TW201124626A - Scroll compressor and scroll wall arrangement therefor - Google Patents

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201124626 六、發明說明: 【發明所屬之技術領域】 本發明關於一種改良式渦卷壓縮機,及其渦卷壁配置。 【先前技術】 一典型渴卷壓縮機如圖1及2所示。圖1係一渦卷壓縮機丄〇 的橫截面,該渦卷壓縮機包含一固定渦卷12及一軌道渦卷 14。該固定渦卷包含一大致平坦的圓盤16,由此一渦卷壁 18垂直延伸。s亥軌道渦卷包含一大致平坦的圓盤2〇,由此 一渦卷壁22垂直延伸。一馬達24用於旋轉軸26。軸%具有 一離心軸部28固定該軌道渦卷14。·軸部28離心運動使該軌 道屬卷壁22相對於固疋渴卷壁1 8作軌道運動。此相對運動 使流體由該渦卷壁配置的徑向外部所提供入口汲送至該渦 卷壁配置徑向中心部份所提供的出口或排放口 32。氣體通 過壓縮機入口(未顯示)進入該壓縮機。 圖2係沿圖1線π_π所取渦卷壓縮機之渦卷壁配置的橫截 面。一流體流動路徑34藉由箭頭線顯示於圖2,且循著一大 致螺旋形路徑由渦卷壁配置的入口 3〇前進至出口 32。氣體 以一第一壓力進入入口 30,該氣體透過四旋轉或纏繞的過 程壓縮,且以一較高壓力由泵通過出口 32排放。該纏繞數 旎多於或少於圖2所示,且依據汲送需求選取。該渦卷壁相 對轨道運動使多數個新月形口袋形成於該壁之間,且迫使 其徑向向内,藉此逐漸壓縮尺寸。由此習於此技者能瞭解, 这些新月形口袋大小約360度且該壁容納於一新月形口袋 的大小稱作一盤繞量。 154628.doc 201124626 一渦卷壓縮機的用處在於其係一免潤滑泵。如此,—滿 卷壓縮機通常在質譜儀系統採用。一質譜儀系統可包括— 系列差動汲送室’其中多數個室被汲送至不同壓力且在各 室間具有分別互連。該第一室可保持於一相當高的電壓(例 如2至10毫巴),其中最後一室保持在一相當低的壓力(例如 10耄巴)。典型而s,低壓室或諸低壓室由一涡輪分子栗 汲送且相對較尚壓力室或諸室由一主泵汲送。一渦卷壓縮 機係一適合主泵型式。由此習於此技者能瞭解,一渦輪分 子泵需要一輔助泵,以便由該渦輪分子泵所排放氣體在— 低於大氣之壓力由一旋轉泵汲送且排放至大氣。此一差動 沒送系統因此能需要至少三個栗;涡輪分子粟 '輔助果及 相對較高壓力室泵。 由此希望對於上述問題提供—種改良之沒送解決方式及 提供一種-般㈣應用所需且更具變化性的渦錢縮機。 【發明内容】 本發明提供—種料式壓縮機的料壁配置,該配置包 3固疋渴卷壁及-軌道渴卷壁,其共同界定多數個流動 路徑’這些路徑具有各別人σ,以便同時以不同壓力及送, 其中該多數個流動路徑包含一第一流動路徑,#由一第一 入口延伸至該出口;及一第二流動路徑,纟由一第二入口 延伸至該出口,及其中該第二入口與該第一流動路徑隔離。 所以’本發明容許一單渴卷壓縮機同時以不同壓力汲送 :室。例如,該壓縮機可排空塗佈系統負載問室内的空氣。 卜此-渦卷壓縮機能旋轉—渦輪分衫,而也能排空
«I 154628.doc 201124626 相當南壓室内的空氣。此一讲矣/¾ b βu 乳此屬卷壓鈿機具有其它汲送優點 及應用。 本發明也提供-種包含上述渦卷壁配置的渦卷壓縮機。 本發明進一步提供一種差動汲送系統,其包含:一系列 之氣室,其間具有分別之互連;一渴輪分子果,具有一入 口連接至一該室,以便在相當低壓汲送;及一渦卷壓縮機, 如前述,其中該渦卷壓縮機之一入口連接至另一室,以便 在相當高壓汲送,及該渦卷壓縮機另一入口連接至渦輪分 子泵的排放口作輔助之用。 本發明其它較佳内容在附加請求項中定義。 【實施方式】 圖3至8所示之渦卷壁配置,與圖丨所示渦卷壓縮機具有相 同之一般佈局,但具有不同之渦卷壁配置。因此,一渦卷 壓縮機一般操作將不再說明,且這些配置將參考渦卷壁配 置說明。 參考圖3 ’所示之渦卷壁配置4〇包含一具有固定渦卷壁44 的固定渦卷42及一具有軌道渦卷壁46的軌道渦卷。以相同 於圖2所示渦卷壁配置之方式,渦卷配置4〇在其徑向外部處 具有一入口 48且在其徑向中心部份處具有一出口 5〇。一第 一流動路徑52由該轨道及固定渦卷壁44、46所界定,且自 該入口 48延伸至該出口 50,氣體以一第一壓力通過入口 48 而進入該配置’且以一高於該第一壓力的第二壓力經由出 口 50而排放。渦卷配置40包含一第二入口 54,氣體由此能 以一第三壓力進入且循一第二流體路徑53前進,氣體經此 154628.doc 201124626 °雖然二流動路徑52、53
第二壓力。因此, 入口 48及54能以不同壓力汲送氣體。該 以5亥第一壓力通過出口 5〇而排放。 具有各別入口 48及54,但是該第一 動路徑53在該第二漭動政倾 第二入口 54的定位決定氣體流經該第二入口處的第三壓力 (亦即,該入口之位置愈接近該排放口,則第三壓力愈高)。
送時,二互連室之一差動汲送系統將可被維持在不同之壓 力。因此,僅需要一泵將可節省本。 在圖12所示之差動汲送系統中,一包含渦卷壁配置川之 渦卷壓縮機168被配置成使該第二入口 54與一第一室17〇呈 流體聯通而供以一第一壓力汲送,且亦使該第一入口 48與 一渦輪分子泵174的排放口 172呈流體聯通以供作為其輔 助。該渦輪分子泵的入口 176被連接至一第二室178,以便 以一相當低之壓力汲送。因此,在一包含—渦輪分子泵的 差動汲送系統中,必須以一單一泵可替代如先前技藝所需 的主要及輔助泵。 如圖13所示之第二差動汲送系統’其中渦卷壓縮機ι68 的第二入口 54連接至一第一室170,及第一入口 48連接至分 離流體渦輪分子泵1 82的排放口 180。該渦輪分子栗的主入 口 184連接至一室178及一位於級間之第二入口 ι86連接至 另一室188。 如圖14所示之第三差動沒送系統,其中渦卷壓縮機ι68 154628.doc 201124626 的第二入口 54連接至一第一室170,及第一入口 48連接至分 離流體渦輪分子泵1 82的排放口 180。該分離流體渦輪分子 泵182與二互連室178、188的連接係如圖13所示。 接著說明各種進一步渦卷壓縮機配置且任何配置能適於 結合圖12至14所示的差動没送系統。 該配置的許多其它優點及應用習於此技者將能瞭解。 一渦卷壁配置60如圖4所示’且包含一具有固定渦卷壁64 的固定渦卷62及一具有軌道渦卷壁66的軌道渦卷。該配置 60包含一第一入口 68、一出口 70及一第二入口 72。該配置 60具有一雙開端,其中二第一流動路徑71在其匯集後由入 口 60延伸一旋轉或纏繞。該第二入口 72係該第一流動路徑 71匯集處。一第二流動路徑π由該第二入口 72延伸至出口 70且與該第一流動路徑71聚合且達到該第二流動路徑的範 圍。如圖4所示雙開端配置的利益在於其能增加汲送經過入 口 68的氣體量。該渦卷配置6〇的配置也與圖3所示者相同。 另外可提供一種渦卷壁配置,其中多數個該第一入口分 且匯集至一單該第一流
別具有該第一流動路徑由其延伸,
卷二者。 二入口 54提供於該第一入 在圖3所示渴卷壁配置中,該第二 154628.doc 201124626 口 48及出口 50間的第一流動路徑52。因此,該第二入口 54 的蜃力將影響入口 48的壓力。在某些環境中,希望能隔離 第二入口處的壓力。圖5所示固定渦卷配置能與該第二入口 達成隔離。關於此點,圖5 (a)顯示一具有固定渦卷壁76的固 疋渦卷74,該轨道渦卷壁75如圖5(b)所示。一第一流動路徑 77由第一入口 78延伸至出口 8〇。一第二入口 a藉由該固定 渦卷約一盤繞量與該第流動路徑77隔離。該第二流動路徑 84由該第二入口 82延伸通過約36〇。,在此其與該第—流度 路徑匯集,且循著一匯集流動路77、84至出口 8〇。就圖$ 所不配置而s,其可維持該第二入口的壓力與該第一入口 78的壓力無關。然'而,由此將要瞭解的是某些隔離的達 成必須將該第^入口與該第一流動路徑藉由該第二流動路 徑至少一部份(即少於一盤繞量)隔離。 圖6(a)顯示一具有固定渦卷壁88的固定渦卷%,該轨道渦 卷壁89係如圖6(b)所示。一第一流動路徑9〇自一第一入口 % 延伸至該出口 94。-第二入口96與該第一流動路徑%以約 兩盤繞之該固^渦卷而被相隔開。_第二流動路徑%由該 第二入口 96延伸經過約谓。,其在此與該第—流動路㈣ 匯集及延伸至出口 94。圖6所示配置優於圖5所示配置之處 在於該第二入口 96與該第一入口 92編上可達到較大的 分隔’例如當需要較大壓力差時。 圖5及6所示之配置在某些汲送應用令也有其他之優點, 其中該配置較佳地可提供該錢送在各別人口處之氣體種 類間之分隔。因此’在這些配置中’該第一入口及第二入 154628.doc 201124626 口可依需要而被交換地使用,因為該二入口係獨立的。 如圖4所示,該第一入口48可採用一雙開端配置。圖7(勾 顯示一具有固定渦卷壁102的固定渦卷1〇〇,該軌道渦卷壁 103係如圖7(b)所示。該配置包含—第一入口1〇心一第二入 口1()6及一出口108。該配置係一關於該第一入口 1〇4的雙開 端配置,及一關於第二入口 106的雙開端配置。一第一流動 路徑ho延伸通過一個半之盤繞量而至該第二入口 ι〇6。在 該第二入口 106處,該第一流動路徑u〇匯集兩第二流動路 徑112,該路徑由該第二入口 1〇6延伸且超過一盤繞量之該 固定渦卷,其在此收斂成一單一匯集流動路徑丨1〇,1 Μ, 且延伸至出口⑽。該第二入口 1〇6所提供的雙開端使得較 大量的氣體可被汲送通過該第二入口。 圖8(a)顯示一具有固定渦卷壁116的固定渦卷ιΐ4,該軌道 壁117如圖8(b)所示。該固定渦卷包含一第一入口 n8、一第 二入口 120及一出口 122。該配置顯示該第一入口 i丨8及第二 入口 12〇二者的雙開端。有此—方面’兩第_流動路徑η—4 分叉自該第一入口 118且延伸超過該配置的一盤繞量,其在 此收徵至-單-第-流動路徑124。當該單—第一流動路徑 與第二入口 120相遇時’將與該兩第二流動路徑126相匯 集’該第二流動路徑由第二人口12()延伸且超過該配置之一 盤繞量,其在此收斂成一單一第一流動路徑126且繼續前進 至出口 122。此配置優點在於能在該第一入口 ιΐ8及第二入 口 120兩處達到較大的沒送容量。 上述配置已經參考圖】所示單側渦卷配置加以說明。由此 154628.doc .10· 201124626 • n瞭解單㈣縮機包含—單固定涡卷及—單執道渴 卷。圖9顯示由一單馬達128驅動之單側渦卷壁配置。各渦 卷壁配置包含一固定渦卷13〇及一軌道渦卷132,其共同分 別界定一排放口 138及一第一入口 14〇及一第二入口 142間 的第一及第二流動路徑134、136。因此,該雙渦卷壁配置 包含四路徑用於沒送二或四個不同愿力。 一雙側渦卷壁配置,據所知,其中一單執道渦卷141與二 固定渦卷143相關連,其各側各有一個,概略如圖^及⑽ 不。上述所有實施例及修正能結合成一雙側渦卷壓縮機配 置。再者,一渦卷壁配置能形成於該固定渦卷的一側且一 不同渦捲壁配置能形成於該固定渦卷的另一側上。或者, 如圖η所示,該雙側渦卷配置的二側具備一第一入口 144及 一第二入口 146,這二入口分別具有流動路徑148、15〇朝向 分別出口 152、154延伸,以便在不同壓力提供汲送。再者, 圖11所示配置容許沿該分別流動路152、154汲送的氣體種 類隔離。在圖η配置的修正中,該渴卷壁配置的該側能具 備如圖9所示的分別第二入口。 如圖1〇所示一雙側渦卷壁配置包含一位於該配置第一側 杻向中心部份的入口 156及該配置徑向外部的入口 158。一 第一流動路徑160由該配置第一側上的第一入口 156徑向向 外延伸,且徑向向内延伸至該配置第二側上的排放口 162。 一第二流動路徑164由該第二入口 158徑向向内延伸至該配 置第二側上的排放口 162。如所示,該第一流動路徑在第二 入口 15 8匯集該第一流動路徑。或者,如參考圖5及6所說 154628.doc -11 - 201124626 月该第一入口 i58能與該第一流動路徑能以該渦卷壁配置 的或多個盤繞量隔離,以便該第一流動路徑與較接近排 放的第一流動路徑聚合《該第二入口 !58當作一中間入 口’藉此容許以在第—人σ 156以—第—1力汲送,及在該 第二入口 158以一第二壓力汲送。 由刖述說明將能瞭解到有許多修正及配置將符备本發明 如請求項所定義的範圍。 【圖式簡單說明】 為本發明得到較佳瞭解,其僅作為範例的各種實施例經 參考附圖現在加以說明,其中·· 圖1係一先前技藝渦卷壓縮機的橫截面圖; 圖2係沿圖1線ΙΙ_Π所取壓縮機渦卷壁配置的橫截面; 圖3顯示—渦卷壁配置的橫截面圖; 圖4顯示另一渦卷壁配置的橫截面圖; 圖5顯示如本發明第一實施例之涡卷壁配置的橫戴面 圖’圖5⑷僅顯示該較渦卷壁及圖抑)顯示該固定渦卷壁 灰軌道渦卷壁二者; 圖6顯示如本發明第二實施例之渦卷壁配置的橫戴面 圖,圖6(a)僅顯示該固定渦卷壁及圖6(b)顯示該固定洞卷壁 及軌道渦卷壁二者; 圖7顯示另一滿卷壁配置的橫截面圖,圖7⑷僅顯示該固 定渦卷壁及圖7(b)顯示該固定渦卷壁及執道渦卷壁二者; 圖8顯示又一渴卷壁配置的橫截面圖,圖8⑷僅顯示該固 定渦卷壁及圖8(b)顯示該固定渦卷壁及軌道渦卷壁二者; 154628.doc -12- 201124626 圖9顯示二渦卷壁配置的示意圖; 圖10顯示一雙側渦卷壁配置的示意圖; 圖11顯示另一雙側渦卷壁配置的示意圖; 圖12係一第一差動汲送系統的系統圖; 圖13係一第二差動汲送系統的系統圖;及 圖14係一第三差動汲送系統的系統圖。 【主要元件符號說明】 10 壓縮機 12、42、62、86、100、130、 143 固定渦卷 14 渦卷 16、20 圓盤 18、22 渦卷壁 24 馬達 26 軸 28 軸部 30 、 176 、 186 入口 32、50、70、80、94、108、 122、140、162、172、180 出口 、排放口 34 流體流動路徑 40、60 渦卷壁配置 44、64、76、88、102、116 固定渦卷壁 46、66、75、89、103、117 執道渦卷壁 48、68、72、78、92、104、 118、140、144、156 第一入口 154628.doc -13- 201124626 52、7卜 77、90、110、124、 134、148、152、160 第一流動路徑 53、73、84、98、112、126、 136、150、154、164 54、82、96、106、120、142、 146、158 132 、 141 168 170 174、182 178 、 190 188 第二流動路徑 第二入口 軌道渦卷 渦卷壓縮機 第一室 渴輪分子系 第二室 另一室 154628.doc

Claims (1)

  1. 201124626 七、申請專利範圍: 1. -種差動汲送系統,其包含:至少二室,其間具有一或 各別互連之狀態;1輪分子系’其具有—被連接至該 等至中之一者上之入口,可供以相當低之壓力汲送;及 屬卷壓縮機’其具有—渦卷壁配置,該渦卷壁配置包 含-固定渴卷壁及—軌道渴卷壁,其共同界定複數個流 動路住’该等路杈具有各別入口可供以不同壓力同時汲 送,其中該複數個流動路徑包含一由一第一入口延伸至 -出口之第-流動路徑,及一由一第二入口延伸至該出 口之第一流動路徑,且其中該第二入口與該第一流動路 徑被相分隔,其中該渦卷壓縮機之該第一及該第二入口 :其中之-被連接至該等室中之另一者上,可供以相當 问之壓力沒送,及該渴卷壓縮機之該第—及該第二入口 之另被連接至该渦輪分子泵之該排放口,可供作為其 輔助。 八 2·如请求項1之系統,其中該涡卷塵縮機之第二入口被連接 至该等室中另一者上’可供以相當高之壓力汲送,及該 渦卷壓縮機之該第一入口被連接至該渦輪分子菜之該排 放口,可供作為其辅助。 月求員1之系統,其中該渦卷壓縮機之該第一入口被連 接至S玄等官φ夕兑 . 至甲之另一者上,可供以相當高之壓力汲送, 及及4卷壓縮機之該第二人σ被連接至該渦輪分子泉之 該排放口,可供作為其輔助。 4·如刖述明求項中任一項之系統’其中該渦輪分子泵係一 154628.doc 201124626 分離式流動泵,且該渦輪分子泵之一級間入口被連接至 一該室,可供進行汲送。 5.如請求項1至3中任一項之系統,其中該渦卷壓縮機之該 第一入口被連接至一該室及該渦輪分子泵之排放口。 154628.doc
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
TWI679348B (zh) * 2015-03-11 2019-12-11 三浦工業股份有限公司 渦捲式流體機械

Families Citing this family (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB0912162D0 (en) 2009-07-14 2009-08-26 Edwards Ltd Scroll compressor
US20120144764A1 (en) * 2010-11-10 2012-06-14 James Hanna Cellulose construction system
JP5562263B2 (ja) * 2011-01-11 2014-07-30 アネスト岩田株式会社 スクロール流体機械
GB2503718B (en) * 2012-07-05 2014-06-18 Edwards Ltd Scroll pump
GB2503728A (en) * 2012-07-06 2014-01-08 Edwards Ltd Scroll compressor with circular wrap
US20140219844A1 (en) * 2013-02-06 2014-08-07 Daimler Ag Expansion device for use in a working medium circuit and method for operating an expansion device
WO2016124111A1 (zh) * 2015-02-04 2016-08-11 艾默生环境优化技术(苏州)有限公司 涡旋压缩机
CN104653451A (zh) * 2015-02-09 2015-05-27 温岭市红宝石真空设备厂(普通合伙) 一种涡旋泵
US10094381B2 (en) 2015-06-05 2018-10-09 Agilent Technologies, Inc. Vacuum pump system with light gas pumping and leak detection apparatus comprising the same
CN115013317A (zh) * 2017-03-23 2022-09-06 艾默生环境优化技术(苏州)有限公司 涡旋组件、涡旋压缩机以及压缩机热泵系统
GB2585903B (en) * 2019-07-22 2021-12-08 Edwards Ltd Scroll Pump

Family Cites Families (14)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4141677A (en) * 1977-08-15 1979-02-27 Ingersoll-Rand Company Scroll-type two stage positive fluid-displacement apparatus with intercooler
JPS58148290A (ja) * 1982-02-26 1983-09-03 Hitachi Ltd スクロ−ル圧縮機を用いた冷凍装置
JPS61258989A (ja) * 1985-05-10 1986-11-17 Hitachi Ltd スクロ−ル流体機械
US4696627A (en) * 1985-08-15 1987-09-29 Nippondenso Co., Ltd. Scroll compressor
US4735084A (en) * 1985-10-01 1988-04-05 Varian Associates, Inc. Method and apparatus for gross leak detection
EP0344345B1 (de) * 1988-06-01 1991-09-18 Leybold Aktiengesellschaft Pumpsystem für ein Lecksuchgerät
JP2618501B2 (ja) * 1989-10-30 1997-06-11 株式会社日立製作所 低温用スクロール式冷凍装置
DE4213763B4 (de) * 1992-04-27 2004-11-25 Unaxis Deutschland Holding Gmbh Verfahren zum Evakuieren einer Vakuumkammer und einer Hochvakuumkammer sowie Hochvakuumanlage zu seiner Durchführung
US5733104A (en) * 1992-12-24 1998-03-31 Balzers-Pfeiffer Gmbh Vacuum pump system
GB9408653D0 (en) * 1994-04-29 1994-06-22 Boc Group Plc Scroll apparatus
EP0863313A1 (en) 1997-03-04 1998-09-09 Anest Iwata Corporation Two stage scroll compressor
ATE229612T1 (de) * 1997-08-26 2002-12-15 Crt Common Rail Tech Ag Spiralverdrängermaschine für kompressible medien
US6050792A (en) 1999-01-11 2000-04-18 Air-Squared, Inc. Multi-stage scroll compressor
JP4031222B2 (ja) * 2001-09-21 2008-01-09 アネスト岩田株式会社 スクロール式流体機械

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
TWI679348B (zh) * 2015-03-11 2019-12-11 三浦工業股份有限公司 渦捲式流體機械
TWI679347B (zh) * 2015-03-11 2019-12-11 日商三浦工業股份有限公司 渦捲式流體機械

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