TW202132075A - 玻璃膜的製造方法以及玻璃膜的製造裝置 - Google Patents

Abstract

本發明在一面利用帶式輸送機22d搬運玻璃膜G1一面藉由製造相關處理部9對玻璃膜G1實施製造相關處理時，帶式輸送機22d構成為於較製造相關處理部9更靠玻璃膜G1的搬運方向上游側，可將玻璃膜G1吸附於帶23d，且帶式輸送機22d構成為可於玻璃膜G1的搬運方向X上變更對玻璃膜G1的吸附力P11、吸附力P12。

Description

玻璃膜的製造方法以及玻璃膜的製造裝置

本發明是有關於一種玻璃膜的製造方法以及玻璃膜的製造裝置。

於玻璃膜的製造步驟中，一般而言，一面將玻璃膜於規定方向搬運，一面對玻璃膜實施切斷或印刷等的製造相關處理。此時，於進行製造相關處理的區域或其周邊，有時將玻璃膜以吸附於帶式輸送機的帶表面的狀態進行搬運（例如，參照專利文獻1）。藉由使用可吸附的帶式輸送機，而具有可在玻璃膜的一個面為非接觸的狀態下進行搬運、以及即便在搬運停止時仍可穩定地保持玻璃膜等的優點。 [現有技術文獻] [專利文獻]

專利文獻1：日本專利特開2018-150131號公報

[發明所欲解決之課題] 然而，實際而言，在如上述般將玻璃膜一面利用帶式輸送機予以吸附並進行搬運一面實施切斷等的製造相關處理的情況下，有時非常難以調整對玻璃膜的吸附力。由於玻璃膜伴隨帶的驅動而連續性地被搬運，因此例如在對玻璃膜的吸附力不充分的情況下，於搬運過程中會產生玻璃膜的吸附狀態被解除的事態。因吸附狀態被解除，使得對玻璃膜的約束力下降或者暫時消失，因此增加相對於帶產生位置偏移的擔憂。另一方面，在為了避免搬運過程中的吸附狀態的解除，而增大對玻璃膜的吸附力從而強力地吸附玻璃膜的情況下，有時根據吸附力的程度，會對玻璃膜強力地進行約束。此種情況下，存在因與周圍之間產生的速度差而產生褶皺等變形的擔憂增加的問題。

鑒於以上的情況，本發明的應解決的技術課題在於：可防止褶皺等變形且維持對帶的吸附狀態而不錯位地搬運玻璃膜，藉此對玻璃膜實施良好的製造相關處理。

[解決課題之手段] 所述課題的解決藉由本發明的玻璃膜的製造方法而達成。即，所述製造方法為玻璃膜的製造方法，一面利用帶式輸送機搬運玻璃膜一面藉由製造相關處理部對玻璃膜實施製造相關處理，且所述玻璃膜的製造方法的特徵在於：帶式輸送機構成為於較製造相關處理部更靠玻璃膜的搬運方向上游側，可將玻璃膜吸附於帶，且帶式輸送機構成為可於玻璃膜的搬運方向上變更對玻璃膜的吸附力。

如此般，於本發明的玻璃膜的製造方法中，將帶式輸送機的至少規定的一部分設為可將玻璃膜吸附於帶的結構，且可於玻璃膜的搬運方向上變更所述帶式輸送機對玻璃膜的吸附力。藉由如此般構成，而可將玻璃膜一面根據其搬運方向位置以適當大小的吸附力予以吸附一面進行搬運。因此，於產生過於強力地吸附玻璃膜的部位的情況下，藉由減小所述部位的吸附力，而可盡可能地防止或抑制褶皺等變形。另一方面，對於其他部位，例如藉由相對增大吸附力，而防止玻璃膜相對於帶的滑動，而可不錯位地搬運玻璃膜。

又，於本發明的玻璃膜的製造方法中，在自玻璃膜的搬運方向觀察的情況下，可在靠近製造相關處理部之側，相對減小對玻璃膜的吸附力，可在遠離製造相關處理部之側，相對增大對玻璃膜的吸附力。

對於褶皺等變形而言，即便假定在搬運中途產生褶皺等變形，但重要的是在實施對最終品質帶來影響的可能性高的製造相關處理時（通過實施部位時）消除或縮小褶皺等變形。鑒於此方面，藉由設為在靠近製造相關處理部之側對玻璃膜的吸附力相對減小，在遠離製造相關處理部之側對玻璃膜的吸附力相對增大，而可在較製造相關處理部更靠上游側，強力地吸附玻璃膜而不錯位地搬運所述玻璃膜。又，即便在強力吸附時產生褶皺等變形，但藉由在較產生褶皺等變形的部位更靠下游側且為較製造相關處理部更靠上游側的區域，將吸附力相對減小，而可使暫且產生的褶皺等變形在到達製造相關處理部之前消除或縮小。藉此，可不錯位地且在無褶皺等變形的狀態下將玻璃膜搬入至製造相關處理部，因此可更穩定地實施高品質的製造相關處理。

又，於本發明的玻璃膜的製造方法中，可吸附玻璃膜的帶的吸附面，可於玻璃膜的搬運方向上被區劃成可使對玻璃膜的吸附力互不相同的多個吸附區。

藉由如此般將帶的吸附面於玻璃膜的搬運方向上區劃成多個吸附區，而只要針對每一吸附區設定吸附力即可。因此，與例如在搬運方向上連續性地使吸附力變化的情況等相比，可容易地設定並變更對玻璃膜的吸附力分佈。又，由於在搬運方向上區劃成多個吸附區，因此亦可比較簡易地形成吸附機構。因此，在設備成本方面亦為較佳。

又，於吸附面被區劃成多個吸附區的情況下，於本發明的玻璃膜的製造方法中，吸附面可於玻璃膜的搬運方向上被區劃成兩個吸附區。又，此種情況下，可以位於玻璃膜的搬運方向上游側的吸附面的第一吸附區內的吸附力相對增大，位於較第一吸附區更靠玻璃膜的搬運方向下游側的吸附面的第二吸附區內的吸附力相對減小的方式，控制各吸附區內的吸附力的大小。

如上述般，於將帶的吸附面區劃成兩個吸附區的情況下，藉由相對增大位於搬運方向上游側的吸附區（第一吸附區）的吸附力，且相對減小位於搬運方向下游側的吸附區（第二吸附區）的吸附力，而可如上述般，於第一吸附區強力地吸附玻璃膜而不錯位地搬運所述玻璃膜。又，即便當在第一吸附區強力地吸附玻璃膜時產生褶皺等變形，但藉由在較產生褶皺等變形的部位更靠搬運方向下游側的區域，相對減小吸附力，而可使暫且產生的褶皺等變形消除或縮小。藉此，可不錯位地且在無褶皺等變形的狀態下搬運玻璃膜，因此藉由例如在第二吸附區上或較第二吸附區更靠搬運方向下游側配置製造相關處理部，而可穩定地實施高品質的製造相關處理。又，只要針對兩個吸附區進行吸附力的設定即可，因此亦易於進行吸附力分佈的設定、變更。

又，於吸附面被區劃成多個吸附區的情況下，於本發明的玻璃膜的製造方法中，吸附面可於玻璃膜的搬運方向上被區劃成三個吸附區。又，此種情況下，在將三個吸附區自玻璃膜的搬運方向上游側朝向下游側依次設為第一吸附區、第二吸附區、及第三吸附區時，可以第二吸附區內的吸附力為最大，第一吸附區及第三吸附區內的吸附力分別小於第二吸附區內的吸附力的方式，控制各吸附區內的吸附力的大小。

如上述般，在將帶的吸附面區劃成三個吸附區的情況下，將該些三個吸附區內的吸附力中的、位於搬運方向中間的吸附區（第二吸附區）的吸附力設為最大，將較所述吸附區更靠搬運方向下游側的吸附區（第三吸附區）及更靠搬運方向上游側的吸附區（第一吸附區）內的吸附力分別設為小於第二吸附區內的吸附力。玻璃膜在成形之後，在根據情況而接受各種處理之後，例如自其他輸送機上被移載至本發明的帶式輸送機上。因此，若在所述移載時，若企圖強力地吸附玻璃膜，則存在易於產生褶皺等變形的問題。相對於此，藉由相對減小最上游側的吸附區內的吸附力，而可防止在剛進行完上述的移載後發生褶皺等變形的事態。藉此，可於在移載後的玻璃膜上無褶皺等變形的狀態下向製造相關處理部搬運所述玻璃膜。又，即便在第二吸附區強力地吸附玻璃膜而不錯位地搬運所述玻璃膜，但藉由在較第二吸附區更靠搬運方向下游側的吸附區（第三吸附區），相對減小吸附力，而即便假定在第二吸附區新產生褶皺等變形，亦可使所述褶皺等變形消除或縮小。藉此，可不錯位地且在無褶皺等變形的狀態下搬運玻璃膜，因此藉由例如在第三吸附區上或較第三吸附區更靠搬運方向下游側配置製造相關處理部，而可穩定地實施高品質的製造相關處理。又，只要針對三個吸附區進行吸附力的設定即可，因此亦易於進行吸附力分佈的設定。

又，於吸附面被區劃成多個吸附區的情況下，於本發明的玻璃膜的製造方法中，帶式輸送機可更具有對帶予以支持的中空形狀的支持體，支持體於其內部具有可排氣的排氣空間，且排氣空間於玻璃膜的搬運方向上與吸附區對應地被分割，並且於支持體與帶內設有連通部，所述連通部使帶與支持體之間的空間、和排氣空間連通。

藉由如此般構成，而帶的上表面中的、通過支持體的設置有排氣空間的部分的上方的部分，作為對玻璃膜的吸附面而發揮功能。又，由於排氣空間與吸附區對應地被分割，因此藉由調整各分割空間內的排氣量（進而調整各分割空間內所產生的負壓的大小），而可於帶上形成可分別發揮規定的吸附力的吸附區。根據所述結構，只要對自先前已有的支持體施加最小限度的改良即可，因此避免裝置的大型化、複雜化，而可以極低的成本於帶上形成所期望的吸附力分佈。

又，於將支持體內部的排氣空間與吸附區對應地予以分割的情況下，於本發明的玻璃膜的製造方法中，於將排氣空間予以分割而成的各分割空間，可分別連接有可相互獨立地控制的鼓風機（blower）。

例如藉由將一台鼓風機連接於排氣空間的各分割空間，並於各分割空間與鼓風機之間安裝閥，亦可對各分割空間的排氣量予以調整，但若如此設置則難以精度良好地調整吸附力。相對於此，於本發明中，由於針對每一分割空間而連接有鼓風機，因此例如僅藉由調整成為鼓風機的動力源的馬達的頻率，而可簡便且高精度地控制各分割空間的排氣量，進而可精度良好地控制負壓。

又，於本發明的玻璃膜的製造方法中，帶式輸送機是相對而言位於玻璃膜的搬運方向上游側的上游側帶式輸送機，亦可於較上游側帶式輸送機更靠玻璃膜的搬運方向下游側配設下游側輸送機。

如此般，藉由配設下游側輸送機，於玻璃膜呈帶狀的情況下，可對通過形成吸附結構的帶式輸送機的下游側的部分賦予拉力。因此，更有效地消除或抑制於玻璃膜上產生的褶皺等變形，而可更確實地在無褶皺等變形的狀態下將玻璃膜搬入至製造相關處理部。

又，根據以上所說明的玻璃膜的製造方法，可防止褶皺等變形且維持與帶的吸附狀態而不錯位地搬運玻璃膜，藉此可對玻璃膜實施良好的製造相關處理。因此，例如在製造相關處理部為可將玻璃膜沿著其長度方向進行切斷的雷射切斷部的情況下，本發明為較佳。即，藉由將本發明應用於利用帶式輸送機搬運的玻璃膜的雷射切斷中，而可穩定地實施玻璃膜的準確的切斷。

又，所述課題的解決亦可藉由本發明的玻璃膜的製造裝置而達成。即，所述製造裝置為玻璃膜的製造裝置，包括：帶式輸送機，對玻璃膜進行搬運；以及製造相關處理部，對利用帶式輸送機進行搬運過程中的玻璃膜實施製造相關處理；且所述玻璃膜的製造裝置的特徵在於：帶式輸送機構成為於較製造相關處理部更靠玻璃膜的搬運方向上游側，可將玻璃膜吸附於帶，且帶式輸送機構成為可於玻璃膜的搬運方向上變更對玻璃膜的吸附力。

如此般，於本發明的玻璃膜的製造裝置中，亦將帶式輸送機的至少規定的一部分設為可將玻璃膜吸附於帶的結構，且可於玻璃膜的搬運方向上變更所述帶式輸送機對玻璃膜的吸附力。藉由如此般構成，而可將玻璃膜一面根據其搬運方向位置以適當大小的吸附力予以吸附一面進行搬運。因此，於產生過於強力地吸附玻璃膜的部位的情況下，藉由減小所述部位的吸附力，而可盡可能地防止或抑制褶皺等變形。另一方面，對於其他部位，例如藉由相對增大吸附力，而防止玻璃膜相對於帶的滑動，而可不錯位地搬運玻璃膜。

[發明的效果] 如以上所述般，根據本發明，可防止褶皺等變形且維持與帶的吸附狀態而不錯位地搬運玻璃膜，藉此對玻璃膜實施良好的製造相關處理。

以下，基於圖1～圖5對本發明的玻璃膜的製造方法的第一實施形態進行說明。再者，以下，以將玻璃膜捲繞成卷狀而最終獲得玻璃卷的情況為例進行說明。

如圖1所示，本發明的一實施形態的玻璃膜（玻璃卷）的製造裝置1包括：成形部2，使帶狀的母材玻璃膜G成形；方向轉換部3，將母材玻璃膜G的行進方向自縱向下方轉換成橫向；第一搬運部4，於方向轉換後對母材玻璃膜G進行橫向搬運；第一切斷部5，對母材玻璃膜G中的寬度方向兩端部進行切斷；以及第一捲繞部6，將經去除寬度方向兩端部的玻璃膜（以下稱為第一玻璃膜）G1捲繞成卷狀而獲得第一玻璃卷GRL1。再者，於本實施形態中，縱向是鉛垂方向，橫向是水平方向。

又，玻璃卷的製造裝置1更包括：抽出部7，自第一玻璃卷GRL1抽出第一玻璃膜G1；第二搬運部8，將自抽出部7抽出的第一玻璃膜G1進行橫向搬運；第二切斷部9，切斷第一玻璃膜G1的一部分；以及第二捲繞部10，將由第二切斷部9切斷而成的玻璃膜（以下，稱為第二玻璃膜）G2a、玻璃膜（以下，稱為第二玻璃膜）G2b捲繞成卷狀而獲得第二玻璃卷GRL2a、第二玻璃卷GRL2b。再者，本實施形態中的第二切斷部9相當於本發明中的製造相關處理部。

成形部2包括：剖視時為大致楔形的成形體11，於上端部形成有溢流槽11a；邊緣輥（edge roller）12，配置於成形體11的正下方，自表背兩側夾持自成形體11溢出的熔融玻璃GM；以及退火爐（annealer）13，配備在邊緣輥12的正下方。

成形部2使自成形體11的溢流槽11a溢出的熔融玻璃GM沿兩側面分別流下，且於其下端部匯流而成形為膜狀。邊緣輥12對所述熔融玻璃GM的寬度方向收縮進行限制而調整母材玻璃膜G的寬度方向尺寸。退火爐13是用於對母材玻璃膜G實施除應變處理的構件。退火爐13具有配設成上下方向多層的退火爐輥14。

於退火爐13的下方，配設有自表背兩側夾持母材玻璃膜G的支持輥15。對支持輥15與邊緣輥12之間，或對支持輥15與任一處的退火爐輥14之間，賦予用於促使母材玻璃膜G變成薄壁的張力。

方向轉換部3設置於支持輥15的下方位置。於方向轉換部3上，呈彎曲狀排列有對母材玻璃膜G進行導引的多個導輥16。該些導輥16對在鉛垂方向搬運的母材玻璃膜G進行橫向導引。

第一搬運部4配置於方向轉換部3的行進方向前方（下游側）。第一搬運部4藉由驅動具有支持搬運面的驅動部，而將通過方向轉換部3的母材玻璃膜G沿其長度方向朝下游側搬運。再者，第一搬運部4可採用任意的結構，例如可包含一個或多個帶式輸送機。此種情況下，具有支持搬運面的驅動部為帶，藉由對所述帶進行驅動，而可將母材玻璃膜G以上文所述的形態進行搬運。當然，第一搬運部4並不限定於上述例示的結構，亦可使用輥式輸送機（roller conveyor）及其他各種搬運裝置。

第一切斷部5配置於第一搬運部4的上方。於本實施形態中，第一切斷部5構成為可藉由雷射切割對母材玻璃膜G進行切斷。具體而言，第一切斷部5包括：一對雷射照射裝置17a、及配置於所述雷射照射裝置17a的下游側的一對冷卻裝置17b。第一切斷部5自各雷射照射裝置17a對所搬運的母材玻璃膜G的規定部位照射雷射光L而進行加熱後，自冷卻裝置17b放出冷媒R而將所述加熱部位進行冷卻。

第一捲繞部6設置於第一搬運部4及第一切斷部5的下游側。第一捲繞部6藉由使捲芯18旋轉而將第一玻璃膜G1捲繞成卷狀。以此種方式獲得的第一玻璃卷GRL1被搬運至抽出部7的位置。抽出部7自藉由第一捲繞部6而獲得的第一玻璃卷GRL1抽出第一玻璃膜G1，並供給至第二搬運部8上。

第二搬運部8將在抽出部7中自第一玻璃卷GRL1抽出的第一玻璃膜G1沿橫向（以下，稱為搬運方向X）搬運。此處，如圖2及圖3所示，第二搬運部8包括：上游側輸送機19，相對而言位於第一玻璃膜G1的搬運方向上游側；以及下游側輸送機20，位於較上游側輸送機19更靠第一玻璃膜G1的搬運方向下游側。此種情況下，作為製造相關處理部的第二切斷部9配設於上游側輸送機19與下游側輸送機20之間。因此，利用第二切斷部9的第一玻璃膜G1的切斷區21（圖2中的以一點鏈線包圍的區域）不在上游側輸送機19的支持搬運面上及下游側輸送機20的支持搬運面上。

上游側輸送機19包括帶式輸送機。此種情況下，上游側輸送機19相當於本發明的帶式輸送機。於本實施形態中，上游側輸送機19包括多個上游側帶式輸送機22a～22g。該些多個上游側帶式輸送機22a～22g均構成為可藉由帶（以下稱為第一帶23a～第一帶23g）於相同的方向將第一玻璃膜G1予以接觸支持並向下游側搬運。此處，各第一帶23a～第一帶23g例如為環形帶狀的帶，各第一帶23a～第一帶23g設定在相同高度方向位置，以使第一玻璃膜G1於在其長度方向上所接觸的整個區域保持為大致水平姿勢。

此處，各上游側帶式輸送機22a～上游側帶式輸送機22g均具有相同的帶驅動結構。如圖3所示，以最靠寬度方向一端側（圖2的下側）的上游側帶式輸送機22g為例，所述上游側帶式輸送機22g包括：上文所述的環形帶狀的第一帶23g、用於對第一帶23g賦予張力且將第一帶23g配設於規定的位置的多個皮帶輪（pulley）24、以及支持該些多個皮帶輪24的第一支持體25。第一支持體25固定於地面。又，於多個皮帶輪24中的規定的皮帶輪24（驅動皮帶輪24a），連結有馬達等驅動源26（參照圖2），藉由由所述驅動源26對驅動皮帶輪24a賦予驅動力，而可將上游側帶式輸送機22g的第一帶23g於規定的方向進行驅動。

又，上述結構的多個上游側帶式輸送機22a～22g分別設置於規定的寬度方向位置。此處，設想在上游側輸送機19上搬運寬度方向尺寸互不相同的多種第一玻璃膜G1，而以於所設想的各第一玻璃膜G1的寬度方向兩端側進行接觸支持的方式，設定各第一帶23a～第一帶23g的寬度方向位置。又，於本實施形態中，無關於寬度方向尺寸的大小，以可將全部的第一玻璃膜G1於其寬度方向中央位置予以接觸支持的方式配設上游側帶式輸送機22（參照圖2）。於本實施形態中，所述寬度方向中央的上游側帶式輸送機22d，構成為可將第一玻璃膜G1吸附於成為支持搬運面的第一帶23d的表面（吸附面23d1）。對所述吸附結構將於後述。又，於本實施形態中，關於其餘的上游側帶式輸送機22a～上游側帶式輸送機22c、上游側帶式輸送機22e～上游側帶式輸送機22g，如根據第一帶23a～第一帶23c、第一帶23e～第一帶23g的表面為平滑的情形亦可明確般，不具有任何吸附結構（構成為不可吸附）。

於本實施形態中，下游側輸送機20包括帶式輸送機。此種情況下，下游側輸送機20包括多個下游側帶式輸送機27a～27g。該些多個下游側帶式輸送機27a～27g均構成為可藉由帶（以下稱為第二帶28a～第二帶28g）於相同的方向將切斷後的第一玻璃膜G1、即第二玻璃膜G2a、第二玻璃膜G2b予以接觸支持並朝下游側搬運。此處，各第二帶28a～第二帶28g例如為環形帶狀的帶，各第二帶28a～第二帶28g設定在相同的高度方向位置，以使第二玻璃膜G2a、第二玻璃膜G2b於在其長度方向上所接觸的整個區域保持為大致水平姿勢。

此處，各下游側帶式輸送機27a～下游側帶式輸送機27g均具有相同的帶驅動結構。如圖3所示，以最靠寬度方向一端側（圖2的下側）的下游側帶式輸送機27g為例，所述下游側帶式輸送機27g包括：上文所述的環形帶狀的第二帶28a～第二帶28g、用於對第二帶28a～第二帶28g賦予張力且將第二帶28a～第二帶28g配設於規定的位置的多個皮帶輪29、以及支持該些多個皮帶輪29的第一支持體30。又，於多個皮帶輪29中的規定的皮帶輪29（驅動皮帶輪29a），連結有馬達等驅動源31（參照圖2），藉由由驅動源31對驅動皮帶輪29a賦予驅動力，而可將各下游側帶式輸送機27a～下游側帶式輸送機27g的第二帶28a～第二帶28g於規定的方向進行驅動。所述驅動源31與上游側帶式輸送機22a～上游側帶式輸送機22g的驅動源26各別獨立地設置。因此，可不聯動地相互獨立地控制各驅動源26、驅動源31、以及上游側帶式輸送機22a～上游側帶式輸送機22g及下游側帶式輸送機27a～下游側帶式輸送機27g。

又，於本實施形態中，構成為多個下游側帶式輸送機27a～27g可分別設置於規定的寬度方向位置，各第二帶28a～第二帶28g的位置可於第一玻璃膜G1的寬度方向上予以調整。具體而言，於各下游側帶式輸送機27a～下游側帶式輸送機27g的下方，配設有於第一玻璃膜G1的寬度方向上延伸的軌道部32。而且，於構成各下游側帶式輸送機27a～下游側帶式輸送機27g的各第一支持體30的下部，安裝有可於軌道部32之間相對移動的滑動部33。藉此，藉由各第一支持體30的滑動部33相對於軌道部32於寬度方向上滑動，而由各第一支持體30支持的多個皮帶輪29及由該些皮帶輪29支持的第二帶28a～第二帶28g可一體地於寬度方向上滑動。再者，各下游側帶式輸送機27a～下游側帶式輸送機27g的驅動皮帶輪29a相對於共用的軸34於寬度方向上可滑動地被支持。因此，可自由地變更相對於軸34的寬度方向上的位置，且可在任意的寬度方向位置接受來自驅動源31的驅動力而進行驅動。再者，於圖示例中，位於最靠寬度方向另一端側（圖2的最上側）的下游側帶式輸送機27a，配置於在寬度方向上遠離第二玻璃膜G2a、第二玻璃膜G2b的搬運路徑的位置（退避空間35）。

又，於本實施形態中，如圖2所示，全部下游側帶式輸送機27a～下游側帶式輸送機27g的第二帶28a～第二帶28g構成為可將第二玻璃膜G2a、第二玻璃膜G2b吸附於成為其支持搬運面的表面。

接著，對上游側帶式輸送機22d的吸附結構詳細地進行說明。

如上述般，所述上游側帶式輸送機22d包括：環形帶狀的第一帶23d、多個皮帶輪24、第一支持體25、以及驅動源26（參照圖2及圖3），如圖4所示，更包括：第二支持體36，自下方支持第一帶23d；排氣空間37；以及連通部38，可將第一帶23d與第二支持體36之間的空間、和排氣空間37加以連通。

第二支持體36安裝於第一支持體25，藉此被固定於地面。所述第二支持體36在本實施形態中包括呈中空形狀的框狀體、例如角管。此種情況下，於第二支持體36的內部設置排氣空間37。排氣空間37於第一玻璃膜G1的搬運方向上被分割成多個空間，此處被分割成兩個空間（第一分割空間39a、第二分割空間39b）。此種情況下，各分割空間39a、分割空間39b分別與作為排氣裝置的鼓風機40a、鼓風機40b連接。該些多個鼓風機40a、40b可相互獨立地被控制部41控制。控制形態的詳細情況將於後述。

又，此種情況下，連通部38包括：一個或多個槽部42，設置於第二支持體36的上表面，沿著第一帶23d的長度方向延伸；孔部43，設置於第二支持體36，將槽部42與排氣空間37的各分割空間39a、分割空間39b加以連通；以及多個貫通孔44，設置於第一帶23d，形成於在第一帶23d的寬度方向上與槽部42重覆的位置。因此，藉由利用各鼓風機40a、鼓風機40b的驅動進行各分割空間39a、分割空間39b的排氣，而經由槽部42與孔部43、及貫通孔44對第一帶23d上的第一玻璃膜G1作用朝下方的抽吸力，藉此可將第一玻璃膜G1吸附於第一帶23d。藉此，第一帶23d的表面中的、通過排氣空間37上的部分作為對第一玻璃膜G1的吸附面23d1發揮功能。又，如上述般，於將排氣空間37於第一玻璃膜G1的長度方向上分割成多個空間的情況下，第一帶23d的吸附面23d1於第一玻璃膜G1的搬運方向X的規定區域內，被區劃成可使對第一玻璃膜G1的吸附力互不相同的多個吸附區Z11、Z12。此種情況下，各吸附區Z11、吸附區Z12分別被設定為與位於下方的各分割空間39a、分割空間39b對應的位置及大小。如圖4所示，於本實施形態中，以第一吸附區Z11的沿著搬運方向X的方向的尺寸等於第二吸附區Z12的沿著搬運方向X的方向的尺寸的方式，設定各分割空間39a、分割空間39b的位置及大小。又，雖省略圖示，但亦可以第一吸附區Z11的寬度方向尺寸等於第二吸附區Z12的寬度方向尺寸的方式，設定各分割空間39a、分割空間39b的位置及大小。

形成上文所述的吸附結構的上游側帶式輸送機22d構成為於其長度方向上、換言之於第一玻璃膜G1的搬運方向X上，可變更對第一玻璃膜G1的吸附力。在如本實施形態般，構成為針對每一分割空間39a、分割空間39b連接有鼓風機40a、鼓風機40b，且各鼓風機40a、鼓風機40b可被控制部41控制的情況下，例如藉由利用控制部41來調整各鼓風機40a、鼓風機40b的輸出（排氣量），而針對形成於各分割空間39a、分割空間39b上的所設定的每一吸附區Z11、吸附區Z12，獨立地設定各分割空間39a、分割空間39b內的負壓，進而獨立地設定對第一玻璃膜G1的吸附力。根據以上內容，以於兩個吸附區Z11、Z12內對第一玻璃膜G1的吸附力不同的方式，藉由控制部41控制各鼓風機40a、鼓風機40b的輸出。

圖5是表示本實施形態的吸附區Z11、吸附區Z12與吸附力P11、吸附力P12的關係的圖表。如圖5所示，於上游側帶式輸送機22d形成上文所述的結構的情況下，例如自成為第一吸附區Z11的上游端的搬運方向X上的位置X11至位置X12之間（參照圖4），對第一玻璃膜G1作用相對大的吸附力P11。此種情況下，吸附力P11在位置X11至位置X12之間被設定為固定的大小（均等）。又，於自成為第二吸附區Z12的上游端的搬運方向X上的位置X12至位置X13之間（參照圖4），對第一玻璃膜G1作用相對小的吸附力P12。此種情況下，吸附力P12在位置X12至位置X13之間被設定為固定的大小。於此種情況下，第一吸附區Z11內的吸附力P11與第二吸附區Z12內的吸附力P12的差較佳為1 kPa～1.5 kPa。如此般，於本實施形態中，在自第一玻璃膜G1的搬運方向X觀察的情況下，以於靠近第二切斷部9之側（第二吸附區Z12）對第一玻璃膜G1的吸附力P12相對減小，於遠離第二切斷部9之側（第一吸附區Z11）對第一玻璃膜G1的吸附力P11相對增大的方式，進行由控制部41對各鼓風機40a、鼓風機40b的驅動控制。

第二切斷部9配置於第二搬運部8中的位於上游側輸送機19與下游側輸送機20之間的區域的上方（參照圖1及圖3）。於本實施形態中，第二切斷部9構成為可藉由雷射切割對第一玻璃膜G1進行切斷，包括多個雷射照射裝置45、及配置於各雷射照射裝置45的下游側的冷卻裝置46。此種情況下，冷卻裝置46配置為與雷射照射裝置45相同數目。於本實施形態中，利用第二切斷部9的第一玻璃膜G1的切斷區21設置於寬度方向上的三處（參照圖2），因此雷射照射裝置45與冷卻裝置46亦各配設有三個。上述結構的第二切斷部9構成為可自各雷射照射裝置45對所搬運的第一玻璃膜G1的規定部位照射雷射光L而進行加熱後，自冷卻裝置46放出冷媒R而將所述加熱部位進行冷卻。

又，於本實施形態中，如圖2所示，於上述的第一玻璃膜G1的於寬度方向上遠離切斷區21的位置，配設有可將由第二搬運部8搬運的第一玻璃膜G1予以接觸支持的第一壓盤47。準確而言，於與切斷後的第一玻璃膜G1（第二玻璃膜G2a、第二玻璃膜G2b）的寬度方向中央側相對應的位置，配設有第一壓盤47。於本實施形態中，由於兩片第二玻璃膜G2a、G2b是自一片第一玻璃膜G1切成，因此於相對於切斷區21位於寬度方向、且與各第二玻璃膜G2a、第二玻璃膜G2b的寬度方向中央相對應的位置，分別配設有第一壓盤47。所述第一壓盤47的圖示省略，設置於地面並固定，始終處於靜止的狀態。

又，如圖2所示，第一壓盤47包括：第一支持面48，可對第一玻璃膜G1予以接觸支持；以及第一抽吸部49，可將第一玻璃膜G1向第一支持面48抽吸。根據所述第一抽吸部49，當在第一壓盤47的第一支持面48上搬運第一玻璃膜G1的情況下，可將第一玻璃膜G1向第一支持面48抽吸。

又，於本實施形態中，如圖2所示，於上述的第一玻璃膜G1的切斷區21，配設有可對第一玻璃膜G1予以接觸支持的第二壓盤50。於本實施形態中，由於採用將第一玻璃膜G1於寬度方向的三處進行切斷的形態，因此對三處切斷區21分別配設有三個第二壓盤50。該些第二壓盤50的圖示省略，設置於地面並固定，始終處於靜止的狀態。

此處，如圖2所示，第二壓盤50包括：第二支持面51，可對第一玻璃膜G1予以接觸支持；以及第二抽吸部52，可將第一玻璃膜G1朝向第二支持面51抽吸。根據所述第二抽吸部52，當在第二壓盤50的第二支持面51上搬運第一玻璃膜G1的情況下，可將第一玻璃膜G1向第二支持面51抽吸。

於較第二搬運部8更靠下游側，設置有間隙形成部53，所述間隙形成部53用於在寬度方向上相鄰的一組第二玻璃膜G2a、G2b之間形成寬度方向間隙。於本實施形態中，所述間隙形成部53以各第二玻璃膜G2a、第二玻璃膜G2b向朝上方凸出的方向彎曲變形的方式，具有寬度方向中央成為最大徑的桶狀的支持輥54a、支持輥54b。於本實施形態中，由於切成兩片第二玻璃膜G2a、G2b，因此配設有兩個支持輥54a、54b。

第二捲繞部10配設於較第二搬運部8更靠下游側。具體而言，第二捲繞部10藉由利用捲芯55a、捲芯55b對由第二搬運部8搬運的第二玻璃膜G2a、第二玻璃膜G2b進行捲繞，而獲得第二玻璃卷GRL2a、第二玻璃卷GRL2b。於本實施形態中，切成兩片第二玻璃膜G2a、G2b，因此藉由將所述兩片第二玻璃膜G2a、G2b分別進行捲繞，而可獲得兩個第二玻璃卷GRL2a、GRL2b。

作為藉由上述結構的製造裝置1而製造的第二玻璃膜G2a、第二玻璃膜G2b（第一玻璃膜G1）的材質，使用矽酸鹽玻璃、二氧化矽玻璃，較佳為使用硼矽酸玻璃、鈉鈣玻璃、鋁矽酸鹽玻璃、化學強化玻璃，最佳為使用無鹼玻璃。此處，所謂無鹼玻璃，是指實質不含鹼成分（鹼金屬氧化物）的玻璃，具體而言，是指鹼成分的重量比為3000 ppm以下的玻璃。本發明中的鹼成分的重量比較佳為1000 ppm以下，更佳為500 ppm以下，最佳為300 ppm以下。

又，第二玻璃膜G2a、第二玻璃膜G2b（第一玻璃膜G1）的厚度尺寸設為10 μm以上且300 μm以下，較佳為30 μm以上且200 μm以下，最佳為30 μm以上且100 μm以下。

以下，對使用上述結構的製造裝置1製造第二玻璃膜G2a、第二玻璃膜G2b（本實施形態中為第二玻璃卷GRL2a、第二玻璃卷GRL2b）的方法進行說明。本方法包括：成形步驟S1、兩端部去除步驟S2、第一捲繞步驟S3、抽出步驟S4、切斷步驟S5、以及第二捲繞步驟S6。

於成形步驟S1中，如圖1所示，使自成形部2中的成形體11的溢流槽11a溢出的熔融玻璃GM分別沿著成形體11的兩側面流下，並於其下端部匯流而成形為膜狀。此時，藉由邊緣輥12對熔融玻璃GM的寬度方向收縮進行限制而製成規定寬度的母材玻璃膜G。其後，藉由退火爐13對母材玻璃膜G實施除應變處理（緩冷步驟）。藉由支持輥15的張力將母材玻璃膜G形成為規定的厚度。

於兩端部去除步驟S2中，同樣地如圖1所示，藉由方向轉換部3及第一搬運部4將母材玻璃膜G送往下游側，並且於第一切斷部5中，自雷射照射裝置17a對母材玻璃膜G的一部分照射雷射光L而進行加熱。之後，藉由冷卻裝置17b對已加熱的部位噴附冷媒R。藉此，母材玻璃膜G中產生熱應力。母材玻璃膜G中預先形成有初始裂紋，藉由熱應力使所述裂紋進展。藉此，去除母材玻璃膜G的寬度方向兩端部，而形成第一玻璃膜G1。

於接下來的第一捲繞步驟S3中，同樣地如圖1所示，藉由將第一玻璃膜G1捲繞於捲芯18，而獲得第一玻璃卷GRL1。其後，將第一玻璃卷GRL1移送至抽出部7。於抽出步驟S4中，自移送至抽出部7的第一玻璃卷GRL1抽出第一玻璃膜G1，並藉由第二搬運部8搬運至第二搬運部8上的切斷區21（參照圖2及圖3）。

於切斷步驟S5中，藉由利用雷射照射裝置45對第一玻璃膜G1中的通過第二搬運部8上的切斷區21的部分照射雷射光L，且對所照射的區域噴附冷媒R，而進行沿著第一玻璃膜G1的搬運方向X的方向的切斷。又，此時，第一玻璃膜G1被上游側輸送機19於沿著搬運方向X的方向上搬運。此時，構成上游側輸送機19的多個上游側帶式輸送機22a～22g中的、與第一玻璃膜G1的寬度方向中央位置對應的上游側帶式輸送機22d，藉由利用鼓風機40a、鼓風機40b將所述第二支持體36內的排氣空間37予以排氣，而使排氣空間37內產生負壓。藉此，經由槽部42、孔部43、及貫通孔44（參照圖4）對第一帶23d上的第一玻璃膜G1作用向下的吸附力，因此第一玻璃膜G1在吸附於上游側帶式輸送機22d的第一帶23d的狀態下沿著搬運方向X被搬運。

又，此時，具有吸附結構的上游側帶式輸送機22d構成為可於第一玻璃膜G的搬運方向X上變更對第一玻璃膜G1的吸附力P11、吸附力P12。具體而言，在自第一玻璃膜G1的搬運方向X觀察的情況下，以於靠近第二切斷部9之側對第一玻璃膜G1的吸附力P12相對減小，於遠離第二切斷部9之側對第一玻璃膜G1的吸附力P11相對增大的方式進行調整（參照圖4及圖5）。因此，於較第二切斷部9更靠上游側，強力地吸附第一玻璃膜G1而不錯位地將第一玻璃膜G1向第二切斷部9搬運。又，即便在強力吸附時產生褶皺等變形，但藉由在較產生褶皺等變形的部位更靠下游側且為較第二切斷部9更靠上游側的區域，將吸附力P12相對減小，而將暫且產生的褶皺等變形在到達第二切斷部9之前消除或縮小。藉此，不錯位地且在無褶皺等變形的狀態下將第一玻璃膜G1搬入至第二切斷部9。

關於其餘的上游側帶式輸送機22a～上游側帶式輸送機22c、上游側帶式輸送機22e～上游側帶式輸送機22g，如上文所述般構成為不可將第一玻璃膜G1吸附於第一帶23a～第一帶23c、第一帶23e～第一帶23g，因此第一玻璃膜G1在接觸支持於各第一帶23a～第一帶23c、第一帶23e～第一帶23g的狀態下沿著搬運方向X被搬運。

於切斷步驟S5中，如上述般一面藉由上游側帶式輸送機22a～上游側帶式輸送機22g將第一玻璃膜G1於規定的搬運方向X進行搬運，一面自雷射照射裝置45的雷射照射部將多道雷射光L照射至第一玻璃膜G1（雷射照射步驟）。

藉由如上文所述的雷射光L的照射，而第一玻璃膜G1被加熱。其後，當第一玻璃膜G1中的經加熱的部分到達冷卻裝置46的正下方時，曝露於自冷卻裝置46向下方噴射的冷媒R中而被冷卻。藉由由雷射照射裝置45的局部加熱所致的膨脹與由冷卻裝置46的冷卻所致的收縮而於第一玻璃膜G1中產生熱應力。於第一玻璃膜G1，藉由未圖示的機構預先形成有初始裂紋，並利用上述的熱應力使初始裂紋進展，藉此將第一玻璃膜G1於其寬度方向規定位置處連續性地進行切斷（切割）。於本實施形態中，藉由在寬度方向的三處進行上述的雷射切斷，而切掉第一玻璃膜G1的寬度方向兩端部，且切成分別具有規定的寬度方向尺寸的兩片第二玻璃膜G2a、G2b（參照圖2）。所述第二玻璃膜G2a、第二玻璃膜G2b藉由位於較切斷區21更靠搬運方向X的下游側的下游側輸送機20，向位於較下游側輸送機20更靠搬運方向X的下游側的第二捲繞部10搬運。

此時，於構成下游側輸送機20的多個下游側帶式輸送機27a～27g上，設置有可將所支持搬運的第二玻璃膜G2a、第二玻璃膜G2b予以吸附的結構（參照圖2）。藉此，第二玻璃膜G2a、第二玻璃膜G2b在吸附於下游側帶式輸送機27a～下游側帶式輸送機27f的第二帶28a～第二帶28f的狀態下沿著搬運方向X被搬運。

於第二捲繞步驟S6中，藉由分別配設於規定的位置的捲芯55a、捲芯55b將第二玻璃膜G2a、第二玻璃膜G2b予以捲繞。藉由將規定長度的第二玻璃膜G2a、第二玻璃膜G2b予以捲繞，而可獲得第二玻璃卷GRL2a、第二玻璃卷GRL2b。

又，於本實施形態中，於下游側輸送機20與第二捲繞部10之間，配設有作為間隙形成部53的支持輥54a、支持輥54b，因此通過各支持輥54a、支持輥54b上的第二玻璃膜G2a、第二玻璃膜G2b一面沿著支持輥54a、支持輥54b的外周面形狀變形（此處為向朝上方凸出的方向灣曲變形）一面被朝下游側搬運。藉此，於剛被切斷後的第二玻璃膜G2a、第二玻璃膜G2b之間形成有規定的寬度方向間隙，因此可避免切斷面彼此的干擾而分別被朝第二捲繞部10搬運。

如以上所說明般，於本實施形態的玻璃膜（第二玻璃膜G2a、第二玻璃膜G2b）的製造方法中，將位於較第二切斷部9更靠第一玻璃膜G1的搬運方向X的上游側的上游側帶式輸送機22a～上游側帶式輸送機22g的至少一部分（與第一玻璃膜G1的寬度方向中央對應的上游側帶式輸送機22d），設為可將第一玻璃膜G1吸附於第一帶23d的結構，且將所述上游側帶式輸送機22d對第一玻璃膜G1的吸附力P11、吸附力P12設為可於第一玻璃膜G1的搬運方向X上變更。藉由如此般構成，而可將第一玻璃膜G1一面根據其搬運方向X的位置以適當大小的吸附力予以吸附一面進行搬運。因此，於產生過於強力地吸附第一玻璃膜G1的部位的情況下，藉由減小所述部位的吸附力，而可盡可能地防止或抑制褶皺等變形。另一方面，對於其他部位，例如藉由相對增大吸附力，而防止第一玻璃膜G1相對於第一帶23d（的吸附面23d1）的滑動，而可不錯位地搬運第一玻璃膜G1。因此，可穩定地實施第一玻璃膜G1的準確的切斷，進而可穩定地提供高品質的製品玻璃卷（第二玻璃卷GRL2a、第二玻璃卷GRL2b）。

又，於本實施形態中，將第一帶23d的吸附面23d1在第一玻璃膜G1的搬運方向X的規定區域內，區劃成可使對第一玻璃膜G1的吸附力P11、吸附力P12互不相同的兩個吸附區Z11、Z12。又，此種情況下，以位於搬運方向X的上游側的吸附面23d1的第一吸附區Z11內的吸附力P11相對增大，且位於較第一吸附區Z11更靠第一玻璃膜G1的搬運方向X的下游側的吸附面23d1的第二吸附區Z12內的吸附力P12相對減小的方式，控制各吸附區Z11、吸附區Z12內的吸附力P11、吸附力P12的大小。藉由如此般控制吸附力P11、吸附力P12，而可相對地在搬運方向X的上游側強力吸附第一玻璃膜G1，因此可不錯位地將第一玻璃膜G1向第二切斷部9搬運。又，即便當在第一吸附區Z11強力地吸附第一玻璃膜G1時產生褶皺等變形，但藉由在較產生褶皺等變形的部位更靠搬運方向X的下游側的區域，相對減小吸附力P12，而可使暫且產生的褶皺等變形消除或縮小。藉此，可不錯位地且在無褶皺等變形的狀態下搬運第一玻璃膜G1，因此當於較第二吸附區Z12更靠搬運方向X的下游側配置第二切斷部9的情況下，亦可穩定地實施高品質的製造相關處理。又，只要針對兩個吸附區Z11、Z12分別進行吸附力P11、吸附力P12的設定即可，因此亦易於進行吸附力分佈的設定、變更。

以上，對本發明的玻璃膜的製造方法及製造裝置的一實施形態進行了說明，但所述製造方法及製造裝置當然可在本發明的範圍內採用任意的形態。

圖6是表示本發明的第二實施形態的上游側帶式輸送機60d的要部剖視圖。與本發明的第一實施形態同樣地，所述上游側帶式輸送機60d與其餘的上游側帶式輸送機22a～上游側帶式輸送機22c、上游側帶式輸送機22e～上游側帶式輸送機22g一起構成第二搬運部8的上游側輸送機19。又，如與第一實施形態的上游側帶式輸送機22d同樣地，包括：環形帶狀的第一帶23d、多個皮帶輪24、第一支持體25、以及驅動源26（參照圖2及圖3），且包括：第二支持體61，自下方支持第一帶23d；排氣空間62，設置於第二支持體61的內部；以及連通部63，可將第一帶23d與第二支持體61之間的空間、和排氣空間62加以連通。又，排氣空間62設置於第二支持體61的內部。

於本實施形態中，排氣空間62於第一玻璃膜G1的搬運方向X上被分割成三個空間（第一分割空間64a、第二分割空間64b、第三分割空間64c）。此種情況下，各分割空間64a～分割空間64c分別與作為排氣裝置的鼓風機65a～鼓風機65c連接。該些多個鼓風機65a～65c可相互獨立地被控制部41控制。再者，連通部63的結構與第一實施形態中的連通部的結構（槽部42、孔部43、貫通孔44）相同，因此省略說明。

根據具有上述結構的吸附結構的上游側帶式輸送機60d，藉由利用各鼓風機65a～鼓風機65c的驅動進行所對應的各分割空間64a～分割空間64c的排氣，而經由連通部63（槽部42與孔部43、及貫通孔44）對第一帶23d上的第一玻璃膜G1作用朝下方的吸引力，藉此可將第一玻璃膜G1吸附於第一帶23d的吸附面23d1。又，如上述般，於將排氣空間62於第一玻璃膜G1的長度方向上分割成三個空間的情況下，第一帶23d的吸附面23d1於第一玻璃膜G1的搬運方向X的規定區域內，被區劃成可使對第一玻璃膜G1的吸附力互不相同的三個吸附區Z21～Z23。此種情況下，各吸附區Z21～吸附區Z23分別被設定為與位於下方的各分割空間64a～分割空間64c對應的位置及大小。如圖6所示，於本實施形態中，以第一吸附區Z21的沿著搬運方向X的方向的尺寸、與第二吸附區Z22的沿著搬運方向X的方向的尺寸、及第三吸附區Z23的沿著搬運方向X的方向的尺寸相等的方式，設定各分割空間64a～分割空間64c的位置及大小。又，雖省略圖示，但以第一吸附區Z21的寬度方向尺寸、與第二吸附區Z22的寬度方向尺寸、及第三吸附區Z23的寬度方向尺寸相等的方式，設定各分割空間64a～分割空間64c的位置及大小。

形成上文所述的吸附結構的上游側帶式輸送機60d構成為可於第一玻璃膜G1的搬運方向X上變更對第一玻璃膜G1的吸附力。如本實施形態般，在構成為針對每一分割空間64a～分割空間64c連接有鼓風機65a～鼓風機65c，且各鼓風機65a～鼓風機65c可被控制部41控制的情況下，例如藉由利用控制部41來調整各鼓風機65a～鼓風機65c的輸出（排氣量），而針對形成於各分割空間64a～分割空間64c上的每一吸附區Z21～吸附區Z23，獨立地設定各分割空間64a～分割空間64c內的負壓，進而獨立地設定對第一玻璃膜G1的吸附力P21～吸附力P23（參照圖7）。因此，藉由利用控制部41來調整各鼓風機65a～鼓風機65c的輸出，而可以在三個吸附區Z21～Z23間使對第一玻璃膜G1的吸附力P21～吸附力P23互不相同的方式進行控制。

圖7是表示本實施形態的吸附區Z21～吸附區Z23與吸附力P21～吸附力P23的關係的圖表。如圖7所示，於上游側帶式輸送機60d形成上文所述的結構的情況下，例如以在形成於第一玻璃膜G1的搬運方向X的中間位置的第二吸附區Z22內作用於第一玻璃膜G1的吸附力P22為最大，在形成於搬運方向X的最上游側的第一吸附區Z21內作用於第一玻璃膜G1的吸附力P21為次之大，在形成於搬運方向X的最下游側的第三吸附區Z23內作用於第一玻璃膜G1的吸附力P23為最小的方式，進行由控制部41對各鼓風機65a～鼓風機65c的驅動控制。於此種情況下，第二吸附區Z22內的吸附力P22與第一吸附區Z21內的吸附力P21的差較佳為0.2 kPa～0.5 kPa。又，第一吸附區Z21內的吸附力P21與第三吸附區Z23內的吸附力P23的差較佳為0.8 kPa～1.1 kPa。再者，於本實施形態中，亦為吸附力P21在所對應的搬運方向X上的位置X21至位置X22之間被設定為固定的大小，吸附力P22在所對應的位置X22至位置X23之間被設定為固定的大小，吸附力P23在所對應的位置X23至位置X24之間被設定為固定的大小。

如此般，於本實施形態中，亦於位於較第二切斷部9更靠第一玻璃膜G1的搬運方向X的上游側的上游側帶式輸送機60d設置吸附結構，且將其吸附力P21～吸附力P23設為可於第一玻璃膜G1的搬運方向X上變更，因此可在防止褶皺等變形下不錯位地將第一玻璃膜G1向第二切斷部9搬運。

又，於本實施形態中，於將第一帶23d的吸附面23d1區劃成三個吸附區Z21～Z23的情況下，將該些三個吸附區Z21～Z23內的吸附力P21～吸附力P23中的、位於搬運方向中間的第二吸附區Z22的吸附力P22設為最大，將較該吸附區Z22更靠搬運方向X的下游側的第三吸附區Z23及更靠搬運方向X的上游側的第一吸附區Z21內的吸附力P21、吸附力P23分別設為小於第二吸附區Z22內的吸附力P22。如圖6所示，例如在將第一玻璃膜G1自第一玻璃卷GRL1抽出，並自斜下方經由支持輥66移載至上游側帶式輸送機60d（上游側輸送機19）上的情況下，在剛進行完移載後，若強力地吸附第一玻璃膜G1，則存在易於產生褶皺等變形的情況。因此，藉由將最上游側的第一吸附區Z21內的吸附力P21設為小於位於其下游側的第二吸附區Z22內的吸附力P22，而可防止上文所述的在剛進行完移載後產生褶皺等變形的事態。藉此，可於在移載後的第一玻璃膜G1上無褶皺等變形的狀態下向第二切斷部9搬運第一玻璃膜G1。又，即便在第二吸附區Z22強力地吸附第一玻璃膜G1而不錯位地搬運第一玻璃膜G1，但藉由在位於較第二吸附區Z22更靠搬運方向X的下游側的第三吸附區Z23，將吸附力P23設為小於第二吸附區Z22內的吸附力P22（於本實施形態中設為小於第一吸附區Z21內的吸附力P21），即便假定在第二吸附區Z22新產生褶皺等變形，亦可使所述褶皺等變形消除或縮小。藉此，可不錯位地且在無褶皺等變形的狀態下搬運第一玻璃膜G1，因此當於較第三吸附區Z23更靠搬運方向X的下游側配置第二切斷部9的情況下，可穩定地實施高品質的切斷處理。

圖8及圖9是本發明的第三實施形態的搬運裝置的吸附力控制系統的要部剖視圖，代表性地示出下游側帶式輸送機27a～下游側帶式輸送機27g中的、位於寬度方向中央的下游側帶式輸送機27d的要部剖視圖（沿著圖2中的B-B切斷線的要部剖視圖）。所述下游側帶式輸送機27d如與其餘的下游側帶式輸送機27a～下游側帶式輸送機27c、下游側帶式輸送機27e～下游側帶式輸送機27g同樣地，包括：第二支持體71，自下方支持環狀的第二帶28d；排氣空間72，設置於第二支持體71的內部；以及連通部73，可將第二帶28d與第二支持體71之間的空間、和排氣空間72加以連通。

此處，排氣空間72於第二支持體71的內部存在一個，並與作為排氣裝置的鼓風機74連接。所述鼓風機74可與其他多個鼓風機65a～65c相互獨立地被控制部41控制。

又，此種情況下，連通部73包括：一個或多個槽部75，設置於第二支持體71的上表面，沿著第二帶28d的長度方向延伸；孔部76，設置於第二支持體71，將槽部75與排氣空間72加以連通；以及多個貫通孔77，設置於第二帶28d，形成於在第二帶28d的寬度方向上與槽部75重覆的位置。因此，藉由利用鼓風機74的驅動進行排氣空間72的排氣，而經由槽部75與孔部76、及貫通孔77對第二帶28d上的第二玻璃膜G2a作用朝下方的抽吸力，藉此可將第二玻璃膜G2a吸附於第二帶28d。藉此，第二帶28d的表面中的、通過排氣空間72上的部分作為對第二玻璃膜G2a的吸附面28d1發揮功能。此種情況下，第二帶28d上的第四吸附區Z24被設定為與位於下方的排氣空間72對應的位置及大小。關於其餘的下游側帶式輸送機27a～下游側帶式輸送機27c、下游側帶式輸送機27e～下游側帶式輸送機27g，亦形成上文所述的吸附結構。

形成上文所述的吸附結構的下游側帶式輸送機27a～下游側帶式輸送機27g、與上游側帶式輸送機60d構成為可於將寬度方向兩端部切斷後的玻璃膜G1、玻璃膜G2a、玻璃膜G2b的搬運方向X上變更對所述玻璃膜G1、玻璃膜G2a、玻璃膜G2b的吸附力。在構成為如第二實施形態所述般，將上游側帶式輸送機60d的排氣空間62分割成分割空間64a～分割空間64c，針對每一分割空間64a～分割空間64c及排氣空間72連接有鼓風機65a～鼓風機65c、鼓風機74（參照圖6及圖8），且各鼓風機65a～鼓風機65c、鼓風機74可被控制部41控制的情況下，例如藉由利用控制部41來調整各鼓風機65a～鼓風機65c、鼓風機74的輸出（排氣量），而可針對形成於各分割空間64a～分割空間64c及排氣空間72上的每一吸附區Z21～吸附區Z24獨立地設定各分割空間64a～分割空間64c及排氣空間72內的負壓，進而獨立地設定對玻璃膜G1、玻璃膜G2a、玻璃膜G2b的吸附力。因此，藉由利用控制部41來調整各鼓風機65a～鼓風機65c、鼓風機74的輸出，而可以在四個吸附區Z21～Z24之間使對玻璃膜G1、玻璃膜G2a、玻璃膜G2b的吸附力互不相同的方式進行控制。

圖9是表示本實施形態的吸附區Z21～吸附區Z24與吸附力P21～吸附力P24的關係的圖表。如圖9所示，於上游側帶式輸送機60d及下游側帶式輸送機27a～下游側帶式輸送機27g形成上文所述的結構的情況下，例如以在第一帶式輸送機60d上的第一吸附區Z21～第三吸附區Z23任一吸附區（此處為第二吸附區Z22）作用於玻璃膜G1、玻璃膜G2a、玻璃膜G2b的吸附力P22為最大，在位於較第三吸附區Z23更靠搬運方向X的下游側的下游側帶式輸送機28a～下游側帶式輸送機28g上的吸附區Z24內作用於玻璃膜G1、玻璃膜G2a、玻璃膜G2b的吸附力P24為最小的方式，進行由控制部41對各鼓風機65a～鼓風機65c、鼓風機74的驅動控制。藉由將吸附區Z24的吸附力P24設為最小，而可防止切斷後的玻璃膜G1、玻璃膜G2、玻璃膜G3因抖動而端面彼此摩擦，且可防止吸引力P24的影響波及第二切斷部9。再者，於本實施形態中，亦為吸附力P21在所對應的搬運方向X上的位置X21至位置X22之間被設定為固定的大小，吸附力P22在所對應的位置X22至位置X23之間被設定為固定的大小，吸附力P23在所對應的位置X23至位置X24之間被設定為固定的大小，吸附力P24在所對應的搬運方向X上的位置X25至位置X26之間被設定為固定的大小。

如此般，於本實施形態中，於上游側帶式輸送機60d及下游側帶式輸送機27a～下游側帶式輸送機27g設置吸附結構，且將各者的吸附力P21～吸附力P24設為可在經切斷寬度方向兩端部的玻璃膜G1、玻璃膜G2a、玻璃膜G2b的搬運方向X上變更，因此可在由第二切斷部9執行的切斷的前後，在防止褶皺等變形下不錯位地搬運玻璃膜G1、玻璃膜G2a、玻璃膜G2b。

再者，各吸附力P21～吸附力P24在滿足圖9所示的大小關係的情況下，第二吸附區Z22內的吸附力P22與第一吸附區Z21內的吸附力P21的差較佳為0.2 kPa～0.5 kPa。又，第一吸附區Z21內的吸附力P21與第三吸附區Z23內的吸附力P23的差較佳為0.8 kPa～1.1 kPa。同樣地，較佳的是以第三吸附區Z23內的吸附力P23與第四吸附區Z24內的吸附力P24的差成為0.01 kPa～0.1 kPa的方式，設定各吸附力P23、吸附力P24的大小。

再者，於所述實施形態中，例示了將吸附面23d1區劃成多個吸附區Z11、Z12（Z21～Z23）的情況，且使各吸附區Z11、吸附區Z12（Z21～Z23）的沿著搬運方向X的方向的尺寸、及寬度方向尺寸均設定為相等的情況，當然並不限定於此。例如，雖省略圖示，但於圖6所示的上游側帶式輸送機60d中，亦可將第二吸附區Z22的沿著搬運方向X的方向的尺寸，設定為大於其餘的任一吸附區Z21、吸附區Z23的沿著搬運方向X的方向的尺寸。此種情況下，具有下述優點，即：可將第二吸附區Z22內的吸附力P22設定為小於圖6所示的情況下的第二吸附區Z22內的吸附力P22。於將吸附面28d1區劃成多個吸附區的情況下亦可設為同樣的結構。

又，於所述實施形態中，例示了將第一帶23d的吸附面23d1於第一玻璃膜G1的搬運方向X上區劃成兩個吸附區Z11、Z12、或三個吸附區Z21～Z23的情況，當然並不限定於此。亦可根據需要，將吸附面23d1區劃成四個以上的吸附區。此種情況下，將所對應的排氣空間分割成四個以上的空間。

又，圖5或圖7所示的吸附區Z11、吸附區Z12（Z21～Z23）與吸附力P11、吸附力P12（P21～P23）的關係、或圖9所示的吸附區Z21～吸附區Z24與吸附力P21～吸附力P24的關係僅為一例，亦可根據所搬運的玻璃膜的材質、尺寸、形狀、或者切斷以外的加工內容等，任意地設定吸附區的數目以及吸附力。

又，於所述實施形態中，例示了下述情況，即：示出對第一玻璃膜G1的吸附力在搬運方向位置處階段性變化的吸附力分佈，當然亦可以形成除此以外的吸附力分佈的方式來設定吸附力。例如雖省略圖示，但亦可以吸附力在規定的搬運方向區域間一次性（以規定的梯度）變化的方式來設定吸附力分佈。又，亦可以吸附力間斷地作用的方式來設定吸附力分佈。當然，亦可根據吸附力分佈來變更吸附結構。即，為了獲得所期望的吸附力分佈，亦可採用除了圖4等示出的將第二支持體36內作為排氣空間37、並將排氣空間37予以分割的結構以外的吸附結構。

又，於所述實施形態中，例示了將本發明的吸附結構僅應用於構成上游側輸送機19的上游側帶式輸送機22a～上游側帶式輸送機22g中的、規定的上游側帶式輸送機22d中的情況，當然亦可將本發明的吸附結構應用於除此以外的帶式輸送機中。例如，雖省略圖示，但亦可將本發明的吸附結構應用於上游側帶式輸送機22a～上游側帶式輸送機22g中的兩個以上的帶式輸送機中。

又，於以上的說明中，例示了於第一玻璃膜G1的切斷區21配置第二壓盤50，且於在寬度方向上遠離切斷區21的位置配置第一壓盤47的情況，當然並不限定於此。若對雷射切斷不會帶來較大影響，則以支持搬運面通過切斷區21的方式配設第三輸送機（省略圖示），而可省略第一壓盤47與第二壓盤50的至少一者。

又，搬運裝置（第二搬運部8）的支持搬運面，未必一定在搬運方向X上與切斷區21對應的位置處被分割。例如可在自切斷區21朝搬運方向X的下游側錯開的位置，將第二搬運部8的支持搬運面予以分割。

再者，於以上的說明中，對在切斷區21中作為搬運裝置的第二搬運部8經分割而成的上游側輸送機19與下游側輸送機20均包括帶式輸送機的情況進行了例示，當然亦可採用除此以外的形態。例如亦可使下游側輸送機20包括輥式輸送機及其他各種搬運裝置。

又，於以上的說明中，例示了第二搬運部8於其搬運方向X包括兩個輸送機19、20的情況，當然並不限定於此。例如亦可使第二搬運部8遍及其整個搬運方向X的區域包括一個帶式輸送機，並於所述帶式輸送機上設置切斷區21，且應用本發明的吸附結構。

又，於以上的說明中，例示了使第二搬運部8包括在第一玻璃膜G1的寬度方向上鄰接的多個上游側帶式輸送機22a～22g與下游側帶式輸送機27a～27g的情況，當然亦可採用除此以外的結構。例如亦可使上游側輸送機19包括一個帶式輸送機，並將本發明的吸附結構應用於此一個帶式輸送機中。或者，亦可使下游側輸送機20包括一個帶式輸送機。

又，於以上的說明中，對自一片第一玻璃膜G1切成兩片第二玻璃膜G2a、G2b的情況進行了例示，當然，在切成寬度方向尺寸不同的一片第二玻璃膜G2a的情況下亦可應用本發明，且在切成三片以上的第二玻璃膜G2a…的情況下亦可應用本發明。

又，於以上的說明中，對將本發明應用於利用第一切斷部5切斷母材玻璃膜G的寬度方向兩端部而獲得的第一玻璃膜G1的情況進行了說明，但亦可將本發明應用於母材玻璃膜G的由第一切斷部5執行的切斷。此種情況下，藉由第一搬運部4採用與圖2等所示的第二搬運部8同樣的結構而可實施本發明。又，可使該些第一切斷部5及第二切斷部9採用能夠進行雷射切斷以外的切斷的結構。

又，於以上的說明中，作為對玻璃膜的製造相關處理而例示了進行沿著長度方向的方向上的切斷處理的情況，當然亦可將本發明的帶式輸送機應用於進行除此以外的處理，例如塗佈、成膜、貼合覆膜等、只要在藉由帶式輸送機搬運的狀態下自玻璃膜的成形至最終製品的出貨為止可實施的、任意的製造相關處理的步驟中。

又，於以上的說明中，對將本發明應用於形成帶狀的第一玻璃膜G1的情況進行了說明，當然亦可將本發明應用於形成除此以外的形態的第一玻璃膜G1。即，雖省略圖示，但亦可在矩形形狀等單片狀的板玻璃（玻璃膜）中應用本發明。又，未必一定將切斷而獲得的第二玻璃膜G2a…捲繞成卷狀。換言之，於不捲繞成卷狀的第二玻璃膜G2a…的製造步驟中亦可應用本發明。

1:玻璃膜（玻璃卷）的製造裝置、製造裝置 2:成形部 3:方向轉換部 4:第一搬運部 5:第一切斷部 6:第一捲繞部 7:抽出部 8:第二搬運部（搬運裝置） 9:第二切斷部 10:第二捲繞部 11:成形體 11a:溢流槽 12:邊緣輥 13:退火爐 14:退火爐輥 15、54a、54b、66:支持輥 16:導輥 17a、45:雷射照射裝置 17b、46:冷卻裝置 18、55a、55b:捲芯 19:上游側輸送機（輸送機） 20:下游側輸送機（輸送機） 21:切斷區 22a～22g、60d:上游側帶式輸送機（帶式輸送機） 23a～23g:第一帶（帶） 23d1、28d1:吸附面 24、29:皮帶輪 24a、29a:驅動皮帶輪 25、30:第一支持體 26、31:驅動源 27a～27g:下游側帶式輸送機（帶式輸送機） 28a～28g:第二帶 32:軌道部 33:滑動部 34:軸 35:退避空間 36、61、71:第二支持體 37、62、72:排氣空間 38、63、73:連通部 39a、39b、64a～64c:分割空間 40a、40b、65a～65c、74:鼓風機 41:控制部 42、75:槽部 43、76:孔部 44、77:貫通孔 47:第一壓盤 48:第一支持面 49:第一抽吸部 50:第二壓盤 51:第二支持面 52:第二抽吸部 53:間隙形成部 A-A、B-B:切斷線 G、G1、G2、G2a、G2b:玻璃膜 GM:熔融玻璃 GRL1、GRL2a、GRL2b:玻璃卷 L:雷射光 P、P11、P12、P21～P24:吸附力 R:冷媒 X:搬運方向 X11～X13、X21～X26:位置 Z11、Z12、Z21～Z24:吸附區

圖1是表示本發明的第一實施形態的玻璃膜的製造裝置的整體結構的側視圖。 圖2是圖1所示的搬運裝置的平面圖。 圖3是圖2所示的搬運裝置的側視圖。 圖4是沿著圖2中的A-A切斷線的搬運裝置的要部剖視圖。 圖5是表示圖4所示的搬運裝置的搬運方向位置與吸附力的關係的圖表。 圖6是本發明的第二實施形態的搬運裝置的要部剖視圖。 圖7是表示圖6所示的搬運裝置的搬運方向位置與吸附力的關係的圖表。 圖8是本發明的第三實施形態的吸附力控制系統的要部剖視圖，是沿著圖2中的B-B切斷線的要部剖視圖。 圖9是表示本發明的第三實施形態的搬運裝置的搬運方向位置與吸附力的關係的圖表。

P、P11、P12:吸附力

X:搬運方向

X11~X13:位置

Z11、Z12:吸附區

Claims (12)

1. 一種玻璃膜的製造方法，一面利用帶式輸送機搬運玻璃膜一面藉由製造相關處理部對所述玻璃膜實施製造相關處理，且所述玻璃膜的製造方法的特徵在於： 所述帶式輸送機構成為於較所述製造相關處理部更靠所述玻璃膜的搬運方向上游側，能夠將所述玻璃膜吸附於帶，且 所述帶式輸送機構成為能夠於所述玻璃膜的搬運方向上變更對所述玻璃膜的吸附力。
2. 如請求項1所述的玻璃膜的製造方法，其中在自所述玻璃膜的搬運方向觀察的情況下，於靠近所述製造相關處理部之側對所述玻璃膜的吸附力相對較小，於遠離所述製造相關處理部之側對所述玻璃膜的吸附力相對較大。
3. 如請求項1或請求項2所述的玻璃膜的製造方法，其中能夠吸附所述玻璃膜的所述帶的吸附面，於所述玻璃膜的搬運方向規定區域內被區劃成能夠使對所述玻璃膜的吸附力互不相同的多個吸附區。
4. 如請求項3所述的玻璃膜的製造方法，其中所述吸附面於所述玻璃膜的搬運方向上被區劃成兩個吸附區。
5. 如請求項4所述的玻璃膜的製造方法，其中以位於所述玻璃膜的搬運方向上游側的所述吸附面的第一吸附區內的所述吸附力相對增大，且位於較所述第一吸附區更靠所述玻璃膜的搬運方向下游側的所述吸附面的第二吸附區內的所述吸附力相對減小的方式，控制各所述吸附區內的所述吸附力的大小。
6. 如請求項3所述的玻璃膜的製造方法，其中所述吸附面於所述玻璃膜的搬運方向上被區劃成三個吸附區。
7. 如請求項6所述的玻璃膜的製造方法，其中在將所述三個吸附區自所述玻璃膜的搬運方向上游側朝向下游側依次設為第一吸附區、第二吸附區、及第三吸附區時，以所述第二吸附區內的所述吸附力為最大，所述第一吸附區及第三吸附區內的所述吸附力分別小於所述第二吸附區內的所述吸附力的方式，控制各所述吸附區內的所述吸附力的大小。
8. 如請求項3至請求項7中任一項所述的玻璃膜的製造方法，其中所述帶式輸送機更具有支持所述帶的中空形狀的支持體， 所述支持體於其內部具有能夠排氣的排氣空間，且所述排氣空間於所述玻璃膜的搬運方向上與所述吸附區對應地被分割，並且 於所述支持體與所述帶，設置有連通部，所述連通部使所述帶與所述支持體之間的空間、和所述排氣空間連通。
9. 如請求項8所述的玻璃膜的製造方法，其中於將所述排氣空間予以分割而成的各分割空間，分別連接有能夠相互獨立地控制的鼓風機。
10. 如請求項1至請求項9中任一項所述的玻璃膜的製造方法，其中所述帶式輸送機是相對而言位於所述玻璃膜的搬運方向上游側的上游側帶式輸送機， 於較所述上游側帶式輸送機更靠所述玻璃膜的搬運方向下游側配設有下游側輸送機。
11. 如請求項1至請求項10中任一項所述的玻璃膜的製造方法，其中所述製造相關處理部是能夠將所述玻璃膜沿著其長度方向進行切斷的雷射切斷部。
12. 一種玻璃膜的製造裝置，包括：帶式輸送機，對玻璃膜進行搬運；以及製造相關處理部，對利用所述帶式輸送機進行搬運過程中的所述玻璃膜實施製造相關處理；且所述玻璃膜的製造裝置的特徵在於： 所述帶式輸送機構成為於較所述製造相關處理部更靠所述玻璃膜的搬運方向上游側，能夠將所述玻璃膜吸附於帶，且 所述帶式輸送機構成為能夠於所述玻璃膜的搬運方向上變更對所述玻璃膜的吸附力。

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