TW201604942A - 晶舟加載台用噴嘴組件及具備其的晶舟加載台 - Google Patents

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Abstract

本發明提供一種晶舟加載台用噴嘴組件，包括：中空型外殼，與晶舟加載台的平臺結合，形成有上部孔及下部孔；噴嘴，包括噴嘴頭、噴嘴杆及噴嘴塞，其中，所述噴嘴頭，能夠藉由所述外殼的上部孔進出，所述噴嘴杆，從所述噴嘴頭延伸，並配置在所述外殼的內部空間，及所述噴嘴塞，從所述噴嘴杆延伸，配置在所述下部孔外部並無法進入所述外殼內部；及彈簧，設置在所述外殼內，以使所述噴嘴頭偏向上方。

Description

晶舟加載台用噴嘴組件及具備其的晶舟加載台
本發明涉及晶舟加載台(load port)用噴嘴組件，更具體地涉及一種能夠不發生藉由配置於晶舟加載臺上的前開式晶圓傳送盒(front opening unified pod)的吹掃氣體疏通的晶舟加載台用噴嘴組件及具備其的晶舟加載台。
在一般的半導體量產設備中的一個晶舟加載台(load port)具有能夠安裝前開式晶圓傳送盒(Front Opening Unified Pod)的平臺，並在所述平臺形成至少一個吹掃氣體(purge gas)供給部及至少一個吹掃氣體排出部。
另外，在容納多個半導體晶圓的前開式晶圓傳送盒具有氣體流入部及氣體流出部，藉由所述氣體流入部及氣體流出部，將氮氣等吹掃氣體流通至前開式晶圓傳送盒的內部，以防止晶圓的氧化。在晶舟加載台的平臺配置前開式晶圓傳送盒時，平臺的吹掃氣體供給部及吹掃氣體流出部藉由與前開式晶圓傳送盒的氣 體流入部及氣體流出部連接，由此，使得吹掃氣體能夠流動至前開式晶圓傳送盒的內外。
在現有技術中，研發了各種技術方案，用於保障晶舟加載台的平臺的吹掃氣體供給部及吹掃氣體排出部和前開式晶圓傳送盒的氣體流入部及氣體流出部的連接。用於防止因在該平臺和前開式晶圓傳送盒之間存在的間隙或不準確的接觸而造成氣體滲漏的問題。
例如，在韓國公開專利10-2007-00114348中利用夾鉗將前開式晶圓傳送盒穩定地保持在平臺上。但即使利用夾鉗將前開式晶圓傳送盒穩定地放置於平臺上，因未在氣體流動的噴嘴和前開式晶圓傳送盒的氣體流入部及氣體流出部之間提供密封裝置，由此，也不能防止發生吹掃氣體滲漏的現象。
本發明是為解決上述現有技術問題而研發，本發明的目的為提供一種能夠防止或減少吹掃氣體滲漏的晶舟加載台用噴嘴組件。
本發明的另一目的為提供一種具有能夠防止或減少吹掃氣體滲漏的晶舟加載台用噴嘴組件的晶舟加載台。
本發明的另一目的為提供一種晶舟加載台用噴嘴組件及晶舟加載台，該晶舟加載台用噴嘴組件具有噴嘴，該噴嘴彈性偏向於在晶舟加載台的平臺配置的前開式晶圓傳送盒的底面。
為了實現所述目的，本發明提供一種晶舟加載台用噴嘴組件，包括：中空型外殼，與晶舟加載台的平臺結合，形成有上部孔及下部孔；噴嘴，包括噴嘴頭，能夠藉由所述外殼的上部孔進出；噴嘴杆，從所述噴嘴頭延伸，並配置在所述外殼的內部空間；及噴嘴塞，從所述噴嘴杆延伸，配置在所述下部孔外部並無法進入所述外殼內部；及，彈簧，設置於所述外殼內，以使所述噴嘴頭偏向上方。
本發明特徵在於，所述噴嘴頭的截面面積形成得與所述外殼的上部孔的截面面積相同，或小於所述外殼的上部孔的截面面積，所述噴嘴塞的截面面積形成得大於所述外殼的下部孔的截面面積。
本發明更提供一種晶舟加載台，包括：垂直部，從底座垂直延伸；門，能夠開閉地設置在所述垂直部；作業台，從所述垂直部水平延伸；及，平臺，設置於所述作業台的上部表面，並具有至少一個吹掃氣體供給部及至少一個吹掃氣體排出部，其中，所述至少一個吹掃氣體供給部及所述至少一個吹掃氣體排出部中的至少一個係根據晶舟加載台用噴嘴組件形成。
本發明的另一特徵在於，具有氣體流入部及氣體流出部的前開式晶圓傳送盒配置在所述平臺上，所述噴嘴頭彈性偏向於所述前開式晶圓傳送盒的底面，由此，能夠保障噴嘴頭與所述氣體流入部或所述氣體流出部之間的液體的疏通。
本發明的另一特徵在於，所述噴嘴組件與所述平臺藉由 形成於所述外殼的外周面的螺旋面和形成於所述平臺的螺旋面相互結合的方式結合。
本發明的晶舟加載台用噴嘴組件及晶舟加載台具有如下優點：噴嘴能夠常規地彈性偏向於前開式晶圓傳送盒的底面。因此，在前開式晶圓傳送盒配置在了晶舟加載台的平臺時，形成于在平臺形成的吹掃氣體供給部及吹掃氣體排出部的噴嘴組件能夠彈性地與在前開式晶圓傳送盒形成的氣體流入部及氣體流出部進行緊密附著，因此，能夠保障不發生平臺的吹掃氣體供給部及吹掃氣體排出部和前開式晶圓傳送盒的氣體流入部及氣體流出部之間的吹掃氣體疏通的滲漏。
10‧‧‧晶舟加載台
11‧‧‧底座
12‧‧‧垂直延伸部
13‧‧‧作業台
14‧‧‧平臺
14a‧‧‧螺旋面
15‧‧‧門
17‧‧‧吹掃氣體供給部
18‧‧‧吹掃氣體排出部
20‧‧‧噴嘴組件
21‧‧‧中空型外殼
21a‧‧‧上部孔
22‧‧‧噴嘴
22a‧‧‧噴嘴頭
22b‧‧‧噴嘴杆
22c‧‧‧噴嘴塞
23‧‧‧密封劑
25‧‧‧彈簧
30‧‧‧前開式晶圓傳送盒
31‧‧‧氣體流入部
32‧‧‧氣體流出部
t‧‧‧間隙
圖1為本發明的晶舟加載台的示意圖；圖2為本發明的晶舟加載台用噴嘴組件的分解示意圖；圖3為顯示本發明的晶舟加載台用噴嘴組件和平臺的結合狀態的剖面圖。
圖1為顯示具有本發明的噴嘴組件的晶舟加載台的一實施例的示意圖。
參照圖1，晶舟加載台10包括：底座11；垂直部12，從 所述底座11垂直延伸；門15，能夠開閉地設置在所述垂直部12；作業台13，從所述垂直部12水平延伸；平臺14，設置於所述作業台13的上部表面，並具有至少一個吹掃氣體供給部17及至少一個吹掃氣體排出部18。在所述吹掃氣體供給部17及吹掃氣體排出部18中的至少一個能夠包括本發明的晶舟加載台的噴嘴組件。
在所述平臺14的上部表面能夠配置前開式晶圓傳送盒(front opening unified pod，30)。在前開式晶圓傳送盒30的內部能夠容納多個晶圓(未繪示)。在前開式晶圓傳送盒30配置在平臺14上時，形成於前開式晶圓傳送盒30的一側面的晶圓進出門(未繪示)與所述晶舟加載台10的門15對應，位於前開式晶圓傳送盒30的底部的氣體流入部31及氣體流出部32與形成於平臺14的吹掃氣體供給部17及吹掃氣體排出部18對應。應能理解，藉由晶舟加載台10的門15與前開式晶圓傳送盒30的門(未繪示)一起打開，機器人(未繪示)的操縱器(manipulator)能夠接近前開式晶圓傳送盒30內部的晶圓。並且，從吹掃氣體供給部17供給的吹掃氣體藉由前開式晶圓傳送盒30的氣體流入部31供給至前開式晶圓傳送盒30的內部，由氣體流出部32流出的前開式晶圓傳送盒30內部的氣體經由吹掃氣體流出部18排出。藉由疏通如上所述的吹掃氣體，能夠防止配置於前開式晶圓傳送盒30內部的晶圓(未繪示)的氧化。
圖2為本發明的晶舟加載台的噴嘴組件的分解示意圖，圖3為圖2顯示的晶舟加載台的噴嘴組件設置於平臺的狀態的剖 面圖。如圖2及圖3所示的噴嘴組件能夠構成圖1顯示的噴嘴吹掃氣體供給部17及吹掃氣體排出部18中的任一個或全部。
參照圖2，本發明的晶舟加載台的噴嘴組件包括：中空型外殼21；噴嘴22，設置於所述外殼21的內部空間，並具有噴嘴頭22a、噴嘴杆22b及噴嘴塞22c；及彈簧25，設置於所述噴嘴杆22b，使所述噴嘴22偏向上方。
如圖3所示，噴嘴22設置於外殼21的內部空間，形成於外殼21的外表面的螺旋面與形成於平臺14的螺旋面14a結合。平臺14的外殼21的螺絲結合能夠由平臺表面調節外殼21的突出或凹陷位置。
噴嘴22一體形成噴嘴頭22a、噴嘴杆22b及噴嘴塞22c，噴嘴頭22a配置於噴嘴杆22b的上端部，噴嘴塞22c配置於噴嘴杆22b的下端部。所述噴嘴頭22a的截面面積形成得與外殼21的上部孔21a的截面面積相同或小於外殼21的上部孔21a的截面面積，由此，所述噴嘴頭22a藉由外殼21的上部孔21a能夠進出外殼21內外。
優選地，噴嘴頭22b的外表面藉由密封劑(seal，23)包裹。例如，噴嘴頭22b的外表面藉由橡膠密封劑包裹，藉由如上所述橡膠的密封劑23而防止氣體的滲漏。
相反地，噴嘴塞22c的截面面積形成得大於外殼21的下部孔的截面面積，並且，噴嘴塞22c配置於外殼21的下部孔的外部，由此，所述噴嘴塞22c不能進入外殼21的空間。在噴嘴頭22a、 噴嘴杆22b及噴嘴塞22c的內部，如圖3所示，形成有氣體通道，藉由所述氣體通道，氮氣被供給至前開式晶圓傳送盒30或能夠從前開式晶圓傳送盒排出。氣體管道(未繪示)與噴嘴塞22c連接。
彈簧25設置得使噴嘴22在外殼21的內部空間偏向上方。例如，彈簧25能夠以纏繞於噴嘴杆22b的外周面的狀態進行設置，彈簧25的下端部在外殼21的內部空間支撐底部，彈簧25的上端部支撐噴嘴頭22a的底部。因此，彈簧25使得噴嘴22偏向上方，但噴嘴22的噴嘴塞22c產生防止噴嘴22從外殼21向外部脫離的作用。另外，按壓噴嘴頭22a時，噴嘴22能夠從外殼21的內部空間向下移動。
如圖3所示，前開式晶圓傳送盒30配置於平臺14上時，前開式晶圓傳送盒30的氣體流入部31與噴嘴頭22a對應配置。此時，前開式晶圓傳送盒30因重力而對噴嘴頭22a施加壓力，噴嘴頭22a借助彈簧25的彈力而偏向上方，由此，能夠保持前開式晶圓傳送盒30的氣體流入部31和噴嘴頭22a之間的緊密附著。因此，例如，即使因某個問題，在前開式晶圓傳送盒30的底部表面和平臺14的上部表面之間存在細小的間隙t，也能夠保障噴嘴頭22a緊密附著於氣體流入部31(或圖1顯示的氣體流出部32)。
在如上所述構成的晶舟加載台，前開式晶圓傳送盒30配置在平臺14上時，氣體流入部31及氣體流出部32與平臺14上對應的吹掃氣體供給部17及吹掃氣體排出部18接觸，並且，前開式晶圓傳送盒30的一側面及閘15對應。之後，由吹掃氣體供 給部17供給的吹掃氣體通過氣體流入部31流動至前開式晶圓傳送盒30的內部，再次通過氣體流出部32流動至吹掃氣體供給部18而形成迴圈。另外，眾所周知，晶舟加載台10的門15與前開式晶圓傳送盒30的門(未繪示)一起開啟，由此，機器人操縱器(未繪示)能夠接近配置於前開式晶圓傳送盒30的內部的晶圓(未繪示)。
20‧‧‧噴嘴組件
21‧‧‧中空型外殼
21a‧‧‧上部孔
22‧‧‧噴嘴
22a‧‧‧噴嘴頭
22b‧‧‧噴嘴杆
22c‧‧‧噴嘴塞
23‧‧‧密封劑
25‧‧‧彈簧

Claims (5)

  1. 一種晶舟加載台用噴嘴組件，其特徵在於，包括：中空型外殼，與晶舟加載台的平臺結合，形成有上部孔及下部孔；噴嘴，包括噴嘴頭，能夠藉由所述外殼的上部孔進出；噴嘴杆，從所述噴嘴頭延伸，並配置在所述外殼的內部空間；及噴嘴塞，從所述噴嘴杆延伸，配置在所述下部孔外部並無法進入所述外殼內部；及彈簧，設置於所述外殼內，以使所述噴嘴頭偏向上方。
  2. 如申請專利範圍第1項所述的晶舟加載台用噴嘴組件，其特徵在於，所述噴嘴頭的截面面積形成得與所述外殼的上部孔的截面面積相同或小於所述外殼的上部孔的截面面積，所述噴嘴塞的截面面積形成得大於所述外殼的下部孔的截面面積。
  3. 一種晶舟加載台，其特徵在於，包括：垂直部，從底座垂直延伸；門，能夠開閉地設置在所述垂直部；作業台，從所述垂直部水平延伸；及平臺，設置於所述作業台的上部表面，並具有至少一個吹掃氣體供給部及至少一個吹掃氣體排出部，其中，所述至少一個吹掃氣體供給部及所述至少一個吹掃氣 體排出部中的至少一個係根據權利要求1或2的所述晶舟加載台用噴嘴組件形成。
  4. 如申請專利範圍第3項所述的晶舟加載台，其特徵在於，具有氣體流入部及氣體流出部的前開式晶圓傳送盒配置在該所述平臺上，所述噴嘴頭彈性偏向於所述前開式晶圓傳送盒的底面，由此，能夠保障噴嘴頭與所述氣體流入部或所述氣體流出部之間的液體的疏通。
  5. 如申請專利範圍第3項所述的晶舟加載台，其特徵在於，所述噴嘴組件與所述平臺藉由形成於所述外殼的外周面的螺旋面和形成於所述平臺的螺旋面相互結合。
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