JP2011074923A - スクロール圧縮機のためのスクロール壁の構造 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明は、スクロール圧縮機のためのスクロール壁の構造に関する。スクロール壁構造は、固定スクロール壁を有する固定スクロールと、旋回スクロール壁を有する旋回スクロールとから構成される。スクロール壁構造は、その半径方向外側部分に入口を備え、半径方向中央部分に出口を備える。旋回スクロール壁と固定スクロール壁とによって、入口から出口へと延びる第1の流路が形成され、入口から第1の圧力にて流入したガスは、第1の圧力に比べて高い圧力である、第2の圧力にて出口から排出される。スクロール壁構造は、第2の入口を備え、これを通ったガスは第3の圧力にて流入し、第2の流路を流れて、第2の圧力にて出口から排出される。従って、2つの流路によって、それぞれの入口が提供される。
【選択図】図5(a)
Description
本発明によれば、上述したスクロール壁構造を備えてなる、スクロール圧縮機が提供される。
本発明を良く理解できるように、様々な実施形態を例示的に示し、添付図面を参照して以下に説明する。
当業者は、かかる構造について、その他の多数の利点と用途を認識するだろう。
図4に示したスクロール壁構造60は、固定スクロール壁64を有する固定スクロール62と、旋回スクロール壁66を有する旋回スクロールとから構成される。構造60は、第1の入口68と、出口70と、第2の入口72とを備える。構造60は、2つの開始点を有し、すなわち、2つの第1の流路71は、入口60から1回転ないし1巻き分だけ延びた後に、一点に収束している。第2の入口72は、第1の流路71が収束している場所に設けられる。第2の流路73は、第2の入口72から出口70へと延びていて、第2の流路の全長を越えると、第1の流路71と合流する。図4に示すように、2つの開始点を設けることによって、入口68からポンプ送出するガスの量を増やすことができるという利益が得られる。スクロール構造60におけるその他の点は、図3に示した構造と同じである。
図5〜図8は、図3に関連して説明したスクロール壁構造に対する、4つの改変例を示している。図5(a)、図6(a)、図7(a)、及び図8(a)は固定スクロール壁だけを示しており、また、図5(b)、図6(b)、図7(b)、及び図8(b)は、固定スクロール壁と旋回スクロール壁との両方を示している。
図5及び図6に示した構造は、それぞれの入口にてポンプ送りされるガス種をある程度、隔離することが望ましいような、ある種のポンプ用途においては、さらに有利である。従って、これらの構成によれば、第1の入口と第2の入口とは、2つの入口から独立しているので、互換的に用いることができる。
Claims (11)
- スクロール圧縮機のためのスクロール壁の構造であって、この構造が、
固定スクロール壁と、前記固定スクロール壁に対し旋回運動するように装着された旋回スクロール壁とを包含し、使用時に、複数の三日月形ポケットが、両壁の間に形成され、前記旋回スクロール壁の旋回運動中に、複数の螺旋状流路に沿って放射方向内向きに付勢されてその寸法が圧縮され、該三日月形ポケットの各々は両壁への360°の範囲にわたる巻き付き持って延びており、
前記複数の流路は、同時に異なる圧力にてポンプ動作するために有する入口と、第1の入口から出口まで延びた第1の流路と、第2の入口から出口まで延びた第2の流路とを有し、
前記第2の流路が、第1の流路と合流する前に第2の入口から少なくとも一回の巻き付きを持って延び、第2の入口が第1の流路から隔てられていることを特徴とする構造。 - 第2の流路は、第1の流路と合流する前に、第2の入口か二つの巻き付きを持って延びていることを特徴とする請求項1に記載の構造。
- 第1の入口は、第2の入口から隔てられており、
ポンプ動作中における第2の入口の圧力は、第1の入口の圧力に比べて高く、または、低くなっていることを特徴とする請求項1または2に記載の構造。 - 請求項1乃至3のいずれか一項に記載に従ったスクロール壁構造を備えていることを特徴とするスクロール圧縮機。
- 請求項1乃至3のいずれか一項に記載に従った第1及び第2のスクロール壁構造を備えていることを特徴とするスクロール圧縮機。
- スクロール壁構造における固定スクロール壁は、両方の構造に共通する固定スクロールの一部分として形成されていることを特徴とする請求項5に記載のスクロール圧縮機。
- 差動ポンプシステムであって、このシステムが、両者間に相互結合部を有してなる少なくとも2つのチャンバと、比較的低い圧力にてポンプ動作すべく、片方のチャンバに入口を結合されたターボ分子ポンプとを有する、請求項4乃至6のいずれか一項に記載のスクロール圧縮機とを備え、
スクロール圧縮機の片方の入口は比較的高い圧力にてポンプ動作すべく他方のチャンバに結合され、スクロール圧縮機の他方の入口はターボ分子ポンプをバッキングすべく同ポンプの排気口に結合されていることを特徴とする差動ポンプシステム。 - スクロール圧縮機における第2の入口は、比較的高い圧力にてポンプ動作すべく前記チャンバの前記他方に結合され、スクロール圧縮機における第1の入口は、ターボ分子ポンプをバッキングすべく同ポンプの排気口に結合されていることを特徴とする請求項7に記載のシステム。
- スクロール圧縮機における第1の入口は、比較的高い圧力にてポンプ動作すべく前記チャンバの前記他方に結合され、スクロール圧縮機における第2の入口は、ターボ分子ポンプをバッキングすべく同ポンプの排気口に結合されていることを特徴とする請求項7に記載のシステム。
- ターボ分子ポンプは、スプリット・フロー・ポンプであって、ターボ分子ポンプのステージ間の入口は、前記チャンバにポンプ動作すべく同チャンバに結合されていることを特徴とする請求項7乃至9のいずれか一項に記載のシステム。
- 前記スクロール圧縮機における第1の入口は、前記チャンバとターボ分子ポンプの排気口とに結合されていることを特徴とする請求項7乃至10のいずれか一項に記載のシステム。
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