TW201126606A - Photocrosslinkable organic thin-film transistor insulation layer material - Google Patents

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TW201126606A TW099131003A TW99131003A TW201126606A TW 201126606 A TW201126606 A TW 201126606A TW 099131003 A TW099131003 A TW 099131003A TW 99131003 A TW99131003 A TW 99131003A TW 201126606 A TW201126606 A TW 201126606A
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Description

201126606 六、發明說明： 【發明所屬之技術領域】 本發明有關為形成絕緣層之用的材料，特別是有關為 形成有機薄膜電晶體（organic thin film transistor)的 絕緣層（insulation layer)之用的材料。 【先前技術】 有機薄膜電晶體，係較由無機半導體所成之電晶體為 柔性（flexible)者，由於能以低溫製程製造之故，作為基 板而可採用塑膠基板或薄膜而成為輕量且不易損壞之元 件。又，有以採用含有有機材料之溶液的塗佈（coating) 或印刷（printing)法之成膜而能製作元件之情形，而能於 大面積的基板上以低成本方式製造多數目的元件。 再者，由於能用為電晶體研究之材料的種類很豐富之 故，如在研究時使用分子構造不相同的材料時，則可製造 具有廣泛的範圍的特性的變異（var iat ion)之元件。 屬於有機薄膜電晶體的一種之場效應型有機薄膜電晶 體（field effect organic thin film transistor)中，對 閘電極（gate electrode)所施加之電壓將介由閘極絕緣層 (gate insulation layer)而作用於半導體層，以控制沒電 流（drain current)的通/斷（on/off)。因此，於閘電極與 半導體層之間，形成閘極絕緣層。 又，場效應型有機薄膜電晶體所用之有機半導體化合 物，係容易遭受濕度、氧氣等環境之影響，因而電晶體特 性，容易發生起因於濕度、氧氣等之經時劣化。 4 322378 201126606 因此，於有機半導體化合物成為曝露狀態之底閘極型 (bottom gate type)有機薄膜電晶體元件構造中，需要形 成覆蓋元件構造全體之外罩層（over coat layer)以保護有 機半導體化合物不與外氣接觸之作法。另一方面，於頂閘 k 極型（top gate type)有機薄膜電晶體元件構造中，有機半 導體化合物，則被閘極絕緣層所外罩而加以保護。 如此方式，於有機薄膜電晶體中，為形成覆蓋有機半 導體層之外罩層及閘極絕緣層等起見，採用絕緣層材料。 本說明書中，將如上述外罩層及閘極絕緣層般的有機薄膜 電晶體的絕緣層或絕緣膜，.稱為有機薄膜電晶體絕緣層。 又，將形成有機薄膜電晶體絕緣層所用之材料，稱為有機 薄膜電晶體絕緣層材料。再者’在此所稱之材料5係指包 含如高分子化合物、含高分子化合物之組成物、樹脂以及 樹脂組成物等無定型材料在内之意。 於有機薄膜電晶體絕緣層材料中，需要具有：作成薄 膜時能顯現高的絕緣破壞強度，以與有機半導體形成密接 之界面之方式與有機半導體之間的親和性高，當於有機半 導體上形成膜時，於與該半導體的界面之膜表面之平坦增 高等特性。 至今，對有機薄膜電晶體所用之絕緣層材料曾經有就 種種材料之研究，惟近年來，則為利用絕緣層形成時不需 要高溫條件或複雜設備之有機材料的技術受到矚目。 例如，非專利文獻1中，報告有作為有機場效應電晶 體中之閘極絕緣層，而含有聚（4-乙烯基苯基-共聚-甲基丙 5 322378 201126606 烯酸曱酯）（PVP-PMMA)之層。然而，將上述樹脂用為絕緣層 之有機場效應電晶體，卻存在有臨界電壓（Vth)的絕對值不 夠低之課題。 因此，一般盼望能開發一種當使用於有機場效應電晶 體時能賦與臨界電壓（Vth)的絕對值小的有機電晶體，在低 溫交聯則能容易形成包含絕緣層之有機層的層合構造之有 機薄膜電晶體絕緣層材料。 [先前技術文獻] [非專利文獻] 非專利文獻1 : Appl. Phys. Lett(應用物理通訊）， 92期，183306頁（2008年出版） 【發明内容】 [發明所欲解決之課題] 本發明係為解決上述以往問題者，其目的在於提供一 種不實施高溫之處理即可形成交聯構造，如使用為形成閘 極絕緣層之情形時，則有機薄膜電晶體的臨界電壓的絕對 值小的有機薄膜電晶體絕緣層材料。 [用以解決課題之手段] 鑑於上述課題而進行種種研究之結果發現，如採用特 定的有機薄膜電晶體絕緣層材料，則可解決上述課題之事 實，終於完成本發明。 亦即，本發明提供一種有機薄膜電晶體絕緣層材料， 其含有高分子化合物，該高分子化合物含有式（1)表示之重 〇〇 一 稷早70 6 322378 201126606 (R)w
(Raa)a (Rf)b
[式中4表示氫原子或甲基，R表示氫 至2〇的一價有機基，Rf表示㈣子或具有氟原子之碳= Ϊ ^的有—基’匕表示碳數1至2G的：價有機基， 該4有機基巾的氫料，可被氟原子所取代， 至別的整數，b表示1至5的整數；如^有複個之情形， 則其等可為相同衫相同，# R有複數個之㈣，則其等 可為相同或不㈣’如^有複數個之情形，則其可^ 同或不相同]， 及式（2)表示之重複單元
(CH2X)d (2) [式中’ R2表示氫原子或甲基，R’表示氫原子或碳數上 至20的一價有機基，該一價有機基中的氫原子，可被氟原 子所取代，Rbb表示碳數1至20的二價有機基，該二價有機 基中的氫原子，可被氟原子所取代’ c表示〇至2〇的整數， 322378 7 201126606 d表不1至5的整數。χ 咐數個之情形，則其等可氣為原:同二==如 數個之情形1其等可為相同或不相m有複 情形，則其等可為相同或不相同。] 稷固之 =二種形態中，式⑴中，Ri表示氣原子或甲基，r =風原子，表示氟原子，a表示G，b表示3至5的整 表干式⑵中，R2表示氣原子或甲基π 表不虱原子，C表示〇，d表示1 或埃原子。 X表不乳原子、溴原子 於某-，形態中’高分子化合物中，作為重複單元而 °再具有具芳基或苯基之伸乙基部分。 種形態中’高分子化合物中’式⑵表示之重複 早几的莫耳分^molar fraction)，為0 01至0的。 其包t發明提供一種有機薄膜電晶體絕緣層的形成方法， ^含有上述任-項之有機薄膜電晶體絕緣層材料之液 體，塗佈於基材上以形成塗佈層之步驟.及 體層T或電子射線’以進行有機薄膜電晶 體絕緣層材料之交聯之步驟。. 於某一種形態中，上述光為紫外線。 本發明提供一種有機薄膜電晶體， ，膜電晶體絕緣層材料所形成之有機薄膜電晶= 322378 8 201126606 於某一種形態中，上述有機薄膜電晶體絕緣層，為閘 極絕緣層。 本發明提供一種顯示器用構件，其含有上述有機薄膜 電晶體。 本發明提供一種顯示器，其含有上述顯示器用構件。 [發明之效果] 本發明之有機薄膜電晶體絕緣層材料係感光性者，不 需要為了形成交聯構造而在高溫加熱。因此，使用本發明 之有機薄膜電晶體絕緣層材料形成絕緣層之過程，不會對 電晶體特性有不良影響。再者，如使用本發明之有機薄膜 電晶體絕緣層材料形成閘極絕緣層時，則有機薄膜電晶體 的臨界電壓的絕對值變小。 【實施方式】 於本說明書中，「高分子化合物」，係指分子中含有經 複數次重複同樣的構造單元之構造之化合物之意，其中， 所謂2聚物（dimer)亦包含在内。另一方面，「低分子化合 物」，係指分子中未重複具有同樣構造單元之化合物之意。 〈有機薄膜電晶體絕緣層材料〉 本發明之有機薄膜電晶體絕緣層材料，係含有氟原 子、含有不實施高溫處理即能形成交聯構造之基之高分分 子化合物或含有高分子化合物之組成物。 由於氟素被導入於有機薄膜電晶體絕緣層材料中之結 果，所形成之絕緣層則以全體而言，極性（po 1 ar i ty)較低， 即使施加有電壓，容易極化（polarization)之成分較少而 9 322378 201126606 :Γ;= 又，如於絕緣層内部形成有交聯構 =ΓΓ構造之移動而可抑制絕緣層之極化。 ，則例如，作為閘極絕緣層使用時 有機薄膜電B0體的臨界㈣的絕對值降低，而工作精度 (working accuracy)獲提升。 氟原子並非對高分子化合物的主鏈的氫原子進行取 代，而較佳為對側鏈(side c—或側基“懸掛基) ft⑽UP))的氫原子進行取代。如氟原子對側鍵或 侧基進行取代，則對有機半導體般叫他有機材料之親和 性不會降低，而容㈣成與絕緣層的露出面相接之層。 能形成有機薄膜電晶體絕緣層材料中所含之交聯構造 之基’只要是例如能互相反應而二聚化之基即可。互相反 應後能二聚化之基，係藉由2個基相結合，而可於絕緣層 内部形成交聯構造。 互相反應後能二聚化之基，較佳為吸收光能量或電子 能直後發生二聚化反應之官能基（本說明書中稱為「光二聚 化反應性基」。）。其理由’係因不需要為了使閘極絕緣層 材料交聯而在高溫進行長時間熱處理，而於形成絕緣層之 過程中電晶體特性不易低落之故。 光二聚化反應基所吸收之光，如係過低能量時，則經 由光聚合法形成有機薄膜電晶體絕緣層材料時，光二聚化 反應性基亦會起反應之故’較佳為高能量的光。適人為光 二聚化反應性基吸收之光，係料線，例如波長在柳: 米）以下，較佳為150至300nm之光。 322378 10 201126606 在此所稱之^一 t化，係指有機化合物的2個分子，進 行化學性鍵結之意。所鍵結之分子互相，可為同種亦可為 不同種。2個分子中的官能基互相之化學構造，可為相同 亦可為不同。但’該官能基’較佳為不需要使用觸劑或引 發劑等反應助劑而發生光二聚化反應之構造，以及組合。 此乃因如與反應助劑的殘基接觸時，則有周邊的有機材料 劣化之可能性之故。 各有氟原子之基的較佳例，係氫原子被氟所取代之芳 基、氫原子被氟所取代之烷基芳基，特別是氫原子被氟所 取代之苯基、氫原子為氟所取代之烷基苯基。光二聚化反 應性基之較佳例係氫原子被齒甲基所取代之芳基、特別是 氫原子為被鹵曱基所取代之苯基。如重複單元之側基之基 本骨架為芳基或苯基，則對有機半導體般的其他有機材料 之親和性獲提升，而容易形成與絕緣層的露出面之平坦的 層。 一 氫原子被自f基所取代之綠及氫料被自曱基所取 代之;基，如照射紫外線或電子射線時，則齒素脫離，而 生成节基型的基團。所生成之2個基團鍵結時，則將形成 石反石反鍵（基團偶合（radical c〇upHng)，而有機薄膜電晶體 絕緣層材料即被交聯。 本發明之有機薄膜電晶體絕緣層材料之較 態，係含有：上述式（1)表示之重複單元，及上述式表 不之重複單元之高分子化合物（以下，稱為「本發明之高分 子化合物」）。 网刀 322378 201126606 1 fn(1)中，Rl表示氫原子或甲基。R表示氫原子或碳數 r至的—價有機基。_示氟原子或具錄原子 1至2〇的一價有機基I表示碳數4 20的二價有機基。 該二價有機基中的氫原子，可被_子所取代。a表機^ 整數、’ b表不1至5的整數。如Raa有複數個時，其 目^或不相同。如R有複數個時，其等可為相同或 不_。如Rf有複數個時，其等可為相同或不相同。 j 1 i 20 價有機基’可為直鏈、分歧狀、環狀 们%可例舉· ^ 1至2Q的直鏈狀脂肪族烴基、碳 數=一分歧狀㈣族烴基、碳數3至2()的環狀脂肪 =基、麟、子可被料等所取代之碳數6至2〇的芳香族 而較佳為碳數1至6的直鏈狀烴基、碳數3至6的 1ΓΪ烴基、碳數3至6的環狀烴基、氫原子可被烧基等 所取代之杈數6至20的芳香族烴基。 月曰肪族基之具體例而言，可舉：亞曱基、伸乙基、 伸丙基4申丁基、伸戊基、伸己基、伸異丙基、伸異丁基、 二甲基伸丙基、伸環丙基、伸環丁基、伸環戊基、伸環己 基等。 石厌數6至20的芳香族烴基之具體例而言，可舉··伸苯 基、伸秦基、伸蒽基、三曱基伸苯基、三甲基伸苯基、伸 乙基伸苯基、二伸乙基伸苯基、三伸乙基伸苯基、伸丙基 伸笨基、伸丁基伸苯基、甲基伸萘基、二甲基伸萘基、三 甲基伸奈基、乙烯基伸萘基、次乙基（ethenyl)伸萘基、曱 基伸蒽基、乙基伸蒽基等。 322378 12 201126606 於某-形態中，La為伸乙基。 任-Γ=20的—價有機基，可為直鏈、分枝、環狀之 任者，可為飽和亦可為不飽和。 =數1至2G的—元有機基而言， 20的直鏈狀烴基、碳數 奴数主 2〇的環狀絲、碳數6至枝狀烴基、碳數3至 至6的直絲… 族烴基’較佳為碳數1 至6的直鏈狀絲、碳數3至6的分餘烴基、碳數3至 6的環狀烴基、碳數6至20的芳麵烴基等。 =數6至20的方香族烴基係基令的氯原子可被烧基、 氣原子、溴原子、碘原子等所取代。 如R為奴數i至2〇的一價有機基時’則該碳數1至 的1貝有機基’不具有氟原子。該碳數1至20的-價 有機基的具體例而言，可例舉··甲基、乙基、丙基、丁基、 戊基、己基、異丙基、異丁基、第三丁基、環丙基、環:丁 基、環戊基、環己基、環戊烯基、環己稀基、三氣甲基、 三^乙基、苯基、萘基、蒽基、甲苯基、二甲苯基、二曱 基本基、三曱基苯基、乙基苯基、二乙基苯基、三乙基苯 基:丙基苯基、丁基笨基、曱基萘基、二甲基萘基、三甲 基萘基、乙縣萘基、次乙基萘基、甲基蒽基、乙基葱基、 氣苯基、溴苯基等。
Rf表不之具有氟原子之碳數丨至2〇的一價有機基的 具體例而言，可例舉：五氟苯基、三IL曱基笨基。 式（2)中，R2表示氫原子或曱基。R，表示氫原子或碳數 1至20的一價有機基。Rbb表示碳數丨至2〇的二價有機基。 322378 13 201126606 該二價有機基中的氫原子，可被氟原子所取代。C表示〇 至20的整數，d表示2至5的整數。χ表示氯原子、溴原 子或碘原子。如Rbb有複數個時，則其等可為相同或不相 同。如R’有複數個時，則其等可為相同或不相同。如X有 複數個時，則其等可為相同或不相同。 R’表示之碳數1至20的一價有機基的定義、具體例， 係與前述之以R表示之碳數丨至2Q的—價有機基的定義' 具體例為相同者。Rbb表示之碳數1至2G的二價有機基的定 義、具體例’係與前述之以Ra表示之碳數1至2q的 機基的定義、具體例為相同者。 角 於某一形態中，Rbb為伸乙基。 本發明之有機薄膜電晶體絕緣層材料，如將式⑴表」 之重複單，的原料所成之聚合性單體〇n0nomer)及式(二 不之重複單元的原料所成之聚合性單體，藉由使用光〕 引發劑或熱聚合弓丨發劑而使其聚合之方法，即可製造:^ 中，較佳為採用熱聚合引發劑而使前述單體聚合之方法/ 式⑴表示之重複單元的原料所成之聚合體二 言，可例舉：2-氟苯乙婦、3_氟 平心 ，3, 4, 5’6-五氟苯乙烯、2一三氟甲基苯乙& 苯乙烯、4-三敦甲基苯乙烯等。 二鼠甲遵 一式⑵表示之重複單元的原料所成之聚合性單體而 二，舉:3_氯，基苯乙稀〜基苯乙稀、 基本乙烯、4-溴曱基笨乙烯等。 昊甲 本發明之有機薄膜電晶體絕緣層材料，亦可為含有式 322378 14 201126606 (^)表示之重複單元，及式（2)表示之重複單元以外的重複 單元之共聚物。該共聚物，藉由將式（1)表示之重複單元的 原料所成之聚合性單體，及式（2)表示之重複單元的原料所 成之聚合性單體，以及與此等不相同之聚合性單體（以下， 稱為「追加的聚合性單體」。）予以共聚合，即可製造。 追加的聚合性單體而言，可例舉：醋酸乙烯酯、丙酸 乙烯酯、丁酸乙烯酯、苯曱酸乙烯酯、2_曱基笨曱酸乙烯 酯、3-甲基苯曱酸乙烯酯、4—罕基苯甲酸乙烯酯、2_三氟 曱基笨甲酸乙烯酯、3-三氟甲基苯曱酸乙烯酯、4_三氟甲 基苯甲酸乙烯酯、乙烯基甲基醚、乙稀基乙基醚、乙烯基 丙基醚、乙烯基丁基醚、乙烯基苯基醚、乙烯基苄基醚、 乙烯基-4-曱基苯基醚、乙烯基一 4一三氟甲基苯基醚、苯乙 烯、α-甲基苯乙烯、2, 4-二甲基甲基苯乙烯、鄰甲基 苯乙烯、間曱基苯乙烯、對曱基苯乙烯、2,4_二甲基苯乙 烯、2, 5-二曱基苯乙烯、2, 6-二曱基苯乙烯、3, 4-二曱基 苯乙烯、3, 5-二甲基苯乙烯、2, 4, 6-三甲基苯乙烯、2, 4, 5- 三曱基苯乙烯、五曱基苯乙烯、鄰乙基苯乙烯、間乙基苯 乙婦、對乙基笨乙烯、鄰氣苯乙烯、間氯苯乙烯、對氣苯 乙烯、鄰溴苯乙烯、間溴苯乙烯、對溴苯乙烯、鄰曱氧苯 乙烯、間曱氧笨乙烯、對曱氧苯乙烯、鄰羥基苯乙烯、間 經基苯乙烯、對羥基苯乙烯、2-乙烯基聯苯、3-乙烯基聯 苯、4-乙烯基聯苯、1-乙烯基萘、2-乙烯基萘、4-乙烯基 對聯三苯、1-乙烯基蒽、鄰異丙烯基甲苯、間異丙烯基曱 苯、對異丙烯基曱苯、2, 4-二曱基-α-曱基苯乙烯、2, 3- 15 322378 201126606 二甲基-α-曱基苯乙烯、3, 5-二甲基_〇；_甲基苯乙烯、對 .異丙基甲基苯乙烯、α-乙基苯乙烯、氣苯乙烯、 二乙烯基苯、二乙烯基聯苯、二異丙基苯、4_胺基苯乙烯、 2, 3, 4, 5, 6-五氟苯乙烯、2-三氟曱基苯乙烯、3_三氟甲基 苯乙烯、4-三氟甲基苯乙烯、丙烯腈、醋酸烯丙酯、安息 香駿烯丙酯、Ν-甲基-Ν-乙埽基乙醯亞胺、1-丁稀、卜戊婦、 1-己烯、1-辛烯、乙烯基環己烷、氯化乙烯基、烯丙基三 曱基鍺（germanium)、烯丙基三乙基鍺、烯丙基三丁基鍺、 二甲基乙稀基錯、二乙基乙稀基錯、丙稀酸曱酯、丙稀酸 乙酯、丙烯酸正丙酯、丙烯酸異丙酯、丙烯酸正丁酯、丙 烯酸異丁酯、丙烯酸第二丁酯、丙烯酸己酯、丙烯酸辛酯、 丙烯酸-2-乙基己酯、丙烯酸癸酯、丙烯酸異冰片酯、丙烯 1環己自曰、丙烤酸苯醋、丙埽酸苄I旨、N，n-二曱基丙稀醯 胺、N，N-一乙基丙烯臨胺、曱基丙烯酸曱g旨、曱基丙稀酸 乙酯、曱基丙烯酸正丙酯、ψ基丙烯酸異丙酯、甲基丙烯 酸正丁酯、曱基丙烯酸異丁酯、曱基丙烯酸第二丁酯、曱 基丙烯酸己酯、甲基丙烯酸辛酯、甲基丙烯酸__2_乙基己 酯、曱基丙烯酸癸酯、甲基丙烯酸異冰片酯、曱基丙烯酸 環己酯、甲基丙烯酸苯酯、甲基丙烯酸苄酯、N，N_二甲基 曱基丙烯醯胺、N，N-二乙基曱基丙烯醯胺、n一丙烯醯基嗎 啉、丙烯酸2, 2, 2-三氟乙酯、丙烯酸2, 2, 3, 3, 3_五氟丙 酉曰、丙婦酸2-(全氟丁基）乙酯、丙稀酸3_全氟丁基_2_羥 基丙酯、丙烯酸2-(全氟己基）乙酯、丙烯酸3_全氟己基一2一 羥基丙酯、丙烯酸2-(全氟辛基）乙酯、丙烯酸3_全氟辛基 322378 16 201126606 -2-羥基丙酯、丙烯酸2-(全氟癸基）乙酯、丙稀酸2-(全氟 -3-甲基丁基）乙酯、丙烯酸3-(全氟-3-甲基丁基）-2-羥基 丙酯、丙烯酸2-(全氟-5-甲基己基）乙酯、丙烯酸2-(全氟 -3-甲基丁基）-2-羥基丙酯、丙烯酸3-(全氟-5-甲基己基） -2-羥基丙酯、丙烯酸2-(全氟-7-甲基辛基）乙酯、丙烯酸 3-(全氟-7-甲基己基）-2-羥基丙酯、丙烯酸ih，1H，3H-四 氟丙酯、丙烯酸1H，1H，5H-五氟戊酯、丙烯酸lί^，lH，7H-十二氟庚酯、丙烯酸lH，lH，9H-十六氟壬酯、丙烯酸lH-l-(三氟甲基）三氟乙醋、丙烯酸lH，lH，3H-六氟丁酯、甲基 丙烯酸2, 2,2-三氟乙酯、甲基丙烯酸2, 2, 3, 3, 3-五氟丙 酯、甲基丙烯酸2-(全氟丁基）乙酯、甲基丙烯酸3_全氟丁 基-2-羥基丙酯、甲基丙烯酸2-(全氟己基）乙酯、甲基丙 烯酸3-全氟己基-2-羥基丙酯、甲基丙烯酸2-(全氟辛基） 乙酯、甲基丙烯酸3-全氟辛基-2-羥基丙酯、曱基丙烯酸 2-（全氟癸基）乙酯、甲基丙烯酸2-(全氟-3—曱基丁基）乙 酯、曱基丙烯酸3-(全氟-3-曱基丁基）_2-羥基丙酯、甲基 丙烯酸2-(全氟-5-曱基己基）乙酯、甲基丙烯酸2_(全氟 -3-甲基丁基）-2-羥基丙酯、曱基丙烯酸3_(全氟_3_曱基 己基）-2-羥基丙酯、曱基丙烯酸2_(全氟_7_曱基辛基）乙 酯、曱基丙烯酸3-(全氟-7-甲基辛基）一2-羥基丙酯、曱基 丙烯酸1H，1H，3H-四氟丙基酯、曱基丙烯酸1H，1H，5H_八氟 戊酯、曱基丙烯酸1H，1H，7H-十二氟庚酯、曱基丙烯酸1H， 1H，9H-十六氟壬基酯、曱基丙烯酸1HM_(三氤曱基）三氟 乙西曰、甲基丙稀酸1H，1H，3H-六敗丁醋等。 322378 17 201126606 此等之中，作為追加的聚合性單體而言，較佳為苯乙 烯、苯曱酸乙烯酯、乙烯基伸苯基、乙烯基萘、乙烯基蒽、 安息香酸烯丙酯等具有芳基之乙烯基單體，特佳為苯乙 烯、苯甲酸乙烯酯、乙烯基萘等具有苯基之乙烯基單體。 此時，芳基或苯基亦可具有碳數1至20的烷基、羥基、胺 基、羧基等作為取代基。 又，此時，本發明之高分子化合物，作為式（1)表示之 重複單元，及式（2)表示之重複單元以外的重複單元，再具 有具芳基或苯基之伸乙基部分。於本發明之高分子化合物 中，如增加苯基或芳基時，則對如有機半導體般的其他有 機材料之親和性獲提升，而容易形成與絕緣層的露出面相 接之平坦的層。 光聚合引發劑而言，可例舉：苯乙酮（acetophenone)、 2, 2-二曱氧-2-苯基苯乙酮、2, 2-二乙氧基苯乙酮、4-異丙 基-2-羥基-2-曱基苯丙酮、2-羥基-2-曱基苯丙酮、4, 4’ -雙（二乙基胺基）二苯基曱酮、二苯基甲酮、曱基（鄰苯甲醯） 苯甲酸酯、1-苯基-1，2-丙二酮-2-(鄰乙氧羰基）肟 (oxime)、1-苯基-1，2-丙二酮-2-(鄰苯曱醯）肟、苯偶姻 (benzoin)、苯偶姻曱基醚、苯偶姻乙基醚、苯偶姻異丙基 醚、苯偶姻異丁基醚、苯偶姻辛基醚、二苯乙二酮 (benzil)、苄基二甲基縮酮、苄基二乙基縮酮、二乙醯等 羰基化合物，甲基蒽酮、氯蒽酮、氯噻噸酮 (thioxanthone)、2-甲基嘆11頓酮、2-異丙基嗟°頓酮等蒽或 噻噸酮衍生物，二苯基二硫化物、二硫代胺基曱酸酯等硫 18 322378 201126606 化合物。 如作為使共聚合引發之能量而採用光能量時，則對聚 合性單體照射之光的波長，為360mn以上，較佳為36〇至 450nm。 熱Is引發劑而言，只要見能成為自由基聚合的引發 劑者即可，可例舉：2, 2’-偶氮雙異丁腈、2,2，—偶氮雙^ ，腈、2,2’-偶氮雙（2,4_二甲基戊腈）、4,4，—偶氮雙（^ 氰基戊酸）、1，1，~偶氮雙（環己烷甲腈）、2,2，-偶氮雙（2_ 甲基丙烷）、2, 2’ ~偶氮雙（2-甲基丙脒2鹽酸鹽等偶氮系化 :物’甲基乙基甲酮過氧化物、甲基異丁基曱酮過氧化物、 環己酮過氧化物、乙醯丙酮過氧化物等_氧化物類，異 丁基過氧化物、笨甲醯過氧化物、2,4—二氯苯甲酿過氧化 物、鄰甲基笨甲II過氧化物、月桂醯過氧化物、對氣 醯過氧化物等二醯基過氧化物類，2, 4, 4-三曱基戊美_2 氯過氧化物、二異丙基苯過氧化物、®香素氫過氧化土物、 第三丁基過氧物等氫過氧化物類，二茴香基過氧化物、第 三丁基茴香基過氧化物、二第三丁基過氧化物、參（第三丁 基過氧）二卩井等二烧基過氧化物類，1，1-二第三丁其過氧化 環己烧、2, 2-二（第三丁基過氧）丁院等過氧化縮^乳^第匕 ，丁基過氧化特戊酸酯、第三丁基過氧乙基己酸酯、第 三丁基過氣化異丁酸酯、二第三丁基過氧化六氫對苯曰二甲 酸醋、二第三丁基過氧化壬二酸醋、第三丁基過I化 3’5’5二曱基己酸酯、第三丁基過氧化乙酸、二 、ja e 币二* 丁 化氧化笨甲酸g旨、三第三丁基過氧化三甲基己二酸黯等院 322378 19 201126606 基過氧化酯類，二異丙基過氧化二碳酸酯、二第二丁基過 氧化二碳酸酯、第三丁基過氧化異丙基碳酸酯等過氧化碳 酸酯類。 本發明之有機薄膜電晶體絕緣層材料，重量平均分子 .量較佳為 3, 0〇〇 至 1，000, 000，更佳為 5, 〇〇〇 至 500, 000。 該有機薄膜電晶體絕緣層材料，可為直鏈狀、分枝狀、環 狀之任一者。 於本發明之有機薄膜電晶體絕緣層材料的製造中，式 (1)表示之重複單元的原料所成之聚合性單體的使用量，係 按導入於有機薄膜電晶體絕緣層材料中之氟原子的量能成 為適量之方式加以調節。 導入於有機薄膜電晶.體絕緣層材料中之氟原子的量， 對於有機薄膜電晶體絕緣層材料的質量，較佳為1至60質 量％ ’更佳為5至50質量％，再佳為5至40質量％。如氟原 子的量在1質量％以下時，則有機場效應電晶體的臨界電壓 的絕對值降低之效果可能不足夠，而在60質量％以上時’ 有機材料之親和性降低，而可能有難於形成與絕 、、曰相接之層之情形。 一般’式（Πι - 的進料莫耳θ表不之重複單元的原料所成之聚合性單體 笪且〇/、，、夏’對於聚合所用之全單體的合計，較佳為5 秀今/qU上、的苜 〇/〇以下， 3異耳％以下，更佳為10莫耳％以上、90莫耳 再佳為2〇莫耳以上、8〇莫耳％以下。 例如，式（"1、主 係具有3 u;表示之重複單元的原料所成之聚合性單體 至5個氟原子之情形，於較佳的一形態下，式d) 20 322378 201126606 表示之重複單元的原料所成之聚合性單體的進料莫耳量， 對於聚合所用之全單體的合計，較佳為ίο莫耳％以上、70 莫耳％以下，更佳為15莫耳％以下、50莫耳％以下，再佳為 25莫耳％以上、35莫耳％以下。 於本發明之有機薄膜電晶體絕緣層材料的製造中，式 (2)表示之重複單元的原料所成之聚合性單體的使用量，係 按有機薄膜電晶體絕緣層材料的交聯密度能成為適量之方 式加以調節。 、式（2)表示之重複單元的原料所成之聚合性單體的進 料莫耳量，對於聚合所用之全單體的全計，較佳為1莫耳％ 以上、95莫耳％以下’更佳為5莫耳％以上、8〇莫耳％以下， 再佳為10莫耳％以上、7〇莫耳％以下。 係1個呈有复單元的原料所成之聚合,_ •F ^(2^ 應性基者之情形，於較 ::逆 再佳為: = 料莫原制叙μ料體的進 :材料不能獲得膜電晶體絕緣 之=可能有機薄_體絕緣層材料二莫安: 可例舉： 本發明之有機薄膜電 晶體絕緣層材料而古 322378 201126606 聚（.苯乙烯-共-五氟苯乙烯-共-3-氣曱基苯乙烯）、聚（苯乙 稀-共-五氟苯乙稀-共-4-氯曱基苯乙烯）、聚（苯乙稀-共-五氟苯乙烯-共-丙烯腈-共聚-3-氣曱基苯乙烯）、聚（苯甲 酸乙烯酯-共-五氟苯乙烯-共-3-氣曱基苯乙烯）、聚（苯曱 .酸乙烯酯-共-五氟苯乙烯-共-丙烯腈-共-3-氯曱基苯乙 烯)、聚（苯乙烯-共-五氟苯乙烯-共-甲基丙烯酸甲酯-共 -3-氣曱基苯乙烯）、聚（苯乙烯-共-五氟苯乙烯-共-3-氯曱 基苯乙烯）、聚（苯乙烯-共-五氟苯乙烯-共-丙烯腈-共-4-氣曱基苯乙烯）、聚（苯曱酸乙烯酯-共-五氟苯乙烯-共-4-氣甲基苯乙烯）、聚（苯乙烯-共-五氟苯乙烯-共-甲基丙烯 酸甲酯-共-4-氯曱基苯乙烯）、聚（五氟苯乙烯-共-3-氯曱 基苯乙烯）、聚（五氟苯乙烯-共-4-氣曱基苯乙烯）、聚（苯 乙烯-共-五氟苯乙烯-共-3-溴曱基苯乙烯）、聚（苯乙烯-共-五氟苯乙烯-共-4-溴甲基苯乙烯）、聚（苯乙烯-共-五氟 苯乙烯-共-丙稀腈-共-3-漠曱基苯乙烯）、聚（苯曱酸乙烯 酯-共-五氟苯乙烯-共-3-溴甲基苯乙烯）、聚（苯曱酸乙烯 酯-共-五氟笨乙烯-共-丙烯腈-共-3-溴甲基苯乙烯）、聚 (苯乙烯-共-五氟苯乙烯-共-曱基丙烯酸甲酯-共-3-溴甲 基苯乙烯）、聚（苯乙烯-共-五氟苯乙烯-共-3-溴甲基苯乙 烯）、聚（苯乙烯-共-五氟苯乙烯-共-丙烯腈-共-4-溴曱基 苯乙烯）、聚（苯甲酸乙烯酯-共-五氟苯乙烯-共-4-溴甲基 苯乙烯）、聚（苯曱酸乙烯酯-共-五氟苯乙烯-共-丙烯腈一 共-4-溴曱基苯乙烯）、聚（苯乙烯-共-五氟苯乙烯-共-曱基 丙烯酸甲酯-共-4-溴曱基苯乙烯）、聚（五氟苯乙烯-共-3- 22 322378 201126606 溴甲基苯乙烯）、聚（五氟苯乙烯-共-4-溴甲基苯乙烯）等。 具有本發明之式（1)表示之重複單元及式（2)表示之重 複單元之高分子化合物，在與分子内具有2個以上胺基之 化合物混合後，亦使用可作為有機薄膜電晶體絕緣層用組 成物。由於胺基與鹵素甲基在比較低溫發生四級銨化反應 之故，分子内具有2個以上胺基之化合物，作為本發明之 高分子化合物的交聯劑發揮功能。 〈分子内具有2個以上胺基之化合物〉 本發明可使用之分子内具有2個以上胺基之化合物， 可為高分子化合物亦可為低分子化合物。 分子内具有2個以上胺基之高分子化合物，可藉由具 有胺基之聚合性單體之單獨聚合、或者，與追加的聚合性 單體共聚合而製造。 該具有胺基之聚合性單體而言，可例舉：4-胺基苯乙 烯、4-烯丙基苯胺、4-胺基苯基乙烯基醚、4-(N-苯基胺基） 苯基烯丙基醚、4-(N-甲基胺基）苯基烯丙基醚、4-胺基苯 基烯丙基醚、烯丙基胺、丙烯酸2-胺基乙酯等。 又，與前述具有胺基之聚合性單體共聚合之聚合性單 體而言，可例舉：與式（1)表示之重複單元的原料所成之聚 合性單體為同樣的聚合性單體、或與式（1)表示之重複單元 的原料所成之聚合性單體以及式（2)表示之重複單元的原 料所成之聚合性單體共聚合之與前述追加的聚合性單體為 同樣的聚合性單體。 分子内具有2個以上胺基之低分子化合物而言，可例 23 322378 201126606 舉：伸乙基二胺、伸己基二胺、鄰伸苯基二胺、間伸笨基 二胺、對伸苯基二胺、1,3-雙（3，-胺基苯氧基）苯、2,2、 雙二氟甲基聯苯胺（benzidine)、1,3-雙（3-胺基丙基） _1’1，3’3-四曱基二矽氧烷、u 4一雙（3—胺基丙基二曱基矽 烷基）笨、3-(2-胺基乙基胺基丙基）參（三曱基矽氧基）矽烷 等。 本發明之有機薄膜電晶體絕緣層材料，可以適當有機 溶劑稀釋。有機溶劑而言，只要是對有機薄獏電晶體絕緣 層材料為良溶劑，且對有機半導體為貧溶劑 加以限制，可例舉:輯酸丁雖、2姻'丙二醇單= 乙酸酯等。 土 *又，如將本發明之有機薄膜電晶體絕緣層材料作為有 機薄膜電晶體絕緣層賴成物使㈣，前述有機溶劑，係 對分子内具有2個以上胺基之化合物，較佳為良溶劑者。 於本發明之有機薄膜電晶體絕緣層用組成物中，如將 有機薄膜電晶體絕緣層材料的重量和分子内具有2個以上 胺基之化合物的重量作為⑽重量份時，有機_的重 量，較佳為50至1000重量份。 又’於本發明之有機薄膜電晶體絕緣層用組成物中， t將含有式⑴表*之重複單元和式⑵表*之重複單元之 高分子化合物的重量份作成100重量份詩則分子内具 2個以上胺基之化合物的重量，較佳為Q l至5q重量ς。 本發明之有機薄膜電晶體絕緣層用組成物中，: 時’可添加調平劑（leveling agent)、界面活性劑等。而 322378 24 201126606 〈有機薄膜電晶體〉 ^第1圖，係顯示本發明之一實施形態之底閘極型有機 薄膜電晶體的構造之模式剖面圖。於此有機薄膜電晶體 中具備有.基板1、經形成於基板1上之閘電極2、經形 成於間電極2上之閑極絕緣層3、經形成於閘極絕緣層3 上之有機半導擊層4、於有機半導體層4上以通道（channel、 部夾介所形成之源電極（s〇urce electr〇de)5及汲電極' (drain electrode)6、以及覆蓋元件全體之外罩層7。 底端閘極型有機薄膜電晶體，係例如，於基板上形成 閘電極於間電極上形成間極絕緣層、於閉極絕緣層上步 成有機半導體層、於有射導縣上形成源電極及沒電 極，並於此等之上形成外罩面，而可製造。 第2圖’係顯示本發明之另一實施形態之 機溥臈電晶體的構诰夕捃4 μ工门 ^ 、式面圖。於此有機薄膜電晶體 電極Υ 板卜經形成於基板1上之源電極5及汲 體声4 極之上叫道部好卿成之有機半導 以Γ有機半導體層4之覆蓋元件全體之絕緣 a 3，以及、_成於開極絕緣層3的表面上之閘電極2。 頂閘極型有機薄膜電晶體， 電極及沒電極、於源雷搞m 基板上形成源 於有機本㈣爲 電極上形成有機半導體層、 成閘電極，而可製造。 丄办 緣声=Γ!或外罩層之形成，係於有機薄膜電晶體絕 緣層材科中，需要時添加溶劑等以調製絕緣層塗佈液並 322378 25 201126606 =2佈液’塗佈於位置在_絕緣層或外罩層之下 液所用之有機2其乾燥、硬化而實施者。該絕緣層塗佈 劑溶解者§只要是能使高分子化合物和交聯 跳至2Gnv別加以限制惟較佳為常壓下的沸點在 酮、兩_丄f的有機溶劑。該有機溶劑而言，可舉：2-庚 :醇|甲基⑽乙酸酯等。該絕緣層塗佈液中，需要 添加調平劑、界面活性劑、硬化觸媒等。 該絕緣層塗佈液，可藉由周知之旋轉塗佈法(咖 C〇a =g)、壓模塗佈法（die CQatinS)、絲網印刷法（screen 呢）噴墨法（ink]et)等而塗佈於閘電極上。所形成 之^佈層’需要時，使其乾燥。在此所稱賴，係指去除 所塗佈之樹脂組成物之溶劑之意。 所乾燥之塗佈層，接著，使其硬化。硬化係指有機薄 膜電晶體絕緣層材料進行交聯之意。電晶體絕緣層材料之 交聯’例如經由2個光二聚化反應性基之結合而實現。 如光二聚化反應性基係被鹵素曱基所取代之芳基或苯 基時，則此等基將因光或電子射線，較佳為紫外線或電子 射線之照射而互相結合。所照射之光的波長為360nm以 下，較佳為150至300nm。如所照射之光的波長在360nm 以上時，則可能有機薄膜絕緣層材料的交聯會不充分。 紫外線的照射，可使用例如，半導體製造所使用之曝 光裝置或使UV(紫外線）硬化性樹脂硬化所使用之UV燈而 實施。電子射線的照射，例如可使用超小型電子射線照射 管而實施。加熱可使用加熱器（heater)及供箱（oven)而實 26 322378 201126606 施。其他照射條件及加熱條件，則按照光二聚化反應性基 的種類及量等而適當加以決定。 於閘極絕緣層上，亦可形成自組合後單分子膜層。該 自組合後單分子膜層，例如可經由以於有機溶劑中溶解炫 基氯矽烷化合物或烷基烷氧基矽烷化合物1至10重量％之 溶液處理閘極絕緣層所形成者。 該统基氯石夕院化合物而言，可例舉：曱基三氣;g夕炫、 乙基三氯珍烧、丁基三氣碎烧、癸基三氯發烧、十八炫基 三氣矽烷等。 該烧基烧氧基梦烧化合物而言，可例舉：曱其二甲氧 基珍烧、乙基二曱氧基妙烧、丁基三曱氧基碎烧、癸基三 曱氧基矽烷、十八烷基三甲氧基矽烷等。 基板1、閘電極2、源電極5、汲電極6以及有機半導 體層4，係依通常所使用之材料及方法構成即可。例如， 基板的材料，採用樹脂或塑膠之板或膜、玻璃板、矽板等。 電極材料’係使用鉻、金、銀、銘等，並依蒸鑛法（vaccum evaporation)、減鍍法（spattering)、印刷法（printing)、 喷墨法等周知之方法加以形成。 有機半導體化合物而言，廣泛採用兀共扼聚合物，例 如，可使用：聚対類、聚嗟吩類、聚苯胺類、聚烯丙基 胺類、«(fluorine)類、聚十坐（_恤綱⑷類、聚 十朵（P〇ly ind〇le)類、聚（對伸苯基伸乙烯基）類等。又， 亦可^用具有對有機溶劑的溶解性之低分子物質，例如， 并五苯何生物、A何生物、四硫富瓦稀衍生物、四氮基啥 322378 27 201126606 二曱烧、苐類、奈米碳管（carbon nanotube)類等。具體可 舉：9, 9-二正辛基苐-2, 7-二（伸乙基硼酸酯）與5, 5’ -二溴 -2, 2’-聯二噻吩所成之縮合物等。 有機半導體層之形成，係例如，於機半導體化合物中 需要時添加溶劑等以調製有機半導體塗佈液，並將此塗佈 至使其乾燥而實施。本發明中，構成絕緣層之樹脂有苯基 部分或羰基部分，與有機半導體化合物之間有親和力。因 此，利用上述塗佈乾燥法，即可於有機半導體層與絕緣層 之間形成均勻且平坦的界面。 可使用之溶劑而言，只要是能使有機半導體溶解或分 解者，則並不特別加以限制，惟較佳為常壓下的沸點在50 1至200°C者。該溶劑而言，可舉：氯仿、甲苯、茴香醚、 2-庚酮、丙二醇單曱基醚乙酸酯等。該有機半導體塗佈液， 係與述絕緣層塗佈液同樣，可利用周知的旋轉塗佈法、壓 模塗佈法、絲網印刷法、喷墨法等加以塗佈。 使用本發明之有機薄膜電晶體絕緣層材料所製造之絕 緣層，於其上可層合平坦的膜等，而容易形成層合構造。 又，可於該絕緣層上合適地搭載有機電場發光元件。 使用本發明之有機薄膜電晶體，可合適地製作具有機 薄膜電晶體之顯示器用構件。使用具有該有機薄膜電晶體 之顯示器用構件，可合適地製作具備顯示器用構件之顯示 器。 含有式（1)表示之重複單元及式（2)表示之重複單元之 高分子化合物，亦可使用為形成絕緣層以外的電晶體中所 28 322378 201126606 含之層、有機電場發光元件中所含之層之用途。 (實施例） 以下，藉由實施例而說明本發明内容，惟當然本發明 並不因實施例而有所限定。 〈貪施例1 > (高分子化合物1之合成） 將苯乙烯（和光純藥製）20. 00g、2, 3, 4, 5, 6-五氟苯乙 烯(Aldrich製）18 66g、乙烯基苄基氣化物（Aldrich製， 3_氯甲基苯乙_與4-氣甲基苯乙烯的混合物）4. 89g、2, 2,-偶氮雙（異丁腈）〇. 22g、2-庚嗣（和光純藥製）65. 65g，置 入125ml耐壓容器（愛斯製）中，經過氮氣之氣泡式洗濯 (bubbling)後緊拾蓋子’於6〇ΐ的油浴中使其聚合48小 時’製付向分子化合物i的黏稱的溶液。高分子化合物卜 係作為有機薄膜電晶體絕緣層材料使用者。高分子化合物 1中’具有下述重複單元。在此，（）的附加數字乃表示
裇：聚笨乙烯所求出之所得高分子化合物1的重量 平均刀子2 A 84’Qg〇。（島津製GPC(凝膠滲透色譜法）、
Tskgel super ΗΜ-Η ι 丄 , , L 1 支+Tskgel super H2000 1 支、流動 相=THF(四氫呋嘀）） 29 322378 201126606 (含有有機薄膜電晶體絕緣層材料及有機溶劑之塗佈溶液 之調製） 將高分子化合物1的2-庚g同溶液3. 00g、2-庚_ 3. 〇〇g， 置入10ml的試樣瓶中，攪拌溶解以調製均勻的塗佈溶液。 使用孔徑0.2/zm的膜濾器（membrane filter)以過滤 所得之塗佈溶液，而調製高分子化合物1的塗佈溶液。 (場效應型有機薄膜電晶體之製作） 將F8T2(9, 9-二辛基苐：聯噻吩=50 : 50(莫耳比）的共 聚物；聚笨乙烯換算的重量平均分子量=69, 000)溶解於作 為溶劑之氣仿中，以製作濃度為0.5質量％之溶液（有機半 導體組成物），並使用膜濾器以過濾該溶液，而調製有機半 導體塗佈液。 將高分子化合物1的塗佈溶液，對設置有鉻電極之玻 璃基板上進行旋轉塗佈後，於熱板（hot plate)上在150°C 燒成1小時，在氮氣氣氛下使用UV/臭氧汽提器（oz〇ne stripper)(桑姆科製，UV-1)，在室溫（25°C)進行UV照射 2分鐘後，製得具有約390nm的厚度之閘極絕緣層。由於 高分子化合物1可在低溫交聯之故，在低溫順利形成閘極 絕緣層。 其次’將有機半導體塗佈液，依旋轉塗佈法塗佈於前 述閘極絕緣層上以形成具有約6〇nn]的厚度之活性層，接 著，依採用金屬遮罩之真空蒸鍍法，在活性層上形成通道 長度20ym’通道寬2mm的源電極及汲電極（從活性層側， 依序具有氧化鉬、金之層合構造）之結果，製得場效應型有 30 322378 201126606 機薄膜電晶體。 〈場效應型有機薄膜電晶體之電晶體特性〉 就如此所製作之場效應型有機薄膜電晶體，依改變閘 極電壓Vg為20至-40V(伏特）、源極•汲極間電壓Vsd為 0至-40V之條件下，採用真空探測器（BCT 22MDC 5_ht_ SCU ; Nagase Electronic Equipments Service Co(長瀨電 子設備服務公司）LTD製）以測定其電晶體特性。 有機薄膜電晶體的滯後性（hysteresis)，係以源•汲 極間電壓Vsd為-40V，而使閘極電壓Vg變化為〇v至_4吖 時的臨界電壓vthi及使閘極電壓Vg變化為_4〇Vmig 〇v時 的臨界電壓Vth2之間的電壓差異表示者。將其結果，表示 於表1中。 〈實施例2> (高分子化合物2之合成） “將2, 3, 4, 5, 6-五氟苯乙稀（Aldrich製）4· 〇〇g、乙稀3 卞基氣化物（Aldrich製，3-氯甲基苯乙烯與4_氣甲基苯乙 稀的混合物）0· 79g、2, 2,-偶氮雙（異丁腈）〇. 1〇g、丙二国 單甲基ϋ乙酸醋（和光純藥製）19 53g，置入5〇mi耐壓容繁 (愛斯製）中’經過氮氣之氣泡式洗濯後緊栓蓋子，於⑽ 的油浴中使其聚合48小時，製得古八早 、 、 町衣件间刀子化合物2的黏稠# 溶液。高分子化合物2，传作系古拖②^ 你彳乍為有機薄Μ電晶體絕緣層相 料使用者。高分子化合物2中，呈 时 /、 /、虿下述重複單兀。在此， ()的附加數字乃表示重複單元的莫耳分率。 322378 31 201126606
OF F CH2C1 從標準聚苯乙烯所求出之所得高分子化合物2的重量 平均分子量，為17,〇0卜（島津製Gpc、TskgelsuperHM_H 1 支+Tskgel super H2000 1 支、流動相=7111〇 (含有有機薄膜電晶體絕緣層材料及有機溶劑之塗佈溶液 之調製） 將高分子化合物2的丙二醇單曱基醚乙酸酯溶液 2.00g、2-庚嗣4.00g’置入10ml的試樣瓶中，攪摔溶解 以調製均勻的塗佈溶液。 使用孔徑0· 2# m的膜濾器以過濾所得之塗佈溶液，而 調製高分子化合物2的塗佈溶液。 (場效應型有機薄膜電晶體之製作） 除使用尚分子化合物2的塗佈溶液以外，其餘則按與 實施例1同樣方式’製作場效應有機薄膜f晶體。閘極絕 緣層的厚度，為430nm。 〈場效應型有機薄膜電晶體之電晶體特性〉 就如此所製作之場效應型有機薄膜電晶體，依改變閘 極電壓Vg為20至-40V、源極•汲極間電壓vS(j為〇至_4〇v 之條件下，採用真空探測器（BCT22MDC-5-HT-SCU ; Nagase
Electronic Equipments Service Co. LTD 製）以測定其電 322378 32 201126606 晶體特性。 有機薄膜電晶體的滞後性，係以源極•汲極間電壓v s d 為-40V，而使閘極電壓Vg變化為〇Vi_4〇v時的臨界電壓 vthi及使閜極電壓變化為_40v至〇v時的臨界電壓vth2 之間的電麼差異表示者。將其結果，表示於表i中。 〈貫施例3 > (高分子化合物3之合成） 將2’3’4,5,6-五氣苯乙烯〇^地製）5為、乙稀基 节基氯化物（Aldrich製，3-氯甲基苯乙稀與4_氯甲基苯乙 婦的混合物）3. 93g、2, 2,-偶氮雙（異丁腈）〇. 〇4g、2_庚嗣 (和光純藥製）13. 46g’置入50ml而樣容器（愛斯製）中，經 過氮氣之氣泡式洗濯後緊栓蓋子，於6代的油浴中使其聚 合48小時，製得高分子化合物3的黏稠的溶液。高分子化 合物3’係作為有機薄膜電晶體絕緣層材料使用者。高分 子化:物3中’具有下述重複單元。在此，（）的附加數字 乃表示重複單元的莫耳分率。
、，從標準聚苯乙稀所求出之所得高分子化合物3的重量 平均分子量，為136, _。（島津製Gpc、Tskge丨聊打hm h 322378 33 201126606 1 支+Tskgel super H2000 1 支、流動相^肝） (含有有機薄膜電晶體絕緣層材料及有機溶劑之塗佈溶液 之調整） ' 將高分子化合物3的2-庚酮溶液2. 00g、2_庚酮4. 〇〇g， 置入10ml的試樣瓶中，攪拌溶解以調製均勾的塗佈溶液。 使用孔徑0. 2 y m的膜濾器以過渡所得之塗佈溶液而 調製高分子化合物3的塗佈溶液。 (場效應型有機薄膜電晶體之製作） 除使用高分子化合物3的塗佈溶液以外，其餘則按與 實施例1同樣方式，製作場效應型有機薄膜電晶體。閘極 絕緣層的厚度，為260nm。 〈場效應型有機薄膜電晶體之電晶體特性〉 就如此所製作之場效應型有機薄膜電晶體，依改變閘 極電壓Vg為20至-40V，源極•汲極間電壓vsd為0至-40V 之條件下，採用真空探測器（BCT22MDC-5-HT-SCU ; Nagase Elwctronic Equipments Service Co. LTD 製）以測定其電 晶體特性。 有機薄膜電晶體的滞後性，係以源極·汲極間電壓Vsd 為-40V，而使閘極電壓Vg變化為〇V至-40V時的臨界電壓 Vthl及使閘極電壓Vg變化為-40V至0V時的臨界電壓Vth2 之間的電壓差異表示者。將其結果，表示於表1中。 〈實施例4> (高分子化合物4之合成） 將2, 3, 4, 5, 6-五氟笨乙烯（Aldrich製）2.00g、乙烯基 34 322378 201126606 苄基氣化物（Aldrich製，3-氣甲基苯乙烯與4-氯甲基苯乙 烯的混合物）6. 92g、2, 2’ -偶氮雙（異丁腈）0. 04g、2-庚酮 (和光純藥製）12. 49g，置入50ml耐壓容器（愛斯製）中，經 過氮氣之氣泡式洗濯後緊栓蓋子，於60°C的油浴中使其聚 合48小時，製得高分子化合物4的黏稠的溶液。高分子化 合物4，係作為有機薄膜電晶體絕緣層材料使用者。高分 子化合物4中，具有下述重複單元。在此，（）的附力c?數字 乃表示重複單元的莫耳分率。
從標準聚苯乙烯所求出之所得高分子化合物4的重量 平均分子量，為 111，000。（島津製 GPC、Tskgel super HM-H 1 支+Tskgel super H2000 1 支、流動相=THF) (含有有機薄膜電晶體絕緣層材料及有機溶劑之塗佈溶液 之調整） 將高分子化合物4的2-庚酮溶液2. 00g、2-庚S同4. 00g， 置入10ml的試樣瓶中，攪拌溶解以調製均勻的塗佈溶液。 使用孔徑0. 2//m的膜濾器以過濾所得之塗佈溶液，而 調製高分子化合物4的塗佈溶液。 (場效應型有機薄膜電晶體之製作） 35 322378 201126606 除使用雨分子化合物4的塗佈溶液以外，其餘則按與 實施例1同樣方式，製作場效應型有機薄膜電晶體。閘極 絕緣層的厚度，為220nm。 〈場效應型有機薄膜電晶體之電晶體特性> 就如此所製作之場效應型有機薄膜電晶體，依改變閘 極電壓Vg為20至-40V，源極•汲極間電壓Vsd為0至-40V 之條件下’採用真空探測器（BCT22MDC-5-HT-SCU ; Nagase Elwctronic Equipments Service Co. LTD 製）以測定其電 晶體特性。 有機薄膜電晶體的滯後性，係以源極•汲極間電壓Vsd 為-40V ’而使閘極電壓vg變化為〇v至-40V時的臨界電壓 Vthl及使閘極電壓Vg變化為-40V至0V時的臨界電壓Vth2 之間的電壓差異表示者。將其結果，表示於表1中。 〈比較例1> (場效應型有機薄膜電晶體之製作） 將聚乙烯基笨酚-共-聚曱基丙烯酸曱酯（Aldrich製，
Mn=6, 700)1. 00g、N，N，Ν’，Ν’ ’，Ν’ ’ -六曱氧基曱基三聚氰胺 (住友化學製）0.163g、熱酸產生劑（Midori Kagaku(股） 製，商品名：TAZ-108)0. Il3g、2-庚酮 7. 00g，置入 10ml 的試樣品中，攪拌溶解以調製均勻的塗佈溶液。 除為閘極絕緣層之形成而使用該塗佈液，並在2〇〇。〇 燒成以外’其餘則與實施例1同樣方式製作場效應有機薄 膜電晶體’並測定電晶體特性後加以評價。將其結果，表 示於表1中。 36 322378 201126606 [表l ] 滞後性 Vthl (通/斷） ON/OFF 實施例1 1. IV 4. 2V 7. lxlO3 實施例2 0. 6V -2. 0V 3. 3xl03 實施例3 0. IV 0.3V 3. 8xl03 實施例4 0. 4V -3. 7V 1. 6xl03 比較例1 0. 8V -21V 6. 6xl04 【圖式簡單說明】 第1圖係顯示本發明之一實施形態之底閘極型有機薄 膜電晶體的構造之模式剖面圖。 第2圖係顯示本發明之一實施形態之頂閘極型有機薄 膜電晶體的構造之模式剖面圖。 【主要元件符號說明】 1 基板 3 閘極絕緣層 5 源電極 2 閘電極 4 有機半導體層 6 汲電極 外罩層（overcoat layer) 37 322378

Claims (1)

  1. 201126606 七、申請專利範圍：
    一種有機薄膜電晶體絕緣層材料，其含有高分子化合 物’該高分子化合物具有式（1)表示之重複單元
    (Raa)a (R)5-b Ύ Kl表不風原子或甲基；R表示氫原子或碳 數1至2G的-價有機基；Rf表示氫原 之，_的i有機基丄表示碳數^2= :價有機基’該二價有機基中的氫原子，可被氟原子所 R ί、=不G至2G的整數、b表示1至5的整數；如 之情形’則其等可為相同或不相同；如只有 =數個之情形’則其等可為相同或不相同；如以有複 數個之情形’則其村為相同或不相 及式（2)表示之重複單元
    (〇H2X)d (2) [式中 仏表示氫原子或曱基 R’表示氫原子或碳 322378 38 201126606 數1至20的-價有機基；Rbb表示碳數！至扣的 有機基’該二價有機基中的氫原子，可被氣原子戶;取 代^表示0至2 0的整數，d表示丨至5的整數；χ表 不氣原子n子或韻子；如Rbb有複數個之情形， 則其等可為相同或不相同，# R，有複數個之情形^則 其等可為侧或不相同，如X有複數個之情形，則其等 可為相同或不相同]。 2. 3. 、/月專利㈣第1項所狀錢薄膜電晶體絕緣層 材料’其中式⑴中，Rl表示氫原子或甲基，R表示氫 原子旧表示氟原子，4*〇，b表示3至5的整數。 如申"月專利fen第1項或第2項所述之有機薄膜電晶體 絕緣層材料’其中式⑵中，R2表示氫原子或甲基， ::氫原子’ c表示〇，d表示i，χ表示氣原子、漠原 子或蛾原子。 4..如申請專利範圍第i項至第3項中任—項所述之有機薄 ，電晶體絕緣層材料，其中高分子化合物中，作為重複 單7L而可再具有含芳基或笨基之伸乙基部分。 5. 如申叫專利乾圍第！項至第4項中任一項所述之有機薄 膜電晶體，緣層材料，其中高分子化合物中，式⑵表 不之重複單儿的莫耳分率，為0· 01至〇· 95。 6. -種有機薄膜電晶體絕緣層之形成方法，其包含 將5有申請專利範圍第1項至第5項中任一項所述 之有機相電晶體絕緣層材料之液體，㈣於基材上以 幵> 成塗佈層之步驟；及 322378 39 201126606 龜 對該塗佈層照射光或電子射線，以交雕 晶體絕緣層材科之步驟。 有機薄膜電 7.如尹讀專利第6項所述之有機薄模電晶體 8. 之形成方法，其中，上述光為紫外線。 ^ :種有機薄膜電晶體，其具有經採用申請專利 =5項中任一項所述之有機薄膜電 科所形成之有機薄膜電晶體絕緣層。 10. 如申請專利範圍第8項所述之有機薄膜電晶體 上返有機薄膜電晶體絕緣層為閑、， -種顯示器用構件 邑緣層 11. 項所述之有機薄膜電晶體申4利範圍第8項或第9 器用其仓有㈣專利_第^項所遂之顯示 322378 40
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