KR19990023696U - 반도체 노광장비의 웨이퍼 척 - Google Patents

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Abstract

본 고안은 반도체 노광장비의 웨이퍼 척에 관한 것으로, 종래에는 안착핀이 위치된 부분의 웨이퍼 상면이 안착핀에서 발생되는 진공력에 의하여 휨이 발생되어 로칼디포커스가 발생되는 문제점이 있었다. 본 고안의 반도체 노광장비의 웨이퍼 척은 안착핀(17)의 가장자리에 형성되어 있는 내측 가드링(18)의 높이를 지지핀(13)의 높이보다 낮게 형성하여, 지지핀(13)의 상면에 웨이퍼(12)의 고정시에 몸체(11)의 상면 가장자리에 형성된 외측 가드링(15)에 의하여 버큠력이 유지되도록 함으로서, 종래와 같이 안착부가 위치한 부분의 웨이퍼 상면이 진공력에 의하여 부분적인 휨이 발생되는 것을 방지하게 되고, 따라서 노광작업시 로칼 디포커스의 발생을 방지하게 되는 효과가 있다.

Description

반도체 노광장비의 웨이퍼 척
본 고안은 반도체 노광장비의 웨이퍼 척에 관한 것으로, 특히 노광시 로칼 디포커스를 방지하도록 하는데 적합한 반도체 노광장비의 웨이퍼 척에 관한 것이다.
일반적으로 반도체 웨이퍼 제조공정 중 웨이퍼에 회로를 이식하는 노광공정에서는 웨이퍼 척의 상면에 웨이퍼를 얹어 놓은 상태에서 X,Y 방향으로 움직이며 1샷씩 노광작업을 실시하게 되는데, 이와 같은 노광작업시 웨이퍼를 고정시키기 위한 웨이퍼 척이 도 1에 도시되어 있는 바, 이를 간단히 설명하면 다음과 같다.
도 1은 종래의 반도체 노광장비의 웨이퍼 척을 보인 평면도이고, 도 2는 도 1의 A-A'를 절취하여 보인 단면도로서, 도시된 바와 같이, 종래 반도체 노광장비의 웨이퍼 척은 몸체(1)의 상면에 웨이퍼(2)를 지지하기 위한 다수개의 지지핀(3)이 일정 높이로 돌출형성되어 있고, 지지핀(3)들의 사이에는 웨이퍼(2)를 고정시키기 위한 다수개의 버큠홀(4)이 형성되어 있으며, 가장자리에서 지지핀(3)과 동일높이의 외측 가드링(5)이 형성되어 있고, 3곳에 타원형의 관통공(6)이 형성되어 있다.
그리고, 상기 관통공(6)의 내측에는 각각 상면에 버큠홀(7a)이 형성된 안착핀(7)이 설치되어 있으며, 상기 관통공(6)의 가장자리에는 각각 내측 가드링(8)이 상기 지지핀(3)과 동일 높이로 형성되어 있다.
상기와 같이 구성되어 있는 종래 반도체 노광장비의 웨이퍼 척은 노광하고자 하는 웨이퍼(2)가 이동되어 웨이퍼 척(9)의 상부에 위치되면 몸체(1)가 하강하여 3곳의 관통공(6) 내측에 설치되어 있는 안착핀(7)들이 몸체(1)의 상부로 돌출되도록 한다.
그런 다음, 웨이퍼(2)를 3개의 안착핀(7) 상면에 얹어 놓고, 버큠홀(7a)에 진공을 작동시켜서 고정시키고, 다시 몸체(1)를 상승시켜서 지지핀(3)들의 상면에 웨이퍼(2)가 얹혀지도록 한 다음, 몸체(1)의 상면에 형성된 버큠홀(4)을 이용하여 웨이퍼(2)를 고정시킨다. 그리고, 상기 버큠홀(4)의 진공상태는 상기 외측 가드링(5)에 의하여 유도되며, 안착핀(7)의 진공상태는 내측 가드링(8)에 의하여 유지된다.
그러나, 상기와 같이 구성되어 있는 종래 반도체 노광장비의 웨이퍼 척(9)은 노광시 안착핀(7)이 위치된 부분의 웨이퍼(2) 상면이 안착핀(7)에서 발생되는 진공력에 의하여 부분적으로 다른면 보다 움푹 들어간 평탄도 차이가 발생되어 로칼 디포커스가 발생되는 문제점이 있었다.
상기와 같은 문제점을 감안하여 안출한 본 고안의 목적은 노광시 로칼 디포커스가 발생되는 것을 방지하도록 하는데 적합한 반도체 노광장비의 웨이퍼 척을 제공함에 있다.
도 1은 종래 반도체 노광장비의 웨이퍼 척을 보인 평면도.
도 2는 도 1의 A-A'를 절취하여 보인 단면도.
도 3은 본 고안 반도체 노광장비의 웨이퍼 척을 보인 평면도.
도 4는 도 3의 B-B'를 절취하여 보인 단면도.
* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명
11 : 몸체13 : 지지핀
14 : 버큠홀16 : 관통공
17 : 안착핀18 : 내측 가드링
상기와 같은 본 고안의 목적을 달성하기 위하여 몸체의 상면에 다수개의 지지핀이 설치되어 있고, 그 지지핀들의 주변에 수개의 관통공이 형성되어 있으며, 그 관통공의 내측에 버큠홀이 형성된 안착핀이 설치되어 있으며, 상기 관통공의 가장자리에 내측 가드링이 형성되어 있는 반도체 노광장비의 웨이퍼 척에 있어서, 상기 내측 가드링의 높이를 상기 지지핀들의 높이보다 낮게 형성하여서 구성되는 것을 특징으로 하는 반도체 노광장비의 웨이퍼 척이 제공된다.
이하, 상기와 같이 구성되는 본 고안 반도체 노광장비의 웨이퍼 척을 첨부된 도면의 실시예를 참고하여 보다 상세히 설명하면 다음과 같다.
도 3은 본 고안 반도체 노광장비의 웨이퍼 척을 보인 평면도이고, 도 4는 도 3의 B-B'를 절취하여 보인 단면도로서, 도시된 바와 같이, 본 고안 반도체 노광장비의 웨이퍼 척은 몸체(11)의 상면에 웨이퍼(12)를 지지하기 위한 다수개의 지지핀(13)이 일정 높이로 돌출형성되어 있고, 그 지지핀(13)들의 주변에는 웨이퍼(12)를 고정시키기 위한 다수개의 버큠홀(14)이 형성되어 있으며, 몸체(11)의 가장자리에는 지지핀(13)과 동일높이의 외측 가드링(15)이 형성되어 있고, 상기 버큠홀(14)의 주변 3곳에 타원형의 관통공(16)이 형성되어 있으며, 그 관통공(16)의 내측에는 각각 상면에 버큠홀(17a)이 형성된 안착핀(17)이 설치되어 있고, 상기 관통공(6)의 가장자리에는 각각 내측 가드링(18)이 일정 높이로 형성되어 있다.
그리고, 상기 내측 가드링(18)은 상기 지지핀(13)들의 높이 보다 0.2~0.5㎛ 낮게 형성되어, 지지핀(13)들의 상면에 웨이퍼(12)를 흡착할 때, 내측 가드링(18)의 내측 부분에 별도의 부분적인 진공상태가 유지되지 않고, 외측 가드링(15)에 의하여 외부공기의 유입이 차단되는 상태에서 몸체(11)의 상부에 균일한 진공력이 작용할 수 있도록 구성되어 있다.
상기와 같이 구성되어 있는 본 고안 반도체 노광장비의 웨이퍼 척 웨이퍼가 고정되는 동작은 종래와 유사하다.
즉, 노광하고자 하는 웨이퍼(12)가 이동되어 웨이퍼 척(19)의 상부에 위치되면 몸체(11)가 하강하여 3곳 관통공(16) 내측에 설치되어 있는 안착핀(17)들이 몸체(11)의 상부로 돌출되도록 하고, 웨이퍼(12)를 3개의 안착핀(17) 상면에 얹어 놓은 다음 버큠홀(17a)에 진공을 작동시켜서 고정시킨다. 그런 다음, 몸체(11)를 상승시켜서 지지핀(13)들의 상면에 웨이퍼(12)가 얹혀지도록 하고, 몸체(11)의 상면에 형성된 버큠홀(14)을 이용하여 웨이퍼(12)를 고정시키며, 그 버큠홀(14) 및 안착핀(7)에 의하여 웨이퍼(12)에 전달되는 버큠력은 외측 가드링(15)에 의하여 균일하게 유지된다.
이상에서 상세히 설명한 바와 같이, 본 고안 반도체 노광장비의 웨이퍼 척은 안착핀의 가장자리에 형성되어 있는 내측 가드링의 높이를 지지핀의 높이보다 낮게 형성하여, 지지핀의 상면에 웨이퍼의 고정시에 몸체의 상면 가장자리에 형성된 외측 가드링에 의하여 버큠력이 유지되도록 함으로서, 종래와 같이 안착부가 위치한 부분의 웨이퍼 상면이 진공력에 의하여 부분적인 휨이 발생되는 것을 방지하게 되고, 따라서 노광작업시 로칼 디포커스의 발생을 방지하게 되는 효과가 있다.

Claims (2)

  1. 몸체의 상면에 다수개의 지지핀이 설치되어 있고, 그 지지핀들의 주변에 수개의 관통공이 형성되어 있으며, 그 관통공의 내측에 버큠홀이 형성된 안착핀이 설치되어 있으며, 상기 관통공의 가장자리에 내측 가드링이 형성되어 있는 반도체 노광장비의 웨이퍼 척에 있어서, 상기 내측 가드링의 높이를 상기 지지핀들의 높이보다 낮게 형성하여서 구성되는 것을 특징으로 하는 반도체 노광장비의 웨이퍼 척.
  2. 제 1 항에 있어서, 상기 내측 가드링의 높이는 지지핀들의 높이 보다 0.2~0.5㎛ 낮게 형성되는 것을 특징으로 하는 반도체 노광장비의 웨이퍼 척.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100528265B1 (ko) * 1998-03-31 2005-11-15 에이에스엠엘 네델란즈 비.브이. 개선된 기판홀더를 갖는 리소그래피 투영장치
KR100819369B1 (ko) * 2001-12-31 2008-04-04 엘지.필립스 엘시디 주식회사 노광용 척

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Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100528265B1 (ko) * 1998-03-31 2005-11-15 에이에스엠엘 네델란즈 비.브이. 개선된 기판홀더를 갖는 리소그래피 투영장치
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