TW201907199A - 光測量控制程式、光測量系統及光測量方法 - Google Patents
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Abstract
本發明之光測量控制程式係於包含法布里-佩洛干涉濾光器及光檢測器之光檢測裝置中，藉由取得自光檢測器輸出之電信號而使電腦執行對成為測量對象之光進行測量之處理的光測量控制程式；上述法布里-佩洛干涉濾光器具有介隔空隙而彼此對向之一對鏡面部，且一對鏡面部間之距離對應於一對鏡面部間產生之電位差而變化；上述光檢測器檢測透過法布里-佩洛干涉濾光器之光；且該光測量控制程式係使電腦作為以下兩者發揮功能：電壓控制部，其於開始電信號之取得前，將一對鏡面部間產生之電位差控制為階段性增加至達到與測量對象之光之波長對應之設定電位差；及信號取得部，其於電壓控制部於一對鏡面部間產生設定電位差之狀態下取得電信號。
Description
本揭示係關於一種光測量控制程式、光測量系統及光測量方法。
先前，已知具備法布里-佩洛干涉型之光濾光器之光檢測裝置。例如專利文獻1所揭示之分光檢測裝置具備光濾光器與接收透過光濾光器之光的受光元件。該光濾光器具有彼此對向之第1基板與第2基板，且第1基板與第2基板之間之距離藉由靜電致動器控制。藉由控制距離，而控制光濾光器之透過波長。 [先前技術文獻] [專利文獻]
[專利文獻1]日本特開2011-191492號公報
[發明所欲解決之問題]
然而，以專利文獻1之技術，自未施加電壓之初期狀態急速施加電壓直至達到作為目標之電壓。此時，可能產生施加之電壓超過作為目標之電壓之所謂過衝。因此，有空隙小於目標，產生起因於牽引(pull in)現象之吸附(sticking)之虞。該情況，有難以穩定測量之虞。
本揭示之一態樣之目的在於提供使用法布里-佩洛干涉濾光器而可測量穩定之光的光測量控制程式、光測量系統及光測量方法。 [解決問題之技術手段]
一態樣之光測量控制程式係於包含法布里-佩洛干涉濾光器及光檢測器之光檢測裝置中，藉由取得自上述光檢測器輸出之電信號而使電腦執行對成為測量對象之光進行測量之處理的光測量控制程式；上述法布里-佩洛干涉濾光器具有介隔空隙而彼此對向之一對鏡面部，且一對鏡面部間之距離對應於一對鏡面部間產生之電位差而變化；上述光檢測器檢測透過法布里-佩洛干涉濾光器之光；且該光測量控制程式係使電腦作為以下兩者發揮功能：電壓控制部，其於開始電信號之取得前，將一對鏡面部間產生之電位差控制為階段性增加至達到與測量對象之光之波長對應之設定電位差；及信號取得部，其取得電壓控制部於一對鏡面部間產生設定電位差之狀態下之電信號。
一態樣之光測量系統包含：法布里-佩洛干涉濾光器，其具有介隔空隙而彼此對向之一對鏡面部，且一對鏡面部間之距離對應於一對鏡面部間產生之電位差而變化；光檢測器，其檢測透過法布里-佩洛干涉濾光器之光；及控制部，其控制一對鏡面部間產生之電位差，並取得自光檢測部輸出之電信號；且控制部包含：電壓控制部，其以透過法布里-佩洛干涉濾光器之光之波長成為測量對象之光之波長之方式，於一對鏡面部間產生與測量對象之光之波長對應之設定電位差；及信號取得部，其取得電壓控制部於一對鏡面部間產生設定電位差之狀態下之電信號；且電壓控制部於由信號取得部開始電信號之取得前，使一對鏡面部間產生之電位差階段性增加至達到設定電位差。
又，一態樣之光測量方法係使用包含法布里-佩洛干涉濾光器及光檢測器之光檢測裝置，藉由取得自上述光檢測器輸出之電信號而對成為測量對象之光進行測量的光測量方法；上述法布里-佩洛干涉濾光器具有介隔空隙而彼此對向之一對鏡面部，且一對鏡面部間之距離對應於一對鏡面部間產生之電位差而變化；光檢測器，其檢測透過法布里-佩洛干涉濾光器之光；且該光測量方法包含：電壓控制步驟，其於開始電信號之取得前，使一對鏡面部間產生之電位差階段性增加至達到與測量對象之光之波長對應之設定電位差；信號取得步驟，其於電壓控制步驟後，取得使於一對鏡面部間產生設定電位差之狀態下之電信號。
此種光測量控制程式、光測量系統及光測量方法係對應於一對鏡面部間產生之電位差大小，而控制一對鏡面部間之距離。藉此，可控制透過法布里-佩洛干涉濾光器之光之波長。此情況下，藉由產生與測量對象之光之波長對應之設定電位差，可檢測測量對象之波長之光。此處，於一對鏡面部間產生之電位差階段性增加至達到設定電位差。因此，與電位差急遽增加之情形相比，抑制過衝之產生。藉此，抑制一對鏡面部彼此之吸附。因此，可測量使用法布里-佩洛干涉濾光器之穩定之光。
又，於一態樣中亦可為，取得一對鏡面部間產生之電位差達到設定電位差起經過待機時間後之信號。根據該構成，即使因於一對鏡面部間產生之設定電位差之增加之影響而使法布里-佩洛干涉濾光器之溫度上升，亦可藉由待機時間使法布里-佩洛干涉濾光器之溫度穩定，而可抑制法布里-佩洛干涉濾光器之透過波長之變動。
又，於一態樣中亦可為，於一對鏡面部間產生之電位差達到設定電位差後，且取得電信號之前，取得法布里-佩洛干涉濾光器之溫度。根據該構成，可取得接近於取得電信號時之法布里-佩洛干涉濾光器溫度的溫度。藉此，基於例如測量之溫度，可進行設定電位差之修正。
又，於一態樣中亦可為，於取得電信號之後，使一對鏡面部間產生之電位差自設定電位差階段性減少。根據該構成，於測量結束後，因一對鏡面部彼此之距離階段性變化，故抑制該鏡面部之振動。此時，可迅速開始例如下次之測量。
又，於一態樣中亦可為，作為設定電位差，包含與互不相同之複數波長對應之複數個設定電位差，且於一對鏡面部間依序產生複數個設定電位差各者，且於開始電信號之取得之前，使一對鏡面部間產生之電位差階段性增加至達到複數個設定電位差之中最初之設定電位差。此情況下，藉由光測量控制程式、光測量系統及光測量方法，可獲得分光光譜。
又，於一態樣中亦可為，以複數個設定電位差依序變大之順序，於一對鏡面部間產生複數個設定電位差各者。此情況下，因最初於一對鏡面部間產生之設定電位差為最小，故可降低發生吸附之風險。
又，於一態樣中亦可為，以將複數個設定電位差依序變小之順序，於一對鏡面部間產生各複數個設定電位差各者。此情況下，因一面降低對於法布里-佩洛干涉濾光器之電性負荷一面進行光之測量，故可抑制法布里-佩洛干涉濾光器之溫度變化。藉此，抑制透過法布里-佩洛干涉濾光器之光的波長變動。 [發明之效果]
根據一態樣之光測量控制程式、光測量系統及光測量方法，可測量使用法布里-佩洛干涉濾光器之穩定之光。
以下，針對本揭示之實施形態，一面參照圖式一面進行具體説明。為便於說明，對實質相同之要件標註相同符號，有省略其說明之情形。另，本實施形態之光測量系統作為一例，可利用於流體中之物質識別、流通線路之塑膠之選別等。於如此之用途中，具有以高速連接並測量複數個樣本。
首先，於說明光測量系統之前，對用於光測量系統之光檢測裝置之一例，參照圖1～3進行說明。如圖1所示，光檢測裝置1具備封裝體2。封裝體2係具有底座3與蓋4之CAN封裝(金屬外殼之封裝)。蓋4藉由側壁5及頂壁6一體構成。底座3及蓋4由金屬材料形成，且相互氣密接合。於由金屬材料形成之封裝體2中，側壁5之形狀係以特定之線L為中心線之圓筒狀。底座3及頂壁6於平行於線L之方向彼此對向，且分別封閉側壁5之兩端。
於底座3之內面3a固定有配線基板7。作為配線基板7之基板材料，可使用例如矽、陶瓷、石英、玻璃、及塑膠等。於配線基板7中安裝有光檢測器(光檢測部)8與熱敏電阻等之溫度檢測器16(參照圖4)。光檢測器8配置於線L上。更具體而言，光檢測器8係以該受光部之中心線與線L一致之方式配置。光檢測器8係使用例如使用InGaAs等之量子型感測器、熱電堆或輻射測熱器之熱型感測器等之紅外線檢測器。於檢測紫外線、可見光、近紅外線之各波長域之光之情形時，作為光檢測器8，可使用例如光電二極管等。另，於光檢測器8中可設置1個受光部，或亦可將複數個受光部設置為陣列狀。再者，亦可將複數個光檢測器8安裝於配線基板7。溫度檢測器16亦可以能夠檢測法布里-佩洛干涉濾光器10之溫度變化之方式配置於例如接近法布里-佩洛干涉濾光器10之位置。
於配線基板7上固定有複數個間隔件9。作為各間隔件9之材料，可使用例如矽、陶瓷、石英、玻璃、及塑膠等。於複數個間隔件9上，藉由例如接著劑固定法布里-佩洛干涉濾光器10。法布里-佩洛干涉濾光器10係配置於線L上。更具體而言，法布里-佩洛干涉濾光器10係以該透光區域10a之中心線與線L一致之方式配置。另，間隔件9亦可與配線基板7一體構成。又，法布里-佩洛干涉濾光器10亦可並非由複數個間隔件9支持，而是由1個間隔件9支持。又，間隔件9亦可與法布里-佩洛干涉濾光器10一體構成。
於底座3固定有複數個引線接腳11。更具體而言，各引線接腳11於維持與底座3之間之電性絕緣性及氣密性之狀態下，貫穿底座3。於各引線接腳11藉由導線12而電性連接設置於配線基板7之電極焊墊、光檢測器8之端子、溫度檢測器16之端子、及法布里-佩洛干涉濾光器10之端子之各者。另，光檢測器8、溫度檢測器16及法布里-佩洛干涉濾光器10亦可經由配線基板7電性連接於各引線接腳11。例如，亦可將各個端子與設置於配線基板7之電極焊墊電性連接，並藉由導線12連接電極焊墊與各引線接腳11。藉此，可輸入輸出分別對應於光檢測器8、溫度檢測器16、及法布里-佩洛干涉濾光器10之電信號。
於封裝體2形成有開口2a。更具體而言，開口2a以其中心線與線L一致之方式形成於蓋4之頂壁6。於平行於線L之方向觀察之情形時，開口2a之形狀係圓形狀。於頂壁6之內面6a，以封閉開口2a之方式配置透光構件13。透光構件13與頂壁6之內面6a氣密接合。透光構件13具有於平行於線L之方向彼此對向之光入射面13a及光出射面(內面)13b、以及側面13c。透光構件13之光入射面13a成於開口2a與頂壁6之外表面大致同一平面。透光構件13之側面13c接觸於封裝體2之側壁5之內面5a。即，透光構件13係直達開口2a內及側壁5之內面5a。此種透光構件13以將開口2a作為下側之狀態於蓋4之內側設置玻璃顆粒，且藉由使該玻璃顆粒熔融而形成。即，透光構件13係由熔著玻璃而形成。
於透光構件13之光出射面13b，藉由接著構件15固定帶通濾波器14。即，接著構件15經由接合於頂壁6之內面6a之透光構件13，對於頂壁6之內面6a固定帶通濾波器14。帶通濾波器14使透過透光構件13之光中之光檢測裝置1之測定波長範圍之光(特定波長範圍之光，應入射至法布里-佩洛干涉濾光器10之透光區域10a之光)選擇性透過(即，僅使該波長範圍之光透過)。帶通濾波器14之形狀係四角形板狀。更具體而言，帶通濾波器14具有於與線L平行之方向彼此對向之光入射面14a及光出射面14b、以及4個側面14c。帶通濾波器14於藉由透光性材料(例如，矽、玻璃等)形成為四角形板狀之透光構件之表面，形成介電質多層膜(例如，包含TiO2
、Ta2
O5
等之高折射材料與SiO2
、MgF2
等之低折射材料之組合之多層膜)。
接著構件15具有配置於帶通濾波器14之光入射面14a之全區域之第1部分15a。即，第1部分15a係配置於接著構件15中彼此對向之透光構件13之光出射面13b與帶通濾波器14之光入射面14a之間之部分。再者，接著構件15具有於自平行於線L之方向觀察之情形時自帶通濾波器14之外緣朝外側突出之第2部分15b。第2部分15b到達至側壁5之內面5a，並與側壁5之內面5a接觸。又，第2部分15b與帶通濾波器14之側面14c接觸。
於如以上所述般構成之光檢測裝置1中，若自外部，經由開口2a、透光構件13及接著構件15而將光入射至帶通濾波器14，則使特定波長範圍之光選擇性透過。若將透過帶通濾波器14之光入射至法布里-佩洛干涉濾光器10之透光區域10a，則使特定波長範圍之光中之特定波長之光選擇性透過。透過法布里-佩洛干涉濾光器10之透光區域10a的光入射至光檢測器8之受光部，並由光檢測器8檢測。即，光檢測器8將透過法布里-佩洛干涉濾光器10的光轉換為電信號並輸出。例如，光檢測器8輸出與入射至受光部之光之強度相應之大小的電信號。
如圖2及圖3所示，於法布里-佩洛干涉濾光器10中，將使與第1鏡面部35與第2鏡面部36之間(一對鏡面部間)之距離對應之光透過之透光區域10a設置於線L上。透光區域10a係例如圓柱狀之區域。於透光區域10a中，精度極良好地控制第1鏡面部35與第2鏡面部36之距離。即，透光區域10a係於法布里-佩洛干涉濾光器10中為了可使特定波長之光選擇性透過而將第1鏡面部35與第2鏡面部36之距離控制為特定距離之區域，且為可供具有與第1鏡面部35與第2鏡面部36之距離對應之特定波長之光透過之區域。
法布里-佩洛干涉濾光器10具備矩形板狀之基板21。基板21具有於平行於線L之方向上彼此對向之第1表面21a及第2表面21b。第1表面21a係光入射側之表面。第2表面21b係光檢測器8側(即，光出射側)之表面。於第1表面21a配置有第1層構造體30。於第2表面21b配置有第2層構造體40。
第1層構造體30藉由將第1反射防止層31、第2積層體32、第1中間層33及第2積層體34依序積層於第1表面21a而構成。於第1積層體32與第2積層體34之間，藉由框狀之第1中間層33形成空隙(氣隙)S。藉由框狀之第1中間層33，於第1積層體32上，介隔空隙S而支持薄膜狀之第2積層體34。於沿線L之剖面中，透光區域10a之空隙S之寬度大於透光區域10a之外側之各個空隙S之寬度。基板21包含例如矽、石英、玻璃等。於基板21包含矽之情形時，第1反射防止層31及第1中間層33包含例如氧化矽。第1中間層33之厚度為例如數十nm～數十μm。
第1積層體32中對應於透光區域10a之部分作為第1鏡面部35發揮功能。第1積層體32係藉由將複數個多晶矽層與複數個氮化矽層逐層交替積層而構成。構成第1鏡面部35之多晶矽層及氮化矽層之各光學厚度較佳為中心透過波長之1/4之整數倍。另，第1鏡面部35亦可未介隔第1反射防止層31而直接配置於第1表面21a。
第2積層體34中對應於透光區域10a之部分作為第2鏡面部36發揮功能。第2鏡面部36於平行於線L之方向中，介隔空隙S與第1鏡面部35對向。第2積層體34藉由將複數個多晶矽層與複數個氮化矽層逐層交替積層而構成。構成第2鏡面部36之多晶矽層及氮化矽層之各光學厚度較佳為中心透過波長之1/4之整數倍。
於第1積層體32及第2積層體34中，亦可替代氮化矽層而配置氧化矽層。又，作為構成第1積層體32及第2積層體34之各層之材料，除上述之材料之外，可使用二氧化鈦、氧化鉭、氧化鋯、氟化鎂、氧化鋁、氟化鈣、矽、鍺、及硫化鋅等。
於第2積層體34中於對應於空隙S之部分，形成有自與第2積層體34之第1中間層33相反側之表面34a直至空隙S之複數個貫通孔34b。複數個貫通孔34b形成為未對第2鏡面部36之功能造成實質性影響之程度。複數個貫通孔34b係用於藉由蝕刻去除第1中間層33之一部分而形成空隙S者。
於第1鏡面部35，以包圍透光區域10a之方式形成第1電極22。於第1鏡面部35，以包含透光區域10a之方式形成第2電極23。即，第1鏡面部35包含第1電極22及第2電極23。第1電極22及第2電極23係藉由第1積層體32中最接近空隙S之多晶矽層中摻雜雜質並低電阻化而形成。於第2鏡面部36，形成第3電極24。即，第2鏡面部36包含第3電極24。第3電極24於平行於線L之方向中，介隔空隙S與第1電極22及第2電極23對向。第3電極24係藉由於第2積層體34中最接近空隙S之多晶矽層中摻雜雜質並低電阻化而形成。另，第2電極23之大小較佳為包含透光區域10a之整體之大小，但亦可與透光區域10a之大小大致相同。
於第1層構造體30中，設置一對第1端子25及一對第2端子26。一對第1端子25係隔著透光區域10a彼此對向。各第1端子25係配置於自第2積層體34之表面34a直至第1積層體32之貫通孔內。各第1端子25經由配線22a與第1電極22電性連接。一對第2端子26於與一對第1端子25彼此對向之方向垂直之方向中，隔著透光區域10a而彼此對向。各第2端子26配置於自第2積層體34之表面34a直至第1中間層33之內部之貫通孔內。各第2端子26介隔配線23a與第2電極23電性連接，並且介隔配線24與第3電極24電性連接。
於第1積層體32之第1中間層33側之表面32a上，設置有溝槽27、28。溝槽27以包圍配線23之與第2端子26之連接部分之方式延伸為環狀。溝槽27將第1電極22與配線23a電性絕緣。溝槽28沿第1電極22之內緣延伸為環狀。溝槽28將第1電極22與第1電極22內側之區域(即，存在第2電極23之區域)電性絕緣。於第2積層體34之表面34a，設置有溝槽29。溝槽29以包圍第1端子25之方式延伸為環狀。溝槽29將第1端子25與第3電極24電性絕緣。各溝槽27、28、29內之區域可為絕緣材料，亦可為空隙。
第2層構造體40係藉由將第2反射防止層41、第3積層體42、第2中間層43及第4積層體44以該順序積層於第2表面21b而構成。第2反射防止層41、第3積層體42、第2中間層43及第4積層體44具有分別與第1反射防止層31、第1積層體32、第1中間層33及第2積層體34同樣之構成。如此，第2層構造體40具有將基板21作為基準與第1層構造體30對稱之積層構造。即，第2層構造體40以與第1層構造體30對應之方式構成。第2層構造體40具有抑制基板21之翹曲等之功能。
於第3積層體42、第2中間層43及第4積層體44中，以包含透光區域10a之方式形成開口40a。開口40a之中心線與線L一致。開口40a係例如圓柱狀之區域，且具有與透光區域10a大致相同之直徑。開口40a於光出射側開口，且開口40a之底面到達至第2反射防止層41。開口40a使透過第1鏡面部35及第2鏡面部36之光通過。
於第4積層體44之光出射側之表面，形成遮光層45。遮光層45包含例如鋁等。於遮光層45之表面及開口40a之內面，形成保護層46。保護層46包含例如氧化鋁等。另，藉由將保護層46之厚度設為1～100 nm(較佳為30 nm左右)，可忽略保護層46之光學影響。
如以上所述般構成之法布里-佩洛干涉濾光器10具有介隔空隙S彼此對向之一對第1鏡面部35、第2鏡面部36。一對第1鏡面部35、第2鏡面部36間之距離係對應於一對第1鏡面部35、第2鏡面部36間產生之電位差而變化。即，於法布里-佩洛干涉濾光器10中，經由一對第1端子25及一對第2端子26對第1電極22與第3電極24施加電壓。藉此，藉由該電壓於第1電極22與第3電極24之間產生電位差，且於第1電極22與第3電極24之間產生對應於該電位差之靜電力。藉由該靜電力，將第2鏡面部36吸引至固定於基板21之第1鏡面部35側，並調整第1鏡面部35與第2鏡面部36之距離。如此，於法布里-佩洛干涉濾光器10中，第1鏡面部35與第2鏡面部36之距離為可變。
透過法布里-佩洛干涉濾光器10之光之波長依存於透光區域10a之第1鏡面部35與第2鏡面部36之間之距離。因此，藉由調整施加於第1電極22與第3電極24之電壓，可適當選擇透過之光的波長。第1電極22與第3電極24之間之電位差越大，第1鏡面部35與第2鏡面部36之距離越小，且透過法布里-佩洛干涉濾光器10之光之波長越短。第2電極23係與第3電極24相同電位。因此，第2電極23作為用以確保透光區域10a之第1鏡面部35及第2鏡面部36平坦之補償電極發揮功能。
於光檢測裝置1中，藉由一面使施加於法布里-佩洛干涉濾光器10之電壓變化(即，於法布里-佩洛干涉濾光器10中一面使第1鏡面部35與第2鏡面部36之距離變化)，一面以光檢測器8檢測透過法布里-佩洛干涉濾光器10之透光區域10a之光之強度，可獲得分光光譜。
接著，參照圖4對光測量系統進行說明。如圖4所示，光檢測系統100包含光檢測裝置1、電源裝置60及控制裝置70。如上所述，光檢測裝置1包含法布里-佩洛干涉濾光器10、光檢測器8及溫度檢測器16。電源裝置60可於構成法布里-佩洛干涉濾光器10之一對第1鏡面部35、第2鏡面部36間施加電壓。更具體而言，電源裝置60電性連接於引線接腳11，並經由一對第1端子25及一對第2端子26於第1電極22與第3電極24之間施加電壓。
控制裝置70具有電壓控制部71、信號資料取得部(信號取得部)72及溫度資料取得部(溫度取得部)73。控制裝置70可由電腦構成，該電腦包含進行運算處理之CPU等之運算電路；由RAM及ROM之記憶體構成之記憶裝置；及輸入輸出裝置。例如控制裝置70亦可由包含智慧型手機、平板終端之智慧型裝置等之電腦構成。控制裝置70與電源裝置60電性連接。又，控制裝置70與光檢測裝置1之光檢測器8及溫度檢測器16電性連接。控制裝置70所執行之光測量方法可基於儲存於記憶裝置之程式而執行。
電壓控制部71基於例如由使用者設定之條件，控制施加於法布里-佩洛干涉濾光器10之電壓。即，電壓控制部71對電源裝置60輸出控制信號，並控制自電源裝置60施加於法布里-佩洛干涉濾光器10之電壓。例如，電壓控制部71對電源裝置60輸出指定施加之電壓大小、施加之時序及施加之持續時間之控制信號。另，所謂施加於法布里-佩洛干涉濾光器10之電壓係施加於第1電極22與第3電極24間之電壓。
信號資料取得部72取得由光檢測器8轉換之電信號。例如，信號資料取得部72基於自電壓控制部71輸出至電源裝置60之控制信號與所取得之來自光檢測器8之電信號，可將施加於法布里-佩洛干涉濾光器10之電壓與於施加該電壓之狀態下取得之電信號建立關聯並保持。
溫度資料取得部73取得法布里-佩洛干涉濾光器10之溫度。於本實施形態中，溫度資料取得部73基於來自光檢測裝置1之溫度檢測器16之輸入值而取得法布里-佩洛干涉濾光器10之溫度。於例如溫度檢測器16為熱敏電阻之情形時，溫度資料取得部73取得熱敏電阻之電阻值，並自該電阻值導出溫度。
於本實施形態之控制裝置70中，電壓控制部71以將透過法布里-佩洛干涉濾光器10之光的波長設為測量對象之光的波長之方式，於一對鏡面部間產生對應於測量對象之光的波長之電位差(設定電位差)。例如，電壓控制部71可對應於測量對象之光之波長，對法布里-佩洛干涉濾光器10施加所將設定之電壓(以下，稱為設定電壓)。此處，對電壓控制部71之設定電壓之導出方法之一例進行說明。
首先，測量施加於法布里-佩洛干涉濾光器10之電壓(控制電壓)與峰值透過波長之實測資料，並將控制電壓與峰值透過波長之關係以將控制電壓設為變數之多項式(作為一例為7次式)進行代入(fitting)。繼而，藉由代入將多項式之係數作為波長換算係數予以導出。然後，使用由波長換算係數特定出之多項式，作成控制電壓與峰值透過波長以一對一對應之列表，製作對於例如0.25 mV間距之控制電壓之峰值透過波長之列表。該列表亦可限定施加之電壓範圍。此時，可抑制對於法布里-佩洛干涉濾光器10過量施加電壓，並抑制法布里-佩洛干涉濾光器10之損傷(吸附等)。
接著，基於該峰值透過波長之列表，製作例如對於1 nm間距之峰值透過波長之控制電壓之列表。控制電壓之列表之波長範圍可配合法布里-佩洛干涉濾光器10之對應波長範圍(例如，1550－1850 nm)而設定。控制電壓之列表亦可限定波長之範圍。此時，可抑制對於法布里-佩洛干涉濾光器10過量施加電壓，並抑制法布里-佩洛干涉濾光器10之損傷(吸附等)。另，控制電壓之列表亦可使用由代入所導出之多項式並製作。此情況下，測量施加於法布里-佩洛干涉濾光器10之電壓(控制電壓)與峰值透過波長之實測資料，並將控制電壓與峰值透過波長之關係以將控制電壓為變數之多項式(作為一例為7次式)進行代入。繼而，藉由代入將多項式之係數作為電壓運算係數予以導出，使用所得之多項式製作控制電壓之列表。藉此，可導出與測量對象所指定之光之波長對應之設定電壓。又，藉由參照控制電壓之列表，於信號資料取得部72中，將自光檢測器8輸入之電信號與峰值透過波長產生對應。
又，法布里-佩洛干涉濾光器10之峰值透過波長受到溫度變化之影響。因此，於本實施形態中，亦可製作修正與法布里-佩洛干涉濾光器10之溫度對應之控制電壓之列表。例如，基於由溫度資料取得部73取得之法布里-佩洛干涉濾光器10之溫度與上述控制電壓之列表，製作對於1 nm間距之峰值透過波長之經溫度修正之控制電壓之列表。於峰值透過波長因溫度而以大致一定比例變動之情形時，可使用用以溫度修正之係數而製作經溫度修正之控制電壓之列表。
又，藉由光測量系統100之電路構成，有於對於法布里-佩洛干涉濾光器10實際施加之電壓與由電壓控制部71指定之電壓之間產生偏移之情形。因此，亦可根據需要修正電壓之誤差。例如，亦可反映電路所致之電壓誤差，製作對於1 nm間距之峰值透過波長之控制電壓之列表。或，亦可進而設置測定例如實際施加於法布里-佩洛干涉濾光器10之電壓之機構。即，於所測定之電壓與由電壓控制部71指定之電壓間有偏移之情形時，亦可以消除該偏移之方式進行調節控制電壓之反饋控制。此情況下，可抑制由電壓控制部71指定之電壓與實際施加於法布里-佩洛干涉濾光器10之電壓之誤差。
繼而，針對由控制裝置70執行之控制更詳細地進行說明。圖5係顯示控制裝置70之控制流程之表格。於該表格中顯示由控制裝置70執行之各控制之項目。又，顯示於每控制之項目由電壓控制部71指定之電壓之狀態。又，圖6係模式性顯示根據圖5之表格控制之情形之施加於法布里-佩洛干涉濾光器10之電壓與時間之關係之表格。於本實施形態中，將第1電極22之電位固定為0V，並於第2電極23及第3電極24施加電壓。即，施加於法布里-佩洛干涉濾光器10之電壓之大小相當於於第1電極22與第3電極24之間產生之電位差。
如圖5所示，於光測量系統100之測定開始時，電壓控制部71將包含不施加電壓之指定之控制信號對於電源裝置60輸出。即，尚未對法布里-佩洛干涉濾光器10施加電壓。於開始時點，例如使用者亦可指定作為測量對象之波長之範圍。如此之指定可藉由控制裝置70之輸入裝置等進行。又，亦可預先決定作為測量對象之波長之範圍。
繼而，藉由控制裝置70之控制移行至測定開始電壓設定(電壓控制步驟之一例)。於測定開始電壓設定中，電壓控制部71於由信號資料取得部72開始電信號之取得之前，使施加於法布里-佩洛干涉濾光器10之電壓階段性上升(增加)至達到設定電壓。即，電壓控制部71以對於電源裝置60開始施加電壓之方式輸出控制信號。藉此，於一對鏡面部間產生之電位差階段性增加至達到與設定電壓對應之設定電位差。電壓控制部71將與作為測量對象之波長範圍中之最初檢測之波長對應之設定電壓設定為第1波長電壓。然後，電壓控制部71於電壓之施加開始後，使電壓階段性上升至達到第1波長電壓。於本實施形態中，藉由電壓控制部71將電壓控制為階段函數狀。例如，由電壓控制部71指定之電壓之值亦可自0V開始以每5 msec上升1 V。如圖6所示，測定開始電壓設定之處理係於時間t0～t1之間執行。此時，將時間t1之電壓V1之值設為第1波長電壓。於本實施形態中，由電壓控制部71指定之電壓之值亦可基於上述控制電壓之列表，且基於溫度等進行修正。
另，於本說明書之「使電壓階段性上升(下降)至達到設定電壓」意指，於自當前之電壓至達到設定電壓之至少1階段，將當前之電壓與設定電壓之間之電壓設定為目標之電壓。此情況下，施加電壓相對於時間之變化量於自當前之電壓達到目標之電壓時大幅變化。且，一旦變化量減小後，再次向下一目標之電壓增大變化量。藉由重複該步驟直至達到設定電壓，而將電壓階段性上升至設定電壓。
繼而，由控制裝置70進行之控制移至電壓上升後等待時間。於該控制中，電壓控制部71將施加第1波長電壓之控制信號輸出至電源裝置60之狀態維持特定之待機時間(例如200 msec)。該待機時間亦可藉由使用者自由地設定。
繼而，控制裝置70之控制移行至溫度測量(溫度取得步驟之一例)。於溫度測量之控制中，溫度資料取得部73取得法布里-佩洛干涉濾光器10之溫度。該控制由電壓設定、取得等待時間及處理時間構成。電壓控制部71將施加第1波長電壓之控制信號作為電壓設定而對電源裝置60輸出。溫度資料取得部73於經過作為取得等待時間而指定之時間(例如1 msec)後，取得來自溫度檢測器16之輸入值。然後，於經過作為處理時間所指定之時間(例如4 msec)之間之前，處理由溫度資料取得部73取得之溫度資料。即，於該處理時間之間可將溫度之資料記錄於控制裝置70之記憶裝置。又，基於例如取得之溫度之資料，亦可修正控制電壓之列表。此時，於此後之處理中，使用參照修正之電壓之列表而生成之設定電壓。如圖6所示，電壓上升等待時間之處理及溫度測量之處理係於時間t1～t2之間執行。時間t1～t2之間維持電壓V1。
繼而，控制裝置70之控制移行於第1波長測定(信號取得步驟之一例)。於第1波長測定之控制中，信號資料取得部72取得將施加第1波長電壓作為設定電壓之狀態下之光檢測器8之電信號。即，信號資料取得部72取得於一對鏡面部間產生與設定電壓對應之電位差之狀態下之電信號。該控制係由電壓設定、取得等待時間及處理時間所構成。電壓控制部71將施加第1波長電壓作為電壓設定之控制信號對於電源裝置60輸出。於即將第1波長測定之前，藉由再度輸出施加第1波長電壓之控制信號，而保障於測定時施加意圖之電壓。又，確實設定基於已完成溫度之修正之列表之電壓。信號資料取得部72於僅經過作為取得等待時間所指定之時間(例如，1 msec)之後，取得來自光檢測器8之電信號。且，直至經過作為處理時間所指定之時間(例如，4msec)之間，處理由信號資料取得部72取得之電信號之資料。即，於該處理時間之間可將電信號之資料記錄於控制裝置70之記憶裝置。如圖6所示，第1波長測定於時間t2～ｔ21之間執行。於本實施形態中，自測定開始電壓設定結束之時間t1至第1波長測定結束之時間t21，持續施加第1波長電壓作為設定電壓。
繼而，控制裝置70之控制移行至第2波長測定。於第2波長測定之控制中，信號資料取得部72取得將施加第2波長電壓作為設定電壓之狀態下之光檢測器8之電信號。於該控制中，亦與第1波長測定同樣，由電壓設定、取得等待時間及處理時間構成。電壓控制部71將施加第2波長電壓作為電壓設定之控制信號對於電源裝置60輸出。信號資料取得部72於僅經過作為取得等待時間所指定之時間(例如，1 msec)之後，取得來自光檢測器8之電信號。且，經過作為處理時間所指定之時間(例如，4 msec)之間之前，處理由信號資料取得部72取得之電信號之資料。隨後，依第3波長測定、第4波長測定…之順序，重複測定至成為測量對象之波長之範圍測定作為電壓設定。此情況下，電壓控制部71將複數個設定電壓分別依序施加於法布里-佩洛干涉濾光器10。如圖6所示，第2波長測定之處理於時間t21～t22之間執行。第3波長測定以後之測定之處理於時間t22～t3之間執行。又如圖示例，隨著成為測量對象之波長長度變短，即隨著施加之設定電壓變大，電壓之變化量(設定電壓彼此之差)減小。
如圖6所示，於本實施形態中，以對應於設定電壓之波長依序減小之順序執行測定。即，第1波長電壓即電壓V1於設定電壓中最小，接著，以第2波長電壓(電壓V2)之順序變大，且最後之測量對象之電壓V3為最大電壓。於本實施形態中，測量對象之波長以增量1 nm設定。此時，如圖示，隨著測量對象之波長減小，設定電壓之上升大小變小。
繼而，控制裝置70之控制移行於測量結束後電壓設定。於測量結束後電壓設定之處理中，電壓控制部71於將測量對象之範圍之波長之光全部測量後，使施加之電壓自測量結束時之設定電壓(於圖6之例中為電壓V3)階段性下降。藉此，於一對鏡面部間產生之電位差階段性減少。例如，由電壓控制部71指定之電壓之值亦可自測量結束時之設定電壓(電壓V3)開始，每5msec下降1V。於本實施形態中，藉由電壓控制部71將電壓控制為階段函數狀。又，於由電壓控制部71指定之電壓之值成為0V時，結束測量結束後電壓設定之處理。藉此，結束藉由光測量系統100之測定。以光測量系統100，藉由上述之處理，可取得測量對象之範圍內之波長之光之分光光譜。
圖7係顯示儲存用以使電腦作為控制裝置70發揮動能之光測量控制程式P1之記錄媒體70a。儲存於記錄媒體70a之光測量控制程式P1具備電壓控制模組P11、信號資料取得模組P12及溫度資料取得模組P13。藉由執行電壓控制模組P11、信號資料模組P12及溫度資料模組P13而實現之功能係分別與上述之電壓控制部71、信號資料取得部72及溫度資料取得部73之功能同樣。
光測量控制程式P1係記錄於記錄媒體70a之程式記錄區域。記錄媒體70a由例如CD-ROM(Compact Disc Read Only Memory：唯讀光碟)、DVD(Digital Versatile Disc：數位多功能光碟)、ROM(Read only memory：唯讀記憶體)、及半導體記憶體等之記錄媒體構成。光測量控制程式P1亦可作為重疊於載波之電腦資料信號經由通訊網路提供。
根據以上說明之光測量系統100，對應於施加於法布里-佩洛干涉濾光器10之電壓(即，第1鏡面部35與第2鏡面部36之間之電位差)之大小，控制第1鏡面部35與第2鏡面部36之距離。藉此，可控制透過法布里-佩洛干涉濾光器10之光之波長。此情況下，可藉由施加與測量對象之光之波長對應之設定電壓，檢測測量對象之波長之光。此處，電壓控制部71於自開始對於法布里-佩洛干涉濾光器10之電壓施加後，使施加之電壓階段性上升至達到設定電壓。即，一對鏡面部間之電位差階段性增加。因此，與急遽施加電壓之情形相比，抑制過衝之產生。藉此，抑制第1鏡面部35與第2鏡面部36之吸附。因此，可測量使用法布里-佩洛干涉濾光器10之穩定之光。於本實施形態之法布里-佩洛干涉濾光器10中，將包含第2鏡面部36之薄膜狀之第2積層體34對應於施加電壓而移動。此情況下，輕量且剛性較低之第2積層體34易對於施加電壓追隨。因此，若因急遽之電壓施加而產生電壓之過衝，則第2積層體34立即對於超過作為目標之電壓的電壓追隨並移動。此情況下，有因牽引現象產生吸附之可能性。因此，一面藉由限制電壓之上升幅度抑制過衝一面使施加電壓間斷性上升之本實施形體之方法為有效。
又，例如，於將法布里-佩洛干涉濾光器10與光檢測器8收納於小型之封裝體之情形時，可使法布里-佩洛干涉濾光器10之配線與光檢測器8之配線接近。此情況下，於對於法布里-佩洛干涉濾光器10施加電壓時，對應於電壓之變化，可能於光檢測器8之檢測信號產生串擾雜訊。例如，如以高速之測量，於自施加電壓後進行快速測量之情形時，於光檢測器8之檢測信號中留有串擾雜訊，而有難以穩定測量之虞。於本實施形態中，藉由使達到設定電壓之前的電壓階段性上升，而使施加之電壓之變化量大小減小。藉由如此使電壓之變化量大小減小，而抑制串擾雜訊之產生。
又，若達到設定電壓之前急遽施加電壓，則認為因法布里-佩洛干涉濾光器10之可動部分急遽變形，而使鏡面部分振動。此情況下，直至該振動穩定需較長時間，有難以穩定測量之虞。於本實施形態中，藉由階段性施加電壓，因鏡面部彼此之距離階段性變化，故抑制鏡面部分之振動。因此，可穩定地測量光。
又，信號資料取得部72於施加於法布里-佩洛干涉濾光器10之電壓達到設定電壓後，於經過待機時間時可取得電信號。根據該構成，即使因施加設定電壓時之電壓上升之影響而使法布里-佩洛干涉濾光器10之溫度上升，亦可藉由利用待機時間使法布里-佩洛干涉濾光器10之溫度穩定，而可抑制法布里-佩洛干涉濾光器10之透過波長之變動。
又，溫度資料取得部73係於施加於法布里-佩洛干涉濾光器10之電壓達到設定電壓後，且可於信號資料取得部72取得電信號之前，取得法布里-佩洛干涉濾光器10之溫度。根據該構成，可取得接近由信號資料取得部72取得電信號時之法布里-佩洛干涉濾光器10之溫度的溫度。藉此，可基於例如測量之溫度，進行設定電壓之修正。
又，電壓控制部71亦可於信號資料取得部72取得與測量對象之光之波長對應之電信號之後，使施加於法布里-佩洛干涉濾光器10之電壓自設定電壓階段性下降。根據該構成，於測量結束後，因第1鏡面部35與第2鏡面部36間之距離階段性變化，故抑制鏡面部大幅振動。
又，電壓控制部71將複數個設定電壓分別依序施加於法布里-佩洛干涉濾光器10，且藉由信號資料取得部取得與複數個設定電壓對應之電信號。此情況下，可藉由光測量系統獲得分光光譜。
又，電壓控制部71可以複數個設定電壓依序增大之順序，對法布里-佩洛干涉濾光器10施加複數個設定電壓之各者。此情況下，最初施加於法布里-佩洛干涉濾光器10之設定電壓為所有設定電壓中之最小值。因此，與第1波長電壓較高之情形相比，可將最初施加之電壓之絕對值抑制為較小，並抑制串擾雜訊之產生。又，可使達到最大設定電壓時(即，第1鏡面部35與第2鏡面部36最接近時)之電壓變動量減小，並可降低產生吸附之風險。
以上，雖參照圖式就本揭示之實施形態進行了詳述，但具體構成並不限定於該實施形態。
例如，藉由控制裝置70執行之控制流程並非限定於圖5所示之形態。關於藉由控制裝置70執行之控制之其他例，如圖8所示。於圖8之例之說明中，對與圖5之共同部分適當省略說明。
如圖8所示，其他例之控制裝置70之控制係以如第1樣品、第2樣品之方式重複執行任意數之樣品之測量。關於測量各樣品之情形時之測量開始電壓設定、電壓上升後等待時間、溫度測量、第1波長測定等、及測量結束後電壓設定之控制與上述之實施形態同樣。於圖8之例中，於1個樣品之測量與下1個樣品之測量之間設定樣品間等待時間之處理。於圖示例中，將設定300 msec之等待時間作為一例。該等待時間係用以收斂例如法布里-佩洛干涉濾光器10振動之時間。於本例中，因藉由測量結束後電壓設定之控制而使一對鏡面部彼此之距離階段性變化，故抑制該鏡面部振動。因此，可較短地設定樣品間等待時間，於以高速連續測量複數個樣品之情形時有利。另，於重視測定之高速性之情形時，亦可不設置樣品間等待時間。
又，於上述之實施形態中，雖顯示以對應於設定電壓之波長依序減小之順序執行測定之例，但亦可以例如對應於設定電壓之波長依序增大之順序執行測定。此時，如圖9所示，於自執行測定開始電壓設定之處理的時間t0至時間t1之間，將電壓階段性上升至達到電壓V3。電壓V3係於對應於測量對象之波長中最短波長之電壓。且，於時間t1~t2之間執行電壓上升等待時間之處理及溫度測量之處理。於時間t2~t21之間執行第1波長測定之處理。於時間t21~t22之間執行第2波長測定之處理。於時間t22~t3之間執行第3波長測定以後之測定之處理。於自時間t3至時間t4之間執行測量結束後電壓設定之處理。
如圖9所示，亦可藉由電壓控制部71以複數個設定電壓依序減小之順序，將複數個設定電壓各者施加於法布里-佩洛干涉濾光器10。此情況下，隨著測量進行，施加於法布里-佩洛干涉濾光器10之設定電壓變小。一般而言於藉由對設置於鏡面部附近之電極施加電壓而控制一對鏡面部間距離之法布里-佩洛干涉濾光器中，具有隨著電壓上升之溫度上升比隨著電壓下降溫度下降更急遽進行之傾向。於將如上述之實施形態包含鏡面之第1積層體32之一部分、及構成包含鏡面之薄膜狀之第2積層體34之層之一部分作為電極利用之情形時，該傾向易表現更為顯著。因此，相較於溫度易上升之電壓上升時進行測定之狀態，溫度難以下降之電壓下降時進行測定之形態更可抑制相同測定時間內之法布里-佩洛干涉濾光器10之溫度變化。藉此，抑制透過法布里-佩洛干涉濾光器10之光之波長變動。
又，於上述實施形態中，雖例示將法布里-佩洛干涉濾光器10與光檢測器8收納於1個封裝體之光檢測裝置1，但並不限定於此。只要透過法布里-佩洛干涉濾光器之光可藉由光檢測器檢測即可，不必收納於1個封裝體。例如法布里-佩洛干涉濾光器與光檢測器亦可作為獨立體，分別個別配置。
又，於上述實施形態中，於測定開始電壓設置及測定結束後電壓設定之控制中，雖顯示將電壓上升或下降為階段函數狀之例，但於該控制中，只要將電壓階段性上升或下降之形態即可，並不特別限定於階段函數狀。
又，於上述實施形態中，顯示於測定之開始時未於法布里-佩洛干涉濾光器10施加電壓之例，但並不限定於此。例如，亦可於測定開始時，施加不會使法布里-佩洛干涉濾光器10之第2鏡面部36自初期位置(施加電壓為0V時之第2鏡面部36之位置)大幅移動程度之電壓。此情況下，因使施加之電壓上升至第1波長電壓時之電壓變動量變小，故可降低產生吸附之風險。
又，於上述實施形態中，雖顯示於將進行第1波長測定之前測量溫度之例，但並不限定於此。例如，亦可藉由持續測量溫度，於進行第2波長以後之測定時，隨時修正對於峰值透過波長之控制電壓之列表。
又，亦可於上述實施形態所示之各波長之處理時間(4 msec)之間，複數次(例如128次)檢測光檢測器之信號，並藉由信號資料取得部將檢測之信號平均化。根據該構成，可降低包含於來自光檢測器之電信號之雜訊之影響。於包含於來自光檢測器之電信號之雜訊較大之情形時，亦可進一步增加信號之檢測次數，且平均化。此情況下，亦可根據需要增加各波長之處理時間。
1‧‧‧光檢測裝置
2‧‧‧封裝體
2a‧‧‧開口
3‧‧‧底座
3a‧‧‧內面
4‧‧‧蓋
5‧‧‧側壁
5a‧‧‧內面
6‧‧‧頂壁
6a‧‧‧內面
7‧‧‧配線基板
8‧‧‧光檢測器(光檢測部)
9‧‧‧間隔件
10‧‧‧法布里-佩洛干涉濾光器
10a‧‧‧透光區域
11‧‧‧引線接腳
12‧‧‧導線
13‧‧‧透光構件
13a‧‧‧光入射面
13b‧‧‧光出射面
13c‧‧‧側面
14‧‧‧帶通濾波器
14a‧‧‧光入射面
14b‧‧‧光出射面
14c‧‧‧側面
15‧‧‧接著構件
15a‧‧‧第1部分
15b‧‧‧第2部分
16‧‧‧溫度檢測器
21‧‧‧基板
21a‧‧‧第1表面
21b‧‧‧第2表面
22‧‧‧第1電極
22a‧‧‧配線
23‧‧‧第2電極
23a‧‧‧配線
24‧‧‧第3電極
25‧‧‧第1端子
26‧‧‧第2端子
27‧‧‧溝槽
28‧‧‧溝槽
29‧‧‧溝槽
30‧‧‧第1層構造體
31‧‧‧第1反射防止層
32‧‧‧第2積層體
32a‧‧‧表面
33‧‧‧第1中間層
34‧‧‧第2積層體
34a‧‧‧表面
34b‧‧‧貫通孔
35‧‧‧第1鏡面部
36‧‧‧第2鏡面部
40‧‧‧第2層構造體
40a‧‧‧開口
41‧‧‧第2反射防止層
42‧‧‧第3積層體
43‧‧‧第2中間層
44‧‧‧第4積層體
45‧‧‧遮光層
46‧‧‧保護層
60‧‧‧電源裝置
70‧‧‧控制裝置(控制部)
70a‧‧‧記錄媒體
71‧‧‧電壓控制部
72‧‧‧信號資料取得部(信號取得部)
73‧‧‧溫度資料取得部(溫度取得部)
100‧‧‧光測量系統
L‧‧‧線
P1‧‧‧光測量控制程式
P11‧‧‧電壓控制模組
P12‧‧‧信號資料取得模組
P13‧‧‧溫度資料取得模組
S‧‧‧空隙
t1‧‧‧時間
t2‧‧‧時間
t3‧‧‧時間
t4‧‧‧時間
t21‧‧‧時間
t22‧‧‧時間
V1‧‧‧電壓
V2‧‧‧電壓
V3‧‧‧電壓
III-III‧‧‧剖面
圖1係一實施形態之光檢測裝置之剖面圖。 圖2係法布里-佩洛干涉濾光器之立體圖。 圖3係沿圖2之III―III線之剖面圖。 圖4係用以說明光檢測裝置之驅動方法之方塊圖。 圖5係顯示使用光檢測裝置之測量流程之表格。 圖6係顯示施加於法布里-佩洛干涉濾光器之電壓與時間之關係之圖表。 圖7係顯示光測量控制程式之圖。 圖8係顯示利用光檢測裝置之測量流程之其它例之表格。 圖9係施加於法布里-佩洛干涉濾光器之電壓與時間之關係之其它例之圖表。
Claims (21)
- 一種光測量控制程式，其係於包含法布里-佩洛干涉濾光器及光檢測器之光檢測裝置中，藉由取得自上述光檢測器輸出之電信號而使電腦執行對成為測量對象之光進行測量之處理的光測量控制程式；上述法布里-佩洛干涉濾光器具有介隔空隙而彼此對向之一對鏡面部，且上述一對鏡面部間之距離對應於上述一對鏡面部間產生之電位差而變化；上述光檢測器檢測透過法布里-佩洛干涉濾光器之光；且 該光測量控制程式係使上述電腦作為以下兩者發揮功能：電壓控制部，其於開始上述電信號之取得前，將上述一對鏡面部間產生之電位差控制為階段性增加至達到與上述測量對象之光之波長對應之設定電位差；及 信號取得部，其取得上述電壓控制部於上述一對鏡面部間產生上述設定電位差之狀態下之上述電信號。
- 如請求項1之光測量控制程式，其中 上述信號取得部係取得上述一對鏡面部間產生之電位差達到上述設定電位差起經過待機時間後之上述電信號。
- 如請求項1或2之光測量控制程式，其中 使上述電腦進而作為取得上述法布里-佩洛干涉濾光器之溫度之溫度取得部發揮功能， 上述溫度取得部係於上述一對鏡面部間產生之電位差達到上述設定電位差後，且於上述信號取得部取得上述電信號之前，取得上述法布里-佩洛干涉濾光器之溫度。
- 如請求項1至3中任一項之光測量控制程式，其中 上述電壓控制部於藉由上述信號取得部取得上述電信號後，使上述一對鏡面部間產生之電位差自上述設定電位差階段性減少。
- 如請求項1至4中任一項之光測量控制程式，其中 上述設定電位差包含與互不相同之複數個波長對應之複數個設定電位差， 上述電壓控制部係 於上述一對鏡面部間依序產生上述複數個設定電位差各者， 於藉由上述信號取得部開始取得上述電信號之前，使上述一對鏡面部間產生之電位差階段性增加至達到上述複數個設定電位差之中最初之設定電位差。
- 如請求項5之光測量控制程式，其中 上述電壓控制部以上述複數個設定電位差依序變大之順序，於上述一對鏡面部間產生上述複數個設定電位差各者。
- 如請求項5之光測量控制程式，其中 上述電壓控制部以上述複數個設定電位差依序變小之順序，於上述一對鏡面部間產生上述複數個設定電位差各者。
- 一種光測量系統，其包含： 法布里-佩洛干涉濾光器，其具有介隔空隙而彼此對向之一對鏡面部，且上述一對鏡面部間之距離對應於上述一對鏡面部間產生之電位差而變化； 光檢測部，其檢測透過上述法布里-佩洛干涉濾光器之光；及 控制部，其控制上述一對鏡面部間產生之電位差，且取得自上述光檢測部輸出之電信號；且 上述控制部包含： 電壓控制部，其係以透過上述法布里-佩洛干涉濾光器之光之波長成為測量對象之光之波長之方式，於上述一對鏡面部間產生與上述測量對象之光的波長對應之設定電位差；及 信號取得部，其取得上述電壓控制部於上述一對鏡面部間產生上述設定電位差之狀態下之上述電信號；且 上述電壓控制部於藉由上述信號取得部開始上述電信號之取得之前，使上述一對鏡面部間產生之電位差階段性增加至達到上述設定電位差。
- 如請求項8之光測量系統，其中 上述信號取得部係取得上述一對鏡面部間產生之電位差達到上述設定電位差起經過待機時間後之上述電信號。
- 如請求項8或9之光測量系統，其中 上述控制部進而包含取得上述法布里-佩洛干涉濾光器之溫度的溫度取得部， 上述溫度取得部於上述一對鏡面部間產生之電位差達到上述設定電位差後，且於上述信號取得部取得上述電信號之前，取得上述法布里-佩洛干涉濾光器之溫度。
- 如請求項8至10中任一項之光測量系統，其中 上述電壓控制部於藉由上述信號取得部取得上述電信號後，使上述一對鏡面部間產生之電位差自上述設定電位差階段性減少。
- 如請求項8至11中任一項之光測量系統，其中 上述設定電位差包含與互不相同之複數個波長對應之複數個設定電位差， 上述電壓控制部係 於上述一對鏡面部間依序產生上述個數個設定電位差各者， 於藉由上述信號取得部開始上述電信號之取得前，使上述一對鏡面部間產生之電位差階段性增加至達到上述複數個設定電位差之中最初之設定電位差。
- 如請求項12之光測量系統，其中 上述電壓控制部係以上述複數個設定電位差依序變大之順序，於上述一對鏡面部間產生上述複數個設定電位差各者。
- 如請求項12之光測量系統，其中 上述電壓控制部係以上述複數個設定電位差依序變小之順序，於上述一對鏡面部間產生上述複數個設定電位差各者。
- 一種光測量方法，其係使用包含法布里-佩洛干涉濾光器及光檢測器之光檢測裝置，藉由取得自上述光檢測器輸出之電信號而對成為測量對象之光進行測量的光測量方法， 上述法布里-佩洛干涉濾光器具有介隔空隙而彼此對向之一對鏡面部，且上述一對鏡面部間之距離對應於上述一對鏡面部間產生之電位差而變化； 上述光檢測器檢測透過上述法布里-佩洛干涉濾光器之光；且 該光測量方法包含： 電壓控制步驟，其於開始電信號之取得前，使上述一對鏡面部間產生之電位差階段性增加至達到與上述測量對象之光之波長對應之設定電位差；及 信號取得步驟，其於上述電壓控制步驟後，取得於上述一對鏡面部間產生上述設定電位差之狀態下之上述電信號。
- 如請求項15之光測量方法，其中 於上述信號取得步驟中，於上述一對鏡面部間產生之電位差達到上述設定電位差起經過待機時間時取得上述電信號。
- 如請求項15或16之光測量方法，其進而包含取得上述法布里-佩洛干涉濾光器之溫度的溫度取得步驟， 於上述溫度取得步驟中，於上述一對鏡面部間產生之電位差達到上述設定電位差後，且於由上述信號取得步驟取得上述電信號前，取得上述法布里-佩洛干涉濾光器之溫度。
- 如請求項15至17中任一項之光測量方法，其中 於上述電壓控制步驟中，於藉由上述信號取得步驟取得上述電信號後，使上述一對鏡面部間產生之電位差自上述設定電位差階段性減少。
- 如請求項15至18中任一項之光測量方法，其中 上述設定電位差包含與互不相同之複數個波長對應之複數個設定電位差， 上述電壓控制步驟係 於上述一對鏡面部間依序產生上述複數個設定電位差各者， 於由上述信號取得步驟開始上述電信號之取得前，使於上述一對鏡面部間產生之電位差階段性增加至達到上述複數個設定電位差之中最初之設定電位差。
- 如請求項19之光測量方法，其中 於上述電壓控制步驟中，以上述複數個設定電位差依序變大之順序，於上述一對鏡面部間產生上述複數個設定電位差各者。
- 如請求項19之光測量方法，其中 於上述電壓控制步驟中，以上述複數個設定電位差依序變小之順序，於上述一對鏡面部間產生上述複數個設定電位差各者。
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