WO2021141022A1 - ガラスフィルムの製造方法、及びガラスフィルムの製造装置 - Google Patents

Abstract

ガラスフィルムＧ１をベルトコンベア２２ｄで搬送しながら製造関連処理部９によりガラスフィルムＧ１に製造関連処理を施すに際し、ベルトコンベア２２ｄは、製造関連処理部９よりもガラスフィルムＧ１の搬送方向上流側で、ガラスフィルムＧ１をベルト２３ｄに吸着可能に構成され、かつベルトコンベア２２ｄは、ガラスフィルムＧ１に対する吸着力Ｐ１１，Ｐ１２をガラスフィルムＧ１の搬送方向Ｘで変更可能に構成されている。

Description

ガラスフィルムの製造方法、及びガラスフィルムの製造装置

　本発明は、ガラスフィルムの製造方法、及びガラスフィルムの製造装置に関する。

　ガラスフィルムの製造工程では、ガラスフィルムを所定方向に搬送しながら、ガラスフィルムに切断や印刷などの製造関連処理を施すのが一般的である。この際、製造関連処理を行う領域又はその周辺で、ガラスフィルムをベルトコンベアのベルト表面に吸着した状態で搬送する場合がある（例えば、特許文献１を参照）。吸着可能なベルトコンベアを用いることで、ガラスフィルムの一方の面が非接触の状態で搬送できること、搬送停止時にもガラスフィルムを安定的に保持できることなどの利点がある。

特開２０１８－１５０１３１号公報

　ところで、実際に、上述のようにガラスフィルムをベルトコンベアで吸着して搬送しながら切断等の製造関連処理を施す場合には、ガラスフィルムに対する吸着力の調整が非常に難しいことがある。ガラスフィルムはベルトの駆動に伴って連続的に搬送されているため、例えばガラスフィルムに対する吸着力が不十分な場合、搬送中にガラスフィルムの吸着状態が解消される事態が起こり得る。吸着状態が解消されることで、ガラスフィルムに対する拘束力が低下もしくは一時的に消失するため、ベルトに対して位置ずれを生じるおそれが高まる。その一方で、搬送中における吸着状態の解消を回避するために、ガラスフィルムに対する吸着力を増大させてガラスフィルムを強く吸着した場合、吸着力の程度によっては、ガラスフィルムを強く拘束することになる。この場合、周囲との間に生じた速度差に起因してしわ等の変形が生じるおそれが高まるといった問題があった。

　以上の事情に鑑み、本発明は、しわ等の変形を防止しつつもベルトに対する吸着状態を維持してガラスフィルムを位置ずれなく搬送することができ、これによりガラスフィルムに良好な製造関連処理を施すことを、解決すべき技術課題とする。

　前記課題の解決は、本発明に係るガラスフィルムの製造方法により達成される。すなわち、この製造方法は、ガラスフィルムをベルトコンベアで搬送しながら製造関連処理部によりガラスフィルムに製造関連処理を施すガラスフィルムの製造方法であって、ベルトコンベアは、製造関連処理部よりもガラスフィルムの搬送方向上流側で、ガラスフィルムをベルトに吸着可能に構成され、かつベルトコンベアは、ガラスフィルムに対する吸着力をガラスフィルムの搬送方向で変更可能に構成されている点をもって特徴付けられる。

　このように、本発明に係るガラスフィルムの製造方法では、ベルトコンベアの少なくとも所定の一部を、ガラスフィルムがベルトに吸着可能な構造にすると共に、このベルトコンベアにおけるガラスフィルムに対する吸着力を、ガラスフィルムの搬送方向で変更可能とした。このように構成することによって、ガラスフィルムをその搬送方向位置によって適切な大きさの吸着力で吸着しながら搬送することができる。よって、ガラスフィルムを強く吸着し過ぎる箇所が生じる場合には、当該箇所の吸着力を小さくすることで、しわ等の変形を可及的に防止又は抑制することができる。一方で、その他の箇所については、例えば相対的に吸着力を大きくすることで、ガラスフィルムのベルトに対する滑りを防止して、位置ずれなくガラスフィルムを搬送することが可能となる。

　また、本発明に係るガラスフィルムの製造方法においては、ガラスフィルムの搬送方向で見た場合に、製造関連処理部に近い側でガラスフィルムに対する吸着力が相対的に小さく、製造関連処理部から遠い側でガラスフィルムに対する吸着力が相対的に大きくてもよい。

　しわ等の変形について、仮に搬送途中でしわ等の変形が生じたとしても、最終的な品質に影響を及ぼす可能性が高い製造関連処理を施す際（施す箇所を通過する際）にしわ等の変形が解消又は縮小していることが肝要となる。この点に鑑み、製造関連処理部に近い側でガラスフィルムに対する吸着力が相対的に小さく、製造関連処理部から遠い側でガラスフィルムに対する吸着力が相対的に大きくなるようにすることで、製造関連処理部よりも上流側では、ガラスフィルムを強く吸着して位置ずれなく当該ガラスフィルムを搬送することができる。また、強く吸着した際にしわ等の変形が生じたとしても、しわ等の変形が生じた箇所よりも下流側でかつ製造関連処理部よりも上流側の領域で、吸着力を相対的に小さくしておくことで、一旦生じたしわ等の変形を製造関連処理部に到達する前に解消又は縮小させることができる。これにより、位置ずれなくかつしわ等の変形がない状態でガラスフィルムを製造関連処理部に搬入することができるので、より安定的に高品質の製造関連処理を施すことが可能となる。

　また、本発明に係るガラスフィルムの製造方法においては、ガラスフィルムを吸着可能なベルトの吸着面は、ガラスフィルムの搬送方向で、ガラスフィルムに対する吸着力を互いに異ならせることができる複数の吸着ゾーンに区画されてもよい。

　このようにベルトの吸着面をガラスフィルムの搬送方向で複数の吸着ゾーンに区画することによって、吸着ゾーンごとに吸着力を設定するだけで済む。そのため、例えば搬送方向で連続的に吸着力を変化させる場合等と比べて、ガラスフィルムに対する吸着力分布を容易に設定し、また変更することができる。また、搬送方向で複数の吸着ゾーンに区画されているので、吸着機構も比較的簡易に形成できる。よって設備コストの面でも好適である。

　また、吸着面が複数の吸着ゾーンに区画される場合、本発明に係るガラスフィルムの製造方法においては、吸着面は、ガラスフィルムの搬送方向で、二つの吸着ゾーンに区画されてもよい。また、この場合、ガラスフィルムの搬送方向上流側に位置する吸着面の第一吸着ゾーンにおける吸着力が相対的に大きく、第一吸着ゾーンよりもガラスフィルムの搬送方向下流側に位置する吸着面の第二吸着ゾーンにおける吸着力が相対的に小さくなるように、各吸着ゾーンにおける吸着力の大きさが制御されてもよい。

　上述のように、ベルトの吸着面を二つの吸着ゾーンに区画する場合、搬送方向上流側に位置する吸着ゾーン（第一吸着ゾーン）における吸着力を相対的に大きくし、搬送方向下流側に位置する吸着ゾーン（第二吸着ゾーン）における吸着力を相対的に小さくすることによって、上述したように、第一吸着ゾーンでガラスフィルムを強く吸着して位置ずれなく当該ガラスフィルムを搬送することができる。また、第一吸着ゾーンでガラスフィルムを強く吸着した際にしわ等の変形が生じたとしても、しわ等の変形が生じた箇所よりも搬送方向下流側の領域で、吸着力を相対的に小さくしておくことで、一旦生じたしわ等の変形を解消又は縮小させることができる。これにより、位置ずれなくかつしわ等の変形がない状態でガラスフィルムを搬送することができるので、例えば第二吸着ゾーン上又は第二吸着ゾーンよりも搬送方向下流側に製造関連処理部を配置することで、安定的に高品質の製造関連処理を施すことが可能となる。また、二つの吸着ゾーンについて吸着力の設定を行うだけで済むので、吸着力分布の設定、変更も容易である。

　また、吸着面が複数の吸着ゾーンに区画される場合、本発明に係るガラスフィルムの製造方法においては、吸着面は、ガラスフィルムの搬送方向で、三つの吸着ゾーンに区画されてもよい。また、この場合、三つの吸着ゾーンをガラスフィルムの搬送方向上流側から下流側に向けて順に第一吸着ゾーン、第二吸着ゾーン、及び第三吸着ゾーンとしたとき、第二吸着ゾーンにおける吸着力が最も大きく、第一及び第三吸着ゾーンにおける吸着力がそれぞれ第二吸着ゾーンにおける吸着力よりも小さくなるように、各吸着ゾーンにおける吸着力の大きさが制御されてもよい。

　上述のように、ベルトの吸着面を三つの吸着ゾーンに区画する場合、これら三つの吸着ゾーンにおける吸着力のうち、搬送方向中間に位置する吸着ゾーン（第二吸着ゾーン）の吸着力を最も大きくし、この吸着ゾーンよりも搬送方向下流側の吸着ゾーン（第三吸着ゾーン）及び搬送方向上流側における吸着ゾーン（第一吸着ゾーン）における吸着力をそれぞれ第二吸着ゾーンにおける吸着力よりも小さくした。ガラスフィルムは、成形された後、場合によっては種々の処理を受けた後、例えば他のコンベア上から本発明に係るベルトコンベア上に移載される。そのため、この移載時に、ガラスフィルムを強く吸着しようとすると、しわ等の変形が生じやすいといった問題がある。これに対して、最も上流側の吸着ゾーンにおける吸着力を相対的に小さくすることで、上述した移載直後にしわ等の変形が発生する事態を防止することができる。これにより移載後のガラスフィルムにしわ等の変形がない状態で製造関連処理部に向けて当該ガラスフィルムを搬送することができる。また、第二吸着ゾーンでガラスフィルムを強く吸着して位置ずれなく当該ガラスフィルムを搬送しつつも、第二吸着ゾーンよりも搬送方向下流側の吸着ゾーン（第三吸着ゾーン）で、吸着力を相対的に小さくしておくことで、仮に第二吸着ゾーンでしわ等の変形が新たに生じたとしても、当該しわ等の変形を解消又は縮小させることができる。これにより、位置ずれなくかつしわ等の変形がない状態でガラスフィルムを搬送することができるので、例えば第三吸着ゾーン上又は第三吸着ゾーンよりも搬送方向下流側に製造関連処理部を配置することで、安定的に高品質の製造関連処理を施すことが可能となる。また、三つの吸着ゾーンについて吸着力の設定を行うだけで済むので、吸着力分布の設定も容易である。

　また、吸着面が複数の吸着ゾーンに区画される場合、本発明に係るガラスフィルムの製造方法においては、ベルトコンベアは、ベルトを支持する中空形状の支持体をさらに有し、支持体は、その内部に排気可能な排気空間を有すると共に、排気空間は、ガラスフィルムの搬送方向で、吸着ゾーンに対応して分割されており、かつ支持体とベルトには、ベルトと支持体との間の空間と、排気空間とを連通させる連通部が設けられてもよい。

　このように構成することで、ベルトの上面のうち、支持体の排気空間が設けられた部分の上方を通過する部分が、ガラスフィルムに対する吸着面として機能する。また、排気空間が吸着ゾーンに対応して分割されていることから、各分割空間における排気量（ひいては各分割空間内に生じる負圧の大きさ）を調整することにより、ベルト上にそれぞれ所定の吸着力を発揮し得る吸着ゾーンを形成することが可能となる。上記構成によれば、従来からある支持体に対し最小限の改良を加えるだけで済むため、装置の大型化、複雑化を避けて極力低コストに所望の吸着力分布をベルト上に形成することが可能となる。

　また、支持体内部の排気空間を吸着ゾーンに対応して分割する場合、本発明に係るガラスフィルムの製造方法においては、排気空間を分割してなる各分割空間に、互いに独立して制御可能なブロアがそれぞれ接続されてもよい。

　例えば一台のブロアを排気空間の各分割空間に接続すると共に、各分割空間とブロアとの間にバルブを取付けることによっても、各分割空間の排気量を調整することはできるが、これだと精度よく吸着力を調整することが難しい。これに対して、本発明では、分割空間ごとにブロアを接続したので、例えばブロアの動力源となるモータの周波数を調整するだけで、簡便にかつ高精度に各分割空間の排気量ひいては負圧を精度よく制御することが可能となる。

　また、本発明に係るガラスフィルムの製造方法においては、ベルトコンベアは、相対的にガラスフィルムの搬送方向上流側に位置する上流側ベルトコンベアであって、上流側ベルトコンベアよりもガラスフィルムの搬送方向下流側に下流側コンベアが配設されてもよい。

　このように、下流側コンベアを配設することによって、ガラスフィルムが帯状をなす場合、吸着構造をなすベルトコンベアの下流側を通過する部分に対して引張り力を付与することができる。よって、ガラスフィルムに生じたしわ等の変形をより効果的に解消又は抑制して、より確実に製造関連処理部にしわ等の変形がない状態でガラスフィルムを搬入することが可能となる。

　また、以上の説明に係るガラスフィルムの製造方法によれば、しわ等の変形を防止しつつもベルトとの吸着状態を維持してガラスフィルムを位置ずれなく搬送することができ、これによりガラスフィルムに良好な製造関連処理を施すことが可能となる。そのため、例えば製造関連処理部が、ガラスフィルムをその長手方向に沿って切断可能なレーザー切断部である場合、本発明が好適である。すなわち、ベルトコンベアで搬送されるガラスフィルムのレーザー切断に本発明を適用することによって、ガラスフィルムの正確な切断を安定的に実施することが可能となる。

　また、前記課題の解決は、本発明に係るガラスフィルムの製造装置によっても達成される。すなわち、この製造装置は、ガラスフィルムを搬送するベルトコンベアと、ベルトコンベアで搬送中のガラスフィルムに製造関連処理を施す製造関連処理部とを備えたガラスフィルムの製造装置であって、ベルトコンベアは、製造関連処理部よりもガラスフィルムの搬送方向上流側で、ガラスフィルムをベルトに吸着可能に構成され、かつベルトコンベアは、ガラスフィルムに対する吸着力をガラスフィルムの搬送方向で変更可能に構成されている点をもって特徴付けられる。

　このように、本発明に係るガラスフィルムの製造装置においても、ベルトコンベアの少なくとも所定の一部を、ガラスフィルムがベルトに吸着可能な構造にすると共に、このベルトコンベアにおけるガラスフィルムに対する吸着力を、ガラスフィルムの搬送方向で変更可能とした。このように構成することによって、ガラスフィルムをその搬送方向位置によって適切な大きさの吸着力で吸着しながら搬送することができる。よって、ガラスフィルムを強く吸着し過ぎる箇所が生じる場合には、当該箇所の吸着力を小さくすることで、しわ等の変形を可及的に防止又は抑制することができる。一方で、その他の箇所については、例えば相対的に吸着力を大きくすることで、ガラスフィルムのベルトに対する滑りを防止して、位置ずれなくガラスフィルムを搬送することが可能となる。

　以上に述べたように、本発明によれば、しわ等の変形を防止しつつもベルトとの吸着状態を維持してガラスフィルムを位置ずれなく搬送することができ、これによりガラスフィルムに良好な製造関連処理を施すことが可能となる。

本発明の第一実施形態に係るガラスフィルムの製造装置の全体構成を示す側面図である。 図１に示す搬送装置の平面図である。 図２に示す搬送装置の側面図である。 図２中のＡ－Ａ切断線に沿った搬送装置の要部断面図である。 図４に示す搬送装置における搬送方向位置と吸着力との関係を示すグラフである。 本発明の第二実施形態に係る搬送装置の要部断面図である。 図６に示す搬送装置における搬送方向位置と吸着力との関係を示すグラフである。 本発明の第三実施形態に係る吸着力制御システムの要部断面図で、図２中のＢ－Ｂ切断線に沿った要部断面図である。 本発明の第三実施形態に係る搬送装置における搬送方向位置と吸着力との関係を示すグラフである。

　以下、本発明に係るガラスフィルムの製造方法の第一実施形態を、図１～図５に基づいて説明する。なお、以下では、ガラスフィルムをロール状に巻き取ってガラスロールを最終的に得る場合を例にとって説明する。

　本発明の一実施形態に係るガラスフィルム（ガラスロール）の製造装置１は、図１に示すように、帯状の母材ガラスフィルムＧを成形する成形部２と、母材ガラスフィルムＧの進行方向を縦方向下方から横方向に変換する方向変換部３と、方向変換後に母材ガラスフィルムＧを横方向に搬送する第一搬送部４と、母材ガラスフィルムＧにおける幅方向両端部を切断する第一切断部５と、幅方向両端部が除去されたガラスフィルム（以下、第一ガラスフィルムと称する。）Ｇ１をロール状に巻き取って第一ガラスロールＧＲＬ１を得る第一巻取り部６とを備える。なお、本実施形態では、縦方向は鉛直方向であり、横方向は水平方向である。

　また、ガラスロールの製造装置１は、第一ガラスロールＧＲＬ１から第一ガラスフィルムＧ１を引き出す引出し部７と、引出し部７から引き出された第一ガラスフィルムＧ１を横方向に搬送する第二搬送部８と、第一ガラスフィルムＧ１の一部を切断する第二切断部９と、第二切断部９により切断されてなるガラスフィルム（以下、第二ガラスフィルムと称する。）Ｇ２ａ，Ｇ２ｂをロール状に巻き取って第二ガラスロールＧＲＬ２ａ，ＧＲＬ２ｂを得る第二巻取り部１０とをさらに備える。なお、本実施形態における第二切断部９が本発明に係る製造関連処理部に相当する。

　成形部２は、上端部にオーバーフロー溝１１ａが形成された断面視略楔形の成形体１１と、成形体１１の直下に配置され、成形体１１から溢れ出した溶融ガラスＧＭを表裏両側から挟むエッジローラ１２と、エッジローラ１２の直下に配備されるアニーラ１３とを有する。

　成形部２は、成形体１１のオーバーフロー溝１１ａから溢れ出した溶融ガラスＧＭを、両側面に沿ってそれぞれ流下させ、その下端部で合流させてフィルム状に成形する。エッジローラ１２は、この溶融ガラスＧＭの幅方向収縮を規制して母材ガラスフィルムＧの幅方向寸法を調整する。アニーラ１３は、母材ガラスフィルムＧに対して除歪処理を施すためのものである。アニーラ１３は、上下方向複数段に配設されたアニーラローラ１４を有する。

　アニーラ１３の下方には、母材ガラスフィルムＧを表裏両側から挟持する支持ローラ１５が配設されている。支持ローラ１５とエッジローラ１２との間、又は支持ローラ１５と何れか一箇所のアニーラローラ１４との間には、母材ガラスフィルムＧを薄肉にすることを助長するための張力が付与されている。

　方向変換部３は、支持ローラ１５の下方位置に設けられている。方向変換部３には、母材ガラスフィルムＧを案内する複数のガイドローラ１６が湾曲状に配列されている。これらのガイドローラ１６は、鉛直方向に搬送される母材ガラスフィルムＧを横方向へと案内する。

　第一搬送部４は、方向変換部３の進行方向前方（下流側）に配置される。第一搬送部４は、支持搬送面を有する駆動部を駆動することにより、方向変換部３を通過した母材ガラスフィルムＧをその長手方向に沿って下流側に搬送する。なお、第一搬送部４は任意の構成をとることが可能であり、例えば一又は複数のベルトコンベアで構成することが可能である。この場合、支持搬送面を有する駆動部はベルトであり、このベルトを駆動することにより、母材ガラスフィルムＧを上述の態様で搬送し得る。もちろん、第一搬送部４は、上記例示の構成に限らず、ローラコンベアその他の各種搬送装置を使用することも可能である。

　第一切断部５は、第一搬送部４の上方に配置される。本実施形態では、第一切断部５は、レーザー割断により母材ガラスフィルムＧを切断可能に構成される。具体的には、第一切断部５は、一対のレーザー照射装置１７ａと、当該レーザー照射装置１７ａの下流側に配置される一対の冷却装置１７ｂとを有する。第一切断部５は、搬送される母材ガラスフィルムＧの所定部位に各レーザー照射装置１７ａからレーザー光Ｌを照射して加熱した後、冷却装置１７ｂから冷媒Ｒを放出して当該加熱部位を冷却する。

　第一巻取り部６は、第一搬送部４及び第一切断部５の下流側に設置されている。第一巻取り部６は、巻芯１８を回転させることで、第一ガラスフィルムＧ１をロール状に巻き取る。このようにして得られる第一ガラスロールＧＲＬ１は、引出し部７の位置まで搬送される。引出し部７は、第一巻取り部６によって得られた第一ガラスロールＧＲＬ１から第一ガラスフィルムＧ１を引き出して、第二搬送部８上に供給する。

　第二搬送部８は、引出し部７において第一ガラスロールＧＲＬ１から引き出された第一ガラスフィルムＧ１を横方向（以下、搬送方向Ｘと称する。）に沿って搬送する。ここで、第二搬送部８は、図２及び図３に示すように、相対的に第一ガラスフィルムＧ１の搬送方向上流側に位置する上流側コンベア１９と、上流側コンベア１９よりも第一ガラスフィルムＧ１の搬送方向下流側に位置する下流側コンベア２０とで構成される。この場合、製造関連処理部としての第二切断部９は、上流側コンベア１９と下流側コンベア２０との間に配設される。よって、第二切断部９による第一ガラスフィルムＧ１の切断ゾーン２１（図２中の一点鎖線で囲まれた領域）は、上流側コンベア１９の支持搬送面上と下流側コンベア２０の支持搬送面上の何れにもない。

　上流側コンベア１９はベルトコンベアで構成される。この場合、上流側コンベア１９が本発明に係るベルトコンベアに相当する。本実施形態では、上流側コンベア１９は、複数の上流側ベルトコンベア２２ａ～２２ｇで構成される。これら複数の上流側ベルトコンベア２２ａ～２２ｇは何れも、ベルト（以下、第一ベルト２３ａ～２３ｇと称する。）で同じ方向に第一ガラスフィルムＧ１を接触支持して下流側に搬送可能に構成される。ここで、各第一ベルト２３ａ～２３ｇは例えば無端帯状のベルトであり、第一ガラスフィルムＧ１をその長手方向で接触する全域にわたって略水平姿勢に保持するように、各第一ベルト２３ａ～２３ｇが同じ高さ方向位置に設定される。

　ここで、各上流側ベルトコンベア２２ａ～２２ｇは何れも同じベルト駆動構造を有する。最も幅方向一端側（図２の下側）の上流側ベルトコンベア２２ｇを例にとると、この上流側ベルトコンベア２２ｇは、図３に示すように、上述した無端帯状の第一ベルト２３ｇと、第一ベルト２３ｇに張力を付与しつつ第一ベルト２３ｇを所定の位置に配設するための複数のプーリ２４と、これら複数のプーリ２４を支持する第一支持体２５とを有する。第一支持体２５は床面に固定されている。また、複数のプーリ２４のうち所定のプーリ２４（ドライブプーリ２４ａ）には、モータなどの駆動源２６が連結されており（図２を参照）、この駆動源２６によりドライブプーリ２４ａに駆動力を付与することで、上流側ベルトコンベア２２ｇの第一ベルト２３ｇが所定の向きに駆動可能とされている。

　また、上記構成の複数の上流側ベルトコンベア２２ａ～２２ｇは、それぞれ所定の幅方向位置に設置されている。ここでは、幅方向寸法が互いに異なる複数種類の第一ガラスフィルムＧ１が上流側コンベア１９上を搬送されることを想定して、想定される各第一ガラスフィルムＧ１の幅方向両端側で接触支持するように、各第一ベルト２３ａ～２３ｇの幅方向位置が設定される。また、本実施形態では、幅方向寸法の大きさの如何によらず、全ての第一ガラスフィルムＧ１をその幅方向中央位置で接触支持可能なように上流側ベルトコンベア２２ｄが配設されている（図２を参照）。この幅方向中央の上流側ベルトコンベア２２ｄは、本実施形態では、支持搬送面となる第一ベルト２３ｄの表面（吸着面２３ｄ１）に第一ガラスフィルムＧ１を吸着可能なように構成されている。この吸着構造については後述する。また、残りの上流側ベルトコンベア２２ａ～２２ｃ，２２ｅ～２２ｇについては、本実施形態では、第一ベルト２３ａ～２３ｃ，２３ｅ～２３ｇの表面が平滑なことからも分かるように、何らの吸着構造も有していない（吸着不能に構成されている）。

　下流側コンベア２０は、本実施形態では、ベルトコンベアで構成される。この場合、下流側コンベア２０は、複数の下流側ベルトコンベア２７ａ～２７ｇで構成される。これら複数の下流側ベルトコンベア２７ａ～２７ｇは何れも、ベルト（以下、第二ベルト２８ａ～２８ｇと称する。）で同じ方向に切断後の第一ガラスフィルムＧ１、すなわち第二ガラスフィルムＧ２ａ，Ｇ２ｂを接触支持して下流側に搬送可能に構成される。ここで、各第二ベルト２８ａ～２８ｇは例えば無端帯状のベルトであり、第二ガラスフィルムＧ２ａ，Ｇ２ｂをその長手方向で接触する全域にわたって略水平姿勢に保持するように、各第二ベルト２８ａ～２８ｇが同じ高さ方向位置に設定される。

　ここで、各下流側ベルトコンベア２７ａ～２７ｇは何れも同じベルト駆動構造を有する。最も幅方向一端側（図２の下側）の下流側ベルトコンベア２７ｇを例にとると、この下流側ベルトコンベア２７ｇは、図３に示すように、上述した無端帯状の第二ベルト２８ａ～２８ｇと、第二ベルト２８ａ～２８ｇに張力を付与しつつ第二ベルト２８ａ～２８ｇを所定の位置に配設するための複数のプーリ２９と、これら複数のプーリ２９を支持する第一支持体３０とを有する。また、複数のプーリ２９のうち所定のプーリ２９（ドライブプーリ２９ａ）には、モータなどの駆動源３１が連結されており（図２を参照）、駆動源３１によりドライブプーリ２９ａに駆動力を付与することで、各下流側ベルトコンベア２７ａ～２７ｇの第二ベルト２８ａ～２８ｇが所定の向きに駆動可能とされている。この駆動源３１は、上流側ベルトコンベア２２ａ～２２ｇの駆動源２６と別個独立して設けられている。そのため、連動することなく互いに独立して各駆動源２６，３１、ひいては上流側ベルトコンベア２２ａ～２２ｇと下流側ベルトコンベア２７ａ～２７ｇの駆動を制御可能とされる。

　また、本実施形態では、複数の下流側ベルトコンベア２７ａ～２７ｇは、それぞれ所定の幅方向位置に設置可能であると共に、各第二ベルト２８ａ～２８ｇの位置が、第一ガラスフィルムＧ１の幅方向に調整可能に構成されている。具体的には、各下流側ベルトコンベア２７ａ～２７ｇの下方には、第一ガラスフィルムＧ１の幅方向に延びるレール部３２が配設されている。そして、各下流側ベルトコンベア２７ａ～２７ｇを構成する各第一支持体３０の下部には、レール部３２との間で相対移動可能なスライド部３３が取付けられている。これにより、レール部３２に対して各第一支持体３０のスライド部３３が幅方向にスライドすることで、各第一支持体３０に支持された複数のプーリ２９及びこれらプーリ２９に支持された第二ベルト２８ａ～２８ｇが一体的に幅方向にスライド可能とされている。なお、各下流側ベルトコンベア２７ａ～２７ｇのドライブプーリ２９ａは、共通のシャフト３４に対して幅方向にスライド可能に支持されている。そのため、シャフト３４に対する幅方向の位置を自由に変更しつつも、任意の幅方向位置で駆動源３１からの駆動力を受けて駆動することが可能とされている。なお、図示例では、最も幅方向他端側（図２の最も上側）に位置する下流側ベルトコンベア２７ａが、第二ガラスフィルムＧ２ａ，Ｇ２ｂの搬送路から幅方向に外れた位置（退避スペース３５）に配置されている。

　また、本実施形態では、全ての下流側ベルトコンベア２７ａ～２７ｇの第二ベルト２８ａ～２８ｇが、図２に示すように、その支持搬送面となる表面に第二ガラスフィルムＧ２ａ，Ｇ２ｂを吸着可能に構成されている。

　次に、上流側ベルトコンベア２２ｄの吸着構造を詳細に説明する。

　この上流側ベルトコンベア２２ｄは、上述したように、無端帯状の第一ベルト２３ｄと、複数のプーリ２４と、第一支持体２５と、駆動源２６とを有し（図２及び図３を参照）、さらに図４に示すように、第一ベルト２３ｄを下方から支持する第二支持体３６と、排気空間３７と、第一ベルト２３ｄと第二支持体３６との間の空間と、排気空間３７とを連通可能な連通部３８とを有する。

　第二支持体３６は第一支持体２５に取付けられ、これにより床面に固定されている。この第二支持体３６は、本実施形態では中空形状をなす枠状体、例えば角パイプで構成されている。この場合、第二支持体３６の内部に排気空間３７が設けられる。排気空間３７は、第一ガラスフィルムＧ１の搬送方向で、複数の空間に分割、ここでは二つの空間（第一分割空間３９ａ、第二分割空間３９ｂ）に分割されている。この場合、各分割空間３９ａ，３９ｂはそれぞれ、排気装置としてのブロア４０ａ，４０ｂと接続されている。これら複数のブロア４０ａ，４０ｂは、互いに独立して制御部４１により制御可能とされている。制御態様の詳細は後述する。

　また、この場合、連通部３８は、第二支持体３６の上面に設けられ第一ベルト２３ｄの長手方向に沿って延びる一又は複数の溝部４２と、第二支持体３６に設けられ溝部４２と排気空間３７の各分割空間３９ａ，３９ｂとを連通する穴部４３と、第一ベルト２３ｄに設けられ、第一ベルト２３ｄの幅方向で溝部４２と重複する位置に形成される複数の貫通穴４４とで構成されている。よって、各ブロア４０ａ，４０ｂの駆動により各分割空間３９ａ，３９ｂの排気を行うことで、溝部４２と穴部４３、及び貫通穴４４を介して第一ベルト２３ｄ上の第一ガラスフィルムＧ１に下方への吸引力が作用し、これにより第一ガラスフィルムＧ１が第一ベルト２３ｄに吸着可能とされている。これにより、第一ベルト２３ｄの表面のうち、排気空間３７上を通過する部分が、第一ガラスフィルムＧ１に対する吸着面２３ｄ１として機能する。また、上述のように、排気空間３７が第一ガラスフィルムＧ１の長手方向で複数の空間に分割される場合、第一ベルト２３ｄの吸着面２３ｄ１は、第一ガラスフィルムＧ１の搬送方向Ｘの所定領域において、第一ガラスフィルムＧ１に対する吸着力を互いに異ならせることができる複数の吸着ゾーンＺ１１，Ｚ１２に区画される。この場合、各吸着ゾーンＺ１１，Ｚ１２はそれぞれ、下方に位置する各分割空間３９ａ，３９ｂに対応した位置及び大きさに設定される。本実施形態では、図４に示すように、第一吸着ゾーンＺ１１の搬送方向Ｘに沿った向きの寸法と、第二吸着ゾーンＺ１２の搬送方向Ｘに沿った向きの寸法とが等しくなるように、各分割空間３９ａ，３９ｂの位置及び大きさが設定される。また、図示は省略するが、第一吸着ゾーンＺ１１の幅方向寸法と、第二吸着ゾーンＺ１２の幅方向寸法とが等しくなるように、各分割空間３９ａ，３９ｂの位置及び大きさが設定される。

　上述した吸着構造をなす上流側ベルトコンベア２２ｄは、その長手方向で、言い換えると、第一ガラスフィルムＧ１の搬送方向Ｘで、第一ガラスフィルムＧ１に対する吸着力を変更可能に構成されている。本実施形態のように、分割空間３９ａ，３９ｂごとにブロア４０ａ，４０ｂが接続され、各ブロア４０ａ，４０ｂが制御部４１により制御可能に構成される場合、例えば制御部４１により各ブロア４０ａ，４０ｂの出力（排気量）を調整することにより、各分割空間３９ａ，３９ｂ内の負圧、ひいては第一ガラスフィルムＧ１に対する吸着力が、各分割空間３９ａ，３９ｂ上に形成される設定される吸着ゾーンＺ１１，Ｚ１２ごとに独立して設定される。以上より、二つの吸着ゾーンＺ１１，Ｚ１２で第一ガラスフィルムＧ１に対する吸着力が異なるように、各ブロア４０ａ，４０ｂの出力が制御部４１により制御される。

　図５は、本実施形態に係る吸着ゾーンＺ１１，Ｚ１２と吸着力Ｐ１１，Ｐ１２との関係を示したグラフである。図５に示すように、上流側ベルトコンベア２２ｄが上述した構成をなす場合、例えば第一吸着ゾーンＺ１１の上流端となる搬送方向Ｘ上の位置Ｘ１１から位置Ｘ１２までの間（図４を参照）、第一ガラスフィルムＧ１に対して相対的に大きな吸着力Ｐ１１が作用する。この場合、吸着力Ｐ１１は、位置Ｘ１１から位置Ｘ１２の間で一定の大きさ（均等）に設定される。また、第二吸着ゾーンＺ１２の上流端となる搬送方向Ｘ上の位置Ｘ１２から位置Ｘ１３までの間（図４を参照）、第一ガラスフィルムＧ１に対して相対的に小さな吸着力Ｐ１２が作用する。この場合、吸着力Ｐ１２は、位置Ｘ１２から位置Ｘ１３の間で一定の大きさに設定される。この場合において、第一吸着ゾーンＺ１１における吸着力Ｐ１１と第二吸着ゾーンＺ１２における吸着力Ｐ１２との差は、１ｋＰａ～１．５ｋＰａであることが好ましい。このように、本実施形態では、第一ガラスフィルムＧ１の搬送方向Ｘで見た場合に、第二切断部９に近い側（第二吸着ゾーンＺ１２）で第一ガラスフィルムＧ１に対する吸着力Ｐ１２が相対的に小さく、第二切断部９から遠い側（第一吸着ゾーンＺ１１）で第一ガラスフィルムＧ１に対する吸着力Ｐ１１が相対的に大きくなるように、制御部４１による各ブロア４０ａ，４０ｂの駆動制御が行われる。

　第二切断部９は、第二搬送部８のうち上流側コンベア１９と下流側コンベア２０との間に位置する領域の上方に配置される（図１及び図３を参照）。本実施形態では、第二切断部９は、レーザー割断により第一ガラスフィルムＧ１を切断可能に構成され、複数のレーザー照射装置４５と、各レーザー照射装置４５の下流側に配置される冷却装置４６とを有する。この場合、冷却装置４６はレーザー照射装置４５と同数だけ配置される。本実施形態では、第二切断部９による第一ガラスフィルムＧ１の切断ゾーン２１が幅方向の三箇所に設けられるため（図２を参照）、レーザー照射装置４５と冷却装置４６とが三個ずつ配設される。上記構成の第二切断部９は、搬送される第一ガラスフィルムＧ１の所定部位に各レーザー照射装置４５からレーザー光Ｌを照射して加熱した後、冷却装置４６から冷媒Ｒを放出して当該加熱部位を冷却可能に構成される。

　また、本実施形態では、上述した第一ガラスフィルムＧ１の切断ゾーン２１から幅方向に離れた位置に、図２に示すように、第二搬送部８により搬送されている第一ガラスフィルムＧ１を接触支持可能な第一定盤４７が配設されている。正確には、切断後の第一ガラスフィルムＧ１（第二ガラスフィルムＧ２ａ，Ｇ２ｂ）の幅方向中央側に対応する位置に、第一定盤４７が配設されている。本実施形態では、二枚の第二ガラスフィルムＧ２ａ，Ｇ２ｂが一枚の第一ガラスフィルムＧ１から切り出されるので、切断ゾーン２１に対して幅方向に位置し、かつ各第二ガラスフィルムＧ２ａ，Ｇ２ｂの幅方向中央に対応する位置に、第一定盤４７がそれぞれ配設されている。これら第一定盤４７は、図示は省略するが、床面に設置固定されており、常に静止した状態にある。

　また、第一定盤４７は、図２に示すように、第一ガラスフィルムＧ１を接触支持可能な第一支持面４８と、第一ガラスフィルムＧ１を第一支持面４８に向けて吸引可能な第一吸引部４９とを有する。この第一吸引部４９によれば、第一定盤４７の第一支持面４８上に第一ガラスフィルムＧ１が搬送される場合、第一ガラスフィルムＧ１が第一支持面４８に対して吸引可能とされる。

　また、本実施形態では、上述した第一ガラスフィルムＧ１の切断ゾーン２１に、図２に示すように、第一ガラスフィルムＧ１を接触支持可能な第二定盤５０が配設されている。本実施形態では、第一ガラスフィルムＧ１を幅方向の三箇所で切断する形態を採っていることから、三箇所の切断ゾーン２１それぞれに対して三個の第二定盤５０が配設されている。これら第二定盤５０は、図示は省略するが、床面に設置固定されており、常に静止した状態にある。

　ここで、第二定盤５０は、図２に示すように、第一ガラスフィルムＧ１を接触支持可能な第二支持面５１と、第一ガラスフィルムＧ１を第二支持面５１に向けて吸引可能な第二吸引部５２とを有する。この第二吸引部５２によれば、第二定盤５０の第二支持面５１上に第一ガラスフィルムＧ１が搬送される場合、第一ガラスフィルムＧ１が第二支持面５１に対して吸引可能とされる。

　第二搬送部８よりも下流側には、幅方向で隣り合う一組の第二ガラスフィルムＧ２ａ，Ｇ２ｂの間に幅方向隙間を形成するための隙間形成部５３が設けられている。この隙間形成部５３は、本実施形態では、各第二ガラスフィルムＧ２ａ，Ｇ２ｂが上方に凸となる向きに湾曲変形するように、幅方向中央が最も大径となる樽状の支持ローラ５４ａ，５４ｂを有する。本実施形態では二枚の第二ガラスフィルムＧ２ａ，Ｇ２ｂが切り出されるので、二個の支持ローラ５４ａ，５４ｂが配設される。

　第二巻取り部１０は、第二搬送部８よりも下流側に配設される。具体的に、第二巻取り部１０は、第二搬送部８で搬送される第二ガラスフィルムＧ２ａ，Ｇ２ｂを巻芯５５ａ，５５ｂによって巻き取ることで第二ガラスロールＧＲＬ２ａ，ＧＲＬ２ｂを得る。本実施形態では、二枚の第二ガラスフィルムＧ２ａ，Ｇ２ｂが切り出されるので、これら二枚の第二ガラスフィルムＧ２ａ，Ｇ２ｂをそれぞれ巻き取ることで、二個の第二ガラスロールＧＲＬ２ａ，ＧＲＬ２ｂが得られる。

　上記構成の製造装置１により製造される第二ガラスフィルムＧ２ａ，Ｇ２ｂ（第一ガラスフィルムＧ１）の材質としては、ケイ酸塩ガラス、シリカガラスが用いられ、好ましくはホウ珪酸ガラス、ソーダライムガラス、アルミノ珪酸塩ガラス、化学強化ガラスが用いられ、最も好ましくは無アルカリガラスが用いられる。ここで、無アルカリガラスとは、アルカリ成分（アルカリ金属酸化物）が実質的に含まれていないガラスのことであって、具体的には、アルカリ成分の重量比が３０００ｐｐｍ以下のガラスのことである。本発明におけるアルカリ成分の重量比は、好ましくは１０００ｐｐｍ以下であり、より好ましくは５００ｐｐｍ以下であり、最も好ましくは３００ｐｐｍ以下である。

　また、第二ガラスフィルムＧ２ａ，Ｇ２ｂ（第一ガラスフィルムＧ１）の厚み寸法は、１０μｍ以上３００μｍ以下とされ、好ましくは３０μｍ以上２００μｍ以下であり、最も好ましくは３０μｍ以上１００μｍ以下である。

　以下、上記構成の製造装置１を使用して第二ガラスフィルムＧ２ａ，Ｇ２ｂ（本実施形態では第二ガラスロールＧＲＬ２ａ，ＧＲＬ２ｂ）を製造する方法について説明する。本方法は、成形工程Ｓ１と、両端部除去工程Ｓ２と、第一巻取り工程Ｓ３と、引出し工程Ｓ４と、切断工程Ｓ５と、第二巻取り工程Ｓ６とを備える。

　成形工程Ｓ１では、図１に示すように、成形部２における成形体１１のオーバーフロー溝１１ａから溢れ出した溶融ガラスＧＭを成形体１１の両側面に沿ってそれぞれ流下させ、その下端で合流させてフィルム状に成形する。この際、溶融ガラスＧＭの幅方向収縮をエッジローラ１２により規制して所定幅の母材ガラスフィルムＧとする。その後、母材ガラスフィルムＧに対してアニーラ１３により除歪処理を施す（徐冷工程）。支持ローラ１５の張力により、母材ガラスフィルムＧは所定の厚みに形成される。

　両端部除去工程Ｓ２では、同じく図１に示すように、方向変換部３及び第一搬送部４によって母材ガラスフィルムＧを下流側に送りつつ、第一切断部５において、レーザー照射装置１７ａからレーザー光Ｌを母材ガラスフィルムＧの一部に照射して加熱する。その後、加熱した部位に冷却装置１７ｂで冷媒Ｒを吹き付ける。これにより、母材ガラスフィルムＧに熱応力が生じる。母材ガラスフィルムＧには、予め初期クラックが形成されており、このクラックを熱応力によって進展させる。これにより、母材ガラスフィルムＧの幅方向両端部が除去され、第一ガラスフィルムＧ１が形成される。

　続く第一巻取工程Ｓ３では、同じく図１に示すように、第一ガラスフィルムＧ１を巻芯１８に巻き取ることにより、第一ガラスロールＧＲＬ１を得る。その後、第一ガラスロールＧＲＬ１は、引出し部７に移送される。引出し工程Ｓ４では、引出し部７に移送された第一ガラスロールＧＲＬ１から第一ガラスフィルムＧ１を引き出し、第二搬送部８によって第二搬送部８上の切断ゾーン２１へと搬送する（図２及び図３を参照）。

　切断工程Ｓ５では、第一ガラスフィルムＧ１のうち第二搬送部８上の切断ゾーン２１を通過する部分に、レーザー照射装置４５によりレーザー光Ｌを照射し、かつ照射した領域に冷媒Ｒを吹き付けることにより、第一ガラスフィルムＧ１の搬送方向Ｘに沿った向きの切断を行う。また、この際、第一ガラスフィルムＧ１は、上流側コンベア１９により搬送方向Ｘに沿った向きに搬送される。この際、上流側コンベア１９を構成する複数の上流側ベルトコンベア２２ａ～２２ｇのうち、第一ガラスフィルムＧ１の幅方向中央位置に対応する上流側ベルトコンベア２２ｄについて、その第二支持体３６内の排気空間３７をブロア４０ａ，４０ｂにより排気することで排気空間３７内に負圧を発生させる。これにより、溝部４２、穴部４３、及び貫通穴４４を介して（図４を参照）、第一ベルト２３ｄ上の第一ガラスフィルムＧ１に下向きの吸着力が作用するので、第一ガラスフィルムＧ１が上流側ベルトコンベア２２ｄの第一ベルト２３ｄに吸着した状態で搬送方向Ｘに沿って搬送される。

　また、この際、吸着構造を有する上流側ベルトコンベア２２ｄは、第一ガラスフィルムＧ１に対する吸着力Ｐ１１，Ｐ１２を第一ガラスフィルムＧの搬送方向Ｘで変更可能に構成されている。具体的には、第一ガラスフィルムＧ１の搬送方向Ｘで見た場合に、第二切断部９に近い側で第一ガラスフィルムＧ１に対する吸着力Ｐ１２が相対的に小さく、第二切断部９から遠い側で第一ガラスフィルムＧ１に対する吸着力Ｐ１１が相対的に大きくなるように調整されている（図４及び図５を参照）。そのため、第二切断部９よりも上流側では、第一ガラスフィルムＧ１を強く吸着して位置ずれなく第一ガラスフィルムＧ１が第二切断部９に向けて搬送される。また、強く吸着した際にしわ等の変形が生じたとしても、しわ等の変形が生じた箇所よりも下流側でかつ第二切断部９よりも上流側の領域で、吸着力Ｐ１２を相対的に小さくしておくことで、一旦生じたしわ等の変形が第二切断部９に到達する前に解消又は縮小する。これにより、位置ずれなくかつしわ等の変形がない状態で第一ガラスフィルムＧ１が第二切断部９に搬入される。

　残りの上流側ベルトコンベア２２ａ～２２ｃ，２２ｅ～２２ｇについては、上述したように、第一ガラスフィルムＧ１を第一ベルト２３ａ～２３ｃ，２３ｅ～２３ｇに吸着不能に構成されているので、第一ガラスフィルムＧ１は各第一ベルト２３ａ～２３ｃ，２３ｅ～２３ｇに接触支持された状態で搬送方向Ｘに沿って搬送される。

　切断工程Ｓ５では、上記のように上流側ベルトコンベア２２ａ～２２ｇによって第一ガラスフィルムＧ１を所定の搬送方向Ｘに搬送しながら、レーザー照射装置４５のレーザー照射部から複数のレーザー光Ｌを第一ガラスフィルムＧ１に照射する（レーザー照射工程）。

　上記のようなレーザー光Ｌの照射により、第一ガラスフィルムＧ１が加熱される。その後、第一ガラスフィルムＧ１のうち加熱された部分は、冷却装置４６の直下に到達すると、冷却装置４６から下方に向けて噴射された冷媒Ｒを浴びて冷却される。レーザー照射装置４５の局部加熱による膨張と冷却装置４６の冷却による収縮とにより第一ガラスフィルムＧ１に熱応力が生じる。第一ガラスフィルムＧ１には、図示しない手段により予め初期クラックが形成されており、上述した熱応力を利用して初期クラックを進展させることで、第一ガラスフィルムＧ１がその幅方向所定位置において連続的に切断（割断）される。本実施形態では、幅方向の三箇所で上述したレーザー切断を行うことにより、第一ガラスフィルムＧ１の幅方向両端部が切り捨てられると共に、それぞれ所定の幅方向寸法を有する二枚の第二ガラスフィルムＧ２ａ，Ｇ２ｂが切り出される（図２を参照）。これら第二ガラスフィルムＧ２ａ，Ｇ２ｂは切断ゾーン２１よりも搬送方向Ｘの下流側に位置する下流側コンベア２０により、下流側コンベア２０よりも搬送方向Ｘの下流側に位置する第二巻取り部１０に向けて搬送される。

　この際、下流側コンベア２０を構成する複数の下流側ベルトコンベア２７ａ～２７ｇには、支持搬送する第二ガラスフィルムＧ２ａ，Ｇ２ｂを吸着可能な構造が設けられている（図２を参照）。これにより、第二ガラスフィルムＧ２ａ，Ｇ２ｂが下流側ベルトコンベア２７ａ～２７ｆの第二ベルト２８ａ～２８ｆに吸着した状態で搬送方向Ｘに沿って搬送される。

　第二巻取り工程Ｓ６では、それぞれ所定の位置に配設された巻芯５５ａ，５５ｂによって第二ガラスフィルムＧ２ａ，Ｇ２ｂが巻き取られる。所定長さの第二ガラスフィルムＧ２ａ，Ｇ２ｂが巻き取られることで、第二ガラスロールＧＲＬ２ａ，ＧＲＬ２ｂが得られる。

　また、本実施形態では、下流側コンベア２０と、第二巻取り部１０との間に、隙間形成部５３としての支持ローラ５４ａ，５４ｂを配設したので、各支持ローラ５４ａ，５４ｂ上を通過する第二ガラスフィルムＧ２ａ，Ｇ２ｂが支持ローラ５４ａ，５４ｂの外周面形状に倣って変形（ここでは上方に凸となる向きに湾曲変形）しながら下流側に搬送される。これにより、切断直後の第二ガラスフィルムＧ２ａ，Ｇ２ｂの間に所定の幅方向隙間が形成されるので、切断面同士の干渉を回避してそれぞれ第二巻取り部１０に搬送することができる。

　以上説明したように、本実施形態に係るガラスフィルム（第二ガラスフィルムＧ２ａ，Ｇ２ｂ）の製造方法では、第二切断部９よりも第一ガラスフィルムＧ１の搬送方向Ｘの上流側に位置する上流側ベルトコンベア２２ａ～２２ｇの少なくとも一部（第一ガラスフィルムＧ１の幅方向中央に対応する上流側ベルトコンベア２２ｄ）を、第一ガラスフィルムＧ１が第一ベルト２３ｄに吸着可能な構造にすると共に、この上流側ベルトコンベア２２ｄにおける第一ガラスフィルムＧ１に対する吸着力Ｐ１１，Ｐ１２を、第一ガラスフィルムＧ１の搬送方向Ｘで変更可能とした。このように構成することによって、第一ガラスフィルムＧ１をその搬送方向Ｘの位置によって適切な大きさの吸着力で吸着しながら搬送することができる。よって、第一ガラスフィルムＧ１を強く吸着し過ぎる箇所が生じる場合には、当該箇所の吸着力を小さくすることで、しわ等の変形を可及的に防止又は抑制することができる。一方で、その他の箇所については、例えば相対的に吸着力を大きくすることで、第一ガラスフィルムＧ１の第一ベルト２３ｄ（の吸着面２３ｄ１）に対する滑りを防止して、位置ずれなく第一ガラスフィルムＧ１を搬送することが可能となる。従って、第一ガラスフィルムＧ１の正確な切断を安定的に実施することが可能となり、ひいては高品質の製品ガラスロール（第二ガラスロールＧＲＬ２ａ，ＧＲＬ２ｂ）を安定的に提供することが可能となる。

　また、本実施形態では、第一ベルト２３ｄの吸着面２３ｄ１を、第一ガラスフィルムＧ１の搬送方向Ｘの所定領域において、第一ガラスフィルムＧ１に対する吸着力Ｐ１１，Ｐ１２を互いに異ならせることができる二つの吸着ゾーンＺ１１，Ｚ１２に区画した。また、この場合に、搬送方向Ｘの上流側に位置する吸着面２３ｄ１の第一吸着ゾーンＺ１１における吸着力Ｐ１１が相対的に大きく、第一吸着ゾーンＺ１１よりも第一ガラスフィルムＧ１の搬送方向Ｘの下流側に位置する吸着面２３ｄ１の第二吸着ゾーンＺ１２における吸着力Ｐ１２が相対的に小さくなるように、各吸着ゾーンＺ１１，Ｚ１２における吸着力Ｐ１１，Ｐ１２の大きさを制御するようにした。このように吸着力Ｐ１１，Ｐ１２を制御することによって、相対的に搬送方向Ｘの上流側で第一ガラスフィルムＧ１を強く吸着することができるので位置ずれなく第一ガラスフィルムＧ１を第二切断部９に向けて搬送することができる。また、第一吸着ゾーンＺ１１で第一ガラスフィルムＧ１を強く吸着した際にしわ等の変形が生じたとしても、しわ等の変形が生じた箇所よりも搬送方向Ｘの下流側の領域で、吸着力Ｐ１２を相対的に小さくしておくことで、一旦生じたしわ等の変形を解消又は縮小させることができる。これにより、位置ずれなくかつしわ等の変形がない状態で第一ガラスフィルムＧ１を搬送することができるので、第二吸着ゾーンＺ１２よりも搬送方向Ｘの下流側に第二切断部９を配置した場合においても、安定的に高品質の製造関連処理を施すことが可能となる。また、二つの吸着ゾーンＺ１１，Ｚ１２について吸着力Ｐ１１，Ｐ１２の設定をそれぞれ行うだけで済むので、吸着力分布の設定、変更も容易である。

　以上、本発明に係るガラスフィルムの製造方法及び製造装置の一実施形態を説明したが、この製造方法及び製造装置は、当然に本発明の範囲内において任意の形態を採ることができる。

　図６は、本発明の第二実施形態に係る上流側ベルトコンベア６０ｄの要部断面図を示している。この上流側ベルトコンベア６０ｄは、本発明の第一実施形態と同様に、残りの上流側ベルトコンベア２２ａ～２２ｃ，２２ｅ～２２ｇと共に第二搬送部８の上流側コンベア１９を構成する。また、第一実施形態に係る上流側ベルトコンベア２２ｄと同じように、無端帯状の第一ベルト２３ｄと、複数のプーリ２４と、第一支持体２５と、駆動源２６とを有すると共に（図２及び図３を参照）、第一ベルト２３ｄを下方から支持する第二支持体６１と、第二支持体６１の内部に設けられる排気空間６２と、第一ベルト２３ｄと第二支持体６１との間の空間と、排気空間６２とを連通可能な連通部６３とを有する。また、排気空間６２は第二支持体６１の内部に設けられている。

　本実施形態では、排気空間６２は、第一ガラスフィルムＧ１の搬送方向Ｘで、三つの空間（第一分割空間６４ａ、第二分割空間６４ｂ、第三分割空間６４ｃ）に分割されている。この場合、各分割空間６４ａ～６４ｃはそれぞれ、排気装置としてのブロア６５ａ～６５ｃと接続されている。これら複数のブロア６５ａ～６５ｃは、互いに独立して制御部４１により制御可能とされている。なお、連通部６３の構成は、第一実施形態における連通部の構成（溝部４２、穴部４３、貫通穴４４）と同じであるので、説明を省略する。

　上記構成の吸着構造を有する上流側ベルトコンベア６０ｄによれば、各ブロア６５ａ～６５ｃの駆動により対応する各分割空間６４ａ～６４ｃの排気を行うことで、連通部６３（溝部４２と穴部４３、及び貫通穴４４）を介して第一ベルト２３ｄ上の第一ガラスフィルムＧ１に下方への吸引力が作用し、これにより第一ガラスフィルムＧ１が第一ベルト２３ｄの吸着面２３ｄ１に吸着可能とされている。また、上述のように、排気空間６２が第一ガラスフィルムＧ１の長手方向で三つの空間に分割される場合、第一ベルト２３ｄの吸着面２３ｄ１は、第一ガラスフィルムＧ１の搬送方向Ｘの所定領域において、第一ガラスフィルムＧ１に対する吸着力を互いに異ならせることができる三つの吸着ゾーンＺ２１～Ｚ２３に区画される。この場合、各吸着ゾーンＺ２１～Ｚ２３はそれぞれ、下方に位置する各分割空間６４ａ～６４ｃに対応した位置及び大きさに設定される。本実施形態では、図６に示すように、第一吸着ゾーンＺ２１の搬送方向Ｘに沿った向きの寸法と、第二吸着ゾーンＺ２２の搬送方向Ｘに沿った向きの寸法、及び第三吸着ゾーンＺ２３の搬送方向Ｘに沿った向きの寸法とが等しくなるように、各分割空間６４ａ～６４ｃの位置及び大きさが設定される。また、図示は省略するが、第一吸着ゾーンＺ２１の幅方向寸法と、第二吸着ゾーンＺ２２の幅方向寸法、及び第三吸着ゾーンＺ２３の幅方向寸法とが等しくなるように、各分割空間６４ａ～６４ｃの位置及び大きさが設定される。

　上述した吸着構造をなす上流側ベルトコンベア６０ｄは、第一ガラスフィルムＧ１の搬送方向Ｘで、第一ガラスフィルムＧ１に対する吸着力を変更可能に構成されている。本実施形態のように、分割空間６４ａ～６４ｃごとにブロア６５ａ～６５ｃが接続され、各ブロア６５ａ～６５ｃが制御部４１により制御可能に構成される場合、例えば制御部４１により各ブロア６５ａ～６５ｃの出力（排気量）を調整することにより、各分割空間６４ａ～６４ｃ内の負圧、ひいては第一ガラスフィルムＧ１に対する吸着力Ｐ２１～Ｐ２３（図７を参照）が、各分割空間６４ａ～６４ｃ上に形成される吸着ゾーンＺ２１～Ｚ２３ごとに独立して設定される。よって、各ブロア６５ａ～６５ｃの出力を制御部４１により調整することで、三つの吸着ゾーンＺ２１～Ｚ２３の間で第一ガラスフィルムＧ１に対する吸着力Ｐ２１～Ｐ２３を互いに異ならせるように制御される。

　図７は、本実施形態に係る吸着ゾーンＺ２１～Ｚ２３と吸着力Ｐ２１～Ｐ２３との関係を示したグラフである。図７に示すように、上流側ベルトコンベア６０ｄが上述した構成をなす場合、例えば第一ガラスフィルムＧ１の搬送方向Ｘの中間位置に形成される第二吸着ゾーンＺ２２において第一ガラスフィルムＧ１に作用する吸着力Ｐ２２が最も大きく、搬送方向Ｘの最も上流側に形成される第一吸着ゾーンＺ２１において第一ガラスフィルムＧ１に作用する吸着力Ｐ２１が次に大きく、搬送方向Ｘの最も下流側に形成される第三吸着ゾーンＺ２３において第一ガラスフィルムＧ１に作用する吸着力Ｐ２３が最も小さくなるように、制御部４１による各ブロア６５ａ～６５ｃの駆動制御が行われる。この場合において、第二吸着ゾーンＺ２２における吸着力Ｐ２２と第一吸着ゾーンＺ２１における吸着力Ｐ２１との差は、０．２ｋＰａ～０．５ｋＰａであることが好ましい。また、第一吸着ゾーンＺ２１における吸着力Ｐ２１と第三吸着ゾーンＺ２３における吸着力Ｐ２３との差は、０．８ｋＰａ～１．１ｋＰａであることが好ましい。なお、本実施形態においても、吸着力Ｐ２１は、対応する搬送方向Ｘの位置Ｘ２１からＸ２２までの間で一定の大きさに設定され、吸着力Ｐ２２は、対応する位置Ｘ２２から位置Ｘ２３までの間で一定の大きさに設定され、吸着力Ｐ２３は、対応する位置Ｘ２３から位置Ｘ２４までの間で一定の大きさに設定される。

　このように、本実施形態においても、第二切断部９よりも第一ガラスフィルムＧ１の搬送方向Ｘの上流側に位置する上流側ベルトコンベア６０ｄに吸着構造を設けると共に、その吸着力Ｐ２１～Ｐ２３を、第一ガラスフィルムＧ１の搬送方向Ｘで変更可能としたので、しわ等の変形を防ぎつつも位置ずれなく第一ガラスフィルムＧ１を第二切断部９に向けて搬送することが可能となる。

　また、本実施形態では、第一ベルト２３ｄの吸着面２３ｄ１を三つの吸着ゾーンＺ２１～Ｚ２３に区画する場合、これら三つの吸着ゾーンＺ２１～Ｚ２３における吸着力Ｐ２１～Ｐ２３のうち、搬送方向中間に位置する第二吸着ゾーンＺ２２の吸着力Ｐ２２を最も大きくし、この吸着ゾーンＺ２２よりも搬送方向Ｘの下流側の第三吸着ゾーンＺ２３及び搬送方向Ｘの上流側の第一吸着ゾーンＺ２１における吸着力Ｐ２１，Ｐ２３をそれぞれ第二吸着ゾーンＺ２２における吸着力Ｐ２２よりも小さくした。例えば第一ガラスフィルムＧ１が第一ガラスロールＧＲＬ１から引き出されて、図６に示すように、斜め下方から支持ローラ６６を介して上流側ベルトコンベア６０ｄ（上流側コンベア１９）上に移載される場合、移載直後に、第一ガラスフィルムＧ１を強く吸着してしまうと、しわ等の変形が生じ易いことがある。そのため、最も上流側の第一吸着ゾーンＺ２１における吸着力Ｐ２１を、その下流側に位置する第二吸着ゾーンＺ２２における吸着力Ｐ２２よりも小さくすることで、上述した移載直後にしわ等の変形が発生する事態を防止することができる。これにより移載後の第一ガラスフィルムＧ１にしわ等の変形がない状態で第二切断部９に向けて第一ガラスフィルムＧ１を搬送することができる。また、第二吸着ゾーンＺ２２で第一ガラスフィルムＧ１を強く吸着して位置ずれなく第一ガラスフィルムＧ１を搬送しつつも、第二吸着ゾーンＺ２２よりも搬送方向Ｘの下流側に位置する第三吸着ゾーンＺ２３で、吸着力Ｐ２３を第二吸着ゾーンＺ２２における吸着力Ｐ２２よりも小さくしておくことで（本実施形態では第一吸着ゾーンＺ２１における吸着力Ｐ２１よりも小さくすることで）、仮に第二吸着ゾーンＺ２２でしわ等の変形が新たに生じたとしても、当該しわ等の変形を解消又は縮小させることができる。これにより、位置ずれなくかつしわ等の変形がない状態で第一ガラスフィルムＧ１を搬送することができるので、第三吸着ゾーンＺ２３よりも搬送方向Ｘの下流側に第二切断部９を配置する場合、安定的に高品質の切断処理を施すことが可能となる。

　図８及び図９は、本発明の第三実施形態に係る搬送装置の吸着力制御システムの要部断面図であって、下流側ベルトコンベア２７ａ～２７ｇのうち、幅方向中央に位置する下流側ベルトコンベア２７ｄの要部断面図（図２中のＢ－Ｂ切断線に沿った要部断面図）を代表的に示している。この下流側ベルトコンベア２７ｄは、残りの下流側ベルトコンベア２７ａ～２７ｃ，２７ｅ～２７ｇと同じように、無端状の第二ベルト２８ｄを下方から支持する第二支持体７１と、第二支持体７１の内部に設けられる排気空間７２と、第二ベルト２８ｄと第二支持体７１との間の空間と、排気空間７２とを連通可能な連通部７３とを有する。

　ここで排気空間７２は、第二支持体７１の内部に一つ存在しており、排気装置としてのブロア７４と接続されている。このブロア７４は、他の複数のブロア６５ａ～６５ｃとは相互に独立して制御部４１により制御可能とされている。

　また、この場合、連通部７３は、第二支持体７１の上面に設けられ第二ベルト２８ｄの長手方向に沿って延びる一又は複数の溝部７５と、第二支持体７１に設けられ溝部７５と排気空間７２とを連通する穴部７６と、第二ベルト２８ｄに設けられ、第二ベルト２８ｄの幅方向で溝部７５と重複する位置に形成される複数の貫通穴７７とで構成されている。よって、ブロア７４の駆動により排気空間７２の排気を行うことで、溝部７５と穴部７６、及び貫通穴７７を介して第二ベルト２８ｄ上の第二ガラスフィルムＧ２ａに下方への吸引力が作用し、これにより第二ガラスフィルムＧ２ａが第二ベルト２８ｄに吸着可能とされている。これにより、第二ベルト２８ｄの表面のうち、排気空間７２上を通過する部分が、第二ガラスフィルムＧ２ａに対する吸着面２８ｄ１として機能する。この場合、第二ベルト２８ｄ上の第四吸着ゾーンＺ２４は、下方に位置する排気空間７２に対応した位置及び大きさに設定される。残りの下流側ベルトコンベア２７ａ～２７ｃ，２７ｅ～２７ｇについても、上述した吸着構造をなす。

　上述した吸着構造をなす下流側ベルトコンベア２７ａ～２７ｇと、上流側ベルトコンベア６０ｄは、幅方向両端部を切断したガラスフィルムＧ１，Ｇ２ａ，Ｇ２ｂの搬送方向Ｘで、当該ガラスフィルムＧ１，Ｇ２ａ，Ｇ２ｂに対する吸着力を変更可能に構成されている。第二実施形態のように、上流側ベルトコンベア６０ｄの排気空間６２が分割空間６４ａ～６４ｃに分割され、分割空間６４ａ～６４ｃ及び排気空間７２ごとにブロア６５ａ～６５ｃ，７４が接続され（図６及び図８を参照）、各ブロア６５ａ～６５ｃ，７４が制御部４１により制御可能に構成される場合、例えば制御部４１により各ブロア６５ａ～６５ｃ，７４の出力（排気量）を調整することにより、各分割空間６４ａ～６４ｃ及び排気空間７２内の負圧、ひいてはガラスフィルムＧ１，Ｇ２ａ，Ｇ２ｂに対する吸着力が、各分割空間６４ａ～６４ｃ及び排気空間７２上に形成される吸着ゾーンＺ２１～Ｚ２４ごとに独立して設定される。よって、各ブロア６５ａ～６５ｃ，７４の出力を制御部４１により調整することで、四つの吸着ゾーンＺ２１～Ｚ２４の間でガラスフィルムＧ１，Ｇ２ａ，Ｇ２ｂに対する吸着力を互いに異ならせるように制御される。

　図９は、本実施形態に係る吸着ゾーンＺ２１～Ｚ２４と吸着力Ｐ２１～Ｐ２４との関係を示したグラフである。図９に示すように、上流側ベルトコンベア６０ｄ及び下流側ベルトコンベア２７ａ～２７ｇが上述した構成をなす場合、例えば第一ベルトコンベア６０ｄ上の第一～第三吸着ゾーンＺ２１～Ｚ２３の何れか一つ（ここでは第二吸着ゾーンＺ２２）においてガラスフィルムＧ１，Ｇ２ａ，Ｇ２ｂに作用する吸着力Ｐ２２が最も大きく、第三吸着ゾーンＺ２３よりも搬送方向Ｘの下流側に位置する下流側ベルトコンベア２８ａ～２８ｇ上の吸着ゾーンＺ２４においてガラスフィルムＧ１，Ｇ２ａ，Ｇ２ｂに作用する吸着力Ｐ２４が最も小さくなるように、制御部４１による各ブロア６５ａ～６５ｃ，７４の駆動制御が行われる。吸着ゾーンＺ２４の吸着力Ｐ２４を最も小さくすることで、切断後のガラスフィルムＧ１，Ｇ２，Ｇ３がバタつくことで端面同士が擦れるのを防止しつつ、吸引力Ｐ２４の影響が第二切断部９に及ぶのを防止することができる。なお、本実施形態においても、吸着力Ｐ２１は、対応する搬送方向Ｘの位置Ｘ２１からＸ２２までの間で一定の大きさに設定され、吸着力Ｐ２２は、対応する位置Ｘ２２から位置Ｘ２３までの間で一定の大きさに設定され、吸着力Ｐ２３は、対応する位置Ｘ２３から位置Ｘ２４までの間で一定の大きさに設定され、吸着力Ｐ２４は、対応する搬送方向Ｘの位置Ｘ２５から位置Ｘ２６までの間で一定の大きさに設定される。

　このように、本実施形態では、上流側ベルトコンベア６０ｄ及び下流側ベルトコンベア２７ａ～２７ｇに吸着構造を設けると共に、各々の吸着力Ｐ２１～Ｐ２４を、幅方向両端部を切断したガラスフィルムＧ１，Ｇ２ａ，Ｇ２ｂの搬送方向Ｘで変更可能としたので、第二切断部９による切断の前後において、しわ等の変形を防ぎつつも位置ずれなくガラスフィルムＧ１，Ｇ２ａ，Ｇ２ｂを搬送することが可能となる。

　なお、各吸着力Ｐ２１～Ｐ２４が、図９に示す大小関係を満たす場合において、第二吸着ゾーンＺ２２における吸着力Ｐ２２と第一吸着ゾーンＺ２１における吸着力Ｐ２１との差は、０．２ｋＰａ～０．５ｋＰａであることが好ましい。また、第一吸着ゾーンＺ２１における吸着力Ｐ２１と第三吸着ゾーンＺ２３における吸着力Ｐ２３との差は、０．８ｋＰａ～１．１ｋＰａであることが好ましい。同様に、第三吸着ゾーンＺ２３における吸着力Ｐ２３と、第四吸着ゾーンＺ２４における吸着力Ｐ２４との差が０．０１～０．１ｋＰａとなるように、各吸着力Ｐ２３，Ｐ２４の大きさを設定することが好ましい。

　なお、上記実施形態では、吸着面２３ｄ１を複数の吸着ゾーンＺ１１，Ｚ１２（Ｚ２１～Ｚ２３）に区画する場合、各吸着ゾーンＺ１１，Ｚ１２（Ｚ２１～Ｚ２３）の搬送方向Ｘに沿った向きの寸法、及び幅方向寸法を何れも等しく設定した場合を例示したが、もちろんこれには限られない。例えば図示は省略するが、図６に示す上流側ベルトコンベア６０ｄにおいて、第二吸着ゾーンＺ２２の搬送方向Ｘに沿った向きの寸法を、残りの何れの吸着ゾーンＺ２１，Ｚ２３の搬送方向Ｘに沿った向きの寸法よりも大きく設定してもよい。この場合、第二吸着ゾーンＺ２２における吸着力Ｐ２２を、図６に示す場合の第二吸着ゾーンＺ２２における吸着力Ｐ２２よりも小さく設定できる利点がある。吸着面２８ｄ１を複数の吸着ゾーンに区画する場合も同様の構成が可能である。

　また、上記実施形態では、第一ベルト２３ｄの吸着面２３ｄ１を第一ガラスフィルムＧ１の搬送方向Ｘで二つの吸着ゾーンＺ１１，Ｚ１２、又は三つの吸着ゾーンＺ２１～Ｚ２３に区画する場合を例示したが、もちろんこれには限られない。必要に応じて、吸着面２３ｄ１を四つ以上の吸着ゾーンに区画してもよい。この場合、対応する排気空間が四つ以上の空間に分割される。

　また、図５や図７に示した吸着ゾーンＺ１１，Ｚ１２（Ｚ２１～Ｚ２３）と吸着力Ｐ１１，Ｐ１２（Ｐ２１～Ｐ２３）との関係、又は図９に示した吸着ゾーンＺ２１～Ｚ２４と吸着力Ｐ２１～Ｐ２４との関係は一例に過ぎず、搬送されるガラスフィルムの材質、寸法、形状、もしくは切断以外の加工の内容等に応じて、吸着ゾーンの数並びに吸着力を任意に設定してもよい。

　また、上記実施形態では、第一ガラスフィルムＧ１に対する吸着力が搬送方向位置で段階的に変化する吸着力分布を示す場合を例示したが、もちろんこれ以外の吸着力分布をなすように吸着力を設定してもよい。例えば図示は省略するが、所定の搬送方向領域間で吸着力が一次的に（所定の勾配で）変化するように吸着力分布を設定してもよい。また、吸着力が断続的に作用するように吸着力分布を設定してもよい。もちろん、吸着力分布に応じて吸着構造を変更してもよい。すなわち、所望の吸着力分布を得るために、図４等に示す第二支持体３６内を排気空間３７とし、排気空間３７を分割する構造以外の吸着構造を採用してもかまわない。

　また、上記実施形態では、上流側コンベア１９を構成する上流側ベルトコンベア２２ａ～２２ｇのうち、所定の上流側ベルトコンベア２２ｄのみに本発明に係る吸着構造を適用した場合を例示したが、もちろんこれ以外のベルトコンベアに本発明に係る吸着構造を適用してもかまわない。例えば図示は省略するが、上流側ベルトコンベア２２ａ～２２ｇのうち二つ以上のベルトコンベアに本発明に係る吸着構造を適用してもよい。

　また、以上の説明では、第一ガラスフィルムＧ１の切断ゾーン２１に第二定盤５０を配置すると共に、切断ゾーン２１に対して幅方向に離れた位置に第一定盤４７を配置した場合を例示したが、もちろんこれには限られない。レーザー切断に対してそれほど大きな影響を及ぼさないようであれば、切断ゾーン２１を支持搬送面が通過するように第三のコンベア（図示は省略）を配設して、第一定盤４７と第二定盤５０の少なくとも一方を省略してもよい。

　また、搬送装置（第二搬送部８）の支持搬送面は、必ずしも搬送方向Ｘで切断ゾーン２１に対応する位置において分断されている必要はない。例えば切断ゾーン２１から搬送方向Ｘの下流側にずれた位置で、第二搬送部８の支持搬送面が分断されていてもよい。

　なお、以上の説明では、切断ゾーン２１で搬送装置としての第二搬送部８が分割されてなる上流側コンベア１９と下流側コンベア２０をともにベルトコンベアで構成した場合を例示したが、もちろんこれ以外の形態をとることも可能である。例えば下流側コンベア２０を、ローラコンベアその他の各種搬送装置で構成してもよい。

　また、以上の説明では、第二搬送部８が、その搬送方向Ｘで、二つのコンベア１９，２０で構成される場合を例示したが、もちろんこれには限定されない。例えば第二搬送部８をその搬送方向Ｘの全域にわたって一つのベルトコンベアで構成し、このベルトコンベア上に切断ゾーン２１を設けると共に、本発明に係る吸着構造を適用してもよい。

　また、以上の説明では、第二搬送部８を、第一ガラスフィルムＧ１の幅方向に隣接する複数の上流側ベルトコンベア２２ａ～２２ｇと下流側ベルトコンベア２７ａ～２７ｇとで構成した場合を例示したが、もちろんこれ以外の構成をとることも可能である。例えば上流側コンベア１９を一つのベルトコンベアで構成し、この一つのベルトコンベアに本発明に係る吸着構造を適用してもよい。あるいは、下流側コンベア２０を一つのベルトコンベアで構成してもよい。

　また、以上の説明では、一枚の第一ガラスフィルムＧ１から二枚の第二ガラスフィルムＧ２ａ，Ｇ２ｂを切り出す場合を例示したが、もちろん、幅方向寸法の異なる一枚の第二ガラスフィルムＧ２ａを切り出す場合に本発明を適用することも可能であり、また三枚以上の第二ガラスフィルムＧ２ａ…を切り出す場合に本発明を適用することも可能である。　

　また、以上の説明では、母材ガラスフィルムＧの幅方向両端部を第一切断部５で切断して得た第一ガラスフィルムＧ１に対して本発明を適用した場合を説明したが、母材ガラスフィルムＧの第一切断部５による切断に本発明を適用してもかまわない。この場合、第一搬送部４が、図２等に示す第二搬送部８と同様の構成をとることで、本発明を実施可能となる。また、これら第一切断部５及び第二切断部９には、レーザー切断以外の切断を可能とする構成を採用することも可能である。

　また、以上の説明では、ガラスフィルムに対する製造関連処理として長手方向に沿った向きの切断処理を行う場合を例示したが、もちろんこれ以外の処理、例えばコーティングや成膜、ラミネートの貼り合わせなど、ベルトコンベアで搬送した状態でガラスフィルムの成形から最終製品の出荷に至るまでに実施され得る限りにおいて、任意の製造関連処理を行う工程に本発明に係るベルトコンベアを適用することも可能である。

　また、以上の説明では、帯状をなす第一ガラスフィルムＧ１に本発明を適用した場合を説明したが、もちろんこれ以外の形態をなす第一ガラスフィルムＧ１に本発明を適用することも可能である。すなわち、図示は省略するが、矩形状など枚葉状の板ガラス（ガラスフィルム）に本発明を適用することも可能である。また、切断して得た第二ガラスフィルムＧ２ａ…を必ずしもロール状に巻き取らずともよい。言い換えると、ロール状に巻き取ることのない第二ガラスフィルムＧ２ａ…の製造工程に本発明を適用することも可能である。

１　　　ガラスロールの製造装置
２　　　成形部
３　　　方向変換部
４　　　第一搬送部
５　　　第一切断部
８　　　第二搬送部
９　　　第二切断部
１１　　成形体
１７ａ　レーザー照射装置
１７ｂ　冷却装置
１９　　上流側コンベア
２０　　下流側コンベア
２１　　切断ゾーン
２２ａ～２２ｇ，６０ｄ　上流側ベルトコンベア
２３ａ～２３ｇ　第一ベルト
２４，２９　プーリ
２５，３０　第一支持体
２６，３１　駆動源
２７ａ～２７ｇ　下流側ベルトコンベア
２８ａ～２８ｇ　第二ベルト
３２　　レール部
３３　　スライド部
３６，６１，７１　第二支持体
３７，６２，７２　排気空間
３８，６３，７３　連通部
３９ａ，３９ｂ，６４ａ～６４ｃ　分割空間
４０ａ，４０ｂ，６５ａ～６５ｃ，７４　ブロア
４１　制御部
４２，７５　溝部
４３，７６　穴部
４４，７７　貫通穴
４５　　レーザー照射装置
４６　　冷却装置
４７　　第一定盤
４８　　第一支持面
４９　　第一吸引部
５０　　第二定盤
５１　　第二支持面
５２　　第二吸引部
Ｇ，Ｇ１，Ｇ２ａ，Ｇ２ｂ　ガラスフィルム
ＧＲＬ１，ＧＲＬ２ａ，ＧＲＬ２ｂ　ガラスロール
Ｌ　　　レーザー光
Ｒ　　　冷媒
Ｐ１１，Ｐ１２，Ｐ２１～Ｐ２４　吸着力
Ｘ　　　搬送方向
Ｚ１１，Ｚ１２，Ｚ２１～Ｚ２４　吸着ゾーン

Claims (12)

1. 　ガラスフィルムをベルトコンベアで搬送しながら製造関連処理部により前記ガラスフィルムに製造関連処理を施すガラスフィルムの製造方法であって、
   　前記ベルトコンベアは、前記製造関連処理部よりも前記ガラスフィルムの搬送方向上流側で、前記ガラスフィルムをベルトに吸着可能に構成され、かつ
   　前記ベルトコンベアは、前記ガラスフィルムに対する吸着力を前記ガラスフィルムの搬送方向で変更可能に構成されていることを特徴とするガラスフィルムの製造方法。
2. 　前記ガラスフィルムの搬送方向で見た場合に、前記製造関連処理部に近い側で前記ガラスフィルムに対する吸着力が相対的に小さく、前記製造関連処理部から遠い側で前記ガラスフィルムに対する吸着力が相対的に大きい請求項１に記載のガラスフィルムの製造方法。
3. 　前記ガラスフィルムを吸着可能な前記ベルトの吸着面は、前記ガラスフィルムの搬送方向所定領域において、前記ガラスフィルムに対する吸着力を互いに異ならせることができる複数の吸着ゾーンに区画されている請求項１又は２に記載のガラスフィルムの製造方法。
4. 　前記吸着面は、前記ガラスフィルムの搬送方向で、二つの吸着ゾーンに区画されている請求項３に記載のガラスフィルムの製造方法。
5.   前記ガラスフィルムの搬送方向上流側に位置する前記吸着面の第一吸着ゾーンにおける前記吸着力が相対的に大きく、前記第一吸着ゾーンよりも前記ガラスフィルムの搬送方向下流側に位置する前記吸着面の第二吸着ゾーンにおける前記吸着力が相対的に小さくなるように、前記各吸着ゾーンにおける前記吸着力の大きさが制御される請求項４に記載のガラスフィルムの製造方法。
6. 　前記吸着面は、前記ガラスフィルムの搬送方向で、三つの吸着ゾーンに区画されている請求項３に記載のガラスフィルムの製造方法。
7. 　前記三つの吸着ゾーンを前記ガラスフィルムの搬送方向上流側から下流側に向けて順に第一吸着ゾーン、第二吸着ゾーン、及び第三吸着ゾーンとしたとき、前記第二吸着ゾーンにおける前記吸着力が最も大きく、前記第一及び第三吸着ゾーンにおける前記吸着力がそれぞれ前記第二吸着ゾーンにおける前記吸着力よりも小さくなるように、前記各吸着ゾーンにおける前記吸着力の大きさが制御される請求項６に記載のガラスフィルムの製造方法。
8. 　前記ベルトコンベアは、前記ベルトを支持する中空形状の支持体をさらに有し、
   　前記支持体は、その内部に排気可能な排気空間を有すると共に、前記排気空間は、前記ガラスフィルムの搬送方向で、前記吸着ゾーンに対応して分割されており、かつ
   　前記支持体と前記ベルトには、前記ベルトと前記支持体との間の空間と、前記排気空間とを連通させる連通部が設けられている請求項３～７の何れか一項に記載のガラスフィルムの製造方法。
9. 　前記排気空間を分割してなる各分割空間には、互いに独立して制御可能なブロアがそれぞれ接続されている請求項８に記載のガラスフィルムの製造方法。
10. 　前記ベルトコンベアは、相対的に前記ガラスフィルムの搬送方向上流側に位置する上流側ベルトコンベアであって、
    　前記上流側ベルトコンベアよりも前記ガラスフィルムの搬送方向下流側に下流側コンベアが配設されている請求項１～９の何れか一項に記載のガラスフィルムの製造方法。
11. 　前記製造関連処理部は、前記ガラスフィルムをその長手方向に沿って切断可能なレーザー切断部である請求項１～１０の何れか一項に記載のガラスフィルムの製造方法。
12. 　ガラスフィルムを搬送するベルトコンベアと、前記ベルトコンベアで搬送中の前記ガラスフィルムに製造関連処理を施す製造関連処理部とを備えたガラスフィルムの製造装置であって、
    　前記ベルトコンベアは、前記製造関連処理部よりも前記ガラスフィルムの搬送方向上流側で、前記ガラスフィルムをベルトに吸着可能に構成され、かつ
    　前記ベルトコンベアは、前記ガラスフィルムに対する吸着力を前記ガラスフィルムの搬送方向で変更可能に構成されていることを特徴とするガラスフィルムの製造装置。

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