TW201903939A - 蒸氣防護罩替換系統及其方法 - Google Patents

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何亦晨
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Abstract

一種多防護板包括：具有大致上平坦的上表面和大致上平坦的下表面的平板、形成在平板中且從上表面延伸穿過平板到下表面的多個第一窗口、以及多個蒸氣防護罩，該些蒸氣防護罩安裝在平板上，多個蒸氣防護罩中的每個蒸氣防護罩用以防止蒸氣通過多個窗口中的一對應窗口。多防護板包括形成在平板中的開孔，開孔沿著對應於上表面的軸線與多個窗口中的第一窗口對齊。

Description

蒸氣防護罩替換系統及其方法
本發明實施例涉及積體電路製造技術領域，特別是涉及製造積體電路的操作過程中的系統及方法。
積體電路的製造通常包括一些操作步驟，當在物體的上表面或附近執行一個或多個製程時，需將基板或其他物體固定在平台上。舉例來說，在執行摻雜及其他操作步驟以形成源極及汲極結構之後，基板通常需要被執行退火。
在某些情況下，雷射尖峰退火（LSA）是在固定的設備下進行，在固定的設備下，基板對準目標位置。由於退火需要升高溫度，其會導致化學殘餘物的蒸發，因此一些退火設備需要由防止蒸氣的防護罩所保護。
本發明之實施例提供一種多防護板，包括以下元件：一平板，該平板具有一大致上平坦的上表面及一大致上平坦的下表面；複數個窗口，該些窗口形成於該平板中且從該上表面延伸通過該平板至該下表面；複數個蒸氣防護罩，該些蒸氣防護罩設置於該平板上且該些蒸氣防護罩的每一個蒸氣防護罩用以防止一蒸氣通過該些窗口的一對應窗口；及一開孔，該開孔形成於該平板中，且該開孔沿著一對應至該上表面的軸線對齊該些窗口中的一第一窗口。
以下揭露依據本發明之各種實施例或範例，俾供實施本發明各標的之各技術特徵。為簡明扼要闡述本發明實施例，以下將以明確特定範例描述各元件及其配置。惟，此些說明理應為單純示範，並非用以限制本發明。舉例來說，以下描述在一第二技術特徵上形成一第一技術特徵，可理解其包括此等第一、第二技術特徵為直接接觸的實施例及此等第一、第二技術特徵之間尚有其他技術特徵形成，以致第一、第二技術特徵並非直接接觸的實施例。除此之外，為使本說明書內容簡單明瞭，在此亦可於不同範例中重複使用圖式元件符號及/或字元，然並非用以限定此些實施例及/或配置。
其次，空間對應關係的詞語，諸如「向其之下」、「在下方」、「較低」、「以上」、「較高」及其類，可隨意用於此以描述圖式中一元件或技術特徵之於其他元件或技術特徵之空間關係。空間對應關係的詞語包括元件在使用或操作過程中的各種方向及圖式中描述的方向，除此之外，與其相關的裝置可旋轉，如旋轉90度或轉向其他方向，而可對應地解釋此些空間對應關係的詞語。
在各實施例中，一平台用以支撐一物體，一光源用以將光束導引到物體，一光學感測器用以偵測從物體因光束所發射和/或反射的光，且多防護板包括一平板以及安裝在平板或安裝在平板中的相應多個開孔中的複數個蒸氣防護罩。一控制器用以根據所偵測的光來判斷多個蒸氣防護罩中的第一蒸氣防護罩是否被塗佈，如果第一蒸氣防護罩已經被塗佈，則在光學感測器與平台之間的一位置以多個蒸氣防護罩的第二蒸氣防護罩替換多個蒸氣防護罩的第一蒸氣防護罩。
第1A至1B圖顯示根據本發明某些實施例之蒸氣防護罩替換系統100之示意圖。第1A圖繪示蒸氣防護罩替換系統100、一物體100OBJ、一蒸氣100V及一塗層100C的橫截圖。第1B圖繪示蒸氣防護罩替換系統100的俯視圖。第1A圖的橫截面是沿第1B圖上的橫截線A-A'所繪示。
蒸氣防護罩替換系統100包括一平台110、一量測模組120、一多防護板130、一導引件140、一致動裝置150及一控制器160。一通訊連結125可通訊地耦接量測模組120與控制器160，一控制連結155可通訊地耦接致動裝置150與控制器160。
平台110是一剛性結構，例如一圓盤，用以在相對於量測模組120的一個或多個位置處支撐物體100OBJ。在某些實施例中，平台110是可移動的以便在相對於量測模組120的一個或多個位置處支撐物體100OBJ。
在第1A圖所示的實施例中，平台110具有能夠支撐物體100OBJ的大致上平坦的上表面111。在某些實施例中，上表面111是平台110唯一的上表面。在某些實施例中，平台110除了上表面111之外還包括一個或多個上表面（圖未示）。在某些實施例中，平台110的上表面111具有一個或多個非平面特徵，例如有助於支撐物體100OBJ的突起或凹陷。
在某些實施例中，物體100OBJ可為半導體晶圓的基板，且上表面111是適於固定基板的光滑表面。在某些實施例中，平台110包括一個或多個能夠將物體100OBJ固定在上表面111上的部件。在某些實施例中，平台110包括能夠將物體100OBJ固定在上表面111上的真空或靜電組件的元件。在某些實施例中，平台110包括能夠將物體100OBJ固定在上表面111上的一個或多個機械元件或組件，例如夾子或緊固件。
在某些實施例中，上表面111包括一個或多個開孔，一個或多個開孔被施加真空以將物體100OBJ固定在平台110上。在某些實施例中，平台110包括一個或多個頂出銷，且上表面111包括一個或多個開孔，其配置成允許頂出銷的移動以從上表面111移除物體100OBJ。在某些實施例中，平台110包括一個或多個能夠控制上表面111的溫度的部件。
在某些實施例中，平台110具有約4至36英吋的直徑。在某些實施例中，平台110具有約8至18英吋的直徑。
量測模組120為可將光束121施加於物體100OBJ且偵測從物體100OBJ因光束121所發射和/或反射的光123的組件。量測模組120包括能夠將光束121導引物體100OBJ的光源122、能夠偵測從物體100OBJ發射和/或反射的光123的光學感測器124以及通訊模組126。在某些實施例中，量測模組120包括能夠執行與量測操作有關的一個或多個附加功能的一個或多個附加部件（圖中未示），量測操作包括但不限於量測模組120的移動和定位、冷卻和/或加熱、資料儲存和訊號處理。
光源122被設置為將光束121導引至物體100OBJ的裝置。 在某些實施例中，光源122可產生並導引光束121。在某些實施例中，光束121由除了光源122之外的一個或多個裝置（圖未示）產生，且光源122是反射器或能夠將光束121再導引到一個或多個裝置的物體100OBJ的類似設備。在某些實施例中，光源122是多個光源中的一個光源。
在某些實施例中，光束121是一雷射光束，且光源122包括一雷射器。在某些實施例中，光源122包括二氧化碳（CO2 ）雷射器，且光束121具有從9微米（μm）至12μm範圍內的一個或多個波長。在某些實施例中，光源122包括二極體雷射器，且光束121具有從0.2μm至4.0μm範圍內的一個或多個波長。
在某些實施例中，光源122能夠導引具有可控性（例如，強度等級和/或波長組成）的光束121。
在第1A圖所示的實施例中，光源122用以將因應訊號122S的光束121導引到物體100OBJ。在某些實施例中，光源122用以將因應除了訊號122S之外的訊號（圖未示）的光束121導引到物體100OBJ。在某些實施例中，光源122用以控制因應訊號的光束121的屬性，訊號例如訊號122S。
在某些實施例中，在操作中，因應與物體100OBJ相互作用的部分或全部的光束121，物體100OBJ發射部分或全部的光123。在某些實施例中，在操作過程中，因應與物體100OBJ相互作用的部分或全部的光121，物體100OBJ反射光部分或全部的光123。
光學感測器124為用以偵測光123並根據偵測到的光123產生訊號124S的設備。在某些實施例中，光123包括來自物體100OBJ因應光束121所反射的光束121的光。在某些實施例中， 光123具有對應於光束121的一個或多個波長的一個或多個波長。
在某些實施例中，光123包括來自物體100OBJ因應光束121所發射的光。在某些實施例中，光123具有與光束121的一個或多個波長不同的一個或多個波長。在某些實施例中，光123 具有比光束121的一個或多個波長更長的一個或多個波長。
在某些實施例中，光123具有一個或多個遠紅外線波長。在某些實施例中，光123具有15μm至1000μm範圍內的一個或多個波長。在某些實施例中，光123具有500μm至800μm範圍內的一個或多個波長。在某些實施例中，光123包括500μm波長，750μm波長或800μm波長中的一個或多個。
在某些實施例中，光123包括從物體100OBJ因應光束121所反射的光以及從物體100OBJ因應光束121所發射的光。在某些實施例中，光123具有對應於光束121的一個或多個波長及與光束121的一個或多個波長不同的一個或多個波長。
在某些實施例中，光學感測器124用以產生指示光123的強度的訊號124S。在某些實施例中，光學感測器124用以產生指示光123的總強度的訊號124S。在某些實施例中，光學感測器124用以產生指示光123的一個或多個特定波長的強度的訊號124S。在某些實施例中，光學感測器124用以產生指示光123的500μm波長、750μm波長或800μm波長中的一個或多個的強度的訊號124S。
在某些實施例中，光學感測器124用以產生指示光123的第一個或多個波長的第一強度與光123的第二個或多個波長的第二強度之間的關係的訊號124S。
在某些實施例中，光學感測器124包括根據光123產生訊號124S的處理器或其它邏輯裝置。在某些實施例中，平台110和量測模組120為用以對物體100OBJ執行退火處理的LSA系統的組件，且訊號124S由LSA系統產生，作為用於控制退火處理的溫度的反饋迴路的一部分。
通訊模組126為用以在通訊連結125上輸出訊號124S的量測模組120的一組件。如第1A圖所示的實施例中，通訊模組126用以在通訊連結125上接收訊號22S。在某些實施例中，量測模組120除了通訊模組126之外還包括一個或多個通訊模組（圖中未示），且量測模組120用以接收在一個或多個附加通訊模組上的訊號122S。
在某些實施例中，通訊連結125包括一個或多個導線，且通訊模組126包括一個或多個連接器，該一個或多個連接器用以將通訊模組20與通訊連結125機械地且電性耦接。在某些實施例中，通訊連結125是無線連接， 通訊模組126包括可發射訊號124S的發射器。在某些實施例中，通訊模組125是無線連接，且通訊模組126包括能夠接收訊號122S的接收器。
多防護板130是一剛性結構，其包括具有平行於大致上平坦的下表面130L的大致上平坦的上表面130U的平板130PL。在某些實施例中，上表面130U是平板130PL的整個上表面。在某些實施例中，除了上表面130U之外，平板130PL還包括一個或多個上表面（圖未示）。 在某些實施例中，下表面130L是平板130PL的整個下表面。在某些實施例中，除了下表面130L之外，平板130PL還包括一個或多個下表面（圖未示）。
平板130PL包括形成在平板130PL中並從上表面130U延伸到下表面130L的多個窗口132。對應多個蒸氣防護罩134在平板103PL上與多個窗口132的對應位置處安裝於平板130PL。
在某些實施例中，一窗口132從上表面130U延伸到具有垂直於上表面130U和下表面130L的一個或多個邊緣的下表面130L。在某些實施例中，一窗口132從上表面130U延伸到具有不垂直於上表面130U和下表面130L的一個或多個邊緣的下表面130L。在某些實施例中，一窗口132從上表面130U延伸到具有包括一個或多個突起的邊緣的下表面130L，突起用以支撐蒸氣防護罩134。
多防護板130用以使得每個蒸氣防護罩134能夠被定位在物體100OBJ和光學感測器124之間，使得從物體100OBJ反射和/或發射的光123在被光學感測器124接收到之前通過蒸氣防護罩134。每個蒸氣防護罩134因此能夠被定位在從物體100OBJ到光學感測器124的反射和/或發射光123的光路徑中。
每個蒸氣防護罩134包括能夠在被光學感測器124接收之前允許光123的大部分或全部通過的材料。每個蒸氣防護罩134包括下表面134S，使得蒸氣防護罩134能夠防止由物體100OBJ發射的大部分或全部蒸氣100V被光學感測器124接收。在某些實施例中，每個蒸氣防護罩134包括石英。
在第1A至1B圖繪示的實施例中，每個蒸氣防護罩134設置在一對應的窗口132中。在第1A圖繪示的實施例中，蒸氣防護罩134設置於平板130PL上介於上表面130U與下表面130L之間的對應的窗口132中的位置處。在某些實施例中，蒸氣防護罩134設置在上表面130Ｕ之上或之上且在對應的窗口132的上面。在某些實施例中，蒸氣防護罩134設置在下表面130L之上或之下且在對應的窗口132的下面。
在某些實施例中，單個蒸氣防護罩結構跨越兩個或更多窗口132。在單個蒸氣防護罩結構跨越兩個或更多窗口132的某些實施例中，對應窗口132的蒸氣防護罩結構的每個部分被視為單獨的蒸氣防護罩134。
透過如上所述設置，每個蒸氣防護罩134用以防止例如蒸氣100V的蒸氣通過對應的窗口132。
在某些實施例中，多防護板130包括安裝硬體（圖中未示），例如夾子、支架或緊固件，用以在一個或多個對應窗口132處將一個或多個蒸氣防護罩134設置在平板130PL。
在某些實施例中，給定的蒸氣防護罩134在對應的窗口132處或者在對應的窗口132中被固定地設置在平板130PL上，使得蒸氣防護罩134可僅藉由改變或損壞多防護板130的一部件而從平板130PL移除。在某些實施例中，給定的蒸氣防護罩134在對應的窗口132處或對應的窗口132中可拆卸地安裝到平板130PL上，使得蒸氣防護罩134可從平板130PL移除而不改變或損壞多防護板130的部件，例如手動或使用移除工具。在某些實施例中，給定的蒸氣防護罩134在對應的窗口132處或在對應的窗口132中可拆卸地安裝到平板130PL，使得蒸氣防護罩134可藉由移除或調整安裝硬體而從平板130PL移除。
在某些實施例中，每個蒸氣防護罩134具有矩形的形狀。在某些實施例中，每個蒸氣防護罩134具有正方形的形狀。在某些實施例中，每個蒸氣防護罩134具有一致的形狀。在某些實施例中，多個蒸氣護罩134包括具有不同形狀的蒸氣防護罩134。
在某些實施例中，每個蒸氣護罩134具有從10毫米（mm）至80mm範圍內的長度（未標出）。 在某些實施例中，每個蒸氣防護罩134具有15mm至25mm範圍內的長度。
在某些實施例中，每個蒸氣防護罩134具有1mm至25mm範圍內的寬度（未標出）。在某些實施例中，每個蒸氣防護罩134具有從1mm至10mm範圍內的寬度。
在某些實施例中，每個蒸氣防護罩134具有1mm至10mm範圍內的厚度（未標示）。 在某些實施例中，每個蒸氣防護罩134具有從3mm至7mm範圍內的厚度。
在第1A圖和第1B圖所繪示的實施例中，多防護板130包括十二個窗口132和十二個蒸氣防護罩134。在某些實施例中，多防護板130包括少於十二個窗口132和十二個蒸氣防護罩134。在某些實施例中，多防護板130包括大於十二個窗口132和十二個蒸氣防護罩134。
在某些實施例中，多防護板130包括沿著軸線與至少一個窗口132對齊的至少一個開孔136，使得光束121沿著光束路徑通過開孔136時被導引至物體100OBJ，而發射和/或反射光123沿著光路通過至少一個蒸氣防護罩134。在某些實施例中，對應於上表面130U或下表面130L、開孔徑136和至少一個窗口132中的一個或兩個的一軸線，由此對齊軸線和沿此軸線間隔開以匹配光束路徑和光路徑之間的間隔。
在第1B圖所示的實施例中，徑向線A-A'是第一窗口132與第一開孔136對齊，第二窗口132與第二開孔136對齊所沿的軸線的示例，其中的每一個在第1B圖中被量測模組120遮蔽。
在某些實施例中，多防護板130包括多個開孔136，且每個開孔136沿著軸線與對應的窗口132對準，使得光束121沿著光束路徑通過開孔136，而光123沿著光路徑通過對應的蒸氣防護罩134。在某些實施例中，多防護板130包括單個開孔136，單個開孔136可沿著軸線與任何給定的窗口132對準，使得光束121沿著光束路徑穿過開孔徑136，而光線123沿著光路徑通過給定的蒸氣防護罩134。
在第1A圖所示的實施例中，每個開孔136是從上表面130U延伸到下表面130L的開口。在某些實施例中，每個開孔136包括一窗格（圖中未示），窗格包括能夠允許光束121的大部分或全部沿著光束路徑通過的材料。在某些實施例中，每個開孔136包括含有石英的窗格。
在第1A圖和第1B圖所示的實施例中，多防護板130具有盤的形狀，多個窗口132鄰近盤的周圍130S分佈，並且多個開孔136分佈在多個窗口132的徑向周圍內。在某些實施例中，多防護板130是多防護板230，將在下面參照第2A圖和第2B圖討論。
在某些實施例中，多防護板130具有環的形狀，多個窗口132分佈在周圍130P的附近，且單個開孔136是環的中心。在某些實施例中，多防護板130是多防護板330，將在下面參照第3A圖和第3B圖討論。
在某些實施例中，多防護板130具有矩形的形狀，多個窗口132沿矩形的長邊分佈，且多個開孔136靠著多個窗口132的旁邊分佈。在某些實施例中，多防護板130是多防護板430，將在下面參照第4A圖和第4B圖討論。在某些實施例中，多防護板130具有矩形的形狀，且多個窗口132沿著單個開孔136分佈。在某些實施例中，多防護板130具有矩形的形狀，多個窗口132 沿著矩形的長邊分佈，且多防護板130不包括開孔136。
導引件140是一個或多個剛性結構，其可支撐多防護板130並允許多防護板130水平移動，使得每個蒸氣防護罩134可定位在光學感測器124和平台110之間。在第1A圖和第1B圖所示的實施例中，導引件140可為沿著周圍130P支撐多防護板130並允許多防護板130在導引件140內旋轉的單一結構。在某些實施例中導引件140被省略。
在某些實施例中，導引件140包括沿著周圍130P支撐多防護板130並允許多防護板130在導引件140內旋轉的多個結構。在某些實施例中，多防護板130具有矩形的形狀，導引件140包括一個或多個結構，該一個或多個結構用以允許多防護板130沿水平方向滑動，使得每個蒸氣防護罩134可沿光路徑定位在光學感測器124和平台110之間。
蒸氣防護罩替換系統100用以使平台110、多防護板130和導引件140控制物體100OBJ的定位，以在物體100OBJ和給定的蒸氣防護罩134的下表面134S之間具有一間隙100G。
在某些實施例中，蒸氣防護罩替換系統100不包括導引件140，且蒸氣防護罩替換系統100用以使得平台110、多防護板130和致動裝置150控制物體100OBJ的定位，以在物體100OBJ和給定的蒸氣防護罩134的下表面134S之間具有間隙100G。
在某些實施例中，蒸氣防護罩替換系統100用以保持間隙100G在1mm至3mm的範圍內。
致動裝置150用以在通訊連結155上接收來自控制器160的一個或多個控制訊號160S，且根據一個或多個控制訊號160S控制多防護板130的定位的機電組件。致動裝置150可控制多防護板130的定位，使得多個蒸氣防護罩134的每個蒸氣防護罩134可沿著光學路徑定位在光學感測器124和平台110之間。
在某些實施例中，致動裝置150可控制多防護板130的水平定位。在某些實施例中，致動裝置150可控制多防護板130的水平和垂直定位。
在第1A圖所示的實施例中，致動裝置15為可旋轉多防護板130的馬達。在某些實施例中，致動裝置150是步進馬達。在某些實施例中，致動裝置150為以與在光學感測器124和平台110之間沿光學路徑的多個蒸氣防護罩134的每個蒸氣防護罩134相匹配的增量來旋轉多防護板130的馬達。在某些實施例中，致動裝置150為以控制器160接收的一個或多個控制訊號160S的量旋轉使多防護板130的馬達。
在第1A圖和第1B圖所示的實施例中，致動裝置150用以使機械聯接到多防護板130的軸152旋轉，藉此使得多防護板130旋轉。在某些實施例中，致動裝置150另外機械連接到多防護板130，以便能夠使多防護板130圍繞軸線旋轉。在某些實施例中，致動裝置150或多防護板130中的一者或兩者包括齒輪或輪，致動裝置150透過該齒輪或輪機械連接到多防護板130，使得多防護板130可圍繞軸線旋轉。
在多防護板130具有矩形形狀的某些實施例中，致動裝置150或多防護板130中的一者或兩者包括齒輪或輪，致動裝置150透過該齒輪或輪機械聯接到多防護板130以使多防護板130沿水平方向滑動，使得每個蒸氣防護罩134可沿著光學路徑定位在光學感測器124和平台110之間。
在某些實施例中，在操作中，因應與物體100OBJ相互作用的光束121中的一些或全部，物體100OBJ發射蒸氣100V。在某些實施例中，物體100OBJ為諸如半導體晶片的基板，且蒸氣100V包括基於在物體100OBJ上執行的先前製造操作的一種或多種材料。在某些實施例中，物體100OBJ為諸如半導體晶片的基板，且蒸氣100V包括基於在物體100OBJ上執行的光阻劑清潔操作的一種或多種材料。
在某些實施例中，在操作中，因應由物體100OBJ發射的蒸氣100V，塗層100C形成在第一蒸氣防護罩的一下表面134S上。在某些實施例中，塗層100C包括與在物體100OBJ上執行的先前製造操作有關的一種或多種材料。在某些實施例中，塗層100C包括與在物體100OBJ上執行的光阻劑清潔操作有關的一種或多種材料。在某些實施例中，塗層100C包括硫酸鹽（SO4 2- ），氨（NH4 + ），硝酸鹽（NO3 - ）或氟化物（F- ）中的一種或多種。
在操作步驟中，塗層100C反射和/或吸收一部分光123，從而降低由光學感測器124接收的光123的一些或全部波長的強度。光123的一些或全部波長的強度的降低量隨著塗層100C的厚度100T增加。在某些實施例中，在操作步驟中，由於在多個物體上執行的製造操作，厚度100T隨時間增加，多個物體包括例如物體100OBJ。
因為訊號124S是基於光123產生的，所以在操作步驟中，光123的一些或全部波長的強度的降低導致訊號124S改變。在某些實施例中，在操作步驟中，光123的一些或全部波長的強度的降低導致由訊號124S表示的值減小。在某些實施例中，在操作步驟中，光123的一些或全部波長的強度的降低導致由訊號124S表示的值增加。
在某些實施例中，製造操作的一個方面因應訊號124S基於光123的強度的降低的變化而變化。因為這種變化的量是厚度100T的函數，所以厚度100T的臨界值對應於製造操作方面的容差位準（tolerance level）。
作為一非限制性示例，在平台110和量測模組120是LSA系統的組件的某些實施例中，訊號124S表示在物體100OBJ上執行的給定退火過程的量測溫度，使得訊號124S的改變是基於對應於溫度測量中的誤差的厚度100T。在這樣的實施例中，厚度100T的臨界值對應於給定退火製程的溫度量測誤差的容差位準。
透過設定對應於製造容差位準的厚度100T的臨界值，使得厚度100T超過臨界值的塗層100C中的材料的量對應於有塗佈的蒸氣防護罩134。而厚度100T小於或等於臨界值的塗層100C中的材料的量對應於未塗佈的蒸氣防護罩134。因此，「塗佈」或「未塗佈」的蒸氣防護罩134所基於的厚度100T的具體臨界值是製造環境中的公差的函數，故設置蒸氣防護罩替換系統100。
在某些實施例中，蒸氣防護罩替換系統100用以在包括多個容差位準的製造環境中操作，所述多個容差位準對應於厚度100T的多個臨界值以及「塗佈」和「未塗佈」的蒸氣防護罩134的多個基底（bases）。
在某些實施例中，在操作過程中，顆粒（圖中未示）從塗層100C釋放並落到物體100OBJ上，由此增加物體100OBJ中的多個製造缺陷。在某些實施例中，隨著厚度100T增加，從塗層100C釋放的許多顆粒增加。在這樣的實施例中，厚度100T的臨界值對應於物體100OBJ中的製造缺陷的數量的容差位準。
控制器160用以在通訊連結125上接收訊號124S並且判斷給定的蒸氣防護罩134上的塗層100C的厚度100T是否超臨界值的電路或組件。
在某些實施例中，控制器160包括處理器。在某些實施例中，控制器160包括處理器602，下面將參照系統600和圖6進行討論。
在某些實施例中，控制器160透過將訊號124S與臨界值進行比較來判斷給定的蒸氣防護罩是否已經被塗佈。在某些實施例中，控制器160透過將訊號124S與表示厚度100T的臨界值的閾值進行比較來判斷給定的蒸氣防護罩是否已經被塗佈。
在某些實施例中，控制器160用以根據實驗塗佈資料將訊號124S與預定臨界值進行比較。在某些實施例中，控制器160用以從實驗塗佈資料確定臨界值。
在某些實施例中，多個臨界值對應於多個製造容差位準，且控制器160用以將訊號124S與多個臨界值中的一個或多個臨界值進行比較。在某些實施例中，光束121的一個或多個屬性，例如強度或波長組成，是可變的且對應於多個臨界值，且控制器160用以為將訊號124S與多個臨界值中的一個或多個臨界值進行比較。
在某些實施例中，控制器160用以將訊號124S與從儲存裝置中檢索的一個或多個臨界值進行比較，儲存裝置例如下面參照系統600和圖6討論的電腦可讀儲存媒介604。 在某些實施例中，控制器160用以將訊號124S與一個或多個使用者輸入臨界值進行比較。
在某些實施例中，控制器160用以產生訊號122S以使光源122將光束121導引到物體100OBJ。 在蒸氣防護罩替換系統100為諸如LSA系統之類的製造處理系統的一部分的某些實施例中，控制器160不產生訊號122S，且訊號122S為製造過程的一部分。
在某些實施例中，控制器160用以在通訊連結125上接收訊號124S並產生訊號122S。在某些實施例中，通訊連結125包括一根或多根導線，且控制器160包括一個或多個機械及電性耦接控制器160與通訊連結125的連接器。在某些實施例中，通訊連結155是無線連接，且控制器160包括能夠接收訊號124S的接收器。在某些實施例中，通訊連結125是無線連接，且控制器160包括能夠發送訊號122S的發射器。
在某些實施例中，控制器160用以產生一個或多個控制訊號160S來回應給定的蒸氣防護罩134被塗佈的判斷結果，以使致動裝置150將給定的蒸氣防護罩134移動離開光學感測器124和平台110之間的位置，並且將第二蒸氣防護罩134移動到光學感測器124和平台110之間的位置。
在某些實施例中，控制器160用以使致動裝置150將給定的蒸氣遮蔽134移離光學感測器124與平台110之間的位置，並透過在一個或多個控制訊號160S中產生單個指令將第二蒸氣遮蔽134移動到光學感測器124與平台110之間的位置。在某些實施例中，單個指令對應於步進馬達移動單個預定步驟的命令。
在某些實施例中，控制器160用以根據預定的定位訊息來控制致動裝置150。在某些實施例中，控制器160用以根據使用者輸入定位訊息來控制致動裝置150。在某些實施例中，定位訊息對應於給定的蒸氣防護罩134和緊鄰的蒸氣防護罩134之間的間隔。
在某些實施例中，控制器160用以使得致動裝置150將給定的蒸氣防護罩134移動離開光學感測器124和平台110之間的位置，且藉由產生一個或多個控制訊號160S中的多個指示將第二蒸氣防護罩134移動至光學感測器124和平台110之間的位置。在某些實施例中，多個指示對應於定位訊息。
在某些實施例中，控制器160用以在通訊連結155上產生一個或多個控制訊號160S。在某些實施例中，通訊連結155包括一條或多條導線，且控制器160包括一個或多個連接器，該連接器用以機械地和電性地耦接控制器160與通訊連結155。在某些實施例中，通訊連結155為無線連接，且控制器160包括可發送一個或多個控制訊號160S的發射器。在某些實施例中，通訊連結155為無線連接，且致動裝置150包括可接收一個或多個控制訊號160S的接收器。
在某些實施例中，控制器160透過產生用於與使用者通訊的音頻和/或視覺訊號或其他蒸氣防護罩替換訊息來反應判斷給定的蒸氣防護罩134是否被塗佈。
在某些實施例中，蒸氣防護罩替換系統100包括使用者介面，例如下面關於系統600與圖6討論的I/O介面610，使用者介面用以接收一個或多個使用者輸入臨界值。在某些實施例中，使用者介面用以接收用戶輸入定位訊息。在某些實施例中，使用者介面用以顯示視覺訊號或其他蒸氣防護罩替換訊息和/或向使用者提供音頻訊號。
透過以上討論的設置，蒸氣防護罩替換系統100可在操作過程中根據光123判斷給定的蒸氣防護罩134是否被塗佈，並且根據該判斷，因應提供給使用者的蒸氣塗層訊息而自動或手動地將未塗佈的蒸氣防護罩134替換成塗佈蒸氣防護罩134。
與根據被塗佈的蒸氣防護罩的基於光的判斷而不替換塗佈的蒸氣防護罩的系統相比，蒸氣防護罩替換系統100有助於防止蒸氣防護罩被塗層高於預定的厚度值。在蒸氣防護罩替換系統100是製造處理系統的一部分的實施例中，防止蒸氣防護罩塗層高於預定厚度值減少了由反饋的光123的變化引起的製程誤差，藉此增加產量。
在蒸氣防護罩替換系統100是LSA系統的一部分的實施例中，防止蒸氣防護罩塗層高於預定厚度值減少了由控制退火製程的溫度的反饋迴路的一部分的光123的變化引起的製程誤差。在某些實施例中，光線123的強度對應於由光束121控制的退火溫度，且蒸氣防護罩的塗層高於預定的厚度值的防止減少了基於減小的光123的強度而升高退火溫度造成的誤差。
在某些實施例中，蒸氣防護罩塗層高於預定厚度值的防止減少了由塗層釋放的顆粒引起的一些製造缺陷。
與根據被塗佈的蒸氣防護罩的基於光的判斷而不替換塗佈的蒸氣防護罩的系統相比，蒸氣防護罩替換系統100避免了操作者或技術人員手動判斷蒸氣防護罩被塗佈所需的時間。在蒸氣防護罩替換系統100自動地以未塗佈的蒸氣防護罩134替換塗佈的蒸氣防護罩134的實施例中，與以未塗佈的蒸氣防護罩手動替換塗佈的蒸氣防護罩的系統相比，減少了系統停機時間和操作者時間。
透過包含多防護板130，與包含具有單個蒸氣防護罩的板的系統相比，用於蒸氣防護罩更換系統100的板更換的頻率降低。因此，與包含具有單個蒸氣防護罩的板的系統相比，在蒸氣防護罩替換系統100中減少了板替換所需的系統停機時間和操作者時間。
圖2A和圖2B是根據某些實施例的多防護板230的示意圖。多防護板230可作為上面關於蒸氣防護罩替換系統100及圖1A和1B討論的多防護板130。圖2A描繪了多防護板230的俯視圖，圖2B描繪了沿圖2A中的線B-B'所指的平面的多防護板230的橫截面圖。
多防護板230包括分別與上文討論關於的蒸氣防護罩替換系統100及圖1A、AB的多防護板130的平板130PL、上表面130U、下表面130L、窗口132、蒸氣防護罩134、開孔136和周圍130P對應的平板230PL、上表面230U、下表面230L、窗口232、蒸氣防護罩234、開孔236和周圍230P。
多防護板230還包括在周圍230P的中心處相交的軸線230A。每個窗口232沿著軸線230A與對應的開孔236對齊。在圖2A所示的實施例中，多防護板230包括六個軸線230A。在某些實施例中，多防護板230包括少於六個的軸線230A。在某些實施例中，多防護板230包括多於六個的軸線230A。
在圖2A和圖2B所示的實施例中，多防護板230包括十二個窗口232、十二個蒸氣防護罩234和十二個開孔236。在某些實施例中，多防護板230包括少於十二個窗口232、十二個蒸氣防護罩234和十二個開孔236。在某些實施例中，多防護板230包括多於十二個窗口232、十二個蒸氣防護罩234和十二個開孔236。
藉由將多防護板230設置為可旋轉的圓形板，使得在操作過程中，以與沿著周圍230P的窗口232的間隔對應的量旋轉多防護板230，使得給定位置的第二蒸氣防護罩234替換位於給定的位置的第一蒸氣防護罩234。
通過上面討論的配置，用於蒸氣防護罩替換系統，例如蒸氣防護罩替換系統100，中的多防護板230可實現上面關於蒸氣防護罩替換系統100所討論的優點。
圖3A和3B是根據某些實施例所繪示的多防護板330的示意圖。多防護板330可作為多防護板130，如上面關於蒸氣防護罩替換系統100以及1A和1B所討論的。圖3A描繪了多防護板330的平面圖，圖3B描繪多防護板330沿著由圖3A中的線C-C'所指的平面的橫截面圖。
多防護板330包括與上文討論關於圖2A和2B所示的多防護板230的平板230PL、上表面230U、下表面230L、窗口232、蒸氣防護罩234、周圍230P和軸線230A對應的平板330PL、上表面330U、下表面330L、窗口332、蒸氣防護罩334、周圍330P和軸線330A。
多防護板330與多防護板230的不同之處在於包括單個開孔336而不是多個開孔236。開孔336位於周圍330P中，使得每個窗口332沿著軸線330A與開孔336對準。在圖3A所示的實施例中，多防護板330包括六個軸線330A。在某些實施例中，多防護板330包括少於六個的軸線330A。在某些實施例中，多防護板330包括多於六個的軸線330A。
在圖3A和3B所示的實施例中，多防護板330包括十二個窗口332和十二個蒸氣防護罩334。在某些實施例中，多防護板330包括少於十二個窗口332和十二個蒸氣防護罩334。在某些實施例中，多防護板330包括 大於十二個窗口332和十二個蒸氣防護罩334。
藉由將多防護板330設置為可旋轉的圓形板，使得在操作過程中，以與沿著周圍330P的窗口332的間隔對應的量旋轉多防護板330，使得給定位置的第二蒸氣防護罩334替換位於給定的位置的第一蒸氣防護罩334。
透過上面討論的配置，用於蒸氣防護罩替換系統，例如蒸氣防護罩替換系統100中的多防護板330可實現上述關於蒸氣防護罩替換系統100所述的優點。
圖4A和圖4B是根據某些實施例的多防護板430的示意圖。多防護板430可作為如上文關於蒸氣防護罩替換系統100及圖1A和1B所討論的多防護板130。圖4A繪示多防護板430的平面圖，圖4B繪示多防護板430沿著圖4A中的線D-D'所指的平面的橫截面圖。
多防護板430包括分別與如上文討論關於蒸氣防護罩替換系統100和圖1A和1B的多防護板130的平板130PL、上表面130U、下表面130L、窗口132、蒸氣防護罩134以及開孔136對應的平板430PL、上表面430U、下表面430L、窗口432、蒸氣防護罩434以及開孔436。
多防護板430具有矩形形狀且包括彼此平行排列並且跨過多防護板430的軸線430A。每個窗口432沿著軸線430A與對應的開孔436對齊。
藉由將多防護板430設置為可移動的矩形板，使得在操作過程中，以與窗口432沿著多防護板430的長邊的間隔對應的量移動多防護板430，使得給定位置處的第二蒸氣防護罩434替換給定位置的第一蒸氣防護罩434。
藉由以上討論的配置，用於蒸氣防護罩替換系統，例如蒸氣防護罩替換系統100中的多防護板430可實現上面關於蒸氣防護罩替換系統100所討論的優點。
圖5是根據一個或多個實施例的控制蒸氣防護罩替換的方法500的流程圖。方法500是使用如上面關於圖1A和1B討論的蒸氣防護罩替換系統來實現，例如上面關於圖1A及1B討論的蒸氣防護罩替換系統100，以及關於圖1A和1B、2A和2B、3A和3B以及4A和4B討論的具有諸如多防護板130、230、330和430的多防護板。
在步驟510中，在某些實施例中，從實驗塗佈資料決定光強度的臨界值。在某些實施例中，決定光強度臨界值包括根據光學感測器（例如光學感測器124）接收到的光（例如光123）的強度值的量測結果來決定臨界值，所述光學感測器例如上文關於蒸氣防護罩替換系統100以及圖1A和1B討論的光學感測器124。
在某些實施例中，決定光強度臨界值包括將光強度值與一個或多個蒸氣防護罩塗層的厚度值相對應。在某些實施例中，決定光強度臨界值包括將光強度值與製造過程的一個或多個製程參數的值相對應。在某些實施例中，決定光強度臨界值包括將光強度值與退火處理的一個或多個溫度的值相對應。在某些實施例中，決定光強度臨界值包括將一個或多個蒸氣防護罩塗層的厚度值與退火製程的一個或多個溫度的值相對應。
在某些實施例中，決定光強度臨界值包括決定對應於多個製造公差的多個光強度臨界值。在某些實施例中，決定光強度臨界值包括決定對應於由光源產生的光束的一個或多個特性的多個值的多個光強度臨界值。
在某些實施例中，決定光強度臨界值包括將一個或多個臨界值儲存在儲存媒介中，例如電腦可讀取儲存媒介604，下面將參照系統600和圖6進行討論。
在某些實施例中，決定光強度臨界值包括使用處理器來決定光強度臨界值，例如處理器602，下面將參照系統600和圖6來討論。
在某些實施例中，步驟520中，產生一光束。在某些實施例中，產生光束包括使用一光源來產生光束，例如上面關於蒸氣防護罩替換系統100和圖1A、1B討論的光源122。
在某些實施例中，產生光束包括使用控制器來產生訊號，例如上面關於蒸氣防護罩替換系統100和圖1A、1B討論的控制器160。在某些實施例中，產生光束包括使用製造處理系統來產生訊號。 在某些實施例中，產生光束包括使用LSA系統產生訊號。
在某些實施例中，產生光束包括將光束導引至物體，例如上面關於蒸氣防護罩替換系統100和圖1A、1B討論的物體100OBJ。在某些實施例中，產生光束包括將光束導引至基板上，例如作為製造過程的一部分的半導體晶片的基板。在某些實施例中，產生光束包括在導引雷射光束至一基板，例如作為雷射退火處理的一部分半導體晶片的基板。
在步驟530中，由光學感測器接收已從物體發射和/或反射之後並穿過第一蒸氣防護罩的光。在某些實施例中，利用光學感測器接收光包括使用光學感測器124接收光，例如光123，如上面關於蒸氣防護罩替換系統100和圖1A和1B討論的。
在某些實施例中，由光學感測器接收光包括接收已經通過多防護板的蒸氣防護罩的光。在某些實施例中，由光學感測器接收光包括接收已經通過多防護板130的蒸氣防護罩134的光，如上面關於蒸氣防護罩替換系統100和圖1A和1B討論的。
在某些實施例中，由光學感測器接收光包括接收已經通過多防護板230的蒸氣防護罩234的光，如上面關於圖2A和2B討論的。在某些實施例中，由光學感測器接收光包括接收已經通過多防護板330的蒸氣防護罩334的光，如上面關於圖3A和3B討論的。在某些實施例中，由光學感測器接收光包括接收已經通過多防護板430的蒸氣防護罩434的光，如上面關於圖4A和4B討論的。
在某些實施例中，由光學感測器接收光包括接收作為製造過程的一部分的光。在某些實施例中，由光學感測器接收光包括接收作為退火處理的溫度反饋迴路的一部分的光。
在某些實施例中，由光學感測器接收光包括產生指示所接收的光的強度的訊號。在某些實施例中，由光學感測器接收光包括產生訊號124S，如上面關於蒸氣防護罩替換系統100和圖1A和1B討論的。
在步驟540中，根據接收到的光判斷第一蒸氣防護罩否被塗佈。在某些實施例中，判斷第一蒸氣防護罩是否被塗佈包括利用控制器160判斷第一蒸氣防護罩是否被塗佈，如上面關於蒸氣防護罩替換系統100和圖1A和1B討論的。
在某些實施例中，判斷第一蒸氣防護罩是否已被塗佈包括將接收到的光的強度與臨界值進行比較。在某些實施例中，判斷第一蒸氣防護罩是否已被塗佈包括將接收到的光的強度與實驗確定的臨界值進行比較。
在某些實施例中，判斷第一蒸氣防護罩是否已被塗佈包括將接收到的光的強度導出的值與臨界值進行比較。在某些實施例中，判斷第一蒸氣防護罩是否已被塗佈包括將接收到的光的強度導出的退火溫度值與臨界值進行比較。
在某些實施例中，判斷第一蒸氣防護罩是否已被塗佈包括根據接收到的光的強度低於臨界值而確定第一蒸氣防護罩已被塗佈。在某些實施例中，判斷第一蒸氣防護罩是否被塗佈包括根據所接收的光的強度導出的值高於臨界而判斷第一蒸氣防護罩已經被塗佈。
在某些實施例中，判斷第一蒸氣防護罩是否已被塗佈包括根據所接收的光的強度導出的值低於臨界值而確定第一蒸氣防護罩已被塗佈。在某些實施例中，判斷第一蒸氣防護罩是否被塗佈包括根據接收到的光的強度導出的退火溫度值低於臨界值。
在某些實施例中，判斷第一蒸氣防護罩是否已被塗佈包括從儲存媒介（例如電腦可讀取儲存媒介604）中取得一臨界值，例如一個或多個臨界值620，下面將參照系統600和圖6進行討論。在某些實施例中，判斷第一蒸氣防護罩是否已經被塗佈包括接收來自使用者介面的臨界值，例如I/O介面610（輸入/輸出介面610），下面將參照系統600和圖6進行討論。
在步驟550中，如果判斷第一蒸氣防護罩已經被塗佈，則第一蒸氣防護罩被替換為第二蒸氣防護罩。在某些實施例中，以第二蒸氣防護罩替換第一蒸氣防護罩包括以第二蒸氣防護罩134替換第一蒸氣防護罩134，如上面關於蒸氣防護罩替換系統100和圖1A、1B討論的。
在某些實施例中，以第二蒸氣防護罩替換第一蒸氣防護罩包括用多防護板230的第二蒸氣防護罩234替換第一蒸氣防護罩234，如上面關於圖2A、2B討論的。在某些實施例中，以第二蒸氣防護罩替換第一蒸氣防護罩包括用多防護板330的第二蒸氣防護罩334替換第一蒸氣防護罩334，如上面關於圖3A、3B討論的。在某些實施例中，以第二蒸氣防護罩替換第一蒸氣防護罩包括用多防護板430的第二蒸氣防護罩434替換第一蒸氣防護罩434，如上面關於圖4A、4B討論的。
在某些實施例中，以第二蒸氣防護罩替換第一蒸氣防護罩包括將第一蒸氣防護罩從光學感測器下方的位置移開，並且同時將第二蒸氣防護罩移動到該位置。在某些實施例中，以第二蒸氣防護罩替換第一蒸氣防護罩包括將第一蒸氣罩從光學感測器124下方的位置移開，並且同時將第二蒸氣防護罩移動到光學感測器124下方的位置，如上面關於蒸氣防護罩替換系統100和圖1A、1B討論的。
在某些實施例中，以第二蒸氣防護罩替換第一蒸氣防護罩包括旋轉可旋轉的平板。在某些實施例中，以第二蒸氣防護罩替換第一蒸氣防護罩包括旋轉多防護板130，如上面關於蒸氣防護罩替換系統100和圖1A、1B討論的。
在某些實施例中，以第二蒸氣防護罩替換第一蒸氣防護罩包括旋轉多防護板230，如上面關於圖2A、2B討論的。在某些實施例中，以第二蒸氣防護罩替換第一蒸氣防護罩包括旋轉多防護板330，如上面關於圖3A、3B討論的。
在某些實施例中，以第二蒸氣防護罩替換第一蒸氣防護罩包括用步進馬達旋轉可旋轉平板。在某些實施例中，以第二蒸氣防護罩替換第一蒸氣防護罩包括使用致動裝置150旋轉可旋轉平板，如上面關於蒸氣防護罩替換系統100和圖1A、1B討論的。
在某些實施例中，以第二蒸氣防護罩替換第一蒸氣防護罩包括產生訊號。在某些實施例中，以第二蒸氣防護罩替換第一蒸氣防護罩包括使用控制器160產生一個或多個控制訊號160S，如上面關於蒸氣防護罩替換系統100和圖1A、1B討論的。
在某些實施例中，以第二蒸氣防護罩替換第一蒸氣防護罩包括產生一包含第二蒸氣防護罩相對於第一蒸氣防護罩的定位訊息的訊號。在某些實施例中，以第二蒸氣防護罩替換第一蒸氣防護罩包括從儲存媒介（例如儲存媒介604）中取得定位訊息，例如定位訊息622，如上面關於蒸氣防護罩替換系統600和圖6討論的。
在某些實施例中，以第二蒸氣防護罩替換第一蒸氣防護罩包括接收來自使用者介面的定位訊息，例如I/O介面610，如上面關於蒸氣防護罩替換系統600和圖6討論的。
在某些實施例中，以第二蒸氣防護罩替換第一蒸氣防護罩包括將訊號傳送給使用者介面，例如I/O介面610，如上面關於蒸氣防護罩替換系統600和圖6討論的。
在某些實施例中，以第二蒸氣防護罩替換第一蒸氣防護罩包括從多防護板移除塗佈的蒸氣防護罩。並用多防護板中的未塗佈的蒸氣防護罩替換塗佈的蒸氣防護罩。
在步驟560中，在某些實施例中，以第二多防護板替換第一多防護板。在某些實施例中，以第二多防護板替換第一多防護板包括第一多防護板的每個蒸氣防護罩藉由步驟540判斷第一多防護板的每個蒸氣防護罩已被塗佈。
在某些實施例中，以第二多防護板替換第一多防護板包括以第二多防護板130替換第一多防護板130，如上面關於蒸氣防護罩替換系統100和圖1A、1B討論的。
在某些實施例中，以第二多防護板替換第一多防護板包括以第二多防護板230替換第一多防護板230，如上面關於圖2A、2B討論的。在某些實施例中，以第二多防護板替換第一多防護板包括以第二多防護板330替換第一多防護板330，如上面關於圖3A、3B討論的。在某些實施例中，以第二多防護板替換第一多防護板包括以第二多防護板430替換第一多防護板430，如上面關於圖4A、4B討論的。
執行方法500的步驟可根據由光學感測器接收到的光來判斷給定的蒸氣防護罩是否被塗佈，並且根據對應於傳送使用者的蒸氣塗佈訊息的該判斷結果，使未塗佈的蒸氣防護罩自動地或手動地替換已塗佈的蒸氣防護罩。
與根據被塗佈的蒸氣防護罩的基於光的判斷而不替換塗佈的蒸氣防護罩的系統相比，方法500有助於防止蒸氣防護罩塗層高於預定厚度。在方法500與製程整合的實施例中，防止蒸氣防護罩塗層高於預定厚度減少了作為反饋的光的變化引起的製程誤差，從而增加了良率。
在方法500與雷射退火處理整合的實施例中，防止蒸氣防護罩塗層高於預定厚度減少了作為控制退火處理的溫度的反饋迴路的一部分的光變化引起的製程誤差。在某些實施例中，光的強度對應於光束控制的退火溫度，並且防止蒸氣防護罩塗層高於預定厚度減少了由於光強度降低而升高的退火溫度所引起的誤差。
在某些實施例中，使用方法500防止蒸氣防護罩塗層超過預定厚度減少了由塗層釋放的顆粒引起的一些製造缺陷。
與根據被塗佈的蒸氣防護罩的基於光的判斷而不替換塗佈的蒸氣防護罩的系統相比，方法500避免了操作人員或技術人員手動判斷蒸氣防護罩被塗佈所需的時間。在方法500中，以未塗佈的蒸氣防護罩自動替換塗佈的蒸氣防護罩的實施例中，與以未塗佈的蒸氣防護罩手動替換塗佈的蒸氣防護罩的方法相比，減少了系統停機時間和操作者時間。
透過包括使用多防護板的操作，與根據具有單個蒸氣防護罩的板的方法相比，方法500降低了板替換的頻率。因此，在蒸氣防護罩替換中，板更換所需的系統停機時間和操作員時間都減少了。
圖6是根據某些實施例的用於控制蒸氣防護罩的替換的系統600的示意圖。在某些實施例中，系統600是晶片處理系統的一部分。在某些實施例中，系統600是LSA系統的一部分。
系統600包括硬體處理器602和非暫時性電腦可讀取儲存媒介604，其中非暫時性電腦可讀取儲存媒介604為以電腦程式指令606（即一組可執行指令）編碼（即儲存）。指令606包括判斷蒸氣防護罩塗佈和替換塗佈的蒸氣防護罩的指令。處理器602經由匯流排608與電腦可讀取儲存媒介604電性耦接。處理器602還通過匯流排608與I/O介面610電性耦接。網路介面612也經由匯流排608電性連接到處理器602。網路介面612連接到網路614，使得處理器602和電腦可讀取儲存媒介604能夠經由網路614連接到外部元件。處理器602用以執行編碼在電腦可讀取儲存媒介604中的電腦程式指令606，以便使系統600可用於執行如方法500中所述的部分或全部操作步驟。
在某些實施例中，處理器602為中央處理單元（CPU）、多處理器、分佈式處理系統、特殊應用積體電路（ASIC）和/或合適的處理單元。
在某些實施例中，電腦可讀取儲存媒介604為以非暫時性方式儲存指令和/或數據的電子的、磁性的、光學的、電磁的、紅外和/或半導體系統（或裝置或設備）。例如，電腦可讀取儲存媒介604包括半導體或固態儲存器、磁帶、可移動電腦磁碟、隨機存取記憶體（RAM）、唯讀記憶體（ROM）、硬磁碟和/或光碟。在使用光盤的某些實施例中，電腦可讀取儲存媒介604包括光碟唯讀記憶體（CD-ROM）、光碟讀取/寫入（CD-R/W）和/或數位影音光碟機（DVD）。
在某些實施例中，電腦可讀取儲存媒介604儲存用以使系統600執行方法500的一部分或全部的電腦程式指令606。在某些實施例中，電腦可讀取儲存媒介604還儲存執行方法500所需的訊息以及在執行方法500期間產生的訊息，例如一個或多個臨界值620、定位訊息622和/或執行方法500的一個或多個操作步驟的一組可執行指令。
I/O介面610與外部電路耦接。在某些實施例中，I/O介面610包括用以向處理器602傳送訊息和/或命令的鍵盤、按鍵、滑鼠、軌跡球、觸控板和/或游標方向鍵。在某些實施例中，I/O介面610包括用以傳送來自處理器602的訊息的顯示器、訊號燈和/或音頻設備。
網路介面612允許系統600與一個或多個其他計算機系統連接到的網路614進行通訊。網路介面612包括無線網路介面或有線網路介面，無線網路介面例如藍牙、WIFI、WIMAX、GPRS或WCDMA，有線網路介面例如ETHERNET、USB或IEEE-1394。在某些實施例中，方法500在兩個或更多個系統600中實現，並且透過網路614在不同的系統600之間交換訊息，例如一個或更多個臨界值620和/或定位訊息622。
系統600用以接收與判斷蒸氣防護罩塗佈和替換塗佈的蒸氣防護罩有關的訊息。該訊息經由匯流排608被傳送到處理器602，然後該訊息儲存在電腦可讀取儲存媒介604中以作為一個或多個臨界值620和/或定位訊息622。在某些實施例中，在步驟540（圖5）中，一個或多個臨界值620被存取。在某些實施例中，在步驟550（圖5）中，定位訊息622被存取。
透過設置成可執行方法500的一部分或全部，系統600能夠實現上述關於蒸氣防護罩替換系統100、方法500以及圖1A-5所討論的優點。
在某些實施例中，多防護板包括具有大致上平坦的上表面和大致上平坦的下表面的平板、以及形成在平板中並且從上表面延伸穿過平板到下表面的多個窗口。多個蒸氣防護罩安裝在平平板上，且多個蒸氣防護罩中的每個蒸氣防護罩用以防止蒸氣通過多個窗口的對應窗口。在平板中形成的開孔與沿著對應於上表面的軸線的多個窗口中的第一窗口對齊。
在某些實施例中，系統包括用以支撐物體的平台、用以將光束導引到物體的光源、位在平台上方且用以偵測因應光束而從物體發射和/或反射的光的光學感測器以及多防護板。多防護板包括具有大致上平坦的上表面和大致上平坦的下表面的平板、形成在平板中且從上表面延伸穿過平板到下表面的多個窗口、以及安裝在平板上的多個蒸氣防護罩，所述多個蒸氣防護罩中的每個蒸氣防護罩用以防止蒸氣通過多個窗口中的對應窗口。該系統還包括機械耦接到多防護板的致動裝置以及與致動裝置通訊耦接的控制器。控制器用以根據偵測到的光來判斷沿著光學感測器和平台之間的光路徑的位置中的多個蒸氣防護罩的第一蒸氣防護罩是否被塗佈，且如果判斷第一蒸氣防護罩為已經被塗佈，導致致動裝置以多個蒸氣防護罩中的第二蒸氣防護罩替換多個蒸氣防護罩中的第一蒸氣防護罩。
在某些實施例中，替換蒸氣防護罩的方法包括用光學感測器接收光（光在從物體發射和/或反射之後通過光路徑上的第一蒸氣防護罩）、根據接收到的光判斷第一蒸氣防護罩是否已經被塗佈、且如果判斷第一蒸氣防護罩已經被塗佈，則以第二蒸氣防護罩替換第一蒸氣防護罩。
前述實施例中描述之諸特徵可使發明所屬領域中具有通常知識者便於理解本說明書之實施態樣，並可利用本說明書為實現相同目的及/或達成相同功效，設計或改進其他製造程序或裝置結構。發明所屬領域中具有通常知識者亦應理解此些均等手法並非脫逸於本說明書所含要旨與範圍之外，且其可在本說明書所含要旨與範圍之內進行變更、置換及改造。
100‧‧‧蒸氣防護罩替換系統
120‧‧‧量測模組
130、230、330、430‧‧‧多防護板
140‧‧‧導引件
150‧‧‧致動裝置
160‧‧‧控制器
100OBJ‧‧‧物體
100C‧‧‧塗層
100V‧‧‧蒸氣
100T‧‧‧厚度
100G‧‧‧間隙
110‧‧‧平台
111‧‧‧上表面
121‧‧‧光束
122‧‧‧光源
122S、124S‧‧‧訊號
123‧‧‧光
124‧‧‧光學感測器
125‧‧‧通訊連結
126‧‧‧通訊模組
130PL、230PL、330PL、430PL‧‧‧平板
130L、230L、330L、430L‧‧‧下表面
130P、230P、330P‧‧‧周圍
130U、230U、330U、430U‧‧‧上表面
132、232、332、432‧‧‧窗口
134、234、334、434‧‧‧蒸氣防護罩
134S‧‧‧下表面
136、236、336、436‧‧‧開孔
152‧‧‧軸
155‧‧‧通訊連結
160S‧‧‧控制訊號
A-A'、B-B'、C'-C、D'-D‧‧‧橫截線
230A、330A、430A‧‧‧軸線
500‧‧‧控制蒸氣防護罩替換的方法
510-560‧‧‧控制蒸氣防護罩替換的方法之流程步驟
610‧‧‧I/O介面
602‧‧‧處理器
612‧‧‧網路介面
614‧‧‧網路
608‧‧‧匯流排
604‧‧‧電腦可讀取儲存媒介
606‧‧‧電腦程式指令
620‧‧‧臨界值
622‧‧‧定位訊息
本發明實施例之各實施態樣可藉一併參照下列實施方式段落內容及各圖式理解。請注意，為了便於說明或符合業界實務，圖中顯示的特徵可能並非以精確比例繪示，或其尺寸可能並非精準，可以是隨意的增加或減少以方便討論。本發明實施例所附圖式說明如下： [圖1A至1B]顯示根據本發明某些實施例之蒸氣防護罩替換系統之示意圖； [圖2A至2B]顯示根據本發明某些實施例之多防護板之示意圖； [圖3A至3B]顯示根據本發明某些實施例之多防護板之示意圖； [圖4A至4B]顯示根據本發明某些實施例之多防護板之示意圖； [圖5]顯示根據本發明某些實施例之替換蒸氣防護罩方法流程圖；以及 [圖6]顯示根據本發明某些實施例之控制替換蒸氣防護罩的系統之方塊圖。

Claims (1)

  1. 一多防護板，包括： 一平板，該平板具有一大致上平坦的上表面及一大致上平坦的下表面； 複數個窗口，該些窗口形成於該平板中且從該上表面延伸通過該平板至該下表面； 複數個蒸氣防護罩，該些蒸氣防護罩設置於該平板上且該些蒸氣防護罩的每一個蒸氣防護罩用以防止一蒸氣通過該些窗口的一對應窗口；及 一開孔，該開孔形成於該平板中，且該開孔沿著一對應至該上表面的軸線對齊該些窗口中的一第一窗口。
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