TW202122345A - 高純度無機化合物二氯矽烷（ＳｉＨＣｌ）分裝儲存容器的殘氣回收及填充方法 - Google Patents

高純度無機化合物二氯矽烷（ＳｉＨＣｌ）分裝儲存容器的殘氣回收及填充方法 Download PDF

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一種高純度無機化合物二氯矽烷(SiH2Cl2)分裝儲存容器的殘氣回收及填充方法，殘氣回收步驟依序包括有：鋼瓶外觀檢查、殘氣重量檢測、殘氣回收配管作業、氣密測試、填充安定氣體、殘氣回收、真空處理、填封鋼瓶、管路後處理及鋼瓶移至待充填區，二氯矽烷填充步驟依序包括有：鋼瓶外觀檢查、鋼瓶重量確認、填充配管作業、氣密測試、真空處理、確認環境溫度、管路冷卻水循環、二氯矽烷填充、管路後處理、鋼瓶移至成品區及成品洩漏測試，透過上述步驟形成多重安全防護，藉此在有效阻隔外部氣體之條件下，達到安全回收二氯矽烷殘氣與安全填充二氯矽烷之功效。

Description

高純度無機化合物二氯矽烷(SiH2Cl2)分裝儲存容器的殘氣回收及填充方法
本發明係有關於一種有害氣體回收與重新填充之作業方式，尤指一種有效阻隔外部空氣進行安全作業之高純度無機化合物二氯矽烷(SiH2Cl2)分裝儲存容器的殘氣回收及填充方法。
按，二氯矽烷(SiH2Cl2)可以用來做微電子裡的半導體矽層的起始物料，其優點是它在較低溫度可以分解，並且有較高的矽晶體生長速率，二氯矽烷是一種化學性質活潑的氣體，在空氣中可以迅速水解並自燃，因此於作業過程皆需要保持阻隔空氣狀態，又該二氯矽烷的毒性也很大，故其安全風險還包括皮膚和眼睛的刺激與吸收，又當二氯矽烷之空瓶進行回收與重新填充時，該空瓶內皆會殘留少量的殘氣，若有不慎將容易發生二氯矽烷氣體外泄之風險，故習知二氯矽烷填充作業會於接管後先行測試是氣密後，再抽取二氯矽烷殘氣使鋼瓶內形成真空狀態，確保鋼瓶內未殘留有二氯矽烷殘氣，藉此減少再次填充二氯矽烷時之作業風險，但實際上直接抽取二氯矽烷殘氣將因為負壓關係，而無法完全抽淨鋼瓶內的二氯矽烷殘氣，又因為負壓狀態在該鋼瓶氣密不足之情況下，將會導致微量的空氣進入鋼瓶，使後續的二氯矽烷填充作業具有相當高的危險性，又當進行二氯矽烷填充作業時，該二氯矽烷原料桶以壓力差直接對真空狀的鋼瓶進行填充，於鋼瓶壓力上升後，其填充速度就會明顯下降，使整個填充時間延長，填充管線長時間維持於高壓狀態下，將會增加有毒氣體外洩之風險， 詳觀上述習知結構不難發覺其尚存有殘氣回收與填充作業之安全性不足缺點。
有鑑於此，本發明人於多年從事相關產品之製造開發與設計經驗，針對上述之目標，詳加設計與審慎評估後，終得一確具實用性之本發明。
本發明所欲解決之技術問題在於針對現有技術存在的上述缺失，提供一種高純度無機化合物二氯矽烷(SiH2Cl2)分裝儲存容器的殘氣回收及填充方法。
殘氣回收步驟：回收之鋼瓶進行外觀檢查，確認該鋼瓶之閥口是否清潔與無異常，若該閥口有汙垢、變形、損壞或生銹之情況，皆會判斷為不良品而不進行後續殘氣回收步驟，藉此提高作業之安全性，該鋼瓶秤重得知內部的二氯矽烷(SiH2Cl2)殘氣量，即殘氣鋼瓶重量減去空瓶鋼瓶重量，就能準確得知二氯矽烷殘氣量多寡，藉此有利於輔助確認是否完全排淨殘氣，再由第一管路連接該鋼瓶之閥口與殘氣回收裝置，且該鋼瓶是以倒立方式連接該殘氣回收裝置，讓二氯矽烷殘氣集中於閥口位置，藉此容易排淨殘氣，且於連接該第一管路前，先以接地線連接該鋼瓶，藉此防止靜電引發作業危險，又該殘氣回收裝置具有抽取真空、填充安定氣體及回收殘氣之複合功能，於該鋼瓶之閥口關閉狀態下，由該殘氣回收裝置對該第一管路進行氣密測試，氣密測試是以0.3Mpa至0.35Mpa內壓力於該第一管路內封閉，並保持2min至5min未產生壓力降下，藉此確認第一管路與該閥口連接處的完全氣密，再以該殘氣回收裝置對該鋼瓶填充不會與二氯 矽烷產生反應之安定氣體，該安定氣體可為氦氣(He)或氮氣(N2)，使用之氮氣(N2)為大於等於4N5純度等級，才能達到不與二氯矽烷產生反應之效果，藉此能由容易取得之氮氣(N2)取代氦氣(He)，為安定氣體的較佳選項，透過該安定氣體之填充，使該鋼瓶內部壓力大於該殘氣回收裝置端壓力，利用壓力差將二氯矽烷殘氣或殘氣排放至該殘氣回收裝置進行回收，其中，該鋼瓶內部大於該殘氣回收裝置端之壓力大小為0.2Mpa至0.3Mpa，藉此就能自動的將殘氣排出該鋼瓶，重覆循環填充與排放動作至該鋼瓶完全清除二氯矽烷殘氣後，抽取該鋼瓶形成真空狀態，該鋼瓶形成真空狀態之內部壓力為-0.1Mpa，透過抽取真空再次確認該鋼瓶內無殘留二氯矽烷，藉此有助於提高作業的安全係數，再次填充安定氣體至該鋼瓶內而形成正壓狀態(壓力值為0.07Mpa至0.15Mpa)後，關閉該鋼瓶之閥口，即完成殘氣回收之主要步驟，將該第一管路內的全部氣體排至洗滌塔形成氣液兩相接觸，並藉由洗滌液吸收有害氣體，該第一管路於洗滌有害氣體後進行洩漏測試保持2min至5min，再對該第一管路以安定氣體重覆置換複數次後，以安定氣體填封該第一管路，藉此確認該第一管路於安全狀態下進行拆管，最後將殘氣回收後之該鋼瓶移至待填充區靜置存放，若於靜置存放時該鋼瓶的內部壓力下降，則表示該鋼瓶有洩漏之情況，並將該鋼瓶移至不良品區。
二氯矽烷填充步驟：由待填充區取得該鋼瓶並檢查該閥口是否清潔與無異常，若該閥口有汙垢、變形、損壞或生銹之情況，皆會判斷為不良品而不進行後續二氯矽烷填充步驟，藉此提高作業之安全性，對該鋼瓶秤重得知空瓶重量，由測得重量推知填充二氯矽烷的重量與控制停止填充之時間，再由第二管路連接該鋼瓶之閥口、原物料桶與填充控制裝置， 於連接該第二管路前，先以接地線連接該鋼瓶，藉此防止靜電引發作業危險，而該鋼瓶是以正立方式連接該原物料桶，使該鋼瓶與該原物料桶隔離於不同環境空間，該填充控制裝置於該鋼瓶與該原物料桶皆封閉狀態下對該第二管路進行氣密測試，氣密測試是以0.3Mpa至0.35Mpa內壓力於該第二管路內封閉，並保持2min至5min未產生壓力降下，即符合氣密條件，開啟該鋼瓶之閥口抽取安定氣體而形成真空狀態，該鋼瓶形成真空狀態之內部壓力為-0.1Mpa，使二氯矽烷因壓力差而容易填充至該鋼瓶內，控制該鋼瓶之環境溫度低於該原物料桶之環境溫度，其中，該鋼瓶之環境溫度為8°C至18℃，且該原物料桶之環境溫度為25℃至35℃，該第二管路隔離包覆有冷卻水管路，且該冷卻水管路循環流通有3℃至8℃冷卻水，開啟該原物料桶利用冷卻水將流至該第二管路之二氯矽烷液化，且透過該鋼瓶與該原物料桶兩端之溫度差，讓二氯矽烷液體以穩定流速自動填充至該鋼瓶內，並於填充至額定重量後關閉該鋼瓶之閥口，二氯矽烷為介於3N5至5N的純度等級，且二氯矽烷最佳的純度等級為4N，將該第二管路內的全部氣體排至洗滌塔形成氣液兩相接觸，並藉由洗滌液吸收有害氣體，該第二管路於洗滌有害氣體後進行洩漏測試保持2min至5min，再對該第二管路以安定氣體重覆置換複數次後，以安定氣體填封該第二管路，確認該第二管路於安全狀態下進行拆管，最後將該鋼瓶移至成品區存放，於二氯矽烷填充至該鋼瓶且密封後，以異丙醇(IPA)清潔該鋼瓶之閥口，並於乾燥後將石蕊試紙靜置該閥口確認有無洩漏。
本發明的第一主要目的在於，先對該第一管路進行氣密測試，再以該殘氣回收裝置對該鋼瓶填充不會與二氯矽烷產生反應之安定氣 體，使該鋼瓶內部壓力大於該殘氣回收裝置端壓力，利用壓力差將二氯矽烷殘氣或殘氣排放至該殘氣回收裝置進行回收，再次填充安定氣體至該鋼瓶內而形成正壓狀態後，關閉該鋼瓶之閥口，將該第一管路內的全部氣體排至洗滌塔形成氣液兩相接觸，並藉由洗滌液吸收有害氣體，確認該第一管路於安全狀態下進行拆管，透過壓力差形成有效的殘氣回收，並於殘氣回收作業前進行氣密測試，而於殘氣回收作業後清除殘留有害氣體，藉此在有效阻隔外部氣體之條件下，達到安全回收二氯矽烷殘氣之功效，同時有效防止二氯矽烷殘氣外洩，具有不會造成外洩污染之功效。
本發明的第二主要目的在於，該鋼瓶與該原物料桶隔離於不同環境空間，依序進行氣密測試與抽取真空後，控制該鋼瓶之環境溫度低於該原物料桶之環境溫度，又該第二管路隔離包覆有冷卻水管路，且該冷卻水管路循環流通有3℃至8℃冷卻水，開啟該原物料桶利用冷卻水將流至該第二管路之二氯矽烷液化，且透過該鋼瓶與該原物料桶兩端之溫度差，讓二氯矽烷液體以穩定流速自動填充至該鋼瓶內，並於填充至額定重量後關閉該鋼瓶之閥口，將該第二管路內的全部氣體排至洗滌塔形成氣液兩相接觸，並藉由洗滌液吸收有害氣體，確認該第二管路於安全狀態下進行拆管，藉此在有效阻隔外部氣體之條件下，達到安全填充二氯矽烷之功效，進而確保於該鋼瓶內填充高純度二氯矽烷，讓應用於半導體製程時不會產生異常變化。
其他目的、優點和本發明的新穎特性將從以下詳細的描述與相關的附圖更加顯明。
〔本創作〕
(101)‧‧‧鋼瓶外觀檢查
(102)‧‧‧殘氣重量檢測
(103)‧‧‧殘氣回收配管作業
(104)‧‧‧氣密測試
(105)‧‧‧填充安定氣體
(106)‧‧‧殘氣回收
(107)‧‧‧真空處理
(108)‧‧‧填封鋼瓶
(109)‧‧‧管路後處理
(110)‧‧‧鋼瓶移至待充填區
(201)‧‧‧鋼瓶外觀檢查
(202)‧‧‧鋼瓶重量確認
(203)‧‧‧填充配管作業
(204)‧‧‧氣密測試
(205)‧‧‧真空處理
(206)‧‧‧確認環境溫度
(207)‧‧‧管路冷卻水循環
(208)‧‧‧二氯矽烷填充
(209)‧‧‧管路後處理
(210)‧‧‧鋼瓶移至成品區
(211)‧‧‧成品洩漏測試
第1圖係本發明之殘氣回收暨二氯矽烷填充之流程圖。
為使 貴審查委員對本發明之目的、特徵及功效能夠有更進一步之瞭解與認識，以下茲請配合【圖式簡單說明】詳述如後：
先請由第1圖所示觀之，一種高純度無機化合物二氯矽烷(SiH2Cl2)分裝儲存容器的殘氣回收及填充方法，其方法步驟為：
A、殘氣回收步驟：A1鋼瓶外觀檢查(101)，回收之鋼瓶進行外觀檢查，確認該鋼瓶之閥口是否清潔與無異常，若該閥口有汙垢、變形、損壞或生銹之情況，皆會判斷為不良品而不進行後續殘氣回收步驟，藉此提高作業之安全性；A2殘氣重量檢測(102)，該鋼瓶秤重得知內部的二氯矽烷殘氣量，即殘氣鋼瓶重量減去空瓶鋼瓶重量，就能準確得知二氯矽烷(SiH2Cl2)殘氣量多寡，藉此有利於輔助確認是否完全排淨殘氣；A3殘氣回收配管作業(103)，再由第一管路連接該鋼瓶之閥口與殘氣回收裝置，且該鋼瓶是以倒立方式連接該殘氣回收裝置，讓二氯矽烷殘氣集中於閥口位置，藉此容易排淨殘氣，且於連接該第一管路前，先以接地線連接該鋼瓶，藉此防止靜電引發作業危險，又該殘氣回收裝置具有抽取真空、填充安定氣體及回收殘氣之複合功能；A4氣密測試(104)，於該鋼瓶之閥口關閉狀態下，由該殘氣回收裝置對該第一管路進行氣密測試，氣密測試是以0.3Mpa至0.35Mpa內壓力於該第一管路內封閉，並保持2min至5min未產生壓力降下，藉此確認第一管路與該閥口連接處的完全氣密；A5填充安定氣體(105)，再以該殘氣回收裝置對該鋼瓶填充不會與二氯矽烷產生反應之安定氣體， 該安定氣體可為氦氣(He)或氮氣(N2)，使用之氮氣(N2)為大於等於4N5純度等級，才能達到不與二氯矽烷產生反應之效果，藉此能由容易取得之氮氣(N2)取代氦氣(He)，為安定氣體的較佳選項；A6殘氣回收(106)，透過該安定氣體之填充，使該鋼瓶內部壓力大於該殘氣回收裝置端壓力，利用壓力差將二氯矽烷殘氣排放至該殘氣回收裝置進行回收，其中，該鋼瓶內部大於該殘氣回收裝置端之壓力大小為0.2Mpa至0.3Mpa，藉此就能自動的將殘氣排出該鋼瓶，重覆循環填充與排放動作至該鋼瓶完全清除二氯矽烷殘氣後；A7真空處理(107)，抽取該鋼瓶形成真空狀態，該鋼瓶形成真空狀態之內部壓力為-0.1Mpa，透過抽取真空再次確認該鋼瓶內無殘留二氯矽烷，藉此有助於提高作業的安全係數；A8填封鋼瓶(108)，再次填充安定氣體至該鋼瓶內而形成正壓狀態(壓力值為0.07Mpa至0.15Mpa)後，關閉該鋼瓶之閥口，即完成殘氣回收之主要步驟；A9管路後處理(109)，將該第一管路內的全部氣體排至洗滌塔形成氣液兩相接觸，並藉由洗滌液吸收有害氣體，該第一管路於洗滌有害氣體後進行洩漏測試保持2min至5min，再對該第一管路以安定氣體重覆置換複數次後，以安定氣體填封該第一管路，藉此確認該第一管路於安全狀態下進行拆管；A10鋼瓶移至待充填區(110)，最後將殘氣回收後之該鋼瓶移至待填充區靜置存放，若於靜置存放時該鋼瓶的內部壓力下降，則表示該鋼瓶有洩漏之情況，並將該鋼瓶移至不良品區。
B、二氯矽烷填充步驟：B1鋼瓶外觀檢查(201)，由待填充區取得該鋼瓶並檢查該閥口是否清潔與無異常，若該閥口有汙垢、變形、損壞或生銹之情況，皆會判斷為不良品而不進行後續二氯矽烷填充步驟，藉此提高作業之安全性；B2鋼瓶重量確認(202)，對該鋼瓶秤重得知空瓶重 量，由測得重量推知填充二氯矽烷的重量與控制停止填充之時間；B3填充配管作業(203)，再由第二管路連接該鋼瓶之閥口、原物料桶與填充控制裝置，於連接該第二管路前，先以接地線連接該鋼瓶，藉此防止靜電引發作業危險，而該鋼瓶是以正立方式連接該原物料桶，使該鋼瓶與該原物料桶隔離於不同環境空間；B4氣密測試(204)，該填充控制裝置於該鋼瓶與該原物料桶皆封閉狀態下對該第二管路進行氣密測試，氣密測試是以0.3Mpa至0.35Mpa內壓力於該第二管路內封閉，並保持2min至5min未產生壓力降下，即符合氣密條件；B5真空處理(205)，開啟該鋼瓶之閥口抽取安定氣體而形成真空狀態，該鋼瓶形成真空狀態之內部壓力為-0.1Mpa，使二氯矽烷因壓力差而容易填充至該鋼瓶內；B6確認環境溫度(206)，控制該鋼瓶之環境溫度低於該原物料桶之環境溫度，其中，該鋼瓶之環境溫度為8℃至18℃，且該原物料桶之環境溫度為25℃至35℃；B7管路冷卻水循環(207)，該第二管路隔離包覆有冷卻水管路，且該冷卻水管路循環流通有3℃至8℃冷卻水；B8二氯矽烷填充(208)，開啟該原物料桶利用冷卻水將流至該第二管路之二氯矽烷液化，且透過該鋼瓶與該原物料桶兩端之溫度差，讓二氯矽烷液體以穩定流速自動填充至該鋼瓶內，並於填充至額定重量後關閉該鋼瓶之閥口，二氯矽烷為介於3N5至5N的純度等級，且二氯矽烷最佳的純度等級為4N；B9管路後處理(209)，將該第二管路內的全部氣體排至洗滌塔形成氣液兩相接觸，並藉由洗滌液吸收有害氣體，該第二管路於洗滌有害氣體後進行洩漏測試保持2min至5min，再對該第二管路以安定氣體重覆置換複數次後，以安定氣體填封該第二管路，確認該第二管路於安全狀態下進行拆管；B10鋼瓶移至成品區(210)，最後將該鋼瓶移至成品區存放；B11成品 洩漏測試(211)，於二氯矽烷填充至該鋼瓶且密封後，以異丙醇(IPA)清潔該鋼瓶之閥口，並於乾燥後將石蕊試紙靜置該閥口確認有無洩漏。
藉上述具體實施例之結構，可得到下述之效益：(一)先對該第一管路進行氣密測試，再以該殘氣回收裝置對該鋼瓶填充不會與二氯矽烷產生反應之安定氣體，使該鋼瓶內部壓力大於該殘氣回收裝置端壓力，利用壓力差將二氯矽烷殘氣或殘氣排放至該殘氣回收裝置進行回收，再次填充安定氣體至該鋼瓶內而形成正壓狀態後，關閉該鋼瓶之閥口，將該第一管路內的全部氣體排至洗滌塔形成氣液兩相接觸，並藉由洗滌液吸收有害氣體，確認該第一管路於安全狀態下進行拆管，透過壓力差形成有效的殘氣回收，並於殘氣回收作業前進行氣密測試，而於殘氣回收作業後清除殘留有害氣體，藉此在有效阻隔外部氣體之條件下，達到安全回收二氯矽烷殘氣之功效，同時有效防止二氯矽烷殘氣外洩，具有不會造成外洩污染之功效；(二)該鋼瓶與該原物料桶隔離於不同環境空間，依序進行氣密測試與抽取真空後，控制該鋼瓶之環境溫度低於該原物料桶之環境溫度，又該第二管路隔離包覆有冷卻水管路，且該冷卻水管路循環流通有3℃至8℃冷卻水，開啟該原物料桶利用冷卻水將流至該第二管路之二氯矽烷液化，且透過該鋼瓶與該原物料桶兩端之溫度差，讓二氯矽烷液體以穩定流速自動填充至該鋼瓶內，並於填充至額定重量後關閉該鋼瓶之閥口，將該第二管路內的全部氣體排至洗滌塔形成氣液兩相接觸，並藉由洗滌液吸收有害氣體，確認該第二管路於安全狀態下進行拆管，藉此在有效阻隔外部氣體之條件下，達到安全填充二氯矽烷之功效，進而確保於該鋼瓶內填充高純度二氯矽烷，讓應用於半導體製程時不會產生異常變化。
綜上所述，本發明確實已達突破性之結構設計，而具有改良之發明內容，同時又能夠達到產業上之利用性與進步性，且本發明未見於任何刊物，亦具新穎性，當符合專利法相關法條之規定，爰依法提出發明專利申請，懇請 鈞局審查委員授予合法專利權，至為感禱。
唯以上所述者，僅為本發明之一較佳實施例而已，當不能以之限定本發明實施之範圍；即大凡依本發明申請專利範圍所作之均等變化與修飾，皆應仍屬本發明專利涵蓋之範圍內。
(101)‧‧‧鋼瓶外觀檢查
(102)‧‧‧殘氣重量檢測
(103)‧‧‧殘氣回收配管作業
(104)‧‧‧氣密測試
(105)‧‧‧填充安定氣體
(106)‧‧‧殘氣回收
(107)‧‧‧真空處理
(108)‧‧‧填封鋼瓶
(109)‧‧‧管路後處理
(110)‧‧‧鋼瓶移至待充填區
(201)‧‧‧鋼瓶外觀檢查
(202)‧‧‧鋼瓶重量確認
(203)‧‧‧填充配管作業
(204)‧‧‧氣密測試
(205)‧‧‧真空處理
(206)‧‧‧確認環境溫度
(207)‧‧‧管路冷卻水循環
(208)‧‧‧二氯矽烷填充
(209)‧‧‧管路後處理
(210)‧‧‧鋼瓶移至成品區
(211)‧‧‧成品洩漏測試

Claims (11)

  1. 一種高純度無機化合物二氯矽烷(SiH2Cl2)分裝儲存容器的殘氣回收及填充方法，其方法步驟為：
    A、殘氣回收步驟：回收之鋼瓶進行外觀檢查，確認該鋼瓶之閥口是否清潔與無異常，該鋼瓶秤重得知內部的二氯矽烷殘氣量，再由第一管路連接該鋼瓶之閥口與殘氣回收裝置，於該鋼瓶之閥口關閉狀態下，由該殘氣回收裝置對該第一管路進行氣密測試，確認第一管路與該閥口連接處的完全氣密，再以該殘氣回收裝置對該鋼瓶填充不會與二氯矽烷產生反應之安定氣體，使該鋼瓶內部壓力大於該殘氣回收裝置端壓力，利用壓力差將二氯矽烷殘氣排放至該殘氣回收裝置進行回收，重覆循環填充與排放動作至該鋼瓶完全清除二氯矽烷殘氣後，先抽取該鋼瓶形成真空狀態，再次填充安定氣體至該鋼瓶內而形成正壓狀態後，關閉該鋼瓶之閥口，將該第一管路內的全部氣體排至洗滌塔形成氣液兩相接觸，並藉由洗滌液吸收有害氣體，確認該第一管路於安全狀態下進行拆管，最後將殘氣回收後之該鋼瓶移至待填充區靜置存放；以及
    B、二氯矽烷填充步驟：由待填充區取得該鋼瓶並檢查該閥口是否清潔與無異常，對該鋼瓶秤重得知空瓶重量，再由第二管路連接該鋼瓶之閥口、原物料桶與填充控制裝置，使該鋼瓶與該原物料桶隔離於不同環境空間，該填充控制裝置於該鋼瓶與該原物料桶皆封閉狀態下對該第二管路進行氣密測試，開啟該鋼瓶之閥口抽取安定氣體而形成真空狀態，控制該鋼瓶之環境溫度低於該原物料桶之環境溫度，又該第二管路隔離包覆有冷卻水管路，且該冷卻水管路循環流通有3℃至8℃冷卻水，開啟 該原物料桶利用冷卻水將流至該第二管路之二氯矽烷液化，且透過該鋼瓶與該原物料桶兩端之溫度差，讓二氯矽烷液體以穩定流速自動填充至該鋼瓶內，並於填充至額定重量後關閉該鋼瓶之閥口，將該第二管路內的全部氣體排至洗滌塔形成氣液兩相接觸，並藉由洗滌液吸收有害氣體，確認該第二管路於安全狀態下進行拆管。
  2. 根據申請專利範圍第1項所述之高純度無機化合物二氯矽烷(SiH2Cl2)分裝儲存容器的殘氣回收及填充方法，其中，該安定氣體為氦氣(He)或氮氣(N2)，使用之氮氣(N2)為大於等於4N5純度等級。
  3. 根據申請專利範圍第1項所述之高純度無機化合物二氯矽烷(SiH2Cl2)分裝儲存容器的殘氣回收及填充方法，其中，氣密測試是以0.3Mpa至0.35Mpa內壓力於該第一管路與該第二管路內封閉，並保持2min至5min未產生壓力降下。
  4. 根據申請專利範圍第1項所述之高純度無機化合物二氯矽烷(SiH2Cl2)分裝儲存容器的殘氣回收及填充方法，其中，該鋼瓶內部大於該殘氣回收裝置端之壓力大小為0.2Mpa至0.3Mpa，該鋼瓶填充封閉之正壓值為0.07Mpa至0.15Mpa。
  5. 根據申請專利範圍第1項所述之高純度無機化合物二氯矽烷(SiH2Cl2)分裝儲存容器的殘氣回收及填充方法，其中，該鋼瓶形成真空狀態之內部壓力為-0.1Mpa。
  6. 根據申請專利範圍第1項所述之高純度無機化合物二氯矽烷(SiH2Cl2)分裝儲存容器的殘氣回收及填充方法，其中，該第一管路與第二管路於洗滌有害氣體後進行洩漏測試保持2min至5min，再對該第一管路與第二 管路以安定氣體重覆置換複數次後，以安定氣體填封該第一管路與第二管路。
  7. 根據申請專利範圍第1項所述之高純度無機化合物二氯矽烷(SiH2Cl2)分裝儲存容器的殘氣回收及填充方法，其中，於殘氣回收步驟之該鋼瓶是以倒立方式連接該殘氣回收裝置，且於二氯矽烷填充步驟之該鋼瓶是以正立方式連接該原物料桶。
  8. 根據申請專利範圍第1項所述之高純度無機化合物二氯矽烷(SiH2Cl2)分裝儲存容器的殘氣回收及填充方法，其中，該鋼瓶之環境溫度為8℃至18℃，且該原物料桶之環境溫度為25℃至35℃。
  9. 根據申請專利範圍第1項所述之高純度無機化合物二氯矽烷(SiH2Cl2)分裝儲存容器的殘氣回收及填充方法，其中，殘氣回收步驟於連接該第一管路與二氯矽烷填充步驟於連接該第二管路前，先以接地線連接該鋼瓶，藉此防止靜電引發作業危險。
  10. 根據申請專利範圍第1項所述之高純度無機化合物二氯矽烷(SiH2Cl2)分裝儲存容器的殘氣回收及填充方法，其中，於二氯矽烷填充至該鋼瓶且密封後，以異丙醇(IPA)清潔該鋼瓶之閥口，並於乾燥後將石蕊試紙靜置該閥口確認有無洩漏，二氯矽烷為介於3N5至5N的純度等級。
  11. 根據申請專利範圍第10項所述之高純度無機化合物二氯矽烷(SiH2Cl2)分裝儲存容器的殘氣回收及填充方法，其中，二氯矽烷最佳的純度等級為4N。
TW108144527A 2019-12-05 2019-12-05 高純度無機化合物二氯矽烷（ＳｉＨＣｌ）分裝儲存容器的殘氣回收及填充方法 TW202122345A (zh)

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