TW201946686A - 過濾裝置以及過濾方法 - Google Patents

Abstract

一種過濾裝置用以過濾一液體。過濾裝置包括一腔體以及一濾心。腔體包括一進液口、一第一出液口以及一第二出液口，液體適於經由進液口進入腔體，其中第一出液口設置於腔體的一第一端，第二出液口設置於與第一端相對的一第二端。濾心設置於腔體內。濾心包括一濾心管壁，其中液體適於穿過濾心管壁以過濾成一經過濾液體。經過濾液體經由第一出液口流出腔體。被過濾出的未能穿過濾心管壁的一排除液體經由第二出液口流出腔體。一種過濾方法也被提出。

Description

過濾裝置以及過濾方法

本發明實施例是有關於一種過濾裝置以及過濾方法。

在半導體製造過程中，半導體晶片可以製造為具有例如電晶體、電阻器、電容器、電感器等的元件形成在其中的晶片。半導體晶片的製造可以包括許多加工步驟，這些加工步驟可以包括微影、離子注入、摻雜、退火、封裝等的組合。許多類型的流體可以用於這些製程中，包括水、電介質、聚合物、光阻、化學蝕刻劑、酸等。這些流體被過濾並且傳遞至製造設備，使製造設備在製造半導體期間可使用這些流體。

本發明實施例提供一種過濾裝置以及過濾方法，其可使過濾裝置具有較長的使用壽命以及較高的大型顆粒移除率。

本發明實施例的一種過濾裝置用以過濾一液體。過濾裝置包括一腔體以及一濾心。腔體包括一進液口、一第一出液口以及一第二出液口，液體適於經由進液口進入腔體，其中第一出液口設置於腔體的一第一端，第二出液口設置於與第一端相對的一第二端。濾心設置於腔體內。濾心包括一濾心管壁，其中液體適於穿過濾心管壁以過濾成一經過濾液體。經過濾液體經由第一出液口流出腔體。被過濾出的未能穿過濾心管壁的一排除液體經由第二出液口流出腔體。

本發明實施例的一種過濾方法包括下列步驟。使一液體經由一進液口流入一過濾裝置內以進行過濾。使穿過過濾裝置的一濾心而過濾成的一經過濾液體經由第一出液口流出過濾裝置。使被過濾出的未能穿過該濾心的一排除液體經由一第二出液口流出過濾裝置。

本發明實施例的一種過濾方法包括下列步驟。使一液體流入一過濾裝置內以進行過濾。檢測液體的一流速是否低於一正常流速。若是，停止對液體進行過濾並進行異常處理或逆洗。若否，繼續對液體進行過濾。

為讓本發明實施例的上述特徵和優點能更明顯易懂，下文特舉實施例，並配合所附圖式作詳細說明如下。

以下揭露內容提供用於實作所提供標的之不同特徵的許多不同的實施例或實例。以下闡述元件及排列的具體實例以簡化本揭露內容。當然，這些僅為實例且不旨在進行限制。舉例來說，以下說明中將第一特徵形成於第二特徵「之上」或第二特徵「上」可包括其中第一特徵與第二特徵被形成為直接接觸的實施例，也可包括其中所述第一特徵與所述第二特徵之間可形成有附加特徵進而使得所述第一特徵與所述第二特徵可能不直接接觸的實施例。另外，本揭露內容可能在各種實例中重複使用標號及/或字母。這種重複是出於簡潔及清晰的目的，而不是自身表示所論述的各種實施例及/或配置之間的關係。

此外，為易於說明，本文中可能使用例如「之下（beneath）」、「下面（below）」、「下部（lower）」、「上方（above）」、「上部（upper）」等空間相對性用語來闡述圖中所示的一個元件或特徵與另一（其他）元件或特徵的關係。所述空間相對性用語旨在除圖中所繪示的取向外更囊括裝置在使用或操作中的不同取向。設備可具有其他取向（旋轉90度或處於其他取向）且本文中所用的空間相對性描述語可同樣相應地進行解釋。

圖1是依照本發明的一實施例的一種過濾裝置的示意圖。本實施例的過濾裝置100可應用於例如一半導體製程設備中，用以過濾一液體L1。在一實施例中，此液體可包括研磨漿液（slurry）、化學溶液或前導液（precursor）等或其他需要過濾的製程液體。進一步而言，過濾裝置100可設置於半導體製程設備中的一液體供給系統中，以在將液體供給至另一製程槽之前先進行過濾。

請參照圖1，在本實施例中，過濾裝置100包括腔體110以及濾心120。腔體110包括進液口112、第一出液口114以及第二出液口116。在本實施例中，液體L1適於經由進液口112進入腔體110。腔體110可包括彼此相對的第一端E1以及第二端E2，在某些實施例中，第一出液口114設置於腔體110的第一端E1，第二出液口116設置於與第一端E1相對的第二端E2，並且，在某些實施例中，進液口112設置於腔體110的第一端E1。也就是說，第二出液口116與第一出液口114分別設置於腔體110的相對兩端E1、E2，且第一出液口114與進液口112設置於腔體110的同一端（例如第一端E1）。

在某些實施例中，濾心120設置於腔體110內。濾心120包括一濾心管壁122，其中，液體L1適於穿過濾心管壁122以過濾成一經過濾液體LF，並且，此經過濾液體LF可經由第一出液口114流出腔體110。此外，被過濾出的未能穿過濾心管壁122的一排除液體LD則可經由第二出液口116流出腔體110。在某些實施例中，濾心120可為薄膜式濾心（membrane filter），其濾心管壁122可由例如聚苯醚碸（Polyethersulfone, PES）所製成的薄膜。在其他實施例中，濾心120亦可為深層式濾心（depth filter），其濾心管壁122可由例如聚丙烯纖維所編織纏繞而成，以藉由將液體L1中的顆粒抓取攔截在濾心管壁122中，以達到大量去除液體L1中的顆粒的效果。本實施例的過濾裝置100不只可用於對液體L1進行純化（去除液體中的顆粒），亦可用於進行分類（分出大顆粒以及小顆粒），本揭露並不限定過濾裝置100的應用範圍。

在本實施例中，濾心120為雙開式濾心，進一步而言，濾心120可具有彼此相對且連通的第一開放端124以及第二開放端126，其中，第一開放端124朝向第一端E1，第二開放端126朝向第二端E2。如此，進液口112對應第一開放端124設置，以使液體L1經由進液口112流入濾心120內，而第一出液口114則設置於濾心管壁122與110腔體之間，以使液體L1由濾心120內穿過濾心管壁122而過濾成經過濾液體LF，並由位在濾心管壁122與110腔體之間的第一出液口114流出腔體110。並且，第二出液口116對應第二開放端126設置，以使濾心120內夾有大型顆粒而未能穿過濾心管壁122的排除液體LD可經由位在第二開放端126的第二出液口116而流出腔體110。如此配置，液體L1中被過濾出的大型顆粒可在過濾的過程中由第二出液口116排出腔體110而非留在腔體110內，因而可降低濾心120阻塞影響過濾效果的問題，更可延長過濾裝置100的使用壽命。

在某些實施例中，過濾裝置100更可包括液泵，其耦接進液口112，以驅動液體L1如圖1所示地沿著環繞濾心120的螺旋方向在腔體110內流動。如此，液體L1的流動方向與濾心管壁122的夾角實質上小於45度。進一步而言，液體L1的流動方向可與濾心管壁122實質上平行。在此須說明的是，所謂的「實質上小於45度」指的是夾角的數值範圍可約有正負5度左右的誤差，而所謂的「實質上平行」指的是液體L1的流動方向與濾心管壁122的夾角實質上為零度，且此夾角的數值範圍可約有正負5度左右的誤差。

如此配置，由於液體L1的流動方向與濾心管壁122所夾的角度較小（順著濾心管壁122的方向螺旋性環繞），而非液體的流動方向與濾心管壁122約呈垂直地流進與流出濾心120，因此，卡在濾心120內的大型顆粒可輕易被水流帶走並經由第二出液口116排出腔體110外，因而能減少大型顆粒卡在濾心120的孔隙內而導致濾心120阻塞且壽命縮短的問題。

在本實施例中，過濾裝置100更可包括墊圈118，其可設置於濾心120的第二開放端126與第二端E2之間，以填墊第二開放端126與第二端E2之間的間隙，確保排除液體LD會經由第二開放端126流至第二出液口116，而不會滲流至濾心管壁122與110腔體之間的流道。在某些實施例中，第二出液口116的孔徑可約大於進液口112的孔徑，以控制腔體110內的流壓，使排除液體LD可順利由第二出液口116流出腔體110之外。

在某些實施例中，過濾裝置100更可包括基座130，其設置於腔體110的第一端，並可用以與其他元件（例如其他管路）耦接。在一實施例中，進液口112與第一出液口114可由腔體110的第一端延伸至基座130，以與基座130及其所耦接的其他元件流體連通（liquid communication）。在某些實施例中，過濾裝置100更可包括密封環（O-ring）119，其可設置於腔體110與基座130之間，以防止液體L1及經過濾液體LF滲流。

圖2是依照本發明的另一實施例的一種過濾裝置的示意圖。在此必須說明的是，本實施例的過濾裝置100’與圖1的過濾裝置100相似，因此，本實施例沿用前述實施例的元件標號與部分內容，其中採用相同的標號來表示相同或近似的元件，並且省略了相同技術內容的說明。關於省略部分的說明可參考前述實施例，本實施例不再重複贅述。請參照圖1及圖2，以下將針對本實施例的過濾裝置100’與圖1的過濾裝置100的差異做說明。

在本實施例中，濾心120’為單開式濾心，其具有朝向第一端E1的開放端124以及朝向第二端E2的封閉端126’。也就是說，液體只能由開放端124進出濾心120’，而無法由封閉端126’流出濾心120’。如此，進液口112’設置於濾心管壁122與腔體110之間，以使液體L1由濾心管壁122與腔體110之間的流道流入腔體110，而第一出液口114’則對應開放端124設置，以使液體L1由濾心管壁122與110腔體之間的流道穿過濾心管壁122進入濾心120內，以將液體L1過濾成經過濾液體LF，並由位在開放端124的第一出液口114’流出腔體110。並且，第二出液口116對應封閉端126’設置。在本實施例中，濾心120的高度可略小於腔體的高度，因此，濾心120的封閉端126’與腔體110的第二端E2之間尚存在一間距，如此，濾心120內夾有大型顆粒而未能穿過濾心管壁122的排除液體LD可經由位在第二端E2的第二出液口116而流出腔體110。在這樣的結構配置下，過濾裝置100’無須在濾心120的封閉端126’與第二端E2之間設置墊圈。

簡單來說，使用前述實施例的過濾裝置100/100’的過濾方法可包括下列步驟。請參照圖1及圖2，首先，使液體L1經由進液口112/112’流入過濾裝置100內，以進行過濾。接著，使穿過過濾裝置的濾心120而過濾成的經過濾液體LF經由第一出液口114/114’流出過濾裝置100。並且，使被過濾出的未能穿過濾心120的排除液體LD經由第二出液口116流出過濾裝置100，以達到經過濾液體LF與排除液體LD分流的效果，防止排除液體LD中的大型顆粒阻塞濾心120，進而增長過濾裝置100的使用壽命。

經實驗證實，本揭露的過濾裝置100/100’對於粒徑實質上大於0.3微米（μm）的顆粒的移除率大約是32%，而對於粒徑實質上大於1微米（μm）的顆粒的移除率大約是66%。因此，本揭露的過濾裝置100/100’對於大型顆粒的移除率表現相當優異，當然，過濾裝置100/100’對於特定顆粒大小的移除率可依據濾心的孔徑大小來調整，本揭露並不以此為限。

並且，由於本揭露的過濾裝置100/100’可有效移除液體L1中的大型顆粒，因而可降低以此經過濾液體LF進行化學機械研磨製程對晶圓所造成的刮傷率。經實驗證實，在測試狀態下，使用過濾裝置100/100’所進行的化學機械研磨製程，其對晶片/晶圓刮傷數可由每批約7.3個降低到約3.2個，對於晶圓刮傷率有效降低了約56.2%。而在實際執行的狀態下，使用過濾裝置100/100’所進行的化學機械研磨製程對晶片/晶圓刮傷數可由每批約6.1個降低到約4.8個，對於晶圓刮傷率也有效降低約21.3%。因此，本揭露的過濾裝置100/100’可有效提升製程良率。

圖3是依照本發明的一實施例的一種液體處理系統的示意圖。在本實施例中，過濾裝置100/100’可應用於如圖3所示的液體處理系統10，以在此液體處理系統10中作液體的過濾。須說明的是，圖3僅標示過濾裝置100做舉例說明，然而，任何所屬技術領域中具有通常知識者應了解，前述的過濾裝置100’也可應用於圖3的液體處理系統10，且液體處理系統10中的各個構件僅用以舉例說明，且構件之間的耦接關係僅為示意，任何所屬技術領域中具有通常知識者可在圖3所示的液體處理系統10中自行增加、減少或重新排列組合其構件。

請同時參照圖1以及圖3，在本實施例中，過濾裝置100的液泵140耦接進液口112，以驅動液體L1流入腔體110內，並可如圖1所示地沿著環繞濾心120的螺旋方向在腔體110內流動。在本實施例中，過濾裝置100更可如圖3所示的包括儲液槽150，其耦接腔體110並用以儲存液體L1。如此配置，儲液槽150內的液體L1透過液泵140的驅動而經由進液口112流入腔體110以進行過濾，而排除液體LD則可經由第二出液口116流出腔體110並流回儲液槽150。如此，若有部分經過濾液體LF（夾帶有較小的顆粒）經由第二出液口116流出腔體110，則可隨著排除液體LD流回儲液槽150內以進行再次過濾，因而可確保過濾的精確度。在本實施例中，過濾裝置100更可包括消泡模組，其可設置於液泵140與過濾裝置100之間，以使液體L1在透過液泵140的驅動之後且在進入過濾裝置100之前可先進行消泡。

在某些實施例中，經過濾液體LF可經由第一出液口114流出腔體110並可流入另一儲液槽200。在本實施例中，儲液槽150可例如用以儲存化學機械研磨（Chemical-Mechanical Polishing, CMP）製程用的研磨漿液，而儲液槽200則可例如用以儲存去離子水（de-ionized water, DI water），當然，本揭露並不侷限於此。儲液槽200內的液體可再經由過濾裝置100來進行過濾，而再次過濾的經過濾液體則可再流入混合槽300，以將儲液槽150、200內的液體進行充分混合，之後，混合後的液體可再經由過濾裝置100進行三度過濾，而此三度過濾的經過濾液體則可再流入供液槽400，以供半導體製程設備500（例如化學機械研磨機台）使用，並可在提供至半導體製程設備500之前在次經由過濾裝置100來進行最後過濾。當然，本實施例僅用以舉例說明，本揭露並不限制液體處理系統10的構件配置及液體處理流程。

圖4是依照本發明的另一實施例的一種液體處理系統的示意圖。在本實施例中，過濾裝置100/100’可應用於如圖4所示的液體處理系統10’，以在此液體處理系統10’中做液體的過濾。須說明的是，液體處理系統10’中的各個構件僅用以舉例說明，且構件之間的耦接關係僅為示意，任何所屬技術領域中具有通常知識者可在圖4所示的液體處理系統10’中自行增加、減少或重新排列組合其構件。

並且，本實施例的液體處理系統10’與圖3的液體處理系統10相似，因此，本實施例沿用前述實施例的元件標號與部分內容，其中採用相同的標號來表示相同或近似的元件，並且省略了相同技術內容的說明。關於省略部分的說明可參考前述實施例，本實施例不再重複贅述。請參照圖1及圖4，以下將針對本實施例的液體處理系統10’與圖3的液體處理系統10的差異做說明。

在本實施例中，第一液體（例如化學機械研磨製程用的研磨漿液）可例如由儲液槽150提供至混合槽300，而第二液體（去離子水）則可例如由儲液槽200提供至混合槽300，以使第一液體及第二液體在混合槽300內充分混合。混合槽300內的液體的多個參數可經由多個計量器600來進行監控及控制。在本實施例中，計量器600可包括導電性計量器（conductivity meter）、酸鹼值計量器（pH meter）及/或比重計量器（specific gravity meter）等。

在本實施例中，液體處理系統10’可包括多個過濾裝置100a、100b（繪示為兩個，但不以此為限），並且，過濾裝置100a、100b可如圖4所示的彼此並聯，且過濾裝置100a、100b的結構可套用前述的過濾裝置100/100’。如此配置，混合槽300內的液體可一部分流入過濾裝置100a，混合槽300內的液體的另一部分則可流入過濾裝置100b，以同時或分別進行過濾，而經由過濾裝置100a、100b所過濾出的經過濾液體LF再分別流入供液槽400，以供半導體製程設備500使用。在本實施例中，液體處理系統10’更可包括流量計量器700，其設置於過濾裝置100a、100b與供液槽400之間，以控制供液槽400內的液體容量。

圖5是依照本發明的又一實施例的一種液體處理系統的示意圖。在本實施例中，過濾裝置100/100’可應用於如圖5所示的液體處理系統10’’，以在此液體處理系統10’’中做液體的過濾。須說明的是，液體處理系統10’’中的各個構件僅用以舉例說明，且構件之間的耦接關係僅為示意，任何所屬技術領域中具有通常知識者可在圖5所示的液體處理系統10’’中自行增加、減少或重新排列組合其構件。

並且，本實施例的液體處理系統10’’與圖5的液體處理系統10’相似，因此，本實施例沿用前述實施例的元件標號與部分內容，其中採用相同的標號來表示相同或近似的元件，並且省略了相同技術內容的說明。關於省略部分的說明可參考前述實施例，本實施例不再重複贅述。以下將針對本實施例的液體處理系統10’’與圖4的液體處理系統10’的差異做說明。

請參照圖5，在本實施例中，液體處理系統10’可包括多個過濾裝置100c、100d（繪示為兩個，但不以此為限），並且，過濾裝置100c、100d可如圖5所示的彼此串聯。如此配置，混合槽300內的液體可先流入過濾裝置100c以進行過濾，由過濾裝置100c流出的經過濾液體可再流入過濾裝置100d，以再次進行過濾，而經由過濾裝置100c、100d所過濾出的經過濾液體可再流入供液槽400，以供半導體製程設備500使用。在本實施例中，液體處理系統10’更可包括流量計量器700，其可設置於過濾裝置100d（離供液槽400最近的過濾裝置）與供液槽400之間，以控制供液槽400內的液體容量。

使用前述實施例的過濾裝置可衍生出一種對液體進行過濾的過濾方法，其可包括下列步驟：首先，使液體L1流入前述的過濾裝置（例如過濾裝置100，但不限於此）內以進行過濾。接著，檢測此液體L1的流速是否低於正常流速。若是，則停止對液體L1進行過濾並進行異常處理或進行逆洗。若否，則表示過濾裝置內應無阻塞而可繼續對液體L1進行過濾。圖6及圖7將舉例繪示出上述的過濾方法中的兩個實例，但本發明實施例並不侷限於此。

圖6是依照本發明的一實施例的一種過濾方法的流程示意圖。使用前述實施例的過濾裝置可衍生出一種對液體進行過濾的過濾方法，此過濾方法包括下列步驟。在此須說明的是，以下的實施例的敘述是以圖1的過濾裝置100以及圖3的液體處理系統10做舉例說明，然而，任何所屬技術領域中具有通常知識者應了解，前述的過濾裝置100’以及液體處理系統10’、10’’也可應用於圖6的過濾方法中。

請參照圖1、圖3及圖6，首先，執行步驟S110，使儲液槽150內的液體L1經由進液口112流入過濾裝置100以進行過濾。在本實施例中，可例如透過液泵140來驅動液體L1由儲液槽150通過進液口112流入過濾裝置100。

接著，執行步驟S120，檢測液體的流速是否低於正常流速。在本實施例中，過濾裝置100更可包括流速計量器，其可設置於過濾裝置100的進液口112、第一出液口114及/或第二出液口116，以得到液體流經過濾裝置100各出入口的流速，藉此判斷此流速是否低於正常流速。若否，則回到步驟S110，以繼續進行過濾。

若是，則接著執行步驟S130，確認儲液槽150是否清空。在本實施例中，過濾裝置100的儲液槽150內更可包括液面感測器，用以感測儲液槽150內的液面高度，以此判斷液體流速低於正常流速是否歸因於儲液槽150已經清空。若否，則代表過濾裝置100有異常的狀況（濾心120阻塞或損壞等），並可執行步驟S140，停止過濾並進行異常處理的標準作業程序（Standard Operating Procedures, SOP），例如清潔濾心、更換元件等。

若是，則代表儲液槽150內的液體已全部完成過濾，便可執行步驟S150，對過濾裝置100進行逆洗。在本實施例中，逆洗是指以水或溶液淋洗過濾裝置100，並且通常是由與先前的液流方向相反的方向來進行淋洗，以將可能卡在濾心120內的顆粒逆洗出來。

接著，執行步驟S160，確認過濾裝置100是否超過使用壽命，若是，則接續執行步驟S170，更換過濾裝置100，並在更換之後執行步驟S180，停止本次的過濾製程。若否，表示過濾裝置100未超過使用壽命而可繼續使用，則無須更換過濾裝置100而可直接執行步驟S180，停止本次的過濾製程。如此，本實施例的過濾裝置100搭配上述的過濾方法可有效率地監控過濾製程中所發生的問題並進行即時處理，更可有效延長過濾裝置100的使用壽命。

圖7是依照本發明的另一實施例的一種過濾方法的流程示意圖。使用前述實施例的過濾裝置可衍生出另一種對液體進行過濾的過濾方法，此過濾方法包括下列步驟。在此須說明的是，以下的實施例的敘述是以圖1的過濾裝置100以及圖3的液體處理系統10做舉例說明，然而，任何所屬技術領域中具有通常知識者應了解，前述的過濾裝置100’以及液體處理系統10’、10’’也可應用於圖7的過濾方法中。在此須說明的是，圖7中的實線箭頭指的是在正常狀況下的過濾方法流程，而虛線箭頭指的是在異常狀況下的過濾方法流程。

請參照圖1、圖3及圖7，首先，執行步驟S210，使儲液槽150內的液體L1經由進液口112流入過濾裝置100以進行過濾。在本實施例中，可例如透過液泵140來驅動液體L1由儲液槽150通過進液口112流入過濾裝置100。

接著，執行步驟S220，檢測液體L1的流速是否低於正常流速，在本實施例中，過濾裝置100更可包括流速計量器，其可設置於過濾裝置100的進液口112、第一出液口114及/或第二出液口116，以得到液體流經過濾裝置100各出入口的流速，藉此判斷此流速是否低於正常流速（例如濾心120未阻塞時的流速）。若否，則表示流速正常而可接續執行步驟S230，繼續進行過濾至對整個儲液槽150內的液體L1完成過濾。

接著，執行步驟S240，清洗儲液槽150，以清除儲液槽150內殘存的顆粒及雜質。接著，執行步驟S250，對過濾裝置100進行逆洗，也就是透過水或溶液以與先前相反的液流方向淋洗過濾裝置100，以將可能卡在濾心120內的顆粒逆洗出來。

接著，執行步驟S260，確認過濾裝置100是否超過使用壽命，若是，則接續執行步驟S270，更換過濾裝置100，並在更換之後執行步驟S280，停止本次的過濾製程。若否，表示過濾裝置100未超過使用壽命而可繼續使用，則無須更換過濾裝置100而可直接執行步驟S280，停止本次的過濾製程。

上述步驟是在過濾製程在正常的狀況下所進行的流程，然而，若是在過濾製程呈現異常的狀況下，則可進行以下所述的不同流程（以虛線表示）。

若是在步驟S220中檢測出液體L1的流速低於正常流速，可能代表濾心120有阻塞的情形，故不繼續過濾而是直接跳至步驟S250，對過濾裝置100進行逆洗，以將可能卡在濾心120內的顆粒逆洗出來。

接著，再繼續執行步驟S260，確認過濾裝置100是否超過使用壽命，若是，則接續執行步驟S270，更換過濾裝置100，並在更換之後回到步驟S210以繼續先前的過濾製程。若否，表示過濾裝置100未超過使用壽命而可繼續使用，則無須更換過濾裝置100而可直接回到步驟S210以繼續先前的過濾製程。如此，本實施例的過濾裝置100搭配上述的過濾方法可有效率地監控過濾製程中所發生的問題並進行即時處理，更可有效延長過濾裝置100的使用壽命。

綜上所述，本發明實施例的過濾裝置設置有進液口、第一出液口以及第二出液口，其中，液體經由進液口流入過濾裝置的腔體內，而流經濾心管壁而過濾的經過濾液體則由第一出液口流出腔體之外，被過濾出的未能穿過濾心管壁的排除液體則經由第二出液口流出腔體之外。如此配置，液體中被過濾出的大型顆粒可在過濾的過程中由第二出液口排出腔體，而非停留在腔體內，因而可降低濾心阻塞影響過濾效果的問題，更可延長過濾裝置的使用壽命。

並且，本揭露的腔體內的液體的流動方向並非是以與濾心管壁垂直的方向流入/流出濾心，而是以與濾心管壁近乎平行的方向（例如沿著環繞濾心的螺旋方向）在腔體內流動。如此配置，由於腔體內的液體的流動方向與濾心管壁所夾的角度較小，因此，卡在濾心內的大型顆粒可輕易被水流帶走並經由第二出液口排出腔體外，因而能減少大型顆粒卡在濾心的孔隙內而導致濾心阻塞且壽命縮短的問題。並且，本揭露的過濾裝置搭配本揭露的過濾方法可有效率地監控過濾製程中所發生的問題並進行即時處理，更可有效延長過濾裝置的使用壽命。

雖然本發明實施例已以實施例揭露如上，然其並非用以限定本發明實施例，任何所屬技術領域中具有通常知識者，在不脫離本發明實施例的精神和範圍內，當可作些許的更動與潤飾，故本發明實施例的保護範圍當視後附的申請專利範圍所界定者為準。

10、10’、10’’‧‧‧液體處理系統

100、100’、100a~d‧‧‧過濾裝置

110‧‧‧腔體

112、112’‧‧‧進液口

114、114’‧‧‧第一出液口

116‧‧‧第二出液口

118‧‧‧墊圈

119‧‧‧密封環

120、120’‧‧‧濾心

122‧‧‧濾心管壁

124‧‧‧第一開放端、開放端

126‧‧‧第二開放端

126’‧‧‧封閉端

130‧‧‧基座

140‧‧‧液泵

150、200‧‧‧儲液槽

300‧‧‧混合槽

400‧‧‧供液槽

500‧‧‧半導體製程設備

600‧‧‧計量器

700‧‧‧流量計量器

E1‧‧‧第一端

E2‧‧‧第二端

L1‧‧‧液體

LF‧‧‧經過濾液體

LD‧‧‧排除液體

S110~S180、S210~S280‧‧‧步驟

結合附圖閱讀以下詳細說明可最好地理解本發明實施例的各個方面。應注意的是，根據業界中的標準實務，各種特徵並非按比例繪製。事實上，為論述清晰起見，可任意增大或減小各種特徵的尺寸。 圖1是依照本發明的一實施例的一種過濾裝置的示意圖。 圖2是依照本發明的另一實施例的一種過濾裝置的示意圖。 圖3是依照本發明的一實施例的一種液體處理系統的示意圖。 圖4是依照本發明的另一實施例的一種液體處理系統的示意圖。 圖5是依照本發明的又一實施例的一種液體處理系統的示意圖。 圖6是依照本發明的一實施例的一種過濾方法的流程示意圖。 圖7是依照本發明的另一實施例的一種過濾方法的流程示意圖。

Claims (10)

1. 一種過濾裝置，用以過濾一液體，包括： 一腔體，包括一進液口、一第一出液口以及一第二出液口，該液體適於經由該進液口進入該腔體，其中該第一出液口設置於該腔體的一第一端，該第二出液口設置於與該第一端相對的一第二端；以及 一濾心，設置於該腔體內，該濾心包括一濾心管壁，其中該液體適於穿過該濾心管壁以過濾成一經過濾液體，該經過濾液體經由該第一出液口流出該腔體，被過濾出的未能穿過該濾心管壁的一排除液體經由該第二出液口流出該腔體。
2. 如申請專利範圍第1項所述的過濾裝置，更包括一液泵，耦接該進液口，以驅動該液體沿著環繞該濾心的一螺旋方向在該腔體內流動或者該液體的一流動方向與該濾心管壁的一夾角實質上小於45度。
3. 如申請專利範圍第1項所述的過濾裝置，其中該進液口設置於該腔體的該第一端。
4. 如申請專利範圍第1項所述的過濾裝置，其中該濾心為一雙開式濾心，其具有彼此相對且連通的一第一開放端以及一第二開放端，該第一開放端朝向該第一端，該第二開放端朝向該第二端。
5. 如申請專利範圍第4項所述的過濾裝置，其中該進液口對應該第一開放端設置，以使該液體經由該進液口流入該濾心內，該第一出液口設置於該濾心管壁與該腔體之間，該第二出液口對應該第二開放端設置。
6. 如申請專利範圍第1項所述的過濾裝置，其中該濾心為一單開式濾心，其具有朝向該第一端的一開放端以及朝向該第二端的一封閉端。
7. 如申請專利範圍第6項所述的過濾裝置，其中該進液口設置於該濾心管壁與該腔體之間，該第一出液口對應該開放端設置，該第二出液口對應該封閉端設置。
8. 如申請專利範圍第1項所述的過濾裝置，更包括： 一儲液槽，耦接該腔體並用以儲存該液體，其中該液體由該儲液槽通過該進液口而流入該腔體，該排除液體經由該第二出液口流出該腔體而流回該儲液槽。
9. 一種過濾方法，包括： 使一液體經由一進液口流入一過濾裝置內以進行過濾； 使穿過該過濾裝置的一濾心而過濾成的一經過濾液體經由第一出液口流出該過濾裝置；以及 使被過濾出的未能穿過該濾心的一排除液體經由一第二出液口流出該過濾裝置。
10. 一種過濾方法，包括： 使一液體流入一過濾裝置內以進行過濾； 檢測該液體的一流速是否低於一正常流速； 若是，停止對該液體進行過濾並進行異常處理或逆洗；以及 若否，繼續對該液體進行過濾。