KR200169722Y1 - 반도체 노광장치의 웨이퍼 척 - Google Patents

Abstract

본 고안은 반도체 노광장치의 웨이퍼 척에 관한 것으로, 종래에는 버큠 핀의 상면에 이물질이 존재하면 웨이퍼의 평탄도가 맞지 않아 노광시 초점 불일치 현상이 발생되고, 이와 같은 초점 불일치 현상이 발생되면 후공정에서 패턴형성시 불량이 발생되는 문제점이 있었다. 본 고안 반도체 노광장치의 웨이퍼 척은 몸체(13)의 상부에 웨이퍼(11)를 부상시킨 상태에서 노광을 실시할 수 있도록 함으로서, 평탄도 불량에 의한 초점 불일치 현상이 방지되고, 따라서 후공정인 패턴공정에서 불량이 발생되는 것을 방지하게 되는 효과가 있다.

Description

반도체 노광장치의 웨이퍼 척

본 고안은 반도체 노광장치의 웨이퍼 척에 관한 것으로, 특히 웨이퍼의 뒷면에 존재하는 이물질로 인하여 노광시 초점 불일치 현상이 발생하는 것을 방지하도록 하는데 적합한 반도체 노광장치의 웨이퍼 척에 관한 것이다.

도 1은 종래 노광장치의 스테이지에 웨이퍼 척이 설치된 상태를 보인 사시도이고, 도 2는 종래 웨이퍼 척의 구성을 보인 단면도로서, 도시된 바와 같이, X,Y방향으로 이동가능하도록 스테이지(1)가 설치되어 있고, 그 스테이지(1)의 상면에 웨이퍼 척(2)이 설치되어 있어서, 스테이지(1)의 이동에 따라 웨이퍼 척(2)이 이동되도록 되어 있다.

그리고, 상기 웨이퍼 척(2)의 상면에는 진공을 발생시킬 수 있는 복수개의 버큠 핀(3)이 설치되어 있어서, 웨이퍼(4)를 진공으로 흡착고정할 수 있도록 되어 있다.

상기와 같이 구성되어 있는 종래 반도체 노광장치의 웨이퍼 척은 상면에 웨이퍼(4)를 얹어 놓고, 버큠 핀(3)에 진공을 발생시켜서 버큠 핀(3)들의 상면에 웨이퍼(14)가 흡착고정되도록 한다.

상기와 같은 상태에서 스테이지(1)를 X,Y방향으로 이동하며 노광을 진행하게 된다.

그러나, 상기와 같은 종래 반도체 노광장치의 웨이퍼 척은 버큠 핀(3)의 상면에 이물질이 존재하면 웨이퍼(4)의 평탄도가 맞지 않아 노광시 초점 불일치 현상이 발생되고, 이와 같은 초점 불일치 현상이 발생되면 후공정에서 패턴형성불량이 발생되는 문제점이 있었다.

상기와 같은 문제점을 감안하여 안출한 본 고안의 목적은 노광시 이물질에 의한 초점 불일치 현상이 발생되는 것을 방지하도록 하는데 적합한 반도체 노광장치의 웨이퍼 척을 제공함에 있다.

도 1은 종래 노광장치의 스테이지에 웨이퍼 척이 설치된 상태를 보인 사시도.

도 2는 종래 웨이퍼 척의 구성을 보인 단면도.

도 3은 본 고안 반도체 노광장치의 웨이퍼 척의 구성을 보인 사시도.

도 4는 도 3의 A-A'를 절단하여 보인 단면도.

* * 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 * *

11 : 웨이퍼 12 : 에어홀

13 : 몸체 13a: 이동공

20 : 지지수단 21 : 측면지지대

22 : 상면지지돌기 30 : 전,후이동수단

31 : 리드스크류 31a,31b: 암,수나사부

32 : 스텝 모터

상기와 같은 본 고안의 목적을 달성하기 위하여 몸체의 상면에 웨이퍼를 부상시키기 위한 복수개의 에어홀을 형성하고, 상기 몸체의 상부에 부상된 웨이퍼를 지지하기 위한 수개의 지지수단를 설치하며, 상기 몸체의 하부에 상기 지지수단을 전,후이동시키기 위한 전,후이동수단을 설치하여서 구성되는 것을 특징으로 하는 반도체 노광장치의 웨이퍼 척이 제공된다.

이하, 상기와 같이 구성되는 본 고안 반도체 노광장치의 웨이퍼 척을 첨부된 도면의 실시예를 참고하여 보다 상세히 설명하면 다음과 같다.

도 3은 본 고안 반도체 노광장치의 웨이퍼 척의 구성을 보인 사시도이고, 도 4는 도 3의 A-A'를 절단하여 보인 단면도이다.

도시된 바와 같이, 상면에 웨이퍼(11)를 부상시키기 위한 복수개의 에어홀(12)이 형성되어 있는 몸체(13)와, 그 몸체(13)의 상면 4방향에 형성된 이동공(13a)에 각각 하단부가 삽입되어 전,후진가능토록 설치되는 4개의 지지수단(20)과, 상기 몸체(13)의 하부에 설치되며 상기 4개의 지지수단(20)을 전,후진시키기 위한 전,후이동수단(30)으로 구성되어 있다.

상기 지지수단(20)은 몸체(13)에 형성된 이동공(13a)에 하단부가 삽입되어 전,후이동하며 웨이퍼(11)의 측면을 지지하기 위한 측면지지대(21)와, 그 측면지지대(21)의 상단부에 내측방향으로 형성되며 웨이퍼(11)의 상면을 지지하기 위한 상면지지돌기(22)로 구성되어 있다.

상기 전,후이동수단(30)은 상기 대각선방향의 측면지지대(21)의 하단부에 나사결합되며 양측으로 암,수나사부(31a)(31b)가 형성된 2개의 리드스크류(31)와, 그 리드스크류(31)의 후단부에 각각 연결설치되는 스텝 모터(32)로 구성되어 있다.

상기 2개의 리드스크류(31)는 높이가 다르게 설치하여 동작에 장애가 되지 않도록 하는 것이 바람직하다.

상기와 같이 구성되어 있는 본 고안 반도체 노광장치의 웨이퍼 척의 동작을 설명하면 다음과 같다.

먼저, 노광하고자 하는 웨이퍼(11)를 몸체(13)의 상면에 얹어 놓는다. 그런 다음, 몸체(13)에 형성되어 있는 복수개의 에어홀(12)를 통하여 에어를 공급하여 웨이퍼(11)가 일정높이로 부상되도록 한다.

상기와 같은 상태에서 전,후이동수단(30)의 스텝 모터(32)가 정회전을 하면 그 스텝 모터(32)에 연결설치된 리드스크류(31)가 정회전을 하고, 그 리드스크류(31)의 암,수나사부(31a)(31b)에 하단부가 나사결합된 4개의 측면지지대(21)가 동시에 전진하여 웨이퍼(11)의 측면을 지지하게 되며, 이와 같은 상태에서 에어홀(12)를 통하여 에어를 좀더 많이 공급하면 웨이퍼(11)가 좀더 부상하면서 상기 상면지지돌기(22)에 의해 상면의 가장자리가 지지된다.

상기와 같은 상태는 웨이퍼(11)의 평탄도가 일정하게 유지되는 상태이므로 노광을 실시하게 된다.

상기와 같이 노광작업을 실시한 다음, 에어홀(12)을 통하여 공급되는 에어를 차단하고, 스텝 모터(32)를 역회전시키면 그 스텝 모터(32)에 연결설치되어 있는 리드스크류(31)가 역회전을 하고, 그 리드스크류(31)의 암,수나사부(31a)(31b)에 나사결합된 4개의 측면지지대(21)가 후진하여 이동공(13a)의 후단부에 위치한다.

상기와 같은 상태에서 노광된 웨이퍼(11)를 언로딩하여 카세트에 수납한 후, 차기공정으로 이동하게 된다.

이상에서 상세히 설명한 바와 같이, 본 고안 반도체 노광장치의 웨이퍼 척은 몸체의 상부에 웨이퍼를 부상시킨 상태에서 노광을 실시할 수 있도록 함으로서, 평탄도불량에 의한 초점 불일치 현상이 방지되고, 따라서 후공정인 패턴공정에서 불량이 발생되는 것을 방지하게 되는 효과가 있다.

Claims (3)

1. 몸체의 상면에 웨이퍼를 부상시키기 위한 복수개의 에어홀을 형성하고, 상기 몸체의 상부에 부상된 웨이퍼를 지지하기 위한 수개의 지지수단을 설치하며, 상기 몸체의 하부에 상기 지지수단을 전,후이동시키기 위한 전,후이동수단을 설치하여서 구성되는 것을 특징으로 하는 반도체 노광장치의 웨이퍼 척.
2. 제 1항에 있어서, 상기 지지수단은 몸체에 형성된 이동공에 하단부가 삽입되어 전,후이동하며 웨이퍼의 측면을 지지하기 위한 측면지지대와, 그 측면지지대의 상단부에 내측방향으로 형성되며 웨이퍼의 상면을 지지하기 위한 상면지지돌기로 구성되는 것을 특징으로 하는 반도체 노광장치의 웨이퍼 척.
3. 제 1항에 있어서, 상기 전,후이동수단은 상기 대각선방향의 측면지지대의 하단부에 나사결합되며 양측으로 암,수나사부가 형성된 2개의 리드스크류와, 그 리드스크류의 후단부에 각각 연결설치되는 스텝 모터로 구성되는 것을 특징으로 하는 반도체 노광장치의 웨이퍼 척.