KR20070118452A

KR20070118452A - 웨이퍼 척 어셈블리 및 리프트 핀의 정렬 방법

Info

Publication number: KR20070118452A
Application number: KR1020060052617A
Authority: KR
Inventors: 김태균
Original assignee: 삼성전자주식회사
Priority date: 2006-06-12
Filing date: 2006-06-12
Publication date: 2007-12-17

Abstract

본 발명은 웨이퍼 척 어셈블리 및 리프트 핀의 정렬 방법에 관한 것으로, 웨이퍼가 놓여지는 장소를 제공하는 웨이퍼 척과, 상기 웨이퍼 척의 상하면을 관통하는 복수개의 홀과, 상기 복수개의 홀의 안내에 의해 승강하면서 상기 웨이퍼를 지지하는 복수개의 리프트 핀이 조합되는 리프트 장치와, 상기 복수개의 홀 중에서 적어도 어느 하나에 관통 삽입되어 상기 복수개의 홀의 위치를 상기 복수개의 리프트 핀의 위치에 정렬시키는 정렬핀을 포함하는 것을 특징으로 한다. 이에 의하면, 리프트 핀과 리프트 핀 홀과의 정렬불량에 따른 물리적 간섭은 물론 정렬불량에 의해 야기되는 공정불량을 미연에 방지할 수 있는 효과가 있다.

반도체, 웨이퍼 척, 리프트 핀, 리프트 핀 홀

Description

웨이퍼 척 어셈블리 및 리프트 핀의 정렬 방법{WAFER CHUCK ASSEMBLY AND ALLIGN METHOD OF LIFT PIN}

도 1은 본 발명의 실시예에 따른 웨이퍼 척 어셈블리를 도시한 것으로서 정렬핀을 이용한 리프트 장치와 웨이퍼 척과의 정렬 동작을 도시한 단면도.

도 2는 본 발명의 실시예에 따른 웨이퍼 척 어셈블리를 도시한 것으로서 리프트 핀과 리프트 핀 홀과의 정렬을 도시한 단면도.

< 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 >

100; 웨이퍼 척 어셈블리 110; 웨이퍼 척

112A,112B; 리프트 핀 홀 120; 리프트 장치

122A,122B; 리프트 핀 130A,130B; 정렬핀

본 발명은 반도체 제조 장치에 관한 것으로, 보다 구체적으로는 리프트 핀을 구비한 웨이퍼 척 어셈블리 및 리프트 핀의 정렬 방법에 관한 것이다.

반도체 제조 설비의 웨이퍼 척 어셈블리에는 웨이퍼 척(플래튼)으로 이송된 웨이퍼를 떠받쳐 웨이퍼 척으로 내려놓거나 또는 웨이퍼 척에 로딩된 웨이퍼를 들 어올리는 리프트 핀이 구비되는 것이 통상적이다. 그런데, 웨이퍼 척 어셈블리를 조립 내지는 셋팅하는 과정에 있어서 기준점이 없는 상태에서 육안에 의존하여 웨이퍼 척 어셈블리를 셋팅하게 된다. 육안에 의존하여 웨이퍼 척 어셈블리를 셋팅하는 경우, 웨이퍼 척(플래튼)과 리프트 장치와의 정렬이 틀어지는 현상이 빈번해진다.

웨이퍼 척과 리프트 장치와의 정렬이 틀어지게 되면 리프트 핀 홀과 리프트 핀과의 정렬 또한 틀어지게 된다. 이러한 정렬 불량 상태에서 리프트 핀의 승강 동작시 리프트 핀 홀과 리프트 핀과의 물리적 간섭이 일어나 소음이 발생하거나 리프트 핀 홀 내부가 손상되게 된다. 더 나아가 웨이퍼 이송로봇이 웨이퍼 척에 웨이퍼를 올려놓을 경우 웨이퍼가 센터에 위치하지 않고 센터로부터 치우쳐 위치하게 되므로 정렬 불량이 발생하며, 정렬 불량이 발생한 상태에서 공정을 진행하게 되면 공정 불량을 유도하는 문제점이 있다.

본 발명은 상술한 종래 기술상의 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로, 본 발명의 목적은 리프트 핀 홀과 리프트 핀과의 정렬을 담보할 수 있는 웨이퍼 척 어셈블리 및 리프트 핀의 정렬 방법을 제공함에 있다.

상기 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 웨이퍼 척 어셈블리 및 리프트 핀의 정렬 방법은 정렬핀으로써 리프트 장치와 웨이퍼 척을 정렬시킴으로써 리프트 핀과 리프트 핀 홀을 정렬시키는 것을 특징으로 한다.

상기 특징을 구현할 수 있는 본 발명의 실시예에 따른 웨이퍼 척 어셈블리는, 웨이퍼가 놓여지는 장소를 제공하는 웨이퍼 척과; 상기 웨이퍼 척의 상하면을 관통하는 복수개의 홀과; 상기 복수개의 홀의 안내에 의해 승강하면서 상기 웨이퍼를 지지하는 복수개의 리프트 핀이 조합되는 리프트 장치와; 상기 복수개의 홀 중에서 적어도 어느 하나에 관통 삽입되어 상기 복수개의 홀의 위치를 상기 복수개의 리프트 핀의 위치에 정렬시키는 정렬핀을 포함하는 것을 특징으로 한다.

본 실시예의 웨이퍼 척 어셈블리에 있어서, 상기 정렬핀은 상기 리프트 장치에 착탈 가능하다. 상기 정렬핀은 상기 복수개의 홀 각각에 삽입되는 복수개의 정렬핀을 포함한다.

상기 특징을 구현할 수 있는 본 발명의 실시예에 따른 리프트 핀의 정렬 방법은, 복수개의 홀이 형성된 웨이퍼 척과, 상기 복수개의 홀을 관통하여 승강하는 복수개의 리프트 핀이 조합되는 리프트 장치를 제공하는 단계와; 상기 복수개의 홀에 정렬핀을 삽입하여 상기 웨이퍼 척과 상기 리프트 장치를 정렬시키는 단계와; 상기 정렬핀을 제거하고 상기 리프트 장치에 상기 복수개의 리프트 핀을 조합시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.

본 실시예의 리프트 핀의 정렬 방법에 있어서, 상기 복수개의 홀에 정렬핀을 삽입하여 상기 웨이퍼 척과 상기 리프트 장치를 정렬시키는 단계는, 상기 정렬핀을 상기 복수개의 홀의 위치와 상기 복수개의 리프트의 위치를 정렬시키는 정렬선에 위치시키는 것을 특징으로 한다.

본 실시예의 리프트 핀의 정렬 방법에 있어서, 상기 복수개의 홀에 정렬핀을 삽입하여 상기 웨이퍼 척과 상기 리프트 장치를 정렬시키는 단계는, 상기 정렬핀은 상기 복수개의 홀 각각에 삽입되는 복수개의 정렬핀이고, 상기 복수개의 홀 중 제1 홀에 상기 복수개의 정렬핀 중 제1 정렬핀을 삽입하여 상기 복수개의 리프트 핀 중 제1 리프트 핀의 위치를 정렬시키는 제1 정렬선에 위치시키고, 상기 복수개의 홀 중 제2 홀에 상기 복수개의 정렬핀 중 제2 정렬핀을 삽입하여 상기 복수개의 리프트 핀 중 제2 리프트 핀의 위치를 정렬시키는 제2 정렬선에 위치시키는 것을 특징으로 한다.

본 발명에 의하면, 리프트 핀 홀과 리프트 핀과의 정렬을 육안에 의존하지 아니하고 정렬핀을 이용함으로써 정렬오차는 물론 정렬불량을 원천적으로 막을 수 있게 된다.

이하, 본 발명에 따른 웨이퍼 척 어셈블리 및 리프트 핀의 정렬 방법을 첨부한 도면을 참조하여 상세히 설명한다.

본 발명과 종래 기술과 비교한 이점은 첨부된 도면을 참조한 상세한 설명과 특허청구범위를 통하여 명백하게 될 것이다. 특히, 본 발명은 특허청구범위에서 잘 지적되고 명백하게 청구된다. 그러나, 본 발명은 첨부된 도면과 관련해서 다음의 상세한 설명을 참조함으로써 가장 잘 이해될 수 있다. 도면에 있어서 동일한 참조부호는 다양한 도면을 통해서 동일한 구성요소를 나타낸다.

(실시예)

도 1은 본 발명의 실시예에 따른 웨이퍼 척 어셈블리를 도시한 것으로서 정 렬핀을 이용한 리프트 장치와 웨이퍼 척과의 정렬 동작을 도시한 단면도이고, 도 2는 본 발명의 실시예에 따른 웨이퍼 척 어셈블리를 도시한 것으로서 리프트 핀과 리프트 핀 홀과의 정렬을 도시한 단면도이다.

도 1을 참조하면, 웨이퍼 척 어셈블리(100)는 웨이퍼가 놓여지는 웨이퍼 척(110)을 구비한다. 웨이퍼 척(110)은 반도체 제조 설비, 예를 들어, 플라즈마를 이용하여 포토레지스트 제거 프로세스를 진행하는 애싱(Ashing) 설비에서 고주파 파워(RF Power)가 인가되는 플래튼(Platen)을 비롯한 웨이퍼를 장착하는 척이다.

웨이퍼 척(110)에는 웨이퍼 척(110)의 상면(110A)과 하면(110B)을 수직 관통하는 홀(112A,112B)이 복수개 형성되어 있다. 이 홀(112A,112B)은 리프트 장치(120)에 조합되는 후술하는 리프트 핀(도 2의 112A,112B 참조)과 정렬되어야 하는 리프트 핀 홀이다. 리프트 핀 홀(112A)은 정렬선(A-A)에 위치되어야 하고, 리프트 핀 홀(112B)은 정렬선(B-B)에 위치되어야 한다. 정렬선(A-A)은 리프트 핀 홀(112A)과 후술하는 리프트 핀(122A)과의 정렬선이고, 정렬선(B-B)은 리프트 핀 홀(112B)과 후술하는 리프트 핀(122B)과의 정렬선이다.

리프트 핀 홀(112A)의 정렬선(A-A)에의 위치는 정렬핀(130A)을 이용한다. 정렬핀(130A)을 리프트 핀 홀(112A)에 삽입하고, 정렬핀(130A)을 정렬선(A-A)에 위치시킨다. 정렬핀(130A)이 정렬선(A-A)에 정확히 위치하게 되면, 리프트 핀 홀(122A) 역시 정렬선(A-A)에 정확히 위치하게 된다. 동일하게, 리프트 핀 홀(112A)은 정렬피(130B)을 이용하여 정렬선(B-B)에 오도록 한다. 상술한 과정을 통해, 리프트 핀 홀(112A,112B)이 정렬선(A-A,B-B)에 각각 정확히 위치되도록 한 후, 정렬 핀(130A,130B)을 제거한다. 본 실시예에선 복수개의 정렬핀(130A,130B)을 개시하였지만, 정렬핀(130A,130B)의 수는 임의적이다. 정렬핀(130A,130B)은 리프트 장치(120)에 착탈 가능하게 설계된다.

도 2를 참조하면, 리프트 핀(122A,122B)을 정렬선(A-A,B-B)에 각각 위치하도록 리프트 장치(120)에 조합시킨다. 앞서의 과정에 의해 리프트 핀(122A,122B)과 리프트 핀 홀(112A,112B)과의 정렬은 구현되어 있기 때문에, 웨이퍼(W)의 로딩 및 언로딩을 위한 리프트 장치(120)의 승강 동작시 리프트 핀(122A,122B)과 리프트 핀 홀(112A,112B)과의 물리적 간섭은 일어나지 않게 된다.

일례로서, 웨이퍼(W)가 웨이퍼 이송로봇 및 기타 웨이퍼 이송장치에 의해 외부로부터 유입되어 웨이퍼 척(110)에 로딩되는 경우 리프트 장치(120)가 상승하고, 이에 따라 리프트 핀(122A,122B)이 리프트 핀 홀(112A,112B)의 안내에 의해 그 상단이 웨이퍼 척(110) 상면 위로 돌출된다. 웨이퍼(W)가 리프트 핀(122A,122B)에 의해 지지되면 리프트 장치(120)가 하강하여 리프트 핀(122A,122B)이 리프트 핀 홀(112A,112B)의 안내에 의해 하강한다. 이에 따라, 웨이퍼(W)가 웨이퍼 척(110)의 상면(110A)에 놓여짐으로써 웨이퍼 로딩 동작이 구현된다.

반대로, 리프트 장치(120)가 상승함으로써 리프트 핀(122A,122B)이 리프트 핀 홀(112A,112B)을 통과하여 상승한다. 이에 따라, 웨이퍼(W)가 웨이퍼 척(110)의 상면(110A)으로부터 이탈된 상태로 리프트 핀(122A,122B)에 의해 지지된다. 리프트 핀(122A,122B)의 상승에 의해 웨이퍼 척(110)에서 분리된 웨이퍼(W)는 웨이퍼 이송장치로 건네짐으로써 웨이퍼 언로딩 동작이 구현된다.

상술한 바와 같이, 정렬핀(130A,130B)에 의해 리프트 핀(122A,122B)과 리프트 핀 홀(112A,112B)이 한치의 오차없이 정렬되어 있기 때문에 웨이퍼 로딩 및 언로딩의 경우 리프트 핀(122A,122B)과 리프트 핀 홀(112A,112B)과의 물리적 간섭을 피할 수 있게 된다.

이상의 상세한 설명은 본 발명을 예시하는 것이다. 또한 전술한 내용은 본 발명의 바람직한 실시 형태를 나타내고 설명하는 것에 불과하며, 본 발명은 다양한 다른 조합, 변경 및 환경에서 사용할 수 있다. 그리고, 본 명세서에 개시된 발명의 개념의 범위, 저술한 개시 내용과 균등한 범위 및/또는 당업계의 기술 또는 지식의 범위 내에서 변경 또는 수정이 가능하다. 전술한 실시예들은 본 발명을 실시하는데 있어 최선의 상태를 설명하기 위한 것이며, 본 발명과 같은 다른 발명을 이용하는데 당업계에 알려진 다른 상태로의 실시, 그리고 발명의 구체적인 적용 분야 및 용도에서 요구되는 다양한 변경도 가능하다. 따라서, 이상의 발명의 상세한 설명은 개시된 실시 상태로 본 발명을 제한하려는 의도가 아니다. 또한 첨부된 청구범위는 다른 실시 상태도 포함하는 것으로 해석되어야 한다.

이상에서 상세히 설명한 바와 같이, 본 발명에 의하면, 정렬핀을 이용하여 리프트 핀 홀과 리프트 핀을 정렬시킬 수 있기 때문에 종래 육안에 의한 정렬에 따른 불량이나 오차 등이 발생되지 않는다. 리프트 핀과 리프트 핀 홀과의 정렬불량에 따른 물리적 간섭은 물론 정렬불량에 의해 야기되는 공정불량을 미연에 방지할 수 있는 효과가 있다.

Claims

웨이퍼가 놓여지는 장소를 제공하는 웨이퍼 척과;

상기 웨이퍼 척의 상하면을 관통하는 복수개의 홀과;

상기 복수개의 홀의 안내에 의해 승강하면서 상기 웨이퍼를 지지하는 복수개의 리프트 핀이 조합되는 리프트 장치와;

상기 복수개의 홀에 관통 삽입되어 상기 복수개의 홀의 위치를 상기 복수개의 리프트 핀의 위치에 정렬시키는 정렬핀;

을 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 척 어셈블리.
제1항에 있어서,

상기 정렬핀은 상기 리프트 장치에 착탈 가능한 것을 특징으로 하는 웨이퍼 척 어셈블리.
제1항 또는 제2항에 있어서,

상기 정렬핀은 상기 복수개의 홀 각각에 삽입되는 복수개의 정렬핀을 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 척 어셈블리.
복수개의 홀이 형성된 웨이퍼 척과, 상기 복수개의 홀을 관통하여 승강하는 복수개의 리프트 핀이 조합되는 리프트 장치를 제공하는 단계와;

상기 복수개의 홀에 정렬핀을 삽입하여 상기 웨이퍼 척과 상기 리프트 장치를 정렬시키는 단계와;

상기 정렬핀을 제거하고 상기 리프트 장치에 상기 복수개의 리프트 핀을 조합시키는 단계;

를 포함하는 것을 특징으로 하는 리프트 핀의 정렬 방법.
제4항에 있어서,

상기 복수개의 홀에 정렬핀을 삽입하여 상기 웨이퍼 척과 상기 리프트 장치를 정렬시키는 단계는,

상기 정렬핀을 상기 복수개의 홀의 위치와 상기 복수개의 리프트의 위치를 정렬시키는 정렬선에 위치시키는 것을 특징으로 하는 리프트 핀의 정렬 방법.
제4항 또는 제5항에 있어서,

상기 복수개의 홀에 정렬핀을 삽입하여 상기 웨이퍼 척과 상기 리프트 장치를 정렬시키는 단계는,

상기 정렬핀은 상기 복수개의 홀 각각에 삽입되는 복수개의 정렬핀이고,

상기 복수개의 홀 중 제1 홀에 상기 복수개의 정렬핀 중 제1 정렬핀을 삽입하여 상기 복수개의 리프트 핀 중 제1 리프트 핀의 위치를 정렬시키는 제1 정렬선에 위치시키고,

상기 복수개의 홀 중 제2 홀에 상기 복수개의 정렬핀 중 제2 정렬핀을 삽입 하여 상기 복수개의 리프트 핀 중 제2 리프트 핀의 위치를 정렬시키는 제2 정렬선에 위치시키는 것을 특징으로 하는 리프트 핀의 정렬 방법.