TW201624591A - 流體加熱器、加熱塊及氣化系統 - Google Patents

Abstract

本發明提供一種流體加熱器、加熱塊及氣化系統，容易小型化且能以低價格製造，此外能得到穩定的加熱性能。流體加熱器(23)藉由預熱加熱器(232)加熱流體，具備加熱塊(231)，其形成有內部流道(231R)，所述內部流道(231R)具有導入所述流體的導入口(231a)及導出所述流體的導出口(231b)，並且在所述加熱塊(231)中形成有沿規定的軸向延伸的加熱器插入部(231H)，所述內部流道(231R)具有在所述規定的軸向上延伸的複數個主流道部(231R1)以及連接所述複數個主流道部(231R1)的一個或複數個連接流道部(231R2)

Description

流體加熱器、加熱塊及氣化系統

本發明關於一種用於加熱例如成為用於半導體步驟的氣體的原料的液體材料等流體的流體加熱器。

以往，作為生成用於例如成膜步驟等半導體製造步驟的氣體的系統，使用將液體材料氣化的氣化系統。

在所述氣化系統中，例如如專利文獻1所示，使用通過用鋁鑄造流體流過的配管及加熱所述配管的加熱部而構成的加熱器，作為加熱液體材料使其氣化的氣化器及對導入所述氣化器的液體材料進行預熱的預熱器等。

可是，通過鑄造配管及加熱部而構成的加熱器難以小型化且價格昂貴，此外，存在因鑄造的偏差導致配管及加熱部的導熱性的變化從而不能得到足夠的加熱性能的問題。

[先前技術文獻]

專利文獻1：日本專利公開公報特開2002-90077號。

本發明是用於解決所述的問題而做出的發明，本發明的目的是提供一種能容易小型化且能以低價格製造，此外 能得到穩定的加熱性能的流體加熱器。

亦即本發明提供一種流體加熱器，其通過加熱器加熱流體，所述流體加熱器具備加熱塊，在所述加熱塊中通過機械加工形成有內部流道，所述內部流道具有導入所述流體的導入口及導出所述流體的導出口，並且在所述加熱塊中形成有沿規定的軸向延伸的加熱器插入部，所述內部流道具有：複數個主流道部，沿所述規定的軸向延伸；以及一個或複數個連接流道部，連接所述複數個主流道部，所述複數個主流道部以包圍所述加熱器插入部的方式設置。

按照這種流體加熱器，由於在加熱塊中通過機械加工形成有內部流道，所以容易小型化，並且能夠以低價格製造。此外，由於像以往的鑄造那樣的製造偏差小，所以能夠得到穩定的加熱性能。特別是，由於內部流道具有沿加熱器插入孔的軸向延伸的複數個主流道部，所以能有效地利用來自加熱器的熱量來加熱流體。

較佳的是，通過所述一個或複數個連接流道部連接所述複數個主流道部的長邊方向的端部之間，所述內部流道成為從所述導入口到所述導出口多次折返的流道。

按照這種結構，能夠加長加熱塊中的內部流道的流道長度，能夠加大與流體的熱交換面積，能夠提高加熱性能。

較佳的是，最上游側的主流道部及最下游側的主流道部以外的主流道部(以下稱為中游側的主流道部)的至少一個或所述加熱器插入部，位於所述最上游側的主流道部與所述最下游側的主流道部之間，所述最上游側的主流道 部最接近所述導入口，所述最下游側的主流道部最接近所述導出口。

按照這種結構，由於中游側的主流道部的至少一個或所述加熱器插入部，位於加熱初期相對低溫的流體流過的最上游側的主流道部與加熱後期的相對高溫的流體流過的最下游側的主流道部之間，所以能夠防止流過最下游側的主流道部的流體，被流過最上游側的主流道部的流體冷卻。

較佳的是，所述導出口形成在比所述導入口更靠上側的位置，所述內部流道從所述導入口到所述導出口以沿水平方向或者朝向下游側朝上的方式形成。

按照這種結構，流過內部流道的流體所含的氣泡不會滯留在內部流道中，能與流過內部流道的流體一起從導出口導出。由此，能夠高效地加熱流過內部流道的流體。此外，如果氣泡成長並成為大的氣泡，所述大的氣泡流到下游側，則會對供給量控制設備的供給量控制造成影響，而利用所述結構可以防止發生該情况。

較佳的是，所述規定的軸向為水平方向，所述一個或複數個連接流道部以朝向下游側朝上傾斜的方式形成。

按照這種結構，由於主流道部在水平方向延伸，一個或複數個連接流道部朝上傾斜形成，所以流過內部流道的流體所含的氣泡從導出口被導出。

較佳的是，所述加熱塊呈大致柱狀，一個所述主流道部通過在所述加熱塊的長邊方向的一個端面開口而具有所述導入口，另一個所述主流道部通過在所述長邊方向的一 個端面開口而具有所述導出口。

按照這種結構，通過僅在加熱塊中通過機械加工形成主流道部，就能夠形成導入口及導出口，能夠容易地製造。此外，通過在加熱塊的長邊方向的一個端面上形成導入口及導出口，僅把加熱塊的長邊方向的一個端面安裝在集成塊上，就能夠連接集成塊的內部流道及加熱塊的內部流道，可以不需要配管結構。

此外，本發明還提供一種加熱塊，其用於流體加熱器，所述流體加熱器通過加熱器加熱流體，在所述加熱塊中通過機械加工形成有內部流道，所述內部流道具有導入所述流體的導入口及導出所述流體的導出口，並且在所述加熱塊中形成有沿規定的軸向延伸的加熱器插入部，所述內部流道具有：複數個主流道部，沿所述規定的軸向延伸；以及一個或複數個連接流道部，連接所述複數個主流道部，所述複數個主流道部以包圍所述加熱器插入部的方式設置。

此外，本發明還提供一種氣化系統，其包括：氣化器，加熱液體材料使所述液體材料氣化；以及預熱器，對向所述氣化器供給的所述液體材料進行預熱，所述預熱器使用了所述的流體加熱器。

按照所述構成的本發明，由於通過機械加工在加熱塊中形成內部流道，所以能夠容易小型化，此外能夠以低價格製造。另外，由於像以往的鑄造那樣的製造偏差小，所以能得到穩定的加熱性能。

100‧‧‧氣化系統

2‧‧‧氣化部

21‧‧‧氣化器

211‧‧‧儲存容器/氣化罐

211x‧‧‧被安裝面

212‧‧‧氣化加熱器

213‧‧‧液面感應器

22‧‧‧供給量控制設備/電磁開關閥

23‧‧‧預熱器

231‧‧‧預熱塊/加熱塊

231x‧‧‧被安裝面/端面

231H‧‧‧加熱器插入孔

231R‧‧‧內部流道

231a‧‧‧導入口

231b‧‧‧導出口

231R1‧‧‧長邊方向流道部/主流道部

231R1(X1)、231R1(X2)、231R1(X3)、231R1(X4)‧‧‧長邊方向流道部

231R2‧‧‧連接流道部

231R2(Y1)、231R2(Y2)、231R2(Y3)‧‧‧連接流道部

232‧‧‧預熱加熱器

3‧‧‧質量流控制器

31‧‧‧流量檢測設備

311‧‧‧第一壓力感應器

312‧‧‧第二壓力感應器

313‧‧‧流體阻力

32‧‧‧流量控制閥

34‧‧‧壓力感應器

35‧‧‧開關閥

B‧‧‧主體塊

B1‧‧‧第一主體塊/主體塊

B1x‧‧‧設備安裝面

B2‧‧‧第二主體塊

C‧‧‧箱體

CN‧‧‧連接器

H1‧‧‧加熱器

H2‧‧‧加熱器

R1~R6‧‧‧內部流道

P1‧‧‧液體材料導入口

P2‧‧‧氣化氣體導出口

X1~X4‧‧‧長邊方向流道部

Y1、Y2、Y3‧‧‧連接流道部

圖1是表示本實施形態的氣化系統的結構的示意圖。

圖2是與圖1為相同實施形態的預熱器的立體圖。

圖3是從被安裝面觀察與圖1為相同實施形態的預熱器時的平面圖及側視圖。

以下參照圖式說明本發明的氣化系統的一個實施形態。

如圖1所示，本實施形態的氣化系統100用於向組裝在例如半導體生產線等上進行半導體製造步驟的室供給規定流量的氣體，氣化系統100包括：氣化部2，將液體原料氣化；以及質量流控制器3，控制被所述氣化部2氣化了的氣體的流量。

所述氣化部2具備：氣化器21，通過熱烘方式將液體材料氣化；供給量控制設備22，控制向所述氣化器21供給的液體材料的供給量；以及預熱器23，把向所述氣化器21供給的液體材料預熱到規定的溫度。

所述的氣化器21、供給量控制設備22及預熱器23安裝在設備安裝面B1x上，所述設備安裝面B1x被設定在內部形成有流道的主體塊B1(以下稱為第一主體塊B1)的一個面上。在此，第一主體塊B1例如為不鏽鋼等金屬制的，呈具有長邊方向的大致柱狀(具體而言為大致長方體形狀)，所述設備安裝面B1x是呈具有長邊方向的矩形的面。另外，本實施形態的第一主體塊B1以其長邊方向朝 向上下方向(垂直方向)的方式設置在半導體生產線等上。

具體地說，所述預熱器23、所述供給量控制設備22及所述氣化器21，以沿長邊方向成一列的方式安裝在所述設備安裝面B1x上。此外，所述預熱器23、所述供給量控制設備22及所述氣化器21，從上游側起依次由形成在所述第一主體塊B1中的內部流道(內部流道R1~內部流道R4)串聯連接。另外，在第一主體塊B1的內部，設有用於加熱流過所述內部流道(內部流道R1~內部流道R4)的液體材料的加熱器H1。此外，第一主體塊B1的內部流道R1的上游側開口與設置在第一主體塊B1的長邊方向的一個端面上的液體材料導入口P1連接。

所述氣化器21具有：儲存容器211，是內部具有儲存液體材料的空間的氣化罐；以及氣化加熱器212，設置於所述儲存容器211，用於使液體材料氣化。

所述儲存容器211具有用於安裝在所述第一主體塊B1的設備安裝面B1x上的被安裝面211x。本實施形態的儲存容器211例如呈具有長邊方向的大致柱狀，長邊方向的一個端面成為所述被安裝面211x，具體地說，儲存容器211呈大致長方體形狀。此外，本實施形態的儲存容器211以其長邊方向朝向水平方向的方式設置在半導體生產線等上。

在所述被安裝面211x上形成有導入口及導出口，所述導入口用於導入來自第一主體塊B1的內部流道R3的液體材料，所述導出口用於將氣化了的氣體向第一主體塊B1 的內部流道R4導出。此外，通過將所述儲存容器211的被安裝面211x安裝在所述第一主體塊B1的設備安裝面B1x上，形成在被安裝面211x上的導入口與形成在設備安裝面B1x上的內部流道R3的開口(下游側開口)連通，形成在被安裝面211x上的導出口與形成在設備安裝面B1x上的內部流道R4的開口(上游側開口)連通。

此外，在所述儲存容器211上設有用於檢測儲存的液體材料的儲存量的液面感應器213。在本實施形態中，液面感應器213以從儲存容器211的上壁插入內部的方式設置。

所述氣化加熱器212插入設置在所述儲存容器211的壁部(例如下壁部)，具體地說，所述氣化加熱器212從與所述被安裝面211x相反一側的面(長邊方向的另一個端面)朝向第一主體塊B1(沿長邊方向)插入設置。

供給量控制設備22是用於控制向所述氣化器21供給的液體材料的供給流量的控制閥，在本實施形態中為電磁開關閥。所述電磁開關閥22以覆蓋形成在所述第一主體塊B1的設備安裝面B1x上的內部流道R2的開口(下游側開口)及內部流道R3的開口(上游側開口)的方式安裝。具體地說，電磁開關閥22的未圖示的閥體，以打開或封閉形成在所述設備安裝面B1x上的內部流道R2的開口(下游側開口)及內部流道R3的開口(上游側開口)的方式構成。

此外，未圖示的控制設備根據來自設置於所述儲存容 器211的液面感應器213的檢測信號控制所述電磁開關閥22接通/斷開，以使儲存在所述儲存容器211中的液體材料總是成為規定量。由此，在氣化運轉時，間歇地向氣化器21供給液體材料。在此，相比於使用質量流控制器等連續地控制液體材料的供給流量的結構，通過接通/斷開控制間歇地進行供給來控制液體材料的供給流量的情况，可以使氣化部2小型化。

預熱器23具有：預熱塊(加熱塊)231，通過機械加工在內部形成有液體材料流過的內部流道231R；以及預熱加熱器232，設置在所述預熱塊231中，用於預熱液體材料。通過所述預熱器23，液體材料被加熱到即將氣化前的溫度(小於沸點)。

所述預熱塊231具有用於向所述第一主體塊B1安裝的被安裝面231x。本實施形態的預熱塊231例如呈具有長邊方向的大致柱狀，長邊方向的一個端面成為所述被安裝面231x，具體地說，預熱塊231呈大致長方體形狀。此外，本實施形態的預熱塊231以其長邊方向朝向水平方向的方式設置在半導體生產線等上。

此外，通過機械加工在預熱塊231中形成有加熱器插入孔231H，所述加熱器插入孔231H從預熱塊231的長邊方向的另一個端面的中央部沿長邊方向延伸，用於插入預熱加熱器232。具體地說，加熱器插入孔231H是在規定的軸向(在本實施形態中為水平方向)上延伸且呈直線狀的有底孔，通過例如開孔加工等切削加工形成。

在所述被安裝面231x上形成有導入口231a及導出口231b，所述導入口231a用於導入來自第一主體塊B1的內部流道R1的液體材料，所述導出口231b用於將預熱後的液體材料向第一主體塊B1的內部流道R2導出。此外，通過將所述預熱塊231的被安裝面231x安裝在所述第一主體塊B1的設備安裝面B1x上，形成在被安裝面231x上的導入口231a與形成在設備安裝面B1x上的流道R1的開口(下游側開口)連通，形成在被安裝面231x上的導出口231b與形成在設備安裝面B1x上的流道R2的開口(上游側開口)連通。

所述預熱加熱器232通過插入形成於所述預熱塊231的加熱器插入孔231H，在所述預熱塊231中從與所述被安裝面231x相反一側的面(長邊方向的另一個端面)朝向第一主體塊B1(沿長邊方向)設置。

尤其是，如圖2及圖3所示，在所述預熱塊231中，所述液體材料流過的內部流道231R具有：複數個長邊方向流道部(主流道部)231R1，沿規定的軸向(長邊方向)延伸；以及一個或複數個連接流道部231R2，連接所述複數個長邊方向流道部231R1。

複數個長邊方向流道部231R1以包圍所述加熱器插入孔231H的方式設置在所述加熱器插入孔231H的周圍。在本實施形態中，具有四個長邊方向流道部231R1(長邊方向流道部X1~長邊方向流道部X4)。所述長邊方向流道部231R1呈與加熱器插入孔231H大致平行延伸的直線狀， 是從預熱塊231的被安裝面231x通過例如開孔加工等切削加工形成的。另外，在本實施形態中，所述長邊方向流道部231R1以比加熱器插入孔231H的前端更延伸到長邊方向的另一端側的方式設置(參照圖3的側視圖)。

此外，一個或複數個連接流道部231R2連接彼此相鄰的長邊方向流道部231R1的長邊方向端部之間。在本實施形態中，由於長邊方向流道部231R1為四個，所以具有三個連接流道部231R2(連接流道部Y1~連接流道部Y3)。所述連接流道部231R2呈沿與長邊方向垂直的方向延伸的直線狀。所述連接流道部231R2是從預熱塊231的側面通過例如開孔加工等切削加工形成的，可以通過利用蓋體(未圖示)封閉所述預熱塊231的側面的開口來形成。此外，在預熱塊231的長邊方向端面上以兩個長邊方向流道部231R1開口的方式形成有凹部，通過用蓋體封閉所述凹部，可以形成連接兩個長邊方向流道部231R1的連接流道部231R2。

此外，通過所述複數個長邊方向流道部231R1及複數個連接流道部231R2，在所述預熱塊231的內部以包圍預熱加熱器232的周圍的方式形成在長邊方向的一端及另一端之間一次或多次折返的流道。具體地說，通過所述複數個連接流道部231R2連接複數個長邊方向流道部231R1的長邊方向的端部之間，以成為從導入口231a到導出口231b的單條流道的方式構成內部流道231R。

此外，一個所述長邊方向流道部231R1，通過在預熱 塊231的長邊方向的一個端面231x(被安裝面)上開口而具有所述導入口231a。即，所述長邊方向流道部231R1(X1)，在預熱塊231內成為最上游側的長邊方向流道部。

另一個所述長邊方向流道部231R1，通過在所述長邊方向的一個端面231x(被安裝面)上開口而具有所述導出口231b。即，所述長邊方向流道部231R1(X4)在預熱塊231內成為最下游側的長邊方向流道部。

此外，在預熱塊231的長邊方向的一個端面231x上，所述導出口231b形成在比所述導入口231a更靠上側的位置。具體地說，導入口231a及導出口231b夾著加熱器插入孔231H相對配置。即，最接近導入口231a的最上游側的長邊方向流道部231R1及最接近導出口231b的最下游側的長邊方向流道部231R1，夾著加熱器插入孔231H相對配置。

此外，在本實施形態的預熱塊231中，所述內部流道231R從所述導入口231a到所述導出口231b以沿水平方向或朝向下游側朝上的方式形成。在本實施形態中，由於以預熱塊231的長邊方向成為水平方向的方式放倒安裝，所以複數個長邊方向流道部231R1形成在水平方向上，所述複數個連接流道部231R2形成為朝向下游側垂直向上傾斜。

具體地說，在本實施形態的預熱塊231中，複數個長邊方向流道部231R1形成為彼此高度位置不同，複數個連接流道部231R2以在高度方向上連接彼此相鄰的兩個長邊 方向流道部231R1的長邊方向的端部之間的方式形成。在圖2及圖3所示的預熱塊231中，如果將四個長邊方向流道部231R1從下側起依次設為長邊方向流道部X1、長邊方向流道部X2、長邊方向流道部X3、長邊方向流道部X4並將三個連接流道部231R2設為連接流道部Y1、連接流道部Y2、連接流道部Y3，則第一個連接流道部Y1連接長邊方向流道部X1及長邊方向流道部X2的長邊方向的另一端部之間，第二個連接流道部Y2連接長邊方向流道部X2及長邊方向流道部X3的長邊方向的一端部之間，第三個連接流道部Y3連接長邊方向流道部X3及長邊方向流道部X4的長邊方向的另一端部。由此，從被安裝面231x觀察預熱塊231時，連接流道部231R2(連接流道部Y1~連接流道部Y3)從導入口231a朝向導出口231b形成Z形(參照圖3的俯視圖)。此外，由此，流過複數個長邊方向流道部231R1(長邊方向流道部X1~長邊方向流道部X4)的液體材料的溫度，隨著從下側的長邊方向流道部231R1去往上側的長邊方向流道部231R1依次變高，即：成為“流過長邊方向流道部X1的液體材料的溫度”<“流過長邊方向流道部X2的液體材料的溫度”<“流過長邊方向流道部X3的液體材料的溫度”<“流過長邊方向流道部X4的液體材料的溫度”。

通過如上所述結構的氣化部2，從液體材料導入口P1導入的液體材料，流過預熱器23的預熱塊231的內部流道231R，由此被預熱到規定溫度。被所述預熱器23預熱了 的液體材料，通過作為供給量控制設備的電磁開關閥22的接通/斷開控制，間歇地導入氣化器21。此外，在氣化器21中成為總是儲存有液體材料的狀態，不會受到電磁開關閥22的接通/斷開控制的影響，所述液體材料被氣化並連續生成所述氣化氣體，向質量流控制器3連續地導出。

接著，說明質量流控制器3。

如圖1所示，質量流控制器3具備：流量檢測設備31，檢測流過流道的氣化氣體的流量；以及流量控制閥32，控制流過流道的氣化氣體的流量。

流量檢測設備31是檢測設置在流道上的流體阻力313的上游側壓力的例如電容式的第一壓力感應器311以及檢測所述流體阻力313的下游側壓力的例如電容式的第二壓力感應器312。

流量控制閥32是控制由所述氣化器21生成的氣化氣體的流量的控制閥，在本實施形態為壓電閥。

所述的流量檢測設備31及流量控制閥32，安裝在內部形成有流道(內部流道R5、內部流道R6)的主體塊B2(以下稱為第二主體塊B2)上。另外，在流量控制閥32的上游側設有上游側壓力感應器34及開關閥35。此外，在第二主體塊B2上設有加熱器H2，內部流道R6的下游側開口與氣化氣體導出口P2連接。所述第二主體塊B2通過與所述氣化部2的第一主體塊B1連接，構成主體塊B。在所述主體塊B上安裝有箱體C，所述箱體C收容安裝在所述主體塊B的一個面上的設備。另外，元件符號“CN” 表示用於與外部的控制設備連接的連接器。

按照本實施形態的氣化系統100，由於通過機械加工在預熱塊231中形成內部流道231R及加熱器插入孔231H，所以容易實現小型化，此外能夠以低價格製造。另外，由於如以往的鑄造那樣的製造偏差小，所以能夠得到穩定的加熱性能。特別是內部流道231R具有沿加熱器插入孔231H的軸向延伸的複數個長邊方向流道部231R1，因此可以有效地利用來自預熱加熱器232的熱量來加熱液體材料。

此外，按照本實施形態，因為內部流道231R通過複數個長邊方向流道部231R1及複數個連接流道部231R2，構成從所述導入口231a到所述導出口231b的單條流道，所以能夠加長預熱塊231內的內部流道231R的流道長度，能夠加大與液體材料的熱交換面積，從而能夠提高加熱性能。

此外，按照本實施形態，加熱初期的相對低溫的液體材料流過的最上游側的長邊方向流道部231R1(X1)與加熱後期的相對高溫的流體流過的最下游側的長邊方向流道部231R1(X4)，夾著加熱器插入孔231H相對配置，因此能夠防止流過最下游側的長邊方向流道部231R1(X1)的液體材料，被流過最上游側的長邊方向流道部231R1(X4)的液體材料冷卻。

此外，由於導出口231b形成在比導入口231a更靠上側的位置，並且內部流道231R從所述導入口231a到所述 導出口231b以沿水平方向或朝向下游側朝上的方式形成，所以氣泡不會滯留在內部流道231R中，會和流過內部流道231R的液體材料一起從導出口231b被導出。由此，能夠高效地加熱流過內部流道231R的液體材料。

此外，通過使用本實施形態的預熱器23，即使向儲存容器(氣化罐)211供給液體材料，也能夠使儲存容器211的溫度變化少地容易地將溫度保持一定。因此，即使是小型的氣化器21也能夠穩定地進行大流量的氣化。

另外，通過利用機械加工從預熱塊231的被安裝面231x沿長邊方向形成長邊方向流道部231R，能夠形成導入口231a及導出口231b，能夠容易地進行製造。此外，通過在預熱塊231的被安裝面231x上形成導入口231a及導出口231b，僅通過在第一主體塊B1上安裝預熱塊231的被安裝面231x，就能夠連接第一主體塊B1的內部流道R1、R2與預熱塊231的內部流道231R1，可以不需要配管結構。

此外，在本實施形態中，由於通過在第一主體塊B1的設備安裝面B1x上安裝氣化器21及供給量控制設備22，它們通過第一主體塊B1的內部流道R1~R4彼此連接，所以能夠不需要氣化器21及供給量控制設備22之間的配管，可以使氣化系統100小型化。此外，因為氣化器21及供給量控制設備22分別安裝在設備安裝面B1x上，所以無需在氣化器21的內部形成用於安裝供給量控制設備22的流道，可以簡化氣化器21的構成。

另外，本發明不限於所述實施形態。

例如，在所述實施形態中，表示了長邊方向流道部與加熱器插入孔的中心軸大致平行形成的情况，但是長邊方向流道部也可以相對於加熱器插入孔的中心軸傾斜形成。在該情况下，為了防止氣泡滯留在內部流道中，較佳的是，和所述實施形態的連接流道部同樣地，長邊方向流道部朝向下游側朝上形成。此外，在長邊方向流道部朝向下游側朝上形成的情况下，連接流道部可以沿水平方向形成，也可以朝向下游側朝上形成。此外，從預熱塊的導入口到導出口，只要內部流道以沿水平方向或朝向下游側朝上的方式形成，就能夠防止氣泡滯留在內部流道中，長邊方向流道部及連接流道部的朝向沒有特別的限定，可以採取各種方式。

此外，所述實施形態的預熱塊具有單條的內部流道，但是預熱塊的內部流道也可以在中途分路或匯合，預熱塊還可以具有彼此獨立的複數個內部流道。

此外，所述實施形態的預熱塊的長邊方向流道部具有導入口及導出口，但是連接流道部或與長邊方向流道部連接的其他流道部也可以具有導入口及導出口。

此外，所述實施形態的預熱塊及儲存容器呈大致長方體狀，此外，預熱塊及儲存容器也可以是柱狀。例如，所述預熱塊可以呈大致圓柱狀。具體地說，預熱塊231可以呈大致圓柱狀，並且在所述圓柱狀的長邊方向一端側設有凸緣部。所述凸緣部的端面成為被安裝面231x。此外，在 所述凸緣部上形成有用於在主體塊B1的設備安裝面B1x進行螺釘固定的通孔(螺釘孔)。由此，可以提高將預熱塊231安裝到主體塊B1的作業的作業性。此外，通過使預熱塊231成為大致圓柱狀，能夠減小預熱塊的外表面積，可以降低散熱。

此外，所述實施形態的預熱塊的長邊方向朝向水平方向配置，但是預熱塊的長邊方向也可以朝向上下方向(垂直方向)或從垂直方向傾斜了的方向配置。在該情况下，預熱塊的加熱器插入孔沿上下方向或所述傾斜的方向延伸，預熱塊的內部流道成為在上下方向或傾斜的方向上一次或多次往返的流道。

此外，除了在所述最上游側的長邊方向流道部與所述最下游側的長邊方向流道部夾著加熱器插入部相對配置的結構以外，也可以是最上游側的長邊方向流道部及最下游側的長邊方向流道部不相鄰的結構，此外，還可以是至少一個中游側的長邊方向流道部或加熱器插入部位於最上游側的長邊方向流道部及最下游側的長邊方向流道部之間的結構。即，如所述實施形態所示，除了加熱器插入部位於連接最上游側的長邊方向流道部及最下游側的長邊方向流道部的直線上以外，也可以是所述中游側的長邊方向流道部的至少一個位於所述直線上的結構。此外，在最上游側的長邊方向流道部及最下游側的長邊方向流道部之間，所述中游側的長邊方向流道部或加熱器插入部也可以不設在所述直線上。在該情况下，在加熱器插入部的周圍，在周 向上，中游側的長邊方向流道部位於所述最上游側的長邊方向流道部及最下游側的長邊方向流道部之間。

在所述實施形態中，內部流道及加熱器插入部是通過機械加工形成的，但是也可以通過例如鑄造形成具有加熱器插入部的加工塊並且通過機械加工在所述加工塊中形成內部流道。

在所述實施形態中，主體塊B(B1、B2)的長邊方向朝向上下方向(垂直方向)設置，但是所述長邊方向也可以朝向左右方向(水平方向)設置。

此外，在所述實施形態中例示了本發明的流體加熱器用於氣化系統的預熱器，但是本發明的流體加熱器也可以用於氣化系統的氣化器。

此外，本發明的流體加熱器除了用於氣化系統的加熱液體材料的加熱器，也可以用於加熱其他液體的液體加熱器，還可以用於加熱氣體的氣體加熱器。

在所述實施形態中，主體塊是通過連接第一主體單元及第二主體單元構成的，但是主體塊也可以由單個塊構成。在該情况下，設置在主體塊上的加熱器H1及加熱器H2可以由單個加熱器構成。此外，通過在所述單個加熱器內使溫度不同，可以進行使質量流控制器3一側的溫度成為比氣化部2一側的溫度更高的溫度等溫度控制。例如，可以通過在單個加熱器的內部改變電阻值來實現。此外，通過使單個加熱器及質量流控制器3一側的設備安裝面之間的距離與單個加熱器及氣化部2一側的設備安裝面之間 的距離彼此不同，也可以進行使質量流控制器3一側的溫度成為比氣化部2一側的溫度更高的溫度等溫度控制。

此外，所述實施形態的氣化系統也可以沒有質量流控制器，可以至少具有氣化器及供給量控制設備。

此外，所述實施形態的氣化系統的氣化部及質量流控制器是用單個箱體收容的一體型部件，但是氣化部及質量流控制器也可以分開構成，並將氣化部的主體塊及質量流控制器的主體塊與連接配管連接。

此外，本發明不限於所述實施形態，在不脫離本發明宗旨的範圍內可以進行各種變形。

可以相互組合本發明的各個實施形態(實施例)中所記載的技術特徵形成新的技術方案。

23‧‧‧預熱器

231‧‧‧預熱塊/加熱塊

231x‧‧‧被安裝面/端面

231H、232‧‧‧加熱器插入孔

231R‧‧‧內部流道

231a‧‧‧導入口

231b‧‧‧導出口

231R1‧‧‧長邊方向流道部/主流道部

231R1(X1)、231R1(X2)、231R1(X3)、231R1(X4)‧‧‧長邊方向流道部

231R2‧‧‧連接流道部

231R2(Y1)、231R2(Y2)、231R2(Y3)‧‧‧連接流道部

Claims (7)

1. 一種流體加熱器，其通過加熱器加熱流體，其中前述流體加熱器具備加熱塊，在前述加熱塊中通過機械加工形成有內部流道，前述內部流道具有導入前述流體的導入口及導出前述流體的導出口，並且在前述加熱塊中形成有沿規定的軸向延伸的加熱器插入部；前述內部流道具有：複數個主流道部，沿前述規定的軸向延伸；以及一個或複數個連接流道部，連接前述複數個主流道部；前述複數個主流道部以包圍前述加熱器插入部的方式設置。
2. 如請求項1所記載的流體加熱器，其中通過前述一個或複數個連接流道部連接前述複數個主流道部的長邊方向的端部之間，前述內部流道成為從前述導入口到前述導出口多次折返的流道。
3. 如請求項1所記載的流體加熱器，其中最上游側的主流道部及最下游側的主流道部以外的主流道部的至少一個或前述加熱器插入部，位於前述最上游側的主流道部與前述最下游側的主流道部之間，前述最上游側的主流道部最接近前述導入口，前述最下游側的主流道部最接近前述導出口。
4. 如請求項1所記載的流體加熱器，其中前述導出口 形成在比前述導入口更靠上側的位置；前述內部流道從前述導入口到前述導出口以沿水平方向或者朝向下游側朝上的方式形成。
5. 如請求項1所記載的流體加熱器，其中前述加熱塊呈大致柱狀；一個前述主流道部通過在前述加熱塊的長邊方向的一個端面開口而具有前述導入口；另一個前述主流道部通過在前述長邊方向的一個端面開口而具有前述導出口。
6. 一種加熱塊，其用於流體加熱器，前述流體加熱器通過加熱器加熱流體，前述加熱塊係在前述加熱塊中通過機械加工形成有內部流道，前述內部流道具有導入前述流體的導入口及導出前述流體的導出口，並且在前述加熱塊中形成有沿規定的軸向延伸的加熱器插入部；前述內部流道具有：複數個主流道部，沿前述規定的軸向延伸；以及一個或複數個連接流道部，連接前述複數個主流道部；前述複數個主流道部以包圍前述加熱器插入部的方式設置。
7. 一種氣化系統，包括：氣化器，加熱液體材料使前述液體材料氣化；以及 預熱器，對向前述氣化器供給的前述液體材料進行預熱，前述預熱器使用了如請求項1至5中任一項所記載的流體加熱器。