WO2021131763A1 - ガラスフィルムの製造方法、及びガラスフィルムの製造装置 - Google Patents

ガラスフィルムの製造方法、及びガラスフィルムの製造装置 Download PDF

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WO2021131763A1
WO2021131763A1 PCT/JP2020/046144 JP2020046144W WO2021131763A1 WO 2021131763 A1 WO2021131763 A1 WO 2021131763A1 JP 2020046144 W JP2020046144 W JP 2020046144W WO 2021131763 A1 WO2021131763 A1 WO 2021131763A1
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glass film
width direction
glass
belt
cutting
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PCT/JP2020/046144
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直弘 猪飼
憲一 村田
Original Assignee
日本電気硝子株式会社
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    • Y02P40/50—Glass production, e.g. reusing waste heat during processing or shaping
    • Y02P40/57—Improving the yield, e-g- reduction of reject rates

Definitions

  • the present invention relates to a glass film manufacturing method and a glass film manufacturing apparatus, and particularly to a technique for cutting a strip-shaped glass film with a laser and cutting it into a predetermined width direction dimension.
  • flat glass used for flat panel displays such as liquid crystal displays and organic EL displays
  • flat glass used for organic EL lighting flat glass used for organic EL lighting
  • tempered glass used for manufacturing tempered glass which is a component of a touch panel
  • Patent Document 1 discloses a flat glass (glass film) having a thickness direction dimension of several hundred ⁇ m or less. As described in the same document, this type of flat glass is generally continuously molded by a molding apparatus using a so-called overflow down draw method.
  • the long glass film continuously formed by the overflow down draw method changes its transport direction from the vertical direction to the horizontal direction, and then is continuously downstream by the horizontal transport section (horizontal transport section) of the transport device. Will be transported to. During this transfer, both ends (thick walls) of the glass film in the width direction are cut and removed. After that, the glass film is wound into a roll by a winding roller to form a glass roll.
  • Patent Document 1 discloses a cutting method using a laser.
  • This cutting method is a so-called laser cutting method, in which the glass film is conveyed in the longitudinal direction, initial cracks are formed in the glass film by a crack forming means such as a diamond cutter, and then this portion is irradiated with a laser and heated. Then, the heated portion is cooled by the cooling means. As a result, thermal stress is generated in the glass film, and the initial cracks develop due to this thermal stress, so that the glass film is cut.
  • this type of laser cutting method is used not only for cutting thick-walled portions located at both ends in the width direction of the strip-shaped glass film, but also for the glass film after removing the thick-walled portions. It may be done.
  • the glass film from which the thick portion has been removed by the first laser cutting is wound into a roll shape, and the glass film (glass roll) in the state of being wound into a roll shape is next. After being conveyed to the process, the glass film is pulled out from the glass roll and laser-cut again to re-cut the glass film to a predetermined width direction dimension.
  • the thick part (ear part) generated during molding has already been removed, so it is possible to cut the glass film to the specified width direction with higher accuracy than the first laser cutting. It becomes.
  • the cutting of the glass film by laser irradiation is installed at a predetermined position while transporting the strip-shaped glass film in the direction along the longitudinal direction by a transport device such as a belt conveyor. It is performed by irradiating the laser vertically downward with a laser irradiating device.
  • a belt conveyor is used as the transport device, the lower surface of the glass film is contact-supported by a single belt over the entire width direction (see Patent Document 1), and glass is used for the purpose of avoiding the laser irradiation position.
  • Patent Document 2 A form in which the lower surface of the film is contact-supported by a plurality of belts arranged at predetermined intervals in the width direction (see Patent Document 2) has been proposed.
  • one glass film is cut out (cut) from one glass film to a predetermined width direction dimension.
  • (Repair) Not only the form, but also a form in which two or more glass films are cut out from one glass film to a predetermined width direction can be considered.
  • the position in the width direction of the laser cutting device laser irradiation device
  • the belt conveyor is large, the position in the width direction cannot be easily changed like the laser irradiation device.
  • one side in the width direction of the cut glass film depends on the number of cut pieces and the width direction dimension of the cut glass film.
  • this manufacturing method is a method for manufacturing a glass film obtained by cutting a strip-shaped primary glass film while transporting it in a predetermined direction with a transport device to obtain one or a plurality of secondary glass films. Cutting is performed by irradiating the primary glass film with a laser in a predetermined cutting zone using a laser cutting device, and the transport device is connected to an upstream conveyor located relatively upstream in the transport direction of the primary glass film.
  • the downstream conveyor is located relatively downstream in the transport direction of the primary glass film and is capable of transporting the secondary glass film.
  • the downstream conveyor is a plurality of conveyors capable of contact-supporting the secondary glass film with a belt.
  • the primary glass film referred to here is not only a glass film after being formed into a film and before being subjected to the first cutting process, but also after being subjected to the first cutting process and being cut for the second time. It shall include the glass film before it is processed.
  • the secondary glass film referred to here is not only a glass film that undergoes further processing after that, but also a glass film whose final processing is the cutting process according to the present invention (that is, a glass film that is substantially a final product). ) Shall be included.
  • the width direction of the primary glass film referred to here means a direction orthogonal to both the longitudinal direction and the thickness direction of the film.
  • the transport device is arranged on an upstream conveyor located relatively upstream in the transport direction of the primary glass film and a secondary glass film located on the downstream side in the transport direction.
  • the downstream conveyor is composed of a plurality of downstream conveyors capable of contact-supporting the secondary glass film with a belt, and the position of the belt of each downstream belt conveyor is determined.
  • the width of the primary glass film can be adjusted.
  • the contact support position with the belt in the width direction of the secondary glass film can be freely set without changing the configuration of the upstream conveyor for transporting the primary glass film, so that the secondary glass film to be obtained by laser cutting can be freely set.
  • Each downstream belt conveyor can be arranged at an appropriate width direction position depending on the width direction position or the width direction dimension of the glass film. Therefore, by changing the minimum necessary equipment, it is possible to avoid the situation where the belt comes into contact with the position biased to one side in the width direction of the secondary glass film, and the secondary glass film is skewed due to the bias of the contact position. It is possible to prevent defective transportation of the secondary glass film. Further, if the secondary glass film can be conveyed without being skewed, the cut surface (side end surface) of one of the secondary glass films adjacent in the width direction interferes with the cut surface (side end surface) of the other secondary glass film. Since the situation can be avoided as much as possible, it is possible to obtain a glass film having good cutting quality.
  • the laser cutting device has a plurality of laser irradiation portions and the position of each laser irradiation portion can be adjusted in the width direction of the primary glass film. Good.
  • the laser irradiation position with respect to the primary glass film can be freely set in the width direction. Therefore, for example, it is required by adjusting the width direction distance of a pair of laser irradiation portions adjacent to each other in the width direction. Even when the width direction dimension of the secondary glass film is changed, it is possible to accurately manage the width direction dimension after the change.
  • the position in the width direction of each secondary glass film is obtained.
  • the position of the belt may be adjusted according to the dimensions in the width direction.
  • the width direction of the belt of the downstream belt conveyor is determined according to the width direction position and the width direction dimension of each secondary glass film. It is better to adjust the position.
  • the belt can be arranged at a position suitable for the position and size of each of the secondary glass films to be cut out, so that all the secondary glass films to be cut out can be arranged. It is possible to avoid skewing and stably transport in the correct direction.
  • a plurality of secondary dimensions having predetermined width direction dimensions are obtained by cutting the primary glass film.
  • the position of the belt and the position of the laser irradiation portion may be adjusted according to the width direction position and the width direction dimension of each secondary glass film.
  • the position of the laser irradiation unit When the position of the laser irradiation unit can be adjusted, the position of the belt of the downstream belt conveyor and the position of the laser irradiation unit are adjusted according to the width direction position and the width direction dimension of each secondary glass film. It is better to do it.
  • the belt By setting the positions of the belt and the laser irradiation portion in the width direction in this way, the belt is placed at a position suitable for the position and size of each of the secondary glass films to be cut out, and the laser is placed at a position suitable for laser cutting.
  • the irradiation unit can be arranged. Therefore, it is possible to stably convey all of these secondary glass films in the correct direction while cutting each secondary glass film to the correct width direction dimension.
  • the position of the belt may be adjusted according to the center position in the width direction of each secondary glass film. Good.
  • the position of the belt may be adjusted according to the positions of both ends in the width direction of each secondary glass film.
  • the position of the belt can be appropriately set according to the transport mode required for the cut out secondary glass film.
  • the position of the belt is adjusted according to the positions of both ends in the width direction of the secondary glass film, thereby performing the secondary.
  • the glass film can be stably contact-supported on both sides in the width direction. Therefore, it is possible to stably convey the secondary glass film while suppressing the above-mentioned fluctuation.
  • the main purpose is to avoid contact between the cut surfaces of any pair of secondary glass films adjacent in the width direction, depending on the center position in the width direction of the secondary glass films.
  • the secondary glass film can be contact-supported on the center side in the width direction.
  • the secondary glass film is curved and deformed into a shape in which both end sides in the width direction are hung down (a shape that is convex upward) as compared with the center in the width direction. It is possible to convey each secondary glass film to the downstream side while avoiding contact.
  • At least a part of the plurality of downstream belt conveyors may be configured so that the secondary glass film can be adsorbed toward the belt.
  • the secondary glass film By configuring the secondary glass film so that it can be adsorbed toward the belt in this way, the contact support form of the secondary glass film with respect to the belt can always be maintained in a constant state. Therefore, the secondary glass film can be conveyed more stably.
  • one of the secondary glass films adjacent to each other in the width direction It is also possible to adopt a configuration in which either one of the belt supporting the side and the belt supporting the other side in the width direction of the other secondary glass film is adsorbed and the other is not adsorbed.
  • the upstream side conveyor is composed of a plurality of upstream side belt conveyors capable of contact-supporting the primary glass film with a belt, and the primary glass among the plurality of upstream side belt conveyors.
  • the upstream belt conveyor located at the center in the width direction of the film may be configured so that the primary glass film can be attracted toward the belt.
  • the glass film (primary glass film) before laser cutting still allows variations in dimensions after molding, and because of its huge size, it is often transported in a deformed state such as warpage. Therefore, when the primary glass film of the above-described form is attracted and conveyed by a plurality of belts, it is caused by the laterality of the longitudinal dimensions (the difference in the longitudinal dimensions between one end side and the other end side in the width direction). , There is a problem that wrinkles are likely to occur. From the above, from the viewpoint of suppressing the occurrence of wrinkles, as described above, the upstream belt conveyor located at the center in the width direction of the primary glass film among the plurality of upstream belt conveyors attracts the primary glass film toward the belt. It is better to configure it as possible. By transporting the primary glass film while adsorbing only the center in the width direction, it is possible to supply the primary glass film to the cutting zone by the laser while suppressing the occurrence of wrinkles.
  • the method for producing a glass film according to the present invention there is a gap in the width direction between any set of secondary glass films adjacent to each other in the width direction.
  • the gap forming portion for forming the glass film may be provided on the downstream side in the transport direction of the primary glass film with respect to the downstream side conveyor.
  • a predetermined width direction gap is provided between the secondary glass films without complicating the structure of the downstream side conveyor.
  • the secondary glass film has a continuous form from its base end (located in the cutting zone) toward the downstream side, it is a case where a gap forming portion is provided on the downstream side of the downstream side conveyor.
  • the gap forming portion has a width so as to be curved and deformed in a direction in which each secondary glass film is convex upward.
  • the number of barrel-shaped support rollers having the largest diameter in the center of the direction may be the same as that of the secondary glass film.
  • the gap forming portion has a barrel-shaped support roller having the largest diameter in the center in the width direction, so that, for example, the secondary glass film is wound on the downstream side of the support roller.
  • the portion of the secondary glass film that passes over the support roller of the gap forming portion is curved and deformed in a direction that is convex upward. Therefore, it is possible to safely transport each secondary glass film by avoiding contact between the secondary glass films with a simple structure.
  • the glass film manufacturing method according to the above description, good quality is prevented by preventing the glass film from being transported poorly due to the support and transport position of the glass film being biased to one side in the width direction due to the change in the number of cutouts. It is possible to stably obtain the glass film of. Therefore, for example, the secondary glass film obtained by the above method is cut out by winding the secondary glass film into a roll shape by a winding device located downstream of the downstream conveyor in the transport direction to obtain a glass roll. Regardless of the number and the dimensions in the width direction, it is possible to prevent deviation during winding and stably obtain a glass roll of good quality.
  • this manufacturing apparatus is a glass film manufacturing apparatus for obtaining one or a plurality of secondary glass films by cutting the strip-shaped primary glass film while transporting it in a predetermined direction, and the primary glass film is predetermined.
  • the transfer device is provided with a transfer device capable of transporting in the direction of 1 and a laser cutting device capable of irradiating a primary glass film conveyed by the transfer device with a laser to cut in a predetermined cutting zone.
  • the transfer device is relatively primary glass.
  • the downstream conveyor is composed of an upstream conveyor located on the upstream side in the film transport direction and a downstream conveyor located relatively downstream in the primary glass film transport direction and capable of transporting the secondary glass film. It is characterized by being composed of a plurality of downstream belt conveyors capable of contacting and supporting the secondary glass film with a belt, and the position of the belt of each downstream belt conveyor can be adjusted in the width direction of the primary glass film. Attached.
  • the conveyors are the upstream conveyor located relatively upstream in the transport direction of the primary glass film and the secondary glass located downstream in the transport direction.
  • the downstream conveyor is composed of a downstream conveyor capable of transporting the film
  • the downstream conveyor is composed of a plurality of downstream belt conveyors capable of contact-supporting the secondary glass film with a belt, and the position of the belt of each downstream belt conveyor is determined. , Adjustable in the width direction of the primary glass film.
  • Each downstream belt conveyor can be arranged at an appropriate width direction position depending on the width direction position or the width direction dimension of the glass film. Therefore, by changing the minimum necessary equipment, it is possible to avoid the situation where the belt comes into contact with the position biased to one side in the width direction of the secondary glass film, and the secondary glass film is skewed due to the bias of the contact position. It is possible to prevent defective transportation of the secondary glass film. Further, if the secondary glass film can be conveyed without being skewed, it is possible to avoid a situation in which the cut surface of one secondary glass film adjacent in the width direction interferes with the cut surface of the other secondary glass film as much as possible. Therefore, it is possible to obtain a glass film having good cutting quality.
  • FIG. 1st Embodiment of this invention It is a side view which shows the whole structure of the glass film manufacturing apparatus which concerns on 1st Embodiment of this invention. It is a top view of the transport device shown in FIG. It is sectional drawing of the transport device along the AA cutting line in FIG. It is a top view of the surface plate shown in FIG. It is sectional drawing of the 1st surface plate along the BB cutting line in FIG. It is sectional drawing of the 1st surface plate along the CC cutting line in FIG. It is a top view of the 2nd surface plate shown in FIG. It is sectional drawing of the 2nd surface plate along the DD cutting line in FIG. It is sectional drawing of the 2nd surface plate along the EE cutting line in FIG.
  • FIG. 1 It is a conceptual diagram for demonstrating the operation by the support roller shown in FIG. It is a top view of the transport device which concerns on 2nd Embodiment of this invention. It is a top view of the transport device which concerns on 3rd Embodiment of this invention.
  • FIGS. 1 to 10 the first embodiment of the method for producing a glass film according to the present invention will be described with reference to FIGS. 1 to 10.
  • a case where the glass film is wound into a roll to finally obtain a glass roll will be described as an example.
  • the glass film (glass roll) manufacturing apparatus 1 has a molding portion 2 for forming a strip-shaped base glass film G and a progress of the base glass film G.
  • the direction changing unit 3 that changes the direction from the lower part in the vertical direction to the horizontal direction, the first conveying part 4 that conveys the base glass film G in the horizontal direction after the direction change, and both ends in the width direction of the base glass film G are cut.
  • the first winding portion 6 to obtain the first glass roll GRL1 by winding the first cutting portion 5 to be formed and the glass film (hereinafter referred to as the first glass film) G1 from which both ends in the width direction have been removed into a roll shape.
  • the vertical direction is the vertical direction
  • the horizontal direction is the horizontal direction.
  • the glass roll manufacturing apparatus 1 includes a drawer portion 7 for pulling out the first glass film G1 from the first glass roll GRL1 and a second transport unit for laterally transporting the first glass film G1 drawn from the drawer portion 7. 8 and a second cutting portion 9 for cutting a part of the first glass film G1 and a glass film (hereinafter referred to as a second glass film) G2 cut by the second cutting portion 9 are wound in a roll shape.
  • a second winding unit 10 for obtaining the second glass rolls GRL2a and GRL2b is further provided.
  • the first glass film G1 in the present embodiment corresponds to the primary glass film according to the present invention
  • the second glass film corresponds to the secondary glass film according to the present invention. Therefore, the first glass roll GRL1 corresponds to a glass roll formed by winding the primary glass film according to the present invention in a roll shape, and the second glass roll GRL2 winds the secondary glass film according to the present invention in a roll shape. Corresponds to a glass roll.
  • the second winding unit 10 in the present embodiment corresponds to the winding device according to the present invention
  • the second cutting unit 9 is the laser cutting device according to the present invention
  • the second transport unit 8 is the transport according to the present invention. Corresponds to each device.
  • the molding portion 2 has a substantially wedge-shaped molded body 11 having an overflow groove 11a formed at the upper end thereof, and an edge that is arranged directly below the molded body 11 and sandwiches the molten glass GM overflowing from the molded body 11 from both the front and back sides. It has a roller 12 and an annealer 13 deployed directly below the edge roller 12.
  • the molding unit 2 causes the molten glass GM overflowing from the overflow groove 11a of the molded body 11 to flow down along both side surfaces and merges at the lower end portions thereof to form a film.
  • the edge roller 12 regulates the shrinkage of the molten glass GM in the width direction to adjust the width direction dimension of the base glass film G.
  • the annealing 13 is for subjecting the base glass film G to a strain-removing treatment.
  • the annealer 13 has an annealer roller 14 arranged in a plurality of stages in the vertical direction.
  • a support roller 15 for sandwiching the base glass film G from both the front and back sides is arranged below the annealer 13.
  • a tension is applied between the support roller 15 and the edge roller 12, or between the support roller 15 and any one of the annealing rollers 14 to help thin the base glass film G. ..
  • the direction changing unit 3 is provided at a position below the support roller 15.
  • a plurality of guide rollers 16 for guiding the base glass film G are arranged in a curved shape in the direction changing unit 3. These guide rollers 16 guide the base glass film G, which is conveyed in the vertical direction, in the lateral direction.
  • the first transport unit 4 is arranged in front (downstream side) of the direction changing unit 3 in the traveling direction.
  • the first transport unit 4 transports the base glass film G that has passed through the direction changing unit 3 to the downstream side along the longitudinal direction thereof by driving the drive unit having the support transport surface.
  • the first transport unit 4 can have an arbitrary configuration, and can be configured by, for example, one or a plurality of belt conveyors.
  • the drive unit having the support transport surface is a belt, and by driving the belt, the base glass film G can be transported in the above-described manner.
  • the first transport unit 4 is not limited to the above-exemplified configuration, and it is also possible to use a roller conveyor or other various transport devices.
  • the first cutting section 5 is arranged above the first transport section 4.
  • the first cutting portion 5 is configured to be capable of cutting the base glass film G by laser cutting.
  • the first cutting portion 5 has a pair of laser irradiation devices 17a and a pair of cooling devices 17b arranged on the downstream side of the laser irradiation device 17a.
  • the first cutting portion 5 irradiates a predetermined portion of the base glass film G to be conveyed with laser light L from each laser irradiation device 17a to heat the portion, and then discharges the refrigerant R from the cooling device 17b to heat the heated portion. Cooling.
  • the first winding section 6 is installed on the downstream side of the first transport section 4 and the first cutting section 5.
  • the first winding unit 6 winds the first glass film G1 in a roll shape by rotating the winding core 18.
  • the first glass roll GRL1 thus obtained is conveyed to the position of the drawer portion 7.
  • the drawer unit 7 draws out the first glass film G1 from the first glass roll GRL1 obtained by the first winding unit 6 and supplies the first glass film G1 onto the second transport unit 8.
  • the second transport unit 8 transports the first glass film G1 drawn from the first glass roll GRL1 in the drawer portion 7 along the lateral direction (hereinafter, referred to as the transport direction X).
  • the second conveyor 8 is composed of two conveyors 19 and 20, as shown in FIGS. 2 and 3.
  • the support transport surface of the second transport portion 8 is divided by the cut zone 21 (region surrounded by the alternate long and short dash line in FIG. 2) of the first glass film G1 by the second cut portion 9.
  • the second conveyor 8 has an upstream conveyor 19 located upstream of the cutting zone 21 in the transport direction of the first glass film G1 and a downstream conveyor 20 located downstream of the cutting zone 21 in the transport direction. It is divided into and.
  • the upstream conveyor 19 has a plurality of upstream belt conveyors 22.
  • Each of these plurality of upstream belt conveyors 22 is configured to be able to carry the first glass film G1 to the downstream side by contacting and supporting the first glass film G1 in the same direction with a belt (hereinafter, referred to as a first belt 23).
  • each first belt 23 is, for example, an endless belt-shaped belt, and each first belt 23 is held in a substantially horizontal posture over the entire area in contact with the first glass film G1 in the longitudinal direction thereof in the same height direction. Set to position.
  • the pass line PL of the first glass film G1 along the horizontal direction is formed on the surface 23a of each first belt 23 which is the support and transport surface of the first glass film G1.
  • the glass is, for example, an endless belt-shaped belt, and each first belt 23 is held in a substantially horizontal posture over the entire area in contact with the first glass film G1 in the longitudinal direction thereof in the same height direction.
  • each upstream belt conveyor 22 arranges the above-mentioned endless band-shaped first belt 23 and the first belt 23 at predetermined positions while applying tension to the first belt 23. It has a plurality of pulleys 24 for the purpose and a support 25 for supporting the plurality of pulleys 24. The support 25 is fixed to the floor surface.
  • a drive source 26 such as a motor is connected to a predetermined pulley 24 (drive pulley 24a) among the plurality of pulleys 24 (see FIG. 2), and the drive source 26 applies a driving force to the drive pulley 24a.
  • the plurality of upstream belt conveyors 22 having the above configuration are each installed at predetermined width direction positions.
  • a plurality of types of first glass films G1 having different width direction dimensions are conveyed on the upstream conveyor 19, contact support is provided on both ends of each of the assumed first glass films G1 in the width direction.
  • the position in the width direction of each first belt 23 is set.
  • the upstream belt conveyor 22 is arranged so that all the first glass films G1 can be contact-supported at the center position in the width direction regardless of the size of the width direction. (See FIG. 2), the upstream belt conveyor 22 is configured so that the first glass film G1 can be attracted to the surface 23a of the first belt 23 which is the support and transport surface thereof.
  • a plurality of holes 23b are formed on the surface 23a of the first belt 23, and the first glass film G1 can be adsorbed on the surface 23a by sucking air through the holes 23b.
  • the downstream side conveyor 20 has a plurality of downstream side belt conveyors 27. All of these plurality of downstream belt conveyors 27 contact-support the first glass film G1 after being cut in the same direction by a belt (hereinafter referred to as the second belt 28), that is, the second glass films G2a and G2b. It is configured to be transportable to the downstream side.
  • each second belt 28 is, for example, an endless belt, and each second belt 28 has the same height so as to hold the second glass films G2a and G2b in a substantially horizontal posture over the entire area in contact with each other in the longitudinal direction. It is set to the horizontal position.
  • the surface 28a of each of the second belts 28, which are the support and transport surfaces of the second glass films G2a and G2b are in the horizontal direction.
  • the pass line PL before and after cutting the first glass film G1 along the line, that is, the pass line PL by the second transport unit 8 is configured.
  • each downstream belt conveyor 27 arranges the endless band-shaped second belt 28 and the second belt 28 at predetermined positions while applying tension to the second belt 28. It has a plurality of pulleys 29 for the purpose and a support 30 for supporting the plurality of pulleys 29.
  • a drive source 31 such as a motor is connected to a predetermined pulley 29 (drive pulley 29a) among the plurality of pulleys 29 (see FIG. 2), and the drive source 31 applies a driving force to the drive pulley 29a.
  • the drive source 31 is provided separately and independently from the drive source 26 of the upstream belt conveyor 22. Therefore, it is possible to individually control the drive of each of the drive sources 26 and 31, and by extension, the upstream belt conveyor 22 and the downstream belt conveyor 27 without interlocking.
  • the plurality of downstream belt conveyors 27 can be installed at predetermined width direction positions, and the position of each second belt 28 can be adjusted in the width direction of the first glass film G1.
  • a rail portion 32 extending in the width direction of the first glass film G1 is arranged below each downstream belt conveyor 27.
  • a slide portion 33 that can move relative to the rail portion 32 is attached to the lower portion of the support 30 that constitutes each downstream belt conveyor 27.
  • the slide portion 33 of each support 30 slides in the width direction with respect to the rail portion 32, so that the plurality of pulleys 29 supported by each support 30 and the second belt 28 supported by these pulleys 29 Is integrally slidable in the width direction.
  • each downstream belt conveyor 27 is slidably supported in the width direction with respect to the common shaft 34. Therefore, it is possible to drive by receiving the driving force from the drive source 31 at an arbitrary width direction position while freely changing the position in the width direction with respect to the shaft 34.
  • each second belt 28 is located near both ends of the second glass films G2a and G2b, which are the first glass films G1 after cutting, in the width direction.
  • the position of the two belts 28 (each downstream belt conveyor 27) in the width direction is adjusted.
  • it is downstream. Since one side belt conveyor 27 is not required, for example, it is preferable to move the downstream side belt conveyor 27 located on the outermost side in the width direction to the evacuation space 35.
  • the two second glass films G2a and G2b are formed by the two downstream belt conveyors 27 while surely avoiding the situation where the unnecessary downstream belt conveyor 27 interferes with the second glass films G2a and G2b.
  • the widthwise ends of the cut-off first glass film G1 are supported and conveyed by each of the downstream belt conveyors 27.
  • the second belts 28 of all the downstream belt conveyors 27 are configured so that the second glass films G2a and G2b can be adsorbed on the surface 28a which is the support transport surface thereof. ing.
  • a plurality of holes 28b are formed on the surface 28a of the second belt 28, and the second glass films G2a and G2b can be adsorbed on the surface 28a by sucking air through the holes 28b.
  • the second cutting section 9 is arranged above the region of the second transport section 8 located between the upstream conveyor 19 and the downstream conveyor 20 (see FIGS. 1 and 3).
  • the second cutting portion 9 is configured to be capable of cutting the first glass film G1 by laser cutting, and has a plurality of laser irradiation devices 36 and a cooling device 37 arranged on the downstream side of each laser irradiation device 36. And have. In this case, the same number of cooling devices 37 as the laser irradiation devices 36 are arranged.
  • the laser irradiation device 36 and the cooling device 37 are provided by three each.
  • the second cutting portion 9 having the above configuration irradiates a predetermined portion of the first glass film G1 to be conveyed with laser light L from each laser irradiation device 36 to heat it, and then discharges the refrigerant R from the cooling device 37.
  • the heated part can be cooled. Details will be described later.
  • the first glass film G1 is conveyed by the second transfer unit 8 at a position separated from the cutting zone 21 of the first glass film G1 in the width direction.
  • a constant plate 38 capable of contacting and supporting the surface plate 38 is provided.
  • the surface plate 38 is arranged at a position corresponding to the center side in the width direction of the first glass film G1 (second glass films G2a, G2b) after cutting.
  • the two second glass films G2a and G2b are cut out from the one first glass film G1, they are located in the width direction with respect to the cutting zone 21 and are respectively the second glass films G2a and G2b.
  • the constant plate 38 is arranged at a position corresponding to the center in the width direction of the above.
  • the surface plate 38 can attract the first glass film G1 to the first support surface 39 and the first glass film G1 to the first support surface 39. It has a first suction unit 40.
  • the surface plate 38 is formed of, for example, metal in a substantially rectangular parallelepiped shape.
  • the first support surface 39 is composed of the surface of the seat member 41 provided on the upper side of the surface plate 38, as shown in FIG.
  • the sheet member 41 is formed of a material having a small resistance to contact with the first glass film G1, such as a resin, or a material having good slipperiness with respect to the first glass film G1.
  • the first support surface 39 is formed on the surface of the sheet member 41, but of course, the first support surface 39 may be formed on the upper surface of the surface plate 38.
  • the height direction position of the first support surface 39 may be the same as the pass line PL of the first glass film G1, but as shown in FIGS. 5 and 6, for example, it is slightly larger than the pass line PL. It may be set high (for example, within a range of 3 mm). As a result, the first glass film G1 and the first support surface 39 can be brought into close contact with each other more reliably.
  • the first suction unit 40 includes a first intake port 42 that opens to the first support surface 39, a communication space 43 that communicates with the first intake port 42, a pump that exhausts air inside the communication space 43, and the like. It has an exhaust portion 44 of the above, and a connecting pipe 45 (both of which see FIG. 3) connecting the communication space 43 and the exhaust portion 44.
  • the first intake port 42 has a groove shape. Further, the groove-shaped first intake port 42 is formed on the first support surface 39 so as to extend along the longitudinal direction of the first glass film G1, that is, the transport direction (see FIG. 4). The first intake port 42 is formed so as to penetrate the seat member 41 and open on the upper surface of the surface plate 38. Further, in the present embodiment, both ends of the first intake port 42 in the longitudinal direction are open to the side surface of the surface plate 38. Therefore, the openings 42a and 42a at both ends of the first intake port 42 are always open to the external space (outside air).
  • a plurality of through holes 42b are formed on the bottom surface of the first intake port 42, and are connected to the communication space 43 formed in the support member 46 that supports the surface plate 38.
  • the through hole 42b is formed in the surface plate 38
  • the communication space 43 is formed in the support member 46.
  • the connecting pipe 45 is attached to the support member 46.
  • the exhaust unit 44 is common, for example, and may be connected to one exhaust unit 44 by the same number of connection pipes 45 as the surface plate 38.
  • the communication space 43 is common, and a plurality of surface plates 38 may be supported by one support member 46.
  • one connecting pipe 45 is attached to one support member 46.
  • the first intake port 42 that opens to the first support surface 39 and the both end openings 42a and 42a located at both ends in the longitudinal direction thereof are driven by the exhaust unit 44. Inhale. Therefore, when the first glass film G1 is conveyed on the first support surface 39 of the surface plate 38, the lower surface of the first glass film G1 is attracted to the first support surface 39 by the above intake operation. ..
  • a second surface plate 47 capable of contact-supporting the first glass film G1 is arranged in the cutting zone 21 of the first glass film G1 described above.
  • three second surface plates 47 are arranged for each of the three cutting zones 21. There is. Although not shown, these second surface plates 47 are installed and fixed on the floor surface and are always in a stationary state.
  • the second surface plate 47 can suck the first glass film G1 toward the second support surface 48 and the second support surface 48 capable of contact-supporting the first glass film G1. It has a second suction unit 49.
  • the second surface plate 47 is formed of, for example, metal in a substantially rectangular parallelepiped shape.
  • the second support surface 48 is composed of the surface of the sheet member 50 provided on the upper side of the second surface plate 47, as shown in FIG.
  • the sheet member 50 is formed of a material having a small resistance to contact with the first glass film G1, such as a resin, or a material having good slipperiness with respect to the first glass film G1.
  • the second support surface 48 is formed on the surface of the sheet member 50, but of course, the second support surface 48 may be formed on the upper surface of the second surface plate 47.
  • the position of the second support surface 48 in the height direction may be the same as the pass line PL of the first glass film G1, but as shown in FIGS. 8 and 9, for example, it is slightly smaller than the pass line PL. It may be set high (for example, within a range of 3 mm). As a result, the first glass film G1 and the second support surface 48 can be brought into close contact with each other more reliably.
  • the second suction portion 49 is a pair of a second intake port 51 that opens to the second support surface 48 and a pair that are located on both sides of the second intake port 51 in the width direction, as shown in FIGS. 8 and 9.
  • It has a connection pipe 55 that connects the exhaust unit 54 and the exhaust unit 54.
  • the second intake port 51 and the third intake port 52 are both formed on the second support surface 48 so as to form an elongated hole extending along the transport direction X of the first glass film G1.
  • the width direction dimension and the longitudinal direction dimension of the second intake port 51 are set to appropriate sizes in consideration of the width direction dimension and the longitudinal direction dimension of the third intake port 52.
  • the second intake port 51 and the pair of third intake ports 52, 52 having the above configuration are formed on the seat member 50 and the second surface plate 47.
  • the second intake port 51 and the third intake ports 52, 52 are formed so as to penetrate the seat member 50 and the second surface plate 47 in the vertical direction, respectively, and are support members that support the second surface plate 47 from below. It is connected to the communication space 53 formed in 56.
  • the communication space 53 is formed in the support member 56, and the connecting pipe 55 is attached to the lower side of the support member 56.
  • the exhaust unit 54 is common, for example, and may be connected to one exhaust unit 54 by the same number of connection pipes 55 as the second surface plate 47. Alternatively, a plurality of second surface plates 47 may be supported by one support member 56 in common with the communication space 53.
  • one connecting pipe 55 is attached to one support member 56.
  • a slit portion 57 is formed between the support member 56 and the second surface plate 47 so as to open in the width direction of the support member 56 so that external air can be sucked.
  • the intake from the second intake port 51, the third intake ports 52, 52, and the slit portion 57 that open to the second support surface 48 is taken by the drive of the exhaust portion 54. Do. Therefore, when the first glass film G1 is conveyed on the second support surface 48 of the second surface plate 47, the lower surface of the first glass film G1 is attracted to the second support surface 48 by the above intake operation. ..
  • the suction force can be controlled individually.
  • the suction force of the first glass film G1 by the first suction section 40 is smaller than the suction force of the first glass film G1 by the second suction section 49, in other words. It is also possible to individually adjust the displacement by each of the exhaust units 44 and 54. Of course, it is also possible to simplify the structure by sharing the exhaust section between the first suction section 40 and the second suction section 49 (not shown).
  • the laser irradiation device 36 locally heats a predetermined portion of the first glass film G1 that moves along the transport direction X by irradiating the predetermined portion with the laser beam L.
  • the laser irradiation device 36 has a plurality of laser irradiation units 36a.
  • Each laser irradiation unit 36a is arranged above the second intake port 51 of the second surface plate 47.
  • the laser irradiation unit 36a irradiates the laser beam L to a plurality of locations of the first glass film G1 passing through the second intake port 51 opened in the second support surface 48.
  • the irradiation position O of the laser beam L from each laser irradiation unit 36a is set so as to be located on a straight line substantially parallel to the transport direction X of the first glass film G1.
  • the cooling device 37 is arranged on the downstream side of the laser irradiation device 36 in the transport direction X of the first glass film G1.
  • the cooling device 37 supplies the refrigerant R to the portion of the first glass film G1 that has been locally heated by the irradiation of the laser beam L described above to cool the portion.
  • a gap forming portion 58 for forming a gap in the width direction is provided between a pair of second glass films G2a and G2b adjacent to each other in the width direction on the downstream side of the second transport portion 8.
  • the gap forming portion 58 has a barrel-shaped support roller 59a having the largest diameter in the center in the width direction so that the second glass films G2a and G2b are curved and deformed in a direction in which they are convex upward. It has 59b.
  • the two support rollers 59a and 59b are arranged.
  • a nozzle for blowing a gas such as air from above toward both ends in the width direction of the second glass films G2a and G2b supported by the support rollers 59a and 59b. 60a and 60b are arranged.
  • the second winding unit 10 is arranged on the downstream side of the second transport unit 8. Specifically, the second winding unit 10 obtains the second glass rolls GRL2a and GRL2b by winding the second glass films G2a and G2b conveyed by the second conveying unit 8 by the winding cores 61a and 61b. In the present embodiment, two second glass films G2a and G2b are cut out, and by winding these two second glass films G2a and G2b, respectively, two second glass rolls GRL2a and GRL2b can be obtained. Be done.
  • silicate glass and silica glass are used, preferably borosilicate glass and soda lime glass.
  • Almino silicate glass and chemically strengthened glass are used, and most preferably non-alkali glass is used.
  • the non-alkali glass is a glass that does not substantially contain an alkaline component (alkali metal oxide), and specifically, a glass having a weight ratio of an alkaline component of 3000 ppm or less. is there.
  • the weight ratio of the alkaline component in the present invention is preferably 1000 ppm or less, more preferably 500 ppm or less, and most preferably 300 ppm or less.
  • the thickness of the second glass films G2a and G2b is 10 ⁇ m or more and 300 ⁇ m or less, preferably 30 ⁇ m or more and 200 ⁇ m or less, and most preferably 30 ⁇ m or more and 100 ⁇ m or less.
  • This method includes a molding step S1, a both end removing step S2, a first winding step S3, a drawing step S4, a cutting step S5, and a second winding step S6.
  • the molten glass GM overflowing from the overflow groove 11a of the molded body 11 in the molded body 2 is allowed to flow down along both side surfaces of the molded body 11 and merged at the lower ends thereof. Mold into a film.
  • the shrinkage of the molten glass GM in the width direction is regulated by the edge roller 12 to obtain the base glass film G having a predetermined width.
  • the base glass film G is subjected to a strain removing treatment by the annealing 13 (slow cooling step).
  • the base glass film G is formed to a predetermined thickness by the tension of the support roller 15.
  • the base material glass film G is sent downstream by the direction changing unit 3 and the first transport unit 4, and the laser irradiation device 17a is sent from the laser irradiation device 17a in the first cutting unit 5.
  • a part of the base glass film G is irradiated with the laser beam L to heat it.
  • the refrigerant R is sprayed on the heated portion by the cooling device 17b.
  • thermal stress is generated in the base glass film G.
  • Initial cracks are formed in advance in the base glass film G, and these cracks are propagated by thermal stress.
  • both ends of the base glass film G in the width direction are removed, and the first glass film G1 is formed.
  • the first glass film G1 is wound around the winding core 18 to obtain the first glass roll GRL1. After that, the first glass roll GRL1 is transferred to the drawer portion 7.
  • the drawing step S4 the first glass film G1 is pulled out from the first glass roll GRL1 transferred to the drawing section 7, and is conveyed by the second conveying section 8 to the cutting zone 21 on the second conveying section 8 (FIGS. 2 and S4). See FIG. 3).
  • the portion of the first glass film G1 that passes through the cutting zone 21 on the second transport portion 8 is irradiated with the laser beam L by the laser irradiation device 36, and the refrigerant R is sprayed on the irradiated region. Therefore, the first glass film G1 is cut in the direction X along the transport direction X. Further, at this time, the first glass film G1 is conveyed by the upstream conveyor 19 in the direction along the conveying direction X, and is arranged at a position separated from the cutting zone 21 in the width direction. Passes over the first support surface 39 of the (see FIG. 2).
  • the first glass on the first support surface 39 is passed through the first intake port 42 opened to the first support surface 39.
  • a downward suction force acts on the film G1, and the first glass film G1 is sucked toward the first support surface 39.
  • the first glass film G1 is transported along the transport direction X while being contact-supported in a state of receiving a force (binding force) toward the first support surface 39.
  • the suctioned portion of the first glass film G1 is deformed (for example, as shown in FIG. 5, it is curved and deformed in a downwardly convex direction).
  • the second surface plate 47 since the second surface plate 47 is arranged in the cutting zone 21, the second surface plate 47 passes at the same time as the first glass film G1 passes over the cutting zone 21 as described above. Passes over the second support surface 48 of the (see FIG. 2).
  • the exhaust portion 54 of the second suction portion 49 by operating the exhaust portion 54 of the second suction portion 49, the first on the second support surface 48 is passed through the second intake port 51 opened in the second support surface 48 and the pair of third intake ports 52, 52.
  • a downward suction force acts on the glass film G1, and the first glass film G1 is sucked toward the second support surface 48.
  • the first glass film G1 is conveyed along the conveying direction X while being contact-supported by the second supporting surface 48.
  • the suctioned portion of the first glass film G1 is deformed (for example, as shown in FIG. 8, the portions directly above the intake ports 51 and 52 are convex downward, respectively. It bends and deforms in the direction of
  • the suction force by the first suction unit 40 can be appropriately adjusted by adjusting, for example, the output of the exhaust unit 44 and the shape and size of each opening (first intake port 42, both end openings 42a, 42a). It is controlled by size.
  • the suction force by the second suction unit 49 is obtained by, for example, adjusting the output of the exhaust unit 54 and the shape and size of each opening (second intake port 51, third intake port 52, and slit portion 57). It is controlled to an appropriate size.
  • the second transport unit 8 (upstream) while sucking the first glass film G1 onto the first support surface 39 of the constant plate 38 and the second support surface 48 of the second plate 47 as described above.
  • the first glass film G1 is conveyed in a predetermined transfer direction X by the side conveyor 19), and a plurality of laser beams L are irradiated to the first glass film G1 from the laser irradiation unit 36a of the laser irradiation device 36 (laser irradiation step). ..
  • the laser beam L is applied to a portion of the first glass film G1 that passes over the second intake port 51 of the second surface plate 47.
  • the first glass film G1 is heated at the irradiation position O (see FIG. 7). After that, when the heated portion of the first glass film G1 reaches directly below the cooling device 37 located on the downstream side of the second intake port 51, it is exposed to the refrigerant R injected downward from the cooling device 37. Is cooled. Thermal stress is generated in the first glass film G1 due to the expansion of the laser irradiation device 36 due to local heating and the contraction of the cooling device 37 due to cooling.
  • Initial cracks are formed in advance in the first glass film G1 by means (not shown), and by advancing the initial cracks by utilizing the above-mentioned thermal stress, the first glass film G1 is continuously formed at a predetermined position in the width direction. Is cut (cut).
  • both ends in the width direction of the first glass film G1 are cut off, and two second glass films each having a predetermined width direction dimension are cut off. G2a and G2b are cut out (see FIG. 2).
  • These second glass films G2a and G2b are formed by a downstream conveyor 20 located on the downstream side of the transport direction X with respect to the cutting zone 21, and a second winding portion 10 located on the downstream side of the transport direction X with respect to the downstream conveyor 20. Is transported toward.
  • the second glass films G2a and G2b are wound by the winding cores 61a and 61b arranged at predetermined positions, respectively.
  • the second glass rolls GRL2a and GRL2b can be obtained.
  • the support rollers 59a and 59b as the gap forming portion 58 are arranged between the downstream side conveyor 20 and the second take-up portion 10, the support rollers 59a and 59b pass over the support rollers 59a and 59b.
  • the second glass film G2 is conveyed to the downstream side while being deformed according to the outer peripheral surface shapes of the support rollers 59a and 59b (here, curved deformation in the direction of being convex upward).
  • a predetermined width direction gap is formed between the second glass films G2a and G2b immediately after cutting (see FIG. 10), so that interference between the cut surfaces is avoided and the second winding portion 10 is provided with each. Can be transported.
  • the second transport unit 8 as the transport device is relatively connected to the transport direction X of the first glass film G1.
  • the upstream conveyor 19 is located on the upstream side of the above, and the downstream conveyor 20 is located on the downstream side of the transport direction X and is capable of transporting the second glass films G2a and G2b.
  • the second glass films G2a and G2b are configured by the two belts 28 to be contact-supported by a plurality of downstream side belt conveyors 27, and the position of the second belt 28 of each downstream side belt conveyor 27 is set in the width direction of the first glass film G1. Adjustable to.
  • the contact support position of the second glass films G2a and G2b with the second belt 28 in the width direction can be freely set without changing the configuration of the upstream conveyor 19 for transporting the first glass film G1.
  • Each downstream belt conveyor 27 can be arranged at an appropriate width direction position according to the width direction position or the width direction dimension of the second glass films G2a and G2b to be acquired by laser cutting. Therefore, with the minimum necessary equipment change, it is possible to avoid the situation where the second belt 28 comes into contact with the position biased to one side in the width direction of the second glass films G2a and G2b, and the second caused by the bias of the contact position.
  • the second glass films G2a and G2b It is possible to prevent transport defects of the second glass films G2a and G2b such as skewing of the glass films G2a and G2b. Further, if the second glass films G2a and G2b can be conveyed without being skewed, the cut surface (side end surface) of one second glass film G2a adjacent in the width direction becomes the cut surface (side) of the other second glass film G2b. Since it is possible to avoid the situation of interfering with the end face) as much as possible, it is possible to obtain the second glass films G2a and G2b having good cutting quality.
  • the width directions of the second glass films G2a and G2b are obtained.
  • the position of the second belt 28 is adjusted according to the position and the dimension in the width direction.
  • the second belt 28 can be arranged at a position suitable for the position and size of the second glass films G2a and G2b to be cut out, so that all the second glass films G2a and G2b to be cut out are skewed. It is possible to avoid it and stably transport it in the correct direction.
  • the position of the second belt 28 can be adjusted according to the positions of both ends of the second glass films G2a and G2b in the width direction. Can be stably contact-supported. Therefore, it is possible to stably convey the second glass films G2a and G2b by suppressing fluctuations such as fluttering during transportation of the second glass films G2a and G2b.
  • a gap forming portion 58 (here, support rollers 59a, 59b) for forming a gap in the width direction between arbitrary sets of second glass films G2a, G2b adjacent to each other in the width direction is provided. It is provided on the downstream side of the first glass film G1 in the transport direction with respect to the downstream side conveyor 20. As a result, the portions of the second glass films G2a and G2b that pass over the support rollers 59a and 59b of the gap forming portion 58 are curved and deformed in a direction that is convex upward.
  • the manufacturing method and the manufacturing apparatus can naturally take any form within the scope of the present invention.
  • FIG. 11 shows a second embodiment of the method for producing a glass film according to the present invention. That is, in the above-described first embodiment, the configuration in which the present invention is applied when cutting out two second glass films G2a and G2b from one first glass film G1 is illustrated, but in the present embodiment, the configuration is illustrated. The configuration in which the present invention is applied when cutting out three second glass films G2a, G2b, and G2c from one first glass film G1 is illustrated. That is, in the present embodiment, in the manufacturing apparatus 1 shown in FIG. 11, the width direction position of the downstream belt conveyor 27 is adjusted according to the width direction position and the width direction dimension of the second glass films G2a to G2c to be cut out. There is. That is, as shown in FIG.
  • a plurality of downstream belt conveyors 27 are configured to be slidable in the width direction along the rail portion 32, and for example, depending on the positions of both ends of the second glass films G2a to G2c in the width direction. Therefore, the positions of the second belts 28 of the plurality of downstream belt conveyors 27 are adjusted in the width direction.
  • the number and the width direction position of the first surface plate 38 and the second surface plate 47 are adjusted according to the width direction position and the width direction dimension of the second glass films G2a to G2c. Further, the number and the width direction position of the laser irradiation device 36 and the cooling device 37 are adjusted according to the width direction position and the width direction dimension of the second glass films G2a to G2c. That is, although not shown, the laser irradiation device 36 and the cooling device 37 are arranged on each of the second surface plates 47 after the position adjustment.
  • the width direction position and the width direction dimension of the second glass films G2a to G2c are set.
  • the support rollers 59a to 59c having appropriate width direction dimensions are arranged at appropriate width direction positions, respectively.
  • the second glass film G2a is made uniform in the width direction. It can be supported and transported at the position. Therefore, even when the number of the second glass films G2a to G2c to be cut out and the dimensions in the width direction are changed, the situation where the second belt 28 comes into contact with the position biased to one side in the width direction is avoided and the said. It is possible to prevent poor transportation of the second glass films G2a to G2c such as skewing of the second glass films G2a to G2c due to the bias of the contact position.
  • FIG. 12 shows an example (the third embodiment of the present invention).
  • a plurality of downstream belt conveyors 27 are configured to be slidable in the width direction along the rail portion 32, and at least a part of the second glass films G2a to G2c.
  • the position of the second belt 28 of the corresponding two pairs of downstream belt conveyors 27 is adjusted in the width direction according to the center position in the width direction of the second glass films G2a and G2c.
  • the corresponding second glass films G2a and G2c can be contact-supported at the center position in the width direction.
  • the second glass films G2a and G2c are curved and deformed into a shape in which both ends in the width direction are hung down (a shape that is convex upward) as compared with the center in the width direction, the second glass films G2a (G2c) immediately after cutting ), It is possible to convey the second glass films G2a to G2c to the downstream side while avoiding contact between the cut surfaces of G2b.
  • the case where the second surface plate 47 is arranged in the cutting zone 21 of the first glass film G1 and the first surface plate 38 is arranged at a position separated from the cutting zone 21 in the width direction is not limited to this, of course. If it does not have a great influence on laser cutting, a third conveyor (not shown) is arranged so that the support transport surface passes through the cutting zone 21, and the surface plate 38 and the first surface plate 38 are arranged. At least one of the two surface plates 47 may be omitted.
  • the support transport surface of the transport device does not necessarily have to be divided at a position corresponding to the cutting zone 21 in the transport direction X.
  • the support transport surface of the second transport portion 8 may be divided at a position shifted to the downstream side in the transport direction X from the cutting zone 21.
  • the upstream side conveyor 19 and the downstream side conveyor 20 in which the second transport unit 8 as the transport device is divided in the cutting zone 21 are both configured by the belt conveyor is illustrated, but of course, other than this. It is also possible to take the form of.
  • the upstream conveyor 19 can be composed of a roller conveyor and other various conveyors.
  • the present invention is applied to the first glass film G1 obtained by cutting both ends of the base glass film G in the width direction with the first cutting portion 5 has been described.
  • the present invention may be applied to the cutting of the glass film G by the first cutting portion 5.
  • the present invention can be implemented by having the first transport unit 4 have the same configuration as the second transport unit 8 shown in FIG. 2 and the like.
  • the present invention can also be applied to the first glass film G1 having another form. .. That is, although not shown, the present invention can be applied to a single-wafer-shaped flat glass (glass film) such as a rectangular shape. Further, the second glass film G2a ... obtained by cutting does not necessarily have to be wound into a roll. In other words, it is also possible to apply the present invention to the manufacturing process of the second glass film G2a ... Which is not wound into a roll.
  • Second conveyor unit 9 Second cutting unit 10

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Abstract

帯状の一次ガラスフィルムＧ１を搬送装置８で所定の方向に搬送しながら切断することで一又は複数の二次ガラスフィルムＧ２ａ，Ｇ２ｂを得るに際し、一次ガラスフィルムＧ１の切断は、レーザー切断装置９を用いて所定の切断ゾーン２１で一次ガラスフィルムＧ１にレーザーを照射することにより行われる。搬送装置８は、上流側コンベア１９と下流側コンベア２０とで構成され、下流側コンベア２０は、ベルト２８で二次ガラスフィルムＧ２ａ，Ｇ２ｂを接触支持可能な複数の下流側ベルトコンベア２７で構成される。各下流側ベルトコンベア２７のベルト２８の位置が、一次ガラスフィルムＧ１の幅方向に調整可能に構成される。

Description

ガラスフィルムの製造方法、及びガラスフィルムの製造装置
　本発明は、ガラスフィルムの製造方法、及びガラスフィルムの製造装置に関し、特に帯状のガラスフィルムをレーザーで切断して所定の幅方向寸法に切り出すための技術に関する。
　周知のように、液晶ディスプレイ、有機ＥＬディスプレイ等のフラットパネルディスプレイ（ＦＰＤ）に用いられる板ガラス、有機ＥＬ照明に用いられる板ガラス、タッチパネルの構成要素である強化ガラス等の製造に用いられる板ガラス、更には太陽電池のパネル等に用いられる板ガラスにおいては、薄肉化が推進されているのが実情である。
　例えば特許文献１には、厚み方向寸法が数百μｍ以下の板ガラス（ガラスフィルム）が開示されている。この種の板ガラスは、同文献にも記載されるように、いわゆるオーバーフローダウンドロー法を利用した成形装置によって連続的に成形されるのが一般的である。
　この場合、オーバーフローダウンドロー法により連続的に成形された長尺のガラスフィルムは、その搬送方向を鉛直方向から水平方向に変換した後、搬送装置の横搬送部（水平搬送部）によって引き続き下流側に搬送される。この搬送途中で、ガラスフィルムの幅方向両端部（厚肉部）が切断除去される。その後、ガラスフィルムは、巻取りローラによってロール状に巻き取られることで、ガラスロールとされる。
　ガラスフィルムを切断する技術として、特許文献１では、レーザーを利用した切断方法が開示されている。この切断方法はいわゆるレーザー割断と呼ばれる方法で、ガラスフィルムをその長手方向に搬送しつつ、ダイヤモンドカッタ等のクラック形成手段によりガラスフィルムに初期クラックを形成した後、この部分にレーザーを照射して加熱し、その後、加熱された部分を冷却手段により冷却するものである。これにより、ガラスフィルムに熱応力が生じ、この熱応力によって初期クラックが進展することで、当該ガラスフィルムが切断される。
　また、この種のレーザーによる切断方法は、帯状のガラスフィルムの幅方向両端に位置する厚肉部を切断する場合に用いられるだけでなく、上記厚肉部を除去した後のガラスフィルムに対して行われる場合もある。この場合、例えば特許文献２に記載のように、一度目のレーザー切断により厚肉部を除去したガラスフィルムをロール状に巻き取り、ロール状に巻き取った状態のガラスフィルム（ガラスロール）を次工程に搬送した後、当該ガラスロールからガラスフィルムを引出して再びレーザー切断を施すことにより、所定の幅方向寸法にガラスフィルムが切断し直される。二度目のレーザー切断では、成形時に生じた厚肉部（耳部）が既に除去されているため、一度目のレーザー切断に比べて精度よく所定の幅方向寸法にガラスフィルムを切断することが可能となる。
　上述のようにガラスフィルムを切断する場合、レーザーの照射によるガラスフィルムの切断は、ベルトコンベア等の搬送装置によって帯状のガラスフィルムをその長手方向に沿った向きに搬送しながら所定の位置に設置されたレーザー照射装置により鉛直下方に向けてレーザーを照射することにより行われる。ここで、搬送装置にベルトコンベアを用いる場合、ガラスフィルムの下面をその幅方向全域にわたって一本のベルトで接触支持する形態（特許文献１を参照）や、レーザーの照射位置を避ける目的で、ガラスフィルムの下面をその幅方向に所定の間隔を空けて配設した複数本のベルトで接触支持する形態（特許文献２を参照）などが提案されている。
特開２０１２－２４０８８３号公報 国際公開２０１９／０４９６４６号公報
　ところで、厚肉部を除去した後のガラスフィルムに対して再度の切断を施す形態としては、上述のように一枚のガラスフィルムから一枚のガラスフィルムを所定の幅方向寸法に切り出す（切断し直す）形態だけなく、一枚のガラスフィルムから二枚以上のガラスフィルムをそれぞれ所定の幅方向寸法に切り出す形態が考えられる。この場合、例えばガラスフィルムの切断位置に応じてレーザー切断装置（レーザー照射装置）の幅方向位置を調整することで、一つの製造ラインでガラスフィルムの切り出し枚数の変更に対応することができる。ところが、ベルトコンベアに関しては、大型であるため、レーザー照射装置のように容易に幅方向の位置を変更することができない。そのため、上述のように複数のベルトコンベアがガラスフィルムの幅方向に並んで配設される場合、切り出し枚数や切り出し後のガラスフィルムの幅方向寸法によっては、切断後のガラスフィルムの幅方向一方側に偏った位置でベルトが接触して、切断後のガラスフィルムが斜行する事態を招くおそれが生じる。これでは、ガラスフィルムの切断位置に影響が及ぶため安定した切断品質のガラスフィルムを得ることが難しい。
　以上の事情に鑑み、本発明は、切断条件の変更に伴うガラスフィルムの搬送不良を回避して、良好な品質のガラスフィルムを安定的に得ることを、解決すべき技術課題とする。
　前記課題の解決は、本発明に係るガラスフィルムの製造方法により達成される。すなわち、この製造方法は、帯状の一次ガラスフィルムを搬送装置で所定の方向に搬送しながら切断することで一又は複数の二次ガラスフィルムを得るガラスフィルムの製造方法であって、一次ガラスフィルムの切断は、レーザー切断装置を用いて所定の切断ゾーンで一次ガラスフィルムにレーザーを照射することにより行われると共に、搬送装置は、相対的に一次ガラスフィルムの搬送方向上流側に位置する上流側コンベアと、相対的に一次ガラスフィルムの搬送方向下流側に位置して二次ガラスフィルムを搬送可能な下流側コンベアとで構成され、下流側コンベアは、ベルトで二次ガラスフィルムを接触支持可能な複数の下流側ベルトコンベアで構成され、かつ各下流側ベルトコンベアのベルトの位置が、一次ガラスフィルムの幅方向に調整可能に構成されている点をもって特徴付けられる。なお、ここでいう一次ガラスフィルムには、フィルム状に成形された後でかつ一度目の切断加工を受ける前のガラスフィルムだけでなく、一度目の切断加工を受けた後でかつ二度目の切断加工を受ける前のガラスフィルムが含まれるものとする。また、ここでいう二次ガラスフィルムには、この後に更なる加工を受けるガラスフィルムだけでなく、本発明に係る切断加工が最終の加工となるガラスフィルム（すなわち実質的に最終製品となるガラスフィルム）が含まれるものとする。また、ここでいう一次ガラスフィルムの幅方向とは、当該フィルムの長手方向及び厚み方向の何れに対しても直交する向きを意味する。
　このように、本発明に係るガラスフィルムの製造方法では、搬送装置を、相対的に一次ガラスフィルムの搬送方向上流側に位置する上流側コンベアと、搬送方向下流側に位置して二次ガラスフィルムを搬送可能な下流側コンベアとで構成すると共に、下流側コンベアを、ベルトで二次ガラスフィルムを接触支持可能な複数の下流側ベルトコンベアで構成し、各下流側ベルトコンベアのベルトの位置を、一次ガラスフィルムの幅方向に調整可能とした。これにより、一次ガラスフィルムを搬送するための上流側コンベアの構成を変えることなく、二次ガラスフィルムの幅方向におけるベルトとの接触支持位置を自由に設定できるので、レーザー切断により取得すべき二次ガラスフィルムの幅方向位置又は幅方向寸法に応じて、各下流側ベルトコンベアを適切な幅方向位置に配設することができる。従って、必要最小限の設備変更で、二次ガラスフィルムの幅方向一方側に偏った位置にベルトが接触する事態を回避して、当該接触位置の偏りに起因した二次ガラスフィルムの斜行など二次ガラスフィルムの搬送不良を防止することが可能となる。また、斜行させずに二次ガラスフィルムを搬送できれば、幅方向で隣り合う一方の二次ガラスフィルムの切断面（側端面）が他方の二次ガラスフィルムの切断面（側端面）に干渉する事態を可及的に回避することができるので、良好な切断品質のガラスフィルムを得ることが可能となる。
　また、本発明に係るガラスフィルムの製造方法においては、レーザー切断装置は、複数のレーザー照射部を有し、各レーザー照射部の位置が、一次ガラスフィルムの幅方向に調整可能に構成されてもよい。
　このように構成することで、一次ガラスフィルムに対するレーザーの照射位置を幅方向で自由に設定できるので、例えば幅方向で隣接する一対のレーザー照射部の幅方向距離を調整することで、要求される二次ガラスフィルムの幅方向寸法が変更された場合においても、当該変更後の幅方向寸法を精度よく管理することが可能となる。
　また、本発明に係るガラスフィルムの製造方法においては、一次ガラスフィルムの切断により、それぞれ所定の幅方向寸法を有する複数の二次ガラスフィルムを取得する場合に、各二次ガラスフィルムの幅方向位置及び幅方向寸法に応じて、ベルトの位置を調整してもよい。
　このように、それぞれ所定の幅方向寸法を有する複数の二次ガラスフィルムを切り出す場合には、各二次ガラスフィルムの幅方向位置及び幅方向寸法に応じて、下流側ベルトコンベアのベルトの幅方向位置を調整するのがよい。このように、ベルトの幅方向位置を設定することで、切り出される二次ガラスフィルムそれぞれの位置、大きさに適した位置にベルトを配置することができるので、切り出される全ての二次ガラスフィルムの斜行を避けて正確な向きに安定的に搬送することが可能となる。
　あるいは、上述のようにレーザー照射部の位置を調整可能に構成する場合、本発明に係るガラスフィルムの製造方法においては、一次ガラスフィルムの切断により、それぞれ所定の幅方向寸法を有する複数の二次ガラスフィルムを取得する場合に、各二次ガラスフィルムの幅方向位置及び幅方向寸法に応じて、ベルトの位置及びレーザー照射部の位置をそれぞれ調整してもよい。
　また、レーザー照射部の位置を調整可能とする場合には、各二次ガラスフィルムの幅方向位置及び幅方向寸法に応じて、下流側ベルトコンベアのベルトの位置及びレーザー照射部の位置をそれぞれ調整するのがよい。このように、ベルト並びにレーザー照射部の幅方向位置を設定することで、切り出される二次ガラスフィルムそれぞれの位置、大きさに適した位置にベルトを配置すると共に、レーザー切断に適した位置にレーザー照射部を配置することができる。よって、正確な幅方向寸法にそれぞれの二次ガラスフィルムを切断しつつ、これら全ての二次ガラスフィルムを正確な向きに安定的に搬送することが可能となる。
　また、上述のように複数の二次ガラスフィルムを得る場合、本発明に係るガラスフィルムの製造方法においては、各二次ガラスフィルムの幅方向中央位置に応じて、ベルトの位置を調整してもよい。あるいは、各二次ガラスフィルムの幅方向両端位置に応じて、ベルトの位置を調整してもよい。
　上述のように、本発明に係るガラスフィルムの製造方法によれば、切出された二次ガラスフィルムに要求される搬送態様に応じて、ベルトの位置を適宜設定することができる。例えば、二次ガラスフィルムの搬送時のばたつき等の変動を抑制する狙いを主とする場合には、二次ガラスフィルムの幅方向両端位置に応じて、ベルトの位置を調整することで、二次ガラスフィルムをその幅方向両側で安定的に接触支持することができる。よって、上述した変動を抑えて安定的に二次ガラスフィルムを搬送することが可能となる。あるいは、後述するように、幅方向で隣接する任意の一対の二次ガラスフィルムの切断面同士の接触を回避する狙いを主とする場合には、二次ガラスフィルムの幅方向中央位置に応じて、ベルトを調整することで、二次ガラスフィルムをその幅方向中央側で接触支持することができる。この場合、二次ガラスフィルムが幅方向中央に比べて幅方向両端側を垂下させた形状（上方に凸となる形状）に湾曲変形することで、切断直後の二次ガラスフィルムの切断面同士の接触を回避しつつ下流側に各二次ガラスフィルムを搬送することが可能となる。
　また、本発明に係るガラスフィルムの製造方法においては、複数の下流側ベルトコンベアの少なくとも一部が、二次ガラスフィルムをベルトに向けて吸着可能に構成されてもよい。
　このように二次ガラスフィルムをベルトに向けて吸着可能に構成することによって、二次ガラスフィルムのベルトに対する接触支持形態を常に一定の状態に保つことができる。よって、さらに安定的に二次ガラスフィルムを搬送することが可能となる。ただし、後述するように、切断直後の二次ガラスフィルムの切断面同士の接触を回避することを考慮した場合には、例えば後述するが、相互に近接する一方の二次ガラスフィルムの幅方向一方側を支持するベルトと、他方の二次ガラスフィルムの幅方向他方側を支持するベルトのうち何れか一方を吸着し、他方を非吸着とする構成をとることも可能である。
　また、本発明に係るガラスフィルムの製造方法においては、上流側コンベアは、ベルトで一次ガラスフィルムを接触支持可能な複数の上流側ベルトコンベアで構成され、かつ複数の上流側ベルトコンベアのうち一次ガラスフィルムの幅方向中央に位置する上流側ベルトコンベアが、一次ガラスフィルムをベルトに向けて吸着可能に構成されてもよい。
　レーザー切断前のガラスフィルム（一次ガラスフィルム）は、成形後の寸法のばらつき等を未だ許容し、また巨大サイズであることから反り等の変形を生じた状態で搬送されることが少なくない。そのため、上述した形態の一次ガラスフィルムを複数のベルトで吸着して搬送しようとすると、長手方向寸法の左右差（幅方向一端側と他端側とでの長手方向寸法の差）に起因して、しわが生じ易いといった問題がある。以上より、しわの発生を抑える観点からは、上述のように、複数の上流側ベルトコンベアのうち一次ガラスフィルムの幅方向中央に位置する上流側ベルトコンベアが、一次ガラスフィルムをベルトに向けて吸着可能に構成するのがよい。幅方向中央のみを吸着した状態で一次ガラスフィルムを搬送することで、しわの発生を抑えつつ一次ガラスフィルムをレーザーによる切断ゾーンに供給することが可能となる。
　また、一次ガラスフィルムの切断により複数の二次ガラスフィルムを得る場合、本発明に係るガラスフィルムの製造方法においては、幅方向で隣り合う任意の一組の二次ガラスフィルムの間に幅方向隙間を形成するための隙間形成部が、下流側コンベアよりも一次ガラスフィルムの搬送方向下流側に設けられてもよい。
　このように下流側コンベアよりも一次ガラスフィルムの搬送方向下流側に隙間形成部を設けることにより、下流側コンベアの構造を複雑化させることなく、二次ガラスフィルムの間に所定の幅方向隙間を形成することができる。ここで、二次ガラスフィルムはその基端（切断ゾーンに位置する）から下流側に向けて連続した形態をなしているため、下流側コンベアよりも下流側に隙間形成部を設けた場合であっても、比較的容易に切断直後の二次ガラスフィルムの間に所定の幅方向隙間を形成することが可能となる。
　また、上述のように隙間形成部を設ける場合、本発明に係るガラスフィルムの製造方法においては、隙間形成部は、各二次ガラスフィルムが上方に凸となる向きに湾曲変形するように、幅方向中央が最も大径となる樽状の支持ローラを二次ガラスフィルムと同じ数だけ有してもよい。
　このように、隙間形成部が、幅方向中央が最も大径となる樽状の支持ローラを有する構成とすることによって、例えば支持ローラよりも下流側で二次ガラスフィルムを巻き取るのに伴って二次ガラスフィルムのうち隙間形成部の支持ローラ上を通過する部分が上方に凸となる向きに湾曲変形する。よって、簡素な構成で二次ガラスフィルム同士の接触を回避して各二次ガラスフィルムを安全に搬送することが可能となる。
　また、以上の説明に係るガラスフィルムの製造方法によれば、切り出し枚数の変更に伴いガラスフィルムの支持搬送位置が幅方向一方側に偏ることによるガラスフィルムの搬送不良を防止して、良好な品質のガラスフィルムを安定的に得ることが可能となる。そのため、例えば上述の方法で得た二次ガラスフィルムを、下流側コンベアよりも搬送方向下流側に位置する巻取り装置でロール状に巻き取ってガラスロールを得ることにより、二次ガラスフィルムの切り出し数やその幅方向寸法に関わらず、巻取り時のずれを防止して、良好な品質のガラスロールを安定的に得ることが可能となる。
　また、前記課題の解決は、本発明に係るガラスフィルムの製造装置によっても達成される。すなわち、この製造装置は、帯状の一次ガラスフィルムを所定の方向に搬送しながら切断することで一又は複数の二次ガラスフィルムを得るためのガラスフィルムの製造装置であって、一次ガラスフィルムを所定の方向に搬送可能な搬送装置と、搬送装置で搬送されている一次ガラスフィルムにレーザーを照射して所定の切断ゾーンで切断可能なレーザー切断装置とを備え、搬送装置は、相対的に一次ガラスフィルムの搬送方向上流側に位置する上流側コンベアと、相対的に一次ガラスフィルムの搬送方向下流側に位置して二次ガラスフィルムを搬送可能な下流側コンベアとで構成され、下流側コンベアは、ベルトで二次ガラスフィルムを接触支持可能な複数の下流側ベルトコンベアで構成され、かつ各下流側ベルトコンベアのベルトの位置が、一次ガラスフィルムの幅方向に調整可能に構成されている点をもって特徴付けられる。
　このように、本発明に係るガラスフィルムの製造装置においても、搬送装置を、相対的に一次ガラスフィルムの搬送方向上流側に位置する上流側コンベアと、搬送方向下流側に位置して二次ガラスフィルムを搬送可能な下流側コンベアとで構成すると共に、下流側コンベアを、ベルトで二次ガラスフィルムを接触支持可能な複数の下流側ベルトコンベアで構成し、各下流側ベルトコンベアのベルトの位置を、一次ガラスフィルムの幅方向に調整可能とした。これにより、一次ガラスフィルムを搬送するための上流側コンベアの構成を変えることなく、二次ガラスフィルムの幅方向におけるベルトとの接触支持位置を自由に設定できるので、レーザー切断により取得すべき二次ガラスフィルムの幅方向位置又は幅方向寸法に応じて、各下流側ベルトコンベアを適切な幅方向位置に配設することができる。従って、必要最小限の設備変更で、二次ガラスフィルムの幅方向一方側に偏った位置にベルトが接触する事態を回避して、当該接触位置の偏りに起因した二次ガラスフィルムの斜行など二次ガラスフィルムの搬送不良を防止することが可能となる。また、斜行させずに二次ガラスフィルムを搬送できれば、幅方向で隣り合う一方の二次ガラスフィルムの切断面が他方の二次ガラスフィルムの切断面に干渉する事態を可及的に回避することができるので、良好な切断品質のガラスフィルムを得ることが可能となる。
　以上に述べたように、本発明によれば、切断条件の変更に伴うガラスフィルムの搬送不良を回避して、良好な品質のガラスフィルムを安定的に得ることが可能となる。
本発明の第一実施形態に係るガラスフィルムの製造装置の全体構成を示す側面図である。 図１に示す搬送装置の平面図である。 図２中のＡ－Ａ切断線に沿った搬送装置の断面図である。 図２に示す第一定盤の平面図である。 図４中のＢ－Ｂ切断線に沿った第一定盤の断面図である。 図５中のＣ－Ｃ切断線に沿った第一定盤の断面図である。 図２に示す第二定盤の平面図である。 図７中のＤ－Ｄ切断線に沿った第二定盤の断面図である。 図８中のＥ－Ｅ切断線に沿った第二定盤の断面図である。 図２に示す支持ローラによる作用を説明するための概念図である。 本発明の第二実施形態に係る搬送装置の平面図である。 本発明の第三実施形態に係る搬送装置の平面図である。
　以下、本発明に係るガラスフィルムの製造方法の第一実施形態を、図１～図１０に基づいて説明する。なお、以下では、ガラスフィルムをロール状に巻き取ってガラスロールを最終的に得る場合を例にとって説明する。
　本発明の第一実施形態に係るガラスフィルム（ガラスロール）の製造装置１は、図１に示すように、帯状の母材ガラスフィルムＧを成形する成形部２と、母材ガラスフィルムＧの進行方向を縦方向下方から横方向に変換する方向変換部３と、方向変換後に母材ガラスフィルムＧを横方向に搬送する第一搬送部４と、母材ガラスフィルムＧにおける幅方向両端部を切断する第一切断部５と、幅方向両端部が除去されたガラスフィルム（以下、第一ガラスフィルムと称する。）Ｇ１をロール状に巻き取って第一ガラスロールＧＲＬ１を得る第一巻取り部６とを備える。なお、本実施形態では、縦方向は鉛直方向であり、横方向は水平方向である。
　また、ガラスロールの製造装置１は、第一ガラスロールＧＲＬ１から第一ガラスフィルムＧ１を引き出す引出し部７と、引出し部７から引き出された第一ガラスフィルムＧ１を横方向に搬送する第二搬送部８と、第一ガラスフィルムＧ１の一部を切断する第二切断部９と、第二切断部９により切断されてなるガラスフィルム（以下、第二ガラスフィルムと称する。）Ｇ２をロール状に巻き取って第二ガラスロールＧＲＬ２ａ，ＧＲＬ２ｂを得る第二巻取り部１０とをさらに備える。
　なお、本実施形態における第一ガラスフィルムＧ１が、本発明に係る一次ガラスフィルムに相当し、第二ガラスフィルムが、本発明に係る二次ガラスフィルムに相当する。よって、第一ガラスロールＧＲＬ１が、本発明に係る一次ガラスフィルムをロール状に巻き取ってなるガラスロールに相当し、第二ガラスロールＧＲＬ２が、本発明に係る二次ガラスフィルムをロール状に巻き取ってなるガラスロールに相当する。
　また、本実施形態における第二巻取り部１０が、本発明に係る巻取り装置に相当し、第二切断部９が本発明に係るレーザー切断装置、第二搬送部８が本発明に係る搬送装置にそれぞれ相当する。
　成形部２は、上端部にオーバーフロー溝１１ａが形成された断面視略楔形の成形体１１と、成形体１１の直下に配置され、成形体１１から溢れ出した溶融ガラスＧＭを表裏両側から挟むエッジローラ１２と、エッジローラ１２の直下に配備されるアニーラ１３とを有する。
　成形部２は、成形体１１のオーバーフロー溝１１ａから溢れ出した溶融ガラスＧＭを、両側面に沿ってそれぞれ流下させ、その下端部で合流させてフィルム状に成形する。エッジローラ１２は、この溶融ガラスＧＭの幅方向収縮を規制して母材ガラスフィルムＧの幅方向寸法を調整する。アニーラ１３は、母材ガラスフィルムＧに対して除歪処理を施すためのものである。アニーラ１３は、上下方向複数段に配設されたアニーラローラ１４を有する。
　アニーラ１３の下方には、母材ガラスフィルムＧを表裏両側から挟持する支持ローラ１５が配設されている。支持ローラ１５とエッジローラ１２との間、又は支持ローラ１５と何れか一箇所のアニーラローラ１４との間には、母材ガラスフィルムＧを薄肉にすることを助長するための張力が付与されている。
　方向変換部３は、支持ローラ１５の下方位置に設けられている。方向変換部３には、母材ガラスフィルムＧを案内する複数のガイドローラ１６が湾曲状に配列されている。これらのガイドローラ１６は、鉛直方向に搬送される母材ガラスフィルムＧを横方向へと案内する。
　第一搬送部４は、方向変換部３の進行方向前方（下流側）に配置される。第一搬送部４は、支持搬送面を有する駆動部を駆動することにより、方向変換部３を通過した母材ガラスフィルムＧをその長手方向に沿って下流側に搬送する。なお、第一搬送部４は任意の構成をとることが可能であり、例えば一又は複数のベルトコンベアで構成することが可能である。この場合、支持搬送面を有する駆動部はベルトであり、このベルトを駆動することにより、母材ガラスフィルムＧを上述の態様で搬送し得る。もちろん、第一搬送部４は、上記例示の構成に限らず、ローラコンベアその他の各種搬送装置を使用することも可能である。
　第一切断部５は、第一搬送部４の上方に配置される。本実施形態では、第一切断部５は、レーザー割断により母材ガラスフィルムＧを切断可能に構成される。具体的には、第一切断部５は、一対のレーザー照射装置１７ａと、当該レーザー照射装置１７ａの下流側に配置される一対の冷却装置１７ｂとを有する。第一切断部５は、搬送される母材ガラスフィルムＧの所定部位に各レーザー照射装置１７ａからレーザー光Ｌを照射して加熱した後、冷却装置１７ｂから冷媒Ｒを放出して当該加熱部位を冷却する。
　第一巻取り部６は、第一搬送部４及び第一切断部５の下流側に設置されている。第一巻取り部６は、巻芯１８を回転させることで、第一ガラスフィルムＧ１をロール状に巻き取る。このようにして得られる第一ガラスロールＧＲＬ１は、引出し部７の位置まで搬送される。引出し部７は、第一巻取り部６によって得られた第一ガラスロールＧＲＬ１から第一ガラスフィルムＧ１を引き出して、第二搬送部８上に供給する。
　第二搬送部８は、引出し部７において第一ガラスロールＧＲＬ１から引き出された第一ガラスフィルムＧ１を横方向（以下、搬送方向Ｘと称する。）に沿って搬送する。ここで、第二搬送部８は、図２及び図３に示すように、二つのコンベア１９，２０で構成される。この場合、第二搬送部８の支持搬送面は、第二切断部９による第一ガラスフィルムＧ１の切断ゾーン２１（図２中の一点鎖線で囲まれた領域）で分断される。これにより、第二搬送部８は、切断ゾーン２１よりも第一ガラスフィルムＧ１の搬送方向上流側に位置する上流側コンベア１９と、切断ゾーン２１よりも搬送方向下流側に位置する下流側コンベア２０とに分割された構成をなす。
　このうち上流側コンベア１９は、複数の上流側ベルトコンベア２２を有する。これら複数の上流側ベルトコンベア２２は何れも、ベルト（以下、第一ベルト２３と称する。）で同じ方向に第一ガラスフィルムＧ１を接触支持して下流側に搬送可能に構成される。ここで、各第一ベルト２３は例えば無端帯状のベルトであり、第一ガラスフィルムＧ１をその長手方向で接触する全域にわたって略水平姿勢に保持するように、各第一ベルト２３が同じ高さ方向位置に設定される。これにより、第一ガラスフィルムＧ１の支持搬送面となる各第一ベルト２３の表面２３ａで、水平方向に沿った第一ガラスフィルムＧ１のパスラインＰＬ（後述する図５等を参照）が構成される。
　ここで、各上流側ベルトコンベア２２は、図３に示すように、上述した無端帯状の第一ベルト２３と、第一ベルト２３に張力を付与しつつ第一ベルト２３を所定の位置に配設するための複数のプーリ２４と、これら複数のプーリ２４を支持する支持体２５とを有する。支持体２５は床面に固定されている。また、複数のプーリ２４のうち所定のプーリ２４（ドライブプーリ２４ａ）には、モータなどの駆動源２６が連結されており（図２を参照）、この駆動源２６によりドライブプーリ２４ａに駆動力を付与することで、各上流側ベルトコンベア２２の第一ベルト２３が所定の向きに駆動可能とされている。
　また、上記構成の複数の上流側ベルトコンベア２２は、それぞれ所定の幅方向位置に設置されている。ここでは、幅方向寸法が互いに異なる複数種類の第一ガラスフィルムＧ１が上流側コンベア１９上を搬送されることを想定して、想定される各第一ガラスフィルムＧ１の幅方向両端側で接触支持するように、各第一ベルト２３の幅方向位置が設定される。また、本実施形態では、幅方向寸法の大きさの如何によらず、全ての第一ガラスフィルムＧ１がその幅方向中央位置で接触支持可能なように上流側ベルトコンベア２２が配設されると共に（図２を参照）、この上流側ベルトコンベア２２が、その支持搬送面となる第一ベルト２３の表面２３ａに第一ガラスフィルムＧ１を吸着可能なように構成されている。本実施形態では、第一ベルト２３の表面２３ａに複数の穴２３ｂが形成されており、この穴２３ｂを通じて吸気を行うことで、第一ガラスフィルムＧ１が表面２３ａに吸着され得る。
　下流側コンベア２０は、複数の下流側ベルトコンベア２７を有する。これら複数の下流側ベルトコンベア２７は何れも、ベルト（以下、第二ベルト２８と称する。）で同じ方向に切断後の第一ガラスフィルムＧ１、すなわち第二ガラスフィルムＧ２ａ，Ｇ２ｂを接触支持して下流側に搬送可能に構成される。ここで、各第二ベルト２８は例えば無端帯状のベルトであり、第二ガラスフィルムＧ２ａ，Ｇ２ｂをその長手方向で接触する全域にわたって略水平姿勢に保持するように、各第二ベルト２８が同じ高さ方向位置に設定される。これにより、第一ガラスフィルムＧ１の支持搬送面となる各第一ベルト２３の表面２３ａと、第二ガラスフィルムＧ２ａ，Ｇ２ｂの支持搬送面となる各第二ベルト２８の表面２８ａとで、水平方向に沿った第一ガラスフィルムＧ１の切断前後におけるパスラインＰＬ、すなわち第二搬送部８によるパスラインＰＬが構成される。
　ここで、各下流側ベルトコンベア２７は、図３に示すように、上述した無端帯状の第二ベルト２８と、第二ベルト２８に張力を付与しつつ第二ベルト２８を所定の位置に配設するための複数のプーリ２９と、これら複数のプーリ２９を支持する支持体３０とを有する。また、複数のプーリ２９のうち所定のプーリ２９（ドライブプーリ２９ａ）には、モータなどの駆動源３１が連結されており（図２を参照）、駆動源３１によりドライブプーリ２９ａに駆動力を付与することで、各下流側ベルトコンベア２７の第二ベルト２８が所定の向きに駆動可能とされている。この駆動源３１は、上流側ベルトコンベア２２の駆動源２６と別個独立して設けられている。そのため、連動することなく個別に各駆動源２６，３１、ひいては上流側ベルトコンベア２２と下流側ベルトコンベア２７の駆動を制御可能とされる。
　また、複数の下流側ベルトコンベア２７は、それぞれ所定の幅方向位置に設置可能であると共に、各第二ベルト２８の位置が、第一ガラスフィルムＧ１の幅方向に調整可能に構成されている。具体的には、各下流側ベルトコンベア２７の下方には、第一ガラスフィルムＧ１の幅方向に延びるレール部３２が配設されている。そして、各下流側ベルトコンベア２７を構成する支持体３０の下部には、レール部３２との間で相対移動可能なスライド部３３が取付けられている。これにより、レール部３２に対して各支持体３０のスライド部３３が幅方向にスライドすることで、各支持体３０に支持された複数のプーリ２９及びこれらプーリ２９に支持された第二ベルト２８が一体的に幅方向にスライド可能とされている。なお、各下流側ベルトコンベア２７のドライブプーリ２９ａは、共通のシャフト３４に対して幅方向にスライド可能に支持されている。そのため、シャフト３４に対する幅方向の位置を自由に変更しつつも、任意の幅方向位置で駆動源３１からの駆動力を受けて駆動することが可能とされている。
　本実施形態では、図２に示すように、切断後の第一ガラスフィルムＧ１である各第二ガラスフィルムＧ２ａ，Ｇ２ｂの幅方向両端近傍に一対の第二ベルト２８が位置するように、各第二ベルト２８（各下流側ベルトコンベア２７）の幅方向位置が調整される。なお、本実施形態のように、第一ガラスフィルムＧ１の幅方向両端部を切り捨てつつ、この一枚の第一ガラスフィルムＧ１一枚から二枚の第二ガラスフィルムＧ２ａ，Ｇ２ｂを切り出す場合、下流側ベルトコンベア２７が一個不要となるため、例えば最も幅方向外側に位置する下流側ベルトコンベア２７を退避スペース３５にまで移動させておくのがよい。これにより、不要な下流側ベルトコンベア２７が第二ガラスフィルムＧ２ａ，Ｇ２ｂに干渉する事態を確実に回避しつつ、各二個の下流側ベルトコンベア２７で二枚の第二ガラスフィルムＧ２ａ，Ｇ２ｂが支持搬送されると共に、各一個の下流側ベルトコンベア２７で、切り捨てた第一ガラスフィルムＧ１の幅方向端部がそれぞれ支持搬送される。なお、本実施形態では、全ての下流側ベルトコンベア２７の第二ベルト２８が、図２に示すように、その支持搬送面となる表面２８ａに第二ガラスフィルムＧ２ａ，Ｇ２ｂを吸着可能に構成されている。本実施形態では、第二ベルト２８の表面２８ａに複数の穴２８ｂが形成されており、この穴２８ｂを通じて吸気を行うことで、第二ガラスフィルムＧ２ａ，Ｇ２ｂが表面２８ａに吸着され得る。
　第二切断部９は、第二搬送部８のうち上流側コンベア１９と下流側コンベア２０との間に位置する領域の上方に配置される（図１及び図３を参照）。本実施形態では、第二切断部９は、レーザー割断により第一ガラスフィルムＧ１を切断可能に構成され、複数のレーザー照射装置３６と、各レーザー照射装置３６の下流側に配置される冷却装置３７とを有する。この場合、冷却装置３７はレーザー照射装置３６と同数だけ配置される。本実施形態では、第二切断部９による第一ガラスフィルムＧ１の切断ゾーン２１が幅方向の三箇所に設けられるため（図２を参照）、レーザー照射装置３６と冷却装置３７とが三個ずつ配設される。上記構成の第二切断部９は、搬送される第一ガラスフィルムＧ１の所定部位に各レーザー照射装置３６からレーザー光Ｌを照射して加熱した後、冷却装置３７から冷媒Ｒを放出して当該加熱部位を冷却可能に構成される。詳細は後述する。
　また、本実施形態では、上述した第一ガラスフィルムＧ１の切断ゾーン２１から幅方向に離れた位置には、図２に示すように、第二搬送部８により搬送されている第一ガラスフィルムＧ１を接触支持可能な第一定盤３８が配設されている。正確には、切断後の第一ガラスフィルムＧ１（第二ガラスフィルムＧ２ａ，Ｇ２ｂ）の幅方向中央側に対応する位置に、第一定盤３８が配設されている。本実施形態では、二枚の第二ガラスフィルムＧ２ａ，Ｇ２ｂが一枚の第一ガラスフィルムＧ１から切り出されるので、切断ゾーン２１に対して幅方向に位置し、かつ各第二ガラスフィルムＧ２ａ，Ｇ２ｂの幅方向中央に対応する位置に、第一定盤３８がそれぞれ配設されている。これら第一定盤３８は、図示は省略するが、床面に設置固定されており、常に静止した状態にある。
　ここで、第一定盤３８は、図４に示すように、第一ガラスフィルムＧ１を接触支持可能な第一支持面３９と、第一ガラスフィルムＧ１を第一支持面３９に向けて吸引可能な第一吸引部４０とを有する。
　第一定盤３８は、例えば金属で略直方体状に形成される。第一支持面３９は、本実施形態では、図５に示すように、第一定盤３８の上側に設けられたシート部材４１の表面で構成されている。このシート部材４１は、例えば樹脂など第一ガラスフィルムＧ１に対する接触時の抵抗が小さい材料で、あるいは第一ガラスフィルムＧ１に対する滑り性の良好な材料で形成される。なお、本実施形態では、シート部材４１の表面で第一支持面３９を構成したが、もちろん、第一定盤３８の上面で第一支持面３９を構成してもかまわない。
　また、第一支持面３９の高さ方向位置は、第一ガラスフィルムＧ１のパスラインＰＬと同じ位置であってもよいが、例えば図５及び図６に示すように、パスラインＰＬよりも少し（例えば３ｍｍ以内の範囲で）高く設定してもよい。これにより、第一ガラスフィルムＧ１と第一支持面３９とをより確実に密着させ得る。
　第一吸引部４０は、本実施形態では、第一支持面３９に開口する第一吸気口４２と、第一吸気口４２と連通する連通空間４３と、連通空間４３内部の排気を行うポンプなどの排気部４４、及び連通空間４３と排気部４４とを接続する接続管４５（何れも図３を参照）とを有する。本実施形態では、第一吸気口４２は溝状をなす。また、この溝状をなす第一吸気口４２は、第一ガラスフィルムＧ１の長手方向、すなわち搬送方向に沿って延びるように第一支持面３９に形成されている（図４を参照）。第一吸気口４２はシート部材４１を貫通しかつ第一定盤３８の上面に開口するように形成されている。また、本実施形態では、第一吸気口４２の長手方向両端は第一定盤３８の側面に対して開口している。よって、第一吸気口４２の両端開口部４２ａ，４２ａは、外部空間（外気）に対して常に開放された状態にある。
　第一吸気口４２の底面には複数の貫通穴４２ｂが形成されており、第一定盤３８を支持する支持部材４６に形成された連通空間４３とつながっている。この場合、貫通穴４２ｂが第一定盤３８に形成され、連通空間４３が支持部材４６に形成される。接続管４５は支持部材４６に取り付けられる。排気部４４は例えば共通であり、一個の排気部４４に対して第一定盤３８と同数の接続管４５で接続されてもよい。あるいは、連通空間４３が共通で一個の支持部材４６に複数の第一定盤３８が支持されていてもよい。この場合、一本の接続管４５が一個の支持部材４６に取り付けられる。以上の構成をなす第一吸引部４０によれば、排気部４４の駆動により、第一支持面３９に開口する第一吸気口４２及びその長手方向両端に位置する両端開口部４２ａ，４２ａからの吸気を行う。そのため、第一定盤３８の第一支持面３９上に第一ガラスフィルムＧ１が搬送される場合、上記吸気動作により、第一ガラスフィルムＧ１の下面が第一支持面３９に対して吸引される。
　また、本実施形態では、上述した第一ガラスフィルムＧ１の切断ゾーン２１に、図２に示すように、第一ガラスフィルムＧ１を接触支持可能な第二定盤４７が配設されている。本実施形態では、第一ガラスフィルムＧ１を幅方向の三箇所で切断する形態を採っていることから、三箇所の切断ゾーン２１それぞれに対して三個の第二定盤４７が配設されている。これら第二定盤４７は、図示は省略するが、床面に設置固定されており、常に静止した状態にある。
　ここで、第二定盤４７は、図７に示すように、第一ガラスフィルムＧ１を接触支持可能な第二支持面４８と、第一ガラスフィルムＧ１を第二支持面４８に向けて吸引可能な第二吸引部４９とを有する。
　第二定盤４７は、例えば金属で略直方体状に形成される。第二支持面４８は、本実施形態では、図８に示すように、第二定盤４７の上側に設けられたシート部材５０の表面で構成されている。このシート部材５０は、例えば樹脂など第一ガラスフィルムＧ１に対する接触時の抵抗が小さい材料で、あるいは第一ガラスフィルムＧ１に対する滑り性の良好な材料で形成される。なお、本実施形態では、シート部材５０の表面で第二支持面４８を構成したが、もちろん、第二定盤４７の上面で第二支持面４８を構成してもかまわない。
　また、第二支持面４８の高さ方向位置は、第一ガラスフィルムＧ１のパスラインＰＬと同じ位置であってもよいが、例えば図８及び図９に示すように、パスラインＰＬよりもわずかに（例えば３ｍｍ以内の範囲で）高く設定してもよい。これにより、第一ガラスフィルムＧ１と第二支持面４８とをより確実に密着させ得る。
　第二吸引部４９は、本実施形態では、図８及び図９に示すように、第二支持面４８に開口する第二吸気口５１と、第二吸気口５１の幅方向両側に位置する一対の第三吸気口５２，５２と、第二吸気口５１及び第三吸気口５２，５２と連通する連通空間５３と、連通空間５３内部の排気を行うポンプなどの排気部５４、及び連通空間５３と排気部５４とを接続する接続管５５とを有する。
　第二吸気口５１及び第三吸気口５２は、本実施形態では、何れも第一ガラスフィルムＧ１の搬送方向Ｘに沿って伸びる長穴形状をなすように、第二支持面４８に形成されている。ここで、第二吸気口５１の幅方向寸法や長手方向寸法は、第三吸気口５２の幅方向寸法や長手方向寸法との兼ね合いで適宜の大きさに設定される。言い換えると、必要とされる第一ガラスフィルムＧ１に対する吸引力（変形力）に応じて、上述した寸法、特に第二吸気口５１の各種寸法と、第三吸気口５２の各種寸法との大小関係を適宜に設定するのがよい。
　上記構成の第二吸気口５１及び一対の第三吸気口５２，５２は、シート部材５０と第二定盤４７に形成されている。これら第二吸気口５１及び第三吸気口５２，５２はシート部材５０と第二定盤４７をそれぞれ上下方向に貫通するように形成されており、第二定盤４７を下方から支持する支持部材５６に形成された連通空間５３とつながっている。この場合、連通空間５３が支持部材５６に形成され、接続管５５は支持部材５６の下側に取り付けられる。排気部５４は例えば共通であり、一個の排気部５４に対して第二定盤４７と同数の接続管５５で接続されてもよい。あるいは、連通空間５３が共通で一個の支持部材５６に複数の第二定盤４７が支持されていてもよい。この場合、一本の接続管５５が一個の支持部材５６に取り付けられる。また、本実施形態では、支持部材５６と第二定盤４７との間に、支持部材５６の幅方向に開口し、外部の空気を吸引可能とするスリット部５７が形成されている。
　以上の構成をなす第二吸引部４９によれば、排気部５４の駆動により、第二支持面４８に開口する第二吸気口５１と第三吸気口５２，５２及びスリット部５７からの吸気を行う。そのため、第二定盤４７の第二支持面４８上に第一ガラスフィルムＧ１が搬送される場合、上記吸気動作により、第一ガラスフィルムＧ１の下面が第二支持面４８に対して吸引される。
　また、本実施形態のように、第一吸引部４０と第二吸引部４９とで別個独立した排気部４４，５４を設ける場合には、個別に吸引力を制御することが可能となる。例えば、第一吸引部４０による第一ガラスフィルムＧ１の吸引力が、第二吸引部４９による第一ガラスフィルムＧ１の吸引力よりも小さくなるように、各吸引部４０，４９による吸引力、言い換えると各排気部４４，５４による排気量を個別に調整することも可能である。もちろん、第一吸引部４０と第二吸引部４９とで排気部を共通にして（図示は省略）、構造を簡素化することも可能である。
　レーザー照射装置３６は、搬送方向Ｘに沿って移動する第一ガラスフィルムＧ１の所定部位にレーザー光Ｌを照射することにより、当該部位を局部加熱する。レーザー照射装置３６は、図９に示すように、複数のレーザー照射部３６ａを有する。各レーザー照射部３６ａは、第二定盤４７の第二吸気口５１の上方に配置される。これによりレーザー照射部３６ａは、第二支持面４８に開口した第二吸気口５１を通過する第一ガラスフィルムＧ１の複数箇所にレーザー光Ｌを照射する。各レーザー照射部３６ａからのレーザー光Ｌの照射位置Ｏは、第一ガラスフィルムＧ１の搬送方向Ｘにほぼ平行な直線上に位置するように設定される。
　冷却装置３７は、第一ガラスフィルムＧ１の搬送方向Ｘにおいて、レーザー照射装置３６の下流側に配置される。冷却装置３７は、第一ガラスフィルムＧ１のうち上述したレーザー光Ｌの照射により局部加熱された部位に冷媒Ｒを供給して当該部位を冷却する。
　第二搬送部８よりも下流側には、幅方向で隣り合う一組の第二ガラスフィルムＧ２ａ，Ｇ２ｂの間に幅方向隙間を形成するための隙間形成部５８が設けられている。この隙間形成部５８は、本実施形態では、各第二ガラスフィルムＧ２ａ，Ｇ２ｂが上方に凸となる向きに湾曲変形するように、幅方向中央が最も大径となる樽状の支持ローラ５９ａ，５９ｂを有する。本実施形態では二枚の第二ガラスフィルムＧ２ａ，Ｇ２ｂが切り出されるので、二個の支持ローラ５９ａ，５９ｂが配設される。また、本実施形態では、図１０に示すように、支持ローラ５９ａ，５９ｂによって支持された各第二ガラスフィルムＧ２ａ，Ｇ２ｂの幅方向両端部に向けて上方からエアなどの気体を吹き付けるためのノズル６０ａ，６０ｂが配設されている。
　第二巻取り部１０は、第二搬送部８よりも下流側に配設される。具体的に、第二巻取り部１０は、第二搬送部８で搬送される第二ガラスフィルムＧ２ａ，Ｇ２ｂを巻芯６１ａ，６１ｂによって巻き取ることで第二ガラスロールＧＲＬ２ａ，ＧＲＬ２ｂを得る。本実施形態では、二枚の第二ガラスフィルムＧ２ａ，Ｇ２ｂが切り出されるので、これら二枚の第二ガラスフィルムＧ２ａ，Ｇ２ｂをそれぞれ巻き取ることで、二個の第二ガラスロールＧＲＬ２ａ，ＧＲＬ２ｂが得られる。
　上記構成の製造装置１により製造される第二ガラスフィルムＧ２ａ，Ｇ２ｂ（第一ガラスフィルムＧ１）の材質としては、ケイ酸塩ガラス、シリカガラスが用いられ、好ましくはホウ珪酸ガラス、ソーダライムガラス、アルミノ珪酸塩ガラス、化学強化ガラスが用いられ、最も好ましくは無アルカリガラスが用いられる。ここで、無アルカリガラスとは、アルカリ成分（アルカリ金属酸化物）が実質的に含まれていないガラスのことであって、具体的には、アルカリ成分の重量比が３０００ｐｐｍ以下のガラスのことである。本発明におけるアルカリ成分の重量比は、好ましくは１０００ｐｐｍ以下であり、より好ましくは５００ｐｐｍ以下であり、最も好ましくは３００ｐｐｍ以下である。
　また、第二ガラスフィルムＧ２ａ，Ｇ２ｂ（第一ガラスフィルムＧ１）の厚み寸法は、１０μｍ以上３００μｍ以下とされ、好ましくは３０μｍ以上２００μｍ以下であり、最も好ましくは３０μｍ以上１００μｍ以下である。
　以下、上記構成の製造装置１を使用して第二ガラスフィルムＧ２ａ，Ｇ２ｂ（本実施形態では第二ガラスロールＧＲＬ２ａ，ＧＲＬ２ｂ）を製造する方法について説明する。本方法は、成形工程Ｓ１と、両端部除去工程Ｓ２と、第一巻取り工程Ｓ３と、引出し工程Ｓ４と、切断工程Ｓ５と、第二巻取り工程Ｓ６とを備える。
　成形工程Ｓ１では、図１に示すように、成形部２における成形体１１のオーバーフロー溝１１ａから溢れ出した溶融ガラスＧＭを成形体１１の両側面に沿ってそれぞれ流下させ、その下端で合流させてフィルム状に成形する。この際、溶融ガラスＧＭの幅方向収縮をエッジローラ１２により規制して所定幅の母材ガラスフィルムＧとする。その後、母材ガラスフィルムＧに対してアニーラ１３により除歪処理を施す（徐冷工程）。支持ローラ１５の張力により、母材ガラスフィルムＧは所定の厚みに形成される。
　両端部除去工程Ｓ２では、同じく図１に示すように、方向変換部３及び第一搬送部４によって母材ガラスフィルムＧを下流側に送りつつ、第一切断部５において、レーザー照射装置１７ａからレーザー光Ｌを母材ガラスフィルムＧの一部に照射して加熱する。その後、加熱した部位に冷却装置１７ｂで冷媒Ｒを吹き付ける。これにより、母材ガラスフィルムＧに熱応力が生じる。母材ガラスフィルムＧには、予め初期クラックが形成されており、このクラックを熱応力によって進展させる。これにより、母材ガラスフィルムＧの幅方向両端部が除去され、第一ガラスフィルムＧ１が形成される。
　続く第一巻取工程Ｓ３では、同じく図１に示すように、第一ガラスフィルムＧ１を巻芯１８に巻き取ることにより、第一ガラスロールＧＲＬ１を得る。その後、第一ガラスロールＧＲＬ１は、引出し部７に移送される。引出し工程Ｓ４では、引出し部７に移送された第一ガラスロールＧＲＬ１から第一ガラスフィルムＧ１を引き出し、第二搬送部８によって第二搬送部８上の切断ゾーン２１へと搬送する（図２及び図３を参照）。
　切断工程Ｓ５では、第一ガラスフィルムＧ１のうち第二搬送部８上の切断ゾーン２１を通過する部分に、レーザー照射装置３６によりレーザー光Ｌを照射し、かつ照射した領域に冷媒Ｒを吹き付けることにより、第一ガラスフィルムＧ１の搬送方向Ｘに沿った向きの切断を行う。また、この際、第一ガラスフィルムＧ１は、上流側コンベア１９により搬送方向Ｘに沿った向きに搬送され、切断ゾーン２１に対して幅方向に離れた位置に配設される第一定盤３８の第一支持面３９上を通過する（図２を参照）。ここで第一吸引部４０の排気部４４を作動させることで（常時作動させておくことで）、第一支持面３９に開口した第一吸気口４２を通じて第一支持面３９上の第一ガラスフィルムＧ１に下向きの吸引力が作用し、第一ガラスフィルムＧ１が第一支持面３９に向けて吸引される。これにより、第一ガラスフィルムＧ１が第一支持面３９に向けた力（拘束力）を受けた状態で接触支持されながら搬送方向Ｘに沿って搬送される。また、第一吸引部４０による吸引力の程度によっては、第一ガラスフィルムＧ１の被吸引部分が変形（例えば図５に示すように、下方に凸となる向きに湾曲変形）する。
　また、本実施形態では、切断ゾーン２１に第二定盤４７を配設しているので、上述のように第一ガラスフィルムＧ１が切断ゾーン２１上を通過するのと同時に、第二定盤４７の第二支持面４８上を通過する（図２を参照）。ここで第二吸引部４９の排気部５４を作動させることで、第二支持面４８に開口した第二吸気口５１及び一対の第三吸気口５２，５２を通じて第二支持面４８上の第一ガラスフィルムＧ１に下向きの吸引力が作用し、第一ガラスフィルムＧ１が第二支持面４８に向けて吸引される。これにより、第一ガラスフィルムＧ１が第二支持面４８に接触支持されながら搬送方向Ｘに沿って搬送される。また、第二吸引部４９による吸引力の程度によっては、第一ガラスフィルムＧ１の被吸引部分が変形（例えば図８に示すように、各吸気口５１，５２直上の部分がそれぞれ下方に凸となる向きに湾曲変形）する。
　なお、この際、第一吸引部４０による吸引力は、例えば排気部４４の出力や各開口部（第一吸気口４２、両端開口部４２ａ，４２ａ）の形状、サイズを調整することによって適宜の大きさに制御される。同様に、第二吸引部４９による吸引力は、例えば排気部５４の出力や各開口部（第二吸気口５１、第三吸気口５２、及びスリット部５７）の形状、サイズを調整することによって適宜の大きさに制御される。
　上述した吸引力の調整において、吸引力を大きくすると、上述した第一ガラスフィルムＧ１の変形量が大きくなる一方で、第一ガラスフィルムＧ１の上下動の幅は小さくなる傾向にある。逆に、吸引力を小さくすると、上述した変形量は小さくなる一方で、上下動の幅は大きくなる傾向にある。従って、許容可能な上下動の幅の範囲内で変形量を可及的に小さくすることが好ましい。
　切断工程Ｓ５では、上記のように第一定盤３８の第一支持面３９、及び第二定盤４７の第二支持面４８に第一ガラスフィルムＧ１を吸引しながら第二搬送部８（上流側コンベア１９）によって第一ガラスフィルムＧ１を所定の搬送方向Ｘに搬送するとともに、レーザー照射装置３６のレーザー照射部３６ａから複数のレーザー光Ｌを第一ガラスフィルムＧ１に照射する（レーザー照射工程）。レーザー光Ｌは、第一ガラスフィルムＧ１のうち第二定盤４７の第二吸気口５１上を通過する部分に照射される。
　上記のようなレーザー光Ｌの照射により、その照射位置Ｏ（図７を参照）において第一ガラスフィルムＧ１が加熱される。その後、第一ガラスフィルムＧ１のうち加熱された部分は、第二吸気口５１の下流側に位置する冷却装置３７の直下に到達すると、冷却装置３７から下方に向けて噴射された冷媒Ｒを浴びて冷却される。レーザー照射装置３６の局部加熱による膨張と冷却装置３７の冷却による収縮とにより第一ガラスフィルムＧ１に熱応力が生じる。第一ガラスフィルムＧ１には、図示しない手段により予め初期クラックが形成されており、上述した熱応力を利用して初期クラックを進展させることで、第一ガラスフィルムＧ１がその幅方向所定位置において連続的に切断（割断）される。本実施形態では、幅方向の三箇所で上述したレーザー切断を行うことにより、第一ガラスフィルムＧ１の幅方向両端部が切り捨てられると共に、それぞれ所定の幅方向寸法を有する二枚の第二ガラスフィルムＧ２ａ，Ｇ２ｂが切り出される（図２を参照）。これら第二ガラスフィルムＧ２ａ，Ｇ２ｂは切断ゾーン２１よりも搬送方向Ｘの下流側に位置する下流側コンベア２０により、下流側コンベア２０よりも搬送方向Ｘの下流側に位置する第二巻取り部１０に向けて搬送される。
　第二巻取り工程Ｓ６では、それぞれ所定の位置に配設された巻芯６１ａ，６１ｂによって第二ガラスフィルムＧ２ａ，Ｇ２ｂが巻き取られる。所定長さの第二ガラスフィルムＧ２ａ，Ｇ２ｂが巻き取られることで、第二ガラスロールＧＲＬ２ａ，ＧＲＬ２ｂが得られる。
　また、本実施形態では、下流側コンベア２０と、第二巻取り部１０との間に、隙間形成部５８としての支持ローラ５９ａ，５９ｂを配設したので、各支持ローラ５９ａ，５９ｂ上を通過する第二ガラスフィルムＧ２が支持ローラ５９ａ，５９ｂの外周面形状に倣って変形（ここでは上方に凸となる向きに湾曲変形）しながら下流側に搬送される。これにより、切断直後の第二ガラスフィルムＧ２ａ，Ｇ２ｂの間に所定の幅方向隙間が形成されるので（図１０を参照）、切断面同士の干渉を回避してそれぞれ第二巻取り部１０に搬送することができる。
　以上説明したように、本実施形態に係るガラスフィルム（第二ガラスフィルムＧ２ａ，Ｇ２ｂ）の製造方法では、搬送装置としての第二搬送部８を、相対的に第一ガラスフィルムＧ１の搬送方向Ｘの上流側に位置する上流側コンベア１９と、搬送方向Ｘの下流側に位置して第二ガラスフィルムＧ２ａ，Ｇ２ｂを搬送可能な下流側コンベア２０とで構成すると共に、下流側コンベア２０を、第二ベルト２８で第二ガラスフィルムＧ２ａ，Ｇ２ｂを接触支持可能な複数の下流側ベルトコンベア２７で構成し、各下流側ベルトコンベア２７の第二ベルト２８の位置を、第一ガラスフィルムＧ１の幅方向に調整可能とした。これにより、第一ガラスフィルムＧ１を搬送するための上流側コンベア１９の構成を変えることなく、第二ガラスフィルムＧ２ａ，Ｇ２ｂの幅方向における第二ベルト２８との接触支持位置を自由に設定できるので、レーザー切断により取得すべき第二ガラスフィルムＧ２ａ，Ｇ２ｂの幅方向位置又は幅方向寸法に応じて、各下流側ベルトコンベア２７を適切な幅方向位置に配設することができる。従って、必要最小限の設備変更で、第二ガラスフィルムＧ２ａ，Ｇ２ｂの幅方向一方側に偏った位置に第二ベルト２８が接触する事態を回避して、当該接触位置の偏りに起因した第二ガラスフィルムＧ２ａ，Ｇ２ｂの斜行など第二ガラスフィルムＧ２ａ，Ｇ２ｂの搬送不良を防止することが可能となる。また、斜行させずに第二ガラスフィルムＧ２ａ，Ｇ２ｂを搬送できれば、幅方向で隣り合う一方の第二ガラスフィルムＧ２ａの切断面（側端面）が他方の第二ガラスフィルムＧ２ｂの切断面（側端面）に干渉する事態を可及的に回避することができるので、良好な切断品質の第二ガラスフィルムＧ２ａ，Ｇ２ｂを得ることが可能となる。
　また、本実施形態では、第一ガラスフィルムＧ１の切断により、それぞれ所定の幅方向寸法を有する複数の第二ガラスフィルムＧ２ａ，Ｇ２ｂを取得する場合に、各第二ガラスフィルムＧ２ａ，Ｇ２ｂの幅方向位置及び幅方向寸法に応じて、第二ベルト２８の位置を調整するようにした。これにより、切り出される第二ガラスフィルムＧ２ａ，Ｇ２ｂそれぞれの位置、大きさに適した位置に第二ベルト２８を配置することができるので、切り出される全ての第二ガラスフィルムＧ２ａ，Ｇ２ｂの斜行を避けて正確な向きに安定的に搬送することが可能となる。特に、本実施形態では、各第二ガラスフィルムＧ２ａ，Ｇ２ｂの幅方向両端位置に応じて、第二ベルト２８の位置を調整可能に構成したので、第二ガラスフィルムＧ２ａ，Ｇ２ｂをその幅方向両側で安定的に接触支持することができる。よって、第二ガラスフィルムＧ２ａ，Ｇ２ｂの搬送時のばたつき等の変動を抑えて安定的に第二ガラスフィルムＧ２ａ，Ｇ２ｂを搬送することが可能となる。
　また、本実施形態では、幅方向で隣り合う任意の一組の第二ガラスフィルムＧ２ａ，Ｇ２ｂの間に幅方向隙間を形成するための隙間形成部５８（ここでは支持ローラ５９ａ，５９ｂ）を、下流側コンベア２０よりも第一ガラスフィルムＧ１の搬送方向下流側に設けるようにした。これにより、第二ガラスフィルムＧ２ａ，Ｇ２ｂのうち隙間形成部５８の支持ローラ５９ａ，５９ｂ上を通過する部分が上方に凸となる向きに湾曲変形する。よって、上述のように第二ガラスフィルムＧ２ａ，Ｇ２ｂの幅方向両端を下流側ベルトコンベア２７で接触支持する場合であっても、切断直後の第二ガラスフィルムＧ２ａ，Ｇ２ｂ同士の接触を回避して各第二ガラスフィルムＧ２ａ，Ｇ２ｂを安全に搬送することが可能となる。
　以上、本発明に係るガラスフィルムの製造方法及び製造装置の第一実施形態を説明したが、この製造方法及び製造装置は、当然に本発明の範囲内において任意の形態を採ることができる。
　図１１は、本発明に係るガラスフィルムの製造方法の第二実施形態を示している。すなわち、上述した第一実施形態では、一枚の第一ガラスフィルムＧ１から二枚の第二ガラスフィルムＧ２ａ，Ｇ２ｂを切り出す際に本発明を適用した場合の構成を例示したが、本実施形態では、一枚の第一ガラスフィルムＧ１から三枚の第二ガラスフィルムＧ２ａ，Ｇ２ｂ，Ｇ２ｃを切り出す際に本発明を適用した場合の構成を例示している。すなわち、本実施形態では、図１１に示す製造装置１において、切り出される第二ガラスフィルムＧ２ａ～Ｇ２ｃの幅方向位置及び幅方向寸法に応じて、下流側ベルトコンベア２７の幅方向位置を調整している。すなわち、図１１に示すように、複数の下流側ベルトコンベア２７が、レール部３２に沿って幅方向にスライド可能に構成されており、例えば第二ガラスフィルムＧ２ａ～Ｇ２ｃの幅方向両端位置に応じて、これら複数の下流側ベルトコンベア２７の第二ベルト２８の位置を幅方向に調整している。
　また、本実施形態では、第二ガラスフィルムＧ２ａ～Ｇ２ｃの幅方向位置及び幅方向寸法に応じて、第一定盤３８及び第二定盤４７の数及び幅方向位置を調整している。また、第二ガラスフィルムＧ２ａ～Ｇ２ｃの幅方向位置及び幅方向寸法に応じて、レーザー照射装置３６及び冷却装置３７の数及び幅方向位置を調整している。すなわち、図示は省略するが、位置調整後の各第二定盤４７上にレーザー照射装置３６及び冷却装置３７が配置される。
　なお、下流側コンベア２０と第二巻取り部１０との間に隙間形成部５８を設ける場合には、図１１に示すように、第二ガラスフィルムＧ２ａ～Ｇ２ｃの幅方向位置及び幅方向寸法に応じて、適切な幅方向寸法の支持ローラ５９ａ～５９ｃをそれぞれ適切な幅方向位置に配置している。
　このように、第二ガラスフィルムＧ２ａ～Ｇ２ｃの幅方向位置及び幅方向寸法に応じて、下流側ベルトコンベア２７の位置を幅方向に調整することによって、第二ガラスフィルムＧ２ａを幅方向に均等な位置で支持搬送することができる。よって、切り出される第二ガラスフィルムＧ２ａ～Ｇ２ｃの枚数や幅方向寸法が変更される場合にあっても、幅方向一方側に偏った位置に第二ベルト２８が接触する事態を回避して、当該接触位置の偏りに起因した第二ガラスフィルムＧ２ａ～Ｇ２ｃの斜行など第二ガラスフィルムＧ２ａ～Ｇ２ｃの搬送不良を防止することが可能となる。
　また、上記実施形態では、第一ガラスフィルムＧ１から切り出された各第二ガラスフィルムＧ２ａ，Ｇ２ｂをその幅方向両端近傍で接触支持できるように、複数の下流側ベルトコンベア２７の位置を幅方向で調整した場合を例示したが（図２及び図１１を参照）、もちろんこれ以外の配置態様をとることも可能である。図１２はその一例（本発明の第三実施形態）を示している。本実施形態では、図１２に示すように、複数の下流側ベルトコンベア２７が、レール部３２に沿って幅方向にスライド可能に構成されており、第二ガラスフィルムＧ２ａ～Ｇ２ｃのうち少なくとも一部の第二ガラスフィルムＧ２ａ，Ｇ２ｃの幅方向中央位置に応じて、対応する二対の下流側ベルトコンベア２７の第二ベルト２８の位置を幅方向に調整している。
　このように下流側ベルトコンベア２７の位置を幅方向に調整することで、対応する第二ガラスフィルムＧ２ａ，Ｇ２ｃをその幅方向中央位置で接触支持することができる。この場合、第二ガラスフィルムＧ２ａ，Ｇ２ｃが幅方向中央に比べて幅方向両端側を垂下させた形状（上方に凸となる形状）に湾曲変形するので、切断直後の第二ガラスフィルムＧ２ａ（Ｇ２ｃ），Ｇ２ｂの切断面同士の接触を回避しつつ下流側に各第二ガラスフィルムＧ２ａ～Ｇ２ｃを搬送することが可能となる。
　また、上記実施形態では、第一ガラスフィルムＧ１の切断ゾーン２１に第二定盤４７を配置すると共に、切断ゾーン２１に対して幅方向に離れた位置に第一定盤３８を配置した場合を例示したが、もちろんこれには限られない。レーザー切断に対してそれほど大きな影響を及ぼさないようであれば、切断ゾーン２１を支持搬送面が通過するように第三のコンベア（図示は省略）を配設して、第一定盤３８と第二定盤４７の少なくとも一方を省略してもよい。
　また、搬送装置（第二搬送部８）の支持搬送面は、必ずしも搬送方向Ｘで切断ゾーン２１に対応する位置において分断されている必要はない。例えば切断ゾーン２１から搬送方向Ｘの下流側にずれた位置で、第二搬送部８の支持搬送面が分断されていてもよい。
　なお、以上の説明では、切断ゾーン２１で搬送装置としての第二搬送部８が分割されてなる上流側コンベア１９と下流側コンベア２０をともにベルトコンベアで構成した場合を例示したが、もちろんこれ以外の形態をとることも可能である。例えば上流側コンベア１９を、ローラコンベアその他の各種搬送装置で構成することも可能である。
　また、以上の説明では、一枚の第一ガラスフィルムＧ１から二枚（又は三枚）の第二ガラスフィルムＧ２ａ，Ｇ２ｂ（Ｇ２ａ～Ｇ２ｃ）を切り出す場合を例示したが、もちろん、幅方向寸法の異なる一枚の第二ガラスフィルムＧ２ａを切り出す場合に本発明を適用することも可能であり、また四枚以上の第二ガラスフィルムＧ２ａ…を切り出す場合に本発明を適用することも可能である。
　また、以上の説明では、母材ガラスフィルムＧの幅方向両端部を第一切断部５で切断して得た第一ガラスフィルムＧ１に対して本発明を適用した場合を説明したが、母材ガラスフィルムＧの第一切断部５による切断に本発明を適用してもかまわない。この場合、第一搬送部４が、図２等に示す第二搬送部８と同様の構成をとることで、本発明を実施可能となる。
　また、以上の説明では、帯状をなす第一ガラスフィルムＧ１に本発明を適用した場合を説明したが、もちろんこれ以外の形態をなす第一ガラスフィルムＧ１に本発明を適用することも可能である。すなわち、図示は省略するが、矩形状など枚葉状の板ガラス（ガラスフィルム）に本発明を適用することも可能である。また、切断して得た第二ガラスフィルムＧ２ａ…を必ずしもロール状に巻き取らずともよい。言い換えると、ロール状に巻き取ることのない第二ガラスフィルムＧ２ａ…の製造工程に本発明を適用することも可能である。
１　　　製造装置
２　　　成形部
３　　　方向変換部
４　　　第一搬送部
５　　　第一切断部
６　　　第一巻取り部
７　　　引出し部
８　　　第二搬送部
９　　　第二切断部
１０　　第二巻取り部
１１　　成形体
１７ａ　レーザー照射装置
１７ｂ　冷却装置
１９　　上流側コンベア
２０　　下流側コンベア
２１　　切断ゾーン
２２　　上流側ベルトコンベア
２３，２８　ベルト
２６，３１　駆動源
２７　　下流側ベルトコンベア
３２　　レール部
３３　　スライド部
３５　　退避スペース
３６　　レーザー照射装置
３７　　冷却装置
３８　　第一定盤
３９　　第一支持面
４０　　第一吸引部
４１，５０　シート部材
４２　　第一吸気口
４２ａ，４２ａ　両端開口部
４２ｂ　貫通穴
４３，５３　連通空間
４４，５４　排気部
４５，５５　接続管
４６，５６　支持部材
４７　　第二定盤
４８　　第二支持面
４９　　第二吸引部
５１　　第二吸気口
５２　　第三吸気口
５７　　スリット部
５８　　隙間形成部
５９ａ，５９ｂ，５９ｃ　支持ローラ
６０ａ，６０ｂ　ノズル
Ｇ　　　母材ガラスフィルム
Ｇ１　　第一ガラスフィルム
Ｇ２ａ，Ｇ２ｂ，Ｇ２ｃ　第二ガラスフィルム
ＧＭ　　溶融ガラス
ＧＲＬ１　第一ガラスロール
ＧＲＬ２ａ，ＧＲＬ２ｂ，ＧＲＬ２ｃ　第二ガラスロール
Ｌ　　　レーザー光
ＰＬ　　パスライン
Ｒ　　　冷媒

Claims (12)

  1. 　帯状の一次ガラスフィルムを搬送装置で所定の方向に搬送しながら切断することで一又は複数の二次ガラスフィルムを得るガラスフィルムの製造方法であって、
    　前記一次ガラスフィルムの切断は、レーザー切断装置を用いて所定の切断ゾーンで前記一次ガラスフィルムにレーザーを照射することにより行われると共に、
    　前記搬送装置は、相対的に前記一次ガラスフィルムの搬送方向上流側に位置する上流側コンベアと、相対的に前記一次ガラスフィルムの搬送方向下流側に位置して前記二次ガラスフィルムを搬送可能な下流側コンベアとで構成され、
    　前記下流側コンベアは、ベルトで前記二次ガラスフィルムを接触支持可能な複数の下流側ベルトコンベアで構成され、かつ
    　前記各下流側ベルトコンベアの前記ベルトの位置が、前記一次ガラスフィルムの幅方向に調整可能に構成されていることを特徴とする、ガラスフィルムの製造方法。
  2. 　前記レーザー切断装置は、複数のレーザー照射部を有し、
    　前記各レーザー照射部の位置が、前記一次ガラスフィルムの幅方向に調整可能に構成されている請求項１に記載のガラスフィルムの製造方法。
  3. 　前記一次ガラスフィルムの切断により、それぞれ所定の幅方向寸法を有する複数の前記二次ガラスフィルムを取得し、
    　前記各二次ガラスフィルムの幅方向位置及び幅方向寸法に応じて、前記ベルトの位置を調整する請求項１に記載のガラスフィルムの製造方法。
  4. 　前記一次ガラスフィルムの切断により、それぞれ所定の幅方向寸法を有する複数の前記二次ガラスフィルムを取得し、
    　前記各二次ガラスフィルムの幅方向位置及び幅方向寸法に応じて、前記ベルトの位置及び前記レーザー照射部の位置をそれぞれ調整する請求項２に記載のガラスフィルムの製造方法。
  5. 　前記各二次ガラスフィルムの幅方向中央位置に応じて、前記ベルトの位置を調整する請求項３又は４に記載のガラスフィルムの製造方法。
  6. 　前記各二次ガラスフィルムの幅方向両端位置に応じて、前記ベルトの位置を調整する請求項３又は４に記載のガラスフィルムの製造方法。
  7. 　幅方向で隣り合う任意の一組の前記二次ガラスフィルムの間に幅方向隙間を形成するための隙間形成部が、前記下流側コンベアよりも前記一次ガラスフィルムの搬送方向下流側に設けられている請求項３～６の何れか一項に記載のガラスフィルムの製造方法。
  8. 　前記隙間形成部は、前記各二次ガラスフィルムが上方に凸となる向きに湾曲変形するように、幅方向中央が最も大径となる樽状の支持ローラを前記二次ガラスフィルムと同じ数だけ有する請求項７に記載のガラスフィルムの製造方法。
  9. 　前記複数の下流側ベルトコンベアの少なくとも一部が、前記二次ガラスフィルムを前記ベルトに向けて吸着可能に構成されている請求項１～８の何れか一項に記載のガラスフィルムの製造方法。
  10. 　前記上流側コンベアは、ベルトで前記一次ガラスフィルムを接触支持可能な複数の上流側ベルトコンベアで構成され、かつ
    　前記複数の上流側ベルトコンベアのうち前記一次ガラスフィルムの幅方向中央に位置する上流側ベルトコンベアが、前記一次ガラスフィルムを前記ベルトに向けて吸着可能に構成されている請求項１～９の何れか一項に記載のガラスフィルムの製造方法。
  11. 　請求項１～１０の何れか一項に記載の方法で得た二次ガラスフィルムを、前記下流側コンベアよりも前記搬送方向下流側に位置する巻取り装置でロール状に巻き取ってガラスロールを得る、ガラスロールの製造方法。
  12. 　帯状の一次ガラスフィルムを所定の方向に搬送しながら切断することで一又は複数の二次ガラスフィルムを得るためのガラスフィルムの製造装置であって、
    　前記一次ガラスフィルムを所定の方向に搬送可能な搬送装置と、
    　前記搬送装置で搬送されている前記一次ガラスフィルムにレーザーを照射して所定の切断ゾーンで切断可能なレーザー切断装置とを備え、
    　前記搬送装置は、相対的に前記一次ガラスフィルムの搬送方向上流側に位置する上流側コンベアと、相対的に前記一次ガラスフィルムの搬送方向下流側に位置して前記二次ガラスフィルムを搬送可能な下流側コンベアとで構成され、
    　前記下流側コンベアは、ベルトで前記二次ガラスフィルムを接触支持可能な複数の下流側ベルトコンベアで構成され、かつ
    　前記各下流側ベルトコンベアの前記ベルトの位置が、前記一次ガラスフィルムの幅方向に調整可能に構成されていることを特徴とする、ガラスフィルムの製造装置。
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