TW202101133A - 循環式掃描曝光機 - Google Patents

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張米好
江俊龍
農遠峰
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    • G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
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  • General Physics & Mathematics (AREA)
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Abstract

本發明提供一種循環式掃描曝光機，包括有底座，設置在底座上的曝光台，以及曝光裝置，曝光台上分別設有兩組用於工件供料的左供料機構和右供料機構，曝光裝置支架上設有驅動一排以上的曝光裝置移動的曝光裝置驅動機構；底座上設有驅動曝光裝置支架垂直曝光裝置支架移動的曝光裝置支架驅動機構。左供料機構和右供料機構可以同時把工件托起準備曝光，當左邊的工件曝光完畢，曝光裝置移動到右邊的工件直接進行曝光，同時左邊的供料機構把曝光的工件傳送出料，再把左邊支撐柱組件上未曝光的工件傳送托起準備曝光，依次循環；感測器用於檢測工件是否彎曲，從而剔除不合格的工件；從而曝光效率高，不需要有上料等待時間。

Description

循環式掃描曝光機
本發明涉及一種光學設備領域，尤其涉及一種循環式掃描曝光機。
現有的曝光掃描方式通常是將工件放到曝光台上後，作曝光動作，交換工件方式必須等前一工件移開後,另工件才能移入。
本發明的目的在於解決現有技術的工件曝光設備曝光效率低的問題。
為解決本發明所提出的技術問題採用的技術方案為：本發明的循環式掃描曝光機包括有底座，設置在底座上的曝光台，以及用於工件曝光的曝光裝置，所述的曝光台上分別設有兩組用於工件供料的左供料機構和右供料機構，左供料機構和右供料機構把曝光台分成左曝光區和右曝光區，所述的左供料機構和右供料機構均包括有用於支撐放置工件的由多個相互平行設置的倒U形支撐柱組成的支撐柱組件，以及用於把支撐柱組件上的工件托起傳送的傳送板，傳送板上設有與支撐柱組件配合的頂柱組件，底座上設有驅動頂柱組件上下移動以及沿進出料方向移動的傳送驅動機構，所述的底座上設有橫跨曝光台的曝光裝置支架，一排以上所述的曝光裝置滑動設於曝光裝置支架上，曝光裝置支架上設有驅動一排以上的曝光裝置沿曝光裝置支架移動的曝光裝置驅動機構；所述的底座上設有驅動曝光裝置支架垂直曝光裝置支架移動的曝光裝置支架驅動機構。
對本發明作進一步限定的技術方案包括：
所述的左供料機構和右供料機構上均設有用於檢測工件彎曲的感測器。
所述的感測器設置在頂柱組件上，對應工件的四角下方均設有一個感測器。
所述的感測器設置在支撐柱組件上，對應工件的四角側面均設有一個感測器。
所述的頂柱組件上設有用於把工件吸附在頂柱組件上的吸風口。
所述的傳送驅動機構包括有驅動頂柱組件上下移動的第一驅動氣缸和驅動第一驅動氣缸沿進出料方向移動的第二驅動氣缸，所述的頂柱組件與第一驅動氣缸的活塞桿固定連接。
所述曝光裝置驅動機構為曝光裝置直線電機驅動。
所述曝光裝置支架驅動機構為曝光裝置支架直線電機驅動。
通過上述技術方案，本發明的有益效果為：本發明的循環式掃描曝光機的左供料機構和右供料機構可以同時把工件托起準備曝光，當左邊的工件曝光完畢，曝光裝置移動到右邊的工件直接進行曝光，同時左邊的供料機構把曝光的工件傳送出料，再把左邊支撐柱組件上未曝光的工件傳送托起準備曝光，依次循環；感測器用於檢測工件是否彎曲，從而剔除不合格的工件；從而曝光效率高，不需要有上料等待時間。
以下結合附圖對本發明的結構做進一步說明。
參照圖1至圖5，一種循環式掃描曝光機包括有底座1，設置在底座1上的曝光台2，以及用於工件8曝光的曝光裝置3，曝光台2上分別設有兩組用於工件8供料的左供料機構4和右供料機構5，左供料機構4和右供料機構5把曝光台2分成左曝光區和右曝光區，左供料機構4和右供料機構5均包括有用於支撐放置工件的由多個相互平行設置的倒U形支撐柱組成的支撐柱組件41，以及用於把支撐柱組件41上的工件8托起傳送的傳送板42，傳送板42上設有與支撐柱組件41配合的頂柱組件421，底座1上設有驅動頂柱組件421上下移動以及沿進出料方向移動的傳送驅動機構。本實施例中，頂柱組件421上設有用於把工件8吸附在頂柱組件421上的吸風口。吸風口能夠把工件8吸附在頂柱組件421上，防止工件8晃動錯位。傳送驅動機構包括有驅動頂柱組件421上下移動的第一驅動氣缸和驅動第一驅動氣缸沿進出料方向移動的第二驅動氣缸。頂柱組件421與第一驅動氣缸的活塞桿固定連接。曝光時，第一驅動氣缸驅動頂柱組件421向上移動伸出支撐柱組件41，把工件8頂起準備曝光。工件8進料出料時，第二驅動氣缸驅動第一驅動氣缸沿進出料方向移動對工件8進行傳送。
底座1上設有橫跨曝光台2的曝光裝置支架6，一排以上的曝光裝置滑動設於曝光裝置支架6上，曝光裝置支架6上設有驅動一排以上的曝光裝置沿曝光裝置支架6移動的曝光裝置驅動機構；本實施例中，曝光裝置設有兩排。具體實施時，根據需要曝光裝置可以設置一排以上。本實施例中，曝光裝置驅動機構為曝光裝置直線電機驅動。曝光裝置驅動機構驅動兩排曝光裝置沿曝光裝置支架6移動，從一邊的曝光區移動到另外一邊的曝光區進行曝光。底座1上設有驅動曝光裝置支架6垂直曝光裝置支架6移動的曝光裝置支架驅動機構。本實施例中，曝光裝置支架驅動機構為曝光裝置支架直線電機驅動。曝光裝置支架驅動機構驅動曝光裝置支架6垂直曝光裝置支架6，從而可以依次把一邊曝光區的工件8曝光，從而提高曝光效率。
本實施例中，左供料機構4和右供料機構5上均設有用於檢測工件8彎曲的感測器7。本實施例中，感測器7設置在頂柱組件421上，對應工件8的四角下方均設有一個感測器7。用於檢測頂柱組件421到工件8的距離來判斷工件8是否彎曲，感測器7把檢測的資料回饋給系統，系統判斷實際值是否超過設計值，超出則發出警報，從而剔除不合格的工件，提高曝光品質。具體實施時，感測器7設置在支撐柱組件41上，對應工件8的四角側面均設有一個感測器7。根據工件8板厚來檢測工件8是否彎曲。
本發明的循環式掃描曝光機的左供料機構4和右供料機構5可以同時把工件8托起準備曝光，當左邊的工件8曝光完畢，曝光裝置移動到右邊的工件8直接進行曝光，同時左邊的供料機構4把曝光的工件8傳送出料，再把左邊支撐柱組件41上未曝光的工件8傳送托起準備曝光，依次循環；感測器7用於檢測工件8是否彎曲，從而剔除不合格的工件8；從而曝光效率高，不需要有上料等待時間。
雖然結合附圖對本發明的具體實施方式進行了詳細地描述，但不應理解為對本發明的保護範圍的限定。在權利要求書所描述的範圍內，本領域技術人員不經創造性勞動即可做出的各種修改和變形仍屬於本發明的保護範圍。
1:底座
2:曝光台
3:曝光裝置
4:左供料機構
41:支撐柱組件
42:傳送板
421:頂柱組件
5:右供料機構
6:曝光裝置支架
7:感測器
8:工件
圖1為本發明循環式掃描曝光機的立體結構示意圖。
圖2為本發明循環式掃描曝光機的立體結構示意圖。
圖3為本發明循環式掃描曝光機的感測器位於工件四角下方時的結構示意圖。
圖4為本發明循環式掃描曝光機的感測器位於工件四角側面時的結構示意圖。
圖5為本發明循環式掃描曝光機的感測器位於工件四角側面時的結構示意圖。
1:底座
2:曝光台
3:曝光裝置
4:左供料機構
6:曝光裝置支架
8:工件

Claims (8)

  1. 一種循環式掃描曝光機，包括有底座，設置在底座上的曝光台，以及用於工件曝光的曝光裝置，其中所述的曝光台上分別設有兩組用於工件供料的左供料機構和右供料機構，左供料機構和右供料機構把曝光台分成左曝光區和右曝光區，所述的左供料機構和右供料機構均包括有用於支撐放置工件的由多個相互平行設置的倒U形支撐柱組成的支撐柱組件，以及用於把支撐柱組件上的工件托起傳送的傳送板，傳送板上設有與支撐柱組件配合的頂柱組件，底座上設有驅動頂柱組件上下移動以及沿進出料方向移動的傳送驅動機構，所述的底座上設有橫跨曝光台的曝光裝置支架，一排以上所述的曝光裝置滑動設於曝光裝置支架上，曝光裝置支架上設有驅動一排以上的曝光裝置沿曝光裝置支架移動的曝光裝置驅動機構；所述的底座上設有驅動曝光裝置支架垂直曝光裝置支架移動的曝光裝置支架驅動機構。
  2. 如請求項1所述之循環式掃描曝光機，其中所述的左供料機構和右供料機構上均設有用於檢測工件彎曲的感測器。
  3. 如請求項2所述之循環式掃描曝光機，其中所述的感測器設置在頂柱組件上，對應工件的四角下方均設有一個感測器。
  4. 如請求項2所述之循環式掃描曝光機，其中所述的感測器設置在支撐柱組件上，對應工件的四角側面均設有一個感測器。
  5. 如請求項1所述之循環式掃描曝光機，其中所述的頂柱組件上設有用於把工件吸附在頂柱組件上的吸風口。
  6. 如請求項1所述之循環式掃描曝光機，其中所述的傳送驅動機構包括有驅動頂柱組件上下移動的第一驅動氣缸和驅動第一驅動氣缸沿進出料方向移動的第二驅動氣缸，所述的頂柱組件與第一驅動氣缸的活塞桿固定連接。
  7. 如請求項1所述之循環式掃描曝光機，其中所述曝光裝置驅動機構為曝光裝置直線電機驅動。
  8. 如請求項1所述之循環式掃描曝光機，其中所述曝光裝置支架驅動機構為曝光裝置支架直線電機驅動。
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