TW202125670A - 整平結構及其扇出型面板級封裝設備 - Google Patents

Abstract

本發明提供一種整平結構及其扇出型面板級封裝設備，其中整平結構包括有第一下短軸與第二下短軸以及設置於該第一下短軸上方之第一上短軸與該第一下短軸上方之第二上短軸，並可透過連接下軸或連接上軸相互連接，且藉由設置於第一上短軸以及第二上短軸上之上下壓具結構，透過上下壓具之壓制彈簧提供輸送壓制力，使由外部推進該整平結構之基板，藉以使得翹曲之部位能在製程過程中達到整平之作用，同時藉由加大的測頭，以加大偵測基板之感測範圍，並使基板更能順利通過，且更能準測偵測基板的運輸過程，避免卡板或滑片問題導致破片的產生。

Description

整平結構及其扇出型面板級封裝設備

本發明是有關於一種夾具壓制之整平結構及其扇出型面板級封裝設備，尤指一種可透過壓制彈簧整平翹曲基板之夾具壓制整平結構及其扇出型面板級封裝設備。

一般來說，習知的封裝設備在製程的過程當中，幾乎都會遇到基板因物性而產生所謂的翹曲現象，然而，當封裝設備中的感應裝置因為翹曲現象而無法感應到基板實際位置的時候，就容易造成滑片或射片的產生，進而導致破片的問題。

而一般的感測裝置因為測頭較小，因此無法感應到基板位置，使得基板位置不對，更造成卡板的問題。

因此如何提供一種能夠有效偵測到封裝設備中正在運行的基板位置，同時更能防止基板在運輸過程中更能達到整平的效果，避免翹曲、滑片、破片的問題產生，是目前仍需克服技術以及解決之課題。

本發明的主要目的，在於解決習用實施方案無法有效達到在基板的運輸過程中達到整平、避免翹曲、滑片、破片的問題。

本發明的另一目的，在於提供一種整平結構及其扇出型面板級封裝設備，使在移送基板時可以達到整平的效果，進而藉由加大測頭的感測器，偵測基板的位置，避免翹曲、滑片、破片的問題。

為達成上述目的，本發明提供一種整平結構，該整平結構係至少包含一下軸以及一設置於該第一下軸上方之上軸，其中： 該下軸係至少包括：複數個設置於該下軸上之下軸輪體；一第一下壓具，係設置於該下軸之其中一端，並於背向該下軸一端設置一第一下齒輪；一第二下壓具，係設置於該下軸相對於該第一下壓具之另一端，並於背向該第下軸設置一第二下齒輪； 該上軸係至少包括：複數個對應設置於該下軸輪體上方之上軸輪體，且各該上軸輪體係以固定間距設置於該上軸上；一第一上壓具，係設置於該上軸上，並與該第一下壓具相互對應設置，且背向該上軸之一端設置一第一上齒輪；一第一上壓彈簧，係設置於該第一上壓具上，並另設有得以調整該第一上壓具與該第一下壓具之間距的一第一彈簧旋鈕；一第二上壓具，係設置於該上軸相對於該第一上壓具之另一端，並與該第二下壓具相互對應設置，且背向該上軸之一端設置一第二上齒輪；以及一第二上壓彈簧，係設置於該第二上壓具上，並另設有得以調整該第二上壓具與該第二下壓具之間距的一第二彈簧旋鈕。

在本發明的一個實施例中，該第一上壓彈簧及該第二上壓彈簧之壓制長度係介於18mm至26mm。

在本發明的一個實施例中，該第一上壓具與該第一下壓具之間距係介於0mm至3mm之間。

在本發明的一個實施例中，該第二上壓具與該第二下壓具之間距係介於0mm至3mm之間

根據本發明之目的，本發明人另提出一種整平結構，該整平結構係至少包含一下軸，以及一設置於該下軸上方之第一上短軸與一第二上短軸，其中： 該下軸係至少包括：複數個設置於該下軸上之下軸輪體；一第一下壓具，係設置於該下軸之其中一端，並於背向該下軸一端設置一第一下齒輪；一第二下壓具，係設置於該下軸相對於該第一下壓具之另一端，並於背向該第下軸設置一第二下齒輪； 該第一上短軸係至少包括：一第一上軸輪體，係設置於該第一上短軸之面相該第二上短軸之一側並與至少一該下軸輪體對應設置；一第一上短軸第一上壓具，係設置於該第一上短軸上，並於背向該第一上短軸一端設置一第一上短軸第一上齒輪，並與該第一下壓具相互對應設置；一第一上短軸第一上壓彈簧，係設置於該第一上短軸第一上壓具上，並另設有得以調整該第一上短軸第一上壓具與該第一下壓具之間距的一第一上短軸第一彈簧旋鈕；一第一上短軸第二上壓具，係設置於該第一上短軸之相對於該第一上軸輪體之另一側，並亦設有一設於該第一上短軸第二上壓具上之第一上短軸第二上壓彈簧，同時另設有一得以調整該第一上短軸第二上壓彈簧之第一上短軸第二彈簧旋鈕； 該第二上短軸，其中包括：一第二上軸輪體，係設置於該第二上短軸之面向該第一上短軸之一側並與該下軸輪體對應設置；一第二上短軸第一上壓具，係設置於該第二上短軸上，並於背向該第二上短軸一端設置一第二上短軸第一上齒輪，並與該第二下壓具相互對應設置；一第二上短軸第一上壓彈簧，係設置於該第二上短軸第一上壓具上，並另設有得以調整該第二上短軸第一上壓具與該第二下壓具之間距的一第二上短軸第一彈簧旋鈕；以及一第二上短軸第二上壓具，係設置於該第二上短軸之相對於該第二上軸輪體之另一側，並亦設有一設於該第二上短軸第二上壓具上之第二上短軸第二上壓彈簧，同時另設有一得以調整該第二上短軸第二上壓彈簧之第二上短軸第二彈簧旋鈕。

在本發明的一個實施例中，該第一上短軸第一上壓具與該第一上短軸第二上壓具之間，係另設有一支架，得以使該第一上短軸第一上壓具與該第一上短軸第二上壓具同時維持固定高度。

在本發明的一個實施例中，該第二上短軸第一上壓具與該第二上短軸第二上壓具之間，係另設有一支架，得以使該第二上短軸第一上壓具與該第二上短軸第二上壓具同時維持固定高度。

在本發明的一個實施例中，該第一上短軸第一上壓彈簧及該第一上短軸第二上壓彈簧之壓制長度係介於18mm至26mm。

在本發明的一個實施例中，該第二上短軸第一上壓彈簧及該第二上短軸第二上壓彈簧之壓制長度係介於18mm至26mm。

在本發明的一個實施例中，該第一上短軸第一上壓彈簧，係另具有一得以選擇放置於該支架與該第一上短軸第一彈簧旋鈕間之調整治具，以使該第一上短軸第一上壓彈簧與相對之第一上短軸第二上壓彈簧之高度相同。

在本發明的一個實施例中，該第二上短軸第一上壓彈簧，係另具有一得以選擇放置於該支架與該第二上短軸第二上壓彈簧間之調整治具，以使該第二上短軸第一彈簧旋鈕與相對之該第二上短軸第二彈簧旋鈕之高度相同。

在本發明的一個實施例中，該第一上短軸第一上壓具與該第一下壓具之間距係介於0mm至3mm之間。

在本發明的一個實施例中，該第二上短軸第一上壓具與該第二下壓具之間距係介於0mm至3mm之間。

根據本發明之目的，本發明人另提出一種整平結構，該整平結構係至少包含一第一下短軸與一第二下短軸以及一上軸，其中： 該第一下短軸係至少包括：一第一下軸輪體，係設置於該第一下短軸之面向該第二下短軸之一側；一第一下短軸第一下壓具，係設置於該第一下短軸上，並於背向該第一下短軸一端設置一第一下短軸第一下齒輪；一第一下短軸第二下壓具，係設置於該第一下短軸之相對於該第一下軸輪體之另一側，並亦設有一設於該第一下短軸第二下壓具上之第一下短軸第一下壓彈簧，同時另設有一得以調整該第一下短軸第一下壓彈簧之第一下短軸第一彈簧旋鈕； 該第二下短軸係至少包括：一第二下軸輪體，係設置於該第二下短軸之面向該第一下短軸之一側；一第二下短軸第一下壓具，係設置於該第二下短軸上，並於背向該第二下短軸一端設置一第二下短軸第一下齒輪；一第二下短軸第二下壓具，係設置於該第二下短軸之相對於該第二下軸輪體之另一側，並亦設有一設於該第二下短軸第二下壓具上之第二下短軸第一下壓彈簧，同時另設有一得以調整該第二下短軸第一下壓彈簧之第二上短軸第一彈簧旋鈕；以及 該上軸係至少包括：複數個設置於上軸上方之上軸輪體；一第一上壓具，係設置於該上軸之其中一端，並於背向該上軸一端設置一第一上齒輪；一第一上壓彈簧，係設置於該第一上壓具上，並另設有得以調整該第一上壓具與該第一下短軸第一下壓具之間距的一第一彈簧旋鈕；一第二上壓具，係設置於該上軸相對於該第一上壓具之另一端，並與該第二下短軸第一下壓具相互對應設置，且背向該上軸之一端設置一第二上齒輪；以及一第二上壓彈簧，係設置於該第二上壓具上，並另設有得以調整該第二上壓具與該第二下短軸第一下壓具之間距的一第二彈簧旋鈕。

在本發明的一個實施例中，該第一上壓彈簧及該第二上壓彈簧之壓制長度係介於18mm至26mm。

在本發明的一個實施例中，該第一下短軸第一下壓彈簧及該第二下短軸第一下壓彈簧，其彈簧之壓制長度係介於18mm至26mm。

在本發明的一個實施例中，該第一上壓具與該第一下短軸第一下壓具之間距係介於0mm至3mm之間。

在本發明的一個實施例中，該第二上壓具與該第一下短軸第二下壓具之間距係介於0mm至3mm之間。

根據本發明之目的，本發明人另提出一種整平結構，該整平結構係至少包含一第一下短軸與一第二下短軸，及設置於該第一下短軸上方之一第一上短軸，以及設置於該第二下短軸上方之一第二上短軸，其中： 該第一下短軸與該第二下短軸係至少包括：一第一下軸輪體，係設置於該第一下短軸之面向該第二下短軸之一側；一第一下短軸第一下壓具，係設置於該第一下短軸上，並於背向該第一下短軸一端設置一第一下短軸第一下齒輪；一第一下短軸第二下壓具，係設置於該第一下短軸之相對於該第一下軸輪體之另一側；一第二下軸輪體，係設置於該第二下短軸之面向該第一下短軸之一側；一第二下短軸第一下壓具，係設置於該第二下短軸上，並於背向該第二下短軸一端設置一第二下短軸第一下齒輪；一第二下短軸第二下壓具，係設置於該第二下短軸之相對於該第二下軸輪體之另一側； 該第一上短軸與該第二上短軸係至少包括：一第一上軸輪體，係設置於該第一上短軸之面相該第二上短軸之一側並與至少一該第一下軸輪體對應設置；一第一上短軸第一上壓具，係設置於該第一上短軸上，並於背向該第一上短軸一端設置一第一上短軸第一上齒輪，並與該第一下短軸第一下壓具相互對應設置；一第一上短軸第一上壓彈簧，係設置於該第一上短軸第一上壓具上，並另設有得以調整該第一上短軸第一上壓具與該第一下短軸第一下壓具之間距的一第一上短軸第一彈簧旋鈕；一第一上短軸第二上壓具，係設置於該第一上短軸之相對於該第一上軸輪體之另一側，並亦設有一設於該第一上短軸第二上壓具上之第一上短軸第二上壓彈簧，同時另設有一得以調整該第一上短軸第二上壓彈簧之第一上短軸第二彈簧旋鈕；一第二上軸輪體，係設置於該第二上短軸之面向該第一上短軸之一側並與該第二下軸輪體對應設置；一第二上短軸第一上壓具，係設置於該第二上短軸上，並於背向該第二上短軸一端設置一第二上短軸第一上齒輪，並與該第二下壓具相互對應設置；一第二上短軸第一上壓彈簧，係設置於該第二上短軸第一上壓具上，並另設有得以調整該第二上短軸第一上壓具與該第二下壓具之間距的一第二上短軸第一彈簧旋鈕；以及一第二上短軸第二上壓具，係設置於該第二上短軸之相對於該第二上軸輪體之另一側，並亦設有一設於該第二上短軸第二上壓具上之第二上短軸第二上壓彈簧，同時另設有一得以調整該第二上短軸第二上壓彈簧之第二上短軸第二彈簧旋鈕。

在本發明的一個實施例中，該第一上短軸第一上壓具與該第一上短軸第二上壓具間，係另設有一支架，得以使該第一上短軸第一上壓具與該第一上短軸第二上壓具同時維持固定高度。

在本發明的一個實施例中，該第二上短軸第一上壓具與該第二上短軸第二上壓具間，係亦另設有一支架，得以使該第二上短軸第一上壓具與該第二上短軸第二上壓具同時維持固定高度。

在本發明的一個實施例中，該第一上短軸第一上壓彈簧及該第一上短軸第二上壓彈簧之壓制長度係介於18mm至26mm。

在本發明的一個實施例中，該第二上短軸第一上壓彈簧及該第二上短軸第二上壓彈簧之壓制長度係介於18mm至26mm。

在本發明的一個實施例中，該第一上短軸第一上壓彈簧，係另具有一得以選擇放置於該支架與該第一上短軸第一彈簧旋鈕間之調整治具，以使該第一上短軸第一彈簧旋鈕與相對之該第一上短軸第二彈簧旋鈕之高度相同。

在本發明的一個實施例中，該第二上短軸第一上壓彈簧，係另具有一得以選擇放置於該支架與該第二上短軸第一彈簧旋鈕間之調整治具，以使該第二上短軸第一彈簧旋鈕與相對之該第二上短軸第二彈簧旋鈕之高度相同。

在本發明的一個實施例中，該第一上短軸第一上壓具與該第一下短軸第一下壓具之間距係介於0mm至3mm之間。

在本發明的一個實施例中，該第二上短軸第一上壓具與該第二下短軸第一下壓具之間距係介於0mm至3mm之間。

在本發明的一個實施例中，該第一下短軸與該第二下短軸之間進一步更設置至少一連接下軸。

在本發明的一個實施例中，該第一上短軸與該第二上短軸之間進一步更設置至少一連接上軸。

根據本發明之目的，本發明人另提出一種扇出型面板級封裝設備，係包括複數個整平結構，係相互以相同距離並排設置。

在本發明的一個實施例中，進一步更包含：一基板，係藉由該整平結構中之複數個下軸輪體相互以反方向以等速同時轉動，得以帶動該基板之前進及後退。

在本發明的一個實施例中，進一步更包含：複數個振子感測器，係包括一設置於入料口閘門後以感測該基板速度之入口振子感測器、一設置於出料口閘門前以控制入料及出料閘門開同時開啟之出口振子感測器、一設置介於該入口振子感測器與該出口振子感測器間以控制入料口閘門關閉之擺動感測器，以及一介於該擺動感測器與該出口振子感測器間以控制入料及出料閘門同時關閉之閘門關閉振子感測器，其中，各該感測器係設有一測頭及相對該測頭之一磁鐵，並藉由該磁鐵吸附或脫離一磁鐵感測器以確認一基板進入或脫離之位置，並待該基板通過對應之感測器後，使該磁鐵脫離該基板，並以執行該感測器相對應之動作。

在本發明的一個實施例中，該測頭的直徑大小係為10mm至25mm之間。

在本發明的一個實施例中，該測頭的直徑大小係為15mm至20mm之間。

在本發明的一個實施例中，該扇出型面板級封裝設備，係為顯影機之浸泡槽結構，係將一翹曲基板透過該一輸送帶推送至入料閘門，再通過整平結構壓制，得以使基板達到整平性，並經由各感測器以及軸輪體到達定位後停止推送，並已關閉閘門，使基板在該扇出型面板級封裝設備內來回往復移動，以達到製程過程中均一性的效果。

在本發明的一個實施例中，該扇出型面板級封裝設備，係為洗淨機之洗刷機結構，係得以因應不同刷輪的壓入量調整相對應的設定，藉以避免滑片的產生而造成破片，同時得以提高基板夾持力，預防設片的產生。

在本發明的一個實施例中，該扇出型面板級封裝設備，係為光阻剝離機。

為利 貴審查員瞭解本發明之技術特徵、內容與優點及其所能達成之功效，茲將本發明配合附圖，並以實施例之表達形式詳細說明如下，而其中所使用之圖式，其主旨僅為示意及輔助說明書之用，未必為本發明實施後之真實比例與精準配置，故不應就所附之圖式的比例與配置關係解讀、侷限本發明於實際實施上的權利範圍，合先敘明。

首先，請參閱第1圖及第5圖所示，為整平結構及其扇出型面板級封裝設備之整平結構示意圖(一)及整平結構上下壓具側視圖，本發明提供一種整平結構，該整平結構(10)係至少包含一下軸(100)以及一設置於該第一下軸(100)上方之上軸(200)，其中：

該下軸(100)係至少包括：複數個設置於該下軸(100)上之下軸輪體(110)；一第一下壓具(120)，係設置於該下軸(100)之其中一端，並於背向該下軸(100)一端設置一第一下齒輪(130)；一第二下壓具(140)，係設置於該下軸(100)相對於該第一下壓具(120)之另一端，並於背向該第下軸(100)設置一第二下齒輪(150)；

該上軸(200)係至少包括：複數個對應設置於該下軸輪體(110)上方之上軸輪體(210)，且各該上軸輪體(210)係以固定間距設置於該上軸(200)上；一第一上壓具(220)，係設置於該上軸(200)上，並與該第一下壓具(120)相互對應設置，且背向該上軸(200)之一端設置一第一上齒輪(230)；一第一上壓彈簧(240)，係設置於該第一上壓具(220)上，並另設有得以調整該第一上壓具(220)與該第一下壓具(120)之間距的一第一彈簧旋鈕(241)；一第二上壓具(250)，係設置於該上軸(200)相對於該第一上壓具(220)之另一端，並與該第二下壓具(140)相互對應設置，且背向該上軸(200)之一端設置一第二上齒輪(260)；以及一第二上壓彈簧(270)，係設置於該第二上壓具(250)上，並另設有得以調整該第二上壓具(250)與該第二下壓具(140)之間距的一第二彈簧旋鈕(271)；其中，該第一上壓彈簧(240)及該第二上壓彈簧(270)之壓制長度係介於18mm至26mm；該第一上壓具(220)與該第一下壓具(120)之間距係介於0mm至3mm之間；該第二上壓具(250)與該第二下壓具(140)之間距係介於0mm至3mm之間。

據此，透過整平結構之壓具設計，使在移送基板時可以達到整平的效果，有效避免因基板翹曲而產生滑片或破片的問題。

再請一併參閱第2圖所示，為整平結構及其扇出型面板級封裝設備之整平結構示意圖(二)，本發明提供一種整平結構，該整平結構(10)係至少包含：一下軸(100)，以及一設置於該下軸(100)上方之第一上短軸(201)與一第二上短軸(202)，其中：

該下軸(100)係至少包括：複數個設置於該下軸(100)上之下軸輪體(110)；一第一下壓具(120)，係設置於該下軸(100)之其中一端，並於背向該下軸(100)一端設置一第一下齒輪(130)；一第二下壓具(140)，係設置於該下軸(100)相對於該第一下壓具(120)之另一端，並於背向該第下軸(100)設置一第二下齒輪(150)；

該第一上短軸(201) 係至少包括：一第一上軸輪體(2011)，係設置於該第一上短軸(201)之面相該第二上短軸(202)之一側並與至少一該下軸輪體(110)對應設置；一第一上短軸第一上壓具(2012)，係設置於該第一上短軸(201)上，並於背向該第一上短軸(201)一端設置一第一上短軸第一上齒輪(2013)，並與該第一下壓具(120)相互對應設置；一第一上短軸第一上壓彈簧(2014)，係設置於該第一上短軸第一上壓具(2012)上，並另設有得以調整該第一上短軸第一上壓具(2012)與該第一下壓具(120)之間距的一第一上短軸第一彈簧旋鈕(20141)；一第一上短軸第二上壓具(2015)，係設置於該第一上短軸(201)之相對於該第一上軸輪體(2011)之另一側，並亦設有一設於該第一上短軸第二上壓具(2015)上之第一上短軸第二上壓彈簧(2016)，同時另設有一得以調整該第一上短軸第二上壓彈簧(2016)之第一上短軸第二彈簧旋鈕(20161)；

該第二上短軸(202) 係至少包括：一第二上軸輪體(2021)，係設置於該第二上短軸(202)之面向該第一上短軸(201)之一側並與該下軸輪體(110)對應設置；一第二上短軸第一上壓具(2022)，係設置於該第二上短軸(202)上，並於背向該第二上短軸(202)一端設置一第二上短軸第一上齒輪(2023)，並與該第二下壓具(140)相互對應設置；一第二上短軸第一上壓彈簧(2024)，係設置於該第二上短軸第一上壓具(2022)上，並另設有得以調整該第二上短軸第一上壓具(2022)與該第二下壓具(140)之間距的一第二上短軸第一彈簧旋鈕(20241)；以及一第二上短軸第二上壓具(2025)，係設置於該第二上短軸(202)之相對於該第二上軸輪體(2021)之另一側，並亦設有一設於該第二上短軸第二上壓具(2025)上之第二上短軸第二上壓彈簧(2026)，同時另設有一得以調整該第二上短軸第二上壓彈簧(2026)之第二上短軸第二彈簧旋鈕(20261)；其中，該第一上短軸第一上壓具(2012)與該第一上短軸第二上壓具(2015)之間，係另設有一支架(400)，得以使該第一上短軸第一上壓具(2012)與該第一上短軸第二上壓具(2015)同時維持固定高度；該第二上短軸第一上壓具(2022)與該第二上短軸第二上壓具(2025)之間，係另設有一支架(400)，得以使該第二上短軸第一上壓具(2022)與該第二上短軸第二上壓具(2025)同時維持固定高度；該第一上短軸第一上壓彈簧(2014)及該第一上短軸第二上壓彈簧(2016)之壓制長度係介於18mm至26mm；該第二上短軸第一上壓彈簧(2024)及該第二上短軸第二上壓彈簧(2026)之壓制長度係介於18mm至26mm；該第一上短軸第一上壓彈簧(2014)，係另具有一得以選擇放置於該支架(400)與該第一上短軸第一彈簧旋鈕(20141)間之調整治具(420)，以使該第一上短軸第一上壓彈簧(2014)與相對之第一上短軸第二上壓彈簧(2016)之高度相同；該第二上短軸第一上壓彈簧(2024)，係另具有一得以選擇放置於該支架(400)與該第二上短軸第二上壓彈簧(2026)間之調整治具(420)，以使該第二上短軸第一彈簧旋鈕(20241)與相對之該第二上短軸第二彈簧旋鈕(20261)之高度相同；該第一上短軸第一上壓具(220)與該第一下壓具(120)之間距係介於0mm至3mm之間；該第二上短軸第一上壓具(2022)與該第二下壓具(140)之間距係介於0mm至3mm之間；據此，透過整平結構之壓具設計，使在移送基板時可以達到整平的效果，有效避免因基板翹曲而產生滑片或破片的問題。

再請一併參閱第3圖所示，為整平結構及其扇出型面板級封裝設備之整平結構示意圖(三)，本發明提供一種整平結構，該整平結構(10)係至少包含：一第一下短軸(101)與一第二下短軸(102)以及一上軸(200)，其中：

該第一下短軸(101) 係至少包括：一第一下軸輪體(1011)，係設置於該第一下短軸(101)之面向該第二下短軸(102)之一側；一第一下短軸第一下壓具(1012)，係設置於該第一下短軸(101)上，並於背向該第一下短軸(101)一端設置一第一下短軸第一下齒輪(1013)；一第一下短軸第二下壓具(1014)，係設置於該第一下短軸(101)之相對於該第一下軸輪體(1011)之另一側，並亦設有一設於該第一下短軸第二下壓具(1014)上之第一下短軸第一下壓彈簧(1015)，同時另設有一得以調整該第一下短軸第一下壓彈簧(1015)之第一下短軸第一彈簧旋鈕(10151)；

該第二下短軸(102) 係至少包括：一第二下軸輪體(1021)，係設置於該第二下短軸(102)之面向該第一下短軸(101)之一側；一第二下短軸第一下壓具(1022)，係設置於該第二下短軸(102)上，並於背向該第二下短軸(102)一端設置一第二下短軸第一下齒輪(1023)；一第二下短軸第二下壓具(1024)，係設置於該第二下短軸(102)之相對於該第二下軸輪體(1021)之另一側，並亦設有一設於該第二下短軸第二下壓具(1024)上之第二下短軸第一下壓彈簧(1025)，同時另設有一得以調整該第二下短軸第一下壓彈簧(1025)之第二上短軸第一彈簧旋鈕(10251)；以及

該上軸(200) 係至少包括：複數個設置於上軸(200)上方之上軸輪體(210)；一第一上壓具(220)，係設置於該上軸(200)之其中一端，並於背向該上軸(200)一端設置一第一上齒輪(230)；一第一上壓彈簧(240)，係設置於該第一上壓具(220)上，並另設有得以調整該第一上壓具(220)與該第一下短軸第一下壓具(1012)之間距的一第一彈簧旋鈕(241)；一第二上壓具(250)，係設置於該上軸(200)相對於該第一上壓具(220)之另一端，並與該第二下短軸第一下壓具(1022)相互對應設置，且背向該上軸(200)之一端設置一第二上齒輪(260)；以及一第二上壓彈簧(270)，係設置於該第二上壓具(250)上，並另設有得以調整該第二上壓具(250)與該第二下短軸第一下壓具(1022)之間距的一第二彈簧旋鈕(271)；該第一上壓彈簧(240)及該第二上壓彈簧(270)之壓制長度係介於18mm至26mm；該第一下短軸第一下壓彈簧(1015)及該第二下短軸第一下壓彈簧(1025)，其彈簧之壓制長度係介於18mm至26mm；該第一上壓具(220)與該第一下短軸第一下壓具(1012)之間距係介於0mm至3mm之間；該第二上壓具(250)與該第一下短軸第二下壓具(1014)之間距係介於0mm至3mm之間；據此，透過整平結構之壓具設計，使在移送基板時可以達到整平的效果，有效避免因基板翹曲而產生滑片或破片的問題。

再請一併參閱第4圖所示，為整平結構及其扇出型面板級封裝設備之整平結構示意圖(四)，本發明提供一種整平結構，該整平結構(10)係至少包含：一第一下短軸(101)與一第二下短軸(102)，及設置於該第一下短軸(101)上方之一第一上短軸(201)，以及設置於該第二下短軸(102)上方之一第二上短軸(202)，其中：

該第一下短軸(101)與該第二下短軸(102) 係至少包括：一第一下軸輪體(1011)，係設置於該第一下短軸(101)之面向該第二下短軸(102)之一側；一第一下短軸第一下壓具(1012)，係設置於該第一下短軸(101)上，並於背向該第一下短軸(101)一端設置一第一下短軸第一下齒輪(1013)；一第一下短軸第二下壓具(1014)，係設置於該第一下短軸(101)之相對於該第一下軸輪體(1011)之另一側；一第二下軸輪體(1021)，係設置於該第二下短軸(102)之面向該第一下短軸(101)之一側；一第二下短軸第一下壓具(1022)，係設置於該第二下短軸(102)上，並於背向該第二下短軸(102)一端設置一第二下短軸第一下齒輪(1023)；一第二下短軸第二下壓具(1024)，係設置於該第二下短軸(102)之相對於該第二下軸輪體(1021)之另一側；

該第一上短軸(201)與該第二上短軸(202) 係至少包括：一第一上軸輪體(2011)，係設置於該第一上短軸(201)之面相該第二上短軸(202)之一側並與至少一該第一下軸輪體(1011)對應設置；一第一上短軸第一上壓具(2012)，係設置於該第一上短軸(201)上，並於背向該第一上短軸(201)一端設置一第一上短軸第一上齒輪(2013)，並與該第一下短軸第一下壓具(1012)相互對應設置；一第一上短軸第一上壓彈簧(2014)，係設置於該第一上短軸第一上壓具(2012)上，並另設有得以調整該第一上短軸第一上壓具(2012)與該第一下短軸第一下壓具(1012)之間距的一第一上短軸第一彈簧旋鈕(20141)；一第一上短軸第二上壓具(2015)，係設置於該第一上短軸(201)之相對於該第一上軸輪體(2011)之另一側，並亦設有一設於該第一上短軸第二上壓具(2015)上之第一上短軸第二上壓彈簧(2016)，同時另設有一得以調整該第一上短軸第二上壓彈簧(2016)之第一上短軸第二彈簧旋鈕(20161)；一第二上軸輪體(2021)，係設置於該第二上短軸(202)之面向該第一上短軸(201)之一側並與該第二下軸輪體(1021)對應設置；一第二上短軸第一上壓具(2022)，係設置於該第二上短軸(202)上，並於背向該第二上短軸(202)一端設置一第二上短軸第一上齒輪(2023)，並與該第二下壓具(140)相互對應設置；一第二上短軸第一上壓彈簧(2024)，係設置於該第二上短軸第一上壓具(2022)上，並另設有得以調整該第二上短軸第一上壓具(2022)與該第二下壓具(140)之間距的一第二上短軸第一彈簧旋鈕(20241)；以及一第二上短軸第二上壓具(2025)，係設置於該第二上短軸(202)之相對於該第二上軸輪體(2021)之另一側，並亦設有一設於該第二上短軸第二上壓具(2025)上之第二上短軸第二上壓彈簧(2026)，同時另設有一得以調整該第二上短軸第二上壓彈簧(2026)之第二上短軸第二彈簧旋鈕(20261)；其中，該第一上短軸第一上壓具(2012)與該第一上短軸第二上壓具(2015)間，係另設有一支架(400)，得以使該第一上短軸第一上壓具(2012)與該第一上短軸第二上壓具(2015)同時維持固定高度；該第二上短軸第一上壓具(2022)與該第二上短軸第二上壓具(2025)間，係亦另設有一支架(400)，得以使該第二上短軸第一上壓具(2022)與該第二上短軸第二上壓具(2025)同時維持固定高；該第一上短軸第一上壓彈簧(2014)及該第一上短軸第二上壓彈簧(2016)之壓制長度係介於18mm至26mm；該第二上短軸第一上壓彈簧(2024)及該第二上短軸第二上壓彈簧(2026)之壓制長度係介於18mm至26mm；該第一上短軸第一上壓彈簧(2014)，係另具有一得以選擇放置於該支架(400)與該第一上短軸第一彈簧旋鈕(20141)間之調整治具(420)，以使該第一上短軸第一彈簧旋鈕(20141)與相對之該第一上短軸第二彈簧旋鈕(20161)之高度相同；該第二上短軸第一上壓彈簧(2024)，係另具有一得以選擇放置於該支架(400)與該第二上短軸第一彈簧旋鈕(20241)間之調整治具(420)，以使該第二上短軸第一彈簧旋鈕(20241)與相對之該第二上短軸第二彈簧旋鈕(20261)之高度相同；該第一上短軸第一上壓具(2012)與該第一下短軸第一下壓具(1012)之間距係介於0mm至3mm之間；該第二上短軸第一上壓具(2022)與該第二下短軸第一下壓具(1022)之間距係介於0mm至3mm之間；據此，透過整平結構之壓具設計，使在移送基板時可以達到整平的效果，有效避免因基板翹曲而產生滑片或破片的問題。

在本發明之一實施例中，該下軸輪體(110)為複數個，且以固定或非固定間距設置於該第一下短軸(101)與該第二下短軸(102)或至少一連接下軸(圖未標示)，其中該至少一連接下軸係設置於該第一下短軸(101)與該第二下短軸(102)之間。

在本發明之另一實施例中，該上軸輪體(210)為複數個，且以固定間距設置於該第一上短軸(201)與該第二上短軸(202)或至少一連接上軸(圖未標示)，且該至少一連接上軸係設置於該第一上短軸(201)與該第二上短軸(202)之間。

接著，請參閱第6圖、第7圖及第8圖所示，為本發明整平結構及其扇出型面板級封裝設備之實施一、二、三示意圖，一種扇出型面板級封裝設備，係包括：複數個整平結構(10)，係相互以相同距離並排設置；一基板，係藉由該整平結構(10)中之複數個下軸輪體(110)相互以反方向以等速同時轉動，得以帶動該基板之前進及後退；複數個振子感測器(520)，係包括一設置於入料口閘門後以感測該基板速度之入口振子感測器(521)、一設置於出料口閘門前以控制入料及出料閘門開同時開啟之出口振子感測器(522)、一設置介於該入口振子感測器(521)與該出口振子感測器(522)間以控制入料口閘門關閉之擺動感測器(523)，以及一介於該擺動感測器(523)與該出口振子感測器(522)間以控制入料及出料閘門同時關閉之閘門關閉陣子感測器(524)，請同時參閱第9圖所示，為本發明整平結構及其扇出型面板級封裝設備之振子感測器示意圖，其中，各該振子感測器(520)係設有一直徑大小係為10mm至25mm之間測頭(5201)及相對該測頭之一磁鐵(5202)，並藉由該磁鐵(5202)吸附一基板，其該振子感測器(520)可依據與該基板所需距離調整需要之高度，以利該磁鐵(5202)與該基板適當貼合，並待該基板通過對應之感測器(520，521，522，523，524)後，使該磁鐵(5202)脫離該基板，並以執行該感測器(520，521，522，523，524)相對應之動作，其中該測頭(5201)，且最佳大小係為15mm至20mm。

再，請參閱第10圖所示，為本發明整平結構及其扇出型面板級封裝設備之支架調整示意圖，該第一上壓具(220)與第三上壓具(250)間以及該第二上壓具(320)與第四上壓具(350)間，係各得以另設有一支架(400)，得以使該第一上壓具(220)與第三上壓具(250)以及該第二上壓具(320)與第四上壓具(350)同時維持固定高度，同時該第一上壓彈簧(240)及該第二上壓彈簧(340)，係另具有一得以選擇放置於該支架(400)與該第一彈簧旋鈕(241)及該第二彈簧旋鈕(341)間之調整治具(420)，以使該第一彈簧旋鈕(241)及該第二彈簧旋鈕(341)與相對之該第三彈簧旋鈕(261)及該第四彈簧旋鈕(361)之高度相同。

由上述可知，其第一上壓彈簧與第二上壓彈簧主要是分別控制第一上壓具以及第二上壓具所相對應與第一下壓具與第二下壓具之壓制量，而第三上壓彈簧與第四上壓彈簧則是來保持基板在第一上壓具與第一下壓具以及第二上壓具與第二下壓具之間的平衡，以使基板能在輸送過程中能維持整平的態樣，而彈簧旋鈕的鬆或緊則會相對影響到基板的變形程度，當彈簧旋鈕調緊可以讓基板的變形量變小，相對會使基板更加的平整，而彈簧旋鈕彼此間的鬆緊成度則需相同。

此外，為本發明整平結構及其扇出型面板級封裝設備之第一至第三實施例，其中，整平結構(10)可根據使用時所需之間寬調整，在本發明一實施例中，該整平結構可適用於一扇出型面板級封裝設備(50)之洗淨機，其中該洗淨機之洗刷機使用扇出型面板級封裝設備(50)之實施例，可藉由整平結構(10)不等距的排列結構，因應不同刷輪的輸入量進而調整提高對於基板的夾持力，防止射片的產生，同時亦可避免滑片的出現而造成基板破片；在本發明一實施例中，該整平結構可適用於一扇出型面板級封裝設備(50)之光阻剝離機，係為光阻剝離劑之壓制封裝設備使用扇出型面板級封裝設備(50)之實施例，其整平結構(10)因應光阻剝離劑藥劑所造成的滑片，可藉由以密集的排列設置，提高對於基板的夾持力，同時可使用O-ring進行輸送，進而提高滾輪對於基板的摩擦，避免卡板的產生；在本發明一實施例中，該整平結構可適用於一扇出型面板級封裝設備(50)之顯影機，為顯影機之浸泡槽封裝設備使用扇出型面板級封裝設備(50)之實施例，當具有翹曲之基板透過封裝設備(50)前之輸送帶進入入料閘門，再藉由通過其整平結構(10)輸送軸輪體，使基板透過感測器使封裝設備形成一密閉空間或開放空間，再藉由輸送軸輪體，使基板到達所設定之定位後停止輸送，並關閉入料及出料閘門，使封裝設備形成一密閉空間，並開始來回往復移動，使基板達到製程過程中的整平性與均一性，最後再藉由輸送軸輪體送出封裝設備外。

因此，綜上所述，可透過設置於封裝設備中的整平結構的不同配置，透過彈簧旋鈕使壓具對於基板進行壓制，以使得具有翹曲的基板能在製程過程中達到整平效果，並再藉由感測器的增大測頭，使基板能更有效的通過輸送軸輪體，避免卡板所造成的滑片破片問題。

由上述之實施說明可知，本發明與現有技術與產品相較之下，本發明具有以下優點：

1. 本發明之整平結構及其扇出型面板級封裝設備，可以依據需求變換整平結構的間距。

2. 本發明之整平結構及其扇出型面板級封裝設備可以藉由彈簧旋鈕使壓具對於基板進行壓制，以使得具有翹曲的基板能在製程過程中達到整平效果。

3. 本發明之整平結構及其扇出型面板級封裝設備可藉由感測器的增大測頭，使基板能更有效的通過輸送軸輪體，避免卡板所造成的滑片破片問題。

具體而言，本發明係利用設置於封裝設備中的整平結構的不同配置，透過彈簧旋鈕使壓具對於基板進行壓制，再藉由感測器的增大測頭，使基板能更有效的通過輸送軸輪體，以使得具有翹曲的基板能在製程過程中達到整平效果，並同時避免卡板所造成的滑片及破片問題。

綜上所述，本發明之整平結構及其扇出型面板級封裝設備，的確能藉由上述所揭露之實施例，達到所預期之使用功效，且本發明亦未曾公開於申請前，誠已完全符合專利法之規定與要求。爰依法提出發明專利之申請，懇請惠予審查，並賜准專利，則實感德便。

惟，上述所揭之圖示及說明，僅為本發明之較佳實施例，非為限定本發明之保護範圍；大凡熟悉該項技藝之人士，其所依本發明之特徵範疇，所作之其它等效變化或修飾，皆應視為不脫離本發明之設計範疇。

(10):整平結構 (100):下軸 (101):第一下短軸 (1011):第一下軸輪體 (1012):第一下短軸第一下壓具 (1013):第一下短軸第一下齒輪 (1014):第一下短軸第二下壓具 (1015):第一下短軸第一下壓彈簧 (10151):第一下短軸第一彈簧旋鈕 (102):第二下短軸 (1021):第二下軸輪體 (1022):第二下短軸第一下壓具 (1023):第二下短軸第一下齒輪 (1024):第二下短軸第二下壓具 (1025):第二下短軸第一下壓彈簧 (10251):第二下短軸第一彈簧旋鈕 (110):下軸輪體 (120):第一下壓具 (130):第一下齒輪 (140):第二下壓具 (150):第二下齒輪 (200):上軸 (201):第一上短軸 (2011):第一上軸輪體 (2012):第一上短軸第一上壓具 (2013):第一上短軸第一上齒輪 (2014):第一上短軸第一上壓彈簧 (20141):第一上短軸第一彈簧旋鈕 (2015):第一上短軸第二上壓具 (2016):第一上短軸第二上壓彈簧 (20161):第一上短軸第二彈簧旋鈕 (202):第二上短軸 (2021):第二上軸輪體 (2022):第二上短軸第一上壓具 (2023):第二上短軸第一上齒輪 (2024):第二上短軸第一上壓彈簧 (20241):第二上短軸第一彈簧旋鈕 (2025):第二上短軸第二上壓具 (2026):第二上短軸第二上壓彈簧 (20261):第二上短軸第二彈簧旋鈕 (210):上軸輪體 (220):第一上壓具 (230):第一上齒輪 (240):第一上壓彈簧 (241):第一彈簧旋鈕 (250):第二上壓具 (260):第二上齒輪 (270):第二上壓彈簧 (271):第二彈簧旋鈕 (400):支架 (420):調整治具 (50):封裝設備 (520):振子感測器 (521):入口振子感測器 (522):出口振子感測器 (523):擺動感測器 (524):閘門關閉振子感測器 (5201):測頭 (5202):磁鐵

第1圖：本發明整平結構及其扇出型面板級封裝設備之整平結構示意圖(一)。 第2圖：本發明整平結構及其扇出型面板級封裝設備之整平結構示意圖(二)。 第3圖：本發明整平結構及其扇出型面板級封裝設備之整平結構示意圖(三)。 第4圖：本發明整平結構及其扇出型面板級封裝設備之整平結構示意圖(四)。 第5圖：本發明整平結構及其扇出型面板級封裝設備之整平結構上下壓具側視圖。 第6圖：本發明整平結構及其扇出型面板級封裝設備之實施一示意圖。 第7圖：本發明整平結構及其扇出型面板級封裝設備之實施二示意圖。 第8圖：本發明整平結構及其扇出型面板級封裝設備之實施三示意圖。 第9圖：本發明整平結構及其扇出型面板級封裝設備之振子感測器示意圖。 第10圖：本發明整平結構及其扇出型面板級封裝設備之支架調整示意圖。

(10):整平結構

(100):下軸

(110):下軸輪體

(120):第一下壓具

(130):第一下齒輪

(140):第二下壓具

(150):第二下齒輪

(200):上軸

(210):上軸輪體

(220):第一上壓具

(230):第一上齒輪

(240):第一上壓彈簧

(241):第一彈簧旋鈕

(250):第二上壓具

(260):第二上齒輪

(270):第二上壓彈簧

(271):第二彈簧旋鈕

Claims (37)

1. 一種整平結構，該整平結構(10)係至少包含一下軸(100)以及一設置於該第一下軸(100)上方之上軸(200)，其中： 該下軸(100)係至少包括： 複數個設置於該下軸(100)上之下軸輪體(110)； 一第一下壓具(120)，係設置於該下軸(100)之其中一端，並於背向該下軸(100)一端設置一第一下齒輪(130)； 一第二下壓具(140)，係設置於該下軸(100)相對於該第一下壓具(120)之另一端，並於背向該第下軸(100)設置一第二下齒輪(150)； 該上軸(200)係至少包括： 複數個對應設置於該下軸輪體(110)上方之上軸輪體(210)，且各該上軸輪體(210)係以固定間距設置於該上軸(200)上； 一第一上壓具(220)，係設置於該上軸(200)上，並與該第一下壓具(120)相互對應設置，且背向該上軸(200)之一端設置一第一上齒輪(230)； 一第一上壓彈簧(240)，係設置於該第一上壓具(220)上，並另設有得以調整該第一上壓具(220)與該第一下壓具(120)之間距的一第一彈簧旋鈕(241)； 一第二上壓具(250)，係設置於該上軸(200)相對於該第一上壓具(220)之另一端，並與該第二下壓具(140)相互對應設置，且背向該上軸(200)之一端設置一第二上齒輪(260)；以及 一第二上壓彈簧(270)，係設置於該第二上壓具(250)上，並另設有得以調整該第二上壓具(250)與該第二下壓具(140)之間距的一第二彈簧旋鈕(271)。
2. 如申請專利範圍第1項所述之整平結構，該第一上壓彈簧(240)及該第二上壓彈簧(270)之壓制長度係介於18mm至26mm。
3. 如申請專利範圍第1項所述之整平結構，該第一上壓具(220)與該第一下壓具(120)之間距係介於0mm至3mm之間。
4. 如申請專利範圍第1項所述之整平結構，該第二上壓具(250)與該第二下壓具(140)之間距係介於0mm至3mm之間。
5. 一種整平結構，該整平結構(10)係至少包含一下軸(100)，以及一設置於該下軸(100)上方之第一上短軸(201)與一第二上短軸(202)，其中： 該下軸(100)係至少包括： 複數個設置於該下軸(100)上之下軸輪體(110)； 一第一下壓具(120)，係設置於該下軸(100)之其中一端，並於背向該下軸(100)一端設置一第一下齒輪(130)； 一第二下壓具(140)，係設置於該下軸(100)相對於該第一下壓具(120)之另一端，並於背向該第下軸(100)設置一第二下齒輪(150)； 該第一上短軸(201) 係至少包括： 一第一上軸輪體(2011)，係設置於該第一上短軸(201)之面相該第二上短軸(202)之一側並與至少一該下軸輪體(110)對應設置； 一第一上短軸第一上壓具(2012)，係設置於該第一上短軸(201)上，並於背向該第一上短軸(201)一端設置一第一上短軸第一上齒輪(2013)，並與該第一下壓具(120)相互對應設置； 一第一上短軸第一上壓彈簧(2014)，係設置於該第一上短軸第一上壓具(2012)上，並另設有得以調整該第一上短軸第一上壓具(2012)與該第一下壓具(120)之間距的一第一上短軸第一彈簧旋鈕(20141)； 一第一上短軸第二上壓具(2015)，係設置於該第一上短軸(201)之相對於該第一上軸輪體(2011)之另一側，並亦設有一設於該第一上短軸第二上壓具(2015)上之第一上短軸第二上壓彈簧(2016)，同時另設有一得以調整該第一上短軸第二上壓彈簧(2016)之第一上短軸第二彈簧旋鈕(20161)； 該第二上短軸(202) 係至少包括： 一第二上軸輪體(2021)，係設置於該第二上短軸(202)之面向該第一上短軸(201)之一側並與該下軸輪體(110)對應設置； 一第二上短軸第一上壓具(2022)，係設置於該第二上短軸(202)上，並於背向該第二上短軸(202)一端設置一第二上短軸第一上齒輪(2023)，並與該第二下壓具(140)相互對應設置； 一第二上短軸第一上壓彈簧(2024)，係設置於該第二上短軸第一上壓具(2022)上，並另設有得以調整該第二上短軸第一上壓具(2022)與該第二下壓具(140)之間距的一第二上短軸第一彈簧旋鈕(20241)；以及 一第二上短軸第二上壓具(2025)，係設置於該第二上短軸(202)之相對於該第二上軸輪體(2021)之另一側，並亦設有一設於該第二上短軸第二上壓具(2025)上之第二上短軸第二上壓彈簧(2026)，同時另設有一得以調整該第二上短軸第二上壓彈簧(2026)之第二上短軸第二彈簧旋鈕(20261)。
6. 如申請專利範圍第5項所述之整平結構，該第一上短軸第一上壓具(2012)與該第一上短軸第二上壓具(2015)之間，係另設有一支架(400)，得以使該第一上短軸第一上壓具(2012)與該第一上短軸第二上壓具(2015)同時維持固定高度。
7. 如申請專利範圍第5或6項所述之整平結構，該第二上短軸第一上壓具(2022)與該第二上短軸第二上壓具(2025)之間，係另設有一支架(400)，得以使該第二上短軸第一上壓具(2022)與該第二上短軸第二上壓具(2025)同時維持固定高度。
8. 如申請專利範圍第7項所述之整平結構，該第一上短軸第一上壓彈簧(2014)及該第一上短軸第二上壓彈簧(2016)之壓制長度係介於18mm至26mm。
9. 如申請專利範圍第7項所述之整平結構，該第二上短軸第一上壓彈簧(2024)及該第二上短軸第二上壓彈簧(2026)之壓制長度係介於18mm至26mm。
10. 如申請專利範圍第5項所述之整平結構，該第一上短軸第一上壓彈簧(2014)，係另具有一得以選擇放置於該支架(400)與該第一上短軸第一彈簧旋鈕(20141)間之調整治具(420)，以使該第一上短軸第一上壓彈簧(2014)與相對之第一上短軸第二上壓彈簧(2016)之高度相同。
11. 如申請專利範圍第5項所述之整平結構，該第二上短軸第一上壓彈簧(2024)，係另具有一得以選擇放置於該支架(400)與該第二上短軸第二上壓彈簧(2026)間之調整治具(420)，以使該第二上短軸第一彈簧旋鈕(20241)與相對之該第二上短軸第二彈簧旋鈕(20261)之高度相同。
12. 如申請專利範圍第5項所述之整平結構，該第一上短軸第一上壓具(220)與該第一下壓具(120)之間距係介於0mm至3mm之間。
13. 如申請專利範圍第5項所述之整平結構，該第二上短軸第一上壓具(2022)與該第二下壓具(140)之間距係介於0mm至3mm之間。
14. 一種整平結構，該整平結構(10)係至少包含一第一下短軸(101)與一第二下短軸(102)以及一上軸(200)，其中： 該第一下短軸(101) 係至少包括： 一第一下軸輪體(1011)，係設置於該第一下短軸(101)之面向該第二下短軸(102)之一側； 一第一下短軸第一下壓具(1012)，係設置於該第一下短軸(101)上，並於背向該第一下短軸(101)一端設置一第一下短軸第一下齒輪(1013)； 一第一下短軸第二下壓具(1014)，係設置於該第一下短軸(101)之相對於該第一下軸輪體(1011)之另一側，並亦設有一設於該第一下短軸第二下壓具(1014)上之第一下短軸第一下壓彈簧(1015)，同時另設有一得以調整該第一下短軸第一下壓彈簧(1015)之第一下短軸第一彈簧旋鈕(10151)； 該第二下短軸(102) 係至少包括： 一第二下軸輪體(1021)，係設置於該第二下短軸(102)之面向該第一下短軸(101)之一側； 一第二下短軸第一下壓具(1022)，係設置於該第二下短軸(102)上，並於背向該第二下短軸(102)一端設置一第二下短軸第一下齒輪(1023)； 一第二下短軸第二下壓具(1024)，係設置於該第二下短軸(102)之相對於該第二下軸輪體(1021)之另一側，並亦設有一設於該第二下短軸第二下壓具(1024)上之第二下短軸第一下壓彈簧(1025)，同時另設有一得以調整該第二下短軸第一下壓彈簧(1025)之第二上短軸第一彈簧旋鈕(10251)；以及 該上軸(200) 係至少包括： 複數個設置於上軸(200)上方之上軸輪體(210)； 一第一上壓具(220)，係設置於該上軸(200)之其中一端，並於背向該上軸(200)一端設置一第一上齒輪(230)； 一第一上壓彈簧(240)，係設置於該第一上壓具(220)上，並另設有得以調整該第一上壓具(220)與該第一下短軸第一下壓具(1012)之間距的一第一彈簧旋鈕(241)； 一第二上壓具(250)，係設置於該上軸(200)相對於該第一上壓具(220)之另一端，並與該第二下短軸第一下壓具(1022)相互對應設置，且背向該上軸(200)之一端設置一第二上齒輪(260)；以及 一第二上壓彈簧(270)，係設置於該第二上壓具(250)上，並另設有得以調整該第二上壓具(250)與該第二下短軸第一下壓具(1022)之間距的一第二彈簧旋鈕(271)。
15. 如申請專利範圍第14項所述之整平結構，該第一上壓彈簧(240)及該第二上壓彈簧(270)之壓制長度係介於18mm至26mm。
16. 如申請專利範圍第14或15項所述之整平結構，該第一下短軸第一下壓彈簧(1015)及該第二下短軸第一下壓彈簧(1025)，其彈簧之壓制長度係介於18mm至26mm。
17. 如申請專利範圍第14項所述之整平結構，該第一上壓具(220)與該第一下短軸第一下壓具(1012)之間距係介於0mm至3mm之間。
18. 如申請專利範圍第14項所述之整平結構，該第二上壓具(250)與該第一下短軸第二下壓具(1014)之間距係介於0mm至3mm之間。
19. 一種整平結構，該整平結構(10)係至少包含一第一下短軸(101)與一第二下短軸(102)，及設置於該第一下短軸(101)上方之一第一上短軸(201)，以及設置於該第二下短軸(102)上方之一第二上短軸(202)，其中： 該第一下短軸(101)與該第二下短軸(102) 係至少包括： 一第一下軸輪體(1011)，係設置於該第一下短軸(101)之面向該第二下短軸(102)之一側； 一第一下短軸第一下壓具(1012)，係設置於該第一下短軸(101)上，並於背向該第一下短軸(101)一端設置一第一下短軸第一下齒輪(1013)； 一第一下短軸第二下壓具(1014)，係設置於該第一下短軸(101)之相對於該第一下軸輪體(1011)之另一側； 一第二下軸輪體(1021)，係設置於該第二下短軸(102)之面向該第一下短軸(101)之一側； 一第二下短軸第一下壓具(1022)，係設置於該第二下短軸(102)上，並於背向該第二下短軸(102)一端設置一第二下短軸第一下齒輪(1023)； 一第二下短軸第二下壓具(1024)，係設置於該第二下短軸(102)之相對於該第二下軸輪體(1021)之另一側； 該第一上短軸(201)與該第二上短軸(202) 係至少包括： 一第一上軸輪體(2011)，係設置於該第一上短軸(201)之面相該第二上短軸(202)之一側並與至少一該第一下軸輪體(1011)對應設置； 一第一上短軸第一上壓具(2012)，係設置於該第一上短軸(201)上，並於背向該第一上短軸(201)一端設置一第一上短軸第一上齒輪(2013)，並與該第一下短軸第一下壓具(1012)相互對應設置； 一第一上短軸第一上壓彈簧(2014)，係設置於該第一上短軸第一上壓具(2012)上，並另設有得以調整該第一上短軸第一上壓具(2012)與該第一下短軸第一下壓具(1012)之間距的一第一上短軸第一彈簧旋鈕(20141)； 一第一上短軸第二上壓具(2015)，係設置於該第一上短軸(201)之相對於該第一上軸輪體(2011)之另一側，並亦設有一設於該第一上短軸第二上壓具(2015)上之第一上短軸第二上壓彈簧(2016)，同時另設有一得以調整該第一上短軸第二上壓彈簧(2016)之第一上短軸第二彈簧旋鈕(20161)； 一第二上軸輪體(2021)，係設置於該第二上短軸(202)之面向該第一上短軸(201)之一側並與該第二下軸輪體(1021)對應設置； 一第二上短軸第一上壓具(2022)，係設置於該第二上短軸(202)上，並於背向該第二上短軸(202)一端設置一第二上短軸第一上齒輪(2023)，並與該第二下壓具(140)相互對應設置； 一第二上短軸第一上壓彈簧(2024)，係設置於該第二上短軸第一上壓具(2022)上，並另設有得以調整該第二上短軸第一上壓具(2022)與該第二下壓具(140)之間距的一第二上短軸第一彈簧旋鈕(20241)；以及 一第二上短軸第二上壓具(2025)，係設置於該第二上短軸(202)之相對於該第二上軸輪體(2021)之另一側，並亦設有一設於該第二上短軸第二上壓具(2025)上之第二上短軸第二上壓彈簧(2026)，同時另設有一得以調整該第二上短軸第二上壓彈簧(2026)之第二上短軸第二彈簧旋鈕(20261)。
20. 如申請專利範圍第19項所述之整平結構，該第一上短軸第一上壓具(2012)與該第一上短軸第二上壓具(2015)間，係另設有一支架(400)，得以使該第一上短軸第一上壓具(2012)與該第一上短軸第二上壓具(2015)同時維持固定高度。
21. 如申請專利範圍第19項所述之整平結構，該第二上短軸第一上壓具(2022)與該第二上短軸第二上壓具(2025)間，係亦另設有一支架(400)，得以使該第二上短軸第一上壓具(2022)與該第二上短軸第二上壓具(2025)同時維持固定高度。
22. 如申請專利範圍第20或21項所述之整平結構，該第一上短軸第一上壓彈簧(2014)及該第一上短軸第二上壓彈簧(2016)之壓制長度係介於18mm至26mm。
23. 如申請專利範圍第19項所述之整平結構，該第二上短軸第一上壓彈簧(2024)及該第二上短軸第二上壓彈簧(2026)之壓制長度係介於18mm至26mm。
24. 如申請專利範圍第20或21項所述之整平結構，該第一上短軸第一上壓彈簧(2014)，係另具有一得以選擇放置於該支架(400)與該第一上短軸第一彈簧旋鈕(20141)間之調整治具(420)，以使該第一上短軸第一彈簧旋鈕(20141)與相對之該第一上短軸第二彈簧旋鈕(20161)之高度相同。
25. 如申請專利範圍第20或21項所述之整平結構，該第二上短軸第一上壓彈簧(2024)，係另具有一得以選擇放置於該支架(400)與該第二上短軸第一彈簧旋鈕(20241)間之調整治具(420)，以使該第二上短軸第一彈簧旋鈕(20241)與相對之該第二上短軸第二彈簧旋鈕(20261)之高度相同。
26. 如申請專利範圍第19項所述之整平結構，該第一上短軸第一上壓具(2012)與該第一下短軸第一下壓具(1012)之間距係介於0mm至3mm之間。
27. 如申請專利範圍第19項所述之整平結構，該第二上短軸第一上壓具(2022)與該第二下短軸第一下壓具(1022)之間距係介於0mm至3mm之間。
28. 如申請專利範圍第19項所述之整平結構，該第一下短軸(101)與該第二下短軸(102)之間進一步更設置至少一連接下軸。
29. 如申請專利範圍第19或28項所述之整平結構，該第一上短軸(201)與該第二上短軸(202)之間進一步更設置至少一連接上軸。
30. 一種扇出型面板級封裝設備，該扇出型面板級封裝設備(50) 係至少包括： 複數個如請求項1至29任一項所述之整平結構(10)，且各該整平結構(10)係相互以等距或非等距並排設置。
31. 如申請專利範圍第30項所述之扇出型面板級封裝設備，進一步更包含：一基板，係藉由該整平結構(10)中之複數個下軸輪體(110)相互以反方向以等速同時轉動，得以帶動該基板之前進及後退。
32. 如申請專利範圍第30項所述之扇出型面板級封裝設備，進一步更包含：複數個振子感測器(520)，係包括一設置於入料口閘門後以感測該基板速度之入口振子感測器(521)、一設置於出料口閘門前以控制入料及出料閘門開同時開啟之出口振子感測器(522)、一設置介於該入口振子感測器(521)與該出口振子感測器(522)間以控制入料口閘門關閉之擺動感測器(523)，以及一介於該擺動感測器(523)與該出口振子感測器(522)間以控制入料及出料閘門同時關閉之閘門關閉陣子感測器(524)，其中，各該振子感測器(520)係設有一測頭(5201)及相對該測頭(5201)之一磁鐵(5202)，並藉由該磁鐵(5202)吸附或脫離磁鐵感測器，以偵測一基板之進入或脫離之動作。
33. 如申請專利範圍第32項所述之扇出型面板級封裝設備，其中該測頭(5201)，其直徑大小係為10mm至25mm之間。
34. 如申請專利範圍第32項所述之扇出型面板級封裝設備，其中該測頭(5201)，其直徑大小係為15mm至20mm之間。
35. 如申請專利範圍第30項所述之扇出型面板級封裝設備，其中該扇出型面板級封裝設備(50)係為顯影機。
36. 如申請專利範圍第30項所述之扇出型面板級封裝設備，其中該扇出型面板級封裝設備(50)係為洗淨機。
37. 如申請專利範圍第30項所述之扇出型面板級封裝設備，其中該扇出型面板級封裝設備(50)係為光阻剝離機。

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