TW202235540A - 具有碳奈米結構添加劑之聚合物及彈性體組成物以及由其形成之用於emi和rfi屏蔽及具有量子隧道複合效應之壓力感測密封件之製品 - Google Patents

具有碳奈米結構添加劑之聚合物及彈性體組成物以及由其形成之用於emi和rfi屏蔽及具有量子隧道複合效應之壓力感測密封件之製品 Download PDF

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Abstract

本發明揭示至少一種基質聚合物之用於形成製品之組成物以及用於製造此類製品之方法，該基質聚合物可為熱塑性聚合物及/或具有至少一個用於交聯之官能基的可固化聚合物，其中該等組成物及方法包括三維、分支鏈及交聯之碳奈米結構添加劑。所得製品可在一個具體實例中提供約0.5 ohm-cm或更小之體積電阻率水準，該等製品適用於需要足夠導電性以提供電磁干擾屏蔽及/或射頻干擾屏蔽之應用。在其他具體實例中使用本文揭示之組成物形成之其他製品可能展現耗散及/或量子隧道效應且因此適用作自感測壓敏製品，諸如自感測密封件。

Description

具有碳奈米結構添加劑之聚合物及彈性體組成物以及由其形成之用於EMI和RFI屏蔽及具有量子隧道複合效應之壓力感測密封件之製品
相關申請案之交叉參考
此美國非臨時專利申請案主張2020年12月8日申請之標題為「具有碳奈米結構添加劑之聚合物及彈性體組成物以及由其形成之用於EMI和RFI屏蔽及具有量子隧道效應之壓力感測密封件之製品」的美國臨時專利申請案第63/122,911號在35 U.S.C. §119(e)下的益處，該申請案之全部揭示內容以引用之方式併入本文中。
本發明係關於有益聚合物及彈性體組成物之領域，包括由可固化氟化及全氟化組成物形成之彼等，及得自其之成品，該等成品併入不同水準之碳奈米結構使得能夠實現所得製品，諸如密封件及密封墊，以提供尤其在高負載下之獨特電磁屏蔽特性而無顯著微粒化，且進一步允許形成使用此等材料形成之「智慧型」製品以藉由監測材料根據其體電阻率隨時間推移而變之導電性來即時評估當在各種最終應用、尤其半導體應用中使用時製品之效能。
已知導電聚合物及彈性體，無論包括本徵導電聚合物諸如聚苯胺，或使用導電金屬或碳粉及/或微粒填料及/或纖維填料製備，其可包括金屬、聚合物、碳、石墨及類似材料。已知此類聚合物及彈性體用於在高填料負載下之用於密封件、密封墊及其他組件屏蔽部件之射頻干擾（radio frequency interference；RFI）及/或電磁干擾（electromagnetic interference；EMI）屏蔽，以防止歸因於干擾信號引起之損害。其亦以不同量已知用於耗散用途，諸如在車輛外部部件中，在其中，重要的是藉由使電子靜電荷自某些聚合物流動至地面而避免點火及火災風險。具有導電或耗散特性之聚合物及彈性體組成物用於各種應用中，然而，在此項技術中仍需要在各種最終應用中改良此類材料且用於諸如採用此類材料以用於潔淨室環境中而產生新型且重要的最終應用。此外，此類組成物之新領域及用途尚待研發。
用於製造之各種部件及組件，尤其用於半導體製造之彼等部件及組件，包括狹縫閥及閘閥門，及其他密封件及密封墊係熟知的。關於狹縫閥及閘閥門，此類門藉由密封件或密封墊抵靠半導體製造設備內之表面閉合，以確保污染物保留在反應腔室外部且來自腔室內之反應物不會逸出腔室。然而，此類反應腔室需要在製造期間打開及關閉，以允許用於製造晶片之晶圓及類似目標基板移動至反應腔室中及移出反應腔室。在一個較佳設計中，用於此類狹縫及閘閥之密封件併入於稱為接合閘閥或接合狹縫閥（bonded slit valve；「BSV」）之接合總成中。在此等情況下之目標為使微粒化水準降至最低，因為微粒化可能在該過程中產生污染。在一些情況下，隨著密封件劣化，粒子可釋放且最終密封特性通常往往會隨時間推移而腐蝕。因此，量測密封件之可靠性及使微粒化降至最低為大部分半導體製造應用中之高度所需特性。
量測密封件及密封墊之可靠性及劣化速率亦為廣泛多種最終應用中之合乎需要的最終目標，以使密封件或密封墊之有效生產壽命增到最大，同時使歸因於劣化引起之洩漏或密封特性受損的最終效應減至最少。
BSV及其他密封件可能受到不同反應物及不同反應物條件的不同影響。合併有門及密封件之此類狹縫閥於經致動以便打開及關閉「狹縫」上方通往腔室中的門之閥上操作。密封件經設置以便圍繞腔室中的開口或狹縫密封，且在閥處於關閉位置時密封腔室開口。當閥打開時，用於半導體製造之基板經由狹縫移入及移出處理腔室。
苛性前驅物、電漿、高溫及其他條件可以使不同類型之密封件以可變速率磨損。大多數此類反應腔室在真空條件下操作且在整個系統中使用密封件來維持真空環境。
此類密封件通常由購買成本高之高度耐化學性的彈性體材料形成，因此可理解，在指示更換之前，吾人可能不想要更換密封件。然而，歸因於反應物及條件對用於製造密封件之各種彈性體材料的影響之變化性，並不始終易於預測密封件何時受損及/或其何時將經受即將發生的故障。可測試材料之彈性密封特性以及其他物理特性來估計不同環境中之失效及用於提供預期密封件壽命資訊之資訊。然而，在不同環境、條件及使用期望的情況下，為了安全，將預期在出現損害、產品結果不一致或特定產品出現故障之前換掉密封件。
由於在該等環境中所製造之產品本身製造成本非常高，因此相較於更換密封件，對於製造商，不必要的維護停工時間及/或故障成本甚至更高。因此，有效密封件壽命為影響腔室正常操作時間、腔室的使用、維持排程以及歸因於密封件材料劣化的產品不合格的關鍵因素。化學、溫度及其他製程條件影響密封件及門之材料及歸因於閥致動而出現之機械應力，其全部可引起密封件劣化及故障。
此類問題亦出現在維護成本、密封成本或停工時間代價高及/或密封功能對於操作安全係關鍵的其他行業中，使得密封件壽命監測及低成本之及時更換係重要的。在微粒化成問題之區域中，諸如在半導體或製藥行業及其他製造潔淨室環境中，使此類污染減至最少亦為重要的。
處理先前技術中預期密封件壽命之一種方式為測試，其可產生額外成本及/或勞動。監測器有時亦定位於反應腔室內，該等反應腔室經監測以用於改變腔室內之可影響製造之條件。亦監測反應物。劣化通常藉由偵測真空漏泄或來自劣化密封件材料的粒子產生之存在來實現。
然而，若存在知曉密封件何時受損及/或影響製程且需要維護的成功方式，則可改善此類問題，達成節省成本及使故障減至最少。另外，若存在使密封件壽命增至最大同時避免如上文所提到的密封件劣化的缺點的方式，則可改良操作。
在油田區域中之井下應用中，提供反饋之密封件描述於先前技術中，例如美國專利公開案第2017/0130562 A1號中，該公開案教示井及使用井口總成之其他組件中之密封件，該等井口總成將感測器嵌入密封件中以獲取可用以藉由監測物理操作條件及密封件上之應力或應變來判定及監測密封件之情況的資料。此資料用於判定以排程基礎，何時將需要更換密封件，而不管其狀況。使用資料分析器及預測性演算法比較收集之資料與基線資料以評估密封件之預期效能特徵。亦可併有天線及RFID標籤或磨損感測器。感測器亦可嵌入於封裝中。
其他先前技術試圖監測密封件壽命之態樣，或在半導體處理步驟中採用感測器及其他偵測器，包括例如將感測器置放在狹縫閥及密封板上以監測製程之態樣，但此類嘗試更通常集中於監測門功能、門壓力或避免對移入及移出門的製程基板之損壞，以便確保其適當輸送及定位在腔室內。此類專利在密封件中或上嵌入或併入感測器，或在腔室之間及/或腔室或門內部及外部之間分隔，以監測壓差。
美國專利第7,841,582 B2號描述方法及設備，其用於使用致動器來控制狹縫閥門上之壓力，以在清潔期間將與反應期間相比不同的壓力施加至致動器及門，其中在反應期間內部壓力將高於清潔期間，以使得密封件在清潔期間不會不必要地處於高真空條件下。
美國專利第8,815,616號描述一種狹縫閥單元，其具有圍繞狹縫閥之外殼及一系列填充單元（O形環密封件）以使得區域為氣密的。小管道與密封件之間的氣密區域連通，且與可監測壓力變化以避免處理氣體之爆炸或洩漏的感測器單元，及可關閉單元以防止事件的控制單元連通。
美國專利第9,347,495號包括使用RFID形成之軸承總成，該RFID具有入口IC晶片、連接至該晶片之天線及嵌入於軸承密封件或滾道環（raceway ring）中之磁性薄片功能件（magnetic sheet function）。
美國專利第8,282,013號描述居中於密封件內且隨後硫化之嵌入型RFID應答器。密封件因此經描述為能夠經由RFID轉換器通信，RFID轉換器可經程式化以包括關於密封件之資訊（部件號、序列、批及/或批次號、編碼、尺寸、製造或出售日期、安裝及/或過期日期）。
美國專利第7,398,692號係關於以結合方式附接至具有用以將資訊傳輸至密封環外部之資訊傳輸構件之O形環密封件的電路晶片。將晶片包夾在密封體中之切口中，且接著固定切口。附接至感測器之佈線自主體部分拉出，且連接至壓力量測裝置。評估壓力監測以量測內部密封件應力，且在將內部應力減小至80%時自運作拉離密封件。
美國專利公開案第2018/0052104 A1號描述可置放於腔室之各種位置中的部件磨損指示材料之用途。磨損指示物具有不同層及指示磨損之磷光材料。
美國專利第9,975,758號包括微型感測器，該等微型感測器可安裝於晶圓處理設備上以即時監測各種條件。亦可在整個處理腔室中以及在工具上置放微型感測器。
美國專利第7,658,200 B2號揭示由狹縫閥分隔之兩個腔室的壓力調節系統之用途。目的為監測腔室中之壓差以避免無意中打開腔室。該專利教示在與控制器連通之各腔室中使用壓力感測器以防止無意打開。該等感測器並不用以監測影響密封件有效性之條件。
美國專利第6,575,186號在接合狹縫閥門上使用一系列感測器來控制門上氣壓之速度，以便使門在關閉過程期間得到更軟之著陸且避免密封件損壞。所使用之三個感測器用於定位及與氣動關閉系統互動。
美國專利第6,291,814號將感測器置放於狹縫閥之任一末端處，其中具有監測門附近之移動以避免門損壞密封板上之移動晶圓的信號之發射器及接收器。
美國專利5,363,872描述基於進入腔室與反應腔室之間的障壁(描述為壁)上之壓差控制狹縫閥門。各腔室具有感測器，且對壓差進行分析以控制門之操作及由狹縫閥門施加之壓力。
本文中之申請人已對用於監測反應腔室中之特性的產品之開發作出貢獻，此前已開發出允許對處理腔室之內部進行攝影機感測之被稱為「晶圓攝影機」的攝影機，然而，此攝影機並非針對監測BSV或其他半導體閥總成中之密封件的效能之操作開發。
嘗試形成出於量子隧道目的使用量子隧道自針狀粒子及/或壓敏顆粒導電的物件，諸如在薄片中之塗有矽酮之鎳石墨，可用作轉換器之在硬化成固體之液態矽聚合物基質中具有針狀粒子及介電粒子的複合結構，及壓敏導電織物，描述於美國專利第6,646,540號、第6,495,069號、第7,301,435號、第8,449,974號、第8,765,027號及第9,546,859號中。同一發明人亦在美國專利公開案第2018/0186965號中描述聚合物或彈性體黏合劑，諸如聚胺酯、天然橡膠、聚乙酸乙烯酯、聚氯乙烯、丙烯酸聚合物及矽酮，包括具有空隙之結構，如剛剛提到的專利中所用之尖刺鎳與球狀磁鐵導電材料之組合。最終材料描述為包括作為力感測器能夠提供切換（場輔助隧道）及感測（傳導性隧道），在一個裝置中形成於薄膜、薄片、長絲、長絲塗層、3D打印原料及紡織物中。
申請人先前已共同開發美國專利公開案2020-0378867-A1中所描述之智慧型密封件，其係基於使用定位於BSV之各個位置上的感測器，該等感測器讀取與微應力/微應變、應力鬆弛、針對作用於門上之真空壓力量測之微應變、如針對密封件橫截面幾何形狀所評估的溫度及溫度對微應變之影響有關的資料，該等資料與調整後的基線資料進行比較，以即時確定密封件壽命。
此類量測特性之嘗試係高度適用的，然而，不需要大量使用感測器以提供所需資料的提供更簡單或不同效應作為密封件壽命指示的替代方案在此項技術中將為有利的，尤其在此類感測器對密封件在不使用嵌入式微感測器或附接至密封件之其他感測器裝置的情況下在密封件上方起作用且維持一致特性之能力方面沒有顯著影響。
此項技術中仍需要確保最大適用密封件壽命及重要性分析之改良方式，其將有助於選擇用於半導體處理之最佳密封件及相關最大密封件壽命，以便使停工時間及開機時間縮至最短，改善維護週期且避免密封件劣化故障，此容易監測且較佳地不影響密封件之操作或其特性之一致性，包括維持良好密封件彈性、機械及耐化學性特性。
此項技術中亦進一步需要適用於半導體製造製程及/或適用於潔淨室環境之密封件，其提供不同及/或反應電特性，同時保持潔淨室友好，使得在存在密封件隨時間推移而劣化的情況下，不存在粗糙金屬填料。此外，若能夠在特定最終應用（諸如電子屏蔽或耗散最終應用）需要時提供受控但不同水準的電特性，進一步需要此等清潔密封件，其導電性水準在整個密封件中係一致的且可以在低到高水準之導電性範圍內。此類材料將尤其適用於需要低水準之微粒化及污染的半導體最終應用中。
密封墊及密封件在此項技術中可供用於各種最終應用之EMI屏蔽及/或RFI屏蔽。舉例而言，吾人可在電磁輻射源與所要保護區域之間插入屏蔽件。屏蔽裝置可包括屏蔽密封墊或密封件，且可以各種組態出現以封閉EMI屏蔽裝置與待保護區域之間的間隙。EMI屏蔽裝置可包括多個層及/或塗層可藉由使用諸如鎳或錫之金屬在彼等材料之表面上濺鍍導電材料而塗覆至各種材料上。已使用包括用於此類部件及組件之不同基質材料，包括金屬及聚合物或彈性體材料，諸如矽酮、氟矽酮、乙烯-丙烯共聚物、環氧聚合物及聚胺酯。典型地，用於此類材料中之填料在本質上為導電的，一般包括金屬或碳且呈粒子或纖維填料形式。舉例而言，俄羅斯公開案第RU2724650 C1號揭示在矽酮、氟矽酮或乙烯-丙烯共聚物中鋁、石墨或銅之球狀粒子之用途。
美國專利申請公開案第2012/0177906 A1號教示具有不大於0.5 ohm-cm之體積電阻率的EMI屏蔽複合材料，該材料併有分散於熱塑性基質中之金屬填料。所用熱塑性塑膠包括聚乙烯、聚酮及熱塑性氟聚合物（諸如鐵氟龍（Teflon）FEP或聚四氟乙烯）。金屬填料可為鎳粒子或粉末、塗有銀之錫或纖維填料，諸如不鏽鋼、青銅纖維、鋁纖維或鎳纖維。該專利描述高達70重量%之填料負載。
導電彈性體亦可用於EMI屏蔽。舉例而言，美國專利第9,814,164號揭示具有諸如導電矽酮橡膠之導電彈性體的密封系統中之EMI屏蔽。其進一步描述使用併有嵌入式鍍銀鋁粒子、鍍銀玻璃珠、鍍銀銅粒子、鎳-石墨粒子或導電碳之矽酮橡膠或氟矽酮橡膠。
美國專利第8,633,402號描述可由彈性體聚合物形成之EMI密封墊，該彈性體聚合物諸如彈性聚乙烯、聚丙烯、聚丙烯-EPDM摻合物、丁二烯、苯乙烯-丁二烯、腈橡膠、氯磺酸酯、氯丁橡膠、矽酮、胺基甲酸乙酯及氟矽酮。聚合物可填充有導電微粒填料，諸如碳、石墨、銅、鎳、銀及鋁。
美國專利第7,589,284號描述一種EMI屏蔽材料，其可包括彈性體基質，諸如矽酮、胺基甲酸乙酯或可撓性環氧樹脂；非導電性熱塑性材料，諸如聚苯乙烯、聚碳酸酯/丙烯腈-丁二烯-苯乙烯摻混物、聚對苯二甲酸伸丁酯、耐綸（nylon）、聚碳酸酯、聚丙烯腈-丁二烯-苯乙烯；或導電聚合物，諸如聚苯胺。基質材料包括導電填料，諸如鍍鎳碳粉、碳粉、銀粉、銅粉、銀/銅粉、銀/鋁粉、鍍銀玻璃球或鎳粉。
美國專利第9,635,790號描述網狀密封元件，其為嵌入於可包括膨脹的金屬之基質聚合物凝膠中的導電性薄片。
美國專利申請公開案第2003/0213939號描述熱塑性塑膠或熱固性彈性體，諸如聚胺酯、苯乙烯-丁二烯橡膠、EPDM及乙烯-丙烯橡膠及填充有碳奈米管且具有0.01 ohm-cm至10 8ohm-cm之體積電阻率的其他熱塑性塑膠或熱固性彈性體。碳奈米管包括可為多壁或單壁奈米管之氣相生長奈米管。亦可使用碳奈米纖維。亦可使用金屬填料，諸如碳黑及塗有金屬之纖維。
通常用於半導體或潔淨室用途之可獲得的屏蔽材料採用矽酮聚合物中之塗有鎳之石墨粒子。儘管多種EMI及RFI複合物可用，但當用於潔淨密封件或潔淨室環境（諸如半導體製造製程）中時，其並非全部為令人滿意的。此類環境可能需要較高純度密封材料（例如，可熔融處理氟聚合物或全氟聚合物、氟彈性體或全氟彈性體）或不將污染物引入至製造製程中之其他聚合物。為了獲得所要電特性，在多數情況下，導電填料負載必須相當高以甚至達成標稱EMI及/或RFI屏蔽效應，且為了達成高效率水準，填料負載必須極高。對於某些「潔淨」或高度耐化學性基質，當亦嘗試維持充分密封及物理特性時，此類高填料負載為不可能的。此外，在潔淨室環境中，許多當前最新技術EMI及/或RFI填料材料（諸如，塗有鎳之石墨或金屬填料）可在該環境中在密封件隨時間推移而劣化時成為成問題的微粒。對於此項技術中已知之一些已知EMI及/或RFI屏蔽材料，亦可能難以在組成物之整個基質材料中保持一致特性。因此，導電特性在基質內亦可能不一致，導致在效能及特性方面留下過多差異。
研發EMI及/或RFI屏蔽組成物用於製造密封件將為有益的，該等密封件提供良好密封及物理特性、有效EMI及/或RFI屏蔽，且較佳地亦使導電材料在潔淨環境中在底層基質劣化時之任何影響降至最低。
因此，此項技術中進一步需要研發組成物，該等組成物在特定最終應用需要時可提供受控水準之電特性，無論用於形成如上文所指出之具有導電及耗散特性的自感測材料，或用於提供EMI及/或RFI屏蔽材料，或其他導電性最終用途。在此項技術中進一步需要具有在整個密封件、密封墊或其他屏蔽組件中大體上一致且可在低至高水準之導電性範圍內的導電性水準的此類材料。此類材料可尤其適用於需要低水準之微粒化及污染的半導體最終應用中。
本發明包括新穎組成物及由其形成之製品，其可用於多種最終應用中，包括用於供在EMI屏蔽及/或RFI屏蔽方面使用的較高導電性最終應用中，或用於其中製品能夠展現作為熱塑性或彈性量子隧道複合物（quantum tunneling composite；QTC）的導電性的較低導電性或耗散最終應用中，使得當經受壓縮應力之施加時（諸如當在負載下時），製品展現的導電性高於當壓縮應力釋放時製品之導電性。在一個具體實例中，其可為絕緣的且接著在施加應力時展現導電性。所量測之在不經受壓縮應力時製品（不論最初係絕緣或導電的）上之導電性且其在經受壓縮應力之施加時更具導電性的變化，可用以量測諸如密封件或密封墊之製品隨時間推移的壽命。組成物亦可在本質上耗散的。
在其中組成物可用於形成適用於電磁干擾或射頻干擾最終應用之製品的具體實例中，本文揭示各種具體實例。
在一個此類具體實例中，揭示一種用於形成製品之組成物，其包含至少一種基質聚合物，其選自由以下組成之群：至少一種熱塑性聚合物及/或至少一種具有至少一個用於交聯之官能基的可固化聚合物；及三維、分支鏈及/或交聯碳奈米結構添加劑，其以一定量提供，使得在用該組成物形成製品之後，該製品具有導電性且具有約0.5 ohm-cm或更小之體積電阻率水準。
當形成為製品時，在本文中的具體實例中，該製品為電磁干擾屏蔽製品及/或射頻干擾屏蔽製品。
在此具體實例中，該至少一種基質聚合物可為至少一種選自由以下組成之群的可固化聚合物：包含至少一種含矽單體之可固化聚合物、包含至少一種含矽及氟之單體的可固化聚合物、包含至少一種丙烯腈單體及至少一種丁二烯單體之可固化共聚物、包含至少一種烯烴單體之可固化聚合物、包含至少一種氟化單體之可固化聚合物、包含至少一種全氟化單體之可固化聚合物以及其摻合物及共聚物。固化後，固化的聚合物組成物包含一或多種選自由以下組成之群的彈性體：矽酮、氟矽酮、氟彈性體、全氟聚醚、全氟彈性體以及由其摻合物及共聚物形成之固化彈性體。在一個具體實例中，該至少一種可固化聚合物可選自由以下組成之群：可固化氟化聚合物及可固化全氟化聚合物。該至少一種可固化聚合物可進一步為至少一種可固化全氟化聚合物或至少一種可固化氟聚合物及至少一種可固化全氟聚合物之摻合物或共聚物。
在一個具體實例中，該基質聚合物為至少一種具有至少一個用於交聯之官能基的可固化聚合物，且該組成物可進一步包含至少一種用於與該至少一個用於交聯之官能基反應的交聯添加劑。在固化該可固化聚合物組成物後，所得固化材料可用於電磁干擾屏蔽應用或射頻干擾屏蔽應用。
本文中一個具體實例中之該碳奈米結構添加劑具有大於或等於（≥）約97%之碳含量及約0.135 g/cm 3之容積密度。
該組成物可進一步包括至少一種不同於該至少一種碳奈米結構添加劑之填料。
在此具體實例中，該組成物進一步可包括每100重量份之該至少一種基質聚合物約0.1重量份至約300重量份之該碳奈米結構添加劑，更佳每100重量份之該至少一種基質聚合物約0.25至約250重量份之該碳奈米結構添加劑，且最佳每100重量份之該至少一種基質聚合物約0.5至約250重量份之該碳奈米結構添加劑。在另一具體實例中，該組成物可包括每100重量份之該至少一種基質聚合物約0.5至約80重量份之該碳奈米結構添加劑。
在此具體實例中，當該至少一種基質聚合物係選自由至少一種可固化氟聚合物、至少一種可固化全氟聚醚及至少一種可固化全氟聚合物組成之群時，該組成物可包括每100重量份之該至少一種基質聚合物約10至約80重量份之該碳奈米結構添加劑，更佳每100重量份之該至少一種基質聚合物約10份至約50重量份之該碳奈米結構添加劑，且最佳每100重量份之該至少一種基質聚合物約20份至約40重量份之該碳奈米結構添加劑。
在該組成物之另一具體實例中，該基質聚合物可為選自由以下組成之群的熱塑性聚合物：聚伸芳基類聚合物、熱塑性熔融可處理氟聚合物、聚氯乙烯、聚偏二氟乙烯、聚四氟乙烯、氯化氟聚合物、矽類聚合物及不可固化氟聚合物及全氟聚合物、聚烯烴、聚對苯二甲酸伸乙酯、聚矽氧烷、聚胺酯、芳族聚醯胺、聚醯胺、聚醯亞胺、聚醚醯亞胺、聚苯硫醚、聚苯碸、聚醚碸、聚醯胺醯亞胺、聚苯并咪唑、聚碳酸酯、聚丙烯腈-丁二烯-苯乙烯、聚丁二烯-苯乙烯、聚環氧化物及類似材料，以及其摻合物、共聚物、摻混物及其他組合。
該組成物可進一步包括一或多種不同於該碳奈米結構添加劑之導電填料，該等導電填料選自由粉末、薄片及纖維填料組成之群，其包含以下中之一或多者：碳、鍍金屬之玻璃、鍍金屬之粒子，其中該粒子包含金屬或聚合物，塗有鎳之石墨、石墨烯、石墨、碳黑、石墨烯衍生物、單壁碳奈米管、多壁碳奈米管、金、銀、鎳、銅及其組合或混合物。在此類具體實例中，該組成物可包含每100重量份之該至少一種基質聚合物約0.25重量份至約100重量份之該一、多種不同於該碳奈米結構添加劑之導電填料。
當上文提及之該組成物由該基質聚合物形成時，本發明進一步包括由該組成物形成之製品。該製品可選自密封墊、密封件、蓋板及組件部分，供用於電磁干擾屏蔽裝置或射頻干擾裝置中。
本發明還進一步包括電磁干擾屏蔽及/或射頻干擾屏蔽組成物，其包含：至少一種基質聚合物，該至少一種基質聚合物選自熱塑性聚合物及/或具有至少一個用於交聯之官能基的可固化聚合物，該可固化聚合物選自至少一種可固化氟聚合物、至少一種可固化全氟聚醚、至少一種全氟聚合物、至少一種包含矽及氟之可固化聚合物以及其共聚物及摻合物；及包含每100重量份之該至少一種基質聚合物約5重量份至約300重量份之碳奈米結構添加劑，其中當該組成物經固化且形成為製品時，其具有約0.5 ohm-cm或更小之體積電阻率水準，且其中該碳奈米結構添加劑為三維、分支鏈及交聯的。
在電磁干擾屏蔽及/或射頻干擾屏蔽組成物之此具體實例中，該至少一種基質聚合物可為至少一種可固化全氟聚合物，且該組成物可包括每100重量份之該至少一種可固化聚合物約10重量份至約80重量份之該碳奈米結構添加劑。此外，在此具體實例中，該至少一種碳奈米結構添加劑可具有≥約97%之碳含量及約0.135 g/cm 3之容積密度。
本發明進一步包括一種組成物，其包含：至少一種基質聚合物，其選自熱塑性聚合物及/或具有至少一個用於交聯之官能基的可固化聚合物；及三維、分支鏈及/或交聯碳奈米結構添加劑，其以一定量提供，使得在由該組成物形成製品之後，該製品展現耗散效應及量子隧道複合效應中之一或多者。在此具體實例中，該組成物可包括每100重量份之該至少一種基質聚合物約1重量份至約30重量份、且較佳至約15重量份之該碳奈米結構添加劑。
在此具體實例中，當製品由該組成物形成時，該製品具有量子隧道效應，且該組成物較佳包含每100重量份之該至少一種基質聚合物至少約2重量份之該碳奈米結構至約30重量份，且較佳至約15重量份之該添加劑，較佳每100重量份之該至少一種基質聚合物至少約3重量份之該碳奈米結構添加劑，且最佳每100重量份之該至少一種基質聚合物至少約4重量份之該碳奈米結構添加劑。在一個具體實例中，該組成物包含每100重量份之該至少一種基質聚合物約4重量份至約20重量份之該碳奈米結構添加劑，且較佳每100重量份之該至少一種基質聚合物約4至約15重量份之該碳奈米結構添加劑。
在此具體實例中，該基質聚合物可為選自由以下組成之群的熱塑性聚合物：聚伸芳基類聚合物、熱塑性熔融可處理氟聚合物、聚氯乙烯、聚偏二氟乙烯、聚四氟乙烯、氯化氟聚合物、矽類聚合物及不可固化氟聚合物及全氟聚合物、聚烯烴、聚對苯二甲酸伸乙酯、聚矽氧烷、聚胺酯、芳族聚醯胺、聚醯胺、聚醯亞胺、聚醚醯亞胺、聚苯硫醚、聚苯碸、聚醚碸、聚醯胺醯亞胺、聚苯并咪唑、聚碳酸酯、聚丙烯腈-丁二烯-苯乙烯、聚丁二烯-苯乙烯、聚環氧化物及類似材料，以及其摻合物、共聚物、摻混物及其他組合。
該組成物可進一步包含一或多種不同於該碳奈米結構添加劑之導電填料，該等導電填料選自由粉末、薄片及纖維填料組成之群，其包含以下中之一或多者：碳、鍍金屬之玻璃、鍍金屬之粒子，其中該粒子包含金屬或聚合物，塗有鎳之石墨、石墨烯、石墨、碳黑、石墨烯衍生物、單壁碳奈米管、多壁碳奈米管、金、銀、鎳、銅及其組合或混合物。在此類具體實例中，該組成物包含每100重量份之該至少一種基質聚合物約0.25重量份至約100重量份之該一、多種不同於該碳奈米結構添加劑之導電填料。
本發明可進一步包括根據此具體實例由該組成物形成之製品。該製品可為熱塑性及/或彈性量子隧道複合物，且可選自由密封件、密封墊或密封總成中之其他組件組成之群。
在一個具體實例中，當該製品未經受壓縮應力時，其為絕緣體，且當經受壓縮應力時具有導電性。在另一具體實例中，當該製品未經受壓縮應力時，其導電性水準不同於當該製品經受壓縮應力時之導電性水準。
在另一具體實例中，該製品可為彈性量子隧道複合物及自感測製品，其中當該製品與電路電連通且施加電壓時，量測該製品在該製品處於使用且經受壓縮應力時之導電性的變化且導電性之該變化用於即時測定及評估該製品之效能。
本發明進一步包括一種製造製品之方法，其包含提供一種組成物，該組成物包含至少一種基質聚合物，該基質聚合物選自熱塑性聚合物及/或具有至少一個用於交聯之官能基的可固化聚合物，且該組成物包含至少一種三維、分支鏈及/或交聯的碳奈米結構添加劑，其中該至少一種碳奈米結構添加劑之存在量為每100重量份之該至少基質聚合物約0.1重量份至約300重量份；及藉由熱成型該組成物或藉由固化及熱成型該組成物來由該組成物形成製品，其中該製品可用於電磁屏蔽裝置及射頻屏蔽裝置中之至少一者。
在該方法中，該製品之體積電阻率較佳為約0.5 ohm-cm或更小。該至少一種基質聚合物可為可固化聚合物且該組成物可進一步包含至少一種用於與該至少一個用於交聯之官能基反應的交聯添加劑。在該方法中，該製品可選自電磁干擾屏蔽裝置及/或射頻干擾屏蔽裝置之密封件、密封墊、蓋板或組件部分。
本發明亦包括一種製造製品之方法，其包含提供一種組成物，該組成物包含至少一種基質聚合物，該基質聚合物選自熱塑性聚合物及/或具有至少一個用於交聯之官能基的可固化聚合物，且該組成物包含至少一種三維、分支鏈及交聯的碳奈米結構添加劑，其中該至少一種碳奈米結構添加劑之存在量為每100重量份之該至少一種基質聚合物約至少約1重量份至約30重量份；及藉由熱成型該組成物或藉由固化及熱成型該組成物來由該組成物形成製品，其中該製品展現耗散效應或量子隧道效應中之至少一者。
在此方法中，該製品可為密封件、密封墊或密封總成中之其他組件。該基質聚合物可為可固化聚合物且該組成物可包含至少一種用於與該至少一個用於交聯之官能基反應的交聯添加劑。該可固化聚合物可選自由以下組成之群：可固化氟聚合物、可固化全氟聚醚及可固化全氟聚合物以及其摻合物及共聚物。在一個具體實例中，該製品為彈性量子隧道複合物。在一具體實例中，當該製品未經受壓縮應力時，其為絕緣體，且當經受壓縮應力時具有導電性。在另一具體實例中，當該製品在未經受壓縮應力時具有導電性且具有不同於在該製品經受壓縮應力時導電性水準之導電性水準，且在一個具體實例中，該製品在經受壓縮應力時之該導電性水準高於在該製品未經受壓縮應力時之該導電性水準。
在另一具體實例中，該製品為彈性量子隧道複合物及自感測製品，且當該製品與電路電連通且施加電壓時，量測該製品在該製品處於使用且經受壓縮應力時之導電性的變化且導電性之該變化用於即時測定及評估該製品之該效能。
如本文所用，如「內」及「外」、「上」及「下」、「近」及「遠」、「頂」及「底」的字組及意義類似之字組在本文中用以鑒於本文中之圖式輔助本發明的讀者較佳理解本發明，並且同時意欲有助於讀者不意謂以任何方式加以限制。
申請人已研發出使用變化量之特定類型之碳奈米結構添加劑的組成物及方法以提供具有變化電導率之製品，使得其可例如作為添加劑適用於EMI屏蔽及/或RFI屏蔽應用中，或其量允許製品充當待用於各種最終應用中之量子隧道複合物（QTC）或耗散導電聚合物或彈性體。在充當QTC時，在一個具體實例中，例如可使密封件或密封墊對可由聚合物或彈性體在使用中之壓縮應力下之導電性變化轉化的壓縮水準作出反應，以便允許即時評估密封件或密封墊壽命。
因此，對於密封應用，可製造充當可用於各種最終應用中之自感測密封件的密封件，其中監測密封件壽命對於高效及低成本的密封效能及維護係關鍵的。在半導體應用中，此類密封件可用於具有密封件之閥總成中，該等密封件諸如具有密封件之狹縫閥門（例如BSV、擺錘閥及其他腔室或流動隔離閥），且亦可作為密封件或其他成型製品用於醫藥潔淨室應用、井下及其他油田應用以及流體處置化學應用中之氣體及/或液體應用中。如本文中所使用，「密封件（seal）」意欲包括一般類別之密封件及密封組件，包括O形環、密封墊、V形環、插入物、密封或屏蔽層及其他類似產品，且除非明確指示特定類型之密封件，否則不意欲為限制性的。“製品”意欲涵蓋單獨或與其他現有組成物組合用作使用本文揭示之組成物形成的產品或用作產品之一部分的部件、組件、裝置及密封件。
關於諸如密封件之製品，提供一種可能藉由其導電性水準反應於所施加之壓縮應力（諸如當經受負載時）而敏感地作出反應之密封件，該密封件可充當壓力感測器，且在存在及不存在所施加之負載（當為新的時）下可藉由壓縮應力與基線處之電導率之間的關係來評估密封件之惡化，使得密封件可在密封壽命及效能經由重複使用及/或苛性條件而受影響之前更換。雖然本文中用於監測本文中之密封件壽命的自感測密封件以及方法及系統特別適用於密封件，諸如真空密封件或KF型密封件及用於包括BSV之半導體製造閥總成及其他半導體密封件中，但其亦可用於在流體處理及其他環境中使用之類似閥，尤其其中密封件壽命對操作至關重要且其中密封件在壓力、應變及環境或環境操作條件下之環境中的彼等環境，在其中，密封件經受劣化。此在半導體製造中係尤其困難之問題，且特定聚焦於半導體密封總成，諸如BSV、擺錘閥及隔離閥。應理解，基於本公開，本文中所描述之具體實例可用於其他類似閥密封總成及最終應用中。
包括密封件之閘閥及狹縫閥的實例為此項技術中已知的，且可使用此等設計中的任一者來實施由本文中的組成物及方法製成的製品。此性質之商業上可接受之門之實例可購自美國賓夕法尼亞州庫爾普斯維爾（Kulpsville, Pennsylvania, USA）之Greene, Tweed公司，且亦描述於例如美國專利申請公開案第2012/0100379A1號中，其以相關部分引用之方式併入。具有已知或待開發之密封件的接合或其他總成之其他BSV及閘閥可用於本文中之系統及方法中。
此類閘及狹縫閥一般由金屬門材料（金屬或金屬摻混物）形成，其中較佳材料包括鋁或不鏽鋼。在此類門中之密封件較佳由彈性材料或在操作條件下具有彈性特性之材料形成。所使用之典型材料為氟彈性體、全氟彈性體及矽類彈性體，包括氟矽酮。另外，亦可併有支撐環或密封件，諸如，單獨的氟聚合物（如聚四氟乙烯）或作為對用彈性體或具有彈性特性之材料形成的主要密封件之支撐保護密封件。
此類密封件可在門上以機械方式貼附、接合或模製就位，其中多種材料及門總成可商購。
本文中所使用之碳奈米結構添加劑較佳地為經形成以具有三維分支鏈結構且較佳亦經形成以使得彼此互連以形成三維分支鏈碳結構網路之交聯碳奈米管包括在該等結構內的彼等碳奈米結構添加劑。此類材料區別於標準單壁及多壁碳奈米管及碳同素異形體，諸如板狀碳及氟化石墨。在本文中之較佳具體實例中，使用碳含量≥約97%且容積密度為約0.135 g/cm 3之此類三維、分支鏈碳奈米結構添加劑，但此等特性可視製造製程中發生之鍵聯及分支度而變化。適用於本文中之一種適合碳奈米結構可經由Cabot公司作為Athlos™碳奈米結構以集結粒形式購得。其他適合之材料亦可購自Cabot，及/或可製成或製造以及商購的。分支鏈及鍵聯之碳奈米結構材料之描述及其製備方式可見於美國專利第9,107,272號、第9,111,658號、第9,447,259號及第9,650,501號中，該等專利中之每一者以用於製造及製備分支鏈及鍵聯碳奈米結構之方法之揭示內容的相關部分併入本文中。
由於某些可固化聚合物組成物之介電性性質及其固化時所得彈性體特性，尤其氟彈性體及/或全氟彈性體之彼等性質，僅在高度負載聚合物時，可自強導電性水準感到分支鏈、三維碳奈米結構添加劑之影響，然而，在其他應用中，諸如用於製備壓力感測應用，指示此類碳奈米結構添加劑之較小負載。
除了如上文及本文別處所提及之QTC組成物之自感測最終應用及其他用途以外，當製品使用本文中之導電奈米結構添加劑之較高負載形成時，此類製品可形成於密封件或密封組件中，包括密封墊、蓋板及其中具有聚合物或彈性體材料之多種其他組分部分以提供約0.5 ohm-cm或更小之體電阻率，藉此提供有用的EMI及/或RFI屏蔽效應。
相對於EMI及/或RFI屏蔽應用，視所選擇之可固化聚合物而定，負載可變化。在多種聚合物中，組成物可併入組成物中每100重量份之至少一種聚合物或可固化聚合物約0.1至約300重量份之碳奈米結構，較佳組成物中每100重量份之至少一種聚合物或可固化聚合物約0.25至約250份、更佳約0.5至約250份或約0.5至約80重量份之碳奈米結構添加劑。
較佳地，在諸如可固化全氟聚合物及可固化氟聚合物之聚合物中，每100重量份聚合物或可固化聚合物約10至約50重量份可用以藉由吸收或反射EMI及/或RFI而提供較佳程度之屏蔽。對於可固化全氟聚合物及其他可能另外一般更難以高度負載之可固化氟聚合物，可採用組成物中每100重量份可固化聚合物約20至約40重量份。
在一較佳具體實例中，所使用之碳奈米結構添加劑之量可改變以試圖得到最佳屏蔽效應，且若可能則亦維持用於待用於屏蔽最終應用之所形成製品的有效彈性及/或機械特性，其皆將視所製造之屏蔽部件或組件的類型而定。藉由此材料，所需最大體電阻率之水準對於有效屏蔽為約0.5 ohm-cm，儘管此可針對不同最終應用經改變。在全氟聚合物中，例如，在組成物中每100份全氟聚合物使用約20份至約40份之間將維持所需機械及彈性特性之平衡同時允許約0.5 ohm-cm之體電阻率。
在可固化聚合物中使用此類碳奈米結構添加劑固化後，可形成根據本發明之可具有多種形狀及組態之彈性製品，諸如成型為密封件、密封墊、EMI或RFI屏蔽裝置或其組件部件，諸如EMI或RFI濾光片密封件或濾光片蓋。此外，使用本文中之碳奈米結構由其他聚合基質材料形成之屏蔽部件亦在本發明之範疇內。
當將本文中之至少一種碳奈米結構添加劑併入至以用於產生QTC效應的可固化聚合物或其他聚合物基質或耗散導電聚合物或彈性體時，在本文中之發明中指示碳奈米結構添加劑之較低負載。舉例而言，每100重量份可固化聚合物或聚合物基質聚合物約1份至約30重量份碳奈米結構添加劑可用以提供比屏蔽應用中所需要更低的導電性水準。較佳每100重量份所用可固化聚合物或聚合物基質中之聚合物使用約1份至約15重量份碳奈米結構添加劑。
對於一些較低導電性用途，諸如可用於汽車、航空、油田、醫療及醫藥或其他最終用途之抗靜電耗散材料，要求導電材料可耗散電荷以避免產生火花或其他問題但又能承受特定彈性體基體所處的環境，出於此目的，每100重量份任何基礎聚合物中至多約15重量份添加劑的此類較低負載係可接受的。
當使用用於QTC效應之組成物時，諸如用於具有可允許帶電粒子如同QTC中在所形成的製品受到壓縮時跳躍的組成物，指示組成物中每100重量份聚合物或可固化聚合物至少約2份、更佳至少約3份且最佳至少約4份至約30份或至約15重量份之低水準。在一些具體實例中，可使用組成物中各每100重量份可固化聚合物約4重量份至約20重量份且更佳約4至約15重量份。
為產生QTC效應，三維、分支鏈及交聯使得較長管互連的碳奈米結構，在整個製品中產生更密集接近之QTC電子攜載選項。由於所使用之彈性體可經選擇以在使用時及在無諸如所施加負載之壓縮應力的情況下充當電介質，因此此類彈性體中之QTC效應可在不需要介入介電添加劑及/或不需要如先前技術QTC複合物中所述之針狀碳的情況下藉由所施加壓縮應力來進行。固化製品中之聚合物基質或彈性體基質提供介電質環境，其藉由在可壓縮介電質彈性體材料上施加壓縮應力來加以活化以在基質內得到成比例導電性水準，該水準可視所施加之壓縮應力的程度來量測以在使用中時即時量測且定量壓縮應力與彈性體中碳奈米結構添加劑之含量之間的關係，且加以分析以便測定密封件壽命。
舉例而言，在使用中可將諸如彈性密封件之成品模製品置於與具有外加電壓及已知電阻的電路成電連通，以便能夠在施加壓縮應力之前，如通過外加負載或在使用中通過壓縮其壓蓋中的密封件周圍的移動部件來量測密封件之體電阻率或導電性，以及量測使用中彈性體中一給定量的碳奈米結構添加劑隨時間推移的相同特性。所得關係可用於分析何時添加劑及彈性體基質開始劣化以及電阻率及導電性何時變化。此類量測結果可接著用於監測密封件在使用中之效能及壽命以判定何時需要更換。
藉由自本文中之組成物提供此類形成之製品，可製造密封件、密封墊或其他密封件總成或組件部件（諸如聚合物或彈性體組分），其為「自感測的（self-sensing）」，即在使用期間即時量測及評估其自身特性以確定密封件壽命及效能而不需要外部感測器，嵌入影響特性（諸如密封特性）之感測器或在門（諸如BSV門或閘門）上或在反應腔室或周圍環境內使用密封件周圍或附近複雜感測器佈置及關係。此外，本文中之碳奈米結構有助於在所形成之製品之整個聚合物或彈性體基質中實現更一致的導電性特性。
進一步使用本文中之組成物來形成由聚合物或彈性體形成之具有QTC效應的製品，可用於使用不同聚合物及彈性體以形成自感測製品，諸如密封件，以及用於由先前技術的QTC複合物形成的其他已知QTC材料應用，諸如用於醫療裝置，諸如血壓機袖口，用於服裝的壓力感測控制，用於播放數位聲音或視訊檔案的音訊或電話裝置，用於油田應用中井下工具的轉換器（如美國專利第8,893,547號），用於具有用於拳擊或擊劍之感測器的運動訓練假人，用於評估運動訓練鞋，用於基於機器人技術之觸控感測器及假體以及智慧密封件，以及用於各種醫療及醫藥應用。
除本文中之碳奈米結構添加劑之外，就可固化聚合物組成物而言，此類組成物包括至少一種固化之前併入組成物中之可固化聚合物。在本文中之一些較佳具體實例中，其他此類組成物亦可包括交聯劑或固化劑材料使得可固化聚合物能夠交聯以形成彈性體。交聯亦可使用相關技術中已知或待研發之技術藉由輻射熱誘導或進行，包括使用與其官能性交聯基團起作用之固化系統固化各種商業產品，包括可由如下文進一步描述之商業可固化聚合物之製造商指示之彼等產品。
對於本文中之基於聚合物之組成物或本文中之使用可固化聚合物組成物（一旦固化）形成之彈性體組成物，此類聚合物及彈性體組成物可提供可用於多種最終應用（包括上文提及之彼等應用）中之聚合物或彈性體製品，包括密封件，例如O形環、密封墊、組件部件、塗層、層及類似者。
所使用之其他添加劑可視所選擇的不可固化或可固化聚合物系統而變化。舉例而言，當固化為彈性體時，不同的可固化聚合物具有不同的機械及彈性特性且可耐受不同的添加劑、加工助劑、填料、顏料及其類似者或最佳與不同的添加劑、加工助劑、填料、顏料及其類似者一起使用。此類聚合物及彈性體組成物之添加為一般已知的。
由於本文中之碳奈米結構可用於向聚合物或可固化聚合物及/或固化彈性體基質賦予獨特的導電性及電阻性特性，無論作為屏蔽添加劑、耗散添加劑或QTC添加劑，所使用之添加劑較佳為可能補充或增強彼等效應或實質上不影響所需導電性及電阻性特性且亦不會以負面方式過度影響所得製品之機械或彈性特性用於其預期最終用途之彼等添加劑。
本文中之組成物可併入彈性或非彈性基質材料。較佳地，在EMI及/或RFI屏蔽組件中，基質為彈性體，且在其他較佳具體實例中，基質為氟彈性體，包括彈性全氟聚醚、氟矽酮、全氟彈性體及此等材料之摻合物及多於一種類型之此等材料之摻合物。QTC組分可為彈性或非彈性的，但在形成由QTC組成物形成之專用自感測密封件的情況下，較佳的為基質亦係彈性的。
關於適合之可固化聚合物，此類材料包括可藉由官能基交聯或固化以形成彈性體基質材料之彼等材料。舉例而言，適用彈性體包括矽酮、氟矽酮、腈橡膠、烯烴橡膠（諸如乙烯-丙烯-二烯橡膠或乙烯-丙烯橡膠）、包括全氟聚醚類彈性體之氟彈性體、全氟彈性體、聚胺酯以及其共聚物及摻合物。
此類彈性體由可固化聚合物、其共聚物及摻合物形成，包括由包含矽及/或氟之單體形成之彼等、具有至少一種丙烯腈單體及至少一種丁二烯單體之可固化聚合物、具有至少一種烯烴單體之可固化聚合物及具有至少一種氟化單體及/或全氟化單體之可固化聚合物。此類材料可共聚合、摻合及/或官能化以形成可固化聚合物。較佳地，用於形成至少一種可固化聚合物之單體中之至少一者具有一或多個用於交聯之官能基。交聯可經由使用輻射或加熱以化學方式進行及/或經由添加一或多種交聯化合物進行，該一或多種交聯化合物在與單體上之官能基上之交聯位點化學反應時可交聯各種單體以形成交聯聚合物。
如本文所用之「固化（Curing）」意欲涵蓋藉由硫化、化學交聯、熱交聯、催化交聯、輻射交聯及其類似者向可固化聚合物提供彈性體結構之任何方法。固化之後，可固化聚合物形成彈性體。如本文所用之「彈性體」（有時亦稱為橡膠）意欲意謂具有黏彈性特性，且在施加應力時會變形，但在移除應力之後將恢復其初始形式之一部分的聚合物材料。
如本文所用，「壓縮形變」係指彈性體材料在變形壓縮負載已移除之後傾向於保持變形且不恢復至其原始形狀。壓縮形變值表現為材料未能恢復之原始偏轉百分比。舉例而言，0%壓縮形變值表示材料在變形壓縮負載移除之後完全恢復至其原始形狀。相反地，100%壓縮形變值表示材料完全不自施加之變形壓縮負載恢復。30%壓縮形變值表示70%原始偏轉已恢復。較高壓縮形變值一般指示密封件洩漏的可能性。
典型地經量測之其他彈性體特性包括斷裂伸長率、拉伸模數及其他物理特性。彈性體之熱行為及其固化系統對該等特性之影響亦適用於評估用於不同最終用途應用之彈性體。
術語「未固化」或「可固化」係指用於本文中之組成物中之可固化聚合物，其尚未經歷任何實質程度之交聯反應以使得材料固化尚不足夠用於預期最終應用。
下文提供關於可用於本文中之適用類別的聚合物之其他資訊，包括上文提及之適用作用於QTC組件或EMI及/或RFI屏蔽組件之基質材料的彼等資訊。
可使用可作為可固化以形成矽酮彈性體（亦稱為矽酮橡膠）之多種矽酮均聚物及共聚物中之任一者的含矽聚合物來形成本文中之以供使用之矽酮。矽酮一般為在其化學結構中併入至少矽、氧及氫之聚合物。可用於形成矽酮彈性體之可固化含矽聚合物（矽酮）包括具有主鏈之聚合物，其由ASTM國際（ASTM International）提供之標準橡膠命名定義（Standard Rubber Nomenclature definitions）在ASTM D1418-17中分類為VMQ（矽酮）、PVMQ（苯基矽酮）及FVMQ（氟矽酮）。然而，亦可使用不容易由ASTM D1418-17分類之矽酮，只要其展現適用的製造特徵即可。本發明中可使用任何此類矽酮、氟矽酮或苯基矽酮。
用於形成矽酮橡膠之矽酮可使用多種固化系統固化，該等固化系統包括催化劑固化系統，典型地使用基於鉑之催化劑、冷凝固化系統、過氧化物固化系統及肟固化系統。
在鉑催化劑固化中，交聯使用官能性矽酮聚合物，諸如經由加成反應形成交聯之乙烯基官能性矽酮及氫化物官能性矽酮形成。此類反應未留下副產物，且因此為此項技術中之固化的較佳途徑。
冷凝系統典型地涉及以某一方式活化之交聯材料。在常見的單組分系統中，採用官能性矽酮，其在室溫下與水接觸時將經歷水解，且可水解基團（羥基或矽烷醇基團）將引發固化反應。水解反應一旦引發則繼續直至固化完成，且可在室溫下進行。交聯材料包括冷凝系統，其包括具有活性含氧基團（諸如烷氧基、乙醯氧基、酯基、烯氧基或肟矽烷）之官能性矽烷，例如甲基三甲氧基矽烷、甲基三乙醯氧基矽烷及類似材料。視需要，亦可使用有機金屬催化劑，諸如四烷氧基鈦酸鹽、螯合鈦酸鹽、錫催化劑（例如二月桂酸二丁錫及乙醯氧錫）催化該等經取代之基團及/或官能化基團。
在雙組分冷凝中，交聯材料及任何催化劑保留在一個容器中，而可固化矽酮聚合物組成物（不存在彼等材料）保留在單獨的容器中。在兩個容器中混合材料時引發固化。
用於形成矽酮彈性體之其他矽酮固化系統包括過氧化物固化系統，其可經由反應性矽酮位點交聯，在矽酮鏈之間形成Si-R-Si連接。適用於本文中之商業矽酮，包括可用於QTC或EMI及/或RF屏蔽應用中之來自Nusil Silicone Technology公司的NuSil®，及可用於QTC最終應用中之來自Dow-Corning之PDMS-Sylgard®。
可用於本文中之矽酮聚合物包括以下之一或多者：聚矽氧烷、聚烷基矽氧烷、聚二烷基矽氧烷、聚芳基矽氧烷、聚芳烷基矽氧烷及此等材料彼此或與如本文所述之其他可固化聚合物之摻合物、摻混物或共聚物。此外，此類含矽聚合物可具有一或多個氫或在經一或多個基團取代之主鏈中之矽原子上具有一或多個矽鍵結鍵結基團，該等經取代之基團中之每一者可進一步經官能化或進一步經取代或用於交聯。該等經取代之基團或官能基可為分支鏈及/或直鏈基團，包括但不限於羥基、烷基、烯基、炔基、芳基、烷氧基、烯氧基、炔氧基、芳氧基、芳基烷基、芳基烷氧基、芳基烯氧基、乙烯基、羧基、羰基、鹵素、雜環基及氟化基團或全氟化基團。
包括本文中之含矽酮聚合物的組成物可包括固化劑、固化引發劑、交聯劑（諸如水解交聯劑）、固化催化劑（諸如有機過氧化物）及如上文所指出且如此項技術中已知或待開發之其他固化系統組分。
除本文中之組成物中之至少一種碳奈米結構添加劑外，可用於可固化矽酮或氟矽酮組成物中之其他不同添加劑及/或改質劑包括例如但不限於矽氧烷添加劑、超高分子量矽氧烷添加劑、澄清劑、加工助劑、穩定劑、著色劑諸如顏料及染料、其他填料，諸如非導電及/或介電碳黑、石英、熱解二氧化矽、標準碳奈米管、玻璃纖維及視情況存在之偶合劑、芳族聚醯胺纖維、烯烴纖維、碳纖維、UV吸收劑、UV穩定劑、潤滑劑，諸如蠟、脂肪酸及其他流變添加劑、阻燃劑、多元醇、醯胺、氟聚合物、氟化或全氟化聚合物添加劑、奈米二氧化矽（亦即奈米二氧化矽）粒子、聚矽氧烷、防黏連助劑，諸如二氧化矽及滑石、光增白劑、分散劑、潤濕劑、增容劑及任何其他適合的已知或待開發用於提供所需組成物特性的含矽聚合物添加劑及/或改質劑，只要此類添加劑的選擇或使用量不會阻礙、防止或實質上影響或妨礙預期最終應用的所需導電性水準即可。其他導電性添加劑亦可用於改善導電性特性且進一步描述於下文本發明中。
舉例而言，對於QTC應用，將不指示使用將影響自感測製品中之QTC效應的潛在導電或半導電材料之水準。此外，若在屏蔽最終應用中使用矽酮，則將需要在本文中併入較高負載水準之碳奈米結構添加劑，但不需要如此多以致填料將過度增加體電阻率。最後，在此等及其他最終應用中，一般情況為填料之量亦受控制以達成其預期最終應用所需之壓縮應力及電阻率變化。
用於本文中之含矽聚合物組成物或組成物之較佳添加劑為固化劑，諸如過氧化物固化劑，其典型地以每100份矽酮聚合物約0.5至約5.5份併入，或在其他系統中為鉑催化劑，其量為每100份含矽聚合物約0.0005至約0.0015份。其他較佳添加劑包括著色劑及顏料，諸如白色（氧化鈦）、黃色（氧化鐵或偶氮鐵）、藍色（酞青素（phthalocyanine）GS或群青（ultramarine））及/或綠色（酞花青BS），其量可能變化，但典型地單獨為每一百份含矽聚合物至多約1.0份，或總共為每100份含矽聚合物至多約1.5份。
除任何特定固化系統以外之此類添加劑在用於具有碳奈米結構添加劑之組成物中時為一般視情況選用之添加劑，且可以除固化劑及碳奈米結構添加劑之外的添加劑之至多總共約50重量%之量併入，其限制條件為其不使聚合物過載或阻礙或實質上影響預期最終應用之功能。
視所用固化系統而定，可針對系統調整相關固化劑之程度。因為該等固化系統為此項技術中已知的，所以本文中可使用與如上文所指出相同的系統。用於本發明內之矽酮之較佳實例包括可商購的矽酮，諸如藉由賓夕法尼亞州（Pennsylvania）之Stockwell Elastomerics及英國Primasil Silicones有限公司製造之彼等矽酮，其可如其製造商所推薦使用且組合。
腈橡膠，諸如丙烯腈-丁二烯及其共聚物及變體，及烯烴橡膠（諸如EPDM或EPR）以及此項技術中已知或待開發之其他烯烴橡膠（諸如由Zeon製造之Nipol®等級、由ArlanXeo Performance彈性體製造之Keltan®等級及由ExxonMobil製造之Vistalon®）已知且可商購用於此處之本發明中。已知此類組成物及其添加劑用於組件部件。此類彈性體更佳適用於本文中之QTC組成物及組分。
用於QTC或EMI及/或RFI屏蔽最終應用之可固化氟聚合物可為改變之氟含量下的任何適合之可固化氟聚合物，包括可固化全氟聚合物及可固化全氟聚醚（perfluoropolyether；PFPE）或PFPE-共聚物，其具有至少一個單體單元(C nF2nO)，其中此類氟聚合物較佳沿著可固化聚合物主鏈或取決於可固化聚合物主鏈包括官能基或反應性單體。
總體而言，此類氟聚合物提供大體上適用於較苛刻環境之材料，諸如油田工業用途、石化處理、半導體製造、氣體及食品處理、生命科學及其他清潔環境中所遇到之彼等材料。在本文所述之不同最終用途中，在清潔材料中使用碳奈米結構可提供極佳導電性特性，同時在環境中提供低水準之微粒化污染，且甚至在本文中更高負載之碳奈米結構添加劑下亦維持良好可加工性。
關於可使用之可固化氟聚合物為如藉由ASTM國際提供之標準橡膠命名法定義在ASTM D1418-17中分類之此類材料。根據此類彈性體命名之標準FKM聚合物典型地具有至少兩種單體，其中之一者經氟化，且較佳地其皆在一定程度上經氟化，其中至少一種固化位點單體用於硫化。至少兩種單體較佳包括偏二氟乙烯及六氟丙烯或類似氟化烯烴，但亦可包括此項技術中已知或待研發之多種其他單體。氟彈性體組成物亦可包括能夠經歷與氟彈性體之固化位點單體中之官能基的交聯反應的至少一種固化劑。如上文所指出，亦可使用PFPE單體及共聚單體。
關於本文中之FKM，此類固化位點單體可包括可藉由過氧化物或其他固化系統固化之一種固化位點單體。就過氧化物固化系統而言，此類固化位點單體可具有在固化位點官能基中包含鹵化物質諸如Br或I之官能基。儘管FKM中之單體中之至少兩者可為六氟丙烯（hexafluoropropylene；HFP）及偏二氟乙烯（vinylidene fluoride；VF2），但除了此兩者之外，亦可使用其他典型單體用於形成此項技術中已知之多種氟聚合物，且固化位點單體及固化系統可變化。此類系統係此項技術中已知的。
可固化氟聚合物可為放射可交聯的，但較佳為經由固化系統可交聯的（可固化的），其中添加能夠與固化位點單體中之官能基反應以形成彈性材料之固化劑。視情況，亦可使用第二固化劑、共固化劑及/或固化加速劑中之至少一者。取決於所需最終特性，本文中之組成物可具有單一可固化氟聚合物或至少兩種可固化氟聚合物及/或如下文進一步描述之可固化全氟聚合物之組合，其呈例如聚合物摻合物、接枝組成物或摻混物、共聚合及其類似者形式。
用於本文中之組成物之可固化氟聚合物可在如上文所指出之摻合物類組成物或接枝/共聚組成物中視情況包括額外的此類聚合物。此外，聚合物主鏈可包括沿鏈之多種固化位點單體以提供一或多個用於交聯之不同官能基，然而，用於本文中之本發明之此類基團中之一者較佳可藉由過氧化物固化系統固化。組成物亦可包括固化劑及共固化劑及/或加速劑以有助於交聯反應。額外固化位點及固化系統可提供至相同或不同固化位點單體，諸如與用於產生交聯之雙苯基類固化系統反應的固化位點，例如具有含氮反應性基團之彼等固化位點，其限制條件為較佳亦存在過氧化物可固化官能基。因此，雖然本文中之本發明論述各種較佳固化劑（在本文中亦稱為交聯劑或固化劑），但當使用此項技術中已知之額外固化位點時，除本文中較佳之有機過氧化物類固化劑及共固化劑以外，亦可使用能夠固化此類替代固化位點之其他固化劑。此類固化系統之進一步描述提供於下文中。
一或多種可固化氟聚合物可存在於此類組成物中。此類聚合物自身藉由使一或多種氟化單體聚合或共聚形成。此項技術中已知之各種技術（直接聚合、乳液聚合及/或自由基引發之聚合、乳膠聚合等）可用以形成此類聚合物。
可固化氟聚合物可藉由使兩種或更多種單體聚合而形成，較佳地，其中之一種單體至少部分地氟化，但亦可使用完全氟化單體。舉例而言，HFP及VF2較佳與四氟乙烯（tetrafluoroethylene；TFE）或一或多種全氟烷基乙烯基醚（perfluoroalkyl vinyl ether；PAVE）或類似單體以及作為固化位點單體以准許固化之至少一種單體（亦即至少一種氟聚合固化位點單體）組合。如本文所述之氟彈性體組成物可包括，能夠較佳使用固化系統及一或多種如本文所述之其他固化劑固化以形成氟彈性體之任何適合的標準可固化氟彈性氟聚合物（FKM）。適合的可固化FKM氟聚合物之實例包括以商品名Tecnoflon® PL958、Tecnoflon® PFR-LT、Tecnoflon® FOR 801HS（各購自意大利之Solvay Solexis股份公司）、Dyneon® FE5610或FC2211（購自3M）出售之彼等及在用於本文中之組成物中時可藉由過氧化物固化系統或雙苯基系統固化之其他類似氟聚合物，此類材料之其他供應商包括日本（Japan）之Daikin Industries；明尼蘇達（Minnesota）之3M公司；特拉華州（Delaware）之Chemours公司及特拉華州之E.I. DuPont de Nemours有限公司等等。此類FKM聚合物在聚合物之主鏈上未完全氟化。
在某些具體實例中，諸如在包括潔淨環境之最終應用中，至少一種第一可固化含氟聚合物可為將適用於形成全氟彈性體之可固化全氟聚合物。本文中之組成物，無論可固化氟聚合物組成物或全氟聚合物組成物，可僅包括一種氟聚合物或全氟聚合物，或可以組成物形式包括兩種或更多種此類氟聚合物或全氟聚合物，其在使用及/或固化時將形成單個氟彈性體或全氟彈性體或在使用兩種或更多種時將形成全氟彈性體摻合組成物或共聚物以用於固化。其他可固化氟聚合物可與可固化全氟聚合物摻合以製得經部分氟化之摻合氟彈性體。
如本申請案中所用，除非另外指示，否則「全氟彈性體」或「固化全氟彈性體」包括藉由使可固化全氟聚合物（諸如本文所述之可固化組成物中之較佳可固化全氟聚合物）固化而形成之任何固化彈性體材料或組成物。
適用於形成固化全氟彈性體之「可固化全氟聚合物」（在此項技術中有時稱為「全氟彈性體」或更適當地稱為「全氟彈性體膠」）為實質上完全氟化，且較佳在其聚合物主鏈上完全全氟化之聚合物。基於本發明，應理解，由於將氫用作官能性交聯基團之部分，一些殘餘氫可在彼等材料之交聯內存在於一些全氟彈性體中。固化材料，諸如全氟彈性體為交聯聚合物結構。
用於本文中之較佳全氟彈性體組成物以藉由在固化時形成固化全氟彈性體之可固化全氟聚合物藉由使一或多種全氟化單體聚合而形成，該等全氟化單體中之一者較佳為具有固化位點之全氟化固化位點單體，如上文所指出，亦即准許固化之官能基。官能基可為或可包括可不經全氟化之反應性基團。兩種或更多種可固化氟聚合物或全氟聚合物，且較佳至少一種視情況存在之固化劑（固化試劑）在本文中可較佳地組合在組成物中，該組成物隨後經固化，從而形成所得交聯固化之氟彈性體組成物，且較佳地，如本文所述之全氟彈性體組成物。
如本文所用，可固化含氟彈性體組成物可為可固化全氟聚合物組成物，其為由兩種或更多種可固化聚合物形成之摻合及組合之組成物，其中之每一者（若經全氟化）藉由聚合兩種或更多種全氟化單體而形成，其包括至少一種具有至少一個官能基（固化位點）以允許固化之全氟化固化位點單體。根據美國標準化測試方法（American Standardized Testing Methods；ASTM）標準化之橡膠定義且如上文在ASTM標準D1418-17中所述，該等可固化全氟聚合物材料通常亦稱為FFKM，該等文獻以相關部分以引入方式併入本文中。
如本文所述，本發明包括可固化含氟彈性體組成物，較佳可固化全氟彈性體組成物及固化全氟彈性體組成物，以及由該等可固化含氟彈性體組成物形成之模製品。
此類全氟彈性體組成物較佳包括至少一種且更佳兩種或更多種可固化全氟聚合物，較佳全氟共聚物，其全氟聚合物中之至少一者具有高含量四氟乙烯（tetrafluoroethylene；TFE）。其他適合之共聚單體可包括其他烯系不飽和氟單體。全氟聚合物中所使用的TFE的程度可針對不同最終特性變化。各聚合物亦可較佳地具有一或多種全氟烷基乙烯基醚（perfluoroalkylvinyl ether；PAVE），其包括可為直鏈狀、直鏈或分支鏈的烷基或烷氧基且亦可包括醚鍵，其中用於本文中之較佳PAVE包括例如全氟甲基乙烯基醚（perfluoromethylvinyl ether；PMVE）、全氟乙基乙烯基醚（perfluoroethylvinyl ether；PEVE）、全氟丙基乙烯基醚（perfluoropropylvinyl ether；PPVE）、全氟甲氧基乙烯基醚及其他類似化合物，其中尤其較佳的PAVE為PMVE、PEVE及PPVE，且最佳為對由固化本文中之可固化組成物形成之所得製品提供極佳機械強度的PMVE。PAVE可單獨使用或以可固化全氟聚合物內之上述PAVE類型之組合使用且用於最終可固化組成物中，只要該用途與如本文所述之本發明一致即可。
較佳全氟聚合物為TFE、至少一種PAVE及至少一種併有固化位點或官能基以允許可固化聚合物交聯之全氟化固化位點單體的共聚物。固化位點單體可為具有本文所指出之較佳固化位點的多種類型。較佳固化位點較佳為具有含氮基團之固化位點，然而，尤其因為可向組成物提供除了第一可固化全氟聚合物及/或第二可固化全氟聚合物以外的額外的可固化氟聚合物或全氟聚合物，因此亦可使用其他固化位點基團，諸如羧基、烷羰基或具有例如碘或溴之鹵化基團以及此項技術中已知之其他固化位點。
本文中之本發明亦提供輻射固化或使用各種固化劑（在本文中亦稱為交聯劑、固化試劑），若使用此項技術中已知之其他固化位點，則亦可使用能夠固化該等替代固化位點之其他固化劑。舉例而言，過氧化物固化系統，諸如基於有機過氧化物之固化系統，以及相關過氧化物共固化劑可與鹵化官能性固化位點基團一起使用。在其他具體實例中，全氟聚合物中之至少一者包括含氮固化位點。
例示性固化位點單體列於以下，且可用於本文所述之可固化氟聚合物或可固化全氟聚合物中以用於可固化組成物中，該等可固化組成物中之大部分在結構上係基於PAVE的，且具有反應性位點。儘管聚合物可變化，但較佳結構為具有以下結構（A）之結構： CF 2=CFO(CF 2CF(CF 3)O) m(CF 2) n-X 1（A） 其中m為0或1至5之整數，n為1至5之整數且X 1為含氮基團，諸如腈或氰基。然而，羧基、烷氧基羰基或鹵化端基亦可用作X 1。
最佳地，任何可固化氟聚合物或可固化全氟聚合物中或第一及第二此類可固化全氟聚合物中之任一者或兩者中的兩種可固化全氟聚合物之摻合物中的固化位點單體係根據上文提及之（A），其中m為0且n為5。本文所指出之固化位點或官能基X 1（例如含氮基團）包括與固化劑反應時用於交聯之反應位點。根據式（A）之化合物可單獨使用或以其各種視情況存在之組合使用。自交聯觀點來看，較佳地，交聯官能基為含氮基團，較佳為腈基。
根據式（A）之固化位點單體之其他實例包括以下式（1）至（17）： CY 2=CY(CF 2) n-X 2（1） 其中Y為H或F，n為1至約8之整數 CF 2=CFCF 2R f 2-X 2（2） 其中R f 2為(-CF 2) n-、-(OCF 2) n-且n為0或1至約5之整數 CF 2=CFCF 2(OCF(CF 3)CF 2) m(OCH 2CF 2CF 2) nOCH 2CF 2-X 2（3） 其中m為0或1至約5之整數且n為0或1至約5之整數 CF 2=CFCF 2(OCH 2CF 2CF 2) m(OCF(CF 3)CF 2) nOCF(CF 2) -X 2（4） 其中m為0或1至約5之整數，且n為0或1至約5之整數 CF 2=CF(OCF 2CF(CF 3)) mO(CF 2) n-X 2（5） 其中m為0或1至約5之整數，且n為1至約8之整數 CF 2=CF(OCF 2CF(CF 3)) m- X 2（6） 其中m為1至約5之整數 CF 2=CFOCF 2(CF(CF 3)OCF 2) nCF(-X 2)CF 3（7） 其中n為1至約4之整數 CF 2=CFO(CF 2) nOCF(CF 3)-X 2（8） 其中n為2至約5之整數 CF 2=CFO(CF 2) n-(C 6H 4)-X 2（9） 其中n為1至約6之整數 CF 2=CF(OCF 2CF(CF 3)) nOCF 2CF(CF 3)-X 2（10） 其中n為1至約2之整數 CH 2=CFCF 2O(CF(CF 3)CF 2O) nCF(CF 3)-X 2（11） 其中n為0或1至約5之整數 CF 2=CFO(CF 2CF(CF 3)O) m(CF 2) n=X 2（12） 其中m為0或1至約4之整數且n為1至約5之整數 CH 2=CFCF 2OCF(CF 3)OCF(CF 3)-X 2（13） CH 2=CFCF 2OCH 2CF 2-X 2（14） CF 2=CFO(CF 2CF(CF 3)O) mCF 2CF(CF 3)-X 2（15） 其中m為大於0之整數 CF 2=CFOCF(CF 3)CF 2O(CF 2) n-X 2（16） 其中n為至少為1之整數 CF 2=CFOCF 2OCF 2CF(CF 3))OCF 2-X 2（17） 其中X 2可為諸如腈基（-CN）、羧基（-COOH）、烷氧羰基（-COOR 5，其中R 5為1至約10個碳原子之烷基，其可氟化或全氟化）、鹵素或烷基化鹵基（I或Br、CH 2I及其類似物）之單體反應位點次單元。當用作固化位點單體時，全氟化化合物在固化位點單體主鏈中位於聚合物主鏈中之彼部分通常不具有氫原子。若全氟彈性體需要由使全氟聚合物固化產生的極佳耐熱性以及當藉由聚合反應合成全氟彈性體時防止由鏈轉移引起的分子量減小，則使用此類固化位點單體。此外，自提供與TFE之極佳聚合反應性之視角來看，具有CF 2=CFO-結構之化合物為較佳的。
出於較佳交聯反應性，適合固化位點單體可包括具有含氮固化位點（諸如腈基或氰基固化位點）之彼等者。然而，亦可使用固化位點（除上文提及之彼等者之外具有多個及不同主鏈）且具有羧基、烷氧基羰基、COOH及此項技術中已知且待開發之其他類似固化位點。固化位點單體可單獨或以不同組合形式使用。
視所需特性而定，可在本文中使用之全氟聚合物包括TFE，TFE之莫耳百分比在全氟聚合物化合物中為約50、約95莫耳%或約40至約80%。此類全氟聚合物亦可併入另一較佳亦全氟化之共聚單體，諸如PAVE，其中許多為此項技術中已知且可用於本文中。多種PAVE可用於供本文中之組成物中使用的可固化聚合物中。在一個具體實例中，固化位點單體亦可為具有一、多個固化位點單體之全氟化固化位點單體，該等單體可為氰基。在一個具體實例中，可存在兩個此類固化位點基團，諸如一個具有一級氰基固化位點基團之固化位點及一個具有二級氰基固化位點基團之固化位點。
適合全氟聚合物可購自大金工業有限公司（Daikin Industries, Ltd.）且描述於美國專利第6,518,366號及第6,878,778號及美國公開專利申請案第2008-0287627號中，其以關於本文中描述之全氟聚合物的相關部分各自併入本文中。用於本文中之較佳具體實例的包括至少兩種固化位點單體之額外市售全氟聚合物為可購自俄羅斯彼得堡之聯邦單一製國有企業S.V.Lebedev合成橡膠研究所（Federal State Unitary Enterprise S.V. Lebedev Institute of Synthetic Rubber of Petersburg）及美國之Lodestar的彼等，如國際公開案第WO 00/29479 A1號之範疇內所描述，以關於此類全氟彈性體之相關部分併入本文中，以及可作為PFK-65、PFK-100、PFK-200、PFK-300及其他類似聚合物購自聯邦單一製國有企業S.V.Lebedev合成橡膠研究所之市售全氟彈性體。適合全氟聚合物亦可作為PFE 300Z、PFE 133TB或PFE8IT購自Dyneon，視所需最終特性而定。
在本文中之一些具體實例中，可使用TFE含量在約40至約80莫耳%範圍內、PAVE含量在約20至約60範圍內且其中固化位點單體中之每一者均可以總計約0.1莫耳%至約10莫耳%之量存在，或每一者以約0.1至約6莫耳%之量存在的可固化全氟聚合物。在另一具體實例中，第一固化位點單體可以約0.2至約2.0莫耳%之量存在且第二固化位點單體以約0.5至約5.0莫耳%之量存在。
在一些具體實例中，兩種或更多種可固化氟聚合物可以摻合物形式使用，其中諸如上文提及之聚合物的聚合物可與本文所用之第二可固化氟聚合物或可固化全氟聚合物一起使用，該第二可固化氟聚合物或可固化全氟聚合物可與上文所提及之聚合物相同或不同，且該第二可固化聚合物可具有但不必具有相同的TFE或PAVE含量。較佳地，可使用第二全氟聚合物或氟聚合物，且該第二全氟聚合物或氟聚合物可為其中併入氟塑膠材料（諸如氟塑膠）的全氟聚合物或氟聚合物。可以多種形式且使用多種技術提供氟塑膠粒子。氟塑膠，諸如PTFE及其共聚物（FEP及PFA型聚合物）、核殼或其他經改質氟聚合物及多種大小之氟塑膠（微米粒子、奈米粒子及其類似物），其中之每一者可藉由機械手段或化學處理及/或聚合單獨或組合併入材料中。可採用已知或待研發之技術，諸如美國專利第4,713,418號及第7,476,711號（其中之每一者關於此類技術以引用之方式併入本文中）中所描述之技術及如美國專利第7,019,083號中所描述之其他技術，該等專利亦關於氟塑膠粒子之使用以引用之方式併入本文中。適合之市售聚合物可購自明尼蘇達州聖保羅（St. Paul, Minnesota）之3M公司（3M Corporation）。
其他全氟聚合物及使用固化位點單體由其形成之所得彈性體之實例（諸如上文所指出之彼等者）亦可見於美國專利第6,518,366號、第6,878,778號及美國公開專利申請案第2008-0287627號以及美國專利第7,019,083號中，其各自以關於本文所述之全氟聚合物及其所得彈性體及形成其之方法的相關部分併入本文中。
可使用任何已知或待研發之聚合技術合成用於本文所主張組成物之全氟聚合物以使用聚合形成含氟彈性體，該等聚合包括例如乳液聚合、乳膠聚合、鏈起始聚合、分批聚合及其他。較佳地，進行聚合以使得反應性固化位點位於聚合物主鏈之任一或兩個末端上，及/或視主聚合物主鏈而定。
可商購未固化（可固化）全氟聚合物，包括在明尼蘇達州聖保羅3M公司之Dyneon TM名稱下出售之全氟聚合物、購自日本大阪（Osaka, Japan）大金工業有限公司之Daiel-Perfluor®及其他類似聚合物。其他較佳材料亦可獲自意大利亞Solvay Solexis、俄羅斯彼得堡之聯邦單一製國有企業S.V.Lebedev合成橡膠研究所、日本Asahi Glass及W.L. Gore。適合全氟聚合物及其摻合物之其他實例可見於例如美國專利第9,018,309號及第9,365,712號中，該等美國專利關於適合全氟聚合物及其摻合物以引用之方式併入本文中。
當未固化全氟聚合物可經由任何方法（包括使用輻射固化）固化時，較佳包括至少一種與各種可固化含氟彈性體一起使用的固化劑（在本文中亦稱為交聯劑、固化劑及/或固化系統）且可選擇與本文所描述之各種固化位點一起使用的本文中之全氟彈性體組成物且應能夠固化（亦即能夠反應及交聯）或另外經受組成物中各種未固化全氟聚合物之固化位點單體之固化位點或官能基進行之固化反應以形成交聯，產生呈模製品形式之彈性體材料。
較佳交聯或固化劑為形成具有
Figure 110145855-A0304-1
唑、噻唑、咪唑或三嗪環之交聯之彼等者。在本發明中，此類化合物以及包括醯胺肟、四胺及胺腙之其他固化劑可用於交聯。
對於含氮固化位點，較佳固化劑為基於雙苯基之固化劑及其衍生物，包括雙胺酚及其鹽及其組合；可使用雙胺硫酚、對苯醌二肟（parabenzoquinone dioxime；PBQD）以及各種此類化合物之鹽。適合固化劑之實例可見於例如美國專利第7,521,510 B2號、第7,247,749 B2號及第7,514,506 B2號中，其中之每一者以關於多種用於含氰基之全氟聚合物之固化劑清單的相關部分併入本文中。另外，全氟聚合物可使用輻射固化技術固化。
具有氰基固化位點之用於固化位點之更佳固化劑為具有芳胺與至少兩個如以下式（I）及式（II）之可交聯基團或其組合的固化劑，其在固化之後形成苯并咪唑交聯結構。此等固化劑為此項技術中已知的且論述於美國專利第6,878,778號及US 6,855,774之相關部分及特定實例中，其全文併入本文中。
Figure 02_image001
Figure 02_image003
其中R 1在根據式（II）之各基團中相同或不同且可為NH 2、NHR 2、OH、SH或單價有機基團或其他有機基團，諸如具有約1至約10個碳原子之烷基、烷氧基、芳基、芳氧基、芳烷基及芳烷氧基，其中該等非芳基型基團可為分支鏈或直鏈及經取代或未經取代的，且R 2可為-NH 2、-OH、-SH或單價或其他有機基團，諸如脂族烴基、苯基及苯甲基，或烷基、烷氧基、芳基、芳氧基、芳烷基及芳烷氧基，其中各基團為約1至約10個碳原子，其中非芳基型基團可為分支鏈或直鏈及經取代或未經取代的。較佳之單價或其他有機基團，諸如烷基及烷氧基（或其全氟化形式）具有1至6個碳原子，且較佳之芳基型基團為苯基及苯甲基。其實例包括-CF 3、-C 2F 5、-CH 2F、-CH 2CF 3或-CH 2C 2F 5、苯基、苯甲基；或其中1至約5個氫原子經氟原子取代之苯基或苯甲基，諸如-C 6F 5、-CH 2C 6F 5，其中基團可進一步經包括-CF 3或其他低碳全氟烷基取代；或其中1至5個氫原子經CF 3取代之苯基或苯甲基，諸如例如C 6H 5-n(CF 3) n、-CH 2C 6H 5-n(CF 3) n（其中n為1至約5）。氫原子可進一步經苯基或苯甲基取代。然而，苯基及CH 3較佳提供優異的耐熱性、良好的交聯反應性及相對容易的合成。
併入有機胺中之具有式（I）或式（II）之結構應包括至少兩個此類式（I）或式（II）之基團，以使得提供至少兩個交聯反應性基團。
本文亦可使用具有以下展示之式（III）、（IV）及（V）之固化劑。
Figure 02_image005
其中R 3較佳為SO、O或CO或有機或伸烷基類型基團，諸如一至六個碳原子之烷基、烷氧基、芳基、芳烷基或芳烷氧基或具有約一個至約10個碳原子之此類基團之全氟化形式，且其為分支鏈或直鏈、飽和或不飽和及分支鏈或直鏈（對於非芳基類型基團）或單鍵。R 4較佳為反應側基，諸如以下列舉之彼等者：
Figure 02_image007
；
Figure 02_image009
其中R f 1為約1至約10個碳原子之全氟烷基或全氟烷氧基，其可為直鏈或分支鏈基團及/或飽和或不飽和及/或經取代或未經取代；且
Figure 02_image011
其中n為約1至約10之整數。
單一固化劑或其組合可視待交聯之固化位點而定，選自本發明之範疇內的本文中之所有固化劑。關於耐熱性，形成交聯劑之
Figure 110145855-A0304-1
唑-、咪唑-、噻唑-及三嗪-環為較佳的，且可包括列於以下且就式（I）、式（II）、式（III）、式（IV）及式（V）以下進一步論述之下式化合物，特定言之，式（II），其中R 1相同或不同且各為-NH 2、-NHR 2、-OH或-SH，其中R 2為單價有機基團，較佳不為氫；式（III），其中R 3為-SO 2-、-O-、-CO-及1個至約6個碳原子之伸烷基，1個至約10個碳原子之全氟伸烷基或單鍵，且R 4如以下所指出；式（IV），其中R f 1為1個至約10個碳原子之全氟伸烷基，及式（V），其中n為1至約10之整數。在此類化合物中，如本文中所指出之式（II）化合物之耐熱性為較佳的，其在交聯之後因芳環之穩定而提高。關於式（II）中之R 1，亦較佳使用-NHR 2作為R 1，因為N-R 2鍵（其中R 2為單價有機基團且不為氫）之抗氧化性高於N-H鍵，
具有如式（II）中之至少兩個基團之化合物為較佳的且其上具有2至3個可交聯反應基，更佳具有2個可交聯基團。
基於上文較佳式之例示性固化劑包括至少兩個官能基，諸如以下結構式（VI）、（VII）或（VIII）：
Figure 02_image013
其中R 5表示飽和或不飽和、分支鏈或直鏈、經取代或未經取代之基團，諸如烷基、烷氧基、芳基、SO、O、CO或相對於碳原子全氟化且較佳為約1至約10個碳原子之類似基團；
Figure 02_image015
其中R 1如本文中其他處所定義且R 6可為O、SO 2、CO或可全氟化之有機基團，諸如具有約1至約10個碳原子之烷基、烷氧基、芳基、芳氧基、芳烷基及芳烷氧基，其中該等非芳基型基團可為分支鏈或直鏈及經取代或未經取代，或為單鍵或伸烷基鍵。
自易於合成之觀點來看，在本文較佳另一具體實例中，最佳交聯劑為具有兩個如由式（II）表示之可交聯反應基之化合物，該等可交聯反應基以下展示於式（VIII）中。
Figure 02_image017
其中R 1如上且R 6為-SO 2、-O-、-CO-、1個至約6個碳原子之伸烷基、1個至約10個碳原子之全氟伸烷基、單鍵或如式（IX）中所示之基團：
Figure 02_image019
其中此式提供更容易之合成。1個至約6個碳原子之伸烷基之較佳實例為亞甲基、伸乙基、伸丙基、伸丁基、伸戊基、伸己基及其類似基團。1個至約10個碳原子之全氟伸烷基之實例為
Figure 02_image021
及其類似基團。此等化合物已知為雙胺基苯基化合物之實例。根據此結構之較佳化合物包括式（X）之化合物：
Figure 02_image023
其中R 7在各情況下相同或不同，且各R 7為氫、具有1至約10個碳原子之烷基；具有1至10個碳原子之部分氟化或全氟化烷基；苯基；苯甲基；或其中1至約5個氫原子已經氟或低碳烷基或全氟烷基（諸如CF 3）更換的苯基或苯甲基。
固化劑之非受限實例包括2,2-雙(2,4-二胺基苯基)六氟丙烷、2,2-雙[3-胺基-4-(N-甲胺基)苯基]六氟丙烷、2,2-雙[3-胺基-4-(N-乙胺基)苯基]六氟丙烷、2,2-雙[3-胺基-4-(N-丙胺基)苯基]六氟丙烷、2,2-雙[3-胺基-4-(N-苯基胺基)苯基]六氟丙烷、2,2-雙[3-胺基-4-(N-全氟苯基胺基)苯基]六氟丙烷、2,2-雙[3-胺基-4(N-苯甲基胺基)苯基]六氟丙烷及類似化合物。在此等中，對於較佳極佳耐熱性特性，較佳為2,2-雙[3-胺基-4(N-甲胺基)苯基]六氟丙烷、2,2-雙[3-胺基-4-(N-乙胺基)苯基]六氟丙烷、2,2-雙[3-胺基-4-(N-丙胺基)苯基]六氟丙烷及2,2-雙[3-胺基-4-(N-苯胺基)苯基]六氟丙烷。對於耐熱性特性還較佳為四胺，諸如4,4'-[2,2,2-三氟-l-(三氟甲基)亞乙基]雙[N1-苯基-1,2-苯二胺]或較佳為2,2-雙[3-胺基-4-(N-苯胺基苯基)]六氟丙烷。
其他適合固化劑包括此項技術中已知或待研發之
Figure 110145855-A0304-1
唑-、咪唑-、噻唑-及三嗪-環形成之固化劑、胺肟及胺腙交聯劑，且尤其雙胺酚、雙胺酚AF及其組合；雙胺硫酚；雙脒；雙胺肟；雙胺腙；單脒；單胺肟及單胺腙，其實例列於例如美國專利第7,247,749號及第7,521,510號中，以相關部分以引用之方式併入本文中，其中包括固化劑及共固化劑以及促進劑。雙胺肟、雙胺腙、雙胺酚、雙胺硫酚或雙二胺酚固化劑在本文中為最佳的，其用於與全氟聚合物中之腈基或氰基、羧基及/或烷氧羰基反應以形成本文一些具體實例中較佳之全氟彈性體，該彈性體具有由本文組成物形成之所得固化製品中呈交聯形式之
Figure 110145855-A0304-1
唑環、噻唑環、咪唑環或三嗪環。
在本文一個具體實例中，可用包括至少兩個具有如式（I）或式（II）之交聯反應基的化學基團的化合物以便提高耐熱性且穩定芳環系統。對於諸如（I）或（II）中具有兩個至三個此類基團之基團，較佳在各組（I）或（II）中具有至少兩個，因為具有更少數目之基團可不提供充分交聯。此類組合為吾人所知且描述於申請人之美國專利第9,018,309 B2號及第9,365,712 B2號中，該等申請案以相關部分併入本文中。
此類組成物較佳為具有約95:5至約5:95、較佳約80:20至約20:80且更佳約40:60至約60:40或約50:50的比率範圍內的第一可固化全氟聚合物及第二可固化全氟聚合物的摻合物。各可固化全氟聚合物中至少一種固化位點單體中之每一者分別較佳以約0.1至約10莫耳%之量存在且個別地存在於任何摻合組成物中所使用之可固化全氟聚合物中之每一者中。
當使用至少一種固化劑時，其可以適於固化可固化全氟聚合物固化位點單體之不同量存在於組成物中，例如以組成物中每100重量份至少一種可固化全氟聚合物之約0.2重量份至約10重量份之總量，且各自可以每100重量份全氟聚合物之約0.1至約6重量份之量存在於組成物中，或較佳以每100重量份全氟聚合物之約0.1至約2重量份之量存在於組成物中。在一個具體實例中，至少兩種固化劑對於第一固化劑以每100重量份全氟聚合物約0.5至約4重量份及對於至少一種第二固化劑以每100重量份全氟聚合物約0.3至約2重量份的量用於第一全氟聚合物中。
摻合物中可固化全氟聚合物之任一者或兩者中至少一種固化位點單體中的至少一個固化位點可為含氮固化位點。第一可固化全氟聚合物中至少一種固化位點單體中之至少一個固化位點可選自由氰基、羧基、羰基、烷氧羰基及其組合組成之群，且最佳為氰基。
至少一種固化劑較佳可為以下適合固化劑中之一者：氟化亞胺醯基脒；雙胺酚；雙脒；雙胺肟；雙胺腙；單脒；單胺肟；單胺腙；雙胺硫酚；雙二胺酚；四胺及芳胺，其具有至少兩個由式（II）表示之可交聯基團：
Figure 02_image025
其中R 1相同或不同且各自為-NH 2、-NHR 2、-OH或-SH；R 2為單價有機基團； 由式（III）表示之化合物：
Figure 02_image026
其中R 3為-SO 2-、-O-、-CO-、具有1至6個碳原子之伸烷基、具有1至10個碳原子之全氟伸烷基或單鍵，且R 4為
Figure 02_image027
； 由式（IV）表示之化合物：
Figure 02_image029
其中R f 1為具有1至10個碳原子之全氟伸烷基；由式（V）表示之化合物：
Figure 02_image031
其中n為1至10之整數；及其組合，其中至少一種固化劑能夠與至少一種第一全氟聚合物中之至少一種固化位點及第二全氟聚合物中之至少一種固化位點反應以交聯組成物中之至少一種全氟聚合物及至少一種第二全氟聚合物。
至少一種固化劑甚至更佳為具有至少兩個由式（II）表示之可交聯基團之芳胺，其中R 1為-NHR 2；氟化亞胺醯基脒；雙胺酚；及其組合。
在一個具體實例中，可固化含氟彈性體組成物包括呈化合物形式之至少一種固化劑，其較佳為上文所指出之彼等化合物範圍內之四胺化合物。此類化合物可單獨或組合形式使用。在本文中用作固化劑之最佳化合物為根據式（II）之化合物，其中R 1為-NHR 2且R 2為芳基。此類化合物亦稱為4,4'-[2,2,2-三氟-l-(三氟甲基)亞乙基]雙[N1-苯基-1,2-苯二胺]（「Nph-AF」）（亦稱為「V6」）。
Figure 02_image033
（XI）
在本文另一具體實例中，可使用的固化劑包括全氟亞胺醯基脒，諸如可見於美國專利第8,362,167號中之彼等者，其以關於以下化合物及類似化合物之相關部分以引用之方式併入本文中。一種亦描述為DPIA-65之較佳化合物展示於下文中。
Figure 02_image035
（XII）， 其他較佳化合物為雙胺酚及其鹽，及該材料與其他固化劑之組合。
在一個具體實例中，組成物可為全氟彈性體組成物且至少一種固化劑可包括使用Nph-AF（或V6）：
Figure 02_image033
（XI）。 此化合物可單獨或與另一種固化劑（諸如與雙胺酚或雙胺酚AF組合及/或與其組合或作為其替代方案）使用，其中至少一種固化劑可進一步包含DPIA-65：
Figure 02_image037
（XII）。
在本文其他較佳具體實例中，式（XII）化合物單獨或與以下組合使用
Figure 02_image017
其中各R 1獨立地為-NH 2、-NHR 2、-OH或-SH；R 2為單價有機基團；以及其中R 6為-SO 2、-O-、-CO-、具有1個至約6個碳原子之伸烷基、具有1個至約10個碳原子之全氟伸烷基、單鍵或式（IX）中所示之基團：
Figure 02_image019
。 此類組合中之第二固化劑較佳為根據式（X）之化合物：
Figure 02_image023
其中R 7獨立地選自氫、具有1個至約10個碳原子之烷基；具有1個至10碳原子之部分氟化或全氟化烷基；苯基；苯甲基；或氟化或部分氟化苯基；氟化或部分氟化苯甲基；或具有低碳數烷基或全氟烷基之一或多個官能基的苯基或烷基。組合中之第二固化劑較佳為雙胺酚及其鹽或其組合。
在另一具體實例中，由式XII表示之固化劑類型與雙胺酚型固化劑或相關化合物之較佳比率較佳可為約0.5:1至約35:1，較佳約1:1至約32:1且最佳約2:1至15:1。
一種用於與本文中上文所提及之碳奈米結構一起使用之可固化全氟彈性體組成物包括可固化全氟聚合物，該可固化全氟聚合物包含四氟乙烯、第一全氟烷基乙烯基醚及具有至少一個固化位點之至少一種第一固化位點單體，或在另一具體實例中具有至少兩個固化位點單體，其中四氟乙烯及第二全氟烷基乙烯基醚以變化量存在於可固化全氟聚合物中。亦可使用至少一種具有至少一個固化位點之第二固化位點單體。亦可使用另一額外的可固化全氟聚合物。
本文所用之碳奈米結構添加劑可在摻合聚合物之前或之後且在併入任何其他填料或添加劑之前或之後併入至聚合物摻合物中，然而，較佳的為當使用摻合聚合物時，在引入添加劑或填料及/或本文中碳奈米結構添加劑之前摻合聚合物。亦較佳的係，在其他填料及添加劑（包括碳奈米結構添加劑）之後且在固化之前引入任何固化劑以避免固化之過早起始。
除與具有腈基及其類似基團之含氟可固化全氟聚合物一起使用的本文所指出之固化劑以外，針對至少一種可固化全氟聚合物及/或針對添加至本文組成物中之其他全氟聚合物使用此項技術中已知之固化劑來固化腈基在本發明之範圍內。較佳的此項技術中已知之其他固化劑之實例包括能夠形成三嗪環之實例。若採用鹵化固化位點，則亦可使用此項技術中為吾人所熟知之過氧化物固化劑及共固化劑。其他適合的固化劑可包括以上列出之固化劑。
可併入可固化氟聚合物及全氟聚合物組成物、摻合物及共聚物中之添加劑，除了固化劑及本文中之碳奈米結構添加劑外，雖然沒有必要，但包括一或多種固化促進劑、共固化劑、輔劑、加工助劑、塑化劑、填料諸如二氧化矽（除非其對導電性具有影響）、如上文所提及之氟聚合物（諸如TFE）、氟化共聚物、核殼改質之氟聚合物以及微粉、集結粒、纖維及奈米粉末形式的類似物、氟石墨（其量不影響所需的最終效果或導電效果）、硫酸鋇，非導電、低導電或介電質碳黑或氟化碳，黏土、滑石、金屬填料（諸如氧化鈦、氧化鋁、氧化釔、氧化矽、氧化鋯）（尤其用於不存在其中金屬材料成問題的環境中之EMI/RFI應用中）、金屬碳化物（碳化矽、碳化鋁）、金屬氮化物（氮化矽、氮化鋁）、其他無機填料（氟化鋁、氟化碳）、著色劑、有機染料及/或顏料，諸如偶氮、異吲哚啉酮、喹吖啶酮、二酮基吡咯并吡咯、蒽醌及其類似物，醯亞胺填料（如聚醯亞胺、聚(醯胺醯亞胺)及聚醚醯亞胺）、酮類塑膠（諸如聚伸芳基酮，如PEEK、PEK及PEKK）、聚芳酯、聚碸、聚醚碸、聚苯硫醚、聚氧苯甲酸及其類似物，其可以此項技術中已知及/或針對不同特性而變化之量使用。本文中所有填料可單獨使用或以兩種或更多種該等填料及添加劑之組合使用。
較佳，在至少一種視情況選用之能夠固化一或多種固化位點單體上之固化位點的固化劑（包括任何固化促進劑、共固化劑、輔劑及其類似物）內的任何添加劑係在其他填料、添加劑及/或碳奈米結構添加劑（例如集結粒）併入氟或全氟聚合物中且在混合或摻合期間在可固化聚合物內形成其網路之後添加。
用於最終應用之組成物及所形成之製品，尤其用於EMI及RFI屏蔽之組成物及所形成之製品，可視需要用碳奈米結構添加劑高度填充。視情況選用之填料，諸如上文提及之彼等物，可以組成物中每100份至少一種可固化聚合物至多約100份或甚至至多300份之總量使用，且可更多或更少，如下文中進一步描述。
在可固化聚合物與碳奈米結構添加劑及/或任何其他視情況選用之添加劑（包括任何視情況選用之固化劑及相關添加劑（若存在））組合之後，使氟彈性體或全氟彈性體組成物中之可固化聚合物固化以形成如本文所描述之固化氟彈性體或全氟彈性體製品。
可固化組成物較佳在視固化方法或固化系統、固化位點及/或所選之固化劑而定傳統地用於形成所要交聯的溫度及時間下經固化。溫度應足以使得固化反應進行直至組成物中之可固化氟聚合物或全氟聚合物實質上固化，較佳至少90%固化或更高。較佳可固化氟聚合物及/或全氟聚合物組成物之較佳固化溫度及時間將視聚合物而定，但可為例如約150℃至約250℃，持續約5至約40分鐘。固化之後，視情況可使用後固化步驟。本文提及之較佳全氟聚合物之適合的後固化溫度及時間之實例例如為約200℃至約360℃，持續約5至約48小時。
在固化時，本文所述之可固化組成物可在使用施加至模具之熱及壓力固化的同時形成為模製品。較佳地，組合之可固化氟聚合物及全氟聚合物形成為預成型體，諸如擠製繩或其他可用形狀，以用於將預成型體包括於具有經塑形以接受該預成型體之凹部的模具中及用於在固化時形成模製品。視情況存在之後固化亦可較佳在空氣或惰性氣體（例如氮氣）下進行。
一起作用或加快氟聚合物或全氟聚合物之固化或者固化及/或加快任何其他視情況選用之可固化聚合物之固化的其他固化劑及固化促進劑亦可包括於本文中。不可固化氟聚合物或全氟聚合物包括缺乏反應固化位點且由一或多種烯系不飽和單體（諸如TFE、HFP及PAVE）形成之彼等者。其他可固化全氟聚合物可為本文所指出之可固化全氟聚合物中之任一者以及具有此項技術中已知適用於與有機過氧化物固化系統交聯之固化位點之彼等者、基於雙胺苯基之固化物及其類似物。可添加此類聚合物以研發替代摻合物且調節本文所指出組成物之特性。
除了在如上文所提及之彈性體基質中使用碳奈米結構以外，可使用適用於形成部件及組件（包括硬密封件，諸如某些密封墊）之各種聚合物基質，該等部件及組件可用於QTC或EFI及/或RFI屏蔽最終應用中之任一者中。然而，更佳的為將本文中之碳奈米結構添加劑併入如上文所指出之彈性體基質內。適用作主要基質組分（諸如在QTC最終應用中，例如用於形成自感測可壓縮密封墊或醫療部件或組件）之聚合物可為多種均聚物、共聚物或摻合物或此類聚合物之摻混物。較佳聚合物為已知適用於與導電填料或添加劑一起使用之聚合物，且可包括熱塑性塑膠。
適合基質聚合物之實例包括聚伸芳基類聚合物（聚醚酮、聚醚醚酮、聚醚酮酮及其類似物）、熱塑性熔融可處理氟聚合物（諸如六氟丙烯-全氟烷基乙烯基醚共聚物及氟化乙烯-丙烯聚合物）、聚氯乙烯、聚偏二氟乙烯、聚四氟乙烯、氯化氟聚合物、矽類聚合物及不可固化氟聚合物及全氟聚合物，聚烯烴諸如聚乙烯、聚丙烯（包括高密度及低密度形式之此類聚烯烴），聚對苯二甲酸伸乙酯、聚矽氧烷、聚胺酯、芳族聚醯胺、聚醯胺、聚醯亞胺、聚醚醯亞胺、聚苯硫醚、聚苯碸、聚醚碸、聚醯胺醯亞胺、聚苯并咪唑、聚碳酸酯、聚丙烯腈-丁二烯-苯乙烯、聚丁二烯-苯乙烯、聚環氧化物及類似物質，以及其摻合物、共聚物、摻混物及其他組合。
在本文中之組成物及各種最終組分及應用中，其中碳奈米結構添加劑併入至上文所描述的聚合物或可固化聚合物中用於形成製品，碳奈米結構可與其他已知QTC或EMI及/或RFI屏蔽添加劑或用於所需最終應用之其他合適添加劑或與如上文所提及之所選基質聚合物組合。在本文之某些具體實例中，此類三維、分支鏈及/或交聯碳奈米結構添加劑可與其他標準導電填料組合，諸如碳之粉末、薄片或纖維填料；鍍金玻璃、其他金屬（諸如鎳、鋁或銅）或聚合物填料之鍍金粒子、塗有鎳之石墨、石墨烯、石墨、碳黑、石墨烯衍生物、標準單壁或多壁碳奈米管、金、銀、鎳、銅以及其組合或混合物。此類額外導電添加劑可以每100重量份基質聚合物約0.25重量份至約100重量份之量存在，其限制條件為任何導電填料不以將不必要地妨礙或以其他方式實質上影響本文中之聚合物及可固化聚合物中碳奈米結構對於其預期最終應用之有益特性的量存在。
現將關於以下非限制性實例描述本發明。 實施例1
在此實施例中，製備調配物用於EMF或RFI屏蔽最終應用中。將根據本發明製得之組成物與併入氟矽酮基質及塗有鎳之石墨填料的用於此等特定最終應用之行業標準進行比較。此類材料作為基礎聚合物廉價且可經高度負載，使得其已用作此最終應用之標準產品。此材料可用作來自Stockwell Elastomerics公司之商業產品Stockwell 80。測試此材料以及形成為O形環之不同樣品以用於在214樣品大小中測試。一些與鋁盤接合。將樣品安裝於經改造用於加熱之小閥中。閥以1次循環/2秒之速率循環。將測試樣品負載至閥中且施加熱量。清潔、經過濾之空氣在循環期間抽吸穿過閥且饋入至粒子計數器中。在整個測試期間收集粒子計數。
在此實施例中使用具有Stockwell 80氟矽酮（FMVQ）及鎳-石墨填料之比較性樣品以及使用氟彈性體（FKM）及全氟彈性體（FFKM）組成物製備之樣品1-7。在全氟彈性體組成物中，來自Lodestar之PFK-300聚合物包括於每100份可固化聚合物具有40份Cabot® CNS集結粒之組成物中，該等集結粒為具有互連管之三維分支鏈碳奈米結構。組成物亦包括每100份可固化聚合物1.6份雙胺酚（BOAP）固化劑及3份Fomblin®油以用於處理。所使用之氟彈性體組成物包括100份Tecnoflon™ FOR 801HS作為可固化聚合物，及50份之同一Cabot碳奈米結構添加劑及9重量份之Electromag™ 170，各自以100重量份之可固化聚合物計。根據表1測試組成物且圖1中示出微粒化結果。 表1
樣品編號 彈性體 類型 溫度
比較樣品 FVMQ 密封墊 200℃
1 FFKM 接合密封件 250℃
2 FFKM 接合密封件 250℃
3 FFKM 接合密封件 250℃
4 FKM 接合密封件 250℃
5 FFKM 密封件 250℃
6 FFKM 密封件 200℃
7 FFKM 密封件 200℃
滲濾後之比較樣品獲得如對於其商業最終用途所預期之良好電阻率，其中如隨時間推移所示，持續釋放計數之粒子。在測試樣品中之每一者中，發生初始表面或滲濾釋放，且接著微粒化隨時間推移快速降低至顯著低水準。與市售標準品相比，本發明樣品在使用中之微粒化水準顯著較低。
使用如上文所指出之氟彈性體FKM及不同量之Cabot碳奈米結構添加劑及不同量之Fomblin®油如下文所示使用表2中之初始組成物形成其他化合物，樣品4在此測試中作為對照，以在20 lbs.負載下展現以ohm-cm計之體積電阻率。如可看出，相比於商業上可接受之目前先進技術樣品，根據本發明之樣品不僅能夠產生實質上較低的微粒化，而且還提供極佳導電性且展示低於0.5 ohm-cm之體積電阻率水準。此資料展示於下表2中。 表2
組分/樣品編號 8 9 10 11 12 4
FOR 801 HS 100 100 100 100 100 100
CNS集結粒 70 70 40 40 55 50
Fomblin M60 0 6 0 6 3 0
Elastomag 170 9 9 9 9 9 9
體積電阻率（ohm-cm） 0.33 0.46 1.72 1.79 0.82 0.88
實施例2
在此實施例中，製備展現符合用於QTC彈性體複合物中之特性的根據本發明之組成物。使用Tecnoflon® VPL X75545氟彈性體，即過氧化物可固化FKM，形成組成物。將實施例1中所用之集結粒形式的相同Cabot碳奈米結構以按100重量份Tecnoflon®基礎聚合物計之不同重量份水準併入。亦包括過氧化物固化系統，其包括Varox® DBPH-50過氧化物固化劑及三烯丙基異氰尿酸酯（triallylisocyanurate；TAIC）DLC共固化劑，作為固化劑添加劑。額外填料包括Austin Black 325（由於其板狀結構而適用於可加工性的非導電碳填料）及可作為Thermax®獲得的來自Cancarb之低水準導熱碳黑N-990。歸因於填料之大小，Thermax®添加劑不妨礙碳奈米結構之網路化及互連結構。
測試樣品13-21之特性且物理特性及調配物展示於下表3中。 表3
組分（phr） 13 14 15 16 17 18 19 20 21
Tecnoflon VPL X 75545（FKM） 100 100 100 100 100 100 100 100 100
N-990黑 5 5 5 5 5 5 5 5 5
Austin黑325 3 3 3 3 3 3 3 3 3
Cabot碳奈米結構 4.8 6 7.2 8.4 9.6 4.8 4 4.25 4.5
TAIC DLC 5 5 5 5 5 5 5 5 5
Varox DBPH-50 2 2 2 2 2 2 2 2 2
物理特性 樣品編號 12 13 14 15 16 17 18 19 20
拉伸強度，psi 2149 2602 2859 2925 2962 1900 1847 1863 1935
伸長率，% 136 110 80 77 63 148 158 143 154
100%下之模數，psi 1847 2538 NA NA NA 1556 1460 1522 1535
50%下之模數，psi 1104 1662 2168 2378 2608 889 843 882 844
比重 1.8 1.8 1.8 1.8 1.8 1.8 1.8 1.8 1.8
A型硬度，pts 75.8 79.4 83.2 85.2 85.4 76.3 76.0 74.6 75.9
M型硬度，pts 79.1 84.0 86.6 88.1 90.5 81.2 78.8 81.8 81.5
壓縮形變% 12 13 14 15 16 17 18 19 20
392℉/200℃下70hr 25%偏轉（平均值） 36.76 41.18 45.59 48.53 51.43 40.00 38.57 38.57 44.29
對每100重量份可固化聚合物具有0-4.8重量份碳奈米結構添加劑之樣品進行的測試在初步篩選中表明，調配物中至少約4.8份碳奈米結構添加劑之水準提供足以量測體積電阻率之量。使用呈O形環及按鈕形式之樣品12-20進行進一步測試，其中碳奈米結構添加劑以每100重量份可固化聚合物4.8至9.6重量份之量存在。使用通面及4點探針測試方法，使用Ketihley 2410量測體積電阻率。
如圖2中可見，對於無負載施加之樣品13-17，發現體積電阻率隨著碳奈米結構添加劑之含量增加而降低。一旦施加負荷，則QTC效應明顯。當施加5%偏轉時，如亦在圖2中所示，具有4.8重量份之添加劑之樣品13的體積電阻率降低4.5倍。對於4個樣品14至17觀測到類似趨勢。
參考樣品18至21及圖3，就QTC效應而言，藉由此調配物在每一百重量份可固化聚合物4.25至4.5重量份碳奈米結構添加劑之含量下達成最佳QTC效應，該等效應將適用於在半導體閥中作為電阻及隨電阻而變之壓縮形變之量度評估密封件侵蝕。對於彼等樣品18至21，此等特性展示於圖3中。樣品18為與樣品13相同之調配物，但與樣品19-21分開地製備及測試。
當測試按鈕時，且參看圖4，測試按鈕樣品22-26，且該等樣品分別由樣品13-17之組成物製成，可見當碳奈米結構添加劑自4.8份增大兩倍至9.6份時，體積電阻率降低。在恆定水準之碳奈米結構添加劑下，體積電阻率最初隨著偏轉自5%增加至10%而降低。當偏轉增加超過10%時，體積電阻率增加。 實施例3
在此實施例中，使用根據本發明之具有碳奈米結構添加劑之化合物調配物製備樣品KF密封件。密封件以ISO標準2861-1尺寸ISO40製得（在本文中稱為「KF-40」密封件）。此等密封件經受導電性測試。
製備下表4中列舉之QTC調配物且加以測試以鑑別製備KF-40複合密封件之較佳複合調配物。如實施例1中使用來自Lodestar之PFK-300形成組成物，其為使用雙胺酚（BOAP）固化劑在此實施例中固化的可固化全氟彈性體聚合物。以上實施例1及2中所用之呈集結粒形式之Cabot碳奈米結構在此實施例中以不同水準併入，其範圍如按每100重量份PFK-300基礎聚合物之重量份計所量測。在所製備之前五個樣品（樣品27、28、29、30及31）中使用之額外填料包括3份/每百份實施例2中所用之Austin黑325 （歸因於其板狀結構而適用於可加工性之非導電碳填料）及5份/每百份可作為Thermax®獲得的來自Cancarb之導熱碳黑N-990，其由於其粒度而可在不阻礙固化聚合物基質內之碳奈米結構之網路化及互連結構的情況下使用。
其餘樣品（樣品32-40）以與樣品27-31相同之方式形成，但並不包括Austin黑325或Thermax® N-990添加劑。實情為，唯一填料為每一百份基礎聚合物PFK-300 4至12份範圍內之量的Cabot碳奈米結構集結粒。 表4
組分（phr） 27 28 29 30 31 32 33 34 35 36 37 38 39 40
PFK-300 100 100 100 100 100 100 100 100 100 100 100 100 100 100
N-990黑 5 5 5 5 5 -- -- -- -- -- -- -- -- --
Austin黑325 3 3 3 3 3 -- -- -- -- -- -- -- -- --
Cabot碳奈米結構 4 6 8 10 12 1 3 5 7 9 8 10 12 14
BOAP 1.2 1.2 1.2 1.2 1.2 1.2 1.2 1.2 1.2 1.2 1.2 1.2 1.2 1.2
樣品32-40藉由最初在容器中分開稱重所需成分來製備。將研磨機及混合器預加熱至80℉。使PFK-300基礎聚合物穿過研磨機以產生薄片。將BOAP（2,2-雙[3-胺基-4-羥苯基]六氟-丙烷，其亦稱為二胺基-雙酚AF）添加至包括Cabot碳奈米結構之容器中且攪拌直至兩種成分充分混合。將BOAP及碳奈米結構之混合物緩慢添加至聚合物膜之薄片之頂部，同時混合器以15 RPM旋轉。接著將所有組分混合2分鐘或直至混合物溫度達到160℉。接著將批料自混合器滴落且在夾壓下在研磨機上片化。將混合物切割且再次在研磨機上摻合1分鐘，且再重複切割及摻合5次。在第5次循環之後，使材料再次片化。在老化12小時之後，再次使薄片通過研磨機2次，且接著移除薄片。由各薄片製得約五個樣品KF-40密封件，用於藉由沖模（click-and-die）程序進行測試，其中用ID/OD沖模切割材料。接著將經模切之材料切割至一定長度且包覆於壓縮模中。
使用經佈置具有圖5中指出之圖示的4點探針來量測電導率/電阻率。壓縮應用於樣品29-31及樣品37-40，自0至30%，如圖6、7及8中所示。圖6展示分別自樣品29-31，具有所有三種填料之每百份8、10及12份在不同水準之碳奈米結構下在導電性行為方面的樣品。電導率上升至約10%偏轉且接著返回趨於平緩。圖7展現僅具有8、10、12及14份/百份之量的碳奈米結構添加劑之樣品，較大導電性跳躍展示於更高度負載之樣品中，但所有樣品在5%與15%壓縮率之間導電性增加，其接著開始趨於平衡。然而，值愈小，電導率變化之影響愈小。圖8展示具有碳黑填料與來自樣品29-31之碳奈米結構的樣品與僅具有來自樣品37-40之碳奈米結構之樣品之間的比較行為。
在所有樣品中，實現了類似的電導率隨偏轉而上升且接著趨於平衡之模式，以表明樣品在抑制下經歷QTC複合效應。
替代地，用於測試之KF-40密封件亦可藉由使用210 O形環橫截面擠出材料製得。
為在QTC智慧型密封件中使用組成物，使用本文中之組成物（諸如以上實施例3之組成物）組態之密封件可連接至例如量測電阻之電路以捕獲壓縮下密封件之導電性變化。此資料可藉由任何適合方法（硬佈線或經由無線通信）來傳達。電阻系統之一個實例展示於圖9中以供與四點探針組態一起使用，其中四個引線連接且電阻經由該系統傳達至電阻量測系統。該系統可進一步使用與密封件上所量測的電阻通信之小型印刷電路板（printed circuit board；PCB）連接，且LED燈可用以指示在安裝中何時達到適當壓縮。
熟習此項技術者應瞭解，在不脫離本發明之較寬廣發明理念之情況下，可對上述具體實例作出改變。因此，應理解，本發明不限於所揭示之特定具體實例，但意欲涵蓋所附申請專利範圍所定義之本發明精神及範圍內之修改。
無
當結合附圖閱讀時，將更佳地理解前文發明內容以及下文較佳具體實例之實施方式。出於說明本發明之目的，在圖式中示出目前較佳之具體實例。然而，應理解本發明並不限於所示精確配置及手段。在該等圖式中：
[圖1]為展示本文實施例1中測試之樣品隨時間推移之微粒化水準的三維圖；
[圖2]為體積電阻率相對於應用於本文實施例2中呈O形環形式之樣品12-16之壓縮百分比的一系列圖形表示；
[圖3]為體積電阻率相對於應用於實施例2之樣品17-20之壓縮百分比的一系列圖形表示；
[圖4]為實施例2之呈按鈕形式之樣品12-20之體積電阻率的一系列圖形表示；
[圖5]為用於量測實施例3中之電阻的電路圖；
[圖6]為以西門子（Siemens）/cm為單位的電導率與施加於實施例3之樣品29-31上的壓縮百分比之間的關係之圖形表示；
[圖7]為實施例3之樣品37-40之電導率與壓縮百分比之間的關係之圖形表示；
[圖8]為來自對於實施例3之樣品29-31及37-40的圖6及7之組合式資料的圖形表示；及
[圖9]為與用於監測根據本發明製得之密封件中之導電性變化的四點探針組態一起使用之電路之實施例的表示。

Claims (54)

  1. 一種用於形成製品之組成物，其包含 至少一種基質聚合物，其選自由以下組成之群：至少一種熱塑性聚合物及至少一種具有至少一個用於交聯之官能基的可固化聚合物；及 三維、分支鏈及/或交聯碳奈米結構添加劑，其以一定量提供，使得在用該組成物形成製品之後，該製品具有導電性且具有約0.5 ohm-cm或更小之體積電阻率水準。
  2. 如請求項1之組成物，其中當形成為製品時，該製品為電磁干擾屏蔽製品及/或射頻干擾屏蔽製品。
  3. 如請求項1之組成物，其中該至少一種基質聚合物為至少一種選自由以下組成之群的可固化聚合物：包含至少一種含矽單體之可固化聚合物、包含至少一種含矽及氟之單體之可固化聚合物、包含至少一種丙烯腈單體及至少一種丁二烯單體之可固化共聚物、包含至少一種烯烴單體之可固化聚合物、包含至少一種氟化單體之可固化聚合物、包含至少一種全氟化單體之可固化聚合物以及其摻合物及共聚物。
  4. 如請求項3之組成物，其中固化後，固化的聚合物組成物包含一或多種選自由以下組成之群的彈性體：矽酮、氟矽酮、氟彈性體、全氟聚醚、全氟彈性體以及由其摻合物及共聚物形成之固化彈性體。
  5. 如請求項3之組成物，其中該至少一種可固化聚合物係選自由以下組成之群：可固化氟化聚合物及可固化全氟化聚合物。
  6. 如請求項5之組成物，其中該至少一種可固化聚合物為至少一種可固化全氟化聚合物。
  7. 如請求項5之組成物，其中該至少一種可固化聚合物為至少一種可固化氟聚合物及至少一種可固化全氟聚合物之摻合物或共聚物。
  8. 如請求項1之組成物，其中該基質聚合物為至少一種具有至少一個用於交聯之官能基的可固化聚合物，且該組成物進一步包含至少一種用於與該至少一個用於交聯之官能基反應的交聯添加劑。
  9. 如請求項8之組成物，其中在固化該可固化聚合物組成物後，所得固化材料用於電磁干擾屏蔽應用或射頻干擾屏蔽應用。
  10. 如請求項1之組成物，其中該碳奈米結構添加劑具有大於或等於約97%之碳含量及約0.135 g/cm 3之容積密度。
  11. 如請求項1之組成物，其進一步包含至少一種不同於該至少一種奈米結構添加劑之填料。
  12. 如請求項1之組成物，其包含每100重量份之該至少一種基質聚合物約0.1重量份至約300重量份之該碳奈米結構添加劑。
  13. 如請求項12之組成物，其包含每100重量份之該至少一種基質聚合物約0.25至約250重量份之該碳奈米結構添加劑。
  14. 如請求項13之組成物，其包含每100重量份之該至少一種基質聚合物約0.5至約250重量份之該碳奈米結構添加劑。
  15. 如請求項14之組成物，其包含每100重量份之該至少一種基質聚合物約0.5至約80重量份之該碳奈米結構添加劑。
  16. 如請求項1之組成物，其中該至少一種基質聚合物係選自由至少一種可固化氟聚合物、至少一種可固化全氟聚醚及至少一種可固化全氟聚合物組成之群，且該組成物包含每100重量份之該至少一種基質聚合物約10至約80重量份之該碳奈米結構添加劑。
  17. 如請求項16之組成物，其中該組成物包含每100重量份之該至少一種基質聚合物約10份至約50重量份之該碳奈米結構添加劑。
  18. 如請求項17之組成物，其中該組成物包含每100重量份之該至少一種基質聚合物約20份至約40重量份之該碳奈米結構添加劑。
  19. 如請求項1之組成物，其中該基質聚合物為選自由以下組成之群的熱塑性聚合物：聚伸芳基類聚合物、熱塑性熔融可處理氟聚合物、聚氯乙烯、聚偏二氟乙烯、聚四氟乙烯、氯化氟聚合物、矽類聚合物及不可固化氟聚合物及全氟聚合物、聚烯烴、聚對苯二甲酸伸乙酯、聚矽氧烷、聚胺酯、芳族聚醯胺、聚醯胺、聚醯亞胺、聚醚醯亞胺、聚苯硫醚、聚苯碸、聚醚碸、聚醯胺醯亞胺、聚苯并咪唑、聚碳酸酯、聚丙烯腈-丁二烯-苯乙烯、聚丁二烯-苯乙烯、聚環氧化物及類似材料，以及其摻合物、共聚物、摻混物及其他組合。
  20. 如請求項1之組成物，其進一步包含一或多種不同於該碳奈米結構添加劑之導電填料，該等導電填料為粉末、薄片或纖維填料，其包含以下中之一或多者：碳；鍍金屬之玻璃；鍍金屬之粒子，其中該等粒子包含金屬或聚合物；塗有鎳之石墨；石墨烯；石墨；碳黑；石墨烯衍生物；單壁碳奈米管；多壁碳奈米管；金；銀；鎳；銅；及其組合或混合物。
  21. 如請求項20之組成物，其中該組成物包含每100重量份之該至少一種基質聚合物約0.25重量份至約100重量份之該一或多種不同於該碳奈米結構添加劑之導電填料。
  22. 一種彈性製品及/或一種熱塑性製品，其由如請求項1之組成物形成。
  23. 如請求項22之製品，其中該製品選自密封墊、密封件、蓋板及組件部分，供用於電磁干擾屏蔽裝置或射頻干擾裝置中。
  24. 一種電磁干擾屏蔽及/或射頻干擾屏蔽組成物，其包含： 至少一種基質聚合物，該至少一種基質聚合物選自熱塑性聚合物及/或具有至少一個用於交聯之官能基的可固化聚合物，該可固化聚合物選自至少一種可固化氟聚合物、至少一種可固化全氟聚醚、至少一種全氟聚合物、至少一種包含矽及氟之可固化聚合物以及其共聚物及摻合物；及 每100重量份之該至少一種基質聚合物約5重量份至約300重量份之碳奈米結構添加劑， 其中當該組成物經固化且形成為製品時，其具有約0.5 ohm-cm或更小之體積電阻率水準，且 其中該碳奈米結構添加劑為三維、分支鏈及交聯的。
  25. 如請求項24之電磁干擾屏蔽及/或射頻干擾屏蔽組成物，其中該至少一種基質聚合物為至少一種可固化全氟聚合物，且其中該組成物包含每100重量份之該至少一種可固化聚合物約10重量份至約80重量份之該碳奈米結構添加劑。
  26. 如請求項24之組成物，其中該至少一種碳奈米結構添加劑具有大於或等於約97%之碳含量及約0.135 g/cm 3之容積密度。
  27. 一種組成物，其包含： 至少一種基質聚合物，其選自熱塑性聚合物及/或具有至少一個用於交聯之官能基的可固化聚合物，及 三維、分支鏈及/或交聯碳奈米結構添加劑，其以一定量提供，使得在由該組成物形成製品之後，該製品展現耗散效應及量子隧道複合效應中之一或多者。
  28. 如請求項27之組成物，其包含每100重量份之該至少一種基質聚合物約1重量份至約30重量份之該碳奈米結構添加劑。
  29. 如請求項28之組成物，其包含每100重量份之該至少一種基質聚合物約1至約15重量份之該碳奈米結構添加劑。
  30. 如請求項27之組成物，其中當製品由該組成物形成時，該製品具有量子隧道效應，且其中該組成物包含每100重量份之該至少一種基質聚合物至少約2重量份之該碳奈米結構添加劑。
  31. 如請求項30之組成物，其中該組成物包含每100重量份之該至少一種基質聚合物至少約3重量份之該碳奈米結構添加劑。
  32. 如請求項31之組成物，其中該組成物包含每100重量份之該至少一種基質聚合物至少約4重量份之該碳奈米結構添加劑。
  33. 如請求項32之組成物，其中該組成物包含每100重量份之該至少一種基質聚合物約4重量份至約20重量份之該碳奈米結構添加劑。
  34. 如請求項33之組成物，其中該組成物包含每100重量份之該至少一種基質聚合物約4至約15重量份之該碳奈米結構添加劑。
  35. 如請求項27之組成物，其中該基質聚合物為選自由以下組成之群的熱塑性聚合物：聚伸芳基類聚合物、熱塑性熔融可處理氟聚合物、聚氯乙烯、聚偏二氟乙烯、聚四氟乙烯、氯化氟聚合物、矽類聚合物及不可固化氟聚合物及全氟聚合物、聚烯烴、聚對苯二甲酸伸乙酯、聚矽氧烷、聚胺酯、芳族聚醯胺、聚醯胺、聚醯亞胺、聚醚醯亞胺、聚苯硫醚、聚苯碸、聚醚碸、聚醯胺醯亞胺、聚苯并咪唑、聚碳酸酯、聚丙烯腈-丁二烯-苯乙烯、聚丁二烯-苯乙烯、聚環氧化物及類似材料，以及其摻合物、共聚物、摻混物及其他組合。
  36. 如請求項27之組成物，其進一步包含至少一種不同於該碳奈米結構添加劑之導電填料，該導電填料選自由粉末、薄片及纖維填料組成之群，其包含以下中之一或多者：碳、鍍金屬之玻璃、鍍金屬之粒子，其中該粒子包含金屬或聚合物，塗有鎳之石墨、石墨烯、石墨、碳黑、石墨烯衍生物、單壁碳奈米管、多壁碳奈米管、金、銀、鎳、銅及其組合或混合物。
  37. 如請求項36之組成物，其中該組成物包含每100重量份之該至少一種基質聚合物約0.25重量份至約100重量份之該一或多種不同於該碳奈米結構添加劑之導電填料。
  38. 一種由如請求項27之組成物形成之製品。
  39. 如請求項38之製品，其中該製品為彈性量子隧道複合物，且選自由密封件、密封墊或密封總成中之其他組件組成之群。
  40. 如請求項38之製品，其中當該製品未經受壓縮應力時，其為絕緣體，且當經受壓縮應力時具有導電性。
  41. 如請求項38之製品，其中該製品為彈性量子隧道複合物及自感測製品，且其中當該製品與電路電連通且施加電壓時，量測該製品在該製品處於使用且經受壓縮應力時之導電性的變化且導電性之該變化用於即時測定及評估該製品之效能。
  42. 一種製造製品之方法，其包含 提供一種組成物，該組成物包含至少一種基質聚合物，該基質聚合物選自熱塑性聚合物及/或具有至少一個用於交聯之官能基的可固化聚合物，且該組成物包含至少一種三維、分支鏈及/或交聯的碳奈米結構添加劑，其中該至少一種碳奈米結構添加劑之存在量為每100重量份之該至少一種基質聚合物約0.1重量份至約300重量份；及 藉由熱成型該組成物或藉由固化及熱成型該組成物來由該組成物形成製品，其中該製品可用於電磁屏蔽裝置及射頻屏蔽裝置中之至少一者。
  43. 如請求項42之方法，其中該製品之體積電阻率為約0.5 ohm-cm或更小。
  44. 如請求項42之方法，其中該至少一種基質聚合物為可固化聚合物且該組成物進一步包含至少一種用於與該至少一個用於交聯之官能基反應的交聯添加劑。
  45. 如請求項42之方法，其中該製品選自電磁干擾屏蔽裝置及/或射頻干擾屏蔽裝置之密封件、密封墊、蓋板或組件部分。
  46. 一種製造製品之方法，其包含 提供一種組成物，該組成物包含至少一種基質聚合物，該基質聚合物選自熱塑性聚合物及/或具有至少一個用於交聯之官能基的可固化聚合物，且該組成物包含至少一種三維、分支鏈及交聯的碳奈米結構添加劑，其中該至少一種碳奈米結構添加劑之存在量為每100重量份之該至少一種基質聚合物約至少約1重量份至約30重量份；及 藉由熱成型該組成物或藉由固化及熱成型該組成物來由該組成物形成製品，其中該製品展現耗散效應或量子隧道效應中之至少一者。
  47. 如請求項46之方法，其中該製品為密封件、密封墊或密封總成中之其他組件。
  48. 如請求項46之方法，其中該基質聚合物為可固化聚合物且該組成物包含至少一種用於與該至少一個用於交聯之官能基反應的交聯添加劑。
  49. 如請求項46之方法，其中該可固化聚合物選自由以下組成之群：可固化氟聚合物、可固化全氟聚醚及可固化全氟聚合物以及其摻合物及共聚物。
  50. 如請求項46之方法，其中該製品為彈性量子隧道複合物。
  51. 如請求項46之方法，其中當該製品未經受壓縮應力時，其為絕緣體，且當經受壓縮應力時具有導電性。
  52. 如請求項46之方法，其中當該製品在未經受壓縮應力時具有導電性且具有不同於在該製品經受壓縮應力時導電性水準之導電性水準。
  53. 如請求項52之方法，其中該製品在經受壓縮應力時之該導電性水準高於該製品在未經受壓縮應力時之該導電性水準。
  54. 如請求項46之方法，其中該製品為彈性量子隧道複合物及自感測製品，且其中當該製品與電路電連通且施加電壓時，量測該製品在該製品處於使用且經受壓縮應力時之導電性的變化且導電性之該變化用於即時測定及評估該製品之效能。
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