔唑以及N-乙烯基吡咯啶酮等。
作為雙環原酸酯，可列舉：1-苯基-4-乙基-2,6,7-三氧雜雙環[2.2.2]辛烷以及1-乙基-4-羥甲基-2,6,7-三氧雜環-[2.2.2]辛烷等。
作為螺環原碳酸酯，可列舉：1,5,7,11-四氧雜螺環[5.5]十一烷以及3,9-二苄基-1,5,7,11-四氧雜螺環[5.5]十一烷等。
作為螺環原酸酯，可列舉：1,4,6-三氧雜螺環[4.4]壬烷、2-甲基-1,4,6-三氧雜螺環[4.4]壬烷以及1,4,6-三氧雜螺環[4.5]癸烷等。
該些陽離子聚合性化合物中，較佳為環氧化合物、氧雜環丁烷化合物以及乙烯基醚，進而佳為環氧化合物以及氧雜環丁烷化合物，特佳為環氧化合物。
（B）成分可單獨使用，或者亦可併用兩種以上。
在將（A）成分的合計設為100質量份時，就顯示出充分的陽離子硬化性，提高圖案加工性的方面而言，（B）成分的含量較佳為30質量份以上，更佳為50質量份以上。另一方面，就提高解析度的方面而言，較佳為200質量份以下，更佳為150質量份以下。
（C）成分 本發明的樹脂組成物含有作為（C）成分的陽離子聚合起始劑。此處，所謂陽離子聚合起始劑，是藉由光或加熱直接或間接產生酸而產生陽離子聚合的物質。作為此種陽離子聚合起始劑，可並無特別限定地使用公知的化合物。作為陽離子聚合起始劑，具體而言，例如可列舉芳香族碘鎓錯鹽、及芳香族鋶錯鹽等。作為芳香族碘鎓錯鹽的具體例，可列舉：二苯基碘鎓四(五氟苯基)硼酸鹽、二苯基碘鎓六氟磷酸鹽、二苯基碘鎓六氟銻酸鹽、二(4-壬基苯基)碘鎓六氟磷酸鹽等。該些（C）成分可單獨使用，或者亦可併用兩種以上。
較佳為本發明的樹脂組成物為負型的感光性樹脂組成物。本發明中，較佳為（C）成分為光陽離子聚合起始劑。藉由選擇光陽離子聚合起始劑作為（C）成分，可在樹脂組成物中的光照射部與光未照射部形成陽離子聚合進行的對比度，藉由用任意的顯影液溶解樹脂組成物，能夠形成負型的圖案，就所述方面而言較佳，從而作為負型的感光性樹脂組成物而較佳。
（D）成分 本發明的樹脂組成物含有作為（D）成分的矽烷偶合劑。而且，重要的是（D）成分具有羧基及/或酸酐基。此處，所謂矽烷偶合劑是指具有兩種以上的官能基的矽烷化合物。藉由（D）成分具有羧基及/或酸酐基，可提高與無機基材的密接性。進而，藉由羧基或酸酐基捕獲樹脂組成物中可極少地存在的胺類等阻礙陽離子聚合的化合物，陽離子聚合的反應性提高，可提供圖案加工時的感度優異的樹脂組成物。作為具有羧基的矽烷偶合劑的具體例，可列舉X-12-1135（信越化學工業（股）製造）等。作為具有酸酐基的矽烷偶合劑的具體例，可列舉KBM-967TR-1（信越化學工業（股）製造）等。
本發明中，（D）成分較佳為具有通式（3）的結構。
[化4]
Figure 02_image007
式（3）中，n為1以上的整數，X為有機基。
再者，式（3）中，n為1以上的整數，更佳為1～6的整數。另外，X只要是有機基則並無特別限制，更佳為碳數為1～6的有機基。
作為滿足式（3）的X的具體例，例如可列舉：甲基、乙基、丙基、異丙基、正丁基、第三丁基、正己基、環己基、苯基等，較佳為甲基或乙基。
藉由（D）成分具有通式（3）的結構，圖案加工時的感度進一步提高。作為具有通式（3）的結構的矽烷偶合劑的具體例，可列舉KBM-967TR-1（信越化學工業（股）製造）等。
本發明的樹脂組成物只要含有具有羧基及/或酸酐基的矽烷偶合劑作為（D）成分，就可包含具有羧基或酸酐基以外的官能基的矽烷偶合劑。作為具有羧基或酸酐基以外的官能基的矽烷偶合劑的具體例，可列舉：N-苯基胺基乙基三甲氧基矽烷、N-苯基胺基乙基三乙氧基矽烷、N-苯基胺基丙基三甲氧基矽烷、N-苯基胺基丙基三乙氧基矽烷、N-苯基胺基丁基三甲氧基矽烷、N-苯基胺基丁基三乙氧基矽烷、乙烯基三甲氧基矽烷、乙烯基三乙氧基矽烷、乙烯基三氯矽烷、乙烯基三(β-甲氧基乙氧基)矽烷、3-甲基丙烯醯氧基丙基三甲氧基矽烷、3-丙烯醯氧基丙基三甲氧基矽烷、對苯乙烯基三甲氧基矽烷、3-甲基丙烯醯氧基丙基甲基二甲氧基矽烷、3-甲基丙烯醯氧基丙基甲基二乙氧基矽烷等。
在將本發明的樹脂組成物設為100質量%的情況下，（D）成分的合計較佳為1質量%～10質量%，更佳為2質量%～5質量%。若（D）成分的合計小於較佳範圍，則密接性降低，若超過較佳範圍，則容易產生顯影殘渣。
本發明的樹脂組成物為了吸收紫外線，並將吸收的光能提供給光酸產生劑而可包含增感劑。作為增感劑，例如較佳為在9位與10位具有烷氧基的蒽化合物（9,10-二烷氧基-蒽衍生物）。作為烷氧基，例如可列舉甲氧基、乙氧基、丙氧基等C1～C4的烷氧基。9,10-二烷氧基-蒽衍生物可更具有取代基。作為取代基，例如可列舉氟原子、氯原子、溴原子、碘原子等鹵素原子、甲基、乙基、丙基等C1～C4的烷基或磺酸烷基酯基、羧酸烷基酯基等。作為磺酸烷基酯基或羧酸烷基酯中的烷基，例如可列舉甲基、乙基、丙基等C1～C4的烷基。該些取代基的取代位置較佳為2位。
本發明的樹脂組成物亦可含有熱交聯劑，作為此時的熱交聯劑，並無特別限定，較佳為具有烷氧基甲基或羥甲基的化合物。
作為具有烷氧基甲基或羥甲基的例子，例如可列舉：DML-PC、DML-PEP、DML-OC、DML-OEP、DML-34X、DML-PTBP、DML-PCHP、DML-OCHP、DML-PFP、DML-PSBP、DML-POP、DML-MBOC、DML-MBPC、DML-MTrisPC、DML-BisOC-Z、DML-BisOCHP-Z、DML-BPC、DML-BisOC-P、DMOM-PC、DMOM-PTBP、DMOM-MBPC、TriML-P、TriML-35XL、TML-HQ、TML-BP、TML-pp-BPF、TML-BPE、TML-BPA、TML-BPAF、TML-BPAP、TMOM-BP、TMOM-BPE、TMOM-BPA、TMOM-BPAF、TMOM-BPAP、HML-TPPHBA、HML-TPHAP、HMOM-TPPHBA、HMOM-TPHAP（以上為商品名，本州化學工業（股）製造）、尼卡拉克（NIKALAC）（註冊商標）MX-290、尼卡拉克（NIKALAC）MX-280、尼卡拉克（NIKALAC）MW-100LM、尼卡拉克（NIKALAC）MX-750LM（以上為商品名，（股）三和化學製造）。
本發明的樹脂組成物亦可視需要以提高與基材的濕潤性為目的而含有界面活性劑、乳酸乙酯或丙二醇單甲醚乙酸酯等酯類，乙醇等醇類，環己酮、甲基異丁基酮等酮類，四氫呋喃、二噁烷等醚類。另外，為了抑制熱膨脹係數和高介電常數化、低介電常數化等目的，亦可含有二氧化矽、二氧化鈦等無機粒子或者聚醯亞胺的粉末等。
本發明的樹脂組成物的硬化前的形狀並無限定，例如可列舉清漆狀或膜狀等。以下，有時將本發明的樹脂組成物的形狀製成清漆狀而成者記為樹脂組成物清漆，將本發明的樹脂組成物的形狀製成膜狀而成者記為本發明的樹脂組成物膜。
本發明的樹脂組成物膜可為形成在支撐體上的膜狀的形態，亦可為並無支撐體的形態。在以清漆狀使用本發明的樹脂組成物的情況下，可使用將（A）成分～（D）成分以及視需要添加的成分溶解在有機溶媒中而得者。另外，本發明的樹脂組成物膜例如藉由將本發明的樹脂組成物塗佈於支撐體上，其次視需要將其乾燥而得。
其次，對製作本發明的樹脂組成物膜的方法進行說明。
本發明的樹脂組成物膜藉由將本發明的樹脂組成物的溶液（清漆）塗佈於支撐體上，其次視需要將其乾燥而得。樹脂組成物清漆藉由在樹脂組成物中添加有機溶劑而得。作為此處使用的有機溶劑，只要是溶解樹脂組成物的溶劑即可。
作為有機溶劑，具體可列舉：乙二醇單甲醚、乙二醇單乙醚、丙二醇單甲醚、丙二醇單乙醚、乙二醇二甲醚、乙二醇二乙醚、乙二醇二丁醚等醚類，乙二醇單乙醚乙酸酯、丙二醇單甲醚乙酸酯、乙酸丙酯、乙酸丁酯、乙酸異丁酯、乙酸3-甲氧基丁酯、乙酸3-甲基-3-甲氧基丁酯、乳酸甲酯、乳酸乙酯、乳酸丁酯等乙酸酯類，丙酮、甲基乙基酮、乙醯基丙酮、甲基丙基酮、甲基丁基酮、甲基異丁基酮、環戊酮、2-庚酮等酮類，丁醇、異丁醇、戊醇、4-甲基-2-戊醇、3-甲基-2-丁醇、3-甲基-3-甲氧基丁醇、二丙酮醇等醇類，甲苯、二甲苯等芳香族烴類，除此以外，可列舉：N-甲基-2-吡咯啶酮、N-環己基-2-吡咯啶酮、N,N-二甲基甲醯胺、N,N-二甲基乙醯胺、二甲基亞碸、γ-丁內酯等。
亦可使用濾紙或過濾器對樹脂組成物清漆進行過濾。過濾方法並無特別限定，較佳為使用保留粒徑0.4 μm～10 μm的過濾器並藉由加壓過濾進行過濾的方法。
本發明的樹脂組成物膜較佳為形成在支撐體上使用。支撐體並無特別限定，能夠使用：聚對苯二甲酸乙二酯（有時亦稱為PET（Polyethylene Terephthalate））膜、聚苯硫醚膜、聚醯亞胺膜等通常市售的各種膜。為了提高密接性與剝離性，可在支撐體與樹脂組成物膜的接合面實施矽酮、矽烷偶合劑、鋁螯合劑、聚脲等的表面處理。此外，支撐體的厚度並無特別限定，就作業性的觀點而言，較佳為10 μm～100 μm的範圍。
為了保護表面，本發明的樹脂組成物膜亦可在膜上具有保護膜。藉此，可保護樹脂組成物膜的表面不受大氣中的灰塵或塵土等污染物質污染。作為保護膜，可列舉：聚烯烴膜、聚酯膜等。保護膜較佳為與樹脂組成物膜的接著力小者。
作為將樹脂組成物清漆塗佈於支撐體上的方法，可列舉：使用旋轉器的旋轉塗佈、噴霧塗佈、輥塗佈、網版印刷、刮刀塗佈機、模塗機、砑光塗佈機、彎液面塗佈機、棒塗機、輥塗機、缺角輪輥塗機、凹版塗佈機、網版塗佈機、狹縫模塗機等方法。另外，塗佈膜厚根據塗佈方法、組成物的固體成分濃度、黏度等而不同，但通常較佳為乾燥後的膜厚為0.5 μm以上且100 μm以下。
乾燥時可使用烘箱、加熱板、紅外線等。乾燥溫度及乾燥時間只要為能夠使有機溶媒揮發的範圍即可，較佳為適當設定如樹脂組成物膜成為未硬化或半硬化狀態的範圍。具體而言，較佳為於40℃至120℃的範圍內進行1分鐘至數十分鐘。另外，亦可將該等溫度加以組合而階段性地升溫，例如可在70℃、80℃、90℃下各進行1分鐘熱處理。
其次，列舉例子對本發明的樹脂組成物清漆、或者利用其的樹脂組成物膜進行圖案加工的方法、及熱壓接於其他構件的方法進行說明。
首先，對使用本發明的樹脂組成物、或利用其的樹脂組成物膜，在基板上形成樹脂組成物膜的方法進行說明。在使用樹脂組成物清漆的情況下，首先將清漆塗佈於基板上。作為塗佈方法，可列舉：使用旋轉器的旋轉塗佈、噴霧塗佈、輥塗佈、網版印刷等方法。另外，塗佈膜厚根據塗佈方法、樹脂組成物的固體成分濃度及黏度等而不同，但通常較佳為以乾燥後的膜厚為0.5μm以上100 μm以下的方式塗佈。其次，將塗佈有樹脂組成物清漆的基板進行乾燥而獲得樹脂組成物被膜。乾燥可使用烘箱、加熱板、紅外線等。乾燥溫度及乾燥時間只要為可使有機溶媒揮發的範圍即可，較佳為適當設定如樹脂組成物被膜成為未硬化或半硬化狀態的範圍。具體而言，較佳為在50℃～150℃的範圍中進行1分鐘～數小時。
另一方面，在使用樹脂組成物膜的情況下，具有保護膜時，將其剝離，使樹脂組成物膜與基板相向，藉由熱壓接而貼合，從而獲得樹脂組成物被膜。熱壓接可藉由熱壓製處理、熱層壓處理、熱真空層壓處理等而進行。就對基板的密接性、嵌入性的方面而言，貼合溫度較佳為40℃以上。另外，為了防止在貼合時樹脂組成物膜硬化、在曝光、顯影步驟中的圖案形成的解析度變差，貼合溫度較佳為150℃以下。
在任一情況下，所使用的基板可列舉：矽晶圓、陶瓷類、砷化鎵、有機系電路基板、無機系電路基板、及在該等基板上配置有電路的構成材料者等，但並不限定於該些。作為有機系電路基板的例子，可列舉：玻璃布-環氧銅箔積層板等玻璃基材銅箔積層板，玻璃不織布-環氧銅箔積層板等複合銅箔積層板，聚醚醯亞胺樹脂基板、聚醚酮樹脂基板、聚碸系樹脂基板等耐熱-熱塑性基板，聚酯銅箔膜基板、聚醯亞胺銅箔膜基板等可撓性基板。另外，無機系電路基板的例子可列舉：氧化鋁基板、氮化鋁基板、碳化矽基板等陶瓷基板，鋁基材基板、鐵基材基板等金屬系基板。電路的構成材料的例子可列舉：含有銀、金、銅等金屬的導體，含有無機系氧化物等的電阻體，含有玻璃系材料及/或樹脂等的低介電體，含有樹脂或高介電常數無機粒子等的高介電體，含有玻璃系材料等的絕緣體等。
其次，在藉由所述方法而形成的樹脂組成物被膜上，經由具有所期望的圖案的遮罩照射光化射線進行曝光。作為用於曝光的光化射線，有紫外線、可見光線、電子束、X射線等，在本發明中，較佳為使用水銀燈的i射線（365 nm）、h射線（405 nm）、g射線（436 nm）。在樹脂組成物膜中，在支撐體相對於該些光線為透明的材質時，亦可不自樹脂組成物膜剝離支撐體而進行曝光。
為了形成圖案，在曝光後用顯影液除去曝光部。作為顯影液，較佳為：四甲基氫氧化銨的水溶液、二乙醇胺、二乙基胺基乙醇、氫氧化鈉、氫氧化鉀、碳酸鈉、碳酸鉀、三乙基胺、二乙基胺、甲基胺、二甲基胺、乙酸二甲基胺基乙酯、二甲基胺基乙醇、甲基丙烯酸二甲基胺基乙酯、環己基胺、乙二胺、六亞甲基二胺等表現出鹼性的化合物的水溶液。另外，根據情況亦可在該些鹼性水溶液中單獨含有N-甲基-2-吡咯啶酮，N,N-二甲基甲醯胺、N,N-二甲基乙醯胺、二甲基亞碸、γ-丁內酯、二甲基丙烯醯胺等極性溶媒，甲醇、乙醇、異丙醇等醇類，乳酸乙酯、丙二醇單甲醚乙酸酯等酯類，環戊酮、環己酮、異丁基酮、甲基異丁基酮等酮類等或將所述多種加以組合而含有。
顯影可藉由對被膜面噴射所述顯影液、將顯影液填充在被膜面上、浸漬於顯影液中、或進行浸漬並施加超音波等方法來進行。顯影時間或顯影步驟中顯影液的溫度等顯影條件只要是曝光部被除去而能夠形成圖案的條件即可。
顯影後較佳為利用水進行淋洗處理。此處，亦可在水中添加乙醇、異丙醇等醇類，乳酸乙酯、丙二醇單甲醚乙酸酯等酯類等進行淋洗處理。
另外，視需要亦可在顯影前進行烘烤處理。藉此，有時顯影後的圖案的解析度提高，顯影條件的允許幅度增大。所述烘烤處理溫度較佳為50℃～180℃的範圍，特別是更佳為60℃～120℃的範圍。時間較佳為5秒鐘～數小時。
圖案形成後，在樹脂組成物被膜中殘留有未反應的陽離子聚合性化合物和陽離子聚合起始劑。因此，熱壓接或硬化時，它們有時會熱分解而產生氣體。為了避免這種情況，較佳為對圖案形成後的樹脂組成物被膜的整個面照射上述曝光光，使陽離子聚合起始劑產生酸。如此，在熱壓接或硬化時，未反應的陽離子聚合性化合物的反應進行，可抑制來自熱分解的氣體的產生。
顯影後，施加150℃～500℃的溫度使熱交聯反應進行。藉由交聯，可提高耐熱性及耐化學藥品性。該加熱處理的方法可選擇：選擇溫度而階段性地升溫的方法、或者選擇某個溫度範圍而連續性地升溫，同時實施5分鐘～5小時的方法。作為前者的一例，可列舉在130℃、200℃下各進行30分鐘熱處理的方法。作為後者的一例，可列舉：歷時2小時直線地自室溫升溫至400℃等的方法。
將本發明的樹脂組成物或本發明的樹脂組成物膜硬化而成的本發明的硬化膜可用於半導體裝置等電子零件。即，本發明的半導體裝置具有本發明的硬化膜。再者，本發明中所說的半導體裝置是指可藉由利用半導體元件的特性而發揮功能的裝置整體。將半導體元件連接於基板而成的電光學裝置或積層半導體電路基板、多個半導體元件而成的裝置、以及包括該些的電子裝置全部包含於半導體裝置中。另外，用於連接半導體元件的多層配線板等電子零件亦包含在半導體裝置中。具體而言，較佳用於半導體鈍化膜、半導體元件的表面保護膜、半導體元件與配線之間的層間絕緣膜、多個半導體元件之間的層間絕緣膜、高密度安裝用多層配線的配線層間的層間絕緣膜、有機電致發光元件的絕緣層等用途，但並不限於此，可用於各種用途。 [實施例]
以下，根據實施例具體說明本發明，但本發明不限於此。
＜圖案加工時的感度的評價＞ 在各實施例及比較例中製作的樹脂組成物膜存在保護膜的情況下，剝離所述保護膜，並使用真空膜片式層壓機（（股）名機製作所製造，MVLP-500/600），在上下熱盤溫度80℃、真空抽吸時間20秒、真空按壓時間30秒、貼付壓力0.3 MPa的條件下，將所述剝離面層壓到4英吋的矽晶圓上，在矽晶圓上形成樹脂組成物膜。然後，在存在支撐體膜的情況下，剝離所述支撐體膜後，在曝光裝置上設置具有通孔尺寸為20 μm ϕ的圖案的遮罩，在遮罩與樹脂組成物膜的曝光間隙為100 μm的條件下，使用超高壓水銀燈，以曝光量100 mJ/cm 2～1000 mJ/cm 2（i射線換算、全波長曝光）進行曝光。曝光後，利用加熱板在80℃下進行10分鐘曝光後加熱。然後，利用浸漬顯影，用四甲基氫氧化銨的2.38質量%水溶液除去未曝光部，用水進行淋洗處理。顯影時間設為未曝光部完全溶解的時間的兩倍的時間。用光學顯微鏡觀察如此獲得的圖案，確認圖案是否有堵塞等異常。進而，由所獲得的圖案的顯影前的膜厚與顯影後的膜厚算出殘膜率。將所獲得的殘膜率的小數點第一位四捨五入。求出圖案無堵塞，且殘膜率為90%以上的最小的曝光量，如下述般以A++至C的5個等級判定圖案加工時的感度。 A++：小於300 mJ/cm 2A+：300 mJ/cm 2以上且小於500 mJ/cm 2A：500 mJ/cm 2以上且小於800 mJ/cm 2B：800 mJ/cm 2以上且1000 mJ/cm 2以下 C:（在1000 mJ/cm 2以下的曝光中）無法進行圖案加工。
＜密接性的評價＞ 與所述圖案加工性的評價方法同樣，在矽晶圓上形成樹脂組成物膜。然後在存在支撐體膜的情況下，將其剝離後，使用超高壓水銀燈以曝光量500 mJ/cm 2（i射線換算，全波長曝光）進行曝光。曝光後，利用加熱板在80℃下進行10分鐘曝光後加熱。然後，使用惰性烘箱（Inert Oven）（光洋熱系統（Thermo System）（股）製造，INL-60），在N 2氣氛下（氧濃度20 ppm以下），用60分鐘自室溫升溫到200℃後，在200℃下熱處理60分鐘，從而獲得形成在矽晶圓上的樹脂組成物膜的硬化膜。利用不飽和壓力鍋試驗（130℃、濕度85%）對所獲得的硬化膜處理96小時。對試驗後的樣品實施橫切試驗，如下所述般以4個等級進行評價。 A+：任何格子均未發現剝離。 A：在格子的交叉點附近發現輕微的剝離。 B：沿格子線觀察到部分剝離。 C：整面地剝離。
各實施例及比較例中使用的化合物藉由以下方法合成。
合成例1 含羥基的二胺化合物（a）的合成 將2,2-雙(3-胺基-4-羥基苯基)六氟丙烷（以下稱為BAHF）（18.3 g，0.05莫耳）溶解於丙酮100 mL、環氧丙烷（17.4 g，0.3莫耳）中，冷卻至-15℃。於其中滴加將3-硝基苯甲醯氯（20.4 g，0.11莫耳）溶解在丙酮100 mL中的溶液。滴加結束後，在-15℃下反應4小時，然後恢復到室溫。過濾分離析出的白色固體，在50℃下真空乾燥。
將得到的30 g白色固體放入300 mL不鏽鋼高壓釜中，分散在250 mL甲基賽珞蘇中，加入2 g的5%鈀-碳。於其中，利用氣球來導入氫，在室溫下進行還原反應。約2小時後，確認氣球不再縮小而使反應結束。反應結束後，過濾而除去作為觸媒的鈀化合物，用旋轉蒸發器進行濃縮，獲得下式所示的含羥基的二胺化合物（a）。所獲得的固體直接用於反應。
[化5]
Figure 02_image008
合成例1 聚醯胺（A-2）的合成 在乾燥氮氣氣流下，向γ-丁內酯（以下稱為GBL（Gamma-Butyrolactone，GBL））80 g中添加BAHF（36.63 g，0.10莫耳），在120℃下攪拌溶解。其次，與GBL 20 g一起加入1,3,3a,4,5,9b-六氫-5(四氫-2,5,-二氧代-3-呋喃基)萘並[1,2-C]呋喃-1,3-二酮（以下稱為TDA-100）（24.02 g，0.08莫耳），在120℃下攪拌1小時，其次，在200℃下攪拌4小時，獲得反應溶液。其次，將反應溶液投入到3 L水中收集白色沈澱。藉由過濾而收集該沈澱，利用水清洗3次後，利用80℃的真空乾燥機乾燥5小時，而獲得分子鏈末端為源自胺基殘基的結構的聚醯亞胺。
合成例2 聚醯胺（A-3）的合成 在乾燥氮氣氣流下，向N-甲基-2-吡咯啶酮（以下稱為NMP（N-Methyl-2-Pyrrolidone，NMP））100 g中添加BAHF（29.30 g，0.08莫耳），在室溫下攪拌溶解。然後，一邊將反應溶液的溫度保持在-10℃～0℃，一邊少量逐次添加4,4'-二苯醚二羧酸二氯化物（29.52g，0.1莫耳），添加結束後升溫到室溫，繼續攪拌3小時。其次，將反應溶液投入到3 L水中收集白色沈澱。藉由過濾而收集該沈澱，利用水清洗3次後，利用80℃的真空乾燥機乾燥5小時，而獲得分子鏈末端為源自羧酸殘基的結構的聚醯胺。
合成例3 聚醯亞胺（A-4）的合成 在乾燥氮氣氣流下，向γ-丁內酯（以下稱為GBL（Gamma-Butyrolactone，GBL））80 g中添加BAHF（29.30 g，0.08莫耳），在120℃下攪拌溶解。其次，與GBL 20 g一起加入TDA-100（30.03 g，0.1莫耳），在120℃下攪拌1小時，其次，在200℃下攪拌4小時，獲得反應溶液。其次，將反應溶液投入到3 L水中收集白色沈澱。藉由過濾而收集該沈澱，利用水清洗3次後，利用80℃的真空乾燥機乾燥5小時，而獲得分子鏈末端為源自羧酸殘基的結構的聚醯亞胺。
合成例4 聚醯胺醯亞胺（A-5）的合成 在乾燥氮氣氣流下，向GBL 80 g中添加含羥基的二胺化合物（a）（31.43 g，0.08莫耳），在120℃下攪拌。其次，與GBL 20 g一起加入TDA-100（30.03 g，0.1莫耳），在120℃下攪拌1小時，其次，在200℃下攪拌4小時，獲得反應溶液。其次，將反應溶液投入到3 L水中而收集白色沈澱。藉由過濾而收集該沈澱，利用水清洗3次後，用80℃的真空乾燥機乾燥5小時，而獲得分子鏈末端為源自羧酸殘基的結構的聚醯胺醯亞胺。
實施例1 將作為（A）成分的GPH-103（商品名，日本化藥（股）製造）10 g、作為（B）成分的TEPIC-VL（商品名，日產化學（股）製造）12.5 g、作為（C）成分的CPI-310FG（商品名，桑納普羅（SANAPRO）（股）製造）1 g、作為（D）成分的X-12-1135（商品名，信越化學工業（股）製造）1 g溶解於GBL中。將溶媒以外的添加物設為固體成分，以固體成分濃度成為60質量%的方式調整溶媒的添加量。然後，使用保留粒徑1 μm的過濾器進行加壓過濾，而獲得樹脂組成物清漆。
實施例2～實施例7、比較例1～比較例5 除了將（A）成分～（D）成分以及其他成分變更為下述結構的化合物，將它們的混合比如表1記載般變更以外，與實施例1同樣地獲得樹脂組成物清漆。
[表1]
[表1]
實施例 1 實施例 2 實施例 3 實施例 4 實施例 5 實施例 6 實施例 7 比較例 1 比較例 2 比較例 3 比較例 4 比較例 5
（A）成分 （質量份） A-1 100 ｰ ｰ ｰ ｰ ｰ ｰ 100 100 100 ｰ ｰ
A-2 ｰ 100 ｰ ｰ ｰ ｰ ｰ ｰ ｰ ｰ ｰ ｰ
A-3 ｰ ｰ 100 ｰ ｰ ｰ ｰ ｰ ｰ ｰ ｰ ｰ
A-4 ｰ ｰ ｰ 100 ｰ 100 100 ｰ ｰ ｰ 100 100
A-5 ｰ ｰ ｰ ｰ 100 ｰ ｰ ｰ ｰ ｰ ｰ ｰ
（B）成分 （質量份） B-1 125 125 125 125 125 125 ｰ 125 125 125 125 125
B-2 ｰ ｰ ｰ ｰ ｰ ｰ 125 ｰ ｰ ｰ ｰ ｰ
（C）成分 （質量份） C-1 10 10 10 10 10 10 10 10 10 10 10 10
（D）成分 （質量份） D-1 10 10 10 10 10 ｰ ｰ ｰ ｰ ｰ ｰ ｰ
D-2 ｰ ｰ ｰ ｰ ｰ 10 10 ｰ ｰ ｰ ｰ ｰ
D-3 ｰ ｰ ｰ ｰ ｰ ｰ ｰ ｰ 10 ｰ 10 ｰ
D-4 ｰ ｰ ｰ ｰ ｰ ｰ ｰ ｰ ｰ 10 ｰ 10
再者，各合成例、實施例以及比較例中使用的化合物如下所示。
（A）高分子化合物 A-1：GPH-103（鹼可溶性聯苯芳烷基型酚化合物、日本化藥（股）製造） A-2：分子鏈末端為胺殘基的聚醯亞胺 A-3：分子鏈末端為羧酸殘基的聚醯胺 A-4：分子鏈末端為羧酸殘基的聚醯亞胺 A-5：分子鏈末端為羧酸殘基的聚醯胺醯亞胺。
（B）陽離子聚合性化合物 B-1：TEPIC-VL（環氧化合物，日產化學（股）製造） B-2：OXT-221（氧雜環丁烷化合物，東亞合成（股）製造）。
（C）陽離子聚合起始劑 C-1：CPI-310FG（鋶鹽系光酸產生劑，桑納普羅（SANAPRO）（股）製造）。
（D）矽烷偶合劑 D-1：X-12-1135（具有羧基的矽烷偶合劑，日產化學（股）製造） D-2：KBM-967TR-1（具有酸酐基的矽烷偶合劑，日產化學（股）製造） D-3：KBM-303（具有環氧基的矽烷偶合劑，信越化學工業（股）製造） D-4：KBM-903（具有胺基的矽烷偶合劑，信越化學工業（股）製造）。
使用缺角輪輥塗機在厚度50 μm的PET膜上塗佈所述樹脂組成物清漆，在120℃下進行8分鐘乾燥後，對作為保護膜的厚度10 μm的聚丙烯膜進行層壓，而獲得樹脂組成物膜。樹脂組成物膜的膜厚調整為20 μm。使用所獲得的樹脂組成物膜，如上所述，進行圖案加工時的感度、密接性的評價。將結果示於表2中。
[表2]
[表2]  
  實施例 1 實施例 2 實施例 3 實施例 4 實施例 5 實施例 6 實施例 7 比較例 1 比較例 2 比較例 3 比較例 4 比較例 5
圖案加工時的感度 A A A+ A+ A+ A++ A+ B B C B C
密接性 A A A A A A+ A+ C B A B A
由表2的結果可知，實施例1～實施例7的樹脂組成物與比較例1～比較例5相比，圖案加工時的密度及密接性優異。
即，根據本發明，能夠提供顯示出對無機基材的充分的密接性與圖案加工時的感度的樹脂組成物、樹脂組成物膜、硬化膜以及使用該些的半導體裝置。
無
無

Claims (9)

  1. 一種樹脂組成物，含有：作為（A）成分的高分子化合物、作為（B）成分的陽離子聚合性化合物、作為（C）成分的陽離子聚合起始劑、以及作為（D）成分的矽烷偶合劑，且所述樹脂組成物的特徵在於， 所述（D）成分具有羧基及/或酸酐基。
  2. 如請求項1所述的樹脂組成物，其中所述（A）成分為選自由聚醯胺、聚醯亞胺、以及聚醯胺醯亞胺所組成的群組中的至少一種化合物。
  3. 如請求項1或請求項2所述的樹脂組成物，其中所述（A）成分的分子鏈末端為羧酸殘基。
  4. 如請求項1至請求項3中任一項所述的樹脂組成物，其中所述（D）成分具有通式（3）的結構，
    Figure 03_image009
    式（3）中，n為1以上的整數，X為有機基。
  5. 如請求項1至請求項4中任一項所述的樹脂組成物，其中所述（B）成分為環氧化合物或氧雜環丁烷化合物。
  6. 如請求項1至請求項5中任一項所述的樹脂組成物，其為負型的感光性樹脂組成物。
  7. 一種樹脂組成物膜，包含如請求項1至請求項6中任一項所述的樹脂組成物。
  8. 一種硬化膜，將如請求項1至請求項6中任一項所述的樹脂組成物或如請求項7所述的樹脂組成物膜硬化而成。
  9. 一種半導體裝置，具有如請求項8所述的硬化膜。
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