TW201525287A - 溫度感應式壓電分配器 - Google Patents

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Abstract

本發明的溫度感應式壓電分配器的特徵在於包含：泵體，其形成有可使冷卻流體流動的冷卻線；槓桿，其以可相對於設置於上述泵體的鉸鏈軸而旋轉的方式設置；壓電致動器，其以其末端可與上述槓桿接觸的方式設置於上述泵體，以便若施加電壓，則長度變長，並且對上述槓桿加壓而使上述槓桿以上述鉸鏈軸為中心旋轉；閥桿，其連接於上述槓桿，以便隨著上述槓桿的旋轉而進行升降運動；閥體，其具有儲存部、流入口、及噴嘴，該儲存部是供上述閥桿的末端插入，且儲存溶液，該流入口是向上述儲存部流入上述溶液，該噴嘴是隨著上述閥桿相對於上述儲存部的進退而排出上述儲存部的溶液；溫度感測器，其設置於上述壓電致動器與泵體中的任一者而測定溫度；冷卻泵，其向上述泵體的冷卻線供給冷卻流體；及控制部，其使上述壓電致動器作動，接收上述溫度感測器感應的溫度而使上述冷卻泵作動。

Description

溫度控制式壓電分配器
本發明是有關於一種溫度感應式壓電分配器，更詳細而言是有關於一種具有將壓電元件用作致動器(actuator)而分配溶液的壓電泵(piezoelectric pump)的分配器。
按照固定的量供給水、油、樹脂(resin)等液體狀態的溶液的分配器使用於半導體製程、醫療領域等各種領域。
特別是，半導體製程是於底部填充(underfill)製程中較多地使用分配器，且分配器亦較多地使用於以樹脂填充半導體元件的封裝體(package)內部的用途。於製造發光二極體(Light Emitting Diode，LED)元件的製程中，分配器使用於在LED元件中，將螢光物質與樹脂混合而成的螢光液塗佈至LED晶片(chip)的製程。
此種分配器是將接收溶液而向準確的位置分配定量的泵(pump)用作核心裝置。
於泵的構造中，存在螺旋泵(screw pump)、線性泵(linear pump)等各種類型。最近，為了高速地執行分配動作，開發使用於半導體製程等中，將壓電元件用作致動器的壓電泵。
於韓國公開專利公報第2005-0079557號(2005.08.10)中，揭示有如下的壓電泵的構造：附著壓電元件的多個壓電致動器形成彼此不同的位移差，依次連動而泵送(pumping)流體。
使用於壓電泵的壓電致動器主要由陶瓷(ceramic)素材製作。包含此種陶瓷材質的壓電致動器在內的大部分的壓電致動器一方面藉由所施加的電壓而作動，一方面產生熱。若因產生於壓電致動器的熱而壓電致動器的溫度上升，則存在壓電致動器的動態特性發生變化，壓電致動器的使用壽命亦縮短的問題點。
因此，需要具有可防止壓電致動器的溫度上升的構成的壓電泵或壓電分配器。
本發明是為了解決如上所述的必要性而提出，目的在於提供一種具有感應產生於壓電致動器的溫度，利用所感應的溫度而冷卻壓電致動器的功能的溫度感應式壓電分配器。
為了解決如上所述的問題點，本發明的溫度感應式壓電分配器的特徵在於包含：泵體，其形成有可使冷卻流體流動的冷卻線；槓桿(lever)，其以可相對於設置於上述泵體的鉸鏈(hinge)軸而旋轉的方式設置；壓電致動器，其以其末端可與上述槓桿接觸的方式設置於上述泵體，以便若施加電壓，則長度變長，並且對上述槓桿加壓而使上述槓桿以上述鉸鏈軸為中心旋轉；閥桿(valve rod)，其連接於上述槓桿，以便隨著上述槓桿的旋轉而進行 升降運動；閥體，其具有儲存部、流入口、及噴嘴(nozzle)，該儲存部是供上述閥桿的末端插入，且儲存溶液，該流入口是向上述儲存部流入上述溶液，該噴嘴是隨著上述閥桿相對於上述儲存部的進退而排出上述儲存部的溶液；溫度感測器(temperature sensor)，其設置於上述壓電致動器與泵體中的任一者而測定溫度；冷卻泵，其向上述泵體的冷卻線供給冷卻流體；及控制部，其使上述壓電致動器作動，接收上述溫度感測器感應的溫度而使上述冷卻泵作動。
本發明的溫度感應式壓電分配器具有如下效果：測定壓電致動器的溫度，利用所測定的溫度值而冷卻壓電致動器，藉此可準確控制藉由壓電致動器的作動而排出的溶液。
10‧‧‧泵體
11‧‧‧鉸鏈軸
20‧‧‧閥體
21‧‧‧流入口
22‧‧‧儲存部
23‧‧‧噴嘴
30‧‧‧槓桿
31‧‧‧卡止槽
40‧‧‧閥桿
41‧‧‧卡止桿
51、81‧‧‧第1壓電致動器
52、82‧‧‧第2壓電致動器
61‧‧‧第1調節單元
62‧‧‧第2調節單元
63、67‧‧‧第1復位單元
64、68‧‧‧第2復位單元
70‧‧‧冷卻泵
71、72、73、74‧‧‧冷卻線
100‧‧‧壓電泵
200‧‧‧控制部
210‧‧‧溫度感測器
220‧‧‧泵PCB
V-V‧‧‧線
IV-IV‧‧‧線
圖1是本發明的一實施例的溫度感應式壓電分配器的壓電泵的前視圖。
圖2是圖1所示的壓電泵的立體圖。
圖3是圖1所示的壓電泵的側視圖。
圖4是圖2所示的壓電泵的IV-IV線剖面圖。
圖5是圖2所示的壓電泵的V-V線剖面圖。
圖6是關於圖1所示的溫度感應式壓電分配器的主要構成的方塊圖。
圖7至圖9是用以說明圖1所示的溫度感應式壓電分配器的 壓電泵的作動的概略圖。
圖10是用以說明本發明的其他實施例的溫度感應式壓電分配器的壓電泵的作動的概略圖。
以下，參照隨附圖式，詳細地對本發明的溫度感應式壓電分配器進行說明。
圖1是本發明的一實施例的溫度感應式壓電分配器的壓電泵的前視圖，圖2是圖1所示的壓電泵的立體圖，圖3是圖1所示的壓電泵的側視圖。
參照圖1至圖3，本實施例的溫度感應式壓電分配器包含壓電泵(100)、控制部(200)、及冷卻泵(70)。壓電泵(100)具有泵體(10)及閥體(20)。
如圖1所示，泵體(10)與閥體(20)是利用螺桿(bolt)而以可裝卸的方式結合。
於泵體(10)，設置鉸鏈軸(11)，以可相對於鉸鏈軸(11)而旋轉的方式設置橫向延伸的槓桿(30)。於閥體(20)，嵌合設置以於垂直方向上延伸的方式形成的閥桿(40)。槓桿(30)與閥桿(40)彼此連接，若槓桿(30)相對於鉸鏈軸(11)而旋轉，則閥桿(40)上下升降。
於泵體(10)，設置第1壓電致動器(51)及第2壓電致動器(52)，使槓桿(30)相對於鉸鏈軸(11)而旋轉。第1壓電致動器(51)及第2壓電致動器(52)是利用壓電元件而構成。即，使用如下構造的壓電元件而構成第1壓電致動器(51)及第2 壓電致動器(52)：若施加電壓，則根據該施加電壓的電位而長度變長或變短。於本實施例中，將如下情形列舉為例而進行說明：使用積層多個壓電元件而構成的多層疊(Multi Stack)壓電致動器，構成第1壓電致動器(51)及第2壓電致動器(52)。
如圖4所示，第1壓電致動器(51)及第2壓電致動器(52)於垂直方向上彼此並列地配置而設置於泵體(10)。第1壓電致動器(51)及第2壓電致動器(52)是以如下方式配置：隔以鉸鏈軸(11)而分別使下端部與槓桿(30)的上表面接觸。若對第1壓電致動器(51)施加電壓而長度變長，則槓桿(30)以圖4為基準而向逆時針方向旋轉，若對第2壓電致動器(52)施加電壓而長度變長，則槓桿(30)以圖4為基準而向順時針方向旋轉。
於第1壓電致動器(51)及第2壓電致動器(52)的上端，分別配置第1調節單元(61)及第2調節單元(62)而設置於泵體(10)。於本實施例中，無頭螺桿形態的第1調節單元(61)及第2調節單元(62)分別以與第1壓電致動器(51)及第2壓電致動器(52)的末端接觸的形態，螺合設置於泵體(10)。第1調節單元(61)調節第1壓電致動器(51)相對於槓桿(30)及泵體(10)的位置，第2調節單元(62)調節第2壓電致動器(52)相對於槓桿(30)及泵體(10)的位置。若擰緊第1調節單元(61)而相對於泵體(10)前進，則第1壓電致動器(51)下降而接近或密接至槓桿(30)。第2調節單元(62)亦藉由與第1調節單元(61)相同的方法而作動。
於第1壓電致動器(51)及第2壓電致動器(52)的下 部，分別配置第1復位單元(63)及第2復位單元(64)而設置於泵體(10)。第1復位單元(63)向第1壓電致動器(51)對槓桿(30)加壓的方向的反方向，對第1壓電致動器(51)施力。相同地，第2復位單元(64)向第2壓電致動器(52)對槓桿(30)加壓的方向的反方向，對第2壓電致動器(52)施力。第1復位單元(63)及第2復位單元(64)可為彈簧(spring)，亦可為流體管(duct)，該彈簧是於第1壓電致動器(51)及第2壓電致動器(52)的下部，分別相對於泵體(10)而向使第1壓電致動器(51)及第2壓電致動器(52)收縮的方向提供彈力。於本實施例中，在泵體(10)設置板簧形態的彈簧(63、64)，以便可於分別與第1壓電致動器(51)及第2壓電致動器(52)對應的位置的下部，向第1壓電致動器(51)及第2壓電致動器(52)傳達彈力。與本實施例不同地，於利用空壓或液壓的情形時，藉由流體管而向第1壓電致動器(51)及第2壓電致動器(52)傳達空壓或液壓，從而向使第1壓電致動器(51)及第2壓電致動器(52)恢復至原位的方向傳達力。
參照圖4，於第1壓電致動器(51)及第2壓電致動器(52)，設置溫度感測器(210)。溫度感測器(210)可設置於壓電致動器(51、52)，亦可設置於泵體(10)，但於本實施例中，將設置於壓電致動器(51、52)的情形列舉為例而進行說明。溫度感測器(210)測定壓電致動器(51、52)的溫度而向控制部(200)傳達。於泵體(10)，設置泵印刷電路板(Printed Circuit Board，PCB)(220)，泵PCB(220)自控制部(200)接收控制信號而向壓電致動器(51、52)傳達。於溫度感測器(210)測定的溫度藉 由泵PCB(220)而向控制部(200)傳達。
控制部(200)配置於壓電泵(100)的外部，且與壓電泵(100)電性連接而對壓電泵(100)的作動進行控制。即，控制部(200)電性連接於壓電泵(100)的第1壓電致動器(51)及第2壓電致動器(52)而供給電力，藉此對壓電致動器(51、52)的作動進行控制。於將壓電泵(100)設置於向前後方向與左右方向移送的水平移送部而使用的情形時，控制部(200)對水平移送部的作動進行控制。即，於本發明的溫度感應式壓電分配器中，控制部(200)可一方面利用水平移送部而使壓電泵(100)向前後左右移動，一方面向配置於壓電泵(100)的下部的製品分配溶液。控制部(200)亦可控制水平移送部而調節壓電泵(100)的移動速度。
如圖5所示，於泵體(10)，形成可使冷卻流體流動的冷卻線(71、72、73、74)。於本實施例中，空氣經由冷卻線(71、72、73、74)而向泵體(10)內部供給。形成於泵體(10)的冷卻線(71、72、73、74)以如下方式形成：可經由設置有壓電致動器(51、52)的空間而向泵體(10)的外部排出供給於冷卻泵(70)的空氣。
於泵體(10)的冷卻線(71、72、73、74)，連接冷卻泵(70)而供給空氣。冷卻泵(70)連接於控制部(200)而作動受到控制。於在溫度感測器(210)感應的溫度上升的情形時，控制部(200)使冷卻泵(70)作動而增加經由冷卻線(71、72、73、74)而供給的空氣的流量，從而冷卻壓電致動器(51、52)。反之，若於溫度感測器(210)感應的壓電致動器(51、52)的溫度下降， 則控制部(200)以減少經由冷卻線(71、72、73、74)而供給的空氣的流量的方式，對壓電致動器(51、52)進行控制。藉由冷卻泵(70)向冷卻線(71、72、73、74)供給的空氣於與壓電致動器(51、52)接觸而被吸收熱後，藉由形成於泵體(10)的排出口而向外部排出。
閥體(20)具有儲存部(22)、流入口(21)、及噴嘴(23)。儲存部(22)形成為向上側開放的容器形態，閥桿(40)插入至該儲存部(22)而使儲存部(22)的上側密閉。流入口(21)與儲存部(22)連接。藉由流入口(21)而自外部供給的溶液向儲存部(22)傳達。
連接於槓桿(30)的閥桿(40)隨著槓桿(30)的旋轉而相對於儲存部(22)進行升降運動。若閥桿(40)上升下降而向接近位於其下部的噴嘴(23)的方向移動，則對儲存部(22)內部的溶液加壓而藉由噴嘴(23)向外部分配溶液。
槓桿(30)與閥桿(40)可藉由各種方法而連接。於本實施例中，以如圖1及圖2所示的構造連接槓桿(30)與閥桿(40)。於槓桿(30)的末端，形成於水平方向上開放的卡止槽(31)。即，槓桿(30)的卡止槽(31)形成為C字形態。於閥桿(40)的上端部，形成卡止桿(41)。卡止桿(41)插入至槓桿(30)的卡止槽(31)，以可相對於該槓桿(30)而旋轉的方式連接。即，以槓桿(30)的旋轉運動轉換成閥桿(40)的升降運動的方式構成。卡止槽(31)以於水平方向上開放的方式形成，因此可於水平方向上相對於卡止槽(31)移動卡止桿(41)而裝卸卡止槽(31)與卡止桿(41)。由於卡止槽(31)形成於水平方向，因此即便藉 由槓桿(30)的旋轉而卡止槽(31)升降，卡止桿(41)亦不會自卡止槽(31)脫離，而相對於閥體(20)上升或下降。於需要分離槓桿(30)與閥桿(40)時，可藉由使卡止桿(41)於水平方向上相對於卡止槽(31)移動而容易地分離。
如上所述，參照圖2及圖5，於泵體(10)，形成冷卻線(71、72、73、74)。即，可經由泵體(10)而使冷卻流體流動的流路形成於泵體(10)。藉由此種冷卻流路而流通相對低溫的氣體或液體，藉此向外部排出產生於第1壓電致動器(51)及第2壓電致動器(52)的熱。
以下，對如上所述般構成的本實施例的溫度感應式壓電分配器的作動進行說明。
首先，如圖1，於泵體(10)、閥體(20)、及其他構成組裝的狀態下，對第1壓電致動器(51)及第2壓電致動器(52)施加電壓。為了使閥桿(40)下降而藉由噴嘴(23)分配溶液，分別對第1壓電致動器(51)及第2壓電致動器(52)施加以施加至第2壓電致動器(52)的電壓為基準而為50%的電壓。如圖7所示，第1壓電致動器(51)及第2壓電致動器(52)按照相同的長度變長，並且其下端部分別與槓桿(30)接觸。於此種狀態下，分別利用第1調節單元(61)及第2調節單元(62)而調整第1壓電致動器(51)及第2壓電致動器(52)的位置。旋轉螺桿(61、62)而分別使第1壓電致動器(51)及第2壓電致動器(52)前進後退，從而使槓桿(30)呈水平狀態。此時，若旋轉螺桿(61、62)而使第1壓電致動器(51)或第2壓電致動器(52)後退，則藉由第1復位單元(63)或第2復位單元(64)的作用， 推頂第1壓電致動器(51)或第2壓電致動器(52)而使其上升。
經過如上的過程，設定用以進行分配的第1壓電致動器(51)及第2壓電致動器(52)的初始位置。
於此種狀態下，藉由流入口(21)而以固定的壓力向儲存部(22)供給溶液。
於此種狀態下，開始分配溶液的製程。
若對第1壓電致動器(51)施加100%的電壓，對第2壓電致動器(52)施加0%的電壓，則第1壓電致動器(51)膨脹，第2壓電致動器(52)收縮。如圖8所示，槓桿(30)向逆時針方向旋轉，並且閥桿(40)上升。此時，藉由第2復位單元(64)的作用而更迅速地實現第2壓電致動器(52)的旋轉。作為參考，圖8是為了有效的說明，相較實際誇張地表示槓桿(30)的傾斜角度。
於此種狀態下，若對第1壓電致動器(51)施加0%的電壓，對第2壓電致動器(52)施加100%的電壓，則第1壓電致動器(51)收縮，第2壓電致動器(52)膨脹。如圖9所示，槓桿(30)向順時針方向旋轉，並且閥桿(40)下降。插入於儲存部(22)的閥桿(40)下降，並且對儲存部(22)內部的溶液加壓，從而溶液藉由噴嘴(23)而向外部排出，並且完成分配。此時，第1復位單元(63)亦使第1壓電致動器(51)收縮，並且有助於槓桿(30)迅速地向順時針方向旋轉。圖9與圖8相同地，為了有效的說明，相較實際誇張地表示槓桿(30)的傾斜的程度。
如上所述，若對第1壓電致動器(51)與第2壓電致動器(52)交替地施加電壓，則如圖8及圖9，閥桿(40)反覆升降， 並且連續地藉由噴嘴(23)而分配溶液。
如圖4所示，旋轉軸與閥桿(40)之間的距離遠遠大於旋轉軸與第1壓電致動器(51)及第2壓電致動器(52)之間的距離，因此具有如下優點：藉由槓桿(30)充分地擴大壓電致動器(51、52)的變形量，從而可使閥桿(40)於足夠的高度範圍內作動。
於對第1壓電致動器(51)及第2壓電致動器(52)的作動進行控制的控制部(200)中，隨著時間的流逝而對第1壓電致動器(51)及第2壓電致動器(52)施加具有各種形態的脈衝波形的電壓，藉此可對閥桿(40)的動態特性進行控制。特別是，藉由以隔以鉸鏈軸(11)而分別使槓桿(30)作動的方式構成兩個壓電致動器(51、52)，不僅可對閥桿(40)的下降運動進行控制，而且亦可對上升運動進行控制，因此可更迅速地分配溶液，且亦可準確地控制分配的溶液的量。
特別是，具有如下優點：可利用施加電壓的大小、電壓的交替頻率、電壓隨時間的變化量等因素，於控制部(200)，藉由電性方法而準確地對第1壓電致動器(51)及第2壓電致動器(52)的機械作動特性進行控制。此種相對於閥桿(40)的動作的控制性能的提高就結果而言，可容易且準確地對分配的溶液的分配特性進行控制。
壓電致動器(51、52)因其特性而於使用中相對較多地產生熱。若因產生於壓電致動器(51、52)的熱而壓電致動器(51、52)的溫度上升，則其動作特性會降低。如圖5所示，本實施例的壓電泵(100)於泵體(10)形成有冷卻線(71、72、73、74)。 藉由冷卻線(71、72、73、74)而冷卻泵體(10)，藉此可防止壓電致動器(51、52)的溫度上升。若壓電致動器(51、52)的溫度上升，則壓電特性發生變化，並且與施加於壓電致動器(51、52)的電壓對應的壓電致動器(51、52)的作動位移發生變化。該情形就結果而言，導致藉由槓桿的作動而排出的溶液的噴出量的變化。如上所述，若壓電致動器(51、52)的溫度上升，則存在壓電泵(100)無法分配準確的用量的溶液的問題點。
如圖4及圖6所示，本實施例的溫度感應式壓電分配器藉由溫度感測器(210)測定壓電致動器(51、52)的溫度而向控制部(200)傳達該溫度。若壓電致動器(51、52)的溫度上升至設定的範圍以上，則控制部(200)使冷卻泵(70)作動而增加向冷卻線(71、72、73、74)供給的空氣的流量。控制部(200)能夠以壓電致動器(51、52)的溫度接近預先設定的溫度的方式控制冷卻泵(70)，亦能夠以如下方式控制冷卻泵(70)：設定溫度範圍(例如，27~30℃)，使壓電致動器(51、52)的溫度保持於該溫度範圍內。
又，藉由如上所述般防止壓電致動器(51、52)的溫度上升，具有可固定地保持閥桿(40)的動態特性，且亦可保持溶液的分配品質的優點。同時，亦具有可延長壓電致動器(51、52)的使用壽命的優點。
另一方面，控制部(200)亦可利用預先儲存的壓電致動器(51、52)的溫度的動態特性，對壓電泵(100)進行控制。即便施加相同的電壓，壓電致動器(51、52)亦可根據溫度而作動位移不同。控制部(200)可考慮如上所述的壓電致動器(51、 52)的與溫度對應的作動位移的變化，對壓電泵(100)進行控制。根據於溫度感測器(210)感測到的壓電致動器(51、52)的溫度，調節自控制部(200)對壓電致動器(51、52)施加的電流的電壓、波形、頻率等，藉此即便壓電致動器(51、52)的溫度發生變化，亦可固定地保持壓電致動器(51、52)的作動位移。結果，具有亦可固定地保持藉由噴嘴而排出的溶液的噴出量的優點。
如上所述，本實施例的壓電泵(100)以可裝卸的方式構成泵體(10)與閥體(20)，且亦以連接與分離較為容易的方式構成槓桿(30)與閥桿(40)，藉此具有維護、維修、清洗較為容易，且結合溶液的各種特性而構成壓電泵(100)的情形較為容易的優點。鬆解將泵體(10)與閥體(20)結合的螺絲，且使閥桿(40)的卡止桿(41)自槓桿(30)的卡止槽(31)脫離，藉此可容易地自泵體(10)分離閥體(20)與閥桿(40)。
若如上所述般分離閥體(20)，則具有為了下次使用而進行清洗的情形較為容易的優點。於閥體(20)或閥桿(40)破損的情形時，亦可藉由如上的方法進行分離而更換為嶄新的閥體(20)或閥桿(40)。
具有如下優點：於分配的溶液的種類改變的情形時，更換為考慮該溶液的黏度或其他特性而設計的其他閥體(20)及閥桿(40)來構成壓電泵(100)，藉此可有效地應對。
壓電致動器(51、52)通常由陶瓷材質形成。因其材料特性，若長期使用，則因施加電壓引起的膨脹位移亦可與初始情形不同。於此種情形時，本實施例的壓電泵(100)亦具有如下優點：利用第1調節單元(61)及第2調節單元(62)而調整第1 壓電致動器(51)及第2壓電致動器(52)的位置，藉此可保持槓桿(30)及閥桿(40)的動態特性。
以上，對本發明的壓電泵(100)的一實施例進行了說明，但本發明的範圍並不限定於之前說明且圖示的形態。
例如，將作為之前說明的第1復位單元(63)及第2復位單元(64)而利用彈簧或空壓的情形列舉為例而進行了說明，但根據情形，亦可利用液體的壓力而構成第1復位單元及第2復位單元。又，亦可構成不具有第1復位單元及第2復位單元的壓電泵。
又，將經由泵體(10)的冷卻線(71、72、73、74)而流動的冷卻流體為空氣的情形列舉為例而進行了說明，但亦可為使用冷卻水、冷卻油等液體的情形。於該情形時，與之前說明的實施例不同地，以如下方式構成溫度感應式壓電分配器：經由冷卻線(71、72、73、74)而供給的冷卻流體不向外部排出，而使其返回至冷卻泵而於整體循環。
又，之前說明為溫度感測器(210)設置於壓電致動器(51、52)，但根據情形，亦可設置於與壓電致動器接近的位置的泵體內部。於該情形時，產生於壓電致動器的熱向泵體傳遞，藉由感應泵體上升的溫度，而間接地測定壓電致動器的溫度。
又，說明為槓桿(30)與閥桿(40)藉由槓桿(30)的卡止槽(31)與閥桿(40)的卡止桿(41)而連接，但亦可藉由其他方法而將槓桿與閥桿連接。泵體與閥體亦可不以可裝卸的方式結合，而以成為一體的方式形成。
以下，參照圖10，對使用於本發明的溫度感應式壓電分 配器的壓電泵的其他實施例進行說明。
於本實施例的溫度感應式壓電分配器中，壓電泵與之前參照圖1至圖9說明的溫度感應式壓電分配器的壓電泵不同地，第1壓電致動器(81)與第2壓電致動器(82)以隔以槓桿(30)而彼此面向的方式配置於一直線上。若對第1壓電致動器(81)施加電壓，且將第2壓電致動器(82)的電壓設為0，則槓桿(30)向逆時針方向旋轉，並且閥桿(40)上升。若將第1壓電致動器(81)的電壓設為0，且對第2壓電致動器(82)施加電壓，則槓桿(30)向順時針方向旋轉，並且閥桿(40)下降而藉由噴嘴(23)分配溶液。第1復位單元(67)與第2復位單元(68)亦以隔以槓桿(30)而彼此面向的方式配置於一直線上。第1復位單元(67)向使第1壓電致動器(81)收縮的方向提供彈力，第2復位單元(68)向使第2壓電致動器(82)收縮的方向提供彈力。
除第1壓電致動器(81)及第2壓電致動器(82)的配置構造外的其他構成可將之前參照圖1至圖9說明的實施例的其他構成適當地變形而構成溫度感應式壓電分配器。然而，於本實施例的壓電泵中，亦可無需第1復位單元(67)及第2復位單元(68)。
10‧‧‧泵體
20‧‧‧閥體
21‧‧‧流入口
23‧‧‧噴嘴
30‧‧‧槓桿
31‧‧‧卡止槽
40‧‧‧閥桿
41‧‧‧卡止桿
61‧‧‧第1調節單元
62‧‧‧第2調節單元
70‧‧‧冷卻泵
71、72‧‧‧冷卻線
100‧‧‧壓電泵
200‧‧‧控制部

Claims (9)

  1. 一種溫度感應式壓電分配器，其特徵在於包含：泵體，其形成有可使冷卻流體流動的冷卻線；槓桿，其以可相對於設置於上述泵體的鉸鏈軸而旋轉的方式設置；壓電致動器，其以其末端可與上述槓桿接觸的方式設置於上述泵體，以便若施加電壓，則長度變長，並且對上述槓桿加壓而使上述槓桿以上述鉸鏈軸為中心旋轉；閥桿，其連接於上述槓桿，以便隨著上述槓桿的旋轉而進行升降運動；閥體，其具有儲存部、流入口、及噴嘴，該儲存部是供上述閥桿的末端插入，且儲存溶液，該流入口是向上述儲存部流入上述溶液，該噴嘴是隨著上述閥桿相對於上述儲存部的進退而排出上述儲存部的溶液；溫度感測器，其設置於上述壓電致動器與泵體中的任一者而測定溫度；冷卻泵，其向上述泵體的冷卻線供給冷卻流體；及控制部，其使上述壓電致動器作動，接收上述溫度感測器感應的溫度而使上述冷卻泵作動。
  2. 如申請專利範圍第1項所述的溫度感應式壓電分配器，其中上述控制部以於上述溫度感測器感應的溫度保持預先設定的溫度範圍的方式，調節上述冷卻泵的流量。
  3. 如申請專利範圍第2項所述的溫度感應式壓電分配器，其中上述冷卻流體為空氣、水、及冷卻油中的任一者。
  4. 如申請專利範圍第1項至第3項中任一項所述的溫度感應式壓電分配器，其中上述控制部考慮根據於上述溫度感測器感應到的溫度而改變的上述壓電致動器的作動位移，調節施加至上述壓電致動器的電流的電壓與頻率中的至少一者。
  5. 如申請專利範圍第1項至第3項中任一項所述的溫度感應式壓電分配器，其中上述壓電致動器有兩個(第1壓電致動器及第2壓電致動器)，上述第1壓電致動器及第2壓電致動器以如下方式設置於上述泵體：若藉由上述控制部而施加電壓，則使上述槓桿以上述鉸鏈軸為中心而向彼此反方向旋轉。
  6. 如申請專利範圍第5項所述的溫度感應式壓電分配器，其中上述第1壓電致動器及第2壓電致動器隔以上述泵體的鉸鏈軸而彼此並列地配置。
  7. 如申請專利範圍第5項所述的溫度感應式壓電分配器，其中上述第1壓電致動器及第2壓電致動器以隔以上述槓桿而彼此面向的方式配置。
  8. 如申請專利範圍第5項所述的溫度感應式壓電分配器，其更包含：第1復位單元，其向使上述第1壓電致動器收縮的方向，對上述第1壓電致動器施力；及第2復位單元，其向使上述第2壓電致動器收縮的方向，對上述第2壓電致動器施力。
  9. 如申請專利範圍第8項所述的溫度感應式壓電分配器，其中上述第1復位單元及第2復位單元為彈簧，該彈簧設置於上述 泵體而對上述第1壓電致動器及第2壓電致動器施加彈力。
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