TW201008641A - Method for making glass frit powders using aerosol decomposition - Google Patents
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Description
201008641 六、發明說明: 【發明所屬之技術領域】 曰本發明係關於一種耐腐飯反應器t、為該反應器管内部 j供純化塗層或耐腐姓塗層之方法、及使用該时腐银反應 器管來製造高鉍玻璃粉末之方法。 【先前技術】 許多產品應用需要具有-或多種下述性質之玻璃粉末: 高純度、受控化學性質、球形形態、小平均尺寸、窄尺寸 分佈、及幾乎沒有結塊。需要此等特性之玻璃粉末應用之 實例包括(但不限於)用於製造電子器件之厚膜膏糊。厚膜 膏糊係存於有機媒劑中之粉末混合物,其中該有機媒劑係 在將該膏糊施加至基板上之後藉由於高溫下燒製該組合物 來去除。 前驅體溶液之霧化液體噴霧的霧劑分解係製造大體呈球 形玻璃粒子的有用方沐。+ 1 有用万法在此一方法中,將含最終玻璃中
所期望7L素的前驅體溶液霧化以產生霧劑。隨後該等霧劑 粒子輸送穿過反應管,在該反應管中去除溶劑並將該等霧 使“體化合物轉化為產物玻璃粒子之 溫度。在該等高溫下,需要使用由適宜材料構建之反應器 管。 需要用於製造玻璃粉末之改良霧劑方法。業内亦需 要具有改良性質之玻璃、及製造玻璃之方法。另外,業内 需要可用於藉由霧劑方法來製造玻璃之方法中之改良器 件0 141465.doc 201008641 【發明内容】 因此,本發明係關於可藉由含鉍化合物及含鉍及鹼金屬 化合物於高溫下在氧化環境中耐腐蝕之陶瓷或玻璃-陶究 反應器管、用於形成由可使所形成管於霧劑反應條件下耐 腐姓之二氧化矽層及矽酸鉍層組成之保護塗層之方法、及 該管用於製造含高鉍玻璃及含鉍及鹼金屬之玻璃之用途。 【實施方式】 用於大容積工業製程製造中之化學反應必須考慮許多因 素以維持強健、高品質、高產量及成本有效之方法來製造 各材料。一種作為本發明標的之此類化學反應係玻璃粒子 之製造,其中最終玻璃粉末可含有相對較高濃度之鉍離子 以及其他元素(如諸如鋰、鈉、及/或鉀等鹼金屬離子)以達 成所期望玻璃性能及性質。 本發明係關於用於製造玻璃粉末之改良霧劑方法。在一 個實施例中,玻璃粉末可含有相對較高漢度之叙離子。此 外,本發明係關於具有改良性質之玻璃、及製造玻璃之方 另外,本發明係關於用於藉由霧劑方法來製造玻璃之 方法中之改良器件。 由霧劑方法來製造玻璃之方法中,破璃材料可在反 =霧化。在霧化玻璃材料之製程中,吾人認識到反應 :些破璃材料(例如’彼等含有高濃度鉍之材料)存在 璃之改_因此 '"人$硪到需要藉由霧劑方法來製造玻 法、用於霧劑方法中之改良器件、及需要使用 Μ等改良轉藉由霧财法所製得之玻璃。 141465.doc 201008641 經塗佈管 在本發明-個實施射提供經塗佈f。在該實施例之— 個態樣中,該等經塗佈管可係反㈣,且π於藉由霧劑 ^法來製造玻璃之方法中。該等經塗佈管具有適於高溫製 私(例如’ 之物理及化學性質。在—個實施例
_,該等管可具有在連續作業中使用之能力,可承受介於 ::溫度與最大作業溫度間之熱循環,且可具有六個月或 更長之有效使用哥命。在-個實施例中,經塗佈管可对霧 劑環境之腐姓。耐腐蚀性可防止以管材料製成之玻璃粉末 的污染。此外,耐腐钮性可防止該等管在製造製程期間失 效。 在-個實施例中,起始管可由一或多種熟習此項技術者 所瞭解之各種材料製成,包括陶瓷、玻璃_陶瓷、玻璃、 及金屬。在-個實施例中,該等管可係選自由下述各者組 成之群:Hexoioy® SiC及反應燒結管 及試件。在-個實施例中’起始管可包括一或多種下述材 料:碳化石夕、反應燒結碳化石夕、α·燒結碳化石夕(例如 H— SiC)、及氮化石夕。在一個實施例中,起始管可 包括反應燒結碳化石夕。 頒與Hampden-Smith等人之美國專利第6 338 8〇9號及頒 與Kodas等人之美國專利第M66,929號(其以引用方式併入 本文中)闡述了由陶瓷材料(例如,莫來石(mulHte)、熔融 一氧化矽、及氧化鋁)製成之反應管或金屬管。 -個實施制關於藉由切化合物及絲及臉金屬化合 141465.doc 201008641 物於高溫下在氧化氛圍中可耐腐姓之塗佈陶竟或玻璃-陶 竟之反應器官’其中該官内部上之塗層包括二氧化石夕層及 矽酸鉍層。 本文所用術語「腐蝕」定義為反應器管有害或不期望之 化學或物理變化。腐蝕之一個實例係反應器管被霧劑前驅 體溶解或滲透或對反應器管之任何化學或物理侵蝕,此可 導致反應器管失效或可導致正在製造之玻璃粉末受到污染 並由此結束反應器管在玻璃粉末製造中服務的使用壽命。 此外,增強反應器管於高溫下對霧劑之固有耐久性或堅韌 性之任何機制、或顯著延長反應器管之正常(固有)壽命之 任何機制定義為「耐腐蝕」。吾人認為,在本發明上下文 中,長使用壽命及很少對反應器管之化學或物理損害跡象 (該損害導致管破壞及/或反應器管之有效使用壽命終結)係 反應器管效用之關鍵屬性。 本發明中所用陶瓷之定義係來源於WD· Kingery,Ηκ
Bwen及D.R·训出咖之「Intr〇ducti〇n τ〇⑸咖-」 「陶:光[定義]為製造及使用具有作為其基本組份之無機非 金屬材料且主要由其構成之固體物品之技術及科學。陶瓷 材料之一些實例可係氧化鋁、方英石、石英、莫來石、 藍晶石、碳化矽、氮化矽、及鈦酸釔鍅」。 田各類里反應器管意欲用於本發明中時,其可藉由熟習 此項技術者所瞭解之方法來製造。在選擇製造方法中可能 要考慮霧劑方去所需之具體幾何形狀及公差。用於管製造 之例不性製造方法包括(但不限於)粉漿澆鑄、模製、或擠 141465.doc 201008641 出。 金屬、金屬合金、金屬混合物(例如鋼、不錄鋼始及 其合金、Inconel®(Special Metals公司之註冊商標,其係 指奥氏體(austenitic)鎳基超合金之家族)、鶴、麵、及鶴 翻合金)通常用作反應器容器或反應器管之構建材料以供 環境條件下反應,但更具體而言供高溫及/或壓力下及在 腐蝕性環境中反應。 α-燒結碳化矽(或SiC)亦稱作無壓燒結8丨(:。該材料通常 係完全緻密的’其中在最終燒製形狀中之孔隙率小於 1%。該材料因其低孔隙率而差不多具有玻螭樣外觀。由 該材料所製成之形狀通常以等壓方式壓製或擠出,其中將 細SiC粉末壓成淨形狀或近淨形狀。隨後實施部分生坯狀 態機械加工以達成預燒製淨形狀。然後在超過ΐ5〇〇ΐ之高 溫下燒製該片以完成燒結製程,其中該片之尺寸縮小15% 以上。儘管α-燒結SiC係極強材料,但其具有極低斷裂韋刃 性。若材料中出現裂縫,則失效通常係災難性的。此外, 該材料因其處理技彳㈣存在尺寸限制。極難製造該材料直 k大於4奂吋之S,且目前長長度不可能超過英吋。 燒結SiC通常用作熱電偶保❹、f具、密封件、熱 交換器管、聽。由於其非氧化物化學性f,㈣關注之 材料氧化超過150(TC。低於該溫度,α_燒結沉會在其表 面維持-層可使進-步氧化鈍化之保護性氧化物層。 反應燒結SiC係包括SiC晶粒之骨架網絡的完全緻密化材 料,其中本體内之間隙空間填充有金屬碎。藉由將陶究粉 141465.doc 201008641 末壓製或粉漿洗鑄成淨形狀來製造該材料。隨後在碳及石夕 (其滲入多孔本體内)存在下燒製該材料。碳與矽間之反應 形成將預形成sic晶粒結合在—起之Sic頸。任何額外矽殘 留於材料孔中以使其基本上不含孔。在該反應燒結步驟期 間尺寸變化極小。 反應燒結SiC之強度通常不如α_燒結Sic,但其由於矽相 而具有高得多的斷裂勒性。⑽训可製成相當大的形狀, 其中對尺寸之限制主要由於不牢固生&體及爐尺寸之處理 問題。RBSiC通常用作熏具、熱交換管、耐磨保護性形 狀、及防護具。如α_燒結Sic_#,其形成防止其於高溫 下進一步氧化之鈍化氧化物層.因矽相軟化之故,rbsk: 通常不用於高於1370。(:之溫度。 管之塗層 在本發明之-個實施财,經塗佈管可包括在反應器管 内部上之塗層。該塗層可包括一或多種選自由下述各者組 成之群的組份:二氧切、㈣叙、及其混合物。㈣層 可包括-或多H一或多層可包括一或多個選自由下述 各者組成之群的層备 增一氧化矽層、矽酸鉍層、及其混合 物0 ’、 在一個實施例中,-蠆作 —軋化矽塗層可包括一或多種選自由 了迷各者組成之群的結晶形式:方英石、石英、及鱗石 ΐϋΐΓ0實施例+1⑽塗層可包括一或多種選自由 下返各者組成之群的組伦 a , 、、伤.尨日bBi4Si3012及包括 Bi2〇3及
Si〇2組份之非晶形材 能样士 μ 叶在又一態樣中,非晶形材料可包 14I465.doc 201008641 括近似組成2Bi203.3Si02。 在含鉍組合物、含鹼金屬組合物、及其混合物存在下, 經塗佈管可耐腐蝕。在該實施例之一個態樣中,在高溫 (500°C-1300°C)存在下於氧化環境中,經塗佈管可耐腐 触。
在一個實施例中,在該等管或試件上所形成之塗層可包 括結晶氧化矽内層及包括結晶及非晶形矽酸鉍之外層。在 一個實施例中,結晶氧化矽層可係一薄(約3〇微米)層,可 包括柱狀晶粒,且可黏附至碳化矽基材。 在一個實施例中,矽酸鉍層可係比結晶氧化矽層厚之 層;矽酸鉍層可主要呈玻璃樣,且可含有一些結晶域。該 層可富含鉍,其中Bi/Si比率y,且在一個實施例中,其在 約2.7-4.0之範圍内,如使用裝配有能量色散光譜分析儀之 掃描電子顯微鏡所量測。在玻璃樣層内,亦可存在一些結 阳氧化石夕域。針對Hexoloy® 管及反應燒結SiC管二者 評價上述塗層。 製造經塗佈管之方法 在—個實施例中,可藉由多種方法形成塗層。該等方法 已為熟習此項技術者認可且該等方法包括(例如)電漿噴 塗、熱噴塗、預處理該管以形成耐腐料、及在製造含麵 玻璃粉末及含Μ及驗金屬之玻璃粉末之製程期間形成耐腐 蝕層。亦可藉由以下步驟來形成塗層:使用矽酸鉍玻璃粉 末^於適宜有機介質中之分散液,以該分散材料塗佈該管 内部’乾燥該分散液以去除溶劑’並隨後於適宜溫度下燒 141465.doc 201008641 製經塗佈管以使矽酸鉍層熔融。在一個實施例中,5 〇〇。〇 1300°C之溫度可用於形成矽酸鉍層。在一個實施例中,該 溫度係 700°C-1000°C。 使用經塗佈管製造玻瑀粉末之方法 本發明之一個實施例係關於使用本文所述經塗佈管來製 造玻璃粉末之方法。該實施例之一個態樣係關於使用本文 所述經塗佈管來製造含鉍玻璃粉末、含鹼金屬玻璃粉末、 或其混合物之方法。在一個實施例中,該方法係應用霧劑 分解方法。霧化方法係詳細闡述於頒與Kodas等人之美國 專利第6,360,562號申,其以引用方式併入本文中。在該實 施例之一個態樣中,利用經塗佈管來製造含高鉍玻璃粉末 及/或含鹼金屬玻璃粉末之霧劑分解方法可能需要約48小 時以上。在一個實施例中,該方法可在氧化氛圍中實施。 在該實施例之一個態樣中,氧化氛圍可係空氣。 在一個實施例中’可使用耐腐蝕反應器管之溫度範圍相 當寬廣且在500°C-1300°C之範圍内。在一個實施例中,溫 度係 700°C_1000°C。 玻璃 本發明之一個實施例係關於使用霧劑分解來製造玻璃粉 末之方法。本發明之又一實施例係關於藉由本文所述方法 而製成之玻璃。 在一個實施例中,可使用本文所述方法來製造複合坡 璃。本文所用複合玻璃係彼等包括至少一種結構形成氧 <匕 物(例如Si〇2)及至少一種額外氧化物(例如B2〇3)之玻璃。 141465.doc •10· 201008641 複合玻璃包括二元、二- 上組份之玻璃。二兀、或四元玻璃,以及包括四種以 本文所用麵粉末或玻璃好係主要為非晶形之 枓,如可藉由(例如 …,機材 之特徵可在於非長程;玻璃 # (、·,。日日)有序之隨機結構。有時將細於 玻璃粉末稱作麵料或填充劑。 Μ細如 常藉&製造技術來製造玻璃粉末 係藉由稱重並隨後脾
•d望成份混合進入爐中以使用鉑合金 坩鍋形成熔融混合物來製備。如業内所習>,加熱至 1: C至1500 C或更高之峰值溫度並持續一段時間以使熔 體70全變成液態並且均質。迅速驟冷炼融玻璃並隨後將其 研磨成期望粒徑。 〃 通系將如本發0月巾所定義之玻璃定義為缺乏長程有序之 固體無機材料。有時亦將該等玻璃闡述為非晶形固體或結 籌因此S貫施χ-射線繞射分析時,玻璃通常沒有任何 絰良好界定之結晶繞射峰。熔融石英(亦稱作熔融二氧化 矽)係非晶形(玻璃)材料之一個實例,該材料通常在環境條 件及高溫之更極端條件下用作反應器管之構建材料。 實例 貫例-玻璃前驅體溶液之製備 玻璃前驅體溶液係經由下述步驟製成:將i號溶液(602 克氫氧化鉍Bi(OH)3)添加至I745.6克硝酸(68_7〇% hn〇3)中 以溶解。在攪拌的同時緩慢添加2·5_28公斤去離子水並將 溶液加熱至70。(:並且維持2小時。將下述粉末稱重至另一 141465.doc 201008641 容器中:11.34克硝酸鈽((^(1^03)3-61120)、4.74克硝酸鋁 (八1(]^〇3)3-9112〇)、29.60克硝酸鋰(1^1^〇3)、及142.6克硼酸 (H3B〇3) °將該等粉末緩慢添加至5〇〇…水中並隨後將該 衆液添加至1號溶液中。用去離子水將含該漿液之容器沖 洗若干次以便將所有材料轉移至1號溶液中。隨後在攪拌 的同時將7.75克膠質二氧化矽(Si〇2)添加至該溶液中。在 一個單獨容器中將4.14克氫氧化鈉(NaOH)緩慢溶解於500 ml去離子水中。將所溶解氫氧化鈉溶液添加至含膠質二氧 化石夕之溶液中。所得溶液透明。將去離子水添加至上述溶 液中,且最終總重量係8〇23克。 實例1-8(試件)及實例9-15(管) 使用上述前驅體溶液來實施各測試,如實例5中所展 示0 使用陶瓷或金屬之兩種物理形式:(1)自測試材料形成 之試件,及(2)可真正置於爐中之測試材料之反應器管。所 用試件係可置於管中之小片測試材料。將該等試件置於英 高鎳(Inconel)反應器管中,其可在實驗結束時丟棄。 β亥等實例中所用之測試條件係如下所示:反應器管尺寸 係1.0-1.5英吋(外徑),其中長度為18_22英吋;藉由使用超 音波轉換器與空氣形成霧劑來使前驅體玻璃溶液變成微 滴,使用空氣作為載氣;該霧劑以丨25升/分鐘之速率流入 反應器管中;反應器管係在加熱至1〇〇〇t之爐中。將試件 與反應器管三者皆暴露於⑽代霧劑下。分析試件及反應 管耐腐蝕及用於形成霧化玻璃粒子之能力。 。 141465.doc 201008641 實例1、2、4及5之試件測試由於在測試時間期間反應前 驅體不可接受之腐蝕而失敗,如由以下所證明:在對試件 實施更廣泛分析時試件之明顯破壞或試件材料之嚴重滲 透。實例3、6及7展示形成釉面,其在反應室中數天後變 得穩定且即便在延長暴露於測試條件下後亦未展示進一步 變化之跡象。實例8(鉑)展示在第一次檢驗中無任何明顯降 * 格,但在延長暴露於測試條件後實施的更仔細之分析展示 鉍滲入鉑中,此表明較長時期暴露後將很可能發生失效。 ® 實例9-13之反應器管測試展示反應器管材料於處理條件 下在前驅體環境中經過延長時期後出現不可接受之降格。 通常,藉由測試期間出現的褪色、蝕斑或其他明顯的材料 損失、隆脹或斷裂來證明該等反應器管材料之失效。 實例14及15展示該測試期間反應器管内表面上僅形成釉 面材料,且在測試環境中數天後無進一步變化。測試期間 原位形成之釉面材料用作較長時期暴露於測試環境期間對 進一步降格之障壁。已發現該等管具有耐腐蝕性並且係可 所測試材料實例之表 所測試材料 形式 至測試結束之時間, 小時 實例編號 測試結束時之狀況 Al2〇3 試件 281 1 試件褪色並帶有蝕斑 W-Mo 試件 76 2 試件被腐蝕 SiN 試件 280 3 試件上形成釉面 Ta-Fe 試件 281 4 試件隆脹並被腐蝕 欽酸紀錯 試件 80 5 試件隆脹、破裂並改變顏 色 SiC(Hexoloy®) 試件 280 6 試件上形成釉面 反應燒結SiC 試件 1693 7 試件上形成釉面 141465.doc 13 201008641
Pt 試件 270 8 無明顯腐蝕 氧化鋁 管 342 9 管褪色並帶有蝕斑 莫來石 管 112-193 10 管斷裂 石英 管 67-72 11 管斷裂 Inconel® 600 管 288 12 管滲漏 滲銘 Inconel® 管 336 13 管滲漏 SiC(Hexoloy®) 管 1693 14 終止測試以供分析;形成 穩定釉面 反應燒結SiC 管 751 15 終止測試以供分析 註:Hexoloy®碳化石夕(SiC)係St.Gobain公司α-燒結碳化石夕 之註冊商標。 使用所述用於測試試件及反應器管之條件將流經反應器 管之霧劑轉化成玻璃粉末。該玻璃粉末係高錢粉末。在所 形成玻璃粉末中之重量%氧化物係如下所示:84.00% Bi2〇3 ' 1.20% Si02 ' 0.10% A1203 ' 12.50% B203 ' 0.50% Na20、1.00% Li20、0.70% Ce02。 在一個實施例中,玻璃粒子具有球形形態、小平均粒徑 及窄粒徑分佈。在一個實施例中,玻璃粉末基本上不結塊 且具有高純度。儘管該等粒子之平均尺寸可根據該粉末之 具體應用而有所改變,但在一個實施例中該等粒子之重量 平均粒徑可係至少約0.05 μιη ;在又一實施例中,其為至 少約0.1 μιη ;且在又一實施例中,其為至少約0.3 μπι。此 外,在該實施例之一個態樣中,平均粒徑可不大於約10 μιη。在又一態樣中,重量平均粒徑不大於約5 μιη且具體 而言不大於3 μπι。根據本發明之一個實施例,玻璃粒子之 粉末批料具有窄粒徑分佈,從而使大多數玻璃粒子具有窄 粒徑分佈以使大多數玻璃粒子具有大約相同之尺寸。在該 實施例之一個態樣中,至少約80重量%且在又一實施例中 141465.doc -14- 201008641 至少約90重詈丄u 2 A於重量平均粒徑之2倍。根據本發明 ^ 粒子亦具有高純度且該等粒子可能不包括大 ;勺1原子%之雜質且在—個實施例中不大於約〇,〇1原子 %之雜質。根據本發明之—個實施例,玻璃粒子係緻密的 (例如’非空心或多孔)。根據該實施例,玻璃粒子之粒子 f度為理論值的至少約嶋且更佳理論值的至少約90%(如 错由氛測比重術所量測)。本發明-個實施例之玻璃粒子
亦基本上係球形。亦即,該等粒子之形狀不輕齒或不規 則形狀。另外,破璃粉末具有低表面積。該等粒子基本呈 球形,其可降低給定粉末®之總體表面積。在-個實施例 破璃粕末之表面積接近(例如在約5%以内)所計算幾何 表面積,該幾何表面積係針對具有相同平均粒徑之單分散 球體進行計算》 所形成玻璃粉末含有具有〇.9平方米/克之低表面積(如使 用單點 BET法應用 Micromeritics 之 Flowsorb II,2300型所 里測)及dlO 0.53微米、d50 0.92微米、d90 1.8微米及d95 2.6微米之窄粒徑分佈(如使用Leeds and N〇rthmp之 厘卜⑽咖⑻乂⑽機器所量測㈣球形粒子。 比較實例1-石英管 作為比較實例,測試自石英所製成之管,如表中所闡 述。管之失效模式包括管因管材料反應性損失而弱化及最 、'^破4,及當形成熱膨脹係數明顯不同於管材料之化合物 時在加熱或冷卻後之失效。 比較實例2-氧化鋁管 141465.doc •15- 201008641 作為另一比較實例,測試氧化鋁管,如表申所闡述。管 之失效模式包括褪色及蝕斑(自管内部區域去除氧化鋁)。 141465.doc 16-
Claims (1)
- 201008641 七、申請專利範圍: L 一種經塗佈反應H管,該反應器管在該反應器管内部包 含-塗層,其中該塗層包含一或多種由下述各者組成之 群的組份·二氧化矽、矽酸纽、及其混合物。 2·=請求項1之經塗佈#,其中該經塗佈管係經塗佈反應 器管。 1 3.如請求们之經塗佈管,其中該塗層包含—或多個層。 .士明求項3之經塗佈管,其中該一或多個層包含一或多 個選自由下述各者組成之群的層:二氧化石夕層及石夕酸叙 層。 5. 如請求们之經塗佈管,其中該管包含一或多種選自由 陶瓷及玻璃組成之群的材料。 6. 如明求項丨之經塗佈管,其中該經塗佈反應器管係藉由 a絲化合物及含鉍及金屬驗化合物而於高溫(>7〇〇。〇下 在氧化環境中耐腐姓。 7. 如凊求項5之經塗佈管,其中該包含陶瓷材料之管包含 或多種選自由下述各者組成之群的材料:碳化矽、反 應燒結碳化矽(reaction bonded silicon carbide)、α_ 燒結 碳化矽(alpha-sintered silicon carbide)(例如 Hexoloy®)、 及氮化石夕。 8·如印求項4之經塗佈管,其中該二氧化矽層包含一或多 種選自由下述各者組成之群的結晶形式:方英石、石英 及鱗石英。 9.如。月求項4之經塗佈管,其中該石夕酸麵層包含一或多種 141465.doc 201008641 選自由下述各者組成之群的組份:結晶Bi4Si3〇12及包含 Bi203及Si02之非晶形材料。 10. 如請求項9之經塗佈管,其中該非晶形材料包含 2Bi203.3Si02。 11. 一種製造經塗佈反應器管之方法,其包含下述步驟: a. 藉由於大於700 C之溫度下使含有含石夕前驅體及/或含 鉍前驅體之霧劑原位熱分解而形成氧化矽層;及 b. 使含纽前驅體之霧劑原位熱分解而形成石夕酸奴層。 12. 如請求項11之方法,其中該等如請求項2之二氧化矽及 矽酸鉍層係藉由於大於70(TC之溫度下使含矽前驅體及/ 或含叙前驅體之霧劑原位熱分解而形成。 13. 如請求項丨丨之方法,其中該反應器管内部之該塗層包含 二氧化梦及>5夕酸叙。 14. 士吻求項11之方法,其中形成石夕酸叙層之步驟包含下述 步驟: ⑷將錢㈣料末存於適宜有機介質中之分散液施加 至該反應器管内部; (b)乾燥該分散液;及 15. 16. 17. 該經塗佈管’其中在燒製時該料料溶融。 如5月求項14之方法,其中該料㈣藉由選自由下述各 者組成之群的方法來施加··電漿及熱喷塗。 二種藉由如請求項Η之方法製造之經塗佈反應器管。 種製造含驗金屬及祕玻璃料粉末之方法 包括有由二氧切層及㈣⑽組成之塗層的陶究或破 141465.doc 201008641 I他前 璃反應器管藉由自包含含麵、含驗金屬反广 水溶液形成霧劑並隨後於高溫下分解來達成。 18· —種藉由如請求、本 項17之方法製造之玻璃料粉末。❹ 141465.doc 201008641 四、指定代表圖: (一) 本案指定代表圖為:(無) (二) 本代表圖之元件符號簡單說明: 五、本案若有化學式時,請揭示最能顯示發明特徵的化學式: (無)141465.doc
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