TW201516204A - 紗製造裝置 - Google Patents

Abstract

紗製造裝置(1)，係將CNT(奈米碳管)纖維群(F)聚集來製造CNT紗(Y)之裝置，具備：將CNT纖維群(F)從CNT形成基板(S)連續拉出之前輥部(3)；對前輥部(3)所拉出之CNT纖維群(F)實施撚轉之紗製造部(4)；以及用以監視從CNT形成基板(S)拉出之CNT纖維群(F)、或CNT紗(Y)之狀態的狀態監視部(紗粗細度檢測器(6))。

Description

紗製造裝置

本發明，係與以奈米碳管纖維群來製造奈米碳管紗之紗製造裝置相關。

如上面所述之紗製造裝置，係以具備：從奈米碳管形成基板拉出奈米碳管纖維群之拉出部、及對拉出部所拉出之奈米碳管纖維群實施撚轉來製造紗之紗製造部者為大家所熟知(例如，日本特開2010-116632號公報)。

此處，例如，奈米碳管纖維群之拉出性能，對應奈米碳管纖維群被從奈米碳管形成基板拉出時之拉出速度而發生變動，係大家所熟知。所以，此種紗製造裝置之領域，要求對奈米碳管紗之狀態進行監視。

所以，本發明之目的，係在提供可以監視奈米碳管紗之製造狀態的紗製造裝置。

本發明之一實施方式的紗製造裝置，係對奈 米碳管纖維群實施撚轉或假撚來製造奈米碳管紗之紗製造裝置。該紗製造裝置，係具備：拉出部、紗製造部、以及狀態監視部。拉出部，係用以從奈米碳管形成基板連續拉出奈米碳管纖維群。紗製造部，係用以使拉出部所拉出之奈米碳管纖維群聚集。狀態監視部，係用以監視從奈米碳管形成基板所拉出之奈米碳管纖維群、或奈米碳管紗的狀態。

該紗製造裝置，係以狀態監視部監視奈米碳管纖維群或奈米碳管紗之狀態，來監視奈米碳管紗之製造狀態。如上，監視奈米碳管紗之製造狀態，例如，可以對應狀態監視部所檢測到之不合標準的狀況等，來採取措施。

狀態監視部，也可以為設置在前述拉出部之拉出方向中之前述紗製造部的下游側並用來檢測奈米碳管紗之粗細度的紗粗細度檢測器。此時，因為可以檢測奈米碳管紗之粗細度，故可以防止製造出紗粗細度不合標準的奈米碳管紗。而且，紗粗細度檢測器，可以使用以從奈米碳管形成基板所拉出之奈米碳管纖維群的纖維量為基準，來檢測奈米碳管紗之粗細度者，或者，使用直接檢測奈米碳管紗之粗細度者。

紗製造裝置，也可更具備控制部，其係對應狀態監視部之監視結果，來控制拉出部所拉出之奈米碳管纖維群的量。此時，可以將狀態監視部之監視結果回饋至奈米碳管纖維群的拉出量，並以監視結果為基礎來控制奈 米碳管纖維群之拉出量，進而製造出均勻粗細度之奈米碳管紗。

控制部，也可藉由變更拉出部之奈米碳管纖維群的拉出速度，來控制之奈米碳管纖維群的拉出量。此時，只要變更奈米碳管纖維群的拉出速度，很容易即可控制奈米碳管纖維群的量。

紗製造裝置，可以更具備拉出片數變更部，其係用以變更複數設置之奈米碳管形成基板的片數，來調整從奈米碳管形成基板所拉出之奈米碳管纖維的份量，控制部，係控制拉出片數變更部，來變更用以拉出奈米碳管纖維群之奈米碳管形成基板的片數，進而控制所拉出之奈米碳管纖維群的量。此時，只要變更拉出奈米碳管纖維群之奈米碳管形成基板的片數，很容易即可控制奈米碳管纖維群的量。

控制部，若狀態監視部未檢測到奈米碳管纖維群或奈米碳管紗有行進的話，也可以停止拉出部的動作、及紗製造部的動作。此時，紗製造裝置可以進行適當地控制，來防止奈米碳管纖維群或奈米碳管紗已經不再行進的狀態下，拉出部及紗製造部還在持續動作。

控制部，在控制拉出部所拉出之奈米碳管纖維群的量之後，若未能得到期望之奈米碳管紗的粗細度的話，亦可停止拉出部及紗製造部的動作。這種情況，可以防止在無法獲得所期望之奈米碳管紗的粗細度的狀態下，還在持續製造奈米碳管紗。

紗製造部，也可以氣流來對奈米碳管纖維群實施假撚。此處，若使用氣流的話，可以高速地對奈米碳管纖維群實施假撚。因此，必須高速地從奈米碳管形成基板拉出奈米碳管纖維群，然而，若拉出速度變快的話，有時會呈現無法拉出期望量之奈米碳管纖維群的傾向。所以，在以氣流對奈米碳管纖維群實施假撚之紗製造裝置，設置狀態監視部來監視奈米碳管紗狀態，例如，可以對應狀態監視部所檢測到的問題等，採取更為適當的對應等。

也可進一步具備用以支撐奈米碳管形成基板之基板支撐部。藉此，可以安定地供應奈米碳管纖維群。

依據本發明，可以監視奈米碳管紗的製造狀態。

1‧‧‧紗製造裝置

1A‧‧‧紗製造裝置

1B‧‧‧紗製造裝置

2‧‧‧基板支撐部

2a‧‧‧基板支撐體

3‧‧‧前輥部(拉出部)

4‧‧‧紗製造部

5‧‧‧夾持輥部

6‧‧‧紗粗細度檢測器(狀態監視部)

7‧‧‧捲取部

8‧‧‧控制部

8B‧‧‧控制部

9‧‧‧纖維群檢測部(狀態監視部)

10‧‧‧拉出片數變更部

10a‧‧‧拉出噴嘴

11‧‧‧基板更換部

30a‧‧‧驅動滾輪

30b‧‧‧隨動滾輪

31‧‧‧驅動馬達

40‧‧‧噴嘴

41‧‧‧空氣供應部

50a‧‧‧驅動滾輪

50b‧‧‧隨動滾輪

51‧‧‧驅動馬達

70‧‧‧捲取管

71‧‧‧驅動馬達

90‧‧‧照相機

91‧‧‧影像處理部

第1圖係一實施方式之紗製造裝置的概略構成平面圖。

第2圖係第1圖之控制部所執行之處理流程的流程圖。

第3圖係第1變形例之紗製造裝置的概略構成平面圖。

第4圖係第2變形例之紗製造裝置的概略構成平面圖。

以下，參照圖式，針對本發明之一實施方式來進行說明。而且，圖式之說明中，對相同要素賦予相同符號，並省略重複說明。

如第1圖所示，紗製造裝置1，係將奈米碳管纖維群(以下，稱為「CNT纖維群」)F保持持續行進並以CNT纖維群F來製造奈米碳管紗(以下，稱為「CNT紗」)Y的裝置。紗製造裝置1，係以包含：基板支撐部2、前輥部(拉出部)3、紗製造部4、夾持輥部5、紗粗細度檢測器(狀態監視部)6、捲取部7、以及控制部8來構成。基板支撐部2、前輥部3、紗製造部4、夾持輥部5、紗粗細度檢測器6、以及捲取部7，依序配置於特定線L上，CNT纖維群F及CNT紗Y，係從基板支撐部2朝向捲取部7行進。而且，CNT纖維群F，係集合了複數之由奈米碳管所構成的纖維者。CNT紗Y，係以紗製造部4對CNT纖維群F進行撚轉(假撚)者。

基板支撐部2，係以保持所拉出CNT纖維群F之奈米碳管形成基板(以下，稱為「CNT形成基板」)S的狀態來支撐。CNT形成基板S，係指被稱為奈米碳管叢集體(carbon nanotubeforest)、或奈米碳管之垂直配向構造體等之物，以化學氣相沈積法等，在基板上，以高密度、高配向形成奈米碳管(例如，單層奈米碳管、二層奈米碳管、多層奈米碳管等)之物。基板，例如，係使用塑膠基板、玻璃基板、矽基板、金屬基板等。而且，在開 始製造CNT紗Y時、更換CNT形成基板S時等，可以被稱為細頭鑽機之治具等，從CNT形成基板S拉出CNT纖維群F。

前輥部3，係具備：驅動滾輪30a、隨動滾輪30b、及驅動馬達31。驅動滾輪30a及隨動滾輪30b，外周面係互相抵接。驅動滾輪30a，係藉由來自驅動馬達31之驅動力進行旋轉。隨動滾輪30b，則係隨著驅動滾輪30a之旋轉來進行隨動旋轉。驅動滾輪30a及隨動滾輪30b，係夾持著從CNT形成基板S被拉出之CNT纖維群F，隨著驅動滾輪30a及隨動滾輪30b之旋轉來連續從CNT形成基板S拉出CNT纖維群F，並使其聚集成紗狀。

紗製造部4，係以前輥部3來對從CNT形成基板S所拉出之CNT纖維群F實施撚轉。紗製造部4，係具備：噴嘴40、及空氣供應部41。空氣供應部41，係用以對噴嘴40供應空氣。噴嘴40，係將空氣供應部41所供應之空氣吹向CNT纖維群F的周圍，以氣流來對CNT纖維群F實施撚轉(假撚)，進而產生CNT紗Y。

夾持輥部5，係具備：驅動滾輪50a、隨動滾輪50b、及驅動馬達51。驅動滾輪50a及隨動滾輪50b，外周面係互相抵接。驅動滾輪50a係藉由來自驅動馬達51之驅動力進行旋轉。隨動滾輪50b，則係隨著驅動滾輪50a之旋轉來進行隨動旋轉。由紗製造部4實施撚轉之CNT紗Y，為驅動滾輪30a及隨動滾輪30b所夾持。被從 紗製造部4送出之瞬間的CNT紗Y雖然呈現晃動的狀態，然而，在驅動滾輪50a及隨動滾輪50b的夾持下，晃動的情形獲得抑制。

紗粗細度檢測器6，係用以監視CNT紗Y之狀態者，此處，係檢測CNT紗Y之粗細度。紗粗細度檢測器6，例如，為光學式、接觸式、或靜電容式之紗粗細度檢測器等，只要為可以檢測CNT紗Y之粗細度的話，可以使用各種檢測器等。紗粗細度檢測器6之檢測結果，被輸出至控制部8。

捲取部7，係具備：捲取管70、及驅動馬達71。CNT紗Y被捲繞於捲取管70。驅動馬達71，係執行捲取管70之旋轉驅動，將CNT紗Y捲繞於捲取管70。

控制部8，以紗粗細度檢測器6之檢測結果為基礎，來執行驅動馬達31、51及71之旋轉速度的控制、及對空氣供應部41之噴嘴40之空氣供應量的控制。更具體而言，以紗粗細度檢測器6檢測到之CNT紗Y的粗細度，比特定範圍之下限值更細的話，控制部8，以減緩驅動馬達31、51及71之旋轉速度且減少從空氣供應部41對噴嘴40供應之空氣量，來減慢從CNT形成基板S之CNT纖維群F的拉出速度。減慢從CNT形成基板S之CNT纖維群F之拉出速度的話，可以提高CNT纖維群F之拉出性能，進而增多所拉出之各單位長度的CNT纖維群F量。藉此，可以增大CNT紗Y的粗細度。

另一方面，以紗粗細度檢測器6檢測到之 CNT紗Y的粗細度，比特定範圍之上限值更粗時，控制部8，以加快驅動馬達31、51及71之旋轉速度且增多從空氣供應部41對噴嘴40供應之空氣量，來加快從CNT形成基板S之CNT纖維群F的拉出速度。加快從CNT形成基板S之CNT纖維群F之拉出速度的話，可以降低CNT纖維群F之拉出性能，進而減少所拉出之各單位長度的CNT纖維群F量。藉此，可以縮小CNT紗Y的粗細度。

如此，藉由利用控制部8執行驅動馬達31、51及71之旋轉速度的控制、及對空氣供應部41之噴嘴40之空氣供應量的控制，可以控制CNT紗Y的粗細度。

此外，控制部8，以控制驅動馬達31等及空氣供應部41，來控制從CNT形成基板S所拉出之CNT纖維群F的量後，利用紗粗細度檢測器6未檢測到期望之紗粗細度(特定範圍內之紗粗細度)的話，就停止驅動馬達31、51及71之旋轉，並且，停止對空氣供應部41之噴嘴40的空氣供應。

此外，控制部8，利用紗粗細度檢測器6未檢測到CNT紗Y之粗細度的話，亦即，發生斷紗等而未能檢測到CNT紗Y之行進的話，就停止驅動馬達31、51及71之旋轉，並且，停止對空氣供應部41之噴嘴40的空氣供應。

其次，針對控制部8所執行之處理的流程進行說明。如第2圖所示，控制部8，以紗粗細度檢測器6 的檢測結果為基礎，來判斷CNT紗Y是否正在行進(步驟S101)。CNT紗Y正在行進的話(步驟S101：YES)，控制部8，以紗粗細度檢測器6的檢測結果為基礎，判斷CNT紗Y之粗細度是否在特定範圍內(步驟S102)。CNT紗Y之粗細度在特定範圍內的話(步驟S102：YES)，控制部8，對驅動馬達31等及空氣供應部41執行正常時之控制(步驟S103)。該正常時之控制，例如，係指以預設之控制值、或CNT紗Y之粗細度在特定範圍內之現在狀態之驅動馬達31等及空氣供應部41的控制值，來執行驅動馬達31等及空氣供應部41的控制。正常時的控制之後，控制部8，執行上述步驟S101的處理。

另一方面，CNT紗Y之粗細度不在特定範圍內的話(步驟S102：NO)，控制部8，對驅動馬達31等及空氣供應部41，執行異常時的控制(步驟S104)。該異常時的控制，如上面所述，係以控制驅動馬達31等之旋轉速度及對噴嘴40之空氣供應量，而將CNT紗Y之粗細度控制在特定範圍內。

異常時之控制後，控制部8，以紗粗細度檢測器6的檢測結果為基礎，判斷CNT紗Y之粗細度是否在特定範圍內(步驟S105)。該處理，係藉由執行異常時控制，來判斷CNT紗Y之粗細度是否在特定範圍內者。CNT紗Y之粗細度在特定範圍內的話(步驟S105：YES)，控制部8，執行上述步驟S101的處理。

此外，在CNT紗Y未行進的話(步驟S101：NO)，或者，在異常時控制後，CNT紗Y之粗細度未在特定範圍內的話(步驟S105：NO)，控制部8，就停止驅動馬達31、51及71之旋轉，並且，停止對空氣供應部41之噴嘴40的空氣供應(步驟S106)。

本實施方式係如以上所示之構成，紗製造裝置1，可以利用紗粗細度檢測器6監視CNT紗Y的製造狀態。藉由監視該CNT紗Y的製造狀態，例如，可以對應紗粗細度檢測器6所檢測到之狀況等，來採取措施。

採用檢測CNT紗Y之粗細度的紗粗細度檢測器6，可以防止製造出紗粗細度不合標準的CNT紗Y。

藉由具備以紗粗細度檢測器6的檢測結果為基礎來執行驅動馬達31等之控制的控制部8，可以將紗粗細度檢測器6的檢測結果回饋至CNT纖維群F的拉出量。以紗粗細度檢測器6的檢測結果為基礎來控制CNT纖維群F的拉出量，可以製造出粗細度均勻的CNT紗Y。

控制部8，在紗粗細度檢測器6未檢測到CNT紗Y之行進的話，就停止驅動馬達31等的動作。此時，可對紗製造裝置1進行良好的控制，以防止CNT紗Y已經不再行進的狀態下，前輥部3及紗製造部4等還在持續動作。

控制部8，在控制驅動馬達31等來控制從CNT形成基板S所拉出之CNT纖維群F的量之後，仍無 法得到期望之CNT紗Y的粗細度的話，就停止驅動馬達31等的動作。此時，可以防止在無法得到期望之CNT紗Y的粗細度的狀態下，還在持續製造CNT紗Y。

紗製造部4，具備以氣流對CNT纖維群F實施撚轉之噴嘴40。此處，使用氣流時，可以高速地對CNT纖維群F實施撚轉。所以，必須從CNT形成基板S高速地拉出CNT纖維群F，然而，拉出速度變快的話，有時會呈現無法拉出期望之CNT纖維群F量的傾向。所以，藉由在以氣流對CNT纖維群F實施撚轉之紗製造裝置1配置紗粗細度檢測器6，來監視CNT紗Y的狀態，例如，可以對應紗粗細度檢測器6所檢測到之狀況等來採取良好的措施。

藉由具備用以支撐CNT形成基板S之基板支撐部2，可以安定地供應CNT纖維群F。

其次，針對第1變形例進行說明。在上述實施方式，係利用紗粗細度檢測器6來檢測CNT紗Y的粗細度，然而，也可以監視從CNT形成基板S所拉出之CNT纖維群F，來取代紗粗細度檢測器6。以下之第1變形例，係針對監視CNT纖維群F來執行驅動馬達31等之控制的紗製造裝置進行說明。如第3圖所示，在本變形例之紗製造裝置1A，係設置纖維群檢測部(狀態監視部)9來取代上述實施方式之紗製造裝置1的紗粗細度檢測器6。紗製造裝置1A的其他構成要素，因為與實施方式之紗製造裝置1相同，故賦予相同符號，並省略其詳細說明。

纖維群檢測部9，係具備照相機90、及影像處理部91。照相機90，係對從CNT形成基板S被拉出之後、前軋輥部3前之狀態的CNT纖維群F進行攝影。影像處理部91，係以照相機90所攝影之影像為基礎，來計算CNT纖維群F的量。該計算，例如，係利用已知之影像處理技術，可以照相機90所攝影之影像為基礎，並以攝影範圍中之CNT纖維群F所佔的比例等來計算從CNT形成基板S所拉出之CNT纖維群F的量。CNT纖維群F量較多時，CNT紗Y之粗細度較粗，CNT纖維群F量較少時，CNT紗Y之粗細度較細。所以，可以從CNT形成基板S所拉出之CNT纖維群F的量來推算CNT紗Y的粗細度。影像處理部91，以計算出之CNT纖維群F量為基礎，來推算CNT紗Y的粗細度並輸出至控制部8。

此外，影像處理部91，以照相機90所攝影之影像為基礎，可以檢測到CNT纖維群F未從CNT形成基板S所拉出的狀態，亦即，檢測到CNT紗Y未行進的狀態。

控制部8，與上述實施方式相同，以CNT紗Y之粗細度為基礎，來執行驅動馬達31等的控制。藉此，在本變形例也可以得到與實施方式相同的效果。

其次，針對第2變形例進行說明。第2變形例時，基板支撐部2可以支撐複數之CNT形成基板S，而為可以變更拉出CNT纖維群F之CNT形成基板S的片數者。如第4圖所示，本變形例之紗製造裝置1B，係對上 述實施方式之紗製造裝置1，以控制部8B取代控制部8，並增設拉出片數變更部10及基板更換部11者。紗製造裝置1B之其他構成要素，因為與實施方式之紗製造裝置1相同，賦予相同符號並省略其詳細說明。

基板支撐部2，係具備複數之基板支撐體2a。各基板支撐體2a，係分別用以支撐CNT形成基板S。基板支撐體2a，係以將CNT形成基板S豎立於基板支撐部2表面的方式來支撐CNT形成基板S。拉出片數變更部10，係用以變更支撐於基板支撐體2a之複數CNT形成基板S中之用以拉出CNT纖維群F之CNT形成基板S的片數。具體而言，新追加用以拉出CNT纖維群F之CNT形成基板S的話，拉出片數變更部10，對拉出對象之CNT形成基板S伸出拉出噴嘴10a，利用拉出噴嘴10a之吸引力從CNT形成基板S拉出CNT纖維群F。拉出片數變更部10，使所拉出之CNT纖維群F接觸從其他CNT形成基板S所拉出之CNT纖維群F。藉此，新拉出之CNT纖維群F，與從其他CNT形成基板S所拉出之CNT纖維群F一起被送至紗製造部4。

基板更換部11，係將基板支撐部2所支撐之CNT形成基板S中，沒有奈米碳管纖維群之CNT形成基板S更換成新的CNT形成基板S。

控制部8B，係以紗粗細度檢測器6之CNT紗Y之粗細度的檢測結果為基礎，來控制拉出片數變更部10，進而變更拉出CNT纖維群F之CNT形成基板S的片 數。具體而言，控制部8B，在紗粗細度檢測器6檢測到CNT紗Y之粗細度變細的話，係控制拉出片數變更部10，來增加拉出CNT纖維群F之CNT形成基板S的片數。

另一方面，在紗粗細度檢測器6檢測到CNT紗Y之粗細度變粗的話，控制部8B，控制支撐CNT形成基板S之基板支撐體2a，藉由使CNT形成基板S朝CNT纖維群F之拉出方向傾斜來停止CNT纖維群F之拉出，藉以減少拉出CNT纖維群F之CNT形成基板S的片數。然而，CNT纖維群F之停止拉出的方法，並未受限於此，例如，可以採用以切斷手段切斷從CNT形成基板S被拉出之CNT纖維群F來停止拉出等之各種方法。

如此，即使控制部8b以紗粗細度檢測器6的檢測結果為基礎來控制拉出片數變更部10及基板支撐體2a，也可以控制CNT纖維群F的拉出量，進而製造出均勻粗細度之CNT紗Y。

以上，係針對本發明之一實施方式及變形例進行說明，然而，本發明，並未受限於上述實施方式。例如，控制部8，係以紗粗細度檢測器6所檢測到之CNT紗Y的粗細度為基礎來控制驅動馬達31等者，然而，也可以將紗粗細度檢測器6所檢測到之紗粗細度與CNT紗Y之位置一起記錄於記憶裝置。藉此，針對所製造之CNT紗Y，例如，可以掌握特定範圍外之粗細度之部位的位置。

除了利用紗粗細度檢測器6或纖維群檢測部9來檢測CNT紗Y之粗細度及CNT紗Y是否行進以外，也可以利用其他檢測裝置等，來檢測CNT紗Y之行進速度，或者，檢測所製造之CNT紗Y的長度等。

CNT纖維群F之供應源，也可以使用連續合成奈米碳管並供應CNT纖維群F之裝置等來取代CNT形成基板S。以上，係使用以氣流對CNT纖維群F實施撚轉之紗製造部4者，然而，也可以採用以氣流以外之方法來對CNT纖維群F實施撚轉之紗製造部。也可以使用一邊對CNT纖維群F實施撚轉(實撚)來製造CNT紗Y一邊捲取CNT紗Y之裝置等，來取代紗製造部4及捲取部7。

依據本發明，可以提供可監視奈米碳管紗之製造狀態的紗製造裝置。

Claims (11)

1. 一種紗製造裝置，係將奈米碳管纖維群聚集來製造奈米碳管紗之紗製造裝置，其係具備：拉出部，用以從奈米碳管形成基板連續拉出前述奈米碳管纖維群；紗製造部，用以將前述拉出部所拉出之前述奈米碳管纖維群聚集；以及狀態監視部，用以監視從前述奈米碳管形成基板所拉出之前述奈米碳管纖維群、或前述奈米碳管紗的狀態。
2. 如申請專利範圍第1項所記載之紗製造裝置，其中前述狀態監視部，係設置於前述拉出部之拉出方向中之前述紗製造部的下游側，並為用以檢測前述奈米碳管紗之粗細度的紗粗細度檢測器。
3. 如申請專利範圍第2項所記載之紗製造裝置，其中更具備控制部，係對應前述狀態監視部之監視結果，來控制前述拉出部所拉出之前述奈米碳管纖維群的量。
4. 如申請專利範圍第3項所記載之紗製造裝置，其中前述控制部，係以變更前述拉出部之前述奈米碳管纖維群的拉出速度，來控制拉出之前述奈米碳管纖維群的量。
5. 如申請專利範圍第3項所記載之紗製造裝置，其中 更具備拉出片數變更部，係用以變更從複數設置之前述奈米碳管形成基板拉出前述奈米碳管纖維群之前述奈米碳管形成基板的片數，前述控制部，係控制前述拉出片數變更部來變更拉出前述奈米碳管纖維群之前述奈米碳管形成基板的片數，進而控制拉出之前述奈米碳管纖維群的量。
6. 如申請專利範圍第3至5項之其中任一項所記載之紗製造裝置，其中前述控制部，若前述狀態監視部未檢測到前述奈米碳管纖維群或前述奈米碳管紗之行進的話，就停止前述拉出部之動作、及前述紗製造部之動作。
7. 如申請專利範圍第6項所記載之紗製造裝置，其中前述控制部，在控制過前述拉出部所拉出之前述奈米碳管纖維群的量之後，若前述奈米碳管紗未得到期望之粗細度的話，就停止前述拉出部及前述紗製造部之動作。
8. 如申請專利範圍第1至5、或7項之其中任一項所記載之紗製造裝置，其中前述紗製造部，係以氣流來對前述奈米碳管纖維群實施撚轉。
9. 如申請專利範圍第1至5、或7項之其中任一項所記載之紗製造裝置，其中更具備基板支撐部，係用以支撐前述奈米碳管形成基板。
10. 如申請專利範圍第6項所記載之紗製造裝置，其中前述紗製造部，係以氣流來對前述奈米碳管纖維群實施撚轉。
11. 如申請專利範圍第6項所記載之紗製造裝置，其中更具備基板支撐部，係用以支撐前述奈米碳管形成基板。