TW201940283A - 板玻璃的製造方法以及製造裝置 - Google Patents
板玻璃的製造方法以及製造裝置 Download PDFInfo
- Publication number
- TW201940283A TW201940283A TW108109412A TW108109412A TW201940283A TW 201940283 A TW201940283 A TW 201940283A TW 108109412 A TW108109412 A TW 108109412A TW 108109412 A TW108109412 A TW 108109412A TW 201940283 A TW201940283 A TW 201940283A
- Authority
- TW
- Taiwan
- Prior art keywords
- grinding
- end surface
- sheet glass
- pressing force
- grindstone
- Prior art date
Links
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B24—GRINDING; POLISHING
- B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
- B24B7/00—Machines or devices designed for grinding plane surfaces on work, including polishing plane glass surfaces; Accessories therefor
- B24B7/20—Machines or devices designed for grinding plane surfaces on work, including polishing plane glass surfaces; Accessories therefor characterised by a special design with respect to properties of the material of non-metallic articles to be ground
- B24B7/22—Machines or devices designed for grinding plane surfaces on work, including polishing plane glass surfaces; Accessories therefor characterised by a special design with respect to properties of the material of non-metallic articles to be ground for grinding inorganic material, e.g. stone, ceramics, porcelain
- B24B7/24—Machines or devices designed for grinding plane surfaces on work, including polishing plane glass surfaces; Accessories therefor characterised by a special design with respect to properties of the material of non-metallic articles to be ground for grinding inorganic material, e.g. stone, ceramics, porcelain for grinding or polishing glass
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B24—GRINDING; POLISHING
- B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
- B24B9/00—Machines or devices designed for grinding edges or bevels on work or for removing burrs; Accessories therefor
- B24B9/02—Machines or devices designed for grinding edges or bevels on work or for removing burrs; Accessories therefor characterised by a special design with respect to properties of materials specific to articles to be ground
- B24B9/06—Machines or devices designed for grinding edges or bevels on work or for removing burrs; Accessories therefor characterised by a special design with respect to properties of materials specific to articles to be ground of non-metallic inorganic material, e.g. stone, ceramics, porcelain
- B24B9/08—Machines or devices designed for grinding edges or bevels on work or for removing burrs; Accessories therefor characterised by a special design with respect to properties of materials specific to articles to be ground of non-metallic inorganic material, e.g. stone, ceramics, porcelain of glass
- B24B9/10—Machines or devices designed for grinding edges or bevels on work or for removing burrs; Accessories therefor characterised by a special design with respect to properties of materials specific to articles to be ground of non-metallic inorganic material, e.g. stone, ceramics, porcelain of glass of plate glass
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B24—GRINDING; POLISHING
- B24D—TOOLS FOR GRINDING, BUFFING OR SHARPENING
- B24D3/00—Physical features of abrasive bodies, or sheets, e.g. abrasive surfaces of special nature; Abrasive bodies or sheets characterised by their constituents
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Ceramic Engineering (AREA)
- Inorganic Chemistry (AREA)
- Polishing Bodies And Polishing Tools (AREA)
- Grinding Of Cylindrical And Plane Surfaces (AREA)
- Grinding And Polishing Of Tertiary Curved Surfaces And Surfaces With Complex Shapes (AREA)
Abstract
一種板玻璃的製造方法,其包括對板玻璃G的端面Ga進行研削的端面研削步驟、及對研削後的板玻璃G的端面Ga進行研磨的端面研磨步驟,端面研磨步驟包含一面以第一按壓力F1按壓第一研磨磨石3一面對板玻璃G的端面Ga進行研磨的第一研磨步驟、及一面以第二按壓力F2按壓第二研磨磨石4一面對利用第一研磨磨石3進行研磨後的板玻璃G的端面Ga進行研磨的第二研磨步驟,且使第二按壓力F2比第一按壓力F1大。
Description
本發明是有關於一種包括對板玻璃的端面進行研削的端面研削步驟、及對研削後的板玻璃的端面進行研磨的端面研磨步驟的板玻璃的製造方法,以及可執行兩步驟的板玻璃的製造裝置。
如眾所周知般,於經過使用刻劃輪的切斷步驟的板玻璃的端面(切斷面)殘存有裂紋,因此成為於後續步驟中板玻璃以端面為起點而破裂、或自端面產生玻璃粉的原因。為了避免此種不良情況,於板玻璃的製造步驟中,執行對板玻璃的端面進行研削的端面研削步驟、及對研削後的板玻璃的端面進行研磨的端面研磨步驟成為慣例(參照專利文獻1)。
作為執行所述兩步驟的形態的一例,可列舉如下述般的形態。即,於執行端面研削步驟時,使用在外周部形成有可對板玻璃的端面進行研削的槽的研削磨石。而且,以一面將研削磨石按壓於板玻璃的端面一面進行研削,藉此使端面的形狀仿照槽的形狀的方式進行加工。藉此,對端面進行研削,並且對端面的稜線實施倒角,而形成圓形狀或平面狀的倒角面。另外,於執行端面研磨步驟時,使用在外周部形成有可對板玻璃的端面進行研磨的槽的多個研磨磨石。而且,一面將多個研磨磨石依次按壓於研削後的板玻璃的端面一面進行研磨,藉此進行包含倒角面的端面的精加工。
現有技術文獻
專利文獻
現有技術文獻
專利文獻
專利文獻1:日本專利特表2014-518169號公報
[發明所欲解決之課題]
然而,於所述形態下,越是其後對板玻璃的端面進行研磨的研磨磨石,與端面之間越容易產生空轉,換言之,研磨磨石的研磨粒朝端面的陷入變得不充分,端面變得研磨不足。存在因所述空轉而無法使端面研磨步驟後的端面的表面粗糙度充分地變小,端面的品質下降的情況。若端面的品質下降,則容易自端面產生玻璃粉,當將板玻璃用作電子元件的玻璃基板時存在產生配線不良之虞。鑒於此種情況而成的本發明將儘可能地抑制研磨磨石的空轉,藉此提昇端面的品質作為技術課題。
[解決課題之手段]
然而,於所述形態下,越是其後對板玻璃的端面進行研磨的研磨磨石,與端面之間越容易產生空轉,換言之,研磨磨石的研磨粒朝端面的陷入變得不充分,端面變得研磨不足。存在因所述空轉而無法使端面研磨步驟後的端面的表面粗糙度充分地變小,端面的品質下降的情況。若端面的品質下降,則容易自端面產生玻璃粉,當將板玻璃用作電子元件的玻璃基板時存在產生配線不良之虞。鑒於此種情況而成的本發明將儘可能地抑制研磨磨石的空轉,藉此提昇端面的品質作為技術課題。
[解決課題之手段]
為了解決所述課題而首創的本發明是一種板玻璃的製造方法,其包括對板玻璃的端面進行研削的端面研削步驟、及對研削後的板玻璃的端面進行研磨的端面研磨步驟,其中:端面研磨步驟包含一面以第一按壓力按壓第一研磨磨石一面對板玻璃的端面進行研磨的第一研磨步驟、及一面以第二按壓力按壓第二研磨磨石一面對利用第一研磨磨石進行研磨後的板玻璃的端面進行研磨的第二研磨步驟,且使第二按壓力比第一按壓力大。
於本方法中的端面研磨步驟中,執行一面以第一按壓力按壓第一研磨磨石一面對研削後的板玻璃的端面進行研磨的第一研磨步驟。進而,執行於比第一按壓力大的第二按壓力下,一面按壓第二研磨磨石一面對利用第一研磨磨石進行研磨後的端面進行研磨的第二研磨步驟。如所述般使第二按壓力比第一按壓力大,相應地於第二研磨步驟中難以產生第二研磨磨石的空轉。換言之,研磨磨石的研磨粒朝端面的陷入變得適當,可對端面充分地實施研磨。其結果,可提昇端面研磨步驟後的端面的品質。
於所述方法中,較佳為將第二按壓力的大小設為第一按壓力的大小的1.2倍~7倍。
若如此設定,則更難以產生第二研磨磨石的空轉,於提昇端面的品質方面變得更有利。
於所述方法中,較佳為使第二研磨磨石的研磨粒的硬度比第一研磨磨石的研磨粒的硬度低。
若如此設定,則於第二研磨步驟中可減少因大的按壓力而於板玻璃的端面產生的裂紋。其結果,於提昇端面的品質方面變得更有利。
於所述方法中,亦可使第二研磨磨石的研磨粒的粒度比第一研磨磨石的研磨粒的粒度小。
研磨粒的粒度越小,越容易產生研磨磨石的空轉。因此,若於第二研磨磨石的研磨粒的粒度比第一研磨磨石的研磨粒的粒度小的情況下應用本發明,則可更適宜地享受本發明的效果。
於所述方法中,亦可將第二研磨磨石的研磨粒的粒度設為第一研磨磨石的研磨粒的粒度的0.1倍~0.9倍。
若如此設定,則可更適宜地享受本發明的效果。
另外,為了解決所述課題而首創的本發明是一種板玻璃的製造裝置,其包括對板玻璃的端面進行研削的研削磨石、及對研削後的板玻璃的端面進行研磨的研磨磨石,其中:作為研磨磨石,具有於已由第一按壓力按壓的狀態下對板玻璃的端面進行研磨的第一研磨磨石、及於已由第二按壓力按壓的狀態下對利用第一研磨磨石進行研磨後的板玻璃的端面進行研磨的第二研磨磨石,且第二按壓力比第一按壓力大。
根據本裝置,可獲得與在所述板玻璃的製造方法的說明中已述的作用・效果相同的作用・效果。
[發明的效果]
[發明的效果]
根據本發明,可儘可能地抑制第二研磨磨石的空轉,而可提昇端面的品質。
以下,一面參照隨附的圖式一面對本發明的實施方式的板玻璃的製造方法及製造裝置進行說明。
如圖1所示,於執行本實施方式的板玻璃的製造方法時,使用本實施方式的板玻璃的製造裝置1(以下,僅表述成製造裝置1)。製造裝置1包括:對板玻璃G的端面Ga進行研削的研削磨石2、率先對研削後的板玻璃G的端面Ga進行研磨的第一研磨磨石3、及其後進行研磨的第二研磨磨石4。此處,於本實施方式中,列舉對平放姿勢的矩形的板玻璃G的於X方向上延長的兩端面Ga、Ga進行研削加工及研磨加工的製造裝置1為例。
板玻璃G藉由浮式法、溢流下拉法、流孔下拉法等公知的成形方法來成形,並被切斷成規定的大小。板玻璃G的厚度較佳為0.1 mm~1.4 mm,更佳為0.2 mm~0.7 mm,最佳為0.2 mm~0.5 mm。板玻璃G較佳為用於平板顯示器或觸控面板、太陽電池、有機電致發光(Electroluminescence,EL)照明等的玻璃基板。使用玻璃基板的平板顯示器例如有液晶顯示器或有機EL顯示器等。
為了對板玻璃G的兩端面Ga、Ga進行加工,研削磨石2、第一研磨磨石3、及第二研磨磨石4分別以夾持板玻璃G而成對的方式配置。研削磨石2、第一研磨磨石3、及第二研磨磨石4的各對一面以同步的狀態朝與X方向平行的T方向移動,一面對已固定於製造裝置1所包括的省略圖示的平台上的板玻璃G進行加工。於該些磨石2、磨石3、磨石4的外周部(旋轉周部),上下多層地形成有用於對端面Ga進行加工的槽(省略圖示)。將所述多層的槽的一層按壓於端面Ga,藉此對端面Ga進行加工。另外,該些磨石2、磨石3、磨石4的旋轉方向自Z方向觀察(俯視下),既存在順時針轉動的情況,亦存在逆時針轉動的情況。
研削磨石2是用於形成端面Ga的剖面形狀(與X方向正交的剖面的形狀)的磨石,於Y方向上的位置已被固定的狀態下對端面Ga進行加工。相對於此,第一研磨磨石3及第二研磨磨石4是用於對研削後的端面Ga進行精加工的磨石,於已由固定的按壓力朝端面Ga按壓的狀態下對端面Ga進行加工。再者,研削磨石2亦可於已由固定的按壓力朝端面Ga按壓的狀態下對端面Ga進行研削加工。
此處,若對將第一研磨磨石3按壓於端面Ga的第一按壓力F1與將第二研磨磨石4按壓於端面Ga的第二按壓力F2進行比較,則第二按壓力F2更大。此處所述的「按壓力」是指與Y方向平行地發揮作用,單位由[N]表示的力。就進一步提昇端面Ga的品質的觀點而言,第二按壓力F2較佳為第一按壓力F1的1.2倍以上,更佳為1.5倍以上。另外,就防止利用第二研磨磨石4的過剩的研磨的觀點而言,第二按壓力F2較佳為第一按壓力F1的7倍以下,更佳為5倍以下。
第一按壓力F1較佳為10 N~60 N,更佳為20 N~50 N。第二按壓力F2較佳為12 N~420 N,更佳為25 N~100 N,最佳為35 N~90 N。
研削磨石2較佳為將金屬結合劑(metal bond)用作研磨粒的結合劑的金屬黏合磨石。用作結合劑的金屬較佳為選自鐵、銅、鈷、鎳、鎢等中的一種,或選擇兩種以上進行混合而成者,特佳為包含鐵者。與研削磨石2結合的研磨粒較佳為金剛石研磨粒,粒度較佳為#300~#600。
第一研磨磨石3及第二研磨磨石4較佳為將樹脂結合劑(resin bond)用作研磨粒的結合劑的樹脂黏合磨石。作為樹脂結合劑,較佳為採用熱硬化性樹脂。作為具體例,可將酚樹脂、環氧樹脂、聚醯亞胺樹脂、聚胺基甲酸酯樹脂等用作樹脂結合劑。作為與第一研磨磨石3及第二研磨磨石4結合的研磨粒,可使用選自金剛石粒子、氧化鋁粒子、碳化矽粒子、立方晶氮化硼粒子、金屬氧化物粒子、金屬碳化物粒子、金屬氮化物粒子等中的一種,或選擇兩種以上進行混合而成者。研磨粒的粒度較佳為#100~#3000,更佳為#200~#1000。
此處,若對第一研磨磨石3的研磨粒的硬度與第二研磨磨石4的研磨粒的硬度進行比較,則後者更低。於欲滿足所述研磨粒的硬度的關係性的情況下,作為一例,只要將金剛石粒子、立方晶氮化硼粒子的任一者用作第一研磨磨石3的研磨粒,將氧化鋁粒子、碳化矽粒子、金屬氧化物粒子、金屬碳化物粒子、金屬氮化物粒子的任一者用作第二研磨磨石4的研磨粒即可。作為第二研磨磨石4的研磨粒,亦可使用將金剛石粒子或立方晶氮化硼粒子與氧化鋁粒子、碳化矽粒子、金屬氧化物粒子、金屬碳化物粒子或金屬氮化物粒子混合而成者。再者,第一研磨磨石3的研磨粒的硬度亦可與第二研磨磨石4的研磨粒的硬度相同。更具體而言,第一研磨磨石3的研磨粒的種類亦可與第二研磨磨石4的研磨粒的種類相同。
第二研磨磨石4的研磨粒的粒度可與第一研磨磨石3的研磨粒的粒度相同,亦可比第一研磨磨石3的研磨粒的粒度小。於後者的情況下,只要將第二研磨磨石4的研磨粒的粒度設為第一研磨磨石3的研磨粒的粒度的0.1倍~0.9倍即可。
以下,對使用所述製造裝置1的板玻璃的製造方法進行說明。
於該板玻璃的製造方法中,首先,利用省略圖示的搬送機構(例如帶式輸送機等)將板玻璃G搬入設置有平台的位置為止後,將板玻璃G固定於平台上。該板玻璃G是已經過切斷步驟的玻璃,兩端面Ga、Ga分別變成藉由切斷步驟所形成的切斷面。
繼而,執行對板玻璃G的端面Ga進行研削的端面研削步驟、及對研削後的板玻璃G的端面Ga進行研磨的端面研磨步驟。
於端面研削步驟中,利用研削磨石2對作為切斷面的板玻璃G的端面Ga進行研削。藉此,形成端面Ga的剖面形狀。於端面研磨步驟中,執行一面以第一按壓力F1按壓第一研磨磨石3一面對研削後的板玻璃G的端面Ga進行研磨的第一研磨步驟、及一面以第二按壓力F2按壓第二研磨磨石4一面對利用第一研磨磨石3進行研磨後的板玻璃G的端面Ga進行研磨的第二研磨步驟。藉此,進行用於減小端面Ga的表面粗糙度的精加工。若利用研削磨石2、第一研磨磨石3、及第二研磨磨石4的端面Ga的全長的加工結束,則端面研削步驟及端面研磨步驟完結。再者,端面研磨步驟後的端面Ga的品質例如可根據表面粗糙度Ra的大小來評價。
若端面研削步驟及端面研磨步驟完結,則將已結束端面Ga的研削加工及研磨加工的平台上的板玻璃G的固定解除後,再次利用搬送機構自設置有平台的位置搬出板玻璃G並送至下游步驟中。於下游步驟中,例如以與所述端面研削步驟及端面研磨步驟相同的形態,對與端面Ga正交的端面Gb實施研削加工及研磨加工。其後,對板玻璃G實施清洗處理。
以下,對所述板玻璃的製造方法及製造裝置1的主要的作用·效果進行說明。
根據所述板玻璃的製造方法及製造裝置1,使第二按壓力F2比第一按壓力F1大,相應地於第二研磨步驟中難以在第二研磨磨石4與端面Ga之間產生空轉。換言之,研磨磨石的研磨粒朝端面的陷入變得適當,可對端面充分地實施研磨。其結果,可提昇端面研磨步驟後的板玻璃G的端面Ga的品質。
此處,本發明的板玻璃的製造方法及製造裝置並不限定於所述實施方式中所說明的形態或結構。例如,除第一研磨磨石3及第二研磨磨石4以外,亦可導入新的研磨磨石。亦可於利用研削磨石2對端面Ga進行研削後、且於利用第一研磨磨石3對端面Ga進行研磨前,利用該新的研磨磨石進行端面Ga的研磨。另外,亦可於利用第二研磨磨石4對端面Ga進行研磨後,利用新的研磨磨石進行端面Ga的研磨。
另外,於所述實施方式中,僅使用一對研削磨石2,但並不限定於此。亦可使用兩對以上的研削磨石2執行端面研削步驟。
另外,於所述實施方式中,研削磨石2、第一研磨磨石3、及第二研磨磨石4的各對以同步的狀態進行兩端面Ga、Ga的加工,但並不限定於此。研削磨石2、第一研磨磨石3、及第二研磨磨石4亦可不形成對,而僅對一側的端面Ga進行加工。另外,研削磨石2、第一研磨磨石3、及第二研磨磨石4的各對亦可不同步,於對一側的端面Ga進行加工後對另一側的端面Ga進行加工。於該些情況下,亦可使用多個研削磨石2執行端面研削步驟。
1‧‧‧板玻璃的製造裝置
2‧‧‧研削磨石
3‧‧‧第一研磨磨石
4‧‧‧第二研磨磨石
F1‧‧‧第一按壓力
F2‧‧‧第二按壓力
G‧‧‧板玻璃
Ga‧‧‧板玻璃的端面
Gb‧‧‧與端面Ga正交的端面
T、X、Y、Z‧‧‧方向
圖1是表示本發明的實施方式的板玻璃的製造方法及製造裝置的平面圖。
Claims (6)
- 一種板玻璃的製造方法,其是包括對板玻璃的端面進行研削的端面研削步驟、及對研削後的所述板玻璃的端面進行研磨的端面研磨步驟的板玻璃的製造方法,其特徵在於, 所述端面研磨步驟包含一面以第一按壓力按壓第一研磨磨石一面對所述板玻璃的端面進行研磨的第一研磨步驟、及一面以第二按壓力按壓第二研磨磨石一面對利用所述第一研磨磨石進行研磨後的所述板玻璃的端面進行研磨的第二研磨步驟,且 使所述第二按壓力比所述第一按壓力大。
- 如申請專利範圍第1項所述的板玻璃的製造方法,其中將所述第二按壓力的大小設為所述第一按壓力的大小的1.2倍~7倍。
- 如申請專利範圍第1項或第2項所述的板玻璃的製造方法,其中使所述第二研磨磨石的研磨粒的硬度比所述第一研磨磨石的研磨粒的硬度低。
- 如申請專利範圍第1項至第3項中任一項所述的板玻璃的製造方法,其中使所述第二研磨磨石的研磨粒的粒度比所述第一研磨磨石的研磨粒的粒度小。
- 如申請專利範圍第4項所述的板玻璃的製造方法,其中將所述第二研磨磨石的研磨粒的粒度設為所述第一研磨磨石的研磨粒的粒度的0.1倍~0.9倍。
- 一種板玻璃的製造裝置,其是包括對板玻璃的端面進行研削的研削磨石、及對研削後的所述板玻璃的端面進行研磨的研磨磨石的板玻璃的製造裝置,其特徵在於, 作為所述研磨磨石,具有於已由第一按壓力按壓的狀態下對所述板玻璃的端面進行研磨的第一研磨磨石、及於已由第二按壓力按壓的狀態下對利用所述第一研磨磨石進行研磨後的所述板玻璃的端面進行研磨的第二研磨磨石,且 所述第二按壓力比所述第一按壓力大。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2018-058193 | 2018-03-26 | ||
JP2018058193A JP7022330B2 (ja) | 2018-03-26 | 2018-03-26 | 板ガラスの製造方法および製造装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
TW201940283A true TW201940283A (zh) | 2019-10-16 |
TWI828669B TWI828669B (zh) | 2024-01-11 |
Family
ID=68061338
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
TW108109412A TWI828669B (zh) | 2018-03-26 | 2019-03-19 | 板玻璃的製造方法以及製造裝置 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP7022330B2 (zh) |
CN (1) | CN212794270U (zh) |
TW (1) | TWI828669B (zh) |
WO (1) | WO2019187878A1 (zh) |
Family Cites Families (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5816897A (en) * | 1996-09-16 | 1998-10-06 | Corning Incorporated | Method and apparatus for edge finishing glass |
KR101707056B1 (ko) * | 2009-03-10 | 2017-02-15 | 니폰 덴키 가라스 가부시키가이샤 | 유리 기판 및 그 제조 방법 |
US8721392B2 (en) * | 2011-06-28 | 2014-05-13 | Corning Incorporated | Glass edge finishing method |
WO2014038320A1 (ja) * | 2012-09-07 | 2014-03-13 | 旭硝子株式会社 | ガラス基板の研磨方法 |
JP6624461B2 (ja) * | 2014-12-19 | 2019-12-25 | Agc株式会社 | ガラス板の面取り装置、ガラス板の面取り方法、及びガラス板の製造方法 |
JP6536806B2 (ja) * | 2015-07-31 | 2019-07-03 | 日本電気硝子株式会社 | 板ガラス加工装置 |
JP6830614B2 (ja) * | 2017-01-30 | 2021-02-17 | 日本電気硝子株式会社 | 板ガラスの製造方法、板ガラスの製造装置 |
-
2018
- 2018-03-26 JP JP2018058193A patent/JP7022330B2/ja active Active
-
2019
- 2019-02-25 CN CN201990000452.6U patent/CN212794270U/zh active Active
- 2019-02-25 WO PCT/JP2019/007085 patent/WO2019187878A1/ja active Application Filing
- 2019-03-19 TW TW108109412A patent/TWI828669B/zh active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
TWI828669B (zh) | 2024-01-11 |
JP2019166617A (ja) | 2019-10-03 |
JP7022330B2 (ja) | 2022-02-18 |
WO2019187878A1 (ja) | 2019-10-03 |
CN212794270U (zh) | 2021-03-26 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4805444B2 (ja) | ガラスシートの縁部を仕上げる方法 | |
JP5305214B2 (ja) | 板ガラスの端面加工方法 | |
KR102192452B1 (ko) | 레진 본드 지석의 연마용 홈의 제작 방법, 레진 본드 지석, 판상체의 가공 장치 및 판상체의 가공 방법 | |
KR101513825B1 (ko) | 글래스판의 제조 방법, 디스플레이용 글래스 기판의 제조 방법 및 글래스판 | |
JP2011077413A (ja) | シリコンウェハーの製造方法 | |
JP2000114216A (ja) | 半導体ウェーハの製造方法 | |
KR20160110177A (ko) | 연삭 휠 | |
CN109590817B (zh) | 玻璃基板 | |
JP2002231665A (ja) | エピタキシャル膜付き半導体ウエーハの製造方法 | |
TWI828669B (zh) | 板玻璃的製造方法以及製造裝置 | |
JP6830614B2 (ja) | 板ガラスの製造方法、板ガラスの製造装置 | |
TWI828660B (zh) | 板玻璃的製造方法以及製造裝置 | |
JP7415267B2 (ja) | ガラス板の製造方法 | |
CN109531454A (zh) | 一种橡胶磨具的制备方法 | |
KR100872905B1 (ko) | 그룹화 연마제품의 가공장치 | |
WO2023100957A1 (ja) | ガラス板の製造方法 | |
JP2023072315A (ja) | ガラス板の製造方法 | |
JP6111011B2 (ja) | 砥粒チャージ方法及び硬脆性基板の製造方法 | |
JP2000216117A (ja) | 高平坦度ウェ―ハの製造方法 | |
TW201605578A (zh) | 磨料規則排列之研磨片的製造方法 | |
JP2013043246A (ja) | 水晶片の形成方法 |