TW200810003A - Assisting apparatus for a wafer cassette - Google Patents

Description

200810003 九、發明說明： 【發明所屬之技術領域】 本發明係有關於一種晶舟辅助裝置，特別是有關於一 種輔助裝置，使得晶圓框架於取出或置入晶舟時不會造成 晶圓的碰觸、摩擦或刮傷。 【先前技術】 經研磨後的晶圓’將其貼附於晶圓框架（wafer frame) 上並置於晶舟（或稱為晶圓匠盒，cassette)内運送， 以進行後續製程，如切割（dicing)及晶粒（die)取出 (pick-up)等。第一 A圖顯示晶圓框架彳〇〇的正面圖，晶 圓101藉由黏膠片（wafer sheet/tape) 102貼附於晶圓框 架100的表面。第一 B圖、第一 c圖分別顯示晶舟1〇3 的俯視圖及立體圖。晶舟1 〇3兩侧之内側壁彳〇4具有多組 相對稱的晶舟溝槽(slot)1〇5，晶圓框架10()即順著這些晶 舟溝槽105而滑置於晶舟1〇3内。當所有晶圓框架，〇〇 都置入晶舟103後，操作人員即將旋轉把手106旋轉拉出 並藉以提起及運送晶舟103。 又，在進行切割（dicing)作業前後，通常需要由操作 人員以手動方式將晶圓框架彻取出作抽片檢查。然而， 由於晶舟溝槽105的間距或溝槽寬度遠較晶圓框架術的 200810003 •厚度來得大（通常約為三倍大），因此在取出或置人晶圓框 •架100的過程中，容易與相鄰晶圓框架100碰觸、摩擦， 造成晶圓101的刮傷。鑑於此，在不進行重新設計、製造 晶舟的成本考量下，亟需提出—種裝置，用以辅助晶圓= 架於抽取及置入晶舟時，避免晶圓受到碰觸、摩擦及到傷。 【發明内容】 有鑑於上述傳統技術的諸多缺失，本發明的目的之一 在於提出一種晶舟輔助裝置，使得晶圓框架於取出或置入 晶舟時不會造成晶圓的碰觸、摩擦、或刮傷。 *

I 根據上述之目的，本發明提供一種晶舟輔助裝置，其 主要構造係至少包括有一底座，用以定位一設有複數個晶 舟溝槽之晶舟；一侧壁設置於底座的侧邊；一導執框，包 括第一導軌槽板、一第二導轨槽及至少一連接臂，藉由 各連接臂分別連接第一導軌槽板及第二導執槽板之侧邊， 第一導轨槽板及第二導軌槽板在對應於各個晶舟溝槽之位 置分別設有一導轨槽，且各個導軌槽之一端的寬度係向導 執槽中間呈現漸縮之態樣；以及一樞接器，一端連接於側 壁，另一端連接於導轨框，使得該導軌框得以相對侧壁旋 轉，而可將導軌框之各個導執槽分別串接其所對應之晶舟 溝槽。藉由本發明之晶舟輔助裝置，由晶舟取放晶圓框架 7 200810003 時，可藉由導軌槽的寬度來導引晶圓框架，使晶圓不至於 、 因晃動而碰觸、摩擦或刮傷。 【實施方式】 本發明的一些實施例會詳細描述如下。然而，除了詳 細描述外，本發明還可以廣泛地在其他的實施例施行，且 本發明的範圍不受限定，其以之後的專利範圍為準。再者， 在本說明書中，各元件的不同部分並沒有依照尺寸繪圖。 某些尺度與其他相關尺度相比已經被誇張，以提供更清楚 的描述，利於本發明的理解。 第二A圖係本發明一實施例晶舟輔助裝置2〇1之立體 示意圖，第二B圖係如第二A圖之實施例定位一晶舟之立 體示意圖；如圖所示，其主要構造係至少包括有：一底座 209用以定位一設有複數個晶舟溝槽105之晶舟1〇3 ; — 侧壁206，設置於底座209之一侧邊；一導執框207，該 導軌框207包括有一第一導執槽板202、一第二導執槽板 203及至少一連接臂205，藉由各連接臂205而分別連接 第一導軌槽板202及第二導執槽板203之侧邊，且第一導 軌槽板202及第二導執槽板203在對應於各個晶舟溝槽 105之位置分別設有一導軌槽204 ;以及一樞接器（如第二 C圖所示之213)，其一端連接側壁206，而另一端連接導 200810003 軌框207，使得該導轨框207得以相對侧壁206旋轉，而 可將導軌框207之各個導執槽204分別串接其所對應之晶 舟溝槽105。該樞接器213連接導執框207的位置可選擇 連接第一導軌槽板202、第二導執槽板203及連接臂205 之其中之一者，均可達到同樣的效果，使得導執框207得 以相對侧壁206旋轉。另外可包括有一支撐塊208設置於 側壁206之一面，用以限制導執框207之旋轉角度，例如 當導軌框207被旋轉掀起而成直立狀時（如第二A圖所 示），導軌框207可受到支撐塊208的支撐，以免旋轉過 度。 本發明之晶舟輔助裝置，尚可包括有一斜度調整機 構，其係與底座209相互組配，而用以控制底座209與斜 度調整機構之相對角度。其中斜度調整機構係包括有至少 一調整壁210,各個調整壁210之一端係樞接於底座209, 而玎相對底座209旋轉。其中調整壁210之另一端設有一 調整槽212，且底座209設有一可樞穿調整槽212之調整 螺桿211 ’並藉由一調整螺絲與調整螺桿211相互組配， 而玎加強固定底座209與斜度調整機構之相對角度。斜度 調整機構主要是讓該晶舟103上之晶圓框架100能同時靠 抵該晶舟構槽105之同一邊，使各晶圓框架1〇〇之相互間 200810003 距可以保持最大間距，有效防止各晶圓框架1〇〇互相碰 觸、摩擦而導致晶圓101刮傷之狀況。 第二C圖顯示第二B圖之導執框2〇7旋轉至晶舟1〇3

T 上方的立體圖，此時、晶圓框架10Q即可經由導軌框 的導執槽204上方插入；接著滑入晶舟1〇3的晶舟溝槽 105。相反的，當晶圓框架1〇〇欲從晶舟1〇3内取出時， 則可藉由導執槽204的導引，由導軌槽204上方取出。 第二D圖顯示導執框2〇7旋轉至晶舟1〇3上方時， 導執框207的導軌槽204與晶舟溝槽105的放大示意圖。 设置於導軌框207之各導軌槽204大致呈平行排列，各個 導執槽204朝向晶舟溝槽1〇5之一端的寬度係與晶舟溝槽 105之寬度相同，可使晶圓框架]〇〇順利滑入晶舟溝槽巧〇5 中，且導軌槽204的丸度係向導執槽204中間呈現漸縮之 態樣，而使導執槽204中間之寬度小於晶舟溝槽1〇5之寬 度，另外導執槽204另一端的寬度也可以是向導執槽2〇4 中間呈現漸縮之態樣，導軌槽204兩端的寬度較大，具有 導引晶圓框架100進入導轨槽204的作用，而導轨槽204 中間之覓度較小，可有效辅助一般操作人員在抽取或置入 晶圓框架100之過程中，能保持與相鄰之晶圓平行之態 200810003 • 樣，進而避免各晶圓框架100摩擦晶圓101，而致使晶圓 r 101刮傷之狀況。 以上所述僅為本發明之較佳實施例而已，並非用以限 定本發明之申請專利範圍；凡其他未脫離發明所揭示之精 神下所完成之等效改變或修飾，均應包含在下述之申請專 利範圍内。例如，直接將導軌框207套設於晶舟103上方 進行操作，而非如前述實施例之可旋轉方式。另外，晶舟 輔助裝置201也可以不設有侧壁206，甚至不具有底座 209 ’而是藉由其他現有的升降機構來升高導執框207並 對齊於晶舟103上之晶舟溝槽105即可。再者，晶舟1〇3 的傾斜角度也可以經由其他方法來獲得，例如藉由調整工 作台的傾斜角度使得晶舟具有斜度。 【圖式簡單說明】 第一 A圖顯示一晶圓框架的正視圖。 第一 B圖顯示一晶舟的俯視圖。 第一C圖顯示一晶舟的立體圖。 第二A圖顯示本發明一實施例晶舟輔助裝置之立體示意 圖。 第二B圖顯示第二a圖之實施例定位—晶舟之立體示意 圖0 11 200810003 第二C圖顯示第二B圖之導執框旋轉至晶舟上方的立體示 意圖。 第二D圖顯示導執框旋轉至晶舟上方時，導執框的導執槽 與晶舟溝槽的放大示意圖。 【主要元件符號說明】 100 晶圓框架 101 晶圓 102 黏膠片 103 晶舟 104 内侧壁 105 晶舟溝1槽 106 旋轉把手 201 晶舟辅助裝置 202 第一導執槽板 203 第二導執槽板 204 導執槽 205 連接臂 206 側壁 207 導執框 208 支撐塊 209 底座 12 200810003 210 調整壁 211 調整螺桿 212 調整槽 213 枢接斋

Claims (1)

1. 200810003 十、申請專利範圍： 1 ·一種晶舟輔助裝置，其主要構造係至少包括有： 一底座，用以定位一設有複數個晶舟溝槽之晶舟； 一侧壁，其係設於該底座之一側邊； 一導執框，其包括有一第一導軌槽板、一第二導軌槽板 及至少一連接臂，藉由各該連接臂而分別連接該第一導執 槽板及該第二導軌槽板之侧邊，且該第一導軌槽板及該第 二導軌槽板在對應於各個該晶舟溝槽之位置分別設有一導 轨槽，而各個該導執槽之一端的寬度係向該導執槽中間呈 現漸縮之態樣；及 一樞接器，其一端遂接該侧壁，而另一端連接該導軌 框，使得該導軌框得以相對該侧壁旋轉，而可將該導執框 之各個該導執槽分別串接其所對應之該晶舟溝槽。 2 ·如申請專利範圍第1項所述之晶舟輔助裝置，其中該 樞接器之另一端係可選擇連接該第一導執槽板、該第二導 軌槽板及該連接臂之其中之一者。 3 ·如申請專利範圍第2項所述之晶舟輔助裝置，其中各 個該導執槽之另一端的寬度係向該導軌槽中間呈現漸縮之 態樣。 14 200810003 4·如申請專利範圍第 有一斜度調整機構，其 該底座與_度調整機 第3項所述之晶舟輔助裝置，尚包括 其係與該底座相互組配，而用以控制 機構之相對角度。 5 ·如申請專利範圍第4項所述之晶舟輔助裝置，其中該 斜度調整機構係包括有至少一調整壁，各個該調整壁之一 蠕係樞接該底座，而可相對該底座旋轉。 6 ·如申請專利範圍第5項所述之晶舟輔助裝置，其中該 調整壁之另一端設有一調整槽，且該底座設有一可樞穿該 調整槽之調整螺捍，並藉由一調整螺絲與該調整螺桿相互 級配，而可加強固定該底座與該斜度調整機構之相對角度。 / 7 ·如申請專利範圍第3項所述之晶舟輔助裝置’其中該 導軌槽一端之寬度係雷同該晶舟溝槽之寬度。 8 ·如申請專利範園第3項所述之晶舟輔助裝置，其中該 導軌槽中間之寬度小於該晶舟溝槽之寬度。 15 200810003 :·=專利範圍第2項所述之晶奇辅助裝置，尚包括 =度塊。，其係設於該側壁之一面，用，該導軌: 10 ς種晶舟_裝置，其主要構造係至少包 -導執框，其包括有—第—導軌槽·、—道. 及至少-連接臂，其係藉由各該連接臂而板 :導轨槽板在對應於複數個設私一晶舟 之位置上刀別設有-導軌槽1各_導軌槽之—端 度係向該導軌財間呈現漸縮之態樣，可將該導執框串接 於該晶舟，藉以令該導執㈣接其所對應之該晶舟溝槽。 11如申„月專利範圍帛10項所述之晶舟辅助裝置，尚包括 有一底座、一侧壁及一樞接器；其中，該底座係用以定位 該晶舟，該側壁係設於底座之側邊，而該樞接器之一端係 連接該侧壁，其另一端連接該導軌框，使得該導軌框得以 相對該侧壁旋轉，而可將該導轨框之各個該導軌槽分別串 接其所對應之該晶舟溝槽。 16 200810003 12 ·如申請專利範圍第11項戶斤述之晶舟辅助裝置，其中該 樞接器之另一端係可選擇連接該第一導執槽板、該第一導 執槽板及該連接臂之其中之一者。 13 ·如申請專利範圍第12項价述之晶舟輔助裝置，其中:: 各個該導執槽之另一端的寬度係尚導軌槽中間呈現漸縮之 態樣。 14·如申請專利範圍第13項所述之晶舟辅助裝置，尚包 括有一斜度調整機構，其係與該底座相互組配，而用以調 整該底座與該斜度調整機構之相對角度。. M·如申請專利範圍第…項所述之晶舟辅助裝置，其中 該斜度調整機構係包括有至少一調整壁，各個該調整壁之 —端係樞接該底座，而可相對該底座旋轉。 W ·如中請專利第15項所述之晶舟輔助裝置，其中 該调整壁之另-端設有-調整槽，且該底座設有一可樞穿 “調正槽H螺#’亚藉由—調整螺絲與該調整螺桿相 互組配，而可固定該底座與該斜度調整機構之相對角度。 17 200810003 ^ 17 ·如申請專利範圍第10項所述之晶舟輔助裝置，其中 該導執槽一端之寬度係雷同該晶舟溝槽之寬度。 18 ·如申請專利範圍第10項所述之晶舟辅助裝置，其中 該導軌槽中間之寬度小於該晶舟溝槽之寬度。 19·如申請專利範圍第11項所述之晶舟輔助裝置，尚包括 有一支撐塊，其係設於該侧壁之一面，用以限制該導執框 之旋轉角度。 18