TW201701017A - 可多方向調整鏡頭的顯微取像設備 - Google Patents

Abstract

本發明係關於一種顯微取像設備，係用於對一目標物的取像區進行取像。該顯微取像設備包括一雷射追焦模組及一顯微取像鏡組。該雷射追焦模組具有一雷射位移偵測模組，正對該目標物的該取像區；而該顯微取像鏡組具有一鏡頭，正對該目標物的該取像區。該雷射追焦模組係能沿x軸移動，並在移動的同時偵測該目標物的該取像區與該鏡頭之間的垂直距離變化；而該顯微取像鏡組係能跟該雷射位移偵測模組一起沿x軸移動，並能單獨沿y軸移動，及能根據該雷射位移偵測模組的偵測結果，與該雷射位移偵測模組一起沿z軸微調高度位置。

Description

可多方向調整鏡頭的顯微取像設備

本發明與用於檢查異方性導電膠的導電粒子的系統有關，尤指該系統中用於取像的顯微取像設備。

使用異方性導電膠(anisotropic conductive film；ACF)將一軟性電路板或晶片組裝至一液晶面板或印刷電路板上的技術已經普遍運用於液晶面板、印刷電路板的製造工程中，與此相關者，例如捲帶封裝(tape carrier package；TCP)、薄膜覆晶封裝(chip on film；COF)、將驅動晶片直接組裝到玻璃基板之玻璃覆晶封裝(chip on glass；COG)及將晶片直接組裝到印刷電路板之電路板覆晶封裝(chip on board；COB)等，多以異方性導電膠進行。

異方性導電膠由導電粒子與絕緣膠材所組成，其具有垂直導通、左右絕緣的特性，然而，在進行熱壓程序時，若異方性導電膠受壓的壓力不均或不足，都會導致可導通的變形導電粒子數目不足，而使傳導性不佳。此外，當導電粒子密度分佈不均時，也會使得傳導性不佳。因此，在使用異方性導電膠的組接場合中，通常需檢查導電粒子壓痕的狀態、數目及分佈，以確定導電性的狀況，台灣公告583403號專利案即顯示用於這類檢查用途的一種導電粒子壓合自動檢測系統。

該系統係採取影像檢查技術，其利用具有光學顯微鏡的影像擷取模組來擷取晶片接腳經壓合後的數位影像，並將數位影像傳送至影像處理模組處理，該影像處理模組的處理結果即供分析之用，以判斷導電粒子的導電性狀況是否良好。與此類似的技術，亦可見於台灣公開第200910484號案。

由於上述導電粒子非常微小，若光學顯微鏡的鏡頭稍有偏差而未正對於目標物上所欲取像的區域，或是鏡頭與該取像區之間的垂直距離稍微不足或稍微過大，都會導致取像不夠清晰，增加後續影像處理難度及分析上的正確性，因此，如何提供一種能確保取像清晰度在可接受範圍內的新式顯微取像設備，乃為當務之急。

有鑑於此，本發明提供一種顯微取像設備，用於對一目標物的取像區進行取像。該顯微取像設備大致包括一x軸移載裝置、一z軸移載裝置係由該x軸移載裝置帶動而能沿x軸移動、一雷射追焦模組係設於該z軸移載裝置的一z軸載板上、及一顯微取像鏡組係設於該z軸載板上。

該雷射追焦模組具有一雷射位移偵測模組正對該目標物的該取像區；而該顯微取像鏡組具有一鏡頭正對該目標物的該取像區。該雷射追焦模組係藉由該x軸移載裝置而能沿x軸移動，並在移動的同時偵測該目標物的取像區與該鏡頭之間的垂直距離變化。該z軸載板係藉由該x軸移載裝置而能沿x軸移動，該z軸移載裝置並能根據該雷射位移偵測模組的偵測結果，微調該z軸載板的高度位置。

此外，該雷射追焦模組還包括一第一z軸調整機構係設於該z軸載板及一x軸調整機構係設於該第一z軸調整機構上且承載該雷射位移偵測模組。該第一z軸調整機構係用以調整該雷射位移偵測模組在z軸上的位置，而該x軸調整機構係用以調整該雷射位移偵測模組在x軸上的位置。該顯微取像鏡組還包括一第二z軸調整機構係設於該z軸載板及一水平角度調整機構係設於該第二z軸調整機構上且承載該顯微影像擷取模組。該第二z軸調整機構係用以調整該顯微影像擷取模組在z軸上的位置，該水平角度調整機構係用以調整該顯微影像擷取模組的角度位置，以使該鏡頭的焦平面與該目標物的取像區平行。

較佳地，該顯微取像設備更包括一y軸移載裝置，該顯微取像鏡組係藉由y軸移載裝置而設於該z軸載板上。該y軸移載裝置包括一座板、一組y軸軌道、一y軸載板及一y軸驅動單元。該座板係設於該z軸載板上。該組y軸軌道係設於該座板上且沿y軸延伸一段長度。該y軸 載板係可滑動地設於該組y軸軌道上且承載該顯微影像擷取模組。該y軸驅動單元係設於座板上且用以驅動該y軸載板沿著該組y軸軌道移動。

較佳地，該第一z軸調整機構包括一載片及一z軸調整螺栓。該載片係面對面地貼靠於該z軸載板上。該z軸調整螺栓係螺設於該z軸載板上且由下往上頂抵該載片。該x軸調整機構包括一活動板及兩x軸調整螺栓。該活動板係面對面地貼靠於該載片上且承載該該雷射位移偵測模組。該兩x軸調整螺栓分別螺設於該載片的兩相對側且分別頂抵該活動板在x軸方向上的兩相對側邊。

較佳地，該y軸移載裝置的該座板具有相互垂直連接的一第一片體及一第二片體。該第一片體係面對面地貼靠於該z軸載板上，該第二z軸調整機構包括一調整螺栓，該調整螺栓螺設於該z軸載板上且由下往上抵靠於該第一片體的底緣。

較佳地，該y軸載板具有一表面背對於該座板的該第二片體，該水平角度調整機構包括一軸柱、一前後擺動座及兩調整螺栓。該軸柱設於該y軸載板的該表面上。該前後擺動座具有相互垂直連接的一第一片體及一第二片體。該第一片體係面對面地貼靠於該y軸載板的該表面上，且該第一片體具有一軸孔對應接收該軸柱，使得該第一片體能在該表面上以該軸柱為軸地作前後擺動。該兩調整螺栓係螺設於該y軸載板上，其中一調整螺栓的位置高於該軸柱，且抵於該第一片體的前側邊的上部，另一調整螺栓的位置低於該軸柱，且推抵該第一片體的前側邊的下部。

較佳地，該水平角度調整機構包括一左右擺動座及兩支調整螺栓。該左右擺動座係承載該顯微影像擷取模組且具有一軸塊，該軸塊被安裝於該前後擺動座的該第二片體上的一軸槽內，使得該左右擺動座能以軸塊為軸地作左右擺動。該兩支調整螺栓係螺設於該前後擺動座的該第二片體上，其中一調整螺栓的位置高於該軸塊，且抵於該左右擺動座的一側邊的上部，另一調整螺栓的位置低於該軸塊，且抵於該左右擺動座的該側邊的下部。

1‧‧‧x軸移載裝置

10‧‧‧長條座

11‧‧‧x軸軌道

12‧‧‧x軸載板

13‧‧‧x軸驅動單元

13a‧‧‧定子

13b‧‧‧動子

2‧‧‧z軸移載裝置

20‧‧‧z軸軌道

21‧‧‧z軸載板

22‧‧‧z軸驅動單元

220‧‧‧伺服馬達

3‧‧‧雷射追焦模組

30‧‧‧雷射位移偵測模組

31‧‧‧雷射調整組件

32‧‧‧第一z軸調整機構

320‧‧‧載片

321‧‧‧z軸調整螺栓

322‧‧‧擋件

323‧‧‧翼板

324‧‧‧長導孔

325‧‧‧導板

326‧‧‧栓板

327‧‧‧長形階級孔

328‧‧‧導栓

33‧‧‧x軸調整機構

330‧‧‧活動板

331‧‧‧x軸調整螺栓

332‧‧‧擋件

336‧‧‧導栓

337‧‧‧長導孔

4‧‧‧y軸移載裝置

40‧‧‧座板

400‧‧‧第一片體

401‧‧‧第二片體

41‧‧‧y軸軌道

42‧‧‧y軸載板

43‧‧‧y軸驅動單元

43a‧‧‧定子

43b‧‧‧動子

5‧‧‧顯微取像鏡組

50‧‧‧顯微影像擷取模組

501‧‧‧鏡頭

51‧‧‧鏡組調整組件

52‧‧‧第二z軸調整機構

520‧‧‧調整螺栓

521‧‧‧栓板

522‧‧‧擋件

523‧‧‧導栓

524‧‧‧長導孔

53‧‧‧水平角度調整機構

530‧‧‧軸柱

531‧‧‧前後擺動座

531a‧‧‧第一片體

531b‧‧‧第二片體

531c‧‧‧軸孔

531d‧‧‧軸槽

532‧‧‧栓座

533‧‧‧調整螺栓

534‧‧‧擋件

535‧‧‧弧形導孔

535a‧‧‧導栓

536‧‧‧左右擺動座

536a‧‧‧上板

536b‧‧‧下板

536c‧‧‧立板

536d‧‧‧軸塊

537‧‧‧調整螺栓

538‧‧‧擋件

539‧‧‧栓座

540‧‧‧支導栓

541‧‧‧弧形導孔

8‧‧‧目標物

80‧‧‧晶片

801‧‧‧前半邊

802‧‧‧後半邊

9‧‧‧吸附載台

第一圖係本發明顯微取像設備的立體分解示意圖。

第二圖係本發明顯微取像設備的立體結構之局部放大示意圖。

第三圖係本發明顯微取像設備的前視圖。

第四圖係本發明顯微取像設備的側視圖。

第五圖係本發明顯微取像設備對一基板掃描取像的路徑圖。

第六圖係本發明顯微取像設備之雷射調整組件的立體分解示意圖。

第七圖係本發明顯微取像設備之雷射追焦模組及其調整組件的立體結構示意圖。

第八圖係本發明顯微取像設備之雷射追焦模組及其調整組件的前視圖。

第九圖係本發明顯微取像設備之顯微取像鏡組及其調整組件的立體分解示意圖。

第十圖係本發明顯微取像設備之顯微取像鏡組及其調整組件的立體結構示意圖。

第十一圖係本發明顯微取像設備之顯微取像鏡組之調整組件的立體分解示意圖。

第十二圖係本發明顯微取像設備之顯微取像鏡組之調整組件的立體結構示意圖。

第十三圖係本發明顯微取像設備之顯微取像鏡組之調整組件的局部側視圖。

第十四圖係本發明顯微取像設備之顯微取像鏡組之調整組件的局部前視圖。

第一圖顯示本發明之顯微取像設備的一個較佳實施例，其包括一雷射追焦模組3及一顯微取像鏡組5，並藉此二者對第二圖所示的目標物8進行顯微取像。

如第二圖所示，在此例子中，目標物8係為放置在一吸附載台9上的一液晶面板，該液晶面板被吸附載台9吸住而固定不動，且其相鄰的一長側邊及一短側邊係凸出於吸附載台9的外面。該液晶面板還具 有多個晶片80，該些晶片80係藉由玻璃覆晶封裝技術(chip on glass；COG)，也就是利用異方性導電膠(anisotropic conductive film；ACF)而熱壓到形成於該液晶面板的一頂面的多個導電金屬墊(圖中未示)上，其中一晶片80鄰近且平行於該液晶面板的該短側邊，其餘晶片80鄰近該液晶面板的該長側邊，且平行於該長側邊地排列成一直線。需指出的是，各側邊所對應的晶片80的數量不以前述為限。

目標物8的一底面還具有多個取像區，在此例子中，每個取像區剛好對應位在各個晶片80的正下方，且每個取像區的大小大致相同於相對應的晶片80的底面面積。由於該些晶片80所佔據的是該液晶面板的透明部份，故可利用顯微取像鏡組5的一顯微影像擷取模組50的一鏡頭501對該些取像區進行取像。所取得的影像資料能顯示異方性導電膠的導電粒子在導電金屬墊上所造成的壓痕。這些影像資料接著被傳送到一影像分析判斷單元(圖中未示)進行影像處理與分析，並根據分析結果判讀每一晶片80與對應導電金屬墊的導電連接狀況的良莠。其中，目標物8所指的物品種類及數量，不以該液晶面板為限，例如可為一或多片電路板或其它種類物品供分別放在一或多個吸附載台9上。

如第三、四圖所示，雷射追焦模組3與顯微取像鏡組5都已藉本身的調整機構(容後詳述)而手動調整到能對目標物8清晰取像的位置(清晰取像是指所擷取到的影像清晰度在可接受範圍內)，且此目標物8已藉由吸附載台9的轉動而轉動到使其長側邊確實平行於顯微取像鏡組5的移動路線。雷射追焦模組3係能沿x軸移動，並在移動的同時偵測目標物8的取像區與鏡頭501之間的垂直距離變化。顯微取像鏡組5係能跟隨雷射追焦模組3一起沿x軸移動，並能根據雷射追焦模組3的一雷射位移偵測模組30的偵測結果，與雷射追焦模組3一起沿z軸微調高度位置，以使顯微影像擷取模組50的鏡頭501與雷射位移偵測模組30在一起沿x軸移動時都隨時保持在能對目標物8清晰取像的位置，以確保所攝取到的影像的清晰度能符合要求。如此，就算目標物8的取像區有凹凸不平之處而使得鏡頭501與取像區之間的垂直距離(焦距)在該處稍微不足或稍微過大，都能藉由雷射位移偵測模組30予以偵測出來，並依偵測結果微調雷射追焦模組3與顯微取像鏡組5的高度位置，以使鏡頭501與取像區之間的垂直距離 (焦距)保持在一預定值，確保雷射位移偵測模組30與鏡頭501在該處仍能對目標物8清晰取像。

如第三及五圖所示，當位於一原始位置的鏡頭501隨著顯微取像鏡組5從一起點A移動到一終點B時，顯微影像擷取模組50就通過鏡頭501以線掃瞄方式(line scan)取得鄰近目標物8長側邊的每一個取像區(即每一晶片80的底面)的影像資料，並將它們傳送給上述影像分析判斷單元。在此例子中，因鏡頭501的取像範圍很小，故所取得的影像資料只是該些取像區的前半邊801的影像，因此，顯微取像鏡組5還具有沿y軸移動的能力，當鏡頭501到達終點B時，顯微取像鏡組5即相對於雷射追焦模組3地稍微往前移(即往吸附載台9方向移動)，以使鏡頭501沿y軸向前移動到能使其取像範圍涵蓋該些取像區的後半邊802。接著，顯微取像鏡組5沿x軸往反向移動，使得鏡頭501從該終點B移動到該起點A，在此移動過程中，顯微影像擷取模組50通過鏡頭501以線掃瞄方式取得鄰近目標物8長側邊的每一個取像區後半邊802的影像資料，並將它們傳送給上述影像分析判斷單元。當鏡頭501回到起點A時，顯微取像鏡組5即相對於雷射追焦模組3地稍微往後移，以使鏡頭501沿y軸向後移動返回該原始位置。至此，本發明之顯微取像設備即完成對鄰近目標物8長側邊的取像區的顯微取像作業。在此例子中，當鏡頭501回到該原始位置之後，吸附載台9轉動90度，以使鄰近目標物8短側邊的取像區位於雷射位移偵測模組30與鏡頭501的正上方，隨後本發明之顯微取像設備即對鄰近目標物8短側邊的取像區進行顯微取像作業，此大致相同於前述，容不贅述。

從上述說明可知，雷射追焦模組3與顯微取像鏡組5是具有一起沿x軸移動及一起沿z軸移動的能力，且顯微取像鏡組5還單獨具有沿y軸移動的能力。其中，雷射追焦模組3與顯微取像鏡組5沿x軸一起移動是為了讓鏡頭501依預定路線以掃瞄方式取得目標物8的取像區的影像資料。顯微取像鏡組5自己沿y軸移動是為了變換鏡頭501的取像範圍所涵蓋的區域，這是在鏡頭501的取像範圍很小的時候才需要的功能，並非必要。至於雷射追焦模組3與顯微取像鏡組5沿z軸一起移動，則是為了隨時調整兩者的高度位置，以使鏡頭501在移動過程中能保持在能對目標物8清晰取像的位置。以下進一步說明能實現雷射追焦模組3與顯微取像鏡組5前述 移動能力的較佳實施例，但不以此為限。

如第一圖所示，本發明之顯微取像設備還包括一x軸移載裝置1、由x軸移載裝置1帶動而能沿x軸左右移動的一z軸移載裝置2、及由z軸移載裝置2帶動而能沿z軸作上下移動的一y軸移載裝置4。其中，z軸移載裝置2係承載雷射追焦模組3，y軸移載裝置4係承載顯微取像鏡組5。然而，顯微取像鏡組5亦可選擇直接由z軸移載裝置2予以承載，此時即無需y軸移載裝置4。

x軸移載裝置1可選用第一圖中所示的構造，其包括一長條座10、一組x軸軌道11係設於長條座10上且沿x軸延伸一段長度、一x軸載板12係可滑動地設於x軸軌道11上、以及一x軸驅動單元13係設於長條座10上且連接x軸載板12。較佳地，x軸驅動單元13可選用現有的線性馬達。第一、四圖中顯示該線性馬達的定子13a，而滑行於定子13a內的動子13b則連接著x軸載板12。如此，x軸驅動單元13就能驅動x軸載板12沿著x軸軌道11作左右移動。

z軸移載裝置2可選用第一圖中所示的構造，其包括一組z軸軌道20係設於x軸載板12上且沿z軸延伸一段長度、一z軸載板21係可滑動地設於z軸軌道20上、以及設於x軸載板12上的一z軸驅動單元22。較佳地，z軸驅動單元22可選用現有產品，例如包含一伺服馬達220及一組精密導螺桿機構(圖中未示)的習知伺服驅動模組。如此，z軸驅動單元22就能驅動z軸載板21沿著z軸軌道20作上下移動。

雷射追焦模組3與顯微取像鏡組5設於z軸載板21上，z軸載板21可滑動地設於x軸載板12，因此，在x軸驅動單元13的帶動下，雷射追焦模組3、顯微取像鏡組5與z軸載板21能一起沿x軸移動，一如第三圖所示，在z軸驅動單元22的帶動下，雷射追焦模組3與顯微取像鏡組5能一起沿z軸上下移動，一如第四圖所示。

顯微取像鏡組5可選擇直接連接到z軸載板21上，較佳地，可藉由一y軸移載裝置4連接到z軸載板21上。y軸移載裝置4可選用第一圖所示的構造，其包括一座板40係設於z軸載板21上、一組y軸軌道41係設於座板40上且沿y軸延伸一段長度、一y軸載板42係可滑動地設於y軸軌道41上、以及一y軸驅動單元43係設於座板40上且連接y軸載 板42。較佳地，y軸驅動單元43可選用現有的線性馬達，第一、三圖中顯示該線性馬達的定子43a固定在座板40上且沿y軸延伸一段長度，而滑行於定子43a內的動子43b則連接著y軸載板42。如此，y軸驅動單元43就能驅動y軸載板42沿著y軸軌道41作前後移動，使得設於y軸載板42的顯微取像鏡組5跟著前後移動，進而使得鏡頭501能相對於雷射位移偵測模組30沿y軸作前後移動。

為了使雷射追焦模組3與顯微取像鏡組5能藉其本身調整機構而手動快速調整到能對目標物8清晰取像的位置，如第六~八圖所示，雷射追焦模組3還包括一雷射調整組件31，如第九~十一圖所示，顯微取像鏡組5還包括一鏡組調整組件51。

第六~八圖顯示雷射調整組件31的一個較佳實施例，其包設於z軸載板21上的一第一z軸調整機構32、及設於第一z軸調整機構32上且承載雷射位移偵測模組30的一x軸調整機構33。

第一z軸調整機構32用以調整雷射位移偵測模組30相對於z軸載板21作上下移動。在此例子中，第一z軸調整機構32係選擇圖中所示的構造，其至少包括一載片320、兩支z軸調整螺栓321(也可以一支或更多支)、及一擋件322。該載片320係面對面地貼靠於z軸載板21上，兩z軸調整螺栓321分別螺設於z軸載板21兩相對側且分別由下往上頂抵載片320，較佳地，兩z軸調整螺栓321係螺設於z軸載板21的兩側栓板210上且頂抵著載片320的兩側翼板323。擋件322係穿過載片320的一長形階級孔327而固定在z軸載板21上，用以擋住載片320，使它保持貼靠且不致於脫離。如此，當轉動兩z軸調整螺栓321，就能使載片320沿z軸方向上移或下移。其中，為了確保載片320能垂直地上下移動，第一z軸調整機構32還包括多支導栓328及兩導板325，該些導栓328設於z軸載板21上且分別對應位於載片320的多個緃向長導孔324內，兩導板325設於z軸載板21上且分別貼靠載片320的兩相對側邊。

x軸調整機構33用以調整雷射位移偵測模組30相對於z軸載板21作左右移動。在此例子中，x軸調整機構33係選擇圖中所示的構造，其至少包括一活動板330、兩支x軸調整螺栓331、及兩個擋件332(也可以一或多個)。活動板330係面對面地貼靠於載片320上，兩x軸調整螺栓331 分別螺設於載片320兩相對側且分別頂抵活動板330的左側邊及右側邊，較佳地，兩x軸調整螺栓331係螺設於載片320上的兩相對栓板326上且頂抵著活動板330中間部份的左側邊及右側邊。擋件332係固定在載片320上，用以擋住活動板330，使它保持貼靠且不致於脫離。如此，只需一手轉動左邊的x軸調整螺栓331使其向右推抵活動板330的左側邊，另一手反向轉動右邊的x軸調整螺栓331使其向右後退，就能使活動板330向右移動。至於調整活動板330向左移動的動作與前述類似，差別只在於轉動兩x軸調整螺栓331的動作相反而已，容不贅述。其中，為了確保活動板330能水平地左右移動，x軸調整機構33還包括多支導栓336，該些導栓336設於載片320上且分別對應位於活動板330的多個橫向長導孔337內。

如第八圖所示，藉由轉動兩調整螺栓321就能使載片320上下移動，以使雷射位移偵測模組30跟著上下移動到想要的高度位置。藉由轉動兩調整螺栓331就能使活動板330左右位移，以使雷射位移偵測模組30跟著左右移動到想要的位置。

第九~十圖顯示鏡組調整組件一個較佳實施例，其包括設於z軸載板21上的一第二z軸調整機構52及設於y軸載板42上的一水平角度調整機構53。第二z軸調整機構52用以調整顯微影像擷取模組50的高度位置。水平角度調整機構53承載顯微影像擷取模組50，用以調整顯微影像擷取模組50使其焦平面與目標物8的取像區平行。

在此例子中，y軸移載裝置4的座板40具有相互垂直且一體成型的一第一片體400及一第二片體401，第一片體400係面對面地貼靠於z軸載板21上。

在此例子中，第二z軸調整機構52係選擇圖中所示的構造，其至少包括一支調整螺栓520(也可以多支)及一擋件522。調整螺栓520螺設於z軸載板21的一栓板521上且由下往上抵靠於第一片體400的底緣。擋片522擋住第一片體400的一側，使它保持貼靠且不致於脫離。如此，只需轉動調整螺栓520就能一併調整y軸移載裝置4與顯微影像擷取模組50的高度位置。其中，為了確保座板40能垂直地上下移動，z軸調整機構52還包括多支導栓523，該些導栓523設於z軸載板21上且分別對應位於座板40的第一片體400的多個緃向長導孔524內。

如第十一、十二圖所示，在此例子中，水平角度調整機構53係選擇圖中所示的構造，其至少包括一前後擺動座531、兩調整螺栓533、及一擋件534。前後擺動座531具有相互垂直的一第一片體531a及一第二片體531b，第一片體531a係面對面地貼靠於且樞設於y軸載板42上，較佳地，第一片體531a具有一軸孔531c對應接收設於y軸載板42上的一軸柱530，使得前後擺動座531能以軸柱530為軸地作前後擺動。擋件534設於y軸載板42上，用於擋住第一片體531a的一側，使它保持貼靠且不致於脫離。兩調整螺栓533螺設於y軸載板42上，例如對應螺設於y軸載板42前側邊的栓座532上。其中一調整螺栓533的位置高於軸柱530(即第一片體531a的轉動軸心)，另一調整螺栓533的位置低於軸柱530，用以分別對應推抵第一片體531a前側邊的上部及下部，藉以調整前後擺動座531作前後擺動。如第十三圖所示，當一手轉動較高的調整螺栓533而使其向前移動並推抵第一片體531a，另一手反向轉動較低的調整螺栓533而使其向後移動，就能使前後擺動座531以軸柱530為軸地向前擺動。至於調整前後擺動座531向後擺動的動作與前述類似，差別只在於轉動兩調整螺栓533的動作相反而已，容不贅述。因此，藉由轉動兩調整螺栓533就能調整顯微影像擷取模組50往前或往後擺動到想要的角度位置。其中，為了確保前後擺動座531能平順地前後擺動，水平角度調整機構53還包括多支導栓535a，該些導栓535a設於y軸載板42上且分別對應位於第一片體531a的多個弧形導孔535內。

水平角度調整機構53還包括一左右擺動座536、另兩支調整螺栓537、及兩個擋件538(也可以是一個或多個)。左右擺動座536具有一上板536a、一下板536b及一立板536c。立板536c的上下側邊分別連接上、下板536a、536b，上、下板536a、536b則連接顯微影像擷取模組50。立板536c係面對面地貼靠於前後擺動座531的第二片體531b上且具有一軸塊536d，軸塊536d被安裝於第二片體531b上的一軸槽531d內，使得左右擺動座536能以軸塊536d為軸地作左右擺動。擋件538設於第二片體531b上，用於擋住立板536c的一側，使它保持貼靠且不致於脫離。另兩支調整螺栓537係螺設於前後擺動座531的第二片體531b，例如分對應螺設於前後擺動座531的第二片體531b一側邊的兩栓座539上。其中一調整螺栓537的位 置高於軸塊536d(即立板536c的轉動軸心)，另一調整螺栓537的位置低於軸塊536d，用以分別對應推抵立板536c右側邊的上部及下部，藉以調整左右擺動座536作左右擺動。如第十四圖所示，當一手轉動較高的調整螺栓537而使其向左移動並推抵立板536c的右側邊上部，另一手反向轉動較低的調整螺栓537而使其向後移動，就能使左右擺動座536以軸塊536d為軸地向左擺動。至於調整左右擺動座536向右擺動的動作與前述類似，差別只在於轉動兩調整螺栓537的動作相反而已，容不贅述。因此，藉由轉動兩調整螺栓537就能調整顯微影像擷取模組50往左或往右擺動到想要的角度位置。其中，為了確保左右擺動座536能平順地左右擺動，水平角度調整機構53還包括多支導栓540，該些導栓540設於前後擺動座531的第二片體531b上且分別對應位於立板536c的多個弧形導孔541內。

從上述說明可知，本發明之顯微取像設備不但能藉由雷射追焦模組3及顯微取像鏡組5對目標物8進行顯微取像，且能在進行前述取像運作之前，先藉由此二者本身的調整機構，以手動方式先調整雷射位移偵測模組30在x軸方向上的位置與z軸方向上的位置，再快速調整顯微影像擷取模組50在z軸方向上的位置與水平角度位置，以使雷射位移偵測模組30與顯微影像擷取模組50的鏡頭501能位於適當的高度位置，及使顯微影像擷取模組50的鏡頭501的焦平面與目標物8的取像區平行，進而確保顯微取像上的清晰度能在可接受的範圍內。

無論如何，任何人都可以從上述例子的說明獲得足夠教導，並據而了解本發明內容確實不同於先前技術，且具有產業上之利用性，及足具進步性。是本發明確已符合專利要件，爰依法提出申請。

1‧‧‧x軸移載裝置

12‧‧‧x軸載板

13‧‧‧x軸驅動單元

13a‧‧‧定子

13b‧‧‧動子

2‧‧‧z軸移載裝置

20‧‧‧z軸軌道

21‧‧‧z軸載板

22‧‧‧z軸驅動單元

220‧‧‧伺服馬達

3‧‧‧雷射追焦模組

30‧‧‧雷射位移偵測模組

4‧‧‧y軸移載裝置

40‧‧‧座板

41‧‧‧y軸軌道

42‧‧‧y軸載板

43‧‧‧y軸驅動單元

43a‧‧‧定子

43b‧‧‧動子

5‧‧‧顯微取像鏡組

50‧‧‧顯微影像擷取模組

501‧‧‧鏡頭

Claims (7)

1. 一種顯微取像設備，係用於對一目標物的取像區進行取像且包括一x軸移載裝置、一z軸移載裝置係由該x軸移載裝置帶動而能沿x軸移動、一雷射追焦模組係設於該z軸移載裝置的一z軸載板上、及一顯微取像鏡組係設於該z軸載板上；該雷射追焦模組具有一雷射位移偵測模組正對該目標物的該取像區，該顯微取像鏡組具有一鏡頭正對該目標物的該取像區；該雷射追焦模組係藉由該x軸移載裝置而能沿x軸移動，並在移動的同時偵測該目標物的取像區與該鏡頭之間的垂直距離變化；該z軸載板係藉由該x軸移載裝置而能沿x軸移動，該z軸移載裝置並能根據該雷射位移偵測模組的偵測結果，微調該z軸載板的高度位置，其中：該雷射追焦模組還包括一第一z軸調整機構係設於該z軸載板、及一x軸調整機構係設於該第一z軸調整機構上且承載該雷射位移偵測模組，該第一z軸調整機構係用以調整該雷射位移偵測模組在z軸上的位置，該x軸調整機構係用以調整該雷射位移偵測模組在x軸上的位置；及該顯微取像鏡組還包括一第二z軸調整機構係設於該z軸載板、及一水平角度調整機構係設於該第二z軸調整機構上且承載該顯微影像擷取模組，該第二z軸調整機構係用以調整該顯微影像擷取模組在z軸上的位置，該水平角度調整機構係用以調整該顯微影像擷取模組的角度位置，以使該鏡頭的焦平面與該目標物的取像區平行。
2. 如申請專利範圍第1項所述之顯微取像設備，包括一y軸移載裝置，該顯微取像鏡組係藉由y軸移載裝置而設於該z軸載板上，該y軸移載裝置包括：一座板，係設於該z軸載板上；一組y軸軌道，係設於該座板上且沿y軸延伸一段長度；一y軸載板，係可滑動地設於該組y軸軌道上且承載該顯微影像擷取模組；以及一y軸驅動單元，係設於座板上且用以驅動該y軸載板沿著該組y軸軌道移動。
3. 如申請專利範圍第1或2項所述之顯微取像設備，其中該第一z軸調整機構包括：一載片，係面對面地貼靠於該z軸載板上；及一z軸調整螺栓，係螺設於該z軸載板上且由下往上頂抵該載片；其中，該x軸調整機構包括：一活動板，係面對面地貼靠於該載片上且承載該該雷射位移偵測模組；及兩x軸調整螺栓，分別螺設於該載片的兩相對側且分別頂抵該活動板在x軸方向上的兩相對側邊。
4. 如申請專利範圍第2項所述之動態顯微取像設備，其中該y軸移載裝置的該座板具有相互垂直連接的一第一片體及一第二片體，該第一片體係面對面地貼靠於該z軸載板上，該第二z軸調整機構包括一調整螺栓，該調整螺栓螺設於該z軸載板上且由下往上抵靠於該第一片體的底緣。
5. 如申請專利範圍第4項所述之動態顯微取像設備，其中該y軸載板具有一表面背對於該座板的該第二片體，該水平角度調整機構包括：一軸柱，設於該y軸載板的該表面上；一前後擺動座，具有相互垂直連接的一第一片體及一第二片體，該第一片體係面對面地貼靠於該y軸載板的該表面上，且該第一片體具有一軸孔對應接收該軸柱，使得該第一片體能在該表面上以該軸柱為軸地作前後擺動；及兩調整螺栓，螺設於該y軸載板上，其中一調整螺栓的位置高於該軸柱，且抵於該第一片體的前側邊的上部，另一調整螺栓的位置低於該軸柱，且推抵該第一片體的前側邊的下部。
6. 如申請專利範圍第5項所述之動態顯微取像設備，其中該水平角度調整機構包括：一左右擺動座，係承載該顯微影像擷取模組且具有一軸塊，該軸塊被安裝於該前後擺動座的該第二片體上的一軸槽內，使得該左右擺動座能以軸塊為軸地作左右擺動；及兩支調整螺栓，係螺設於該前後擺動座的該第二片體上，其中一調整螺栓的位置高於該軸塊，且抵於該左右擺動座的一側邊的上部，另一調整螺栓的位置低於該軸塊，且抵於該左右擺動座的該側邊的下部。
7. 一種顯微取像設備，係用於對一目標物的取像區進行取像且包括一雷射追焦模組及一顯微取像鏡組；該雷射追焦模組具有一雷射位移偵測模組正對該目標物的該取像區，該 顯微取像鏡組具有一鏡頭正對該目標物的該取像區；該雷射追焦模組係能沿x軸移動，並在移動的同時偵測該目標物的該取像區與該鏡頭之間的垂直距離變化；該顯微取像鏡組係能跟該雷射位移偵測模組一起沿x軸移動，並能單獨沿y軸移動，及能根據該雷射位移偵測模組的偵測結果，與該雷射位移偵測模組一起沿z軸微調高度位置。