TW201630108A - 用於電漿處理的雙區式加熱器 - Google Patents

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Abstract

提供了一種用於基座的方法和裝置。在一個實施例中，所述基座包括：包含陶瓷材料並且具有凸緣的主體；嵌入在主體中的一或多個加熱元件；耦接到凸緣的第一軸；以及耦接到第一軸的第二軸；其中第二軸包括在所述第二軸中形成的多個流體通道，所述流體通道在所述第二軸中終止。

Description

用於電漿處理的雙區式加熱器
本文公開的實施例一般地涉及半導體處理腔室，並且更具體地涉及具有多區溫度控制的半導體處理腔室的加熱的支撐基座。
半導體處理涉及大量不同的化學和物理工藝，所述工藝使得能夠在基板材上形成微小的積體電路。通過化學氣相沉積、物理氣相沉積、磊晶生長等等形成了構成積體電路的材料層。使用光刻膠掩模以及濕式或者幹式蝕刻技術來圖案化材料層中的一些材料層。用來形成積體電路的基板材可以是矽、砷化鎵、磷化銦、玻璃或者其他適當的材料。
在積體電路的製造中，電漿工藝往往用於沉積或者蝕刻各種材料層。電漿處理提供了優於熱處理的許多優點。例如，電漿增強化學氣相沉積(PECVD)允許在比類似的熱工藝中可實現的更低的溫度以及更高的沉積速率來執行沉積工藝。因此，PECVD對於具有嚴格的熱預算的積體電路製造(諸如，對於特大規模或者超大型積體電路(VLSI或者ULSI)器件製造)是有利的。
用於這些工藝中的處理腔室通常包括設置在其中的基板材支撐件或者基座以在處理期間支撐基板材。在一些工藝中，基座可包括嵌入式加熱器，所述嵌入式加熱器適用於控制基板材的溫度和/或提供可在工藝中使用的升高的溫度。常規意義上而言，基座可由陶瓷材料製成，陶瓷材料一般提供所需的器件製造結果。
然而，陶瓷基座產生了許多挑戰。這些挑戰中的一個挑戰為在處理期間對基座和基板材的多區式加熱和/或準確的溫度控制。
因此，所需要的是在多個區域中溫度受控的基座。
提供了一種用於加熱的基座的方法和裝置。在一個實施例中，所述基座包括：包含陶瓷材料並且具有凸緣的主體；嵌入在主體中的一個或多個加熱元件；耦接到凸緣的第一軸，以及耦接到第一軸的第二軸，其中，第二軸包括在所述第二軸中形成的多個流體通道，所述流體通道在第二軸中終止。
在另一實施例中，提供了一種用於半導體處理腔室的基座。所述基座包括：包含陶瓷材料的主體；被封圍在主體中的多個加熱元件；耦接到主體的第一軸；以及耦接到第一軸的第二軸；其中第二軸包括在所述第二軸中形成的多個流體通道，所述流體通道的至少部分在第二軸中終止。
在又一實施例中，提供了一種用於半導體處理腔室的基座。所述基座包括：包含陶瓷材料的主體；被封圍在主 體中的多個加熱元件；耦接到主體的第一軸；以及耦接到第一軸的第二軸；其中第二軸包括在所述第二軸中形成的多個流體通道，所述流體通道的至少部分在第二軸中終止，並且其中，第一軸由第一材料製成，並且第二軸由與第一材料不同的第二材料製成。
100‧‧‧電漿系統
102‧‧‧處理腔室主體
103‧‧‧電力箱
104‧‧‧蓋
106‧‧‧遮蔽環
108‧‧‧氣體分配系統
112‧‧‧側壁
116‧‧‧底壁
120A‧‧‧處理區域
120B‧‧‧處理區域
122‧‧‧通路
124‧‧‧通路
125‧‧‧圓周泵送空腔
126‧‧‧芯柱
127‧‧‧腔室襯墊組件
128‧‧‧基座
129‧‧‧底座元件
130‧‧‧杆
131‧‧‧升降板材
132‧‧‧排出埠
133‧‧‧凸緣
135‧‧‧圓周環
140‧‧‧進氣通路
142‧‧‧噴淋頭組件
144‧‧‧阻擋板材
146‧‧‧面板材
147‧‧‧冷卻通道
148‧‧‧環形底板材
151‧‧‧冷卻劑通道
158‧‧‧電介質隔離器
160‧‧‧基板材輸送埠
161‧‧‧升降杆
164‧‧‧泵送系統
165‧‧‧RF源
200‧‧‧基座
205‧‧‧加熱器主體
210‧‧‧加熱元件
215‧‧‧第一軸
220‧‧‧第二軸
230‧‧‧冷卻劑
235‧‧‧導管
300‧‧‧基座
305‧‧‧壁
310‧‧‧介面
315‧‧‧介面
400‧‧‧基座
402‧‧‧下部部分
405‧‧‧第一板材
410‧‧‧第二板材
415‧‧‧台肩
420‧‧‧流動通道
425‧‧‧冷卻劑通道
430‧‧‧尺度
435‧‧‧尺度
440‧‧‧介面
445‧‧‧進口
450‧‧‧出口
455‧‧‧側壁
500‧‧‧基座
501‧‧‧基板材
505‧‧‧通道
510‧‧‧RF網格
515‧‧‧頂表面
520‧‧‧內氣體通道
525‧‧‧外氣體通道
600‧‧‧基座
602‧‧‧軸
605‧‧‧升降杆導件
610‧‧‧開口
700‧‧‧基座
705‧‧‧管狀配合構件
710‧‧‧開口
715‧‧‧插入件
720‧‧‧O形環
725‧‧‧連接器
730‧‧‧流體通道
800‧‧‧基座
805‧‧‧冷卻基座
815‧‧‧流體通道
820‧‧‧流體通道
因此，為了可詳細地理解本公開的上述特徵的方式，可參照實施例來進行對上文簡要概述內容的更特定的描述，所述實施例中的一些圖示在附圖中。然而，應當注意，附圖僅圖示典型的實施例，並且因此不應被視為限制本發明的範圍，因為本文所公開的實施例可允許其他等效的實施例。
圖1是電漿系統的一個實施例的局部剖視圖。
圖2是可用於圖1的電漿系統中的基座的一個實施例的示意性剖視圖。
圖3A是可用於圖1的電漿系統中的基座的另一實施例的示意性剖視圖。
圖3B到圖3D是圖3A的基座的第一軸的替代實施例的剖視圖。
圖4A是可用於圖1的電漿系統中的基座的另一實施例的示意性剖視圖。
圖4B是圖4A所示的基座的局部側面剖視圖。
圖4C是冷卻劑通道的一個實施例的平面圖。
圖5是可用於圖1的電漿系統中的基座的另一實施例的示意性剖視圖。
圖6是可用於圖1的電漿系統中的基座的另一實施例的示意性剖視圖。
圖7是可用於圖1的電漿系統中的基座的部分的一個實施例的示意性剖視圖。
圖8A是可用於圖1的電漿系統中的基座的部分的另一實施例的示意性剖視圖。
圖8B是可用於圖1的電漿系統中的基座的部分的另一實施例的示意性剖視圖。
為了促進理解，在可能的情況下，已使用完全相同元件符號來指定諸圖所共有的完全相同的元件。構想了在一個實施例中公開的元件可以有益地用於其他實施例，而無需提別陳述。
在下文參照電漿腔室來說明性地描述本公開的實施例，但是本文描述的實施例也可用於其他腔室類型和多種工藝中。在一個實施例中，電漿腔室用於電漿增強化學氣相沉積(PECVD)系統中。可經調適以受益於本公開的PECVD系統的示例包括PRODUCER® SE CVD系統、PRODUCER® GTTM CVD系統或者DXZ® CVD系統，所有這些系統都可從加利福尼州亞聖克拉拉市的應用材料公司(Applied Materials,Inc.,Santa Clara California)商購獲得。Producer® SE CVD系統腔室(例如，200mm或者300mm)具有兩個分隔的處理區域，這兩個處理區域可用於在基板材上沉積薄膜，諸如，導電薄膜、氧化物薄膜(諸如，氧化矽薄膜、摻雜碳的氧化矽)以及 其他材料。雖然示例性實施例包括兩個處理區域，但是構想了本文公開的實施例用於有利於具有單個的處理區域或者多於兩個的處理區域的系統。還構想了本文公開的實施例可用於有利於其他電漿腔室，包括蝕刻腔室、離子佈植腔室、電漿處理腔室以及抗離腔室，等等。進一步構想了本文公開的實施例可用於有利於可從其他製造商處購得的電漿處理腔室。
圖1是電漿系統100的局部剖視圖。電漿系統100一般包含處理腔室主體102，所述處理腔室主體102具有側壁112、底壁116和共用的內側壁101，所述側壁112、底壁116和共用的內側壁101界定一對處理區域120A和120B。處理區域120A、120B中的每一者類似地經配置，並且為了簡潔起見，將僅描述處理區域120B中的部件。
基座128通過通路122而設置在處理區域120B中，所述通路122在系統100中的底壁116中形成。基座128提供加熱器，所述加熱器適應於在所述加熱器的上表面上支撐基板材(未示出)。基座128可包括加熱元件(例如，電阻式加熱元件)以加熱基板材並將基板材溫度控制在所需的工藝溫度處。或者，可由遠端加熱元件(諸如，燈元件)加熱基座128。
基座128通過凸緣133而耦接到芯柱126。芯柱126將基座128耦接到電源插座或者電力箱103。電力箱103可包括驅動系統，所述驅動系統控制基座128在處理區域120B內的上升和運動。芯柱126還包含電功率介面以將功率提供給基座128。電力箱103還包括用於電功率和溫度指示器的介面，諸如， 熱電偶介面。芯柱126還包括一個或多個冷卻劑通道151。芯柱126還包括底座組件129，所述底座組件129適應於可拆卸地耦接到電力箱103。冷卻劑通道151可延伸到基座128，在芯柱126內終止，或者為延伸到基座128以及在芯柱126內終止的組合。圓周環135示出為在電力箱103上方。在一個實施例中，圓周環135是改動為機械止動件或平臺(land)且配置成用於提供底座元件129與電力箱103的上表面之間的機械介面的台肩。
杆130設置為穿過在處理區域120B的底壁116中形成的通路124，並且用於定位穿過基座128而設置的升降杆161。杆130耦接到與升降杆161接觸的升降板材131。基板材升降杆161選擇性地將基板材與基座隔開以便於用機械手(未示出)來更換基板材，所述機械手用於通過基板材輸送埠160將基板材輸送進和輸送出處理區域120B。
腔室蓋104耦接到腔室主體102的頂部部分。蓋104容納耦接到所述蓋104的一個或多個氣體分配系統108。氣體分配系統108包括進氣通路140，所述進氣通路140通過噴淋頭組件142將反應物和淨化氣體傳遞到處理區域120B中。噴淋頭組件142包括環形底板材148，所述環形底板材148具有設置在環形底板材148與面板材146中間的阻擋板材144。射頻(RF)源165耦接到噴淋頭組件142。RF源165為噴淋頭組件142供能以促進在噴淋頭組件142的面板材146與加熱的基座128之間生成電漿。在一個實施例中，RF源165可以是高頻射頻(HFRF)功率源，諸如，13.56MHz的RF發生器。在另一個實施例中， RF源165可包括HFRF功率源和低頻射頻(LFRF)功率源，諸如，300kHz的RF發生器)。或者，RF源可耦接到處理腔室主體102的其他部分(諸如，基座128)以促進電漿生成。電介質隔離器158設置在蓋104與噴淋頭組件142之間以防止使RF功率傳導到蓋104。遮蔽環106可設置在基座128的外周上，所述基座128以所需的基座128的高度接合基板材。
任選地，冷卻通道147形成在氣體分配系統108的環形底板材148中以在操作期間冷卻環形底板材148。熱傳導流體(諸如，水、乙二醇、氣體等等)可通過冷卻通道147迴圈，使得底板材148被維持在預定的溫度。
腔室襯墊組件127設置在處理區域120B內，並且非常接近腔室主體102的側壁101、112以防止所述側壁101、112暴露於處理區域120B內的處理環境。襯墊組件127包括耦接到泵送系統164的圓周泵送空腔125，所述泵送系統164配置成用於從處理區域120B排出氣體和副產物並且控制處理區域120B內的壓力。多個排出埠132可形成在腔室襯墊組件127上。排出埠132配置成用於以促進系統100內的處理的方式來允許氣體從處理區域120B到圓周泵送空腔125的流動。
本公開的實施例提供用於設計溫度受控的區域陶瓷加熱器(即，如本文所描述的基座128)並且控制其以在RF電漿環境中實現最終的溫度均勻性和即時的溫度調諧能力的方法和裝置。在下文更詳細地描述的冷卻劑通道151的配置允許對基座128的溫度控制。基座128不限於用於CVD/PECVD處理腔室中，並且可用於PVD和蝕刻半導體處理腔室中。
具有有限的冷卻能力的常規加熱器無法在高RF功率條件的情況下來控制加熱器溫度。當將加熱器溫度控制在約260攝氏度和更高的溫度時，來自常規的加熱器的熱損耗不足以補償由RF電漿提供的熱量。同時，在常規的雙區式加熱器中，僅一個熱電偶被封圍在陶瓷加熱器的中心。通過測量外區加熱元件來計算外區加熱器的溫度。將所需的特定功率提供給加熱器以獲得加熱元件電阻，並且隨後實現適當的溫度解析度。此功率將升高加熱器的溫度，但是在電漿處理期間，要求加熱器保持為是冷卻的。此外，在加熱器中充當接地板材或者板材電極的RF網格的配置影響對基板材的RF耦合。在常規加熱器中，尤其是在所述網格中升降杆孔所位於的區域中，RF耦合是受限的。
圖2是基座200的一個實施例的示意性剖視圖，所述基座200可用作圖1的電漿系統100中的基座128。基座200包括耦接到芯柱126的加熱器主體205。加熱器主體205包括嵌入在加熱器主體205內部的加熱元件210。加熱器主體205可包含陶瓷材料，諸如，氮化鋁材料或者其他陶瓷材料。在此實施例中的芯柱126是兩段式組件，並且包括耦接到凸緣133的第一軸215以及耦接到所述第一軸215的第二軸220。第一軸215和第二軸220可由使熱傳導離開加熱器主體205的不同材料製成。例如，第一軸215可由具有第一熱傳導性質的材料製成，所述第一熱傳導性質與第二軸220的材料的第二熱傳導性質不同。第一軸215可由氮化鋁製成，而第二軸可由鋁製成。第一軸215可擴散接合到加熱器主體205，例如，擴散接合到凸緣 133。
在圖1的電漿系統100中執行的一些電漿工藝中，在電漿處理期間基座200的溫度為約260攝氏度。在圖1的處理區域120A和120B中的工藝期間，可通過提供到嵌入在加熱器主體205內部的加熱元件210的功率以及從電漿獲取的熱量的組合來加熱基座200。在許多情況下，加熱器主體205的溫度無法維持，並且可升高到大於約260攝氏度的溫度。
如圖2中所示，使冷卻劑230(諸如，混有水的乙二醇、GALDEN®流體或者氣體)流過第二軸220以降低加熱器主體205的溫度。替代地或者附加地，可縮短第一軸215的長度以將第二軸220定位為更靠近加熱器主體205，此可改善冷卻能力。冷卻劑可在第二軸220的中空部分(諸如，導管235)中流動，所述中空部分可以是在圖1中示出和描述的冷卻劑通道151中的一個。
圖3A是基座300的另一實施例的示意性剖視圖，所述基座300可用作圖1的電漿系統100中的基座128。基座300可以是圖2中示出的基座200的替代或附加的方面。根據此實施例，第一軸215的設計可適應於增強熱傳導。例如，與圖2中的第一軸215相比，第一軸215的壁305的厚度T可從約0.1英寸一直增加到約0.4英寸。增大壁305的厚度T可用於增大從加熱器主體205到第二軸220的熱通量。替代地或者附加地，第一軸215與第二軸220耦接處的介面310可配置成具有增大的表面積(例如，增大的厚度和/或橫截面)以進一步增加芯柱126的熱傳導。第一軸215與凸緣133耦接處的介面315也可配置成 具有增大的表面積(例如，增大的厚度和/或橫截面)以使得使熱離開加熱器主體205的傳導最大化。增大的表面積可包括增大第一軸215和第二軸220兩者的橫截面面積，並且還可簡化軸設計並改善介面310和/或315處的機械連接。在第二軸220中還示出冷卻劑通道(諸如，導管235)。導管235可與熱交換器流體地連通。熱交換器可經冷凍以改善來自流體的熱去除，所述流體在導管235中流動。
圖3B到圖3D是第一軸215的替代實施例的剖視圖，其中可單獨地改變壁305的高度H，或者可將壁305的高度H和厚度T一起改變。第一軸215的高度H的改變可用於增大從加熱器主體205到第二軸220的熱通量。附加地或者替代地，可改變介面315的形狀以增加熱傳導和/或增大從加熱器主體205到第二軸220的熱通量。
圖4A是基座400的另一實施例的示意性剖視圖，所述基座400可用作圖1的電漿系統100中的基座128。在此實施例中，基座400包括將液體或者氣體用作冷卻劑230的主動式冷卻劑進料裝置。在圖4A-4C中描述和示出的基座400的特徵為閉環主動式水冷或者氣體進料裝置，所述閉環主動式水冷或者氣體進料裝置從加熱器主體205和/或基板材(未示出)上去除熱。通過使冷卻劑230直接流入加熱器主體205的下部部分402，可顯著地改善基座400的冷卻。一個或多個流動通道420可形成在第一軸215和第二軸220的側壁中，並流動到冷卻劑通道425，所述冷卻劑通道425可以是在圖1中示出並描述的形成在加熱器主體205中的冷卻劑通道151中的一個。在一些 實施例中，加熱器主體205可包括接合在一起的第一板材405和第二板材410。冷卻劑通道425可形成在第一板材405和第二板材410中的一者或兩者中。可通過擴散接合來結合板材405、410。基座400的凸緣133還可包括台肩415，在所述凸緣133處第一軸215耦接到加熱器主體205。台肩415包括尺度430(例如，直徑)，所述尺度430大於第一軸215的尺度435(例如，直徑)。台肩415可用於增強離開加熱器主體205的熱的傳導，這可減少加熱器主體205中的冷點。
圖4B是在圖4A中示出的基座400的局部側面剖視圖，圖4B示出嵌入在加熱器主體205中冷卻劑通道的替代位置。根據此實施例的冷卻劑通道425定位在第一板材405和第二板材410的介面440處。
圖4C是嵌入加熱器主體205中的冷卻劑通道425的一個實施例的平面圖。冷卻劑通道425包括基本上圓形的流體路徑，所述流體路徑具有進口445和出口450。第一軸215的側壁455(在圖4A中示出)以虛線示出為接近冷卻劑通道425的中心。進口445和出口450基本上與側壁455對準以形成一個或多個流動通道420(示出在圖4A中)。
圖5是基座500的另一實施例的示意性剖視圖，所述基座500可用作圖1的電漿系統100中的基座128。在此實施例中，基座500包括背側冷卻和夾持能力。基座500包括與冷卻劑230連通的內氣體通道520和外氣體通道525的一者或兩者。內氣體通道520和外氣體通道525可包含在圖1中示出並描述的冷卻劑通道151。可以包括其他氣體通道。內氣體通道520 可用於將冷卻氣體提供給加熱器主體205的中央區域以冷卻基板材501。外氣體通道525可用於將冷卻氣體提供給加熱器主體205的邊緣以冷卻基板材501的邊緣。包含冷卻劑230的冷卻氣體可以是氦氣、氬氣或者氮氣、或者它們的組合、以及其他氣體。內氣體通道520和外氣體通道525可形成在第一軸215和第二軸220的側壁中，並且各自可形成閉環流體管線。內氣體通道520和外氣體通道525可形成為允許氣體圍繞基板材501的邊緣而洩漏到真空腔室(例如，圖1的處理區域120A和120B)中。一個或多個通道505可形成在加熱器主體205的第一板材405和第二板材410中的一者或兩者之中或之上。基座500在處理期間提供對基板材501的高度靈活的溫度可調諧性，以便使用單個或者雙個氣體進料裝置來主動式地控制基板材溫度。由內氣體通道520和外氣體通道525提供的雙區式背側氣體配置提供了用於基板材501的中心到邊緣的溫度可調諧性的高效節點。
基座500還可包括RF網格510，所述RF網格510用作夾持電極。在第一板材405中形成的小孔可用於允許氣體洩漏到加熱器主體205的頂表面515。靜電夾盤還允許氣體在基板材501與頂表面515之間通過並且圍繞基板材501的邊緣洩漏。
圖6是基座600的另一實施例的示意性剖視圖，所述基座600可用作圖1的電漿系統100中的基座128。在此實施例中，與常規的升降杆相比，升降杆161(僅示出一個)具有設有最小直徑D的軸602。升降杆161的軸602的最小化的直徑提供了加熱器主體205中的較小的(較小直徑的)升降杆導件605 。升降杆導件605的最小化的尺寸提供了在RF網格510中形成的開口610，所述開口610小於常規基座的RF網格中的開口。最小化的開口610提供增強的RF耦合，在升降杆的區域內尤其如此。在一個實施例中，直徑D小於約0.01英寸。
圖7是基座700的部分的一個實施例的示意性剖視圖，所述基座700可用作圖1的電漿系統100中的基座128。基座700包括第二軸220中耦接到底座元件129的部分。底座元件129包括管狀配合構件705，所述管狀配合構件705具有開口710，所述開口710容置第二軸220中配置為插入件715的至少部分。管狀配合構件705可以是至少部分地包裹第二軸220的套筒。在一些實施例中，管狀配合構件705完全包裹第二軸220的外周表面。管狀配合構件705可由鋁製成。
在一個實施例中，插入件715可由鋁製成。第二軸220尺寸設定為略小於開口710以提供插入件715與管狀配合構件705之間的接觸。根據此實施例，第二軸220的冷卻劑入口與冷卻基座(例如，底座元件129)的表面接觸。O形環720可用於在底座元件129與第二軸220之間提供密封。流體進料裝置的連接器725位於底座元件129的側面處，這為其他特徵(如埠和篩檢程式(未示出))預留了空間。插入件715還可包括流體通道730，流體通道730可以是在圖1中示出並描述的冷卻劑通道151中的一個。
圖8A和8B是可用於圖1的電漿系統中的基座800的部分的另一實施例的示意性剖視圖。第二軸220在所述第二軸220的側壁附近具有與冷卻基座805的表面接觸。另外，基座 800包括插入件715，所述插入件715包括形成在所述插入件715中的流體通道815。在一些實施例中，與圖7的實施例類似，管狀配合構件705包括形成在所述管狀構件705的側壁中的流體通道730。流體通道815和流體通道730可以是圖1中示出並描述的冷卻劑通道151。流體通道730和流體通道815兩者都可以是閉環流體路徑(例如，耦接到分開的冷卻劑源(未示出))。或者，流體通道730和流體通道815兩者都可耦接到共同的冷卻劑源(未示出)。
圖8B是圖8A的基座800的替代實施例。在此實施例中，在插入件715中形成的流體通道815流體地耦接到在插入件715中形成的、鄰近底座元件129的流體通道820。
本文描述的基座的實施例提供多區式加熱器，所述多區式加熱器提供更高效的加熱控制以及更寬範圍的溫度可調諧性。還可增強低溫維持，這增加了基座對低溫形成薄膜工藝的適用性。
雖然上述內容針對本公開的實施例，但是可設計本公開的其他和進一步的實施例而不背離本公開的基本範圍，並且本公開的範圍由所附權利要求書來確定。
100‧‧‧電漿系統
102‧‧‧處理腔室主體
103‧‧‧電力箱
104‧‧‧蓋
106‧‧‧遮蔽環
108‧‧‧氣體分配系統
112‧‧‧側壁
116‧‧‧底壁
120A‧‧‧處理區域
120B‧‧‧處理區域
122‧‧‧通路
124‧‧‧通路
125‧‧‧圓周泵送空腔
126‧‧‧芯柱
127‧‧‧腔室襯墊組件
128‧‧‧基座
129‧‧‧底座元件
130‧‧‧杆
131‧‧‧升降板材
132‧‧‧排出埠
133‧‧‧凸緣
135‧‧‧圓周環
140‧‧‧進氣通路
142‧‧‧噴淋頭組件
144‧‧‧阻擋板材
146‧‧‧面板材
147‧‧‧冷卻通道
148‧‧‧環形底板材
151‧‧‧冷卻劑通道
158‧‧‧電介質隔離器
160‧‧‧基板材輸送埠
161‧‧‧升降杆
164‧‧‧泵送系統
165‧‧‧RF源

Claims (20)

  1. 一種用於一半導體處理腔室的基座，該基座包含：一主體，該主體包含一陶瓷材料並且具有一凸緣；一個或多個加熱元件，該一個或多個加熱元件嵌入在該主體中；一第一軸，該第一軸耦接到該凸緣；以及一第二軸，該第二軸耦接到該第一軸；其中該第二軸包括在該第二軸中形成的多個流體通道，該多個流體通道在該第二軸中終止。
  2. 如請求項1所述的基座，其中該第一軸由一第一材料製成，並且該第二軸由與該第一材料不同的一第二材料製成。
  3. 如請求項1所述的基座，其中該流體通道的部分延伸入該主體以形成一閉環冷卻路徑。
  4. 如請求項1所述的基座，其中該第二軸包含插入件，該插入件由與該基座的該主體的材料不同的材料製成。
  5. 如請求項4所述的基座，其中該插入件包括形成在該插入件中的一流體通道。
  6. 如請求項5所述的基座，其中形成在該插入件中的該流體通道包含一第一流體通道，該第一流體通道與該插入件外部 的一第二流體通道流體地連通。
  7. 如請求項6所述的基座，其中該多個流體通道包含一第一組流體通道，並且該基座包括形成在該第一軸和該第二軸中的一第二組流體通道。
  8. 如請求項1所述的基座，其中該第二組流體通道中的一個或多個流體通道在該主體中終止。
  9. 如請求項8所述的基座，其中該第二組流體通道中的一個或多個流體通道在該主體的表面處終止。
  10. 一種用於一半導體處理腔室的基座，該基座包含：一主體，該主體包含一陶瓷材料；多個加熱元件，該多個加熱元件被封圍在該主體內；一第一軸，該第一軸耦接到該主體；以及一第二軸，該第二軸耦接到該第一軸；其中該第二軸包括在該第二軸中形成的多個流體通道，該流體通道的至少部分在該第二軸中終止。
  11. 如請求項10所述的基座，其中該第二軸至少部分地被套筒包裹。
  12. 如請求項10所述的基座，其中該多個流體通道包含一第 一組流體通道，並且該基座包括形成在該第一軸和該第二軸中的一第二組流體通道。
  13. 如請求項12所述的基座，其中該第二組流體通道中的一個或多個流體通道在該主體中終止。
  14. 如請求項10所述的基座，其中一插入件設置在該第二軸內。
  15. 如請求項10所述的基座，其中該第一軸由一第一材料製成，並且該第二軸由與該第一材料不同的一第二材料製成。
  16. 一種用於一半導體處理腔室的基座，該基座包含：一主體，該主體包含一陶瓷材料；多個加熱元件，該多個加熱元件被封圍在該主體中；一第一軸，該第一軸耦接到該主體；以及一第二軸，該第二軸耦接到該第一軸；其中該第二軸包括在該第二軸中形成的多個流體通道，該流體通道的至少部分在該第二軸中終止，並且其中，該第一軸由一第一材料製成，並且該第二軸由與該第一材料不同的一第二材料製成。
  17. 如請求項16所述的基座，其中該第二軸至少部分地被一套筒包裹。
  18. 如請求項17所述的基座，其中該套筒耦接到一冷卻基座。
  19. 如請求項16所述的基座，其中該第二軸包含一插入件。
  20. 如請求項19所述的基座，其中該第一軸由一陶瓷材料製成，並且該第二軸和該插入件由鋁材製成。
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