TW201732178A - 流體控制器 - Google Patents

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Ichiro Tokuda
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Fujikin Kk
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Abstract

提供一種可降低成本及提升性能的流體控制器。以手動或自動方式被移動而令閥盤9移動的移動構件12、13係作成筒狀，且具有嵌合於閥盤9外周的嵌合部13a。閥盤9設有突緣部9c，而筒狀的移動構件12、13之下端部則設有從上方抵接於閥盤9之突緣部9c的突緣部35。

Description

流體控制器
本發明係關於具備手動閥及自動閥兩種功能或任一種功能的流體控制器。
作為流體控制器，下述的構造已為眾所周知，其具備：隔膜，進行移動，俾開閉流體通路；隔膜壓件，使前述隔膜移動至將前述流體通路設為關閉狀態的關閉位置與將前述流體通路設為開啟狀態的開啟位置；閥盤，在其端部保持前述隔膜壓件；及移動構件，以手動或自動方式使前述閥盤移動至前述關閉位置或前述開啟位置。
若依專利文獻1的流體控制器，因可以該流體控制器取代既有之由自動閥及手動閥所構成的開閉機構，故可獲得大幅減少設置所需成本及空間的效果。
專利文獻1的構造中，係使用桿狀體(手動開閉用)及筒狀體(自動開閉用)作為移動構件(上下移動構件)，任一種移動構件都是以其端部(下端部)推壓閥盤的相同面(上面)。
[先前技術文獻] [專利文獻]
[專利文獻1]日本特開第3752586號公報
上述專利文獻1的流體控制器中，除了可取代既有的由自動閥及手動閥所構成的開閉機構的效果外，還可謀求進一步降低成本及提升性能。
此處，在以筒狀體下端部推壓閥盤上面的上述專利文獻1之控制器中，因推壓部等需要高度的加工精確度，故為了獲致精確度而需要耗費時間，從而期望能縮短其加工時間。而且，更進一步的成本降低及性能提升也是其課題。
傳統技術中，即使盡可能地在高度加工精確度的狀態下製作閥盤，惟若從移動構件所接觸的閥盤上面經由隔膜壓件至與隔膜接觸面有距離時，閥盤的加工精確度稍有誤差，就會對推壓力有很大影響。再者，藉筒狀體式移動構件推壓閥盤的上面時，若因加工精確度等而使筒狀體之端部與閥盤上面的接觸有偏倚，則偏倚的推壓力會作用在閥盤上，形成猶如施加使閥盤傾斜的推壓力。閥盤雖可透過經由隔膜壓件將隔膜向閥座推壓以阻止流體的流動，但若閥盤傾斜，則向隔膜施加的推壓力將會變得不均一，使推壓閥座的力量無法一致，從而產生流體從閥座漏出的可能性。因此，筒狀體及閥盤的形狀或配置等需要高度的精確度。再者，因例如殼體或移動構件一般係以切削加工製造，故要求能夠降低切 削加工時的加工成本。
即使是僅具有手動閥或自動閥等任一種功能的流體控制器，因有使用筒狀移動構件的情形，所以該流體控制器也有和上述專利文獻1相同的課題。
本發明之目的即在提供可降低成本及提升性能的流體控制器。
本發明的流體控制器係具備：隔膜，進行移動，俾開閉流體通路；隔膜壓件，使前述隔膜移動在前述流體通路呈關閉狀態的關閉位置及前述流體通路呈開啟狀態的開啟位置；閥盤，在端部保持前述隔膜壓件；及移動構件，以手動或自動方式將前述閥盤移動至關閉位置或開啟位置，其特徵在：前述移動構件具有嵌合於前述閥盤之外周的筒狀嵌合部，在前述閥盤的一部分設有在前述移動構件移動時供前述移動構件之端部抵接的突緣部。
流體控制器可為自動閥，也可為手動閥，也可為兼具自動閥與手動閥的構造。流體控制器具有自動閥功能的情況中，流體控制器可為自動開閉手段OFF時使流體通路開放的常開型，也可為自動開閉手段OFF時使流體通路關閉的常閉型。
閥盤係採用具有圓柱狀部及突緣部的組件，筒狀移動構件並非推壓閥盤的圓柱狀部，而是推壓閥盤的突緣部。突緣部可和圓柱狀部形成一體，也可為各別件體。藉此設計，透過從移動構件至隔膜的距離縮短， 即可減少閥盤的傾斜，並提升精確度，使達到精確度所耗費的時間縮短，故而可降低成本及提升性能。
較佳為，使前述移動構件移動的移動手段係為自動移動手段，其係藉由向形成在殼體內的壓縮流體導入室內導入或排出壓縮流體而移動，前述殼體具備第一殼體、及和前述第一殼體作成各別構件的第二殼體，前述殼體內形成有藉由對向板(counterplate)區隔的第一缸體部與第二缸體部，前述自動移動手段具有：第一活塞，受前述第一缸體部引導且和前述筒狀移動構件呈一體移動；及第二活塞，受前述第二缸體部引導且和前述筒狀移動構件呈一體移動，前述對向板設有第一螺紋部及第二螺紋部，且使前述第一螺紋部螺合於前述第一殼體，前述第二螺紋部螺合於前述第二殼體。
第一缸體部及第二缸體部雖是藉由在第一殼體設置凹部而形成，但若該凹部太深，則在切削加工時會產生深度加工的必要，因此使加工成本對應增大。藉由在對向板的兩側設置螺紋部，且將對向板使用作為第一殼體和第二殼體的結合構件，第一殼體的長度即得以縮短，亦即，可使第一殼體的凹部淺化，因而可減少加工深度，進而可降低成本。
較佳為，前述移動構件係由具有前述嵌合部的第二筒狀體、及和前述第二筒狀體作成各別構件的第一筒狀體所組成，而前述第一活塞及前述第二活塞皆和前述移動構件作成各別構件。
若依此構成，以切削加工製得筒狀移動構件時，素 材的口徑可以縮小，藉此效應，可減少加工量，故材料成本及加工成本兩者均可減少。
較佳為，再具備以手動方式移動前述閥盤的手動移動手段，前述手動移動手段則具備藉由以手動操作使之移動而將前述閥盤向一方推壓的桿狀移動構件，前述桿狀移動構件係藉由手動操作而移動至端部將前述閥盤之頂面中央部向一方推壓的不能自動開閉位置、及端部離開前述閥盤之頂面中央部的可自動開閉位置，而前述筒狀移動構件係可相對移動地嵌合在前述桿狀移動構件，並藉前述彈性構件賦予勢能而移動至將前述閥盤向一方推壓的關閉位置、及藉前述自動移動手段使端部離開前述閥盤之突緣的開啟位置，且在前述筒狀移動構件處於開啟位置時，可將前述桿狀移動構件移動至關閉位置的緊急時關閉狀態。
若依此構成，桿狀移動構件可進行操作，不受從自動移動手段作用於筒狀移動構件之力量的影響，可獲得構成簡約緊湊且可以自動及手動操作的流體控制器(隔膜閥)。
另外，隔膜可藉本身的彈力以自力移動至關閉位置或開啟位置，也可藉流體壓力等他力移動至關閉位置或開啟位置。
依本發明的流體控制器，藉由使從移動構件至隔膜的距離縮短，可以減少閥盤的傾斜，並可藉此提高精確度，及縮短達到精確度所耗費的時間，故可進而 降低成本及提升性能。
1‧‧‧流體控制器
2‧‧‧閥箱
2a、2b‧‧‧流體通路
3‧‧‧環狀閥座
4‧‧‧隔膜
5‧‧‧隔膜壓件
6‧‧‧隔膜保持環
7‧‧‧閥帽
7a‧‧‧環狀凹部
8‧‧‧公螺紋構件
9‧‧‧閥盤
9a‧‧‧圓柱狀部
9b‧‧‧大徑突緣部
9c‧‧‧小徑突緣部(突緣部)
10‧‧‧殼體
11‧‧‧桿狀體(桿狀移動構件)
12‧‧‧上側筒狀體(筒狀移動構件)
13‧‧‧下側筒狀體(筒狀移動構件)
13a‧‧‧嵌合部
14‧‧‧上側活塞(第一活塞)
15‧‧‧下側活塞(第二活塞)
16‧‧‧壓縮線圈彈簧(彈性構件)
17‧‧‧對向板
18‧‧‧操作把手
21‧‧‧上側殼體(第一殼體)
22‧‧‧下側殼體(第二殼體)
23‧‧‧上側缸體部(第一缸體部)
24‧‧‧下側缸體部(第二缸體部)
25‧‧‧上側螺紋部(第一螺紋部)
26‧‧‧下側螺紋部(第二螺紋部)
27、28‧‧‧壓縮流體導入室
29‧‧‧內部通路
30‧‧‧外部通路
31‧‧‧上側貫通孔
32‧‧‧下側貫通孔
33‧‧‧公螺紋部
34‧‧‧突緣部
35‧‧‧突緣部
圖1為本發明流體控制器一實施形態的縱剖面圖，其係顯示不能自動開閉狀態。
圖2為圖1(顯示不能自動開閉狀態)的要點部分放大圖。
圖3為可自動開閉狀態的關閉狀態的要點部分放大圖。
圖4為可自動開閉狀態的開啟狀態的要點部分放大圖。
圖5為緊急時關閉狀態的要點部分放大圖。
[實施發明之形態]
以下參照附圖說明本發明的實施形態。以下的說明中，上下及左右為圖式的左右。該上下為權宜性設定，實際設置時，可上下顛倒，也可使上下朝向水平。另外，為了容易瞭解附圖，O型環等密封構件的圖示已予省略。
圖1至圖5係顯示本發明流體控制器之一實施形態。因該流體控制器具有自動閥功能及手動閥功能等兩種功能，因此，具有自動閥功能用筒狀移動構件及手動閥功能用桿狀移動構件，圖1及圖2係顯示作為筒狀移動構件的上側及下側筒狀體(12)(13)與作為桿狀移動構件的桿狀體(11)皆處在關閉位置的不能自動開閉狀態； 圖3則顯示為上側及下側筒狀體(12)(13)處在關閉位置，而桿狀體(11)則處在開啟位置的可自動開閉狀態的關閉狀態；圖4為顯示桿狀體(11)處在開啟位置，而上側及下側筒狀體(12)(13)也處在開啟位置的可自動開閉狀態的開啟狀態；圖5則顯示上側及下側筒狀體(12)(13)處在開啟位置時，但使桿狀體(11)移動至關閉位置的緊急時關閉狀態。
流體控制器(1)係如圖1所示，具備：閥箱(2)，具有流體流入通路(2a)及流體流出通路(2b)；環狀閥座(3)，設在流體流入通路(2a)之向上開口的周緣；隔膜(4)，以向環狀閥座(3)推壓(朝閉合方向移動)或離開環狀閥座(3)(朝開啟方向移動)俾開閉流體流入通路(2a)的方式移動；可上下移動型隔膜壓件(5)，用以壓住隔膜(4)的中央部；隔膜保持環(6)，用以按住隔膜(4)的外周緣部；圓筒狀閥帽(7)，下端部插入形成在閥箱(2)的凹部並向上方延伸；筒狀公螺紋構件(8)，螺合在閥箱(2)的凹部俾將閥帽(7)固定於閥箱(2)；閥盤(9)，在下端部保持隔膜壓件(5)；殼體(10)，下端部固定在閥帽(7)的上端部；桿狀體(桿狀移動構件)(11)，設置於殼體(10)內，其下端部係上下移動自如地穿通至閥帽(7)；上側及下側筒狀體(筒狀移動構件)(12)(13)，嵌合成可和桿狀體(11)相對地上下移動；上側及下側活塞(14)(15)；壓縮線圈彈簧(筒狀體賦予勢能用彈性構件)(16)，經由上側活塞(14)將上側及下側筒狀體(12)(13)向下賦予勢能；對向板(17)，在上側活塞(13)的下方，可相對上下移動地嵌合於上側筒狀體(12) ，並固定於殼體(10)；及操作把手(18)，設於桿狀體(11)上端部。
閥盤(9)具有設於圓柱狀部(9a)及圓柱狀部(9a)之下端部的2段突緣部(9b)(9c)，圓柱狀部(9a)的下端部形成有供嵌入隔膜壓件(5)並予固定的凹部。2段突緣部(9b)(9c)係由下側的大徑突緣部(9b)、及設於緊鄰大徑突緣部(9b)之上側的小徑突緣部(9c)所組成。
殼體(10)係由上側殼體(第一殼體)(21)、及和上側殼體(21)作成各別構件且其下端部係固定在閥帽(7)之上端部的下側殼體(第二殼體)(22)所組成。
殼體(10)係藉對向板(17)區隔成上下，依此方式，殼體(10)內即形成有藉對向板(17)區隔的上側缸體部(第一缸體部)(23)、及下側缸體部(第二缸體部)(24)。在上側缸體部(23)中及下側缸體部(24)中分別可上下移動地配設有上側活塞(第一活塞)(14)及下側活塞(第二活塞)(15)。
對向板(17)具有：圓筒狀的上側螺紋部(第一螺紋部)(25)，其係從板狀部分之上面向上方突出，且在外周形成公螺紋；及圓筒狀的下側螺紋部(第二螺紋部)(26)，其係從板狀部分之下面向下方突出，且在內周形成有母螺紋。下側螺紋部(26)之外徑係作成和上側殼體(21)的外徑相等。上側螺紋部(25)的外徑則設成小於下側螺紋部(26)的外徑。
壓縮線圈彈簧(16)係以設於上側殼體(21)之頂壁部分下面的凹部擋止其上端部，其下端部則以設於 上側活塞(13)之上面的凹部加以擋止。
上側殼體(21)之下端部內周形成有螺合於對向板(17)之上側螺紋部(25)的母螺紋，下側殼體(22)之上端部外周形成有螺合於對向板(17)之下側螺紋部(26)的公螺紋。而且，藉由上側殼體(21)和對向板(17)螺合，並且對向板(17)和下側殼體(22)螺合，使上側殼體(21)和下側殼體部(22)形成一體。
傳統製品中，對向板的下端部設有突緣部，且藉由該突緣部嵌合在設於上側殼體內周的階差部，使對向板得以固定。而且，上側缸體部及下側缸體部雖係藉由在上側殼體設置凹部而形成，但若該凹部很深，則在切削加工之際，會有深度加工的需要，因此加工成本相對增大。
相對於該習知製品，本發明藉由在對向板(17)的上下兩側設置螺紋部(25)(26)，並將對向板(17)使用作為上側殼體(21)和下側殼體(22)的結合構件，可使上側殼體(21)的長度縮短，亦即，可使上側殼體(21)的凹部變淺，加工深度得以減少，從而降低成本。
上側缸體部(23)中，上側活塞(14)的下側係作成上側壓縮流體導入室(27)，下側缸體部(24)中，則以下側活塞(15)的下側作為下側壓縮流體導入室(28)。經由設於桿狀體(11)內部的內部通路(29)、車削桿狀體(11)外周面所形成的外部通路(30)、及徑向貫通上筒狀體(11)之上側及下側的貫通孔(31)(32)，即可向這些上側及下側壓縮流體導入室(27)(28)供給壓縮流體。
上側及下側的活塞(14)(15)均和上側及下側筒狀體(12)(13)作成各別構件。上側筒狀體(12)係使其上端部不能相對上下移動地嵌入上側活塞(14)。上側筒狀體(12)的中間部設有從上方抵接下側活塞(15)之上面的突緣(34)。下側筒狀體(13)具有嵌合於閥盤(9)之圓柱狀部(9a)的圓筒狀嵌合部(13a)，而下側筒狀體(13)之下端部係設成從上方抵接於閥盤(9)之小徑突緣部(9c)上面，且下側筒狀體(13)之下端部設有突緣部(35)。
閥帽(7)的內周形成有可上下移動地引導下側筒狀體(13)之突緣部(35)的環狀凹部(引導部)(7a)，閥盤(9)及隔膜壓件(5)可在該環狀凹部(7a)所限制的範圍內順著下側筒狀體(13)上下移動。
上側活塞(14)因壓縮線圈彈簧(16)而被賦予向下勢能，故在上側筒狀體(12)也因壓縮線圈彈簧(16)而被賦予向下勢能，且未導入壓縮空氣的狀態中，其下端部會抵接於下側筒狀體(13)的上面。壓縮線圈彈簧(16)的向下賦予勢能力也經由上側筒狀體(12)的突緣部(34)而作用在下側活塞(15)，使上側活塞(14)、下側活塞(15)、上側筒狀體(12)及下側筒狀體(13)以一體方式上下移動。
經由內部通路(29)、外部通路(30)、上側貫通孔(31)及下側貫通孔(32)而對上側及下側壓縮流體導入室(27)(28)導入壓縮空氣時，上側及下側活塞(14)(15)會因壓縮空氣而往上方移動，且伴隨此一動作，藉由上側筒狀體(12)的突緣部(34)被下側活塞(15)向上方推動，使上側筒狀體(12)和下側活塞(15)以一體方式向上方移動 。藉此作用，下側筒狀體(13)的下端部就從閥盤(9)的上面離開。然後，將下側活塞(15)向上推的壓縮空氣壓力與將上側活塞(14)向上推的壓縮空氣壓力之和與壓縮線圈彈簧(16)的彈力達到對向時，上側及下側筒狀體(12)(13)就會停止。
上側活塞(14)、下側活塞(15)、內部通路(29)、外部通路(30)、上側貫通孔(31)、下側貫通孔(32)、上側壓縮流體導入室(27)、下側壓縮流體導入室(28)等即構成了藉由壓縮流體向壓縮流體導入室(27)(28)內的導入或排出而移動的自動移動手段。
桿狀體(11)的上端部附近形成有和形成在上側殼體(21)的母螺紋部螺合的公螺紋部(33)，連接於公螺紋部(33)之上端部的部分則結合於操作把手(18)。操作把手(18)旋轉時，桿狀體(11)也會旋轉，使該公螺紋部(33)相對於上側殼體(21)的母螺紋部旋轉，令桿狀體(11)一面旋轉一面上下移動。操作把手(18)的可旋轉角度係設在大致90°(90°以上)。
桿狀體(11)、操作把手(18)、公螺紋部(33)、及螺合於公螺紋部(33)的上側殼體(21)之母螺紋部等即構成了以手動方式使閥盤(9)上下移動的手動移動手段。
圖1及屬於其放大圖的圖2的狀態係為作為桿狀移動構件的桿狀體(11)與作為筒狀移動構件的上側及下側筒狀體(12)(13)皆處於關閉位置的不能自動開閉狀態。在此狀態中，壓縮空氣導入上側及下側的壓縮空氣導入室(27)(28)時，雖上側及下側筒狀體(12)(13)會向上 方移動，但因桿狀體(11)會維持在向下方推壓閥盤(9)的狀態，故自動開閉手段所執行的操作開閉無效，即使進行壓縮空氣導入壓縮空氣導入室(27)(28)的開啟操作，從流體流入通路(2a)至流體流出通路(2b)的通路也不會開放，而是保持遮斷狀態。
圖2的狀態中，使操作把手(18)移動到可自動開閉狀態時，作為桿狀移動構件的桿狀體(11)即形成移動至上方的圖3所示狀態。圖3中，位置(狀態)和圖2不同的是操作把手(18)及桿狀體(11)，屬於此外其他構件的上側及下側筒狀體(12)(13)、上側及下側活塞(14)(15)、壓縮線圈彈簧(16)、閥盤(9)、隔膜壓件(5)、及隔膜(4)等則和圖2的狀態保持相同，沒有變化。
圖3的狀態中，壓縮空氣導入至上側及下側壓縮空氣導入室(27)(28)時，會在作為桿狀移動構件的桿狀體(11)保持移動到上方的狀態下變成圖4的狀態。圖4中，位置(狀態)和圖3不同的是上側及下側筒狀體(12)(13)、上側及下側活塞(14)(15)、壓縮線圈彈簧(16)、閥盤(9)、隔膜壓件(5)、以及隔膜(4)。上側及下側筒狀體(12)(13)與上側及下側活塞(14)(15)會因導入至上側及下側壓縮空氣導入室(27)(28)的壓縮空氣而抗拒壓縮線圈彈簧(16)的彈力向上方移動，且伴隨此一動作，使壓縮線圈彈簧(16)被壓縮，並且跟隨閥盤(9)使向下推壓隔膜壓件(5)及隔膜(4)的力量消除，隔膜(4)則藉隔膜(4)的復原力或流體流入通路(2a)內的流體壓力而朝開啟方向移動，使從流體流入通路(2a)到流體流出通路(2b)的通路開放。
在圖4的流體通路開啟狀態中，若使操作把手(18)向不能自動開閉位置移動，則作為筒狀移動構件的桿狀體(11)會變成移動至下方的圖5所示狀態。圖5中，位置(狀態)和圖4不同的是操作把手(18)及桿狀體(11)，屬於其他構件的上側及下側筒狀體(12)(13)、上側及下側活塞(14)(15)、壓縮線圈彈簧(16)、閥盤(9)、隔膜壓件(5)、及隔膜(4)等則和圖4的狀態保持相同，沒有變化。在該狀態中，上側及下側筒狀體(12)(13)雖處於流路開啟的狀態，但藉由以手動方式將桿狀體(11)向下方移動，可獲得流路關閉的狀態。
亦即，在緊急時，可用手動操作使閥箱(2)內的流體通路(2a)遮斷。該遮斷的作用並非藉彈簧達成，而是藉鎖緊螺紋(33)來進行，故即使流體通路(2a)的壓力為例如3500psi的高壓，也能確實的遮斷。另外，圖5係和圖2中導入壓縮空氣的狀態相同，圖5中，位置(狀態)和圖2不同的是上側及下側筒狀體(12)(13)、上側及下側活塞(14)(15)、壓縮線圈彈簧(16)、閥盤(9)及隔膜壓件(5)、以及隔膜(4)。
依上述的流體控制器(1)，則在圖2至圖5的狀態變化中，因下側筒狀體(13)會在其嵌合部(13a)嵌合於閥盤(9)，並且推壓閥盤(9)的小徑突緣部(9c)，故藉由下側筒狀體(13)至隔膜之距離的縮短，得以防止移動構件設成筒狀時的閥盤(9)傾斜。再者，縱使閥盤(9)因筒狀體(13)之加工精確度的影響而受到不均勻的推壓力，而有使閥盤(9)傾斜的力量加諸其上，但因閥盤(9)係嵌合在嵌 合部(13a)，故閥盤(9)不會傾斜，而可藉此將均勻的推壓力施加於隔膜(4)，使隔膜(4)對閥座(3)施加均勻的推壓力。由於這些效應，和藉筒狀移動構件推壓閥盤(9)之上面的習知製品相比，本發明因精確度提升，且達到精確度所耗費的時間可以縮短，故可獲致降低成本及性能提升。
再者，藉由上側及下側活塞(14)(15)均和上側及下側筒狀體(12)(13)作成各別構件，相較於將活塞一體設置的筒狀體，在以切削方式獲得筒狀體(12)(13)時，可縮小素材的口徑，藉此效應，因可減少加工量，故材料成本及加工成本兩者皆可降低。另外，雖上側及下側筒狀體(12)(13)係作成各別構件，也可採取使用一體式筒狀構件的構造。
再者，筒狀移動構件只要是能推壓閥盤(9)的突緣部(9c)，且桿狀移動構件可進行動作而不受筒狀移動構件影響的構造即可，例如亦可為剖面呈ㄈ字形的局部缺口型筒狀構造。
[產業上之可利用性]
若依本發明，對具備手動閥及自動閥兩者功能或任一功能的流體控制器之性能提升可大有助益。
1‧‧‧流體控制器
2‧‧‧閥箱
2a、2b‧‧‧流體通路
3‧‧‧環狀閥座
4‧‧‧隔膜
5‧‧‧隔膜壓件
6‧‧‧隔膜保持環
7‧‧‧閥帽
7a‧‧‧環狀凹部
8‧‧‧公螺紋構件
9‧‧‧閥盤
9a‧‧‧圓柱狀部
9b‧‧‧大徑突緣部
9c‧‧‧小徑突緣部
10‧‧‧殼體
11‧‧‧桿狀體
12‧‧‧上側筒狀體
13‧‧‧下側筒狀體
13a‧‧‧嵌合部
14‧‧‧上側活塞
15‧‧‧下側活塞
16‧‧‧壓縮線圈彈簧
17‧‧‧對向板
18‧‧‧操作把手
21‧‧‧上側殼體
22‧‧‧下側殼體
23‧‧‧上側缸體部
24‧‧‧下側缸體部
25‧‧‧上側螺紋部
26‧‧‧下側螺紋部
27、28‧‧‧壓縮流體導入室
29‧‧‧內部通路
30‧‧‧外部通路
31‧‧‧上側貫通孔
32‧‧‧下側貫通孔
33‧‧‧公螺紋部
34‧‧‧突緣部
35‧‧‧突緣部

Claims (4)

  1. 一種流體控制器，具備：隔膜，進行移動，俾開閉流體通路；隔膜壓件，使前述隔膜移動在前述流體通路呈關閉狀態的關閉位置及前述流體通路呈開啟狀態的開啟位置；閥盤，在端部保持前述隔膜壓件；及移動構件，以手動或自動方式將前述閥盤移動至關閉位置或開啟位置，其特徵在：前述移動構件具有嵌合於前述閥盤之外周的筒狀嵌合部，在前述閥盤的一部分設有在前述移動構件移動時供前述移動構件之端部抵接的突緣部。
  2. 如請求項1之流體控制器，其中，使前述移動構件移動的移動手段係為自動移動手段，其係藉由向形成在殼體內的壓縮流體導入室內導入或排出壓縮流體而移動，前述殼體具備第一殼體、及和前述第一殼體作成各別構件的第二殼體，前述殼體內形成有藉由對向板區隔的第一缸體部與第二缸體部，前述自動移動手段具有：第一活塞，受前述第一缸體部引導且和前述筒狀移動構件呈一體移動；及第二活塞，受前述第二缸體部引導且和前述筒狀移動構件呈一體移動， 前述對向板設有第一螺紋部及第二螺紋部，且使前述第一螺紋部螺合於前述第一殼體，前述第二螺紋部螺合於前述第二殼體。
  3. 如請求項2之流體控制器，其中，前述移動構件係由具有前述嵌合部的第二筒狀體、及和前述第二筒狀體作成各別構件的第一筒狀體所組成，前述第一活塞及前述第二活塞皆和前述移動構件作成各別構件。
  4. 如請求項1至3項中任一項之流體控制器，其中，再具備以手動方式移動前述閥盤的手動移動手段，前述手動移動手段則具備藉由以手動操作使之移動而將前述閥盤向一方推壓的桿狀移動構件，前述桿狀移動構件係藉由手動操作而移動至端部將前述閥盤之頂面中央部向一方推壓的不能自動開閉位置、及端部離開前述閥盤之頂面中央部的可自動開閉位置，而前述筒狀移動構件係可相對移動地嵌合在前述桿狀移動構件，並藉前述彈性構件賦予勢能而移動至將前述閥盤向一方推壓的關閉位置、及藉前述自動移動手段使端部離開前述閥盤之突緣的開啟位置，且在前述筒狀移動構件處於開啟位置時，可將前述桿狀移動構件移動至關閉位置的緊急時關閉狀態。
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Families Citing this family (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP7475631B2 (ja) * 2017-11-24 2024-04-30 株式会社フジキン バルブ装置およびその制御装置を用いた制御方法、流体制御装置および半導体製造装置
JP7227770B2 (ja) * 2019-01-11 2023-02-22 Ckd株式会社 複合弁
US11598430B2 (en) * 2019-01-31 2023-03-07 Fujikin Incorporated Valve device, flow rate control method, fluid control device, semiconductor manufacturing method, and semiconductor manufacturing apparatus using the valve device
WO2023281870A1 (ja) * 2021-07-09 2023-01-12 イハラサイエンス株式会社 バルブモジュール

Family Cites Families (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3752586B2 (ja) 2003-06-13 2006-03-08 株式会社フジキン 流体制御器
TWI324664B (en) 2004-02-10 2010-05-11 Fujikin Kk Fluid controller
US20050199292A1 (en) 2004-03-10 2005-09-15 Stedman David W. Fluid device actuator with manual override
US7370664B2 (en) * 2005-01-31 2008-05-13 Swagelok Company Flow control device
US20080173834A1 (en) * 2005-04-13 2008-07-24 Ckd Corporation Malfunction Prevention Manual Valve
JP4971405B2 (ja) * 2009-09-29 2012-07-11 シーケーディ株式会社 複合弁
JP5613420B2 (ja) * 2010-02-05 2014-10-22 株式会社フジキン 流体制御器
US9476516B2 (en) * 2011-07-15 2016-10-25 Mecanique Analytique Inc. Actuator
JP6333052B2 (ja) * 2014-05-09 2018-05-30 サーパス工業株式会社 遮断弁
JP6322494B2 (ja) * 2014-06-19 2018-05-09 株式会社フジキン 流体制御器

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