TW201302288A - 半導體產業之污水淨化循環系統 - Google Patents

Abstract

一種半導體產業之污水淨化循環系統，包括：以超濾膜濾器為主要濾材所構成之超濾膜淨水回收系統中，依污水固體含量多寡在系統適當流程中結合一離心裝置，藉由離心裝置將水中固體微粒以離心力作用，自污水中分離出來，被分離出的固體微粒，其含水率可降低至重量百分比50%以下，可省略掉傳統需要再進行污水處理作業的程序，直接依污泥棄物流程丟棄；而部分研磨製程的污水含高純度的矽，其固體微粒經離心裝置之離心脫水至含水率達重量百分比25%以下，可再行回收；前述經離心裝置分離出來的液態水係被重新再導入超濾膜淨水回收系統的初始端，進行重複過濾作業。

Description

半導體產業之污水淨化循環系統

本發明係關於一種半導體產業之污水淨化循環系統，尤指一種將半導體產業所產生之切割或研磨污水，以超濾膜淨水系統結合離心裝置的系統加以過濾淨化，並且將前述過濾淨化後的淨水導入作為本發明污水淨化循環系統的主要淨水來源者。

按以，在半導體的電子產業中，對於晶圓在切割及研磨的製程中，需搭配純水加以清洗，清洗後的純水帶有大量的固體微粒。為了達到回收再利用之目的，目前業界的處理方式及應用流程，常以超濾膜過濾器(UF)為主的淨水回收系統過濾水中的固體雜質，達到固體和液體分離的效果，經透析後的淨水依水質狀況，再導入淨水回收系統適當的回收點，以此達到回收再利用之目的。

上述習知淨水回收系統僅以超濾膜過濾器作為污水透析的主要濾器，會受限於超濾膜過濾器去除效果及使用年限，必須有部分帶著固體的濃縮水被排放，以避免淨水回收系統內的固體雜質無限制地升高，造成超濾膜過濾器內部的濾膜嚴重阻塞無法正常透析濾水。

綜觀習知淨水回收系統的效益，雖然可以達到部分淨水回收再利用之目的，可是濃縮排放的污水仍然有造成下列的困擾之處：

1.濃縮排放後的污水，需再經過混凝、沉澱處理，以污水處理的角度看來，雖然處理的水量減少，但是處理的水中固體濃度卻升高，仍須加入等量的混凝劑才能加以沉澱排放，最終無助於減輕污水處理的負荷。

2.濃縮排放水量約占淨水回收系統總體水量的10～25%，此10～25%的水量須以污水處理後的方式加以排放，無法再利用，甚為可惜。

有鑑於上述習知淨水回收系統存在的缺點，本發明主要目的，係提供一種半導體產業之污水淨化循環系統，包括：一超濾膜淨水回收系統結合一離心裝置組成；其中，該超濾膜淨水回收系統係以超濾膜濾器為主要濾材所構成，其尚包括：原水儲槽、清水儲槽、濃縮水儲槽、原水泵、逆洗泵、離心供水泵、複數開關閥及複數管路連結成一超濾膜淨水回收系統；該離心裝置，為臥式離心裝置和碟片式離心裝置任一種，其係依污水中固體微粒含量的狀況，在前述超濾膜淨水回收系統的適當流程中予以連結一離心裝置，前述污水可經由離心裝置將固體微粒分離出來，所分離出來的固體微粒，可以達到含水率重量百分比50%以下，據此，可直接依污泥污棄物流程丟棄；當部分研磨製程的污水含高純度的矽，其固體微粒經離心裝置之離心脫水至含水率達重量百分比25%以下，係可提供回收再利用。

離心裝置在超濾膜淨水回收系統中的作用，除了上述說明的功能外，還可以降低超濾膜淨水回收系統水中的固體濃度，減輕超濾膜濾器的處理負擔。

本項發明最少可達到下列目標的1～2項或全部：

1.增加超濾膜淨水回收系統的固體微粒回收率，最高可達99.5%以上。

2.被分離的固體微粒，可不經污水處理場處理，直接以污棄物處理流程處理，或依其固體種類及純度再回收利用。

3.可提高超濾膜(UF)濾器的使用壽命。

4.可減少超濾膜(UF)濾器的藥洗頻率。

5.污水淨化循環系統為全自動化作業，可減少人工操作費用。

為達到上述目的，本發明提供一種半導體產業之污水淨化循環系統，包括：一超濾膜淨水回收系統結合一離心裝置組成；其中，

本發明較佳實施例一之超濾膜淨水回收系統，包括：一原水儲槽，一端連結切割研磨污水，其連結一原水泵將前述污水送入超濾膜濾器，經超濾膜濾器透析後的清淨水係導入一清水儲槽，以供連結至使用點再利用，該清水儲槽連結一逆洗泵，可將清淨水由超濾膜濾器的淨水出口端導入超濾膜濾器內部進行逆沖洗；前述超濾膜濾器設有污水出口連結至一濃縮水儲槽，以儲存過濾後的高濃度污水，該濃縮水儲槽連結一離心供水泵，藉由該離心供水泵將高濃度污水輸送至一離心裝置，利用離心方式將固體微粒直接從污水進行分離作業，以固體排渣方式排出，而經離心裝置分離後的水係再導入原水儲槽，以便進行循環過濾，具省卻污水處理作業的特點。

本發明較佳實施例二之超濾膜淨水回收系統，包括：一原水儲槽，一端連結切割研磨污水，其連結一原水泵將前述污水送入超濾膜濾器，經超濾膜濾器透析後的清淨水係導入一清水儲槽，以供連結至使用點再利用，該清水儲槽連結一逆洗泵，可將清淨水由超濾膜濾器的淨水出口端導入超濾膜濾器內部進行逆沖洗；前述超濾膜濾器設有污水出口連結至前述原水儲槽，該原水儲槽係連結一離心供水泵，藉由該離心供水泵將原水儲槽內的污水輸送至一離心裝置，利用離心方式將固體微粒直接從污水進行分離作業，以固體排渣方式排出，而經離心裝置分離後的水係再導入原水儲槽，以便進行循環過濾，同樣可達到具省卻污水處理作業的功能。

本發明較佳實施例三之超濾膜淨水回收系統，包括：一原水儲槽，一端係連結切割研磨污水，其依序連結一離心供水泵和一離心裝置，該離心供水泵將原水儲槽內的污水輸送至一離心裝置，利用離心方式將固體微粒直接從污水進行分離作業，以固體排渣方式排出，而經離心裝置分離後的水係儲存於一離心儲水槽，該離心儲水槽係連結一濾膜供水泵，藉由濾膜供水泵將離心儲水內污水導入超濾膜濾器進行透析淨化，經超濾膜濾器透析後的清淨水係導入一清水儲槽，以供連結至使用點再利用，該清水儲槽連結一逆洗泵，可將清淨水由超濾膜濾器的淨水出口端導入超濾膜濾器內部進行逆沖洗；前述超濾膜濾器設有污水出口連結至前述原水儲槽，以便重複進行前述循環過濾作業。

本發明離心裝置係依據切割研磨污水中粒徑及排渣物的處理方式不同，分為臥式離心裝置和碟片式離心裝置，以臥式離心裝置處理後的排渣物，含水率可調整到50%左右，經過特殊計算的臥式離心裝置，其排渣物含水率甚至能做到20%，便於排渣物的回收或再利用，臥式離心裝置轉速最高只達4,500 RPM(每分鐘轉速比；轉/分鐘)，產生的G力(泛指高速移動時承受力道的單位；等同離心力)遠低於碟片式，所以對於粒徑小於2μm(微米)以下的固體微粒其固、液分離效果遠低於碟片式。

然而碟片式的離心裝置其排渣物的含水率幾乎呈現泥狀，不利於後續的污棄物處理。因此對於離心裝置的選擇須考慮原水粒徑的大小及污棄物處理的因應方式。

當水中固形物粒徑為2～20μm，要求排渣物含水率為重量百分比5～20%，離心裝置的轉速是設定在2500～5000(RPM)時，係採用臥式離心裝置。

當水中固形物粒徑小於2μm，要求排渣物含水率大於重量百分比50%以上，離心裝置的轉速是設定在4500～12000(RPM)時，係採用碟片式離心裝置。

餘下，茲再配合本發明較佳實施例之圖式進一步說明如后，以期能使熟悉本發明相關技術之人士，得依本說明書之陳述據以實施：

首先，說明本發明一種半導體產業之污水淨化循環系統，其主要係以超濾膜濾材構成之超濾膜淨水回收系統，再根據污水中固體微粒含量和粒徑的大小狀況，在超濾膜淨水回收系統適當的流程中連結一離心裝置，藉由離心裝置直接從污水中將固體微粒分離出來，所分離出來的固體微粒，可以達到含水率重量百分比50%以下的功能，而所分離出來的液態水係再被導入超濾膜淨水回收系統的原始端，進行重複性的循環過濾作業，此外，經超濾膜淨水回收系統透析後的清淨水，係可提供作為晶圓切割或研磨等加工製程中的清洗用水。

如第一圖所示，為本發明較佳實施例一之一種半導體產業之污水淨化循環系統，其包括：一超濾膜淨水回收系統100結合一離心裝置200組成；其中，該超濾膜淨水回收系統100，包括：一原水儲槽10、一原水泵20、一超濾膜濾器30、一清水儲槽40、一逆洗泵50、濃縮水儲槽60、離心供水泵70、第一排水閥110、第二排水閥120、一空壓機130、第一至八號開關閥101～108及配合複數管路109連結而成；該原水儲槽10，配合管路109依序連結有一原水泵20和一超濾膜濾器30；前述原水儲槽10一端係連結有來自沖洗晶圓切割或研磨等加工製程時所收集的污水接收端11；前述原水泵20係可提高水壓壓力將污水由超濾膜濾器30的入水口管路31導入至可運行透析作業狀態；該超濾膜濾器30設有清淨水出口端連結至清水儲槽40，儲存在清水儲槽40的清淨水可提供作為晶圓切割或研磨製程中所需要的清洗用水，並且在清水儲槽40連結一逆洗泵50，可將清淨水由超濾膜濾器30的淨水出口端導入超濾膜濾器30內部進行逆沖洗；該超濾膜濾器30於其污水入口端設有一入水口管路31，於出口連結相通的第一管路32和第二管路33，該第一、二管路32、33一端係與濃縮水儲槽60連，而第一管路32另端係與原水儲槽10相連接，並且提供入水口管路31一端連結，前述該濃縮水儲槽60係提供儲存來自超濾膜濾器30所排出的高濃度污水，該濃縮水儲槽60係連結有一離心供水泵70，而該離心供水泵70係可將前述高濃度污水輸入連結在其一端的離心裝置200；該第一排水閥110係連結在上述第二管路33，而該第二排水閥120係連結在第一管路32通往原水儲槽10端，前述第一、二排水閥110、120可供手動設定水流量的大小；該空壓機130係連結在超濾膜濾器30的另一入口端；該一號開關閥101，係設在原水泵20連結超濾膜濾器30的管路；該二號開關閥102，係設在超濾膜濾器30連結清水儲槽40的管路；該三號開關閥103，係設在第二管路33；該四號開關閥104，係設在超濾膜濾器30連結原水儲槽10的第一管路32；該五號開關閥105，係設在逆洗泵50連結超濾膜濾器30的管路；該六號開關閥106，係設在超濾膜濾器30之入水口管路31；該七號開關閥107，係設在超濾膜濾器30連結濃縮水儲槽60的第一管路32；該八號開關閥108，係設在超濾膜濾器30與空壓機130連結在管路；該離心裝置200係連結於離心供水泵70的出口端，以接收自來離心供水泵70傳送的高濃度污水，其利用離心方式將固體微粒直接從高濃度污水中進行分離作業，分離出的固體係以排渣方式排出，而分離後的液態水係被導入回原水儲槽10，再進行重複性的循環過濾；其中，該離心裝置200為臥式離心裝置或碟片式離心裝置任一種；俾以當超濾膜濾器30在透析上述切割或研磨污水時，由於超濾膜濾器30的處理特性，必須藉由第一、二排水閥110、120酌量排放固定比例的濃縮水，一般排放比例約重量百分比10～25%，且超濾膜濾器30運行一段時間後，須以清淨水逆洗內部的超濾膜，避免超濾膜累積大量的固體微粒，而影響超濾膜濾器30的造水功能。

經超濾膜濾器30透析後被排放出的濃污水或逆洗水皆含有高濃度的固體微粒，因此，極為適合以離心方式將固體微粒直接從水中抽離，再以固體排渣方式排出，進而達到汙水固、液分離的目的，不但可抑制系統中固體微粒持續升高，且分離後的液態水係重複循環過濾處理，是以，也沒有產生新的污水，具有省下後段污水處理作業的功能。

本發明半導體產業之污水淨化循環系統在運行污水淨化的作業程序中，共有：產水、氣洗、下逆洗、上逆洗、沖洗等步驟，其動作說明如下：

1.產水

當原水儲槽10收集的污水累積至預定水位，該一至四號開關閥101、102、103、104開啟，其他五至八號開關閥105、106、107、108呈關閉狀態；在此同時原水泵20啟動，系統開始造水，污水由一號開關閥101進入，經超濾膜濾器30滲透的淨水由二號開關閥102輸入清水儲槽40，以供作為加工製程的清洗用水，為避免超濾膜濾器30內部的微粒子無限制上升，須有部分濃縮污水直接從三號開關閥103排入濃縮水儲槽60，其排出水量佔導入超濾膜濾器30內部的總水量10～25%，前述排水量的控制係由第一排水閥110以手控方式設定。經超濾膜濾器30透析後被排放出的濃污水或逆洗水被集中於濃縮水儲槽60，之後，經由離心供水泵70輸送進入離心裝置200，以離心方式將固體微粒直接從污水中抽離，再以固體排渣方式排出，而分離後的液態水係經管路109再被導入原水儲槽10，進行重複循環過濾處理。

當超濾膜濾器30經長期產水後，其內部膜體會累積大量高濃度的微粒子，必須進行清洗排出，以免影響超濾膜濾器30的造水功能，為達此一目的，須執行氣洗、下逆洗、上逆洗、沖洗等的動作，前述執行步驟如下：

2.氣洗一

將第七、八號開關閥107、108打開，其餘一至六號開關閥101、102、103、104、105、106呈關閉狀態，以空壓機130(CDA)產生的乾燥壓縮空氣由八號開關閥108進入超濾膜濾器30內部，再由七號開關閥107排出，使超濾膜濾器30內部造成擾動，藉以鬆脫附著在膜體表面的微粒子。

3.下逆洗

將第五、六號開關閥105、106打開，其餘閥門呈關閉狀態，並起動逆洗泵50，以清水儲槽40的清淨水從五號開關閥105經超濾膜濾器30的清淨水出口端導入其內部，即可將高濃度污水由入水口管路31經六號開關閥106接第一管路32直接排入濃縮水儲槽60收集，俟濃縮水儲槽60累積至預定水位後，再啟動離心裝置200進行固液分離作業。

4.氣洗二

再一次的氣洗，開啟第七、八號開關閥107、108，以空壓機130(CDA)產生乾燥壓縮空氣由第八號開關閥108進入超濾膜濾器30內部，使內部膜體造成擾動，藉以鬆脫附著在UF膜表面的微粒子，再由第七號開關閥107排出。

5.上逆洗

打開第五、七號開關閥105、107，並起動逆洗泵50，以清水儲槽40的清淨水從五號開關閥105經超濾膜濾器30的清淨水出口端導入其內部，將高濃度廢水從第一管路32經第七號開關閥107排出，排出的高濃度廢水由濃縮水儲槽60收集儲存，俟累積至預定水位後，再由離心裝置200做固液分離。

6.沖洗

開啟第一號開關閥101和第四號開關閥104，並起動原水泵20，以污水(原水)沖刷超濾膜濾器30內部，再次將附著在膜體表面殘餘的微粒子帶走。

上述污水淨化之作業程序，僅係本發明一較佳實施例，並非用來限定本發明實施之範圍。

再者，如第二圖所示，本發明半導體產業之污水淨化循環系統，在連結原水儲槽10之原水泵20與超濾膜濾器30間的管路109係連結有一袋濾器140，可對污水中的細微顆粒、懸浮物進行初步過濾，以降低對超濾膜濾器30的過濾負擔，具有實質提昇其使用期限的功能。

復，如第三圖所示，為本發明較佳實施例二之一種半導體產業之污水淨化循環系統，其包括：一超濾膜淨水回收系統100結合一離心裝置200組成；其中，該超濾膜淨水回收系統100，包括：一原水儲槽10，一端連結自切割或研磨的沖洗污水，其依序連結有一原水泵20和一超濾膜濾器30；前述超濾膜濾器30於清淨水出口端連結一清水儲槽40，該清水儲槽40內部的清淨水可提供作為晶圓切割或研磨製程中所需要的清洗用水，並且在清水儲槽40連結一逆洗泵50，經由逆洗泵50將儲存在清水儲槽40的清淨水，由超濾膜濾器30的淨水出口端再導入超濾膜濾器30內部進行逆沖洗；經超濾膜濾器30透析後的清淨水係經由其淨水出口端導入儲存於一清水儲槽40，以供作為晶圓切割或研磨製程中所需要的清洗用水，該清水儲槽40連結有一逆洗泵50，可將清淨水由超濾膜濾器30的淨水出口端導入超濾膜濾器30內部進行逆沖洗；前述超濾膜濾器30設有污水出口連結至前述原水儲槽10，該原水儲槽10係連結一離心供水泵70；該離心裝置200係連結於離心供水泵70，以接收自來離心供水泵70傳送的高濃度污水，其利用離心方式將固體微粒直接從高濃度污水中進行分離作業，分離出的固體係以排渣方式排出，而分離後的液態水係被導入回原水儲槽10，再進行重複性的循環過濾；其中，該離心裝置200為臥式離心裝置或碟片式離心裝置任一種。

如第四圖所示，為本發明較佳實施例三之一種半導體產業之污水淨化循環系統，其包括：一超濾膜淨水回收系統100結合一離心裝置200組成；其中，該超濾膜淨水回收系統100，包括：一原水儲槽10，一端設有連結自來切割或研磨沖洗的污水接收端11，其另依序連結有一離心供水泵70、一離心儲水槽80、一濾膜供水泵90及一超濾膜濾器30組成；前述超濾膜濾器30在其淨水出口端將透析後的清淨水導入一連結的清水儲槽40，以供作為太陽能光電產業於切割或研磨製程中所需要的清洗用水，此外，該清水儲槽40連結一逆洗泵50，可將清淨水由超濾膜濾器30的淨水出口端導入超濾膜濾器30內部進行逆沖洗；前述超濾膜濾器30設有污水出口連結至前述原水儲槽10，以便重複進行前述循環過濾作業；該離心裝置200，係連結在離心供水泵70與離心儲水槽80之間，該原水儲槽10內的污水係經由離心供水泵70輸入離心裝置200，利用離心方式將固體微粒直接從污水進行分離作業，以固體排渣方式排出，而經離心裝置200分離後的水係儲存於離心儲水槽80，以更進行後續一系列的過濾作業。其中，該離心裝置200為臥式離心裝置或碟片式離心裝置任一種。

再者，本發明於上述較佳實施例一～三的污水淨化循環系統中，在清水儲槽40係連結有一使用點供水泵41，藉由該使用點供水泵41可將清水儲槽40內的清淨水，提供作為各種加工製程的清洗用水。

上述實施例二、三之污水淨化循環系統在相對於實施列一配置圖的對應管路109上，係裝設有必要的開關閥，且在超濾膜濾器30的一入口端係連結有一空壓機130及一開關閥，以供進行超濾膜濾器30的內部清洗作業，由於前述各開關閥及空壓機130為基本配備，故在實施列二、三的配置圖中將之省略，僅以簡圖表示。

本發明在超濾膜淨水回收系統中所使用的超濾膜濾器，可為微濾膜濾器，或具有同等效能的各種習知膜體濾器所取代。

綜上所陳，僅為本發明較佳實施例而已，並非用來限定本發明實施之範圍。即凡依本發明申請專利範圍所做之均等變化與修飾，皆為本發明專利範圍所涵蓋。

100．．．超濾膜淨水回收系統

110．．．第一排水閥

120．．．第二排水閥

130．．．空壓機

140．．．袋濾器

101．．．一號開關閥

102．．．二號開關閥

103．．．三號開關閥

104．．．四號開關閥

105．．．五號開關閥

106．．．六號開關閥

107．．．七號開關閥

108．．．八號開關閥

109．．．管路

10．．．原水儲槽

11．．．污水接收端

20．．．原水泵

30．．．超濾膜濾器

31．．．入水口管路

32．．．第一管路

33．．．第二管路

40．．．清水儲槽

41．．．使用點供水泵

50．．．逆洗泵

60．．．濃縮水儲槽

70．．．離心供水泵

80．．．離心儲水槽

90．．．濾膜供水泵

200．．．離心裝置

第一圖：本發明結構較佳實施例一之配置圖。

第二圖：為第一圖之局部結構衍生示意圖。

第三圖：本發明結構較佳實施例二之配置圖。

第四圖：本發明結構較佳實施例三之配置圖。

100．．．超濾膜淨水回收系統

110．．．第一排水閥

120．．．第二排水閥

130．．．空壓機

101．．．一號開關閥

102．．．二號開關閥

103．．．三號開關閥

104．．．四號開關閥

105．．．五號開關閥

106．．．六號開關閥

107．．．七號開關閥

108．．．八號開關閥

109．．．管路

10．．．原水儲槽

11．．．污水接收端

20．．．原水泵

30．．．超濾膜濾器

31．．．入水口管路

32．．．第一管路

33．．．第二管路

40．．．清水儲槽

41．．．使用點供水泵

50．．．逆洗泵

60．．．濃縮水儲槽

70．．．離心供水泵

200．．．離心裝置

Claims (13)

1. 一種半導體產業之污水淨化循環系統，包括：以超濾膜濾器為主要濾材，配合原水儲槽、原水泵、清水儲槽、逆洗泵、濃縮水儲槽、離心供水泵及複數管路組成的超濾膜淨水回收系統；一離心裝置連結於離心供水泵，可接收來自濃縮水儲槽的污水，可將污水中固體微粒分離出來，前述分離出來的固體微粒以排渣方式排出，而所分離出來的液態水，係再以超濾膜淨水回收系統進行重複性的循環過濾作業，且經超濾膜淨水回收系統透析後的清淨水，可供作為加工製程的清洗用水。
2. 如申請專利範圍第1項所述半導體產業之污水淨化循環系統，其中，該原水儲槽，一端連結切割研磨的污水接收端，一端配合管路依序連結原水泵及超濾膜濾器，該超濾膜濾器於污水入口端設有入水口管路，可接收來自原水儲槽的污水，於淨水出口端連結一清水儲槽，且在超濾膜濾器的污水出口端與濃縮水儲槽之間連結有相通的第一管路和第二管路，前述第一管路一端連結於原水儲槽，且與入水口管路相連接；該濃縮水儲槽連結一離心供水泵；該離心裝置連於前述離心供水泵，其利用離心方式將固體微粒直接從高濃度污水中進行分離作業，分離出的固體以排渣方式排出，而分離後的液態水被導入原水儲槽。
3. 如申請專利範圍第2項所述半導體產業之污水淨化循環系統，其中，該連結原水泵與超濾膜濾器之入水口管路的路管設有一號開關閥；該連結超濾膜濾器與清水儲槽的管路設有二號開關閥；該第一管路設有第二排水閥、四號開關閥和七號開關閥；該第二管路設有三號開關閥和第一排水閥。
4. 如申請專利範圍第2項所述半導體產業之污水淨化循環系統，其中，該清水儲槽連結一逆洗泵，可將清淨水由超濾膜濾器的淨水出口端導入超濾膜濾器內部進行逆沖洗，且清水儲槽的清淨水可供作為晶圓切割或研磨製程中所需要的清洗用水。
5. 如申請專利範圍第2項所述半導體產業之污水淨化循環系統，其中，該離心裝置為臥式離心裝置或碟片式離心裝置任一種。
6. 如申請專利範圍第3項所述半導體產業之污水淨化循環系統，其中，該清水儲槽連結一逆洗泵，可將清淨水由超濾膜濾器的淨水出口端導入超濾膜濾器內部進行逆沖洗，且清水儲槽的清淨水可供作為晶圓切割或研磨製程中所需要的清洗用水；超濾膜濾器在其一污水入口端依序連結一八號開關閥和一空壓機。
7. 如申請專利範圍第1項所述半導體產業之污水淨化循環系統，其中，該超濾膜淨水回收系統，包括：一原水儲槽，一端連結有污水接收端，其另依序連結有一原水泵和一超濾膜濾器，前述超濾膜濾器於清淨水出口端連結一清水儲槽，且在超濾膜濾器之污水出口連結至前述原水儲槽，該原水儲槽連結一離心供水泵；該離心裝置連結於離心供水泵，以接收自來離心供水泵傳送的高濃度污水，其利用離心方式將固體微粒直接從高濃度污水中進行分離作業，分離出的固體係以排渣方式排出，而分離後的液態水係被導入回原水儲槽，再進行重複性的循環過濾。
8. 如申請專利範圍第7項所述半導體產業之污水淨化循環系統，其中，該清水儲槽連結一逆洗泵，可將清淨水由超濾膜濾器的淨水出口端導入超濾膜濾器內部進行逆沖洗，且清水儲槽的清淨水可供作為加工製程中的清洗用水。
9. 如申請專利範圍第7項所述半導體產業之污水淨化循環系統，其中，該離心裝置為臥式離心裝置或碟片式離心裝置任一種。
10. 一種半導體產業之污水淨化循環系統，包括：以超濾膜濾器為主要濾材，配合原水儲槽、原水泵、清水儲槽、逆洗泵、離心供水泵及複數管路組成的超濾膜淨水回收系統；一離心裝置連結於離心供水泵，可接收來自濃縮水儲槽的污水，可將污水中固體微粒分離出來，前述分離出來的固體微粒以排渣方式排出，而所分離出來的液態水，係再以超濾膜淨水回收系統進行重複性的循環過濾作業，且經超濾膜淨水回收系統透析後的清淨水，可供作為加工製程的清洗用水。
11. 如申請專利範圍第10項所述半導體產業之污水淨化循環系統，其中，該超濾膜淨水回收系統，包括：原水儲槽，一端連結自切割或研磨沖洗的污水接收端，其依序連結有一離心供水泵、一離心儲水槽、一濾膜供水泵及一超濾膜濾器組成；前述超濾膜濾器在其淨水出口端將透析後的清淨水連結於一清水儲槽；前述超濾膜濾器設有污水出口連結至前述原水儲槽，以重複進行前述循環過濾作業；該離心裝置，係連結在離心供水泵與離心儲水槽之間，利用離心方式將原水儲槽傳送而至的污水進行固、液態分離作業，分離後的固體以排渣方式排出，而液態水則輸入於離心儲水槽進行過濾作業。
12. 如申請專利範圍第11項所述半導體產業之污水淨化循環系統，其中，該清水儲槽連結一逆洗泵，該逆洗泵一端與超濾膜濾器之淨水出口端連結，且清水儲槽係連結有一使用點供水泵，以便提供作為太陽能光電產業於切割或研磨製程中所需要的清洗用水。
13. 如申請專利範圍第11項所述半導體產業之污水淨化循環系統，其中，該離心裝置為臥式離心裝置或碟片式離心裝置任一種。