TW202134638A

TW202134638A - 探針檢測設備、探針的三維檢測方法、及探針定位載具

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Publication number: TW202134638A
Application number: TW109107056A
Authority: TW
Inventors: 林嘉洤; 黃育辰; 李敬賢; 賴以昕; 江泰霖; 董為劭
Original assignee: 中國探針股份有限公司
Priority date: 2020-03-04
Filing date: 2020-03-04
Publication date: 2021-09-16
Also published as: TWI771658B

Abstract

本發明公開一種探針檢測設備、探針的三維檢測方法、及探針定位載具。所述探針檢測設備包含多個探針定位載具、一傳輸模組、及對應於所述傳輸模組設置的一拍攝模組。每個所述探針定位載具包含:一絕緣座及埋置於所述絕緣座內的一磁力單元，所述磁力單元具有極性相反且位於相反側的一第一磁極端與一第二磁極端。所述絕緣座能用來供一探針插入，所述第一磁極端吸附所述探針以使所述探針保持直立於所述第一磁極端。多個所述探針定位載具通過所述傳輸模組移動，拍攝模組用來對所述傳輸模組上移動的至少一個所述探針定位載具上的所述探針拍攝。

Description

探針檢測設備、探針的三維檢測方法、及探針定位載具

本發明涉及一種檢測設備，尤其涉及一種探針檢測設備、探針的三維檢測方法、及探針定位載具。

在現有探針之瑕疵檢測流程中，因為探針的重量極輕且體積極小，不易被自動化機器抓取（或吸取）及擺置；因此往往無法以自動化的方式進行360度全方位檢測，且因該類探針的瑕疵尺寸極小，往往小至微米（µm）等級，須搭配以高倍顯微鏡進行視覺的放大及影像檢測。

以往進行檢測時，該類探針需要藉由人工手動的方式將待測物平躺於平台上，置於顯微鏡下並進行待測物的翻撥以及人工視覺檢測。過程不但費時費力且人工辨識的正確度亦無法確認。

於是，本發明人認為上述缺陷可改善，乃特潛心研究並配合科學原理的運用，終於提出一種設計合理且有效改善上述缺陷的本發明。

本發明實施例在於提供一種探針檢測設備、探針的三維檢測方法、及探針定位載具，其能有效地改善現有探針之瑕疵檢測流程所可能產生的缺陷。

本發明實施例公開一種探針檢測設備，包括:多個探針定位載具，各用來供一探針沿任意方向置入；其中，每個所述探針定位載具包含:一絕緣座，具有一第一端面及自所述第一端面凹設的一限位槽；及一磁力單元，埋置於所述絕緣座內，並且所述磁力單元具有極性相反且位於相反側的一第一磁極端與一第二磁極端；其中，所述第一磁極端鄰設於所述限位槽，並且所述第一磁極端與所述限位槽的一槽底之間相距不大於3公厘（mm）；其中，所述絕緣座能用來供一探針插入所述限位槽且彼此呈點接觸，並且所述第一磁極端吸附所述探針，以使所述探針保持直立於所述第一磁極端；一傳輸模組，定義有一傳輸路徑，並且多個所述探針定位載具通過所述傳輸模組而沿著所述傳輸路徑移動；以及一拍攝模組，對應於所述傳輸路徑設置，並且所述拍攝模組能用來對沿著所述傳輸路徑移動的至少一個所述探針定位載具上的所述探針拍攝。

本發明實施例也公開一種探針的三維檢測方法，包括:實施一前置步驟:提供如請求項1所述的探針檢測設備；實施一載針步驟:於每個所述探針定位載具中置入一探針，以使所述探針插入所述限位槽且彼此呈點接觸，並且每個所述探針定位載具的所述第一磁極端吸附相對應所述探針，以使相對應所述探針保持直立於所述第一磁極端；以及實施一檢測步驟:以所述傳輸模組將多個所述探針定位載具及吸附於其上的多個所述探針沿著所述傳輸路徑移動，並且通過所述拍攝模組依序的對多個所述探針定位載具上的所述探針進行拍攝、以取得每個所述探針的一檢測資訊。

本發明實施例還公開一種探針定位載具，包括:一絕緣座，具有一第一端面及自所述第一端面凹設的一限位槽；及一磁力單元，埋置於所述絕緣座內，並且所述磁力單元具有極性相反且位於相反側的一第一磁極端與一第二磁極端；其中，所述第一磁極端鄰設於所述限位槽，並且所述第一磁極端與所述限位槽的一槽底之間相距不大於3公厘（mm）；其中，所述絕緣座能用來供一探針插入所述限位槽且彼此呈點接觸，並且所述第一磁極端吸附所述探針，以使所述探針保持直立於所述第一磁極端。

綜上所述，本發明的有益效果在於，本發明所提供的一種探針檢測設備、探針的三維檢測方法、及探針定位載具，其能藉由所述磁力單元吸引探針，使探針直立於所述探針定位載具，讓所述拍攝模組能對探針進行360度全方位的顯微影像拍攝，並快速地進行瑕疵圖像檢測，據以有效解決人工檢測所帶來的種種問題。

為能更進一步瞭解本發明的特徵及技術內容，請參閱以下有關本發明的詳細說明與附圖，但是此等說明與附圖僅用來說明本發明，而非對本發明的保護範圍作任何的限制。

以下是通過特定的具體實施例來說明本發明所公開有關探針檢測設備的實施方式，本領域技術人員可由本說明書所公開的內容瞭解本發明的優點與效果。本發明可通過其他不同的具體實施例加以施行或應用，本說明書中的各項細節也可基於不同觀點與應用，在不悖離本發明的構思下進行各種修改與變更。另外，本發明的附圖僅為簡單示意說明，並非依實際尺寸的描繪，事先聲明。以下的實施方式將進一步詳細說明本發明的相關技術內容，但所公開的內容並非用以限制本發明的保護範圍。

應當可以理解的是，雖然本文中可能會使用到“第一”、“第二”、“第三”等術語來描述各種元件或者信號，但這些元件或者信號不應受這些術語的限制。這些術語主要是用以區分一元件與另一元件，或者一信號與另一信號。另外，本文中所使用的術語“或”，應視實際情況可能包括相關聯的列出項目中的任一個或者多個的組合。

[實施例一]

請參閱圖1至圖11所示，其為本發明的實施例一，需先說明的是，本實施例對應附圖所提及的相關數量與外型，僅用來具體地說明本發明的實施方式，以便於了解本發明的內容，而非用來侷限本發明的保護範圍。

如圖1所示，本實施例公開一種探針檢測設備100，其包括多個探針定位載具1、一傳輸模組2、及一拍攝模組3。所述探針定位載具1可為各種形狀的載針盒，並不予以限制，可以是呈長方體形或者梯形體形的載針盒。所述探針定位載具1用來供一探針200（如:probe、terminal、or pogo pin）沿任意方向置入，並使得所述探針200置入所述探針定位載具1後呈直立狀。需額外說明的是，所述探針定位載具1於本實施例中是以搭配於上述傳輸模組2與拍攝模組3來說明，但在本發明未繪示的其他實施例中，所述探針定位載具1也可以是單獨地應用（如:販賣）或是搭配其他構件使用。

如圖2所示，上述探針200於本實施例中可以是應用於電子連接器測試，所述探針200具有兩個針頭201及一中間段202，所述兩個針頭201位於所述探針200的兩端，所述中間段202位於探針200的中間，但本發明並不受限於此。其中，所述探針200的總長度及其中間段202的形狀可依實際需求進行調整，並且所述中間段202用以供機械手臂或吸頭夾持所述探針，以避免損傷所述針頭201。

如圖3所示，於本實施例中，所述傳輸模組2為直線式皮帶輸送機，但本發明並不以此為限。舉例來說，所述傳輸模組2也可以是板式輸送機、小車式運輸機或其他形式的運輸機，但較佳是排除滾筒運輸機或螺旋式運輸機，因為此類運輸機上的被運輸物件經常處於搖晃的狀態，容易影響所述探針200的測量結果。

進一步地說，所述傳輸模組2於本實施例中包含一輸送皮帶21、直接驅動輸送皮帶21的兩個主動輪22、間接支撐並使輸送皮帶21連續運行的多個從動輪、直接支撐輸送皮帶21的多個托輥24、位於輸送皮帶21兩側的多個定位擋板25、一皮帶張緊機構以及一電機驅動系統。其中，為便於圖式呈現所述傳輸模組2，所以圖式未繪示上述從動輪、皮帶張緊機構、及電機驅動系統。再者，所述傳輸模組2（於本實施例中是依據所述輸送皮帶21）定義有一傳輸路徑21，多個所述探針定位載具1經由機械手臂或吸頭置入所述探針200後，被放置於所述傳輸模組2的傳輸路徑21上，多個所述探針定位載具1通過所述傳輸模組2而沿著所述傳輸路徑21移動。

為方便說明，圖3僅示出輸送皮帶21、主動輪22、多個托輥24以及定位擋板25以方便進行說明，此外，由於上述傳輸模組2的結構元件並非本發明的改良處，所以本實施例後續不加以贅述。

所述拍攝模組3於本實施例中包含多個攝影機32、與上述多個攝影機32電性連接一顯示螢幕33、及設置於多個攝影機32鏡頭前的多個高倍顯微鏡31。其中，所述顯示螢幕33是透過外接影像傳輸線的方式與所述攝影機32連接，所述高倍顯微鏡31可間隔地設置於攝影機32鏡頭前，也可以直接重疊在攝影機32鏡頭上。需要說明的是，當所述攝影機32進行攝影時，攝影畫面可經由所述高倍顯微鏡31放大，以方便對待測物的表面進行瑕疵偵測，且攝影畫面可經由顯示螢幕33直接呈現以供現場檢測人員觀察。

如圖3及圖4所示，所述拍攝模組3對應於所述傳輸路徑21設置，並且所述拍攝模組3能用來對沿著所述傳輸路徑21移動的至少一個所述探針定位載具1上的所述探針200拍攝。更詳細地說，所述拍攝模組3於所述傳輸路徑21的兩側各設置一個所述攝影機32及一個所述高倍顯微鏡31，由所述傳輸路徑21末端往起始端的方向看，所述探針定位載具1及其所定位的探針200位於正中間，位於兩側的攝影機32各可拍攝到探針200的左右側總計360度的影像，實施三維顯微攝影。需要說明的是，所述拍攝模組3在未繪示的其他實施例中，可依實際需求增加其他硬體設備。

舉例來說，在未繪示的另一實施例中，所述拍攝模組3可對應所述傳輸路徑21設置三個攝影機32，並且所述拍攝模組3於所述傳輸路徑21左側設置兩個攝影機32，並且所述傳輸路徑21的右側設置一個攝影機32，上述三個攝影機32呈等距離且等角度設置，據以對所述探針200進行360度的影像拍攝，實施三維顯微攝影。

基於本實施例中的多個探針定位載具1的具體結構大致相同，所以為方便說明，本實施例中僅以一個探針定位載具1來說明，但本發明不受限於此。舉例來說，在本發明未繪示的其他實施例中，多個探針定位載具1之間也可以略有差異。

如圖2及圖5所示，所述探針定位載具1包含一絕緣座11以及一磁力單元12，且所述磁力單元12埋置於所述絕緣座11內。需要說明的是，埋置於所述絕緣座11的磁力單元12具有極性相反且位於相反側的兩個磁極端1211、1221，且兩個磁極端1211、1221之間會形成一封閉環狀的磁力線分布曲線。如圖5所示，兩個磁極端1211、1221的垂直部分皆有一小段垂直磁場的領空區域，在此空間區域內，磁力線會趨於一直立直線。

當機械手臂或吸嘴將所述探針200置於探針定位載具1上方時，也就是說，所述探針200位於所述磁力單元12任一磁極端1211、1221上方的領空區域時，所述探針200會受到趨於直線的磁力線影響，因而被所述磁力單元12的磁極端1211、1221強而有力地吸附並與所述絕緣座11接觸且站立於絕緣座11的表面，藉此，所述拍攝模組3可以對探針200進行360度全方位的顯微攝影。

如圖2及圖6所示，所述絕緣座11為一體成形的立方體，所述絕緣座11具有一第一端面111、及自所述第一端面111凹設形成的一限位槽112。更詳細地說，所述第一端面111為所述絕緣座11的頂面，所述頂面下方為所述磁力單元12。在其他未繪示的實施例中，所述第一端面111可以是位於可拆卸式的蓋體上，換句話說，將所述頂蓋掀開即可看見所述磁力單元12。

在其他未繪示的實施例中，所述第一端面111可進一步包含一溝槽，所述溝槽自第一端面111的任意一邊延伸至所述限位槽112。更詳細地說，所述溝槽自第一端面111的任意一邊的中心點凹設並延伸至所述限位槽112（所述限位槽112的頂緣），用以讓攜帶所述探針200的機械手臂或吸頭，方便沿所述溝槽通往限位槽112的方向行進。

所述限位槽112凹設於所述第一端面111的中心，且所述限位槽112的空間也近似一立方體，但本發明並不受限於此，在其他未繪示的實施例中，所述限位槽112也可以設置鄰近於所述第一端面111的任意一邊，而所述限位槽112的空間也可以近似一橢圓體。

所述限位槽112主要用來供所述探針200插入，且所述探針200與所述限位槽112呈點接觸。也就是說，所述探針200的針頭201與所述限位槽112的槽底的接觸位置為一個點。當探針200進行檢測時若遇到外部氣流干擾，所述限位槽112可有效避免氣流直接衝擊探針200與限位槽112槽底的接觸點，防止探針200偏倒或者過度歪斜導致檢測結果有誤。

如圖6和圖7所示，所述限位槽112的頂緣定義有以所述槽底的中心點為頂點的一錐面A。其中，所述錐面A與所述限位槽112的槽底的所述法向量相夾有不小於10度的一限位角度θ1。也就是說，所述限位槽112頂緣的任意一點與所述限位槽112槽底的中心點相連形成一直線，所述直線與所述限位槽112槽底平行的方向向量相夾的角度小於80度。

如圖8所示，所述兩個磁極端1211、1221於本實施例中可以分別定義為一第一磁極端1211與一第二磁極端1221。也就是說，所述第一磁極端1211與第二磁極端1221各為Ｎ極或Ｓ極的其中之一。為方便說明，所述第一磁極端1211於本實施例中是Ｎ極，所述第二磁極端1221是Ｓ極，但本發明不以此為限。此外，所述第一磁極端1211與所述第二磁極端1221於本實施例中近似圓柱體，且所述第一磁極端1211的體積小於所述第二磁極端1221。從另一個角度來看，所述磁力單元12的外型近似砝碼，所述的第一磁極端1211的形狀對應於砝碼的頂部，所述第二磁極端1221的形狀則對應於砝碼的本體，但本發明不以此為限。

如圖8及圖9所示，所述第一磁極端1211鄰設於所述限位槽112，並且所述第一磁極端1211與所述限位槽112槽底之間相距不大於3公厘（mm）。更詳細地說，所述磁力單元12被埋置於所述限位槽112正下方，且所述磁力單元12與所述限位槽112的槽底有一間隔d，上述間隔d的範圍在0～3公厘（mm）之間。其中，當間隔d為0公厘（mm）時，所述第一磁極端1211的至少局部構成所述限位槽112的所述槽底（如:圖9），更明確的說，此時所述第一磁極端1211的頂面為所述限位槽112的槽底。

如圖10所示，當所述限位槽112插設有探針200時，所述第一磁極端1211能吸附所述探針200，以使所述探針200的長度方向與所述槽底的法向量所相夾的一夾角θ2保持小於10度。也就是說，由剖面來看，所述探針200的長度方向與所述限位槽112槽底平行的方向向量所相夾的角度保持在80度到90度間。從另一方面來看，所述探針200的長度方向與所述限位槽112槽底的法向量所相夾的所述夾角θ2至多與所述錐面A與所述限位槽112的槽底的所述法向量相夾有不小於10度的所述限位角度θ1相合（最大夾角θ2與最小限位角度θ1相等）。

如圖11所示，所述磁力單元12也可以是由彼此相吸附的一第一磁鐵121與一第二磁鐵122組成，且所述第一磁鐵121的尺寸小於所述第二磁鐵122。需要說明的是，所述第一磁鐵121與第二磁鐵122於本實施例中各自是一永久磁鐵，所述永久磁鐵可以是選自由鋁鎳鈷合金磁鐵、釤鈷磁鐵與釹鐵硼磁鐵所構成的之群組。於其他未繪示的實施例中，所述第一磁鐵121與第二磁鐵122也可以是電磁鐵。

其中，所述第一磁鐵121具有所述第一磁極端1211，所述第二磁鐵122具有所述第二磁極端1221，所述第一磁鐵121相較於所述第二磁鐵122更為鄰近於所述限位槽112。當所述第一磁極端1211與所述限位槽112槽底的距離越近，則所述探針200受到的磁力越強，所述探針200的長度方向與所述限位槽112槽底的法向量所相夾的夾角θ2也就越接近0度。

[實施例二]

請參閱圖12至圖15所示，其為本發明的實施例二，需先說明的是，本實施例類似於上述實施例一，所以兩個實施例的相同處則不再加以贅述（如:所述探針檢測設備100）；再者，本實施例對應附圖所提及的相關數量與外型，僅用來具體地說明本發明的實施方式，以便於了解本發明的內容，而非用來侷限本發明的保護範圍。

如圖12所示，本實施例公開一種探針的三維檢測方法，其依序包括一前置步驟S1、一載針步驟S2以及一檢測步驟S3。需說明的是，以下每個步驟的技術特徵說明可依據設計需求而加以調整變化，並不以本實施例所載為限。

其中，所述前置步驟S1:提供如實施例一所述的探針檢測設備100。進一步地說，所述前置步驟S1於本實施例中還可進一步提供一連續載具裝置5，其具有多個可放置所述探針定位載具1的容納槽51，所述操作人員可依需求將多個探針定位載具1設置於所述連續載具裝置5以進行大量檢測。本實施例是以三個探針定位載具1配合連續載具裝置5進行說明，但本發明不以此為限。舉例來說，在本發明未繪示的其他實施例中，所述連續載具裝置5也可以容納兩個或四個以上的探針定位載具1。

如圖14及圖15所示，所述每個所述探針定位載具1的所述絕緣座11在其外表面可進一步設有一條碼113。其中，所述條碼113於本實施例中是寬度不等的多個黑條和空白，按照一定的編碼規則排列，用以表達一組資訊的圖形識別碼。再者，每個所述條碼113相對應於每個所述探針200，也就是說，每個所述條碼113相當於每個探針200的編號。然而，在本發明未繪示的其他實施例中，所述條碼113也可以是其他類型的條碼（如:QRcode）。

所述載針步驟S2:於每個所述探針定位載具1中置入一探針200，以使所述探針200插入所述限位槽112且彼此呈點接觸，並且每個所述探針定位載具1的所述第一磁極端1211吸附相對應所述探針200，以使相對應所述探針200保持直立於所述第一磁極端1211。

更詳細地說，所述載針步驟S2:利用機械手臂或吸頭將待測探針200夾出，並在每個所述探針定位載具1中置入一個探針200，將所述探針200插入所述限位槽112且彼此呈點接觸。也就是說，所述探針200的針頭201與所述限位槽112槽底接觸。當所述探針200與限位槽112槽底接觸時，所述探針定位載具1的第一磁極端1211吸附相對應的所述探針200，並藉由第一磁極端1211所發出的垂直磁力線，利用磁場效應使相對應所述探針200保持直立於所述第一磁極端1211。

所述檢測步驟S3:以所述傳輸模組2將多個所述探針定位載具1及吸附於其上的多個所述探針200沿著所述傳輸路徑21移動，並且通過所述拍攝模組3依序的對多個所述探針定位載具1上的所述探針200進行拍攝、以取得每個所述探針200的一檢測資訊。

更詳細地說，於所述檢測步驟S3中，先將多個所述探針定位載具1及吸附於其上的多個探針200配合連續載具裝置5設置於所述傳輸模組2，使多個所述探針定位載具1沿著所述傳輸路徑21移動。當多個所述探針定位載具1通過所述拍攝模組3時，位於所述拍攝模組3兩側的攝影機32依序對多個所述探針定位載具1上的所述探針200進行拍攝，以取得每個所述探針200的所述檢測資訊。

再者，如圖13所示，接著，將每個所述探針200的檢測資訊傳輸至一處理模組4，所述處理模組4包含一資料儲存單元41、一資料轉換單元42以及一資料統計分析單元43。所述檢測資訊首先進入所述資料儲存單元41進行儲存，接著檢測資訊會進入所述資料轉換單元42，將資料轉換為可以大量進行運算的資料形式。舉例來說，所述檢測資訊為影像資訊，所述資料轉換單元42可將所述影像資訊的各項資料轉換為具體數值，如影像的明暗度等，以利後續進行分析。最後檢測資訊進入資料統計分析單元43，檢測資訊經分析後將輸出檢測結果。

另，所述檢測步驟S3可進一步提供一掃描裝置44，其可對任一個所述探針定位載具1的所述條碼113進行掃描，以使所述掃描裝置44能通過無線傳輸而自所述處理模組4取得相對應所述探針200的所述檢測資訊。其中，所述掃描裝置44可為激光掃描器或CCD掃描器。

此外，本發明所提供的一種探針檢測設備、探針的三維檢測方法、及探針定位載具還進一步包含設置在所述絕緣座外表面的條碼以及處理模組，處理模組可有效分析並整合利用所述探針的檢測資訊，配合條碼進行編號以進行大數據分析，進而提供製程缺憾矯正。

以上所公開的內容僅為本發明的優選可行實施例，並非因此侷限本發明的專利範圍，所以凡是運用本發明說明書及圖式內容所做的等效技術變化，均包含於本發明的專利範圍內。

100:探針檢測設備 1:探針定位載具 11:絕緣座 111:第一端面 112:限位槽 113:條碼 12:磁力單元 121:第一磁鐵 1211:第一磁極端 122:第二磁鐵 1221:第二磁極端 2:傳輸模組 21:傳輸路徑（輸送皮帶） 22:主動輪 24:托輥 25:定位擋板 3:拍攝模組 31:高倍顯微鏡 32:攝影機 33:顯示螢幕 4:處理模組 41:資料儲存單元 42:資料轉換單元 43:資料統計分析單元 44:掃描裝置 5:連續載具裝置 51:容納槽 200:探針 201:針頭 202:中間段 S1:前置步驟 S2:載針步驟 S3:檢測步驟 θ1:限位角度 θ2:夾角 A:錐面 d:間隔

圖1為本發明實施例一的探針檢測設備的立體示意圖。

圖2為本發明實施例一的單個探針定位載具的立體示意圖。

圖3為本發明實施例一的傳輸模組以及拍攝模組的立體示意圖。

圖4為本發明實施例一的傳輸模組拍攝單個探針定位載具的示意圖。

圖5為本發明實施例一的磁力單元磁力線的平面示意圖。

圖6為本發明實施例一的絕緣座沿圖2剖線VI-VI的示意圖（省略探針）。

圖7為本發明實施例一的限位槽立體示意圖。

圖8為圖6的另一態樣的剖視示意圖。

圖9為圖6的又一態樣的剖視示意圖。

圖10為圖2沿剖線VI-VI的剖視示意圖。

圖11為圖6的再一態樣的剖視示意圖。

圖12為本發明實施例二的探針的三維檢測方法步驟流程圖。

圖13為本發明實施例二的處理模組的功能方塊示意圖。

圖14為本發明實施例二的探針的三維檢測方法的檢測步驟示意圖。

圖15為圖14的局部放大示意圖。

100:探針檢測設備

1:探針定位載具

2:傳輸模組

3:拍攝模組

31:高倍顯微鏡

32:攝影機

33:顯示螢幕

200:探針

Claims

一種探針檢測設備，包括: 多個探針定位載具，各用來供一探針沿任意方向置入；其中，每個所述探針定位載具包含: 一絕緣座，具有一第一端面及自所述第一端面凹設的一限位槽；及一磁力單元，埋置於所述絕緣座內，並且所述磁力單元具有極性相反且位於相反側的一第一磁極端與一第二磁極端；其中，所述第一磁極端鄰設於所述限位槽，並且所述第一磁極端與所述限位槽的一槽底之間相距不大於3公厘（mm）；其中，所述絕緣座能用來供一探針插入所述限位槽且彼此呈點接觸，並且所述第一磁極端吸附所述探針，以使所述探針保持直立於所述第一磁極端；一傳輸模組，定義有一傳輸路徑，並且多個所述探針定位載具通過所述傳輸模組而沿著所述傳輸路徑移動；以及一拍攝模組，對應於所述傳輸路徑設置，並且所述拍攝模組能用來對沿著所述傳輸路徑移動的至少一個所述探針定位載具上的所述探針拍攝。
如請求項1所述的探針檢測設備，其中，於任一個所述探針定位載具中，所述第一磁極端的至少局部構成所述限位槽的所述槽底。
如請求項1所述的探針檢測設備，其中，當任一個所述探針定位載具的所述限位槽插設有一探針時，所述第一磁極端能吸附所述探針，以使所述探針的長度方向與所述槽底的法向量所相夾的一夾角保持小於10度。
如請求項3所述的探針檢測設備，其中，於任一個所述探針定位載具中，所述限位槽的頂緣定義有以所述槽底的中心點為頂點的一錐面，並且所述錐面與所述槽底的所述法向量相夾有不小於10度的一限位角度。
如請求項1所述的探針檢測設備，其中，於任一個所述探針定位載具中，所述磁力單元包含有彼此相吸附的一第一磁鐵與一第二磁鐵，所述第一磁鐵具有所述第一磁極端，所述第二磁鐵具有所述第二磁極端，所述第一磁鐵的尺寸小於所述第二磁鐵，並且所述第一磁鐵相較於所述第二磁鐵更為鄰近於所述限位槽。
如請求項5所述的探針檢測設備，其中，任一個所述探針定位載具的所述第一磁鐵與所述第二磁鐵各進一步限定為一永久磁鐵。
一種探針的三維檢測方法，包括: 實施一前置步驟:提供如請求項1所述的探針檢測設備；實施一載針步驟:於每個所述探針定位載具中置入一探針，以使所述探針插入所述限位槽且彼此呈點接觸，並且每個所述探針定位載具的所述第一磁極端吸附相對應所述探針，以使相對應所述探針保持直立於所述第一磁極端；以及實施一檢測步驟:以所述傳輸模組將多個所述探針定位載具及吸附於其上的多個所述探針沿著所述傳輸路徑移動，並且通過所述拍攝模組依序的對多個所述探針定位載具上的所述探針進行拍攝、以取得每個所述探針的一檢測資訊。
如請求項7所述的探針的三維檢測方法，其中，於所述檢測步驟中，所述拍攝模組所取得的每個所述探針的所述檢測資訊傳輸至一處理模組；其中，每個所述探針定位載具的所述絕緣座在其外表面設有一條碼，用以供一掃描裝置對任一個所述探針定位載具的所述條碼進行掃描，以使所述掃描裝置能通過無線傳輸而自所述處理模組取得相對應所述探針的所述檢測資訊。
一種探針定位載具，包括: 一絕緣座，具有一第一端面及自所述第一端面凹設的一限位槽；及一磁力單元，埋置於所述絕緣座內，並且所述磁力單元具有極性相反且位於相反側的一第一磁極端與一第二磁極端；其中，所述第一磁極端鄰設於所述限位槽，並且所述第一磁極端與所述限位槽的一槽底之間相距不大於3公厘（mm）；其中，所述絕緣座能用來供一探針插入所述限位槽且彼此呈點接觸，並且所述第一磁極端吸附所述探針，以使所述探針保持直立於所述第一磁極端。
如請求項9所述的探針定位載具，其中，當所述探針定位載具的所述限位槽插設有一探針時，所述第一磁極端能吸附所述探針，以使所述探針的長度方向與所述槽底的法向量所相夾的一夾角保持小於10度；所述限位槽的頂緣定義有以所述槽底的中心點為頂點的一錐面，並且所述錐面與所述槽底的所述法向量相夾有不小於10度的一限位角度。