TW202234192A - 氣壓致動器之控制方法及控制運算裝置 - Google Patents

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Abstract

[課題]本發明提供一種能夠進行更穩定的定位控制之技術。 [解決手段]控制運算裝置對賦予到2個伺服放大器之各位置指示值進行補償因缸體室內的受壓板的位置變化引起的各壓力室的體積變化量的運算之後，將分別被補償的位置指示值輸出到2個伺服放大器，為了補償體積變化量，執行針對滑塊的位置的原點定位。

Description

氣壓致動器之控制方法及控制運算裝置
本發明有關一種氣壓致動器之控制方法及控制運算裝置。 本申請主張基於2020年12月7日申請的日本專利申請第2020-202876號的優先權。該日本申請的全部內容藉由參閱援用於本說明書中。
已知一種氣壓致動器，其包括導引軸和能夠沿著導引軸移動之滑塊，在導引軸與滑塊之間形成缸體室，並且在導引軸及滑塊中的一者設置將缸體室在移動方向上區隔成2個壓力室之受壓板，藉由經由伺服閥使壓縮氣體分別可進出區隔成2個之壓力室來以2個壓力室的壓差驅動滑塊。以往，提出了一種氣壓致動器，其能夠補償由滑塊的位置引起的動態特性變化，並能夠在衝程內穩定地控制滑塊。 [先前技術文獻]
[專利文獻1]日本特開2002-295404號公報
[發明所欲解決之問題]
本發明係在該情形下開發完成者，其一種樣態的示例性目的之一為提供一種能夠進行更穩定的定位控制之技術。 [解決問題之技術手段]
為了解決上述課題，本發明的一種樣態的氣壓致動器之控制方法中，該氣壓致動器包括導引部和能夠沿著導引部移動之滑塊，在導引部與滑塊之間形成缸體室，並且在導引部及滑塊中的一者設置將缸體室在移動方向上區隔成2個壓力室之受壓板，藉由經由伺服閥使壓縮氣體分別可進出區隔成2個之壓力室來以2個壓力室的壓差驅動滑塊，並且該氣壓致動器具備：位置感測器，用以檢測滑塊的位置；2個伺服放大器，分別用以控制2個伺服閥；及控制運算裝置，接收來自位置感測器的位置檢測訊號並將位置指示值輸出到2個伺服放大器，該氣壓致動器之控制方法中，控制運算裝置對賦予到2個伺服放大器之各位置指示值進行補償因缸體室內的受壓板的位置變化引起的各壓力室的體積變化量的運算之後，將分別被補償的位置指示值輸出到2個伺服放大器，控制運算裝置執行針對滑塊的位置的原點定位，以補償體積變化量。
本發明的另一種樣態為氣壓致動器之控制方法。該方法中，該氣壓致動器包括導引部和能夠沿著導引部移動之滑塊，在導引部與滑塊之間形成缸體室，並且在導引部及滑塊中的一者設置將缸體室在移動方向上區隔成2個壓力室之受壓板，藉由經由伺服閥使壓縮氣體分別可進出區隔成2個之壓力室來以2個壓力室的壓差驅動滑塊，並且該氣壓致動器具備：位置感測器，用以檢測滑塊的位置；2個伺服放大器，分別用以控制2個伺服閥；及控制運算裝置，接收來自位置感測器的位置檢測訊號並將位置指示值輸出到2個伺服放大器，該氣壓致動器之控制方法中，控制運算裝置在針對滑塊的位置的原點定位完成前後切換依據來自位置感測器的位置檢測訊號來計算賦予到2個伺服放大器之各位置指示值時的增益。
本發明的又一種樣態為控制運算裝置。該裝置接收來自位置感測器的位置檢測訊號並將位置指示值輸出到氣壓致動器的2個伺服放大器，該氣壓致動器包括導引部和能夠沿著導引部移動之滑塊，在導引部與滑塊之間形成缸體室，並且在導引部及滑塊中的一者設置將缸體室在移動方向上區隔成2個壓力室之受壓板，藉由經由伺服閥使壓縮氣體分別可進出區隔成2個之壓力室來以2個壓力室的壓差驅動滑塊，並且該氣壓致動器具備：位置感測器，用以檢測滑塊的位置；及2個伺服放大器，分別用以控制2個伺服閥，該控制運算裝置中，對賦予到2個伺服放大器之各位置指示值進行補償因缸體室內的受壓板的位置變化引起的各壓力室的體積變化量的運算之後，將分別被補償的位置指示值輸出到2個伺服放大器，執行針對滑塊的位置的原點定位，以補償體積變化量。
本發明的又一種樣態為控制運算裝置。該裝置接收來自位置感測器的位置檢測訊號並將位置指示值輸出到氣壓致動器的2個伺服放大器，該氣壓致動器包括導引部和能夠沿著導引部移動之滑塊，在導引部與滑塊之間形成缸體室，並且在導引部及滑塊中的一者設置將缸體室在移動方向上區隔成2個壓力室之受壓板，藉由經由伺服閥使壓縮氣體分別可進出區隔成2個之壓力室來以2個壓力室的壓差驅動滑塊，並且該氣壓致動器具備：位置感測器，用以檢測滑塊的位置；及2個伺服放大器，分別用以控制2個伺服閥，該控制運算裝置中，在針對滑塊的位置的原點定位完成前後切換依據來自位置感測器的位置檢測訊號來計算賦予到2個伺服放大器之各位置指示值時的增益。
另外，上述構成要件的任意組合或將本發明的構成要件或表述在方法、裝置、系統等之間相互置換而得者亦作為本發明的樣態而有效。 [發明之效果]
依據本發明的一種樣態，能夠進行更穩定的定位控制。
以下，對各圖式中所示之相同或等同的構成要件、構件標註同一個符號，並且適當地省略重複說明。又，關於各圖式中的構件的尺寸，為了便於理解，適當地放大、縮小而示出。又，在各圖式中省略在說明實施形態的方面上無關緊要的一部分構件而表示。
圖1係實施形態之氣壓致動器1的剖面圖。氣壓致動器1包括：導引軸14，由支撐體固定兩端部並沿著單軸方向延伸；及滑塊13，能夠沿著導引軸14移動。滑塊13為如能夠圍繞導引軸14的周圍之筒狀體。在導引軸14與滑塊13之間形成缸體空間16。在該例子中，導引軸14的中央部形成得較細，藉此在滑塊13與導引軸14之間形成缸體空間16。
在滑塊13的內壁固定受壓板(隔壁)17。受壓板17能夠與滑塊13一起沿著導引軸14移動。另外，受壓板17可以固定於導引軸14。缸體空間16由受壓板17在軸向上區隔成壓力室16A和壓力室16B。
滑塊13和導引軸14形成靜壓氣體軸承。具體而言，從設置於滑塊13的內側或導引軸14的外側之空氣墊噴射壓縮氣體(例如空氣)，藉此滑塊13從導引軸14浮起，從而滑塊13能夠相對於導引軸14以非接觸的方式移動。因此，沒有移動時的滑動阻力。
位置感測器15檢測與滑塊13的位置有關的訊息並藉由電訊號輸出與該位置有關的訊息。來自位置感測器15的位置檢測訊號被輸入到控制運算裝置20。
在控制運算裝置20中依據所輸入之位置訊息來進行控制運算，並將位置指示訊號輸出到伺服放大器21A、21B。此時，關於對伺服放大器21A、21B的指示值，使用絕對值相同且翻轉符號而得之值。
伺服放大器21A、21B依據該指示值來分別控制伺服閥22A、22B的閥柱位置。
向伺服閥22A、22B供給通過未圖示的調節器調節至適當的壓力之壓縮氣體(例如空氣)，通過之流量依據伺服閥22A、22B內的閥柱位置而發生變動。通過了伺服閥22A、22B之氣體被供給到設置於滑塊13內之2個壓力室16A、16B。其結果，在壓力室16A、16B中產生壓差，該壓差作用於安裝於滑塊13的內壁之受壓板17，使滑塊13移動。
這樣的氣壓致動器能夠以緊湊的結構控制較大的輸出，因此期待作為2點之間的定位用致動器的應用。但是，在進行連續定位之情形下，這樣的氣壓致動器因由受壓板的位置引起的動態特性變化等非線性特性而難以進行穩定的控制，從而相對於滑塊的機械衝程難以採取較長的有效衝程。這是因為，若在缸體室內受壓板的位置改變則壓力室的壓力亦會改變，這會對穩定控制造成影響。
因此，在使用2個伺服閥22A、22B藉由氣壓驅動滑塊13的氣壓致動器1中，對補償由滑塊13的位置引起的動態特性變化，在衝程內穩定地控制滑塊13的方法進行說明。
以下所示之主要符號為壓力P、體積V、溫度θ、氣體常數R、受壓板17的受壓面積A，添加1表示壓力室16A側之狀態量，添加2表示壓力室16B側之狀態量。又，在以下所示之各種式中，在符號上加1個・(點)者表示1階時間導數，例如將在符號x上加1個點者稱為x點，在符號上加2個・(點)者表示2階時間導數，例如將在符號x上加2個點者稱為x雙點。另一方面，在符號上加-(頂線)者表示壓力室16A、16B為平衡狀態時之狀態量，例如將在符號P上加頂線者稱為P頂線。
如上所述，本實施形態的氣壓致動器1為使用2個伺服閥22A、22B、2個伺服放大器21A、21B、控制運算裝置20來控制供給至壓力室16A、16B的壓縮氣體流量，並且藉由壓力室16A、16B之間的壓差來驅動滑塊13的致動器。
在將壓力室內的氣體之狀態變化假設為絕熱變化(絕熱系數k)之情形下，狀態變化由下式(1)表示。
Figure 02_image001
其中，G 1表示從伺服閥22A供給之氣體的質量流量。
式(1)之狀態方程為非線性，因此若壓力室的體積改變，則特性亦會改變。
若以在受壓板17位於滑塊13的中央附近之狀態下滑塊13停止之狀態(壓力P頂線、體積V頂線、溫度θ頂線)為基準狀態進行線性化，則成為下式(2)。
Figure 02_image003
此時，溫度變化設為非常小，從而設為θ 1=θ頂線。式(2)中，以滑塊中央為基準狀態，將體積設為V頂線=恆定，因此沒有特性變化。
將式(1)的輸入G 1設為G 1´而製成下式(3)，考慮如下式(4)的輸入。
Figure 02_image005
Figure 02_image007
若將式(4)代入式(3)，則式(1)的非線性方程等於式(2)的線性方程。
將伺服閥22A的通過流量式進行線性化而得之式(將伺服閥22A設為進氣之狀態，將伺服閥22B設為排氣之狀態)由下式(5)表示。
Figure 02_image009
其中，K f、δ為由伺服閥的形狀、供給壓力確定之系數，K se為伺服閥開度與對伺服放大器的指示的增益，u 1為對伺服放大器21A的位置指示值。
若在式(5)中將新的對伺服放大器21A的輸入設為u 1´而從式(4)、式(5)製成下式(6)，
Figure 02_image011
則能夠將式(4)的補償(質量流量的式)轉換為對伺服放大器21A的指示值之式。該式中，將從控制運算裝置20對伺服放大器21A的指示作為輸入輸出，因此由控制運算裝置20進行式(6)的運算，將新的輸入u 1´輸出到伺服放大器21A。
對於壓力室16B，假設成伺服閥22B為排氣側，因此伺服閥22B的通過流量式由下式(7)表示。
Figure 02_image013
若對於壓力室16B側亦以相同的方式導出與式(6)對應之式，則成為下式(8)。
Figure 02_image015
藉由在由控制運算裝置20進行之控制運算中加入如式(6)、式(8)的補償，消除由滑塊13的位置、亦即受壓板17在滑塊13內的位置變化引起的動態特性變化，無論受壓板17在滑塊13內的位置如何，動態特性都與位於滑塊13的中央時的特性一致。
以下，依次對控制運算裝置20的作用進行說明。
(1)藉由位置感測器15檢測滑塊13的位置，獲得表示位置訊息之電訊號。來自位置感測器15的位置檢測訊號被輸入到控制運算裝置20。在控制運算裝置20中進行如下運算(2)~(6)。
(2)將從位置感測器15輸入之滑塊位置x進行微分來計算速度x點，進一步進行微分來計算加速度x雙點。
(3)由滑塊目標位置X ref和滑塊位置x、速度x點、加速度x雙點，依據下式(9)來計算位置指示值u。
Figure 02_image017
其中，K p、K v、K a分別為適當地設計之比例增益、速度增益、加速度增益。
(4)以下述方式計算對伺服放大器21A、21B的位置指示值u 1、u 2。 u 1=u u 2=-u
(5)使用式(6)如下式(10)那樣計算對伺服放大器21A的新的位置指示值u 1´。
Figure 02_image019
在此，將式(6)的壓力P1設為滑塊停止時的平衡壓力P頂線(預先測量)，將溫度θ 1設為平衡溫度θ頂線=大氣溫度θ a。又，使用式(8)如下述式(11)那樣計算對伺服放大器21B的位置指示值u 2´。
Figure 02_image021
在此，將式(8)的壓力P 2設為滑塊停止時的平衡壓力P頂線，將溫度θ 2設為平衡溫度θ頂線=大氣溫度θ a。
另外，式(10)、式(11)中，將伺服閥22A設為供給側，將伺服閥22B設為排氣側。
在供給側與排氣側顛倒之情形下，使用下式(12)、式(13)。
Figure 02_image023
Figure 02_image025
另外，關於V 1、V 2，由於滑塊13內的截面積在軸向上係恆定的，並且係已知的，因此能夠藉由清楚滑塊13的位置來計算。
(6)將位置指示值u 1´輸出到伺服放大器21A，將位置指示值u 2´輸出到伺服放大器21B。
(7)伺服放大器21A、21B依據位置指示值來分別控制伺服閥22A、22B的閥柱位置。向伺服閥22A、22B供給調節至適當的壓力之氣體，通過之壓縮氣體流量依據伺服閥22A、22B的閥柱位置而發生變動。
(8)通過了伺服閥22A、22B之氣體被供給到滑塊13內的2個壓力室16A、16B。又，壓力室16A、16B的壓差作用於滑塊13而驅動滑塊13。
(9)重複進行(1)至(8)來將滑塊13的位置控制在目標位置X ref。
由以上說明明確可知，在本實施形態中，在藉由2個伺服閥控制供給至2個壓力室的壓縮氣體流量來進行滑塊的位置控制的複動型氣壓致動器中，為了將有效衝程採取得較長並進行穩定的定位控制，進行了在控制方式中施加了由滑塊位置變化引起的動態特性變化的補償之定位控制。更具體而言，在本實施形態中，藉由進行補償因滑塊13以及受壓板17的位置變化引起的各壓力室的壓力變化量及體積變化量的運算來執行由滑塊13以及受壓板17的位置變化引起的動態特性變化的補償(動態特性變化的非線形性補償)。
接著，在上述式(6)、式(8)中，將氣體之狀態變化作為絕熱變化導出，但是即使將絕熱系數k置換為多方指數n而導出，亦可獲得相同的式，因此上述技術思想亦能夠應用於其他狀態變化(等溫變化等)之情形。以下，對該情形進行說明。
若將氣體之狀態變化假設為多方狀態變化，則壓力室之狀態方程由下式(14)表示，
Figure 02_image027
線性化模型之狀態方程由下式(15)表示。
Figure 02_image029
其中，n為多方指數。
因由對式(15)的線性化模型式確定之伺服閥流量引起的壓力變化，容積V、壓力P、溫度θ改變並在與線性化模型之間產生差異。為了使由線性化模型確定之流量值與基於式(14)的非線性模型式的壓力響應相同，可以設為下式(16)、式(17)。
Figure 02_image031
Figure 02_image033
在此，僅補償由容積變化產生的影響。若忽視壓力、溫度變化，則為P 1=P 2=P頂線、θ 1=θ 2=θ a，因此成為下式(18)、式(19)。
Figure 02_image035
Figure 02_image037
在此，G 1、G 2分別由下式(20)、式(21)表示。
Figure 02_image039
Figure 02_image041
其中，S e1、S e2分別為通過伺服閥22A、22B之流路的有效截面積，若由有效截面積表示，則為下式(22)、式(23)，
Figure 02_image043
Figure 02_image045
而且，若依據下式由位置指示值(電壓)表示，則成為下式(24)、式(25)。 S e1=K seu1S e2=K seu2
Figure 02_image047
Figure 02_image049
在基於上述控制運算裝置20的運算(5)中，可以使用式(24)、式(25)來代替式(10)、式(11)。
如此，氣體之狀態變化與絕熱變化之情形同樣地，能夠進行施加了由滑塊位置變化引起的動態特性變化的補償之定位控制。
但是，為了補償因滑塊13以及受壓板17的位置變化引起的動態特性變化的體積變化量，需要計算補償了體積變化量的位置指示值。在該計算中，由式(10)~式(14)、式(24)、式(25)明確可知，需要壓力室16A、16B的體積V 1、V 2。如上所述，滑塊13內的截面積在軸向上係恆定的，並且係已知的，因此體積V 1、V 2能夠藉由清楚滑塊13的位置來計算。滑塊13的位置能夠藉由位置感測器15來檢測。
為了藉由來自位置感測器15的位置檢測訊號確定滑塊13的位置，需要在控制運算裝置20的電源接通之後進行「原點定位」。原點定位為控制運算裝置20將用戶所確定之原點O識別為原點之處理。因此，為了補償因受壓板17的位置變化引起的動態特性變化的體積變化量，需要在電源接通之後進行原點定位。
首先，對位置感測器15為絕對式位置感測器之情形進行說明。此時的原點定位為控制運算裝置20將存儲於既定的存儲器的原點訊息讀出到主記憶體之處理。原點訊息為與原點O對應之位置訊息，並且為在滑塊13位於原點O時由絕對式位置感測器15輸出之位置檢測訊號所表示的位置訊息。關於原點訊息，可以在設置絕對式位置感測器15時確定，並預先存儲於存儲器中。
接著，對位置感測器15為增量式位置感測器之情形進行說明。此時的原點定位例如可以為在滑塊13位於原點O時將基於感測器的計數數進行初始化之處理，亦可以為確定滑塊13位於原點O時的計數數之處理。
具體而言，例如，將一方側(例如，圖1中的右側)的活動端作為原點O，控制運算裝置20作為原點定位，可以使滑塊13朝向該一方側的活動端移動，在滑塊13到達該一方側的活動端時將計數數進行初始化。
又，例如，將自一方側的活動端規定距離的位置作為原點O，控制運算裝置20作為原點定位，可以使滑塊13朝向該一方側的活動端移動，到達該一方側的活動端之後朝向另一方側的活動端移動，在滑塊13從該一方側的活動端到達該規定距離的位置時將計數數進行初始化。
又，例如還可以具備配置成在滑塊13位於原點O時檢測滑塊13的滑塊檢測感測器(未圖示)，控制運算裝置20作為原點定位，使滑塊13移動，在滑塊檢測感測器檢測出滑塊13時將計數數進行初始化。此時，例如，作為原點定位之預處理，使滑塊13移動到一方側的活動端，在原點定位中，可以從該一方側的活動端移動到另一方側的活動端。
在為了原點定位而使滑塊13移動時，滑塊13的位置尚不清楚，因此體積V 1、V 2亦不清楚，因此無法進行施加了動態特性變化的補償之定位控制。因此，控制運算裝置20在原點定位中不執行上述運算(5)，在運算(6)中代替位置指示值u 1´而將位置指示值u 1(=u)輸出到伺服放大器21A，代替位置指示值u 2´而將位置指示值u 2(=-u)輸出到伺服放大器21B。亦即，在原點定位中不進行施加了動態特性變化的補償之定位控制。
在此，在計算位置指示值u的式(9)中，比例增益K p、速度增益K v、加速度增益K a為以進行施加了由滑塊位置變化引起的動態特性變化的補償之定位控制為前提設計之增益。如上所述，在未施加動態特性變化的補償的原點定位中，若使用以施加動態特性變化的補償為前提設計之增益，則滑塊13有可能進行振蕩等意外的動作。因此，更佳為，直至原點定位完成為止，在式(9)中，可以代替比例增益K p、速度增益K v、加速度增益K a而使用比例增益K p0(＜K p)、速度增益K v0(＜K v)、加速度增益K a0(＜K a)。例如，比例增益K p0、速度增益K v0、加速度增益K a0可以分別依據例如用戶的見解來確定，例如可以為比例增益K p、速度增益K v、加速度增益K a的1/2倍，亦可以為1/5倍，還可以為1/10倍，還可以為1/100倍。此時，能夠在原點定位中減少滑塊13進行意外的動作的可能性。
原點定位完成之後，進行施加了動態特性變化的補償之定位控制。又，此時，在計算位置指示值u的式(9)中使用比例增益K p、速度增益K v、加速度增益K a。亦即，將增益從原點定位用增益切換到以進行施加了動態特性變化的補償之定位控制為前提設計之增益。
另外，在從未施加補償之狀態切換到施加了補償之狀態時，為了避免萬一滑塊13進行振蕩等意外的動作，可以使滑塊13移動到壓力室16A、16B的體積V 1、V 2相等的中性點N之後，執行該切換。關於中性點N，若預先確定自原點O的距離，則能夠依據原點O來確定。當然，亦可以以中性點N成為原點的方式設定原點O。
依據以上說明的本實施形態，執行針對滑塊的位置的原點定位，因此能夠計算滑塊13的位置以及各壓力室16A、16B的體積V 1、V 2，從而能夠計算補償了由滑塊13的位置引起的動態特性變化的體積變化量的位置指示值。
又，依據本實施形態，在原點定位完成前後，計算位置指示值時的增益在原點定位用增益與以進行施加了由滑塊位置變化引起的動態特性變化的補償之定位控制為前提設計之增益之間切換。藉此，在原點定位中，能夠藉由降低增益來減少滑塊13進行意外的動作的可能性，在施加了動態特性變化的補償之定位控制中，能夠藉由提高增益來提高控制性。
以上，依據實施形態對本發明進行了說明。該實施形態為示例，本領域技術人員應理解：能夠對這些各構成要件、各處理製程的組合進行各種變形，並且這種變形例亦在本發明的範圍內。
13:滑塊 14:導引軸 16:缸體空間 16A:壓力室 16B:壓力室 17:受壓板 22A,22B:伺服閥 15:位置感測器 21A,21B:伺服放大器 20:控制運算裝置
[圖1]係實施形態之氣壓致動器的剖面圖。
1:氣壓致動器
13:滑塊
14:導引軸
15:位置感測器
16:缸體空間
16A:壓力室
16B:壓力室
17:受壓板
20:控制運算裝置
21A,21B:伺服放大器
22A,22B:伺服閥

Claims (6)

  1. 一種氣壓致動器之控制方法，前述氣壓致動器包括導引部和能夠沿著前述導引部移動之滑塊，在前述導引部與前述滑塊之間形成缸體室，並且在前述導引部及前述滑塊中的一者設置將前述缸體室在移動方向上區隔成2個壓力室之受壓板，藉由經由伺服閥使壓縮氣體分別可進出區隔成2個之壓力室來以前述2個壓力室的壓差驅動前述滑塊，並且前述氣壓致動器具備：位置感測器，用以檢測前述滑塊的位置；2個伺服放大器，分別用以控制前述2個伺服閥；及控制運算裝置，接收來自前述位置感測器的位置檢測訊號並將位置指示值輸出到前述2個伺服放大器，前述氣壓致動器之控制方法的特徵為， 前述控制運算裝置對賦予到前述2個伺服放大器之各位置指示值進行補償因前述缸體室內的前述受壓板的位置變化引起的各壓力室的體積變化量的運算之後，將分別被補償的位置指示值輸出到前述2個伺服放大器， 前述控制運算裝置執行針對前述滑塊的位置的原點定位，以補償體積變化量。
  2. 如請求項1所述之氣壓致動器之控制方法，其中 前述控制運算裝置在前述原點定位完成前後切換依據來自前述位置感測器的位置檢測訊號來計算賦予到前述2個伺服放大器之各位置指示值時的增益。
  3. 一種氣壓致動器之控制方法，前述氣壓致動器包括導引部和能夠沿著前述導引部移動之滑塊，在前述導引部與前述滑塊之間形成缸體室，並且在前述導引部及前述滑塊中的一者設置將前述缸體室在移動方向上區隔成2個壓力室之受壓板，藉由經由伺服閥使壓縮氣體分別可進出區隔成2個之壓力室來以前述2個壓力室的壓差驅動前述滑塊，並且前述氣壓致動器具備：位置感測器，用以檢測前述滑塊的位置；2個伺服放大器，分別用以控制前述2個伺服閥；及控制運算裝置，接收來自前述位置感測器的位置檢測訊號並將位置指示值輸出到前述2個伺服放大器，前述氣壓致動器之控制方法的特徵為， 前述控制運算裝置在針對前述滑塊的位置的原點定位完成前後切換依據來自前述位置感測器的位置檢測訊號來計算賦予到前述2個伺服放大器之各位置指示值時的增益。
  4. 一種控制運算裝置，其接收來自位置感測器的位置檢測訊號並將位置指示值輸出到氣壓致動器的2個伺服放大器，前述氣壓致動器包括導引部和能夠沿著前述導引部移動之滑塊，在前述導引部與前述滑塊之間形成缸體室，並且在前述導引部及前述滑塊中的一者設置將前述缸體室在移動方向上區隔成2個壓力室之受壓板，藉由經由伺服閥使壓縮氣體分別可進出區隔成2個之壓力室來以前述2個壓力室的壓差驅動前述滑塊，並且前述氣壓致動器具備：前述位置感測器，用以檢測前述滑塊的位置；及前述2個伺服放大器，分別用以控制前述2個伺服閥，前述控制運算裝置的特徵為， 對賦予到前述2個伺服放大器之各位置指示值進行補償因前述缸體室內的前述受壓板的位置變化引起的各壓力室的體積變化量的運算之後，將分別被補償的位置指示值輸出到前述2個伺服放大器， 執行針對前述滑塊的位置的原點定位，以補償體積變化量。
  5. 如請求項4所述之控制運算裝置，其中 在前述原點定位完成前後切換依據來自前述位置感測器的位置檢測訊號來計算賦予到前述2個伺服放大器之各位置指示值時的增益。
  6. 一種控制運算裝置，其接收來自前述位置感測器的位置檢測訊號並將位置指示值輸出到氣壓致動器的前述2個伺服放大器，前述氣壓致動器包括導引部和能夠沿著前述導引部移動之滑塊，在前述導引部與前述滑塊之間形成缸體室，並且在前述導引部及前述滑塊中的其中一者設置將前述缸體室在移動方向上區隔成2個壓力室之受壓板，藉由經由伺服閥使壓縮氣體分別可進出區隔成2個之壓力室來以前述2個壓力室的壓差驅動前述滑塊，並且前述氣壓致動器具備：前述位置感測器，用以檢測前述滑塊的位置；及前述2個伺服放大器，分別用以控制前述2個伺服閥，前述控制運算裝置的特徵為， 在針對前述滑塊的位置的原點定位完成前後切換依據來自前述位置感測器的位置檢測訊號來計算賦予到前述2個伺服放大器之各位置指示值時的增益。
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