TW201109529A - Vacuum pump system - Google Patents

Description

201109529 六、發明說明： 【發明所屬之技術領域】 本發明係有關於—種真空泵系統，其包括複數個被相 互連接之真空泵。 【先前技術】 上述型式之真空泵系統包括兩個以上的通常被串聯 配置之真空泵。欲被輸送之介質（通常是氣體）將因此藉 一第一泵而經由此泵之入口被吸入，且然後將經由此泵出 口而被輸送至相鄰之第二真空泵。通常，在一包括兩個空 泵之系統中，第二真空泵將對抗環境壓力而執行輸送程 序。可選擇地，亦可配置複數串聯或部分地相互平行之真 空泵，其中通常在輸送方向上之最後一個真空泵將進行對 抗環境壓力之壓縮。在此一配置型式中，前面之多個用來 對抗環境壓力而進行壓縮之真空泵經常係以旋轉葉真空 泵、滑動葉真空泵、爪式真空泵、多級式魯氏真空泵、及 螺旋真空泵之型式被設置。在此類泵系統中，在輸送方向 上之第一個泵（最低壓力產生於其入口處）通常被設置成 一魯氏泵。 習知真空泵系統包括一支撐架體或框體，其上配置有 多個單獨之真空泵。例如，可借助於多個設置在泵殻體上 之腳座而將此諸真空泵安裝於此架體上。然後’此諸真空 泵之入口及出口將藉由剛性或撓性導管或藉由特殊之轉 接器而被相互連接。在泵作業過程中所發生之諸重量力與 201109529 諸氣體力將被該架體大大地承受。在此類泵系統中，可利 用一堆高機（forklift)來舉升及移動該架體（亦即從下 方），或可利用一起重機並藉助於多個起重機小孔（crane eyelets)。在一方面，此類包括一可供支撐諸單獨泵之架 體的真空泵系統具有下以下之優點：在大多數情形下，此 諸單獨泵可獨立地被相互交換。然而，此類系統之一重大 缺失在於此架體需要相當大之空間。另外，此架體以及所 必需之諸連接元件將產生額外之花費。 在另一類型之習知真空泵系統中，多個真空泵（通常 係兩個泵）被直接地相互連接。在此情形下，並無設置個 別之架體。此兩真空泵間之連接係藉由直接地或透過一轉 接器，將第一真空泵之出口凸緣連接至第二真空泵之入口 凸緣而達成。在此實施例中，在作業過程中所發生之重力 及氣體力必須被諸凸緣承受且必須被傳遞至諸真空泵。在 此，通常不會設置可供運送此真空泵系統用之起重機小 孔，此乃因爲諸凸緣在運送期間將承受巨大應力，並因此 將冒高度之損壞風險。另外，經由入口及出口凸緣連接兩 泵具有以下缺點：此諸凸緣及此轉接器各自地必須很堅 固，且必須配備有可供螺旋連接用之自由區域，以便可承 受及傳遞對應之力且首先可組合此配置。此將導致額外之 費用。除此之外，經常發生的是此兩相互連接之真空泵的 輪廓並非一致的，以致使得其中一個泵的輪廓因此突出超 過另一個泵的輪廓。此將導致相當大之空間需求。 201109529 本發明之目的在於提供一種小型之真空泵系統，其僅 具有最小之空間需求。 【發明內容】 根據本發明，上述之目的可藉由申請專利範圍第1項 中所述之諸特徵而達成。 本發明之真空泵系統包括至少兩個真空泵。在首先之 情形中，一第一真空泵之一泵出口被配置爲與一第二真空 泵之泵入口成流體連接，而此第二真空栗則係沿流動方向 被配置在下游處。此連接係藉由將出口凸緣連接至入口凸 緣而被達成。較佳地，此連接係經由諸凸緣而被直接地建 立。或者，亦可透過導管或其他中間元件而達成間接之連 接。本發明提供如下：在兩泵殻體上，至少三個連接點被 以機械方式相互連接以便於力傳遞及/或力矩傳遞。根據 本發明，此諸連接點中之至少兩者係與凸緣無關的。 亦可設置如下：第二真空泵之泵入口被連接至第一真 空泵之泵入口。在此一實施例中，兩個被相互平行配置之 相同真空泵被彼此連接成使得一泵將從另一泵之抽吸區 域處吸入流體，以便使兩個泵均將可在相同之作業條件下 運轉，而另一泵之自由抽吸凸緣可被用於在其上裝設一另 外之真空泵，隨意地可爲一不同類型之真空泵。取代使用 一直接凸緣連接，此諸相同真空泵之兩抽吸區域亦可經由 一外部導管而被連接。 因此，根據一第一較佳實施例，其依照本項技藝之狀 201109529 態而實現，經由兩個互連凸緣而達成第一機械式連接，以 致使得此出口凸緣與入口凸緣之連接將形成一用於傳遞 —部分所發生之力及/或力矩的第一連接點。此外，根據 本發明，至少兩個另外之連接點被設置在此兩栗殻體上。 在此，此兩連接點較佳地分別包括一位於兩泵殼體上之連 接元件，其中根據一較佳實施例，一連接點之此兩連接元 件被配置成相互面對。同樣在該至少兩個另外連接點上， 力及/或力矩之傳遞將發生。與兩個真空泵經由諸泵凸緣 之直接連接相比較，額外提供至少兩個另外之連接點將具 有以下之優點：僅一部分之力及/或力矩必須被凸緣連接 所承受。此依序地提供以下優點：諸凸緣本身被允許可較 不堅固。尤其，可將此三個連接點配置在彼此相距一儘可 能最大之距離，以便可達成力及/或力矩之有利傳遞。因 此，根據一尤其較佳之實施例，至少兩個連接點係位於諸 凸緣表面之外側，此諸凸緣表面亦即那些在其中該兩凸緣 被相抵平放且其中其等藉由螺旋連接或類似之連接而被 隨意地相互連接的表面。較佳地，此諸連接點中之至少兩 者被配置在此諸依標準所界定之凸緣表面的外側。在大的 凸緣系統中，其可能只足夠再提供一個額外之連接點來達 成力及/或力矩之充分傳遞。 尤其較佳地，該至少兩個與凸緣無關之連接點可承受 並分別地傳遞在作業中所發生之力及力矩的25%，更佳地 至少40%。藉此，位於泵入口及泵出口上並連接至其上之 201109529 諸凸緣將可不必大而重’且因此可達成一對應地較 之設計。 根據一另外之實施例’其設置至少三個與凸緣 連接點。尤其，此具有以下之優點：經由入口凸緣 凸緣之流體連接可因而有一較簡單之形狀。尤其， 凸緣連接設計成使得其將大體上只當作一流體連接 大致上無力之傳遞。此一設計尤其在很困難接近此 接之情形中係有利的。在此實施例中，例如，介於 與泵入口間之凸緣連接可被設計成僅需實施一個 能，且如有必要再經由對準銷或類似者（例如具有 圈之殼體密封件）額外地提供一定位功能。此具有 優點：位於此兩真空泵間之機械式連接可被設置在 於接近之地點。 因此，在此實施例中，此泵入口與此泵出口尤 強制鎖定之方式被相互連接。尤其，不提供任何螺 連接。 特別較佳地，諸連接元件被至少部分地形成該 空泵之一殼體壁的多個外側的突出部。有利地，此 部更易於接近，尤其，此類突出部亦可更容易地被 理。因此，將可特別地以一種容易之方式來加工此 部之接觸表面，並使其可獲得盡可能最平面之形狀 地，在此方面，兩個相互面對之連接元件在一連接 包括兩個相互成平面平行之接觸面。依此方式尤其 少花費 無關的 及出口 可將此 ，且將 凸緣連 泵出口 密封功 中心環 以下之 更方便 其不以 旋式之 對應真 類突出 加工處 諸突出 »較佳 ;點處， 可避免 201109529 的是：張力可能因爲此真空泵系統之組裝過程而被導入諸 個別真空泵之殻體內。另外，在此方面，尤其較佳地，一 真空泵之至少兩個且更佳係全部接觸面被配置在一平面 中。較佳地，此平面對應於一凸緣接觸面。而此特別在多 個實施例中係較佳的，其中該凸緣連接亦用於傳遞力及力 矩。當使用三個或更多個連接點時，將可有利地將此諸出 口及入口凸緣之凸緣表面保持在一大約 0.1mm之距離 處，但條件是密封系統必須容許此一尺寸，以便使此凸緣 系統將不必承受任何連接力或力矩。因此可避免一泵殼體 可能由於連接力而被變形，而此變形將導致諸泵轉子之運 轉間隙減小之後果。 較佳地，諸單獨之連接點額外地配備有保持元件。此 諸保持元件例如包括螺絲、夾固元件或類似者，以便用於 確保此真空泵系統之諸單獨真空泵的機械式連接。諸單獨 之保持元件例如係與形成諸連接元件之諸突出部一·體成 型。例如，一保持點可被構形爲使得將被相互連接之該兩 真空泵中之一者包括一圓柱形突出部，其上坐落一足形突 出部，且相對於第二泵殼體成橫向向外地伸出。接著，可 使用一螺絲作爲一保持元件，其將被螺旋轉動穿過上方泵 之足形突出部，並進入下方泵之圓柱形突出部內。亦可提 供多個分離之保持元件；在此情形中，例如提供兩個被配 置成圓柱地相互面對且彼此相鄰接之突出部，然而此諸突 出部相互間卻不被以機械方式連接。藉助於爪狀連接、小 201109529 孔（eyelet)連接或類似者，此真空泵之兩殻體然後可被相 互連接，較佳地在其等之諸側壁上的外側。 根據一另外之較佳實施例，一連接點之至少一連接元 件被構形爲可允許此兩連接元件在此連接點處可相對於 彼此位移。較佳地，在此情形中，此兩連接元件中之一者 係一軌道狀形式者，以便使得此連接點之第二連接元件可 被移動於第一軌道狀連接元件內。尤其較佳地，兩個連接 點係以此方式被構形，其中該兩位移手段係相互平行。此 例如具有以下之優點：製造公差可被容易地補償，且由於 組裝過程所產生之拉伸可被避免。另外，此得以將具有不 同大小之真空泵相互連接。藉由提供此類之軌道狀連接元 件，將有助於組裝及拆除過程，尤其是在狹窄空間之條件 下。如果此諸軌道狀連接元件被適當地構形，亦可對兩個 具有不同熱膨脹之真空泵進行補償。 另外，可在多個連接元件之間設置間隔體元件以供達 成高度對等。此一設置係特別有利的，因其提供將不同的 泵相互連接的可行性，從而得以轉化爲一個模組系統。此 諸對應之間隔體元件可爲剛性或彈性的》 根據一尤其較佳之實施例，諸單獨連接元件之位置被 至少部分地選定成使得此諸連接元件被配置在泵殼體之 諸側壁之區域中及/或在諸支撐凸緣之區域中。此將有利 地使力及/或力矩可被良好地導入此泵殼體內。因此’可 確保的是此被導入之力及/或力矩將只造成諸泵殼體之盡 -10- 201109529 可能最小的變形。此將由於在諸泵殼體與諸泵元件（諸如 轉子）之間非常狹小之間隙而特別地有利。 根據本發明之一尤其較佳之實施例，或上述諸實施例 之一可修改形式，一轉接器元件被設置在兩個將被連接之 真空泵間。此使得例如可以將非常不同之真空泵相互連 接。尤其’一並不包括多個分離式連接元件之真空泵藉此 可經由出口凸緣而被連接至另一個包括複數個連接元件 之真空泵。爲此目的，此轉接器元件較佳地包括至少兩個 轉接器腳座。上述形式之連接係特別可行的，如果該上方 泵之凸緣的尺寸係足以承受力及/或力矩。該下方泵依序 地會被加壓’以致使得至少兩個與凸·緣無關之連接點會承 受並分別傳遞在作業過程中所發生之力的至少2 5 %，較佳 地至少40% » 本發明之具有至少兩個真空泵之真空泵系統的上述 諸個別實施例具有以下之特別優點：藉由入口及出口凸緣 的位置以及諸連接點的位置的對應配合，將可實現一非常 小巧之真空泵系統。尤其，此真空泵系統具有一短結構長 度’因爲例如可將兩個真空泵中之一較小者配置在另一較 大真空泵之輪廓內，以便使得該較小泵不會突出超過該較 大泵。特別在魯式泵之情形中，出口凸緣之位置可在軸向 方向上被自由地選定，至少在某些限制之內。因此，將可 完成一相對應之幾何配合，且諸泵相對於彼此之位置因此 可被改善’以便產生一小巧之真空泵系統。 201109529 尤其’本發明在諸單獨真空泵上設置多個連接元件將 使得可以提供一包含不同真空泵（尤其是前置真空泵及高 真空泵）之模組系統。不同性能水平之不同泵可被以一簡 單之方式相互組合，因此得以輕易地實現具有非常不同之 性能譜的真空泵系統。因此，此系統之費用可被維持在非 常低。另外’本發明之各種實施例具有使一小型真空泵系 統額外具有高堅固性之優點。再者，組裝過程可被顯著地 簡化。藉該較佳之模組系統，高撓性將可達到，此將可實 現一可測定之模組系統。另外。當然可將兩個以上之泵相 互組合在一真空泵系統中。再者，由於有利之力及/或力 矩的傳遞，使得可以藉助於一起重機或一地面輸送系統 (例如一堆高機）來運送此整個真空泵系統。 【實施方式】 第1至5圖中之每一者均係一真空泵（諸如螺旋式真 空泵）之高度示意圖。在各自之真空泵殼體之各自上側面 10上，將安裝有此真空泵系統之第二真空泵（未示於圖）， 且與第一真空泵12(示於圖中）相連接。在第1至5圖 中所示之全部真空泵1 2中，上側面1 0被顯示具有一圍繞 —入口開口 16之入口凸緣14。此在本實施例中具有四邊 形截面之入口凸緣14當然亦可爲圓形。在本實施例中， 入口凸緣14配備有四個繫固孔18。與位於被安置於其上 之第二泵（將被連接至第一泵12)之出口凸緣上的多個 相對應繫固孔相合作，此兩凸緣將可用機械方式藉由螺絲 -12- 201109529 而被相互繫固。另外，此諸示於第1至5圖中之真空泵 1 2包括一側面出口 2 0。 爲了產生多個連接點，第1圖所示之實施例配備有六 個從該殼體側面1 0處向上延伸之圓柱狀連接元件2 2 »經 由這些柱形的圓柱狀連接元件22，一與第二或上方真空 泵之連接可藉由使用各種不同之連接選擇（如將配合第6 至1 〇圖所說明者）而被建立。在第1圖所示之實施例中， 因此在該凸緣1 4外側設有六個與凸緣無關之連接元件 22，以便形成達六個連接點。第一泵12與在其上方之第 二泵的連接因此已經可單獨藉由該等連接點本身便可用 機械方式而予以達成。此具有以下之優點：僅有小的力及 /或力矩必須被經由凸緣1 4傳遞。因此，將不需要以一特 別堅固或穩固之方式來設計此凸緣14» 尤其在小的真空泵中，可能僅足以提供兩個連接元件 22(第2圖）。與被配置在其上方之第二真空泵間的連接 於是將藉由此兩連接元件22以及凸緣14而被執行。 根據一另外之可行實施例，其設有三個與凸緣無關之 連接元件22(第3圖）。因此，存在有一個可經由三個連 接元件22之三點式連接。在此實施例中，凸緣14不需能 承受力及/或力矩。 在第1至3圖所示之諸實施例中，諸單獨之圓柱狀連 接元件22包括多個可供收納繫固螺絲用之螺紋孔24。同 樣在本實施例中，將可提供此兩真空泵之一不同連接，如 201109529 下文中配合第7至10圖所述者》 一個此類可替代之連接被顯示於第4圖中。在此實施 例中，此連接並非經由諸連接元件22執行。在此，此諸 連接元件22係成一圓柱狀且包括一可供在其上安置該配 置於其上之真空泵的諸圓柱狀足形元件用之平面狀表面 26，而該等元件例如對應於諸連接元件22 »因此，在此 實施例中，諸連接元件22僅用以支撐而不用於建立一以 機械方式被固定之連接。此機械式連接係經由多個分離之 保持元件28而被執行。在本實施例中，對每連接元件22 提供一個別的保持元件28，而此保持元件28被配置在此 真空泵之一外壁30上。這些保持元件被設計成具有U形 凹部之突出部，因此可用於藉由一螺紋桿或類似者而附接 至一位於第二真空泵上之相對應保持元件（在此方面，將 配合第9圖而說明於後）。 根據一另外之較佳實施例（第5圖），多個軌道狀連 接元件32被設置以取代該等圓柱狀連接元件22»諸連接 元件32包括一軌道33，其具有一矩形截面且被固定地連 接至下方泵12之殼體上。在該軌道33上，一被固定地連 接至上方泵之殼體上之架體37，被導引以供在該泵殻體 的縱長方向39上移動。爲了調整，另可設置一側向導引 •件3 3 a。藉此，上方泵可輕易地相對於下方泵被調整。尤 其依此方式可確保沒有張力可因組裝程序而被導入凸緣 14內。爲達此兩泵之機械式連接，此實施例亦在下方泵 -14- 201109529 之諸側壁30上以及在上方泵（此上方泵未示於圖）上配 備有多個保持元件28。 在一真空泵系統之兩個以上的泵之間的連接可用下 文中配合第7至10圖所說明之方式被設置。 在一連接點34之第一實施例中（第7及8圖），下方 泵12之上側面10配備有圓柱狀連接元件22。一上方泵 之殼體3 6包括一側向小孔狀突出部3 8。此突出部係由其 位於連接元件22之平面狀上側面上之底側面所支撐。另 外，該上方泵殼體36之連接元件38上設置有一孔40, 其係與下方連接元件22之螺紋孔24成直線對準。因此， 可藉由一螺絲42來進行固定（第8圖，未示於第7圖中）。 另外，可藉由將兩個耳狀連接元件38相互連接而實 現一連接點34(第9圖）。在第9圖所示之實施例中，此 兩耳狀連接元件38並不彼此緊鄰，而是配備有一中間間 隔體元件44。此元件44可爲剛性或彈性的。此間隔體元 件亦可被省略，此取決於此諸連接元件之形狀。 此兩較佳地被配置在泵殼體之一外壁上的耳狀連接 元件38亦可用作爲保持元件。這些保持元件因此將完成 此兩栗之一大致上機械式連接，如上面有關該等保持元件 28之說明中所述（第4及5圖）。此外，亦設有多個連接 元件’然而此兩泵在其上係在無機械式連接之下彼此成上 下鄰接。這些連接元件可例如依照先前已配合第4及5圖 所述般地被設計。 ϋ -15- 201109529 另外，一連接點34亦可以第10圖所顯示之方式被設 計。隨意地’在此，一間隔體元件44被配置在一耳狀連 接元件3 8及一圓柱狀連接元件2 2之間，而此諸元件3 8 及22被再度藉由一螺絲42而被相互繫緊。 第1 1圖係一根據本發明所實施之泵系統之實施例的 側面圖。在此泵系統中。下方之第一泵1 2被例如設置成 一螺旋式真空泵之型式。第二或上方泵35被設置成一魯 氏真空泵之型式。此兩泵12及35之連接係以此種可相互 調整之方式被提供，以便使得此真空泵系統成爲盡可能最 小巧之設計。尤其。當從側視圖觀看時，上方泵3 5不會 從側面伸出超過下方泵1 2。如第1 1圖中之右手邊上所示 的’此兩泵12及35之連接係經由兩個被前後配置之連接 點34而被執行。這些連接點34係如第9及10圖中所述 般地被設計，其具有一可供進行高度調整用之間隔體元件 44。被設置在第U圖中之左側上者係另外兩個亦成前後 配置之連接點34，其中這些連接點係如第7及8圖中所 述般地被設計。在此，並無設置任何間隔體元件。 因此’在該魯氏泵35之底視圖中（第12圖），此四 個連接點34之四個連接元件38係可見的。另在本視圖中 所示者係一被連接至下方泵12之入口凸緣14上的出口凸 緣46。此連接可經由位於諸對應孔1 8中之螺絲（爲此目 的而設置的）而被執行。然而，因爲並非絕對需要經由該 等凸緣46、14來造成力及/或力矩的傳遞，所以亦可用多

C -16 · .201109529 個對應之密封元件而提供一純粹之流體連接。此具有以下 之優點：在此諸可能很困難接近之凸緣14、46上，並不 需執行任何要藉由螺絲進行之附著。 一介於兩個凸緣14及46間之凸緣連接係以範例之方 式被說明於第13圖中。在此一凸緣連接中，實質上並無 力及/或力矩的傳遞發生在此兩凸緣14及46之間。此連 接係一介於此兩凸緣14及46間之純粹流體連接。爲此目 的，凸緣14配備有一圍繞下方泵12之入口 16周圍的環 狀溝槽48。在此環狀溝槽48上設有一密封元件52,藉此 產生一抵住上凸緣46之密封效果。此兩殼體在諸連接點 34上將藉螺絲42而被相互連接且將相互成直線對準。因 此，亦可經由對準銷來進行直線對準。 根據一栗系統之另一實施例，一上方或第二栗56(第 14圖）係專門經由其出口凸緣46而被繫固至下方泵12 上。爲了實現對發生之力及/或力矩的良好接收，出口凸 緣46並不直接地被連接至入口凸緣14。取代地，一轉接 器元件58被設置。此轉接器元件被構形爲可在此兩凸緣 46、14間實現一機械式及流體性連接，且其另包括兩個 轉接器腳座60。因此，當在平面圖中觀看時，本實施例 之轉接器元件58係大致成γ形，以便使此轉接器腳座60 可被彼此前後配置》轉接器腳座60被連接至下方泵12之 諸連接元件22’其中根據本發明，此連接可依照在本文 之各種範例中所述之方式被提供。 •17- 201109529 爲了將可能具有一沉重重量之上方真空泵安裝至下 方真空泵之泵殼體上，及爲了較佳地在沒有力與力矩傳遞 之下進行此安裝，特別有利的是將該轉接器元件5 8設計 成使得其可以一X形之形態被固定在該四個連接點22上 方，且下方泵12之入口凸緣14將保持成幾乎不受應力之 狀態。 當然’本發明之泵系統可包括不只兩個泵，且還可包 括兩個以上的泵。 雖然本發明已參照其特定之實施例而被敘述及顯示 於上’但此並非用以將本發明限定於那些說明性實施例。 那些熟習本藝之人士將承認許多變更與修改均可在不脫 離本發明如由下附之申請專利範圍所界定之範圍下而被 達成。因此’在本發明之範圍內將涵蓋所有落在所附申請 專利範圍所界定之範圍內的此類變更與修改以及其均等 物。 【圖式簡單說明】 本發明之完整及使本藝中之一般技術人士可據以將 其實施之內容（包括其最佳模式）已被詳細提出於上列說 明中，而此說明之內容則包含並參照本案之附_，其中·· 第1至5圖係一真空泵系統之一真空泵之多個不同實 施例的平面圖； 第6圖係一沿著第5圖中之箭頭vi所觀看到之放大 剖面圖； -18- 201109529 第7圖係一顯示一連接點之較佳形態的示意平面圖； 第8圖係一沿著第7圖中之VIII線所取之示意剖面 圖； 胃9及1 〇圖顯示多個連接點之較佳實施例的示意側 面圖； 第Π圖係一真空泵系統之一實施例的示意側面圖； 第1 2圖係一如沿著第丨〗圖中之箭頭XII方向所觀看 到之上方真空泵之底側面的視圖； 第丨3圖係一顯示此凸緣連接之一實施例的示意剖面 圖；及 第1 4圖係一真空泵系統之另一實施例的示意側面 圖’而此真空泵系統具有一轉接器元件。 ς 要元件符號 說明 ] 10 上 側 面 12/35/56 真 空 泵 14 入 □ 凸 緣 16 入 □ 開 □ 18 孔 20 側 面 出 □ 22 連 接 元 件 24 螺 紋 孔 28 保 持 元 件 30 外 壁 -19- 201109529 32 連接元件 3 3 軌道 33a 側向導引件 3 4 連接點 3 6 泵殼體 3 8 突出部 3 9 縱長方向 40 孔 42 螺絲 44 間隔體 46 出口凸緣 48 溝槽 5 8 轉接器元件 60 轉接器腳座 -20-

Claims (1)

1. 201109529 七、申請專利範圍： 1. 一種真空泵系統，其包括： —第一真空泵，其包括一泵入口及一泵出口； —第二真空泵，其包括一泵入口及一泵出口； 該第二真空泵之該泵出口及/或該泵入口藉助於多個 凸緣而被流體連接至該第一真空泵之該泵入口，其中 一第一泵殼體及一第二泵殼體被以機械方式相互連接 在至少三個連接點上，以便允許力的傳遞，而該等連接 點中之至少兩者係與凸緣無關的。 2. 如申請專利範圍第1項之真空泵系統，其中各連接點包 括兩個相互面對之連接元件。 3 .如申請專利範圍第1項之真空泵系統，其中至少兩個連 接點被配置在該等凸緣之表面的外側。 4.如申請專利範圍第丨項之真空泵系統，其中至少兩個與 凸緣無關之連接點被構形或配置成使得其等組合地可轉 移在作業中所發生之力及力矩的25%，較佳地至少40%。 5 ·如申請專利範圍第1項之真空泵系統，其中至少三個連 接點係與凸緣無關的。 6.如申請專利範圍第5項之真空泵系統，其中該泵入口與 @栗出Q之連接係大體上專爲一流體連接。 7·如申請專利範圍第6項之真空泵系統，其中在該泵入口 與該栗出口之間並無設置強制鎖定式連接，尤其無螺旋 式連接。 -21 - 201109529 8 ·如申請專利範圍第1項之真空泵系統，.其中該等連接元 件包括多個從一殼體壁處延伸之突出部。 9. 如申請專利範圍第1項之真空泵系統，其中一連接點之 多個相互面對且相互連接之連接元件包括兩個相互成平 面平行之支撐面。 10. 如申請專利範圍第9項之真空泵系統，其中一真空泵之 至少兩個連接元件的支撐面被配置在一平面中，較佳地 在一凸緣對接面之平面中。 1 1 .如申請專利範圍第1項之真空泵系統，其中該等連接點 包括保持元件，而該等保持元件較佳地係與該等突出部 一體成型或被分離地設置。 12.如申請專利範圍第2項之真空泵系統，其中至少一連接 點之諸連接元件係相對於彼此可位移。 1 3 .如申請專利範圍第2項之真空泵系統，其中一間隔體元 件被設置以補償諸相互面對之連接元件間之高度差，尤 其是其等之諸對接面間之高度差。 14. 如申請專利範圍第2項之真空泵系統，其中該等連接元 件被至少部分地配置在該泵殼體之諸側壁的區域中及/ 或在諸支撐凸緣之區域中。 15. 如申請專利範圍第2項之真空泵系統，其中一轉接器元 件被設置在兩個相互連接之真空元件之間，以便連接諸 相互面對之連接元件’而該等真空泵中之一者隨意地僅 包括一被形成爲一凸緣之連接點。 -22- 201109529 1 6 .如申請專利範圍第1 5項之真空泵系統，其中爲了承接 一上方真空泵之重量，該轉接器元件包括至少兩個轉接 器腳座。 17.如申請專利範圍第15項之真空泵系統，其中爲了承接 一上方真空泵之重量，該轉接器元件包括至少三個轉接 器腳座，較佳地四個腳座，以便可達到使得該入口凸緣 較佳地保持在無應力下。 1 8 .如申請專利範圍第1項之真空泵系統，其包括兩個以上 之真空泵。 -23-