TW202026321A - 光敏樹脂組成物及包含其的顯示裝置 - Google Patents

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呂泰勳
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Abstract

一種光敏性樹脂組成物,其包含a)由共聚合i) 含羥基之不飽和化合物;ii) 不飽和羧酸、不飽和羧酸酐或其混合物;iii) 含環氧基之不飽和化合物;以及iv) 烯烴系不飽和化合物取得之丙烯酸系共聚物、b) 具有酚化合物的1,2-醌二疊氮5-磺酸酯化合物,該酚化合物包含由上述化學式A表示的化合物作為安定劑、c) 矽烷耦合劑以及d)溶劑。

Description

光敏樹脂組成物及包含其的顯示裝置
相關申請案之交互參照 本申請案主張於2018年9月28日向韓國智慧財產局提出之韓國專利申請號第10-2018-0116423號之優先權,其全部內容係併入於此做為參考。
本發明的實施例係關於一種光敏樹脂組成物及包含其的顯示裝置。
一般而言,包含液晶顯示器(LCD)、有機發光裝置(OLED)及其類似物的顯示裝置廣泛地被使用。
液晶顯示器(LCD)及有機發光裝置(OLED)可以包含絕緣薄膜,該絕緣薄膜被包含在佈線或包含以使佈線之間平坦化的平坦化薄膜之間絕緣。
在本背景部分中揭露的上述資訊僅用於增加對背景的理解,且因此其可包含不構成對於本國所屬技術領域中具有通常知識者而言為習知的先前技術的資訊。
本發明的實施例致力於提供具有優異的解析度、固化製程裕度(process margin)、透光率、耐熱變色及耐熱性及特別優異之靈敏度及黏合性的光敏樹脂組成物,以及包含其的顯示裝置。
本發明的例示性實施例提供一種光敏性樹脂,該光敏性樹脂包含:a)由共聚合i) 含羥基之不飽和化合物;ii) 不飽和羧酸、不飽和羧酸酐或其混合物;iii) 含環氧基之不飽和化合物;以及iv) 烯烴系不飽和化合物取得之丙烯酸系共聚物、b) 具有酚化合物的1,2-醌二疊氮5-磺酸酯化合物,該酚化合物包含由下列化學式A表示的化合物作為安定劑、c) 矽烷耦合劑以及d)溶劑: 化學式A
Figure 02_image001
其中,R1 及R2 分別為環丙烷(cyclopropane)、環丁烷(cyclobutane)、環戊烷(cyclopentane)或具有0至4個碳原子的烷基或具有0至4個碳原子的烷氧基,R3 及R4 分別為H 或CH3 ,且R獨立地為H、CH3
Figure 02_image004
羥基之不飽和化合物可以包含至少一種選自下列由化學式1至化學式8所表示的化合物: 化學式 1         化學式 2       化學式 3
Figure 02_image006
Figure 02_image008
Figure 02_image010
化學式 4    化學式 5     化學式 6
Figure 02_image012
Figure 02_image014
Figure 02_image016
化學式 7   化學式 8
Figure 02_image018
Figure 02_image020
其中,R獨立地為H或CH3 且n1 及n2 分別為0至4的整數。
光敏性樹脂組成物可以進一步包含下列由化學式B所表示的化合物: 化學式B
Figure 02_image022
其中,R為H、CH3
Figure 02_image004
由化學式A表示的化合物可以包含至少一種選自下列由化學式A-1、A-2、A-3、A-4、A-5及A-6所表示的化合物: 化學式A-1
Figure 02_image024
化學式A-2
Figure 02_image026
化學式A-3
Figure 02_image028
化學式A-4
Figure 02_image030
化學式A-5
Figure 02_image032
化學式A-6
Figure 02_image034
其中,R3 及R4 分別為H或CH3 ,且R為
Figure 02_image004
光敏性樹脂組成物可以包含至少一種選自下列由化學式B-1、B-2、B-3、B-4及B-5所表示的化合物: 化學式B-1
Figure 02_image036
化學式B-2
Figure 02_image038
化學式B-3
Figure 02_image040
化學式B-4
Figure 02_image042
化學式B-5
Figure 02_image044
其中,R為
Figure 02_image004
光敏性樹脂組成物可以包含a)由共聚合i) 5至70重量份之含羥基之不飽和化合物、ii) 5至40重量份之不飽和羧酸、不飽和羧酸酐或其混合物;iii) 10至70重量份之含環氧基之不飽和化合物;以及iv) 5至70重量份之烯烴系不飽和化合物所取得100重量份之丙烯酸系共聚物,b) 5至50重量份之具有酚化合物的1,2-醌二疊氮5-磺酸酯化合物,該酚化合物包含由下列化學式A表示的化合物作為安定劑,或具有酚化合物的1,2-醌二疊氮5-磺酸酯化合物,該酚化合物包含由下列化學式A及化學式B表示的化合物作為安定劑,以及c) 0.1至30重量份之矽烷耦合劑。
可以包含溶劑以使包含a)、b)及c)的固體含量基於該光敏樹脂組成物的總重量為10至50 wt%。
a)ii)的不飽和羧酸、不飽和羧酸酐或其混合物可以包含選自丙烯酸(acrylic acid)、甲基丙烯酸(methacrylic acid)、馬來酸(maleic acid)、福馬酸(fumaric acid)、焦檸檬酸(citraconic acid)、中康酸(metaconic acid)、伊康酸(itaconic acid)及其不飽和二羧酸酐(dicarboxylic anhydride)所組成之群組的一種或多種。
a)iii)的含環氧基之不飽和化合物可以包含選自由縮水甘油丙烯酸酯(glycidyl acrylate)、縮水甘油甲基丙烯酸酯(glycidyl methacrylate)、縮水甘油α-乙基丙烯酸酯(glycidyl α-ethyl acrylate)、縮水甘油α-正丙基丙烯酸酯(glycidyl α-n-propyl acrylate)、縮水甘油α-正丁基丙烯酸酯(glycidyl α-n-butyl acrylate)、β-甲基縮水甘油丙烯酸酯(β-methylglycidyl acrylate)、β-甲基縮水甘油甲基丙烯酸酯(β-methylglycidyl methacrylate)、β-乙基縮水甘油丙烯酸酯(β-ethylglycidyl acrylate)、β-乙基縮水甘油甲基丙烯酸酯(β-ethylglycidyl methacrylate)、3,4-環氧丙烯酸丁酯(3,4-epoxybutyl acrylate)、3,4-環氧甲基丙烯酸丁酯(3,4-epoxybutyl methacrylate)、6,7-環氧丙烯酸庚酯(6,7-epoxyheptyl acrylate)、6,7-環氧甲基丙烯酸庚酯(6,7-epoxyheptyl methacrylate)、6,7-環氧庚基α-乙基丙烯酸酯(6,7-epoxyheptyl α-ethyl acrylate)、鄰乙烯基芐基縮水甘油醚(o-vinylbenzylglycidyl ether)、間-乙烯基芐基縮水甘油醚(m-vinylbenzylglycidyl ether)及對-乙烯基芐基縮水甘油醚(p-vinylbenzylglycidyl ether)、3,4-環氧甲基丙烯酸環己酯(3,4-epoxycyclohexyl methacrylate)、3,4-環氧基環己基甲基甲基丙烯酸酯(3,4-epoxycyclohexylmethyl methacrylate)、丙烯酸3,4-環氧環己酯(3,4-epoxycyclohexyl acrylate)以及丙烯酸3,4-環氧基環己基甲酯(3,4-epoxycyclohexylmethyl acrylate)所組成之群組的一種或多種。
a)iv)的烯烴系不飽和化合物可以包含選自由甲基丙烯酸甲酯(methyl methacrylate)、甲基丙烯酸乙酯(ethyl methacrylate)、甲基丙烯酸正丁酯(n-butyl methacrylate)、仲甲基丙烯酸丁酯(sec-butyl methacrylate)、甲基丙烯酸叔丁酯(tert-butyl methacrylate)、丙烯酸甲酯(methyl acrylate)、丙烯酸異丙酯(isopropyl acrylate)、甲基丙烯酸環己酯(cyclohexyl methacrylate)、2-甲基環己基甲基丙烯酸酯(2-methylcyclohexyl methacrylate)、丙烯酸二環戊烯酯(dicyclopentenyl acrylate)、丙烯酸二環戊酯(dicyclopentanyl acrylate)、甲基丙烯酸二環戊烯酯(dicyclopentenyl methacrylate)、甲基丙烯酸二環戊酯(dicyclopentanyl methacrylate)、1-金剛烷基丙烯酸酯(1-adamantyl acrylate)、1-金剛烷基甲基丙烯酸酯(1-adamantyl methacrylate)、二環戊基氧乙基甲基丙烯酸酯(dicyclopentanyloxyethyl methacrylate)、甲基丙烯酸異冰片酯(isobornyl methacrylate)、丙烯酸環己酯(cyclohexyl acrylate)、2-甲基環己基丙烯酸酯(2-methylcyclohexyl acrylate)、丙烯酸二環戊氧乙基丙烯酸酯(dicyclopentanyloxyethyl acrylate)、丙烯酸異冰片酯(isobornyl acrylate)、甲基丙烯酸苯酯(phenyl methacrylate)、丙烯酸苯酯(phenyl acrylate)、丙烯酸芐酯(benzyl acrylate)、2-羥乙基甲基丙烯酸酯(2-hydroxyethyl methacrylate)、苯乙烯(styrene)、鄰甲基苯乙烯(o-methylstyrene)、間甲基苯乙烯(m-methylstyrene)、對甲基苯乙烯(p-methylstyrene)、乙烯基甲苯(vinyl toluene)、對甲氧基苯乙烯(p-methoxystyrene)、1,3-丁二烯(1,3-butadiene)、異戊二烯(isoprene)及2,3-二甲基-1,3-丁二烯(2,3-dimethyl 1,3-butadiene)所組成之群組的一種或多種。
a)的丙烯酸系共聚物可以具有3000至20000的聚苯乙烯轉換重量平均分子量(Mw)。
c)的矽烷耦合劑可以包含選自由(3-環氧丙氧基丙基)三甲氧基矽烷((3-glycidoxypropyl)trimethoxysilane)、(3-環氧丙氧基丙基)三乙氧基矽烷((3-glycidoxypropyl)triethoxysilane)、(3-環氧丙氧基丙基)甲基二甲氧基矽烷((3-glycidoxypropyl)methyldimethoxysilane)、(3-環氧丙氧基丙基)甲基二乙氧基矽烷((3-glycidoxypropyl)methyldiethoxysilane)、(3-環氧丙氧基丙基)二甲基乙氧基矽烷(3-glycidoxypropyl)dimethylethoxysilane)、3,4-環氧基丁基三甲氧基矽烷(3,4-epoxybutyltrimethoxysilane)、3,4-環氧基丁基三乙氧基矽烷(3,4-epoxybutyltriethoxysilane)、2-(3,4-環氧基環己基)乙基三甲氧基矽烷(2-(3,4-epoxycyclohexyl)ethyltrimethoxysilane)、2-(3,4-環氧基環己基)乙基三乙氧基矽烷(2-(3,4-epoxycyclohexyl)ethyltriethoxysilane)、胺丙基三甲氧基矽烷(aminopropyltrimethoxysilane)、胺丙基三乙氧基矽烷(aminopropyltriethoxysilane)、3-三乙氧基矽基-N-(1,3-二甲基-亞丁基)正丙胺(3-triethoxysilyl-N-(1,3-dimethyl-butylidene)propylamine)、N-(2-胺乙基)-3-胺丙基三甲氧基矽烷(N-(2-aminoethyl)-3-aminopropyltrimethoxysilane)、N-(2-胺乙基)-3-胺丙基三乙氧基矽烷(N-(2-aminoethyl)-3-aminopropyltriethoxysilane)、N-(2-胺乙基)-3-胺丙基甲基二甲氧基矽烷(N-(2-aminoethyl)-3-aminopropyl methyldimethoxysilane)、N-苯基 -3-胺丙基三甲氧基矽烷(N-phenyl-3-aminopropyltrimethoxysilane)以及3-(異氰酸丙酯)三乙氧基矽烷((3-isocyanatopropyl)triethoxysilane)所組成之群組的一種或多種。
d)的溶劑可以包含選自由二乙二醇二甲基醚(diethylene glycol dimethyl ether)、二乙二醇甲乙醚(diethylene glycol methylethyl ether)、丙二醇甲醚醋酸酯(propylene glycol methyl ether acetate)、丙二醇乙醚醋酸酯(propylene glycol ethyl ether acetate)、丙二醇丙醚醋酸酯(propylene glycol propyl ether acetate)、丙二醇甲基醚丙酸酯(propylene glycol methyl ether propionate)、丙二醇乙醚丙酸酯(propylene glycol ethyl ether propionate)、丙二醇丙醚丙酸酯(propylene glycol propyl ether propionate)、丙二醇甲醚(propylene glycol methyl ether)、丙二醇乙醚(propylene glycol ethyl ether)、丙二醇丙醚(propylene glycol propyl ether)、丙二醇丁醚(propylene glycol butyl ether)、二丙二醇二甲醚(dipropylene glycol dimethyl ether)、二丙醇二乙醚(dipropylene glycol diethyl ether)、丁二醇單甲醚(butylene glycol monomethyl ether)、丁二醇單乙基醚(butylene glycol monoethyl ether)、二丁二醇二甲基醚(dibutylene glycol dimethyl ether)、二丁二醇二乙基醚(dibutylene glycol diethyl ether)、二乙二醇丁基甲基醚(diethylene glycol butylmethyl ether)、二乙二醇丁基乙基醚(diethylene glycol butylethyl ether)、三乙二醇二甲醚(triethylene glycol dimethyl ether)、三乙二醇丁基甲基醚(triethylene glycol butylmethyl ether)、二乙二醇叔丁基醚(diethylene glycol tert-butyl ether)、四乙二醇二甲醚(tetraethylene glycol dimethyl ether)、二乙二醇乙基己基醚(diethylene glycol ethylhexyl ether)、二乙二醇丁基乙基醚(diethylene glycol methylhexyl ether)、二丙二醇丁基甲基醚(dipropylene glycol butylmethyl ether)、二丙二醇乙基己醚(dipropylene glycol ethylhexyl ether)以及二丙二醇甲基己基醚(dipropylene glycol methylhexyl ether)所組成之群組的一種或多種。
根據例示性實施例的顯示裝置包含上述之光敏樹脂組成物的固化體(例如,固化產物)。
顯示裝置可以包含有機絕緣薄膜,該有機絕緣薄膜包含光敏樹脂組成物的固化體。
顯示裝置可以進一步包含基板、在基板上的薄膜電晶體、與薄膜電晶體耦合的像素電極以及疊合在薄膜電晶體上的彩色濾光片。
彩色濾光片可以介於有機絕緣薄膜及薄膜電晶體之間。
根據例示性實施例的顯示裝置包含基板、在基板上的薄膜電晶體、與薄膜電晶體耦合的像素電極以及疊合於基板上的有機絕緣薄膜,且有機絕緣薄膜包含光敏樹脂組成物的固化體(例如,固化產物),該光敏樹脂組成物包含:a)由共聚合i) 含羥基之不飽和化合物;ii) 不飽和羧酸、不飽和羧酸酐或其混合物;iii) 含環氧基之不飽和化合物;以及iv) 烯烴系不飽和化合物取得之丙烯酸系共聚物、b) 具有酚化合物的1,2-醌二疊氮5-磺酸酯化合物,該酚化合物包含由下列化學式A表示的化合物作為安定劑以及c) 矽烷耦合劑。 化學式A
Figure 02_image001
其中,R1 及R2 分別為環丙烷、環丁烷、環戊烷,R3及R4分別為H 或CH3,且R獨立地為H、CH3或
Figure 02_image047
根據一例示性實施例,光敏樹脂組成物具有優異的解析度、固化製程裕度、透光率、耐熱變色及耐熱性及特別優異之靈敏度及黏合性。此外,包含由該光敏樹脂組成物形成之有機絕緣薄膜或平坦化薄膜的顯示裝置可以具有改善的可靠性。
下文中,將參照所附圖式更詳細地描述本發明的各種例示性實施例,以使所屬技術領域具有通常知識者能夠輕易地實施。本發明的標的可以各種不同形式置換,且不被本文所描述的例示性實施例限制。
為了清楚描述本發明的標的,省略與相關敘述無關的部分,且在整份說明書中相同的元件符號指出相同或類似的構成元件。
此外,因為在圖式中所繪示的各組件之尺寸及厚度可以為了方便描述而選擇性地表示,本發明不必受限於所示圖式中所示。
此外,應理解的是當一個構件,如層、膜、區域或基板被稱為在另一構件「上(on)」時,它可直接在另一元件上或可存在中間構件。相反的,當一構件被指為「直接」在另一構件 「上(directly on)」時,則無中間構件存在。此外,在參考元件「之上(over)」或「上(on)」應理解為在參考元件「上(on)」或「之下(under)」,但不應理解為必然在重力相反方向的「上(on)」或「之上(over)」。
此外,除非明確相反描述,文字「包含 (comprise)」與像是「包含 (comprises)」或「包含 (comprising)」之變形理當了解為其隱含了包含陳述的構件,而不排除任何其他的構件。
此外,在本說明書中,術語「在一平面上(on a plane)」指的是當主體從上方觀看,以及術語「在一截面上(on a section)」指的是從側面觀看垂直切割之主體的一部分。
下文中將描述根據一例示性實施例的光敏樹脂組成物。
根據一例示性實施例的光敏樹脂組成物可以包含:a)由共聚合i) 選自由化學式1至化學式8所表示之含羥基之不飽和化合物、ii) 不飽和羧酸、不飽和羧酸酐或其混合物、iii) 含環氧基之不飽和化合物取得之丙烯酸系共聚物、b) 具有酚化合物的1,2-醌二疊氮5-磺酸酯化合物,該酚化合物包含由下列化學式A表示的化合物作為安定劑、c) 矽烷耦合劑以及d)溶劑。此外,根據一例示性實施例的光敏樹脂組成物可以進一步包含由下列化學式B所表示的化合物。 化學式 1         化學式 2       化學式 3
Figure 02_image006
Figure 02_image008
Figure 02_image010
化學式 4    化學式 5     化學式 6
Figure 02_image012
Figure 02_image014
Figure 02_image016
化學式 7   化學式 8
Figure 02_image018
Figure 02_image020
其中R為H或CH3 且n1 及n2 分別彼此獨立地為0至4的整數。 化學式A
Figure 02_image001
化學式B
Figure 02_image022
其中,R為H、CH3
Figure 02_image004
,R1 及R2 分別彼此獨立地為環丙烷、環丁烷、環戊烷、具有0至4個碳原子的烷基或烷氧基,且R3 及R4 分別彼此獨立地為H 或CH3
根據一例示性實施例的光敏樹脂組成物可以包含:a)由共聚合i) 至少一選自由化學式1至化學式8所表示之5至70重量份之含羥基之不飽和化合物、ii) 5至40重量份之不飽和羧酸、不飽和羧酸酐或其混合物;iii) 10至70重量份之含環氧基之不飽和化合物;以及iv) 5至70重量份之烯烴系不飽和化合物所取得100重量份之丙烯酸系共聚物、b) 5至50重量份之具有酚化合物的1,2-醌二疊氮5-磺酸酯化合物,該酚化合物包含由下列化學式A表示的化合物作為安定劑,或具有酚化合物的1,2-醌二疊氮5-磺酸酯化合物,該酚化合物包含由下列化學式B表示的化合物作為安定劑、c) 0.1至30重量份之矽烷耦合劑以及d)溶劑,以使在光敏樹脂組成物中的固體含量為10至50 wt%。
下文中,將更詳細描述用於根據一例示性實施例的光敏樹脂組成物之組成。
根據一例示性實施例的a)之丙烯酸系共聚物可以藉由使用i)包含至少一選自由化學式1至化學式8所表示之化合物的含羥基之不飽和化合物、ii) 不飽和羧酸、不飽和羧酸酐或其混合物、iii) 含環氧基之不飽和化合物以及iv)作為單體之烯烴系不飽和化合物取得。i)至iv)的化合物在溶劑及聚合起始劑存在下受到自由基反應(radical reaction)以進行合成反應,且然後藉由純化步驟移除未反應的單體,而得到丙烯酸系共聚物。
包含至少一選自由化學式1至化學式8所表示之化合物之a)i)的含羥基之不飽和化合物可以基於單體的總重包含為5至70重量。當含量低於5重量分時,光敏樹脂組成物的靈敏度下降,且當含量大於70重量份時,在鹼性水溶液中的溶解度會過度增加。
作為a)iii)的不飽和羧酸、不飽和羧酸酐或其混合物,如丙烯酸及甲基丙烯酸的不飽和單羧酸、如馬來酸、福馬酸、焦檸檬酸、中康酸及伊康酸的不飽和二羧酸或其不飽和二羧酸酐及其類似物可以單獨使用或兩種以上組合使用。作為實例,可以包含丙烯酸、甲基丙烯酸或無水馬來酸。當使用丙烯酸、甲基丙烯酸或無水馬來酸時,共聚反應性優異且在作為顯影液的鹼性水溶液中的溶解度可為合適或適當。
不飽和羧酸、不飽和羧酸酐或其混合物可以基於整個單體的總重包含為5至40重量份。當含量低於5重量份時,不飽和羧酸、不飽和羧酸酐或其混合物難以溶解於鹼性水溶液中,且當含量大於40重量份時,在鹼性水溶液中的溶解度會過度或不適當地增加。
a)iii)的含環氧基之不飽和化合物可以包含縮水甘油丙烯酸酯、縮水甘油甲基丙烯酸酯、縮水甘油α-乙基丙烯酸酯、縮水甘油α-正丙基丙烯酸酯、縮水甘油α-正丁基丙烯酸酯、β-甲基縮水甘油丙烯酸酯、β-甲基縮水甘油甲基丙烯酸酯、β-乙基縮水甘油丙烯酸酯、β-乙基縮水甘油甲基丙烯酸酯、3,4-環氧丙烯酸丁酯、3,4-環氧甲基丙烯酸丁酯、6,7-環氧丙烯酸庚酯、6,7-環氧甲基丙烯酸庚酯、6,7-環氧庚基α-乙基丙烯酸酯、鄰乙烯基芐基縮水甘油醚、間-乙烯基芐基縮水甘油醚或對-乙烯基芐基縮水甘油醚、3,4-環氧甲基丙烯酸環己酯或其類似物,且該化合物可以單獨使用或兩種以上組合使用。作為實例,含環氧基之不飽和化合物可以包含選自縮水甘油甲基丙烯酸酯、β-甲基縮水甘油甲基丙烯酸酯、6,7-環氧甲基丙烯酸庚酯、鄰乙烯基芐基縮水甘油醚、間-乙烯基芐基縮水甘油醚或對-乙烯基芐基縮水甘油醚、3,4-環氧甲基丙烯酸環己酯或其類似物的至少一種,因而改善共聚反應性及取得自光敏樹脂組成物之圖案的耐熱性。
含環氧基之不飽和化合物可以基於整個單體的總重包含為10至70重量份。在這個範圍當中,有機絕緣薄膜的耐熱性及光敏樹脂組成物的儲存穩定性可以同時為合適或滿意的(例如,於相同或實質上相同的時間)。
a)iv)的烯烴系不飽和化合物可以包含甲基丙烯酸甲酯、甲基丙烯酸乙酯、甲基丙烯酸正丁酯、仲甲基丙烯酸丁酯、甲基丙烯酸叔丁酯、丙烯酸甲酯、丙烯酸異丙酯、甲基丙烯酸環己酯、2-甲基環己基甲基丙烯酸酯、丙烯酸二環戊烯酯、丙烯酸二環戊酯、甲基丙烯酸二環戊烯酯、甲基丙烯酸二環戊酯、1-金剛烷基丙烯酸酯、1-金剛烷基甲基丙烯酸酯、二環戊基氧乙基甲基丙烯酸酯、甲基丙烯酸異冰片酯、丙烯酸環己酯、2-甲基環己基丙烯酸酯、丙烯酸二環戊氧乙基丙烯酸酯、丙烯酸異冰片酯、甲基丙烯酸苯酯、丙烯酸苯酯、丙烯酸芐酯、2-羥乙基甲基丙烯酸酯、苯乙烯、鄰甲基苯乙烯、間甲基苯乙烯、對甲基苯乙烯、乙烯基甲苯、對甲氧基苯乙烯、1,3-丁二烯、異戊二烯或2,3-二甲基-1,3-丁二烯或其類似物,且該化合物可以單獨使用或兩種以上組合使用。
烯烴系不飽和化合物可以基於整個單體的總重包含為5至70重量份。在這個範圍當中,可以抑制或減少光敏樹脂組成物顯影後的膨脹發生,並在作為顯影液的鹼性水溶液中可以提供適當或合適的溶解度。
可以進一步包含溶劑及聚合起始劑用於形成使用單體的丙烯酸系聚合物。作為實例,溶劑可以包含選自甲醇(methanol)、四羥基呋喃(tetrahydroxyfuran)、甲苯(toluene)及二惡烷(dioxane)。聚合起始劑可以包含自由基聚合起始劑,且作為實例,可以包含2,2-偶氮二異丁腈(2,2-azobisisobutyronitrile)、2,2-偶氮雙(2,4-二甲基戊腈)(2,2-azobis(2,4-dimethylvaleronitrile))、2,2-偶氮雙(4-甲氧基2,4-二甲基戊腈)(2,2-azobis(4-methoxy 2,4-dimethylvaleronitrile))、1,1-偶氮二(環己烷-1-腈)(1,1-azobis(cyclohexane-1-carbonitrile))、二甲基2,2'-偶氮二異丁酸酯(dimethyl 2,2'-azobisisobutylate)或其類似物的一種或多種。
藉由將上述單體在溶劑及聚合起始劑存在下接受自由基反應以進行合成然後藉由純化步驟移除未反應的單體所取得的丙烯酸系共聚物可以具有3000至20000的聚苯乙烯轉換重量平均分子量(Mw)。當聚苯乙烯轉換重量平均分子量低於3000時,會降低或減少顯影性或殘膜率,或會降低或減少圖案顯影性或耐熱性,且當聚苯乙烯轉換重量平均分子量大於20000時,會降低或減少圖案顯影性。
b)具有由化學式A或化學式B表示之化合物作為安定劑之酚化合物的1,2-醌二疊氮5-磺酸酯化合物可以藉由例如在弱酸下反應1,2-醌二疊氮5-磺酸磺酸鹵化合物及酚化合物而取得。
根據一例示性實施例的光敏樹脂組成物包含具有由化學式A表示的化合物作為安定劑的酚化合物之1,2-醌二疊氮5-磺酸酯化合物,且可以進一步包含具有由化學式B表示的化合物作為安定劑的酚化合物之1,2-醌二疊氮5-磺酸酯化合物。
作為1,2-醌二疊氮5-磺酸酯化合物的實例,根據一例示性實施例的光敏樹脂組成物可以包含至少一種選自由化學式A-1、A-2、A-3、A-4、A-5及A-6所表示的化合物: 化學式A-1
Figure 02_image024
化學式A-2
Figure 02_image026
化學式A-3
Figure 02_image028
化學式A-4
Figure 02_image030
化學式A-5
Figure 02_image032
化學式A-6
Figure 02_image034
其中,R3 及R4 分別為H或CH3 ,且R為
Figure 02_image004
作為1,2-醌二疊氮5-磺酸酯化合物的實例,根據一例示性實施例的光敏樹脂組成物可以進一步包含至少一種選自由下列化學式B-1、B-2、B-3、B-4及B-5所表示的化合物: 化學式B-1
Figure 02_image036
化學式B-2
Figure 02_image038
化學式B-3
Figure 02_image040
化學式B-4
Figure 02_image042
化學式B-5
Figure 02_image044
其中,R為
Figure 02_image004
選自至少一種由化學式A-1至A-6及化學式B-1至B-5所表示之化合物可以與包含-OH基團的化合物在曝光步驟中反應以形成固化體(例如,固化產物),其可以表示如下:
Figure 02_image059
基於a)丙烯酸系共聚物的重量為100重量份時,1,2-醌二疊氮5-磺酸化合物可以包含5至50重量份。當含量低於5重量份時,曝光部分及未曝光部分之間的溶解度差異減小,而使圖案形成困難,且當含量大於50重量份時,當光以短時間照射以過度或不合適地降低在作為顯影液的鹼性水溶液中的溶解度時,殘留大量未反應的1,2-醌二疊氮5-磺酸酯化合物,而使顯影困難。
c)的矽烷耦合劑可以改善對下基板的黏合性。矽烷耦合劑可以包含(3-環氧丙氧基丙基)三甲氧基矽烷、(3-環氧丙氧基丙基)三乙氧基矽烷、(3-環氧丙氧基丙基) 甲基二甲氧基矽烷、(3-環氧丙氧基丙基) 甲基二乙氧基矽烷、(3-環氧丙氧基丙基)二甲基乙氧基矽烷、3,4-環氧基丁基三甲氧基矽烷、3,4-環氧基丁基三乙氧基矽烷、2-(3,4-環氧基環己基)乙基三甲氧基矽烷、2-(3,4-環氧基環己基)乙基三乙氧基矽烷、胺丙基三甲氧基矽烷、胺丙基三乙氧基矽烷、3-三乙氧基矽基-N-(1,3-二甲基-亞丁基)正丙胺、N-(2-胺乙基)-3-胺丙基三甲氧基矽烷、N-(2-胺乙基)-3-胺丙基三乙氧基矽烷、N-(2-胺乙基)-3-胺丙基甲基二甲氧基矽烷、N-苯基 -3-胺丙基三甲氧基矽烷、3-(異氰酸丙酯)三乙氧基矽烷、3-(異氰酸丙酯)三甲氧基矽烷((3-isocyanatopropyl)trimethoxysilane)或其類似物,作為實例,其可以單獨使用或兩種以上組合使用。
基於c)丙烯酸系共聚物的重量為100重量份時,矽烷耦合劑的含量可以為0.1至30重量份。當含量低於0.1重量份時,對下基板的黏合性下降,且當含量大於30重量份時,會降低或減少儲存穩定性及顯影性,以及會降低或減少解析度。
d)的溶劑可以包含一種或多種選自由二乙二醇二甲基醚、二乙二醇甲乙醚)、丙二醇甲醚醋酸酯、丙二醇乙醚醋酸酯、丙二醇丙醚醋酸酯、丙二醇甲基醚丙酸酯、丙二醇乙醚丙酸酯、丙二醇丙醚丙酸酯、丙二醇甲醚、丙二醇乙醚、丙二醇丙醚、丙二醇丁醚、二丙二醇二甲醚、二丙醇二乙醚、丁二醇單甲醚、丁二醇單乙基醚、二丁二醇二甲基醚及二丁二醇二乙基醚、二乙二醇丁基甲基醚、二乙二醇丁基乙基醚、三乙二醇二甲醚、三乙二醇丁基甲基醚、二乙二醇叔丁基醚、四乙二醇二甲醚、二乙二醇乙基己基醚、二乙二醇丁基乙基醚、二丙二醇丁基甲基醚、二丙二醇乙基己醚以及二丙二醇甲基己基醚所組成之群組。
可以包含d)的溶劑以使光敏樹脂組成物的固體含量為10至50 wt%。當固體含量低於10 wt%時,塗佈厚度小而降低塗層均勻度,且當固體含量大於50 wt%時,塗佈厚度大且在塗佈期間會使塗佈設備超量工作。
作為實例,當整個光敏樹脂組成物的固體含量為10至25 wt%時,使用狹縫式塗佈機(slit coater),且當固體含量為25至50 wt%時,使用旋塗機(spin coater)或狹縫&旋塗機。
根據一例示性實施例的光敏樹脂組成物可以具有10至50 wt%的固體含量濃度,並在以0.1μm至0.2 μm的微孔過濾器(millipore filter)及其類似物過濾之後使用。
在製造使用上述光敏樹脂組成物之顯示裝置的步驟中,形成絕緣薄膜的方法的實施例如下。
根據一例示性實施例的光敏樹脂組成物藉由旋塗、狹縫&旋塗、狹縫塗佈或輥塗(roll coating)塗佈在基板表面上。此後,藉由自由烘烤(free bake)移除溶劑以形成塗佈膜。此時,自由烘烤可以在100°(°C)至120° (°C)的溫度下進行1分鐘至3分鐘。
接著,將可見光、紫外線、遠紫外線、電子束、X射線及/或其類似物照射在根據先前製備之圖案所形成的塗佈膜上,並以顯影溶液進行顯影以移除不必要或不需要的部分,而形成設定或預定的圖案。
作為顯影溶液,可以使用鹼性水溶液。作為實例,可以使用一種或多種如碳酸鈉(sodium carbonate)、氫氧化鉀(potassium hydroxide)及氫氧化鈉(sodium hydroxide)的無機鹽類水溶液;如乙胺(ethylamine)及正丙胺(n-propylamine)的一級胺類(primary amines)水溶液;如二乙胺(diethylamine)及正丙胺(n-propylamine)的二級胺類(secondary amines)水溶液;如三甲胺(trimethylamine)、甲基二乙胺(methyldiethylamine)、二甲基乙胺(dimethylethylamine)及三乙胺(triethylamine)的三級胺類(tertiary amines)水溶液;如二甲基乙醇胺(dimethylethanol amine)、甲基二乙醇胺(methyldiethanol amine)及三乙醇胺(triethanol amine)等的醇胺類(alcohol amines)水溶液;或如氫氧化四甲銨(tetramethylammonium hydroxide)及氫氧化四乙銨(tetraethylammonium hydroxide)的四級銨鹽類(quaternary ammonium salts)水溶液。
基於顯影溶液的重量為100重量份時,顯影溶液可以包含0.1至10重量份的鹼性化合物,以及合適或適量之如甲醇及乙醇的水性有機溶劑,以及界面活性劑。
塗佈膜以顯影溶液進行顯影後,以超純水清洗塗佈膜30秒至90秒以移除不必要或不需要的部分,並將其乾燥以形成圖案。
例如,以如紫外線的光照射在形成的圖案上,並藉由如烤箱的加熱裝置在150°(°C)至400°C (°C)的溫度下進行加熱處理圖案30至90分鐘,以獲得最終的圖案。
最終的圖案可以包含由上述光敏樹脂組成物形成的固化體(例如,固化產物)。下文中不再贅述光敏樹脂組成物的描述。
下文中,將參照所附圖式描述包含由上述光敏樹脂組成物形成的固化體(例如,固化產物)的顯示裝置。所附圖式為簡要繪示包含在顯示裝置中的一個像素之一部分的截面圖。
參照所附圖式,下面板100在基板110上並包含具有閘極電極124的閘極線。閘極絕緣層140在閘極電極124上,且半導體層154在疊合於閘極電極124的閘極絕緣膜140上。
然後,包含源極電極173的數據線及汲極電極175在半導體層154上。源極電極173及汲極電極175可以在包含於半導體層154中的溝道區周圍彼此面對。
閘極電極124、半導體層154、源極電極173及汲極電極175形成一個薄膜電晶體,且可以在源極電極173及汲極電極175之間的半導體層154上形成通道。
保護膜180在源極電極173及汲極電極175上。
彩色濾光片230在保護膜180上,並可以固有地表示一種原色。作為原色的實例,可以包含如紅、綠、藍的三原色,或黃色、青色、洋紅色。
有機絕緣膜190在彩色濾光片230上。有機絕緣膜190可以平坦化彩色濾光片230的一個表面。
有機絕緣膜190可以使用上述的光敏樹脂組成物形成,並包含上述光敏樹脂組成物的固化體。因此,在此不進一步重複描述光敏樹脂組成物。
保護膜180及有機絕緣膜190具有疊合在汲極電極175上的接觸孔185,且汲極電極175及像素電極191可以通過接觸孔185彼此相互電性及物理性耦合。
上面板200包含面向第一基板110的第二基板210。光阻構件220在第二基板210及液晶層3之間的部分上。光阻構件220也稱為黑色矩陣並可以阻擋漏光。
在本說明書中,已經描述了光阻構件220在上面板200上的構造,但本發明並不以此為限,且光阻構件220可以在下面板100中。
外罩250介於光阻構件220及液晶層3之間。外罩250可以由有機絕緣材料形成。外罩250避免或減少光阻構件220的暴露,並提供平坦的表面。根據一例示性實施例,可以省略外罩250。
共用電極270可以介於外罩250及液晶層3之間。共用電極270可以包含與像素電極191相同或實質上相同的材料。共用電極270可以形成為平面形式並對其施加共用電壓。
在一些實施例中,配向層可以介於像素電極191及液晶層3之間以及介於共用電極270及液晶層3之間。
液晶層3介於下面板100及上面板200之間。液晶層3具有負介電各向異性(negative dielectric anisotropy),且在沒有電場的情況下,液晶層3的液晶分子31的主軸垂直於(例如,基本上垂直於)下面板100及上面板200的表面。
包含根據例示性實施例之光敏樹脂組成物的有機絕緣膜190具有優異的平坦度及透光率,及特別優異的靈敏度且具有優異的黏合性、對比度及高溫高濕下的耐化學性。包含有機絕緣膜的顯示裝置也可以具有改善的可靠性。
在本說明書中,已描述使用光敏樹脂組成物的顯示裝置,但本發明並不以此為限,且光敏樹脂組成物可以應用於使用在有機發光裝置中的各種構件,如層間絕緣層、柱間隔件(column spacer)、隔板(partition)或其類似物。
下文中,展現例示性實施例以助於理解本發明的標的,然而,下列實例僅用於說明本發明的實施例,且本發明的範疇並不限於下文。
實例
合成實例1(丙烯酸系共聚物(A)的製備)
對裝配有冷卻器及攪拌器的燒瓶加入400重量份的四氫呋喃、30重量份的由下列化學式1A所表示之不飽和化合物、20重量份的甲基丙烯酸、20重量份的苯乙烯及30重量份的縮水甘油甲基丙烯酸酯之混合溶液。將液體組成物在混合容器中以600 rpm適當地混合,然後向其加入15重量份的2,2-偶氮雙(2,4-二甲基戊腈)。將聚合混合溶液緩慢加熱至55°(°C),維持在此溫度下24小時並冷卻至室溫(例如,大約25°C),並向其加入500 ppm的氫苯甲酮(hydrobezophenone)作為聚合起始劑,從而獲得固體含量濃度為25 wt%的聚合物溶液。為了從聚合物溶液中移除未反應的單體,使用1000重量份的正己烷(n-hexane)以沉澱100重量份的聚合物溶液。沉澱之後,使用篩網進行過濾步驟以移除溶解有未反應材料之不良溶劑。為了移除在過濾步驟之後仍含有未反應單體的溶劑,在30°(°C)或更低下進行真空乾燥以實質上完全移除溶劑繼而製備丙烯酸系共聚物。該丙烯酸系共聚物具有6000的重量平均分子量。於此,重量平均分子量是藉由凝膠滲透層析(GPC)測量的以聚苯乙烯換算的重量平均分子量。 化學式1A
Figure 02_image061
合成實例2(丙烯酸系共聚物(B)的製備)
除了對合成實例1之裝配有冷卻器及攪拌器的燒瓶加入1400重量份的四氫呋喃、30重量份的由下列化學式2A所表示之不飽和化合物、20重量份的甲基丙烯酸、20重量份的苯乙烯及30重量份的縮水甘油甲基丙烯酸酯之外,丙烯酸系共聚物(B)以實質上以與合成實例1相同的方式製備。該丙烯酸系共聚物具有5000的重量平均分子量。於此,重量平均分子量是藉由GPC測量的以聚苯乙烯換算的重量平均分子量。 化學式2A
Figure 02_image063
合成實例3(丙烯酸系共聚物(C)的製備)
除了對合成實例1之裝配有冷卻器及攪拌器的燒瓶加入1400重量份的四氫呋喃、30重量份的由下列化學式3A所表示之不飽和化合物、20重量份的甲基丙烯酸、20重量份的苯乙烯及30重量份的縮水甘油甲基丙烯酸酯之外,丙烯酸系共聚物(C)以實質上以與合成實例1相同的方式製備。該丙烯酸系共聚物具有5500的重量平均分子量。於此,重量平均分子量是藉由GPC測量的以聚苯乙烯換算的重量平均分子量。 化學式3A
Figure 02_image065
合成實例4(丙烯酸系共聚物(D)的製備)
除了對合成實例1之裝配有冷卻器及攪拌器的燒瓶加入1400重量份的四氫呋喃、30重量份的由下列化學式4A所表示之不飽和化合物、20重量份的甲基丙烯酸、20重量份的苯乙烯及30重量份的縮水甘油甲基丙烯酸酯之外,丙烯酸系共聚物(D)以實質上以與合成實例1相同的方式製備。該丙烯酸系共聚物具有6000的重量平均分子量。於此,重量平均分子量是藉由GPC測量的以聚苯乙烯換算的重量平均分子量。 化學式4A
Figure 02_image067
合成實例5(丙烯酸系共聚物(E)的製備)
除了對合成實例1之裝配有冷卻器及攪拌器的燒瓶加入1400重量份的四氫呋喃、30重量份的由下列化學式5A所表示之不飽和化合物、20重量份的甲基丙烯酸、20重量份的苯乙烯及30重量份的縮水甘油甲基丙烯酸酯之外,丙烯酸系共聚物(E)以實質上以與合成實例1相同的方式製備。該丙烯酸系共聚物具有6000的重量平均分子量。於此,重量平均分子量是藉由GPC測量的以聚苯乙烯換算的重量平均分子量。 化學式5A
Figure 02_image069
合成實例6(丙烯酸系共聚物(F)的製備)
除了對合成實例1之裝配有冷卻器及攪拌器的燒瓶加入1400重量份的四氫呋喃、30重量份的由下列化學式6A所表示之不飽和化合物、20重量份的甲基丙烯酸、20重量份的苯乙烯及30重量份的縮水甘油甲基丙烯酸酯之外,丙烯酸系共聚物(E)以實質上以與合成實例1相同的方式製備。該丙烯酸系共聚物具有6000的重量平均分子量。於此,重量平均分子量是藉由GPC測量的以聚苯乙烯換算的重量平均分子量。 化學式6A
Figure 02_image071
合成實例7(丙烯酸系共聚物(G)的製備)
除了對合成實例1之裝配有冷卻器及攪拌器的燒瓶加入1400重量份的四氫呋喃、30重量份的由下列化學式7A所表示之不飽和化合物、20重量份的甲基丙烯酸、20重量份的苯乙烯及30重量份的縮水甘油甲基丙烯酸酯之外,丙烯酸系共聚物(G)以實質上以與合成實例1相同的方式製備。該丙烯酸系共聚物具有6000的重量平均分子量。於此,重量平均分子量是藉由GPC測量的以聚苯乙烯換算的重量平均分子量。 化學式7A
Figure 02_image073
合成實例8(丙烯酸系共聚物(H)的製備)
除了對合成實例1之裝配有冷卻器及攪拌器的燒瓶加入1400重量份的四氫呋喃、30重量份的由下列化學式8A所表示之不飽和化合物、20重量份的甲基丙烯酸、20重量份的苯乙烯及30重量份的縮水甘油甲基丙烯酸酯之外,丙烯酸系共聚物(H)以實質上以與合成實例1相同的方式製備。該丙烯酸系共聚物具有6000的重量平均分子量。於此,重量平均分子量是藉由GPC測量的以聚苯乙烯換算的重量平均分子量。 化學式8A
Figure 02_image075
合成實例9(1,2-醌二疊氮化合物的製備)
將1 mol由下列化學式A-a表示的酚化合物及2.0 mol的1,2-二疊氮基萘醌-5-磺酸(1,2-naphthoquinonediazide-5-sulfonic acid)[氯化物]進行縮合反應(condensation reaction)以製備1,2-二疊氮基萘醌-5-磺酸酯(1,2-naphthoquinonediazide-5-sulfonic ester)化合物。 化學式A-a
Figure 02_image077
合成實例10(1,2-醌二疊氮化合物的製備)
將1 mol由下列化學式B-a表示的酚化合物及2.0 mol的1,2-二疊氮基萘醌-5-磺酸 [氯化物]進行縮合反應以製備1,2-二疊氮基萘醌-5-磺酸酯化合物。 化學式B-a
Figure 02_image079
比較合成實例1(丙烯酸系共聚物(I)的製備)
除了對合成實例1之裝配有冷卻器及攪拌器的燒瓶加入1400重量份的四氫呋喃、30重量份的羥乙基甲基丙烯酸酯(hydroxyethyl methacrylate)、20重量份的甲基丙烯酸、20重量份的苯乙烯及30重量份的縮水甘油甲基丙烯酸酯之外,丙烯酸系共聚物(I)以實質上以與合成實例1相同的方式製備。該丙烯酸系共聚物具有6000的重量平均分子量。於此,重量平均分子量是藉由GPC測量的以聚苯乙烯換算的重量平均分子量。
比較合成實例2(丙烯酸系共聚物(J)的製備)
除了對合成實例1之裝配有冷卻器及攪拌器的燒瓶加入1400重量份的四氫呋喃、30重量份的羥基丁基甲基丙烯酸酯(hydroxybutyl methacrylate)、20重量份的甲基丙烯酸、20重量份的苯乙烯及30重量份的縮水甘油甲基丙烯酸酯之外,丙烯酸系共聚物(J)以實質上以與合成實例1相同的方式製備。該丙烯酸系共聚物具有6000的重量平均分子量。於此,重量平均分子量是藉由GPC測量的以聚苯乙烯換算的重量平均分子量。
比較合成實例3(丙烯酸系共聚物(K)的製備)
除了對合成實例1之裝配有冷卻器及攪拌器的燒瓶加入1400重量份的四氫呋喃、30重量份的甲基丙烯酸甲酯、20重量份的甲基丙烯酸、20重量份的苯乙烯及30重量份的縮水甘油甲基丙烯酸酯之外,丙烯酸系共聚物(K)以實質上以與合成實例1相同的方式製備。該丙烯酸系共聚物具有6000的重量平均分子量。於此,重量平均分子量是藉由GPC測量的以聚苯乙烯換算的重量平均分子量。
實例1(光敏樹脂組成物的製備)
基於在合成實例1中所製備的丙烯酸系共聚物(A)的重量為100重量份時,將30重量份的在合成實例9中製備之1,2-二疊氮基萘醌-5-磺酸酯化合物及3重量份作為矽烷耦合劑的(3-環氧丙氧基丙基)三甲氧基矽烷溶解於丙二醇甲醚醋酸酯(propylene glycol monomethyl ether acetate)中,以使基於所得組成物之固體含量為100 wt%時,混合物的固體含量為20 wt%,然後將溶液以0.1μm的微孔過濾器過濾而製備光敏樹脂組成物。
實例2(光敏樹脂組成物的製備)
除了使用合成實例2的丙烯酸系共聚物(B)代替實例1中使用合成實例1的丙烯酸系共聚物(A)之外,光敏性樹脂組成物實質上以與實例1相同的方式製備。
實例3(光敏樹脂組成物的製備)
除了使用合成實例3的丙烯酸系共聚物(C)代替實例1中使用合成實例1的丙烯酸系共聚物(A)之外,光敏性樹脂組成物實質上以與實例1相同的方式製備。
實例4(光敏樹脂組成物的製備)
除了使用合成實例4的丙烯酸系共聚物(D)代替實例1中使用合成實例1的丙烯酸系共聚物(A)之外,光敏性樹脂組成物實質上以與實例1相同的方式製備。
實例5(光敏樹脂組成物的製備)
除了使用合成實例5的丙烯酸系共聚物(E)代替實例1中使用合成實例1的丙烯酸系共聚物(A)之外,光敏性樹脂組成物實質上以與實例1相同的方式製備。
實例6(光敏樹脂組成物的製備)
除了使用合成實例6的丙烯酸系共聚物(F)代替實例1中使用合成實例1的丙烯酸系共聚物(A)之外,光敏性樹脂組成物實質上以與實例1相同的方式製備。
實例7(光敏樹脂組成物的製備)
除了使用合成實例7的丙烯酸系共聚物(G)代替實例1中使用合成實例1的丙烯酸系共聚物(A)之外,光敏性樹脂組成物實質上以與實例1相同的方式製備。
實例8(光敏樹脂組成物的製備)
除了使用合成實例8的丙烯酸系共聚物(H)代替實例1中使用合成實例1的丙烯酸系共聚物(A)之外,光敏性樹脂組成物實質上以與實例1相同的方式製備。
實例9(光敏樹脂組成物的製備)
除了使用15重量份的合成實例9的1,2-二疊氮基萘醌-5-磺酸酯化合物(A-a)及15重量份的合成實例10的1,2-二疊氮基萘醌-5-磺酸酯化合物(B-a)代替實例1中使用之30重量份的合成實例9的1,2-二疊氮基萘醌-5-磺酸酯化合物(A-a)之外,光敏性樹脂組成物實質上以與實例1相同的方式製備。
實例10(光敏樹脂組成物的製備)
除了使用3-(異氰酸丙酯)三甲氧基矽烷代替在實例1中使用的(3-環氧丙氧基丙基)三甲氧基矽烷作為矽烷耦合劑之外,光敏性樹脂組成物實質上以與實例1相同的方式製備。
比較實例1(光敏樹脂組成物的製備)
除了使用比較合成實例1的丙烯酸系共聚物(I)代替在實例1中使用之合成實例1的丙烯酸系共聚物(A)之外,光敏性樹脂組成物實質上以與實例1相同的方式製備。
比較實例2(光敏樹脂組成物的製備)
除了使用比較合成實例2的丙烯酸系共聚物(J)代替在實例1中使用之合成實例1的丙烯酸系共聚物(A)之外,光敏性樹脂組成物實質上以與實例1相同的方式製備。
比較實例3(光敏樹脂組成物的製備)
除了使用比較合成實例3的丙烯酸系共聚物(K)代替在實例1中使用之合成實例1的丙烯酸系共聚物(A)之外,光敏性樹脂組成物實質上以與實例1相同的方式製備。
比較實例4(光敏樹脂組成物的製備)
除了不使用在實例1中使用作為矽烷耦合劑的(3-環氧丙氧基丙基)三甲氧基矽烷之外,光敏性樹脂組成物實質上以與實例1相同的方式製備。
對實例1至實例10及比較實例1至比較實例4進行如靈敏度、解析度、固化製程裕度、透光率、耐熱變色、黏合性及耐熱性的測量,並示於下列表1中。使用旋塗機並在100°(°C)的熱板上自由烘烤2分鐘,而形成具有4.0 μm之厚度的薄膜,將根據實例1至實例10及比較實例1至比較實例4的光敏樹脂組成物塗佈於玻璃基板上。
A)靈敏度-在寬波段中具有20mW/cm2 的強度的紫外光使用設定的或預定的圖案遮罩以10 μm的接觸孔的臨界尺寸(critical dimension)(CD)參考量的靈敏度照射,然後使用2.38wt%的四甲基氫氧化銨(tetramethylammonium hydroxide)水溶液在約23℃下進行約1分鐘的顯影,並使用超純水進行清洗處理1分鐘。然後,在365 nm具有20 mW/cm2 的強度的400 mj/cm2 的紫外光照射在顯影的圖案上,並在230°C的烤箱中進行30分鐘的固化,因而得到具有3.0 μm之厚度的圖案膜。
B)解析度-測量靈敏度的A)中形成的10 μm接觸孔圖案的最小尺寸。
C)固化製程裕度-除了根據10μm的接觸孔CD測量固化前後CD的變化率之外,圖案膜以實質上相同於上述用於測量靈敏度的A)的方式形成。於此,變化率0-10%以○指示,變化率10-20%以△指示,以及變化率大於20%以Х指示。
D)透光率-藉由使用分光光度計測量在測量靈敏度的A)中形成的圖案膜在400nm下的透射率比來評估透射率。於此,透光率為90%或更大以○指示,透光率為85-90%以△指示,以及透光率小於80%以Х指示。
E)耐熱變色-進一步在計算透光率的D)中的基板上以230°(°C)在烤箱中30分鐘兩次進行固化,因而藉由固化前後圖案膜在400 nm透射率的變化來評估耐熱變色。於此,變化率小於3%以○指示,變化率為3-5%以△指示,以及變化率大於5%以Х指示。
F)黏合性-藉由觀察在測量靈敏度的A)中形成的圖案膜是否喪失圖案的範圍來評估黏合性。在95°(°C)以上的自由烘烤溫度下確保密合的情況以○指示,在100-105°(°C)的自由烘烤溫度下確保密合的情況以△指示,以及在105°(°C)以上的自由烘烤溫度下確保密合或圖案喪失的情況以Х指示。
G)耐熱性-使用熱重量分析(thermogravimetric analysis)(TGA)測量耐熱性。以在測量靈敏度的A)中形成的圖案膜作為樣品,並使用TGA以10°(°C)/分鐘的速度從室溫(例如,大約25°C)升至900°(°C)。在超過300°(°C)的溫度下損失5 wt%的情況以○指示,在280-300°(°C)的溫度下損失5 wt%的情況以△指示,以及在低於280°(°C)的溫度下損失5 wt%的情況以X指示。 表1
分類 靈敏度(mJ/cm2 ) 解析度(μm) 固化製程裕度 透光率 耐熱變色 黏合性 耐熱性 輪廓長度(Profile length)(KPI)
實例1 85 3 O O O O O 14 ± 2 μm
實例2 80 3 O O O O O 14 ± 2 μm
實例3 90 3 O O O O O 14 ± 2 μm
實例4 88 3 O O O O O 14 ± 2 μm
實例5 82 3 O O O O O 14 ± 2 μm
實例6 85 3 O O O O O 14 ± 2 μm
實例7 85 3 O O O O O 14 ± 2 μm
實例8 84 3 O O O O O 14 ± 2 μm
實例9 87 3 O O O O O 14 ± 2 μm
實例10 83 3 O O O O O 14 ± 2 μm
比較實例1 125 3 O O O O O 17 ± 3 μm
比較實例2 120 3 O O O O O 17 ± 3 μm
比較實例3 130 3 O O O X O 17 ± 3 μm
比較實例4 88 3 O O O X O 17 ± 3 μm
如上表1所示,實例1至實例10製備的光敏樹脂組成物具有優異的如靈敏度、解析度、固化製程裕度、透光率、耐熱變色、黏合性及耐熱性之特性。例如,經確認相較於比較實例1至比較實例3,實例1至實例10製備的光敏樹脂組成物具有優異的靈敏度,從而減少了處理所需的時間,以及相較於比較實例4具有優異的黏合性,以確保優異的面板可靠性。此外,如表1所示,經確認根據實例的輪廓長度最小為12 μm至16 μm,且根據比較例的輪廓長度最小為14 μm至20 μm。根據本發明之例示性實施例的情況下,可以確認的是曝光靈敏度非常好以具有相對較短的輪廓。此外,在具有優異曝光靈敏度的情況下,減少了過程所需或使用的曝光量而提高了生產率。
儘管以上已經描述了本發明的例示性實施例,本發明的範圍並不以此為縣,且各種所屬技術領域具有通常知識者使用本發明所附的申請專利範圍的基本概念修飾的變形及其等同物,也應包含在本發明的範圍中。
雖然本揭露已結合目前認為最為實際之例示性實施例而描述,可以理解的是本發明不侷限於揭示之實施例,相反的,意圖涵蓋包含於附隨申請專利範圍之精神與範疇中之各種修改及等效配置。
3:液晶層 31:液晶分子 100:下面板 110:第一基板 124:閘極電極 140:閘極絕緣膜 154:半導體層 173:源極電極 175:汲極電極 180:保護膜 185:接觸孔 190:有機絕緣膜 191:像素電極 200:上面板 210:第二基板 220:光阻構件 250:外罩 270:共用電極
所附圖式與說明書一起說明本發明之標的的實施例以及敘述,用於解釋本發明標的之實施例的原理。所附圖式為根據一示例性實施例之一個像素的一部分的示意性截面圖。
Figure 108135181-A0101-11-0002-1
3:液晶層
31:液晶分子
100:下面板
110:第一基板
124:閘極電極
140:閘極絕緣膜
154:半導體層
173:源極電極
175:汲極電極
180:保護膜
185:接觸孔
190:有機絕緣膜
191:像素電極
200:上面板
210:第二基板
220:光阻構件
250:外罩
270:共用電極

Claims (20)

  1. 一種光敏樹脂組成物,其包含: a)   由共聚合下列化合物取得之丙烯酸系共聚物: i)            含羥基之不飽和化合物; ii)          不飽和羧酸、不飽和羧酸酐或其混合物; iii)        含環氧基之不飽和化合物;以及 iv)        烯烴系不飽和化合物, b)  具有酚化合物的1,2-醌二疊氮5-磺酸酯化合物,該酚化合物包含由下列化學式A表示的化合物作為安定劑, c)   矽烷耦合劑;以及 d)  一溶劑: 化學式A
    Figure 03_image081
    其中,R1 及R2 分別為環丙烷、環丁烷、環戊烷或具有0至4個碳原子的烷基或具有0至4個碳原子的烷氧基,R3 及R4 分別為H 或CH3 ,且R獨立地為H、CH3
    Figure 03_image004
  2. 如申請專利範圍第1項所述之光敏樹脂組成物,其中: 該含羥基之不飽和化合物包含至少一種選自下列由化學式1至化學式8所表示的化合物: 化學式 1         化學式 2       化學式 3
    Figure 03_image006
    Figure 03_image008
    Figure 03_image010
    化學式 4    化學式 5     化學式 6
    Figure 03_image012
    Figure 03_image014
    Figure 03_image016
    化學式 7   化學式 8
    Figure 03_image018
    Figure 03_image020
    其中,R獨立地為H或CH3 且n1 及n2 分別為0至4的整數。
  3. 如申請專利範圍第1項所述之光敏樹脂組成物,其進一步包含: 下列由化學式B所表示的化合物: 化學式B
    Figure 03_image022
    其中,R為H、CH3
    Figure 03_image004
  4. 如申請專利範圍第1項所述之光敏樹脂組成物,其進一步包含: 至少一種選自下列由化學式B-1、B-2、B-3、B-4及B-5所表示的化合物: 化學式B-1
    Figure 03_image036
    化學式B-2
    Figure 03_image038
    化學式B-3
    Figure 03_image040
    化學式B-4
    Figure 03_image042
    化學式B-5
    Figure 03_image044
    其中,R為
    Figure 03_image004
  5. 如申請專利範圍第1項所述之光敏樹脂組成物,其中: 由化學式A表示的化合物包含至少一種選自下列由化學式A-1、A-2、A-3、A-4、A-5及A-6所表示的化合物: 化學式A-1
    Figure 03_image024
    化學式A-2
    Figure 03_image026
    化學式A-3
    Figure 03_image028
    化學式A-4
    Figure 03_image030
    化學式A-5
    Figure 03_image032
    化學式A-6
    Figure 03_image034
    其中,R3 及R4 分別為H或CH3 ,且R為
    Figure 03_image004
  6. 如申請專利範圍第3項所述之光敏樹脂組成物,其中: a)   由共聚合以下化合物取得100重量份之丙烯酸系共聚物: i)            5至70重量份之含羥基之不飽和化合物; ii)          5至40重量份之不飽和羧酸、不飽和羧酸酐或其混合物; iii)        10至70重量份之含環氧基之不飽和化合物;以及 iv)        5至70重量份之烯烴系不飽和化合物, b)  5至50重量份之具有酚化合物的1,2-醌二疊氮5-磺酸酯化合物,該酚化合物包含由下列化學式A表示的化合物作為安定劑,或具有酚化合物的1,2-醌二疊氮5-磺酸酯化合物,該酚化合物包含由下列化學式A及化學式B表示的化合物作為安定劑,以及 c)   0.1至30重量份之矽烷耦合劑。
  7. 如申請專利範圍第6項所述之光敏樹脂組成物,其中: 該溶劑的劑量使包含a)、b)及c)的固體含量為10至50 wt%。
  8. 如申請專利範圍第1項所述之光敏樹脂組成物,其中: a)ii)的不飽和羧酸、不飽和羧酸酐或其混合物包含選自由丙烯酸(acrylic acid)、甲基丙烯酸(methacrylic acid)、馬來酸(maleic acid)、福馬酸(fumaric acid)、焦檸檬酸(citraconic acid)、中康酸(metaconic acid)、伊康酸(itaconic acid)及其不飽和二羧酸酐(dicarboxylic anhydride)所組成之群組的一種或多種。
  9. 如申請專利範圍第1項所述之光敏樹脂組成物,其中: a)iii)的含環氧基之不飽和化合物包含選自由縮水甘油丙烯酸酯(glycidyl acrylate)、縮水甘油甲基丙烯酸酯(glycidyl methacrylate)、縮水甘油α-乙基丙烯酸酯(glycidyl α-ethyl acrylate)、縮水甘油α-正丙基丙烯酸酯(glycidyl α-n-propyl acrylate)、縮水甘油α-正丁基丙烯酸酯(glycidyl α-n-butyl acrylate)、β-甲基縮水甘油丙烯酸酯(β-methylglycidyl acrylate)、β-甲基縮水甘油甲基丙烯酸酯(β-methylglycidyl methacrylate)、β-乙基縮水甘油丙烯酸酯(β-ethylglycidyl acrylate)、β-乙基縮水甘油甲基丙烯酸酯(β-ethylglycidyl methacrylate)、3,4-環氧丙烯酸丁酯(3,4-epoxybutyl acrylate)、3,4-環氧甲基丙烯酸丁酯(3,4-epoxybutyl methacrylate)、6,7-環氧丙烯酸庚酯(6,7-epoxyheptyl acrylate)、6,7-環氧甲基丙烯酸庚酯(6,7-epoxyheptyl methacrylate)、6,7-環氧庚基α-乙基丙烯酸酯(6,7-epoxyheptyl α-ethyl acrylate)、鄰乙烯基芐基縮水甘油醚(o-vinylbenzylglycidyl ether)、間-乙烯基芐基縮水甘油醚(m-vinylbenzylglycidyl ether)及對-乙烯基芐基縮水甘油醚(p-vinylbenzylglycidyl ether)、3,4-環氧甲基丙烯酸環己酯(3,4-epoxycyclohexyl methacrylate)、3,4-環氧基環己基甲基甲基丙烯酸酯(3,4-epoxycyclohexylmethyl methacrylate)、丙烯酸3,4-環氧環己酯(3,4-epoxycyclohexyl acrylate)以及丙烯酸3,4-環氧基環己基甲酯(3,4-epoxycyclohexylmethyl acrylate)所組成之群組的一種或多種。
  10. 如申請專利範圍第1項所述之光敏樹脂組成物,其中: a)iv)的烯烴系不飽和化合物包含選自由甲基丙烯酸甲酯(methyl methacrylate)、甲基丙烯酸乙酯(ethyl methacrylate)、甲基丙烯酸正丁酯(n-butyl methacrylate)、仲甲基丙烯酸丁酯(sec-butyl methacrylate)、甲基丙烯酸叔丁酯(tert-butyl methacrylate)、丙烯酸甲酯(methyl acrylate)、丙烯酸異丙酯(isopropyl acrylate)、甲基丙烯酸環己酯(cyclohexyl methacrylate)、2-甲基環己基甲基丙烯酸酯(2-methylcyclohexyl methacrylate)、丙烯酸二環戊烯酯(dicyclopentenyl acrylate)、丙烯酸二環戊酯(dicyclopentanyl acrylate)、甲基丙烯酸二環戊烯酯(dicyclopentenyl methacrylate)、甲基丙烯酸二環戊酯(dicyclopentanyl methacrylate)、1-金剛烷基丙烯酸酯(1-adamantyl acrylate)、1-金剛烷基甲基丙烯酸酯(1-adamantyl methacrylate)、二環戊基氧乙基甲基丙烯酸酯(dicyclopentanyloxyethyl methacrylate)、甲基丙烯酸異冰片酯(isobornyl methacrylate)、丙烯酸環己酯(cyclohexyl acrylate)、2-甲基環己基丙烯酸酯(2-methylcyclohexyl acrylate)、丙烯酸二環戊氧乙基丙烯酸酯(dicyclopentanyloxyethyl acrylate)、丙烯酸異冰片酯(isobornyl acrylate)、甲基丙烯酸苯酯(phenyl methacrylate)、丙烯酸苯酯(phenyl acrylate)、丙烯酸芐酯(benzyl acrylate)、2-羥乙基甲基丙烯酸酯(2-hydroxyethyl methacrylate)、苯乙烯(styrene)、鄰甲基苯乙烯(o-methylstyrene)、間甲基苯乙烯(m-methylstyrene)、對甲基苯乙烯(p-methylstyrene)、乙烯基甲苯(vinyl toluene)、對甲氧基苯乙烯(p-methoxystyrene)、1,3-丁二烯(1,3-butadiene)、異戊二烯(isoprene)、2,3-二甲基-1,3-丁二烯(2,3-dimethyl 1,3-butadiene)所組成之群組的一種或多種。
  11. 如申請專利範圍第1項所述之光敏樹脂組成物,其中: a)的丙烯酸系共聚物具有3000至20000的聚苯乙烯轉換重量平均分子量(Mw)。
  12. 如申請專利範圍第1項所述之光敏樹脂組成物,其中: c)的矽烷耦合劑包含選自由(3-環氧丙氧基丙基)三甲氧基矽烷((3-glycidoxypropyl)trimethoxysilane)、(3-環氧丙氧基丙基)三乙氧基矽烷((3-glycidoxypropyl)triethoxysilane)、(3-環氧丙氧基丙基) 甲基二甲氧基矽烷((3-glycidoxypropyl)methyldimethoxysilane)、(3-環氧丙氧基丙基) 甲基二乙氧基矽烷((3-glycidoxypropyl)methyldiethoxysilane)、(3-環氧丙氧基丙基)二甲基乙氧基矽烷(3-glycidoxypropyl)dimethylethoxysilane、3,4-環氧基丁基三甲氧基矽烷(3,4-epoxybutyltrimethoxysilane)、3,4-環氧基丁基三乙氧基矽烷(3,4-epoxybutyltriethoxysilane)、2-(3,4-環氧基環己基)乙基三甲氧基矽烷(2-(3,4-epoxycyclohexyl)ethyltrimethoxysilane、2-(3,4-環氧基環己基)乙基三乙氧基矽烷(2-(3,4-epoxycyclohexyl)ethyltriethoxysilane)、胺丙基三甲氧基矽烷(aminopropyltrimethoxysilane)、胺丙基三乙氧基矽烷(aminopropyltriethoxysilane)、3-三乙氧基矽基-N-(1,3-二甲基-亞丁基)正丙胺(3-triethoxysilyl-N-(1,3-dimethyl-butylidene)propylamine)、N-(2-胺乙基)-3-胺丙基三甲氧基矽烷(N-(2-aminoethyl)-3-aminopropyltrimethoxysilane)、N-(2-胺乙基)-3-胺丙基三乙氧基矽烷(N-(2-aminoethyl)-3-aminopropyltriethoxysilane)、N-(2-胺乙基)-3-胺丙基甲基二甲氧基矽烷(N-(2-aminoethyl)-3-aminopropyl methyldimethoxysilane)、N-苯基 -3-胺丙基三甲氧基矽烷(N-phenyl-3-aminopropyltrimethoxysilane)以及3-(異氰酸丙酯)三乙氧基矽烷((3-isocyanatopropyl)triethoxysilane) 所組成之群組的一種或多種。
  13. 如申請專利範圍第1項所述之光敏樹脂組成物,其中: d)的溶劑包含選自由二乙二醇二甲基醚(diethylene glycol dimethyl ether)、二乙二醇甲乙醚(diethylene glycol methylethyl ether)、丙二醇甲醚醋酸酯(propylene glycol methyl ether acetate)、丙二醇乙醚醋酸酯(propylene glycol ethyl ether acetate)、丙二醇丙醚醋酸酯(propylene glycol propyl ether acetate)、丙二醇甲基醚丙酸酯(propylene glycol methyl ether propionate)、丙二醇乙醚丙酸酯(propylene glycol ethyl ether propionate)、丙二醇丙醚丙酸酯(propylene glycol propyl ether propionate)、丙二醇甲醚(propylene glycol methyl ether)、丙二醇乙醚(propylene glycol ethyl ether)、丙二醇丙醚(propylene glycol propyl ether)、丙二醇丁醚(propylene glycol butyl ether)、二丙二醇二甲醚(dipropylene glycol dimethyl ether)、二丙醇二乙醚(dipropylene glycol diethyl ether)、丁二醇單甲醚(butylene glycol monomethyl ether)、丁二醇單乙基醚(butylene glycol monoethyl ether)、二丁二醇二甲基醚(dibutylene glycol dimethyl ether)、二丁二醇二乙基醚(dibutylene glycol diethyl ether)、二乙二醇丁基甲基醚(diethylene glycol butylmethyl ether)、二乙二醇丁基乙基醚(diethylene glycol butylethyl ether)、三乙二醇二甲醚(triethylene glycol dimethyl ether)、三乙二醇丁基甲基醚(triethylene glycol butylmethyl ether)、二乙二醇叔丁基醚(diethylene glycol tert-butyl ether)、四乙二醇二甲醚(tetraethylene glycol dimethyl ether)、二乙二醇乙基己基醚(diethylene glycol ethylhexyl ether)、二乙二醇丁基乙基醚(diethylene glycol methylhexyl ether)、二丙二醇丁基甲基醚(dipropylene glycol butylmethyl ether)、二丙二醇乙基己醚(dipropylene glycol ethylhexyl ether)以及二丙二醇甲基己基醚(dipropylene glycol methylhexyl ether) 所組成之群組的一種或多種。
  14. 一種包含如第1項所述之光敏樹脂組成物的固化體之顯示裝置。
  15. 如申請專利範圍第14項所述之顯示裝置,其進一步包含: 一有機絕緣薄膜,該有機絕緣薄膜包含該光敏樹脂組成物的固化體。
  16. 如申請專利範圍第14項所述之顯示裝置,其進一步包含: 一基板, 一薄膜電晶體,在該基板上, 一像素電極,與該薄膜電晶體耦合,以及 一彩色濾光片,疊合在該薄膜電晶體上。
  17. 如申請專利範圍第16項所述之顯示裝置,其中: 該彩色濾光片介於該有機絕緣薄膜及該薄膜電晶體之間。
  18. 一種顯示裝置,其包含: 一基板, 一薄膜電晶體,在該基板上, 一像素電極,與該薄膜電晶體耦合,以及 一有機絕緣薄膜,疊合在該基板上, 其中,該有機絕緣薄膜包含光敏樹脂組成物的固化體,該光敏樹脂組成物包含: a)   由共聚合以下化合物取得之丙烯酸系共聚物: i) 含羥基之不飽和化合物; ii) 不飽和羧酸、不飽和羧酸酐或其混合物; iii) 含環氧基之不飽和化合物;以及 iv) 烯烴系不飽和化合物, b)  具有酚化合物的1,2-醌二疊氮5-磺酸酯化合物,該酚化合物包含由下列化學式A表示的化合物作為安定劑,以及 c)   矽烷耦合劑: 化學式A
    Figure 03_image081
    其中,R1 及R2 分別為環丙烷、環丁烷、環戊烷,R3 及R4 分別為H 或CH3 ,且R獨立地為H、CH3
    Figure 03_image004
  19. 如申請專利範圍第18項所述之顯示裝置,其中: 該含羥基之不飽和化合物包含至少一種選自下列由化學式1至化學式8所表示的化合物: 化學式 1         化學式 2       化學式 3
    Figure 03_image006
    Figure 03_image008
    Figure 03_image010
    化學式 4    化學式 5     化學式 6
    Figure 03_image012
    Figure 03_image014
    Figure 03_image016
    化學式 7   化學式 8
    Figure 03_image018
    Figure 03_image020
    其中,R為H或CH3 且n1 及n2 分別為0至4的整數。
  20. 如申請專利範圍第18項所述之顯示裝置,其中: 由化學式A表示的化合物包含至少一種選自下列由化學式A-1、A-2、A-3、A-4、A-5及A-6所表示的化合物: 化學式A-1
    Figure 03_image024
    化學式A-2
    Figure 03_image026
    化學式A-3
    Figure 03_image028
    化學式A-4
    Figure 03_image030
    化學式A-5
    Figure 03_image032
    化學式A-6
    Figure 03_image034
    其中, R3 及R4 分別為H 或CH3 ,且R為
    Figure 03_image004
TW108135181A 2018-09-28 2019-09-27 光敏樹脂組成物及包含其的顯示裝置 TWI839391B (zh)

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