TW202018185A - 閥裝置、泵頭以及泵裝置 - Google Patents

Abstract

本發明的一形態的閥裝置具備閥座、閥構件以及固定具。前述閥座由具有形成有連接孔之底部且在前述連接孔的周圍形成有複數個通氣孔之錐體狀的凹面所構成。前述閥構件具有：支持部，與前述底部對向；以及複數個閥部，能夠彈性變形，且具有從前述支持部的外側向徑向延伸之複數個狹縫，且與前述複數個通氣孔對向。前述固定具連接於前述連接孔，且將前述支持部固定於前述閥座。

Description

閥裝置、泵頭以及泵裝置

本發明係關於一種吸氣排氣用的閥裝置、泵頭以及具備該泵頭之泵裝置。

作為容積移送式泵(positive displacement pump)的一種之隔膜泵(diaphragm pump)係組合隔膜的往復運動與控制流體的流通路的開閉之閥機構來移動流體。閥機構中使用止回閥，且大多使用閥舌構造的板狀的閥(以下稱為舌閥)或圓形構造的圓形閥作為止回閥。

對於舌閥，通常使用鋼等彈簧應力相對較強之材料。 在使用了舌閥之閥機構中，舌閥的一端藉由固定螺絲固定於閥座。舌閥的另一端為自由端，能夠在與閥座的閥座面相接之關閉位置和離開閥座面之打開位置之間雙向地移動(例如參照專利文獻1)。 [先前技術文獻] [專利文獻]

專利文獻1：日本特開2005-282483號公報。

[發明所欲解決之課題]

近年來，對這種泵裝置要求進一步提高極限真空度。然而，現有的閥機構中具有無法削減無效空間(dead space)且難以提高極限真空度之問題。

本發明提供一種能夠提高極限真空度之閥裝置、泵頭以及具備該泵頭之泵裝置。 [用以解決課題的手段]

為了達成上述目的，本發明的一形態的閥裝置具備閥座、閥構件以及固定具。 前述閥座由具有形成有連接孔之底部且在前述連接孔的周圍形成有複數個通氣孔之錐體狀的凹面所構成。 前述閥構件具有：支持部，與前述底部對向；以及複數個閥部，能夠彈性變形，且具有從前述支持部的外側向徑向延伸之複數個狹縫(slit)，且與前述複數個通氣孔對向。 前述固定具連接於前述連接孔，且將前述支持部固定於前述閥座。

前述閥構件可由圓形的板材所構成，圓形的板材由合成樹脂材料所構成，前述複數個閥部可分別與前述複數個通氣孔對應地配置。

前述複數個通氣孔可具有與前述連接孔同心之圓弧形狀。

前述複數個狹縫可於前述支持部側的端部具有擴寬部。

本發明的一形態的泵頭具備基底構件、吸氣閥裝置以及排氣閥裝置。 前述基底構件具有第一面以及與前述第一面為相反側的第二面。 前述吸氣閥裝置設置於前述第一面。 前述排氣閥裝置設置於前述第二面。 前述吸氣閥裝置以及前述排氣閥裝置分別具有閥座、閥構件以及固定具。 前述閥座由具有形成有連接孔之底部且在前述連接孔的周圍形成有複數個通氣孔之錐體狀的凹面所構成。 前述閥構件具有：支持部，與前述底部對向；以及複數個閥部，能夠彈性變形，且具有從前述支持部向徑向延伸之複數個狹縫，且與前述複數個通氣孔對向。 前述固定具連接於前述連接孔，且將前述支持部固定於前述閥座。 [發明功效]

如以上所述，根據本發明，能夠提高極限真空度。

以下，一邊參照圖式一邊對本發明的實施形態進行說明。

[泵裝置] 圖1是表示本發明的一實施形態的泵裝置之圖。

本實施形態的泵裝置1具有第一泵部11以及第二泵部12，第一泵部11與第二泵部12藉由連接管13而串聯連接泵室。作為流體之氣體係藉由泵裝置1並經由連接於第二泵部12之吸氣管14被吸氣，且經由連接於第一泵部11之排氣管15排氣。

泵裝置1係構成為容積移送式泵，本實施形態中，使用隔膜之隔膜泵。泵裝置1例如用於離心蒸發器中之抽真空。 第一泵部11以及第二泵部12分別構成為真空泵。

通常來說，第一泵部11以及第二泵部12具有共通的構成，本實施形態中構成為隔膜泵等。

圖2是表示第一泵部11的構成之縱剖視圖。圖2中X軸、Y軸以及Z軸分別表示相互正交之三軸方向。圖2表示隔膜位於上死點時的形態。另外，第二泵部12因與第一泵部11同樣地構成，故此處以第一泵部11為主來進行說明。

泵裝置1具有泵本體10以及送風單元300。 泵本體10具有馬達M、轉換機構200、泵殼體100、隔膜61、基座109、泵頭60以及泵頭罩113。泵殼體100收容馬達M以及轉換機構200。

在泵本體10中，泵殼體100、基座109、泵頭60以及泵頭罩113係堆積於Z軸方向。

基座109由鋁合金等金屬材料所構成，該基座109的平面形狀形成為大致矩形。基座109配置於泵殼體100與泵頭60之間。隔膜61能夠變形自如地收容於由基座109與泵頭60所形成之空間。

泵頭60係平面形狀為大致矩形的板狀構件，由鋁合金等金屬材料所構成，且具有位於隔膜61側之第一面60a以及與該第一面60a為相反側的第二面60b。

泵頭60配置於基座109的上表面。於泵頭60與隔膜61之間形成泵室66。泵頭60配置於隔膜61與泵頭罩113之間，分別具有作為閥體的吸氣閥41以及排氣閥51。泵頭60的詳細情況將於下文敘述。

隔膜61係形成為圓形薄板狀，以將金屬製的芯(芯材)67包入內部。隔膜61在沿著該隔膜61的周緣之區域具有預定寬度的變形部61a。

隔膜61由橡膠、合成樹脂等所構成。隔膜61係能夠在由基座109與泵頭60形成之空間內往復移動的往復移動頭。隔膜61的周緣部夾持於基座109與泵頭60之間。

隔膜61係藉由往復動作使流體移動而使設置於該隔膜61與泵頭60之間之泵室66的體積發生變化。隔膜61一邊於與Z軸方向平行之方向變形一邊往復移動，經由吸氣閥41以及排氣閥51對泵室66交替地吸氣以及排氣，藉此進行預定的泵作用。

泵室66中包含：主室661(參照圖12)，形成於泵頭60與隔膜61之間；泵頭60中之吸氣側閥座71的圓錐台狀的凹面75的區域；以及泵頭60中之排氣側流通路52a、52b的區域。

芯67係構成為當隔膜61位於上死點(參照圖2)時隔膜61的泵頭60側的面沿著泵頭60的第一面60a。 而且，以能夠於後述的連桿(connecting rod)210的第一端部211安裝芯67之方式，於芯67中的與泵頭60側的面對向之面側一體地形成有具有母螺紋孔67a的凸座部67b，該母螺紋孔67a係用以與設置於第一端部211的公螺紋68螺合。

泵頭罩113配置於泵頭60上。泵頭罩113與泵頭60一起形成與連接管13連通之吸氣室72以及與排氣管15連通之排氣室82。

轉換機構200具有連桿210以及偏芯構件220。轉換機構200係連結於馬達M的驅動軸131，將馬達M的驅動軸131的旋轉轉換為隔膜61的往復移動。

連桿210將隔膜61與偏芯構件220之間相互連結。連桿210具有：第一端部211，與和隔膜61為一體之芯67連接；以及第二端部212，與偏芯構件220連接。連桿210的第二端部212形成有與偏芯構件220嵌合之嵌合孔213。

泵本體10具有第一軸承B1以及第二軸承B2。第一軸承B1係裝配在嵌合孔213的內周面，能夠旋轉地支持偏芯構件220。第二軸承B2係固定於泵殼體100，能夠旋轉地支持馬達M的驅動軸131。

偏芯構件220相對於驅動軸131的旋轉中心偏芯地形成。偏芯構件220藉由固定螺絲223固定於驅動軸131。偏芯構件220具有配重(counter weight)222。配重222係用以消除伴隨驅動軸131的旋轉而連桿210繞偏芯構件220旋轉時所產生的振動，因此配置於相對於驅動軸131而向偏芯構件220的偏芯方向的反方向偏靠之位置處。

第一泵部11進一步具有送風單元300。送風單元300具有風扇31以及風扇罩32。送風單元300構成為：藉由風扇31進行旋轉向泵殼體100的內部導入室外空氣(空氣)，藉此將運轉中的泵裝置1冷卻。

於泵殼體100中的配置有送風單元300之一側面形成有成為空氣的吸入口之送風口115。送風口115為圓形狀的開口，一部分形成有用以安裝風扇罩32之卡合部115a。風扇31配置於送風口115，構成為與從後述的偏心構件220突出之驅動軸131的端部131a一體旋轉之空氣吸入用的風扇。

第二泵部12係與第一泵部11同樣地構成。第二泵部12係與第一泵部11同時藉由共通的馬達M驅動。驅動軸131亦向第二泵部12側延伸，並連結於第二泵部12的偏芯構件(省略圖示)。

本實施形態中，第一泵部11與第二泵部12以不同的相位受到驅動。例如，以當第一泵部11的隔膜61位於上死點時第二泵部12的隔膜位於下死點的方式來設定各第一泵部11、第二泵部12的偏芯構件。

[泵裝置的動作] 對如以上構成之本實施形態的泵裝置1的動作進行說明。此處，以第一泵部11為中心進行說明。

藉由馬達M的驅動，偏芯構件220係沿著圓周而繞驅動軸131公轉，該圓周具有與從驅動軸131起的偏芯量對應的半徑。連結於偏芯構件220之連桿210係將驅動軸131的旋轉轉換為隔膜61的往復運動。藉此交替地進行泵室66的吸氣以及排氣，從而獲得由第一泵部11實現的預定的真空排氣作用。

藉由驅動隔膜61時的泵室66的壓力，吸氣閥41於吸氣時打開，排氣閥51於排氣時打開。

亦即，由於於隔膜61到達圖2所示之上死點之狀態下泵室66的壓力變得最高並成為比排氣室82還高的壓力，因此吸氣閥41關閉並成為比吸氣室72還高的壓力，因此排氣閥51打開。藉此，經由排氣室82將氣體噴出至排氣管15。

而且，於隔膜61到達下死點之狀態下，泵室66的壓力最低，排氣閥51關閉，吸氣閥41打開，從連接管13向吸氣室72內吸入氣體。

[泵頭] 接下來，對泵頭60的詳細情況進行說明。

(泵頭的概略構成) 如圖2所示，泵頭60係於第二面60b設置有泵頭罩113，並於與泵頭罩113之間形成吸氣室72與排氣室82。泵頭60於第一面60a側配置有隔膜61，並於與隔膜61之間形成泵室66。

泵頭60具有基底構件600、吸氣閥41以及排氣閥51。基底構件600具有第一面60a以及第二面60b。吸氣閥41設置於第一面60a，排氣閥51設置於第二面60b。

圖3中的(A)至圖3中的(C)是基底構件600之俯視圖以及剖視圖。圖3中的(A)是從第二面60b側觀察基底構件600之俯視圖。圖3中的(B)是從第一面60a側觀察基底構件600之俯視圖。圖3中的(C)是基底構件600之剖視圖。

圖4中的(A)至圖4中的(C)是具有吸氣閥41以及排氣閥51之泵頭60之俯視圖或剖視圖。圖4中的(A)是從第二面60b側觀察泵頭60之俯視圖。圖4中的(B)是從第一面60a側觀察泵頭60之俯視圖。圖4中的(C)是泵頭60的剖視圖。

如圖4中的(C)所示，泵頭60具有：吸氣側流通路42a、42b、排氣側流通路52a、52b、作為吸氣側的閥構件之吸氣閥41、作為排氣側的閥構件之排氣閥51、形成用以收容吸氣閥41之凹面75之吸氣側閥座71以及形成用以收容排氣閥51之凹面85之排氣側閥座81。

吸氣側流通路42a、42b、吸氣閥41以及吸氣側閥座71係構成吸氣閥裝置70。於吸氣側閥座71設置有吸氣側流通路42a、42b。 排氣側流通路52a、52b、排氣閥51以及排氣側閥座81係構成排氣閥裝置80。於排氣側閥座81設置有排氣側流通路52a、52b。

吸氣側流通路42a、42b以及排氣側流通路52a、52b係氣體之流通路，且為貫通泵頭60的厚度方向之通氣孔。 吸氣閥41設置於泵頭60之第一面側60a，將吸氣側流通路42a、42b開閉。 排氣閥51設置於泵頭60的第二面60b側，將排氣側流通路52a、52b開閉。

如圖4中的(A)所示，於泵頭60(或基底構件600)的第二面60b彼此分隔地設置有平面形狀為半圓狀的吸氣側凹部73與排氣側凹部83。吸氣側凹部73係與泵頭罩113一起構成吸氣室72。排氣側凹部83係與泵頭罩113一起構成排氣室82。

如圖3中的(C)以及圖4中的(C)所示，於設置於泵頭60的第二面60b之排氣側凹部83內設置有平面形狀為圓形的凹部84，並進一步於該凹部84的底部設置有錐體狀(本例中為圓錐台狀)的凹面85。排氣側閥座81係由該圓錐台狀的凹面85所構成，用以收容排氣閥51。圓錐台狀的凹面85係以開口從泵頭60的第一面60a側朝向第二面60b側擴大的方式形成。

另一方面，於泵頭60(或基底構件600)的第一面60a設置有錐體狀(本例中為圓錐台狀)的凹面75。吸氣側閥座71係由該圓錐台狀的凹面75所構成，用以收容吸氣閥41。圓錐台狀的凹面75係以開口從泵頭60的第二面60b側朝向第一面60a側擴大的方式形成。

吸氣閥裝置70具有作為固定具的螺絲46，該螺絲46係用以將吸氣閥41固定於吸氣側閥座71。同樣地，排氣閥裝置80具有作為固定具的螺絲56，該螺絲56係用以將排氣閥51固定於排氣側閥座81。

吸氣閥裝置70以及排氣閥裝置80分別具有相同的構造。 另外，排氣側閥座81係設置於凹部84的底部，該凹部84設置於第二面60b中所設置之排氣側凹部83內。與此相對，吸氣側閥座71直接設置於第一面60a。藉此，排氣側流通路52a、52b的泵頭60的厚度方向之長度比吸氣側流通路42a、42b還短。

(閥座的構造) 首先，對吸氣側閥座71以及排氣側閥座81進行詳細說明。由於吸氣側閥座71以及排氣側閥座81具有相同的構成，因此以下將這些稱作閥座71(81)，構成要素的括號內的元件符號表示對應之排氣閥裝置80側的構成要素的元件符號(關於圖5至圖7亦相同)。

如圖3中的(C)所示，閥座71(81)具有圓形且平坦的(平面形狀的)基準面711(811)以及相對於基準面711(811)以鈍角的角度傾斜之閥座面712(812)。圓錐台狀的凹面75(85)的底部(或頂部)係與基準面711(811)對應，圓錐台狀的凹面75(85)的側面係與閥座面712(812)對應。 閥座面712(812)構成為開口面積從基準面711(811)朝向凹面75(85)的開口端逐漸增大。

於基準面711(811)的中心設置有螺孔(連接孔)45(55)，該螺孔(連接孔)45(55)用以螺合將吸氣閥41(排氣閥51)安裝於閥座71(81)時所使用的螺絲46(56)。螺絲46(56)具有連接於螺孔45(55)之螺合部以及抵接於後述的吸氣閥41(排氣閥51)的支持部411(511)之頭部。基準面711(811)的大小與螺絲46(56)的頭部大致相同。如圖4中的(A)、圖4中的(B)所示，吸氣側流通路42a、42b(排氣側流通路52a、52b)具有與螺孔45(55)同心之圓弧形狀。

閥座面712(812)形成為能夠與後述的吸氣閥41(排氣閥51)的閥部412(512)密接。閥部412(512)係與設置於閥座面712(812)之吸氣側流通路42a、42b(排氣側流通路52a、52b)對向，藉由閥部412(512)彈性變形而將吸氣側流通路42a、42b(排氣側流通路52a、52b)開閉。

形成於第一面60a側之閥座面712的泵頭60的厚度方向(Z軸方向)的高度(或深度)設定為使固定吸氣閥41之螺絲46的頭部不會突出。從後述的削減無效空間的觀點考慮，較佳為螺絲46使用頭部較低之低頭螺絲。

(閥體的構造) 吸氣閥41與排氣閥51具有相同之構造。 圖5是表示安裝於基底構件600之前的(自然狀態的)吸氣閥41(排氣閥51)之俯視圖。圖6是安裝於基底構件600之時的吸氣閥41(排氣閥51)之立體圖。

如圖5所示，安裝至泵頭60之前的吸氣閥41(排氣閥51)係由具有平坦形狀之板材所形成，平面形狀形成為大致圓形。 吸氣閥41(排氣閥51)具有位於該吸氣閥41(排氣閥51)的中心之支持部411(511)以及以包圍支持部411(511)之方式定位之閥部412(512)。圖5中顯示以虛線包圍支持部411(511)。

支持部411(511)係當吸氣閥41(排氣閥51)安裝於閥座71(81)時藉由螺絲46(56)固定於吸氣側閥座71(排氣側閥座81)的基準面711(811)。 而且，於支持部411(511)的中心設置有供螺絲46(56)穿過之貫通孔415(515)。

閥部412(512)具有狹縫413(513)，該狹縫413(513)係從支持部411(511)的外側朝向吸氣閥41(排氣閥51)的周緣部414(514)於徑向延伸並切開所得。狹縫413(513)設置有兩個，該兩個狹縫413(513)經由支持部411(511)而對向配置。狹縫413(513)不到達支持部411(511)。

狹縫413(513)具有由大致銳角扇狀的銳角扇狀部4131(5131)與圓形狀的擴寬部4132(5132)相連而成的形狀。 銳角扇狀部4131(5131)具有從周緣部414(514)朝向中心並與狹縫413(513)延伸之方向正交的方向之寬度逐漸變窄的形狀。 擴寬部4132(5132)係與銳角扇狀部4131(5131)中的靠近支持部411(511)之端部相連而設置。藉由設置擴寬部4132(5132)，狹縫413(513)構成為與狹縫413(513)延伸的方向正交之方向的狹縫寬度於靠近支持部411(511)之端部處擴大。

藉由兩個狹縫413(513)，閥部412(512)被分為兩個大致鈍角扇狀的扇狀閥部412a(512a)、412b(512b)。

吸氣閥41(排氣閥51)對基底構件600的安裝係藉由一邊將吸氣閥41(排氣閥51)的支持部411(511)壓抵至閥座71(81)一邊用螺絲46(56)固定來進行。藉此，閥部412(512)沿著吸氣側閥座71(排氣側閥座81)的閥座面712(812)變形，成為圖6所示之圓錐台狀。

當吸氣閥41(排氣閥51)安裝到基底構件600時，因於吸氣閥41(排氣閥51)設置有狹縫413(513)，故抑制產生吸氣閥41(排氣閥51)的變形，能夠使吸氣閥41(排氣閥51)密接於閥座面712(812)。藉此，能夠提高吸氣閥41(排氣閥51)的密封性。

如圖6所示，吸氣閥41(排氣閥51)係形成為於安裝至泵頭60之狀態下將支持部411(511)作為頂部且將閥部412(512)作為側面之大致圓錐台狀。閥部412(512)相對於支持部411(511)以鈍角傾斜。

如圖5以及圖6所示，吸氣閥41(排氣閥51)藉由安裝於形成基底構件600的大致圓錐台狀的凹面75(85)之吸氣側閥座71(排氣側閥座81)，以狹縫413(513)的開合程度比安裝前還小的方式變形。

閥部412(512)係於關閉位置處與閥座面712(812)相接，堵住吸氣側流通路42a、42b(排氣側流通路52a、52b)。而且，閥部412(512)於打開位置處以離開閥座面712(812)的方式變形，將吸氣側流通路42a、42b(排氣側流通路52a、52b)開放。

這樣，閥部412(512)因吸氣閥41(排氣閥51)的開閉動作而重複變形，故應力容易施加至狹縫413(513)中的靠近支持部411(511)之端部。本實施形態中，因於狹縫413(513)中的靠近支持部411(511)之端部設置有擴寬部4132(5132)，故應力分散而不會集中於一點。藉此，抑制了閥部412(512)以狹縫413(513)的端部為起點的破損，從而吸氣閥41(排氣閥51)的耐久性提高。

藉由因安裝至泵頭60而從平坦之形態變形為圓錐台狀的形態，應力施加至吸氣閥41(排氣閥51)。詳細情況將於下文敘述，但期望以當安裝至泵頭60時彎曲應力施加至吸氣閥41(排氣閥51)之方式來設置吸氣閥41(排氣閥51)。

對於吸氣閥41(排氣閥51)而言，較佳為使用當安裝至泵頭60時能夠對吸氣閥41(排氣閥51)賦予適當的彎曲應力之彈性材料，能夠使用氟樹脂等樹脂系材料、橡膠系材料、金屬系材料等。而且，吸氣閥41(排氣閥51)的厚度被適當地設定，以能夠進行閥的開閉動作且能夠將適當的彎曲應力賦予至吸氣閥41(排氣閥51)。本實施形態中，作為一例，使用由厚度0.4mm的氟樹脂所構成之吸氣閥41(排氣閥51)。

(流通路的形狀、配置位置) 圖7是用以說明泵頭60中之吸氣側流通路42a、42b(排氣側流通路52a、52b)與吸氣閥41(排氣閥51)的位置關係之俯視圖。

如圖7所示，吸氣閥41(排氣閥51)係於關閉位置處以扇狀閥部412a(512a)覆蓋吸氣側流通路42a(排氣側流通路52a)且扇狀閥部412b(512b)覆蓋吸氣側流通路42b(排氣側流通路52b)的方式配置。吸氣閥41(排氣閥51)係以狹縫413(513)與吸氣側流通路42a(排氣側流通路52a)不重疊的方式配置。 本實施形態中，複數個扇狀閥部與複數個流通路(通氣孔)分別對應地配置。亦即，相對於一個扇狀閥部配置有一個流通路。

另外，如本實施形態般，除了相對於一個扇狀閥部設置一個流通路的構成之外，亦可為相對於一個扇狀閥部設置複數個流通路之構成。然而，於閥座面中之流通路所佔之總面積相同之情形下，相對於一個扇狀閥部設置一個流通路之構成係比設置複數個流通路之構成還能夠減小閥座面的面積。藉此，能夠進一步減小後述的無效空間90的體積。

本實施形態中，扇狀閥部的數量與設置於閥部之狹縫的數量相同。因此，如上述般為了減小閥部保持面的面積，較佳為將流通路的數量設為與狹縫的數量相同。

(閥裝置的動作) 接下來，對本實施形態中之吸氣閥41、排氣閥51的動作進行說明。 圖8是本實施形態中之泵頭60的吸氣閥裝置70之部分剖視圖，且是用以說明吸氣閥41的開閉機構之圖。圖8中的(A)是關閉位置處之部分剖視圖，圖8中的(B)是打開位置處之部分剖視圖。 另外，在排氣閥裝置80中，排氣閥51設置於泵頭60的第二面60b側。排氣閥裝置80具有使圖8所示的吸氣閥裝置70翻轉所得的構造。

於隔膜61到達上死點之狀態下，泵室66的壓力比吸氣室72以及排氣室82還高。這種狀態下，如圖8中的(A)所示，吸氣閥41的閥部412與閥座面712密接，關閉吸氣側流通路42a、42b(閉閥狀態)。而且，該狀態下，藉由從泵室66通過排氣側流通路52a、52b而流向排氣室82的氣體，排氣閥51的閥部512被上推且變形以離開閥座面812，從而打開排氣側流通路52a、52b(開閥狀態)。 藉此，從泵室66經由排氣室82向排氣管15噴出氣體。

於隔膜61到達下死點之狀態下，泵室66的壓力比吸氣室72以及排氣室82還低。該狀態下，如圖8中的(B)所示，藉由從吸氣室72通過吸氣側流通路42a、42b而流向泵室66之氣體，吸氣閥41的閥部412被下壓且變形以離開閥座面712。藉此，吸氣側流通路42a、42b打開(開閥狀態)。而且，該狀態下，排氣閥51的閥部512與閥座面812密接，排氣側流通路52a、52b關閉(閉閥狀態)。 藉此，從連接管13向吸氣室72內吸入氣體。

(作用、功效之說明) 本實施形態中，如上述般設置形成凹面之閥座，該閥座具有基準面以及相對於該基準面在鈍角的範圍內傾斜之閥座面，藉此能夠減少無效空間且能夠提高泵裝置1的壓縮比。無效空間係泵裝置1中隔膜61位於上死點時殘留氣體之空間。 以下，結合比較例來對無效空間進行說明。

圖9是說明本實施形態的泵頭60中之吸氣閥裝置70側的無效空間90的區域之圖，圖9中的(A)是泵頭60的吸氣閥裝置70側的部分放大剖視圖，圖9中的(B)是表示無效空間90的平面區域之圖。 圖10是說明作為第一比較例中使用舌閥302作為吸氣閥之泵頭361中之無效空間91的區域之圖，圖10中的(A)是泵頭361的部分放大剖視圖，圖10中的(B)是表示無效空間91的平面區域之圖。 圖11是說明作為第二比較例中使用圓形閥312作為吸氣閥之泵頭362中之無效空間92的區域之圖，圖11中的(A)是泵頭362的部分放大剖視圖，圖11中的(B)是表示無效空間92的平面區域之圖。 圖9至圖11中，泵頭中之無效空間的區域由點(以灰色)來顯示。

本實施形態中，如圖9所示，收容吸氣閥41之圓錐台狀的凹面75的區域為無效空間90。

圖10所示的第一比較例中，於當裝入至泵裝置時位於泵頭361的隔膜61側之第一面360a設置有直柱體狀的凹部304。凹部304收容舌閥302。

舌閥302具有平面為矩形狀的薄板狀。構成凹部304之平坦之底面係成為閥座305。舌閥302的一端藉由螺絲303固定於閥座305。舌閥302的另一端為自由端，以覆蓋設置於閥座305之吸氣側流通路301的方式配置。

於第一比較例中之泵頭361中，無效空間91係直柱體狀的凹部304的區域。無效空間91的體積大致等於舌閥302的平面面積乘以凹部304的高度(泵頭361的厚度方向之尺寸)所得的值。由於凹部304的高度被設定為使得舌閥302以及螺絲303的頭部303a不突出至由泵頭361所形成之空間的外側，因此無效空間91的高度必須為一定程度的高度。

與如第一比較例般收容閥體之凹部為直柱體狀的情形相比，在閥體的平面面積相等的情形下，如本實施形態般設為錐台狀更能夠減小無效空間的體積。

繼而，圖11所示的第二比較例中，於泵頭362與泵頭罩313之間形成有空間309，該空間309收容圓形閥312且能夠供圓形閥312向上下方向移動。進而，於泵頭362設置有在空間309與主室(泵室)之間移動之氣體的流路307。於空間309內設置有傾斜面308，使得氣體能夠向圖式上的圓形閥312的下側流入。

於泵頭362設置有對圓形閥312進行定位之定位銷306。定位銷306貫通圓形閥312的中心，圓形閥312沿著定位銷306能夠上下地移動。於關閉位置處，圓形閥312以覆蓋吸氣側流通路301的方式配置，該吸氣側流通路301設置於泵頭362中設置之平坦的閥座305。

第二比較例中之泵頭362中，無效空間92係空間309與流路307的區域。由於空間309的高度係根據圓形閥312的上下的移動量及傾斜面308的設置量來決定，故空間309必須為一定程度的高度。而且，空間309的大小亦取決於圓形閥312的大小。

相對於第二比較例，本實施形態中，無須設置傾斜面308以使氣體通過圓形閥312的下方。藉此，本實施形態中，與第二比較例相比，能夠減小無效空間90的體積。

接下來，使用圖12以及圖13來說明搭載有本實施形態的泵頭60之泵裝置1中之無效空間能夠比現有的泵裝置削減了多少。圖12以及圖13中，泵頭中之無效空間的區域由點(以灰色)來顯示，且主室661(泵室)中之無效空間中沒有任何點(未顯示為灰色)。

圖12是具有與上述本實施形態的泵裝置1相同構造之泵裝置1A之部分剖視圖。泵裝置1A係相當於將搭載於ULVAC(愛發科)公司製造的型號DA-121D的隔膜型乾式真空泵之泵頭置換為本實施形態的泵頭60所得。

圖13是作為第三比較例的泵裝置310之部分剖視圖。作為第三比較例的泵裝置310，具有與ULVAC公司製造的型號DA-121D的隔膜型乾式真空泵對應之構成。

圖12所示的泵裝置1A與圖13所示的泵裝置310的不同之處在於泵頭的形狀不同。圖13中，對與圖12相同的構成附上相同的元件符號並省略說明。

如圖13所示，第三比較例中之泵裝置310的泵頭363具有與第二比較例相同之閥構造。泵頭363具有位於隔膜61側之第一面360a以及與該第一面360a為相反側的第二面360b。泵頭363的吸氣閥裝置370以及排氣閥裝置380各自中使用之圓形閥314均配置於泵頭363的第二面360b側。

在吸氣閥裝置370中，於第二面360b側形成有收容圓形閥314之凹部371。該凹部371具有凹部的深度逐從該凹部371的中心朝向周緣部漸變深之傾斜面。吸氣閥裝置370中之圓形閥314係以於打開位置處閥部位於凹部371內的方式移動。凹部371係與吸氣側流通路340連通。 在排氣閥裝置380中，於平坦之第二面360b配置有圓形閥314，與該圓形閥314對應地設置有排氣側流通路350。圖示雖省略，但於排氣閥裝置380中的圓形閥314的圖中正上方位置處設置有泵頭罩，該泵頭罩具有與上述凹部371對應之形狀的凸部。

於圖13所示的第三比較例中之泵頭363中，凹部371、吸氣側流通路340以及排氣側流通路350的區域成為無效空間93。

與此相對，如圖12所示，在本實施形態的泵裝置1A的泵頭60中，圓錐台狀的凹面75與排氣側流通路52a、52b的區域成為無效空間90。

在本實施形態的泵頭60中，藉由於吸氣閥裝置70中將吸氣閥41配置於第一面60a側而能夠削減與吸氣側流通路相當的無效空間。

進而，因於第一面60a側設置有收容吸氣閥41之凹面75，故吸氣閥41閉閥時不會突出至由凹面75所形成之空間外。因此，與不設置凹面75而於第一面60a配置吸氣閥的情形相比，本實施形態中能夠使上死點的隔膜61的位置更靠近泵頭60，從而能夠削減構成泵室66的一部分之主室661中之無效空間。

此外，形成閥座71之凹面75係具有閥座面712，該閥座面712係以開口面積從基準面711朝向開口端逐漸增大的方式相對於基準面711以鈍角傾斜。藉此，與圖10所示之設置有直柱體狀的凹部的情形相比，能夠減小凹部的體積，從而能夠進一步削減無效空間的體積。

而且，在本實施形態的泵頭60中，因如上述般在排氣閥裝置80中的排氣側凹部83的底部設置有排氣側閥座81，故排氣側流通路52a、52b的泵頭60的厚度方向之長度比吸氣側流通路42a、42b還短。 因此，能夠使排氣側流通路52a、52b所引起之無效空間90的體積比圖13所示的第三比較例中之排氣閥裝置380的排氣側流通路350所致使之無效空間93還削減。

而且，如上述般，藉由將與吸氣閥41(排氣閥51)對應之流通路的數量設為與狹縫的數量相同，能夠減小閥座面的面積，從而能夠削減無效空間90的體積。

在圖13所示的第三比較例的泵裝置310中，無效空間93為4912,949mm³ 。與此相對，在圖12所示的本實施形態的泵裝置1A中，無效空間90為883,718mm³ 。這樣，本實施形態的泵裝置1A係比第三比較例中之泵裝置310能夠將無效空間90的體積大幅削減約82%。

這樣，藉由減小無效空間90的體積，能夠相對於隔膜61的移動容量進一步減小無效空間90，因而能夠提高泵裝置1A的壓縮比。若由V表示泵頭60內部的總容量且由V´表示隔膜61的實際移動容量，則壓縮比由V/(V－V´)表示。

而且，藉由壓縮比提高，能夠獲得高流量。藉此，加速了閥體從打開位置向關閉位置的返回，閥體的密封性提高，且能夠降低極限壓力。

而且，如上述般，期望吸氣閥41(排氣閥51)設置成在安裝至泵頭60的狀態下受到應力。藉此，能夠提高閥體(吸氣閥41、排氣閥51)的密封性。以下將進行說明。

首先，使用圖14以及圖15來說明使用上述第一比較例的舌閥的情形與使用第二比較例的圓形閥的情形。

圖14是對作為吸氣閥的舌閥302的開閉進行說明之圖，圖14中的(A)表示關閉位置時，圖14中的(B)表示打開位置時。圖14相當於上述圖10，對相同的構成附上相同的元件符號且有時省略說明。

如圖14中的(B)所示，於打開位置處，藉由從未圖示的吸氣室經由吸氣側流通路301流向泵室的氣體，舌閥302的另一端以被朝向氣體的行進方向推動而離開閥座305的方式移動，從而舌閥302打開。

舌閥302由鋼等彈簧應力相對較強的材料所構成，從打開位置向關閉位置的移動係取決於舌閥302自身的彈簧應力。因此，例如在吸氣側機構中，於隔膜61到達下死點之前舌閥302藉由彈簧應力而容易回到關閉位置，且於充分吸氣之前關閉閥。

圖15是說明作為吸氣閥的圓形閥的開閉之圖，圖15中的(A)表示關閉位置時，圖15中的(B)表示打開位置時。圖15相當於上述圖11，對相同的構成附上相同的元件符號且有時省略說明。

如圖15中的(B)所示，於打開位置處，藉由從吸氣室經由吸氣側流通路301流向泵室之氣體，圓形閥312係以被朝向氣體的行進方向推動而離開閥座305的方式移動，圓形閥312打開。

在使用圖15所示的圓形閥312之閥裝置中，藉由氣體移送時施加至閥的表背之壓力差來進行閥的開閉。亦即，圓形閥312從打開位置向關閉位置的移動係取決於泵室與大氣的差壓。圓形閥312中使用金屬以外的樹脂等。這樣，在圖15所示的閥裝置中，因利用差壓來進行圓形閥的開閉，故無法增大壓縮比，圓形閥不易從打開位置回到關閉位置。

相對於這些比較例，在本實施形態的閥裝置中，吸氣閥41、排氣閥51從打開位置向關閉位置的移動係取決於泵室與大氣的差壓和施加至吸氣閥41、排氣閥51之應力的雙方。藉此，與上述兩個比較例相比，能夠高效率地提高吸氣閥41(排氣閥51)的密封性。

亦即，如上述般，吸氣閥41(排氣閥51)在安裝至泵頭60之狀態下處於受到應力之狀態，欲回到安裝前的平坦狀態之力發揮作用。吸氣閥41(排氣閥51)在關閉位置處於受到應力之狀態，且在打開位置處處於比在關閉位置時受到更大應力之狀態。

這樣，由於吸氣閥41(排氣閥51)於打開位置處成為比關閉位置時受到更大應力之狀態，因此吸氣閥41(排氣閥51)容易從打開位置回到關閉位置，能夠降低極限壓力。 進而，由於吸氣閥41(排氣閥51)在關閉位置成為受到應力之狀態，故於關閉位置處閥部412(512)被朝向吸氣側閥座71(排氣側閥座81)壓抵，吸氣閥41(排氣閥51)的密封性提高，能夠降低極限壓力。

進而，本實施形態中，由於吸氣閥41、排氣閥51從打開位置向關閉位置的移動係除了取決於施加至吸氣閥41、排氣閥51之應力外亦取決於泵室與大氣的差壓，因而密封性進一步提高，能夠降低極限壓力。

如以上，除了削減無效空間的體積之外，藉由使用受到應力之狀態的閥體(吸氣閥41、排氣閥51)來構成閥裝置，能夠進一步提高閥體的密封性，且能夠降低極限壓力。

而且，在本實施形態的泵頭60中，於吸氣側閥座71(排氣側閥座81)中，由於作為密封面之閥座面712(812)相對於基準面711(811)以鈍角傾斜，因此與閥座平坦的情形相比，能夠減小泵作動時閥部抬起並返回的距離(升程(lift stroke))。藉此，加速閥體的返回，閥體的密封性提高，且能夠降低極限壓力。

[實施例] 將搭載有本實施形態的泵頭60之泵裝置的極限壓力的測定結果與以往的製品的泵裝置中的測定結果一起顯示於表1中。

在下述表1中，準備ULVAC公司製造的型號DA-241S的隔膜型乾式真空泵來作為以往的製品的一級壓縮構造的泵裝置。 準備將ULVAC公司製造的型號DA-241S的隔膜型乾式真空泵的泵頭置換為本實施形態的泵頭60後的泵來作為搭載有本實施形態中之泵頭60之一級壓縮構造的泵裝置。 準備ULVAC公司製造的型號DA-121D的隔膜型乾式真空泵來作為以往的製品的二級壓縮構造的泵裝置。 準備將ULVAC公司製造的型號DA-121D的隔膜型乾式真空泵的泵頭置換為本實施形態的泵頭60後的泵來作為搭載有本實施形態中之泵頭60之二級壓縮構造的泵裝置。 在任一裝置中，均測定馬達M的電源頻率設為50Hz時與設為60Hz時各自的極限壓力。

[表1] (單位：kPa)

如表1所示，與以往的製品相比，藉由使用本實施形態的泵頭60能夠降低極限壓力。

以上對本發明的實施形態進行了說明，但本發明不限於此，能夠基於本發明的技術思想進行各種變形。

例如，以上的實施形態中，列舉形成圓錐台狀的凹面之閥座為例，但形狀不限定於此。只要是具有相對於基準面以鈍角傾斜之閥座面之形狀即可，例如可以是形成圓錐狀、角錐狀、角錐台狀的凹面之閥座。即使在這種構成中，由於在閥體設置有狹縫，故亦能夠抑制閥體產生變形且使閥體沿著閥座面。

而且，以上的實施形態中，已說明將本發明的閥裝置以及泵頭應用於隔膜泵之例，但不限於此，亦能夠應用於活塞泵等其他泵裝置中之閥裝置或泵頭。 進而，本發明的閥裝置不限於吸氣排氣用的閥裝置，亦能夠同樣地應用於具有止回功能之通用的開閉閥。

1、1A、310:泵裝置 10:泵本體 11:第一泵部 12:第二泵部 13:連接管 14:吸氣管 15:排氣管 31:風扇 32:風扇罩 41:吸氣閥(閥體、吸氣側閥體) 42a、42b、301、340:吸氣側流通路(流通路) 45、55:螺孔(連接孔) 46、56、303:螺絲 51:排氣閥(閥體、排氣側閥體) 52a、52b、350:排氣側流通路(流通路) 60、361、362、363:泵頭 60a、360a:第一面 60b、360b:第二面 61:隔膜(往復移動頭) 61a:變形部 66:泵室 67:芯(芯材) 67a:母螺紋孔 67b:凸座部 68:公螺紋 70、370:吸氣閥裝置 71:吸氣側閥座(閥座) 72:吸氣室 73:吸氣側凹部 75、85:凹面 80、380:排氣閥裝置 81:排氣側閥座(閥座) 82:排氣室 83:排氣側凹部 84:平面形狀為圓形的凹部 90、91、92、93:無效空間 100:泵殼體 109:基座 113、313:泵頭罩 115:送風口 115a:卡合部 131:驅動軸 131a:驅動軸的端部 200:轉換機構 210:連桿 211:第一端部 212:第二端部 213:嵌合孔 220:偏芯構件 222:配重 223:固定螺絲 300:送風單元 302:舌閥 303a:頭部 304:直柱體狀的凹部 305:閥座 306:定位銷 307:流路 308:傾斜面 309:空間 312、314:圓形閥 371:凹部 411、511:支持部 412、512:閥部 412a、512a、412b、512b:扇狀閥部 413、513:狹縫 414、514:周緣部 415、515:貫通孔 600:基底構件 661:主室 711、811:基準面 712、812:閥座面 4131、5131:銳角扇狀部 4132、5132:擴寬部 B1:第一軸承 B2:第二軸承 M:馬達

圖1是表示本發明的一實施形態的泵裝置的整體之立體圖。 圖2是上述泵裝置的主要部分之縱剖視圖且表示隔膜處於上死點時的形態。 圖3是表示上述泵裝置中之構成泵頭之基底構件之圖，圖3中的(A)是俯視圖，圖3中的(B)是仰視圖，圖3中的(C)是剖視圖。 圖4是表示上述泵頭之圖，圖4中的(A)是俯視圖，圖4中的(B)是仰視圖，圖4中的(C)是剖視圖。 圖5是表示安裝於上述基底構件之前的閥構件的自然狀態之俯視圖。 圖6是安裝於上述基底構件時的閥構件之立體圖。 圖7是用以說明上述泵頭中之流通路的形狀、流通路與閥體的位置關係之閥構件之俯視圖。 圖8是上述泵頭中之吸氣閥裝置之部分剖視圖且是用以說明閥體的開閉機構之圖。 圖9是用以說明上述泵頭中之無效空間之部分剖視圖以及俯視圖。 圖10是用以說明第一比較例的泵頭中之無效空間之部分剖視圖以及俯視圖。 圖11是用以說明第二比較例的泵頭中之無效空間之部分剖視圖以及俯視圖。 圖12是用以說明本發明的一實施形態的泵裝置的泵頭中之無效空間之泵裝置之部分剖視圖。 圖13是用以說明第三比較例的泵裝置的泵頭中之無效空間之泵裝置之部分剖視圖。 圖14是用以說明第一比較例的閥裝置之泵頭之部分剖視圖。 圖15是用以說明第二比較例的閥裝置之泵頭的部分剖視圖。

41:吸氣閥(閥體、吸氣側閥體)

42a、42b:吸氣側流通路(流通路)

45:螺孔(連接孔)

46:螺絲

60:泵頭

60a:第一面

60b:第二面

70:吸氣閥裝置

71:吸氣側閥座(閥座)

75:凹面

411:支持部

412:閥部

711:基準面

712:閥座面

Claims (6)

1. 一種閥裝置，具備： 閥座，由具有形成有連接孔之底部且在前述連接孔的周圍形成有複數個通氣孔之錐體狀的凹面所構成； 閥構件，具有：支持部，與前述底部對向；以及複數個閥部，能夠彈性變形，且具有從前述支持部的外側向徑向延伸之複數個狹縫，且與前述複數個通氣孔對向；以及 固定具，連接於前述連接孔，且將前述支持部固定於前述閥座。
2. 如請求項1所記載之閥裝置，其中前述閥構件由圓形的板材所構成，前述圓形的板材由合成樹脂材料所構成； 前述複數個閥部分別與前述複數個通氣孔對應地配置。
3. 如請求項2所記載之閥裝置，其中前述複數個通氣孔具有與前述連接孔同心之圓弧形狀。
4. 如請求項1至3中任一項所記載之閥裝置，其中前述複數個狹縫於前述支持部側的端部具有擴寬部。
5. 一種泵頭，具備： 基底構件，具有第一面以及與前述第一面為相反側的第二面； 吸氣閥裝置，設置於前述第一面；以及 排氣閥裝置，設置於前述第二面； 前述吸氣閥裝置以及前述排氣閥裝置分別具有： 閥座，由具有形成有連接孔之底部且在前述連接孔的周圍形成有複數個通氣孔之錐體狀的凹面所構成； 閥構件，具有：支持部，與前述底部對向；以及複數個閥部，能夠彈性變形，且具有從前述支持部向徑向延伸之複數個狹縫，且與前述複數個通氣孔對向；以及 固定具，連接於前述連接孔，將前述支持部固定於前述閥座。
6. 一種泵裝置，具備如請求項5所記載之泵頭。

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