TW202204790A - 閘閥 - Google Patents

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TW202204790A
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小川浩司
長尾格
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日商Ｓｍｃ股份有限公司
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Abstract

[課題] 本發明提供一種閘閥，即使在將閥桿牢固插入閥板的安裝孔內的場合，仍可從閥桿簡單且確實地卸下閥板。 [解決手段] 在閥桿(4)的前端沿著桿軸線L形成的螺孔(21)通過形成於閥板(3)的螺絲插穿孔(18)螺合連結螺絲(14)，藉此沿著桿軸線L可卸下連結閥板(3)與閥桿(4)的閘閥中，閥板(3)具有連結螺絲(14)抵接的抵接部(25)，為了將閥板(3)從閥桿(4)卸下而鬆緩連接螺絲(14)時，藉著透過抵接部(25)作用的連結螺絲(14)的推進力朝著桿軸線L方向與連結螺絲(14)一起位移，使連結螺絲(14)從閥桿(4)的螺孔(21)移動至完全脫離的位置的閥板卸下位置為止。

Description

閘閥
本發明是有關藉連結螺絲自由脫著地連結於閥桿的前端的閘閥。
半導體處理裝置中，使用閘閥進行與真空室連通之開口的開合。此閘閥是將安裝於閥桿的前端的閥板收容於閥箱內，將此閥箱安裝於真空室，構成可以閥板進行形成於閥箱的側壁之開口的開合。此時，開口的閉合是藉著將安裝於閥板的密封構件推壓於開口周圍的閥片來進行。
如以上的閘閥中，密封構件會與其使用的同時逐漸地劣化，在劣化的階段有更換新的密封構件的必要。此時，以往在將閘閥從真空室卸下之後，有將閥板從閥桿卸下並從閥箱取出，隨後進行密封構件的更換的必要，因此在更換上耗費多數的人力與時間。因此，為簡單且迅速進行密封構件的更換，期待可以從閥桿簡單且迅速進行閥板的卸下之閘閥的出現。
專利文獻1中，揭示一種在閘閥安裝於真空室的狀態，可從閥桿卸下並從閥箱安裝閥板的閘閥。此改良型的閘閥是將閥桿的上端部插入形成在閥板的下面的安裝孔內，在形成於閥板的前端的螺孔，通過形成於閥板的螺絲插穿孔栓入連結螺絲，藉此自由脫著地連結閥板與閥桿，並卸下閥箱上面的蓋子鬆緩連結螺絲，可藉此將閥板從閥桿卸下並從閥箱的上面取出至外部。為此，此改良型的閘閥在進行密封構件的更換時，沒有從真空室卸下閘閥的必要，可簡單且迅速地僅將閥板從閥箱取出。
但是，專利文獻1揭示的閘閥是在將閥板從閥桿卸下的場合，使用具有扳手部與螺紋部的工具，以此工具的扳手部鬆緩連結閥板與閥桿的連結螺絲而從閥桿的螺孔拔出之後，將此工具的螺紋部栓入閥板的取出用螺孔內，以此工具舉起閥板藉此從閥桿卸下。
但是，如專利文獻1所揭示之改良型的閘閥，在將閥桿鬆緩插入閥板的安裝孔內的場合，雖可以工具舉起閥板從閥桿卸下，但為了防止閥板與閥桿的相對旋轉將閥桿牢固插入閥板的安裝孔內的場合，會因工具舉起閥板從閥桿卸下變得困難。 [先前技術文獻] [專利文獻]
[專利文獻1] 日本特開2005-291221號公報
[發明所欲解決之問題]
本發明的技術性課題為提供一種閘閥，即使在將閥桿的連結部牢固插入閥板的連結孔內的場合，仍可從閥桿簡單且確實地卸下閥板。 [用於解決課題的手段]
為解決上述課題，本發明是在閥桿的前端沿著桿軸線形成的螺孔，通過形成於閥板的螺絲插穿孔螺合連結螺絲，藉此沿著桿軸線可卸下連結閥板與閥桿的閘閥中，閥板具有抵接於連結螺絲的抵接部，在將閥板從閥桿卸下而從螺孔卸下連結螺絲時，藉著透過抵接部作用於閥板的連結螺絲的推進力朝著桿軸線方向與連結螺絲一起位移，將連結螺絲從閥桿的螺孔移動至完全脫離的位置的閥板卸下位置為特徵。
本發明中，連結螺絲，具有：外圍形成有螺紋槽的螺絲軸部，及比螺絲軸部大徑的螺絲頭部，在螺絲頭部形成有卡合旋轉操作用的工具用的操作孔，螺絲插穿孔，具有：連結螺絲的螺絲頭部嵌合的座屈部，及連結螺絲的螺絲軸部插穿的插穿部，在座屈部的內部，形成使抵接部抵接於連結螺絲的螺絲頭部為佳。
本發明中，抵接部是由安裝於座屈部的內周圍的環狀的構件所構成，環狀的抵接部是抵接於連結螺絲的螺絲頭部的上面。此時，以在螺絲頭部與抵接部之間設有墊圈為佳。 或者，抵接部是由前端突出至座屈部內部的方式安裝於閥板的棒形的構件所構成，連結螺絲的螺絲頭部也可具有棒形的抵接部嵌合的抵接槽。
本發明中，連結螺絲即使在從閥桿卸下閥板之後，仍可藉抵接於抵接部防止從閥板的脫落。
本發明中，閥板的連結孔與閥桿的連結部在以連結螺絲將閥板連結於閥桿時，形成於連結部的一部分的突部雖嵌入連結孔內成牢固嵌合的狀態，但閥板朝閥板卸下的位置移動時，構成使連結部的突部從連結孔拔出而成緩和嵌合的狀態。 [發明效果]
根據本發明，在將閥板從閥桿卸下鬆緩連結螺絲時，連結螺絲的推進力透過形成於閥板的抵接部作用於閥板，構成使閥板與連結螺絲成一體移動至可卸下的位置，即使在閥桿的連結部牢固插入閥板的連結孔內的場合，仍可從閥桿簡單且確實地卸下閥板。
在圖1及圖10表示本發明相關之第1實施形態。此閘閥V1是安裝於未圖示的真空室使用，具有：形成有通過真空室的開口2的閥箱1；在閥箱1的內部進行開口2開合的閥板3；連結於閥板3的開合操作用的閥桿4；及驅動閥桿4的閥驅動部5，以此閥驅動部5驅動閥桿4，藉以使閥板3在開口2閉合用的上升位置(圖2的實線位置)與開口2開放用的下降位置(圖2的虛線位置)進行升降。
在閥驅動部5雖設有汽缸等的驅動機構6，但由於閥驅動部5及驅動機構6的構成及作用為習知，省略在此的說明。
閥箱1是呈橫向細長矩形的箱型，在閥箱1的前後的側壁1a、1b之中與真空室連接的前方的側壁1a，形成有橫向細長矩形的開口2，在側壁1a的內面，形成有圍繞開口2之平面狀的閥片1c。並且，閥板3在朝著圖2以實線表示的上升位置移動之後往前方的側壁1a側位移，將密封構件7推壓至閥片1c，封閉開口2。
在閥箱1的上面，藉著複數蓋安裝螺絲11自由脫著地安裝蓋子10，如圖7及圖8表示，接此蓋子10卸下可藉以使閥箱1的上面開放，通過開放後的閥箱上面的窗孔12，可以從閥桿4沿著桿軸L卸下閥板3，並可將卸下後的閥板3從閥箱1向上方取出。 並且，閥箱1的後方的側壁1b雖也形成有開口2a，但此開口2a並非以閥板3進行開合。
閥板3的正面顯示形狀雖如圖8明確表示為橫向細長矩形的長方形，但由於長方形的4個角隅是呈圓弧形倒角，因此閥板3的長方向兩端部的形狀是分別為半圓或接近半圓的形狀。又，閥板3是如圖7表示，具有：安裝有密封構件7的閥前面3a；閥前面3a的相反側的閥背面3b；及閥上面3c與閥下面3d，該等閥前面3a、閥背面3b、閥上面3c及閥下面3d皆為大致平坦的面。
閥板3是藉連結螺絲14沿著桿軸線L可自由拆卸地連結於閥桿4的上端部。由於此一連結，在閥下面3d的長方向的中央位置，沿著桿軸線L向上形成有閥桿4之上端的連結部16嵌合的連結孔15。該連結孔15的深度是僅稍微大於閥板3之高度(上下寬)H的一半，因此連結孔15不會使閥板3貫穿高度H方向。
連結孔15的橫剖面形狀是如圖4及圖5明確表示在閥板3的長方向形成細長的長方形狀，位於連結孔15的短方向的一側及另一側的第1孔面15a及第2孔面15b是彼此平行的平坦面，位於連結孔15的長方向的一側及另一側的第3孔面15c及第4孔面15d也是彼此平行的平坦面。
並且，在閥板3的閥上面3c，如圖3及圖8詳細表示，形成有插穿連結螺絲14的螺絲插穿孔18，及安裝以手舉起閥板3用的螺絲棒19(參閱圖10)的螺絲棒安裝孔20。 螺絲插穿孔18是在閥板3的長方向的中央位置，形成沿著桿軸線L到達連結孔15。此螺絲插穿孔18具有：收容連結螺絲14之螺絲頭部14a的圓形的座屈部18a，及插穿連結螺絲14之螺絲軸部14b插穿的圓形的插穿部18b，座屈部18a是比插穿部18b大徑。 另一方面，螺絲棒安裝孔20是在隔著螺絲插穿孔18成對稱的位置形成有2個，其深度是在高度H方向未貫穿閥板3的深度。
又，閥桿4的連結部16是形成在呈圓柱形的閥桿4的上端。此連結部16的橫剖面形狀是如圖3-圖5明確表示，在閥板3的長方向形成細長的長方形狀，在位於連結部16的短方向的一側及另一側的第1側面16a及第2側面16b之中，一側的第1側面16a是整體為平坦面，但另一側的第2側面16b具有：與第1側面16a平行的平坦面部16b1，及部分形成於此平坦面部16b1的下端部之一部分的突部16b2。此突部16b2比平坦面部16b1更向外側突出，因此連結部16的厚度(短方向的尺寸)是形成有突部16b2的部分的厚度比平坦面部16b1的位置的厚度大。 另一方面，位在連結部16的長方向的一端及另一端的第3側面16c及第4側面16d為圓弧面。
並且，將閥桿4的連結部16插入閥板3的連結孔15內，以連結螺絲14將閥板3固定於閥桿4時，如圖3表示，將連結部16的第2側面16b的突部16b2嵌合於連結孔15內並抵接於第2孔面15b的下端部，藉此將連結部16的第1側面16a強力地推壓於連結孔15的第1孔面15a，因此連結部16被以壓入連結孔15內的狀態牢固地嵌合。
但是，第2側面16b的突部16b2是如圖9表示，從連結孔15向下方拔出而不再抵接於第2孔面15b時，成為僅平坦面部16b1嵌合於連結孔15內的狀態，因此相對於連結孔15之連結部16的嵌合狀態變得鬆緩，因此，可容易從閥桿4卸下閥板3。
在連結部16的上端，形成有朝連結部16的短方向橫切連結部16的長方向之中央位置的凹部17，在此凹部17的底部，沿著螺桿軸線L形成有螺合連結螺絲14用的螺孔21。在接近螺孔21的下端，形成有螺入連結螺絲14時排出螺孔21內之空氣用的通氣孔22，此通氣孔22是在連結部16的第2側面16b的平坦面部16b1開口。
連結螺絲14具有：前端具有螺紋槽(外螺紋部)14c的螺絲軸部14b，及形成較此螺絲軸部14b大徑的圓形的螺絲頭部14a，在螺絲頭部14a的上面，形成有卡合六角扳手等的工具28(參閱圖9)卡合並進行旋轉操作用的呈六角形的操作孔14d。並且，將此連結螺絲14插入閥板3的螺絲插穿孔18內，將螺絲軸部14b的前端的外螺紋部14c螺入閥桿4的上端的螺孔21，藉以使閥板3連結於閥桿4的上端部。此時，連結螺絲14的螺絲頭部14a的下面是透過墊圈23抵接於座屈部18a的底壁部18c的上面。
並且，在形成於閥板3的螺絲插穿孔18的座屈部18a的內部，設置有為從閥桿4卸下閥板3而鬆緩連接螺絲14時，抵接於此連結螺絲14的螺絲頭部14a的抵接部25。此抵接部25是以環狀的構件25a所形成，圖示的例是以C環形成。由於安裝此環狀的構件即C環25a，因此在座屈部18a的內周圍形成安裝槽26，在此安裝槽26安裝有C環25a，並將螺絲頭部14a的上面外圍部透過環狀的墊圈27抵接於此C環25a。該等C環25a及墊圈27是呈環狀，因此以工具28進行緊固或鬆緩連結螺絲14的操作是可通過C環25a及墊圈27的中空部進行。
如以上所構成的閘閥V1中，在進行密封構件7的更換等的維護而從閥桿4卸下閥板3時，以卸下閥箱1的上面的蓋子10使窗孔12開放的狀態，如圖9表示，將工具28卡合於連結螺絲14的螺絲頭部14a的操作孔14d，以此工具28旋轉並鬆緩連結螺絲14，藉此將連結螺絲14從閥桿4的上端的螺孔21拔出。如此一來，伴隨連結螺絲14沿著桿軸線L朝鬆緩方向(圖9的上方)移動，將螺絲頭部14a的上面外圍透過墊圈27抵接於抵接部25，透過此抵接部25使連結螺絲14的推進力向上作用於閥板3，因此閥板3與連結螺絲14成一體，相對於閥桿4在桿軸線L方向移動。
並且，閥板3移動至連結螺絲14的螺絲軸部14b的下端的外螺紋部14c完全從閥桿4的螺孔21脫離的位置時，位在閥桿4的連結部16的第2側面16b的下端部的突部16b2從閥板3的連結孔15向下方脫離，至此在壓入狀態牢固嵌合的連結孔15與連結部16成為鬆緩嵌合的狀態，可容易從閥桿4卸下閥板3。因此，此位置是可藉著以手上舉閥板3從閥桿4卸下之閥板卸下的位置。
因此，如圖10表示，在形成於閥板3的上面的2個螺絲棒安裝孔20安裝螺絲棒19，以兩手握此螺絲棒19上舉閥板3，可藉此將閥板3從閥桿4卸下並取出至閥箱1的外部。
在將閥板3取出至閥箱1的外部之後，連結螺絲14仍使其螺絲頭部14a在座屈部18a的內部卡止於底壁部18c及抵接部25，因此不會從閥板3脫落。 從閥箱1取出後的閥板3在根據需要卸下螺絲棒19之後，進行密封構件7的更換等，必要的維護。
再度將維護結束後的閥板3安裝於閥桿4時，只需進行與卸下閥板3時的相反的操作即可。 亦即，如圖10表示在閥板3安裝螺絲棒19，以手握持該螺絲棒19將閥板3收容於閥箱1內，並在閥板3的連結孔15內嵌合閥桿4的連結部16，使閥板3下降至連結螺絲14的螺絲軸部14b的前端接觸到位於連結部16的上端的螺孔21的入口。
接著，在螺絲棒19從閥板3卸下之後，如圖9表示，以工具28旋轉連結螺絲14螺入螺孔21內，如圖2-圖4表示，將連結部16的上端面16e抵接於連結孔15的孔底面15e，並將連結部16的第2側面16b的下端部的突部16b2嵌入連結孔15內使連結螺絲14緊固至抵接於第2孔面15b的位置，藉此將閥板3安裝於閥桿4。 並且，之後，以蓋安裝螺絲11將蓋子10安裝於閥箱1的上面，藉此結束閥板3的安裝。
上述的例中，雖以手握持安裝於閥板3的螺絲棒19進行從閥桿4卸下或從閥箱1取出閥板3的操作，但是在形成有以手指鈎掛閥板3的閥前面3a及閥背面3b等用的凹部等的場合，可利用此凹部將閥板3從閥桿4卸下取出至閥箱1的外部。因此，此時，沒有在閥板3安裝螺絲棒19的必要，因此無螺絲棒19也無螺絲棒安裝孔20的必要。
圖11是表示第2實施形態之閘閥V2的主要部，此第2實施形態的閘閥V2中，形成於閥板3的抵接部25是由棒形的構件25b所形成。具體而言，棒形的構件25b是由抵接螺絲所形成，此棒形的構件，即抵接螺絲25b是以橫向姿勢可自由進退調整地安裝於閥板3的閥背面3b，抵接螺絲25b的前端是從座屈部18a的內周圍面向座屈部18a的內部突出。
另一方面，在連結螺絲14的螺絲頭部14a，圍繞螺絲頭部14a的側面外圍地形成有環狀的抵接部29，在此抵接槽29使抵接螺絲25b的前端可相對於連結螺絲14，以桿軸線L為中心的旋轉方向相對地自由位移，但是在沿著桿軸線L的方向彼此固定地嵌合著。
此第2實施形態的閘閥V2的其他構成及作用與第1實施形態的閘閥V1的構成及作用實質相同，因此省略其詳細說明。
並且，圖示的例中，雖設置1個抵接螺絲25b，但是抵接螺絲25b分別設置在閥板3的閥前面3a側及閥背面3b側，可藉此在座屈部18a的直徑方向的相對的位置設置2個。 又，環狀的抵接槽29是在螺絲頭部14a的上面的近外圍的位置，形成圍繞桿軸線L的凹階段狀的槽。
V1,V2:閘閥 3:閥板 4:閥桿 14:連結螺絲 14a:螺絲頭部 14b:螺絲軸部 14c:螺紋槽(外螺紋部) 14d:操作孔 15:連結孔 16:連結部 16b2:突部 18:螺絲插穿孔 18a:座屈部 18b:插穿部 21:螺孔 25:抵接部 25a:環狀的構件(C環) 25b:棒形的構件(抵接螺絲) 27:墊圈
[圖1]為第1實施例的閘閥的正面圖。 [圖2]是沿著圖1的II-II線的部分放大剖面圖。 [圖3]為圖2的主要部放大圖。 [圖4]是沿著圖3的IV-IV線的剖面圖。 [圖5]是沿著圖3的V-V線的剖面圖。 [圖6]為圖3的主要部平面圖。 [圖7]是分解閘閥表示的剖面圖。 [圖8]為圖7的透視圖。 [圖9]是表示鬆緩連結螺絲使閥板位移至閥板卸下位置的狀態的主要部剖面。 [圖10]是將閥板從閥桿卸下後的狀態的主要部透視圖。 [圖11]為第2實施例的閘閥的主要部剖面圖。
3:閥板
4:閥桿
7:密封構件
14:連結螺絲
14a:螺絲頭部
14b:螺絲軸部
14c:螺紋槽(外螺紋部)
14d:操作孔
15:連結孔
15a:第1孔面
15b:第2孔面
16:連結部
16a:第1側面
16b:第2側面
16b1:平坦面部
16b2:突部
17:凹部
18:螺絲插穿孔
18a:座屈部
18b:插穿部
18c:底壁部
21:螺孔
22:通氣孔
23:墊圈
25:抵接部
25a:環狀的構件(C環)
26:安裝槽
27:墊圈

Claims (7)

  1. 一種閘閥，在閥桿的前端沿著桿軸線形成的螺孔，通過形成於閥板的螺絲插穿孔螺合連結螺絲，藉此可沿著桿軸線卸下連結閥板與閥桿，其特徵為： 閥板具有抵接於連結螺絲的抵接部，在為了將閥板從閥桿卸下而從螺孔卸下連結螺絲時，藉由透過抵接部作用於閥板的連結螺絲的推進力朝桿軸線方向與連結螺絲一起位移，將連結螺絲從閥桿的螺孔移動至完全脫離的位置的閥板卸下位置。
  2. 如請求項1記載的閘閥，其中，連結螺絲，具有：外圍形成有螺紋槽的螺絲軸部，及比螺絲軸部大徑的螺絲頭部，在螺絲頭部形成有卡合旋轉操作用的工具用的操作孔， 螺絲插穿孔，具有：連結螺絲的螺絲頭部嵌合的座屈部，及連結螺絲的螺絲軸部插穿的插穿部，在座屈部的內部，使抵接部形成為抵接於連結螺絲的螺絲頭部。
  3. 如請求項2記載的閘閥，其中，抵接部是由安裝於座屈部的內周圍的環狀的構件所構成，環狀的抵接部是抵接於連結螺絲的螺絲頭部的上面。
  4. 如請求項3記載的閘閥，其中，在螺絲頭部與抵接部之間設有墊圈。
  5. 如請求項2記載的閘閥，其中，抵接部是由以前端突出至座屈部內部的方式安裝於閥板的棒形的構件所構成，連結螺絲的螺絲頭部具有棒形的抵接部嵌合的抵接槽。
  6. 如請求項1記載的閘閥，其中，連結螺絲在從閥桿卸下閥板之後，藉由抵接於抵接部防止從閥板的脫落。
  7. 如請求項1至6中任一項記載的閘閥，其中，閥板的連結孔與閥桿的連結部在以連結螺絲將閥板連結於閥桿時，藉由形成於連結部的一部分的突部嵌入連結孔內成為牢固嵌合的狀態，構成將閥板朝閥板卸下的位置移動時，藉由連結部的突部從連結孔拔出而成為緩和嵌合的狀態。
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