TW202240923A - 檢測裝置 - Google Patents

檢測裝置 Download PDF

Info

Publication number
TW202240923A
TW202240923A TW111110248A TW111110248A TW202240923A TW 202240923 A TW202240923 A TW 202240923A TW 111110248 A TW111110248 A TW 111110248A TW 111110248 A TW111110248 A TW 111110248A TW 202240923 A TW202240923 A TW 202240923A
Authority
TW
Taiwan
Prior art keywords
detection device
photosensors
substrate
layer
disposed
Prior art date
Application number
TW111110248A
Other languages
English (en)
Inventor
中川卓宣
Original Assignee
群創光電股份有限公司
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 群創光電股份有限公司 filed Critical 群創光電股份有限公司
Publication of TW202240923A publication Critical patent/TW202240923A/zh

Links

Images

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/88Investigating the presence of flaws or contamination
    • G01N21/8806Specially adapted optical and illumination features
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C09DYES; PAINTS; POLISHES; NATURAL RESINS; ADHESIVES; COMPOSITIONS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; APPLICATIONS OF MATERIALS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • C09KMATERIALS FOR MISCELLANEOUS APPLICATIONS, NOT PROVIDED FOR ELSEWHERE
    • C09K11/00Luminescent, e.g. electroluminescent, chemiluminescent materials
    • C09K11/08Luminescent, e.g. electroluminescent, chemiluminescent materials containing inorganic luminescent materials
    • C09K11/77Luminescent, e.g. electroluminescent, chemiluminescent materials containing inorganic luminescent materials containing rare earth metals
    • C09K11/7728Luminescent, e.g. electroluminescent, chemiluminescent materials containing inorganic luminescent materials containing rare earth metals containing europium
    • C09K11/7734Aluminates
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F21LIGHTING
    • F21KNON-ELECTRIC LIGHT SOURCES USING LUMINESCENCE; LIGHT SOURCES USING ELECTROCHEMILUMINESCENCE; LIGHT SOURCES USING CHARGES OF COMBUSTIBLE MATERIAL; LIGHT SOURCES USING SEMICONDUCTOR DEVICES AS LIGHT-GENERATING ELEMENTS; LIGHT SOURCES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • F21K2/00Non-electric light sources using luminescence; Light sources using electrochemiluminescence
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01LMEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L1/00Measuring force or stress, in general
    • G01L1/24Measuring force or stress, in general by measuring variations of optical properties of material when it is stressed, e.g. by photoelastic stress analysis using infrared, visible light, ultraviolet
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01MTESTING STATIC OR DYNAMIC BALANCE OF MACHINES OR STRUCTURES; TESTING OF STRUCTURES OR APPARATUS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01M5/00Investigating the elasticity of structures, e.g. deflection of bridges or air-craft wings
    • G01M5/0033Investigating the elasticity of structures, e.g. deflection of bridges or air-craft wings by determining damage, crack or wear
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01MTESTING STATIC OR DYNAMIC BALANCE OF MACHINES OR STRUCTURES; TESTING OF STRUCTURES OR APPARATUS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01M5/00Investigating the elasticity of structures, e.g. deflection of bridges or air-craft wings
    • G01M5/0091Investigating the elasticity of structures, e.g. deflection of bridges or air-craft wings by using electromagnetic excitation or detection
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/88Investigating the presence of flaws or contamination
    • G01N21/8851Scan or image signal processing specially adapted therefor, e.g. for scan signal adjustment, for detecting different kinds of defects, for compensating for structures, markings, edges
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/88Investigating the presence of flaws or contamination
    • G01N21/89Investigating the presence of flaws or contamination in moving material, e.g. running paper or textiles
    • G01N21/892Investigating the presence of flaws or contamination in moving material, e.g. running paper or textiles characterised by the flaw, defect or object feature examined
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/88Investigating the presence of flaws or contamination
    • G01N21/8806Specially adapted optical and illumination features
    • G01N2021/8809Adjustment for highlighting flaws
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/88Investigating the presence of flaws or contamination
    • G01N21/8851Scan or image signal processing specially adapted therefor, e.g. for scan signal adjustment, for detecting different kinds of defects, for compensating for structures, markings, edges
    • G01N2021/8887Scan or image signal processing specially adapted therefor, e.g. for scan signal adjustment, for detecting different kinds of defects, for compensating for structures, markings, edges based on image processing techniques

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Biochemistry (AREA)
  • Pathology (AREA)
  • Immunology (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Aviation & Aerospace Engineering (AREA)
  • Electromagnetism (AREA)
  • Textile Engineering (AREA)
  • Computer Vision & Pattern Recognition (AREA)
  • Signal Processing (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Inorganic Chemistry (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Photometry And Measurement Of Optical Pulse Characteristics (AREA)
  • Investigating Or Analysing Materials By The Use Of Chemical Reactions (AREA)
  • Investigating, Analyzing Materials By Fluorescence Or Luminescence (AREA)

Abstract

一種檢測裝置,包括:一基板;多個光感測器設置於基板上;以及 應力發光層,設置在多個光感測器中的至少一個上。

Description

檢測裝置
本揭露係關於一種檢測裝置,更具體地,本揭露係關於一種包括應力發光層的檢測裝置、使用該檢測裝置的檢測方法、以及包括該檢測裝置的輸入設備。
建築物或橋樑、隧道等基礎設施逐年退化。為了確保建築物或基礎設施的安全,可以使用監控設備(例如,攝像機)來檢測建築物或基礎設施的劣化(例如裂縫)。 然而,通過使用目前開發的監控設備,很難知道建築物或基礎設施的劣化發生在何時何地。
因此,有必要提供一種新穎的檢測裝置。
本揭露提供一種檢測裝置,包括:一基板、設置在基板上的多個光感測器、以及設置在多個光感測器中的至少一個上的應力發光層。
本揭露還提供了一種輸入設備,包括上述的檢測裝置和一物件用以在檢測裝置的表面上書寫或繪畫。
本揭露還提供一種檢測系統,包括上述檢測裝置、一控制板、一電源供應器和一顯示裝置,其中,電源供應器為檢測系統的電源,由檢測裝置獲取的一檢測數據傳送至顯示裝置,且控制板電連接至顯示裝置。
本揭露還提供了一種檢測方法,包括以下步驟:提供上述檢測裝置或上述輸入設備;對檢測裝置或輸入設備的應力發光層的一位置施加應力,其中包含在應力發光層中的應力發光材料在應力發光層的位置發光,且以對應於應力發光層的位置的多個光感測器中的至少一個來檢測光。
從下列的詳細描述並結合附圖,本揭露的其他的新穎特徵將變得更為清楚。
以下描述中提供了本揭露的不同實施例, 這些實施例意在解釋本揭露的技術內容,而不意在限制本揭露的範圍。 一個實施例中描述的特徵可以通過適當的修改、替換、組合或分離以應用於其他實施例。
需要說明的是,在本說明書中,當組件被描述為“包括”、“具有”、“包含”一個元件時,是指該組件可以包括一個或多個元件,並且該組件可以同時包括其他元件,並不意味著該組件只有其中一個元件,除非另有說明。
而且,在本說明書中,“第一”或“第二”等序數僅用於區分具有相同名稱的多個元素,並不意味著元件之間本質上存在階級、等級、執行順序、或製造順序, 除非另有說明。 說明書中元件的序號可能與申請專利範圍中的不同。 例如,說明書中的“第二”元件可以是請求項中的“第一” 元件。
在本說明書中,除非另有說明,特徵A“或”或是“及/或”特徵B意味著僅特徵A的存在,僅特徵B的存在,或特徵A和 特徵B都存在。特徵A“及”特徵B 意味著特徵 A 和 B 都存在。
此外,在本說明書中,“頂”、“上”、“底”、“前”、“後”、或“中”等用語,以及“之上”、“上面”、“在上面” 、“ 之下”、“下面”或“之間” 等用語,是用於描述多個元件之間的相對位置,所描述的相對位置可以解釋為包括它們的平移、旋轉或反射 。
此外,說明書和申請專利範圍中所述的術語,例如“之上”、“上面”、“在上面” 、“ 之下” 或“下面”,意在使一個元件不僅可以直接接觸其他元件,還可以間接接觸另一個元件。
此外,說明書和申請專利範圍中記載的術語,例如“連接”,意指一個元件不僅可以直接連接到其他元件,還可以間接地連接到其他元件。 另一方面,說明書和申請專利範圍中所記載的“電連接”、“耦接”等用語,意指一個元件不僅可以直接電連接到其他元件,還可以間接電連接到其他元件。
在本說明書中,除非另有說明,本文中使用的術語(包括技術和科學術語)具有本領域技術人員通常已知的含義。 需要說明的是,除本揭露實施例中另有說明外,這些術語(例如通用詞典中定義的術語)應當具有與本領域技術人員、本揭露背景技術、或本說明書的上下文相同的含義,不應以理想或過分形式的方式閱讀。
圖1為本揭露一實施例的檢測系統的示意圖,在本實施例中,檢測系統包括:一檢測裝置10、一控制板20、一電源供應器30和一顯示裝置40,其中,電源供應器30電連接至控制板20,控制板20電連接至檢測裝置10和顯示裝置40電連接,電源供應器30可以是檢測系統的電源。檢測裝置10得到的檢測數據可以傳輸到顯示裝置40,用戶可以從顯示裝置40查看檢測結果。如圖1所示,控制板20可以通過有線方式與顯示裝置40電連接,但本揭露不限於此。在本揭露的另一實施例中,控制板20可通過無線方式與顯示裝置40連接。此外,在圖 1 中,檢測系統包括控制板20用於設置或控制檢測裝置10的檢測,但本揭露不限於此。在本揭露的另一實施例中,控制板20可以整合至檢測裝置10或顯示裝置40。
上述檢測裝置10包括:一基板11;一 第一電路板12與基板11連接;及一 第二電路板13與基板11連接。在此,可以在基板11上形成多個佈線和電晶體(圖中未示出),在第一電路板12上的電路及在第二電路板13上的電路是分別電連接至基板11上的佈線和電晶體,以向電晶體提供信號或接收來自電晶體的信號。 在本實施例中,第一電路板12與第二電路板13可連接於基板11的兩側,但本揭露不以此為限。 第一電路板12和第二電路板13的設置可以根據需要進行修改。 在下文中,基板11上的元件的結構如下所示。
請參考圖 2和圖3,圖2為本揭露一實施例的檢測裝置的俯視示意圖, 圖3為本揭露一實施例的檢測裝置的剖面示意圖。本實施例的檢測裝置包括:一基板11;多個光感測器111設置在基板11上;一應力發光層112設置在多個光感測器111中的至少一個上。在此,所有的光感測器111都被應力發光層112覆蓋,但本揭露不限於此。
需要說明的是,應力發光材料是一種在受到機械應力時能夠發光的發光材料。
基本上,應力發光材料的電子態可以被紫外輻射、電子束(EB)、X射線、電場等激發。當對應力發光材料施加機械應力時,應力發光材料可以以光的形式釋放應力。
在本實施例中,基板11可為非柔性基板或柔性基板。基板11的材料可包括玻璃、石英、矽晶圓、藍寶石、聚碳酸酯(PC)、聚酰亞胺(PI)、聚丙烯(PP)、聚對苯二甲酸乙二醇酯(PET)、聚萘二甲酸乙二醇酯(PEN)、其他合適的材料或其等 的組合。
應力發光層112包括可以通過機械應力發光的應力發光材料。 應力發光層112中的應力發光材料的範例可以包括SrAl 2O 4:Eu, ZnS:Mn, (Ba,Ca)TiO 3:Pr, CaYAl 3O 7:Ce或其組合,但本揭露不限於此。
光感測器111可以是光二極體或光電晶體,在本揭露的一實施例中,光感測器111為光二極體,但本揭露不以此為限。
在本揭露的一實施例中,應力發光層112所包含的應力發光材料為SrAl 2O 4:Eu,其可在機械應力作用下發出綠光。在這種情況下,光二極體可以是矽基光二極體(例如a-Si PIN二極體),因為矽基光二極體的光吸收波長可以匹配SrAl 2O 4:Eu發出的光的波長。 然而,本揭露不限於此。 換言之,光二極體的光吸收波長應與應力發光材料的發光波長相匹配。
此外,本實施例的檢測裝置還包括一主動區AA,主動區AA為其中設置有光感測器111和電晶體(圖中未示出)的區域。在俯視圖中,應力發光層112的面積可以大於主動區AA的面積。 更具體地,整個主動區AA可以被應力發光層112覆蓋,並且光感測器111和電晶體被應力發光層112覆蓋。
圖4是本揭露一實施例的檢測裝置中的光感測器的電路圖。 在此,圖3中的一個光感測器111的電路顯示於在圖4中,且其他光感測器111的電路圖與圖4類似,故不再贅述。 需要注意的是,圖 4 中的電路圖僅為示例,電路圖的設計不限於此。
在本實施例中,檢測裝置可以包括設置在基板11上的多個電晶體TFT(如圖2所示),其中多個電晶體TFT中的至少一個與光感測器111電連接。在此,一個電晶體TFT可以電連接到一個光感測器111。柵極線G電連接到電晶體TFT。 數據線D也與電晶體TFT電連接。
本實施例的檢測裝置還可包括至少一電容C電連接至光感測器111,在此,一電容C電連接至一光感測器111,此外,電容C還電連接至電晶體TFT。 在本揭露的另一個實施例中,如果光感測器111的接面電容足夠大,則檢測裝置可以不包括電容器C。 例如,當光感測器111的接面電容是光感測器通常使用的電容C的100倍時,可以不包括電容C。
另外,本實施方式的檢測裝置也可以包括多個像素P,圖4所示的區塊表示檢測裝置的一個像素P。 像素P可以排列成陣列並且是大面積二維檢測裝置的至少一部分。如圖4所示,本實施例的檢測裝置的一個像素P可以位於相鄰的兩條柵極線G和兩條相鄰的數據線D所限定的空間中,且一個像素P中包含一個光感測器111、一個電晶體T和一個電容器C 。
在此,圖4所示的電路圖是基於被動像素感測器(PPS)架構,其是一種用於應力發射光檢測的架構,並提供高解析度的緊湊像素設計,但本揭露不限於此。 在本揭露的一些實施例中,可以使用主動像素感測器(APS)架構。
圖5為本揭露一實施例的檢測裝置中光感測器通過數據線與電荷放大器連接的電路圖。 圖5的左側方框表示像素P的等效電路,其與圖4類似,除了光感測器111的接面電容C PD被進一步包括在圖5中之外,圖5的中間方框為如圖4所示的數據線D的具有等效電阻r和等效電容C L的等效電路圖,中間方框的數量與像素的數量相近或相等。在圖5的右側方框為與光感測器111電連接的電荷放大器A的等效電路圖,右側方框用於捕捉來自像素P的信號。 如圖5所示,光感測器111通過數據線D與電荷放大器A電連接。
使用圖4和圖5所示的PPS架構的檢測包括兩個步驟。 第一步驟是集成  ,第二步驟是讀出和重置。 於第一步驟中,電晶體TFT關閉(OFF),光感測器111中產生電荷,電荷從應力發光材料發出的光中轉換,然後存儲在像素電容(包括電容C和接面電容C)中。於第二步驟中,電晶體TFT導通(ON),存儲在像素電容(包括電容C和接面電容C PD)中的電荷通過數據線D傳輸到電荷放大器A並轉換為一等效電壓Vout,在讀出電荷後,像素電容(包括電容C和接面電容C PD)中的電荷被重置至實質為零,像素P為下一次集成(integration)做好準備。
圖6是根據本揭露另一實施例的檢測裝置中的光感測器連接電荷放大器的電路圖。 在此,圖3中的一個光感測器111的電路圖顯示於圖6中,且其他光感測器111的電路與圖6所示類似,故不再贅述。
在本實施例中,檢測裝置還可以包括多個電晶體(包括第一電晶體T1、第二電晶體T2和第三電晶體T3) 設置在基板11上 (如圖2所示),其中多個電晶體(包括第一電晶體T1、第二電晶體T2和第三電晶體T3)可以電連接到光感測器111。在此,第一電晶體T1電連接到光感測器111、第二電晶體T2和第三電晶體T3。第二電晶體T2電連接至第一柵極線G1、光感測器111和第一電晶體T1。第三電晶體T3電連接至第二柵極線G2、第一電晶體T1和一數據線D。
本實施例的檢測裝置還可以包括至少一電容C電連接至光感測器111。在此,一電容C電連接至一光感測器111。此外,電容C還電連接至第一電晶體T1和第二電晶體T2。在本揭露的另一個實施例中,如果光感測器111的接面電容足夠大,則檢測裝置可以不包括電容器C。
此外,本實施例的檢測裝置可以包括多個像素,圖6的左側方框表示檢測裝置的一個像素P的電路。像素P可以排列成陣列,以達到大面積二維檢測的目的。如圖6所示,本實施例的檢測裝置的一個像素P可以由第一柵極線G1、第二柵極線G2和數據線D所定義。一個光感測器111、三個電晶體(包括第一電晶體T1、第二電晶體 T2和第三電晶體T3)和一個電容器C包含在一個像素P中。
在此,圖6所示的電路圖為基於主動像素感測器 (APS)架構。由於APS架構中的光感測器111的檢測結果被轉換為等效電壓或電流,因此圖6所示的 APS 架構可以降低噪聲或提高讀出速度。
在圖6中,中間的方框表示高電阻列(column)負載R的電路,右邊的方框表示連接光感測器111的電荷放大器A的電路。
使用圖6所示的APS架構的檢測包括三個步驟。 第一步驟是重置,第二步驟是集成  ,第三步是讀出。在第一步驟中,第二電晶體T2用作一開關,以將光感測器111重置為集成  之前的預設電壓。 於第二步驟中,由應力發光材料的發光轉換而來的光感測器111產生的電荷儲存到像素電容(包括電容C和光感測器111的接面電容)中,調變其預設電壓。於第三步驟中,第三電晶體T3切換為導通(ON),光感測器111的電壓被第一電晶體T1緩衝出來,並傳送到電荷放大器A。
在此,即使未在圖6中示出,圖5所示的數據線D的等效電路可以電連接在像素P和電荷放大器A之間。此外,圖6所示的電路圖還包括一高電阻列負載R,但是在本揭露的另一實施例中,檢測裝置可以不包括高電阻列負載R。進一步,圖6中所示的高電阻列負載R也可以應用於圖5所示的PPS架構,且在本揭露的又一實施例中,位於數據線D與電荷放大器A之間。
上述檢測裝置可應用於一檢測方法。首先,提供如圖1至圖3所示的檢測裝置10。當對檢測裝置10的應力發光層112的一位置施加一應力時,應力發光層112所包含的應力發光材料在該位置發光,且該光被對應於該位置的多個光感測器111中的至少一個檢測到。
更具體地,如圖1至圖3所示,當對檢測裝置10的應力發光層112的一位置施加一應力時,應力發光層112所包含的與該位置對應的應力發光材料可以發光。然後,對應於該位置的一個或多個光感測器111可以接收應力發光材料發出的光並將光轉換為電荷。如圖4到圖6所示,在PPS架構或APS架構中,轉換後的電荷可儲存於像素電容(包括電容C及光感測器111的接面電容)。通過對基板11上的像素P進行掃描,可以通過電晶體(例如PPS架構中的電晶體TFT,或者APS架構中的第一電晶體TFT1、第二電晶體TFT2和第三電晶體TFT3)而讀出存儲的電荷),然後可以識別施加應力的位置。此外,根據所存儲的電荷量,還可以識別所施加的應力的強度。
圖7為本揭露另一實施例的檢測裝置的剖面示意圖,本實施例的檢測裝置與圖3所示的類似,除了以下的差異。
如圖7所示,本實施例的檢測裝置還可以包括設置在基板11上的分隔層113,其中分隔層113的一部分設置在多個光感測器111中相鄰的兩個之間。當分隔層113為 設置在兩個相鄰的光感測器111之間,因為可以減少兩個相鄰的光感測器111之間發生的串擾,而可以進一步提高檢測裝置的檢測精度。
在此,分隔層113的材質並無特別限制,只要是能夠降低光感測器111之間產生串擾的材料即可。例如,分隔層113可以是黑矩陣層,但本揭露不限於此。
在本實施例中,分隔層113的高度H1實質上等於光感測器111的高度H2。在本揭露的一些實施例中,分隔層113的高度H1可以大於光感測器111的高度H2。 需要說明的是,分隔層113的高度H1可以是分隔層113的底面到分隔層113的頂面的最大距離,其可以在基板11的法線方向測量,且光感測器111的高度H2可以是從光感測器111的底面到光感測器111的上表面的最大距離,其亦可以是在基板11的法線方向測量。
圖8為本揭露再一實施例的檢測裝置的剖面示意圖。 本實施例的檢測裝置與圖3所示的類似,除了以下的差異。
如圖8所示,本實施例的檢測裝置還可包括一透光層114設置於至少一個光感測器111上。在本實施例中,透光層114設置於所有光感測器111的表面111a之間。 在本揭露的另一實施例中,透光層114可以形成在部分的光感測器111上。在此,透光層114包括一透光材料,其具有一定透光率於發光層112的應力發光材料所發出的光所對應的波長。透光層114可用作保護層以保護光感測器11免受損壞,或用作緩衝層以改善光感測器11和應力發光層112之間的粘合。
此外,本實施例的檢測裝置還可以包括設置在應力發光層112上的保護層115。保護層115的材料可以包括絕緣材料。 保護層115可用作保護應力發光層112免受濕氣侵入的一保護層,或用作將檢測裝置附著到例如建築物或基礎設施的其他目標物上的一粘附層。
在本揭露的另一實施例中,應力發光層112可以被圖案化,只要應力發光層112與光感測器11的感測區域重疊即可。例如,應力發光層112僅形成在光感測器11的表面111a上,但光感測器11的外部區域沒有被應力發光層112覆蓋。
圖9為本揭露一實施例的檢測裝置應用於建築物或基礎設施的示意圖。
如圖9所示,檢測裝置10可以組裝在一建築物或基礎設施50上,尤其是在建築物或基礎設施50的牆壁上。當檢測裝置10附接在建築物或基礎設施50上時,建築物或基礎設施50的劣化可以被檢測到。 例如,當裂縫形成時,裂縫釋放的應力可以施加到應力發光層112上,根據上述的檢測方法,應力發光層112中的應力發光材料發出的光可被光感測器111所檢測到。因此,可以識別裂縫的位置或裂縫發生的時間。
在本揭露的另一實施例中,可以在檢測裝置10與建築物或基礎設施50的牆壁之間形成一保護層或粘附層,以提高檢測裝置10在建築物或基礎設施50上的附著力或可靠性。
在此,圖3所示的檢測裝置10可以用作本揭露的一範例,但本揭露不限於此。 本揭露的任何上述檢測裝置都可以附接到建築物或基礎設施50上。
圖10為本揭露一實施例的輸入設備的示意圖。
如圖10所示,輸入設備可以包括圖3所示的檢測裝置10。類似地,本揭露不限於此,本揭露的上述任何檢測裝置都可以作為輸入設備。 此外,輸入設備還可以包括用於在檢測裝置10的表面上書寫或繪圖的一物件60(例如筆或手指)。當使用者在檢測裝置10的表面上寫字或繪畫時 ,位於對應軌蹟的應力發光材料可以發光,該光可以被對應的光二極體111檢測到,然後被記憶或處理。
本揭露各實施例間的特徵只要不違背發明精神或相衝突,均可任意混合搭配使用。
上述實施例僅係為了方便說明而舉例而已,本揭露所主張之權利範圍自應以申請專利範圍所述為準,而非僅限於上述實施例。
10:檢測裝置 20:控制板 30:電源供應器 40:顯示裝置 11:基板 12:第一電路板 13:第二電路板 111:光感測器 112:應力發光層 111a:表面 113:分隔層 114:透光層 115:保護層 50:建築物或基礎設施 60:物件
圖1是本揭露一實施例的檢測系統的示意圖。 圖2是本揭露一實施例的檢測裝置的俯視示意圖。 圖3是本揭露一實施例的檢測裝置的剖面示意圖。 圖4是本揭露一實施例的檢測裝置中的光感測器的電路圖。 圖5是本揭露一實施例的檢測裝置中光感測器通過數據線與電荷放大器連接的電路圖。 圖6是根據本揭露另一實施例的檢測裝置中的光感測器連接電荷放大器的電路圖。 圖7是本揭露另一實施例的檢測裝置的剖面示意圖。 圖8是本揭露再一實施例的檢測裝置的剖面示意圖。 圖9是本揭露一實施例的檢測裝置應用於建築物或基礎設施的示意圖。 圖10是本揭露一實施例的輸入設備的示意圖。
10:檢測裝置
20:控制板
30:電源供應器
40:顯示裝置
11:基板
12:第一電路板
13:第二電路板

Claims (20)

  1. 一種檢測裝置,包括: 一基板; 多個光感測器,設置於該基板上; 以及 一應力發光層,設置在該多個光感測器中的至少一個上。
  2. 如請求項1所述的檢測裝置,還包括一分隔層,設置於該基板上,其中該分隔層的一部分設置於該多個光感測器中的兩個相鄰的光感測器之間。
  3. 如請求項2所述的檢測裝置,其中,該分隔層為黑矩陣層。
  4. 如請求項2所述的檢測裝置,其中,該分隔層的高度等於該多個光感測器的高度。
  5. 如請求項2所述的檢測裝置,其中,該分隔層的高度大於該多個光感測器的高度。
  6. 如請求項1所述的檢測裝置,其中,該多個光感測器為光二極體或光電晶體。
  7. 如請求項1所述的檢測裝置,還包括至少一個電容器,其電連接到該多個光感測器中的至少一個。
  8. 如請求項1所述的檢測裝置,其中,該基板包含一主動區,且該應力發光層的面積在俯視圖中大於該主動區的面積。
  9. 如請求項1所述的檢測裝置,還包括設置在該基板上的多個電晶體,其中該多個電晶體中的至少一個與該多個光感測器中的至少一個電連接。
  10. 如請求項9所述的檢測裝置,其中,該多個光感測器中的至少一個設置在一像素中。
  11. 如請求項1所述的檢測裝置,還包括至少一電荷放大器,其中該多個光感測器中的至少一者通過數據線電連接至該至少一電荷放大器。
  12. 如請求項1所述的檢測裝置,其中,該應力發光層包括SrAl 2O 4:Eu, ZnS:Mn, (Ba,Ca)TiO 3:Pr, CaYAl 3O 7:Ce或其組合。
  13. 如請求項1所述的檢測裝置,還包括一保護層,設置在該應力發光層上。
  14. 如請求項13所述的檢測裝置,其中,該保護層為一粘附層。
  15. 如請求項1所述的檢測裝置,其中,該應力發光層被圖案化。
  16. 如請求項15所述的檢測裝置,其中,該多個光感測器之外的一區域未被該應力發光層覆蓋。
  17. 如請求項1所述的檢測裝置,還包括一透光層,設置在該多個光感測器和該應力發光層之間。
  18. 如請求項1所述的檢測裝置,其中,該檢測裝置附接到一建築物或一基礎設施上。
  19. 一種輸入設備,包括: 一檢測裝置,包括: 一基板; 多個光感測器設置於該基板上;及 一應力發光層,設置在多個光感測器中的至少一個上; 以及 一物件,配置為在檢測裝置的表面上書寫或繪圖。
  20. 一種檢測系統,包括: 一檢測裝置,包括: 一基板; 多個光感測器,設置於該基板上;及 一應力發光層,設置在該多個光感測器中的至少一個上; 一控制板; 一電源供應器;以及 一顯示裝置, 其中,該電源供應器為該檢測系統的一電源,該檢測裝置獲得的一檢測數據傳送至該顯示裝置,且該控制板與該顯示裝置電連接。
TW111110248A 2021-04-02 2022-03-21 檢測裝置 TW202240923A (zh)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US17/221,486 US20220317052A1 (en) 2021-04-02 2021-04-02 Detecting device
US17/221,486 2021-04-02

Publications (1)

Publication Number Publication Date
TW202240923A true TW202240923A (zh) 2022-10-16

Family

ID=83449619

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
TW111110248A TW202240923A (zh) 2021-04-02 2022-03-21 檢測裝置

Country Status (2)

Country Link
US (1) US20220317052A1 (zh)
TW (1) TW202240923A (zh)

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20090022512A (ko) * 2007-08-30 2009-03-04 삼성전자주식회사 이미지 센서 및 그 제조 방법
JP4723667B2 (ja) * 2009-12-22 2011-07-13 エンパイア テクノロジー ディベロップメント エルエルシー 蓄電池、蓄電池システム、および蓄電池の異常検知方法
US8053856B1 (en) * 2010-06-11 2011-11-08 Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. Backside illuminated sensor processing
KR20160038150A (ko) * 2014-09-29 2016-04-07 삼성디스플레이 주식회사 표시장치

Also Published As

Publication number Publication date
US20220317052A1 (en) 2022-10-06

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR102417266B1 (ko) 표시 장치 및 그 접촉 감지 방법
KR101002659B1 (ko) 유기 발광 표시 장치
CN110992889B (zh) 包括光接收像素区域的显示设备
JP5448877B2 (ja) 放射線検出器
CN109933237B (zh) 一种显示面板、显示装置及压力检测方法
US8803210B2 (en) X-ray detector
KR101476434B1 (ko) 유기전계발광패널 및 이를 포함하는 터치 스크린 시스템
JP2007536742A (ja) 複合光センサーを備えるoledディスプレイ
KR20120048474A (ko) 촬상 기능을 구비한 표시 장치 및 그 구동 방법
US20050258425A1 (en) Photoelectric conversion device, image scanning apparatus, and manufacturing method of the photoelectric conversion device
KR102636405B1 (ko) 수광화소영역을 포함하는 표시장치
JP5710904B2 (ja) X線検出器
JP2009025149A (ja) 放射線検出器
TW202240923A (zh) 檢測裝置
TW202308135A (zh) 感測裝置與電子裝置
KR20230048177A (ko) 표시 장치
KR20170074101A (ko) 벤딩센서를 구비한 표시장치
KR102587657B1 (ko) 수광화소영역을 포함하는 표시장치
KR20230143638A (ko) 표시 장치
US11726622B2 (en) Display device for detecting incident light
KR102664064B1 (ko) 수광화소영역을 포함하는 표시장치
KR20230142061A (ko) 표시 장치
CN211956510U (zh) 光侦测数组装置和显示设备
KR20240055916A (ko) 표시 장치
KR20230143228A (ko) 표시 장치