TW201604300A - 固持件、具有其之基板之載具，以及固定基板於載具中之方法 - Google Patents

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Abstract

提出一種載具，用以在真空處理之基板處理腔室中支撐基板。載具包括至少兩固持件，其中各固持件包含：固定部分，被配置以貼附至載具本體，固定部分具有相對於載具本體之一固定位置；浮動部分，相對於固定部分係可移動於至少一方向上；以及固定機制，係提供在相對於浮動部分的一固定位置，並被配置以夾止基板於固持件中。再者，浮動部分係可沿著從一第一端位置至一第二端位置之至少一方向移動，而其中浮動部分更包括一動力裝置，動力裝置被配置以在至少一方向上相對於固定位置而在載具中將基板置中或拉曳基板。

Description

固持件、具有其之基板之載具，以及固定基板於載具中之方 法
本發明實施例是有關於用於基板製程(如層膜沈積)之載具，且特別是有關於用於支撐薄厚度大面積基板於基板製程機器中的載具、及處理大面積基板的設備。
多種已知方法用於沈積材料於基板上。舉例來說，基板可藉由物理氣相沈積(physical vapor deposition,PVD)、化學氣相沈積(chemical vapor deposition,CVD)、電漿增強化學氣相沈積(plasma enhanced chemical vapor deposition,PECVD)之製程等而被塗佈。典型地，製程係執行於製程設備或製程腔室之中，待被塗佈之基板係於此處被塗佈。沈積材料係提供在設備之中。複數種材料及其氧化物、氮化物、或碳化物(carbides)可使用於基板上之沈積。再者，其他製程步驟如蝕刻、結構化、退火、或類似製程可在製程腔室中進行。
塗佈材料可被使用在多種應用及多種技術領域之 中。舉例來說，一種應用係用於微電子領域，如產生半導體裝置。 再者，顯示器之基板通常係藉由PVD製程而被塗佈。進一步應用包含隔離面板、有機發光二極體(organic light emitting diode,OLED)面板、薄膜電晶體基板、彩色濾光片、或類似應用。
特別是對於如顯示產品、薄膜太陽能電池之製造及相似應用之領域中，會使用大面積玻璃基板來進行製程。在過去，一直持續增加基板之尺寸，至今仍在持續。增大之基板使得基板之處理、支撐及製程中，為了不要因損壞玻璃而犧牲產出量的前提下，愈來愈有挑戰性。
典型地，於玻璃基板製程期間可支撐玻璃基板於載具上。載具傳動(drive)玻璃或基板穿過製程機器。載具通常形成框架或平板，沿著基板周圍支撐基板之表面，或者在後者的情況下，平板本身支撐基板之表面。特別地，框架形狀之載具也可用於遮罩玻璃基板，其中被框架環繞之載具內的孔洞，係提供以使塗佈材料沈積於暴露之基板部分，或提供以用於其他製程步驟中而作用於藉由孔洞所暴露出來之基板部分。
而更大也更薄之基板趨勢會導致基板之凸起，特別地是肇因於在層膜沈積的過程中施加於基板的壓力，其中凸起可因破損的可能性增加而造成諸多問題。再者，凸起會降低品質，如材料層沈積的均勻度。因此，一種需求在於降低凸起並允許載具可傳輸較大及較薄的基板且避免破損，並增進塗佈材料層的品質。
有鑑於此，有利的作法為提供一種載具，特別地是具有至少兩固持件的載具，以至少克服習知技藝及單固持件載具的一些問題。
有鑑於此，根據獨立項請求項第1項中提供一種固持件用以貼附載具以支撐基板。根據另一實施例，根據請求項第15項提供一種載具。本發明之其他方面、優點及特徵係顯示於附屬項、實施方式及所附圖示中。
根據一實施例，提出一種固持件，被配置以貼附一載具本體，用以在基板製程腔室中支持基板。固持件包括：固定部分，被配置以貼附至載具本體，固定部分具有相對於載具本體之固定位置；浮動部分，相對於固定部分係可移動於至少一方向上；以及固定機制，係提供在相對於浮動部分的固定位置，並被配置以夾止基板於固持件中。
根據另一實施例，提出一種方法，用以固定基板於載具中，此方法包括：加載一基板在載具上；相對於載具本體於至少一方向移動至少一固持件，從一中間位置朝向一第一端位置或一第二端位置，其中固持件係貼附載具本體；以及以至少兩固持件夾止基板，其中至少兩固持件中的至少一固持件係放置在中間位置的外面。
根據另一方面，提出一種設備，用於沈積層膜在大面積玻璃基板上，此設備包含：真空腔室，適於層膜沈積；傳輸 系統，適於載具的傳輸，其中載具包含至少兩固持件。固持件被配置以貼附載具本體，以支持基板。固持件包括：固定部分，被配置以貼附載具本體，固定部分具有相對於載具本體之固定位置；浮動部分，相對於固定部分係可移動於至少一方向上；以及固定機制，係提供在相對於浮動部分的固定位置，並被配置以夾止基板於固持件中。此設備更包含沈積來源以用於沈積形成層膜的材料。
為了對本發明之上述及其他方面有更佳的瞭解，下文特舉較佳實施例，並配合所附圖式，作詳細說明如下：
100‧‧‧載具
101‧‧‧基板
102‧‧‧第一基板表面
103‧‧‧第二基板表面
120‧‧‧固持件
121‧‧‧突出部
122‧‧‧固定部分
123‧‧‧浮動部分
124‧‧‧第一表面
125‧‧‧第二表面
125a‧‧‧類橡膠部件
130、130a‧‧‧動力裝置
140、140a‧‧‧張力
141‧‧‧力矩
150‧‧‧固定機制
151‧‧‧第一定位元件
152‧‧‧第二定位元件
153‧‧‧桿臂
160‧‧‧載具本體
600‧‧‧沈積腔室
612‧‧‧腔室
620‧‧‧基板傳輸裝置
630‧‧‧沈積材料來源
635‧‧‧沈積材料
665‧‧‧虛線
為使本發明之上述特徵可以被詳細了解，本發明之更特定描述(簡要說明如上文)可參照具體實施例得知。所附圖示與本發明之具體實施例有關，且說明如下
第1A、1B、1C、1D圖繪示依照此處所述實施例之載具，各具有固持件及基板提供在載具的基板區域中。
第2A、2B、2C圖繪示依照此處所述實施例之固持件貼附載具的一例。
第3圖繪示依照此處所述實施例之固持件貼附載具的另一例。
第4圖繪示依照此處所述實施例之使用載具沈積材料層於基板上之設備的示意圖。
現將詳細參照本發明之各種具體實施例，一或多個實例描述於圖式中。在圖式的下述說明中，相同的元件符號係代表相同元件。一般而言，僅描述個別具體實施例中的差異處。各個實例之提供係為解釋本發明，且其並不代表對本發明之限制。 更進一步地說，作為一具體實施例之部分的特徵係可用於、或結合於其他具體實施例，以再產生另一個具體實施例。本發明意欲涵蓋這些修飾與變化之描述。
根據此處所述之實施例，提出一種至少包含兩固持件的載具。此至少兩固持件係被配置以減少因壓力所致之基板彎曲或凸起，特別是沈積層膜在基板上所引起的壓力、或基板或載具熱膨脹所引起的壓力、或基板重量所引起的壓力。固持件提供兩部分本體，具有固定部分與浮動部分。兩部分本體藉由充足的張力(例如基板邊緣的每單位長度的張力)，以減少基板彎曲。
依據此處所述實施例，載具包含至少兩固持件。此至少兩固持件可被分布在基板的周邊，以有效避免或降低基板的彎曲或凸出。各固持件具有：固定部分，被配置以貼附載具本體，載具本體具有相對於載具本體之固定位置；浮動部分，相對於固定部分係可移動於至少一方向上；以及固定機制，係提供在相對於浮動部分的固定位置，並被配置以夾止基板於固持件內或在載具本體上。浮動位置對固定位置的相對運動提供的某一方面可降低基板的彎曲。再者，動力裝置(force arrangement)(例如至少一彈簧、或至少一氣壓缸(pneumatic cylinder)、或類似物)係被提供， 並被配置以在至少一方向上拉曳載具上的基板。動力裝置及浮動位置對固定位置的相對運動兩者合併提供在基板中的張力，可避免基板的彎曲或凸起。
依據典型實施例，其可以與所述的其他實施例結合，基板厚度可介於0.1至1.8mm，而固持件可適於此種基板厚度。然而，特別有效果的是，若基板厚度係約0.9mm或更低(例如0.7mm、0.5mm、或0.3mm)，而固持件仍可適於此種基板厚度。
根據一些實施例，大面積基板可具有至少0.174平方公尺之尺寸。通常尺寸可以是約為1.4平方公尺到約為8平方公尺，更通常是約為2平方公尺到約為9平方公尺，或甚至大到12平方公尺。典型地，根據所述之實施例，提供用於遮罩結構、設備及方法之矩形基板，如同所述地係為一大面積基板。舉例來說，大面積基板可以是第5代、第7.5代、第8.5代，第5代對應至約1.4平方公尺之基板(1.1公尺x 1.3公尺)，第7.5代對應至約4.39平方公尺之基板(1.95公尺x 2.25公尺)，第8.5代對應至約5.5平方公尺之基板(2.2公尺x 2.5公尺)，或甚至是第10代，第10代對應至約8.7平方公尺之基板(2.85公尺x 3.05公尺)。甚至更高世代，如第11代及第12代，第11代及第12代對應之基板面積皆可相同地被實施。本發明實施例特別有利於配合厚度約0.3mm之基板，及第8.5代之大面積基板。
第1A圖繪示載具100。載具100係被配置以支持大面積薄型基板101。如第1A圖所示，基板101係提供在載具100 內的一位置，特別是在製程腔室之中被處理之時。載具100包含框架或載具本體160，框架或載具本體160定義視窗或孔洞。依據典型實作，框架提供基板接收表面。典型地，在操作時，即在基板被裝載時，基板接收表面被配置以接觸基板的周邊部分。
典型地，基板101可由任何適合材料沈積之材質所製成，例如基板101可由選自由玻璃(例如鈉鈣玻璃、硼矽酸玻璃等)、金屬、聚合物，陶瓷、化合物材料、或可藉由沈積製程被塗佈之任何其他材料及這些材料之組合所組成之群組的所製成。可能也影響基板製程的凸起，可藉由依據所述實施例之載具而被減小。特別是對於玻璃基板或陶瓷基板而言，破損是重要的考量，故載具也可有效降低基板破損，此破損會降低因增加之損失所致之生產製程的產出力。
依據一些實施例，框架160可由鋁、鋁合金、鈦及其合金、不鏽鋼、或類似物所製成。對於相對小的大面積基板而言，例如第5代或更低，框架160可從單一物件製成，即框架係一體製成。然而，依據一些實施例，其可以與所述的其他實施例結合，框架160可包含兩個或更多元件，如頂杆、側杆、及底杆。 特別地，對於超大面積基板而言，載具或載具本體可被製成而具有多個部分。載具本體的此些部分係被組合而提供框架160，以用於支撐基板101。框架160係特別配置以接收基板101於基板區域之中。
第1A圖所示之載具100更包括多個固持件。在第 1A圖所示之例中，兩個固持件120係提供在框架或載具本體160的頂側。依據一些實施例，框架160頂側上的此兩固持件120的浮動部分係可相對於固定位置於一方向上移動，其中此方向係平行於基板邊緣，如箭號所示。依據一些實施例，此兩固持件也可提供在載具的左及右側的中央。依據一些實施例，浮動部分123相對於固定部分122的移動方向可為交替性的。或是附加地也可以是垂直於基板的邊緣而位於實質上平行於基板101的平面。
雖然框架160頂側上的兩固持件120係如第1A圖所繪示，本發明並不限於此。多於兩個固持件120可被提供在框架160的頂側。再者，多於一個固持件120可被提供在基板101的一個或多個邊緣上，將參照第1B圖詳細說明。
第1A圖所示之載具100提供此兩固持件的浮動部分及動力裝置，固持件的浮動部分係可沿著第一方向移動，而動力裝置係配置以拉曳基板在此方向上。基板的擴張或其他運動可藉由具有浮動部分之一個或多個固持件而被補償，浮動部分係相對於固定部分為可移動的，例如於實質上平行於載具本體/及或基板表面的平面移動。在由框架160所定義之基板區域中，基板101的位置可準確地被調整並置中。依據此處所述實施例之固持件，允許於相對邊緣上及/或至底部的基板的擴張。依據一些實施例，其可以與所述的其他實施例結合，此處所述載具與此處所述使用載具的設備，係用於垂直基板製程。垂直基板製程的用語可理解為用來區別水平基板製程。亦即，垂直基板處理有關於在基板製 程中載具與基板的實質上垂直配向，其中偏移正垂直方向的少量度數，例如高達10°或甚至高達15°，仍視為是垂直基板製程。具有小量傾角的垂直基板配向例如可導致更穩定的基板處理、或降低粒子污染沈積層的風險。
依據此處所述實施例，並參照第2及3圖進一步詳述者，固持件提供至少一方向的張力以降低基板在其周邊區域的彎曲。再者，固持件可提供支撐或支持力量來穩定地支撐基板在載具內。固持件的張力係藉由浮動部分對於固定部分的相對運動而提供，或藉由配置以拉曳基板在至少一方向上的動力裝置來提供。此提供了有益的張力而降低基板的彎曲或凸起。
第1B圖繪示依照一些實施例之載具100的另一例。第1B圖所示之實施例係相仿於第1A圖所示之實施例。第1B圖之載具100包含四個固持件120，其中各固持件係定位在載具或載具本體的各角落上。依據一些實施例，四個固持件也可被提供在載具或載具本體各邊緣的中央。依據一些實施例，至少四固持件120的一個或多個浮動部分也可沿著第二方向移動，其中此第二方向(如箭號所示)係於一平面上垂直於第一方向，此平面實質上係平行於基板。
依據一些實施例，其可以與所述的其他實施例結合，至少一固持件係提供在框架160的至少兩側上，且選擇性地甚至位在框架160的每一側上。
依據再一些實施例，其可附加地或替代地實施，固 持件固定在基板的位置係分布在基板的周邊，例如是均勻地分布。舉例來說，圍繞基板的邊緣，可每隔300mm或每1000mm而提供固持件，例如是每隔300mm至800mm。典型地，此些固持件也可提供在成對的位置上。舉例來說，第8.5代基板也可分別藉由24個位置或12對位置上的固持件，以降低彎曲。
第1C圖繪示載具100的另一例。依據一些實施例，其可以與所述的其他實施例結合，載具100包含第一定位元件151及第二定位元件152，以將基板101定位在基板區域中。第一定位元件151可固定地貼附至框架160。一個或多個第一定位元件151也可被提供。第二定位元件152可實質上平行於基板區域而移動，亦即實質上平行於基板的表面，並平行於基板101的一個對應邊緣而移動，如箭號所示。
舉例來說，第一及第二定位元件151、152可包含固定夾或導引裝置。依據一些實施例，如範例性地顯示之第1C圖上之定位元件151、152(例如位在側邊或底部)可設計使得定位元件並不實質上貢獻導致基板彎曲或凸起之力量的補償。而是，在框架160的基板接收表面上，定位元件係適於避免基板101的自由移動及/或被提供以支撐大於50%的基板重量。
載具100更包含至少兩固持件120，例如是在框架160的頂側或上側。用於降低基板彎曲的兩固持件120係繪示在第1C圖中。然而，依據此處所述實施例，固持件的數量及對應的固定位置係可調整的(adapted)。依據一些實施例，兩個或多個 固持件120係被提供。特別地，兩個或多個固持件120可被提供在基板的一個或多個側邊上，例如是如同第1B圖所示者。
第1D圖繪示另一載具100。載具100被配置以支撐大面積基板。第1D圖的載具包含第一定位元件151以定位基板101在基板區域中，且係被配置以提供一預設基板位置。第一定位元件151可固定地貼附至框架160。依據一些實施例，其可以與所述的其他實施例結合，一個或多個第一定位元件151可被提供並固定地貼附至框架。依據一些實施例，其可以與所述的其他實施例結合，三個第一定位元件151可被提供。舉例來說，兩個固定地連接的第一定位元件係提供在框架的底部分，且一個第一定位元件係提供在框架的一個側邊部分。第一定位元件可具有間隙以供基板置入，或具有其他裝置(mean)以安置基板在第一定位元件中，其中邊緣接觸表面係被提供而配置以接觸基板邊緣並定義接觸位置。接觸位置定義載具內的預設基板位置。
第1D圖所示之載具100更包含多個固持件120，此些固持件120係可相對於載具框架或載具本體的周邊而移動，亦即平行於載具內所接收之基板的表面而移動。此些固持件係參照第2及3圖而被詳細說明。依據典型實施例，其可以與所述的其他實施例結合，此些固持件可被提供及/或沿著框架160的側邊而分布設置。
依據一些實施例，其可以與所述的其他實施例結合，另外的固持件120可被提供在框架上。此些固持件相當於 (comparable)第2及3圖所述之固持件，然而不同處在於此些固持件並不具有配置以接觸基板邊緣的突出部。亦即，分別繪示於第2及3圖的突出部121，係朝向框架(遠離基板接收區域)被省略或被取代，使得固持件並不接觸基板邊緣。依據典型實施例，其可以與所述的其他實施例結合，這些另外的固持件120係被提供及/或分布在框架160的側邊上，此些側邊係相同於第一定位元件所被提供的側邊。此些另外的固持件120之突出部的省略使得基板的預定位置係由第一定位元件151所定義。
如第2A、2B、2C圖所示，依據此處所述實施例，固持件120包含固定部分122及浮動部分123，其中固定部分具有固定相對於載具本體的固定位置，且其中浮動部分可沿著一方向相對固定部分而移動。浮動部分123具有實質上平坦或平面的第一表面124以接觸基板101的第一基板表面102。固定機制150具有桿臂(lever arm)153，其中桿臂包含實質上平坦或平面的第二表面125以接觸基板101的第二基板表面103，第二基板表面103相對於第一基板表面102。依據一些實施例，第一表面124及第二表面125係實質上相互平行。第二表面125也可為類橡膠(rubber-like)部件125a的表面，類橡膠部件125a固定至桿臂，如第2C圖所示。依據此處所述實施例，固定機制可為致動器(actuator)、固定夾(clamp)、桿臂、膝桿系統(knee lever system)、具有一個或多個彈簧的固定夾、或另一元件，藉以夾固基板浮動部分123。
在運作過程，亦即當基板被載具運送時，基板101係置入(interpose)或夾置(sandwich)在第一表面124及第二表面125之間。基板101的一邊緣(亦即一側邊)可接觸浮動部分123的突出部121，其中此突出部沿著平行於此基板邊緣的一第一方向延伸。依據一些實施例，其可以與所述的其他實施例結合，浮動部分123的移動方向係平行於突出部所延伸的第一方向。突出部也可為提供在固定夾內之止擋元件的表面。依據一些實施例，浮動部分123相對於固定部分122的移動方向可替代地或額外地也可垂直於突出部121的延伸方向，並位於實質上平行於基板101的平面上。
動力裝置130提供至少一方向的張力140在基板上。特別是在沈積製程過程中，張力140係用於穩定地握持(hold)基板101以降低或甚至是避免基板101的凸起。
伴隨浮動部分123相對於固定部分122的相對運動，動力裝置130被配置以提供足夠的張力以降低基板的彎曲(例如是由層的沈積所導致的彎曲)。對應地，動力裝置130被配置以維持基板的配向，特別是在外部基板周邊區域，此區域係平行於載具本體。亦即，可能產生基板彎曲的壓力並不會導致彎曲或凸起，因為固持件可平行於基板的邊緣而移動，以例如是補償基板的擴張。在夾固基板前的動力裝置被預裝載(pre-load)的事件中，基板可更被拉緊(tensioned)。
浮動部分123對固定部分122的相對移動，結合動 力裝置130，沿著浮動部分123相對固定部分122的至少一移動方向在基板中提供了張力。
換言之，當因施加至基板101之壓力(例如力)所產生之力矩141發生時，浮動部分123對固定部分122之相對運動所定義的張力、及動力裝置130所定義的張力，會導致較少的彎曲。動力裝置130也可依據基板的形式(材料、厚度、面積大小等)、多個將被沈積在基板101上的層膜、將被沈積的材料種類、將被沈積之一或多層的厚度、製程腔室的種類、製程時間等至少其中之一而被不同地選擇。
雖然固持件120包含可相對於固定部分沿著如第2A圖所示之方向移動之浮動部分，然本發明並不限於此。固持件120也可包含可相對於固定部分沿著至少兩方向移動的浮動部分，例如將配合第3圖詳細說明之。
第3圖繪示依據一些實施例之固持件120的另一例。第3圖所示之實施例係相仿於第2圖所示之實施例。第3圖之固持件120的浮動部分也可沿著第二方向移動，其中第二方向係垂直於第一方向並位在實質上平行於基板的平面。再者，另一動力裝置130a提供第二方向的張力140a給基板。在沈積過程中，此張力140a係用於穩定地於此第二方向握持基板101以減少或甚至是避免基板101的凸起。
依據一些實施例，例如是第1A、1B、1C所示之範例，一個或多個固持件120提供例如是每基板邊緣單位長度 [1m]0.1N至10N或更高的張力。邊緣長度單位可為基板之一邊緣的長度，例如實質上矩形之基板的側邊。如此，對基板周邊長度之張力的正規化(normalization)可被執行，使得張力的數值可正規化為每1公尺的基板周邊長度的張力。參照第1A、1B、1C圖，用於基板101之各個側邊的多個固持件120可基於待被施加至基板101的整體(total)張力(或每基板邊緣單位長度的張力)而被決定。再者，依據一些實施例，固持件120在基板側邊上的分布可被選擇以促進基板101之凸起的縮減。
依據一些實施例，兩固持件的至少此些浮動部分係可相對於固定部分沿著一方向移動，且位在基板的平面。動力裝置130伴隨浮動部分123相對於固定部分122的相對運動，被配置以提供張力140給基板101。
依據此處所述之一些實施例，一個或多個動力裝置130提供張力140至可移動的浮動部分123，以施壓至基板101。
替代性地，浮動部分123可相對固定部分於兩方向上移動。在此例中，一個或多個動力裝置130、130a可提供至少兩方向上的張力140、140a至基板。
依據一些實施例，其可以與所述的其他實施例結合，動力裝置130包含至少一彈簧元件。然而，本發明並不限於彈簧元件，而其他適於產生張力的元件也可被使用。例如包含但不受限地為桿(lever)、壓縮彈簧、壓電(piezoelectric)裝置、或氣壓裝置。
依據不同的實施例，載具100可被使用於PVD沈積製程、CVD沈積製程、基板結構化修邊、加熱(如退火)、或任何種類的基板製程。此處所述之載具的實施例及使用此種載具的方法對於非靜態(non-stationary)(亦即連續基板製程)特別有用。典型地，載具係提供以處理垂直配向大面積玻璃基板。非靜態製程典型地需要載具為製程也提供遮罩元件。
第4圖繪示依據實施例之沈積腔室600之示意圖。 沈積腔室600係適用於沈積製程，如PVD或CVD製程。基板101係繪示為位在基板傳輸裝置620的載具內或載具處。沈積材料來源630係提供在腔室612中，面對基板待被塗佈之側。沈積材料來源630提供待被沈積在基板上的沈積材料635。
在第4圖中，來源630可為具有沈積材料於其上的靶材，或任何其他允許材料被釋放而沈積在基板101上的設置。 典型地，材料來源630可為可旋轉靶材。依據一些實施例，材料來源630可以是可移動的，以放置及/或更換來源。依據其他實施例，材料來源可為平面靶材。
根據一些實施例，沈積材料635可根據沈積製程及被塗佈之基板之後續應用被加以選擇。舉例來說，來源之沈積材料可以是一材料，選自由金屬(如鋁、鉬、鈦、銅或其他類似金屬)、矽、銦錫氧化物及其他透明導電氧化物(transparent conductive oxide)所組成的群組。典型地，氧化物、氮化物、碳化物薄膜可包括此種材料，且可藉由來源提供材料而被沈積，或藉由反應式 沈積而被沈積，反應式沈積亦即來自來源的材料與來自製程氣體的元素如氧分子、氮分子或碳分子進行反應。
典型地，特別是對於非靜態沈積製程，基板101被提供於載具內或於載具處，載具可以被當作一邊緣排除遮罩。虛線665範例性地顯示在腔室600之操作期間過程，沈積材料635之路徑。根據另一些實施例，其可以與所述的其他實施例結合，於腔室612中，不同的邊緣排除遮罩可被提供作遮罩。根據本文描述之實施例之載具可有利於靜態製程(stationary processes)，也可有益於非靜態製程。
根據實施例，其可以與所述的其他實施例結合，固定組件穩定地握持基板的邊緣，特別是在沈積製程期間。實施例可減少基板破損，特別是有鑑於長度及高度愈來愈大而厚度卻減小的基板的事實。可藉由根據所述實施例之載具，可減少可能也會影響基板製程之凸起。
綜上所述，雖然本發明已以較佳實施例揭露如上，然其並非用以限定本發明。本發明所屬技術領域中具有通常知識者，在不脫離本發明之精神和範圍內，當可作各種之更動與潤飾。因此，本發明之保護範圍當視後附之申請專利範圍所界定者為準。
120‧‧‧固持件
121‧‧‧突出部
123‧‧‧浮動部分
124‧‧‧第一表面
140‧‧‧張力

Claims (20)

  1. 一種固持件，被配置以接觸一載具本體，用以支持一基板，該固持件包括：一固定部分，被配置以貼附至該載具本體，該固定部分具有相對於該載具本體之一固定位置；一浮動部分，相對於該固定部分係可移動於至少一方向上；以及一固定機制，係提供在相對於該浮動部分的一固定位置，並被配置以夾止該基板於該固持件中。
  2. 如申請專利範圍第1項所述之固持件，其中該浮動部分係可沿著從一第一端位置至一第二端位置之該至少一方向移動，而其中該浮動部分更包括一動力裝置，被配置以在該至少一方向上相對於該固定位置而將該浮動部分置中(center)。
  3. 如申請專利範圍第2項所述之固持件，其中該動力裝置係選自於由至少一彈簧、或至少一氣壓缸(pneumatic cylinder)所組成的群組。
  4. 如申請專利範圍第1項所述之固持件，其中該浮動位置具有一突出部(protrusion)，被配置以接觸一基板邊緣，其中該突出部延伸於平行於該基板邊緣的一第一方向，而其中該浮動部分在該至少一方向上的運動係平行於該第一方向。
  5. 如申請專利範圍第2項所述之固持件，其中該浮動部分具有一突出部被配置以接觸一基板邊緣，其中該突出部延伸於平行 於該基板邊緣的一第一方向，而其中該浮動部分在該至少一方向上的運動係平行於該第一方向。
  6. 如申請專利範圍第3項所述之固持件，其中該浮動部分具有一突出部被配置以接觸一基板邊緣，其中該突出部延伸於平行於該基板邊緣的一第一方向，而其中該浮動部分在該至少一方向上的運動係平行於該第一方向。
  7. 如申請專利範圍第1項所述之固持件，其中該固定機制包含一桿臂，其中該桿臂被配置以固定該基板至該浮動部分。
  8. 如申請專利範圍第2項所述之固持件，其中該固定機制包含一桿臂，其中該桿臂被配置以固定該基板至該浮動部分。
  9. 如申請專利範圍第3至6項之任一項所述之固持件，其中該固定機制包含一桿臂，其中該桿臂被配置以固定該基板至該浮動部分。
  10. 如申請專利範圍第7及8項所述之固持件，其中該固定機制包含一膝桿系統(knee lever system)，該膝桿系統包含該桿臂。
  11. 如申請專利範圍第7及8項所述之固持件，其中該固定機制更包含一類橡膠(rubber-like)部件，固定至該桿臂，且其中該類橡膠部件係配置以接觸該基板。
  12. 如申請專利範圍第1至8項之任一項所述之固持件，其中該浮動部分係可移動於至少一第二方向上，其中於實質上平行於該基板之一平面中，該第二方向係垂直於該至少一方向。
  13. 如申請專利範圍第12項所述之固持件，其中該浮動部分 係可於從一第一端位置至一第二端位置之該第二方向上移動，而其中該浮動部分包括另一動力裝置，被配置以在該第二方向上拉曳該基板。
  14. 如申請專利範圍第13項所述之固持件，其中該另一動力裝置係選自於由至少一彈簧、或至少一氣壓缸所組成的群組。
  15. 一種載具，包含至少兩個如申請專利範圍第1至8項之任一項所述之固持件。
  16. 一種如申請專利範圍第15項所述之載具，更包括至少一固定夾(clamp)貼附至該載具本體，該固定夾具有相對於該載具本體之一固定位置，且該固定夾被配置以支持該基板50%以上的重量。
  17. 一種如申請專利範圍第15項所述之載具，其中該載具本體係長方形，且其中相對於該載具本體之該至少兩固持件的架構為：該至少兩固持件，其中各固持件係放置在該載具本體的上側；該至少兩固持件，其中各固持件係放置在該載具本體的左及右側的中間；該至少兩固持件為至少四固持件，其中各固持件係放置在該載具本體的各個角落；該至少四固持件，其中各固持件係放置在該載具本體各側的中間；或上述之組合。
  18. 一種方法，用以固定一基板於一載具中，該載具具有一載具本體，該方法包括：加載一基板在該載具上；相對於該載具本體於至少一方向移動至少一固持件，從一中 間位置朝向一第一端位置或一第二端位置，其中該固持件係貼附至該載具本體；以及以至少兩固持件夾止該基板，其中該至少兩固持件的至少一固持件係放置在該中間位置之外。
  19. 如申請專利範圍第18項所述之方法，其中一動力裝置拉曳至少該固持件至該中間位置。
  20. 一種載具，包括：一載具本體；至少一固定夾，貼附至該載具本體，該固定夾具有相對於該載具本體之一固定位置；以及至少兩固持件，其中各固持件包括：一固定部分，被配置以貼附至該載具本體，該載具本體具有相對於該載具本體之一固定位置；一浮動部分，相對於該固定部分係可沿著至少一方向移動，其中該浮動部分具有一突出部，該突出部被配置以接觸一基板邊緣，其中該突出部延伸於平行於該基板邊緣的一第一方向，而其中該浮動部分在該至少一方向上的移動係平行於該第一方向；及一固定機制，係提供在相對於該浮動部分的一固定位置，並被配置以夾止該基板於該固持件中，其中該浮動部分係可沿著從一第一端位置至一第二端位置之該至少一方向移動，而其中該浮動部分更包括一動力裝置，該動力裝置被配置以在該至少 一方向上於該固定部分使該基板置中。
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