TW201718186A - 零件把持具及鑷子 - Google Patents

Abstract

本發明提供一種不會對所把持之零件造成損傷、造成污染而可確實地把持之零件把持具。 本發明之零件把持具係於把持操作用之把持部之至少與把持對象物接觸之部分具備纖維狀柱狀結構體之零件把持具，且於溫度23℃、濕度50%、負載200 g、拉伸速度100 mm/min、摩擦面積4 cm2之條件下，該纖維狀柱狀結構體相對於玻璃表面之靜態摩擦係數為0.5以上。

Description

零件把持具及鑷子

本發明係關於一種零件把持具。詳細而言，本發明係關於一種適合把持具有曲面之微小零件的以鑷子為代表之零件把持具。

於組裝電子製品或光學製品等時，作為該等之材料之電子零件或光學零件等中存在大量微小零件。於電子製品或光學製品等之組裝中，為了把持此種微小零件，先前使用以鑷子為代表之零件把持具。 然而，當要把持具有曲面之微小零件時，通常之金屬製鑷子存在打滑而無法把持、於強行把持之情形時零件會受到損傷等問題。 最近，提出具有樹脂製之前端部分之零件把持具(例如參照專利文獻1-3)。於此種具有樹脂製之前端部分之零件把持具中，若樹脂製之前端部分之表面容易打滑，則與金屬製鑷子同樣，當要把持具有曲面之微小零件時，存在打滑而無法把持之問題。另一方面，於具有作為樹脂之橡膠或鐵氟龍(註冊商標)等前端部分之零件把持具中，存在由於該樹脂製之前端部分之表面不易打滑，故而可把持具有曲面之微小零件之情形。 然而，於零件把持具之前端部分為樹脂製之情形時，不可避免會因把持所導致之摩擦而產生樹脂渣，從而會產生所把持之微小零件會受到該樹脂渣之污染之問題。於所把持之微小零件為電子零件或光學零件等精密製品之零件之情形時，必須避免此種污染。 [先前技術文獻] [專利文獻] 專利文獻1：日本專利特開平8-039441號公報 專利文獻2：日本專利特開2003-136414號公報 專利文獻3：日本專利特開2004-216494號公報

[發明所欲解決之問題] 本發明之課題在於提供一種不會對所把持之零件造成損傷、造成污染而可確實地把持之零件把持具。 [解決問題之技術手段] 本發明之零件把持具係把持操作用之把持部之至少與把持對象物接觸之部分具備纖維狀柱狀結構體之零件把持具，且 於溫度23℃、濕度50%、負載200 g、拉伸速度100 mm/min、摩擦面積4 cm² 之條件下，該纖維狀柱狀結構體相對於玻璃表面之靜態摩擦係數為0.5以上。 於一實施形態中，上述纖維狀柱狀結構體包含具備複數個奈米碳管之奈米碳管集合體。 於一實施形態中，上述纖維狀柱狀結構體係厚度600 μm以上之纖維狀柱狀結構體被壓縮成厚度400 μm以下之纖維狀柱狀結構體而成者。 於一實施形態中，本發明之零件把持具係具有曲面之零件之把持具。 本發明之鑷子於把持操作用之把持部之前端部分具備纖維狀柱狀結構體。 [發明之效果] 根據本發明，可提供一種不會對所把持之零件造成損傷、造成污染而可確實地把持之零件把持具。因此，例如即便為必須避免損傷之產生或污染之微小電子零件或光學零件、尤其是具有曲面之微小電子零件或光學零件，亦不會造成損傷、造成污染而可確實地把持。

≪零件把持具≫ 本發明之零件把持具係於把持操作用之把持部之至少與把持對象物接觸之部分具備纖維狀柱狀結構體之零件把持具。作為把持操作用之把持部之至少與把持對象物接觸之部分，較佳為列舉前端部分。圖1係表示本發明之零件把持具之一實施形態之概略立體圖。於圖1中，本發明之零件把持具100於把持操作用之把持部10之前端部分具備纖維狀柱狀結構體20。所謂把持部10之前端部分，係包含把持部10之前端10a之部分。 本發明之零件把持具較佳為具有曲面之零件之把持具。 本發明之零件把持具較佳為鑷子。 本發明之鑷子係於把持操作用之把持部之前端部分具備纖維狀柱狀結構體者。 把持部10之材料可於無損本發明之效果之範圍內採用任意適當之材料。作為此種材料，例如可列舉：鋁、鈦、不鏽鋼、磷青銅般之金屬；尼龍、聚丙烯、酚樹脂般之塑膠；竹、木般之天然材料；氧化鋯般之陶瓷等。 作為用於使把持部10之至少與把持對象物接觸之部分具備纖維狀柱狀結構體20之方法，可於無損本發明之效果之範圍內採用任意適當之方法。作為此種方法，例如可列舉將纖維狀柱狀結構體20直接接著於把持部10之前端部分之方法、隔著任意適當之層將纖維狀柱狀結構體20接著於把持部10之前端部分之方法等。作為上述接著之方法，例如可列舉利用接著劑之接著、利用雙面膠帶之接著等。作為上述層，可列舉塑膠膜、金屬膜、不織布等。 把持部之前端部分之長度例如係圖1中之距把持部10之前端10a之長度，較佳為0.01 mm～50 mm，更佳為0.1 mm～30 mm，進而較佳為0.5 mm～20 mm，尤佳為1 mm～10 mm。藉由將把持部之前端部分之長度調整為上述範圍內，本發明之零件把持具可更確實地把持所把持之零件。 關於本發明之零件把持具，於溫度23℃、濕度50%、負載200 g、拉伸速度100 mm/min、摩擦面積4 cm² 之條件下，其所具備之纖維狀柱狀結構體相對於玻璃表面之靜態摩擦係數為0.5以上，較佳為0.5～10，更佳為0.5～7，進而較佳為0.5～5，尤佳為0.5～3。藉由將上述靜態摩擦係數調整為上述範圍內，本發明之零件把持具不會對所把持之零件造成損傷、造成污染而可確實地把持。 纖維狀柱狀結構體係具備複數個纖維狀柱狀物之結構體。 圖2中表示本發明之一實施形態中之零件把持具所具備之纖維狀柱狀結構體之一例之概略剖視圖。於圖2中，纖維狀柱狀結構體20具備基材1、及複數個纖維狀柱狀物2之集合體。纖維狀柱狀物2之一端2a固定於基材1。纖維狀柱狀物2於長度L之方向上配向。纖維狀柱狀物2較佳為相對於基材1於大致垂直方向上配向。此處，所謂「大致垂直方向」，係相對於基材1之面之角度較佳為90°±20°，更佳為90°±15°，進而較佳為90°±10°，尤佳為90°±5°。 圖3中表示本發明之一實施形態中之零件把持具所具備之纖維狀柱狀結構體之另一例之概略剖視圖。如圖3所示，纖維狀柱狀結構體20亦可為複數個纖維狀柱狀物2之集合體。即，纖維狀柱狀結構體20亦可不具備基材1。於此情形時，複數個纖維狀柱狀物2可相互藉由例如凡得瓦耳力而以集合體之形式存在。 纖維狀柱狀物之長度L較佳為400 μm以下，更佳為10 μm～400 μm，進而較佳為50 μm～300 μm，尤佳為100 μm～300 μm，最佳為100 μm～250 μm。藉由將纖維狀柱狀物之長度L調整為上述範圍內，本發明之零件把持具更不會對所把持之零件造成損傷、更不會造成污染而可更確實地把持。 纖維狀柱狀物較佳為長度600 μm以上之纖維狀柱狀物被壓縮成長度400 μm以下之纖維狀柱狀物而成者。藉由採用以如上方式壓縮而成之纖維狀柱狀物(壓縮纖維狀柱狀物)作為纖維狀柱狀物，可適度地提高纖維狀柱狀物之密度，從而本發明之零件把持具更不會對所把持之零件造成損傷、更不會造成污染而可更確實地把持。上述壓縮前之纖維狀柱狀物之長度較佳為600 μm～5000 μm，更佳為600 μm～3000 μm，進而較佳為600 μm～1500 μm，尤佳為600 μm～1000 μm，最佳為600 μm～800 μm。藉由將上述壓縮前之纖維狀柱狀物之長度調整為上述範圍內，可適度地提高壓縮後之纖維狀柱狀物之密度，從而本發明之零件把持具更不會對所把持之零件造成損傷、更不會造成污染而可更確實地把持。 上述壓縮之壓縮率只要為自長度600 μm以上壓縮成長度400 μm以下之壓縮率，則根據用途設定為任意適當之壓縮率即可。 纖維狀柱狀物之直徑較佳為0.2 nm～1000 nm，更佳為0.5 nm～500 nm，進而較佳為1 nm～100 nm，尤佳為2 nm～50 nm，最佳為2 nm～20 nm。藉由將上述纖維狀柱狀物之直徑調整為上述範圍內，本發明之零件把持具更不會對所把持之零件造成損傷、更不會造成污染而可更確實地把持。 作為纖維狀柱狀物之材料，可採用任意適當之材料。例如可列舉：鋁、鐵等金屬；矽等無機材料；碳奈米纖維、奈米碳管等碳材料；工程塑膠、超級工程塑膠等高模數之樹脂等。作為樹脂之具體例，可列舉聚苯乙烯、聚乙烯、聚丙烯、聚對苯二甲酸乙二酯、乙醯纖維素、聚碳酸酯、聚醯亞胺、聚醯胺等。關於樹脂之分子量等各物性，可於能達成本發明之目的之範圍內採用任意適當之物性。 作為基材，可根據目的而採用任意適當之基材。例如可列舉石英玻璃、矽(矽晶圓等)、工程塑膠、超級工程塑膠等。作為工程塑膠及超級工程塑膠之具體例，可列舉聚醯亞胺、聚乙烯、聚對苯二甲酸乙二酯、乙醯纖維素、聚碳酸酯、聚丙烯、聚醯胺等。關於該等基材之分子量等各物性，可於能達成本發明之目的之範圍內採用任意適當之物性。基材之厚度可根據目的而設定為任意適當之值。 關於基材之表面，為了提高與相鄰之層之密接性、保持性等，亦可實施慣用之表面處理、例如鉻酸處理、臭氧暴露、火焰暴露、高壓電擊暴露、離子化放射線處理等化學性或物理性處理、利用底塗劑(例如上述黏著性物質)之塗佈處理。 基材可為單層，亦可為多層。 纖維狀柱狀結構體較佳為包含具備複數個奈米碳管之奈米碳管集合體。於此情形時，纖維狀柱狀物較佳為奈米碳管。 圖4中表示纖維狀柱狀結構體包含具備複數個奈米碳管之奈米碳管集合體之情形時之、本發明之一實施形態中之零件把持具所具備之纖維狀柱狀結構體之一例之概略剖視圖。於圖4中，纖維狀柱狀結構體20具備基材1及複數個奈米碳管22之集合體。奈米碳管22之一端22a固定於基材1。奈米碳管22於長度L之方向上配向。奈米碳管22較佳為相對於基材1於大致垂直方向上配向。此處，所謂「大致垂直方向」，係相對於基材1之面之角度較佳為90°±20°，更佳為90°±15°，進而較佳為90°±10°，尤佳為90°±5°。 於圖4所示之實施形態中，作為將奈米碳管22固定於基材1之方法，可採用任意適當之方法。例如，亦可將用於製造奈米碳管集合體之基板直接用作基材1。又，亦可於基材1設置接著劑層並固定於奈米碳管22之一端22a。進而，於基材1為熱硬化性樹脂之情形時，亦可於硬化反應前之狀態下製作該熱硬化性樹脂之薄膜層，並使奈米碳管22之一端22a壓接於該薄膜層後，進行硬化反應而固定。又，於基材1為熱塑性樹脂或金屬等之情形時，亦可於熔融之狀態下使奈米碳管22之一端22a壓接後，冷卻至室溫進行固定。 圖5中表示纖維狀柱狀結構體包含具備複數個奈米碳管之奈米碳管集合體之情形時之、本發明之一實施形態中之零件把持具所具備之纖維狀柱狀結構體之另一例之概略剖視圖。如圖5所示，纖維狀柱狀結構體20亦可為複數個奈米碳管22之集合體。即，纖維狀柱狀結構體20亦可不具備基材1。於此情形時，複數個奈米碳管22可相互藉由例如凡得瓦耳力而以集合體之形式存在。 ≪奈米碳管集合體≫ 作為奈米碳管集合體之較佳之實施形態，可列舉如下文所示之第1較佳之實施形態及第2較佳之實施形態。 ＜第1較佳之實施形態＞ 奈米碳管集合體之較佳之實施形態之一(以下，有時稱為第1較佳之實施形態)具備複數個奈米碳管，該奈米碳管具有複數層，該奈米碳管之層數分佈之分佈幅度為10層以上，該層數分佈之最頻值之相對頻度為25%以下，該奈米碳管之長度大於10 μm。藉由採用此種奈米碳管集合體，本發明之零件把持具更不會對所把持之零件造成損傷、更不會造成污染而可更確實地把持。 奈米碳管之層數分佈之分佈幅度為10層以上，較佳為10層～30層，更佳為10層～25層，進而較佳為10層～20層。藉由將上述奈米碳管之層數分佈之分佈幅度調整為上述範圍內，本發明之零件把持具更不會對所把持之零件造成損傷、更不會造成污染而可更確實地把持。 所謂奈米碳管之層數分佈之「分佈幅度」，係指奈米碳管之層數之最大層數與最小層數之差。 奈米碳管之層數、層數分佈只要藉由任意適當之裝置進行測定即可。較佳為藉由掃描型電子顯微鏡(SEM)或穿透式電子顯微鏡(TEM)進行測定。例如，只要自奈米碳管集合體中取出至少10根、較佳為20根以上之奈米碳管，利用SEM或者TEM進行測定，並對層數及層數分佈進行評價即可。 奈米碳管之層數之最大層數較佳為5層～30層，更佳為10層～30層，進而較佳為15層～30層，尤佳為15層～25層。藉由將奈米碳管之層數之最大層數調整為上述範圍內，本發明之零件把持具更不會對所把持之零件造成損傷、更不會造成污染而可更確實地把持。 奈米碳管之層數之最小層數較佳為1層～10層，更佳為1層～5層。藉由將上述奈米碳管之層數之最小層數調整為上述範圍內，本發明之零件把持具更不會對所把持之零件造成損傷、更不會造成污染而可更確實地把持。 層數分佈之最頻值之相對頻度為25%以下，較佳為1%～25%，更佳為5%～25%，進而較佳為10%～25%，尤佳為15%～25%。藉由將上述層數分佈之最頻值之相對頻度調整為上述範圍內，本發明之零件把持具更不會對所把持之零件造成損傷、更不會造成污染而可更確實地把持。 層數分佈之最頻值較佳為存在於層數2層至層數10層，進而較佳為存在於層數3層至層數10層。藉由將上述層數分佈之最頻值調整為上述範圍內，本發明之零件把持具更不會對所把持之零件造成損傷、更不會造成污染而可更確實地把持。 作為奈米碳管之形狀，只要其橫截面具有任意適當之形狀即可。例如，其橫截面可列舉大致圓形、橢圓形、n邊形(n為3以上之整數)等。 奈米碳管之長度較佳為400 μm以下，更佳為10 μm～400 μm，進而較佳為50 μm～300 μm，尤佳為50 μm～250 μm，最佳為100 μm～200 μm。藉由將上述奈米碳管之長度調整為上述範圍內，本發明之零件把持具更不會對所把持之零件造成損傷、更不會造成污染而可更確實地把持。 奈米碳管較佳為長度600 μm以上之纖維狀柱狀物被壓縮成長度400 μm以下之纖維狀柱狀物而成者。藉由採用以如上方式壓縮而成之奈米碳管(壓縮奈米碳管)作為奈米碳管，可適度地提高奈米碳管之密度，從而本發明之零件把持具更不會對所把持之零件造成損傷、更不會造成污染而可更確實地把持。上述壓縮前之奈米碳管之長度較佳為600 μm～5000 μm，更佳為600 μm～3000 μm，進而較佳為600 μm～1500 μm，尤佳為600 μm～1000 μm，最佳為600 μm～800 μm。藉由將上述壓縮前之奈米碳管之長度調整為上述範圍內，可適度地提高壓縮後之奈米碳管之密度，從而本發明之零件把持具更不會對所把持之零件造成損傷、更不會造成污染而可更確實地把持。 上述壓縮之壓縮率只要為自長度600 μm以上壓縮成長度400 μm以下之壓縮率，則根據用途設定為任意適當之壓縮率即可。 上述奈米碳管之比表面積、密度可設定為任意適當之值。 ＜第2較佳之實施形態＞ 奈米碳管集合體之較佳之另一實施形態(以下，有時稱為第2較佳之實施形態)具備複數個奈米碳管，該奈米碳管具有複數層，該奈米碳管之層數分佈之最頻值存在於層數10層以下，該最頻值之相對頻度為30%以上。藉由採用此種奈米碳管集合體，本發明之零件把持具更不會對所把持之零件造成損傷、更不會造成污染而可更確實地把持。 奈米碳管之層數分佈之分佈幅度較佳為9層以下，更佳為1層～9層，進而較佳為2層～8層，尤佳為3層～8層。藉由將上述奈米碳管之層數分佈之分佈幅度調整為上述範圍內，本發明之零件把持具更不會對所把持之零件造成損傷、更不會造成污染而可更確實地把持。 所謂奈米碳管之層數分佈之「分佈幅度」，係指奈米碳管之層數之最大層數與最小層數之差。 奈米碳管之層數、層數分佈只要藉由任意適當之裝置進行測定即可。較佳為藉由掃描型電子顯微鏡(SEM)或穿透式電子顯微鏡(TEM)進行測定。例如，只要自奈米碳管集合體中取出至少10根、較佳為20根以上之奈米碳管，利用SEM或者TEM進行測定，並對層數及層數分佈進行評價即可。 奈米碳管之層數之最大層數較佳為1層～20層，更佳為2層～15層，進而較佳為3層～10層。藉由將上述奈米碳管之層數之最大層數調整為上述範圍內，本發明之零件把持具更不會對所把持之零件造成損傷、更不會造成污染而可更確實地把持。 奈米碳管之層數之最小層數較佳為1層～10層，更佳為1層～5層。藉由將上述奈米碳管之層數之最小層數調整為上述範圍內，本發明之零件把持具更不會對所把持之零件造成損傷、更不會造成污染而可更確實地把持。 層數分佈之最頻值之相對頻度為30%以上，較佳為30%～100%，更佳為30%～90%，進而較佳為30%～80%，尤佳為30%～70%。藉由將上述層數分佈之最頻值之相對頻度調整為上述範圍內，本發明之零件把持具更不會對所把持之零件造成損傷、更不會造成污染而可更確實地把持。 層數分佈之最頻值存在於層數10層以下，較佳為存在於層數1層至層數10層，更佳為存在於層數2層至層數8層，進而較佳為存在於層數2層至層數6層。藉由將上述層數分佈之最頻值調整為上述範圍內，本發明之零件把持具更不會對所把持之零件造成損傷、更不會造成污染而可更確實地把持。 作為奈米碳管之形狀，只要其橫截面具有任意適當之形狀即可。例如，其橫截面可列舉大致圓形、橢圓形、n邊形(n為3以上之整數)等。 奈米碳管之長度較佳為400 μm以下，更佳為10 μm～400 μm，進而較佳為50 μm～300 μm，尤佳為50 μm～250 μm，最佳為100 μm～200 μm。藉由將上述奈米碳管之長度調整為上述範圍內，本發明之零件把持具更不會對所把持之零件造成損傷、更不會造成污染而可更確實地把持。 奈米碳管較佳為長度600 μm以上之纖維狀柱狀物被壓縮成長度400 μm以下之纖維狀柱狀物而成者。藉由採用以如上方式壓縮而成之奈米碳管(壓縮奈米碳管)作為奈米碳管，可適度地提高奈米碳管之密度，從而本發明之零件把持具更不會對所把持之零件造成損傷、更不會造成污染而可更確實地把持。上述壓縮前之奈米碳管之長度較佳為600 μm～5000 μm，更佳為600 μm～3000 μm，進而較佳為600 μm～1500 μm，尤佳為600 μm～1000 μm，最佳為600 μm～800 μm。藉由將上述壓縮前之奈米碳管之長度調整為上述範圍內，可適度地提高壓縮後之奈米碳管之密度，從而本發明之零件把持具更不會對所把持之零件造成損傷、更不會造成污染而可更確實地把持。 上述壓縮之壓縮率只要為自長度600 μm以上壓縮成長度400 μm以下之壓縮率，則根據用途設定為任意適當之壓縮率即可。 奈米碳管之比表面積、密度可設定為任意適當之值。 ≪奈米碳管集合體之製造方法≫ 作為奈米碳管集合體之製造方法，可採用任意適當之方法。 作為奈米碳管集合體之製造方法，例如可列舉藉由於平滑之基板上構成觸媒層並於藉由熱、電漿等使觸媒活化之狀態下填充碳源而使奈米碳管成長之化學氣相沈積法(Chemical Vapor Deposition：CVD法)，製造相對於基板大致垂直地配向之奈米碳管集合體之方法。於此情形時，若將基板去除，則獲得於長度方向上配向之奈米碳管集合體。作為此種基板，可採用任意適當之基板。例如可列舉具有平滑性且具有可耐受奈米碳管之製造之高溫耐熱性的材料。作為此種材料，例如可列舉石英玻璃、矽(矽晶圓等)、鋁等金屬板等。上述基板可直接用作可安置奈米碳管集合體之基材。 作為用於製造奈米碳管集合體之裝置，可採用任意適當之裝置。例如，作為熱CVD裝置，可列舉利用電阻加熱式電管狀爐包圍筒型之反應容器而構成之熱壁式等。於此情形時，作為反應容器，例如較佳為使用耐熱性之石英管等。 作為可用於製造奈米碳管集合體之觸媒(觸媒層之材料)，可使用任意適當之觸媒。例如可列舉鐵、鈷、鎳、金、鉑、銀、銅等金屬觸媒。 於製造奈米碳管集合體時，亦可視需要於基板與觸媒層之中間設置氧化鋁/親水性膜。 作為氧化鋁/親水性膜之製作方法，可採用任意適當之方法。例如，可藉由於基板上製作SiO₂ 膜並蒸鍍Al後，升溫至450℃使之氧化而獲得。根據此種製作方法，Al₂ O₃ 與親水性之SiO₂ 膜相互作用，形成較直接蒸鍍Al₂ O₃ 時粒徑進一步不同之Al₂ O₃ 面。於不於基板上製作親水性膜之情況下，即便於蒸鍍Al後升溫至450℃而使之氧化，亦有難以形成粒徑不同之Al₂ O₃ 面之虞。又，即便於基板上製作親水性膜並直接蒸鍍Al₂ O₃ ，亦有難以形成粒徑不同之Al₂ O₃ 面之虞。 為了形成微粒子，可用於製造奈米碳管集合體之觸媒層之厚度較佳為0.01 nm～20 nm，更佳為0.1 nm～10 nm。藉由使可用於製造本發明之奈米碳管集合體之觸媒層之厚度處於上述範圍內，該奈米碳管集合體可兼具優異之機械特性及較高之比表面積，進而，該奈米碳管集合體可顯示出優異之黏著特性。觸媒層之形成方法可採用任意適當之方法。例如可列舉藉由EB(電子束)、濺鍍等蒸鍍金屬觸媒之方法、將金屬觸媒微粒子之懸浮液塗佈於基板上之方法等。 作為可用於製造奈米碳管集合體之碳源，可使用任意適當之碳源。例如可列舉甲烷、乙烯、乙炔、苯等烴；甲醇、乙醇等醇等。 作為奈米碳管集合體之製造中之製造溫度，可採用任意適當之溫度。例如，為了形成可充分地表現本發明之效果之觸媒粒子，較佳為400℃～1000℃，更佳為500℃～900℃，進而較佳為600℃～800℃。 [實施例] 以下，基於實施例對本發明進行說明，但本發明並不限定於該等。再者，各種評價或測定係藉由以下之方法進行。 ＜纖維狀柱狀物之長度、直徑之測定＞ 纖維狀柱狀物之長度、直徑之測定係藉由掃描型電子顯微鏡(SEM)及/或穿透式電子顯微鏡(TEM)而測定。 ＜奈米碳管集合體中之奈米碳管之層數、層數分佈之評價＞ 奈米碳管集合體中之奈米碳管之層數及層數分佈係藉由掃描型電子顯微鏡(SEM)及/或穿透式電子顯微鏡(TEM)而測定。利用SEM及/或TEM對所獲得之奈米碳管集合體中之至少10根以上、較佳為20根以上之奈米碳管進行觀察，確認各奈米碳管之層數，並製作層數分佈。 ＜靜態摩擦係數之測定＞ 於溫度23℃、濕度50%之環境下，將2 cm×2 cm(4 cm² )之試片載置於作為被黏著體之載玻片表面，於其上載置200 g之砝碼，測定以拉伸速度100 mm/min拉伸時之靜態摩擦係數。 ＜玻璃拾取試驗＞ (拾取零件) 準備表1所示之頂角α(度)、中心角θ(度)、母線之長度R(mm)、底面之圓之半徑r(mm)之SUS製圓錐零件，利用研磨紙(＃400、＃1000、＃2000)對各自之表面進行研磨，製成拾取零件(1)、拾取零件(2)、拾取零件(3)、拾取零件(4)、拾取零件(5)、拾取零件(6)、拾取零件(7)、拾取零件(8)、拾取零件(9)。 再者，頂角α(度)係於自拾取零件之側面觀察之照片上利用分度器測量所得之頂角。又，中心角θ(度)、母線之長度R(mm)、底面之圓之半徑r(mm)係拾取零件之展開圖中之部分圓之中心角θ、母線之長度R、底面之圓之半徑r，θ(度)＝360度×(r/R)。 (拾取成功次數試驗) 將藉由零件把持具把持拾取零件之曲面部分並提昇至5 cm之高度後放下之作業反覆進行50次，測定拾取成功之次數。 (表面觀察) 於拾取成功次數試驗之後，利用光學顯微鏡對拾取零件之曲面部分進行觀察，觀察有無污染、有無損傷。 [表1] [實施例1] 藉由濺鍍裝置(ULVAC製造，RFS-200)於矽晶圓(Silicon Technology製造)上形成Al₂ O₃ 薄膜(厚度20 nm)。進而藉由濺鍍裝置(ULVAC製造，RFS-200)將Fe薄膜(厚度1.0 nm)蒸鍍於該Al薄膜上。 其後，將該基板載置於30 mmφ之石英管內，並使保持為水分700 ppm之氦/氫(90/50 sccm)混合氣體於石英管內流動30分鐘，而對管內進行置換。其後，使用電管狀爐使管內於35分鐘內階段性地升溫至765℃，並於765℃下使之穩定。將溫度保持為765℃，並直接將氦/氫/乙烯(85/50/5 sccm、水分率700 ppm)混合氣體填充至管內，放置40分鐘而使奈米碳管於基板上成長，獲得奈米碳管於長度方向上配向之奈米碳管集合體(1)。 奈米碳管集合體(1)所具備之奈米碳管之長度為800 μm，直徑(平均值)為7.1 nm。 於奈米碳管集合體(1)所具備之奈米碳管之層數分佈中，最頻值存在於2層，相對頻度為72%。 關於形成於矽晶圓(Silicon Technology製造)上之奈米碳管集合體(1)，於矽晶圓(Silicon Technology製造)之鏡面側自奈米碳管之上部施加負載，藉此進行壓縮直至奈米碳管之長度成為300 μm為止，獲得壓縮奈米碳管於長度方向上配向之奈米碳管集合體(P1)。 取出奈米碳管集合體(P1)，將聚丙烯基材(旭洋紙紙漿股份有限公司製造，厚度30 μm)於加熱板上加熱至200℃而使之熔融。將上述奈米碳管集合體(P1)所具備之奈米碳管之一端(上端)壓接於經熔融之聚丙烯樹脂後，冷卻至室溫進行固定，藉此獲得於聚丙烯基材(厚度30 μm)上具備奈米碳管集合體(P1)之積層體。 藉由雙面膠帶(日東電工股份有限公司製造，型號：No.5000)將所獲得之積層體貼附於鑷子(Piezo-parts股份有限公司製造，商品名：FEATHER PICK SS-140)之前端橡膠墊部分，獲得零件把持具(1)。 使用零件把持具(1)進行評價。 將結果示於表2。 [比較例1] 使用鑷子(Piezo-parts股份有限公司製造，商品名：FEATHER PICK SS-140)進行評價。 將結果示於表2。 [比較例2] 使用鑷子(Engineer(股)製造，商品名：ESD TWEEZERS)進行評價。 將結果示於表2。 [比較例3] 使用金屬鑷子(IDEAL-TEK製造，商品名：ID-DM)進行評價。 將結果示於表2。 [表2] [產業上之可利用性] 本發明之零件把持具可利用於把持必須避免損傷之產生或避免污染之微小電子零件或光學零件、尤其是具有曲面之微小電子零件或光學零件。

1‧‧‧基材
2‧‧‧纖維狀柱狀物
2a‧‧‧纖維狀柱狀物之一端
10‧‧‧把持部
10a‧‧‧把持部之前端
20‧‧‧纖維狀柱狀結構體
22‧‧‧奈米碳管
22a‧‧‧奈米碳管之一端
100‧‧‧零件把持具

圖1係本發明之一實施形態中之零件把持具之概略立體圖。 圖2係本發明之一實施形態中之零件把持具所具備之纖維狀柱狀結構體之一例之概略剖視圖。 圖3係本發明之一實施形態中之零件把持具所具備之纖維狀柱狀結構體之另一例之概略剖視圖。 圖4係纖維狀柱狀結構體包含具有複數個奈米碳管之奈米碳管集合體之情形時之本發明之一實施形態中之零件把持具所具備之纖維狀柱狀結構體之一例之概略剖視圖。 圖5係纖維狀柱狀結構體包含具備複數個奈米碳管之奈米碳管集合體之情形時之本發明之一實施形態中之零件把持具所具備之纖維狀柱狀結構體之另一例之概略剖視圖。

10‧‧‧把持部

10a‧‧‧把持部之前端

20‧‧‧纖維狀柱狀結構體

100‧‧‧零件把持具

Claims (5)

1. 一種零件把持具，其係把持操作用之把持部之至少與把持對象物接觸之部分具備纖維狀柱狀結構體之零件把持具，且 於溫度23℃、濕度50%、負載200 g、拉伸速度100 mm/min、摩擦面積4 cm² 之條件下，該纖維狀柱狀結構體相對於玻璃表面之靜態摩擦係數為0.5以上。
2. 如請求項1之零件把持具，其中上述纖維狀柱狀結構體包含具備複數個奈米碳管之奈米碳管集合體。
3. 如請求項1之零件把持具，其中上述纖維狀柱狀結構體係厚度600 μm以上之纖維狀柱狀結構體被壓縮成厚度400 μm以下之纖維狀柱狀結構體而成者。
4. 如請求項1之零件把持具，其係具有曲面之零件之把持具。
5. 一種鑷子，其於把持操作用之把持部之前端部分具備纖維狀柱狀結構體。