TW201914131A - 用於可旋轉基板支撐件的滑環 - Google Patents

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Abstract

本文提供用於可旋轉基板支撐件之滑環的具體例。在某些具體例中，滑環包括主體，具有頂壁、底壁、及在頂壁與底壁之間延伸的側壁，其中頂壁、底壁、及側壁界定主體內的內容積，其中中央開口形成通過頂壁；複數個環形容器，安置在內容積內並與主體同軸，其中複數個環形容器彼此垂直地間隔開，及其中複數個環形容器的每一者含有第一容積的導電液體；上圓柱體，可旋轉地安置在中央開口中；下圓柱體，固定地耦接至主體的下壁。

Description

用於可旋轉基板支撐件的滑環
本發明的具體例大體上關於用於可旋轉基板支撐件的滑環。
在基板上的某些裝置的形成需要在沉積腔室(諸如原子層沉積(ALD)腔室)中沉積的多層的薄膜。在某些具體例中，基板在沉積處理期間需要被旋轉以獲得良好的膜均勻性。某些層的沉積也會需要基板被加熱。滑環通常耦接至基板支撐件的軸件以將電源及其他電子裝置耦接至基板支撐件台座，同時允許基板支撐件旋轉。
然而，發明人已經觀察到典型滑環不能滿足藉由規範主體(code bodies)的標準設置之用於相反極性的銷之間的間隔。例如，國家電氣規範對於208伏特應用，要求安裝在一般表面上並具有相反極性的銷彼此間隔開最小為0.75吋。
因此，發明人已經提供用於可旋轉基板支撐件的改良滑環。
本文提供用於可旋轉基板支撐件的滑環的具體例。在某些具體例中，滑環包括主體，具有頂壁、底壁、及在頂壁與底壁之間延伸的側壁，其中頂壁、底壁、與側壁界定主體內的內容積，其中中央開口形成通過頂壁；複數個環形容器，安置在內容積內並與主體同軸，其中複數個環形容器彼此垂直地間隔開，及其中複數個環形容器的每一者含有第一容積的導電液體；上圓柱體，可旋轉地安置在中央開口中；下圓柱體，固定地耦接至主體的下壁。上圓柱體包括從上圓柱體的上表面突出的複數個第一導電銷；及複數個第一導電引線，複數個第一導電引線之每一者耦接至對應的複數個第一導電銷的一者並延伸進入對應的第一容積的導電液體。下圓柱體包括從下圓柱體的下表面突出的複數個第二導電銷；及複數個第二導電引線，複數個第二導電引線之每一者耦接至對應的複數個第二導電銷的一者並延伸至對應的環形容器，以將複數個第一導電銷電氣耦接至複數個第二導電銷。
在某些具體例中，滑環包括具有中央開口的主圓柱體、具有界定中央開口的內側壁的上圓柱體，其中上圓柱體可旋轉地安置在主圓柱體的中央開口中、及具有中央開口的下圓柱體，其中下圓柱體安置在上圓柱體的中央開口中並固定至主圓柱體。複數個環形容器安置在上圓柱體的內側壁與下圓柱體的外表面之間。複數個環形容器關於彼此垂直地佈置且複數個環形容器的每一者含有第一容積的導電液體。複數個環形蓋設置以覆蓋每一對應的環形容器的第一容積。複數個第一導電引線，其之每一者從對應的第一容積的導電液體延伸至上圓柱體的頂表面，及複數個第二導電引線，其之每一者從對應的第一容積的導電液體延伸至下圓柱體的底表面。
在某些具體例中，滑環包括主體，具有頂壁、底壁、及在頂壁與底壁之間延伸的側壁，以界定主體內的內容積。頂壁可旋轉地連接至側壁，及中央開口形成通過頂壁。複數個中空圓柱安置在內容積內，且複數個中空圓柱彼此同軸並與主體同軸。複數個中空圓柱在相鄰的複數個中空圓柱之間界定複數個環形通道，及複數個環形通道的每一者含有一容積的導電液體。複數個第一導電銷從頂壁的上表面突出，每一個第一導電銷電氣連接至對應容積的導電液體。複數個第二導電銷從底壁的下表面突出，每一個第二導電銷電氣連接至對應容積的導電液體以將複數個第一導電銷電氣耦接至複數個第二導電銷。
在下文說明本發明的其他與進一步具體例。
本發明的具體例提供可使用在安置在處理腔室內的基板支撐件的滑環，處理腔室為諸如原子層沉積(ALD)處理腔室(然而用於執行其他處理的處理腔室也可從本文揭示的教示得益)。具體例包括提供電源與其他電子裝置電氣耦合至可旋轉基板支撐件的滑環，同時有利地符合藉由管理主體(governing bodies)的規範設置。接下來的處理腔室說明係提供用於背景與範例目的，且不應理解為限制本發明的範疇。
圖1是範例基板處理腔室(處理腔室100)的圖解視圖，其中可使用根據本發明的某些具體例的滑環。在某些具體例中，處理腔室100包括腔室主體102與蓋組件104，處理腔室100具有界定在腔室主體102內並在蓋組件104之下的處理容積106。腔室主體102中的狹縫閥120提供機器人(未示出)的入口以傳遞與收回基板至處理腔室100或從處理腔室100傳遞與收回基板，基板為諸如200 mm、300 mm、450 mm、或類似的半導體晶圓、玻璃基板、或類似物。
可旋轉基板支撐件108將基板支撐在處理腔室100中的基板接收表面上。升舉板122(連接至升舉馬達(圖2中所示的升舉馬達220))安裝在處理腔室100中以升高或降低升舉銷，升舉銷可移動地安置通過基板支撐件108。升舉銷在基板支撐件108的表面上方升高與降低基板。基板支撐件108可包括真空夾盤(未示出)、靜電夾盤(未示出)、或夾圈(未示出)，以在處理期間將基板固定至基板支撐件108。
可調整基板支撐件108的溫度以控制基板的溫度。例如，使用內嵌加熱元件(諸如電阻式加熱器，如下文關於圖2所論述)可加熱基板支撐件108，或可使用輻射熱加熱基板支撐件108，諸如加熱燈設置以提供熱能至基板支撐件108。
在某些具體例中，邊緣環116可安置在基板支撐件108的周圍邊緣頂上。邊緣環116包括中央開口，中央開口的尺寸製成以暴露基板支撐件108的支撐表面。邊緣環116可進一步包括裙部或向下延伸的環形唇部以保護基板支撐件108的側部。
在某些具體例中，襯墊114安置沿著腔室主體102的內部壁(例如，一或多個側壁)，以在操作期間保護腔室主體102免於腐蝕氣體或材料沉積。在某些具體例中，襯墊114包括內容積124及複數個開口，以將內容積124流體耦接至處理容積106。在此具體例中，襯墊114的內容積124進一步流體耦接至泵通道126，以促進從處理腔室100排空氣體並經由耦接至泵通道126的真空泵維持處理腔室100內部的預定壓力或壓力範圍。
氣體輸送系統118耦接至蓋組件104以提供氣體(諸如處理氣體及/或淨化氣體)通過噴淋頭110至處理容積106。噴淋頭110安置在蓋組件104中，通常相對於基板支撐件108且包括複數個氣體分配孔以提供處理氣體至處理容積106。在某些具體例中，可提供間隔物112以控制噴淋頭110關於基板支撐件108的位置(例如，噴淋頭110的前表面與基板支撐件108的支撐表面之間的距離)。例如，在某些具體例中，間隔物112可為環形構件，安置在蓋組件104中的噴淋頭110與支撐構件之間。間隔物112的尺寸(例如厚度)可被選定以控制當擱置在間隔物112頂上時之噴淋頭110的位置。
圖2描繪根據本發明的某些具體例的具有滑環的基板支撐件108的圖解視圖。在某些具體例中，基板支撐件包括具有支撐表面201的台座202以支撐基板，及支撐台座202並從相對於支撐表面201的第二表面203向下延伸的軸件204。在某些具體例中，基板支撐件108包括一或多個加熱元件208，安置在支撐表面201與第二表面203之間。在某些具體例中，加熱元件208可為電阻式加熱元件。在某些具體例中，加熱元件208可劃分成複數個加熱區域(例如，內加熱區域與外加熱區域)。在某些具體例中，馬達206耦接至軸件204以旋轉基板支撐件108。升舉馬達220耦接至升舉板122以促使移動升舉板向上與向下以升舉與降低基板支撐件108中的升舉銷(未示出)。
基板支撐件108可進一步包括一或多個(圖2中顯示兩個)電阻式溫度偵測器(RTD)210，以量測安置在支撐表面201上的基板的溫度。基板支撐件108進一步包括電源(例如AC電源212)耦接至加熱元件208，經由第一引線213以將加熱元件208供電；及訊號源(例如DC訊號源214)經由第二引線215耦接至RTD 210以將啟動訊號發送至RTD 210。滑環250安置在軸件204中以促進AC電源212與DC訊號源214分別電氣耦合至加熱元件208與RTD，同時允許基板支撐件108旋轉。
滑環250的接下來的說明係參照圖3A與3B。圖3A描繪根據本發明的某些具體例的滑環的剖面視圖。圖3B描繪圖3A的滑環的頂視圖。在某些具體例中，滑環250包括主體302(例如主圓柱體)，具有頂壁304、底壁306、及在頂壁與底壁304、306之間延伸的側壁308。頂壁304、底壁306、及側壁308界定主體302內的內容積310。中央開口312形成通過頂壁304以容納上圓柱體314。上圓柱體314可旋轉地安置在中央開口312內。在某些具體例中，第一與第二動態密封316、318可安置在上圓柱體314與主體302的界面處，以最小化或消除來自上圓柱體314的旋轉的磨耗。在某些具體例中，上圓柱體314包括從上圓柱體314的上表面322突出的複數個第一導電銷320。在某些具體例中，複數個第一導電銷320適合M8連接器用於訊號傳送。滑環250進一步包括固定地耦接至底壁306的下圓柱體324。在某些具體例中，下圓柱體324包括從下圓柱體324的下表面328突出的複數個第二導電銷326。
滑環250進一步包括安置在內容積310內的複數個環形容器330。複數個環形容器330彼此垂直地間隔開且與主體302同軸地佈置。複數個環形容器330的每一者含有第一容積332的導電液體。複數個第一導電引線334耦接至對應的複數個第一導電銷320的一者並延伸進入對應的第一容積332的一者。複數個第二導電引線336耦接至對應的複數個第二導電銷326的一者並延伸進入對應的第一容積332的一者，以將複數個第一導電銷320經由第一容積332的導電液體電氣耦接至複數個第二導電銷326。
在某些具體例中，滑環250進一步包括安置在內容積310內的複數個中空圓柱338。複數個中空圓柱338彼此同軸並與主體同軸。複數個中空圓柱338被間隔開以在相鄰的複數個中空圓柱338之間界定複數個環形通道340。複數個環形通道340的每一者含有第二容積342的導電液體。
在某些具體例中，上圓柱體314進一步包括從上圓柱體314的上表面322突出的複數個第三導電銷344與複數個第三導電引線346，複數個第三導電引線346的每一者耦接至對應的複數個第三導電銷344的一者並延伸進入對應的第二容積342。下圓柱體324進一步包括從下圓柱體324的下表面328突出的複數個第四導電銷348與複數個第四導電引線350，複數個第四導電引線350的每一者耦接至對應的複數個第四導電銷348的一者並延伸進入對應的第二容積342，以將複數個第三導電銷344電氣耦接至複數個第四導電銷348。
在某些具體例中，導電液體是汞，因為汞在室溫為液體。在某些具體例中，導電液體是包含鎵、銦、及錫的液態金屬合金。此液態金屬合金的一實例為GALINSTAN®，可由德國的Geratherm Medical AG獲得。複數個第一導電銷320的任一者從複數個第三導電銷344的任一者間隔開至少d1 的距離。在某些具體例中，d1 至少約0.5吋。複數個第三導電銷344的任一者從複數個第三導電銷344的其他任一者間隔開至少d2 的距離，以有利地降低或消除電弧及DC訊號的干擾。在某些具體例中，d2 至少約0.75吋。
在某些具體例中，滑環250包括四個第一導電銷320、四個第二導電銷326、四個第三導電銷344、及四個第四導電銷348，如圖3A與3B所繪示。因此，環形容器(第一容積)與第二容積的數目各自也為四個。然而，導電銷、環形容器(第一容積)、與第二容積各者的確切數目取決於台座202中的加熱區域的數目。已基於假設存在兩個加熱區域而做出上述說明。然而，任何數目的加熱區域，因此以及銷，可分別包括在基板支撐件108與滑環250中。
在使用期間，上圓柱體314耦接至軸件204，及因此與軸件204旋轉。複數個第一導電銷320耦接至第二引線215。複數個第三導電銷344耦接至第一引線213。因此，複數個第一導電引線344與複數個第三導電引線346在其各自容積的導電液體中旋轉。複數個第二導電銷326耦接至DC訊號源214，以電氣傳遞DC訊號，從DC訊號源214通過複數個第二導電引線336，通過複數個環形容器330中的導電液體，通過第一導電引線334，通過複數個第一導電銷320，通過第二引線215，並到達一或多個RTD 210。類似地，複數個第四導電銷348耦接至AC電源212，以電氣傳遞AC電源，從AC電源212通過複數個第四導電引線350，通過複數個環形容器340中的導電液體，通過第三導電引線346，通過複數個第三導電銷344，通過第一引線213，並到達加熱元件208。複數個環形容器330與複數個中空圓柱338由電氣絕緣材料所形成，以確保電氣流動路徑不會彼此干擾或干擾基板支撐件108中的任何其他電氣連接。
滑環250的接下來的說明係參照圖4。圖4描繪根據本發明的某些具體例的滑環的剖面等角視圖。在某些具體例中，滑環250包括主體442(例如，主圓柱體)，具有頂壁406、底壁402、及在頂壁與底壁406、402的周圍邊緣之間延伸的第一側壁418。在某些具體例中，滑環250進一步包括在頂壁與底壁406、402之間延伸的第二側壁444。頂壁與底壁406、402界定在主體442內之第一側壁與第二側壁418、444之間的第一內容積408。頂壁406、底壁402、及第二側壁444界定主體442內的第二內容積426。中央開口422形成通過頂壁406以容納上圓柱體404。
上圓柱體404可旋轉地安置在中央開口422內並在第一內容積408內。在某些具體例中，頂壁406沿著頂壁406的上內側周圍邊緣形成凹口(notched)特徵446。凹口特徵446的尺寸製成以容納上圓柱體404的鍵特徵448，使得頂壁406能夠與上圓柱體404旋轉。在某些具體例中，上圓柱體404包括從上表面450延伸朝向下表面454的複數個孔420，容許複數個第一導電引線(在下文進一步說明)從上圓柱體404的上表面450突出。上圓柱體404形成從下表面延伸朝向上表面450的中央開口440。在某些具體例中，複數個第一導電引線適用M8連接器，或其他合適連接器，用於訊號傳遞。
滑環250進一步包括下圓柱體410，至少部分地安置在上圓柱體404的中央開口440內並固定地耦接至底壁402。在某些具體例中，下圓柱體410包括複數個第二導電引線(在下文進一步說明)從下圓柱體410的下表面452突出。
滑環250進一步包括複數個環形容器414，安置在上圓柱體404的中央開口440內並在上圓柱體404的上與下表面450、452之間。複數個環形容器414彼此垂直地佈置。複數個環形容器414與下圓柱體410同軸地佈置。複數個環形容器可被可旋轉地固定至下圓柱體410。複數個環形容器414的每一者含有第一容積416的導電液體。在某些具體例中，複數個環形容器414的每一者包括安置在相鄰環形容器414之間的空間中之對應的容器蓋424，容器蓋424設置以覆蓋第一容積416。各容器蓋424能夠關於複數個環形容器414而旋轉。彈性墊圈412可安置在上圓柱體404的上表面450與最靠近上表面450的容器蓋424之間以形成壓縮密封。四個環形容器414與四個容器蓋的層疊顯示在圖4。然而，可使用任何數目的環形容器414或容器蓋424以適應台座202中的任何數目的加熱區域、或台座202的其他電氣要求。
在某些具體例中，滑環250進一步包括安置在第二內容積426內的複數個中空圓柱。在某些具體例中，複數個中空圓柱包括以導電材料形成的一或多個固定中空圓柱428，及以導電材料形成的一或多個旋轉中空圓柱430。在某些具體例中，複數個中空圓柱可進一步包括以絕緣材料形成的一或多個絕緣中空圓柱432。複數個中空圓柱(例如，428、430、432)彼此同軸並與主體442同軸。旋轉中空圓柱430能夠關於固定中空圓柱428而旋轉。佈置旋轉中空圓柱430與固定中空圓柱428，使得旋轉中空圓柱430的每一者鄰近於固定中空圓柱428的一者(以形成一對中空圓柱)，及藉由絕緣中空圓柱432將一或多個旋轉中空圓柱430的相鄰的任一者分開。固定中空圓柱428與旋轉中空圓柱430間隔開以在之間界定一或多個環形通道438。環形通道438的每一者含有第二容積456的導電液體。
在某些具體例中，旋轉中空圓柱430各自包括延伸通過對應的槽458的突片(tab)436，槽458形成通過頂壁406。類似地，固定中空圓柱428各自包括延伸通過對應的槽466的突片464，槽466形成通過底壁402。槽可沿著頂壁與底壁406、402的周圍部分形成。槽可沿著頂壁與底壁406、402的周圍部分以角度間隔開，帶有旋轉與固定的中空圓柱430、428的對應的突片相應地定位。例如，在具有四個旋轉中空圓柱430與四個固定中空圓柱428的具體例中，槽通常可形成九十度間隔開繞著頂壁與底壁406、402的中心。從頂壁406突出的突片436界定一或多個第一導電銷460而從底壁402突出的突片464界定一或多個第二導電銷462。第一導電銷460的每一者因此電氣耦接至對應的第二導電銷462的一者，經由對應的旋轉中空圓柱430、對應的固定中空圓柱428、與之間的第二容積456的導電液體。
圖5顯示圖4的滑環的內部區的剖面等角視圖。在某些具體例中，複數個環形容器414可由導電材料形成而容器蓋424可由絕緣材料形成。複數個第一導電引線508的每一者的第一部分510設置以通過由容器蓋424形成的開口514並延伸進入對應的第一容積416之一者。第一導電引線508的第二部分512能夠通過上圓柱體404的孔420的對應的一者，經由藉由容器蓋424形成的凸部(ledge)516。複數個第二導電引線504的每一者耦接至複數個環形容器414的對應一者的內側壁506，以將複數個第一導電引線508電氣耦接至複數個第二導電引線504，經由第一容積416的導電液體。下圓柱體410形成中央開口434與垂直槽502。複數個第二導電引線504從內側壁506延伸並穿過垂直槽502與中央開口434以通過下表面452。
圖6A顯示圖4的滑環的內部區的等角視圖。在某些具體例中，複數個環形容器414包括四個環形容器414與四個容器蓋424，如上所述與圖4所示。圖6B顯示圖4的滑環的內部區的底視圖。在某些具體例中，包括四個環形容器414與四個容器蓋424，各容器蓋424的凸部516佈置為離相鄰的凸部516為九十度角。如圖6B所示，此佈置容許複數個第一導電引線508的每一者延伸通過上圓柱體404的複數個孔420的對應的一者。在某些具體例中，複數個環形容器414形成凹口602，凹口602與形成在下圓柱體410上的鍵604嚙合，以將環形容器414旋轉地固定至下圓柱體410。
在某些具體例中，複數個第一導電銷460的任一者與複數個第一導電引線508的任一者間隔開至少0.5吋的距離。複數個第二導電銷462的任一者與複數個第二導電銷462的其他任一者間隔開至少約0.75吋的距離，以有利地降低或消除電弧及DC訊號的干擾。
因此，發明人已經提供有利地符合藉由管理規範主體的標準設置中說明的間隔要求的滑環的具體例。儘管前述係關於本發明的某些具體例，但在不背離本發明的基本範疇下可構思出其他與進一步具體例。
100‧‧‧處理腔室
102‧‧‧腔室主體
104‧‧‧蓋組件
106‧‧‧處理容積
108‧‧‧基板支撐件
110‧‧‧噴淋頭
112‧‧‧間隔物
114‧‧‧襯墊
116‧‧‧邊緣環
118‧‧‧氣體輸送系統
120‧‧‧狹縫閥
122‧‧‧升舉板
124‧‧‧內容積
126‧‧‧泵通道
201‧‧‧支撐表面
202‧‧‧台座
203‧‧‧第二表面
204‧‧‧軸件
206‧‧‧馬達
208‧‧‧加熱元件
210‧‧‧電阻式溫度偵測器(RTD)
212‧‧‧AC電源
213‧‧‧第一引線
214‧‧‧DC訊號源
215‧‧‧第二引線
220‧‧‧升舉馬達
250‧‧‧滑環
302‧‧‧主體
304‧‧‧頂壁
306‧‧‧底壁
308‧‧‧側壁
310‧‧‧內容積
312‧‧‧中央開口
314‧‧‧上圓柱體
316、318‧‧‧第一與第二動態密封
320‧‧‧第一導電銷
322‧‧‧上表面
324‧‧‧下圓柱體
326‧‧‧第二導電銷
328‧‧‧下表面
330‧‧‧環形容器
332‧‧‧第一容積
334‧‧‧第一導電引線
336‧‧‧第二導電引線
338‧‧‧複數個中空圓柱
340‧‧‧環形通道
342‧‧‧第二容積
344‧‧‧第三導電銷
346‧‧‧第三導電引線
348‧‧‧第四導電銷
350‧‧‧第四導電引線
402‧‧‧底壁
404‧‧‧上圓柱體
406‧‧‧頂壁
408‧‧‧第一內容積
410‧‧‧下圓柱體
412‧‧‧彈性墊圈
414‧‧‧複數個環形容器
416‧‧‧第一容積
418‧‧‧第一側壁
420‧‧‧孔
422‧‧‧中央開口
424‧‧‧容器蓋
426‧‧‧第二內容積
428‧‧‧複數個固定中空圓柱
430‧‧‧複數個旋轉中空圓柱
432‧‧‧複數個絕緣中空圓柱
434‧‧‧中央開口
436‧‧‧突片
438‧‧‧環形通道
440‧‧‧中央開口
442‧‧‧主體
444‧‧‧第二側壁
446‧‧‧凹口特徵
448‧‧‧鍵特徵
450‧‧‧上表面
452‧‧‧下表面
454‧‧‧下表面
456‧‧‧第二容積
458‧‧‧槽
460‧‧‧複數個第一導電銷
462‧‧‧複數個第二導電銷
464‧‧‧突片
466‧‧‧槽
502‧‧‧垂直槽
504‧‧‧複數個第二導電引線
506‧‧‧內側壁
508‧‧‧複數個第一導電引線
510‧‧‧第一部分
512‧‧‧第二部分
514‧‧‧開口
516‧‧‧凸部
602‧‧‧凹口
604‧‧‧鍵
藉由參照描繪在隨附圖式中的本發明的繪示具體例，可理解簡短總結於上並在之後更詳細論述的本發明的具體例。然而，隨附圖式僅繪示本發明的典型具體例且因此不被當作限制本發明的範疇，由於本發明可容許其他同等有效的具體例。
圖1描繪根據本發明的某些具體例的處理腔室的圖解側剖面視圖。
圖2描繪根據本發明的某些具體例的基板支撐件的圖解視圖。
圖3A描繪根據本發明的某些具體例的滑環的剖面視圖。
圖3B描繪圖3A的滑環的頂視圖。
圖4描繪根據本發明的某些具體例的滑環的剖面等角視圖。
圖5描繪圖4的滑環的內區域的剖面等角視圖。
圖6A描繪圖4的滑環的內區域的等角視圖。
圖6B描繪圖4的滑環的內區域的底視圖。
為了易於理解，已經儘可能地使用相同的元件符號指稱圖式中共通的相同元件。圖式並未按比例繪製且為了明瞭可被簡化。一具體例的元件與特徵可有利地結合至其他具體例而不需進一步闡明。
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Claims (20)

  1. 一種滑環，包含： 一主體，具有一頂壁、一底壁、及在該頂壁與該底壁之間延伸的一側壁，其中該頂壁、該底壁、及該側壁界定該主體內的一內容積，其中一中央開口形成通過該頂壁；複數個環形容器，安置在該內容積內且與該主體同軸，其中該複數個環形容器彼此垂直地間隔開，及其中該複數個環形容器的每一者含有一第一容積的一導電液體；一上圓柱體，可旋轉地安置在該中央開口中，該上圓柱體包含：複數個第一導電銷，從該上圓柱體的一上表面突出；及複數個第一導電引線，該複數個第一導電引線的每一者耦接至一對應的該複數個第一導電銷的一者並延伸進入一對應的第一容積的該導電液體；以及一下圓柱體，固定地耦接至該主體的該底壁，該下圓柱體包含：複數個第二導電銷，從該下圓柱體的一下表面突出；及複數個第二導電引線，該複數個第二導電引線的每一者耦接至一對應的該複數個第二導電銷的一者並延伸至一對應的環形容器以將該複數個第一導電銷電氣耦接至該複數個第二導電銷。
  2. 如請求項1所述之滑環，進一步包含： 複數個中空圓柱，安置在該內容積內；其中該複數個中空圓柱彼此同軸並與該主體同軸，其中該複數個中空圓柱在相鄰的該複數個中空圓柱之間界定複數個環形通道，其中該複數個環形通道的每一者含有一第二容積的該導電液體；其中該上圓柱體進一步包含：複數個第三導電銷，從該上圓柱體的該上表面突出；及複數個第三導電引線，該複數個第三導電引線的每一者耦接至一對應的該複數個第三導電銷的一者並延伸進入一對應的第二容積的該導電液體；及其中該下圓柱體進一步包含：複數個第四導電銷，從該下圓柱體的該下表面突出；及複數個第四導電引線，該複數個第四導電引線的每一者耦接至一對應的該複數個第四導電銷的一者並延伸進入一對應的第二容積的該導電液體以將該複數個第三導電銷電氣耦接至該複數個第四導電銷。
  3. 如請求項2所述之滑環，其中該複數個第一導電銷的任一者至該複數個第三導電銷的任一者之間的一第一距離為至少約0.5吋。
  4. 如請求項2所述之滑環，其中該複數個第三導電銷的任兩者之間的一第二距離為至少約0.75吋。
  5. 如請求項2所述之滑環，其中該複數個第一導電銷為四個第一導電銷，及其中該複數個第三導電銷為四個第三導電銷。
  6. 如請求項1至5之任一項所述之滑環，其中該導電液體為一液態金屬或一液態金屬合金。
  7. 一種基板支撐件，包含： 一台座，具有一上表面以支撐一基板；一軸件，從該台座的一下表面向下延伸；一電阻式溫度偵測器，安置在該基板支撐件內接近該台座；及請求項1至5之任一項所述之滑環連接至該軸件，其中該第一導電銷的兩個導電銷連接至該電阻式溫度偵測器。
  8. 一種滑環，包含： 一主圓柱體，具有一中央開口；一上圓柱體，具有一內側壁，該內側壁界定一中央開口，其中該上圓柱體可旋轉地安置在該主圓柱體的該中央開口中；一下圓柱體，具有一中央開口，其中該下圓柱體安置在該上圓柱體的該中央開口中並固定至該主圓柱體；複數個環形容器，安置在該上圓柱體的該內側壁與該下圓柱體的一外表面之間，其中該複數個環形容器彼此垂直地佈置，及其中該複數個環形容器的每一者含有一第一容積的一導電液體；複數個環形蓋，設置以覆蓋每一個對應的環形容器的該第一容積；複數個第一導電引線，該複數個第一導電引線的每一者電氣連接至一對應的第一容積的該導電液體並延伸至該上圓柱體的一頂表面；及複數個第二導電引線，該複數個第二導電引線的每一者電氣連接至一對應的第一容積的該導電液體並延伸至該下圓柱體的一底表面。
  9. 如請求項8所述之滑環，進一步包含： 複數個中空圓柱，安置在該主圓柱體的該中央開口內，該複數個中空圓柱以一導電材料形成；其中該複數個中空圓柱彼此同軸並與該主圓柱體同軸，其中該複數個中空圓柱在相鄰的該複數個中空圓柱之間界定複數個環形通道，及其中該複數個環形通道的每一者含有一第二容積的該導電液體；複數個第一導電銷，從該主圓柱體的一頂壁的一上表面突出，每一個第一導電銷電氣連接至一對應容積的該導電液體；及複數個第二導電銷，從該主圓柱體的一底壁的一下表面突出，每一個第二導電銷電氣連接至一對應容積的該導電液體以將該複數個第一導電銷電氣耦接至該複數個第二導電銷。
  10. 如請求項9所述之滑環，進一步包含一絕緣中空圓柱，安置在每一對的該複數個中空圓柱之間。
  11. 如請求項9所述之滑環，其中該複數個第一導電銷的任一者至該複數個第一導電引線的任一者之間的一第一距離為至少約0.5吋。
  12. 如請求項9所述之滑環，其中該複數個第一導電銷的任兩者之間的一第二距離為至少約0.75吋。
  13. 如請求項8至12之任一項所述之滑環，其中該複數個環形容器以一導電材料形成。
  14. 如請求項8至12之任一項所述之滑環，其中該複數個第一導電引線為四個第一導電引線，及其中該複數個第二導電引線為四個第二導電引線。
  15. 如請求項8至12之任一項所述之滑環，其中該導電液體為一液態金屬或一液態金屬合金。
  16. 一種滑環，包含： 一主體，具有一頂壁、一底壁、及在該頂壁與該底壁之間延伸的一側壁，以界定該主體內的一內部容積，其中該頂壁可旋轉地連接至該側壁，及其中一中央開口形成通過該頂壁；複數個中空圓柱安置在該內容積內；其中該複數個中空圓柱彼此同軸且與該主體同軸，其中該複數個中空圓柱在相鄰的該複數個中空圓柱之間界定複數個環形通道，及其中該複數個環形通道的每一者含有一容積的導電液體； 複數個第一導電銷從該頂壁的一上表面突出，每一個第一導電銷電氣連接至一對應容積的該導電液體；及複數個第二導電銷從該底壁的一下表面突出，每一個第二導電銷電氣連接至一對應容積的該導電液體以將該複數個第一導電銷電氣耦接至該複數個第二導電銷。
  17. 如請求項16所述之滑環，進一步包含： 複數個環形容器，安置在該內容積內且與該主體同軸，其中該複數個環形容器彼此垂直地佈置，及其中該複數個環形容器的每一者含有一第二容積的一導電液體；複數個第一導電引線，從該頂壁的一上表面突出並延伸進入一對應的第二容積的該導電液體；及複數個第二導電引線，從該底壁的一下表面突出並電氣連接至一對應的第二容積的該導電液體，以將該複數個第一導電引線電氣耦接至該複數個第二導電引線。
  18. 如請求項16所述之滑環，進一步包含一絕緣中空圓柱，安置在每一對的該複數個中空圓柱之間。
  19. 如請求項18所述之滑環，其中該複數個中空圓柱的每一者形成一突片(tab)，該突片延伸通過該頂壁與該底壁的至少一者並從該頂壁與該底壁的至少一者突出。
  20. 如請求項16至19之任一項所述之滑環，其中該複數個第一導電銷的任兩個第一導電銷之間的一距離為至少約0.75吋。
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