CN208795669U - 光学式瑕疵检测系统 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种光学式瑕疵检测系统，包括：一影像拍摄系统，包括一相机，该相机用以从一待检测物上拍摄影像；至少一平台，用以承载该待检测物；以及一位移驱动机构，驱动该相机在X轴方向上移动，且驱动该平台或该相机在Y轴方向上移动；该平台包括一可动载台，承载该待检测物的一正面朝上，与一载台，承载该待检测物的一反面朝上，且该光学式瑕疵检测系统包括：一翻面机构，旋转该可动载台使该待检测物的正面贴附于该载台，使得该相机分别从该可动载台与该载台拍摄该待检测物的正面影像与反面影像。

Description

光学式瑕疵检测系统

技术领域

本实用新型涉及光学式瑕疵检测系统，更明确地说明，本实用新型是一种可翻转待检测物以进行其正反两面的瑕疵检测的光学式瑕疵检测系统。

背景技术

消费电子产品的轻薄短小需求，尺寸多样，个性化需求越来越多，所以相同机台要符合多样尺寸，少量生产，或是单一尺寸，大量生产，两种类型的生产需求都要兼顾，且正反面都要检测。

为了要从一个待检测物的正反面检出多种瑕疵，公知光学式瑕疵检测系统需要一个翻面机构来执行待检测物的翻转动作，并配置两台相机分别扫描拍摄待检测物的正面与反面。但是，公知光学式瑕疵检测系统中，影像拍摄系统的相机是设备中成本比重较高的部件，如果为了检测待检测物的正反面而分别搭配一台相机，那么设备的成本又将大幅上升。因此，本实用新型若能提供一种共用一台相机并以多台面运动检测待检测物的正反两面的光学式瑕疵检测系统，可以使成本降低且效率提升，将具有产业的实用性。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种具有翻转动作的承载台面并共用一个交错移动的影像拍摄系统的光学式瑕疵检测系统，使得一待检测物在承载台面执行翻转动作，通过影像拍摄系统交错移动取像，以检测该待检测物的的正反两面。

为了达到上述实用新型目的，本实用新型提供的一种光学式瑕疵检测系统，包括：一影像拍摄系统，包括一相机，该相机用以从一待检测物上拍摄影像；至少一平台，用以承载该待检测物；以及一位移驱动机构，驱动该相机在X轴方向上移动，且驱动该平台或该相机在Y轴方向上移动；该平台包括一可动载台，承载该待检测物的一正面朝上，与一载台，承载该待检测物的一反面朝上，且该光学式瑕疵检测系统包括：一翻面机构，旋转该可动载台使该待检测物的正面贴附于该载台，使得该相机分别从该可动载台与该载台拍摄该待检测物的正面影像与反面影像。

其中，该翻面机构包括：一旋转轴，且该可动载台固定于该旋转轴。

其中，该可动载台的厚度大于该固定载台，且该可动载台具有多个气孔，该等气孔用以吸附该待检测物的反面，且该载台具有多个气孔，该等气孔用以吸附该待检测物的正面。

为了达到上述实用新型目的，本实用新型又提供的一种光学式瑕疵检测系统，包括：一第一平台与一第二平台，分别用以承载该待检测物或该另一待检测物，其中，该第一平台与该第二平台分别包括该可动载台，承载该待检测物或该另一待检测物的一正面朝上，与一载台，承载该待检测物或该另一待检测物的一反面朝上，且该翻面机构可旋转该第一平台与该第二平台的该可动载台使该待检测物或该另一待检测物的正面贴附于该载台，使得该相机分别从该第一平台与该第二平台的该可动载台与该载台拍摄该待检测物或该另一待检测物的正面影像与反面影像。

根据本实用新型的光学式瑕疵检测系统，具有XY轴位移驱动机构，配合翻转动作的承载台共用一个交错移动的影像拍摄系统以检测该待检测物的正反两面，当承载台承载小尺寸待检测物，可以检测小尺寸待检测物的正反两面瑕疵，若为增加检测速度与效率，本实用新型系统可配置多个Y轴位移驱动机构独立移动，配合翻转动作的承载台共用一个交错移动的影像拍摄系统，可个别检测小尺寸待检测物的正反两面瑕疵，在需要检测大尺寸待检测物时，可以将各独立Y轴移动调整成同步移动的机构状态，所以可以检测的大尺寸待检测物面积可大于各独立Y轴移动的小尺寸待检测物面积，如此一来，本实用新型系统可以同时满足小尺寸与大尺寸样品的检测需求，不需要花费额外的费用，再针对不同尺寸购买不同尺寸的设备。

附图说明

图1为本实用新型第一种实施例公开的光学式瑕疵检测系统的系统架构图；

图2为本实用新型第一种实施例公开的光学式瑕疵检测系统的系统方块图；

图3为本实用新型系统承载一小尺寸待检测物的平台的俯视图；

图4是图3所示实施例承载该小尺寸待检测物之平台的侧视图；

图5A至图5C为图4所示平台的侧视图，其中该可动载台翻转一小尺寸待检测物至载台；

图6为本实用新型系统承载一大尺寸待检测物的平台的俯视图；

图7为图6所示系统承载一大尺寸待检测物的平台的侧视图；

图8A至图8C为图4所示平台的侧视图，其中该可动载台翻转一大尺寸待检测物至载台；

图9为本实用新型系统第一种实施例中影像拍摄系统拍摄一可翻转平台上小尺寸待检测物的移动与方向示意图；

图10为本实用新型系统第一种实施例影像拍摄系统拍摄两可翻转平台上待检测物的移动与方向示意图；

图11为本实用新型第二种实施例的系统架构图；

图12为本实用新型第二种实施例的系统方块图；

图13为本实用新型系统第二种实施例中影像拍摄系统拍摄一可翻转平台上待检测物的移动与方向示意图；

图14为本实用新型系统第二种实施例中影像拍摄系统拍摄两可翻转平台上待检测物的移动与方向示意图；

图15为本实用新型系统第一种实施例中影像拍摄系统拍摄一可翻转平台上大尺寸待检测物的移动与方向示意图；

图16为本实用新型系统第二种实施例中影像拍摄系统拍摄一可翻转平台上大尺寸待检测物的移动与方向示意图；

图17A至图17D为本实用新型系统的另一翻面机构的侧视图，其中第一可动载台与第二可动载台夹持翻转一待检测物。

图中，各组件与附图标记之间的对应关系为：

1 待检测物

2 可动载台

21 第一可动载台

22 第二可动载台

3 固定载台

4 Y轴驱动机构

41 Y1轴驱动机构

42 Y2轴驱动机构

5 翻面机构

6 锁附平台

10 影像拍摄系统

11 相机

12 镜头

13 偏光镜

14 分光镜

15 正光源

16 右侧光源

17 左侧光源

18 X轴驱动机构

S 扫描起始位置

E 扫描结束位置

L、R 移动方向

U、U1、U2 上料

D、D1、D2 下料

T 翻转方向

B、F 往复方向

具体实施方式

为使本实用新型实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本实用新型的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

下面结合附图对本实用新型做进一步的详细描述：

首先参考图1及图2，分别为本实用新型第一种实施例光学式瑕疵检测系统的系统架构图与系统方块图。在本实用新型的第一种实施例中，一种光学式瑕疵检测系统包括一影像拍摄系统10，从一平台所承载的一待检测物1拍摄正反两面的检测影像，其中该平台包括一可动载台2，承载该待检测物1的一正面朝上，与一固定载台3，承载该待检测物1的一反面朝上。该影像拍摄系统10包括：一具有镜头12的相机11，该相机11定义一光路以拍摄一待检测物1的正反两面。该待检测物1以电路板为例，在其正反两面上可分布多个零件或其布线。此外，该影像拍摄系统10配置各种辅助光源与光学零件，用以让待检测物1的瑕疵与缺陷可以显现出来。这些辅助光源与光学零件包括：一偏光镜13，配置于该相机11的光路以滤掉杂散光源；一分光镜14，配置于该相机1的光路；一正光源15，搭配该分光镜14以提供该待检测物1的正光源供相机11拍摄取像；以及，一左侧光源17与一右侧光源16，从旁提供待检测物1的拍摄辅助光。

继续参考图1及图2，本实用新型光学式瑕疵检测系统进一步包括：一位移驱动机构与一翻面机构5。该位移驱动机构包括一X轴驱动机构18与一Y轴驱动机构4，其中该X轴驱动机构18驱动该影像拍摄系统10的相机11在X轴方向上交错移动，分别对准该平台的可动载台2所承载该待检测物1的正面，以及该平台的固定载台3所承载该待检测物1的反面。该Y轴驱动机构4则同时驱动该平台的可动载台2与固定载台3在垂直于X轴方向的Y轴方向上前后移动，使该影像拍摄系统10的相机11扫描拍摄待检测物1正反两面的检测影像。

此外，翻面机构5包括一旋转轴与一马达，该平台的可动载台2固定耦合于该旋转轴，通过该马达驱动该旋转轴以旋转该可动载台2，使该可动载台2所承载的待检测物1的正面贴附于该固定载台3的台面。为了避免该可动载台2在翻转过程以及可动载台2与固定载台3在Y轴方向上前后移动过程，造成待检测物1的移动或掉落，该可动载台2与固定载台3的台面分别具有多个气孔，该可动载台2的该等气孔用以吸附该待检测物1的反面，而该固定载台3的该等气孔用以吸附该待检测物1的正面，该等气孔分布于如图3与图6所示该可动载台2与固定载台3的台面。

在本实用新型的第一种实施例中，光学式瑕疵检测系统尚包括一上料机与一下料机，图未示。该上料机从一未检测区位移一待检测物1至可动载台2的台面，使得可动载台2的气孔吸附该待检测物1的反面。待翻面机构5翻转该待检测物1至固定载台3进行检测后，该下料机从固定载台3的台面位移该待检测物1至一已检测区。

接着参考图3与图4，分别为本实用新型系统承载一小尺寸待检测物的平台的俯视图及侧视图。在本实用新型的较佳实施例中，本实用新型系统的平台包括一可动载台2、一固定载台3及一锁附平台6。该固定载台3锁定于该锁附平台6，该可动载台2可转动地配置于该锁附平台6。该翻面机构5的旋转轴作为该可动载台2的枢轴配置于该锁附平台6上，且该旋转轴较佳地位于该可动载台2与固定载台3之间。位移驱动机构的Y轴驱动机构4通过驱动锁附平台6，可以同时驱动该平台的可动载台2与固定载台3在Y轴方向上前后移动。

请参考图5A至图5C，分别为图4所示平台的各侧视图，其中该可动载台2翻转一小尺寸待检测物1至固定载台3。请同时参考图4，当上料机(图未示)从一未检测区位移一小尺寸待检测物1至可动载台2的台面时，该可动载台2的多个气孔吸附该待检测物1的反面。待该影像拍摄系统10的相机11扫描拍摄待检测物1正面的检测影像后，翻面机构5通过该马达驱动该旋转轴以旋转该可动载台2，如图5A，使该可动载台2所承载的待检测物1的正面贴附于该固定载台3的台面时，如图5B，该固定载台3的多个气孔先吸附该待检测物1的正面，该可动载台2的多个气孔才停止吸附该待检测物1的反面。翻面机构5通过该马达驱动该旋转轴以旋转该可动载台2回复起始位置，如图5C，以等待上料机从未检测区位移下一小尺寸待检测物1至可动载台2的台面，而待该影像拍摄系统10的相机11扫描拍摄待检测物1反面的检测影像后，下料机(图未示)从固定载台3的台面位移该待检测物1至一已检测区。在图5B中，值得注意的是，为了可动载台2旋转180度使待检测物1的正面能平贴于固定载台3的台面，该可动载台2的厚度应大于该固定载台3的厚度，较佳地，两者厚度的差为该小尺寸待检测物1的厚度。

请参考图6与图7，分别为本实用新型系统承载一大尺寸待检测物的平台的俯视图及侧视图。由于大尺寸待检测物的检测需求，该位移驱动机构包括两Y轴驱动机构41、42。本实用新型的光学式瑕疵检测系统可由两Y轴驱动机构41、42所独立驱动的小尺寸检测平台合并为一大尺寸检测平台，而由两Y轴驱动机构41、42共同驱动该大尺寸检测平台。此外，图6所示大尺寸检测平台与图4所示小尺寸检测平台的差异在于，可动载台2与固定载台3的大小尺寸差异，可分别承载大、小尺寸待检测物。图6所示大尺寸检测平台包括一可动载台2、一固定载台3及一锁附平台6。该固定载台3锁定于该锁附平台6，该可动载台2可转动地配置于该锁附平台6。该翻面机构5的旋转轴作为该可动载台2的枢轴配置于该锁附平台6上，且该旋转轴较佳地位于该可动载台2与固定载台3之间。通过该位移驱动机构的两Y轴驱动机构41、42共同驱动该锁附平台6，可以同时驱动该可动载台2与固定载台3在Y轴方向上前后移动。

请参考图8A至图8C，分别显示图7所示平台的各侧视图，其中该可动载台2翻转一大尺寸待检测物1至固定载台3。同时参考图7，当上料机(图未示)从一未检测区位移一大尺寸待检测物1至可动载台2的台面时，该可动载台2的多个气孔吸附该待检测物1的反面。待该影像拍摄系统10的相机11扫描拍摄待检测物1正面的检测影像后，翻面机构5通过该马达驱动该旋转轴以旋转该可动载台2，如图8A，使该可动载台2所承载的待检测物1的正面贴附于该固定载台3的台面时，如图8B，该固定载台3的多个气孔先吸附该待检测物1的正面，该可动载台2的多个气孔才停止吸附该待检测物1的反面。翻面机构5通过该马达驱动该旋转轴以旋转该可动载台2回复起始位置，如图8C，以等待上料机从未检测区位移下一大尺寸待检测物1至可动载台2的台面，而待该影像拍摄系统10的相机11扫描拍摄待检测物1反面的检测影像后，下料机(图未示)从固定载台3的台面位移该待检测物1至一已检测区。在图8B中，值得注意的是，为了可动载台2旋转180度使待检测物1的正面能平贴于固定载台3的台面，该可动载台2的厚度应大于该固定载台3的厚度，较佳地，两者厚度的差为该大尺寸待检测物1的厚度。

参考图9，为本实用新型系统第一种实施例中影像拍摄系统拍摄一可翻转平台上小尺寸待检测物的移动与方向示意图。在此一实施例中，该X轴驱动机构18驱动该影像拍摄系统10的相机在X轴方向上左移L与右移R，Y轴驱动机构4则同时驱动该可动载台2与固定载台3在Y轴方向上前移F与后移B的往复方向运动，上料机(图未示)从一未检测区上料U一小尺寸待检测物1至可动载台2的台面，翻面机构5驱动可动载台2翻转T使待检测物1翻面，下料机(图未示)从固定载台3上将已检测的待检测物1下料D移走。该影像拍摄系统10的相机依序扫描拍摄该待检测物1的正面影像与该待检测物的1反面影像，如下表1所示流程，流程4之后接续流程1循环。

表1

请参考图10，为本实用新型系统第一种实施例影像拍摄系统拍摄两可翻转平台上待检测物的移动与方向示意图。在此一实施例中，本实用新型光学式瑕疵检测系统可由两Y轴驱动机构独立驱动小尺寸检测平台，通过影像拍摄系统在两平台间交错移动取像，以检测该待检测物的正反两面。图10所示在X轴方向上左移L与右移R、在Y轴方向上前移F1、F2与后移B1、B2的往复方向、翻面机构5驱动可动载台2的翻转T1、T2、上料机的上料U1、U2以及下料机的下料D1、D2，均如图9所示的说明。为了便于说明，图10所示左侧为第一平台，右侧为第二平台，在第一平台上下料为第一待检测物，在第二平台上下料为第二待检测物。该影像拍摄系统10的相机依序扫描拍摄该第一待检测物的正面影像、该第二待检测物的正面影像、该第一待检测物的反面影像以及该第二待检测物的反面影像，如下表2所示流程，流程8之后接续流程1循环。对本实用新型所属技术领域的技术人员可以容易变更表2的流程，使该影像拍摄系统10的相机依序扫描拍摄该第一待检测物的正面影像、该第一待检测物的反面影像、该第二待检测物的正面影像以及该第二待检测物的反面影像。

表2

请参考图11与图12，分别为本实用新型第二种实施例的系统架构图与系统方块图。本实用新型第一种实施例与第二种实施例的差异在于位移驱动机构，该位移驱动机构包括一X轴驱动机构18与一Y轴驱动机构4，共同驱动该影像拍摄系统10的相机11在X轴方向与Y轴方向上移动，而承载可动载台2与固定载台3的锁附平台6则固定不动。

请参考图13，为本实用新型系统第二种实施例中影像拍摄系统拍摄一可翻转平台上小尺寸待检测物的移动与方向示意图。在此一实施例中，该X轴驱动机构18与Y轴驱动机构4驱动该影像拍摄系统10的相机在X轴方向上左移L与右移R，且在Y轴方向上前移F与后移B的往复方向运动，上料机(图未示)从一未检测区上料U一小尺寸待检测物1至可动载台2的台面，翻面机构5驱动可动载台2翻转T使待检测物1翻面，下料机(图未示)从固定载台3上将已检测的待检测物1下料D移走。该影像拍摄系统10的相机依序扫描拍摄该待检测物1的正面影像与该待检测物的1反面影像，如下表3所示流程，流程4之后接续流程1循环。

表3

请参考图14，为本实用新型系统第二种实施例影像拍摄系统拍摄两可翻转平台上待检测物的移动与方向示意图。在此一实施例中，本实用新型光学式瑕疵检测系统可由两Y轴驱动机构独立驱动小尺寸检测平台，通过影像拍摄系统在两平台间交错移动取像，以检测该待检测物的正反两面。图14所示在X轴方向上左移L与右移R、在Y轴方向上前移F与后移B的往复方向、翻面机构5驱动可动载台2的翻转T1、T2和上料机的上料U1、U2以及下料机的下料D1、D2，均如图13所示的说明。为了便于说明，图14所示左侧为第一平台，右侧为第二平台，在第一平台上下料为第一待检测物，在第二平台上下料为第二待检测物。该影像拍摄系统10的相机依序扫描拍摄该第一待检测物的正面影像、该第二待检测物的正面影像、该第一待检测物的反面影像以及该第二待检测物的反面影像，如下表4所示流程，流程8之后接续流程1循环。对本实用新型所属技术领域的技术人员可以容易变更表4的流程，使该影像拍摄系统10的相机依序扫描拍摄该第一待检测物的正面影像、该第一待检测物的反面影像、该第二待检测物的正面影像以及该第二待检测物的反面影像。

表4

请参考图15，为本实用新型系统第一种实施例中影像拍摄系统拍摄一可翻转平台上大尺寸待检测物的移动与方向示意图。在此一实施例中，影像拍摄系统10的相机在Y轴方向上扫描无法一次拍摄大尺寸待检测物的正面与反面，必须在Y轴方向上以多次往复运动拍摄。因此，影像拍摄系统10的扫描拍摄期间，分别针对可动载台2与固定载台3所承载大尺寸待检测物，两Y轴驱动机构41、42同步多次往复运动驱动大尺寸检测平台，同时X轴驱动机构18驱动使相机从扫描起始位置S逐步右移R至扫描结束位置E。此外，在X轴方向上左移L与右移R、在Y轴方向上前移F与后移B的往复方向、翻面机构5驱动可动载台2的翻转T、上料机的上料U以及下料机的下料D，均如图9所示的说明。该影像拍摄系统10的相机依序扫描拍摄该待检测物1的正面影像与该待检测物的1反面影像，如下表5所示流程，流程4之后接续流程1循环。

表5

请参考图16，为本实用新型系统第二种实施例影像拍摄系统拍摄一可翻转平台上大尺寸待检测物的移动与方向示意图。在此一实施例中，影像拍摄系统10的相机在Y轴方向上扫描无法一次拍摄大尺寸待检测物的正面与反面，必须在Y轴方向上以多次往复运动拍摄。因此，影像拍摄系统10的扫描拍摄期间，分别针对可动载台2与固定载台3所承载大尺寸待检测物，两Y轴驱动机构41、42同步多次往复运动驱动大尺寸检测平台，同时X轴驱动机构18驱动使相机从扫描起始位置S逐步右移R至扫描结束位置E。此外，在X轴方向上左移L与右移R、在Y轴方向上前移F与后移B的往复方向、翻面机构5驱动可动载台2的翻转T、上料机的上料U以及下料机的下料D，均如图15所示的说明。该影像拍摄系统10的相机依序扫描拍摄该待检测物1的正面影像与该待检测物的1反面影像，如下表6所示流程，流程4之后接续流程1循环。

表6

请参考图17A至图17D，为本实用新型系统的另一翻面机构的侧视图，由第一可动载台21与第二可动载台22夹持翻转一待检测物。在本实用新型的第一种与第二种实施例中，图5A至图5C所示与图8A至图8C所示翻转一待检测物的操作可由图17A至图17D所示另一翻面机构5的翻转操作所取代。在图17A至图17D所示的本实用新型系统中，一种光学式瑕疵检测系统包括一影像拍摄系统(图未示)，从一平台所承载的一待检测物1拍摄正反两面的检测影像，其中该平台包括一第一可动载台21，承载该待检测物1的一正面朝上，与一第二可动载台22，承载该待检测物1的一反面朝上。该光学式瑕疵检测系统进一步包括一位移驱动机构与一翻面机构5。该位移驱动机构包括一X轴驱动机构(图未示)与一Y轴驱动机构4，其中该X轴驱动机构驱动该影像拍摄系统的相机在X轴方向上交错移动，如图1所示，以对准该第一可动载台21上该待检测物1的正面，以及对准该第二可动载台22上该待检测物1的反面。位移驱动机构的Y轴驱动机构4驱动锁附平台6在Y轴方向上前后移动，翻面机构5与第一、第二可动载台21、22则位于该锁附平台6上。

翻面机构5包括一旋转轴、一选择机构与一马达，其中该马达驱动该旋转轴的正反转，该选择机构可选择该第一可动载台21或该第二可动载台22耦合至该旋转轴，或两可动载台21、22同时耦合至该旋转轴，使得该旋转轴可选择地旋转该第一可动载台21或该第二可动载台22或同时旋转该第一、第二可动载台21、22。当第一、第二可动载台21、22未耦合至该旋转轴时，该旋转轴的自由旋转则不影响第一、第二可动载台21、22的位置。

当翻面机构5执行翻转操作时，如图17A所示，该选择机构选择该第二可动载台22耦合至该旋转轴，但该第一可动载台21未耦合至该旋转轴，并由马达驱动该旋转轴的反转，如图17B所示箭头，以转动该第二可动载台22贴附于待检测物1的正面。然后，该选择机构选择两载台21、22同时耦合至该旋转轴，并由马达驱动该旋转轴的正转，如图17C所示箭头，以同时转动两载台21、22夹持待检测物1翻转至第二可动载台22原来的位置。最后，该选择机构选择该第一可动载台21耦合至该旋转轴，但该第二可动载台22未耦合至该旋转轴，并由马达驱动该旋转轴的反转，如图17D所示箭头，以转动该第一可动载台21至原来的位置，遂完成将待检测物1从该第一可动载台21翻转至该第二可动载台22的操作。

熟悉本技术领域人员可以理解，相较于图5A至图5C所示与图8A至图8C所示由单一可动载台2的翻转操作，图17A至图17D所示翻转操作是由两可动载台21、22夹持待检测物1翻转，所以在两载台21、22上无须设置吸附待检测物1的气孔。

以上所述为本实用新型的实施方式，根据本实用新型提出的光学式瑕疵检测系统，可翻转待检测物以进行其正反两面的瑕疵检测，同时满足了小尺寸与大尺寸样品的检测需求，不需要花费额外的费用，再针对不同尺寸购买不同尺寸的设备，降低了成本且提升了效率。

以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，对于本领域的技术人员来说，本实用新型可以有各种更改和变化。凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种光学式瑕疵检测系统，其特征在于，包括：

一影像拍摄系统，包括一相机，该相机用以从一待检测物上拍摄影像；

至少一平台，用以承载该待检测物；以及

一位移驱动机构，驱动该相机在X轴方向上移动，且驱动该平台或该相机在Y轴方向上移动；

其特征在于：

该平台包括一可动载台，承载该待检测物的一正面朝上，与一载台，承载该待检测物的一反面朝上，且该光学式瑕疵检测系统包括：一翻面机构，旋转该可动载台使该待检测物的正面贴附于该载台，使得该相机分别从该可动载台与该载台拍摄该待检测物的正面影像与反面影像。

2.根据权利要求1所述的光学式瑕疵检测系统，其特征在于，其中该翻面机构包括：一旋转轴，且该可动载台固定于该旋转轴。

3.根据权利要求1所述的光学式瑕疵检测系统，其特征在于，其中该可动载台具有多个气孔，该等气孔用以吸附该待检测物的反面，且该载台具有多个气孔，该等气孔用以吸附该待检测物的正面。

4.根据权利要求1所述的光学式瑕疵检测系统，其特征在于，其中该平台包括一锁附平台，且该载台固定于该锁附平台，该可动载台可转动地配置于该锁附平台。

5.根据权利要求1所述的光学式瑕疵检测系统，其特征在于，其中该位移驱动机构包括一X轴驱动机构，该X轴驱动机构驱动该相机在X轴方向上移动，以对准该可动载台上该待检测物的正面，以及对准该载台上该待检测物的反面。

6.根据权利要求1所述的光学式瑕疵检测系统，其特征在于，包括：

一第一平台与至少一第二平台，分别用以承载该待检测物或另一待检测物，其中，

该第一平台与该第二平台分别包括该可动载台，承载该待检测物或该另一待检测物的一正面朝上，与该载台，承载该待检测物或该另一待检测物的一反面朝上，且该翻面机构可旋转该第一平台与该第二平台的该可动载台使该待检测物或该另一待检测物的正面贴附于该载台，使得该相机分别从该第一平台与该第二平台的该可动载台与该载台拍摄该待检测物或该另一待检测物的正面影像与反面影像。

7.根据权利要求1或6所述的光学式瑕疵检测系统，其特征在于，其中该载台为一固定载台，且该载台固定于一锁附平台，该可动载台可转动地配置于该锁附平台。

8.根据权利要求1或6所述的光学式瑕疵检测系统，其特征在于，其中载台为一第二可动载台，该翻面机构可选择地单独旋转该可动载台或该第二可动载台，或共同旋转该可动载台及该第二可动载台，使该待检测物的正面贴附于该第二可动载台。

9.根据权利要求6所述的光学式瑕疵检测系统，其特征在于，其中该相机依序拍摄该待检测物的正面影像、该另一待检测物的正面影像、该待检测物的反面影像以及该另一待检测物的反面影像。

10.根据权利要求6所述的光学式瑕疵检测系统，其特征在于，其中该相机依序拍摄该待检测物的正面影像、该待检测物的反面影像、该另一待检测物的正面影像以及该另一待检测物的反面影像。