TW201918285A - 具有分配再循環模式的分配臂頭 - Google Patents

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Abstract

一種用於可控式釋放流體到一基板上之分配臂裝置，包括一分配頭，耦合至並包含在該分配臂裝置的一臂部內，其中該分配頭具有一閥組合件，其組態以在下列模式中操作：(1)一再循環模式，其中形成在該分配頭中的一分配出口為關閉，且一再循環路徑為打開，以供被遞送至該分配頭加熱的化學物質從該分配頭被遞送回一遠端位置；以及(2)一分配模式，其中該分配出口為打開，以從該分配頭釋放加熱的化學物質，且該再循環路徑為關閉。

Description

具有分配再循環模式的分配臂頭 【相關申請案之交互參照】
本申請案主張於2017年11月7日申請之美國專利申請案序號62/582,679之優先權，其全部內容以參考方式合併於此。
本發明有關於晶圓處理設備，詳言之，有關於具有分配點再循環模式及分配模式兩者之分配臂用的頭部，且建構成最小化於處理期間沉積於晶圓上之化學物質的溫度變異。
在晶圓處理設備中，嚴密的製程控制至關重要。因此，希望能最小化在處理期間沉積在晶圓上的化學物質之溫度的變異。
根據一實施例，本發明提供一種用於可控式釋放流體的分配臂。分配臂包括包含在一臂結構內的分配頭。分配頭具有一閥組合件，其組態以在下列模式中操作：(1)一再循環模式，其中形成一分配出口為關閉，且一再循環路徑為打開，以供被遞送至分配頭之加熱的化學物質從分配頭被遞送回一化學物質供應位置；以及(2)一分配模式，其中分配出口為打開，以從分配頭釋放加熱的化學物質，且再循環路徑為關閉。
本發明藉由允許化學物質連續流動通過分配臂而無論臂是 否主動分配與否，來最小化於處理期間沉積於晶圓上之化學物質的溫度變異。另外，熱電偶建立在分配點附近，允許準確監測化學物質的溫度。此設計的優點包括不會有會磨損或故障的移動密封件，且所有接觸化學物質的表面可由化學相容的含氟聚合物(如Teflon)製成。
100‧‧‧分配臂
110‧‧‧基部
120‧‧‧臂部
122‧‧‧遠端部
124‧‧‧近端部
200‧‧‧分配頭
201‧‧‧分配出口
210‧‧‧主體
212‧‧‧第一端
214‧‧‧第二端
220‧‧‧第一部
230‧‧‧第二部
231、233、235、237‧‧‧通道
240‧‧‧套圈
250‧‧‧夾板
260‧‧‧緊固件
270、280、290、300‧‧‧導管
310、312、314、316‧‧‧渠道/通道
400‧‧‧熱電偶
402‧‧‧第一端
404‧‧‧第二端
500‧‧‧閥組合件
502‧‧‧閥腔
503‧‧‧第一端
504‧‧‧第二端
505‧‧‧第一區
507‧‧‧第二區
509‧‧‧止件
510‧‧‧閥
522‧‧‧主體部
524‧‧‧前凸緣部
525‧‧‧環形空間
526‧‧‧軸部
528‧‧‧後凸緣部
530‧‧‧風箱
540‧‧‧返回彈簧
515、525‧‧‧空間
600‧‧‧曲座
602‧‧‧環狀凹槽
610‧‧‧O型環
620‧‧‧墊圈
圖1為根據本發明之一示範實施例的分配臂之俯及側透視圖；圖2為供圖1之分配臂用的分配頭的俯及側透視圖；圖3為分配頭的側立面視圖；圖4為分配頭的前立面視圖；圖5為分配頭的後立面視圖；圖6為沿圖4的線A-A取得之剖面圖，其描繪再循環操作模式；圖7為沿圖4的線B-B取得之剖面圖，其描繪再循環操作模式；圖8為沿圖4的線C-C取得之剖面圖，其描繪再循環操作模式；圖9為沿圖4的線D-D取得之剖面圖，其描繪再循環操作模式；圖10為沿圖4的線E-E取得之剖面圖，其描繪再循環操作模式；圖11為沿圖4的線A-A取得之剖面圖，其描繪分配操作模式；圖12為沿圖4的線B-B取得之剖面圖，其描繪分配操作模式；圖13為沿圖4的線C-C取得之剖面圖，其描繪分配操作模式； 圖14為沿圖4的線D-D取得之剖面圖，其描繪分配操作模式；圖15為沿圖4的線E-E取得之剖面圖，其描繪分配操作模式；圖16A為具有一替代座設計之分配頭的前立面圖；圖16B為沿圖16A之線F-F取得的剖面圖；圖17A為具有一替代座設計之分配頭的前立面圖；圖17B為沿圖17A之線G-G取得的剖面圖；圖18A為具有一替代座設計之分配頭的前立面圖；以及圖18B為沿圖18A之線H-H取得的剖面圖。
圖1描繪晶圓處理系統之一部分的分配臂100。熟悉此技藝者將可理解到晶圓處理系統包括用來處理基板之設備，以形成完整的產品，這些基板例如為積體電路晶圓，通常具有扁平圓碟的形式(雖然可有其他形狀)且常以矽製成。晶圓處理系統因此組態成使用各種化學物質來處理晶圓。一種程序為使用液體化學蝕刻劑來從基板或基板上移除材料，此程序常稱為濕蝕刻。常用的方法包括在旋轉的同時分配流體於晶圓上(稱為「單晶圓處理」)。隨著晶圓尺寸增加及幾何尺寸減少，可藉由採用單晶圓處理來實現實質性的好處，因為可較佳控制處理環境。分配臂100因此為組態成可控式分配流體(化學物質(蝕刻劑))到位在其下方的旋轉中的晶圓上之構件。分配臂100操作性連接至自動化控制系統，其設計成相對於晶圓的頂表面可控式移動分配臂100，而得以在希望的位置控制化學蝕刻劑的分配。由於晶圓在旋轉，在單一徑向位置所分配的蝕刻劑會在此單一徑向位置(亦即，在離中心一既定半徑)沿著晶圓表面產生環形蝕刻。
如所示，分配臂100具有殼體，其可建構成包括基部110及臂部120。臂部120自基部110徑向往外延伸，並包括遠端部122及連接至基部 110之近端部124。在所示實施例中，臂部120具有圓柱形狀；然而，亦可有其他的形狀。臂部120還是中空的結構並用來收容分配頭200，其詳細繪示在圖2至5中。
分配頭200組態成收容在臂部120的中空內部之內。如圖1中所示，分配頭200遠端延伸超過臂部120的遠端部122。分配頭200與臂部120之間的完成或契合較佳乾淨俐落，因此分配頭200可具有圓柱形狀。
更具體地來說，分配頭200包括主體210，其具有第一端212及相對的第二端214。主體210的第一端212界定分配臂100的遠端。主體210具有止於第一端212的第一部220，以及相對於第一部220尺寸(如直徑)較小的第二部230。如所示，第一部220及第二部230兩者皆具有圓柱形狀，第一部220及第二部230之間形成有環形肩部。如所示，在第二部230的暴露自由端旁設有套圈240。可理解到，套圈240為圓環或蓋。夾板250設置在套圈240旁，因此套圈240用來在夾板250與第二部230間產生間隙。夾板250包括形成於其中的數個孔，如下所述用於允許其他部件(如導管)通過，還允許夾板250透過緊固件260(如螺釘或螺栓等等)耦合至第二部230。
如圖2至5中所示，數個導管(如管子)以遠離第二部230的方向通過夾板250的孔。例如，設有第一導管270、第二導管280、第三導管290、及第四導管300。導管可具有管子等等的形式。在所示實施例中，第一導管270包含用於遞送化學物質(如蝕刻劑)到分配頭200的流體進入導管，因此第一導管270可視為化學供應導管。第二導管280包含再循環導管，其用來承載再循環的化學物質離開分配頭200以供再循環，將於下說明。第三導管290為流體進入管，其可具有壓縮氣體(空氣)導管的形式，組態成遞送流體(如壓縮空氣)至分配頭200。第四導管300為另一流體導管，並可具有用於從分配頭200收回流體(化學物質)的真空或吸回導管之形式。 第一導管270、第二導管280、第三導管290、及第四導管300為圓周上彼此間隔。
亦設置熱電偶400，並如本文所述用來監測分配頭200內化學物質的溫度。已知熱電偶400為一種電性裝置，由在不同溫度下形成電接合之兩個不相似的電性導體構成。熱電偶因熱電效應而產生溫度相關電壓，且可解讀此電壓以測量溫度。熱電偶400為細長形結構，其具有設置在分配頭200內部之第一端402，如下所述與化學物質流接觸。熱電偶400之相對第二端404位在分配頭200外面。如同導管270、280、290及300，熱電偶400以遠離第二部230的方向往外延伸。熱電偶400的長度可大於導管270、280、290及300之長度。
熱電偶400亦圓周上與導管間隔。如所示，導管270、280、290及300和熱電偶400圍繞第二部230及夾板250的中央(自中央徑向)設置。導管及熱電偶可等距間隔。緊固件260可置中在第二部230及夾板250內。如圖6中所示，緊固件260可用來附接第二部230至第一部220，其中緊固件260完全通過第二部230到第一部220之中。
根據本發明，分配頭200建構成使得其可在至少兩個操作模式中操作，亦即，再循環模式及分配模式。建構分配頭200，使其允許化學物質連續流動經過分配臂100，無論分配臂100是否正主動分配化學物質與否。如下所述，熱電偶400建立在一分配點附近，而得以準確監測化學物質(液體)的溫度。此設計的優點包括不會有會磨損或故障的移動密封件，且所有接觸化學物質的表面可由化學相容的含氟聚合物(如Teflon)或其他適當材料製成。
在再循環操作模式中，加熱的化學物質進入分配頭200並不透過分配出口201分配，而是再循環回到化學物質供應，藉此允許其被再利 用。在分配操作模式中，加熱的化學物質發送到分配出口201。
如圖6至10中所示，第二部230包含具有渠道的主體，其中形成渠道或通道以收容導管270、280、290及300和熱電偶400兩者的端部。因此，針對導管270、280、290及300和熱電偶400的各者，有形成在第二部230中並貫穿其之一對應的渠道或通道。渠道尺寸調整成使得導管270、280、290及300和熱電偶400的端部可被收容並包含及固定在個別的渠道/通道內。這允許流體流經導管並進出第二部230中所形成的個別渠道。
在所示實施例中，第二部230因此包括收容第一導管270的第一通道231、收容第二導管280的第二通道233、收容第三導管290的第三通道235、及收容第四導管300的第四通道237。緊固件260通過一中央通道。在一實施例中，通道231、233、235、及237的形狀為直線形。
第一部220設計成使其與形成在第二部230中的通道231、233、235、及237互補且流體式流通。因此，第一部220包含具有渠道的主體，並進一步包括移動式包含在其內之閥組合件500。如本文所述，閥組合件500可視為三通閥。
如所示，閥組合件500可置中在第一部220內，並包括形成在第一部220內的閥腔(空間或內隔間)502。閥腔502具有第一端503及相對的第二端504。如所示，閥腔502的尺寸可沿其長度而變化，尤其第一端503可具有比第二端504更小的尺寸。閥腔的兩個不同的界定區域之間可形成直角肩部，尤其閥腔502可包括止於第一端503之第一區505及止於第二端504之第二區507。
閥組合件500亦包括可移動閥510，其如本文中所述可定位在一延伸位置及一縮回位置。閥510包含柱塞520，其具有主體部522及在其一端之前凸緣部524和在其另一端的後凸緣部528。在前凸緣部524與主體部 522之間有軸部526，其具有小於前凸緣部524及主體部522的尺寸。例如，前凸緣部524的直徑與主體部522的直徑相同，同時軸部526具有較小的直徑。後凸緣部528可具有大於主體部522的直徑。後凸緣部528的尺寸調整僅為了在第二部507內之被接收及行進。因軸部526之減少的直徑，在軸部526周圍形成有一環形空間525。
閥組合件500進一步包括沿主體部522之圓周設置的風箱530，以及也沿主體部522(自風箱530徑向往外)設置的返回彈簧540。風箱530及返回彈簧540的尺寸亦調整成供在在第二部507內之被接收及行進。風箱530及返回彈簧540設置在後凸緣部528旁，並因此在產生返回偏置力時作用於其上，如下討論。如所示，在第二部507的前端有一止件509，其在當閥510以前進方向移動時限制風箱530及返回彈簧540的行進程度。如本文中所述，當閥510往前移動時，風箱530及返回彈簧540接觸止件509(其可視為第一部505及第二部507之間的肩部)且變成被壓縮，藉此儲存能量。在此情況中，風箱530及返回彈簧540壓縮於止件509與後凸緣部528之間。當自柱塞520移除驅動力時，釋放儲存的能量，並如本文中所述般向後驅使柱塞520。
如本文中所提及，分配頭200的第一部220有渠道，尤其有與形成在第二部230與閥腔502中的渠道/通道流體流通的渠道/通道。更具體而言，第一部220包括與第一通道231及第一導管270流體流通並也與閥腔502流體流通的第一渠道/通道310。第一部220包括與第二通道233及第二導管280流體流通並也與閥腔502選擇性流體流通的第二渠道/通道312。第一部220包括與第三通道235及第三導管290流體流通並也與閥腔502流體流通的第三渠道/通道314。第一部220包括與第四通道237及第四導管300流體流通並也與閥腔502流體流通的第四渠道/通道316。
如圖8及9中所示，第一渠道310可包括引導至另一部的傾斜部，該另一部引導至閥腔502，以載送加熱的化學物質到閥腔502。沿著傾斜部，暴露熱電偶400的一端，且接觸加熱的化學物質，以測量加熱的化學物質在朝閥腔502流去時的溫度。如圖8中所示，第一渠道310的一端與閥腔502的前端(第一區505)流通。
第二渠道312亦與閥腔502的前端(第一區505)流通，如圖7中所示並如下所述，且將從圖8及9中可理解到，遞送到閥腔502前端(閥510的前面)的液體化學物質可流到第二渠道312中，並接著到第二通道233中，且最終到第二導管280，其引導至化學物質的來源，藉此在分配頭200操作於再循環模式中時允許化學物質的再利用。
如圖10中所示，第三渠道314與閥腔502的後端(第二區507)流通，更具體來說，第三渠道314開放到閥腔502中至後凸緣部528的後面。結果為當流體行進到第三渠道314內時，流體直接接觸後凸緣部528並導致閥510在閥腔502內的移動。第三渠道314內的流體(如壓縮空氣)因此為導致柱塞520從縮回(休息)位置(圖6至10)移動到延伸位置(圖11至15)的驅動力。第三渠道314內的流體之力量大於返回彈簧540的偏置力，因此流體的力量能夠對後凸緣部528施加足夠的力量，導致柱塞520在閥腔502內往前移動。
第四渠道316與第四導管300流通，第四渠道316的前端與閥腔502流通，如圖6中所示。不像第一及第二渠道310、312與閥腔502的前端流通，第四渠道316與閥腔502的分配部流通。分配部包括分配出口(分配部)201，其自閥腔502排出化學物質(加熱的液體)。分配出口201在第二部230中形成為一渠道，並從閥腔502徑向往外延伸並沿著第二部230的外表面開放。如所示，分配出口201與閥腔502的第一端(前端)間隔開來。如 下詳述，第四渠道316旨在於分配動作完成後選擇性取回殘留在分配部中的任何化學物質(液體)。第四導管300操作性連接至一吸力源或類似設備，其可在第四導管300、第四渠道/通道316及第四通道237內產生負壓力。
如圖10中所示，當前凸緣部524縮回時，它的行進程度受限於牆壁229，其可視為前凸緣部524的閥座，藉此空間515、525彼此密封分開。
如上述，分配頭200操作於再循環模式(圖6至10)及分配模式(圖11至15)中，分別於下討論。
再循環模式
圖6至10描繪再循環模式。於再循環模式中，閥510位在完全縮回位置中，其中後凸緣部528在閥腔502後端的後壁附近或與其接觸。當閥510位在此位置中時，前凸緣部524與閥腔502的第一端503隔開，界定出位在前凸緣部524與閥腔502的前端之間的前方空間515。在再循環模式中，化學物質供應路徑(由第一導管270、第一渠道/通道310、及第一通道231界定)遞送化學物質(液體)至前凸緣部524前面的前方空間515。由於再循環路徑(由第二導管280、第二渠道/通道312、及第二通道233界定)也與前方空間515流體流通，遞送到前方空間515之加熱的化學物質被引導至再循環路徑，造成當分配頭200處於再循環模式中時再循環被遞送的經加熱化學物質，該模式為其中化學物質並不從分配臂100分配出去的模式。
分配出口201在再循環模式中因此為關閉。如圖6中所示，分配出口201與圍繞軸部526的環形空間525流通，但不與經加熱化學物質遞送至其的前方空間515流通，因此不會分配經加熱化學物質。同樣地，由第四導管300、第四渠道/通道316及第四通道237所界定的吸入路徑為關閉，因其與閥腔502的分配部流通，該分配部同樣因柱塞520在閥腔502內的位置(於 縮回位置)而被置於離線。
當化學物質流經化學物質供應線時，其接觸熱電偶400，允許準確的溫度控制。在分配臂100外面，再循環路徑流入一容器中，如槽(化學供應)，其則饋送到化學物質線(導管270)，允許化學物質被再利用。
分配模式
在分配操作模式中，在再循環路徑關閉的同時，釋放化學物質(流體)通過分配出口201，以防止經加熱化學物質流到再循環路徑內。
欲將分配頭200從再循環模式切換到分配模式，將流體(如壓縮空氣或氮氣)吹入壓縮空氣路徑，導致流體接觸後凸緣部528，造成柱塞520被驅動向前。柱塞520的此驅使動作會在柱塞520往前推時使風箱530及返回彈簧540壓縮。當柱塞520在閥腔502內往前移動時，其打開分配路徑並封住再循環路徑的開口。圖6至10(再循環)與圖11至15(分配)的比對顯示出在分配操作模式中，化學物質供應路徑與圍繞軸部526所形成的環形空間525流體流通，且前方空間515被消除。如圖11中所示，在分配模式中，分配出口201與環形空間525流體流通，因此當經加熱化學物質從化學物質供應路徑流到此環形空間525中時，經加熱化學物質流入並流經釋放出口(分配點)201。如圖12中所示，透過將前凸緣部置於閥腔502的第一(前)端(其為再循環路徑入口所在之處)消除了前方空間515，而使再循環路徑關閉。
此閥配置允許流體持續以相同溫度及流速無中斷地流經化學物質供應路徑，故維持穩定製程情況。在分配操作模式中唯一的差別在於流現被引導通過分配出口201並至待處理的晶圓表面上。
當完成處理時，釋放壓縮風箱530及返回彈簧540的氣體壓力以允許返回彈簧540將柱塞520推回其先前的位置，關閉至分配出口201之流 並再次打開再循環路徑。
額外參照圖11，吸回路徑之含括允許困在分配點(環形空間525及分配出口201)中的化學物質得以被吸回分配頭200，藉此防止在分配關閉後之滴漏。例如，可供應負壓力(真空)至吸回路徑，致使可能殘留在環形空間525或甚至分配出口201內的任何化學物質被吸經吸回路徑(至一回收容器)。如前述，這防止任何化學物質的滴漏。
可理解到可免除吸回路徑，使某體積的流體可保持在閥腔502中。
圖16A及16B描繪閥座與柱塞之間的一替代配置。詳言之，於圖16B中，設置一曲座600，其代表藉由形成環狀凹槽602而產生的撓凸緣，藉此界定柱塞520在其縮回位置時所座落之曲座600。不像是圖10的表面閥座229，曲座600具有某程度的撓性，提供柱塞520與閥座(凸緣600)之間的密封配置。
可由可撓曲的適當材料形成凸緣600，如某些塑膠、橡膠等等。
圖17A及17B描繪閥座與柱塞之間的一替代配置。詳言之，於圖17B中，提供一O型環610，並圍繞柱塞520設置，使柱塞520的軸部526穿過其中。O型環610可在分配出口201附近錨定於分配頭200的主體210中(例如，藉由如所示般設置在一凸部上)。O型環610因此提供柱塞520之間的密封配置，因為柱塞520在其縮回位置中抵靠O型環610。不像圖10的配置(其中柱塞與閥座的密封配置為表面對表面的配置)，在圖17B中，柱塞520抵靠O型環610以提供增進的密封(以防止空間515與525之間的任何滲漏)。
圖18A及18B描繪閥座與柱塞520之間的一替代配置。詳言之，於圖18B中，提供一墊圈620，並圍繞柱塞520設置，使柱塞520的軸部 526穿過其中。墊圈620因此提供柱塞520之間的密封配置，因為柱塞520在其縮回位置中抵靠墊圈620。不像圖10的配置(其中柱塞與閥座的密封配置為表面對表面的配置)，在圖18B中，柱塞520抵靠墊圈620以提供增進的密封(以防止空間515與525之間的任何滲漏)，因為墊圈620具有與硬表面(圖10)不同的性質(如彈性)。
注意到上述圖示及範例並非旨將本發明的範圍限於單一實施例，因為透過所述或所示元件的一些或全部的置換可有其他實施例。此外，在本發明的某些元件可使用已知構件部分或完全實施的情況中，僅敘述為了理解本發明所需之這種已知構件的那些部分，並省略這種已知構件的其他部分之詳細說明以不混淆本發明。在本說明書中，顯示一單數構件的實施例不應絕對限於包括複數個相同構件的其他實施例，反之亦然，除非本文中另有所指。此外，以不常見或特別意思解釋說明書或專利範圍中的任何術語非申請人之本意，除如此明確提出以外者。另外，本發明涵蓋以例示方式在本文中參照的已知構件之當前及未來已知的等效者。
特定實施例的上述說明將可完全揭露出本發明的概略本質，使他人透過應用相關領域之技術內的知識(包括本文中以參考方式參照及包括的文獻內容)得以在無須過度實驗下針對各種應用輕易變更及/或調適這種特定實施例，而不背離本發明的一般概念。依據本文所提出的教示及引導，這種調適及變更故應落在所揭露的實施例之等效者的意義及範圍內。應了解到本文的用語或術語旨在說明而非限制，熟悉相關技術者在得知本文所提出之教示及引導並結合熟悉相關技術者之知識下，解釋本說明書的用語或術語。
雖已於上說明本發明的各種實施例，應了解到已經以示範而非限制的方式呈現這些實施例。對熟悉相關技術者來說顯然可作形式及細 節上的各種改變而不背離本發明的精神及範圍。因此，本發明不應受限於任何上述的示範實施例，而僅應根據下列申請專利範圍及其等效者加以界定。

Claims (19)

  1. 一種用於將流體可控式釋放到一基板上之分配臂裝置，包含：一分配頭，其耦合至並包含在該分配臂裝置的一臂部內，其中該分配頭具有一閥組合件，該閥組合件經配置以在下列模式中操作：(1)一再循環模式，於該再循環模式中，形成在該分配頭中的一分配出口為關閉，且一再循環路徑為打開，以供被遞送至該分配頭經加熱的化學物質從該分配頭被遞送回一遠端位置；以及(2)一分配模式，於該分配模式中，該分配出口為打開，以從該分配頭排出經加熱的化學物質，且該再循環路徑為關閉。
  2. 如申請專利範圍第1項之分配臂裝置，其更包括一細長形熱電偶，其具有與一第一導管流體流通之一第一端，以及從該分配頭突出之一相對第二端，該第一導管配置成接收來自化學物質供應位置之該經加熱化學物質。
  3. 如申請專利範圍第2項之分配臂裝置，其中該分配頭包括一第一區及以一緊固件可拆式耦合至該第一區的一第二區，該分配出口形成在該第一區中，且該熱電偶的該第一端設置在該第一區內並完全通過且超出該第二區的一端。
  4. 如申請專利範圍第1項之分配臂裝置，其中該分配頭具有一閥腔，於其中設置該閥組合件，該分配出口與該閥腔選擇性地流體流通。
  5. 如申請專利範圍第4項之分配臂裝置，其中該閥組合件包含具有一主體的一柱塞閥，其一端有一後凸緣，而另一端有一前凸緣，並以一軸部連接該前凸緣至該主體。
  6. 如申請專利範圍第5項之分配臂裝置，其中該閥腔具有其中設有該前凸緣之一第一區，以及其中設有該後凸緣之一第二區，該分配出口與該第 一區流體流通。
  7. 如申請專利範圍第6項之分配臂裝置，其中在該再循環模式中，該前凸緣關閉該分配出口，且在該分配模式中，該前凸緣自該分配出口偏移，該分配出口沿該軸部定向以用於接收該經加熱化學物質。
  8. 如申請專利範圍第1項之分配臂裝置，其中該分配頭界定有於其中之用於接收該經加熱化學物質並遞送該經加熱化學物質至其中可移動式設有該閥組合件之一閥腔的一第一路徑、與該閥腔流體流通以從該閥腔接收未使用的經加熱化學物質之一第二路徑、用於遞送工作流體至該閥腔以作用於該閥組合件的一第三路徑、以及與該閥腔流體流通以從其吸入任何未使用的經加熱化學物質之一第四路徑，其中在該再循環模式中，該第一路徑及該第二路徑相互流體流通，以及在該分配模式中，該第一路徑與該分配出口相互流體流通。
  9. 如申請專利範圍第8項之分配臂裝置，其中該閥組合件包含具有一主體的一柱塞閥，其一端有一後凸緣，而另一端有一前凸緣，並有一軸部連接該前凸緣至該主體，且該閥腔具有其中設有該前凸緣之一第一區，以及其中設有該後凸緣之一第二區，該分配出口與該第一區流體流通，該第三路徑與該閥腔的該第二區流體流通，同時該第一路徑、該第二路徑、及該第三路徑與該第一區流體流通。
  10. 如申請專利範圍第8項之分配臂裝置，其中在該分配模式中，該前凸緣關閉該第二路徑，導致該第一路徑與打開的分配出口流體流通，且在該分配模式中，該經加熱的化學物質可從該第一路徑圍繞該軸部流動至該分配出口，且在該再循環模式中，該經加熱的化學物質可流到該前凸緣的前方。
  11. 如申請專利範圍第1項之分配臂裝置，其中該閥組合件包括偏置元件， 其施加一返回力量至一柱塞型閥體，以使該柱塞型閥體返回至一預設位置，其包含該再循環模式。
  12. 如申請專利範圍第11項之分配臂裝置，其中當施加一力量至該柱塞型閥體的一端時，克服該返回力量並使該柱塞型閥體往前移動，導致一再循環路徑關閉，並使該分配模式生效。
  13. 如申請專利範圍第11項之分配臂裝置，其更包括圍繞該柱塞型閥體設置且被該偏置元件圍繞的一風箱。
  14. 如申請專利範圍第1項之分配臂裝置，其更包括一閥座，在該再循環模式中該閥組合件抵靠著該閥座。
  15. 如申請專利範圍第14項之分配臂裝置，其中該閥座包含延伸到該閥腔中的一撓性壁、一O型環、及一墊圈中之一者。
  16. 如申請專利範圍第1項之分配臂裝置，其中該分配頭界定有於其中之用於接收該經加熱化學物質並遞送該經加熱化學物質至其內可移動地設有該閥組合件之一閥腔的一第一路徑、與該閥腔流體流通以從該閥腔接收未使用的經加熱化學物質之一第二路徑、用於遞送工作流體至該閥腔以作用於該閥組合件的一第三路徑、以及與該閥腔流體流通以從其吸入任何未使用的經加熱化學物質之一第四路徑，其中在該再循環模式中，該第一路徑及該第二路徑相互流體流通，以及在該分配模式中，該第一路徑與該分配出口相互流體流通；以及一細長形熱電偶，其具有與該第一路徑流體流通的一第一端，以及自該分配頭突出的一相對第二端。
  17. 如申請專利範圍第8項之分配臂裝置，其中該第一路徑包括自該分配頭的一主體的一端往外突出之一第一管狀導管；該第二路徑包括自該主體的該端往外突出之一第二管狀導管；該第三路徑包括自該主體的該端往 外突出之一第三管狀導管；以及該第四路徑包括自該主體的該端往外突出之一第四管狀導管。
  18. 如申請專利範圍第17項之分配臂裝置，其中該分配頭的該主體包括形成於該主體內且與該第一管狀導管流體流通之一第一渠道、形成於該主體內且與該第二管狀導管流體流通之一第二渠道、形成於該主體內且與該第三管狀導管流體流通之一第三渠道、以及形成於該主體內且與該第四管狀導管流體流通之一第四渠道。
  19. 一種操作用於將流體可控式釋放到一基板上之分配臂裝置之方法，包括：將位在一分配頭中的一閥組合件定位在一第一位置，其係一再循環操作模式，於該再循環操作模式中形成在該分配頭中的一分配出口為關閉，而一再循環路徑為打開，以供被遞送至該分配頭的經加熱的化學物質從該分配頭被遞送回一化學物質回收位置而不透過該分配出口分配；以及當需要分配該經加熱化學物質時，將該閥組合件定位在一第二位置，其為一分配模式，於該分配模式中該分配出口為打開，以從該分配頭釋放經加熱的化學物質，且該再循環路徑為關閉。
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